DE102015108430A1

DE102015108430A1 - Device for generating a gas with a ring-cylindrical reaction chamber

Info

Publication number: DE102015108430A1
Application number: DE102015108430.9A
Authority: DE
Inventors: Torsten Köcher
Original assignee: Dockweiler AG
Current assignee: Dockweiler AG
Priority date: 2015-05-28
Filing date: 2015-05-28
Publication date: 2016-12-01
Also published as: WO2016189127A1

Abstract

Vorrichtung zur Erzeugung eines Gases mit einer ringzylindrischen Reaktionskammer, die von einer zylindrischen Innenwand und einer zylindrischen Außenwand sowie von einem ringförmigen Bodenabschnitt und einem ringförmigen Kopfabschnitt über die zylindrische Innenwand und Außenwand miteinander verbunden sind, wobei mindestens eine zylindrische Trennwand vorgesehen ist, die ringförmig geschlossen ist und an einem Ende mit dem Kopfabschnitt oder dem Bodenabschnitt verbunden ist und mit ihrem anderen Ende einen Spalt zu dem Bodenabschnitt bzw. Kopfabschnitt bildet.Apparatus for producing a gas having a ring-cylindrical reaction chamber, which are connected by a cylindrical inner wall and a cylindrical outer wall and by an annular bottom portion and an annular head portion via the cylindrical inner wall and outer wall, wherein at least one cylindrical partition wall is provided, which is annularly closed and is connected at one end to the head portion or the bottom portion and forms with its other end a gap to the bottom portion or head portion.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Gases mit einer ringzylindrischen Reaktionskammer. The invention relates to a device for generating a gas with a ring-cylindrical reaction chamber.

Aus Offenlegungsschrift DE 1 557 222 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Mischen gasförmiger Stoffe bekannt geworden. Ein Gas wird einer Mischzone durch ein Rohr zugeführt, wobei das erste Gas an der Wand des Zuführrohres in bestimmter Schichtstärke entlanggeführt und das andere Gas über einen Ringspalt des Zuführrohres im Wesentlichen radial in die Gasschicht eingeleitet wird. From disclosure DE 1 557 222 For example, a method and apparatus for mixing gaseous substances has become known. A gas is supplied to a mixing zone through a tube, wherein the first gas is guided along the wall of the feed tube in a certain layer thickness and the other gas is introduced via an annular gap of the feed tube substantially radially into the gas layer.

Aus EP 1 160 355 B1 ist eine Vorrichtung zum Bereitstellen einer verdampften, festen, metallorganischen Verbindung zur einem chemischen Dampfabscheidungssystem bekannt geworden, das einen länglichen, zylindrischen Behälter aufweist, der einen konstanten Querschnitt über die Länge des Zylinders besitzt, wobei dieser einen oberen Verschlussabschnitt, einen Bodenverschlussabschnitt und eine Einlass- und Auslasskammer aufweist, die miteinander in einer Fluidverbindung stehen und durch ein poröses Element voneinander getrennt sind. Der Einlass erfolgt radial außenliegend, während der Auslass zentral in dem zylindrischen Behälter erfolgt. Out EP 1 160 355 B1 there has been known an apparatus for providing a vaporized, solid organometallic compound to a chemical vapor deposition system comprising an elongate, cylindrical container having a constant cross-section across the length of the cylinder, including an upper closure portion, a bottom closure portion and an inlet and outlet chamber which are in fluid communication with each other and separated by a porous member. The inlet is radially outward, while the outlet is centrally in the cylindrical container.

Aus WO 2007/057631 A2 ist ein Bubbler zum Bereitstellen von flüssigen oder festen metallorganischen Verbindungen bekannt geworden. Der Bubbler besitzt in einer ersten Ausgestaltung eine perforierte Scheibe, die mit einem Tauchrohr verbunden ist, das mit einer Einlassöffnung in Verbindung steht. Die Scheibe besitzt konzentrische Ringe von Austrittsöffnungen, durch die ein eingeführtes Gas in den Reaktionsraum austritt. Aus einer zweiten Ausgestaltung ist ein Bubbler mit einer zweigeteilten Reaktionskammer bekannt geworden, wobei das Gas über die perforierte Scheibe mit dem Tauchrohr beiden Teilen der Reaktionskammer zugeführt wird. Out WO 2007/057631 A2 For example, a bubbler has become known for providing liquid or solid organometallic compounds. The bubbler in a first embodiment has a perforated disc connected to a dip tube communicating with an inlet port. The disc has concentric rings of outlet openings through which an introduced gas exits into the reaction space. From a second embodiment, a bubbler with a two-part reaction chamber has become known, wherein the gas is supplied via the perforated disc with the dip tube to both parts of the reaction chamber.

Aus WO 2004/010473 A2 ist ein Bubbler bekannt geworden, dessen Hauptkörper aus Aluminium besteht und eine erste innere Oberfläche, die mindestens einen Teil des Hohlraums bildet, begrenzt. Das zu reagierende Gas wird über ein Tauchrohr in den Bubbler eingeführt. Out WO 2004/010473 A2 there is known a bubbler whose main body is made of aluminum and defines a first inner surface forming at least part of the cavity. The gas to be reacted is introduced via a dip tube in the bubbler.

Aus US 6,270,839 B1 ist eine Vorrichtung zur Bereitstellung eines Gasgemisches bekannt, bei dem Gas mit einem Feststoff reagiert, wobei der Feststoff in schalenartigen Behältern gelagert ist. Die Behälter werden von unten mit dem Gas angeströmt, das aus dem Inneren der Schale abgeführt wird. Mehrere solcher Behälter sind kaskadenartig übereinander angeordnet. Out US 6,270,839 B1 a device for providing a gas mixture is known, in which gas reacts with a solid, wherein the solid is stored in shell-like containers. The containers are flowed from below with the gas, which is discharged from the interior of the shell. Several such containers are arranged in cascade on top of each other.

Aus EP 2 730 675 A1 ist eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Gasgemisches bekannt geworden. Die Vorrichtung besitzt eine ringzylindrische Reaktionskammer, die von einer zylindrischen Innenwand und einer zylindrischen Außenwand sowie einem ringförmigen Kopfabschnitt und einem ringförmigen Bodenabschnitt begrenzt ist. Kopf- und Bodenabschnitt lassen einen von der Innenwand gebildeten Innenbereich frei. Out EP 2 730 675 A1 a device for generating a gas mixture has become known. The device has a ring-cylindrical reaction chamber which is delimited by a cylindrical inner wall and a cylindrical outer wall and an annular head portion and an annular bottom portion. The top and bottom sections leave an inner area formed by the inner wall.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Gases dahingehend zu verbessern, dass mit möglichst einfachen Mitteln eine vollständige und gleichmäßige Durchmischung bzw. Reaktion mit einem Feststoff erzielt werden kann. The invention has for its object to improve a device for generating a gas to the effect that with the simplest possible means a complete and uniform mixing or reaction with a solid can be achieved.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen aus Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen bilden den Gegenstand der Unteransprüche. According to the invention the object is achieved by a device having the features of claim 1. Advantageous embodiments form the subject of the dependent claims.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Erzeugung eines Gases ist mit einer ringzylindrischen Reaktionskammer ausgestattet. Die Reaktionskammer wird von einer zylindrischen Innenwand und einer zylindrischen Außenwand sowie von einem ringförmigen Bodenelement und einem ringförmigen Kopfabschnitt begrenzt. Die Innen- und die Außenwand sind über Kopf- und Bodenabschnitt miteinander verbunden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung besitzt mindestens eine zylindrische Trennwand, die ringförmig geschlossen ist und an einem Ende mit dem Kopfabschnitt oder dem Bodenabschnitt verbunden ist und mit ihrem anderen Ende einen Spalt zu dem Kopf- bzw. Bodenabschnitt bildet. Ist die Trennwand mit dem Kopfabschnitt verbunden, so bildet sie einen Spalt gegenüber dem Bodenabschnitt. Ist die Trennwand dagegen mit dem Bodenabschnitt verbunden, so bildet sie einen Spalt gegenüber dem Kopfabschnitt. Durch die mindestens eine Trennwand wird die Reaktionskammer in mindestens zwei Teilvolumina unterteilt. Durch den oder die Spalten strömt das Gas bei seiner Reaktion in der Reaktionskammer, wobei bevorzugt eine Reaktion mit einem in die Reaktionskammer eingebrachten Feststoff erfolgt. The inventive device for generating a gas is equipped with a ring-cylindrical reaction chamber. The reaction chamber is bounded by a cylindrical inner wall and a cylindrical outer wall and by an annular bottom member and an annular head portion. The inner and the outer wall are connected to each other via the top and bottom sections. The device according to the invention has at least one cylindrical partition which is annularly closed and connected at one end to the head section or the bottom section and forms at its other end a gap to the head or bottom section. If the partition wall is connected to the head section, it forms a gap with respect to the bottom section. On the other hand, if the dividing wall is connected to the bottom section, it forms a gap with respect to the head section. The at least one partition wall divides the reaction chamber into at least two partial volumes. Through the column or columns, the gas flows in its reaction in the reaction chamber, wherein preferably takes place a reaction with a introduced into the reaction chamber solid.

In einer bevorzugten Weiterbildung der Vorrichtung sind mindestens zwei zylindrische Trennwände vorgesehen, von denen eine erste Trennwand mit dem Kopfabschnitt und eine zweite Trennwand mit dem Bodenabschnitt verbunden ist. Benachbarte Trennwände sind stets an einander gegenüberliegenden Kopf-/Bodenabschnitten angeordnet, so dass das reagierende Gas nacheinander einen Spalt am Bodenabschnitt und danach einen Spalt am Kopfabschnitt oder umgekehrt durchlaufen muss. Hierdurch legt das Gas lange Wege in der Reaktionskammer zurück. In a preferred development of the device, at least two cylindrical partition walls are provided, of which a first partition wall is connected to the head section and a second partition wall is connected to the bottom section. Adjacent partition walls are always arranged on opposite head / bottom sections, so that the reacting gas must successively pass through a gap at the bottom section and then a gap at the head section or vice versa. This causes the gas to travel long distances in the reaction chamber.

In einer bevorzugten Ausgestaltung ist die erste Trennwand zwischen Außenwand und zweiter Trennwand angeordnet. Dies bedeutet, dass das radial am weitesten außenliegende Teilvolumen einen Spalt zum Übergang für das nächste Teilvolumen am Bodenabschnitt besitzt. In a preferred embodiment, the first partition between the outer wall and second partition wall is arranged. This means that the radially outermost sub-volume has a gap to transition for the next sub-volume at the bottom portion.

In einer weiter bevorzugten Ausgestaltung ist eine dritte Trennwand vorgesehen, die ebenso wie die erste Trennwand mit dem Kopfabschnitt verbunden ist. Die dritte Trennwand ist zwischen zweiter Trennwand und Innenwand angeordnet. Das durch die dritte Trennwand gebildete Teilvolumen ist das radial am weitesten innenliegende Teilvolumen. In a further preferred embodiment, a third partition wall is provided which, like the first partition wall, is connected to the head section. The third partition wall is arranged between the second partition wall and the inner wall. The partial volume formed by the third partition wall is the radially innermost partial volume.

In einer bevorzugten Ausgestaltung ist eine Einlassöffnung in dem Kopfabschnitt in einem Bereich zwischen erster Trennwand und Außenwand vorgesehen. Über die Einlassöffnung kann mit Hilfe von entsprechenden Einlassanschlüssen Gas eingebracht werden, wobei das Gas in einem ersten Teilvolumen entlang der Außenwand strömt und im Bereich des Bodenabschnitts, wo sich beispielsweise der Feststoff befindet, in das nächste Teilvolumen übertritt. In a preferred embodiment, an inlet opening is provided in the head portion in a region between the first partition wall and the outer wall. Gas can be introduced via the inlet opening with the aid of corresponding inlet connections, wherein the gas flows in a first partial volume along the outer wall and in the region of the bottom section, where, for example, the solids are present, into the next partial volume.

Eine Auslassöffnung ist bevorzugt in dem Kopfabschnitt zwischen Innenwand und zweiter oder dritter Trennwand vorgesehen. Bevorzugt befindet sich die Auslassöffnung bei einer Ausgestaltung mit zwei Trennwänden zwischen der zweiten Trennwand und der Innenwand, während bei einer Ausgestaltung mit drei Trennwänden die Auslassöffnung zwischen Innenwand und dritter Trennwand angeordnet ist. An outlet opening is preferably provided in the head portion between the inner wall and the second or third partition wall. Preferably, the outlet opening is in an embodiment with two partitions between the second partition wall and the inner wall, while in an embodiment with three partitions, the outlet opening between the inner wall and the third partition wall is arranged.

Durch die Anordnung der Auslassöffnung im Bereich der Innenwand wird sichergestellt, dass das Gas die gesamte Reaktionskammer durchläuft. Ferner liegen bevorzugt Einlass- und Auslassöffnung diametral einander gegenüber, so dass auch in radialer Richtung eine homogene Ausbreitung des Gases erfolgt. The arrangement of the outlet opening in the region of the inner wall ensures that the gas passes through the entire reaction chamber. Furthermore, inlet and outlet openings are preferably located diametrically opposite one another, so that homogeneous propagation of the gas also takes place in the radial direction.

In einer bevorzugten Ausgestaltung ist mindestens eine Einfüllöffnung in dem Kopfabschnitt im Bereich zwischen erster und dritter Trennwand vorgesehen. Über die Einfüllöffnung kann ein Feststoff in die Vorrichtung eingebracht werden. Auch ist es möglich, die Einfüllöffnung zur Inspektion der Reaktionskammer und/oder zur Reinigung dieser zu verwenden. In a preferred embodiment, at least one filling opening is provided in the head section in the region between the first and third partition walls. Via the filling opening, a solid can be introduced into the device. It is also possible to use the filling opening for inspecting the reaction chamber and / or for cleaning it.

In einer bevorzugten Ausgestaltung sind die Trennwände derart angeordnet, dass die durch die Trennwände abgetrennten Teilvolumina in radialer Richtung von außen nach innen kleiner werden, bevorzugt die Teilvolumina, deren Spalt am Bodenabschnitt liegt. Dies bedeutet, dass die Strömungsgeschwindigkeit des Gases auf dem Weg von außen nach innen größer wird. Die Sättigung des Gases erfolgt bei niedriger Flussgeschwindigkeit, also bevorzugt in dem radial außenliegenden Teilvolumen. In a preferred embodiment, the dividing walls are arranged such that the partial volumes separated by the dividing walls become smaller in the radial direction from outside to inside, preferably the partial volumes whose gap lies at the bottom section. This means that the flow velocity of the gas increases on the way from the outside to the inside. The saturation of the gas takes place at a low flow rate, that is to say preferably in the radially outer partial volume.

In einer zweckmäßigen Ausgestaltung sind Kopf- und Bodenabschnitt als Scheiben, vorzugsweise flach ausgebildet. In an expedient embodiment, the top and bottom sections are designed as slices, preferably flat.

Die Erfindung wird nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert. Es zeigen: The invention will be explained in more detail using an exemplary embodiment. Show it:

1 die erfindungsgemäße Vorrichtung in einer Ansicht von der Seite, 1 the device according to the invention in a view from the side,

2 einen Blick von oben auf die Vorrichtung, 2 a view from the top of the device,

3 einen Schnitt entlang der Linie B-B aus 2, und 3 a section along the line BB 2 , and

4 einen Schnitt entlang der Linie A-A aus 2 und 4 a section along the line AA 2 and

Die erfindungsgemäße Vorrichtung für einen Feststoffbubbler besitzt einen Grundkörper 10, der einen Reaktionsbehälter 12 und einen Fuß 14 aufweist. Der Fuß 14 ist als umlaufender Ring ausgebildet, der aus Gründen der Materialeinsparung Durchbrechungen 16 besitzt. Ein Feststoffbubbler ist eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Gases, bei der ein Gas an einem in der Reaktionskammer angeordneten Feststoff vorbeigeführt wird und reagiert mit diesem. The inventive device for a Feststoffbubbler has a body 10 holding a reaction tank 12 and a foot 14 having. The foot 14 is designed as a circumferential ring, which for reasons of material savings openings 16 has. A Feststoffbubbler is a device for generating a gas, in which a gas is guided past a arranged in the reaction chamber solid and reacts with it.

Der Reaktorbehälter 12 besitzt eine zylindrische Grundform, die in axialer Richtung von einem Bodenabschnitt 18 und einem Kopfabschnitt 20 begrenzt wird. Auf dem Kopfabschnitt 20 ist ein Einlassanschluss 22 mit entsprechender Einlassarmatur 24 angeordnet. Der Einlassanschluss 22 ist radial außen auf dem Kopfabschnitt 20 angeordnet. Ein Auslassanschluss 26 mit einer entsprechenden Auslassarmatur 28 ist radial weiter innenliegend auf dem Kopfabschnitt 20 angeordnet. Ein weiterer Anschluss 30 dient als Einfüllöffnung für einen Feststoff in den Innenraum des Reaktionsbehälters 12. Die Vorrichtung ist ferner mit einem vorstehenden Tragegriff 32 ausgestattet, der eine Handhabung des gesamten Feststoffbubblers gestattet. The reactor vessel 12 has a cylindrical basic shape, in the axial direction of a bottom portion 18 and a head section 20 is limited. On the head section 20 is an inlet port 22 with corresponding inlet fitting 24 arranged. The inlet connection 22 is radially outward on the head section 20 arranged. An outlet port 26 with a corresponding outlet fitting 28 is radially further inboard on the head section 20 arranged. Another connection 30 serves as a filling opening for a solid in the interior of the reaction vessel 12 , The device is further provided with a protruding handle 32 equipped, which allows handling of the entire Feststoffbubblers.

2 zeigt einen Blick von oben auf den Feststoffbubbler. Zu erkennen ist der Kopfabschnitt 20, der zentral eine Durchbrechung 34 aufweist. Ferner ist in 2 der Handgriff 32 zu erkennen, der teilweise die Einlassarmatur 24 verdeckt. Die Auslassarmatur 28 ist radial innenliegend nahe der Durchbrechung 34 angeordnet. Über einen abgewinkelten Abschnitt ist in der Draufsicht der Auslassanschluss 26 radial weiter außenliegend angeordnet. Ferner sind in 2 zwei Einfüllöffnungen 30, 30‘ vorgesehen, über die ein Feststoff in die gewünschten Bereiche der Reaktionskammer gebracht werden kann. 2 shows a view from the top of the Feststoffbubbler. The head section can be seen 20 The central opening 34 having. Furthermore, in 2 the handle 32 to recognize, in part, the inlet fitting 24 covered. The outlet fitting 28 is radially inward near the opening 34 arranged. Over an angled section is in the plan view of the outlet port 26 arranged radially further outboard. Furthermore, in 2 two filling openings 30 . 30 ' provided, via which a solid can be brought into the desired areas of the reaction chamber.

3 zeigt einen Querschnitt entlang der Linie B-B auf 2. Geschnitten dargestellt sind die Einlassöffnungen 30, 30‘, die durch den Kopfabschnitt in die Reaktionskammer führen. Die Reaktionskammer wird in radialer Richtung außenliegend durch eine kreiszylindrische und geschlossene Außenwand 36 begrenzt. Zusammen mit der kreiszylindrischen und geschlossenen Innenwand 38 entsteht so die Reaktionskammer als kreiszylindrischer Abschnitt. Die Innenwand 38 umschließt einen Innenbereich 40, der in axialer Richtung über die Durchbrechung 34 im Kopfabschnitt und eine Durchbrechung 42 im Fußabschnitt 18 zugänglich ist. 3 shows a cross section along the line BB 2 , Cut shown are the inlet openings 30 . 30 ' passing through the head section into the reaction chamber. The reaction chamber is outboard in the radial direction through a circular cylindrical and closed outer wall 36 limited. Together with the circular cylindrical and closed inner wall 38 so the reaction chamber is formed as a circular cylindrical section. The inner wall 38 encloses an interior area 40 passing in the axial direction over the opening 34 in the head section and an opening 42 in the foot section 18 is accessible.

In der Reaktionskammer sind drei konzentrisch angeordnete Trennwände 44, 46, 48 vorgesehen. Die erste Trennwand 44 ist mit dem Kopfabschnitt 20 verbunden und bildet einen ersten Spalt 50 gegenüber dem Bodenabschnitt 18. Die zweite Trennwand 46 ist mit dem Bodenabschnitt 18 verbunden und bildet einen zweiten Spalt 52 gegenüber dem Kopfabschnitt 20. Die dritten Trennwand 48 ist, wie die erste Trennwand 44, mit dem Kopfabschnitt 20 verbunden und bildet einen dritten Spalt 54 gegenüber dem Bodenabschnitt 18. In the reaction chamber are three concentrically arranged partitions 44 . 46 . 48 intended. The first partition 44 is with the head section 20 connected and forms a first gap 50 opposite the bottom section 18 , The second partition 46 is with the bottom section 18 connected and forms a second gap 52 opposite the head section 20 , The third partition 48 is like the first partition 44 , with the head section 20 connected and forms a third gap 54 opposite the bottom section 18 ,

Wie in 3 zu erkennen, besitzen die Außenwand 36 und die erste Trennwand 44 ein erstes Teilvolumen, das über einen ersten Spalt 50 mit einem zweiten Teilvolumen verbunden ist. Das zweite Teilvolumen wird von der ersten Trennwand 44 und der zweiten Trennwand 46 begrenzt. Ein zweiter Spalt 52, der größer als der erste Spalt und größer als der dritte Spalt ist, verbindet das zweite Teilvolumen mit einem dritten Teilvolumen. Das dritte Teilvolumen wird begrenzt von der zweiten Trennwand 46 und der dritten Trennwand 48. Über einen dritten Spalt 54, der durch das Bodenelement 18 begrenzt ist, geht das dritte Teilvolumen in das vierte, von Innenwand 38 und dritter Trennwand 48 begrenzte Teilvolumen über. Über das vierte Teilvolumen kann mit der Auslassöffnung 26 das Gas der Reaktionskammer entnommen werden. As in 3 to recognize, own the outer wall 36 and the first partition 44 a first partial volume, which is via a first gap 50 connected to a second subvolume. The second partial volume is from the first partition 44 and the second partition 46 limited. A second gap 52 which is larger than the first gap and larger than the third gap, connects the second partial volume with a third partial volume. The third partial volume is limited by the second partition wall 46 and the third partition 48 , About a third gap 54 passing through the floor element 18 is limited, the third sub-volume goes into the fourth, of the inner wall 38 and third partition 48 limited partial volume over. About the fourth partial volume can with the outlet opening 26 the gas is taken from the reaction chamber.

Die Abmessungen der Teilvolumina sind, wie in 3 zu erkennen, so, dass das Volumen, insgesamt betrachtet, für das erste Teilvolumen am größten ist, das Gas dort am langsamsten strömt. Im zweiten Teilvolumen strömt das Gas schneller aufgrund des geringen Abstands zwischen erster und zweiter Trennwand. Das dritte Teilvolumen ist kleiner als das erste Teilvolumen, so dass das Gas, hier verglichen zum ersten Teilvolumen, schneller strömt. Durch die Teilvolumina und die Trennwände wird eine möglichst lange Sättigungsstrecke bei kompakten Außenabmessungen erreicht. The dimensions of the sub-volumes are as in 3 be seen, so that the volume, considered in total, is the largest for the first sub-volume, the gas flows there slowest. In the second partial volume, the gas flows faster due to the small distance between the first and second partition wall. The third partial volume is smaller than the first partial volume, so that the gas, compared to the first partial volume, flows faster here. Due to the partial volumes and the partitions as long as possible saturation distance is achieved with compact outer dimensions.

4 zeigt den Schnitt entlang der Linie A-A, wobei hier die Einlassöffnung 22 in das erste Teilvolumen deutlich zu erkennen ist. 4 shows the section along the line AA, in which case the inlet opening 22 clearly visible in the first partial volume.

Durch die Verwendung der Trennwände entsteht in der Reaktionskammer ein rotationssymmetrisches Kammersystem, durch welches ein Trägergasstrom mit zunehmender Durchflussgeschwindigkeit geleitet wird. Die Sättigung tritt dabei vorwiegend in dem ersten Teilvolumen ein, das das größte Volumen innerhalb der Reaktionskammer bildet. In Richtung zu kleinerem Durchmesser, also radial einwärts, wird die Flussgeschwindigkeit des Gases größer und die verbleibende Notwendigkeit zur Sättigung geringer. Die einzelnen Kammervolumina werden mit einem Füllgrad von 90 % befüllt und leeren sich von außen nach innen. By using the partitions, a rotationally symmetric chamber system is created in the reaction chamber, through which a carrier gas stream is passed with increasing flow velocity. The saturation occurs predominantly in the first partial volume, which forms the largest volume within the reaction chamber. In the direction of smaller diameter, ie radially inward, the flow velocity of the gas is greater and the remaining need for saturation less. The individual chamber volumes are filled with a degree of filling of 90% and empty from outside to inside.

Der Kopfabschnitt ist als Dreh-Fräskomponente ausgeführt und mit den Anschlüssen für Einlassventil, Auslassventil und Einfüllöffnung ausgestattet. Auch können mehrere Ports vorgesehen sein, die zur Inspektion der Reaktionskammer nach Fertigung oder Instandsetzung/Reinigung dienen. Die Befüllung der Reaktionskammer kann über diese ebenfalls überprüft werden. Die Ports sind bevorzugt als Male-Face-Seal-Anschlüsse ausgeführt und werden durch Entfernen der Muttern/Ventile zugänglich. The head section is designed as a turning-milling component and equipped with the connections for inlet valve, exhaust valve and filling opening. Also, multiple ports may be provided for inspection of the reaction chamber after fabrication or repair / cleaning. The filling of the reaction chamber can also be checked via this. The ports are preferably designed as male-face-seal connections and are accessible by removing the nuts / valves.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

10 10: Grundkörper body
12 12: Reaktorbehälter reactor vessel
14 14: Fußfoot
16 16: Durchbrechungen perforations
18 18: Bodenabschnitt bottom section
20 20: Kopfabschnitt header
22 22: Einlassanschluss inlet port
24 24: Einlassarmatur inlet fitting
26 26: Auslassanschluss outlet
28 28: Auslassarmatur outlet fitting
30 30: Anschluss/Einfüllöffnung Connection / fill opening
30‘ 30 ': Einfüllöffnung fill opening
32 32: Tragegriff handle
34 34: Durchbrechung perforation
36 36: Außenwand outer wall
38 38: Innenwand inner wall
40 40: Innenbereich interior
42 42: Durchbrechung perforation
44 44: erste Trennwand first partition
46 46: zweite Trennwand second partition
48 48: dritte Trennwand third partition
50 50: erster Spalt first gap
52 52: zweiter Spalt second gap
54 54: dritter Spalt third gap

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 1557222 A [0002]
EP 1160355 B1 [0003]
WO 2007/057631 A2 [0004]
WO 2004/010473 A2 [0005]
US 6270839 B1 [0006]
EP 2730675 A1 [0007]

Claims

Apparatus for producing a gas having a ring-cylindrical reaction chamber, which are connected by a cylindrical inner wall and a cylindrical outer wall and an annular bottom portion and an annular head portion via the cylindrical inner wall and outer wall, characterized in that at least one cylindrical partition wall is provided which is closed annularly and is connected at one end to the head portion or the bottom portion and forms with its other end a gap to the bottom portion or head portion.

Apparatus according to claim 1, characterized in that at least two cylindrical partitions are provided, of which a first partition wall with the head portion and the second partition wall is connected to the bottom portion.

Apparatus according to claim 2, characterized in that the first partition between the outer wall and the second partition wall is arranged.

Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that a third partition wall is provided, which is connected to the head portion.

Apparatus according to claim 4, characterized in that the third partition wall between the second partition wall and the inner wall is arranged.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that an inlet opening is provided in the head portion in a region between the first partition wall and the outer wall.

Apparatus according to claim 6, characterized in that an outlet opening is provided in the head portion between the inner wall and the second or third partition wall.

Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that at least one filling opening is provided in the head portion in the region between the first and third partition wall.

Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the separated by the at least one partition wall partial volumes are smaller in the radial direction from outside to inside.

Device according to one of the preceding claims, characterized in that the head and bottom portions are formed as discs.