DE102012101182A1

DE102012101182A1 - Method for inspection of smooth upper surfaces of optical elements of extreme ultraviolet radiation-projection exposure systems with inspection device, involves guiding gaseous substance on upper surface and forming condensate film

Info

Publication number: DE102012101182A1
Application number: DE201210101182
Authority: DE
Inventors: Ute Steinhäußer; Thomas von Kahlden; Kurt Jakob
Original assignee: CCI VON KAHLDEN GmbH; CCI-von Kahlden GmbH; Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: CCI VON KAHLDEN GmbH; CCI-von Kahlden GmbH; Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2012-02-14
Filing date: 2012-02-14
Publication date: 2013-08-14

Abstract

The method involves guiding a gaseous substance on an upper surface (12) to be examined, so that a condensate film is formed by the condensation of the gaseous substance on the upper surface to be examined. The condensate film is formed by different condensation conditions in the upper surface areas with different upper surface properties, so that the different upper surface areas are visible. The gaseous substance and the upper surface to be examined have different temperatures. An independent claim is included for an inspection device with a provision unit.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG BACKGROUND OF THE INVENTION

GEBIET DER ERFINDUNG FIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren, sowie ein Gerät zur Inspektion von glatten Oberflächen. The present invention relates to a method and apparatus for inspecting smooth surfaces.

STAND DER TECHNIK STATE OF THE ART

Bei glatten, technischen und funktionalen Oberflächen muss die Oberfläche daraufhin überprüft werden, ob die Oberfläche die erforderliche Oberflächengüte mit fehlerfreier Oberflächenform aufweist, wie beispielsweise ohne Kratzer, wobei zusätzlich geprüft werden muss, dass keine Verunreinigungen oder sonstigen Modifikationen der Oberfläche vorliegen. Dies gilt insbesondere für optische Elemente, wie beispielsweise Spiegel oder dergleichen, die in Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie eingesetzt werden, da dort aufgrund der Abbildungen von kleinen Strukturen im Nanometerbereich eine besonders hohe Genauigkeit erforderlich ist. Insbesondere metallische Oberflächen von Komponenten, die bei Projektionsbelichtungsanlagen eingesetzt werden, die mit extrem ultravioletten Licht betrieben werden (EUV-Projektionsbelichtungsanlagen), ist eine exakte Ausbildung entsprechender Oberflächen ohne Beschädigungen oder sonstigen Modifikationen erforderlich. Folglich ist es auch hier besonders wichtig, mögliche Veränderungen in einfacher Weise mit großer Genauigkeit erkennen zu können. Die bisherigen Verfahren einer Sichtkontrolle von Oberflächen oder sonstige Untersuchungsmethoden von Oberflächen sind entweder zu ungenau bzw. zu unempfindlich zum Erkennen bestimmter Oberflächenmodifikationen oder sind für die Durchführung einer schnellen Oberflächenprüfung zu aufwändig. For smooth, technical and functional surfaces, the surface must be checked to see if the surface has the required surface finish with a flawless surface finish, such as scratch-free, and there is also a need to verify that there are no impurities or other modifications to the surface. This applies in particular to optical elements, such as, for example, mirrors or the like, which are used in projection exposure systems for microlithography, since a particularly high level of accuracy is required there due to the images of small structures in the nanometer range. In particular, metallic surfaces of components used in projection exposure equipment operated with extreme ultraviolet light (EUV projection exposure equipment) require accurate formation of corresponding surfaces without damage or other modification. Consequently, it is particularly important to be able to recognize possible changes in a simple manner with great accuracy. Previous methods of visual inspection of surfaces or other examination methods of surfaces are either too inaccurate or too insensitive to detect certain surface modifications or are too expensive to perform a quick surface inspection.

Im Stand der Technik sind Verfahren zur Inspektion von Oberflächen bekannt, bei denen eine Sichtkontrolle dadurch unterstützt wird, dass die zu untersuchende Oberfläche mit unterschiedlichen Lichtquellen, wie beispielsweise UV-Lampen bestrahlt wird, um durch das ultraviolette Licht Partikel auf der Oberfläche erkennen zu können oder mittels einer Fluoreszenzmessung organische Substanzen identifizieren zu können, die bei auftreffender ultravioletter Strahlung fluoreszieren. Auch andere Lichtquellen, wie unterschiedliche Kaltlichtquellen finden hierbei Verwendung. Aufwändigere Verfahren wie Interferometermessungen sind aufgrund des erforderlichen Zeitbedarfs und des apparativen Aufwands für schnelle Überprüfungen nicht geeignet, wobei andererseits jedoch nicht erkannte Fehler oder Veränderungen der Oberfläche zu erheblichen Beeinträchtigungen der Funktion der Oberfläche und aufwändiger Nacharbeit führen können. In the prior art methods for inspection of surfaces are known in which a visual inspection is supported by the fact that the surface to be examined with different light sources, such as UV lamps is irradiated to detect by the ultraviolet light particles on the surface or by means of a fluorescence measurement to identify organic substances that fluoresce when incident ultraviolet radiation. Other light sources, such as different cold light sources are used here. More elaborate methods such as interferometer measurements are not suitable for quick checks because of the time required and the equipment required, but on the other hand, unrecognized errors or changes in the surface can lead to considerable impairment of the function of the surface and costly reworking.

OFFENBARUNG DER ERFINDUNG DISCLOSURE OF THE INVENTION

AUFGABE DER ERFINDUNG OBJECT OF THE INVENTION

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Inspektion von glatten Oberflächen sowie ein entsprechendes Inspektionsgerät bereitzustellen, welches auf schnelle und einfache Weise eine empfindliche und genaue Inspektion von glatten Oberflächen zur Erkennung einer Vielzahl von Oberflächenveränderungen bereitstellt. Dabei soll das Verfahren nicht nur genaue Ergebnisse liefern, sondern entsprechend einfach und schnell durchführbar sein bzw. das entsprechende Gerät soll einfach aufgebaut und leicht bedienbar sein. It is therefore an object of the present invention to provide a method for inspection of smooth surfaces and a corresponding inspection device, which provides a quick and easy way of sensitive and accurate inspection of smooth surfaces for detecting a variety of surface changes. The process should not only provide accurate results, but be correspondingly simple and quick to carry out or the corresponding device should be simple and easy to use.

TECHNISCHE LÖSUNG TECHNICAL SOLUTION

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren und eine Vorrichtung gemäße den unabhängigen Ansprüchen 1 und 5. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. This object is achieved by a method and a device according to the independent claims 1 and 5. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.

Die Erfindung geht aus von der Erkenntnis, dass kondensierende, gasförmige Medien an Oberflächen in unterschiedlicher Weise kondensieren, und zwar in Abhängigkeit von den chemischen und physikalischen Oberflächeneigenschaften. Dies wird bei der vorliegenden Erfindung dahingehend ausgenutzt, dass ein entsprechender gasförmiger Stoff auf die zu untersuchende glatte Oberfläche geleitet wird, um dort zu kondensieren. Liegen an der Oberfläche unterschiedliche Gegebenheiten vor, indem beispielsweise die Oberfläche mit unterschiedlicher Rauheit oder Oberflächengüte ausgebildet ist oder Fehlstellen wie Kratzer oder dergleichen aufweist, kommt es in diesen unterschiedlichen Bereichen zu einer unterschiedlich ausgeprägten Kondensatfilmbildung, die für eine Inspektion der Oberfläche genutzt werden kann. In gleicher Weise können Verunreinigungen oder Rückstände auf der Oberfläche die Ausbildung des Kondensatfilms beeinflussen bzw. zu lokalen Veränderungen der Benetzung führen und somit durch Ausbildung eines dünnen Kondensatfilms sichtbar gemacht werden. Die Beschaffenheit des Kondensatfilms hängt von den Benetzungsunterschieden ab, die eine Folge von Inhomogenitäten in oder auf der zu prüfenden Oberfläche sind. Auf diese Weise werden optisch sonst nicht erkennbare Unterschiede abgebildet, die auf eine partielle Veränderung der Oberfläche im Bereich von wenigen nm Höhenunterschied zurückzuführen sind. The invention is based on the recognition that condensing, gaseous media condense on surfaces in different ways, depending on the chemical and physical surface properties. This is exploited in the present invention in that a corresponding gaseous substance is passed to the smooth surface to be examined in order to condense there. If different conditions exist on the surface, for example in that the surface is formed with different roughness or surface quality or has defects such as scratches or the like, a different degree of condensate film formation occurs in these different regions, which can be used to inspect the surface. In the same way, impurities or residues on the surface can influence the formation of the condensate film or lead to local changes in the wetting and thus be made visible by forming a thin condensate film. The nature of the condensate film depends on the wetting differences that are a consequence of inhomogeneities in or on the surface to be tested. In this way, visually otherwise unrecognizable differences are mapped, which are due to a partial change in the surface in the range of a few nm difference in height.

Entsprechend kann zur Durchführung eines derartigen Inspektionsverfahrens ein Inspektionsgerät eine Bereitstellungseinrichtung zur Erzeugung und Bereitstellung eines gasförmigen Stoffes aufweisen, der mittels einer geeigneten Transportvorrichtung so auf die zu untersuchende Oberfläche geleitet werden kann, dass der gasförmige Stoff auf der zu untersuchenden Oberfläche kondensiert. Accordingly, to carry out such an inspection method, an inspection device can have a supply device for producing and providing a gaseous substance, which is conducted by means of a suitable transport device onto the surface to be examined can be that the gaseous substance condenses on the surface to be examined.

Hierzu können der gasförmige Stoff und die zu untersuchende Oberfläche auf unterschiedliche Temperaturen eingestellt werden, so dass beim Auftreffen des gasförmigen Stoffes auf die zu untersuchende Oberfläche der gasförmige Stoff zumindest teilweise kondensiert. For this purpose, the gaseous substance and the surface to be examined can be adjusted to different temperatures, so that at least partially condenses when the gaseous substance to the surface to be examined, the gaseous substance.

In einer Ausführungsform kann der gasförmige Stoff Wasserdampf sein, der einfach durch Erhitzen von Wasser erzeugt werden kann. Entsprechend kann die Bereitstellungseinrichtung des Inspektionsgeräts einen Flüssigkeitsbehälter zur Aufnahme von beispielsweise Wasser und eine Heizeinrichtung zur Beheizung des Flüssigkeitsbehälters und/oder der darin aufgenommenen Flüssigkeit aufweisen. In one embodiment, the gaseous substance may be water vapor, which may be generated simply by heating water. Accordingly, the provision device of the inspection device may comprise a liquid container for receiving, for example, water and a heating device for heating the liquid container and / or the liquid received therein.

Wasserdampf bietet eine einfache Möglichkeit zur Kondensatbildung, da die zu untersuchenden Oberflächen bei üblichen Umgebungstemperaturen bereits ausreichend kühl sind, um eine Kondensatbildung zu ermöglichen, so dass üblicherweise keine zusätzliche Einrichtung zur Temperierung der zu untersuchenden Oberfläche nötig ist. Alternativ ist auch eine entsprechende Temperierung, insbesondere Kühlung der zu untersuchenden Oberfläche in einfacher Weise realisierbar. Water vapor offers a simple possibility for condensate formation, since the surfaces to be examined are already sufficiently cool at usual ambient temperatures to allow condensate formation, so that usually no additional means for temperature control of the surface to be examined is necessary. Alternatively, a corresponding temperature, in particular cooling of the surface to be examined in a simple manner can be realized.

Durch Verwendung von reinstem Wasser als Kondensatbildner ist auch eine rückstandsfrei Entfernung des Kondensatfilms von der zu untersuchenden Oberfläche nach Abschluss der Untersuchung gewährleistet. By using the purest water as a condensing agent, a residue-free removal of the condensate film from the surface to be examined after the conclusion of the investigation is guaranteed.

Wasserdampf kann auch in einfacher Weise durch eine entsprechende Transportvorrichtung z.B. mit einem Ventilator und einer Dampfführungsleitung zu der zu untersuchenden Oberfläche transportiert werden, wobei als Träger- oder Transportmedium Umgebungsluft verwendet werden kann. Water vapor can also be easily produced by a suitable transport device, e.g. be transported to the surface to be examined with a fan and a steam guide line, wherein ambient air can be used as a carrier or transport medium.

Die Dampfführungsleitung bzw. die Leitung zur Führung des gasförmigen Mediums kann in geeigneter Weise beheizbar sein, um eine Kondensatbildung auf dem Weg von der Bereitstellungseinrichtung des gasförmigen Mediums zur zu untersuchenden Oberfläche zu vermeiden. The steam guide line or the line for guiding the gaseous medium can be heated in a suitable manner, in order to avoid condensation on the way from the provision of the gaseous medium to the surface to be examined.

Die Inspektion kann durch visuelle Sichtkontrolle durch einen Benutzer und/oder automatisiert durch entsprechende Überwachungseinrichtungen wie Kameras, insbesondere CCD-Kameras mit entsprechenden Auswerteeinheiten, wie Bilderkennungssoftware und dergleichen durchgeführt werden. The inspection can be carried out by a visual visual inspection by a user and / or automatically by appropriate monitoring devices such as cameras, in particular CCD cameras with corresponding evaluation units, such as image recognition software and the like.

KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES

Die beigefügten Zeichnungen zeigen in einer rein schematischen Weise in The accompanying drawings show in a purely schematic manner in FIG

1 den grundsätzlichen Aufbau eines erfindungsgemäßen Inspektionsgeräts für glatte Oberflächen; und in 1 the basic structure of a smooth surface inspection device according to the invention; and in

2 eine glatte Oberfläche bei der Inspektion mit dem Inspektionsgerät aus 1. 2 a smooth surface during inspection with the inspection device 1 ,

AUSFÜHRUNGSBEISPIEL Embodiment

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung eines Ausführungsbeispiels deutlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf dieses Ausführungsbeispiel beschränkt. Further advantages, characteristics and features of the present invention will become apparent in the following detailed description of an embodiment. However, the invention is not limited to this embodiment.

Die 1 zeigt den schematischen Aufbau eines erfindungsgemäßen Inspektionsgeräts zur Inspektion von glatten, polierten Oberflächen, wie beispielsweise Oberflächen von optischen Elementen, insbesondere von metallischen Oberflächen von optischen Elementen für EUV-Projektionsbelichtungsanlagen. The 1 shows the schematic structure of an inspection device according to the invention for the inspection of smooth, polished surfaces, such as surfaces of optical elements, in particular of metallic surfaces of optical elements for EUV projection exposure equipment.

Das erfindungsgemäße Inspektionsgerät umfasst einen Wasserbehälter 1, in dem reines Wasser 2 aufgenommen ist und welches mittels einer Heizung 3, die in oder an dem Wasserbehälter 1 angeordnet sein kann, erwärmt werden kann. Die Heizung 3, die im Ausführungsbeispiel der 1 als eine den Wasserbehälter umgebende Heizung dargestellt ist, wird durch eine Temperatursteuerung und/oder -regelung 4, die zusätzlich entsprechende Anzeigeelemente und Bedienelemente (nicht gezeigt) aufweisen kann, so gesteuert, dass eine bestimmte Menge an Wasser im Wasserbehälter 1 verdampft. The inspection device according to the invention comprises a water tank 1 in which pure water 2 is received and which by means of a heater 3 in or on the water tank 1 can be arranged, can be heated. The heating system 3 , which in the embodiment of the 1 is shown as a surrounding the water tank heater is controlled by a temperature control and / or regulation 4 , which may additionally have corresponding display elements and operating elements (not shown), controlled so that a certain amount of water in the water tank 1 evaporated.

Der Wasserbehälter 1 ist über eine Luftzuführleitung 7 mit einem Ventilator 5 verbunden, der über eine Luftansaugung 6 Luft aus der Umgebung ansaugt und über die Luftzuführleitung 7 und einen darin angeordneten Filter 8 die Luft in den Wasserbehälter 1 einführt, wo die Luft über die erwärmte Wassermenge 2 geführt wird, um entsprechend Wasserdampf aufzunehmen. The water tank 1 is via an air supply line 7 with a fan 5 connected, via an air intake 6 Air from the environment sucks and over the air supply line 7 and a filter disposed therein 8th the air in the water tank 1 Introduces where the air over the heated amount of water 2 is guided to absorb water vapor accordingly.

Der Wasserbehälter 1 umfasst weiterhin eine Dampfführungsleitung 9, beispielsweise in Form eines flexiblen Schlauchs, über den die zugeführte Luft mit dem aufgenommenen Wasserdampf aus dem Wasserbehälter 1 abgeführt werden kann. Die Dampfführungsleitung 9 weist eine Dampfleitungsheizung 10 auf, die ebenfalls über das Temperatursteuerungs- und/oder -regelungsgerät 4 oder über eine separate Temperatursteuerung und/oder -regelung so beheizbar ist, dass in der Dampfführungsleitung 9 kein Wasserdampf kondensiert. An der Ausgabeöffnung 11 der Dampfführungsleitung 9 wird der Luftstrom mit dem Wassersdampf aus der Dampfführungsleitung 9 ausgegeben und auf die zu untersuchende Oberfläche 12 aufgebracht, wobei der Dampf an der kühleren Oberfläche 12 kondensiert und einen dünnen Wasserfilm bildet. Entsprechend den unterschiedlichen Gegebenheiten an der Oberfläche 12, die durch Verunreinigungen der Oberfläche 12, Formgebungsfehler, wie Kratzer und dergleichen, gegeben sein können, bilden sich Unterschiede in dem kondensierten Wasserfilm aus, so dass die unterschiedlichen Eigenschaften der Oberfläche 12 sichtbar werden. The water tank 1 further comprises a steam guide pipe 9 , For example in the form of a flexible hose through which the supplied air with the absorbed water vapor from the water tank 1 can be dissipated. The steam delivery line 9 has a steam pipe heater 10 also via the temperature control and / or regulation device 4 or via a separate temperature control and / or regulation is heated so that in the Steam conduit 9 no water vapor condenses. At the delivery opening 11 the steam guide line 9 the air flow with the water vapor from the steam guide line 9 spent and on the surface to be examined 12 applied, with the steam on the cooler surface 12 condenses and forms a thin film of water. According to the different conditions on the surface 12 caused by contamination of the surface 12 , Shaping errors, such as scratches and the like may be present, differences in the condensed water film form, so that the different properties of the surface 12 become visible.

Die Kontrolle der zu untersuchenden Oberfläche 12 kann durch eine individuelle, visuelle Sichtprüfung erfolgen, bei welcher ein Bediener des Inspektionsgeräts die zu untersuchende Oberfläche 12 betrachtet und mögliche Fehler oder Verunreinigungen der Oberfläche 12 feststellt. Gleichzeitig kann eine Dokumentation durch Aufnahme von entsprechenden Bildern, wie beispielsweise digitalen Photos und dergleichen, erfolgen. The control of the surface to be examined 12 can be done by an individual, visual visual inspection, in which an operator of the inspection device, the surface to be examined 12 considered and possible errors or contamination of the surface 12 finds. At the same time, documentation can take place by recording corresponding images, such as digital photos and the like.

Darüber hinaus kann die Inspektion auch in verschiedenen Ausprägungen oder Stufen automatisiert werden. Beispielsweise kann eine Kamera 20 vorgesehen sein, die automatisch die zu untersuchende Oberfläche 12 in Einzelbildern oder in einer Filmdarstellung erfasst, um mittels eines Bilderkennungssystems und geeigneter Auswertungssoftware die erfassten Aufnahmen der zu untersuchenden Oberfläche automatisiert zu untersuchen und entsprechende Untersuchungsergebnisse auszugeben. In addition, the inspection can also be automated in various forms or levels. For example, a camera 20 be provided, which automatically the surface to be examined 12 recorded in individual images or in a film representation in order to automatically analyze the recorded images of the surface to be examined by means of an image recognition system and suitable evaluation software and to output corresponding examination results.

In gleicher Weise kann auch die Erzeugung des Kondensatfilms auf der zu untersuchenden Oberfläche 12 sowohl manuell als auch voll automatisiert erfolgen. Bei zu untersuchenden Oberflächen 12, die klein sind und bei denen die vollständige Fläche bei einer fest installierten Dampfführungsleitung 9 mit entsprechenden Dampf beaufschlagt wird, ist keine Bewegung der Ausgabeöffnung 11 der Dampfführungsleitung 9 über die zu untersuchenden Oberfläche 12 notwendig. Ist die zu untersuchende Oberfläche 12 jedoch größer als der mit Wasserdampf beaufschlagbare Bereich, so kann die Dampfführungsleitung 9 insbesondere in Form eines flexiblen Schlauchs über zu untersuchenden Oberfläche 12 geführt werden, um in einer Rasterbewegung bzw. Scanbewegung die gesamte Oberfläche 12 abzufahren und mit einem entsprechenden Kondensatfilm zu beaufschlagen. Die Führung des flexiblen Schlauchs kann dabei manuell durch den Bediener erfolgen oder automatisiert durch eine entsprechende Bewegungseinrichtung. Darüber hinaus kann das Verfahren auch dahingehend automatisiert sein, dass unterschiedliche Proben mit zu untersuchenden Oberflächen 12 automatisiert in entsprechende Untersuchungspositionen gebracht werden. In the same way, the generation of the condensate film on the surface to be examined 12 both manually and fully automated. For surfaces to be examined 12 that are small and that have the full area of a permanently installed steam guide pipe 9 with appropriate steam is applied, there is no movement of the discharge opening 11 the steam guide line 9 over the surface to be examined 12 necessary. Is the surface to be examined 12 However, larger than the area to be acted upon with steam, so the steam guide line 9 in particular in the form of a flexible hose over the surface to be examined 12 be guided to the entire surface in a raster movement or scanning movement 12 shut down and apply a corresponding condensate film. The leadership of the flexible hose can be done manually by the operator or automated by a corresponding movement device. In addition, the method can also be automated in that different samples with surfaces to be examined 12 be automatically placed in appropriate examination positions.

Weiterhin kann die Dampfführungsleitung 9 fest fixiert sein und die zu untersuchende Bauteiloberfläche wird mäanderförmig unterhalb der Dampfführungsleitung 9 bewegt. Furthermore, the steam guide line 9 be firmly fixed and the component surface to be examined is meandering below the steam guide line 9 emotional.

Die 2 zeigt in einer schematisierten Darstellung eine Draufsicht auf eine zu untersuchende Oberfläche 12, wobei zwei Bereiche 13 und 14 dargestellt sind, die durch eine gestrichelte Linie voneinander getrennt sind. Im Bereich 14 erfolgte eine Beaufschlagung der Oberfläche 12 mit dem Wasserdampf, so dass sich ein dünner Kondensatfilm gebildet hat, während im Bereich 13 kein Kondensatfilm erzeugt worden ist. Durch die Erzeugung des Kondensatfilms im Bereich 14 und die dort vorliegenden unterschiedlichen Oberflächenbereiche 15, 16 und 17 hat sich der Kondensatfilm in unterschiedlicher Weise ausgebildet, so dass die Oberflächenbereiche 15, 16 und 17, die beispielsweise durch entsprechende Ablagerungen, wie Verunreinigungen oder Fettschichten durch Fingerabdrücke, oder durch unterschiedliche Oberflächengüten und dergleichen gebildet sein können, sichtbar werden. Im Bereich 13 ohne entsprechend abgeschiedenem Kondensatfilm ist lediglich eine glatte Oberfläche zu erkennen, ohne dass die unterschiedlichen Beschaffenheiten erkennbar wären, die auch hier vorliegen können. The 2 shows a schematic representation of a plan view of a surface to be examined 12 where two areas 13 and 14 are shown, which are separated by a dashed line. In the area 14 an action was taken on the surface 12 with the water vapor, so that a thin condensate film has formed while in the area 13 no condensate film has been produced. By creating the condensate film in the area 14 and the different surface areas present there 15 . 16 and 17 the condensate film has formed in different ways, so that the surface areas 15 . 16 and 17 , which may be visible, for example, by appropriate deposits, such as impurities or fat layers by fingerprints, or by different surface qualities and the like. In the area 13 without correspondingly deposited condensate film, only a smooth surface can be seen without the different textures that could also be present here being recognizable.

Da für die Wasserdampfbildung reinstes Wasser verwendet wird, ergeben sich auf der zu untersuchenden Oberfläche 12 keine Rückstände, sondern der gebildete Wasserfilm wird bei entsprechend trockener Umgebung wieder rückstandsfrei verdampfen. Durch Betätigung des Ventilators 5 und geeignete Einstellung der Solltemperatur des Wassers 2 kann die Kondensatfilmbildung gestartet werden. Hierzu kann ein entsprechendes Schaltelement, vorzugsweise im Bereich der Ausgabeöffnung 11 der Dampfführungsleitung 9 angeordnet sein, so dass der Benutzer in einfacher Weise gleichzeitig das Inspektionsgerät einschalten und die Dampfführungsleitung 9 über die zu untersuchenden Oberfläche 12 führen kann sowie die Ausgabe des Wasserdampfes steuern kann. Since the purest water is used for the formation of water vapor, resulting on the surface to be examined 12 no residue, but the formed water film will evaporate again in a correspondingly dry environment without residue. By operating the fan 5 and appropriate adjustment of the setpoint temperature of the water 2 the condensation film formation can be started. For this purpose, a corresponding switching element, preferably in the region of the dispensing opening 11 the steam guide line 9 be arranged so that the user in a simple way simultaneously turn on the inspection device and the steam guide line 9 over the surface to be examined 12 can guide as well as control the output of the water vapor.

Mit dem gezeigten Inspektionsgerät und der zugrundeliegenden Verfahrensweise für die Untersuchung von glatten Oberflächen, insbesondere glatten, optischen Oberflächen können unterschiedlichste Komponenten untersucht werden, da die unterschiedliche Ausbildung eines Kondensatfilms auf einer Oberfläche in Abhängigkeit von den Oberflächeneigenschaften bei vielen Materialien, wie Metall, Glas, Keramik, glaskeramischen Oberflächen, oder auch Kunststoffen anwendbar ist. With the inspection device shown and the underlying procedure for the examination of smooth surfaces, in particular smooth optical surfaces, a wide variety of components can be investigated, since the different formation of a condensate film on a surface depending on the surface properties of many materials, such as metal, glass, ceramic , glass-ceramic surfaces, or plastics is applicable.

Neben dem beschriebenen Wasserdampf zur Bildung eines Kondensatfilms können auch andere geeignete Stoffe eingesetzt werden, die entsprechend verdampft und auf Oberflächen kondensiert werden können, um die Einsatzmöglichkeiten des Verfahrens und der entsprechenden Vorrichtung weiter zu vergrößern. Es ist lediglich erforderlich, dass der eingesetzte Stoff auf einer glatten Oberfläche in Abhängigkeit von den Oberflächeneigenschaften unterschiedlich kondensiert, und zwar ohne chemische Reaktion mit der zu untersuchenden Oberfläche, und sich vorzugsweise rückstandsfrei entfernen lässt. Die beschriebene Kondensat-Inspektions-Methode ist bei einfacher und schneller Durchführung sehr viel empfindlicher als bekannte Verfahren und hat damit eine sehr viel größere Inspektionsgenauigkeit, so dass sich Verunreinigungen oder Oberflächenveränderungen erkennen lassen, die mit anderen Verfahren nicht erkannt werden können. In addition to the described steam to form a condensate film, other suitable substances can be used, which can be evaporated accordingly and condensed on surfaces in order to further increase the application possibilities of the method and the corresponding device. It is only necessary that the substance used on a smooth surface depending on the surface properties condensed differently, without chemical reaction with the surface to be examined, and preferably can be removed without residue. The condensate inspection method described is much more sensitive to simple and fast implementation than known methods and thus has a much greater inspection accuracy so that impurities or surface changes can be seen that can not be detected by other methods.

Claims

Method for the inspection of smooth surfaces, characterized in that a gaseous substance is provided, which is thus applied to a surface to be examined ( 12 ) that a condensate film is formed by condensation of the gaseous substance on the surface to be examined, which is formed differently by different condensation conditions at differently formed surface areas in the surface areas with different surface properties, so that the different surface areas ( 15 . 16 . 17 ) become visible.

A method according to claim 1, characterized in that the gaseous substance and the surface to be examined ( 12 ) have different temperatures.

A method according to claim 1 or 2, characterized in that the gaseous substance is formed by water vapor, which condenses as a thin film of water.

A method according to claim 3, characterized in that ultrapure water is used to form water vapor.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the gaseous substance by means of a carrier medium, in particular air, to the surface to be examined ( 12 ) is transported.

Method according to one of the preceding claims, characterized in that the method for the inspection of surfaces of components for projection exposure systems, in particular EUV projection exposure systems is used.

Inspection device for inspection of smooth surfaces, in particular for carrying out the method according to one of the preceding claims, characterized by a provision device ( 1 . 3 ) for providing a gaseous substance at a first temperature and a transport device ( 5 . 9 ) for transporting the gaseous substance from the supply device to an object to be examined, which has a second temperature, in particular a lower temperature than the first temperature.

Inspection device according to claim 7, characterized in that the provision device comprises a liquid container ( 1 ) and a heating device ( 3 ) for heating the liquid container and / or a liquid received therein.

Inspection device according to one of claims 7 or 8, characterized in that the transport device a fan ( 5 ) for generating a gas flow and a gas guide line ( 9 ), in particular heatable gas guide line for conducting the gaseous substance to be examined surface.

Inspection device according to one of claims 7 to 9, characterized in that the inspection device further comprises a detection device, in particular a camera ( 20 ), and preferably has an evaluation unit for the automated evaluation of the surfaces detected by the detection device.