CN212963542U - 一种供应化学品定容器的配比装置 - Google Patents
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- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 74
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- -1 Polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims abstract 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims abstract 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 11
- 238000013022 venting Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种供应化学品定容器的配比装置，该装置主要包括骨架、操控面板、化学研磨液混合供应装置、化学品定容器、压力监测表、液位传感器、排气装置及相关控制阀。操控面板用于控制整个设备系统自动化运作；化学研磨液混合供应装置是用于生产中研磨液配比及供应储存使用；化学品定容器的材质为聚四氟乙烯(PFA)具有耐腐蚀、耐压的特性，主要用于化学品中转储存和定容定量，然后再经氮气驱动化学品供应到化学研磨液混合供应装置中混合配比；压力监测表用于氮气输入和化学品定容器的压力监测，本实用新型解决了化学研磨液的调配过程中化学品注入容量不精确，流速不稳定的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学机械研磨液的配比方法，具体为一种供应化学品的定容器配比装置。
背景技术
在集成电路应用多元化的趋势下，大部分半导体企业的产品呈现多样化，对制造一线的企业提出了更高更快制造技术要求。化学机械研磨是半导体制造的关键环节，针对不同半导体晶片使用化学研磨液的浓度也各不相同，这就需要一台设备可以在有限的间隔期内，同时满足各种浓度下化学研磨液的配比供应，为企业在不同产品和同一产品的不同制造阶段提供了快速切换化学机械研磨液，不仅极大的提升了生产效率，同时还大幅降低了产品的不良率，实实在在为企业节省和延缓设备的更新换代带来的成本上升，真正做到一台设备多种用途的使用场景。
实用新型内容
本实用新型提供了一种供应化学品的定容器配比装置，主要包括骨架(101)、操控面板(102)、化学研磨液混合供应装置(103)、化学品定容器(104)、压力监测表(105)、排气装置(106)、液位传感器A (201)、液位传感器B(202)、液位传感器C(203)、液位传感器D(204)、控制阀A(206)、控制阀B(207)、控制阀C(208)、控制阀D(209)。该装置是由化学品通过管道(302)及管道中的控制阀输入到化学品定容器(104)并且受控于安装在化学品定容器上的四个液位传感器，当化学品定容器(104)内化学品达到预设液位传感器的位置，化学品停止输入，并且会通过化学品定容器(104)右侧边的溢流管道及控制阀排出多余的化学品，确保化学品达到精确的定容定量；在完成化学品定容定量的情况下，再通过化学研磨液混合供应装置(103)接入压缩氮气到化学品定容器(104)，进而驱动已经完成定容定量的化学品输入到化学研磨液混合供应装置(103)中进行研磨液的混合配比。
进一步优化的是，所述四个液位传感器分别为液位传感器A(201)、液位传感器B(202)、液位传感器C(203)、液位传感器D(204)，主要用于控制配比不同浓度化学品的容量。
进一步优化的是，所述四段溢流管分为溢流管(303)、溢流管(304)、溢流管(305)、溢流管(306)，主要用于排出多余的化学品，确保化学品达到精确的定容定量。
进一步优化的是，所述四个控制阀分别为控制阀A(206)、控制阀B(207)、控制阀C(208)、控制阀 D(209)，四个控制阀对应四种不同的化学品定容定量，正常启动工作中只允许单个溢流管对应的控制阀是开启状态，其余三个溢流管对应的控制阀是处于关闭状态。
本实用新型的有益效果
本实用新型解决了企业在不同产品和同一产品的不同制造阶段提供了快速切换化学机械研磨液，实现了在同一台化学机械研磨液的设备中可以调配多种化学品浓度比值的研磨液来供应化学机械研磨设备，真正做到一台设备多种用途的使用场景。
附图说明
图1为本实用新型的供应化学品的定容器配比装置结构及原理示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型作进一步说明，通过实施例的方式详细地描述本实用新型提供的供应化学品的定容器配比装置。
实施例一
请参阅附图1，本实施例是一种供应化学品的定容器配比装置的第一种化学研磨液的配比方案，具体实施如下：首先由外部供应的化学品通过管道(302)及管道中的控制阀输入到化学品定容器(104)，此时只有化学品定容器(104)右侧边的溢流管道(303)、控制阀A(206)及液位传感器A(201)处于开启和激活状态，其余控制阀B(207)、控制阀B(208)、控制阀B(209)及液位传感器(202)、位传感器(203)、位传感器(204)都处于关闭状态，在液位传感器(201)监测溢流化学品时，外部化学品停止供应，多余的化学品通过溢流管道(201)、控制阀A(206)及排废管道(307)排出，进而得到精确容量的化学品，在完成化学品定容定量的情况下，再通过化学研磨液混合供应装置(103)经管道(301)及相应控制阀接入压缩氮气到化学品定容器(104)，进而驱动已经完成定容定量的化学品经管道(308)及相应控制阀输入到化学研磨液混合供应装置(103)中进行研磨液的混合配比，从而完成第一种方案的化学研磨液的配比，其余方案二、三，四的原理同上。最后在化学品定容器(104)检修时，还可通过液位传感器E(205)监测和相应控制阀及管道(307)来排空剩余容器内的化学品。
在此需要说明的是，以上实施例仅用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化、修改、替换、整合和变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由权利要求所限定。
Claims (4)
1.一种供应化学品定容器的配比装置，其特征在于，主要包括骨架(101)、操控面板(102)、化学研磨液混合供应装置(103)管道连接化学品定容器(104)，通过压力监测表(105)、液位传感器A(201)、液位传感器B(202)、液位传感器C(203)、液位传感器D(204)、控制阀A(206)、控制阀B(207)、控制阀C(208)、控制阀D(209)来控制定容器配比装置，排气装置(106)用于设备泄压。
2.根据权利要求1所述一种供应化学品定容器的配比装置，其特征在于，化学品定容器(104)的材质为聚四氟乙烯(PFA)，主要用于化学品中转储存和定容定量。
3.根据权利要求1所述一种供应化学品定容器的配比装置，其特征在于，压力监测表(105)用于监测氮气压驱动化学品输出过程中压力变化，以便及时控制排气装置(106)来泄压。
4.根据权利要求1所述一种供应化学品定容器的配比装置，其特征在于，当化学品定容器(104)液位依次分别设定在液位传感器A(201)、B(202)、C(203)、D(204)时，化学研磨液混合供应装置(103)对应四种化学研磨液的配比方案。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020891776.8U CN212963542U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 一种供应化学品定容器的配比装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020891776.8U CN212963542U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 一种供应化学品定容器的配比装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212963542U true CN212963542U (zh) | 2021-04-13 |
Family
ID=75375953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202020891776.8U Active CN212963542U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 一种供应化学品定容器的配比装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212963542U (zh) |
-
2020
- 2020-05-25 CN CN202020891776.8U patent/CN212963542U/zh active Active
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
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