CN111272351A - 一种真空系统漏点快速非接触检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种真空系统漏点快速非接触检测方法，包括，在真空系统待检测区域施加低沸点液体；对真空系统待检测区域所处环境中各处温度进行探测；根据所探测到低温位点集聚区域定位真空系统漏点。该方法操作简单，定位速度快，检测效率高，抗干扰能力强，检测成本低，适合快速对大型真空系统进行漏点定位，适合推广使用。
Description
技术领域
本发明属于真空工程领域，具体地说涉及一种真空系统漏点快速非接触检测方法。
背景技术
近几年，真空设备行业得到了长足的发展，在产值、品种、规格和综合技术水平上都取得了客观的成绩。真空设备的优劣关键表现在真空泄漏率上，随之带来的问题便是如何进行真空设备的检漏。
复杂真空结构的漏点快速定位检测是真空工程应用中的难题，目前的真空泄漏检测手段主要有氦质谱检漏法、气泡检漏法、卤素检漏法等，氦质谱检漏法和卤素检漏法检漏工艺复杂，不能实现对真空泄漏源的在线检测，气泡检漏法利用漏孔两侧的压力差，气泡会出现在漏孔处，同样不适合在线检测。
因此，现有技术有待于进一步改进和发展。
发明内容
针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种真空系统漏点快速非接触检测方法，。
本发明提供如下技术方案：
一种真空系统漏点快速非接触检测方法，包括：
在真空系统待检测区域施加低沸点液体；
对真空系统待检测区域所处环境中各处温度进行探测；
根据所探测到低温位点集聚区域定位真空系统漏点。
优选的，低沸点液体施加方式为涂施于真空系统待检测区域表面，或在真空系统待检测区域上方喷洒。
优选的，所述低沸点液体包括酒精。
优选的，通过热成像或温度探头对真空系统待检测区域的各处温度进行探测。
优选的，基于所探测到环境中各位点间温度差确定低温位点集聚区域，所述低温位点集聚区域与周围环境温度差大于15℃。
优选的，基于所预设的温度阈值确定低温位点，将低于温度阈值的位点计算为低温位点集聚区域，所述预设温度阈值为0℃。
有益效果：
本发明提供了一种真空系统漏点快速非接触检测方法，该方法操作简单，定位速度快，检测效率高，抗干扰能力强，检测成本低，适合快速对大型真空系统进行漏点定位，适合推广使用。
附图说明
图1是本发明具体实施例中一种真空系统漏点快速费接触检测方法的步骤图；
图2是本发明具体实施例中一种真空系统漏点快速非接触检测方法具体流程图；
具体实施方式
为了使本领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合本发明的附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。
如图1所示为本发明提供一种真空系统漏点快速非接触检测方法，包括：
S100在真空系统待检测区域施加低沸点液体，具体的，低沸点液体施加方式为涂施于真空系统待检测区域表面，或在真空系统待检测区域上方喷洒，确保整个被检测区域表面均存在低沸点液体，所述低沸点液体包括酒精；
S200对真空系统待检测区域所处环境中各处温度进行探测，具体的，通过热成像或温度探头对真空系统待检测区域的各处温度进行探测；
具体的，基于所探测到环境中各位点间温度差确定低温位点集聚区域，所述低温位点集聚区域与周围环境温度差大于15℃；
具体的，基于所预设的温度阈值确定低温位点，将低于温度阈值的位点计算为低温位点集聚区域，所述预设温度阈值为0℃；
S300根据所探测到低温位点集聚区域定位真空系统漏点，整个检测过程中，若真空系统存在漏点，由于系统内外存在压力差，酒精会通过漏孔向真空内部高速流动，在高速流动过程中，由于真空内外压差的急剧变化，产生相变，由液态转化为气态，整个过程会大量吸热，造成漏孔附近局部温度急剧下降，此时热成像仪进行探测，若探测到明显低于附近环境温度的巨大温度差区域，则对该区域进行进一步分析，整个区域内温度最低点所在位置即为待测区域漏点部分。
以下为本发明具体是实施例：
如图2所示为本发明提供一种真空系统漏点快速非接触检测方法，
P1、开始；
P2、施加酒精，在真空待检测区域上方喷洒酒精或将酒精涂施与待检测区域表面，确保整个被检测区域表面均存在酒精；
P3、热成像仪成像，通过热成像仪形成整个真空系统待检测区域的热成像图；
P4、查找所示图像区域中是否存在低温区域，如果存在，则执行步骤P5，如果不存在，则执行步骤P7；
P5、查找低温区域中温度最低点，通过图像对低温区域进行放大分析，直到判断出低温区域中温度最低点；
P6、对应温度最低位点定位漏点，确定最低点后，判断该位点在真空系统待检测区域的位置，来确定待测系统中漏点位置；
P7、结束。
以上已将本发明做一详细说明，以上所述，仅为本发明之较佳实施例而已，当不能限定本发明实施范围，即凡依本申请范围所作均等变化与修饰，皆应仍属本发明涵盖范围内。
Claims (8)
1.一种真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，包括：
在真空系统待检测区域施加低沸点液体；
对真空系统待检测区域所处环境中各处温度进行探测；
根据所探测到低温位点集聚区域定位真空系统漏点。
2.根据权利要求1所述的真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，低沸点液体施加方式为涂施于真空系统待检测区域表面，或在真空系统待检测区域上方喷洒。
3.根据权利要求1所述的真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，所述低沸点液体包括酒精。
4.根据权利要求1所述的真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，通过热成像或温度探头对真空系统待检测区域的各处温度进行探测。
5.根据权利要求1所述的真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，基于所探测到环境中各位点间温度差确定低温位点集聚区域。
6.根据权利要求5所述的真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，低温位点集聚区域与周围环境温度差大于15℃。
7.根据权利要求1所述的真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，基于所预设的温度阈值确定低温位点，将低于温度阈值的位点计算为低温位点集聚区域。
8.根据权利要求7所述的真空系统漏点快速非接触检测方法，其特征在于，预设温度阈值为0℃。
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| CN202010195517.6A CN111272351B (zh) | 2020-03-19 | 2020-03-19 | 一种真空系统漏点快速非接触检测方法 |
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Citations (5)
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|---|---|---|---|---|
| WO2006018154A1 (de) * | 2004-08-19 | 2006-02-23 | Audi Ag | Verfahren zur diagnose des kraftstoffversorgungssystems einer brennkraftmaschine |
| CN104458130A (zh) * | 2014-12-01 | 2015-03-25 | 华北水利水电大学 | 基于地温数据探测岩土体多重集中渗漏位置的方法 |
| CN107941514A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-04-20 | 华电电力科学研究院 | 基于气体状态方程的在线监测汽轮机真空严密性装置及其运行方法 |
| CN108827554A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-16 | 安庆市晶科电子有限公司 | 一种晶体管密封检测方法 |
| CN110823461A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-21 | 深圳市特种设备安全检验研究院 | 安全阀检验装置 |
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2020
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006018154A1 (de) * | 2004-08-19 | 2006-02-23 | Audi Ag | Verfahren zur diagnose des kraftstoffversorgungssystems einer brennkraftmaschine |
| CN104458130A (zh) * | 2014-12-01 | 2015-03-25 | 华北水利水电大学 | 基于地温数据探测岩土体多重集中渗漏位置的方法 |
| CN107941514A (zh) * | 2017-12-19 | 2018-04-20 | 华电电力科学研究院 | 基于气体状态方程的在线监测汽轮机真空严密性装置及其运行方法 |
| CN108827554A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-16 | 安庆市晶科电子有限公司 | 一种晶体管密封检测方法 |
| CN110823461A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-21 | 深圳市特种设备安全检验研究院 | 安全阀检验装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 靳朋礼 等: "真空镀膜设备的简易快捷酒精检漏的有效性研究", 《真空》 * |
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