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DE102004049437A1 - Beam deflecting device for use in confocal scanning microscope, has deflecting unit arranged for adjustable deflection of light beams, and positioned in sound-proof housing with entry window and/or exit window - Google Patents

Beam deflecting device for use in confocal scanning microscope, has deflecting unit arranged for adjustable deflection of light beams, and positioned in sound-proof housing with entry window and/or exit window Download PDF

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DE102004049437A1
DE102004049437A1 DE200410049437 DE102004049437A DE102004049437A1 DE 102004049437 A1 DE102004049437 A1 DE 102004049437A1 DE 200410049437 DE200410049437 DE 200410049437 DE 102004049437 A DE102004049437 A DE 102004049437A DE 102004049437 A1 DE102004049437 A1 DE 102004049437A1
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scanning microscope
window
exit window
deflection
deflection means
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DE200410049437
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German (de)
Inventor
Holger Dr. Birk
Dirk-Oliver Fehrer
Michael Goldner
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Leica Microsystems CMS GmbH
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Leica Microsystems CMS GmbH
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Abstract

The device has a deflecting unit (15) arranged for adjustable deflection of light beams, and including an oscillating reflector and a galvanometer reflector. The deflecting unit is positioned in a sound-proof housing (17) with an entry window (19) and/or exit window (21), where the exit window is designed as a lens (23). The housing has lining with an acoustical absorption unit (27). An independent claim is also included for a confocal scanning microscope with a beam deflecting device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Strahlablenkeinrichtung mit zumindest einem beweglich angeordneten Ablenkmittel zur einstellbaren Ablenkung eines Lichtstrahles.The The invention relates to a beam deflection device with at least one movably arranged deflection means for adjustable deflection a ray of light.

Die Erfindung betrifft außerdem ein Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung mit zumindest einem beweglich angeordneten Ablenkmittel zur einstellbaren Ablenkung eines Lichtstrahles.The Invention also relates a scanning microscope with a beam deflecting device with at least a movably arranged deflection means for adjustable deflection a ray of light.

In der Rastermikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Reflexions- oder Fluoreszenzlicht zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Objektebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Lichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.In Scanning microscopy illuminates a sample with a light beam around the reflection or fluorescent light emitted by the sample to observe. The focus of an illumination beam comes with Help of a controllable beam deflector, in general by tilting two mirrors, moving in an object plane, where the deflection axes are usually perpendicular to each other, so that a Mirror in x-, the other distracts in y-direction. The tilt The mirror, for example, with the help of galvanometer actuators accomplished. The power of the light coming from the object becomes dependent on measured from the position of the scanning beam. Usually, the control elements equipped with sensors for determining the current mirror position.

Speziell in der konfokalen Rastermikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet.specially in confocal scanning microscopy becomes an object with the focus a light beam scanned in three dimensions.

Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende – die sog. Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird oft über den Strahlteiler, der beispielsweise als Neutralstrahlteiler oder als dichroitischer Strahlteiler ausgeführt sein kann, eingekoppelt. Neutralstrahlteiler haben den Nachteil, dass je nach Teilungsverhältnis viel Anregungs- oder viel Detektionslicht verloren geht.One confocal scanning microscope generally comprises a light source a focusing optics, with the light of the source on a pinhole - the so-called. Excitation aperture - focused is a beam splitter, a beam deflecting device for beam control, a microscope optics, a detection aperture and the detectors for Detection of the detection or fluorescent light. The illumination light will often over the beam splitter, for example, as a neutral beam splitter or can be designed as a dichroic beam splitter, coupled. Neutral beam splitters have the disadvantage that, depending on the division ratio much Excitation or much detection light is lost.

Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt, wobei die Bahn des Abtastlichtstrahles auf bzw. in dem Objekt Idealerweise einen Mäander beschreibt. (Abtasten einer Zeile in x-Richtung bei konstanter y-Position, anschließend x-Abtastung anhalten und per y-Verstellung auf die nächste abzutastende Zeile schwenken und dann, bei konstanter y-Position, diese Zeile in negative x-Richtung abtasten u.s.w.). Um eine schichtweise Bilddatennahme zu ermöglichen, wird der Probentisch oder das Objektiv nach dem Abtasten einer Schicht verschoben und so die nächste abzutastende Schicht in die Fokusebene des Objektivs gebracht.The Fluorescence or reflection light coming from the object passes over the Beam deflector back to the beam splitter, this happens, then to the detection panel to be focused behind which the detectors are located. Detection light, that does not come directly from the focus region takes another Light path and does not pass the detection aperture, so you have one Receives point information, by sequentially scanning the object to a three-dimensional one Picture leads. Most of time becomes a three-dimensional image by layerwise image data taking achieved, wherein the path of the scanning light beam on or in the Object Ideally a meander describes. (Scanning a line in the x-direction at a constant y-position, then x-scanning pause and swing by y-adjustment to the next line to be scanned and then, at constant y-position, this line in negative x-direction to sample etc.). To enable a layered image data acquisition, becomes the sample stage or lens after scanning a layer moved and so the next one to be scanned layer brought into the focal plane of the lens.

In der Rastermikroskopie sind verschiedene Strahlablenkeinrichtungen zum Führen eines Beleuchtungslichtstrahles über bzw. durch eine Probe bekannt. Beispielsweise sei DE 196 54 210 C2 erwähnt, in der eine Anordnung zum Scannen eines Strahls in zwei im Wesentlichen senkrecht zueinander liegenden Achsen beschrieben ist.In scanning microscopy, various beam deflection devices for guiding an illumination light beam over or through a sample are known. For example DE 196 54 210 C2 mentioned in which an arrangement for scanning a beam in two substantially mutually perpendicular axes is described.

Insbesondere Spiegelgalvanometer finden zur schnellen Ablenkung von Lichtstrahlen in weiten Gebieten der Optik Anwendungen. Beispielsweise werden in der Rastermikroskopie Scanlichtstrahlen mit Hilfe von galvanometergetriebenen Spiegelanordnungen über eine Probe gelenkt. Um hohe Scanraten zu erreichen, werden häufig resonante Galvanometer eingesetzt, die einen Spiegel mit einer Frequenz von mehreren kHz um eine Drehachse schwingen lassen.Especially Mirror galvanometers find for fast deflection of light rays in wide areas of optics applications. For example in scanning microscopy, scanning light beams with the help of galvanometergetriebenen Mirror arrangements over a sample steered. To achieve high scan rates, often resonant Galvanometer used a mirror with a frequency of swing several kHz around a rotation axis.

Nachteiliger Weise pfeifen die bekannten Strahlablenkeinrichtungen insbesondere bei hohen Ablenkraten unangenehm und störend laut.Derogatory Way whistle the known beam deflection devices in particular at high deflection rates uncomfortable and disturbing loud.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Strahlablenkeinrichtung mit zumindest in der Lautstärke vermindertem Störgeräusch anzugeben.It Therefore, the object of the present invention, a beam deflecting device with at least in the volume indicate reduced noise.

Diese Aufgabe wird durch eine Strahlablenkeinrichtung gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das beweglich angeordnete Ablenkmittel in einem weitgehend schalldichten Gehäuse mit einem Eintrittsfenster und/oder einem Austrittsfenster positioniert ist.These Task is solved by a beam deflector, the characterized in that the movably arranged deflection means in a largely soundproof housing with an entrance window and / or an exit window is positioned.

Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Rastermikroskop mit zumindest in der Lautstärke vermindertem Störgeräusch anzugeben.It Another object of the present invention is a scanning microscope with at least in the volume indicate reduced noise.

Die weitere Aufgabe wird durch ein Rastermikroskop gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, dass das beweglich angeordneten Ablenkmittel in einem weitgehend schalldichten Gehäuse mit einem Eintrittsfenster und/oder einem Austrittsfenster positioniert ist.The further object is achieved by a scanning microscope, which is characterized in that the movably arranged deflection means in a largely soundproof housing with a Entry window and / or an exit window is positioned.

Die Erfindung hat den besonderen Vorteil, dass durch Einkapselung des Ablenkmittels eine erhebliche Geräuschverminderung erzielt wird. Hierbei kann in einer ganz besonders Bevorzugten Variante das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster des Gehäuses aus optischen Bauteilen bestehen, die ohnehin im optischen Gesamtaufbau in dem die Strahlablenkeinrichtung implementiert ist, benötigt werden.The Invention has the particular advantage that by encapsulating the Ablenkmittels a significant noise reduction is achieved. Here, in a most preferred variant, the entrance window and / or the exit window of the housing of optical components exist, the anyway in the overall optical structure in which the beam deflector implemented, needed become.

Vorzugsweise beinhaltet das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster ein zumindest teilweise transparentes optisches Element. Das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster kann beispielsweise aus einer oder mehreren Linsen und/oder einem oder mehreren Strahlteilern und/oder aus einem oder mehreren Filter bestehen.Preferably includes the entrance window and / or the exit window at least partially transparent optical element. The entrance window and / or the exit window may for example consist of one or a plurality of lenses and / or one or more beam splitters and / or consist of one or more filters.

In einer ganz besonders bevorzugten Variante des erfindungsgemäßen Rastermikroskops beinhaltet das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster die Scanlinse die Tubuslinse und/oder ein Strahlaufweitungsoptik des Rastermikroskops. Bei dieser Variante sind keine zusätzlichen optischen Bauteile im Strahlengang angeordnet, so dass es zu keinen zusätzlichen Verlusten an Beleuchtungs- oder Detektionslicht oder zu unerwünschten Interferenzen kommt.In a very particularly preferred variant of the scanning microscope according to the invention includes the entrance window and / or the exit window the Scan lens the tube lens and / or a beam expansion optics of Scanning microscope. In this variant are no additional optical components arranged in the beam path, so that there is no additional Loss of illumination or detection light or unwanted Interference comes.

In einer bevorzugten Ausgestaltungsform beinhalte das Ablenkmittel einen Schwingspiegel, der beispielsweise als Galvanometerspiegel ausgeführt sein kann. Besonderes vorteilhaft wirkt sich die erfindungsgemäße Strahlablenkeinrichtung bzw. das erfindungsgemäße Rastermikroskop bei der Verwendung resonant schwingender Anlenkmittel – insbesondere bei resonanten Galvanometerspiegeln – aus.In a preferred embodiment includes the deflection means a vibrating mirror, for example, as a galvanometer mirror accomplished can be. The beam deflecting device according to the invention has a particularly advantageous effect or the scanning microscope according to the invention when using resonantly oscillating hinge means - in particular resonant galvanometer mirrors - off.

In einer Variante beinhaltet das Ablenkmittel einen Drehspiegel, insbesondere einen Polygonspiegel.In In one variant, the deflection means includes a rotating mirror, in particular a polygon mirror.

Besonders bevorzugt ist eine Ausführungsvariante, bei der das Gehäuse mit einem Schallabsorptionsmittel ausgekleidet ist. Hierbei kann es sich beispielsweise um Schaumstoffmaterial handeln. Die Auskleidung weist vorzugsweise Noppen oder Spitzen auf.Especially preferred is an embodiment variant, at the case is lined with a sound absorber. Here can it may be, for example, foam material. The lining preferably has knobs or tips.

Vorzugsweise sind Mittel zur Vermeidung von Übertragung von Körperschall von dem Gehäuse auf das übrige Rastermikroskop vorgesehen. Hierzu kann das Gehäuse beispielsweise elastisch aufgehängt sein. Es ist auch möglich Dämmmatten an den Befestigungspunkten des Gehäuses anzubringen.Preferably are means of preventing transmission of structure-borne noise from the housing the rest Scanning microscope provided. For this purpose, the housing, for example, elastic suspended be. It is also possible insulation mats to install at the attachment points of the housing.

Vorzugsweise ist das Rastermikroskop als konfokales Rastermikroskop ausgebildet.Preferably the scanning microscope is designed as a confocal scanning microscope.

In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleich wirkende Bauteile mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigt:In the drawing of the subject invention is shown schematically and will be described with reference to the figures below, wherein the same acting components are provided with the same reference numerals. there shows:

1 Ein erfindungsgemäßes Rastermikroskop mit einer erfindungsgemäßen Strahlablenkeinrichtung. 1 An inventive scanning microscope with a beam deflecting device according to the invention.

1 zeigt 1 shows

1 zeigt ein erfindungsgemäße Rastermikroskop, das als konfokales Rastermikroskop ausgebildet ist. Das Rastermikroskop weist eine erste Beleuchtungslichtquelle 1 auf, die als Mehrlinienlaser 3 ausgeführt ist und die ein Beleuchtungslichtstrahlenbündel 5 erzeugt. Das Beleuchtungslichtstrahlenbündel 5 passiert die Beleuchtungslochblende 7 und wird anschließend von einem Hauptstrahlteiler 9, der als dichroitischer Filter ausgebildet ist, zur Strahlablenkeinrichtung 11, die einen kardanisch aufgehängten Scanspiegel 13 als beweglich angeordnetes Ablenkmittel 15 beinhaltet. 1 shows a scanning microscope according to the invention, which is designed as a confocal scanning microscope. The scanning microscope has a first illumination light source 1 on that as a multi-line laser 3 is executed and the an illuminating light beam 5 generated. The illumination light beam 5 happens the illumination pinhole 7 and then by a main beam splitter 9 , which is designed as a dichroic filter, the beam deflecting device 11 holding a gimbal-mounted scanning mirror 13 as a movably arranged deflection means 15 includes.

Die Strahlablenkeinrichtung 13 weist ein schalldichtes Gehäuse 17 in dem das beweglich angeordnete Ablenkmittel 15 zur einstellbaren Ablenkung des Beleuchtungslichtstrahlenbündel 5 angeordnet ist. Das schalldichte Gehäuse 17 weist in Bezug auf das Beleuchtungslichtstrahlenbündel 5 ein Eintrittsfenster 19 und ein Austrittsfenster 21 auf. Das Eintrittsfenster 19 ist als Linse 23 ausgebildet, die das Beleuchtungslichtstrahlenbündel 5 kollimiert. Das Austrittsfenster 21 beinhaltet die Scanlinse 25 des Rastermikroskops. Das Gehäuse 17 ist mit einem Schallabsorptionsmittel 27, nämlich einem Schaumstoff-Noppenflies, ausgekleidet.The beam deflector 13 has a soundproof housing 17 in which the movably arranged deflection means 15 for adjustable deflection of the illumination light beam 5 is arranged. The soundproof housing 17 with respect to the illumination light beam 5 an entrance window 19 and an exit window 21 on. The entrance window 19 is as a lens 23 formed, which the illumination light beam 5 collimated. The exit window 21 includes the scan lens 25 of the raster microscope. The housing 17 is with a sound absorbent 27 , namely a foam nub fleece, lined.

Die Strahlablenkeinrichtung 11 führt das Beleuchtungslichtstrahlenbündel 5 durch die Scanlinse 25, die Tubusoptik 29, sowie durch das Objektiv 31 über bzw. durch die Probe 33. Das von der Probe 33 ausgehende Detektionslicht 35 (z.B. Reflexionslicht, Fluoreszenzlicht...) gelangt auf demselben Lichtweg, nämlich durch das Objektiv 31, die Tubusoptik 29, sowie durch die Scanlinse 25 zurück zum kardanisch aufgehängten Scanspiegel 13, das das Detektionslicht 35 zum Hauptstrahlteiler 9 lenkt. Das Detektionslicht 35 passiert den Hauptstrahlteiler 9 und die folgende Detektionslochblende 37 und gelangt anschließend einen Detektor 39, der als Photomultiplier 41 ausgeführt ist.The beam deflector 11 guides the illumination light beam 5 through the scan lens 25 , the tube optic 29 , as well as through the lens 31 over or through the sample 33 , That from the sample 33 outgoing detection light 35 (eg reflection light, fluorescent light ...) gets on the same light path, namely through the lens 31 , the tube optic 29 , as well as through the scan lens 25 back to the gimbal-mounted scanning mirror 13 that the detection light 35 to the main beam splitter 9 directs. The detection light 35 happens the main beam splitter 9 and the following detection pinhole 37 and then passes a detector 39 that as a photomultiplier 41 is executed.

Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen.The invention has been described with reference to a particular embodiment. However, it is of course, that changes and modifications may be made without departing from the scope of the following claims.

11
BeleuchtungslichtquelleIllumination light source
33
MehrlinienlaserMulti-Line Laser
55
BeleuchtungslichtstrahlenbündelIllumination light beam
77
BeleuchtungslochblendeLighting pinhole
99
HauptstrahlteilerMain beam splitter
1111
StrahlablenkeinrichtungBeam deflector
1313
Scanspiegelscanning mirror
1515
beweglich angeordnetes Ablenkmittelmovable arranged deflection means
1717
Gehäusecasing
1919
Eintrittsfensterentrance window
2121
Austrittsfensterexit window
2323
Linselens
2525
Scanlinsescan lens
2727
SchallabsorptionsmittelSound absorbent
2929
Tubusoptiktube optical system
3131
Objektivlens
3333
Probesample
3535
Detektionslichtdetection light
3737
DetektionslochblendeDetection pinhole
3939
Detektordetector
4141
Photomultiplierphotomultiplier

Claims (23)

Strahlablenkeinrichtung mit zumindest einem beweglich angeordneten Ablenkmittel zur einstellbaren Ablenkung eines Lichtstrahles, dadurch gekennzeichnet, dass das beweglich angeordnete Ablenkmittel in einem weitgehend schalldichten Gehäuse mit einem Eintrittsfenster und/oder einem Austrittsfenster positioniert ist.Beam deflection device with at least one movably arranged deflection means for adjustably deflecting a light beam, characterized in that the movably arranged deflection means is positioned in a largely soundproof housing with an entrance window and / or an exit window. Strahlablenkeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen Schwingspiegel beinhaltet.Beam deflection device according to claim 1, characterized characterized in that the deflection means includes a vibrating mirror. Strahlablenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen Galvanometerspiegel beinhaltet.Beam deflection device according to one of claims 1 or 2, characterized in that the deflection means a galvanometer mirror includes. Strahlablenkeinrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen resonanten Galvanometerspiegel beinhaltet.Beam deflection device according to claim 3, characterized characterized in that the deflection means comprise a resonant galvanometer mirror includes. Strahlablenkeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen Drehspiegel, insbesondere einen Polygonspiegel, beinhaltet.Beam deflection device according to claim 1, characterized characterized in that the deflection means comprises a rotating mirror, in particular a polygon mirror, includes. Strahlablenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster ein zumindest teilweise transparentes optisches Element beinhaltet.Beam deflection device according to one of claims 1 to 5, characterized in that the entrance window and / or the Exit window an at least partially transparent optical Element includes. Strahlablenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster zumindest eine Linse beinhaltet.Beam deflection device according to one of claims 1 to 6, characterized in that the entrance window and / or the Exit window includes at least one lens. Strahlablenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster zumindest einen Strahlteiler beinhaltet.Beam deflection device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the entrance window and / or the Exit window includes at least one beam splitter. Strahlablenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster zumindest einen optischen Filter beinhaltet.Beam deflection device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the entrance window and / or the Exit window includes at least one optical filter. Strahlablenkeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse mit einem Schallabsorptionsmittel ausgekleidet ist.Beam deflection device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the housing with a sound absorbing means is lined. Rastermikroskop mit einer Strahlablenkeinrichtung mit zumindest einem beweglich angeordneten Ablenkmittel zur einstellbaren Ablenkung eines Lichtstrahles, dadurch gekennzeichnet, dass das beweglich angeordneten Ablenkmittel in einem weitgehend schalldichten Gehäuse mit einem Eintrittsfenster und/oder einem Austrittsfenster positioniert ist.Scanning microscope with a beam deflector with at least one movably arranged deflection means for adjustable Deflection of a light beam, characterized in that the movably arranged deflection means in a largely soundproof casing positioned with an entrance window and / or an exit window is. Rastermikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen Schwingspiegel beinhaltet.Scanning microscope according to claim 11, characterized in that that the deflection means includes a vibrating mirror. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen Galvanometerspiegel beinhaltet.Scanning microscope according to one of claims 11 or 12, characterized in that the deflection means a galvanometer mirror includes. Rastermikroskop nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen resonanten Galvanometerspiegel beinhaltet.Scanning microscope according to claim 13, characterized in that that the deflection means includes a resonant galvanometer mirror. Rastermikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das Ablenkmittel einen Drehspiegel, insbesondere einen Polygonspiegel, beinhaltet.Scanning microscope according to claim 11, characterized in that in that the deflection means comprises a rotating mirror, in particular a polygon mirror, includes. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster ein zumindest teilweise transparentes optisches Element beinhaltet.Scanning microscope according to one of claims 11 to 15, characterized in that the entrance window and / or the Exit window an at least partially transparent optical Element includes. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster zumindest eine Linse beinhaltet.Scanning microscope according to one of claims 11 to 16, characterized in that the entrance window and / or the Exit window includes at least one lens. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster zumindest einen Strahlteiler beinhaltet.Scanning microscope according to one of claims 11 to 17, characterized in that the one The exit window and / or the exit window includes at least one beam splitter. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster zumindest einen optischen Filter beinhaltet.Scanning microscope according to one of claims 11 to 18, characterized in that the entrance window and / or the Exit window includes at least one optical filter. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder das Austrittsfenster die Scanlinse und/oder die Tubuslinse des Rastermikroskops beinhaltet.Scanning microscope according to one of claims 11 to 19, characterized in that the entrance window and / or the Exit window includes the scan lens and / or the tube lens of the scanning microscope. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass das Eintrittsfenster und/oder Austrittsfenster eine Strahlaufweitungsoptik beinhaltet.Scanning microscope according to one of claims 11 to 20, characterized in that the entrance window and / or exit window includes a beam expansion optics. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse mit einem Schallabsorptionsmittel ausgekleidet ist.Scanning microscope according to one of claims 11 to 21, characterized in that the housing with a sound absorbing means is lined. Rastermikroskop nach einem der Ansprüche 11 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Rastermikroskop ein konfokales Rastermikroskop ist.Scanning microscope according to one of claims 11 to 22, characterized in that the scanning microscope is a confocal Scanning microscope is.
DE200410049437 2004-10-19 2004-10-19 Beam deflecting device for use in confocal scanning microscope, has deflecting unit arranged for adjustable deflection of light beams, and positioned in sound-proof housing with entry window and/or exit window Withdrawn DE102004049437A1 (en)

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