DE102004013073A1

DE102004013073A1 - Production method, e.g. for pressure measuring elements, involves having plate-shaped body with several holes being set distance from each other and body thinned by holes

Info

Publication number: DE102004013073A1
Application number: DE200410013073
Authority: DE
Inventors: Aldo Bojarski; Katrin KÜNZELMANN
Original assignee: AB Elektronik Sachsen GmbH
Current assignee: Kyocera AVX Components Dresden GmbH
Priority date: 2004-03-11
Filing date: 2004-03-11
Publication date: 2005-09-29

Abstract

Production method involves having a plate-shaped body (1) with several holes (2) being a set distance from each other. The body is thinned by the holes and provides a support for diaphragms (3) for the pressure measuring elements (7). Conductive strips are formed on the opposite surfaces of the body so that electrical elements can be applied so that the body is at the same time an element carrier, and that pressure measuring elements from the body are isolated. An independent claim is included for a plate-shaped body with pressure measuring elements.

Description

Die Erfindung betrifft Verfahren zur Herstellung von Druckmesselementen mit jeweils mindestens einer Membran und Druckmesselemente mit jeweils mindestens einer Membran.The The invention relates to methods of making pressure sensing elements each with at least one membrane and pressure measuring elements each at least one membrane.

Druckmesselemente selbst und Verfahren zur Herstellung von Druckmesselementen sind durch viele Veröffentlichungen bekannt. Unter anderem beinhaltet die DE 195 27 687 A1 (Sensor) einen Sensor mit einer Messmembran und Widerstands-Messbrücken auf der Messmembran. Die Widerstands-Messbrücken sind so angeordnet, dass die Dehnung und die Stauchung der Messmembran gemessen wird. In der DE 197 14 703 A1 (Drucksensor) wird ein Drucksensor mit einer metallischen Membran und einem Rahmen beschrieben. Die Messung des an der Membran anliegenden Druckes erfolgt mittels piezoresistiver Widerstandselemente auf der Membran oder dem Rahmen. Die EP 0 702 221 A2 (Integrierter Einchipsensor) beinhaltet einen integrierten Einchipsensor auf Siliziumbasis. Die Membran und die Bauelemente sind entsprechend ausgebildete Schichten des Sensors.Pressure measuring elements themselves and methods for the production of pressure measuring elements are known by many publications. Among other things, the includes DE 195 27 687 A1 (Sensor) a sensor with a measuring diaphragm and resistance measuring bridges on the measuring diaphragm. The resistance measuring bridges are arranged in such a way that the strain and the compression of the measuring membrane are measured. In the DE 197 14 703 A1 (Pressure sensor) is a pressure sensor with a metallic membrane and a frame described. The measurement of the pressure applied to the membrane pressure by means of piezoresistive resistance elements on the membrane or the frame. The EP 0 702 221 A2 (Integrated single-chip sensor) includes an integrated silicon-based single-chip sensor. The membrane and the components are correspondingly formed layers of the sensor.

Diese Lösungen beinhalten jeweils einen speziell ausgeführten Drucksensor.These solutions each contain a specially designed pressure sensor.

Mehrere Drucksensoren können durch die DE 197 36 306 C2 (Verfahren zur Herstellung von Drucksensoren) gleichzeitig in einem Nutzen hergestellt werden. Diese Drucksensorelemente besitzen eine Metallmembran mit einer darauf angeordneten resistiven Dünnschicht. Der Grundkörper einschließlich der Metallmembran wird durch Metallspritzgussverfahren oder Sinterverfahren hergestellt oder ist eine nur in Längsrichtung gewalzte Stahlstange. Über den Nutzen realisierte Grundkörper mit gleichen Materialeigenschaften sind dadurch nur schwer zu realisieren. Weiterhin können durch den metallischen Grundkörper und der Metallmembranen derartige Drucksensoren nicht direkt gleichzeitig als Bauelementeträger dienen.Several pressure sensors can through the DE 197 36 306 C2 (Process for the production of pressure sensors) are produced simultaneously in a benefit. These pressure sensor elements have a metal membrane with a resistive thin film disposed thereon. The main body including the metal diaphragm is produced by metal injection molding or sintering method or is a longitudinally rolled steel bar. Through the benefits realized basic body with the same material properties are thus difficult to realize. Furthermore, by virtue of the metallic base body and the metal diaphragms, such pressure sensors can not simultaneously serve directly as component carriers.

Der in den Patentansprüchen 1 und 7 angegebenen Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vielzahl von Druckmesselementen mit wenigstens einer Membran einfach und ökonomisch herzustellen.Of the in the claims 1 and 7 specified invention is the object of a variety of pressure measuring elements with at least one membrane simple and economical manufacture.

Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 und 7 aufgeführten Merkmalen gelöst.These Task is with the features listed in claim 1 and 7 solved.

Die erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung von Druckmesselementen mit einer Membran und derartige Druckmesselemente zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass diese einfach und ökonomisch günstig herstellbar sind.The inventive method for the production of pressure measuring elements with a membrane and such Pressure measuring elements are characterized in particular by the fact that these simple and economical Cheap can be produced.

Grundlage bildet ein plattenförmigen Körper als Substrat für eine Vielzahl von Druckmesselementen.basis forms a plate-shaped Body as Substrate for a variety of pressure sensing elements.

Der plattenförmige Körper wird während der Realisierung der Druckmesselemente nicht urgeformt, so dass Stoffeigenschaften dieses plattenförmigen Körpers nicht geändert werden. Die Realisierung der Membranen erfolgt durch das Einbringen von Sacklöchern durch Abtragtechniken. Die dadurch abgedünnten Bereiche des plattenförmigen Körpers sind vorteilhafterweise gleichzeitig die Membranen der Druckmesselemente. Auf wenigstens die der Oberfläche mit den Sacklöchern gegenüberliegende Oberfläche des plattenförmigen Körpers werden Leiterbahnen, Kontakte und elektrische Bauelemente aufgebracht, so dass der plattenförmige Körper mit den Sacklöchern gleichzeitig ein Bauelementeträger für die elektrischen Bestandteile der Druckmesselemente ist. Damit können durch einen plattenförmigen Körper eine Vielzahl von Druckmesselementen hergestellt werden, die insbesondere auch gleichzeitig jeweils eine Auswerteschaltung für die Biegung der Membran beinhalten können. Vorteilhafterweise können damit auch insbesondere kompakte und intelligente Druckmesselemente hergestellt werden. Durch kurze Leitungslängen zwischen den Bauelementen können Störungen minimal gehalten werden.Of the disc-shaped body is during the realization of the pressure measuring elements not original, so that Substance properties of this plate-shaped body can not be changed. The realization of the membranes is carried out by the introduction of blind holes by removal techniques. The thus thinned areas of the plate-shaped body are advantageously at the same time the membranes of the pressure measuring elements. At least that of the surface with the blind holes opposing surface of the plate-shaped body are printed conductors, contacts and electrical components, so that the plate-shaped body with the blind holes at the same time a component carrier for the electrical components of the pressure measuring elements is. This can be done by a plate-shaped body a variety of pressure sensing elements are manufactured, in particular at the same time in each case an evaluation circuit for the bend may include the membrane. Advantageously, can especially compact and intelligent pressure measuring elements getting produced. Due to short cable lengths between the components can disorders be kept minimal.

Die einzelnen Druckmesselemente werden formgebend durch Trennen des plattenförmigen Körpers vereinzelt, so dass die verschiedensten Grundflächen realisierbar sind.The individual pressure measuring elements are shaping by separating the disc-shaped body isolated, so that a variety of surfaces are feasible.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen 2 bis 6 und 8 bis 13 angegeben.advantageous Embodiments of the invention are in the claims 2 to 6 and 8 to 13 indicated.

Die Weiterbildungen der Patentansprüche 2, 8 und 13 führen vorteilhafterweise zu intelligenten Druckmesselementen. Auf der Membran befinden sich elektrische Bauelemente, die bei mechanischen Deformationen ihre elektrischen Eigenschaften äquivalent ändern. Diese elektrischen Bauelemente sind dazu vorteilhafterweise Bestandteile einer Brückenschaltung, so dass die äquivalent den mechanischen Deformationen auftretenden elektrischen Änderungen abgenommen werden können. Die Auswerteschaltungen befinden sich in unmittelbarer Nähe der Membran und damit der Brückenschaltung, so dass lange Leitungswege vermieden werden.The Further developments of the claims 2, 8 and 13 lead advantageously to intelligent pressure measuring elements. On the Membrane are electrical components that cause mechanical deformation to change their electrical properties equivalently. These electrical components are advantageously components a bridge circuit, so that the equivalent the mechanical deformations occurring electrical changes can be removed. The evaluation circuits are located in the immediate vicinity of the membrane and thus the bridge circuit, so that long lines are avoided.

Günstige Verfahren zum Einbringen der Sacklöcher sind nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 3 mechanische, chemische und/oder physikalische Abtragverfahren wie unter anderem Bohren, Ultraschallbohren, Laserstrahlbearbeitung, Strahlen oder Ätzen. Diese Verfahren sind Umformtechniken, die zu keiner Stoffeigenschaftsänderung des plattenförmigen Körpers führen. Die technologischen Parameter dieser Verfahren sind vorteilhafterweise so steuerbar, dass vorbestimmte Dicken der Membranen realisierbar sind. Dadurch sind Membranen entsprechend den auszuwertenden Druckänderungen einfach anpassbar.Favorable methods for introducing the blind holes are according to the embodiment of claim 3 mechanical, chemical and / or physical removal methods such as, inter alia Drilling, ultrasonic drilling, laser beam machining, blasting or etching. These methods are forming techniques that do not change the material properties of the plate-shaped body. The technological parameters of these methods are advantageously controllable so that predetermined thicknesses of the membranes can be realized. As a result, membranes are easily adaptable according to the pressure changes to be evaluated.

Vorteilhafterweise werden die Leiterbahnen, die Kontakte und elektrische Bauelemente nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 4 durch Dünn- und/oder Dickschichttechniken realisiert. Das sind Auftragtechniken, wobei vorteilhafterweise keine Änderung der Stoffeigenschaften des plattenförmigen Körpers erfolgt.advantageously, become the tracks, the contacts and electrical components according to the embodiment of claim 4 by thin and / or Thick-film techniques realized. These are order techniques, where advantageously no change the material properties of the plate-shaped body takes place.

Eingebrachte und mit jeweils einer elektrisch leitenden Schicht versehene Durchbrüche nach den Weiterbildungen der Patentansprüche 5 und 9 sind Durchkontaktierungen zwischen den Oberflächen mit und ohne den Sacklöchern. Damit können vorteilhafterweise diese Oberflächen mit Leiterbahnen, Kontakten und elektrischen Bauelementen versehen werden, so dass wesentlich größere Packungsdichten erreichbar sind. Damit sind komplexe Schaltungen auf kleinster Fläche realisierbar.introduced and provided with in each case an electrically conductive layer breakthroughs the developments of the claims 5 and 9 are plated-through holes between the surfaces with and without the blind holes. With that you can advantageously these surfaces be provided with tracks, contacts and electrical components, so that much larger packing densities are reachable. This makes it possible to realize complex circuits in the smallest possible space.

Die Vereinzelung der Druckmesselemente erfolgt nach den Weiterbildungen der Patentansprüche 6 und 11 vorteilhafterweise durch Brechen, Schneiden, Sägen, Strahlen oder Laserstrahlschneiden. Das sind bekannte und ökonomische Trennverfahren.The Separation of the pressure measuring elements takes place according to the developments of the claims 6 and 11 advantageously by breaking, cutting, sawing, blasting or laser beam cutting. These are familiar and economic Separation processes.

Günstige Materialien für den plattenförmigen Körper sind nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 10 eine Keramik, ein Glas oder ein Kunststoff Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist jeweils prinzipiell in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.Cheap materials for the are plate-shaped body according to the embodiment of claim 10, a ceramic, a Glass or a plastic An embodiment of the invention is always shown in principle in the drawings and is closer in the following described.

Es zeigen:It demonstrate:

1 einen plattenförmigen Körper mit Membranen für Druckmesselemente in einer Schnittdarstellung, 1 a plate-shaped body with membranes for pressure measuring elements in a sectional view,

2 einen plattenförmigen Körper mit Leiterbahnen, Kontakten und Bauelementen in einer Schnittdarstellung, 2 a plate-shaped body with interconnects, contacts and components in a sectional view,

3 einen plattenförmigen Körper mit Trennlinien und 3 a plate-shaped body with dividing lines and

4 ein Druckmesselement mit Leiterbahnen, Kontakten, einer Durchkontaktierung und Bauelementen in einer Schnittdarstellung. 4 a pressure measuring element with conductors, contacts, a via and components in a sectional view.

In dem nachfolgendem Ausführungsbeispiel werden ein Verfahren zur Herstellung von Druckmesselementen 7 mit einer Membran 3 und Druckmesselemente 7 zusammen näher erläutert.In the following embodiment, a method for producing pressure measuring elements 7 with a membrane 3 and pressure measuring elements 7 explained together.

In einem plattenförmigen Körper 1 werden beabstandet mehrere Sacklöcher 2 so eingebracht, dass die durch die Sacklöcher 2 abgedünnten Bereiche des plattenförmigen Körpers 1 gleichzeitig die Membranen 3 für die Druckmesselemente 7 sind.In a plate-shaped body 1 be spaced several blind holes 2 inserted so that through the blind holes 2 thinned areas of the plate-shaped body 1 at the same time the membranes 3 for the pressure measuring elements 7 are.

Die 1 zeigt prinzipiell einen plattenförmigen Körper 1 mit Membranen 3 für Druckmesselemente 7 in einer Schnittdarstellung.The 1 shows in principle a plate-shaped body 1 with membranes 3 for pressure measuring elements 7 in a sectional view.

Der plattenförmige Körper 1 selbst besteht aus einer Keramik, einem Glas oder einem Kunststoff Das Sackloch 2 wird über bekannte Abtragtechniken, wie zum Beispiel einer Laserstrahl bearbeitung, Bohren, Ultraschallbohren oder Strahlen, eingebracht. Der Abstand der Sacklöcher 2 richtet sich sowohl nach deren Grundfläche als auch nach der Grundfläche der Druckmesselemente 7.The plate-shaped body 1 itself consists of a ceramic, a glass or a plastic The blind hole 2 is introduced via known Abtragtechniken, such as a laser beam machining, drilling, ultrasonic drilling or blasting. The distance between the blind holes 2 depends both on their base area and on the base area of the pressure measuring elements 7 ,

Auf die der Oberfläche mit den Sacklöchern 2 gegenüberliegende Oberfläche des plattenförmigen Körpers 1 werden Leiterbahnen 4, Kontakte 5 und elektrische Bauelemente 6 aufgebracht, so dass der plattenförmige Körper 1 gleichzeitig ein Bauelementeträger ist. Die Leiterbahnen 4 und Kontakte 5 werden über bekannte Additiv- oder Subtraktivverfahren erzeugt. Additivverfahren sind sowohl Dick- als auch Dünnschichttechniken. Der besondere Vorteil dieser Techniken besteht darin, dass neben den Leiterbahnen 4 und Kontakten 5 auch insbesondere Widerstände als Bauelemente 6 leicht realisiert werden können. Dazu werden mittels Sieb- oder Schablonendruck die Leiterbahnen 4 und die Widerstände als Schicht aus pastenartigen Mischungen eines organischen und/oder anorganischen Binders aufgebracht und ausgehärtet. Damit werden die sich jeweils auf der der Oberfläche mit den Sacklöchern 2 gegenüberliegenden und die Membran 3 darstellende Oberfläche des plattenförmigen Körpers 1 angeordnete Brückenschaltung bestehend aus Leiterbahnen 4 und Widerständen hergestellt. Diese Widerstände zeichnen sich durch eine Widerstandsänderung bei einer mechanischen Deformation aus. Anstelle dieser Widerstände können auch bekannte Dehnmessstreifen zum Einsatz kommen. Für die Messung des Druckes eines an der Membran 3 anliegenden Mediums wird bekannterweise die dadurch hervorgerufene Deformation als äquivalente Widerstandsänderung genutzt. Die 2 zeigt prinzipiell einen plattenförmigen Körper 1 mit Leiterbahnen 4, Kontakten 5 und Bauelementen 6 in einer Schnittdarstellung.On the surface with the blind holes 2 opposite surface of the plate-shaped body 1 become tracks 4 , Contacts 5 and electrical components 6 applied, leaving the plate-shaped body 1 at the same time is a component carrier. The tracks 4 and contacts 5 are generated via known additive or subtractive methods. Additive methods are both thick and thin film techniques. The particular advantage of these techniques is that in addition to the tracks 4 and contacts 5 also in particular resistors as components 6 can be easily realized. These are by means of screen or stencil printing the tracks 4 and the resistors applied as a layer of paste-like mixtures of an organic and / or inorganic binder and cured. This will be on each of the surface with the blind holes 2 opposite and the membrane 3 illustrative surface of the plate-shaped body 1 arranged bridge circuit consisting of conductor tracks 4 and resistors. These resistors are characterized by a change in resistance during a mechanical deformation. Instead of these resistors, known strain gauges can also be used. For measuring the pressure of one on the membrane 3 Adjacent medium is known to use the resulting deformation as an equivalent change in resistance. The 2 shows in principle a plate-shaped body 1 with tracks 4 , Contacts 5 and components 6 in a sectional view.

Neben der Brückenschaltung befinden sich weitere aufgebrachte Leiterbahnen 4, Kontakte 5 und Bauelemente 6 auf dieser Oberfläche des plattenförmigen Körpers, die mit den Leiterbahnen 4 und Kontakten 5 für die Brückenschaltung aufgebracht wurden. Mit den Kontakten 5 werden auch gehäuste Bauelemente 6 auf dem plattenförmigen Körper 1 platziert. Das ist insbesondere eine Auswerteschaltung als integrierter Schaltkreis in einem separaten Gehäuse und weitere insbesondere aktive Bauelemente, die für die Funktion der Druckmesselemente notwendig sind. Damit können die Messwerte als äquivalent gewandelte analoge und/oder digitale Signale abgegriffen werden. Anstelle der gehäusten aktiven Bauelemente 6 können auch Nacktchips aufgesetzt und bekannterweise mit den Kontakten 5 verbunden werden. Der plattenförmige Körper 1 ist gleichzeitig ein Bauelementeträger. Die Bestückung der separaten Bauelemente erfolgt mit bekannten Aufsetz- und Verbindungstechniken.In addition to the bridge circuit are further applied tracks 4 , Contacts 5 and components 6 on this surface of the plate-shaped body, with the tracks 4 and contacts 5 were applied for the bridge circuit. With the contacts 5 are also housed components 6 on the plate-shaped body 1 placed. This is in particular an evaluation circuit as an integrated circuit in a separate housing and more particularly active components that are necessary for the function of the pressure measuring elements. Thus, the measured values can be tapped as equivalently converted analog and / or digital signals. Instead of the housed active components 6 Naked chips can also be put on and, as is known, with the contacts 5 get connected. The plate-shaped body 1 is at the same time a component carrier. The assembly of the separate components is done with known Aufsetz- and connection techniques.

Nach der Bestückung wird der plattenförmige Körper 1 in die einzelnen Druckmesselemente 7 geteilt. Dazu werden bekannte Trennverfahren wie Schneiden, Sägen, Strahlen oder Laserstrahlschneiden angewandt. Die 3 zeigt einen plattenförmigen Körper 1 mit Trennlinien 8 zur Vereinzelung der Druckmesselemente 7.After placement, the plate-shaped body 1 in the individual pressure measuring elements 7 divided. For this purpose, known separation methods such as cutting, sawing, blasting or laser beam cutting are used. The 3 shows a plate-shaped body 1 with dividing lines 8th for separating the pressure measuring elements 7 ,

Beispielhaft ist ein vereinzeltes Druckmesselement 7 mit Leiterbahnen 4, Kontakten 5 einer Durchkontaktierung 9 und Bauelementen 6 in der 4 in einer prinzipiellen Schnittdarstellung gezeigt. Zur Realisierung der Durchkontaktierung 9 sind in den plattenförmigen Körper 1 Durchbrüche eingebracht, deren Wandung mit einer elektrisch leitenden Schicht so versehen ist, dass elektrische Verbindungen zwischen Leiterbahnen 4 und/oder Kontakten 5 zwischen den Oberflächen mit und ohne den Sacklöchern 2 des plattenförmigen Körpers 1 vorhanden sind.An example is an isolated pressure measuring element 7 with tracks 4 , Contacts 5 a via 9 and components 6 in the 4 shown in a schematic sectional view. For the realization of the via 9 are in the plate-shaped body 1 Introduced breakthroughs whose wall is provided with an electrically conductive layer so that electrical connections between tracks 4 and / or contacts 5 between the surfaces with and without the blind holes 2 the plate-shaped body 1 available.

Die Leiterbahnen 4 und Kontakte 5 können auch über bekannte Subtraktivverfahren erzeugt werden. Dazu wird der plattenförmige Körper 1 flächig mit einer elektrische leitenden Schicht versehen. Durch selektives Abtragen unter anderem durch Ätzen der elektrisch leitenden Schicht werden die Leiterbahnen 4 und Kontakte 5 auf dem plattenförmigen Körper 1 erzeugt. Danach wird der so strukturierte plattenförmige Körper 1 mit Bauelementen 6 versehen, so dass die Druckmesselemente nach der Vereinzelung realisiert sind.The tracks 4 and contacts 5 can also be generated via known subtractive methods. This is the plate-shaped body 1 provided flat with an electrically conductive layer. By selectively removing, inter alia, by etching the electrically conductive layer, the conductor tracks 4 and contacts 5 on the plate-shaped body 1 generated. Thereafter, the thus structured plate-shaped body 1 with components 6 provided, so that the pressure measuring elements are realized after the separation.

In einer weiteren Ausführungsform können Druckmesselemente auch jeweils zwei Membranen aufweisen, so dass mittels der darauf platzierten Messbrücken Differenzmessungen möglich sind. Die Membranen können auch wechselseitig angeordnet sein, wobei Sacklöcher benachbart von jeder Oberfläche des plattenförmigen Körpers eingebracht sein können. Damit können die Messmedien am Druckmesselement beidseitig angreifen.In a further embodiment can pressure measuring elements also each have two membranes, so that by means of it placed measuring bridges Differential measurements possible are. The membranes can also be arranged mutually, with blind holes adjacent to each surface of the disc-shaped body can be introduced. With that you can the measuring media on the pressure measuring element attack on both sides.

Claims

Method for producing pressure measuring elements having at least one membrane, characterized in that in a plate-shaped body ( 1 ) spaced several blind holes ( 2 ) are introduced so that through the blind holes ( 2 ) thinned areas of the plate-shaped body ( 1 ) simultaneously the membranes ( 3 ) for the pressure measuring elements ( 7 ) are that at least on the surface with the blind holes ( 2 ) opposite surface of the plate-shaped body ( 1 ) Conductor tracks ( 4 ), Contacts ( 5 ) and electrical components ( 6 ) are applied so that the plate-shaped body ( 1 ) is simultaneously a component carrier, and that pressure measuring elements ( 7 ) from the plate-shaped body ( 1 ) are isolated.

Method according to claim 1, characterized in that both on the surface of the blind holes ( 2 ) and the membranes ( 3 ) representing surfaces of the plate-shaped body ( 1 ) Bridge circuits forming interconnects ( 4 ) and electrical components ( 6 ) and at least on the surface with the blind holes ( 2 ) and at least one of the membranes ( 3 ) adjacent surfaces conductor tracks ( 4 ) and contacts ( 5 ) and that this surface with electrical components ( 6 ) is equipped so that component connections with contacts ( 5 ) are electrically conductively connected, wherein at least one electrical component ( 6 ) is connected as an evaluation circuit with a bridge circuit.

Method according to claim 1, characterized in that the blind holes ( 2 ) are introduced by mechanical, chemical and / or physical removal processes.

Method according to claim 1, characterized in that the printed conductors ( 4 ), The contacts ( 5 ) and electrical components ( 6 ) are applied by thin and / or thick film technology.

Method according to claim 1, characterized in that in the plate-shaped body ( 1 ) Breakthroughs are introduced and that the walls of the openings are provided with an electrically conductive layer so that electrical connections between interconnects ( 4 ) and / or contacts ( 5 ) as vias ( 9 ) between the surfaces with and without the blind holes ( 2 ) of the plate-shaped body ( 1 ) arise.

Method according to claim 1, characterized ge indicates that the pressure measuring elements ( 7 ) are separated by breaking, cutting, sawing, blasting or laser beam cutting.

Plate-shaped body with pressure measuring elements, each having at least one membrane, characterized in that in the plate-shaped body ( 1 ) spaced several blind holes ( 2 ), that through the blind holes ( 2 ) thinned areas of the plate-shaped body ( 1 ) simultaneously the membranes ( 3 ) for the pressure measuring elements ( 7 ) and that the plate-shaped body ( 1 ) is at the same time a component carrier, wherein at least on the surface with the blind holes ( 2 ) opposite surface of the plate-shaped body ( 1 ) Conductor tracks ( 4 ) and contacts ( 5 ) and electrical components ( 6 ) are applied.

Plate-shaped body according to claim 7, characterized in that in each case on the surface with the blind holes ( 2 ) opposite and the membrane ( 3 ) performing surface of the plate-shaped body ( 1 ) a bridge circuit consisting of conductor tracks ( 4 ) and electrical components ( 6 ) is located on at least one surface adjacent to this surface without membrane ( 3 ) at least conductor tracks ( 4 ) and contacts ( 5 ) are arranged and that at least one component ( 6 ) with contacts ( 5 ) is electrically conductively connected so that this component ( 6 ) is connected together as an evaluation circuit with a bridge circuit.

Plate-shaped body according to claim 7, characterized in that in the plate-shaped body ( 1 ) Breakthroughs are introduced and that the walls of the openings are provided with an electrically conductive layer so that electrical connections between tracks ( 4 ) and / or contacts ( 5 ) as vias ( 9 ) between the surfaces with and without the blind holes ( 2 ) of the plate-shaped body ( 1 ) arise.

Plate-shaped body according to claim 7, characterized in that the plate-shaped body ( 1 ) consists of a ceramic, a glass or a plastic.

Plate-shaped body according to claim 7, characterized in that pressure measuring elements ( 7 ) by breaking, cutting, sawing, blasting or laser beam cutting separations of the plate-shaped body ( 1 ) are.

Pressure measuring element with at least one membrane of a plate-shaped body with pressure measuring elements, each having at least one membrane according to claim 7, characterized in that in the same time a component carrier with conductor tracks ( 4 ) and contacts ( 5 ) and electrical components ( 6 ) representing carrier at least one blind hole ( 2 ) and that through the blind hole ( 2 ) thinned area at the same time a membrane ( 3 ) for the pressure measuring element ( 7 ).

Pressure measuring element according to claim 12, characterized in that at least on the surface with the blind hole ( 2 ) opposite and the membrane ( 3 ) performing surface of the carrier is a bridge circuit consisting of interconnects ( 4 ) and electrical components ( 6 ) is located on at least one surface adjacent to this surface without membrane ( 3 ) at least conductor tracks ( 4 ) and contacts ( 5 ) are arranged and that at least one electrical component ( 6 ) with contacts ( 5 ) is electrically conductively connected so that this electrical component ( 6 ) is connected together as an evaluation circuit with a bridge circuit.