CN116983704B - 一种冷凝装置及方法 - Google Patents
一种冷凝装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116983704B CN116983704B CN202311260674.0A CN202311260674A CN116983704B CN 116983704 B CN116983704 B CN 116983704B CN 202311260674 A CN202311260674 A CN 202311260674A CN 116983704 B CN116983704 B CN 116983704B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- unit
- buffer
- evaporation
- pipeline
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000009833 condensation Methods 0.000 title claims abstract description 174
- 230000005494 condensation Effects 0.000 title claims abstract description 174
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 340
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 178
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 79
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims abstract description 64
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 244
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 243
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 94
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 90
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 77
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 57
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 47
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 18
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 15
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 14
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 11
- 238000002309 gasification Methods 0.000 description 5
- 230000009172 bursting Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101000869912 Cerastes vipera Disintegrin CV-11-alpha Proteins 0.000 description 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D5/00—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation
- B01D5/0078—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation characterised by auxiliary systems or arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D5/00—Condensation of vapours; Recovering volatile solvents by condensation
- B01D5/0033—Other features
- B01D5/0054—General arrangements, e.g. flow sheets
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本发明涉及一种冷凝装置及方法，包括缓冲单元、冷凝单元、分析单元、回收单元、排废单元和泄压单元。其优点在于，通过在氨气源和冷凝单元之间设置缓冲单元，使得缓冲单元可以对进入冷凝单元内的氨气进行缓冲，可解决进入冷凝单元的氨气压力不稳定的情况，避免氨气压力急增急降，为冷凝单元提供更加稳定和持续的气源，从而避免由于管道内短时间压力激增所带来的危险；通过在缓冲单元内设置分析单元，从而可对进入缓冲单元的氨气进行分析，判断氨气是否被污染，从而将达标的氨气输送至冷凝单元，将被污染的氨气输送至排废单元；通过设置回收单元，用于在缓冲单元内被污染的液氨或者氨气进行回收，还用于对过多的液氨进行回收。
Description
技术领域
本发明涉及NH3提纯工艺中的冷凝工艺技术领域，尤其涉及一种冷凝装置及方法。
背景技术
超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要材料，近年来，全球信息产业飞速发展，据全球电子化学品消费量最新统计数据表明，亚太地区尤其是中国，已成为全球电子业及其化学品的主导市场，而信息产业所需的半导体产业的蓬勃发展也使得高纯电子化学品需求量急剧增长。而在纯净的半导体产品中掺入极微量的杂质元素，就会使产品的电阻率发生极大的变化，因此半导体行业对化学材料的纯净度要求极高。
现有技术中，中国实用新型专利（CN218248580U）公开一种超纯氨精馏设备，包括精馏釜壳体、加热箱、接取箱、搅拌机构和冷凝组件；该装置主要原理是通过泵把氨气输送至冷凝块，然后冷凝块把流经冷凝器的氨气冷凝，然后冷凝块中的U型管的底部开孔接收集管和阀，然后冷凝后的液氨通过收集管流向成品收集箱。然而，该方案存在以下缺陷：
1）现有技术方案没有检测分析功能，氨气/水在冷凝的各个环节都有可以能被污染，没有检测分析功能则就不能实时检测到被污染的液氨，以及也无法得知成品液氨有没有被污染；
2）现有技术方案没有被污染的液氨/氨气的回收和尾气处理功能，被污染的液氨/氨气不能被回收或排走的话会导致污染成品罐；
3）现有技术方案采用泵输送氨气，泵运输具有脉冲，可能会存在瞬时压力过高情况，对系统有潜在的风险；
4）现有技术方案的没有压力检测和泄压功能，液氨容易气化，如果遇到一些特别情况，导致系统的压力过高，存在危险性；
目前针对相关技术中存在的无法判断氨气/水在冷凝的各个环节是否被污染、无法对被污染的氨气进行回收或排出、氨气输送可能出现管路压力瞬间过高等问题，尚未提出有效的解决方案。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术中的不足，提供一种冷凝装置及方法，以解决相关技术中存在的无法判断氨气/水在冷凝的各个环节是否被污染、无法对被污染的氨气进行回收或排出、氨气输送可能出现管路压力瞬间过高等问题。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：
第一方面，本发明提供一种冷凝装置，包括：
缓冲单元，所述缓冲单元与氨气源连通，用于获取并缓冲氨气；
冷凝单元，所述冷凝单元与所述缓冲单元连通，用于冷凝氨气得到液氨；
分析单元，所述分析单元与所述缓冲单元连通，用于对氨气进行分析；
回收单元，所述回收单元与所述缓冲单元连通，用于回收液氨及氨气；
排废单元，所述排废单元与所述缓冲单元连通，用于排出所述缓冲单元中的废气；
泄压单元，所述泄压单元与所述缓冲单元连通，用于在所述缓冲单元的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
在其中的一些实施例中，所述缓冲单元包括：
缓冲元件，所述缓冲元件分别与氨气源、所述冷凝单元、所述分析单元、所述回收单元、所述排废单元、所述泄压单元连通，用于获取氨气、缓冲氨气以及传输氨气至所述冷凝单元；
第一加热元件，所述第一加热元件与所述缓冲元件连通，用于对所述缓冲元件因氨气冷凝的产生液氨进行加热气化。
在其中的一些实施例中，所述缓冲单元还包括：
液位监测元件，所述液位监测元件设置于所述缓冲元件，用于监测所述缓冲元件的液氨的液位。
在其中的一些实施例中，所述冷凝单元包括：
冷凝元件，所述冷凝元件与所述缓冲单元连通并位于所述缓冲单元的下游，用于冷凝氨气得到液氨。
在其中的一些实施例中，所述分析单元包括：
第一分析元件，所述第一分析元件与所述缓冲单元连通，用于分析所述缓冲单元的氨气。
在其中的一些实施例中，所述回收单元包括：
第一回收元件，所述第一回收元件将所述缓冲单元与回收罐连通，用于回收所述缓冲单元内的液氨；
第二回收元件，所述第二回收元件将所述缓冲单元与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通，用于回收所述缓冲单元内的氨气。
在其中的一些实施例中，所述回收单元还包括：
第二压力监测元件，所述第二压力监测元件设置于所述第二回收元件连通的管路，用于监测该管路的压力。
在其中的一些实施例中，所述排废单元包括：
第一排废元件，所述第一排废元件将所述缓冲单元与尾气处理池连通，用于排出所述缓冲单元的被污染的氨气。
在其中的一些实施例中，所述泄压单元包括：
第一泄压元件，所述第一泄压元件与所述缓冲单元连通，用于在所述缓冲单元的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
在其中的一些实施例中，所述泄压单元还包括：
第一压力监测元件，所述第一压力监测元件设置于与所述缓冲单元连通的管路，用于监测该管路内的压力。
在其中的一些实施例中，还包括：
蒸发单元，所述蒸发单元分别与所述冷凝单元、所述分析单元、所述回收单元、所述排废单元、所述泄压单元连通，用于获取并传输液氨至成品罐。
在其中的一些实施例中，所述分析单元还包括：
第二分析元件，所述第二分析元件设置于所述蒸发单元，用于分析所述蒸发单元的液氨。
在其中的一些实施例中，所述回收单元还包括：
第三回收元件，所述第三回收元件将所述蒸发单元与回收罐连通，用于将所述蒸发单元内的液氨输送至回收罐；
第四回收元件，所述第四回收元件将所述蒸发单元与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通，用于将所述蒸发单元的气体输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统。
在其中的一些实施例中，所述排废单元还包括：
第二排废元件，所述第二排废元件将所述蒸发单元和成品罐之间的管路与尾气处理池连通，用于排出该管路内的被污染的氨气。
在其中的一些实施例中，所述泄压单元还包括：
第二泄压元件，所述第二泄压元件与所述蒸发单元连通，用于在所述蒸发单元的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压；
第三泄压元件，所述第三泄压元件与所述蒸发单元与成品罐之间的管路连通，用于在该管路内的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
在其中的一些实施例中，所述泄压单元还包括：
第三压力监测元件，所述第三压力监测元件设置于与所述蒸发元件连通的管路，用于监测所述蒸发元件及管路的压力。
在其中的一些实施例中，所述蒸发单元包括：
至少一蒸发元件，所述蒸发元件与所述冷凝单元连通，用于存储液氨；
第二加热元件，所述第二加热元件与所述蒸发元件连通，用于对所述蒸发元件的液氨进行加热气化。
在其中的一些实施例中，还包括：
吹扫单元，所述吹扫单元与所述蒸发单元连通，用于对所述蒸发单元及管路进行吹扫。
在其中的一些实施例中，所述吹扫单元包括：
第一吹扫元件，所述第一吹扫元件与所述蒸发单元的输入管路连通，用于对所述蒸发单元进行吹扫；
第二吹扫元件，所述第二吹扫元件与所述蒸发单元的输出管路连通，用于对所述整个装置进行吹扫。
在其中的一些实施例中，所述吹扫单元还包括：
第四压力监测元件，所述第四压力监测元件设置于分别与所述第一吹扫元件、所述第二吹扫元件连通的管路，用于监测该管路的压力。
第二方面，本发明还提供一种冷凝方法，应用于如第一方面所述的冷凝装置。
本发明采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
1、在氨气源和冷凝单元之间设置缓冲单元，使得缓冲单元可以对进入冷凝单元内的氨气进行缓冲，可解决进入冷凝单元的氨气压力不稳定的情况，避免氨气压力急增急降，为冷凝单元提供更加稳定和持续的气源，从而避免由于管道内短时间压力激增所带来的危险。
2、在缓冲单元内设置分析单元，从而可对进入缓冲单元的氨气进行分析，判断氨气是否被污染，从而将达标的氨气输送至冷凝单元，将被污染的氨气输送至排废单元。
3、通过设置回收单元，用于在缓冲单元内被污染的液氨或者缓冲单元内液氨过多的情况下将液氨输送至回收罐内，还用于对缓冲单元内被污染的氨气输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统。
4、通过设置泄压单元，在缓冲单元及管路内的压力超过预设压力的情况下进行泄压，保证整体装置的安全性。
附图说明
图1是根据本发明实施例的冷凝装置的框架示意图（一）；
图2是根据本发明实施例的缓冲单元的示意图（一）；
图3是根据本发明实施例的冷凝单元的示意图；
图4是根据本发明实施例的分析单元的示意图（一）；
图5是根据本发明实施例的回收单元的示意图（一）；
图6是根据本发明实施例的排废单元的示意图（一）；
图7是根据本发明实施例的泄压单元的示意图（一）；
图8是根据本发明实施例的缓冲单元的示意图（二）；
图9是根据本发明实施例的泄压单元的示意图（二）；
图10是根据本发明实施例的回收单元的示意图（二）；
图11是根据本发明实施例的冷凝装置的框架示意图（二）；
图12是根据本发明实施例的蒸发单元的示意图（一）；
图13是根据本发明实施例的分析单元的示意图（二）；
图14是根据本发明实施例的回收单元的示意图（三）；
图15是根据本发明实施例的排废单元的示意图（二）；
图16是根据本发明实施例的泄压单元的示意图（三）；
图17是根据本发明实施例的吹扫单元的示意图（一）；
图18是根据本发明实施例的泄压单元的示意图（四）；
图19是根据本发明实施例的吹扫单元的示意图（二）。
其中的附图标记为：100、缓冲单元；110、缓冲元件；120、第一加热元件；130、第一阀元件；140、第二阀元件；150、液位监测元件；
200、冷凝单元；210、冷凝元件；
300、分析单元；310、第一分析元件；320、第二分析元件；
400、回收单元；410、第一回收元件；420、第二回收元件；430、第三阀元件；440、第四阀元件；450、第二压力监测元件；460、第三回收元件；470、第四回收元件；480、第九阀元件；490、第十阀元件；
500、排废单元；510、第一排废元件；520、第五阀元件；530、第二排废元件；540、第十一阀元件；
600、泄压单元；610、第一泄压元件；620、第六阀元件；630、第一压力监测元件；650、第二泄压元件；660、第三泄压元件；670、第十二阀元件；680、第十三阀元件；690、第三压力监测元件；
700、蒸发单元；710、蒸发元件；720、第二加热元件；730、第七阀元件；740、第八阀元件；
800、吹扫单元；810、第一吹扫元件；820、第二吹扫元件；830、第十四阀元件；840、第十五阀元件；850、第四压力监测元件。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行描述和说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。基于本申请提供的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本申请应用于其他类似情景。此外，还可以理解的是，虽然这种开发过程中所作出的努力可能是复杂并且冗长的，然而对于与本申请公开的内容相关的本领域的普通技术人员而言，在本申请揭露的技术内容的基础上进行的一些设计，制造或者生产等变更只是常规的技术手段，不应当理解为本申请公开的内容不充分。
在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域普通技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例在不冲突的情况下，可以与其它实施例相结合。
除非另作定义，本申请所涉及的技术术语或者科学术语应当为本申请所属技术领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请所涉及的“一”、“一个”、“一种”、“该”等类似词语并不表示数量限制，可表示单数或复数。本申请所涉及的术语“包括”、“包含”、“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；例如包含了一系列步骤或模块（单元）的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可以还包括没有列出的步骤或单元，或可以还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。本申请所涉及的“连接”、“相连”、“耦接”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电气的连接，不管是直接的还是间接的。本申请所涉及的“多个”是指两个或两个以上。“和/或”描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和/或B”可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。本申请所涉及的术语“第一”、“第二”、“第三”等仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序。
实施例1
本实施例涉及本发明中的冷凝装置。
本发明的一个示意性实施例，如图1所示，一种冷凝装置，包括缓冲单元100、冷凝单元200、分析单元300、回收单元400、排废单元500和泄压单元600。其中，缓冲单元100与氨气源连通，用于获取并缓冲氨气；冷凝单元200与缓冲单元100连通，用于对氨气进行冷凝，得到液氨；分析单元300与缓冲单元100连通，用于对氨气进行分析；回收单元400与缓冲单元100连通，用于回收液氨及氨气；排废单元500与缓冲单元100连通，用于排出缓冲单元100中的废气；泄压单元600与缓冲单元100连通，用于在缓冲单元100的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
如图2所示，缓冲单元100包括缓冲元件110和第一加热元件120。其中，缓冲元件110分别与氨气源、冷凝单元200、分析单元300、回收单元400、排废单元500、泄压单元600连通，用于获取氨气、缓冲氨气以及传输氨气至所述冷凝单元200；第一加热元件120与缓冲元件110连通，用于对缓冲元件110氨气冷凝的液氨进行加热气化。
需要说明的是，缓冲元件110可以对进入冷凝单元200的氨气进行缓冲，可解决进入冷凝单元200的氨气压力不稳定的情况，避免氨气压力急增急降，为冷凝单元200提供更加稳定和持续的气源，从而避免由于管道内短时间压力激增所带来的危险。
需要说明的是，在氨气进入缓冲元件110后，可能由于氨气进入到缓冲元件110发生换热，从而使得氨气冷凝成液体沉积在缓冲元件110的底部；通过第一加热元件120可对缓冲元件110底部的液氨进行气化，可减少缓冲元件110底部沉积大量液氨的情况发生。
需要说明的是，缓冲元件110与氨气源之间通过进气管路连通。进气管路可以为若干个，若干进气管路并联设置。进气管路的数量可根据氨气的输入速率进行设置，在此不做过多的限制。需要说明的是，进气管路的数量可以为2个、3个、4个等。
具体地，缓冲元件110包括缓冲罐、第一缓冲端口、第二缓冲端口、第三缓冲端口、第四缓冲端口、第五缓冲端口和第六缓冲端口。其中，第一缓冲端口设置于缓冲罐的侧部位置，并与氨气源（即纯化装置）连通；第二缓冲端口设置于缓冲罐的顶部位置，并与冷凝单元200连通；第三缓冲端口设置于缓冲罐的侧部位置，并与分析单元300连通；第四缓冲端口设置于缓冲罐的侧部位置，并通过管路与第一加热元件120连通，用于向第一加热元件120输送液氨；第五缓冲端口设置于缓冲罐的侧部位置，并与第一加热元件120连通，用于获取第一加热元件120传输的氨气；第六缓冲端口设置于缓冲罐的底部位置，并与回收单元400连通。
需要说明的是，第一缓冲端口的数量与进气管路的数量相匹配。一般地，第一缓冲端口的数量等于进气管路的数量，即第一缓冲端口与进气管路一一对应。需要说明的是，第一缓冲端口的数量可以为2个、3个、4个等。
具体地，第一加热元件120包括第一加热件、第一加热管路和第二加热管路。其中，第一加热管路的两端分别与第四缓冲端口、第一加热件连通；第二加热管路的两端分别与第五缓冲端口、第一加热件连通。
在其中的一些实施例中，第一加热件包括但不限于加热器。
在其中的一些实施例中，第一加热管路和第二加热管路包括但不限于不锈钢管。
进一步地，缓冲单元100还包括第一阀元件130。其中，第一阀元件130设置于氨气源与缓冲单元100连通的管路，用于控制氨气源与缓冲单元100之间的开启或者关闭。
需要说明的是，第一阀元件130设置于进气管路。
在其中的一些实施例中，第一阀元件130包括第一手动隔膜阀。其中，第一手动隔膜阀设置于进气管路，用于开启或者关闭氨气源与缓冲元件110的连通。
需要说明的是，第一手动隔膜阀的数量与进气管路的数量相匹配。一般地，第一手动隔膜阀的数量等于进气管路的数量，即第一手动隔膜阀与进气管路一一对应。需要说明的是，第一手动隔膜阀的数量可以为2个、3个、4个等。
进一步地，缓冲单元100还包括第二阀元件140。其中，第二阀元件140设置于缓冲元件110与第一加热元件120连通的管路，用于控制缓冲元件110与第一加热元件120之间的开启或者关闭。
具体地，第二阀元件140包括第二手动隔膜阀和第三手动隔膜阀。其中，第二手动隔膜阀设置于第一加热管路，用于开启或者关闭缓冲元件110与第一加热件的连通；第三手动隔膜阀设置于第二加热管路，用于开启或者关闭缓冲元件110与第一加热件的连通。
如图3所示，冷凝单元200包括冷凝元件210。其中，冷凝元件210与缓冲单元100连通并位于缓冲单元100的下游，用于对氨气进行冷凝，得到液氨。
具体地，冷凝元件210与缓冲元件110连通，并位于缓冲元件110的下游。
具体地，冷凝元件210包括冷凝件、第一冷凝管路和第二冷凝管。其中，第一冷凝管路的第一端与冷凝件连通，第一冷凝管路的第二端与缓冲元件110的第二缓冲端口连通；第二冷凝管路的第一端与冷凝件连通，第二冷凝管路的第二端与成品罐连通，用于将液氨装罐。
在其中的一些实施例中，冷凝件包括但不限于冷凝器。
在其中的一些实施例中，第一冷凝管路和第二冷凝管包括但不限于不锈钢管。
如图4所示，分析单元300包括第一分析元件310。其中，第一分析元件310与缓冲单元100连通，用于分析缓冲单元100的氨气。
具体地，第一分析元件310与缓冲元件110连通，用于分析缓冲元件110的氨气。
具体地，第一分析元件310包括第一分析件和第一分析管路。其中，第一分析管路的第一端与缓冲元件110的第三缓冲端口连通，第一分析管路的第二端与第一分析件连通。
需要说明的是，第一分析元件310可对缓冲元件110内的氨气进行纯度检测，即在缓冲元件110内的氨气纯度符合标准的情况下，可将氨气输送至冷凝元件210内进行冷凝，在缓冲元件110内的氨气纯度不符合标准的情况下，可通过回收单元400将氨气回收至三级冷凝系统。
在其中的一些实施例中，第一分析件包括但不限于纯度分析仪。
在其中的一些实施例中，第一分析管路包括但不限于不锈钢管。
如图5所示，回收单元400包括第一回收元件410和第二回收元件420。其中，第一回收元件410将缓冲单元100与回收罐连通，用于回收缓冲单元100内的液氨；第二回收元件420将缓冲单元100与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通，用于回收缓冲单元100内的氨气。
具体地，第一回收元件410将缓冲元件110与回收罐连通，用于回收缓冲元件110内的液氨；第二回收元件420将缓冲元件110与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通，用于回收缓冲元件110内的氨气。
具体地，第一回收元件410包括第一回收管路。其中，第一回收管路的第一端与第六缓冲端口连通，第一液体回收管路的第二端与回收罐连通。
在其中的一些实施例中，第一回收管路包括但不限于不锈钢管。
具体地，第二回收元件420包括第二回收管路和第三回收管路。其中，第二回收管路的第一端与第一冷凝管路连通，第二回收管路的第二端与三级冷凝系统连通；第三回收管路的第一端与第一回收管路连通，第三回收管路的第二端与一级冷凝系统连通。
在其中的一些实施例中，第二回收管路、第三回收管路包括但不限于不锈钢管。
进一步地，回收单元400还包括第三阀元件430。第三阀元件430设置于第一回收管路，用于控制缓冲元件110与回收罐的连通。
具体地，第三阀元件430包括第四手动隔膜阀、第一气动隔膜阀和第一单向阀。其中，第四手动隔膜阀设置于第一回收管路，用于供工作人员手动关闭或者开启缓冲元件110与回收罐的连通；第一气动隔膜阀设置于第一回收管路并位于第三手动隔膜阀的下游，用于开关或者关闭缓冲元件110与第一回收管路的连通；
第一单向阀设置于第一回收管路并位于第一气动隔膜阀的下游，用于防止进入第一回收管路的液氨逆流。
进一步地，回收单元400还包括第四阀元件440。其中，第四阀元件440设置于第二回收管路、第三回收管路，用于控制缓冲元件110与一级冷凝系统、三级冷凝系统的连通。
具体地，第四阀元件440包括第二单向阀、第二气动隔膜阀和第三单向阀。其中，第二单向阀设置于第二回收管路，用于防止进入第二回收管路内的氨气逆流；第二气动隔膜阀设置于第三回收管路，用于开启或者关闭第二回收管路和第三回收管路的连通；第三单向阀设置于第三回收管路并位于第二气动隔膜阀的下游，用于防止进入第三回收管路内的氨气逆流。
如图6所示，排废单元500包括第一排废元件510。其中，第一排废元件510将缓冲单元100与尾气处理池连通，用于排出缓冲单元100的被污染的氨气。
具体地，第一排废元件510将缓冲元件110与尾气处理池连通，用于排出缓冲元件110的被污染的氨气。
具体地，第一排废元件510包括第一排废管路。其中，第一排废管路的第一端与缓冲元件110连通，第一排废管路的第二端与尾气处理池连通。
在其中的一些实施例中，第一排废管路包括但不限于不锈钢管。
进一步地，排废单元500还包括废气处理元件。其中，废气处理元件设置于第一排废管路，用于对缓冲单元100内的被污染的氨气进行处理。
在其中的一些实施例中，废气处理元件包括但不限于NH3湿式洗涤器。
进一步地，排废单元500还包括第五阀元件520。其中，第五阀元件520设置于第一排废管路，用于控制缓冲元件110与尾气处理池的连通。
具体地，第五阀元件520包括第三气动隔膜阀和第四单向阀。其中，第三气动隔膜阀设置于第一排废管路，用于开启或者关闭第一排废管路与缓冲元件110的连通；第四单向阀设置于第一排废管路并位于第三气动隔膜阀的下游，用于防止进入第一排废管路内的气体逆流。
如图7所示，泄压单元600包括第一泄压元件610。其中，第一泄压元件610与缓冲单元100连通，用于在缓冲单元100的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
具体地，第一泄压元件610与缓冲元件110连通，用于在缓冲元件110的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
具体地，第一泄压元件610包括第一泄压管路和第一泄压件。其中，第一泄压管路的第一端与缓冲元件110连通，第一泄压管路的第二端与尾气处理池连通；第一泄压件设置于第一泄压管路，且第一泄压件可在缓冲元件110及管路内的压力大于1.5MPa的情况下，对缓冲元件110及管路进行泄压。
在其中的一些实施例中，第一泄压管路包括但不限于不锈钢管。
在其中的一些实施例中，第一泄压件包括但不限于安全阀。
进一步地，泄压单元600还包括第六阀元件620。其中，第六阀元件620设置于第一泄压管路，用于控制缓冲元件110与尾气处理池之间的连通。
具体地，第六阀元件620包括第五气动隔膜阀和第五单向阀。其中，第五气动隔膜阀设置于第一泄压管路，用于开启或者关闭缓冲元件110与第一泄压管路的连通；第五单向阀设置于第一泄压管路并位于第四气动隔膜阀的下游，用于防止进入第一泄压管路内的气体逆流。
本实施例的使用方法如下：
（一）气体供应
手动打开第一阀元件130，使得氨气源与缓冲元件110连通，从而使得氨气进入缓冲元件110内。
（二）氨气分析
系统启动第一分析元件310，使得第一分析元件310对缓冲元件110内的氨气进行分析，判断缓冲元件110内的氨气是否被污染。
（三）第一液氨气化
手动打开第二阀元件140，使得缓冲元件110底部的液氨进入第一加热元件120，系统启动第一加热元件120，对液氨加热气化并重新输送至缓冲元件110内。
（四）氨气冷凝
在缓冲元件110内的氨气没有被污染的情况下，系统启动冷凝元件210，从而对进入冷凝元件210的氨气进行冷凝并得到液氨。
（五）第一液氨回收
在缓冲元件110内的液氨被污染或者缓冲元件110内液氨过多的情况下，打开第三阀元件430，使得液氨可流向回收罐内。
（六）第一气体回收
打开第四阀元件440，可将缓冲元件110内的达标的氨气可通入一级冷凝系统、三级冷凝系统重新冷凝，实现对达标的氨气的回收。
（七）第一气体排放
在缓冲元件110内的氨气被污染的情况下，打开第五阀元件520，使得被污染的氨气可通向尾气处理器中。
（八）第一泄压
在缓冲元件110及管路内的压力超过预设压力的情况下，系统打开第六阀元件620，使得缓冲元件110及管路内的气体进行泄压。
本实施例的优点在于，通过在氨气源和冷凝单元之间设置缓冲单元，使得缓冲单元可以对进入冷凝单元内的氨气进行缓冲，可解决进入冷凝单元的氨气压力不稳定的情况，避免氨气压力急增急降，为冷凝单元提供更加稳定和持续的气源，从而避免由于管道内短时间压力激增所带来的危险；通过设置分析单元，可对进入缓冲单元的氨气进行分析，判断氨气是否被污染，从而将达标的氨气输送至冷凝单元，将被污染的氨气输送至排废单元；通过设置回收单元，用于在缓冲单元内被污染的液氨或者缓冲单元内液氨过多的情况下将液氨输送至回收罐内，还用于对缓冲单元内被污染的氨气输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统；通过设置泄压单元，在缓冲单元及管路内的压力超过预设压力的情况下进行泄压，保证整体装置的安全性。
实施例2
本实施例为实施例1的一个变形实施例。
如图8所示，缓冲单元100还包括液位监测元件150。其中，液位监测元件150设置于缓冲元件110，用于监测缓冲元件110内液氨的液位。
具体地，液位监测元件150设置于缓冲元件110的侧壁的底部位置，用于在缓冲元件110的液氨达到预设体积的情况下，系统控制回收单元400开启，将缓冲元件110的液氨回收至回收罐内。
在其中的一些实施例中，液位监测元件150包括但不限于液位计。
如图9所示，泄压单元600还包括第一压力监测元件630。其中，第一压力监测元件630设置于与缓冲元件110连通的管路，用于监测该管路的压力。
具体地，第一压力监测元件630包括第一压力表和第一压力传感器。其中，第一压力表和第一压力传感器设置于与缓冲元件110连通的管路。
需要说明的是，在第一压力监测元件630监测的缓冲元件110内的压力超过1.3MPa的情况下，系统可启动装置的预警模块进行预警；在第一压力监测元件630监测的缓冲元件110内的压力超过1.5MPa的情况下，系统打开泄压单元600对缓冲元件110及管路进行泄压，保证整体装置的安全性。
此外，第一压力监测元件630还包括第六手动隔膜阀。其中，第四手动隔膜阀设置于与第一压力监测元件630连通的管路，用于开启或者关闭第一压力监测元件630与缓冲元件110的连通。
如图10所示，回收单元400还包括第二压力监测元件450。其中，第二压力监测元件450设置于与第二回收元件420连通的管路，用于监测该管路的压力。
具体地，第二压力监测元件450包括第二压力表和第二压力传感器。其中，第二压力表和第二压力传感器设置于第二回收管路。
此外，第二压力监测元件450还包括第七手动隔膜阀。其中，第七手动隔膜阀设置于第二回收管路，用于开启或者关闭第一压力监测元件630与第一回收元件410的连通。
本实施例的使用方法与实施例1相同，在此不再赘述。
本实施例的优点在于，通过设置液位监测元件，可监测缓冲元件底部的液氨体积，可在缓冲元件内液氨过多的情况下，系统控制回收单元开启，将缓冲元件底部过多的液氨回收至回收罐内；通过设置第一压力监测元件，对缓冲元件内的压力进行实时监测，在缓冲元件及管路内的压力过高的情况下，系统可打开泄压单元对缓冲元件及管路进行泄压，从而保证整个装置的安全性。
实施例3
本实施例为实施例1~实施例2的一个变形实施例。
如图11所示，冷凝装置还包括蒸发单元700。其中，蒸发单元700分别与冷凝单元200、分析单元300、回收单元400、排废单元500、泄压单元600连通，用于获取并传输液氨至成品罐。
如图12所示，蒸发单元700包括至少一蒸发元件710和第二加热元件720。其中，蒸发元件710与冷凝单元200连通，用于存储液氨；第二加热元件720与蒸发元件710连通，用于将蒸发元件710内的液氨气化。
具体地，蒸发元件710与冷凝元件210连通。
具体地，蒸发元件710包括蒸发罐、第一蒸发端口、第二蒸发端口、第三蒸发端口、第四蒸发端口、第五蒸发端口、第六蒸发端口和第七蒸发端口。其中，第一蒸发端口设置于蒸发罐的侧部位置，并与冷凝单元200连通；第二蒸发端口设置于蒸发罐的侧部位置，并与分析单元300连通；第三蒸发端口设置蒸发罐的底部位置，并与第二加热元件720连通，用于将氨气输送至蒸发罐；第四蒸发端口设置于蒸发罐的侧部位置，并与第二加热元件720连通，用于将液氨输送至第二加热元件720；第五蒸发端口设置于蒸发罐的底部位置，并与回收单元400连通；第六蒸发端口设置于蒸发罐的顶部位置，并与回收单元400连通；第七蒸发端口设置于蒸发的顶部位置，并与泄压单元600连通。
此外，蒸发元件710的数量为2个，且2个蒸发元件710均分别与冷凝单元200、分析单元300、回收单元400、排废单元500、泄压单元600连通。
在其中的一些实施例中，蒸发元件710的数量还可为3个、4个等，即蒸发元件710的数量可根据实际需求进行设置，在此不做过多的限制。
具体地，第二加热元件720包括第二加热件、第三加热管路和第四加热管路。其中，第三加热管路的第一端与第二加热件连通，第三加热管路的第二端与蒸发罐的第三蒸发端口连通；第四加热管路的第一端与第二加热件连通，第四加热管路的第二端与蒸发罐的第四蒸发端口连通。
在其中的一些实施例中，第二加热件包括但不限于加热器。
在其中的一些实施例中，第三加热管路、第四加热管路包括但不限于不锈钢管。
需要说明的是，第二加热元件720的数量为1个。1个第二加热元件720分别与若干个蒸发元件710连通。
进一步地，蒸发单元700还包括第七阀元件730。其中，第七阀元件730设置于与蒸发元件710连通的管路，用于控制冷凝元件210、成品罐与蒸发元件710的连通。
具体地，第七阀元件730包括第五气动隔膜阀和第六气动隔膜阀。其中，第五气动隔膜阀设置于第二冷凝管路，用于开启或者关闭冷凝元件210与蒸发元件710的连通；第六气动隔膜阀设置于蒸发元件710与成品罐的连通管路，用于开启或者关闭蒸发元件710与成品罐的连通。
进一步地，蒸发单元700还包括第八阀元件740。其中，第八阀元件740设置于第二加热管路上，用于控制蒸发元件710与第二加热元件720的连通。
具体地，第八阀元件740包括第八手动隔膜阀和第九手动隔膜阀。其中，第八手动隔膜阀设置于第三加热管路，用于开启或者关闭蒸发元件710与第二加热件的连通；第九手动隔膜阀设置于第四加热管路，用于开启或者关闭蒸发元件710与第二加热件的连通。
如图13所示，分析单元300还包括第二分析元件320。其中，第二分析元件320设置于蒸发单元700，用于分析蒸发单元700的液氨。
具体地，第二分析元件320设置于蒸发元件710，用于分析蒸发元件710的液氨。
具体地，第二分析元件320包括第二分析件和第二分析管路。其中，第二分析管路的第一端与第二蒸发端口连通，第二分析管路的第二端与第二分析件连通。
需要说明的是，第二分析元件320可对蒸发元件710内的液氨进行纯度检测，即在蒸发元件710内的液氨纯度符合标准的情况下，可将液氨输送至成品罐；在蒸发元件710内的液氨纯度不符合标准的情况下，系统启动第二加热元件720对蒸发元件710内的液氨进行加热气化，并将气化的液氨输送至一级冷凝系统、三级冷凝系统进行冷凝；此外，在蒸发元件710内的液氨过多的情况下，还可将蒸发元件710内的液氨输送至回收罐。
在其中的一些实施例中，第二分析件包括但不限于纯度分析仪。
在其中的一些实施例中，第二分析管路包括但不限于不锈钢管。
需要说明的是，第二分析元件320的数量与蒸发元件710的数量相适配。一般地，第二分析元件320的数量等于蒸发元件710的数量，即第二分析元件320与蒸发元件710一一对应。
如图14所示，回收单元400还包括第三回收元件460和第四回收元件470。其中，第三回收元件460将蒸发单元700与回收罐连通，用于将蒸发单元700内的液氨输送至回收罐；第四回收元件470将蒸发单元700与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通，用于将蒸发单元700内的气体输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统。
具体地，第三回收元件460将蒸发元件710与回收罐连通；第四回收元件470将蒸发元件710与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通。
具体地，第三回收元件460包括第四回收管路。其中，第四回收管路的第一端与蒸发元件710底部的第四蒸发端口连通，第四回收管路的第二端与回收罐连通。
在其中的一些实施例中，第四回收管路包括但不限于不锈钢管。
需要说明的是，第三回收元件460的数量与蒸发元件710的数量相适配。一般地，第三回收元件460的数量等于蒸发元件710的数量，即第三回收元件460与蒸发元件710一一对应。
具体地，第四回收元件470包括第五回收管路和第六回收管路。其中，第五回收管路的第一端与蒸发元件710顶部的第四蒸发端口连通，第五回收管路的第二端与三级冷凝系统连通；第六回收管路的第一端与第五回收管路连通，第六回收管路的第二端与一级冷凝系统连通。
在其中的一些实施例中，第五回收管路、第六回收管路包括但不限于不锈钢管。
需要说明的是，第四回收元件470的数量与蒸发元件710的数量相适配。一般地，第四回收元件470的数量等于蒸发元件710的数量，即第四回收元件470与蒸发元件710一一对应。
进一步地，回收单元400还包括第九阀元件480。第九阀元件480设置于第四回收管路，用于控制蒸发元件710与回收罐的连通。
具体地，第九阀元件480包括第十手动隔膜阀、第七气动隔膜阀和第六单向阀。其中，第十手动隔膜阀设置于第四回收管路，用于供工作人员手动关闭或者开启缓冲元件110与第四回收管路的连通；第七气动隔膜阀设置于第四回收管路并位于第六手动隔膜阀的下游，用于开关或者关闭缓冲元件110与第四回收管路的连通；第六单向阀设置于第四回收管路并位于第七气动隔膜阀的下游，用于防止进入第四管路内的液氨逆流。
需要说明的是，第九阀元件480的数量与第三回收元件460的数量相适配。一般地，第九阀元件480的数量等于第三回收元件460的数量，即第九阀元件480与第三回收元件460一一对应。
进一步地，回收单元400还包括第十阀元件490。其中，第十阀元件490设置于第五回收管路、第六回收管路，用于控制蒸发元件710与一级冷凝系统、三级冷凝系统的连通。
具体地，第十阀元件490包括第八气动隔膜阀、第七单向阀、第九气动隔膜阀和第八单向阀。其中，第八气动隔膜阀设置于第五回收管路，用于开启或者关闭蒸发元件710与三级冷凝系统的连通；第七单向阀设置于第五回收管路并位于第八气动隔膜阀的下游，用于防止进入第五回收管路内的氨气逆流；第九气动隔膜阀设置于第六回收管路，用于开启或者关闭蒸发元件710与一级冷凝系统的连通；第八单向阀设置于第六回收管路并位于第九气动隔膜阀的下游，用于防止进入第六回收管路内的氨气逆流。
需要说明的是，第十阀元件490的数量与第四回收元件470的数量相适配。一般地，第十阀元件490的数量等于第四回收元件470的数量，即第十阀元件490与第四回收元件470一一对应。
如图15所示，排废单元500还包括第二排废元件530。其中，第二排废元件530将蒸发单元700和成品罐之间的管路与尾气处理池连通，用于排出该管路内的被污染的氨气。
具体地，第二排废元件530将蒸发元件710与成品罐之间的管路与尾气处理池连通。
具体地，第二排废元件530包括第二排废管路。其中，第二排废管路的第一端与蒸发元件710和成品罐之间的管路连通，第二排废管路的第二端与尾气处理器连通。
在其中的一些实施例中，第二排废管路包括但不限于不锈钢管。
进一步地，排废单元500还包括第十一阀元件540。其中，第十一阀元件540设置于第二排废管路上，用于控制蒸发单元700和成品罐之间的管路与尾气处理器的连通。
具体地，第十一阀元件540包括第十气动隔膜阀和第九单向阀。其中，第十气动隔膜阀设置于第二排废管路，用于开启或者关闭第二排废管路与蒸发元件710和成品罐之间的管路连通；第九单向阀设置于第二排废管路并位于第七手动隔膜阀的下游，用于防止进入第二排废管路内的气体逆流。
如图16所示，泄压单元600还包括第二泄压元件650和第三泄压元件660。其中，第二泄压元件650与蒸发单元700连通，用于在蒸发单元700的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压；第三泄压元件660与蒸发单元700与成品罐之间的管路连通，用于在该管路内的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
具体地，第二泄压元件650包括第二泄压管路和第二泄压件。其中，第二泄压管路的第一端与蒸发元件710的第七蒸发端口连通，第二泄压管路的第二端与尾气处理池连通；第二泄压件设置于第二泄压管路，且第二泄压件可在蒸发元件710及管路内的压力大于1.5MPa的情况下，对蒸发元件710及管路进行泄压。
在其中的一些实施例中，第二泄压管路包括但不限于不锈钢管。
在其中的一些实施例中，第二泄压件包括但不限于安全阀。
需要说明的是，第二泄压元件650的数量与蒸发元件710的数量相适配。一般地，第二泄压元件650的数量等于蒸发元件710的数量，即第二泄压元件650与蒸发元件710一一对应。
进一步地，泄压单元600还包括第十二阀元件670。其中，第十二阀元件670设置于第二泄压管路，用于控制蒸发元件710与尾气处理器之间的连通。
具体地，第十二阀元件670包括第十一手动隔膜阀和第十单向阀。其中，第十一手动隔膜阀设置于第二泄压管路，用于开启或者关闭蒸发元件710与第二泄压管路的连通；第十单向阀设置于第二泄压管路并位于第十一手动隔膜阀的下游，用于防止进入第二泄压管路内的气体逆流。
需要说明的是，第十二阀元件670的数量与第二泄压元件650的数量相适配。一般地，第十二阀元件670的数量等于第二泄压元件650的数量，即第十二阀元件670与第二泄压元件650一一对应。
具体地，第三泄压元件660包括第三泄压管路、第三泄压件和爆破片。其中，第三泄压管路的第一端蒸发单元700与成品罐之间的管路连通，第三泄压管路的第二端与尾气处理池连通；第三泄压件设置于第三泄压管路，且第三泄压可在该管路内的压力大于1.5MPa的情况下，对管路进行泄压；爆破片设置于第三泄压管路并位于第三泄压件的上游，在管路内的压力大于1.5MPa的情况下爆破片被击穿，从而系统控制第三泄压件开启。
在其中的一些实施例中，第三泄压管路包括但不限于不锈钢管。
在其中的一些实施例中，第三泄压件包括但不限于安全阀。
进一步地，泄压单元600还包括第十三阀元件680。其中，第十三阀元件680设置于第三泄压管路，用于控制蒸发单元700与成品罐之间的管路与尾气处理器的连通。
具体地，第十三阀元件680包括第十二手动隔膜阀和第十一单向阀。其中，第十二手动隔膜阀设置于第三泄压管路，用于开启或者关闭蒸发单元700与成品罐之间的管路与尾气处理器的连通；第十一单向阀设置于第三泄压管路并位于第十二手动隔膜阀的下游，用于防止进入第三泄压管路内的气体逆流。
进一步地，冷凝装置还包括吹扫单元800。其中，吹扫单元800与蒸发单元700连通，用于对蒸发单元700及管路进行吹扫。
如图17所示，吹扫单元800包括第一吹扫元件810和第二吹扫元件820。其中，第一吹扫元件810与蒸发单元700的输入管路连通，用于对蒸发单元700进行吹扫；第二吹扫元件820与蒸发单元700的输出管路连通，用于对整个装置进行吹扫。
具体地，第一吹扫元件810与蒸发元件710的输入管路连通；第二吹扫元件820与蒸发元件710的输出管路连通。
具体地，第一吹扫元件810包括第一气体供应件和第一吹扫管路。其中，第一吹扫管路的第一端与第一气体供应件连通，第一吹扫管路的第二端与蒸发元件710连通，且第一气体供应件用于供应吹扫气体。
需要说明的是，第一气体供应件供应的吹扫气体为GN2（即为纯度高达99.999%以上的氮气）。
需要说明的是，第一吹扫管路的数量与蒸发元件710的数量相适配。一般地，第一吹扫管路的数量等于蒸发元件710的数量，即第一吹扫管路与蒸发元件710的一一对应。
具体地，第二吹扫元件820包括第二气体供应件和第二吹扫管路。其中，第二吹扫管路的第一端与第二气体供应件连通，第二吹扫管路的第二端与蒸发元件710连通，且第二气体供应件用于供应吹扫气体。
需要说明的是，第二气体供应件供应的吹扫气体为PHe（即为纯度高达99.999%以上的氦气）。
进一步地，吹扫单元800还包括第十四阀元件830。其中，第十四阀元件830设置于第一吹扫管路，用于控制第一气体供应件与蒸发元件710的连通。
具体地，第十四阀元件830包括第十二单向阀。其中，第十二单向阀设置第一吹扫管路，用于开启或者关闭第一气体供应件与蒸发元件710的连通。
需要说明的是，第十四阀元件830的数量与第一吹扫管路的数量相适配。一般地，第十四阀元件830的数量等于第一吹扫管路的数量，即第十四阀元件830与第一吹扫管路一一对应。
进一步地，吹扫单元800还包括第十五阀元件840。其中，第十五阀元件840设置于第二吹扫管路，用于控制第二气体供应件与蒸发元件710的连通。
具体地，第十五阀元件840包括第十一气动隔膜阀和第十三单向阀。其中，第十一气动隔膜阀设置于第二吹扫管路，用于开启或者关闭第二气体供应件与蒸发元件710的连通；第十三单向阀设置于第二吹扫管路并位于第十一气动隔膜阀的下游，用于防止进入第二吹扫管路的气体逆流。
本实施例的使用方法如下：
（九）液氨分析
系统打开第七阀元件730，以开启冷凝元件210与蒸发元件710的连通，使得液氨进入蒸发元件710内；
手动打开第九阀元件480，以开启第二分析元件320与蒸发元件710的连通，从而使得第二分析元件320可对蒸发元件710内的液氨进行分析。
（十）液氨输送
在液氨符合标准的情况下，系统打开第七阀元件730，以开启蒸发元件710与成品罐的连通，使得符合标准的液氨可填装入成品罐内。
（十一）第二液氨气化
在液氨不符合标准的情况下，系统打开第八阀元件740，以开启蒸发元件710与第二加热元件720的连通；
系统开启第二加热元件720，从而将蒸发元件710内的液氨气化。
（十二）第二液氨回收
在蒸发元件710内液氨过多或者被污染的情况下，系统打开第九阀元件480，以开启回收罐与蒸发元件710的连通，使得蒸发元件710内的液氨输送至回收罐内。
（十三）第二气体回收
在液氨不符合标准的情况下，系统打开第九阀元件480，以开启一级冷凝系统、三级冷凝系统于蒸发元件710的连通，使得经过第二加热元件720气化的气体可输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统进行冷凝。
（十四）第二气体排放
在液氨不符合标准的情况下，系统打开第十阀元件490，使得进入蒸发元件710与成品罐之间的管道内的气体可通过第二排废元件530排至尾气处理器中。
（十五）第二泄压
在蒸发元件710内的压力超过预设压力阈值的情况下，系统打开第十一阀元件540，使得第二泄压元件650可对蒸发元件710进行泄压；
在蒸发元件710与成品罐之间的管道内的超过预设压力阈值的情况下，系统打开第十二阀元件670，使得第三泄压元件660可对管路进行泄压。
（十六）吹扫
在需要对蒸发元件710进行吹扫的情况下，系统启动第一吹扫元件810，打开第十四阀元件830，使得吹扫气体可对蒸发元件710进行吹扫；
在需要对整个装置进行吹扫的情况下，系统启动第二吹扫元件820，打开第十五阀元件840，使得吹扫气体可对整个装置进行吹扫。
本实施例的优点在于，通过设置蒸发元件，使得经过冷凝元件得到液氨可通入蒸发元件内，使得第二分析元件可对蒸发元件内的液氨进行分析，可在蒸发元件内的液氨不符合标准的情况下，启动第二加热元件将蒸发元件内的液氨气化，通过回收单元将气体重新输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统冷凝，还可将蒸发元件内的液氨回收至回收罐内，从而对氨气在冷凝过程中出现污染的情况下，对液氨回收重新纯化；通过设置第二泄压元件和第三泄压元件，对蒸发元件及管路进行泄压，可保证整体装置的安全性。
实施例4
本实施例为实施例3的一个变形实施例。
如图18所示，泄压单元600还包括第三压力监测元件690。其中，第三压力监测元件690设置于与蒸发元件710连通的管路，用于监测蒸发元件710及管路内的压力。
具体地，第三压力监测元件690包括第三压力表和第三压力传感器。其中，第三压力表和第三压力传感器设置于与蒸发元件710连通的管路。
需要说明的是，在第三压力监测元件690监测的蒸发元件710内的压力超过1.3MPa的情况下，系统可启动装置的预警模块进行预警；在第三压力监测元件690监测的蒸发元件710内的压力超过1.5MPa的情况下，系统打开第二泄压元件650对蒸发元件710进行泄压，保证整体装置的安全性。
此外，第一压力监测元件630还包括第十三手动隔膜阀。其中，第十三手动隔膜阀设置于与第三压力监测元件690连通的管路，用于开启或者关闭第三压力监测元件690与蒸发元件710的连通。
如图19所示，吹扫单元800还包括第四压力监测元件850。其中，第四压力监测元件850设置于与第一吹扫元件810、第二吹扫元件820连通的管路，用于监测该管路内的压力。
具体地，第四压力监测元件850包括第四压力表和第四压力传感器。其中，第四压力表和第四压力传感器设置于与第二吹扫元件820连通的管路。
需要说明的是，在第四压力监测元件850监测的第二吹扫管路内的压力超过1.3MPa的情况下，系统可启动装置的预警模块进行预警；在第四压力监测元件850监测的第二吹扫管路内的压力超过1.5MPa的情况下，系统打开第三泄压元件660对第二吹扫管路进行泄压，保证整体装置的安全性。
此外，第四压力监测元件850还包括第十四手动隔膜阀。其中，第十四手动隔膜阀设置于与第四压力监测元件850连通的管路，用于开启或者关闭第四压力监测元件850与第二吹扫管路的连通。
本实施例的使用方法与实施例3相同，在此不再赘述。
本实施例的优点在于，通过设置第三压力监测元件和第四压力监测元件，对蒸发元件710即管路内的压力进行实时监测，在蒸发元件及管路内的压力过高的情况下，系统可打开泄压单元对蒸发元件及管路进行泄压，从而保证整个装置的安全性。
实施例5
本实施例涉及本发明的冷凝方法，应用于如实施例1~实施例4所述的冷凝装置。
本发明的一个示意性实施例，一种冷凝方法，包括：
（一）吹扫
系统启动第一吹扫元件810、第二吹扫元件820，打开第十四阀元件830、第十五阀元件840，使得吹扫气体可对蒸发元件710以及整个装置进行吹扫。
（二）气体供应
手动打开第一阀元件130，使得氨气源与缓冲元件110连通，从而使得氨气进入缓冲元件110内。
（三）氨气分析
系统启动第一分析元件310，使得第一分析元件310对缓冲元件110内的氨气进行分析，判断缓冲元件110内的氨气是否被污染。
（四）第一液氨气化
手动打开第二阀元件140，使得缓冲元件110底部的液氨进入第一加热元件120，系统启动第一加热元件120，对液氨加热气化并重新输送至缓冲元件110内。
（五）氨气冷凝
在缓冲元件110内的氨气没有被污染的情况下，系统启动冷凝元件210，从而对进入冷凝元件210的氨气进行冷凝并得到液氨。
（六）第一液氨回收
在缓冲元件110内的液氨被污染或者缓冲元件110内液氨过多的情况下，打开第三阀元件430，使得液氨可流向回收罐内。
（七）第一气体回收
打开第四阀元件440，可将缓冲元件110内的达标的氨气可通入一级冷凝系统、三级冷凝系统重新冷凝，实现对达标的氨气的回收。
（八）第一气体排放
在缓冲元件110内的氨气被污染的情况下，打开第五阀元件520，使得被污染的氨气可通向尾气处理器中。
（九）第一泄压
在缓冲元件110及管路内的压力超过预设压力的情况下，系统打开第六阀元件620，使得缓冲元件110及管路内的气体进行泄压。
（十）液氨分析
系统打开第七阀元件730，以开启冷凝元件210与蒸发元件710的连通，使得液氨进入蒸发元件710内；
手动打开第九阀元件480，以开启第二分析元件320与蒸发元件710的连通，从而使得第二分析元件320可对蒸发元件710内的液氨进行分析。
（十一）液氨输送
在液氨符合标准的情况下，系统打开第七阀元件730，以开启蒸发元件710与成品罐的连通，使得符合标准的液氨可填装入成品罐内。
（十二）第二液氨气化
在液氨不符合标准的情况下，系统打开第八阀元件740，以开启蒸发元件710与第二加热元件720的连通；
系统开启第二加热元件720，从而将蒸发元件710内的液氨气化。
（十三）第二液氨回收
在蒸发元件710内液氨过多或者被污染的情况下，系统打开第九阀元件480，以开启回收罐与蒸发元件710的连通，使得蒸发元件710内的液氨输送至回收罐内。
（十四）第二气体回收
在液氨不符合标准的情况下，系统打开第九阀元件480，以开启一级冷凝系统、三级冷凝系统与蒸发元件710的连通，使得经过第二加热元件720气化的气体可输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统进行冷凝。
（十五）第二气体排放
在液氨不符合标准的情况下，系统打开第十阀元件490，使得进入蒸发元件710与成品罐之间的管道内的气体可通过第二排废元件530排至尾气处理器中。
（十六）第二泄压
在蒸发元件710内的压力超过预设压力阈值的情况下，系统打开第十二阀元件670，使得第二泄压元件650可对蒸发元件710进行泄压；
在蒸发元件710与成品罐之间的管道内的超过预设压力阈值的情况下，系统打开第十三阀元件680，使得第三泄压元件660可对管路进行泄压。
更具体地，本实施例的冷凝方法如下：
（1）系统启动第一吹扫元件810、第二吹扫元件820，打开第十一气动隔膜阀、第五手动隔膜阀，使得吹扫气体可通过第十二单向阀、第十三单向阀进入蒸发元件710及管路内，并对蒸发元件710及整个装置进行吹扫。
（2）手动打开第一手动隔膜阀，使得氨气源与缓冲元件110连通，从而使得氨气进入缓冲元件110内。
（3）系统启动第一分析元件310，使得第一分析元件310对缓冲元件110内的氨气进行分析，判断缓冲元件110内的氨气是否被污染。
（4）手动打开第二手动隔膜阀，使得缓冲元件110底部的液氨进入第一加热元件120，系统启动第一加热元件120，对液氨加热气化并重新输送至缓冲元件110内。
（5）在缓冲元件110内的氨气没有被污染的情况下，系统启动冷凝元件210，从而对进入冷凝元件210的氨气进行冷凝并得到液氨。
（6）在缓冲元件110内的液氨被污染或者缓冲元件110内液氨过多的情况下，打开第三手动隔膜阀、第一气动隔膜阀，使得液氨可通过第一单向阀流向回收罐内。
（7）缓冲元件110内的达标的氨气可通过第二单向阀通入三级冷凝系统内重新冷凝，实现对达标的氨气的回收。
（8）打开第二气动隔膜阀，缓冲元件110内的达标的氨气还可通过第三单向阀通入一级冷凝系统内重新冷凝。
（9）在缓冲元件110内的氨气被污染的情况下，打开第三气动隔膜阀，使得被污染的氨气可通过第四单向阀通向尾气处理器中。
（10）在缓冲元件110及管路内的压力超过预设压力的情况下，系统打开第四气动隔膜阀，使得缓冲元件110及管路内的气体可通过第一泄压件、第五单向阀进行泄压。
（11）在第一分析元件310所检测的氨气符合标准的情况下，系统打开第五气动隔膜阀，以开启冷凝元件210与蒸发元件710的连通，使得液氨进入蒸发元件710内；
手动打开第六手动隔膜阀，以开启第二分析元件320与蒸发元件710的连通，从而使得第二分析元件320可对蒸发元件710内的液氨进行分析。
（12）在液氨符合标准的情况下，系统打开第六气动隔膜阀，以开启蒸发元件710与成品罐的连通，使得符合标准的液氨可填装入成品罐内。
（13）在液氨不符合标准的情况下，系统打开第五手动隔膜阀并启动第二加热元件720，以开启蒸发元件710与第二加热元件720的连通，从而将蒸发元件710内的液氨气化。
（14）在蒸发元件710内液氨过多或者被污染的情况下，系统打开第六手动隔膜阀、第七气动隔膜阀，以开启回收罐与蒸发元件710的连通，使得蒸发元件710内的液氨可通过第六单向阀输送至回收罐内。
（15）在液氨不符合标准的情况下，系统打开第八气动隔膜阀，以开启一级冷凝系统与蒸发元件710的连通，使得经过第二加热元件720气化的气体可通过第七单向阀输送至一级冷凝系统进行冷凝；
还可打开第九气动隔膜阀，以开启三级冷凝系统与蒸发元件710的连通，使得经过第二加热元件720气化的气体可通过第八单向阀输送至三级冷凝系统进行冷凝。
（16）在液氨不符合标准的情况下，系统打开第十气动隔膜阀，使得进入蒸发元件710与成品罐之间的管道内的气体可通过第九单向阀排至尾气处理器中。
（17）在蒸发元件710内的压力超过预设压力阈值的情况下，系统打开第七手动隔膜阀，可通过第二泄压件、第十单向阀对蒸发元件710进行泄压。
（18）在蒸发元件710与成品罐之间的管道内的超过预设压力阈值的情况下，系统打开第八手动隔膜阀，可通过第三泄压件、第十一单向阀对管路进行泄。
实施例6
本实施例为本发明的一个具体实施方式，与实施例1~实施例4相对应。
一种冷凝系统，包括缓冲模块、冷凝模块、分析模块、回收模块、排废模块、泄压模块、蒸发模块和吹扫模块。
其中，缓冲模块包括缓冲柱（BUFFER-1）、加热器（H-01）、手动隔膜阀（MV01、MV02、MV03、MV04）、液位计（LS01）、压力表（PG01）、压力传感器（PT01）。
其中，冷凝模块包括冷凝器（C-1211）。
其中，分析模块包括分析仪（TIA01、TIA02）。
其中，回收模块包括手动隔膜阀（MV05、MV011、MV19）、气动隔膜阀（AV01、AV04、AV06、AV07、AV08、AV12、AV13、AV015）、单向阀（CV04、CV06、CV08、CV09、CV010、CV13、CV14、CV15、CV19）、压力表（PG02）、压力传感器（PT02）。
其中，排废模块包括气动隔膜阀（AV02）、单向阀（CV02、CV17）、手动隔膜阀（MV27）
其中，泄压模块包括手动隔膜阀（MV07、MV15、MV23、MV26）、安全阀（SV01、SV02、SV03、SV04）、单向阀（CV03 、CV07、CV11、CV16）、爆破片（PRD）。
其中，蒸发模块包括蒸发罐（V-1212A、V-1212B）、加热器（H-02）、手动隔膜阀（MV10、MV12、MV18、MV20）、气动隔膜阀（AV05、AV09、AV11、AV14）、压力表（PG03、PG04）、压力传感器（PT03、PT04）。
其中，吹扫模块包括吹扫气体（1ST REBOILER ZONE、ABSORBER ZONE）、气动隔膜阀（AV17）、单向阀（CV05、CV12、CV18）、压力表（PG05）、压力传感器（PT05）。
本实施例的使用方法如下：
（1）系统启动ST REBOILER ZONE、ABSORBER ZONE，打开第AV17、MV10、MV18，使得吹扫气体可通过第CV05、CV12、CV18进入V-1212A、V-1212B及管路内，并对V-1212A、V-1212B及整个装置进行吹扫。
（2）手动打开MV01、MV02，使得ABSORBER PACKAGE与BUFFER-1连通，从而使得氨气进入BUFFER-1内。
（3）系统启动TIA01，使得TIA01对BUFFER-1内的氨气进行分析，判断BUFFER-1内的氨气是否被污染。
（4）手动打开MV03、MV04，使得BUFFER-1底部的液氨进入H-01，系统启动H-01，对液氨加热气化并重新输送至BUFFER-1内。
（5）在BUFFER-1内的氨气没有被污染的情况下，系统启动C-1211，从而对进入C-1211的氨气进行冷凝并得到液氨。
（6）在BUFFER-1内的液氨被污染或者BUFFER-1内液氨过多的情况下，打开MV05、AV01，使得液氨可通过CV19流向回收罐内。
（7）BUFFER-1内过多的达标的氨气可通过CV04通入三级冷凝系统内重新冷凝，实现对达标的氨气的回收。
（8）打开AV06，缓冲元件110内的达标的氨气还可通过CV10通入一级冷凝系统内重新冷凝。
（9）在BUFFER-1内的氨气被污染的情况下，打开AV02，使得被污染的氨气可通过CV02通向尾气处理器中。
（10）在BUFFER-1及管路内的压力超过预设压力的情况下，系统打开MV07，使得缓冲元件110及管路内的气体可通过SV01、CV03进行泄压。
（11）在第TIA01所检测的氨气符合标准的情况下，系统打开AV09，以开启C-1211与V-1212A、V-1212B的连通，使得液氨进入V-1212A、V-1212B内；
系统启动TIA02，从而使得TIA02可对V-1212A、V-1212B内的液氨进行分析。
（12）在液氨符合标准的情况下，系统打开AV14，以开启V-1212A、V-1212B与成品罐的连通，使得符合标准的液氨可填装入成品罐内。
（13）在液氨不符合标准的情况下，系统打开MV10、MV12、MV18、MV20并启动H-02，以开启V-1212A、V-1212B件与H-02的连通，从而将V-1212A、V-1212B内的液氨气化。
（14）在V-1212A、V-1212B内液氨过多或者被污染的情况下，系统打开MV11、AV04、MV19、AV15，以开启回收罐与V-1212A、V-1212B的连通，使得V-1212A、V-1212B内的液氨可通过CV06、CV13输送至回收罐内。
（15）在液氨不符合标准的情况下，系统打开AV08，以开启三级冷凝系统与V-1212A、V-1212B的连通，使得经过H-02气化的气体可通过CV08输送至三级冷凝系统进行冷凝；
还可打开AV08、AV07，以开启一级冷凝系统与V-1212A、V-1212B的连通，使得经过H-02气化的气体可通过CV09输送至三级冷凝系统进行冷凝。
（16）在液氨不符合标准的情况下，系统打开AV16，使得进入V-1212A、V-1212B与成品罐之间的管道内的气体可通过CV17排至尾气处理器中。
（17）在V-1212A、V-1212B内的压力超过预设压力阈值的情况下，系统打开MV15、MV23，可通过SV02、CV07、SV03、CV11对蒸发元件710进行泄压。
（18）在V-1212A、V-1212B与成品罐之间的管道内的超过预设压力阈值的情况下，系统打开MV26，PRD被击穿，从而使得SV04、CV16对管路进行泄。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (8)
1.一种冷凝装置，应用于超纯氨气冷凝，其特征在于，包括：
缓冲单元，所述缓冲单元与氨气源连通，用于获取并缓冲氨气；
冷凝单元，所述冷凝单元与所述缓冲单元连通，用于冷凝氨气得到液氨；
分析单元，所述分析单元与所述缓冲单元连通，用于对氨气进行分析；
回收单元，所述回收单元与所述缓冲单元连通，用于回收液氨及氨气；
排废单元，所述排废单元与所述缓冲单元连通，用于排出所述缓冲单元中的废气；
泄压单元，所述泄压单元与所述缓冲单元连通，用于在所述缓冲单元的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压；
蒸发单元，所述蒸发单元分别与所述冷凝单元、所述分析单元、所述回收单元、所述排废单元、所述泄压单元连通，用于获取并传输液氨至成品罐；
吹扫单元，所述吹扫单元与所述蒸发单元连通，用于对所述蒸发单元及管路进行吹扫；
其中，所述缓冲单元包括：
缓冲元件，所述缓冲元件分别与氨气源、所述冷凝单元、所述分析单元、所述回收单元、所述排废单元、所述泄压单元连通，用于获取氨气、缓冲氨气以及传输氨气至所述冷凝单元；
第一加热元件，所述第一加热元件与所述缓冲元件连通，用于对所述缓冲元件因氨气冷凝产生的液氨进行加热气化；
其中，所述分析单元包括：
第一分析元件，所述第一分析元件与所述缓冲单元连通，用于分析所述缓冲单元的氨气；
第二分析元件，所述第二分析元件设置于所述蒸发单元，用于分析所述蒸发单元的液氨。
2.根据权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于， 所述冷凝单元包括：
冷凝元件，所述冷凝元件与所述缓冲单元连通并位于所述缓冲单元的下游，用于冷凝氨气得到液氨；和/或
所述回收单元包括：
第一回收元件，所述第一回收元件将所述缓冲单元与回收罐连通，用于回收所述缓冲单元的液氨；
第二回收元件，所述第二回收元件将所述缓冲单元与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通，用于回收所述缓冲单元的氨气；和/或
所述排废单元包括：
第一排废元件，所述第一排废元件将所述缓冲单元与尾气处理池连通，用于排出所述缓冲单元的被污染的氨气；和/或
所述泄压单元包括：
第一泄压元件，所述第一泄压元件与所述缓冲单元连通，用于在所述缓冲单元的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压。
3.根据权利要求2所述的冷凝装置，其特征在于，所述缓冲单元还包括：
液位监测元件，所述液位监测元件设置于所述缓冲元件，用于监测所述缓冲元件的液氨的液位；和/或
所述泄压单元还包括：
第一压力监测元件，所述第一压力监测元件设置于与所述缓冲单元连通的管路，用于监测该管路的压力；和/或
所述回收单元还包括：
第二压力监测元件，所述第二压力监测元件设置于所述第二回收元件连通的管路，用于监测该管路的压力。
4.根据权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，
所述回收单元还包括：
第三回收元件，所述第三回收元件将所述蒸发单元与回收罐连通，用于将所述蒸发单元内的液氨输送至回收罐；
第四回收元件，所述第四回收元件将所述蒸发单元与一级冷凝系统、三级冷凝系统连通，用于将所述蒸发单元的气体输送至一级冷凝系统或者三级冷凝系统；和/或
所述排废单元还包括：
第二排废元件，所述第二排废元件将所述蒸发单元和成品罐之间的管路与尾气处理池连通，用于排出该管路内的被污染的氨气；和/或
所述泄压单元还包括：
第二泄压元件，所述第二泄压元件与所述蒸发单元连通，用于在所述蒸发单元的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压；
第三泄压元件，所述第三泄压元件与所述蒸发单元与成品罐之间的管路连通，用于在该管路内的压力达到预设压力阈值的情况下进行泄压；和/或
所述蒸发单元包括：
至少一蒸发元件，所述蒸发元件与所述冷凝单元连通，用于存储液氨；
第二加热元件，所述第二加热元件与所述蒸发元件连通，用于对所述蒸发元件的液氨进行加热气化。
5.根据权利要求4所述的冷凝装置，其特征在于，所述泄压单元还包括：
第三压力监测元件，所述第三压力监测元件设置于与所述蒸发元件连通的管路，用于监测所述蒸发元件及管路的压力。
6.根据权利要求1所述的冷凝装置，其特征在于，所述吹扫单元包括：
第一吹扫元件，所述第一吹扫元件与所述蒸发单元的输入管路连通，用于对所述蒸发单元进行吹扫；
第二吹扫元件，所述第二吹扫元件与所述蒸发单元的输出管路连通，用于对整个装置进行吹扫。
7.根据权利要求6所述的冷凝装置，其特征在于，所述吹扫单元还包括：
第四压力监测元件，所述第四压力监测元件设置于分别与所述第一吹扫元件、所述第二吹扫元件连通的管路，用于监测该管路内的压力。
8.一种冷凝方法，其特征在于，应用于如权利要求1~7任一所述的冷凝装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311260674.0A CN116983704B (zh) | 2023-09-27 | 2023-09-27 | 一种冷凝装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311260674.0A CN116983704B (zh) | 2023-09-27 | 2023-09-27 | 一种冷凝装置及方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116983704A CN116983704A (zh) | 2023-11-03 |
| CN116983704B true CN116983704B (zh) | 2023-12-22 |
Family
ID=88525286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311260674.0A Active CN116983704B (zh) | 2023-09-27 | 2023-09-27 | 一种冷凝装置及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116983704B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117231912A (zh) * | 2023-09-20 | 2023-12-15 | 上海良薇机电工程有限公司 | 一种液氨充装装置、方法及半导体工艺系统 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6217633B1 (en) * | 1997-12-01 | 2001-04-17 | Nippon Sanso Corporation | Method and apparatus for recovering rare gas |
| CN107050912A (zh) * | 2017-01-13 | 2017-08-18 | 陕西延长石油（集团）有限责任公司 | 一种气相冷凝液体回收系统及方法 |
| CN209043849U (zh) * | 2018-09-07 | 2019-06-28 | 苏州金宏气体股份有限公司 | 氨气的在线分析系统 |
| CN111649540A (zh) * | 2020-05-29 | 2020-09-11 | 扬州秦风气体有限公司 | 一种基于空分系统的氩气回收方法及系统 |
| WO2021227041A1 (zh) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 光纤制造冷却管氦气回收系统 |
| CN218248580U (zh) * | 2022-08-29 | 2023-01-10 | 浙江英德赛半导体材料股份有限公司 | 超纯氨精馏设备 |
| CN218434914U (zh) * | 2021-09-24 | 2023-02-03 | 苏州回能环保科技有限公司 | 一种光纤预制棒的氦气回收装置 |
-
2023
- 2023-09-27 CN CN202311260674.0A patent/CN116983704B/zh active Active
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6217633B1 (en) * | 1997-12-01 | 2001-04-17 | Nippon Sanso Corporation | Method and apparatus for recovering rare gas |
| CN107050912A (zh) * | 2017-01-13 | 2017-08-18 | 陕西延长石油（集团）有限责任公司 | 一种气相冷凝液体回收系统及方法 |
| CN209043849U (zh) * | 2018-09-07 | 2019-06-28 | 苏州金宏气体股份有限公司 | 氨气的在线分析系统 |
| WO2021227041A1 (zh) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | 安徽万瑞冷电科技有限公司 | 光纤制造冷却管氦气回收系统 |
| CN111649540A (zh) * | 2020-05-29 | 2020-09-11 | 扬州秦风气体有限公司 | 一种基于空分系统的氩气回收方法及系统 |
| CN218434914U (zh) * | 2021-09-24 | 2023-02-03 | 苏州回能环保科技有限公司 | 一种光纤预制棒的氦气回收装置 |
| CN218248580U (zh) * | 2022-08-29 | 2023-01-10 | 浙江英德赛半导体材料股份有限公司 | 超纯氨精馏设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116983704A (zh) | 2023-11-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN116983704B (zh) | 一种冷凝装置及方法 | |
| CN112661114A (zh) | 电子级溴化氢精馏纯化方法 | |
| CN112648536A (zh) | 补液式油气混输装置 | |
| CN220125529U (zh) | 一种样品检测用蒸馏装置 | |
| CN116983815B (zh) | 一种吸附过滤装置、方法及半导体工艺系统 | |
| WO1997011324A1 (en) | Method and apparatus for refrigerant purge gas separation | |
| CN107641535A (zh) | 膜深冷耦合分离提纯多种气体的装置及方法 | |
| CN204275753U (zh) | 一种精馏罐区尾气回收系统 | |
| CN117230295A (zh) | 一种钢瓶处理装置及方法 | |
| CN111547685B (zh) | 封闭空间内低浓度sf6气体回收处理装置和方法 | |
| CN109202069B (zh) | 硬质合金脱脂设备及方法 | |
| CN117231912A (zh) | 一种液氨充装装置、方法及半导体工艺系统 | |
| CN211585279U (zh) | 油气冷凝系统 | |
| CN222612942U (zh) | 一种用于氢气的回收提纯设备、尾气处理系统及半导体工艺系统 | |
| CN118649531B (zh) | 一种尾气回收处理装置、方法、设备及半导体工艺系统 | |
| CN114590786B (zh) | 全自动高效纯化装置及纯化方法 | |
| CN204437683U (zh) | 硅烷纯化装置与灌装系统 | |
| CN112678776A (zh) | 电子级氯化氢精馏纯化方法 | |
| CN207180156U (zh) | 一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置 | |
| CN116973524B (zh) | 一种纯度分析装置、方法及半导体工艺系统 | |
| CN221754241U (zh) | 一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统 | |
| TW201143873A (en) | Organic solvent condensate recovery device | |
| CN111855324A (zh) | 一种用于天然气汞含量检测的天然气样品采集方法 | |
| CN223180133U (zh) | 一种混合气体浓度检测装置、系统和半导体工艺设备 | |
| CN221638097U (zh) | 一种还原装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Application publication date: 20231103 Assignee: Shanghai Ketuosen Precision Machinery Manufacturing Co.,Ltd. Assignor: Shanghai Liangwei Electromechanical Engineering Co.,Ltd. Contract record no.: X2024980016799 Denomination of invention: A condensing device and method Granted publication date: 20231222 License type: Common License Record date: 20240930 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: A condensing device and method Granted publication date: 20231222 Pledgee: Agricultural Bank of China Limited Shanghai Chongming Branch Pledgor: Shanghai Liangwei Electromechanical Engineering Co.,Ltd. Registration number: Y2024310001033 |