[go: up one dir, main page]

DE102014016515B4 - Optischer Gassensor - Google Patents

Optischer Gassensor Download PDF

Info

Publication number
DE102014016515B4
DE102014016515B4 DE102014016515.9A DE102014016515A DE102014016515B4 DE 102014016515 B4 DE102014016515 B4 DE 102014016515B4 DE 102014016515 A DE102014016515 A DE 102014016515A DE 102014016515 B4 DE102014016515 B4 DE 102014016515B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
emitter
detector
light waves
radiation source
wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102014016515.9A
Other languages
English (en)
Other versions
DE102014016515A1 (de
Inventor
Arne Tröllsch
Andre Pape
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Draeger Safety AG and Co KGaA
Original Assignee
Draeger Safety AG and Co KGaA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE102014016515.9A priority Critical patent/DE102014016515B4/de
Application filed by Draeger Safety AG and Co KGaA filed Critical Draeger Safety AG and Co KGaA
Priority to AU2015345502A priority patent/AU2015345502B2/en
Priority to US15/525,338 priority patent/US10190974B2/en
Priority to CA2964020A priority patent/CA2964020C/en
Priority to PCT/EP2015/002195 priority patent/WO2016074773A1/de
Priority to CN201580060984.5A priority patent/CN107148566A/zh
Priority to CN202210528201.3A priority patent/CN114910432A/zh
Publication of DE102014016515A1 publication Critical patent/DE102014016515A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102014016515B4 publication Critical patent/DE102014016515B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Optischer Gassensor (1) zum quantitativen Messen einer Konzentration eines oder mehrerer Gase, aufweisend eine Strahlungsquelle (2) zum Emittieren von Lichtwellen (L), eine Küvette (3) zur Aufnahme eines zu messenden Gases (G) und einen Detektor (4) zum Messen von Lichtintensitäten, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (2) mindestens einen als LED ausgebildeten ersten Emitter (5a) und einen als LED ausgebildeten zweiten Emitter (5b) zum Emittieren von Lichtwellen (L) aufweist,- wobei der erste Emitter (5a) ausgebildet ist, Lichtwellen (L) einer ersten Wellenlänge als ein Hauptsignal zu emittieren,- wobei vor dem ersten Emitter (5a) ein optischer Filter angeordnet ist,- wobei der zweite Emitter (5b) ausgebildet ist, Lichtwellen (L) einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge als ein Referenzsignal zur Überprüfung eines Messergebnisses des Hauptsignals zu emittieren,- wobei vor dem zweiten Emitter (5b) ein optischer Filter angeordnet ist, wobei die Lichtwellen (L) der ersten und zweiten Wellenlängen voneinander gesondert emittierbar sind, wobei die Emitter (5a, 5b) jeweils ausgebildet sind, ein Spektrum zu emittieren, dessen volle Halbwertsbreite maximal 50% der Schwerpunktswellenlänge beträgt, wobei der Detektor (4) derart ausgebildet ist, eine Intensität der emittierten Lichtwellen (L) der ersten Wellenlänge und der zweiten Wellenlänge quantitativ zu erfassen, und wobei die Küvette (3) eine Spiegelanordnung mit einem Planspiegel (6) und einem dem Planspiegel (6) gegenüberliegend angeordneten Hohlspiegel (7) aufweist, wobei eine optische Achse (8) des Hohlspiegels (7) senkrecht zum Planspiegel (6) angeordnet ist und die Strahlungsquelle (2) und der Detektor (4) an dem Planspiegel (6) angeordnet sind,- wobei der erste Emitter (5a) und der zweite Emitter (5b) in einem ersten, in dem Planspiegel (6) angeordneten Loch (9) angeordnet sind,- wobei der Detektor (4) in einem zweiten, in dem Planspiegel (6) angeordneten Loch (10) angeordnet ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen optischen Gassensor zum quantitativen Messen einer Konzentration eines oder mehrerer Gase.
  • Optische Gassensoren ermöglichen sowohl eine qualitative Bestimmung des Vorhandenseins eines oder mehrerer Gase, als auch eine quantitative Bestimmung einer Konzentration eines oder mehrerer Gase. Derartige Gassensoren werden z.B. in Gasdetektionsvorrichtungen in Anlagen zur Förderung und Verarbeitung von brennbaren und/oder toxischen Gasen eingesetzt, um ungewollt austretende Gase zu detektieren.
  • STAND DER TECHNIK
  • Es sind optische Gassensoren bekannt, die einen Emitter, eine Küvette sowie einen Detektor aufweisen. Bei optischen Gassensoren ist der Emitter eine Lichtquelle, wie z.B. eine Glühlampe, die ein breites Spektrum an Lichtwellen, also Lichtwellen mit einer Vielzahl unterschiedlicher Wellenlängen, emittiert. Die Küvette ist vorzugsweise ein im Wesentlichen geschlossener Raum, in dem sich das zu messende Gas befindet. Die Küvette kann nach außen hin Öffnungen aufweisen, die einen Gasaustausch der Küvette mit einer Umgebung des Gassensors ermöglichen. Der Detektor ist ein Lichtsensor, mit dem vorzugsweise eine Intensität von Licht, das auf den Detektor trifft, messbar ist. Um bestimmte Wellenlängen des Lichts zu detektieren sind den entsprechenden Detektoren Bandpassfilter vorgeschaltet. Derartige Bandpassfilter können zum Durchlassen einer oder mehrerer Wellenlängen ausgebildet sein.
  • Im Betrieb wird das zu messende Gas bzw. Gasgemisch in die Küvette eingeleitet. Hierfür kann die Küvette eine oder mehrere Öffnungen aufweisen. Von der Lichtquelle emittierte Lichtwellen werden in Abhängigkeit der Konzentration der Bestandteile des Gasgemisches, sowie der Absorptionswellenlängen vom jeweiligen Gas mehr oder weniger stark absorbiert und treffen im Anschluss auf den Lichtsensor, der eine Intensität dieser Lichtwellen misst. Auf diese Weise ist ermittelbar, welche Wellenlängen wie stark von dem Gas absorbiert wurden. Wegen bekannter spezifischer Absorptionseigenschaften unterschiedlicher Gase ist aus diesem Ergebnis eine Zusammensetzung des Gasgemisches bestimmbar.
  • Aus der DE 202 02 694 A1 ist ein optischer Gassensor mit einer hohlzylinderförmigen Küvette zur Aufnahme des zu messenden Gases bekannt. An der Küvette sind in längsaxialer Richtung auf einer Seite ein Planspiegel und auf der anderen Seite ein Hohlspiegel angeordnet. Der Hohlspiegel weist mehrere Ausnehmungen zur Aufnahme einer Glühlampe und eines Lichtwellendetektors auf. Von der Glühlampe emittierte Lichtwellen werden zunächst zwischen Planspiegel und Hohlspiegel mehrfach reflektiert, bis sie auf den Lichtwellendetektor treffen. Hierdurch wird eine optische Wegstrecke verlängert, auf dem diese Lichtwellen von dem zu messenden Gas bzw. Gasgemisch absorbiert werden können. Somit sind schwach absorbierende Gase besser messbar.
  • Ein derartiger Gassensor hat insbesondere den Nachteil, dass eine Anordnung von Glühlampe und Lichtwellendetektoren an dem Hohlspiegel wegen der gekrümmten Oberfläche des Hohlspiegels nur mit großem Aufwand herstellbar ist.
  • Des Weiteren hat eine Vielzahl der in optischen Gassensoren verwendeten Lichtquellen den Nachteil, ein relativ breites Lichtwellenspektrum zu emittieren. Somit werden nicht nur Lichtwellen mit Wellenlängen emittiert, die für die Messung der Gaskonzentration benötigt werden, sondern auch Lichtwellen mit Wellenlängen, die für die Messung der Gaskonzentration nicht von Bedeutung sind und zur Vermeidung von Messfehlern von einem Bandpassfilter herausgefiltert werden müssen. Hierdurch wird der Wirkungsgrad des optischen Gassensors negativ beeinträchtigt.
  • Insbesondere Glühlampen haben darüber hinaus den Nachteil, dass ein großer Anteil an elektrischer Energie in Wärme umgewandelt wird, die als Verlustwärme abgeführt werden muss. Dies führt zu einem übermäßigen Energieverbrauch des Gassensors und ist insbesondere für mobile Anwendungen von Nachteil, die über eine interne Stromquelle, wie z.B. eine Batterie, mit Strom versorgt werden. Durch den erhöhten Stromverbrauch wird die Lebensdauer der Batterie und somit die Betriebsdauer des mobilen Gassensors deutlich reduziert.
  • Die Publikation „Optimizing indium aluminum antimonide LEDs and photodiodes for gas sensing applications, Harvey R. et al., Proceedings of SPIE Vol. 5564, Infrared Detector Materials and Devices, 2004“ beschreibt Möglichkeiten zu einer Gestaltung von LED's und Photodioden für Anwendungen der Infrarot-Gasmesstechnik auf Basis von Indium Aluminium Antimon- Verbindungen in Halbleitertechnologie. Zielgase solcher IR-LEDs oder Photodioden in der Gasmesstechnik sind beispielsweise Methan und Kohlenstoffdioxid.
  • Die WO 2012 / 001 633 A2 beschreibt eine Mesvorrichtung mit einem Laser optischmesstechnischen Erfassung einer Konzentration eines Gases in einem Behältnis durch eine Wandung des Behältnisses hindurch. Das Behältnis ist mit einer teilweise transparenten Wandung ausgestattet, damit der Laserstrahl die Wandung durchdringen kann.
  • Die GB2391310 A1 beschreibt eine Infrot-optische Messvorrichtung mit Mitteln zu Reflektion und Fokussierung, um eine Gasprobe in einer Gaszelle mittels mehrfachen Lichtdurchlaufs zu analysieren.
  • Die DE1 0047728 B4 zeigt einen Infrarotoptische Gasanalysator mit einer ersten infrarotoptischen Strahlungsquelle, mit einem ersten Multispektraldetektor, mit einem zweiten Multispektraldetektor und mit einer Küvette und einer pneumatischen Blende in der Gasführung der Küvette.
  • Die US799232 A zeigt einen Gasdetektor mit einer Laseranordnung zu einer messtechnischen Erfassung von Konzentrationen verschiedener Gase, wie Sauerstoff, Kohlenstoffmonoxid, Methan, Schwefelwasserstoff in einer Gasprobe mit Hilfe von vier Wellenlängen, welche von der Laseranordnung bereitgestellt werden.
  • Die US6791689 BA zeigt ein Messystem zu einer optischen Analyse von Stickstoffdioxid in einem Wellenlängenbereich von ungefähr 600 nm.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • Ausgehend von diesem Stand der Technik hat der Erfindung die Aufgabe zugrunde gelegen, einen optischen Gassensor bereitzustellen, der diese Nachteile zumindest teilweise nicht aufweist. Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen optischen Gassensor bereitzustellen, mit dem insbesondere Konzentrationen schwach lichtwellenabsorbierender Gase quantitativ messbar sind und der einen verbesserten Wirkungsgrad aufweist.
  • Voranstehende Aufgabe wird durch einen optischen Gassensor zum quantitativen Messen einer Konzentration eines oder mehrerer Gase mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Weitere Merkmale und Details der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Patentansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.
  • Demnach wird die Aufgabe gelöst durch einen optischen Gassensor zum quantitativen Messen einer Konzentration eines oder mehrerer Gase, aufweisend eine Strahlungsquelle zum Emittieren von Lichtwellen, eine Küvette zur Aufnahme eines zu messenden Gases und einen Detektor zum Messen von Lichtintensitäten. Die Strahlungsquelle weist mindestens einen als LED ausgebildeten ersten Emitter und einen als LED ausgebildeten zweiten Emitter zum Emittieren von Lichtwellen, auf. Der erste Emitter ist ausgebildet, Lichtwellen von einer ersten Wellenlänge als ein Hauptsignal zu emittieren, wobei vor dem ersten Emitter ein optischer Filter wie beispielsweise ein Bandpassfilter angeordnet ist. Der zweite Emitter ist ausgebildet, Lichtwellen einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge als ein Referenzsignal zur Überprüfung eines Messergebnisses des Hauptsignals zu emittieren, wobei vor dem zweiten Emitter ein optischer Filter angeordnet ist. Die Lichtwellen der ersten und zweiten Wellenlänge sind voneinander gesondert emittierbar.
  • Der Emitter ist jeweils ausgebildet, ein Spektrum zu emittieren, dessen volle Halbwertsbreite maximal 50% der Schwerpunktswellenlänge beträgt, vorzugsweise ein diskretes Spektrum, dessen volle Halbwertsbreite maximal 20% der Schwerpunktswellenlänge beträgt.
  • Der Detektor ist derart ausgebildet, eine Intensität der emittierten Lichtwellen der ersten Wellenlänge und der zweiten Wellenlänge quantitativ zu erfassen. Der Emitter ist vorzugsweise ausgebildet, mindestens 80% der vom Emitter verbrauchten elektrischen Energie in Lichtwellen umzuwandeln.
  • Die Küvette weist eine Spiegelanordnung mit einem Planspiegel und einem dem Planspiegel gegenüberliegend angeordneten Hohlspiegel auf, wobei eine optische Achse des Hohlspiegels senkrecht zum Planspiegel angeordnet ist und die Strahlungsquelle und der Detektor an dem Planspiegel angeordnet sind. Der erste Emitter und der zweite Emitter sind in einem ersten, in dem Planspiegel angeordneten Loch angeordnet, wobei der Detektor in einem zweiten, in dem Planspiegel angeordneten Loch angeordnet ist.
  • Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, dass durch die Verwendung eines derartigen Emitters der Wirkungsgrad des optischen Gassensors erheblich verbessert werden kann. Hierdurch wird bei der Erzeugung von Lichtwellen weniger Wärme produziert und somit weniger elektrische Energie verbraucht. Bei der Umwandlung elektrischer Energie in Lichtwellen durch eine LED wird weniger Wärme generiert als z.B. durch eine Glühlampe, wie sie in vielen herkömmlichen Gassensoren verwendet werden. Somit weist der Gassensor im Betrieb einen geringeren Stromverbrauch auf. Dies ist insbesondere für mobile Anwendungen von Vorteil, da hierdurch ein Ladezyklus eines Akkus bzw. eine Lebensdauer einer Batterie der mobilen Anwendung deutlich verlängerbar ist.
  • Durch das gesonderte Emittieren von Lichtwellen unterschiedlicher Wellenlänge werden das Hauptsignal sowie das Referenzsignal erzeugbar. Je mehr Lichtwellen unterschiedlicher Wellenlängen vorzugsweise gesondert erzeugbar sind, desto mehr Gase lassen sich mit dem erfindungsgemäßen Gassensor quantitativ bestimmen. Daraus ergibt sich, dass der Emitter nur ein relativ schmalbandiges Lichtspektrum abstrahlt. Die Lichtwellen sind wegen der Absorptionseigenschaften von Gasen vorzugsweise im infraroten Bereich.
  • Als LED ausgebildete Emitter haben den Vorteil, dass mit ihnen relativ kurze Lichtpulse emittierbar sind, ohne dass die LEDs nach dem Lichtpuls wie eine Glühlampe nachleuchten. Die einzelnen LEDs können somit im Wesentlichen unmittelbar nacheinander Lichtpulse emittieren, so dass sich z.B. Messsignal und Referenzsignal durch ein im Wesentlichen konstantes in der Küvette angeordnetes Gasgemisch erstrecken. Hierdurch werden Messfehler vermieden bzw. reduziert. Des Weiteren haben LEDs den Vorteil, dass sie zum Emittieren eines relativ schmalbandigen Lichtspektrums geeignet sind und einen besonders guten Wirkungsgrad bei der Umwandlung elektrischer Energie in Lichtwellen aufweisen.
  • Die Eigenschaften von LEDs, insbesondere hinsichtlich der Schmalbandigkeit des emittierten Spektrums, also Halbwertsbreite und Schwerpunktswellenlänge, werden beispielsweise in der DE 40 11 462 C2 im technischen Kontext dargelegt. LED-Emitter als Strahlungsquelle sind außerdem leicht herstellbar und erfordert nur einen relativ kleinen Bauraum.
  • Beispielhaft sei hier eine Ausführung zur quantitativen Bestimmung von Methan angeführt. Die Messwellenlänge ist dabei mit ca. 3,2 µm gewählt, geeignete Refrenenzwellenlängen ergeben sich bei 3,1 µm und/oder bei 3,9 µm.
  • Der Detektor ist z.B. eine Fotodiode, die beim Auftreffen von Lichtwellen einen Strom erzeugt, dessen Stromstärke von der Intensität der Lichtwellen abhängig ist. Somit sind der Absorptionsgrad der Lichtwellen einer bestimmten Wellenlänge durch das Gas, sowie die Art des Gases bzw. Zusammensetzung des Gasgemisches ermittelbar. Vorzugsweise ist mindestens ein Detektor ausgebildet, eine Mehrzahl unterschiedlicher, vorzugsweise disjunkter Wellenlängenbereiche zu erfassen. Somit sind mit einer Küvette und einem Detektor mindestens zwei unterschiedliche Gase auf einfache und kostengünstige Weise detektierbar.
  • Ein entsprechender Bandpassfilter kann z.B. zur Vermeidung von Störeinflüssen vor dem Detektor angeordnet sein. Je nach Ausgestaltung des Gassensors kann der Bandpassfilter in Abhängigkeit der Strahlungsquelle ausgebildet sein. Bei einer Strahlungsquelle, mit der z.B. Lichtwellen in vier unterschiedlichen Wellenlängen emittierbar sind, ist demnach vor dem Detektor vorzugsweise ein Bandpassfilter angeordnet, der für diese vier Wellenlängen durchlässig ist. Bandpassfilter haben den weiteren Vorteil, dass Lichtwellen, die vom Bandpassfilter nicht durchgelassen werden, von diesem reflektiert werden können. Somit kann es vorteilhaft sein, an einem Emitter bzw. Strahlungsquelle einen Bandpassfilter anzuordnen, so dass bei mehreren Strahlungsquellen mit davor angeordneten Bandpassfiltern weniger Reflexionsfläche eines Spiegels verloren geht als ohne Bandpassfilter.
  • Die Küvette ist vorzugsweise derart ausgebildet, dass keine Störeinflüsse, wie z.B. Lichtwellen aus einer Umgebung des Gassensors in die Küvette eindringen bzw. auf den Detektor treffen können. Hierdurch wird eine erforderliche Genauigkeit der Messergebnisse des Gassensors gewährleistet. Ferner ist ein Luftaustausch der Küvette mit der Umgebung des Gassensors vorzugsweise regelbar oder relativ gering, so dass während eines Messzyklus, der mindestens das einmalige Emittieren eines Messsignals sowie eines Referenzsignals aufweist, das Gasgemisch innerhalb der Küvette im Wesentlichen konstant bleibt. Hierdurch werden Messfehler ebenfalls vermieden bzw. reduziert.
  • Weiterhin kann vorgesehen sein, dass die Strahlungsquelle mindestens einen ersten Emitter und einen zweiten Emitter aufweist, wobei der erste Emitter ausgebildet ist, Lichtwellen der ersten Wellenlänge und der zweite Emitter ausgebildet ist, Lichtwellen der zweiten Wellenlänge zu emittieren.
  • Besonders bevorzugt kann vorgesehen sein, dass die Strahlungsquelle ausgebildet ist, ein diskretes Lichtwellenspektrum zu emittieren. Somit ist die Strahlungsquelle ausgebildet, nur Lichtwellen einer konkreten Wellenlänge bzw. eines relativ schmalen Wellenlängenbereichs zu erzeugen. Es kann darüber hinaus vorgesehen sein, dass vor der Strahlungsquelle ein Bandpassfilter angeordnet wird, der den von der Strahlungsquelle erzeugten Wellenlängenbereich weiter verkleinert. Besonders bevorzugt sind von der Strahlungsquelle eine Mehrzahl von Lichtwellen mit Wellenlängen erzeugbar, die innerhalb des IR-Spektrums voneinander beabstandet sind.
  • Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Küvette eine Spiegelanordnung mit einem Planspiegel und einem dem Planspiegel gegenüberliegend angeordneten Hohlspiegel aufweist, wobei eine optische Achse des Hohlspiegels im Wesentlichen senkrecht zum Planspiegel angeordnet ist. Ein Abstand zwischen Hohlspiegel und Planspiegel entspricht vorzugsweise einem ganzzahligen Bruchteil des Krümmungsradius des Hohlspiegels. Ein Lichtstrahl passiert die Küvette zwischen den Spiegeln mehrmals, z.B. viermal oder sechsmal, bevor er auf den Lichtsensor trifft. Diese Anordnung hat den Vorteil, dass auch schwach absorbierende Messgase bei relativ kompakter Baugröße des Gassensors messbar sind. Vorzugsweise ist ein Krümmungsradius des Hohlspiegels veränderbar bzw. ist der Hohlspiegel durch Hohlspiegel mit unterschiedlichen Krümmungsradien austauschbar. Hierdurch kann der Strahlengang der Lichtwellen innerhalb des Gassensors variabel gestaltet werden, so dass die Lichtwellen je nach Einstellung des Krümmungsradius des Hohlspiegels verschieden oft zwischen Hohlspiegel und Planspiegel reflektiert werden, bis sie auf den Detektor treffen. Dies hat den Vorteil, dass der Gassensor sowohl für Messgase mit schwacher, als auch mit starker Lichtwellenabsorption verwendbar ist.
  • Alternativ kann die Spiegelanordnung zwei im Wesentlichen einander zugewandt angeordnete Planspiegel aufweisen, wobei z.B. über ein Anstellen der Strahlungsquelle oder mindestens eines Spiegels eine entsprechende Reflexion des Lichtstrahls erzielbar ist. Diese Variante ist besonders einfach, sowie kostengünstig herstellbar.
  • Es ist bevorzugt, dass die Einfallswinkel zur Oberflächennormale des Spiegels möglichst klein sind, d.h. dass die Lichtwellen nahezu senkrecht auf die Spiegel treffen. Hierdurch wird der Einfluss von Störfaktoren, wie z.B. Feuchtigkeit auf den Spiegeloberflächen, die ein Absorbieren der Lichtwellen bewirkt, reduziert.
  • Weiterhin ist vorgesehen, dass die Strahlungsquelle und der Detektor an dem Planspiegel angeordnet sind. Somit sind Strahlungsquelle und Detektor in einer derartigen Anordnung leicht vom Inneren der Küvette isolierbar, z.B. durch eine lichtdurchlässige Scheibe oder einen Bandpassfilter, so dass sie keinen direkten Kontakt zum Messgas haben. Dies ist insbesondere von Vorteil, wenn in der Küvette angeordnete Fluide die Strahlungsquelle oder den Detektor potenziell beschädigen können. Überdies hat eine Anordnung von Strahlungsquelle und Detektor auf einer Ebene den Vorteil, dass sie auf einer gemeinsamen Platine anordenbar sind. Eine derartige Anordnung ist somit besonders einfach und kostengünstig herstellbar. Weiter bevorzugt entspricht ein Abstand der Strahlungsquelle zu einem Schnittpunkt der optischen Achse mit dem Planspiegel einem Abstand eines Detektors zu diesem Schnittpunkt. Ein derartiger Planspiegel ist wegen seiner Symmetrie besonders leicht montierbar.
  • In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Gassensors kann vorgesehen sein, dass eine Strahlungsquelle und ein Detektor derart an der Küvette angeordnet sind, dass von der Strahlungsquelle emittierte Lichtwellen direkt auf den Detektor treffen. In einer hierfür vorteilhaften Anordnung sind Strahlungsquelle und Detektor nicht an demselben Spiegel angeordnet, so dass die Lichtwellen ohne reflektiert zu werden auf den Detektor treffen. Dies hat den Vorteil, dass besonders stark absorbierende Gase ermittelbar sind. Vorzugsweise weist ein derartiger Gassensor mindestens zwei voneinander beabstandete Strahlungsquellen auf, wobei mindestens eine Strahlungsquelle derart an der Küvette angeordnet ist, dass von der Strahlungsquelle emittierte Lichtwellen nur über die Spiegelanordnung auf den Detektor treffen.
  • Vorzugsweise ist der Gassensor derart ausgebildet, dass die Strahlungsquelle vom Detektor beabstandet an der Küvette angeordnet ist. Der Emitter ist ausgebildet, Lichtwellen mit einem geführten Strahlengang zu emittieren. Dabei werden Planspiegel und Hohlspiegel im Sinne der Erfindung als Bestandteile der Küvette betrachtet. Eine derartige Anordnung ist besonders vorteilhaft für Gassensoren geeignet, die zum Messen von Gasen bestimmt sind, die Lichtwellen nur schwach absorbieren. Die Lichtwellen werden als geführter Strahlengang emittiert, der im Wesentlichen keine diffuse Strahlung aufweist. Dies hat den Vorteil, dass das emittierte Licht besonders effizient zur Detektion von Gasen verwendet wird. Darüber hinaus ist dies insbesondere für Gassensoren vorteilhaft, die zur Detektion von Gasen geeignet sind, die eine schwache Lichtabsorption aufweisen, da hierdurch eine besonders kompakte Bauweise des Gassensors ermöglicht wird.
  • Es ist vorteilhaft, wenn an der Küvette genau ein Detektor angeordnet ist. Der Detektor ist dabei ausgebildet, im Wesentlichen nur von der Strahlungsquelle emittierte Lichtwellen quantitativ zu erfassen. Hierfür kann der Detektor z.B. einen entsprechenden Bandpassfilter aufweisen. Ein derartiger Sensor ist besonders für Anwendungen geeignet, die eine große Präzision erfordern. Alternativ kann der Detektor ausgebildet sein, ein breites Spektrum von Lichtwellen unterschiedlicher Wellenlängen quantitativ zu erfassen, wobei von der Strahlungsquelle emittierte Lichtwellen Teil dieses Spektrums sind. Ein derartiger Sensor ist besonders kostengünstig herstellbar. Die Verwendung nur eines Detektors hat den Vorteil, dass Kosten für weitere Detektoren eingespart werden können. Des Weiteren weist die Küvette bei nur einem Detektor und gleicher Baugröße eine größere Reflexionsfläche der Spiegel auf, da nur noch eine Stelle eines Spiegels einen Detektor aufweist. Hierdurch kann insbesondere die Genauigkeit bei der Messung von Gasen, die nur schwach Lichtwellen absorbieren, verbessert werden.
  • In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sind an der Küvette mindestens zwei Strahlungsquellen voneinander beabstandet angeordnet. Dies hat z.B. den Vorteil, dass die einzelnen Strahlungsquellen einen weniger komplexen Aufbau aufweisen können. Des Weiteren sind defekte Strahlungsquellen separat voneinander austauschbar. Hierdurch können Reparatur- bzw. Austauschkosten reduziert werden. In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung sind an der Küvette vier Strahlungsquellen angeordnet.
  • Es ist besonders bevorzugt, dass die Küvette zwei Detektoren aufweist, wobei die Detektoren zum Messen von Lichtintensitäten unterschiedlicher Strahlenquellen bzw. unterschiedlicher Emitter, wie z.B. unterschiedlicher LEDs, der beiden Strahlenquellen ausgebildet sind. Dabei sind die Detektoren vorzugsweise derart angeordnet, dass von jedem Detektor nur Lichtwellen einer Strahlenquelle erfassbar sind. Alternativ oder zusätzlich können die Strahlenquellen unterschiedlich geschaltet oder moduliert werden. Diese Anordnung hat den Vorteil, dass mehrere in der Küvette angeordnete Messgase gleichzeitig quantitativ bestimmbar sind.
  • Besonders bevorzugt weist der Gassensor mindestens einen Doppelbandpassfilter auf, der vorzugsweise an einer Strahlenquelle angeordnet ist. Weiter bevorzugt weist der Gassensor mindestens einen Dreifachbandpassfilter auf, der vorzugsweise an einer Strahlenquelle angeordnet ist. Hierdurch ist ein von der jeweiligen Strahlenquelle emittiertes Spektrum von Lichtwellen in deutlich voneinander getrennte Wellenlängen bzw. Wellenlängenspektren aufteilbar.
  • Figurenliste
  • Weitere, die Erfindung verbessernde Maßnahmen ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung zu einigen Ausführungsbeispielen der Erfindung, welche in den Figuren dargestellt sind. Sämtliche aus den Ansprüchen, der Beschreibung oder der Zeichnung hervorgehende Merkmale und/oder Vorteile, einschließlich konstruktiver Einzelheiten und räumlicher Anordnungen können sowohl für sich, als auch in den verschiedenen Kombinationen erfindungswesentlich sein. Es zeigen jeweils schematisch:
    • 1 eine Seitenansicht einer ersten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Gassensors;
    • 2 eine Draufsicht auf einen Planspiegel des erfindungsgemäßen Gassensors aus 1;
    • 3 eine Draufsicht auf einen Planspiegel einer zweiten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Gassensors; und
    • 4 eine Draufsicht auf einen Planspiegel einer dritten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Gassensors.
  • Die in 1 abgebildete erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen optischen Gassensors 1 weist eine im Wesentlichen zylinderförmig ausgebildete Küvette 3 auf, in der ein zu messendes Gas G bzw. Gasgemisch angeordnet ist. Die Küvette 3 weist mindestens eine in dieser Ansicht nicht erkennbare Öffnung zum Austausch des in der Küvette 3 angeordneten Gases G mit Gas G aus der Umgebung des Gassensors 1. An einer Stirnseite der Küvette 3 ist ein Planspiegel 6 und an einer anderen Stirnseite ein Hohlspiegel 7 angeordnet. Der Planspiegel weist eine Strahlungsquelle 2 auf, die zur Emission von Lichtwellen L zweier verschiedener Wellenlängen innerhalb des IR-Spektrums ausgebildet und in Richtung Hohlspiegel 7 ausgerichtet ist. Die Strahlungsquelle 2 weist einen als LED ausgebildeten Emitter 5 auf und ist derart ausgebildet, dass die Lichtwellen L unterschiedlicher Wellenlängen separat voneinander emittierbar sind. Vor dem Emitter 5 ist optional ein optischer Filter, wie z.B. ein Bandpassfilter, Doppelbandpassfilter oder Triplebandpassfilter angeordnet. Von der Lichtquelle 2 beabstandet ist ein Detektor 4 an dem Planspiegel 6 angeordnet und in Richtung des Hohlspiegels 7 ausgerichtet. Der Detektor 4 ist zum Messen der Intensität von Lichtwellen ausgebildet.
  • Der Hohlspiegel 7 weist eine optische Achse 8 auf, die im Wesentlichen senkrecht zum Planspiegel 6 angeordnet ist. Der Abstand von Hohlspiegel 7 zum Emitter 5 beträgt in dieser ersten Ausführungsform etwa die Hälfte des Krümmungsradius des Hohlspiegels 7. Bei Verwendung eines vor dem Emitter 5 angeordneten optischen Filters ist der Abstand etwas größer als die Hälfte des Krümmungsradius des Hohlspiegels 7. In dieser Darstellung sind zwei unterschiedliche von der Strahlungsquelle 2 emittierte Lichtstrahlen L abgebildet, wobei ein erster Lichtstrahl L durch eine durchgezogene Linie und ein zweiter Lichtstrahl L durch eine gestrichelte Linie schematisch angedeutet sind. Die emittierten Lichtstrahlen L werden jeweils von dem Hohlspiegel 7 auf den Planspiegel 6 und wieder auf den Hohlspiegel 7 reflektiert, bis sie auf den Detektor 4 treffen. Diese Anordnung ist besonders vorteilhaft, wenn das zu messende Gas G Lichtwellen L nur schwach absorbiert und wenn der Gassensor 1 eine möglichst kompakte Baugröße aufweisen muss.
  • 2 zeigt den Planspiegel 6 der ersten Ausführungsform des Gassensors 1 in einer Draufsicht. Der Planspiegel 6 weist ein erstes Loch 9, in dem eine Strahlungsquelle 2 mit einem ersten Emitter 5a sowie einem zweiten Emitter 5b angeordnet ist, und ein zweites Loch 10, in dem der Detektor 4 angeordnet ist, auf. Diese erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gassensors 1 ist insbesondere zum quantitativen Messen der Gaskonzentration bzw. zum Detektieren eines einzigen Gases G geeignet. Dafür sind von dem ersten Emitter 5a und dem zweiten Emitter 5b abwechselnd Lichtwellen L unterschiedlicher Wellenlängen emittierbar und/oder mit unterschiedlichen Frequenzen modulierbar. Der Detektor 4 ermittelt die Intensität dieser teilweise absorbierten Lichtwellen L. Dabei sind die von dem zweiten Emitter 5b emittierten Lichtwellen als Referenzsignal verwendbar. Der erste Emitter 5a und der zweite Emitter 5b sind in dieser Ausführungsform als LED ausgebildet.
  • In 3 ist ein Planspiegel 6 einer zweiten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gassensors 1 in einer Draufsicht abgebildet. Der Planspiegel 6 weist ein erstes Loch 9, in dem eine Strahlungsquelle 2 mit einem ersten Emitter 5a, einem zweiten Emitter 5b sowie einem dritten Emitter 5c angeordnet ist, und ein zweites Loch 10, in dem der Detektor 4 angeordnet ist, auf. Vor dem ersten Emitter 5a und/oder dem zweiten Emitter 5b und/oder dem dritten Emitter 5c ist optional ein optischer Filter, wie z.B. ein Bandpassfilter, Doppelbandpassfilter oder Triplebandpassfilter angeordnet. Der erste Emitter 5a, der zweite Emitter 5b und der dritte Emitter 5c sind in dieser Ausführungsform als LED ausgebildet. Die zweite Ausführungsform des Gassensors 1 unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass die Strahlungsquelle 2 zusätzlich einen dritten Emitter 5c aufweist. Diese zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gassensors 1 ist insbesondere zum quantitativen Messen bzw. zum Detektieren von zwei unterschiedlichen Gasen G geeignet. Dafür sind von dem ersten Emitter 5a, dem zweiten Emitter 5b und dem dritten Emitter 5c Lichtwellen L unterschiedlicher Wellenlängen emittierbar. Der Detektor 4 ermittelt die Intensität dieser teilweise absorbierten Lichtwellen L. Dabei dienen z.B. die von dem dritten Emitter 5c emittierten Lichtwellen als Referenzsignal.
  • In 4 ist ein Planspiegel 6 einer dritten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gassensors 1 in einer Draufsicht abgebildet. Der Planspiegel 6 weist zwei erste Löcher 9 und zwei zweite Löcher 10 auf. In einem ersten Loch 9 ist eine erste Strahlungsquelle 2a mit einem ersten Emitter 5a sowie einem zweiten Emitter 5b angeordnet. In dem anderen ersten Loch 9 ist eine zweite Strahlungsquelle 2b mit einem dritten Emitter 5c sowie einem vierten Emitter 5d angeordnet. In einem zweiten Loch 10 ist ein erster Detektor 4a und in dem anderen zweiten Loch 10 ein zweiter Detektor 4b angeordnet. Die dritte Ausführungsform des Gassensors 1 unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dadurch, dass der Gassensor 1 zwei Strahlungsquellen 2 sowie zwei Detektoren 4 aufweist. Von der ersten Strahlungsquelle 2a emittierte Lichtwellen sind vorzugsweise ausschließlich bzw. im Wesentlichen von dem ersten Detektor 4a und von der zweiten Strahlungsquelle 2b emittierte Lichtwellen L ausschließlich bzw. im Wesentlichen von dem zweiten Detektor 4b erfassbar. Im Betrieb können die erste Strahlungsquelle 2a und die zweite Strahlungsquelle 2b simultan Lichtwellen L emittieren. Der erste Emitter 5a, der zweite Emitter 5b, der dritte Emitter 5c und der vierte Emitter 5d sind in dieser Ausführungsform als LED ausgebildet. Diese dritte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Gassensors 1 ist insbesondere zum gleichzeitigen quantitativen Messen bzw. zum Detektieren von zwei unterschiedlichen Gasen G in einem Gasgemisch geeignet.
  • Bandpassfilter, die vor den Strahlungsquellen 2 oder Detektoren 4 angeordnet sind, wirken für Lichtwellen der jeweils anderen Strahlungsquellen 2 als Spiegel. Dies erhöht die Effizienz des Gassensors 1.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Gassensor
    2
    Strahlungsquelle
    2a
    erste Strahlungsquelle
    2b
    zweite Strahlungsquelle
    3
    Küvette
    4
    Detektor
    4a
    erster Detektor
    4b
    zweiter Detektor
    5
    Emitter
    5a
    erster Emitter
    5b
    zweiter Emitter
    5c
    dritter Emitter
    5d
    vierter Emitter
    6
    Planspiegel
    7
    Hohlspiegel
    8
    optische Achse
    9
    erstes Loch
    10
    zweites Loch
    G
    Gas
    L
    Lichtwelle

Claims (7)

  1. Optischer Gassensor (1) zum quantitativen Messen einer Konzentration eines oder mehrerer Gase, aufweisend eine Strahlungsquelle (2) zum Emittieren von Lichtwellen (L), eine Küvette (3) zur Aufnahme eines zu messenden Gases (G) und einen Detektor (4) zum Messen von Lichtintensitäten, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (2) mindestens einen als LED ausgebildeten ersten Emitter (5a) und einen als LED ausgebildeten zweiten Emitter (5b) zum Emittieren von Lichtwellen (L) aufweist, - wobei der erste Emitter (5a) ausgebildet ist, Lichtwellen (L) einer ersten Wellenlänge als ein Hauptsignal zu emittieren, - wobei vor dem ersten Emitter (5a) ein optischer Filter angeordnet ist, - wobei der zweite Emitter (5b) ausgebildet ist, Lichtwellen (L) einer von der ersten Wellenlänge verschiedenen zweiten Wellenlänge als ein Referenzsignal zur Überprüfung eines Messergebnisses des Hauptsignals zu emittieren, - wobei vor dem zweiten Emitter (5b) ein optischer Filter angeordnet ist, wobei die Lichtwellen (L) der ersten und zweiten Wellenlängen voneinander gesondert emittierbar sind, wobei die Emitter (5a, 5b) jeweils ausgebildet sind, ein Spektrum zu emittieren, dessen volle Halbwertsbreite maximal 50% der Schwerpunktswellenlänge beträgt, wobei der Detektor (4) derart ausgebildet ist, eine Intensität der emittierten Lichtwellen (L) der ersten Wellenlänge und der zweiten Wellenlänge quantitativ zu erfassen, und wobei die Küvette (3) eine Spiegelanordnung mit einem Planspiegel (6) und einem dem Planspiegel (6) gegenüberliegend angeordneten Hohlspiegel (7) aufweist, wobei eine optische Achse (8) des Hohlspiegels (7) senkrecht zum Planspiegel (6) angeordnet ist und die Strahlungsquelle (2) und der Detektor (4) an dem Planspiegel (6) angeordnet sind, - wobei der erste Emitter (5a) und der zweite Emitter (5b) in einem ersten, in dem Planspiegel (6) angeordneten Loch (9) angeordnet sind, - wobei der Detektor (4) in einem zweiten, in dem Planspiegel (6) angeordneten Loch (10) angeordnet ist.
  2. Optischer Gassensor (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (2) ausgebildet ist, ein diskretes Lichtwellenspektrum zu emittieren, dessen volle Halbwertsbreite maximal 20% der Schwerpunktswellenlänge beträgt.
  3. Optischer Gassensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Strahlungsquelle (2) und ein Detektor (4) derart an der Küvette (3) angeordnet sind, dass von der Strahlungsquelle (2) emittierte Lichtwellen (L) direkt auf den Detektor treffen.
  4. Optischer Gassensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle (2) vom Detektor (4) beabstandet an der Küvette (3) angeordnet ist, wobei der erste Emitter (5a) und der zweite Emitter (5b) jeweils ausgebildet sind, Lichtwellen (L) mit einem geführten Strahlengang zu emittieren.
  5. Optischer Gassensor (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an der Küvette (3) genau ein Detektor (4) angeordnet ist.
  6. Optischer Gassensor (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass an der Küvette (3) mindestens zwei Strahlungsquellen (2) voneinander beabstandet angeordnet sind.
  7. Optischer Gassensor (1) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Küvette (3) mindestens zwei Detektoren (4) aufweist, wobei die Detektoren (4) zum Messen von Lichtintensitäten unterschiedlicher Strahlenquellen (2) oder unterschiedlicher Emitter (5) der beiden Strahlenquellen (2) ausgebildet sind.
DE102014016515.9A 2014-11-10 2014-11-10 Optischer Gassensor Active DE102014016515B4 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014016515.9A DE102014016515B4 (de) 2014-11-10 2014-11-10 Optischer Gassensor
US15/525,338 US10190974B2 (en) 2014-11-10 2015-11-02 Optical gas sensor comprising an LED emitter for the emission of light of a narrow bandwidth
CA2964020A CA2964020C (en) 2014-11-10 2015-11-02 Optical gas sensor comprising an led emitter for the emission of light of a narrow bandwidth
PCT/EP2015/002195 WO2016074773A1 (de) 2014-11-10 2015-11-02 Optischer gassensor mit led-emitter zur emission von licht schmaler bandbreite
AU2015345502A AU2015345502B2 (en) 2014-11-10 2015-11-02 Optical gas sensor comprising an LED emitter for the emission of light of a narrow bandwidth
CN201580060984.5A CN107148566A (zh) 2014-11-10 2015-11-02 具有用于发射窄带宽的光的led发射体的光学气体传感器
CN202210528201.3A CN114910432A (zh) 2014-11-10 2015-11-02 具有用于发射窄带宽的光的led发射体的光学气体传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102014016515.9A DE102014016515B4 (de) 2014-11-10 2014-11-10 Optischer Gassensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102014016515A1 DE102014016515A1 (de) 2016-05-12
DE102014016515B4 true DE102014016515B4 (de) 2021-04-29

Family

ID=54843785

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102014016515.9A Active DE102014016515B4 (de) 2014-11-10 2014-11-10 Optischer Gassensor

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10190974B2 (de)
CN (2) CN107148566A (de)
AU (1) AU2015345502B2 (de)
CA (1) CA2964020C (de)
DE (1) DE102014016515B4 (de)
WO (1) WO2016074773A1 (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3042038B1 (fr) * 2015-10-01 2017-12-08 Commissariat Energie Atomique Procede d'optimisation de longueurs d'onde de detection pour une detection multi-gaz
DE102016010088A1 (de) * 2016-08-23 2018-03-01 Dräger Safety AG & Co. KGaA Messvorrichtung zur Absorptionsmessung von Gasen
EP4528174A3 (de) * 2017-04-06 2025-06-11 Carrier Corporation Kältemittelleckdetektion mit mittelschwerem bis niedrigem globalem erwärmungspotenzialwert
CN112805549B (zh) * 2018-07-03 2024-11-22 全球分析仪系统有限公司 自对准高精度光学传感器单元
US11114286B2 (en) 2019-04-08 2021-09-07 Applied Materials, Inc. In-situ optical chamber surface and process sensor
DE102019003021A1 (de) * 2019-04-29 2020-10-29 Dräger Safety AG & Co. KGaA Gaserfassungsvorrichtung zur Erfassung wenigstens eines Parameters eines Gases
US11499869B2 (en) * 2019-11-13 2022-11-15 Applied Materials, Inc. Optical wall and process sensor with plasma facing sensor
CN111426631A (zh) * 2020-05-21 2020-07-17 深圳市拓普泰克电子有限公司 光谱探头和光谱分析仪
US12399108B2 (en) * 2022-03-07 2025-08-26 Hanwei Electronics Group Corporation Long-path gas absorption cell optical system

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4011462C2 (de) * 1990-04-09 1995-01-05 Wandel & Goltermann Steckverbindung für optische Meßgeräte
DE10047728A1 (de) * 2000-09-27 2002-04-18 Draeger Medical Ag Infrarotoptischer Gasanalysator
DE20202694U1 (de) * 2001-06-01 2002-07-04 Dräger Safety AG & Co. KGaA, 23560 Lübeck Optischer Gassensor
GB2391310A (en) * 2002-06-11 2004-02-04 Edinburgh Instr Gas sensors
US6791689B1 (en) * 1998-04-14 2004-09-14 Instrumentarium Corp. Sensor assembly and method for measuring nitrogen dioxide
US7999232B2 (en) * 2006-12-22 2011-08-16 Photonic Innovations Limited Gas detector
WO2012001633A2 (en) * 2010-06-28 2012-01-05 L Pro S.R.L. Apparatus for the measurement of the gas concentration in a sealed container

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3334264A1 (de) * 1982-09-25 1984-04-05 Showa Denko K.K., Tokyo Verfahren und messgeraet zum messen der methan-konzentration in einem gasgemisch
GB8309211D0 (en) 1983-04-05 1983-05-11 Edinburgh Instr Infra red absorption gas detectors
DE4002436A1 (de) 1990-01-27 1991-08-01 Man Technologie Gmbh Gaskuevette fuer materialanalysen
US5448071A (en) * 1993-04-16 1995-09-05 Bruce W. McCaul Gas spectroscopy
DE4434814A1 (de) * 1994-09-29 1996-04-04 Microparts Gmbh Infrarotspektrometrischer Sensor für Gase
DE69811098T2 (de) * 1997-10-10 2003-10-09 Zellweger Analytics Ltd., Poole Optische gasdetektion
JP2000019108A (ja) * 1998-07-06 2000-01-21 Horiba Ltd 赤外線ガス分析計
US8332006B2 (en) * 2004-05-06 2012-12-11 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Constituent concentration measuring apparatus and constituent concentration measuring apparatus controlling method
KR100576541B1 (ko) * 2005-06-16 2006-05-03 (주) 인바이런먼트 리딩 테크놀러지 비분산 적외선 가스 센서를 위한 광 공동
CN1908623B (zh) * 2005-08-02 2010-05-05 德菲电气(北京)有限公司 多组分红外在线气体分析仪
DE102005055860B3 (de) * 2005-11-23 2007-05-10 Tyco Electronics Raychem Gmbh Gassensoranordnung mit Lichtkanal in Gestalt eines Kegelschnittrotationskörpers
GB0602320D0 (en) * 2006-02-06 2006-03-15 Gas Sensing Solutions Ltd Domed gas sensor
EP2437046B1 (de) * 2010-09-29 2014-08-13 Sick Ag Vorrichtung und Verfahren zum Messen von SO3 und H2SO4 Konzentrationen in Gasen
US8785857B2 (en) * 2011-09-23 2014-07-22 Msa Technology, Llc Infrared sensor with multiple sources for gas measurement
DE102012007030C5 (de) * 2012-04-05 2019-01-10 Drägerwerk AG & Co. KGaA Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Aufnahme eines Absorptionsspektrums eines Fluids
JP5983020B2 (ja) * 2012-05-18 2016-08-31 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
US20150099274A1 (en) * 2012-06-17 2015-04-09 Physical Logic Ag Method and system for use in monitoring biological material
CN102809534A (zh) * 2012-08-06 2012-12-05 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种气体浓度检测仪及其气体吸收室

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4011462C2 (de) * 1990-04-09 1995-01-05 Wandel & Goltermann Steckverbindung für optische Meßgeräte
US6791689B1 (en) * 1998-04-14 2004-09-14 Instrumentarium Corp. Sensor assembly and method for measuring nitrogen dioxide
DE10047728A1 (de) * 2000-09-27 2002-04-18 Draeger Medical Ag Infrarotoptischer Gasanalysator
DE20202694U1 (de) * 2001-06-01 2002-07-04 Dräger Safety AG & Co. KGaA, 23560 Lübeck Optischer Gassensor
GB2391310A (en) * 2002-06-11 2004-02-04 Edinburgh Instr Gas sensors
US7999232B2 (en) * 2006-12-22 2011-08-16 Photonic Innovations Limited Gas detector
WO2012001633A2 (en) * 2010-06-28 2012-01-05 L Pro S.R.L. Apparatus for the measurement of the gas concentration in a sealed container

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
HARDAWAY, Harvey R. [et al.]: Optimizing indium aluminum antimonide LEDs and photodiodes for gas sensing applications. In: Proceedings of SPIE Vol. 5564, Infrared Detector Materials and Devices, 2004, S. 105-112. *

Also Published As

Publication number Publication date
CN114910432A (zh) 2022-08-16
US10190974B2 (en) 2019-01-29
CA2964020A1 (en) 2016-05-19
US20170322149A1 (en) 2017-11-09
AU2015345502A1 (en) 2017-04-13
AU2015345502B2 (en) 2018-07-19
WO2016074773A1 (de) 2016-05-19
CA2964020C (en) 2019-08-06
DE102014016515A1 (de) 2016-05-12
CN107148566A (zh) 2017-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102014016515B4 (de) Optischer Gassensor
EP3504535B1 (de) Messvorrichtung zur absorptionsmessung von gasen
DE112016007086B4 (de) Scannendes laserbasiertes spektrales oberflächenbereichsanalyse- und -detektionssystem
DE4343076C2 (de) Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche eines insbesondere bewegten Gegenstandes
DE102009000528B4 (de) Inspektionsvorrichtung und -verfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferoberflächen
DE102006004003A1 (de) Infrarot-Gasdetektor
DE19948587A1 (de) Spektralphotometrische und nephelometrische Detektionseinheit
AT510765B1 (de) Vorrichtung zur photometrischen bzw. spektrometrischen untersuchung einer flüssigen probe
EP2357465B1 (de) Vorrichtung zur Bestimmung der Photolumineszenzquantenausbeute und weiterer optischer Eigenschaften einer Probe
WO2010127872A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur winkelaufgelösten streulichtmessung
AT510631B1 (de) Spektrometer
EP3598103B1 (de) Gasanalysator und gasanalyseverfahren
DE102008009100B4 (de) Optisches Analysegerät
DE102006004005A1 (de) Infrarot-Gasdetektor und Verfahren zur Erfassung einer Gaskonzentration
WO1992006366A1 (de) Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe
EP2261641A2 (de) Anordnung und Verfahren zur Bestimmung der Lumineszenzquantenausbeute einer lumineszierenden Probe
DE102018203301A1 (de) Mit Laser induzierter Inkandeszenz arbeitender Partikelsensor mit einer konfokalen Anordnung eines Laserspots und eines Temperaturstrahlungsspots
WO2011003728A2 (de) Messvorrichtung zur aufnahme eines raman-spektrums
DE202014011447U1 (de) Optischer Gassensor
DE3917571C2 (de)
EP0327499A1 (de) Messkopf
DE10218415B4 (de) Partikeluntersuchungsgerät
DE10106032B4 (de) Vorrichtung zur homogenen Ausleuchtung einer kleinen Fläche mit einer Ulbricht'schen Kugel
DE102006032404B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften
DE102015107942A1 (de) Spektrometer und Gasanalysator

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final