DE102014117976B4 - Fluidic device and method of operating the same - Google Patents
Fluidic device and method of operating the same Download PDFInfo
- Publication number
- DE102014117976B4 DE102014117976B4 DE102014117976.5A DE102014117976A DE102014117976B4 DE 102014117976 B4 DE102014117976 B4 DE 102014117976B4 DE 102014117976 A DE102014117976 A DE 102014117976A DE 102014117976 B4 DE102014117976 B4 DE 102014117976B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- fluid
- fluidic device
- valve seat
- adhesive layer
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 180
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 59
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 26
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 6
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 239000000017 hydrogel Substances 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000002032 lab-on-a-chip Methods 0.000 description 2
- FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 10,10-dioxo-2-[4-(N-phenylanilino)phenyl]thioxanthen-9-one Chemical compound O=C1c2ccccc2S(=O)(=O)c2ccc(cc12)-c1ccc(cc1)N(c1ccccc1)c1ccccc1 FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 238000003891 environmental analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000004186 food analysis Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/003—Valves for single use only
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/0028—Valves having multiple inlets or outlets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/008—Multi-layer fabrications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
- F16K2099/0084—Chemistry or biology, e.g. "lab-on-a-chip" technology
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
Fluidikvorrichtung (10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f, 10g, 10h), mit wenigstens einer Fluidikvorrichtungskomponente (8) mit einem einen ersten Fluideingang (11) und einen ersten Fluidausgang (12) aufweisenden ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich (1), wenigstens einem einen zweiten Fluideingang (21) und einen zweiten Fluidausgang (22) aufweisenden zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich (2) und wenigstens einem zwischen dem ersten Fluidausgang (12) und dem zweiten Fluideingang (21) vorgesehenen Fluidventil (3, 3a, 3b), das in einem Öffnungszustand einen Fluidtransportweg (4) zwischen dem ersten Fluidausgang (12) und dem zweiten Fluideingang (21) freigibt, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluidventil (3) einen sich zwischen dem ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich (1) und dem zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich (2) erstreckenden Ventilsitz (31) aufweist; auf einem an den Ventilsitz (31) angrenzenden ersten Öffnungsbereich (13) des ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereiches (1), auf einer Ventilsitzoberfläche (32, 32b) und auf einem an den Ventilsitz (31) angrenzenden zweiten Öffnungsbereich (23) des zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereiches (2) eine Decklage (5) mittels einer darauf vorgesehenen Klebeschicht (6) vorgesehen ist, wobei die Klebeschicht (6) eine Ventildichtung zwischen der Ventilsitzoberfläche (32, 32b) und der Decklage (5) ausbildet und wobei die Decklage (5) mit der daran vorgesehenen Klebeschicht (6) auf dem Ventilsitz (31) und auf Haftbereichen von vorderseitigen festen Oberflächenbereichen (14, 24) der Fluidikvorrichtungskomponente (8) haftet; und die Klebeschicht (6) eine sich bei Einwirkung von Wärme und/oder elektromagnetischer Strahlung verringernde Klebewirkung aufweist.Fluidic device (10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f, 10g, 10h), comprising at least one Fluidikvorrichtungskomponente (8) having a first fluid inlet (11) and a first fluid outlet (12) having the first fluid receiving and / or -leitungsbereich (1), at least one of a second fluid inlet (21) and a second fluid outlet (22) having the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereich (2) and at least one provided between the first fluid outlet (12) and the second fluid inlet (21) fluid valve (3, 3a, 3b), which in an open state releases a fluid transport path (4) between the first fluid outlet (12) and the second fluid inlet (21), characterized in that the fluid valve (3) extends between the first fluid inlet and outlet / or -leitungsbereich (1) and the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereich (2) extending valve seat (31); on a first opening region (13) of the first fluid receiving and / or guiding region (1) adjoining the valve seat (31), on a valve seat surface (32, 32b) and on a second opening region (23) adjoining the valve seat (31) a cover layer (5) is provided by means of an adhesive layer (6) provided thereon, wherein the adhesive layer (6) has a valve seal between the valve seat surface (32, 32b) and the cover layer (5) of the second fluid receiving and / or guiding region (2). and wherein the cover sheet (5) with the adhesive layer (6) provided thereon adheres to the valve seat (31) and adhesion areas of front side solid surface portions (14, 24) of the fluidic device component (8); and the adhesive layer (6) has a decreasing adhesive effect on exposure to heat and / or electromagnetic radiation.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Fluidikvorrichtung mit wenigstens einer Fluidikvorrichtungskomponente mit einem einen ersten Fluideingang und einen ersten Fluidausgang aufweisenden ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich, wenigstens einem einen zweiten Fluideingang und einen zweiten Fluidausgang aufweisenden zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich und wenigstens einem zwischen dem ersten Fluidausgang und dem zweiten Fluideingang vorgesehenen Fluidventil, das in einem Öffnungszustand einen Fluidtransportweg zwischen dem ersten Fluidausgang und dem zweiten Fluideingang freigibt. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Betreiben einer Fluidikvorrichtung mit wenigstens einer Fluidikvorrichtungskomponente, wobei ein Fluidtransportweg zwischen wenigstens einem einen ersten Fluideingang und einen ersten Fluidausgang aufweisenden ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich und wenigstens einem einen zweiten Fluideingang und einen zweiten Fluidausgang aufweisenden zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich mittels wenigstens eines zwischen dem ersten Fluidausgang und dem zweiten Fluideingang vorgesehenen Fluidventils freigegeben wird.The present invention relates to a fluidic device having at least one fluidic device component with a first Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereich a first fluid inlet and a first fluid outlet, at least one second fluid inlet and a second fluid outlet having second fluid receiving and / or -leitungsbereich and at least one fluid valve provided between the first fluid outlet and the second fluid inlet, which in an open state releases a fluid transport path between the first fluid outlet and the second fluid inlet. The invention further relates to a method for operating a fluidic device having at least one fluidic device component, wherein a fluid transport path between at least one first fluid inlet and / or inlet region having a first fluid inlet and a first fluid outlet and at least one second fluid inlet having a second fluid inlet and a second fluid outlet - And / or -leitungsbereich is released by means of at least one provided between the first fluid outlet and the second fluid inlet fluid valve.
Miniaturisierte Systeme zur Analyse von Fluiden, vorzugsweise Flüssigkeiten, werden im Allgemeinen als „Labore auf dem Chip“ oder „Lab-on-a-Chip“ bezeichnet. Anwendungsgebiete hierfür sind beispielsweise die Humandiagnostik, Veterinärdiagnosik sowie Umwelt- und Lebensmittelanalytik. Die Systeme bestehen im Allgemeinen aus einer Kartusche, die Flüssigkeiten enthalten kann und in der diese Flüssigkeiten befördert werden können. Oft weisen solche Systeme auch einen Sensorbereich auf, der für die eigentliche Analytik zuständig ist.Miniaturized systems for analyzing fluids, preferably liquids, are commonly referred to as "on-chip laboratories" or "lab-on-a-chip". Applications include human diagnostics, veterinary diagnostics and environmental and food analysis. The systems generally consist of a cartridge, which can contain liquids and in which these liquids can be transported. Often such systems also have a sensor area which is responsible for the actual analysis.
Für die Analyse einer Probe ist es häufig erforderlich, Flüssigkeiten definiert zu transportieren. Dies kann sowohl über eine externe Aktorik, z. B. pneumatisch, mechanisch, über externe Pumpen, etc., als auch über eine Aktorik, die Bestandteil der Kartusche ist, erfolgen. Ein Beispiel für eine solche „integrierte“ Aktorik ist in der Druckschrift
Neben dem reinen Transport von Flüssigkeiten ist jedoch häufig auch ein gezieltes Schalten von Flüssigkeitsströmen oder ein Einschließen von Flüssigkeiten erforderlich. In addition to the mere transport of liquids, however, a targeted switching of liquid streams or trapping liquids is often required.
Dies erfolgt im Allgemeinen über Ventile, also temporäre Verschlussanordnungen. Man kann zwischen normal-offenen und normal-geschlossenen Ventilen unterscheiden. Letztere verschließen einen Bereich des möglichen Transportweges einer Flüssigkeit so lange, bis das Ventil geöffnet wird und den Weg für die Flüssigkeit freigibt.This is generally done via valves, so temporary closure arrangements. One can distinguish between normally-open and normally-closed valves. The latter close an area of the possible transport path of a liquid until the valve is opened and clears the path for the liquid.
Die Integration eines normal-geschlossenen Ventils ist beispielsweise für die zuvor beschriebenen Kartuschen erforderlich, um beispielsweise flüssige Reagenzien vorzulagern, oder aber einen Kanal zu einem Sensor zu verschließen, bis die zu analysierende Flüssigkeit tatsächlich zum Sensor transportiert werden soll. Da es sich bei Lab-on-a-Chip Systemen meist um Einweg-Systeme handelt, muss der Ventilmechanismus möglichst kostengünstig integrierbar sein.The integration of a normally-closed valve is required, for example, for the previously described cartridges, for example to pre-store liquid reagents, or to close a channel to a sensor until the liquid to be analyzed is actually to be transported to the sensor. Since lab-on-a-chip systems are usually disposable systems, the valve mechanism must be integrated as inexpensively as possible.
Ein Beispiel für ein normal geschlossenes Ventil ist in der Druckschrift
Diese Lösung besitzt jedoch den Nachteil, dass die Öffnung des Ventiles und die Bewegung der zu transportierenden Flüssigkeit nicht entkoppelt voneinander betrachtet werden können. So muss ein hoher Druck auf die zu transportierende Flüssigkeit aufgebracht werden, um die Schließwirkung des Ventiles zu überwinden. Das Öffnungsverhalten und der Öffnungszeitpunkt sind damit schwer vorhersagbar. Je nachdem, welcher Druck tatsächlich für die Überwindung der Schließwirkung des Ventils erforderlich war, führt der applizierte Druck auf die zu bewegende Flüssigkeit dazu, dass die resultierende Fließgeschwindigkeit - je nachdem, wie der Druck erzeugt wurde - nur sehr schwer kontrollierbar und vorhersehbar ist.However, this solution has the disadvantage that the opening of the valve and the movement of the liquid to be transported can not be viewed decoupled from each other. Thus, a high pressure on the liquid to be transported must be applied to overcome the closing action of the valve. The opening behavior and the opening time are thus difficult to predict. Depending on what pressure was actually required to overcome the closing action of the valve, the applied pressure on the liquid to be moved results in the resulting flow rate being very difficult to control and predictable, depending on how the pressure was generated.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Fluidikvorrichtung und ein Verfahren zum Betreiben derselben zur Verfügung zu stellen, in welchen ein normal-geschlossenes Ventil geöffnet werden kann, ohne für den Vorgang der Ventilöffnung auf das Fluid selbst einwirken zu müssen.It is therefore the object of the present invention to provide a fluidic device and a method of operating the same, in which a normally-closed valve can be opened without having to act on the fluid itself for the operation of the valve opening.
Diese Aufgabe wird in der vorliegenden Erfindung einerseits durch eine Fluidikvorrichtung der oben genannten Gattung gelöst, bei der das Fluidventil einen sich zwischen dem ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich und dem zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich erstreckenden Ventilsitz aufweist; auf einem an den Ventilsitz angrenzenden ersten Öffnungsbereich des ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereiches, auf einer Ventilsitzoberfläche und auf einem an den Ventilsitz angrenzenden zweiten Öffnungsbereich des zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereiches eine Decklage mittels einer darauf vorgesehenen Klebeschicht vorgesehen ist, wobei die Klebeschicht eine Ventildichtung zwischen der Ventilsitzoberfläche und der Decklage ausbildet und wobei die Decklage mit der daran vorgesehenen Klebeschicht auf dem Ventilsitz und auf Haftbereichen von vorderseitigen festen Oberflächenbereichen der Fluidikvorrichtungskomponente haftet; und die Klebeschicht eine sich bei Einwirkung von Wärme und/oder elektromagnetischer Strahlung verringernde Klebewirkung aufweist.This object is achieved in the present invention on the one hand by a fluidic device of the abovementioned type, wherein the fluid valve has a valve seat extending between the first fluid receiving and / or -leitungsbereich and the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereich; is provided on a valve seat adjacent to the first opening portion of the first Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereiches, on a valve seat surface and on a valve seat adjacent second opening portion of the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereiches a cover layer by means of an adhesive layer provided thereon the adhesive layer is a valve seal between the Forming the valve seat surface and the cover layer and wherein the cover layer adheres to the adhesive layer provided thereon on the valve seat and on adhesive areas of front side solid surface areas of Fluidikvorrichtungskomponente; and the adhesive layer has a decreasing adhesive effect when exposed to heat and / or electromagnetic radiation.
Die erfindungsgemäße Fluidikvorrichtung schafft eine Entkopplung des Ventilmechanismus von der zum Transport des Fluids zum Einsatz kommenden Aktorik. Die steuerbare Ventilwirkung wird dadurch erreicht, dass eine Decklage, welche mindestens auf einer Seite eine Klebeschicht aufweist, deren Klebekraft sich durch Energiezufuhr, wie Wärme oder elektromagnetische Strahlung, reduzieren lässt, zunächst einen möglichen Transportweg eines Fluids verschließt und dadurch ein normal-geschlossenes Ventil ausbildet. Durch vorzugsweise lokale Energiezufuhr kann die Klebekraft der Folie reduziert werden und so der Fluidtransportweg freigegeben werden.The fluidic device according to the invention provides a decoupling of the valve mechanism from the actuator used for transporting the fluid used. The controllable valve effect is achieved in that a cover layer, which has an adhesive layer on at least one side, the adhesive force can be reduced by energy supply, such as heat or electromagnetic radiation, first closes a possible transport path of a fluid and thereby forms a normally-closed valve , By preferably local energy supply, the adhesive force of the film can be reduced and so the fluid transport path are released.
Die Klebeschicht ist aus Gründen der einfacheren Produktion vorzugsweise ganzflächig auf wenigstens einer Seite der Decklage vorgesehen, kann jedoch in bestimmten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung auch nur lokal, insbesondere an den Stellen, an welchen die Decklage mit der Klebeschicht auf den Ventilsitz geklebt werden soll, auf der Decklage vorgesehen sein.The adhesive layer is preferably provided over the entire surface on at least one side of the cover layer for reasons of easier production, but in certain embodiments of the present invention, only locally, especially at the locations where the cover layer is to be glued to the valve seat with the adhesive layer on be provided the cover layer.
Nach dem Energieeintrag in die Klebeschicht bleibt bei der vorliegenden Erfindung die reduzierte Klebewirkung erhalten. Das heißt, auch dann, wenn kein Energieeintrag mehr erfolgt, bleibt das Ventil geöffnet. Das Ventil schließt danach von selbst nicht und ist damit als Einweg-Ventil zu betrachten.After the energy input into the adhesive layer, the reduced adhesive effect is retained in the present invention. This means that even if there is no energy input, the valve remains open. The valve then does not close by itself and is therefore to be regarded as a one-way valve.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung weist die Klebeschicht sich bei Einwirkung von Wärme ausdehnende Partikel auf. Indem sich die Partikel in der Klebeschicht ausdehnen, hebt sich die Decklage vom Ventilsitz ab, wodurch sich der Fluidtransportweg öffnet. Als vorteilhafte Ausführungsform derartiger Partikel haben sich solche erwiesen, welche über eine thermoplastische Hülle verfügen und mit einem Gas gefüllt sind, sodass die Hülle bei Erwärmung oberhalb ihrer Glasüber gangstemperatur erweicht und der aus der höheren Temperatur resultierende Gasdruck im Inneren der Partikel zu einer Ausdehnung der Partikel führt.In an advantageous embodiment of the fluidic device according to the invention, the adhesive layer has particles which expand when exposed to heat. As the particles expand in the adhesive layer, the topsheet lifts off the valve seat, opening the fluid transport path. As an advantageous embodiment of such particles are those which have a thermoplastic shell and are filled with a gas, so that the shell softened when heated above its glass transition temperature and resulting from the higher temperature gas pressure inside the particles to an expansion of the particles leads.
In einer anderen Variante der Erfindung kann die Klebeschicht eine sich bei Einwirkung von UV-Strahlung verringernde Klebewirkung aufweisen.In another variant of the invention, the adhesive layer may have an adhesive action which reduces when exposed to UV radiation.
In einer optionalen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung kann eine Decklage verwendet werden, die wenigstens ein elektromagnetische Strahlung absorbierendes und dadurch Wärme erzeugendes Decklagenmaterial aufweist. Dadurch kann über die Strahlungsaufnahme der Decklage die Klebeschicht mittelbar erwärmt und damit die Klebewirkung der Klebeschicht reduziert werden.In an optional embodiment of the fluidic device according to the invention, a cover layer may be used which has at least one cover layer material which absorbs electromagnetic radiation and thereby generates heat. As a result, the adhesive layer can be indirectly heated via the radiation absorption of the cover layer and thus the adhesive effect of the adhesive layer can be reduced.
Insbesondere aus fertigungstechnischen Gründen ist es bei der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung günstig, wenn die durch die Decklage abzudeckenden Oberflächen des ersten Fluidausgangs und des zweiten Fluideingangs sowie die Ventilsitzoberfläche auf einem Höhenniveau liegen. Dadurch kann die Decklage mit der darauf vorgesehenen Klebeschicht in einer Ebene auf den Öffnungsbereichen und dem Ventilsitz vorgesehen werden, was die Haftung der Klebeschicht auf dem Ventilsitz, zum Beispiel durch Andrücken der Decklage mit der Klebeschicht gegen die Ventilsitzoberfläche, und eine homogene Überdeckung der Öffnungsbereiche durch die Decklage bei der Herstellung der Fluidikvorrichtung erleichtert.In particular, for production reasons, it is favorable in the case of the fluidic device according to the invention, when the surfaces of the first fluid outlet and the second fluid inlet to be covered by the cover layer and the valve seat surface are at a height level. Thereby, the cover layer with the adhesive layer provided thereon can be provided in a plane on the opening areas and the valve seat, which the adhesion of the adhesive layer on the valve seat, for example by pressing the cover layer with the adhesive layer against the valve seat surface, and a homogeneous coverage of the opening areas facilitates the cover layer in the manufacture of the fluidic device.
Besonders von Vorteil ist es bei der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung, wenn die Decklage mit der Klebeschicht auf seitlich der Öffnungsbereiche vorgesehenen Oberflächenbereichen der Fluidikvorrichtung haftet. Dadurch können die Öffnungsbereiche durchgängig allein mittels der Decklage und der daran vorgesehenen Klebeschicht abgedeckt werden.It is particularly advantageous in the case of the fluidic device according to the invention if the cover layer with the adhesive layer adheres to surface regions of the fluidic device provided on the side of the opening regions. As a result, the opening areas can be covered continuously solely by means of the cover layer and the adhesive layer provided thereon.
In einer bevorzugten Ausbildung der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung ist die Decklage eine Folie. Folien passen sich besonders gut an unterschiedlichste Oberflächenstrukturen an und eignen sich damit gut zur Abdeckung der Öffnungsbereiche und des Ventilsitzes der Fluidikvorrichtung. Folien können insbesondere mit einer bereits darauf vorgesehenen Klebeschicht, also als Klebefolien, ausgebildet werden. Dabei sind erfindungsgemäß Klebefolien einzusetzen, welche sich mittels Wärmeeintrag oder mittels elektromagnetischer Strahlung, z. B. ultraviolettem Licht, in ihrer Klebkraft reduzieren lassen.In a preferred embodiment of the fluidic device according to the invention, the cover layer is a film. Films adapt particularly well to a wide variety of surface structures and are thus well suited for covering the opening areas and the valve seat of the fluidic device. Films can in particular be formed with an adhesive layer already provided thereon, ie as adhesive films. In this case, adhesive sheets are to be used according to the invention, which are by means of heat input or by means of electromagnetic radiation, for. As ultraviolet light, reduce their adhesive power.
Bei der vorliegenden Erfindung kann der erste und/oder der zweite Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich beispielsweise ein Fluidreservoir sein, das wenigstens eine Öffnungsbereich aufweist, der durch die Decklage abgedeckt ist. Das Fluidreservoir kann sich dabei in einem Innenhohlraum der Fluidikvorrichtung befinden, wobei insbesondere Wände und Decke des Innenhohlraumes, bis auf dessen Öffnungsbereich(e), im Wesentlichen durch Substratmaterial der Fluidikvorrichtung ausgebildet sind.In the present invention, the first and / or the second fluid receiving and / or -leitungsbereich be, for example, a fluid reservoir having at least one opening portion which is covered by the cover layer. The fluid reservoir may be located in an inner cavity of the fluidic device, wherein in particular walls and ceiling of the inner cavity, except for the opening region (e), are essentially formed by substrate material of the fluidic device.
Es ist aber auch möglich, dass sich der erste und/oder der zweite Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich an einer Oberfläche eines zur Ausbildung der Fluidikvorrichtung verwendeten Substrates befindet und dort einen Fluidkanal ausbildet. Bei einer solchen Ausbildung ist es günstig, wenn die Decklage über den Fluidkanal gespannt wird, sodass die Decklage eine Kanalabdeckung des Fluidkanals ausbildet. But it is also possible that the first and / or the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereich is located on a surface of a substrate used to form the fluidic device and forms a fluid channel there. In such a design, it is advantageous if the cover layer is stretched over the fluid channel, so that the cover layer forms a channel cover of the fluid channel.
Bei der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung kann der Energieeintrag zur Verringerung der Klebewirkung der Klebeschicht durch eine Wärme- oder UV-Bestrahlung mit einer entsprechenden externen Strahlungsquelle erfolgen. In einer speziellen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist die Fluidikvorrichtung selbst wenigstens ein gegenüber der Ventilsitzoberfläche vorgesehenes Heizelement und/oder wenigstens eine gegenüber der Ventilsitzoberfläche vorgesehene elektromagnetische Strahlungsquelle auf. Bei dieser Ausführungsform der Erfindung ist also das Heizelement und/oder die elektromagnetische Strahlungsquelle bereits in die Fluidikvorrichtung integriert. Dies eröffnet den Vorteil, dass durch eine gezielte lokale Integration der Energiequelle der Energieeintrag ebenfalls gezielt lokal erfolgen kann, sodass insbesondere wärme- oder UV-empfindliche Fluide, die sich in der Fluidikvorrichtung befinden, nicht oder nur vernachlässigbar gering dem lediglich zur Ventilöffnung eingesetzten Energieeintrag ausgesetzt sind und darüber hinaus keine zusätzliche externe Einrichtung zur Zuführung thermischer Energie oder elektromagnetischer Strahlung erforderlich ist.In the case of the fluidic device according to the invention, the energy input for reducing the adhesive effect of the adhesive layer can be achieved by heat or UV irradiation with a corresponding external radiation source. In a specific embodiment of the present invention, the fluidic device itself has at least one heating element provided opposite the valve seat surface and / or at least one electromagnetic radiation source provided opposite the valve seat surface. In this embodiment of the invention, therefore, the heating element and / or the electromagnetic radiation source is already integrated into the fluidic device. This opens up the advantage that the energy input can also be targeted locally by targeted local integration of the energy source, so that in particular heat- or UV-sensitive fluids contained in the fluidic device are not or only negligibly exposed to the energy input used only for the valve opening Moreover, no additional external means for supplying thermal energy or electromagnetic radiation is required.
In einer vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann/können zum Beheizen und/oder Bestrahlen wenigstens eines Teils der Fluidikvorrichtung wenigstens ein Heizelement und/oder wenigstens eine elektromagnetische Strahlungsquelle vorgesehen sein, wobei das wenigstens eine Heizelement und/oder die wenigstens eine elektromagnetische Strahlungsquelle nicht Teil der Fluidikvorrichtung ist/sind. Hier ist es beispielsweise möglich, dass das Heizelement vorzugsweise im Bereich der Ventildichtung an die Fluidikvorrichtung angedrückt oder andrückbar ist.In an advantageous embodiment of the present invention, at least one heating element and / or at least one electromagnetic radiation source may be provided for heating and / or irradiating at least one part of the fluidic device, wherein the at least one heating element and / or the at least one electromagnetic radiation source are not part of the Fluidic device is / are. Here it is possible, for example, that the heating element is preferably pressed or pressed against the fluidic device in the region of the valve seal.
In einer geeigneten Ausführungsform der Erfindung können das Heizelement und/oder die elektromagnetische Strahlungsquelle beispielsweise auf einer Leiterplatte vorgesehen sein, die mit einer Fluidikvorrichtungskomponente, in der der erste Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich, das Fluidventil und der zweite Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich integriert sind, verbunden ist.In a suitable embodiment of the invention, the heating element and / or the electromagnetic radiation source may, for example, be provided on a printed circuit board which is provided with a fluidic device component in which the first fluid receiving and / or conducting area, the fluid valve and the second fluid receiving and / or integrated circuit area is connected.
In einer Weiterbildung der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung ist wenigstens ein dritter Öffnungsbereich des ersten und/oder des zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereiches mit einer bewegbaren Aktorwand verschlossen. Die bewegbare Aktorwand kann beispielsweise als Pumpaktor genutzt werden, mit dem ein in dem ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich befindliches Fluid durch den geöffneten Fluidtransportweg in den zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich gepumpt werden kann.In a further development of the fluidic device according to the invention, at least one third opening area of the first and / or the second fluid receiving and / or guiding area is closed by a movable actuator wall. The movable actuator wall can be used, for example, as a pump actuator, with which a fluid located in the first fluid receiving and / or -leitungsbereich can be pumped through the open Fluidtransportweg in the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereich.
Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung ist die Aktorwand eine verformbare Membran eines elektrochemischen Aktors, wie eines Elektrolyseaktors, und/oder thermisch stimulierbaren Aktors. So kann beispielsweise auf einer einem Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich der Fluidikvorrichtung gegenüber befindlichen Seite der Aktorwand ein Reservoir mit einer Flüssigkeit und/oder einem Hydrogel und/oder einem flüssigkeitsabsorbierenden Material vorgesehen sein, wobei beispielsweise durch Elektrolyse und/oder Erwärmung Blasen in der Flüssigkeit und/oder dem Hydrogel und/oder dem flüssigkeitsabsorbierenden Material erzeugt werden oder mittels Elektrophorese die Flüssigkeitsaufnahme des Hydrogels verändert und damit das Hydrogel ausgedehnt oder zusammengezogen wird. Bei Erzeugung von Gasblasen führt der resultierende Gasdruck zu einer Verformung der Aktorwand und folglich zu einem Fluidtransport in dem Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich.According to an advantageous embodiment of the present invention, the actuator wall is a deformable membrane of an electrochemical actuator, such as an electrolytic reactor, and / or thermally stimulable actuator. Thus, for example, a reservoir having a liquid and / or a hydrogel and / or a liquid-absorbing material may be provided on a side of the actuator wall opposite a fluid intake and / or conduit region, wherein bubbles may be blown through, for example, by electrolysis and / or heating Liquid and / or the hydrogel and / or the liquid-absorbing material are generated or changed by electrophoresis, the liquid intake of the hydrogel and thus the hydrogel is expanded or contracted. Upon generation of gas bubbles, the resulting gas pressure results in deformation of the actuator wall and, consequently, fluid transport in the fluid receiving and / or conducting area.
In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung können sich das Heizelement und/oder die elektromagnetische Strahlungsquelle beispielsweise auf derselben Leiterplatte befinden, welche auch zur elektrischen Ansteuerung des Auslenkungsmechanismus der Aktorwand dient, also beispielsweise Elektroden zur Durchführung einer Elektrolyse in einer Flüssigkeit oder einem Hydrogel, die bzw. das angrenzend an die Aktorwand vorgesehen ist, aufweist oder kontaktiert oder ein Heizelement kontaktiert, welches thermisch Gasblasen in einem an die Aktorwand angrenzenden Reservoir erzeugt.In a particularly advantageous embodiment of the present invention, the heating element and / or the electromagnetic radiation source may be located, for example, on the same circuit board, which also serves to electrically control the deflection mechanism of the actuator wall, so for example electrodes for performing an electrolysis in a liquid or a hydrogel, the or which is provided adjacent to the actuator wall, comprises or contacted or contacted a heating element, which generates thermal gas bubbles in a adjacent to the actuator wall reservoir.
Besonders praktikabel ist es, wenn bei der erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung die Aktorwand auf einer dem Ventilsitz gegenüber befindlichen Seite der Fluidikvorrichtung vorgesehen ist. Dadurch wird der Ventilöffnungsmechanismus einfach von dem auf der gegenüber liegenden Seite der Fluidikvorrichtung stattfindenden Pumpmechanismus entkoppelt.It is particularly practicable if, in the fluidic device according to the invention, the actuator wall is provided on a side of the fluidic device opposite the valve seat. Thereby, the valve opening mechanism is simply decoupled from the pump mechanism taking place on the opposite side of the fluidic device.
Es hat sich auch als günstig erwiesen, wenn die Aktorwand auf die Decklage aufgeklebt ist oder selbst die Decklage bildet. Das heißt, die Decklage hat hier eine Mehrfachfunktion. Sie ist einerseits erfindungsgemäß mit der Klebeschicht auf dem Ventilsitz aufgeklebt und dient an anderer Stelle als bewegbare Aktorwand oder als Aufnahme für die bewegbare Aktorwand, mit welcher ein in dem ersten und/oder zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich befindliches Fluid beispielsweise gepumpt werden kann. Dabei kann die Decklage nur auf einer Seite der Fluidikvorrichtung oder auch auf beiden Seiten der Fluidikvorrichtung vorgesehen und vorzugsweise mit der Klebeschicht auf die jeweilige Seite der Fluidikvorrichtung aufgeklebt sein.It has also proved to be advantageous if the actuator wall is glued to the cover layer or even forms the cover layer. That is, the top layer has a multiple function here. On the one hand, it is glued to the valve seat according to the invention with the adhesive layer and serves elsewhere as a movable actuator wall or as a receptacle for the movable actuator wall, with which one in the first and / or second fluid receiving and / or can be pumped, for example, fluid located line area. In this case, the cover layer may be provided only on one side of the fluidic device or on both sides of the fluidic device and preferably glued to the respective side of the fluidic device with the adhesive layer.
Die Aufgabe wird darüber hinaus durch ein Verfahren der oben genannten Gattung gelöst, bei dem das Fluidventil mit einem sich zwischen dem ersten Fluidaufnahme- und/oder - leitungsbereich und dem zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich erstreckenden Ventilsitz ausgebildet ist; auf einem an den Ventilsitz angrenzenden ersten Öffnungsbereich des ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereiches, auf einer Ventilsitzoberfläche und auf einem an den Ventilsitz angrenzenden zweiten Öffnungsbereich des zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereiches eine Decklage mittels einer darauf vorgesehenen Klebeschicht vorgesehen ist, wobei die Klebeschicht eine Ventildichtung zwischen dem Ventilsitz und der Decklage ausbildet und wobei die Decklage mit der daran vorgesehenen Klebeschicht auf dem Ventilsitz und auf Haftbereichen von vorderseitigen festen Oberflächenbereichen der Fluidikvorrichtungskomponente haftet; und wenigstens die auf der Ventilsitzoberfläche vorgesehene Klebeschicht erwärmt und/oder mit elektromagnetischer Strahlung beaufschlagt wird, bis die Klebewirkung der Klebeschicht auf der Ventilsitzoberfläche aufgehoben ist, sich dadurch die Decklage von der Ventilsitzoberfläche ablöst und in diesem abgelösten Bereich der Fluidtransportweg zwischen dem ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich und dem zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitufigsbereich ausbildet.The object is also achieved by a method of the abovementioned type, in which the fluid valve is formed with a valve seat extending between the first fluid receiving and / or -leitungsbereich and the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereich; is provided on a valve seat adjacent to the first opening portion of the first Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereiches, on a valve seat surface and on a valve seat adjacent second opening portion of the second Fluidaufnahme- and / or -leitungsbereiches a cover layer by means of an adhesive layer provided thereon the adhesive layer forms a valve seal between the valve seat and the cover sheet, and wherein the cover sheet adheres to the valve seat and adhesive areas of front side solid surface portions of the fluidic device component with the adhesive layer provided thereon; and at least the adhesive layer provided on the valve seat surface is heated and / or acted upon by electromagnetic radiation until the adhesive effect of the adhesive layer on the valve seat surface is released, thereby detaching the cover layer from the valve seat surface and in this detached region the fluid transport path between the first fluid receiving and / or -leitungsbereich and the second Fluidaufnahme- and / or -leitufigsbereich forms.
Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kann man einfach, zeitlich genau und lokal gezielt den Fluidtransportweg zwischen dem ersten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich und dem zweiten Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich freigeben, ohne auf das Fluid selbst einwirken zu müssen. Durch die erfindungsgemäße Entkopplung der Freigabe des Fluidtransportweges vom Fluidtransport sind die Fließgeschwindigkeit und der Druck des Fluids in der Fluidikvorrichtung kontrolliert einstellbar.With the method according to the invention, it is possible to release the fluid transport path between the first fluid intake and / or supply area and the second fluid intake and / or supply area in a simple, timely and locally targeted manner, without having to act on the fluid itself. As a result of the decoupling according to the invention of the release of the fluid transport path from the fluid transport, the flow speed and the pressure of the fluid in the fluidic device can be adjusted in a controlled manner.
Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung, deren Aufbau, Funktion und Vorteile werden im Folgenden anhand von Figuren näher erläutert, wobei,
-
1 schematisch eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung mit einem vorderseitig zwischen einem Fluidreservoir und einem Fluidkanal vorgesehenen, geschlossenen Fluidventil in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt; -
2 schematisch dieAusführungsform aus 1 mit geöffnetem Fluidventil zeigt; -
3 schematisch dieFluidikvorrichtung aus den 1 und2 in einer geschnittenen Seitenansicht mit geöffnetem Fluidventil und einem rückseitig vorgesehenen Aktor zeigt, durch den Fluid durch die Fluidikvorrichtung gepumpt wird; -
4 schematisch eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt, welche zusätzlich zu dem in1 gezeigten Fluidventil ein weiteres Fluidventil zwischen zwei Fluidkanälen aufweist; -
5 schematisch noch eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt, bei der dem Fluidventil gegenüber ein Heizelement vorgesehen ist; -
6 schematisch eine nächste Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt, bei dem Fluidventil gegenüber eine elektromagnetische Strahlungsquelle vorgesehen ist; -
7 schematisch noch eine andere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Fluidikvorrichtung mit einem rückseitig vorgesehenen Fluidventil in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt, wobei eine Aktorwand eines Aktors auf die Decklage, die das Fluidventil mit der daran vorgesehenen Klebeschicht schließt, geklebt ist; -
8 schematisch die Ausführungsformder Fluidikvorrichtung von 7 mit zusätzlich in der Aktorwand integriertem Heiz- oder Strahlungselement in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt; -
9 schematisch die Ausführungsformder Fluidikvorrichtung von 7 mit einem zusätzlich in einer zwischen Decklage und Aktorwand vorgesehenen Klebeschicht integrierten Heiz- oder Strahlungselement in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt; -
10 schematisch die Ausführungsformder Fluidikvorrichtung von 7 mit einem in einem Fenster der Aktorwand vorgesehenen Heizungselement in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt; und -
11 schematisch die Ausführungsformder Fluidikvorrichtung von 7 mit einer in einem Fenster der Aktorwand vorgesehenen elektromagnetischen Strahlungsquelle in einer geschnittenen Seitenansicht zeigt.
-
1 schematically shows an embodiment of a fluidic device according to the invention with a front side provided between a fluid reservoir and a fluid channel, closed fluid valve in a sectional side view; -
2 schematically the embodiment of1 with opened fluid valve shows; -
3 schematically the fluidic device of the1 and2 in a sectional side view with the fluid valve open and a rear actuator provided, is pumped through the fluid through the Fluidikvorrichtung; -
4 schematically shows a further embodiment of a fluidic device according to the invention in a sectional side view, which in addition to the in1 shown fluid valve has a further fluid valve between two fluid channels; -
5 schematically shows yet another embodiment of a fluidic device according to the invention in a sectional side view, in which the fluid valve is provided opposite a heating element; -
6 schematically shows a next embodiment of a fluidic device according to the invention in a sectional side view, is provided in the fluid valve with respect to an electromagnetic radiation source; -
7 schematically shows yet another embodiment of a fluidic device according to the invention with a fluid valve provided on the rear in a sectional side view, wherein an actuator wall of an actuator is glued to the cover layer, which closes the fluid valve with the adhesive layer provided thereon; -
8th schematically the embodiment of the fluidic device of7 with additionally integrated in the actuator wall heating or radiating element in a sectional side view; -
9 schematically the embodiment of the fluidic device of7 with a additionally integrated in a provided between the liner and actuator wall adhesive layer integrated heating or radiating element in a sectional side view; -
10 schematically the embodiment of the fluidic device of7 with a provided in a window of the actuator wall heating element in a sectional side view; and -
11 schematically the embodiment of the fluidic device of7 with a provided in a window of the actuator wall electromagnetic radiation source in a sectional side view shows.
Der erste Fluidaufnahme- und/oder -leitungsbereich 1 ist in dem dargestellten Beispiel ein beckenförmiges, in einem Boden- oder Mittelbereich der Fluidikvorrichtungskomponente
Zwischen dem ersten Fluidausgang
Die Decklage
Um diese Überdeckung zu gewährleisten, haftet die Decklage
Die Decklage
Die Klebeschicht
Die Aufhebung der Klebekraft der Klebeschicht
Auf der Rückseite der in
In den
Die Fluidikvorrichtung
Durch die Einwirkung der Aktorschicht
An der Vorderseite der Fluidikvorrichtung
Claims (16)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102014117976.5A DE102014117976B4 (en) | 2014-12-05 | 2014-12-05 | Fluidic device and method of operating the same |
| EP15197515.8A EP3029363B1 (en) | 2014-12-05 | 2015-12-02 | Fluidic device and method for operating the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102014117976.5A DE102014117976B4 (en) | 2014-12-05 | 2014-12-05 | Fluidic device and method of operating the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102014117976A1 DE102014117976A1 (en) | 2016-06-09 |
| DE102014117976B4 true DE102014117976B4 (en) | 2018-10-11 |
Family
ID=54783407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102014117976.5A Expired - Fee Related DE102014117976B4 (en) | 2014-12-05 | 2014-12-05 | Fluidic device and method of operating the same |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP3029363B1 (en) |
| DE (1) | DE102014117976B4 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102020134915B4 (en) * | 2020-12-23 | 2025-02-13 | Biflow Systems Gmbh | microfluidic device with input actuators |
| DE102020135053B4 (en) * | 2020-12-29 | 2022-12-15 | Biflow Systems Gmbh | Microfluidic device with residue container and analysis system |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19720482A1 (en) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Micro=membrane pump |
| US20020155010A1 (en) * | 2001-04-24 | 2002-10-24 | Karp Christoph D. | Microfluidic valve with partially restrained element |
| JP2007170469A (en) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Kawamura Inst Of Chem Res | Temperature responsive valve and its manufacturing method |
| EP1844936B1 (en) | 2006-04-13 | 2010-07-14 | Technische Universität Chemnitz | Micro-actuator, method for displacing a fluid and method for manufacturing a micro-actuator |
| US20100243078A1 (en) * | 2007-11-22 | 2010-09-30 | Jae Chern Yoo | Thin film valve device and its controlling apparatus |
| WO2012069332A1 (en) | 2010-11-24 | 2012-05-31 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung, E.V. | Fluidic actuator having a deformable closure arrangement and long shelf life |
-
2014
- 2014-12-05 DE DE102014117976.5A patent/DE102014117976B4/en not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-12-02 EP EP15197515.8A patent/EP3029363B1/en active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19720482A1 (en) * | 1997-05-16 | 1998-11-19 | Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh | Micro=membrane pump |
| US20020155010A1 (en) * | 2001-04-24 | 2002-10-24 | Karp Christoph D. | Microfluidic valve with partially restrained element |
| JP2007170469A (en) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Kawamura Inst Of Chem Res | Temperature responsive valve and its manufacturing method |
| EP1844936B1 (en) | 2006-04-13 | 2010-07-14 | Technische Universität Chemnitz | Micro-actuator, method for displacing a fluid and method for manufacturing a micro-actuator |
| US20100243078A1 (en) * | 2007-11-22 | 2010-09-30 | Jae Chern Yoo | Thin film valve device and its controlling apparatus |
| WO2012069332A1 (en) | 2010-11-24 | 2012-05-31 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung, E.V. | Fluidic actuator having a deformable closure arrangement and long shelf life |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102014117976A1 (en) | 2016-06-09 |
| EP3029363B1 (en) | 2020-06-17 |
| EP3029363A1 (en) | 2016-06-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE602004002407T2 (en) | MICROFLUID VALVE WITH ELECTRIC OPENING CONTROL | |
| DE202008005755U1 (en) | Cling vacuum capping | |
| DE102015214569A1 (en) | Device for the pneumatic adjustment of a seat in a means of transport | |
| EP1944084A1 (en) | Valve device for a micro fluid system | |
| DE102014117976B4 (en) | Fluidic device and method of operating the same | |
| DE102015101106A1 (en) | Microfluidic device and method for influencing the flow of a fluid in a microfluidic device | |
| DE102021001922A1 (en) | Sensor device for a motor vehicle | |
| CH693684A5 (en) | Heated poppet. | |
| WO2018215126A1 (en) | Flow cell having a housing component | |
| DE102017208038A1 (en) | Method and tool for bubble-free application of a flat substrate on a surface of a workpiece | |
| DE102013013415A1 (en) | cassette module | |
| DE102015205906B4 (en) | Storage unit, method for producing a storage unit and method for releasing a fluid stored in a storage unit | |
| DE112014005154T5 (en) | Offset seal configuration for vacuum systems | |
| DE102004050510B4 (en) | Method for valve control in the thermocyclization of a substance for the purpose of PCR and associated arrangement | |
| DE202017102260U1 (en) | Frost-proof valve | |
| DE102008003189A1 (en) | Chemical reaction cassette and method of use | |
| DE102015214636A1 (en) | Commissioning and decommissioning of a toilet system | |
| DE102010028524A1 (en) | Microfluidic component, in particular peristaltic micropump, and method for its production | |
| EP2110590B1 (en) | Blocking device | |
| EP2730336B1 (en) | Valve assembly in a microfluidic system | |
| EP2107231B1 (en) | Valve, in particular for controlling exhaust gases in combustion engines | |
| DE202014104510U1 (en) | Device for pre-storing a fluid in a microfluidic system | |
| DE102009053285B4 (en) | Method for the reversible, parallel closing of a plurality of fluidic supply lines with a microfluidic system | |
| DE202008004350U1 (en) | Dosing valve for non-contact dosing of reactive fluids | |
| EP0021357B1 (en) | Developing device for light-sensitive recording material |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R012 | Request for examination validly filed | ||
| R016 | Response to examination communication | ||
| R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
| R020 | Patent grant now final | ||
| R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |