DE10123844A1 - Interferometrische Messvorrichtung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche oder Grenzfläche eines Messobjektes (O). Ein Einfluss von Erschütterungen auf das Messergebnis wird dadurch unterbunden, dass eine Verbindungseinheit (VE) vorgesehen ist, mit der zumindest ein dem Messobjekt (O) zugeordneter Abschnitt der Messvorrichtung mit dem Messobjekt (O) unmittelbar mechanisch starr und lösbar verbindbar ist (Fig. 1).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche oder Grenzfläche eines Messobjektes.

Stand der Technik

Eine derartige interferometrische Messvorrichtung ist in der DE 197 21 843 C1 als bekannt ausgewiesen, wobei diese bekannte interferometrische Messvorrich­ tung als Weißlichtinterferometer-Messvorrichtung mit einem als Modulations­ interferometer ausgebildeten Abschnitt und einem als Abbildungsinterferometer ausgebildeten Abschnitt aufgebaut ist, der dem Messobjekt zugeordnet ist. Das Abbildungsinterferometer ist derart ausgebildet, dass Messungen auch in engen Hohlräumen durchgeführt werden können. Hierbei ist vorgeschlagen, einen ers­ ten Teilstrahl weiter in einen Referenz-Teilstrahl und mindestens einen Mess- Teilstrahl zu trennen, wobei ein weiterer Strahlteiler und ein Referenzspiegel in einer gemeinsamen Messsonde angeordnet sind. Eine derartige Messsonde kann in Hohlräume eingeführt werden. Treten z. B. in einem Fertigungsprozess bei der Messung Erschütterungen auf, so können durch die Vibrationen der Messvor­ richtung und/oder des Messobjektes Ungenauigkeiten im Messergebnis entste­ hen.

Das Prinzip der Weißlichtinterferometrie oder Kurzkohärenzinterferometrie ist beispielsweise in P. de Groot, L. Deck, "Surface profiling by analysis of white­ light interferograms in the spatial frequency domain" J. Mod. Opt., Vol. 42, No. 2, 389-401, 1995 und T. Maack, G. Notni, W. Schreiber, W.-D. Prenzel, "En­ doskopisches 3D-Formmesssystem", in Jahrbuch für Optik und Feinmechanik, Ed. W.-D. Prenzel, Verlag Schiele und Schoen, Berlin, 231-240, 1998 erläutert.

Ferner ist der Aufbau einer interferometrischen Messvorrichtung auch in der DE 197 21 843 C2 angegeben. Bei dieser bekannten Messvorrichtung gibt eine Strahlungserzeugungseinheit, beispielsweise eine Leuchtdiode oder Superlumi­ neszenzdiode, eine kurzkohärente Strahlung ab, die über einen Strahlteiler in einen ersten, über einen Objektlicht geführten Teilstrahl und einen zweiten, über einen Referenzlichtweg geführten Teilstrahl aufgeteilt wird. Der Referenzlichtweg wird mittels zweier Deflektorelemente und eines dahinter angeordneten, fest­ stehenden Beugungsgitters durch Ansteuern der Deflektorelemente periodisch geändert, um die Objektoberfläche in Tiefenrichtung abzutasten. Wenn der Ob­ jektlichtweg und der Referenzlichtweg übereinstimmen, ergibt sich ein Maximum des lnterferenzkontrastes, der mittels einer der Photodetektoreinrichtung nachgeschalteten Auswerteeinrichtung erkannt wird.

Bei einer in der DE 41 08 944 A1 angegebenen weiteren Weißlichtinterfero­ meter-Messvorrichtung wird zur Änderung des Lichtweges in dem Referenz­ strahlengang ein bewegter Spiegel verwendet. Auch bei diesen Verfahren sind Auswirkungen von Erschütterungen der Messvorrichtung und/oder des Messob­ jektes auf das Messergebnis nicht ausgeschlossen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine interferometrische Messvor­ richtung der eingangs genannten Art bereit zu stellen, mit der Auswirkungen von Erschütterungen der Messvorrichtung und/oder des Messobjektes auf das Mess­ ergebnis möglichst vollständig ausgeschlossen werden.

Vorteile der Erfindung

Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruches 1 dadurch gelöst, dass eine Verbindungseinheit vorgesehen ist, mittels der zumindest ein dem Mess­ objekt zugeordneter Abschnitt der Messvorrichtung mit dem Messobjekt unmit­ telbar mechanisch starr und lösbar verbindbar ist.

Durch die mechanisch starre Verbindung zwischen dem Messobjekt und der in­ terferometrischen Messvorrichtung teilen sich Bewegungen während einer Er­ schütterung dem Messobjekt und der Messvorrichtung in gleicher Weise mit, so dass sie nicht zu einer Verfälschung des Messergebnisses führen. Mittels der Verbindungseinheit ist eine mechanische Adaption zwischen dem Messobjekt und der Messvorrichtung für den Messvorgang gegeben. Danach kann die Ver­ bindung gelöst und eine mechanisch starre Ankopplung an dem nachfolgenden Messobjekt hergestellt werden, um z. B. bei einer Serienfertigung eine Quali­ tätskontrolle durchzuführen.

Verschiedene Ausgestaltungsmöglichkeiten bestehen darin, dass die Verbin­ dungseinheit durch eine Steck-, Klemm-, Spann-, Rast-, Klips- oder Schraub­ verbindung gebildet ist.

Prinzipiell ist es möglich, diese Maßnahmen zur Erschütterungskompensation bei verschiedenen interferometrischen Messvorrichtungen, z. B. der klassischen In­ terferometrie und der 2-Wellenlängen-Interferometrie mit entsprechender Aus­ bildung der Datenerfassung anzuwenden.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der interferometrischen Messvorrichtung besteht darin, dass sie als Weißlichtinterferometer-Messvorrichtung mit einem Objekt­ lichtweg und einem Referenzlichtweg ausgebildet ist und dass zumindest die reflektierende Referenzebene mittels der Verbindungseinheit mit dem Messobjekt verbindbar ist.

Ein kompakter Aufbau wird dabei dadurch erzielt, dass der Objektlichtweg und der Referenzlichtweg eine miteinander verbundene starre Einheit aus Objektarm und Referenzarm bilden.

Im vorgesehen, dass das Weißlichtinterferometer ein Modulationsinterferometer und ein dem Objekt zugeordnetes Abbildungsinterferometer aufweist, so ergibt sich eine vereinfachte Bedienung, da das in der Regel aufwendigere Modula­ tionsinterferometer mit der Vorrichtung zum Ändern des Lichtweges getrennt ist von dem dem Messobjekt zugeordneten Abbildungsinterferometer, das entspre­ chend einfach und robust aufgebaut und an die jeweilige Messaufgabe ange­ passt sein kann.

Im Einzelnen ist ein für die Handhabung vorteilhafter Aufbau z. B. gekennzeichnet durch eine eine kurzkohärente Strahlung abgebende Strahlungserzeugungsein­ heit, einen Strahlteiler zum Bilden eines ersten und eines zweiten Teilstrahls, wobei zur Messung die optische Weglänge des ersten Teilstrahles relativ zur optischen Weglänge des zweiten Teilstrahls geändert wird, wobei der von dem Strahlteiler gebildete erste Teilstrahl zunächst über einen ersten Arm auf einen feststehenden ersten Spiegel gerichtet ist, während der zweite Teilstrahl über einen zweiten Arm auf das reflektierende Element gerichtet ist, wobei der optische Gangunterschied zwischen dem ersten und zweiten Arm größer ist als die Kohärenzlänge der Strahlung, wobei die von dem ersten Spiegel und dem reflektierenden Element kommende, gemeinsam weiter geleitete Strahlung mittels eines weiteren Strahlteilers zum Teil über den Objektlichtweg zu dem Messobjekt und zum Teil über den Referenzlichtweg zu einem Referenzspiegel geleitet ist, wobei der Referenzspiegel in einer solchen Entfernung bezüglich des Messobjektes angeordnet ist, dass der Gangunterschied zwischen dem ersten Spiegel und dem reflektierenden Element aufgehoben ist, und wobei die auf den Referenzspiegel auffallende Strahlung und die zu dem Messobjekt geführte Strahlung reflektiert überlagert und von einer Photodetektoreinrichtung mit einem Bildaufnehmer aufgenommen wird.

Ein für die Handhabung günstiger Aufbau besteht dabei darin, dass der Re­ ferenzlichtweg in einem eigenen Referenzamt oder in einer optischen Sonde gebildet ist, durch die auch die zu dem Messobjekt geführte Strahlung geleitet ist, wobei der Referenzspiegel den Teil der zu dem Referenzlichtweg gehörenden Strahlung reflektiert und den Teil der zu dem Objektlichtweg gehörenden Strah­ lung durchlässt.

Eine einfache Vermessung unterschiedlicher Messflächen wird dadurch ermög­ licht, dass, im Objektlichtweg mindestens ein optisches Element und/oder die Wellenfront der Strahlung verformende Elemente angeordnet sind.

Ist vorgesehen, dass in dem Objektlichtweg eine optische Sonde mit einer opti­ schen Anordnung zum Erzeugen mindestens einer optischen Zwischenabbildung vorgesehen ist, so wird eine hohe laterale Auflösung der Messfläche ermöglicht, wie in der nicht vorveröffentlichten deutschen Patentanmeldung 100 47 495 der Anmelderin näher ausgeführt.

Günstige Ausgestaltungen bestehen dabei darin, dass die mindestens eine Zwi­ schenabbildung im Objektlichtweg erzeugt wird, und darin, dass durch die op­ tische Sonde sowohl die zu dem Messobjekt hinführende als auch die von ihm zurückkommende Strahlung verlaufen.

Ein günstiger Aufbau ergibt sich weiterhin dadurch, dass der Referenzspiegel auf einer Planplatte oder einem Prisma vorgesehen ist.

Für die Handhabung ist es vorteilhaft, dass zwischen dem Strahlteiler und dem weiteren Strahlteiler eine Faseroptik angeordnet ist.

Für den Aufbau und die Bedienung können sich weiterhin Vorteile dadurch er­ geben, dass in dem Objektlichtweg zum Erzeugen der Zwischenabbildung ein En­ doskop angeordnet ist.

Weitere günstige Ausgestaltungsmöglichkeiten bestehen darin, dass in dem Ob­ jektlichtweg eine Rundsichtoptik oder eine Superpositionsoptik angeordnet ist, und darin, dass sie zum Abtasten unterschiedlicher Messflächen mehrere Refe­ renzebenen aufweist.

Zeichnung

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezug­ nahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel einer interferometrischen Mess­ vorrichtung mit einem Modulationsinterferometer und einem mit einem Objekt starr verbundenen Abbildungsinterferometer,

Fig. 2 ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem das Abbildungsinter­ ferometer einen Common-Path-Aufbau besitzt und starr mit dem Objekt verbunden ist, und

Fig. 3 einen weiteren Aufbau der interferometrischen Messvorrichtung mit einem gemeinsamen Referenz- und Messlichtweg (Common-Path- Aufbau).

Ausführungsbeispiel

Fig. 1 zeigt eine interferometrische Messvorrichtung mit einem von einem zu vermessenden Objekt O entfernten Modulationsinterferometer MI und einem dem Objekt O zugeordneten Abbildungsinterferometer AI. Das Modulationsinter­ ferometer MI besitzt eine eine kurzkohärente bzw. breitbandige Strahlung ab­ gebende Strahlungserzeugungseinheit SLD, wie z. B. eine Leuchtdiode oder Su­ perlumineszenzdiode, deren Strahlung mittels eines Strahlteilers ST1 in einen ersten Teilstrahl T1 eines ersten Armes und einen zweiten Teilstrahl T2 eines zweiten Armes aufgeteilt wird. Der Aufbau entspricht einem Michelson-Inter­ ferometer. In dem zweiten Arm wird der zweite Teilstrahl T2 von einer Refe­ renzebene in Form eines Referenzspiegels RSP1 reflektiert, wobei der zweite Arm beispielsweise durch Bewegen des Referenzspiegels RSP1 oder mittels aku­ stooptischer Deflektoren, wie in der eingangs erwähnten DE 197 21 842 C2 be­ schrieben, periodisch geändert wird. Wird die Änderung des Lichtwegs mit zwei akusto-optischen Deflektoren vorgenommen, so erübrigt sich ein mechanisch be­ wegtes reflektierendes Element, sondern stattdessen kann ein feststehendes Element, insbesondere ein Gitter, verwendet werden.

Der optische Gangunterschied zwischen den so gebildeten Armen ist größer als die Kohärenzlänge der von der Strahlungserzeugungseinheit SLD erzeugten Strahlung. Von den beiden Spiegeln SP1 und RSP1 aus wird die reflektierte Strahlung über den Strahlteiler ST1, eine Faseroptik LF und einen weiteren Strahlteiler ST2 in das Abbildungsinterferometer eingespeist.

In dem Abbildungsinterferometer AI, das ebenfalls als Michelson-Interferometer ausgebildet ist, sind ein Objektlichtweg mit einer optischen Sonde OS und ein Referenzlichtweg mit einem weiteren Referenzspiegel RSP2 gebildet.

In dem Objektlichtweg wird die Strahlung in die optische Sonde OS eingekop­ pelt, so dass die Strahlung eine zu vermessende Oberfläche eines Messobjekts O beleuchtet. Die Objektoberfläche wird durch die optische Sonde OS über eine oder mehrere Zwischenabbildungen ZB auf eine Photodetektoreinrichtung in Form eines Bildwandlers bzw. Bildsensors BS, beispielsweise eine CCD-Kamera abgebildet. Das Bild des Messobjekts O auf dem Bildsensor BS wird mit der Referenzwelle des zweiten Teilstrahls des Referenzlichtweges überlagert. Im Bild des Messobjekts O tritt hoher lnterferenzkontrast dann auf, wenn ein Gangunter­ schied in dem Referenzlichtweg und dem Messlichtweg kleiner als die Kohärenz­ länge ist.

Das Messprinzip beruht dabei auf Weißlichtinterferometrie (Kurzkohärenzinter­ ferometrie), wie sie in den eingangs erwähnten Druckschriften näher beschrie­ ben ist. Die Länge des Referenzlichtwegs wird über den gesamten Messbereich zum Abtasten in Tiefenrichtung der zu vermessenden Oberfläche durch Bewegen des Spiegels RSP1 in dem zweiten Arm des Modulationsinterferometers MI vari­ iert, wobei für jeden Messpunkt die Länge des Referenzlichtwegs detektiert wird, bei welchem der höchste Interferenzkontrast auftritt. Durch die Zwi­ schenabbildungen wird es ermöglicht, die Oberfläche des Messobjekts mit einer hohen lateralen Auflösung über eine Strecke abzubilden, die groß ist gegenüber dem Durchmesser der abbildenden Optik. Die optische Sonde OS ähnelt einem Endoskop bzw. Boreskop, wobei jedoch die Beleuchtung und die Rückführung der von der Messoberfläche kommenden Strahlung über dieselbe optische An­ ordnung über zumindest eine Zwischenabbildung erfolgen. In Fig. 1 sind als weitere Abbildungselemente schematisch einige Linsen L dargestellt. Die eigent­ lichen Zwischenabbildungen werden in der optischen Sonde OS erzeugt.

Für Anwendungen, in welchen eine genaue Kompensation des Einflusses der ab­ bildenden Linsen der optischen Sonde OS notwendig ist, kann auch in dem Re­ ferenzlichtweg zwischen dem Strahlteiler ST2 und dem Referenzspiegel RSP2 die gleiche optische Sonde integriert werden wie in dem Objektlichtweg zwi­ schen dem Strahlteiler ST2 und dem Messobjekt O.

In einem abgewandelten Aufbau gemäß Fig. 2 und 3 lässt sich die interfero­ metrische Messvorrichtung, und zwar das Abbildungsinterferometer AI auch als Anordnung mit einem gemeinsamen Referenz- und Messarm (Common Path-An­ ordnung) verwirklichen. Die interferometrische Messvorrichtung wird wieder mit einer kurzkohärenten (breitbandigen) Strahlungserzeugungseinheit beleuchtet. Der Strahlteiler ST1 teilt das Licht in den ersten Teilstrahl T1 und den zweiten Teilstrahl T2, wobei der erste Teilstrahl T1 auf den ersten feststehenden Spiegel SP1 und der zweite Teilstrahl T2 auf das reflektierende Element RSP1 in Form des Referenzspiegels fällt.

Der optische Gangunterschied zwischen den so gebildeten Armen ist wiederum größer als die Kohärenzlänge der von der Strahlungserzeugungseinheit SLD erzeugten Strahlung. Von den beiden Spiegeln SP1 und RSP1 aus wird die re­ flektierte Strahlung über den Strahlteiler ST1 und den weiteren Strahlteiler ST2 in die optische Sonde OS eingespeist. Die Besonderheit dieses Aufbaus ist, dass sich ein Referenzspiegel RSP2 im Objektlichtweg bzw. in der optischen Sonde OS selbst befindet.

Ein Teil der Strahlung wird an diesem Referenzspiegel RSP2 reflektiert, während der andere Teil der Strahlung die zu vermessende Oberfläche beleuchtet. Der Re­ ferenzspiegel RSP2 kann auf einer Planplatte aufgebracht sein oder auf einem Prisma. Durch die Verwendung eines Prismas kann die Wellenfront der die Ob­ jektoberfläche befeuchtenden Strahlung, d. h. der Objektwelle an die Geometrie (z. B. Neigung) der zu vermessenden Oberfläche angepasst werden. Das Messob­ jekt O wird mittels der optischen Sonde OS wiederum über eine oder mehrere Zwischenabbildungen auf den Bildsensor BS abgebildet und mit der Referenz­ welle überlagert. Zur Gewinnung der Höheninformation wird das reflektierende Element RSP1 über den Messbereich verfahren oder die Änderung des Licht­ wegs, wie in der vorstehend angegebenen DE 197 21 842 C2 beschrieben, vor­ genommen. In dem Bild des Messobjekts O tritt hoher Interferenzkontrast dann auf, wenn der Gangunterschied zwischen dem feststehenden Spiegel SP1 und dem reflektierenden Element RSP1 bzw. der Lichtwege der beiden Arme genau dem optischen Gangunterschied zwischen dem Referenzspiegel RSP2 und dem Messobjekt O ist. Zur Gewinnung des 3D-Höhenprofils werden bekannte Verfah­ ren zur Detektion des höchsten lnterferenzkontrastes in jedem Bildpunkt (Pixel) verwendet. Dieser Aufbau hat den Vorteil, dass Objekt- und Referenzwelle nahe­ zu die identische Optik durchlaufen, wodurch sich Aberrationen weitgehend kompensieren. Außerdem ist diese Anordnung noch robuster gegen mechani­ sche Erschütterungen.

Für eine noch einfachere Handhabung der Messvorrichtung kann die Strahlung des Strahlteilers ST1 auch mittels einer Faseroptik LF zu dem weiteren Strahl­ teiler ST1 übertragen werden, wie in Fig. 2 dargestellt. Alternativ kann ein Freistrahlaufbau gewählt werden.

Bei allen beschriebenen Aufbauten ist das Abbildungsinterferometer A zu­ mindest im Abschnitt des Objektlichtweges und des Referenzlichtweges als starre mechanische Einheit ausgeführt, die ihrerseits starr mit dem Messobjekt O während der Messung mittels einer Verbindungseinheit VE in einem Verbin­ dungsbereich VB starr und lösbar mit dem Messobjekt O unmittelbar verbunden ist. Als Verbindungseinheit ist z. B. eine Schraubverbindung mit Überwurfmutter, ein in eine Gewindebohrung des Messobjektes O eindrehbarer Schraubabschnitt des Abbildungsinterferometers AI, eine Steckverbindung, eine Rast- oder Klips­ verbindung oder eine Klemm- oder Spannverbindung vorgesehen. Ist ein Com­ mon-Path-Aufbau gewählt, so können der Objektlichtweg bzw. Objektarm und der Referenzlichtweg bzw. Referenzarm gemeinsam in das Messobjekt O einge­ fügt werden.

Claims (16)

1. Interferometrische Messvorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche oder Grenzfläche eines Messobjektse (O), dadurch gekennzeichnet, dass eine Verbindungseinheit (VE) vorgesehen ist, mittels der zumindest ein dem Messobjekt (O) zugeordneter Abschnitt der Messvorrichtung mit dem Messobjekt (O) unmittelbar mechanisch starr und lösbar verbindbar ist.

2. Messvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungseinheit (VE) durch eine Steck-, Klemm-, Spann-, Rast-, Klips- oder Schraubverbindung gebildet ist.

3. Messvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
dass sie als Weißlichtinterferometer-Messvorrichtung mit einem Objekt­ lichtweg und einem Referenzlichtweg ausgebildet ist, und
dass zumindest die reflektierende Referenzebene (RSP2) mittels der Verbindungseinheit (VE) mit dem Messobjekt (O) verbindbar ist.

4. Messvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Objektlichtweg und der Referenzlichtweg eine miteinander ver­ bundene starre Einheit aus Objektarm und Referenzamt bilden.

5. Messvorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Weißlichtinterferometer ein Modulationsinterferometer (MI) und ein dem Objekt (O) zugeordnetes Abbildungsinterferometer (AI) aufweist.

6. Messvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch
eine kurzkohärente Strahlung abgebende Strahlungserzeugungseinheit (SLD), einen Strahlteiler (ST1) zum Bilden eines ersten und eines zweiten Teilstrahls (T1, T2),
wobei zur Messung die optische Weglänge des ersten Teilstrahles (T1) relativ zur optischen Weglänge des zweiten Teilstrahls (T2) geändert wird, wobei der von dem Strahlteiler (ST1) gebildete erste Teilstrahl (T1) zu­ nächst über einen ersten Arm auf einen feststehenden ersten Spiegel (SP1) gerichtet ist, während der zweite Teilstrahl (T2) über einen zweiten Arm auf das reflektierende Element (RSP1) gerichtet ist,
wobei der optische Gangunterschied zwischen dem ersten und zweiten Arm größer ist als die Kohärenzlänge der Strahlung,
wobei die von dem ersten Spiegel (SP1) und dem reflektierenden Element (RSP1) kommende, gemeinsam weitergeleitete Strahlung mittels eines weiteren Strahlteilers (ST2) zum Teil über den Objektlichtweg zu dem Messobjekt (O) und zum Teil über den Referenzlichtweg zu einem Refe­ renzspiegel (RSP2) geleitet ist,
wobei der Referenzspiegel (RSP2) in einer solchen Entfernung bezüglich des Messobjektes (O) angeordnet ist, dass der Gangunterschied zwischen dem ersten Spiegel (SP1) und dem reflektierenden Element (RSP1) aufge­ hoben ist, und
wobei die auf den Referenzspiegel (RSP2) auffallende Strahlung und die zu dem Messobjekt (O) geführte Strahlung reflektiert überlagert und von einer Photodetektoreinrichtung mit einem Bildaufnehmer (BS) aufgenom­ men wird.

7. Messvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzlichtweg in einem eigenen Referenzarm oder in einer optischen Sonde (OS) gebildet ist, durch die auch die zu dem Messobjekt (O) geführte Strahlung geleitet ist, wobei der Referenzspiegel (RSP2) den Teil der zu dem Referenzlichtweg gehörenden Strahlung reflektiert und den Teil der zu dem Objektlichtweg gehörenden Strahlung durchlässt (Common-Path-Anordnung).

8. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass im Objektlichtweg mindestens ein optisches Element und/oder die Wellenfront der Strahlung verformende Elemente angeordnet sind.

9. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Objektlichtweg eine optische Sonde (OS) mit einer optischen Anordnung zum Erzeugen mindestens einer optischen Zwischenabbildung vorgesehen ist.

10. Messvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Zwischenabbildung im Objektlichtweg erzeugt wird.

11. Messvorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass durch die optische Sonde (OS) sowohl die zu dem Messobjekt (O) hinführende als auch die von ihm zurückkommende Strahlung verlaufen.

12. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Referenzspiegel (RSP2) auf einer Planplatte oder einem Prisma vorgesehen ist.

13. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Strahlteiler (ST1) und dem weiteren Strahlteiler (ST2) eine Faseroptik (LF) angeordnet ist.

14. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Objektlichtweg zum Erzeugen der Zwischenabbildung ein En­ doskop angeordnet ist.

15. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Objektlichtweg eine Rundsichtoptik oder eine Superpositions­ optik angeordnet ist.

16. Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass sie zum Abtasten unterschiedlicher Messflächen mehrere Referenz­ ebenen aufweist.