DE10042350C1 - Keramikmaterial - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Keramikmaterial, das wenigstens zwei verschiedene, in jeweils voneinander getrennten Phasen vorliegende Komponenten enthält, bei dem die Komponenten jeweils eine Perowskitstruktur aufweisen, die an den A-Plätzen Silber und an den B-Plätzen Niob und Tantal enthält, und bei dem die Zusammensetzung einer Komponente A und die Zusammensetzung einer Komponente B jeweils so gewählt ist, daß die Temperaturkoeffizienten ihrer Dielektrizitätskonstanten TKepsilon¶A¶ und TKepsilon¶B¶ in einem Temperaturintervall voneinander verschiedene Vorzeichen aufweisen. Vorteilhafterweise wird das Mischungsverhältnis von Komponente A/Komponente B so gewählt, daß sich entsprechend der Lichtenecker-Regel eine möglichst vollständige Kompensation der Temperaturabhängigkeit der Temperaturkoeffizienten der Dielektrizitätskonstanten TKepsilon¶A¶ und TKepsilon¶B¶ ergibt. Der Temperaturverlauf von TKepsilon¶A¶ und TKepsilon¶B¶ kann vorteilhafterweise durch das Mengenverhältnis Niob/Tantal sowie durch Hinzufügen von Dotierstoffen eingestellt werden.
Description
Die Erfindung betrifft ein Keramikmaterial, das eine Perows
kitstruktur aufweist, die an den A-Plätzen Silber und an den
B-Plätzen Niob und Tantal enthält.
Keramikmaterialien finden heutzutage in der Elektroindustrie
eine breite Anwendung als dielektrische Resonatoren, Mikro
wellenfilter, Substrate für mikroelektronische Schaltkreise
und so weiter. Die genannten Komponenten werden in Systemen
zur drahtlosen Telekommunikation, Satellitenantennen, Radar
systemen oder auch Mikrowellenöfen eingesetzt.
Die wichtigsten Eigenschaften der Keramikmaterialien sind ih
re Dielektrizitätskonstanten ∈, der Temperaturkoeffizient ih
rer Resonanzfrequenz TKf sowie ihr Qualitätsfaktor Q × f, der
ein Maß für die dielektrischen Verluste in dem Material ist.
Die genannten Eigenschaften sind insbesondere für die Verwen
dung in Mikrowellenbauelementen von Bedeutung. Je höher der
Qualitätsfaktor ist, um so geringer sind die dielektrischen
Verluste und um so selektiver kann ein Mikrowellenbauelement
mit Hilfe der Keramik auf eine spezielle Frequenz zugeschnit
ten werden.
Im Zuge der anhaltenden Miniaturisierung der keramischen Bau
elemente, insbesondere im Frequenzbereich bis hin zu 1 bis 2 GHz,
wird es immer wichtiger, keramische Materialien mit einer
hohen Dielektrizitätskonstanten zu verwenden. Solche Materia
lien gestatten die Herstellung von keramischen Bauelementen
mit sehr kleinen Dimensionen, die beispielsweise für Systeme
der drahtlosen Telekommunikation vorteilhaft eingesetzt wer
den können.
Aus der Druckschrift JP 01234358 A ist ein Keramikmaterial
bekannt, das auf der Basis von Titanoxid, Bariumoxid und Neodymoxid
hergestellt ist, wobei die Keramik einen Zusatz an
Samariumoxid enthält. Durch die Menge des beigegebenen Sama
riumoxids wird das Temperaturverhalten der Resonanzfrequenz
der Keramik eingestellt. Aus der Druckschrift JP 02239150 A
ist eine Keramikzusammensetzung für Mikrowellenanwendungen
bekannt, die auf der Basis von Bariumoxid, Titanoxid, Samari
umoxid, Ceroxid und Neodymoxid hergestellt ist.
Die in den japanischen Dokumenten genannten Keramikmateriali
en haben den Nachteil, daß sie einen relativ geringen Wert
der Dielektrizitätskonstante ∈ zwischen 85 und 90 aufweisen.
Dadurch können stark miniaturisierte Mikrowellenbauelemente
mit diesen Keramikmaterialien nicht hergestellt werden.
Aus der Druckschrift A. Kania, Ag(Nb1-xTax)O3 Solid Solutions
- Dielectric Properties and Phase Transitions, Phase Transi
tions, 1983, Volume 3, pp. 131 bis 140, ist ein Keramikmate
rial bekannt, das auf der Basis von Silber, Niob und Tantal,
im folgenden ANT genannt, hergestellt ist und das in Form ei
ner "Solid Solution" der beiden Materialien AgNbO3 und AgTaO3
vorliegt. Die in dieser Druckschrift beschriebene Keramik
weist die Zusammensetzung Ag(Nb1-xTax)O3, im folgenden ANTx
genannt, auf, wobei x zwischen 0 und 0,7 variieren kann. Je
nach Zusammensetzung weist die Keramik bei einer Temperatur
von etwa 300 K ein ∈ zwischen 80 und 400 auf.
Aus der Druckschrift Matjaz Valant, Danilo Suvorov, New High-
Permittivity Ag(Nb1-xTax)O3 Microwave Ceramics: Part 2, Di
electric Characteristics, J. Am. Ceram. Soc. 82 [1],
pp. 88-93 (1999) ist es bekannt, daß scheibenförmige Kera
mikkörper aus ANT mit einem x-Parameter zwischen 0,46 und
0,54 eine starke relative Änderung der Dielektrizitätskon
stanten ∈ im Temperaturintervall zwischen -20°C und 120°C
aufweisen. Dabei wurde insbesondere gezeigt, daß der Verlauf
der relativen Änderung von ∈ mit der Temperatur einer Kurve
folgt, die zwischen 20°C und 70°C ein Maximum aufweist und
Werte zwischen -0,07 und 0,01 annimmt.
Ferner ist aus der Druckschrift WO 98/03446 A1 bekannt, daß
durch Dotierung von ANT mit Lithium, Wolfram, Mangan oder
Wismut der Temperaturkoeffizient der Dielektrizitätskonstan
ten TK∈ bei einzelnen Temperaturen auf sehr kleine Werte bis
zu +/-70 ppm/K reduziert werden kann.
Die bekannten ANT-Materialien weisen zwar ein hohes ∈ auf,
haben jedoch den Nachteil, daß TK∈ in dem für Anwendungen in
teressanten Temperaturbereich zwischen -20°C und 80°C rela
tiv hohe Werte aufweist.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Keramikma
terial bereitzustellen, das eine hohe Dielektrizitätskonstan
te ∈ sowie einen geringen Temperaturkoeffizienten TK∈ bei
niedrigen, dielektrischen Verlusten aufweist.
Dieses Ziel wird erfindungsgemäß durch ein Keramikmaterial
nach Patentanspruch 1 erreicht. Weitere Ausgestaltungen der
Erfindung sind den folgenden Ansprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung gibt ein Keramikmaterial an, das wenigstens
zwei verschiedene Komponenten enthält, die jeweils in vonein
ander getrennten Phasen vorliegen. Jede der Komponenten weist
dabei eine Perowskitstruktur auf, die an den A-Plätzen Silber
und an den B-Plätzen Niob und Tantal enthält. Die Zusammen
setzung einer der Komponenten (Komponente A) und die Zusam
mensetzung einer weiteren der Komponenten (Komponente B) sind
jeweils so gewählt, daß die Temperaturkoeffizienten ihrer
Elektrizitätskonstanten TK∈A und TK∈B in einem Temperaturin
tervall voneinander verschiedene Vorzeichen aufweisen.
Das ANT-Material hat den Vorteil, daß es ein hohes ∈ < 300
aufweist. Ferner hat das erfindungsgemäße Keramikmaterial den
Vorteil, daß es niedrige, dielektrische Verluste aufweist.
Durch die Mischung zweier Komponenten, die jeweils ein TK∈
mit unterschiedlichen Vorzeichen aufweisen, kann erreicht
werden, daß sich die Temperaturabhängigkeiten der Dielektri
zitätskonstanten größtenteils kompensieren, so daß das erfin
dungsgemäße Keramikmaterial ein kleineres TK∈ als seine Kom
ponenten aufweist. Die Kompensation kann dabei nicht nur
stellenweise bei festen Temperaturen, sondern über das ganze
Temperaturintervall erfolgen, innerhalb dessen die einzelnen
Komponenten unterschiedliche Vorzeichen aufweisen. Die Kom
pensation beschränkt sich also nicht auf einzelne Punkte auf
der Temperaturskala.
Da die Komponenten in dem erfindungsgemäßen Keramikmaterial
als getrennte Phasen vorliegen, kann der TK∈ des Keramikmate
rials für den Fall, daß es lediglich aus zwei verschiedenen
Komponenten besteht, durch die im folgenden formulierte Lich
tenecker-Regel angegeben werden:
TK∈ = V × TK∈A + (1 - V) × TK∈B.
Dabei bedeutet V den Volumenanteil der Komponente A am Ge
samtvolumen der Komponenten und TK∈A beziehungsweise TK∈B die
Temperaturkoeffizienten der Komponenten A und B.
Aus der Lichtenecker-Regel geht hervor, daß durch geeignete
Wahl des Volumenanteils der Komponente A für eine bestimmte
Temperatur eine vollständige Kompensation der Temperatur
koeffizienten der Dielektrizitätskonstanten erfolgen kann.
Diese Lichtenecker-Regel wird nun benutzt, um einen optimalen
Volumenanteil der Komponente A am Gesamtvolumen der Komponen
ten A und B zu bestimmen, so daß in dem Temperaturintervall,
innerhalb dessen die einzelnen Komponenten unterschiedliche
Vorzeichen aufweisen, eine optimale Kompensation der Tempera
turkoeffizienten erzielt werden kann.
Dazu wird erfindungsgemäß der Volumenanteil der Komponente A
am Gesamtvolumen der Komponenten A und B so gewählt, daß er
weniger als 25% von einem Volumenanteil V abweicht, der
durch die folgende Formel berechnet ist:
V × SA + (1 - V) × SB = 0.
Dabei bedeuten SA und SB jeweils die Steigung derjenigen Ge
raden, die am besten an den jeweiligen, temperaturabhängigen
Verlauf der relativen Änderung der Dielektrizitätskonstanten
der Komponente A beziehungsweise der Komponente B in dem Tem
peraturintervall angepaßt ist.
Durch die erfindungsgemäße Übertragung der für einzelne Tem
peraturen gültigen Lichtenecker-Regel auf ein Temperaturin
tervall kann erreicht werden, daß eine optimale Kompensation
von Temperaturkoeffizienten TK∈ mit verschiedenen Vorzeichen
erzielt wird. Mit Hilfe der oben angegebenen Rechenvorschrift
wird das mit dem Volumenanteil gewichtete Mittel der Tempera
turkoeffizienten TK∈ zur Berechnung geeigneter Volumenanteile
benutzt.
Da die der Berechnung zugrundeliegende Lichtenecker-Regel die
TK∈-Werte linear addiert, funktioniert die Kompensation der
Temperaturkoeffizienten TK∈ um so besser, je besser der tem
peraturabhängige Verlauf der relativen Änderung der Dielek
trizitätskonstanten der einzelnen Komponenten an einen linea
ren Verlauf angepaßt werden kann. Daher ist es erstrebens
wert, durch eine geeignete Zusammensetzung der Komponenten
einen solchen, linearen Verlauf möglichst gut anzunähern.
Eine solche Annäherung eines linearen Verhaltens kann beson
ders vorteilhaft dadurch erfolgen, indem bei einer der Kompo
nenten das Mengenverhältnis Niob/Tantal geeignet gewählt ist.
Eine weitere Möglichkeit, den temperaturabhängigen Verlauf
von TK∈ in günstiger Weise zu beeinflussen, besteht darin,
einer Komponente einen oder mehrere Dotierstoffe einer Kon
zentration von jeweils maximal 20% beizugeben.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei
spielen und den dazugehörigen Figuren näher erläutert.
Es werden verschiedene ANT-Keramikmaterialien beschrieben,
die als Komponente A beziehungsweise Komponente B der erfin
dungsgemäßen Keramikmasse verwendet werden können. Es werden
ferner erfindungsgemäße Keramikmassen beschrieben, die durch
Mischen einer Komponente A mit einer Komponente B jeweils als
kalziniertes Pulver und anschließendes Sintern hergestellt
sind. Von den beschriebenen Keramikmaterialien wurden jeweils
Scheibenproben hergestellt, die mit einer oberen und einer
unteren Elektrode versehen und somit zu einem Kondensator er
gänzt wurden. An diesen Scheibenproben wurde der Verlauf der
relativen Änderung der Kapazität in Abhängigkeit von der Tem
peratur, im folgenden einfach Verlauf genannt, sowie die in
den Tabellen angegebenen, elektrischen Parameter gemessen.
Fig. 1 zeigt das erfindungsgemäße Prinzip der Kompensation
einer Komponente A mit einem positiven TK∈A und einer Kompo
nente B mit einem negativen TK∈B in schematischer Darstel
lung.
Die übrigen Fig. 2 bis 19 zeigen jeweils den Verlauf von
verschiedenen ANT-Materialien, die als Komponente A bezie
hungsweise Komponente B für das erfindungsgemäße Keramikmate
rial verwendet werden können.
Die Fig. 11, 14, 15, 16, 17, 18, 19 zeigen zusätzlich den
Verlauf von Mischungen einer Komponente A mit einer Komponen
te B.
In den Figuren ist jeweils die relative Änderung der Kapazi
tät ΔC/C der Scheibenprobe in Abhängigkeit von der Temperatur
angegeben. Die Änderung der Kapazität ist über C = ∈ × A/d
direkt mit der Größe Δε/ε verknüpft.
Die folgenden Beispiele zeigen Proben, bei denen als Sinter
hilfsmittel Vanadiumoxid (V2O5) verwendet wurde. Dadurch
konnte die Sintertemperatur von 1140°C auf eine Temperatur
zwischen 1050°C und 1080°C reduziert werden, was für verschiedene
Anwendungen von ANT wünschenswert ist. Die Beigabe
von V2O5 ändert nicht die Zusammensetzung der ANT-Phase, da
sich das Vanadiumoxid an Korngrenzen in einer vanadiumreichen
eigenen Phase anreichert, wie Mikrostrukturanalysen gezeigt
haben.
Fig. 1 zeigt die Temperaturabhängigkeit der relativen Kapa
zitätsänderung ΔC/C, wobei die Kurve 3 dem Verlauf eines er
findungsgemäßen Keramikmaterials entspricht, das durch Mi
schung einer Komponente A (Kurve 1) mit einer Komponente B
(Kurve 2) gemischt ist. Da die Komponenten A und B in ge
trennten Phasen vorliegen, kann bei jeder Temperatur der Tem
peraturkoeffizient der Mischung der Komponenten durch einfa
che, mit den Volumenanteilen gewichtete Addition der Tempera
turkoeffizienten der einzelnen Komponenten dargestellt wer
den. In dem Beispiel aus Fig. 1 beträgt der Volumenanteil
der Komponente B am Gesamtvolumen der Komponenten A und B 70 %.
Durch geeignete Wahl des Volumenanteils kann eine sehr gu
te Verringerung des Temperaturkoeffizienten erreicht werden.
Aus Fig. 1 geht hervor, daß die Kurve 3 kaum noch von der
Abszisse abweicht. Es wird bemerkt, daß die Fig. 1 lediglich
eine idealisierte Darstellung ist, da Komponenten mit streng
linear verlaufenden Temperaturkoeffizienten nicht realisier
bar sind.
Die folgenden Beispiele gemäß Fig. 2 zeigen Proben der Zu
sammensetzung (Ag1-yMI y)(Nb1-xTax)O3 mit y = 0,1 und x = 0,5.
Fig. 2A zeigt dabei den Verlauf von ΔC/C, wobei MI bei Kurve
4 Lithium, bei Kurve 6 Natrium und bei Kurve 7 Kalium ist.
Kurve 5 zeigt eine undotierte ANT-Probe der oben genannten
Zusammensetzung, wobei gilt: y = 0. Fig. 2B zeigt die Kurven
aus Fig. 2A mit einem vergrößerten Längenmaßstab der Ordina
te.
Die folgende Tabelle 1 zeigt die dielektrischen Eigenschaften
der mit einem Metall MI versehenen ANT-Proben aus Fig. 2.
In der ersten Spalte der Tabelle 1 sind die Eigenschaften für
eine undotierte ANT-Probe angegeben. In der zweiten, dritten
und vierten Spalte sind die Daten für eine mit Lithium (Kurve
4), Natrium (Kurve 6) beziehungsweise Kalium (Kurve 7) do
tierte ANT-Probe angegeben. In den ersten beiden Zeilen der
Tabelle 1 sind die bei Radiofrequenz gemessenen Werte für ∈
beziehungsweise für den Verlustwinkel tanδ angegeben. In der
dritten und vierten Zeile sind die bei 2 GHz gemessenen Werte
für die Dielektrizitätskonstante ∈' sowie für den Qualitäts
faktor Q × f in der Einheit GHz angegeben. In der fünften Zeile
der Tabelle 1 ist die jeweilige Sintertemperatur, bei der die
Probe hergestellt wurde, angegeben.
Die angegebenen Proben zeichnen sich alle durch hohe Dielek
trizitätskonstanten aus.
Durch die Dotierung mit Natrium (vgl. Kurve 6) wird das Maxi
mum des Temperaturverlaufes breiter, und zugleich wird die Ab
hängigkeit bei tiefen Temperaturen stärker. Die Dotierung mit
Hilfe von Kalium verflacht den Temperaturverlauf, wodurch die
Temperaturabhängigkeit in dem gesamten, untersuchten Bereich
zwischen -80°C und 120°C verringert wird.
Fig. 3 zeigt den Temperaturverlauf für eine Komponente A der
Zusammensetzung (Ag1-yMI y)(Nb1-xTax)O3 mit MI = Kalium und
y = 0,1, wobei für Kurve 8 x = 0,46, für Kurve 9 x = 0,48,
für Kurve 10 x = 0,52 und für Kurve 11 x = 0,54 gilt.
Fig. 4 zeigt den Temperaturverlauf für eine Komponente A der
Zusammensetzung (Ag1-yMI y)(Nb1-xTax)O3 mit y = 0,1 und MI = Na
trium, wobei für Kurve 12 x = 0,46, für Kurve 13 x = 0,5 und
für Kurve 14 x = 0,54 gilt.
Wie den Fig. 3 und 4 zu entnehmen ist, beeinflußt die Va
riation des Niob/Tantal-Verhältnisses die Steigung der Kurven
im Bereich hoher Temperaturen. Mit steigender Niob-Konzentra
tion ändert sich die Steigung der Kurven von einem stark fal
lenden zu einem schwach steigenden Verlauf. Wie aus Fig. 4
hervorgeht, beeinflußt die Variation des Niob/Tantal-Verhält
nisses bei natriumdotierten ANT-Proben die Lage des Kurvenma
ximums, das von 100°C zu 50°C verschoben werden kann. Ande
re, dielektrische Eigenschaften wurden durch die Änderung des
Niob/Tantal-Verhältnisses kaum verändert, so daß deren Werte
von den in Tabelle 1 angegebenen Werten weniger als 10% ab
weichen.
Eine weitere Möglichkeit der Dotierung besteht darin, an den
A-Plätzen der Perowskitstruktur ein Metall MIII und an den B-
Plätzen der Perowskitstruktur ein Metall MIV als Dotierstoff
gemäß der Formel (Ag1-yMIII y)((Nb1-xTax)1-yMIV y)O3 zu verwen
den. Um die elektronischen Eigenschaften des Kristallgitters
nicht zu verändern, muß dabei jeweils ein Dotierstoff mit ei
ner gegenüber dem Wirtsmetall um +1 erhöhten Vakanz mit einem
zweiten Dotierstoff mit einer gegenüber dem Wirtsmetall um -1
erniedrigten Vakanz kombiniert werden. Die Ionenradien der
verwendeten Dotierstoffe sind dabei in einem bestimmten Be
reich unkritisch, da beide Dotierstoffe sowohl größer als
auch kleiner als das jeweilige Wirtsion sein können.
In den folgenden Beispielen (Fig. 5, 6, 7, 8) sind die je
weils in der Tabelle 2 angegebenen Dotierstoffe an den A-
Plätzen beziehungsweise an den B-Plätzen verwendet worden,
wobei jeweils 5% des Silbers beziehungsweise von Niob/Tantal
durch den Dotierstoff ersetzt worden sind, und gleichzeitig
gilt x = 0,5.
In der folgenden Tabelle 2 sind die einzelnen Beispiele für
verschiedene Dotierungen von ANT mit den an diesen Proben ge
messenen Werten für ∈, tanδ sowie für die Schrumpfung S (in %)
des Keramikmaterials nach Tempern von 5 Stunden bei einer
Temperatur von 1050°C angegeben. Die Dielektrizitätskonstan
te von allen zweifach dotierten Proben zeigt dabei sehr hohe
Werte zwischen 275 und 433. Mit Barium und Zirkon dotierte
Proben zeigen ein ∈ von 590, sind jedoch wegen hoher, dielek
trischer Verluste für Mikrowellenkomponenten nicht geeignet.
Die dielektrischen Verluste der anderen Proben wurden bei 1 MHz
gemessen, mit dem Ergebnis, daß diese nicht größer als
1,6 × 10-3 sind. Daher sind die anderen Proben für Mikrowel
lenanwendungen sehr gut geeignet. Zu beachten ist in diesem
Zusammenhang auch, daß das Element Samarium durch andere Ver
treter der Seltenen Erden wie Lanthan, Cer, Praseodym, Neo
dym, Europium, Gadolinium, Terbium, Dysprosium, Holmium, Er
bium, Thulium, Ytterbium oder Lutetium ersetzt werden kann.
Fig. 5 zeigt den Verlauf für Proben, die am B-Platz mit Zinn
dotiert sind. Dabei wurde jeweils am A-Platz und am B-Platz 5 Mol-%
des ANT-Ausgangsmaterials durch einen Dotierstoff er
setzt (y = 0,05). Kurve 15 zeigt den Verlauf für Barium, Kur
ve 16 für Strontium, Kurve 17 für Kalzium und Kurve 18 für
Blei als Dotierstoff am A-Platz der Perowskitstruktur.
Fig. 6 zeigt jeweils den Verlauf für Proben (y = 0,05), bei
denen am B-Platz Zirkon als Dotierstoff verwendet wurde. Da
bei zeigt Kurve 19 den Verlauf für Kalzium, Kurve 20 den Ver
lauf für Barium, Kurve 21 den Verlauf für Strontium und Kurve
22 den Verlauf für Blei als Dotierstoff am A-Platz der
Perowskitstruktur.
Die Fig. 5 und 6 zeigen, daß der Verlauf nicht linear ist
und mit dem verwendeten Dotierstoff variiert. Alle Proben
zeigen einen negativen Temperaturkoeffizienten der Dielektrizitätskonstante
für Temperaturen zwischen der Raumtemperatur
(20°C) und 125°C. Unterhalb der Raumtemperatur zeigen die
Kurven ein Maximum. Die Lage des Maximums hängt dabei von der
gewählten Zusammensetzung beziehungsweise des gewählten Do
tierstoffes ab.
Fig. 7 zeigt den Verlauf für diejenigen ANT-Proben, bei de
nen am A-Platz Wismut als Dotierstoff verwendet wurde. Dabei
zeigt Kurve 23 den Verlauf für Scandium und Kurve 24 den
Verlauf für Gallium beziehungsweise Indium als Dotierstoff
für den B-Platz, die sich auf der hier gewählten Skala nicht
voneinander unterscheiden lassen.
Fig. 8 zeigt den Verlauf für ANT-Proben, bei denen Samarium
als Dotierstoff für den A-Platz gewählt wurde. Dabei zeigt
Kurve 26 den Verlauf für Scandium, Kurve 27 den Verlauf für
Gallium und Kurve 25 den Verlauf für Indium als Dotierstoff
für die B-Plätze der Proben.
Die in den Fig. 7 und 8 gezeigten Proben zeigen einen ne
gativen Temperaturkoeffizienten der Dielektrizitätskonstante
im gesamten, untersuchten Temperaturintervall zwischen -20°C
und 125°C. Die Abhängigkeit ist dabei fast linear mit einer
Steigung, die weitgehend unabhängig von der Kombination der
Dotierstoffe an den A- beziehungsweise B-Plätzen ist.
Aufgrund des linearen Verlaufs der Temperaturabhängigkeit
sind diese Proben aus Fig. 7 und Fig. 8 besonders zur Ver
wirklichung des erfindungsgemäßen Keramikmaterials geeignet.
In einer weiteren Versuchsreihe wurde am Beispiel von mit
Wismut/Gallium dotiertem ANT der Einfluß des Anteils der Do
tierstoffe auf den Temperaturverlauf der Dielektrizitätskon
stante untersucht. Dabei wurde ausgegangen von einem ANT-
Keramikmaterial der Zusammensetzung:
(Ag1-yBiy)((Nb1-xTax)1-yGay)O3 mit x = 0,44.
Für die Werte y = 0,01; 0,02; 0,03; 0,04; und 0,05 wurden
entsprechende Proben hergestellt. Die Herstellung der Proben
erfolgte dabei durch einen (Nb, Ta, Ga)-Oxid-Precursor, der
zusammen mit V2O5 bei 1220°C für 20 Stunden kalziniert wur
de.
Zwischendrin wurde der Precursor immer wieder abgekühlt und
durch ein Sieb gepreßt, um eine möglichst homogene Mischung
auf atomarer Ebene zu erreichen. Silber und Wismut wurden an
schließend in den pulverisierten Precursor beigegeben und für
10 Stunden auf 950°C erhitzt. Anschließend wurde das Kera
mikmaterial für eine Dauer von 5 Stunden bei 1070°C in einer
Sauerstoffatmosphäre gesintert.
Der bei 1 MHz gemessene Verlauf dieser Proben ist in Fig. 9
dargestellt. Dabei zeigt Kurve 28 den Verlauf für y = 0, Kur
ve 29 den Verlauf für y = 0,01, Kurve 30 den Verlauf für
y = 0,02, Kurve 31 den Verlauf für y = 0,03, Kurve 32 den
Verlauf für y = 0,04 und Kurve 33 den Verlauf für y = 0,05.
In einer weiteren Versuchsreihe wurden darüber hinaus anstel
le von Wismut/Gallium als Dotierstoffe das Paar Samari
um/Gallium vermessen, mit dem Ergebnis, daß das Ersetzen von
Wismut durch Samarium kaum einen Einfluß auf den Temperatur
verlauf hat. Auch bezüglich der anderen, dielektrischen Eigen
schaften konnte kein signifikanter Unterschied zwischen der
Dotierstoffkombination Wismut/Gallium und der Dotierstoffkom
bination Samarium/Gallium beobachtet werden. In allen Fällen
hat eine Dotierstoffkonzentration von beispielsweise 5 Mol-%
die Dielektrizitätskonstante leicht auf einen Wert ∈ < 420
angehoben, während der Q × f-Wert auf < 350 GHz, gemessen bei
2 GHz, gesunken war.
Aufgrund des nahezu linearen Verlaufs sind die in Fig. 9 ge
zeigten ANT-Proben mit einer Dotierstoffkonzentration größer
als 2 Mol-% besonders interessant für die Verwendung als Komponente
A oder Komponente B in dem erfindungsgemäßen Keramik
material.
In einer weiteren Versuchsreihe wurde ohne Dotierstoffe un
tersucht, wie sich eine Änderung des Verhältnisses von Ni
ob/Tantal auf den Temperaturverlauf von ANT-Proben auswirkt.
Dazu wurden 7 Proben hergestellt, die die Zusammensetzung
Ag(Nb1-xTax)O3 aufweisen, wobei der Parameter x zwischen 0,35
und 0,65 variiert. Dabei wurde dasselbe Herstellungsverfahren
wie bei den zweifach dotierten, in der Fig. 9 dargestellten
Proben verwendet.
Fig. 10 zeigt die bei einer Frequenz von 1 MHz gemessene
Temperaturabhängigkeit der Dielektrizitätskonstante dieser
Proben. Dabei beschreibt Kurve 34 die Zusammensetzung für x =
0,35, Kurve 35 die Zusammensetzung für x = 0,4, Kurve 36 für
x = 0,42, Kurve 37 für x = 0,44, Kurve 38 für x = 0,5, Kurve
39 für x = 0,6 und Kurve 40 für x = 0,65.
Die Ergebnisse gemäß Fig. 10 zeigen, daß lediglich durch Va
riation des Verhältnisses Niob/Tantal sowohl ein monoton
wachsendes als auch ein monoton fallendes Verhalten für den
Temperaturkoeffizienten hergestellt werden kann. Dabei liegt
die Grenze zwischen wachsendem und fallendem Verhalten etwa
bei x = 0,5.
Aufgrund des annähernd linearen Verlaufs sind insbesondere
die zu den Kurven 34 sowie 39 und 40 aus Fig. 10 gehörenden
Keramikzusammensetzungen für die Verwendung in dem erfin
dungsgemäßen Keramikmaterial als Komponente A oder B sehr gut
geeignet.
In einer weiteren Versuchsreihe wurden verschiedene
Keramikmaterialien als Mischung einer Komponente A und einer
Komponente B, basierend auf den bisher gewonnenen Versuchser
gebnissen, hergestellt. Dabei wurden die jeweiligen Komponenten
getrennt kalziniert und zu einem Pulver weiterverarbei
tet. Anschließend wurden die Pulver der Komponente A und der
Komponente B miteinander vermischt und sodann gesintert.
Damit die Kompensation gegenläufiger Temperaturverläufe funk
tioniert, müssen die Komponenten A und B in voneinander ge
trennten Phasen vorliegen. Versuche haben gezeigt, daß es da
zu erforderlich ist, die Komponenten A und B jeweils als
nicht zu feines Pulver mit einer Partikel
größe < 5 µm zu vermischen. Falls kleinere Partikelgrößen
verwendet werden, findet zwischen den Komponenten durch Dif
fusion ein Materialaustausch statt, und es bildet sich eine
"Solid Solution", die ein neues Material mit entsprechend
neuen Eigenschaften darstellt. Eine einfache "lineare Super
position" der Komponenten A und B, wie sie durch die Lichte
necker-Regel beschrieben wird, ist dann nicht mehr möglich.
Die Verwendung von Partikeln größer als 5 µm bewirkt, daß
sich aufgrund der langsamen Diffusionsprozesse lediglich
Randgebiete der Partikel miteinander vermischen, so daß im
wesentlichen noch getrennte Phasen von Komponente A und Kom
ponente B übrig bleiben.
Für das phasenheterogene Keramikmaterial wurde als Komponente
A eine Keramik der Zusammensetzung Ag(Nb1-xTax)O3 und für die
Komponente B eine Keramik der Zusammensetzung
(Ag1-yBiy)((Nb1-xTax)1-yGay)O3 mit y = 0,05 verwendet. Dabei
wurde als Parameter x jeweils der Wert 0,4 gewählt.
Fig. 11A zeigt den Verlauf für diese Proben, wobei das ge
wichtsbezogene Verhältnis der Komponenten A und B bei Kurve
43 50/50, bei Kurve 44 45/55, bei Kurve 45 42,5/57,5, bei
Kurve 46 35/65 und bei Kurve 47 40/60 beträgt. Kurve 41 zeigt
den Verlauf für Komponente A, während Kurve 48 den Verlauf
für Komponente B zeigt. Fig. 11B zeigt die Kurven aus Fig.
11A mit einer größeren Skala für die Ordinate.
Dabei zeigt sich, daß die Mischung mit Komponente
A/Komponente B gleich 42,5/57,5 die geringste Temperaturab
hängigkeit der Dielektrizitätskonstanten aufweist. Innerhalb
des Temperaturintervalls von -20°C bis 80°C variiert die
Dielektrizitätskonstante um weniger als ±0,5%. Desweiteren
weist diese Probe eine hohe Dielektrizitätskonstante von 420
und auch einen ausreichend hohen Q × f-Wert von 425 GHz auf.
Mit ähnlichen Komponenten A und B, die sich durch die Wahl
eines Parameters x = 0,44 von den in Fig. 11 gezeigten un
terscheiden, wurden weitere Proben hergestellt.
Für diese Proben wurde gefunden, daß die geringste Tempera
turabhängigkeit für ein Mischungsverhältnis 50/50 (gemessen
in Gew.-%) gegeben ist. Für diese Probe mit A/B = 50/50 wurde
eine Dielektrizitätskonstante von 428 und ein Q × f-Wert von
483 gemessen. Im Temperaturintervall zwischen -20°C und
80°C variiert die Dielektrizitätskonstante um weniger als
±1%.
In einer weiteren Versuchsreihe wurden, ausgehend von den
oben genannten Komponenten A und B in ihrer allgemeinen For
mulierung, für den x-Wert 0,38 verschiedene Mischungsverhält
nisse getestet. Das Ergebnis davon war, daß bezüglich der
Kompensation Temperaturkoeffizienten der Dielektrizitätskon
stante das Mischungsverhältnis A/B = 32,5/67,5 den optimalen
Wert liefert, wobei in einem Temperaturintervall zwischen
-20°C und 80°C die Dielektrizitätskonstante weniger als
±0,25% variiert. Diese Probe weist jedoch eine hohe Konzen
tration an einer Phase mit hohen, dielektrischen Verlusten
auf, wodurch der Q × f-Wert der Probe auf 335 reduziert ist.
In der folgenden Tabelle 3 sind die dielektrischen Eigen
schaften der untersuchten, phasenheterogenen Keramikmateriali
en zusammengestellt. In der ersten Spalte ist der Wert für
den Parameter x angegeben. In der zweiten Spalte ist das ge
wichtsbezogene Mischungsverhältnis der Komponenten A und B
angegeben. Die Spalten 3, 4, 5 und 6 zeigen die Schrumpfung S
(angegeben in %), die Dielektrizitätskonstante ∈, die maxima
le relative Änderung der Dielektrizitätskonstante innerhalb
des Temperaturintervalls von -20°C bis 80°C sowie den Q × f-
Wert, gemessen in GHz.
Für die Verwendung des erfindungsgemäßen Keramikmaterials als
Dielektrikum für Kondensatoren ist der Isolationswiderstand
der Keramik ein wichtiger Parameter. Experimente mit den wei
ter oben beschriebenen Keramikzusammensetzungen haben ge
zeigt, daß die mit Dotierstoffen versehenen Keramiken einen
zu niedrigen Isolationswiderstand von maximal einigen hundert
MΩ aufweisen. Reines ANT mit einem Niob/Tantal-Verhältnis von
50/50 weist dagegen einen hohen Isolationswiderstand von
9 × 108 MΩ auf. Neben den Dotierstoffen wurde darüber hinaus
auch das Sinterhilfsmittel Vanadiumoxid als Ursache für die
Erniedrigung des Isolationswiderstandes ausgemacht.
Gegenstand von nachfolgenden Untersuchungen war es demnach,
ein Sinterhilfsmittel zu finden, das den Isolationswiderstand
der Keramik nur unwesentlich erniedrigt. Mit Borsäure (H3BO3)
wurde ein solches Sinterhilfsmittel gefunden. Die Borsäure
kann mit einem Gewichtsanteil von 1 bis 5% dem ANT beigege
ben werden. Während des Sinterns der Keramik schrumpft sie
dabei um 14%, ohne irgendwelche Anzeichen von Zersetzung
aufzuweisen. Daraus geht hervor, daß H3BO3 gut als Sinter
hilfsmittel geeignet ist. Insbesondere ist H3BO3 auch dazu
geeignet, die Sintertemperatur von 1220°C auf unter 1140°C
zu verringern.
Elektrische Messungen an einer ANTx-Probe mit x = 0,42 sowie
mit einer Zugabe von 1 Gew.-% H3BO3 haben gezeigt, daß die
Borsäure als Sinterhilfsmittel weder die Dielektrizitätskon
stante noch die dielektrischen Verluste in unzulässiger Weise
beeinflußt. Für die genannte Probe wurde ein ∈ von 426 und
ein tanδ von 0,4 × 10-3 bei einer Frequenz von 1 MHz gemes
sen. Darüber hinaus weist die Probe einen Isolationswider
stand von 2 × 107 MΩ bei Wechselstrom auf. Daraus geht her
vor, daß die Borsäure als Sinterhilfsmittel für die Herstel
lung von einem erfindungsgemäßen Keramikmaterial, das darüber
hinaus für den Einsatz in Kondensatoren tauglich ist, geeig
net ist.
Es konnte darüber hinaus gezeigt werden, daß die Borsäure als
Sinterhilfsmittel im Vergleich zu V2O5 die Temperaturabhän
gigkeit der Dielektrizitätskonstante positiv beeinflußt.
In Fig. 12 ist der Temperaturverlauf einer ANTx-Probe (x =
0,42) mit einer Zugabe von 2 Gew.-% H3BO3 (Kurve 50) bzw. mit
einer Zugabe von 2 Gew.-% V2O5 (Kurve 49) dargestellt. Aus
Fig. 12 geht hervor, daß die Borsäure das Temperaturverhal
ten der Dielektrizitätskonstante, verglichen mit V2O5, posi
tiv beeinflußt.
In nachfolgenden Untersuchungen wurde daher geprüft, inwie
weit die Realisierung des erfindungsgemäßen Keramikmaterials
ohne die Beteiligung von Dotierstoffen lediglich unter Ver
wendung von ANTx mit variierendem Niob-Tantal-Verhältnis ge
lingt. Darüber hinaus wurde der Einfluß von verschiedenen Ge
wichtsanteilen von zugegebenem H3BO3 als Sinterhilfsmittel
getestet.
Bei den im folgenden beschriebenen Proben wurde jeweils
1 und 1,5 Gew.-% H3BO3 vor der abschließenden Kalzination bei
950°C dem Keramikmaterial beigegeben. Anschließend wurde die
Keramik bei 1070°C für eine Dauer von 5 Stunden gesintert.
Danach wurden die dielektrischen Eigenschaften der so herge
stellten Materialien bei Frequenzen von 1 MHz und etwa
2 GHz untersucht.
Als Komponente B für die erfindungsgemäße Komposit-Keramik
wurde die aus den bereits weiter oben beschriebenen Zusammen
setzungen bekannte Komponente B (ANTx: mit x = 0,65) verwen
det. Die Komponenten wurden als Granalien mit einer mittleren
Korngröße von 30,9 µm (Komponente A) beziehungsweise 27,7 µm
(Komponente B) miteinander vermischt und anschließend gemein
sam gesintert.
In einer ersten Versuchsreihe wurde eine Komponente B mit 1 Gew.-%
H3BO3 sowie mehrere mögliche Komponenten A mit ver
schiedenen Überschüssen an Niob bezüglich Tantal untersucht.
Die Ergebnisse sind in Fig. 13 dargestellt. Dabei beziehen
sich die Kurven 51 bis 54 auf jeweils eine Komponente A mit
variierendem x-Gehalt und die Kurve 55 auf die oben genannte
Komponente B mit x = 0,65. Kurve 51 beschreibt dabei die Zu
sammensetzung der Komponente B mit x = 0,35, Kurve 52 mit
x = 0,38, Kurve 53 mit x = 0,40 und Kurve 54 mit x = 0,42.
Fig. 13 zeigt, daß insbesondere die Zusammensetzung gemäß
Kurve 51 eine gute Linearität des Verlaufs aufweist, wie er
besonders zum Einsatz als Komponente A in der erfindungsgemä
ßen Komposit-Keramik geeignet ist.
Mit den in Fig. 13 gezeigten, verschiedenen Komponenten A
wurden erfindungsgemäße Keramikmaterialien mit verschiedenen
Mischungsverhältnissen Komponente A/Komponente B gemäß der
folgenden Tabelle 4 hergestellt. In der ersten Spalte von Ta
belle 4 ist der jeweils verwendete Überschuß an Niob der Kom
ponente A als x-Wert angegeben. In der zweiten Spalte ist das
gewichtsbezogene Verhältnis Komponente A/Komponente B angegeben.
Spalten 3, 4, 5, 6, und 7 zeigen Kernwerte entspre
chend Tabelle 2 bzw. die Schrumpfung S der Proben. In der
letzten Spalte von Tabelle 4 ist für die jeweils bezüglich
des Verlaufs optimale Mischung aus Komponente A und Komponen
te B die jeweils maximale relative Änderung der Dielektrizi
tätskonstante im Temperaturintervall von -20°C bis 80°C an
gegeben.
Die Tabelle 4 zeigt, daß zumindest die jeweils mit dem opti
malen Mischungsverhältnis aus Komponente A/Komponente B her
gestellten Komposit-Keramiken mit den verschiedenen x-Werten
für die Komponente A sowohl für Anwendungen Mikrowellenbau
elementen als auch für Vielschichtkondensatoren geeignet
sind.
Fig. 14 zeigt den Verlauf verschiedener, erfindungsgemäßer
Komposit-Keramiken mit einer Komponente A mit x = 0,42 (8%
Niob-Überschuss) und mit verschiedenen Mischungsverhältnissen
Komponente A/Komponente B. Dabei zeigt Kurve 56 den Verlauf
für das Mischungsverhältnis 60/40, Kurve 57 den Verlauf für
das Mischungsverhältnis 70/30, Kurve 58 den Verlauf für das
Mischungsverhältnis 62,5/37,5, Kurve 59 den Verlauf der rei
nen Komponente A und Kurve 60 den Verlauf der reinen Kompo
nente B.
Fig. 15 zeigt den Verlauf verschiedener, erfindungsgemäßer
Komposit-Keramiken mit einer Komponente A mit x = 0,40 (10%
Niob-Überschuss) und mit verschiedenen Mischungsverhältnissen
Komponente A/Komponente B. Dabei zeigt Kurve 62 den Verlauf
für das Mischungsverhältnis 60/40, Kurve 64 den Verlauf für
das Mischungsverhältnis 40/60, Kurve 63 den Verlauf für das
Mischungsverhältnis 50/50, Kurve 61 den Verlauf der reinen
Komponente A und Kurve 65 den Verlauf der reinen Komponente
B.
Fig. 16 zeigt den Verlauf einer erfindungsgemäßen Komposit-
Keramik mit einer Komponente A mit x = 0,38 (12% Niob-
Überschuss) und mit verschiedenen Mischungsverhältnissen Kom
ponente A/Komponente B. Dabei zeigt Kurve 69 den Verlauf für
das Mischungsverhältnis 35/65, Kurve 68 den Verlauf für das
Mischungsverhältnis 45/55, Kurve 67 den Verlauf für das Mi
schungsverhältnis 55/45, Kurve 70 den Verlauf der reinen Kom
ponente B und Kurve 66 den Verlauf der reinen Komponente A.
Fig. 17 zeigt den Verlauf einer erfindungsgemäßen Komposit-
Keramik mit einer Komponente A mit x = 0,35 (15% Niob-
Überschuss) und mit verschiedenen Mischungsverhältnissen Kom
ponente A/Komponente B. Dabei zeigt Kurve 75 den Verlauf für
das Mischungsverhältnis 30/70, Kurve 73 den Verlauf für das
Mischungsverhältnis 40/60, Kurve 72 den Verlauf für das Mi
schungsverhältnis 50/50, Kurve 71 den Verlauf für das Mischungsverhältnis
45/55, Kurve 76 den Verlauf der reinen Kom
ponente B und Kurve 71 den Verlauf der reinen Komponente A.
In weiteren Experimenten wurde untersucht, wie sich die Erhö
hung des Borsäure-Anteils von 1 Gew.-% auf 1,5 Gew.-% aus
wirkt. Dabei wurde gefunden, daß der erhöhte Borsäure-Anteil
das Sintern des ANT-Pulvers erleichtert. Man erhält zudem et
was höhere Werte für die Dielektrizitätskonstanten. Die die
lektrischen Verluste, gemessen bei 1 MHz, zeigen dabei keine
signifikante Veränderung mit der H3BO3-Konzentration, während
die Q × f-Werte bei 2 GHz etwas schlechter sind, als bei der Zu
gabe von 1 Gew.-% H3BO3.
Fig. 18 zeigt die Verläufe für ein ANTx-System, das unter
Zugabe von 1,5 Gew.-% H3BO3 hergestellt wurde. Die übrigen
Herstellungsparameter waren die gleichen, wie bei den Proben
mit 1 Gew.-% H3BO3. Dabei zeigt Kurve 77 den Verlauf für eine
Komponente A mit x = 0,42, Kurve 78 den Verlauf für eine Mi
schung aus Komponente A und Komponente B mit einem gewichts
bezogenen Mischungsverhältnis 70/30, Kurve 79 eine Komposit-
Keramik mit einem Mischungsverhältnis 60/40 und schließlich
Kurve 80 den Verlauf für Komponente B mit
x = 0,65.
Fig. 19 zeigt den Temperaturverlauf einer erfindungsgemäßen
Komposit-Keramik (1,5 Gew.-% H3BO3) mit einer Komponente A
mit x = 0,35 (15% Niob-Überschuss) und mit verschiedenen Mi
schungsverhältnissen Komponente A/Komponente B. Kurve 81
zeigt die Komponente A mit x = 0,35, Kurve 82 zeigt eine Mi
schung mit einem Mischungsverhältnis 60/40, Kurve 83 mit ei
nem Mischungsverhältnis 55/45, Kurve 84 mit einem Mischungs
verhältnis 45/55 und Kurve 85 die Komponente B mit x = 0,65.
In der folgenden Tabelle 5 sind entsprechend der Tabelle 4
die dielektrischen Eigenschaften sowie die Schwindung für die
Mischungen mit jeweils der Komponente B mit einem Niobüber
schuß von 8% (x = 0,42) beziehungsweise mit einem Niobüberschuß
von 15% (x = 0,65) eingetragen. Für das jeweils opti
male Mischungsverhältnis Komponente A/Komponente B ist zudem
die maximale, relative Änderung der Dielektrizitätskonstanten
im Temperaturintervall zwischen -20°C und 80°C in % angege
ben.
Claims (14)
1. Keramikmaterial,
das wenigstens zwei verschiedene, in jeweils voneinan
der getrennten Phasen vorliegende Komponenten enthält,
bei dem die Komponenten jeweils eine Perowskitstruktur aufweisen, die an den A-Plätzen Silber und an den B- Plätzen Niob und Tantal enthält,
und bei dem die Zusammensetzung einer Komponente A und die Zusammensetzung einer Komponente B jeweils so gewählt ist, daß die Temperaturkoeffizienten ihrer Dielektrizi tätskonstanten (TKεA) und (TKεB) in einem Temperaturintervall voneinander verschiedene Vorzeichen aufweisen.
bei dem die Komponenten jeweils eine Perowskitstruktur aufweisen, die an den A-Plätzen Silber und an den B- Plätzen Niob und Tantal enthält,
und bei dem die Zusammensetzung einer Komponente A und die Zusammensetzung einer Komponente B jeweils so gewählt ist, daß die Temperaturkoeffizienten ihrer Dielektrizi tätskonstanten (TKεA) und (TKεB) in einem Temperaturintervall voneinander verschiedene Vorzeichen aufweisen.
2. Keramikmaterial nach Anspruch 1,
bei dem der Volumenanteil der Komponente A am Gesamtvolu
men der Komponenten A und B so gewählt ist, daß er weni
ger als 25% von dem durch folgende Formel:
V × SA + (1 - V) × SB = 0
berechneten Volumenanteil V abweicht, wobei SA und SB je weils die Steigung derjenigen Gerade angeben, die am be sten an den jeweiligen, temperaturabhängigen Verlauf der relativen Änderung der Dielektrizitätskonstanten der Kom ponente A und B in dem Temperaturintervall angepaßt ist.
V × SA + (1 - V) × SB = 0
berechneten Volumenanteil V abweicht, wobei SA und SB je weils die Steigung derjenigen Gerade angeben, die am be sten an den jeweiligen, temperaturabhängigen Verlauf der relativen Änderung der Dielektrizitätskonstanten der Kom ponente A und B in dem Temperaturintervall angepaßt ist.
3. Keramikmaterial nach Anspruch 1 bis 2,
bei dem wenigstens eine der Komponenten mit einem oder
mehreren Dotierstoffen einer Konzentration von jeweils
maximal 20% dotiert ist.
4. Keramikmaterial nach Anspruch 1 bis 2,
bei dem wenigstens eine der Komponenten die Zusammenset
zung:
Ag(Nb1-xTax)O3 aufweist, wobei gilt:
0,30 ≦ 1 - x ≦ 0,70.
Ag(Nb1-xTax)O3 aufweist, wobei gilt:
0,30 ≦ 1 - x ≦ 0,70.
5. Keramikmaterial nach Anspruch 1 bis 3,
bei dem eine der Komponenten an den A-Plätzen als Dotier
stoff ein Metall MI enthält, wobei MI entweder Lithium,
Natrium oder Kalium ist, und die Zusammensetzung
(Ag1-yMI y)(Nb1-xTax)O3 aufweist, wobei gilt:
0,45 ≦ 1 - x ≦ 0,55 und 0 < y ≦ 0,15.
0,45 ≦ 1 - x ≦ 0,55 und 0 < y ≦ 0,15.
6. Keramikmaterial nach Anspruch 5,
bei dem die Komponente an den A-Plätzen als weiteren Do
tierstoff ein von MI verschiedenes Metall MII enthält,
wobei MII aus den Metallen Lithium, Natrium, Kalium aus
gewählt ist, und die Zusammensetzung
(Ag1-y-zMI yMII z)(Nb1-xTax)O3 aufweist, wobei gilt:
0,45 ≦ 1 - x ≦ 0,55, 0 ≦ y ≦ 0,15 und 0 < z ≦ 0,1.
0,45 ≦ 1 - x ≦ 0,55, 0 ≦ y ≦ 0,15 und 0 < z ≦ 0,1.
7. Keramikmaterial nach Anspruch 1 bis 3,
bei dem eine der Komponenten an den A-Plätzen als Dotier
stoff ein Metall MIII und an den B-Plätzen ein Metall MIV
enthält, wobei MIII Wismut oder ein Metall der Seltenen
Erden und MIV Indium, Scandium oder Gallium ist,
und bei dem diese Komponente die Zusammensetzung
(Ag1-yMIII y)((Nb1-xTax)1-yMIVy)O3 aufweist, wobei gilt:
0 < y ≦ 0,10 und 0,35 ≦ x ≦ 0,5.
0 < y ≦ 0,10 und 0,35 ≦ x ≦ 0,5.
8. Keramikmaterial nach Anspruch 1 bis 3,
bei dem eine der Komponenten an den A-Plätzen ein Metall MIII und an den B-Plätzen ein Metall MIV enthält, wobei MIII Barium, Calcium, Blei oder Strontium und MIV Zinn oder Zirkon ist,
und bei dem diese Komponente die Zusammensetzung (Ag1-yMIII y)((Nb1-xTax)1-yMIV y)O3 aufweist, wobei gilt:
0 < y ≦ 0,10 und 0,35 ≦ x ≦ 0,5.
bei dem eine der Komponenten an den A-Plätzen ein Metall MIII und an den B-Plätzen ein Metall MIV enthält, wobei MIII Barium, Calcium, Blei oder Strontium und MIV Zinn oder Zirkon ist,
und bei dem diese Komponente die Zusammensetzung (Ag1-yMIII y)((Nb1-xTax)1-yMIV y)O3 aufweist, wobei gilt:
0 < y ≦ 0,10 und 0,35 ≦ x ≦ 0,5.
9. Keramikmaterial nach Anspruch 1 bis 7,
bei dem die Komponente A die Zusammensetzung:
Ag(Nb1-xTax)O3
und die Komponente B die Zusammensetzung:
(Ag1-ySmy)((Nb1-xTax)1-yGay)O3
aufweist, wobei gilt:
0,38 ≦ x ≦ 0,42 und 0,04 ≦ y ≦ 0,06,
und bei dem das volumenbezogene Mischungsverhältnis Komponente A/Komponente B zwischen 45/55 und 40/60 be trägt.
Ag(Nb1-xTax)O3
und die Komponente B die Zusammensetzung:
(Ag1-ySmy)((Nb1-xTax)1-yGay)O3
aufweist, wobei gilt:
0,38 ≦ x ≦ 0,42 und 0,04 ≦ y ≦ 0,06,
und bei dem das volumenbezogene Mischungsverhältnis Komponente A/Komponente B zwischen 45/55 und 40/60 be trägt.
10. Keramikmaterial nach Anspruch 1,
bei dem die Komponenten A und B jeweils die Zusammenset
zung Ag(Nb1-xTax)O3 aufweisen, und bei dem
für die Komponente A 0,50 < 1 - x ≦ 0,70
und für die Komponente B 0,30 ≦ 1 - x ≦ 0,50 gilt.
11. Keramikmaterial nach Anspruch 10,
bei dem die Komponenten A und B jeweils die Zusammenset
zung Ag(Nb1-xTax)O3 aufweisen, und bei dem für die Kompo
nente A 0,64 ≦ 1- x ≦ 0,66 und für die Komponente B 0,34 ≦
1 - x ≦ 0,36 gilt und bei dem das volumenbezogene Mi
schungsverhältnis Komponente A/Komponente B zwischen
40/60 und 50/50 beträgt.
12. Keramikmaterial nach Anspruch 1-11,
bei dem die Komponenten A und B jeweils in Form von Par
tikeln einer Ausdehnung zwischen 5 und 500 µm vorliegen,
und bei dem die Partikel der Komponente A mit denen der
Komponente B miteinander vermischt sind.
13. Keramikmaterial nach Anspruch 12,
das durch Sintern einer Mischung von Partikeln der Kompo
nente A mit Partikeln der Komponente B hergestellt ist.
14. Keramikmaterial nach Anspruch 1 bis 13,
das als Sinterhilfsmittel H3BO3 oder V2O5 enthält.
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| CN115886032B (zh) * | 2022-11-23 | 2025-07-18 | 常熟理工学院 | 一种对可见光响应的光催化抗菌材料及其制备方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998003446A1 (en) * | 1996-07-19 | 1998-01-29 | Ins^¿Titut Joz^¿Ef Stefan | Microwave dielectric ceramics based on silver, niobium and tantalum oxides |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2864713A (en) * | 1955-09-09 | 1958-12-16 | Gen Electric Co Ltd | Ceramic dielectric compositions |
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| JP2731940B2 (ja) | 1989-03-10 | 1998-03-25 | 日本セメント株式会社 | マイクロ波用誘電体セラミックス |
| JP2762309B2 (ja) * | 1989-12-22 | 1998-06-04 | マルコン電子株式会社 | 誘電体磁器組成物及びこれを使用した電子部品 |
| JPH10234358A (ja) | 1997-02-28 | 1998-09-08 | Sumitomo Chem Co Ltd | 微生物の培養法 |
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| US5993947A (en) * | 1997-11-17 | 1999-11-30 | Lucent Technologies Inc. | Low temperature coefficient dielectric material comprising binary calcium niobate and calcium tantalate oxides |
| JP3750507B2 (ja) * | 2000-08-28 | 2006-03-01 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物およびそれを用いた圧電セラミック素子 |
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Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998003446A1 (en) * | 1996-07-19 | 1998-01-29 | Ins^¿Titut Joz^¿Ef Stefan | Microwave dielectric ceramics based on silver, niobium and tantalum oxides |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| GB-Z: Phase Transitions Vol, 3 (1983), 131-140 * |
| US-Z: J. Am. Ceram. Soc. 82[1] (1999) 88-93 * |
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