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DE102008048759B3 - Dreidimensionale optomechanische Struktur - Google Patents

Dreidimensionale optomechanische Struktur Download PDF

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DE102008048759B3 DE102008048759A DE102008048759A DE102008048759B3 DE 102008048759 B3 DE102008048759 B3 DE 102008048759B3 DE 102008048759 A DE102008048759 A DE 102008048759A DE 102008048759 A DE102008048759 A DE 102008048759A DE 102008048759 B3 DE102008048759 B3 DE 102008048759B3
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Jörg Dr. Melcher
Wolfgang Dr. Braue
Bernd O. Dr. Hildmann
Eyleen Mund
Daniel Fingerhut
Jürgen G. Prof. Dr. Heinrich
Jens Dr. Günster
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Technische Universitaet Clausthal
Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV
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Technische Universitaet Clausthal
Deutsches Zentrum fuer Luft und Raumfahrt eV
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Abstract

Eine dreidimensionale Struktur (11) weist eine Vielzahl von gitterartig angeordneten und in Knoten (14) miteinander verbundenen Stegen (15) auf, wobei mindestens einer der Stege (15) teilweise oder ganz aus einem mit optischen Signalen (12) zu einer Formänderung ansteuerbaren optomechanischen Material ausgebildet ist und die Struktur (11) die optischen Signale (12) zu dem optomechanischen Material leitet.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung betrifft eine dreidimensionale Struktur mit den Merkmalen des Oberbegriffs des unabhängigen Patentanspruchs 1.
  • Insbesondere betrifft die Erfindung eine solche dreidimensionale Struktur zur aktiven Unterdrückung von unerwünschten Schwingungen, wie beispielsweise Lärm, besonders geeignet ist.
  • STAND DER TECHNIK
  • Zur Unterdrückung von unerwünschten Schwingungen ist die aktive Dämpfung bekannt. Hierbei werden Kräfte in eine Struktur eingeleitet, die den Anregungen der Struktur zu den Schwingungen entgegengerichtet sind. Bei Gleichheit der Amplituden und Gegenphasigkeit der eingeleiteten Kräfte zu den Anregungen wird die Struktur aktiv in Ruhe gehalten.
  • Im Rahmen der aktiven Dämpfung ist es bekannt, Aktuatoren zum Aufbringen der Gegenkräfte zu den externen Anregungen in die Struktur zu integrieren, deren Schwingungen unterdrückt werden sollen.
  • Die sogenannte Adaptronik beschäftigt sich mit einer möglichst automatischen Anpassung aktiver Systeme, einschließlich aktiver Dämpfungssysteme, an sich ändernde Randbedingungen für die Funktion der aktiven Systeme.
  • Eine dreidimensionale Struktur mit den Merkmalen des Oberbegriffs des unabhängigen Patentanspruchs 1 wird in der DE 10 2006 044 532 B3 beschrieben. Dieses Patent betrifft primär zwei- und dreidimensionale Stabwerke in minimalflächiger Bauweise. Diese Stabwerke können zusätzlich aktiv ausgebildet sein, indem mindestens einer der Stäbe teilweise oder ganz aus einem zu einer Formänderung aktivierbaren Material ausgebildet ist. Als Beispiele für solche Materialien werden unter anderem Photo-Ferroelektrika angegeben. Photo-ferroelektrische Materialien zählen zur Gruppe der optomechanischen Materialien, deren Eigenschaften allgemein so beschrieben werden können, dass sie durch Einwirkung von Licht auf eine Formänderung angesteuert werden können. Der zugrunde liegende physikalische Effekt kann wie bei den Photo-Ferroelektrika auf einem photorefraktiven Effekt basieren, der in einem ferroelektrischen oder piezoelektrischen Material zu einem sekundären ferroelektrischen bzw. piezoelektrischen Effekt führt. Wie ein Photo-Ferroelektrikum in einem Stabwerk auf eine Formänderung konkret angesteuert werden soll, geht aus der DE 10 2006 044 532 B3 nicht hervor. Auf dem Weg des optischen Signals, mit dem der jeweilige Stab aus dem photo-ferroelektrischen Material auf eine Formänderung angesteuert wird, durch die Struktur wird dieses optische Signal zwangsläufig von der Struktur beeinflusst, und zwar abhängig von deren Deformations- und/oder Spannungszustand. Als besonders bevorzugte dreidimensionale Struktur wird in der DE 10 2006 044 532 B3 ein Stabwerk nach Art eines Diamantgitters beschrieben, bei dem in einem Knoten jeweils vier Stäbe unter Winkeln von 109,47° miteinander verbunden sind. Bei einem derartigen Stabwerk ergibt sich eine Gleichverteilung der von außen eingeleiteten Kräfte über alle Stäbe des Stabwerks.
  • Der Einfluss von Deformations- und/oder Spannungszuständen auf die optischen Eigenschaften photonischer Kristalle ist aus Wonjoo Suh et al.: ”Displacement-sensitive photonic crystal structures based on guided resonance in photonic crystal slabs”; Applied Physics Letters Volume 82, Number 13, pp 1999–2001 bekannt.
  • Aus der DE 196 10 656 A1 ist es bekannt, die optischen Eigenschaften eines photonischen Kristalls durch elektrische Felder zu verändern, die eine optische Deformation des photonischen Kristalls bewirken.
  • Aus der US 2004/0131799 A1 ist es bekannt, die optischen Eigenschaften eines photonischen Kristalls durch Deformation desselben infolge der Aufnahme von Flüssigkeit zu verändern.
  • In Kippenberg, Tobias et al.: ”Mikro-Photonik: Lichtkrafteffekte, Frequenzkämme und biologische Sensoren auf einem Chip”; Max-Planck-Institut für Quantenoptik, Garching; Tätigkeitsbericht 2007 wird beschrieben, wie mechanische Moden, die z. B. durch eine externe Anregung ausgelöst werden, mittels Optomechanik in einem makroskopischen Objekt mit Licht gedämpft werden. Einen Zusammenhang zu einem photonischen Kristall gibt es hier nicht.
  • Aus D. Elser et al.: ”Reduction of Guided Acoustic Wave Brillouin Scattering in Photonic Crystal Fibers”; Physical Review Letters 97, 133901 (2006), pp 1–4 ist die Reduzierung von Photonenstreuung in photonischen Kristallfasern durch Veränderung des Photonenspektrums beschrieben.
  • Unter Photonik versteht man moderne optische Technologien, insbesondere zur nichtlinearen optischen Signalverarbeitung. Mit Hilfe sogenannter photonischer Kristalle sollen optische Transistoren und andere optische Halbleiterbauteile hergestellt werden. Photonische Kristalle weisen beispielsweise eine Frequenzbandlücke auf, in der sie kein Licht leiten. Aus Spektrum der Wissenschaft, April 2002, Seite 69 ist bekannt, dass zur Ausbildung von dreidimensionalem Bandlückenmaterial das tetraedische Gitter von Diamant am besten geeignet ist.
  • AUFGABE DER ERFINDUNG
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine dreidimensionale Struktur mit den Merkmalen des Oberbegriffs des unabhängigen Patentanspruchs 1 aufzuzeigen, die besonders gute Voraussetzungen für eine weitergehende Aktivierung aufweist.
  • LÖSUNG
  • Die Aufgabe der Erfindung wird durch eine dreidimensionale Struktur mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der neuen dreidimensionalen Struktur sind in den abhängigen Patentansprüchen 2 bis 8 definiert.
  • BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Bei der neuen dreidimensionalen Struktur werden die optischen Signale, mit denen mindestens einer der Stege, der ganz oder teilweise aus optomechanischem Material ausgebildet ist, zwecks Formänderung angesteuert wird, von der Struktur selbst zu dem optomechanischen Material geleitet. Damit kommt der Struktur nicht nur eine einfache Leitungsfunktion für die optischen Signale zu, sondern die optischen Signale gelangen auch in den Einflussbereich der Struktur und damit von Änderungen der Struktur infolge externer Anregungen. Die neue dreidimensionale Struktur verarbeitet die optischen Signale beim Leiten zu dem optomechanischen Material in Abhängigkeit von einem aktuellen Deformations- und/oder Spannungszustand der Struktur, über den externe Anregungen der Struktur Einfluss auf die Verarbeitung der optischen Signale haben. Dieser Einfluss wird z. B. mit der Zielrichtung eingestellt, die Struktur zu einem Teil eines Reglers zu machen, der die optischen Signale so verarbeitet, dass die von ihnen ausgelösten Formänderungen des optomechanischen Materials Deformationen der Struktur durch externe Anregungen entgegenwirken.
  • Konkret kann die Struktur so ausgebildet sein, dass sie die optischen Signale innerhalb der Stege und Knoten leitet, wobei dann die Verarbeitung der optischen Signale auch innerhalb der Stege und/oder Knoten erfolgen kann.
  • Alternativ kann die Struktur die optischen Signale innerhalb des von den Stegen und Knoten überspannten Volumens leiten. Die Struktur bildet damit einen optischen Kristall aus. Insbesondere kann die Struktur auf diese Weise ein photonisches Bauteil oder ein Teil eines photonischen Bauteils, wie beispielsweise eines photonischen Transistors sein.
  • Insbesondere kann die Struktur als photonischer Kristall eine optische Bandlücke aufweisen.
  • Besonders bevorzugt ist es, wenn bei der neuen dreidimensionalen Struktur nach Art eines Diamantgitters jeweils vier Stege in einem Knoten miteinander verbunden sind, insbesondere unter Einschluss eines Winkels von arccos(–1/3) = 109,47° zwischen jeweils zwei Stegen.
  • Die neue dreidimensionale Struktur kann hohle Stege und/oder Knoten aufweisen. Typischerweise sind die Stege und die sie verbindenen Knoten aber nicht hohl. Die Oberfläche der Struktur kann dann per definitionem keine Minimalfläche sein, sie ist aber vorzugsweise energetisch optimal, d. h. von maximaler Entropie und/oder minimaler freier Enthalpie.
  • Mit Hilfe der neuen dreidimensionalen Struktur kann nicht nur ein Regler für die optischen Signale, mit denen das optomechanische Material in der Struktur zwecks Formänderung angesteuert wird, in die Struktur verlagert werden. Grundsätzlich ist es auch möglich, die optischen Signale selbst in der Struktur zu erzeugen, indem beispielsweise mindestens einer der Stege teilweise oder ganz aus einem optisch aktiven Material ausgebildet ist, das unter Einwirkung einer nicht optischen, insbesondere einer mechanischen Anregung, die optischen Signale erzeugt. Dabei kann bereits in dem Erzeugungsprozess der optischen Signale ein Teil oder die gesamte Regelung für die optischen Signale verlagert werden, d. h. die Festlegung von Amplitude und Frequenz bzw. Phase.
  • Als optomechanische Materialien kommen bei der vorliegenden Erfindung Photo-Ferroelektrika, Photo-Piezoelektrika, polare Halbleiter sowie organische und photoplastische Werkstoffe in Frage. Zu den Photo-Ferroelektrika zählen Einkristalle, Keramiken, wie beispielsweise (Pb, La)(Zr, Ci)O3 dotiert mit WO3, aber auch bleifreie Piezokeramiken, sowie Relaxor-Ferro elektrika, wie beispielsweise LiMbO3, KTN und SBN. Zu den polaren Halbleitern zählen III/V-Verbindungen der Nitride, Galliumnitrid und II/VI-Halbleiter, wie beispielsweise CdS und ZnO. Zu den organischen und photoplastischen Werkstoffen zählen sogenannte Azo-Polymere, molekulare Gläser und Flüssigkristalle.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Patentansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen. Die in der Beschreibungseinleitung genannten Vorteile von Merkmalen und von Kombinationen mehrerer Merkmale sind lediglich beispielhaft und können alternativ oder kumulativ zur Wirkung kommen, ohne dass die Vorteile zwingend von erfindungsgemäßen Ausführungsformen erzielt werden müssen. Weitere Merkmale sind den Zeichnungen insbesondere den dargestellten Geometrien und den relativen Abmessungen mehrerer Bauteile zueinander sowie deren relativer Anordnung und Wirkverbindung – zu entnehmen. Die Kombination von Merkmalen unterschiedlicher Ausführungsformen der Erfindung oder von Merkmalen unterschiedlicher Patentansprüche ist ebenfalls abweichend von den gewählten Rückbeziehungen der Patentansprüche möglich und wird hiermit angeregt. Dies betrifft auch solche Merkmale, die in separaten Zeichnungen dargestellt sind oder bei deren Beschreibung genannt werden. Diese Merkmale können auch mit Merkmalen unterschiedlicher Patentansprüche kombiniert werden. Ebenso können in den Patentansprüchen aufgeführte Merkmale für weitere Ausführungsformen der Erfindung entfallen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • Im Folgenden werden Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert und beschrieben.
  • 1 skizziert eine Struktur mit den notwendigen Einrichtungen zur aktiven Unterdrückung von Schwingungen der Struktur nach dem Stand der Technik.
  • 2 skizziert eine erfindungsgemäße dreidimensionale Struktur mit den hier notwendigen Einrichtungen zur Unterdrückung von Schwingungen der Struktur; und
  • 3 ist ein Beispiel für den Aufbau einer erfindungsgemäßen dreidimensionalen Struktur.
  • FIGURENBESCHREIBUNG
  • In 1 ist schematisch eine Struktur 1 zusammen mit Einrichtungen wiedergegeben, um Schwingungen der Struktur aufgrund externer Anregungen 2 zu unterdrücken. Deformationen der Struktur 1 werden durch einen Sensor 3 erfasst. Das Signal des Sensors 3 wird durch einen Sensorsignalverstärker 4 einem Regler 5 zugeführt, dessen Ausgangssignal von einem Leistungsverstärker 6 verstärkt wird. Mit dem verstärkten Signal wird ein Aktuator 7 an der Struktur 1 angesteuert, um den Anregungen 2 entgegen gerichtete Kräfte hervorzurufen. Neben der Anzahl und Komplexität der Einrichtungen 3 bis 7 treten Probleme bei der optimalen Anordnung des Sensors 3 und des Aktuators 7 auf, um von den Anregungen 2 angeregte Schwingungen der Struktur 1 tatsächlich zu unterdrücken.
  • Bei einer erfindungsgemäßen Struktur 11, wie sie in 2 skizziert ist, ist die gesamte Regelschleife, wie sie in 1 dargestellt ist, in die Struktur 11 selbst verlagert. Ausschließlich optische Signale 12 von einer Lichtquelle 13 werden von außen zugeführt. Aber auch diese externe Lichtquelle 13 kann durch Integration von optisch aktivem Material in die Struktur 11 vermieden werden. Von der Struktur 11 werden die optischen Signale 12 in jedem Fall so verarbeitet und Teilen der Struktur 11 aus optomechanischem Material zugeleitet, dass die bei dem optomechanischen Material von den verarbeiteten optischen Signalen 12 ausgelösten Formänderungen der Anregung von Schwingungen der Struktur 11 durch die äußeren Anregungen 2 entgegenwirken. Dies ist dadurch möglich, dass die Struktur 11 durch die Anregungen 2 in einer Weise verändert wird, die sich auf die Verarbeitung der optischen Signale 12 durch die Struktur 11 auswirkt. Auch andere Änderungen der Struktur können im Sinne eines adaptiven Reglers in die Verarbeitung der optischen Signale 12 durch die Struktur 11 einfließen, so dass auch für das Nachführen der Verarbeitung in Bezug auf unterschiedliche Betriebs- oder Umgebungsbedingungen der Struktur 11 keine externen Einrichtungen erforderlich sind.
  • 3 skizziert einen möglichen Aufbau der Struktur 11 in Form von gitterartig angeordneten und in Knoten 14 miteinander verbundenen Stegen 15. Mindestens einer der Stege 15 besteht aus optomechanischem Material, das mit optischen Signalen auf eine Formänderung ansteuerbar ist. Die optischen Signale können dabei längs der Stege 15 und durch die Knoten 14 geleitet und dabei verarbeitet werden. Es ist aber auch möglich, dass die optischen Signale in dem von der Struktur 11 überspannten Volumen geleitet werden. Dabei kann die Struktur 11 einen photonischen Kristall mit einer Bandlücke für optische Signale bestimmter Frequenz ausbilden und dabei Teil eines photonischen Halbleiterbauteils wie beispielsweise eines photonischen Transistors sein. Durch die Integration von optomechanischem Material in den photonischen Kristall können die photonischen Eigenschaften des Kristalls mit Hilfe der optomechanisch bewirkten Formänderung variiert werden, und umgekehrt kann mit Hilfe des photonischen Verhaltens eine gezielte Ansteuerung der Struktur 11 auf bestimmte Formänderungen bewirkt werden. Dabei ist eine Trennung der Bereiche der Struktur in photonische und optomechanische weder zwingend noch unbedingt sinnvoll. Vielmehr sind dieselben Bereiche der Struktur 11 vorzugsweise sowohl optomechanisch als auch photonisch wirksam, um die geschilderte Wechselbeziehung in gewünschter Weise zu realisieren.
  • Bei dem von den Stegen 15 und den Knoten 14 in 3 gebildeten Gitter der Struktur 11 handelt es sich um ein Diamantgitter, bei dem die Stege 15 in jedem Knoten Tetraederwinkel von 109,45° untereinander einschließen.
  • 1
    Struktur
    2
    Anregung
    3
    Sensor
    4
    Sensorsignalverstärker
    5
    Regler
    6
    Leistungsverstärker
    7
    Aktuator
    11
    Struktur
    12
    optische Signale
    13
    Lichtquelle
    14
    Knoten
    15
    Steg

Claims (8)

  1. Dreidimensionale Struktur mit einer Vielzahl von gitterartig angeordneten und in Knoten miteinander verbundenen Stegen, wobei mindestens einer der Stege teilweise oder ganz aus einem mit optischen Signalen zu einer Formänderung ansteuerbaren optomechanischen Material ausgebildet ist, wobei die Struktur (11) die optischen Signale (12) zu dem optomechanischen Material leitet und beim Leiten zu dem optomechanischen Material abhängig von einem Deformations- und/oder Spannungszustand der Struktur (11) verarbeitet, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur (11) Teil eines Reglers ist, der die optischen Signale (12) so verarbeitet, dass die von ihnen ausgelösten Formänderungen des optomechanischen Materials Deformationen der Struktur (11) durch externe Anregungen (2) entgegenwirken.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur (11) die optischen Signale innerhalb der Stege (15) und Knoten (14) leitet.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur (11) die optischen Signale (12) innerhalb der Stege (15) und/oder Knoten (14) verarbeitet.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur (11) die optischen Signale (12) innerhalb des von den Stegen (15) und Knoten (14) überspannten Volumens leitet.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur (11) ein photonisches Halbleiterbauteil oder Teil eines photonischen Halbleiterbauteils ist.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Struktur (11) eine optische Bandlücke aufweist.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass nach Art eines Diamantgitters jeweils vier Stege (15) in einem Knoten (14) miteinander verbunden sind, insbesondere unter Einschluss eines Winkels von arccos(–1/3) zwischen jeweils zwei Stegen (15).
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der Stege (15) teilweise oder ganz aus einem optisch aktiven Material ausgebildet ist, das unter Einwirkung einer nicht-optischen, insbesondere einer mechanischen Anregung die optischen Signale (12) erzeugt.
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