DE102021205775A1

DE102021205775A1 - Abbildende Optik

Info

Publication number: DE102021205775A1
Application number: DE102021205775.6A
Authority: DE
Inventors: Hans Jürgen Rostalski; Holger Münz; Christoph Menke
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2021-06-08
Filing date: 2021-06-08
Publication date: 2022-12-08
Also published as: TW202305448A; EP4352552A1; US20240103382A1; WO2022258528A1; CN117441116A

Abstract

Eine abbildende Optik (7) hat eine Mehrzahl von Spiegeln (Ml bis M8) zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8). Die abbildende Optik hat eine bildseitige numerische Apertur, die größer ist als 0,55. Jeder der Spiegel (Ml bis M8) ist derart ausgeführt, dass er mit einer Prüfoptik (15) mit mindestens einem DOE (16) mit vorgegebenem maximalem Durchmesser zur Prüfwellenfront-Erzeugung vermessen werden kann. Zur vollständigen Vermessung aller Reflexionsflächen der Spiegel (Ml bis M8) kommt eine maximale Anzahl von DOEs (16i) der Prüfoptik (15) und/oder eine maximale Anzahl von DOE-Prüfpositionen des mindestens einen DOEs (16) der Prüfoptik (15) zum Tragen, die höchstens fünfmal so groß ist wie die Anzahl der Spiegel der abbildenden Optik (7). Es resultiert eine abbildende Optik, bei der auch bei einem Design mit im Vergleich zum Stand der Technik größerer bildseitiger numerischer Apertur eine prüfoptische Vermessung handhabbar bleibt. Die abbildende Optik kann Bestandteil eines optischen Systems eines Beleuchtungssystems einer Projektionsbelichtungsanlage zur Herstellung eines strukturierten Bauteils sein.

Description

Die Patentanmeldung betrifft eine abbildende Optik mit einer Mehrzahl von Spiegeln zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld, deren Spiegel mittels einer Prüfoptik vermessen werden kann. Ferner betrifft die Erfindung ein optisches System mit einer derartigen abbildenden Optik, ein Beleuchtungssystem mit einem derartigen optischen System, eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Beleuchtungssystem, ein Verfahren zur Herstellung eines Mikro- bzw. nanostrukturierten Bauteils sowie ein mikro- bzw. nanostrukturiertes Bauteil, hergestellt nach einem derartigen Verfahren.
Eine abbildende Optik der eingangs genannten Art ist bekannt aus der DE 10 2019 219 209 A1 .
Die Prüfoptik, die bei der Spiegelvermessung zum Einsatz kommt, verwendet diffraktive optische Elemente, die herstellungsbedingt nur bis zu einem vorgegebenen maximalen Durchmesser produziert werden können.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine abbildende Optik der eingangs genannten Art weiterzubilden, dass auch bei einem Design mit im Vergleich zum Stand der Technik größerer bildseitiger numerischer Apertur eine prüfoptische Vermessung handhabbar bleibt.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine abbildende Optik nach den im Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass als weiteres Designkriterium eine notwendige Anzahl von diffraktiven optischen Elementen (DOEs) und/oder eine Anzahl der DOE-Prüfpositionen in der Prüfoptik als Designfreiheitsgrad berücksichtigt wird. Optimierungsparameter ist dabei eine Gesamtzahl der DOEs und/oder der DOE-Prüfpositionen, die zur vollständigen Vermessung aller Reflexionsflächen der Spiegel der abbildenden Optik erforderlich ist. Diese Gesamtzahl ist, soweit mehrere DOEs zum Einsatz kommen und mindestens ein DOE in mehreren DOE-Prüfpositionen zum Einsatz kommt, die Anzahl aller dieser DOE-Prüfpositionen zuzüglich der Anzahl der DOEs, die in exakt einer DOE-Prüfposition zum Einsatz kommen.
Wenn beispielsweise zehn DOEs in genau einer Prüfposition zum Einsatz kommen, beträgt diese Gesamtzahl zehn. Wenn acht DOEs in genau einer Prüfposition und zwei DOEs in jeweils drei Prüfpositionen zum Einsatz kommen, beträgt diese Gesamtzahl beispielsweise acht plus drei plus drei = 14.
Diese Gesamtzahl kann so minimiert werden, dass die maximal notwendige Anzahl der DOEs und/oder der DOE-Prüfpositionen höchstens fünfmal so groß ist wie die Anzahl der Spiegel der abbildenden Optik. Bei einer abbildenden Optik mit acht Spiegeln werden somit maximal 40 DOEs bzw. maximal 40 DOE-Prüfpositionen in der Prüfoptik notwendig, um die Reflexionsflächen aller Spiegel zu vermessen.
Diese maximale Anzahl von DOEs bzw. DOE-Prüfpositionen kann höchstens viermal, höchstens 3,5-mal oder auch höchstens dreimal so groß sein wie die Anzahl der Spiegel der abbildenden Optik.
Im Objektfeld kann ein Objekt oder ein Abschnitt hiervon mit abzubildenden Strukturen angeordnet sein. Im Bildfeld kann ein Substrat, auf welches die Objektstrukturen abgebildet werden, oder ein Substratabschnitt angeordnet sein.
Eine Spiegelauslegung nach Anspruch 2 vermeidet einen zu großen DOE-Durchmesser, was die Herstellung der Prüf-DOEs handhabbar macht. Der maximale DOE-Durchmesser kann kleiner als 450 mm und kann im Bereich von 400 mm liegen.
Die Vorteile der Erfindung kommen bei einer anamorphotischen abbildenden Optik nach Anspruch 3 besonders gut zum Tragen. Eine entsprechende anamorphotische Optik ist bekannt aus der US 9,366,968 .
Eine abbildende Optik nach Anspruch 4 ermöglicht eine qualitativ hochwertige Strukturabbildung.
Eine abbildende Optik nach Anspruch 5 ermöglicht eine gute Abbildungskorrektur über eine vorgegebene Bildfeldgröße.
Bei einer abbildenden Optik nach Anspruch 6 wird vermieden, dass die absolute Anzahl von DOEs bzw. die absolute Anzahl von DOE-Prüfpositionen in der Prüfoptik zu groß wird, um Probleme in den Übergangsbereichen zwischen Prüfflächen, die mit aneinander angrenzenden DOEs bzw. DOE-Prüfpositionen vermessen werden, zu vermeiden. Diese maximale Anzahl DOEs/DOE-Prüfpositionen pro Spiegel kann höchstens sechs betragen.
Abbildende Optiken nach den Ansprüchen 7 und 8 haben sich in der Praxis bewährt. Die Anzahl der GI-Spiegel kann größer sein als vier und kann beispielsweise sechs oder acht betragen. Die Anzahl der NI-Spiegel kann größer sein als drei und kann beispielsweise vier betragen.
Die Vorteile eines optischen Systems nach Anspruch 9, eines Beleuchtungssystems nach Anspruch 10, einer Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 11, eines Herstellungsverfahrens nach Anspruch 12 und eines mikro- bzw. nanostrukturierten Bauteils nach Anspruch 13 entsprechen denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die erfindungsgemäße abbildende Optik bereits erläutert wurden.
Hergestellt werden kann insbesondere ein Halbleiter-Bauteil, beispielsweise ein Speicherchip.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:

1 schematisch eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie;
2 schematisch einen Strahlengang innerhalb einer Oberflächenprofil-Messeinrichtung zur Vermessung einer zu prüfenden optischen Oberfläche einer optischen Komponente der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 unter Verwendung mindestens eines diffraktiven optischen Elements;
3 in einer zu 2 ähnlichen Darstellung eine Anordnung dreier diffraktiver optischer Elemente der Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach 2 zum Vermessen jeweils von Abschnitten einer zu prüfenden optischen Oberfläche einer optischen Komponente der Projektionsbelichtungsanlage nach 1;
4 in einer schematischen Perspektivdarstellung einen Vermessungs-Strahlengang der Oberflächenprofil-Messeinrichtung mit verschiedenen möglichen Anordnungsebenen für das mindestens eine diffraktive optische Element zur Bestimmung einer Anordnungsebene, in der eine kleinste Anzahl von diffraktiven optischen Elementen (DOEs) mit vorgegebenem Durchmesser und/oder eine kleinste Anzahl von Prüfpositionen dieser DOEs zur Vermessung der gesamten optischen Oberfläche erreicht werden kann;
5. 6 und 6A Abdeckungen eines durch eine Randkontur vorgegebenen gesamten Strahlquerschnitts des Strahlengangs in den jeweiligen möglichen Anordnungsebenen nach 4 mit den diffraktiven optischen Elementen mit vorgegebenem Durchmesser zur Bestimmung der notwendigen Anzahl diffraktiver optischer Elemente;
7 in einem Meridionalschnitt eine Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar ist, wobei ein Abbildungsstrahlengang für Hauptstrahlen und für einen oberen und einen unteren Komastrahl dreier ausgewählter Feldpunkte dargestellt ist;
8 bis 15 jeweils in einer Aufsicht Randkonturen von Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel der abbildenden Optik nach 7;
16 bis 23 in zu den 5 bis 6A ähnlichen Darstellungen Strahlengang-Querschnitte optimierter Anordnungsebenen der diffraktiven optischen Elemente der Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach 2 mit jeweils einer Anzahloptimierten Abdeckung durch die diffraktiven optischen Elemente mit dem vorgegebenen Durchmesser zur Vermessung der Spiegel der abbildenden Optik nach 7;
24 in einer zu 7 ähnlichen Darstellung eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik, einsetzbar als Projektionsoptik in der Projektionsbelichtungsanlange in 1;
25 bis 35 jeweils in einer Aufsicht Randkonturen von Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel der abbildenden Optik nach 24;
36 bis 46 in zu den 5 bis 6A ähnlichen Darstellungen Strahlengang-Querschnitte optimierter Anordnungsebenen der diffraktiven optischen Elemente der Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach 2 mit jeweils einer Anzahloptimierten Abdeckung durch die diffraktiven optischen Elemente mit dem vorgegebenen Durchmesser zur Vermessung der Spiegel der abbildenden Optik nach 24;
47 in einer zu 7 ähnlichen Darstellung eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik, einsetzbar als Projektionsoptik in der Projektionsbelichtungsanlange in 1;
48 bis 56 jeweils in einer Aufsicht Randkonturen von Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel der abbildenden Optik nach 47; und
57 bis 65 in zu den 5 bis 6A ähnlichen Darstellungen Strahlengang-Querschnitte optimierter Anordnungsebenen der diffraktiven optischen Elemente der Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach 2 mit jeweils einer Anzahloptimierten Abdeckung durch die diffraktiven optischen Elemente mit dem vorgegebenen Durchmesser zur Vermessung der Spiegel der abbildenden Optik nach 47.

Eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie hat eine Lichtquelle 2 für Beleuchtungslicht bzw. Abbildungslicht 3. Bei der Lichtquelle 2 handelt es sich um eine EUV-Lichtquelle, die Licht in einem Wellenlängenbereich beispielsweise zwischen 5 nm und 30 nm, insbesondere zwischen 5 nm und 15 nm, erzeugt. Bei der Lichtquelle 2 kann es sich insbesondere um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm oder um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 6,9 nm handeln. Auch andere EUV-Wellenlängen sind möglich. Generell sind sogar beliebige Wellenlängen, zum Beispiel sichtbare Wellenlängen oder auch andere Wellenlängen, die in der Mikrolithographie Verwendung finden können (z. B. DUV, tiefes Ultraviolett) und für die geeigneten Laserlichtquellen und/oder LED-Lichtquellen zur Verfügung stehen (beispielsweise 365 nm, 248 nm, 193 nm, 157 nm, 129 nm, 109 nm), für das in der Projektionsbelichtungsanlage 1 geführte Beleuchtungslicht 3 möglich. Ein Strahlengang des Beleuchtungslichts 3 ist in der 1 äußerst schematisch dargestellt.
Zur Führung des Beleuchtungslichts 3 von der Lichtquelle 2 hin zu einem Objektfeld 4 in einer Objektebene 5 dient eine Beleuchtungsoptik 6. Mit einer Projektionsoptik bzw. abbildenden Optik 7 wird das Objektfeld 4 in ein Bildfeld 8 in einer Bildebene 9 mit einem vorgegebenen, gegebenenfalls anamorphotischen Verkleinerungsmaßstab abgebildet.
Zur Erleichterung der Beschreibung der Projektionsbelichtungsanlage 1 sowie der verschiedenen Ausführungen der Projektionsoptik 7 ist in der Zeichnung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem angegeben, aus dem sich die jeweilige Lagebeziehung der in den Figuren dargestellten Komponenten ergibt. In der 1 verläuft die x-Richtung senkrecht zur Zeichenebene in diese hinein. Die y-Richtung verläuft nach links und die z-Richtung nach oben.
Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 sind rechteckförmig. Alternativ ist es auch möglich, das Objektfeld 4 und Bildfeld 8 gebogen bzw. gekrümmt, also insbesondere teilringförmig auszuführen. Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 haben ein xy-Aspektverhältnis größer als 1. Das Objektfeld 4 hat also eine längere Objektfelddimension in der x-Richtung und eine kürzere Objektfelddimension in der y-Richtung. Diese Objektfelddimensionen verlaufen längs der Feldkoordinaten x und y.
Für die Projektionsoptik 7 kann eines der in den 7, 24 oder 47 dargestellten Ausführungsbeispiele eingesetzt werden, die nachfolgend noch näher erläutert werden.
Die Projektionsoptik 7 nach 7 ist anamorphotisch ausgeführt. In der yz-Ebene, also in der Meridionalebene des Schnitts nach 2 hat die Projektionsoptik 7 einen Verkleinerungsmaßstab |β_y| von 8. In der Meridionalebene yz wird das Objektfeld 4 also um einen Faktor 8 verkleinert auf das Bildfeld 8 abgebildet. In der senkrecht auf der Meridionalebene stehenden Sagittalebene xz beträgt ein Verkleinerungsmaßstab der Projektionsoptik 7 |β_x| 4. Das Objektfeld 4 wird in dieser Ebene xz also um einen Faktor 4 verkleinert in das Bildfeld 8 zwischen der Objektebene 5 und der Bildebene 9 abgebildet. Auch andere ganzzahlige oder nicht ganzzahlige absolute Verkleinerungsmaßstäbe β_x, β_y sind möglich, wie nachfolgend anhand der weiteren Ausführungsbeispiele erläutert.
Das Bildfeld 8 hat eine x-Erstreckung von z.B. 26 mm und eine y-Erstreckung von z.B. 2 mm.
Die Bildebene 9 ist bei der Projektionsoptik 7 in den Ausführungen nach den 7ff. parallel zur Objektebene 5 angeordnet. Abgebildet wird hierbei ein mit dem Objektfeld 4 zusammenfallender Ausschnitt einer Reflexionsmaske 10, die auch als Retikel bezeichnet wird. Das Retikel 10 wird von einem Retikelhalter 10a getragen. Der Retikelhalter 10a wird von einem Retikelverlagerungsantrieb 10b verlagert.
Die Abbildung durch die Projektionsoptik 7 erfolgt auf die Oberfläche eines Substrats 11 in Form eines Wafers, der von einem Substrathalter 12 getragen wird. Der Substrathalter 12 wird von einem Wafer- bzw. Substratverlagerungsantrieb 12a verlagert.
In der 1 ist schematisch zwischen dem Retikel 10 und der Projektionsoptik 7 ein in diese einlaufendes Strahlenbündel 13 des Beleuchtungslichts 3 und zwischen der Projektionsoptik 7 und dem Substrat 11 ein aus der Projektionsoptik 7 auslaufendes Strahlenbündel 14 des Beleuchtungslichts 3 dargestellt. Eine bildfeldseitige numerische Apertur (NA) der Projektionsoptik 7 ist in der 1 nicht maßstäblich wiedergegeben.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 ist vom Scannertyp. Sowohl das Retikel 10 als auch das Substrat 11 werden beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage 1 in der y-Richtung gescannt. Auch ein Steppertyp der Projektionsbelichtungsanlage 1, bei dem zwischen einzelnen Belichtungen des Substrats 11 eine schrittweise Verlagerung des Retikels 10 und des Substrats 11 in der y-Richtung erfolgt, ist möglich. Diese Verlagerungen erfolgen synchronisiert zueinander durch entsprechende Ansteuerung der Verlagerungsantriebe 10b und 12a.
2 zeigt schematisch einen Prüfstrahlengang einer Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15, unter anderem im Bereich eines diffraktiven optischen Elements (DOE) 16, welches zur Erzeugung einer Prüfwellenfront 17 aus einer einfallenden ebenen Wellenfront 18 genutzt wird. Die Prüfwellenfront von Prüflicht 19 ist dabei so gestaltet, dass das Prüflicht 19 an jedem Punkt einer zu prüfenden optischen Oberfläche 20, solange diese einem Soll-Oberflächenprofil entspricht, mit senkrechter Inzidenz auftrifft. Bei der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 kann es sich um eine optische Oberfläche einer der optischen Komponenten der Projektionsbelichtungsanlage 1 handeln und insbesondere um eine Nutz-Reflexionsfläche eines der Spiegel der Projektionsoptik 7.
Bei dem DOE 16 kann es sich um ein computergeneriertes DOE handeln, d.h., das DOE trägt ein komplexes Muster, welches mittels eines Computers berechnet worden ist. Ein derartiges DOE 16 kann mit einem Elektronenstrahlschreiber gefertigt sein.
Das DOE 16 kann mit vertretbarem Aufwand bis zu einem maximalen Durchmesser gefertigt werden. Die Hälfte dieses maximalen Durchmessers, also der maximale Radius rmax, ist in der 2 veranschaulicht.
Die Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 wird nachfolgend auch als Prüfoptik bezeichnet. Die Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 ist nach Art eines Fizeau-Interferometers aufgebaut. Von einer Lichtquelle 21 erzeugtes Prüflicht wird zunächst mit Hilfe einer Kondensoroptik 22 in die ebene Wellenfront 18, also in ein Bündel parallel verlaufender Einzelstrahlen, überführt. Die ebene Wellenfront 18 durchläuft zunächst einen Strahlteiler 23 und trifft anschließend auf eine Referenzplatte 24. Von einer ebenen optischen Fläche dieser Referenzplatte 24 retroreflektiertes Prüflicht 19 wird als ein Lichtanteil zur Oberflächenprofil-Messung der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 genutzt. Dieser Referenz-Prüflichtanteil wird vom Strahlteiler 23 hin zu einer weiteren Kondensoroptik 25 und zu einer Kamera 26 geführt. Die Referenzplatte 24 durchtretendes Prüflicht 19 tritt, immer noch als ebene Wellenfront 18, in das DOE 16 ein. Mit dem DOE 16 wird die Prüfwellenfront 17 erzeugt. Nach Retroreflexion der Prüfwellenfront 17 an der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 durchtritt das Prüflicht wiederum das DOE 16 und die Referenzplatte 24, wobei der vom Strahlteiler 23 reflektierte Anteil dieses von der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 reflektierten Prüflichts 19 mit dem an der Referenzplatte 24 retroreflektierten Messanteil des Prüflichts 19 interferiert. Das Interferenzmuster des Referenzplatten-Prüflichtanteils einerseits und des Oberflächenprofil-Prüflichtanteils andererseits wird mit der Kamera 26 aufgenommen und stellt ein Maß für die Qualität einer Einhaltung eines vorgegebenen Soll-Oberflächenprofils durch das vermessene Ist-Oberflächenprofil der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 dar.
Eine Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach Art derjenigen der 2 ist bekannt aus der DE 10 2019 219 209 A1 .
3 zeigt in einer insbesondere der 6 der DE 10 2019 219 209 A1 entsprechenden Darstellung eine Anordnung mehrerer DOEs 16₁, 16₂, 16₃, die am Ort des DOE 16 der Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach 2 zur Vermessung jeweils eines Abschnitts 20₁, 20₂, 20₃ der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 zum Einsatz kommen. Die DOEs 16₁ bis 16₃, erzeugen beispielsweise bei sequentiellem Einsatz am Ort des DOE 16 der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 eine Ausleuchtung, die die gesamte zu prüfende optische Oberfläche 20 überdeckt und überall senkrecht auf dieser zu prüfenden optischen Oberfläche 20 steht.
Bei der Gestaltung der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 nach 3 sind drei DOEs 16₁ bis 16₃ zur Vermessung des Oberflächenprofils der gesamten optischen Oberfläche 20 notwendig. Die minimal erforderliche Anzahl der zur Vermessung der gesamten Oberfläche 20 erforderlichen DOEs 16_i hängt von einer maximalen vorgegebenen Größe der DOEs 16_i, beispielsweise einem vorgegebenen maximalen Durchmesser, der Größe und Gestaltung der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 sowie von einer Anordnungsebene der DOEs 16_i im Strahlengang des Prüflichts 19_i ab.
Die abbildende Optik 7 und auch die nachfolgend noch beschriebenen abbildenden Optiken nach den 24 und 47 haben Spiegel, deren zu prüfende optische Oberflächen jeweils die Voraussetzung erfüllen, dass zur vollständigen Vermessung aller Reflexionsflächen der Spiegel M_i dieser abbildenden Optiken bei Einsatz von DOEs 16_i mit vorgegebenem maximalen Durchmesser eine maximale Anzahl von DOEs 16_i der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 und/oder eine maximalen Anzahl von DOE-Prüfpositionen 16_i mindestens eines in mehreren Prüfpositionen verwendbaren DOEs 16 der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 erforderlich ist, die höchstens fünfmal so groß ist, wie die Anzahl der Spiegel M_i der abbildenden Optik.
4 zeigt vier repräsentative Einzelstrahlen des Prüflichts 19 eines Prüflicht-Strahlengangs innerhalb der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 für die zu prüfende optische Oberfläche 20 sowie drei beispielhafte Anordnungsebenen 27₁, 27₂, 27₃ für das DOE 16 der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15. Rechts in der 4 sind jeweils Randkonturen 28₁, 28₂, 28₃ dieses Prüflicht-Strahlengangs am Ort der Anordnungsebenen 27₁, 27₂, 27₃ gezeigt.
Bedingt durch die Voraussetzung, dass das Prüflicht 19 an jedem Punkt der zu prüfenden optischen Oberfläche 20, solange diese einem Soll-Oberflächenprofil entspricht, mit senkrechter Inzidenz auftrifft, ist der Prüflicht-Strahlengang für alle Einzelstrahlen des Prüflichts 19 exakt definiert und somit auch die Randkonturen 28_i am Ort der jeweiligen Anordnungsebene 27_i.
5, 6 und 6A zeigen mögliche Abdeckungen der Randkonturen 28₁, 28₂ und 28₃ mit DOEs 16_i mit jeweils vorgegebenem maximalen Durchmesser, der beispielsweise im Bereich zwischen 300 mm und 500 mm und insbesondere im Bereich zwischen 350 mm und 450 mm, beispielsweise im Bereich von 400 mm liegen kann.
Zur lückenlosen Abdeckung der Randkontur 28₁ des Prüflicht-Strahlengangs sind insgesamt sieben DOEs 16₁ bis 16₇ erforderlich (vgl. 5). Zur lückenlosen Abdeckung der Randkontur 28₂ sind insgesamt vier DOEs 16₁ bis 16₄ erforderlich (vgl. 6). Zur lückenlosen Abdeckung der Randkontur 28₃ sind insgesamt drei DOEs 16₁ bis 16₃ erforderlich (vgl. 6A).
Die Anordnung der DOEs 16_i in der Anordnungsebene 27₃ ergibt also für die Vermessung der optischen Fläche 20 nach 4 die minimal notwendige Anzahl von DOEs 16_i (i = 1 bis 3) zur vollständigen Vermessung der gesamten Reflexionsfläche der zu prüfenden optischen Oberfläche 20.
Je nach Gestaltung der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 können diese DOEs 16_i bis 16₃ verschieden ausgestaltet sein oder es kann auch möglich sein, mindestens eines der DOEs 16₁ bis 16₃ an zwei Prüfpositionen oder auch beispielsweise das DOE 16₁ an allen drei Prüfpositionen zu verwenden.
Die zu prüfende optische Oberfläche 20 nach 4 benötigt also bei optimierter Anordnung der DOEs 16_i genau drei DOE-Prüfpositionen, was im Regelfall genau drei notwendigen DOEs 16₁ entspricht. Bei dieser optimierten Anordnung der DOE 16₁ ist die Anzahl der DOEs 16₁ der Prüfoptik und/oder die Anzahl der DOE-Prüfpositionen des mindestens einen DOE 16_i der Prüfoptik 15 zur vollständigen Vermessung der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 also drei.
7 zeigt das optische Design einer ersten Ausführung der Projektionsoptik 7. Dargestellt ist in der 7 der Strahlengang jeweils dreier Einzelstrahlen 29, die von drei in der 7 zueinander in der y-Richtung beabstandeten Objektfeldpunkten ausgehen. Dargestellt sind Hauptstrahlen 30, also Einzelstrahlen 29, die durch das Zentrum einer Pupille in einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 verlaufen, sowie jeweils ein oberer und ein unterer Komastrahl, also Strahlen, die durch den oberen bzw. unteren Rand der Pupille gehen, dieser beiden Objektfeldpunkte. Ausgehend vom Objektfeld 4 schließen die Hauptstrahlen 30 mit einer Normalen auf die Objektebene 5 einen Winkel CRAO von 5,05° ein.
Die Projektionsoptik 7 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,75.
Die Projektionsoptik 7 nach 7 hat insgesamt acht Spiegel, die in der Reihenfolge des Strahlengangs der Einzelstrahlen 29, ausgehend vom Objektfeld 4, mit M1 bis M8 durchnummeriert sind. Die abbildende Optik 7 kann auch eine andere Spiegelanzahl haben, beispielsweise vier Spiegel, sechs Spiegel, neun Spiegel, zehn Spiegel, elf Spiegel oder auch noch mehr Spiegel.
Dargestellt sind in der 7 die berechneten Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8. Genutzt wird ggf. nur ein Teilbereich dieser berechneten Reflexionsflächen. Lediglich dieser tatsächlich genutzte Bereich der Reflexionsflächen ist bei den realen Spiegeln M1 bis M8 tatsächlich vorhanden. Diese Nutz-Reflexionsflächen werden in bekannter Weise von Spiegelkörpern getragen.
Bei der Projektionsoptik 7 nach 7 sind die Spiegel M1, M4, M7 und M8 als Spiegel für normalen Einfall (NI-Spiegel) ausgeführt, also als Spiegel, auf die das Abbildungslicht 3 mit einem Einfallswinkel trifft, der kleiner ist als 45°. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 7 also vier Spiegel M1, M4, M7 und M8 für normalen Einfall.
Die Spiegel M2, M3, M5 und M6 sind Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel) des Beleuchtungslichts 3, also Spiegel, auf die das Beleuchtungslicht 3 mit Einfallswinkeln auftritt, die größer sind als 60°. Ein typischer Einfallswinkel der Einzelstrahlen 29 des Abbildungslichts 3 auf den Spiegeln M2, M3, M5 und M6 für streifenden Einfall liegt im Bereich von 80°. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 7 genau vier Spiegel M2, M3, M5 und M6 für streifenden Einfall.
Die Spiegel M2, M3 einerseits sowie M5, M6 andererseits sind als Paare aufeinanderfolgender Spiegel ausgeführt und reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf den jeweiligen Spiegeln der Paare M2, M3 einerseits und M5, M6 andererseits addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken.
Die Spiegel M1 bis M8 tragen eine die Reflektivität der Spiegel M1 bis M8 für das Abbildungslicht 3 optimierende Beschichtung. Hierbei kann es sich um eine Ruthenium-Beschichtung, um eine Molybdän-Beschichtung oder um eine Molybdän-Beschichtung mit einer obersten Schicht aus Ruthenium handeln. Bei den Spiegeln M2, M3, M5 und M6 für streifenden Einfall kann eine Beschichtung mit beispielsweise einer Lage aus Molybdän oder Ruthenium zum Einsatz kommen. Diese hoch reflektierenden Schichten insbesondere der Spiegel M1, M4, M7 und M8 für normalen Einfall können als Mehrlagen-Schichten ausgeführt sein, wobei aufeinanderfolgende Schichten aus unterschiedlichen Materialien gefertigt sein können. Auch alternierende Materialschichten können zum Einsatz kommen. Eine typische Mehrlagenschicht kann fünfzig Bi-Lagen aus jeweils einer Schicht Molybdän und einer Schicht Silizium aufweisen. Eine Mehrlagenschicht kann mit einer zusätzlichen Deckschicht z.B. aus Ruthenium vorsehen sein.
Zur Berechnung einer Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 7 kann eine Systemtransmission wie folgt berechnet werden: Eine Spiegel-Reflektivität wird in Abhängigkeit vom Einfallswinkel eines Führungsstrahls, also eines Hauptstrahls eines zentralen Objektfeldpunktes, an jeder Spiegelfläche bestimmt und multiplikativ zur Systemtransmission zusammengefasst.
Weitere Informationen zur Systemtransmission finden sich in der US 2016/0085061 A1 .
Weitere Informationen zur Reflexion an einem GI-Spiegel (Spiegel für streifenden Einfall) finden sich in der WO 2012/126867 A. Weitere Informationen zur Reflektivität von NI-Spiegeln (Normal Incidence Spiegeln) finden sich in der DE 101 55 711 A.
Der Spiegel M8, also der im Abbildungsstrahlengang letzte Spiegel vor dem Bildfeld 8, hat eine Durchtrittsöffnung 30a zum Durchtritt des Abbildungslichts 3, das vom drittletzten Spiegel M6 hin zum vorletzten Spiegel M7 reflektiert wird. Der Spiegel M8 wird um die Durchtrittsöffnung 30a herum reflektiv genutzt. Alle anderen Spiegel M1 bis M7 haben keine Durchtrittsöffnung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt.
Im Abbildungsstrahlengang zwischen den Spiegeln M6 und M7 ist eine Blende AS angeordnet, die sowohl die Funktion einer Aperturblende als auch die Funktion einer Obskurationsblende hat. Die Blende AS gibt also einerseits die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik 7 vor und gibt andererseits die Größe einer inneren Pupillenobskuration vor. Die Blende AS kann als geteilte Blende ausgeführt sein, wie dies beispielsweise aus der US 10,527,832 bekannt ist.
Die Projektionsoptik 7 ist objektseitig näherungsweise telezentrisch. Die Eintrittspupille liegt, wenn der Abbildungsstrahlengang ausschließlich in Bezug auf die Einzelstrahlen, die das Objektfeld 4 passieren, berücksichtigt wird, in der xz-Ebene 4049,31 mm nach dem Objektfeld 4 und in der yz-Ebene 41810,58 mm vor dem Objektfeld 4.
Bei der Projektionsoptik 7 liegt eine Pupillenebene im Strahlengang des Abbildungslichts 3 zwischen den Spiegel M1 und M2 vor. Eine erste Zwischenbildebene liegt im Strahlengang zwischen den Spiegeln M2 und M3 vor. Eine weitere Zwischenbildebene liegt im Strahlengang zwischen den Spiegeln M5 und M6 vor. Im Bereich der Durchtrittsöffnung 30a liegt keine Zwischenbildebene bei der Projektionsoptik 7 vor. Die Anzahl der Zwischenbildebenen unterscheidet sich von der Zwischenbild-Anzahl in der Meridionalebene nach 7 von der Zwischenbild-Anzahl in der hierzu senkrechten Ebene. Derartige Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Zwischenbild-Anzahlen in zueinander senkrechten Ebenen sind grundsätzlich bekannt aus der WO 2016/166080 A1 und der DE 10 2015 226 531 A1 .
Die Blende AS liegt im Strahlengang zwischen den Spiegeln M7 und M8 im Bereich einer weiteren Pupillenebene der Projektionsoptik 7.
Die Spiegel M1 bis M8 sind als nicht durch eine rotationssymmetrische Funktion beschreibbare Freiformfläche ausgeführt. Es sind auch andere Ausführungen der Projektionsoptik 7 möglich, bei denen mindestens einer der Spiegel M1 bis M8 als rotationssymmetrische Asphäre ausgeführt ist. Auch alle Spiegel M1 bis M8 können als derartige Asphären ausgeführt sein.
Eine Freiformfläche kann durch folgende Freiformflächengleichung (Gleichung 1) beschrieben werden: $\begin{array}{l} Z = \frac{c_{x} x^{2} + c_{y} y^{2}}{1 + \sqrt{1 - (1 + k_{x}) {(c_{x} x)}^{2} - (1 + k_{y}) {(c_{y} y)}^{2}}} \\ + C_{1} x + C_{2} y \\ + C_{3} x^{2} + C_{4} xy + C_{5} y^{2} \\ + C_{6} x^{3} + \dots + C_{9} y^{3} \\ + C_{10} x^{4} + \dots + C_{12} x^{2} y^{2} + \dots + C_{14} y^{14} \\ + C_{15} x^{5} + \dots + C_{20} y^{5} \\ + C_{21} x^{6} + \dots + C_{24} x^{3} y^{3} + \dots + C_{27} y^{6} \\ + \dots \end{array}$
Für die Parameter dieser Gleichung (1) gilt:

Z ist die Pfeilhöhe der Freiformfläche am Punkt x, y, wobei x² + y² = r². r ist hierbei der Abstand zur Referenzachse der Freiformflächengleichung (x = 0; y = 0).

In der Freiformflächengleichung (1) bezeichnen C₁, C₂, C₃... die Koeffizienten der Freiformflächen-Reihenentwicklung in den Potenzen von x und y.
Im Falle einer konischen Grundfläche ist c_x, c_y eine Konstante, die der Scheitelpunktkrümmung einer entsprechenden Asphäre entspricht. Es gilt also c_x = 1/R_x und c_y = 1/R_y. k_x und k_y entsprechen jeweils einer konischen Konstante einer entsprechenden Asphäre. Die Gleichung (1) beschreibt also eine bikonische Freiformfläche.
Eine alternativ mögliche Freiformfläche kann aus einer rotationssymmetrischen Referenzfläche erzeugt werden. Derartige Freiformflächen für Reflexionsflächen der Spiegel von Projektionsoptiken von Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie sind bekannt aus der US 2007-0058269 A1 .
Alternativ können Freiformflächen auch mit Hilfe zweidimensionaler Spline-Oberflächen beschrieben werden. Beispiele hierfür sind Bezier-Kurven oder nicht-uniforme rationale Basis-Splines (non-uniform rational basis splines, NURBS). Zweidimensionale Spline-Oberflächen können beispielsweise durch ein Netz von Punkten in einer xy-Ebene und zugehörigen z-Werte oder durch diese Punkte und ihnen zugehörige Steigungen beschrieben werden. Abhängig vom jeweiligen Typ der Spline-Oberfläche wird die vollständige Oberfläche durch Interpolation zwischen den Netzpunkten unter Verwendung z. B. von Polynomen oder Funktionen, die bestimmte Eigenschaften hinsichtlich ihrer Kontinuität und Differenzierbarkeit haben, gewonnen. Beispiele hierfür sind analytische Funktionen.
Die optischen Designdaten der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8 (= M01 bis M08) der Projektionsoptik 7 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden.
Die erste dieser Tabellen gibt zu den optischen Oberflächen der optischen Komponenten Scheitelpunktsradien (Radiusx = R_x, Radiusy = R_y) und Brechkraftwerte (Powerx, Powery) an. Negative Radienwerte bedeuten zum einfallenden Beleuchtungslicht 3 hin konkave Kurven im Schnitt der jeweiligen Oberfläche mit der betrachteten Ebene (xz, yz), die von einer Flächennormalen im Scheitelpunkt mit der jeweiligen Krümmungsrichtung (x, y) aufgespannt wird. Die beiden Radien Radiusx, Radiusy können explizit verschiedene Vorzeichen haben.
Die Scheitelpunkte an jeder optischen Fläche sind definiert als Auftreffpunkte eines Führungsstrahls, der von einer Objektfeldmitte entlang einer Symmetrieebene x=0, also der Zeichenebene der 7 (Meridionalebene) hin zum Bildfeld 8 geht.
Die Brechkräfte Powerx (P_x), Powery (P_y) an den Scheitelpunkten sind definiert als: $P_{x} = - \frac{2 cos A O I}{R_{x}}$
$P_{y} = - \frac{2}{R_{y}} = - \frac{2}{R_{y} cos A O I}$
AOI bezeichnet hierbei einen Einfallswinkel des Führungsstrahls zur Oberflächennormalen.
In der zweiten Tabelle ist der Betrag angegeben, längs dem der jeweilige Spiegel, ausgehend von einer Bezugsfläche in der y-Richtung dezentriert (D_y), in der z-Richtung verschoben (D_z) und verkippt (α_x, α_y, α_z) wurde. Dies entspricht einer Parallelverschiebung und einer Verkippung beim Freiformflächen-Designverfahren. Verschoben wird dabei in y- und in z-Richtung in mm und verkippt um die x-Achse, um die y-Achse und um die z-Achse. Der Verdrehwinkel ist dabei in Grad angegeben. Es wird zunächst dezentriert, dann verkippt. Die Bezugsfläche bei der Dezentrierung ist jeweils die erste Fläche der angegebenen optischen Designdaten. Auch für das Objektfeld 4 (Retikel) ist eine Dezentrierung in y- und in z-Richtung angegeben. Neben den den einzelnen Spiegeln M1 bis M8 zugeordneten Werten sind in dieser Tabelle auch die Objektebene (Retikel) als erste Fläche, die Bildebene (Wafer) als letzte Fläche und eine Blendenfläche (mit der Bezeichnung „Blende“) als Anordnungsebene für eine Apertur- bzw. Obskurationsblende tabelliert.
Die dritte Tabelle (Tabellen 3a bis 3c) gibt für die Spiegel M1 bis M8 die Freiformflächen-Koeffizienten C_n, zugeordnet jeweils zu den Polynomen x^k, y^l an. Koeffizienten C_n, die nicht tabelliert sind, haben jeweils den Wert 0.
Die vierte Tabelle gibt eine Berandung der Blende AS als Polygonzug in lokalen Koordinaten xy an. Die Blende wird noch wie oben beschrieben dezentriert und verkippt. In dieser Tabelle sind die Koordinaten in zwei Spalten angeben. Die erste Spalte (bestehend aus einer x- und einer y-Koordinate) enthält die Koordinaten der Eckpunkte 1 bis N/2 des Polgyons, die zweite Spalte die Koordinaten der Eckpunkte N/2+1 bis N. Jede Zeile enthält damit also vier Zahlen, nämlich x_i, y_i, X_i+N/2, Y_i+N/2.

Radien der Flächen Tabelle 1 zu Fig. 7 Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen

	Radius _x [mm]	Power _x [1/mm]	Radius _y [mm]	Power _y [1/mm]
M01	-4010.12586920	0.00048785	-1912.32973165	0.00102302
M02	3032.56293835	-0.00008312	10200.72278759	-0.00002471
M03	-17899.44185965	0.00004605	-3054.20330985	0.00026989
M04	-2949.17773323	0.00066765	-3463.52914828	0.00056850
M05	-6424.69311474	0.00009275	-5807.69148834	0.00010261
M06	353735.31498119	-0.00000017	11075.51069253	-0.00000551
M07	9638.75974818	-0.00018069	591.44323699	-0.00294470
M08	-1014.02402632	0.00194257	-862.10705275	0.00228488

Tabelle 2 zu Fig. 7 Freiformkoeffizienten der Flächen

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	-215.951560067	2242.742701369
M02	0.000000000	-579.619168146	972.327826712
M03	0.000000000	-1211.960692867	382.045757189
M04	0.000000000	-2836.571591757	318.474455743
M05	0.000000000	-2229.334121721	613.628374773
M06	0.000000000	-1910.060188189	1021.981064020
M07	-0.000000000	-1410.771400546	2366.554366656
Blende	-0.000000000	-1431.489974732	2310.759719532
M08	0.000000000	-1649.846081233	1722.731711425
Wafer	-0.000000000	-1649.789892286	2500.244279290
	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	-5.237121318	0.000000000	0.000000000
M02	58.527751559	180.000000000	0.000000000
M03	202.635298067	0.000000000	0.000000000
M04	-75.918305600	180.000000000	0.000000000
M05	218.951084881	0.000000000	0.000000000
M06	60.803922685	180.000000000	0.000000000
M07	-20.371785963	-0.000000000	-0.000000000
Blende	1.433657482	180.000000000	-0.000000000
M08	-10.187963295	180.000000000	-0.000000000
Wafer	-0.004140627	-0.000000000	0.000000000

Tabelle 3a zu Fig. 7

Koeffizient	Formel	M01	M02	M03
C7	x²y	2.1174801142e-08	1.1989744170e-07	-1.3797931887e-07
C9	y³	7.9980176200e-09	-3.5362142403e-07	3.8748673060e-08
C10	x⁴	6.2440301492e-12	2.7577237094e-11	-6.6405463948e-11
C12	x²y²	6.6254279949e-12	-1.7805715258e-10	7.4087849241e-11
C14	y⁴	-3.8675796924e-11	8.7756835100e-10	6.7653877979e-12
C16	x⁴y	1.8959036344e-14	9.9243055997e-14	3.7479448960e-14
C18	x²y³	4.8095697911e-14	1.3317234865e-15	-2.3867707009e-14
C20	y⁵	-7.5141261707e-14	-2.1074282163e-12	-5.4141757956e-14
C21	x⁶	6.8622080244e-18	-1.7071965936e-17	4.1736494743e-18
C23	x⁴y²	6.0907712011e-18	2.4464264430e-16	8.0161471382e-18
C25	x²y⁴	8.3909828142e-17	-1.2973060127e-16	-4.3898590062e-17
C27	y⁶	-1.6690476393e-16	7.4099466253e-15	7.8334243713e-17
C29	x⁶y	-7.3364982188e-21	2.4849084494e-19	1.5065355821e-20
C31	x⁴y³	-2.1394764719e-20	-1.0753819694e-18	-4.7619189576e-20
C33	x²y⁵	1.0942334040e-19	-1.0940889972e-18	2.7449846178e-20
C35	y⁷	-3.3832212226e-20	-1.4455177016e-17	4.5311399004e-19
C36	x⁸	-4.2922458387e-24	4.5505690074e-22	4.5619803413e-23
C38	x⁶y²	6.1664128041e-24	-3.8997511455e-23	-5.4666097712e-23
C40	x⁴y⁴	2.4985612094e-23	1.2854522646e-21	2.0503521492e-22
C42	x²y⁶	-1.5641989401e-22	4.8448153679e-21	2.5614705885e-21
C44	y⁸	1.0979142283e-21	-2.5021176674e-19	-6.3302549538e-22
C46	x⁸y	3.3630438005e-26	-5.5901692883e-25	-7.6381711572e-26
C48	x⁶y³	3.1487459729e-25	-8.1490046448e-25	2.0589935068e-25
C50	x⁴y⁵	2.2527226970e-24	8.2626699124e-24	1.8198645276e-24
C52	x²y⁷	-2.9044491366e-24	1.8921147342e-22	-1.0315175027e-23
C54	y⁹	-1.6163832334e-23	2.3419336995e-21	-3.4878654964e-23
C55	x¹⁰	-1.5249406869e-29	-2.3829982035e-27	-1.8187750017e-28
C57	x⁸y²	-1.0261849828e-28	5.2201627501e-27	3.7439063115e-28
C59	x⁶y⁴	-2.5788436965e-27	1.1415416017e-27	-4.3491378430e-28
C61	x⁴y⁶	1.4248767442e-27	-8.2749101952e-26	-3.2408638835e-26
C63	x²y⁸	9.0265830843e-28	-2.1611938456e-24	-1.6380230105e-25
C65	y¹⁰	-1.8418718563e-25	-4.3576149574e-24	1.3996699971e-25
C67	x¹⁰y	-1.5699502249e-31	6.8847345425e-30	2.3378941649e-31
C69	x⁸y³	-3.0516909101e-30	1.6496434205e-29	1.0913071218e-31
C71	x⁶y⁵	-3.4443833615e-29	2.1148924841e-28	-1.8712818771e-29
C73	x⁴y⁷	-8.4276040283e-29	-2.1280340569e-27	-6.2685199960e-29
C75	x²y⁹	2.0967832422e-28	-6.3948038201e-27	8.0736154794e-28
C77	y¹¹	-2.2894088470e-28	-4.0724437896e-26	9.3047037780e-28
C78	x¹²	2.1122109385e-34	1.0726058757e-32	5.6639417043e-35
C80	x¹⁰y²	8.1060598522e-34	-5.3774133078e-32	-1.5075649699e-33
C82	x⁸y⁴	2.6445683390e-32	1.2074487315e-31	-3.3880993742e-34
C84	x⁶y⁶	2.1247901811e-31	-2.6871982046e-31	1.1934842353e-31
C86	x⁴y⁸	-1.1672529203e-31	2.7894944685e-29	2.2496335961e-30
C88	x²y¹⁰	1.1778943675e-30	2.1859415004e-28	5.7224755335e-30
C90	y¹²	3.5010567181e-30	3.0580303822e-28	-5.8197214548e-30
C92	x¹²y	6.2250287994e-37	6.5367677580e-36	-2.4414616439e-37
C94	x¹⁰y³	1.5931164238e-35	2.2639266717e-35	-1.3915445025e-35
C96	x⁸y⁵	2.1985741917e-34	-4.0923874115e-33	2.6633023939e-35
C98	x⁶y⁷	1.4433628067e-33	-1.3563926447e-32	9.1430290886e-34
C100	x⁴y⁹	1.1097257434e-34	1.2205776740e-31	-4.2528490302e-34
C102	x²y¹¹	-6.7513837640e-34	-5.6135642570e-31	-2.7666119954e-32
C104	y¹³	1.1116011538e-32	1.9187331145e-31	-1.2668099219e-32
C105	x¹⁴	-9.0498871808e-40	-3.1771311781e-38	1.2736997198e-39
C107	x¹²y²	-2.7243375199e-39	5.7558530884e-37	6.7602492088e-40
C109	x¹⁰y⁴	-1.2312731339e-37	-2.1272959851e-36	-3.5785311828e-38
C111	x⁸y⁶	-1.8603265627e-36	1.6729970552e-36	-3.1709996386e-37
C113	x⁶y⁸	-7.0509229242e-36	-2.4619912833e-35	-8.4497718674e-36
C115	x⁴y¹⁰	3.5205198938e-36	-3.0400859114e-33	-7.7767055127e-35
C117	x²y¹²	-2.3197943913e-35	-9.5428587903e-33	-1.1502589044e-34
C119	y¹⁴	-1.3039074383e-35	-1.8764032094e-32	1.2716380410e-34
C121	x¹⁴y	-2.2401149205e-42	-1.3067146457e-40	-1.3195276417e-42
C123	x¹²y³	-4.2272379763e-41	-9.3423565108e-40	8.8020107969e-41
C125	x¹⁰y⁵	-8.3669998720e-40	2.3728445688e-38	3.1205113023e-40
C127	x⁸y⁷	-6.1382551780e-39	2.6968513474e-37	-2.1068220541e-39
C129	x⁶y⁹	-2.9111253787e-38	9.8159039085e-37	-1.3678812755e-38
C131	x⁴y¹¹	5.4279834264e-38	9.0309168595e-36	5.1656233166e-38
C133	x²y¹³	-1.2360977271e-37	8.2889688493e-35	4.7384612155e-37
C135	y¹⁵	-1.2787035404e-37	1.4474691853e-34	4.7735966305e-38
C136	x¹⁶	1.9496669313e-45	9.1154531274e-44	-4.2488253408e-45
C138	x¹⁴y²	5.9548988588e-45	-3.1697962341e-42	1.5930964003e-44
C140	x¹²y⁴	2.7529148552e-43	1.2887985337e-41	3.1148110324e-43
C142	x¹⁰y⁶	6.3530343554e-42	4.2011456647e-41	1.5440977589e-42
C144	x⁸ y⁸	4.790048043 le-41	-9.9159623677e-40	2.1403734624e-41
C146	x⁶ y¹⁰	9.4638079438e-41	1.4783904004e-39	2.0656051437e-40
C148	x⁴ y¹²	2.1948202624e-41	5.9405724504e-38	1.4074973934e-39
C150	x² y¹⁴	-1.0165201864e-40	-2.8054867594e-37	1.1680324708e-39
C152	y¹⁶	-4.2711871028e-40	-5.2755252791e-37	-1.3514412534e-39
C154	x¹⁶ y	3.6024654006e-48	4.9946944283e-46	5.0588284826e-48
C156	x¹⁴ y³	3.8297465267e-47	5.3404126392e-45	-1.7083865629e-46
C158	x¹² y⁵	1.1769264177e-45	-3.7467356886e-44	-1.1588231097e-45
C160	x¹⁰ y⁷	1.1581643635e-44	-7.7753601317e-43	8.4334983149e-46
C162	x⁸ y⁹	5.5236245288e-44	-6.1003485937e-42	6.2949920797e-45
C164	x⁶ y	2.2833881417e-43	-4.5623188554e-41	1.1238996175e-43
C166	x⁴ y¹³	-9.2603735584e-43	-3.9550474560e-40	-8.4110728210e-43
C168	x² y¹⁵	2.3849879076e-42	4.4893541206e-40	-2.9894253815e-42
C170	y¹⁷	-6.1413904766e-43	9.5163381902e-40	1.3531928344e-43
C171	x¹⁸	-1.8217035740e-51	-9.1124901724e-50	4.2309076161e-51
C173	x¹⁶ y²	-8.4733900600e-51	8.2468330293e-48	-3.3735116572e-50
C175	x¹⁴ y⁴	-2.1902329415e-49	-1.3747955017e-47	-7.8824115986e-49
C177	x¹² y⁶	-8.0838998212e-48	-2.2283703445e-46	-3.7934908221e-48
C179	x¹⁰ y⁸	-8.4386947553e-47	2.7836971569e-45	-4.2077457200e-47
C181	x⁸ y¹⁰	-4.1874318153e-46	2.9548263441e-44	-2.3128996559e-46
C183	x⁶ y¹²	-3.2580310845e-46	1.1493731927e-43	-2.0825363342e-45
C185	x⁴ y¹⁴	-1.6817962740e-45	6.3167008886e-43	-9.8032192667e-45
C187	x² y¹⁶	6.9370560479e-45	-2.9124894793e-43	-5.3983316466e-45
C189	y¹⁸	4.2367681827e-46	-6.7287596921e-43	5.8940194904e-45

Tabelle 3b zu Fig. 7

Koeffizient	Formel	M04	M05	M06
C7	x² y	2.6902982211e-08	2.8936205682e-08	-3.3247779979e-08
C9	y³	8.3730358539e-08	5.0914370159e-08	-3.0006529003e-08
C10	x⁴	3.5818605735e-12	-4.3587228178e-13	6.7438686569e-11
C12	x² y²	1.4467915885e-10	-2.8669697589e-11	8.4873379079e-11
C14	y⁴	7.5646220484e-10	-9.1895064550e-11	5.3441809822e-11
C16	x⁴ y	2.2216070363e-14	-9.1058498615e-15	5.4728450565e-14
C18	x² y³	5.5432159779e-13	-3.4841662596e-14	3.6017413950e-14
C20	y⁵	-6.7719825380e-13	2.0121909034e-13	-6.6133783758e-14
C21	x⁶	1.4545975601e-18	9.1988925615e-18	-1.7040688169e-16
C23	x⁴ y²	1.2788261895e-16	3.3277481636e-17	5.2029662288e-16
C25	x² y⁴	1.6300210774e-15	1.7390298957e-16	-3.3012947904e-16
C27	y⁶	-2.6227802822e-14	-4.6489343716e-16	7.7189293044e-16
C29	x⁶ y	1.5732915219e-20	-3.0252146628e-20	-7.0399564675e-19
C31	x⁴ y³	4.5692955506e-19	3.0809999722e-20	1.1645280513e-18
C33	x² y⁵	-2.2141550535e-17	-6.0785850731e-19	-3.0851751482e-18
C35	y⁷	-2.2007570305e-16	1.0746571783e-18	-1.5482914120e-17
C36	x⁸	-1.6648501578e-24	2.0089333092e-22	-6.4770191670e-21
C38	x⁶ y²	5.7552888332e-23	-1.8102627780e-22	-3.6065512167e-21
C40	x⁴ y⁴	-5.1775684738e-21	-1.2964783264e-21	-5.7781896397e-20
C42	x² y⁶	1.8332072830e-19	-4.1828912390e-22	4.7733979386e-20
C44	y⁸	3.4243484284e-17	-9.9726267644e-21	6.4712653761e-20
C46	x⁸ y	-3.2397417210e-27	-6.5510363374e-25	-2.1534095356e-22
C48	x⁶ y³	9.5583938620e-25	1.0367662620e-24	4.8272099299e-22
C50	x⁴ y⁵	2.1185860332e-22	7.9502534483e-24	5.8877037611e-22
C52	x² y⁷	2.8098810033e-20	-1.2851050708e-24	-3.6674008091e-22
C54	y⁹	1.0668818432e-19	8.0040576252e-23	8.2872459966e-22
C55	x¹⁰	6.5783074104e-30	-2.6940327729e-27	8.1655125861e-25
C57	x⁸ y²	4.1271246544e-28	3.4583221116e-27	-3.9208159979e-24
C59	x⁶ y⁴	1.0140982208e-25	8.4247940036e-27	-2.2392767243e-24
C61	x⁴ y⁶	1.3774151190e-23	4.2142559895e-26	1.3261041904e-23
C63	x² y⁸	2.6334374880e-23	1.2554108024e-25	2.0877321879e-24
C65	y¹⁰	-8.4906239200e-21	3.7024677120e-25	-8.8208974047e-24
C67	x¹⁰ y	2.9088205451e-32	1.4264317823e-29	2.1625114850e-26
C69	x⁸ y³	1.0353158271e-29	-2.1104190244e-29	-6.2509386516e-26
C71	x⁶ y⁵	2.2768822672e-27	-1.2677462963e-28	-2.3462550496e-25
C73	x⁴ y⁷	-2.1157405318e-26	-3.2688897985e-28	-1.6105913803e-25
C75	x² y⁹	-5.8945239240e-24	-7.0232036901e-28	3.7362193533e-26
C77	y¹¹	-2.0592513154e-23	-5.4448776982e-27	4.4436686019e-27
C78	x¹²	-4.8890108613e-36	1.5568756027e-32	-4.0950399152e-29
C80	x¹⁰ y²	-1.7967338099e-33	-4.9748663942e-32	3.8287353321e-28
C82	x⁸ v⁴	-2.1495628489e-31	75147502824e-34	1 .3069852869e-27
C84	x⁶ y⁶	-67238647002e-29	1.8122914103e-31	9.3140914953e-28
C86	x⁴ y⁸	-4.6206286547e-27	-3.4726563673e-30	-9.5083206673e-28
C88	x² y¹⁰	1.8620235323e-28	2.7630520707e-30	-6.2621515391e-28
C90	y¹²	2.1155138406e-24	-2.0577006821e-29	3.3720385863e-28
C92	x¹² y	-8.7205870151e-38	-1.1581815496e-34	-1.0007399867e-30
C94	x¹⁰ y³	-6.0308021218e-35	2.3329501375e-34	2.9963280814e-30
C96	x⁸ y⁵	-1.2230350234e-32	9.2162384666e-34	2.3128637870e-29
C98	x⁶ y⁷	-1.4066974868e-30	5.2763382356e-33	2.9063028483e-29
C100	x⁴ y⁹	-1.2922423069e-29	1.1482602342e-32	1.6889650706e-29
C102	x² y¹¹	8.1039269850e-28	4.2616571156e-32	1.5771278696e-30
C104	y¹³	1.2114603232e-26	2.4001356774e-31	-1.9706426998e-30
C105	x¹⁴	-5.4595738543e-42	-4.3924396328e-38	1.1684930617e-33
C107	x¹² y²	5.9385823866e-39	4.0887306962e-37	-1.4018480052e-32
C109	x¹⁰ y⁴	6.0694201556e-37	-8.0688764675e-37	-1.2329322685e-31
C111	x⁸ y⁶	1.0843084929e-34	-7.8340658455e-36	-2.1527307571e-31
C113	x⁶ y⁸	1.8417215372e-32	5.2564648364e-36	-1.4847105541e-31
C115	x⁴ y¹⁰	7.3974624174e-31	9.7132314977e-35	-1.7979048932e-32
C117	x² y¹²	1.9777574952e-30	-3.5170733243e-34	2.3971881635e-32
C119	y¹⁴	-3.3270614995e-28	5.8651644650e-34	3.1190073316e-33
C121	x¹⁴ y	4.2337088254e-43	4.1801691299e-40	2.2484309459e-35
C123	x¹² y³	3.0540949474e-40	-1.1035517700e-39	-3.8436654204e-35
C125	x¹⁰ y⁵	4.4400315834e-38	-2.7061458344e-39	-1.0662700884e-33
C127	x⁸ y⁷	6.9485310014e-36	2.3021607898e-38	-1.9626846271e-33
C129	x⁶ y⁹	5.0133376150e-34	-3.1806719331e-37	-9.4713447448e-34
C131	x⁴ y¹¹	6.2264305478e-33	2.4475503236e-37	-5.8859957609e-34
C133	x² y¹³	8.6487128022e-33	-1.9455431552e-36	-2.1557881512e-34
C135	y¹⁵	-4.2140319257e-30	-4.9561209575e-36	1.1209725565e-35
C136	x¹⁶	1.3303320191e-47	4.6292191952e-44	-1.8541276824e-38
C138	x¹⁴ y²	3.4295907574e-46	-1.7164680140e-42	1.7483410549e-37
C140	x¹² y⁴	2.7535997893e-42	6.1048480302e-42	4.5088606712e-36
C142	x¹⁰ y⁶	3.1419738857e-40	3.2084860066e-41	1.4230927852e-35
C144	x⁸ y⁸	4.8222404350e-38	1.0589313108e-40	1.3226337542e-35
C146	x⁶ y¹⁰	1.2551990634e-36	-2.4312556213e-41	7.8732286052e-36
C148	x⁴ y¹²	3.3128875761e-35	-1.2056724665e-39	3.4338805866e-36
C150	x² y¹⁴	-4.3501478341e-34	1.0592868162e-38	7.6864847922e-37
C152	y¹⁶	1.1903396199e-32	-7.4218898550e-39	-6.0158162658e-38
C154	x¹⁶ y	-4.1752421933e-49	-4.3643443857e-46	-1.9449599458e-40
C156	x¹⁴ y³	-3.2161434382e-46	1.6521607773e-45	-2.9280624874e-40
C158	x¹² y⁵	-3.1381167931e-44	2.6927160336e-45	1.6219112391e-38
C160	x¹⁰ y⁷	-2.5589188771e-42	-3.4255871218e-43	5.6105895182e-38
C162	x⁸ y⁹	-5.1835500205e-40	6.1363814911e-43	2.7650244185e-38
C164	x⁶ y¹¹	-1.8767739644e-38	3.8721297493e-42	-1.6505237097e-38
C166	x⁴ y¹³	3.0931853685e-37	-1.0096703705e-41	-7.6964268148e-39
C168	x² y¹⁵	-1.5777760684e-35	3.3992932061e-41	-1.3187710039e-39
C170	y¹⁷	4.4105310647e-34	3.6748787552e-41	1.0636554494e-40
C171	x¹⁸	3.7093557654e-54	-4.1670630369e-50	1.2774956991e-43
C173	x¹⁶ y²	-4.7012152422e-51	2.4947375500e-48	1.2320827615e-43
C175	x¹⁴ y⁴	-5.2019344929e-48	-1.2211078446e-47	-5.3774167323e-41
C177	x¹² y⁶	-6.2815865764e-47	1.0147782248e-47	-3.0090064784e-40
C179	x¹⁰ y⁸	-5.4889948522e-44	1.0055804681e-45	-4.5530694157e-40
C181	x⁸ y¹⁰	-3.5940876754e-42	-6.2373911512e-45	-1.7302619999e-40
C183	x⁶ y¹²	-1.0644406210e-40	1.2032076826e-44	9.5421263771e-42
C185	x⁴ y¹⁴	1.8289550742e-39	-1.7081120533e-44	6.3813940934e-42
C187	x² y¹⁶	-1.0493218014e-37	-7.8571254843e-44	9.0036099967e-43
C189	y¹⁸	2.0596747055e-36	-7.4465345998e-45	-6.9564863186e-44

Tabelle 3c zu Fig. 7 Koordinaten des Blendenrandes

Koeffizient	Formel	M07	M08
C7	x² y	6.7970642423e-07	-8.2894401535e-09
C9	y³	-5.9078575122e-07	2.1079080222e-08
C10	x⁴	3.9701219519e-10	-1.2639355247e-11
C12	x²y²	1.1770112269e-09	-5.8671799363e-11
C14	y⁴	2.4637068524e-09	-1.5568955969e-11
C16	x⁴ y	1.0502216981e-12	-2.1593191431e-14
C18	x² y³	3.4008082302e-12	3.0658352454e-15
C20	y⁵	-7.5135572239e-12	2.1577751942e-14
C21	x⁶	4.8383957865e-16	-2.3742571355e-17
C23	x⁴ y²	5.2286574774e-15	-1.0582481672e-16
C25	x² y⁴	8.6827912201e-16	-1.1291571767e-16
C27	y⁶	2.6095833165e-14	-2.5689284444e-17
C29	x⁶ y	3.6627518762e-18	-2.3194913367e-20
C31	x⁴ y³	1.0881286866e-17	-2.5037817502e-20
C33	x² y⁵	2.4533623457e-17	2.2975747813e-20
C35	y⁷	-1.2356057364e-16	2.6651822491e-20
C36	x⁸	1.6285109456e-21	-3.5366141166e-23
C38	x⁶ y²	1.6999606660e-20	-1.4861649304e-22
C40	x⁴ y⁴	5.3165121408e-20	-2.6406866513e-22
C42	x² y⁶	-8.4138193599e-20	-1.7679836743e-22
C44	y⁸	4.4074844183e-19	-3.3432019844e-23
C46	x⁸ y	9.6430446019e-24	-1.1786079307e-26
C48	x⁶ y³	6.1448438107e-23	-6.3546817009e-26
C50	x⁴ y⁵	-8.5529066332e-23	-9.1475494697e-27
C52	x² y⁷	6.7483094152e-22	5.2515852352e-26
C54	y⁹	1.4673220379e-21	2.2993114320e-26
C55	x¹⁰	4.1225387383e-27	-2.0377027815e-29
C57	x⁸ y²	6.2729343801e-26	-3.0629620047e-28
C59	x⁶ y⁴	2.5978116495e-25	-7.9902386913e-28
C61	x⁴ y⁶	1.7522096253e-24	-9.4569588133e-28
C63	x² y⁸	6.6679293367e-24	-4.6512425655e-28
C65	y¹⁰	8.5095016125e-24	-9.7375687594e-29
C67	x¹⁰ y	9.0085922037e-30	-4.2350989163e-32
C69	x⁸ y³	3.5057250047e-28	2.1557736741e-32
C71	x⁶ y⁵	4.7025528427e-27	-8.9665066453e-32
C73	x⁴ y⁷	1.6191419220e-26	-7.7362939590e-32
C75	x² y⁹	-2.1292935872e-26	2.6358918731e-32
C77	y¹¹	-3.5393383200e-25	5.2757653981e-32
C78	x¹²	-2.1359063228e-32	-2.5789293433e-35
C80	x¹⁰ y²	4.8435808605e-31	4.4104962582e-34
C82	x⁸ y⁴	2.2669035524e-30	2.1509031171e-33
C84	x⁶ y⁶	-1.7225486468e-29	4.5151491587e-33
C86	x⁴ y⁸	-1.4597826495e-28	3.9319587542e-33
C88	x² y¹⁰	-9.7446863145e-28	1.2091962521e-33
C90	y¹²	9.7215792255e-28	1.8506083494e-34
C92	x¹² y	1.0156254191e-33	-1.8827122974e-37
C94	x¹⁰ y³	9.2877834885e-33	-1.3366539492e-36
C96	x⁸ y⁵	-4.6411119050e-32	-1.3353040419e-36
C98	x⁶ y⁷	-4.6268678045e-31	5.9288629388e-37
C100	x⁴ y⁹	-1.3732016825e-30	1.7526888076e-36
C102	x² y¹¹	5.0399712919e-30	1.2518058326e-36
C104	y¹³	1.6049192180e-29	2.0342744359e-37
C105	x¹⁴	4.1953615265e-37	-1.7271127409e-40
C107	x¹² y²	-7.0000666356e-37	-3.9645826651e-39
C109	x¹⁰ y⁴	-2.6113898116e-35	-2.0926367546e-38
C111	x⁸ y⁶	2.5109998852e-34	-5.3037026852e-38
C113	x⁶ y⁸	2.8449614741e-33	-6.7087350234e-38
C115	x⁴ y¹⁰	1.4799238868e-32	-4.3306102675e-38
C117	x² y¹²	5.1678535529e-32	-1.1259492734e-38
C119	y¹⁴	-9.6213102793e-32	-1.1603180007e-39
C121	x¹⁴ y	-1.2672765169e-38	8.5472281223e-43
C123	x¹² y³	-2.0767830748e-37	5.9087817199e-42
C125	x¹⁰ y⁵	-1.2960033991e-37	9.8772532421e-42
C127	x⁸ y⁷	7.6201604393e-36	2.0864897943e-42
C129	x⁶ y⁹	3.0786092579e-35	-1.1268111746e-41
C131	x⁴ y¹¹	4.9183755647e-35	-1.2446375466e-41
C133	x² y¹³	-4.2745386027e-34	-6.9853781895e-42
C135	y¹⁵	-3.0198258643e-34	-1.2712693546e-42
C136	x¹⁶	-3.2639938335e-42	5.0096225730e-46
C138	x¹⁴ y²	-1.5525179590e-41	1.2105494087e-44
C140	x¹² y⁴	2.3895501062e-40	7.7993368972e-44
C142	x¹⁰ y⁶	2.8552512886e-40	2.4755423678e-43
C144	x⁸ y⁸	-3.3901937227e-38	4.1745155229e-43
C146	x⁶ y¹⁰	-1.9655261239e-37	3.9322107368e-43
C148	x⁴ y¹²	-8.2379066952e-37	2.0124339374e-43
C150	x² y¹⁴	-9.9193562139e-37	4.1716336752e-44
C152	y¹⁶	4.1962214480e-36	3.1010579959e-45
C154	x¹⁶ y	1.1580267699e-43	-2.3675469449e-48
C156	x¹⁴ y³	2.7319385918e-42	-1.8659173127e-47
C158	x¹² y⁵	1.4018721248e-41	-4.6101048907e-47
C160	x¹⁰ y⁷	-3.5064542017e-41	-4.2954997978e-47
C162	x⁸ y⁹	-4.3381418953e-40	2.1872108271e-47
C164	x⁶ y¹¹	-1.0361610776e-39	6.9732946279e-47
C166	x⁴ y¹³	-3.2518392263e-40	5.7726988504e-47
C168	x² y¹⁵	1.7849778855e-38	2.8120356200e-47
C170	y¹⁷	-9.0358932498e-39	5.3520269194e-48
C171	x¹⁸	2.2198733683e-47	-1.3519141401e-51
C173	x¹⁶ y²	5.7311741316e-46	-2.8897477192e-50
C175	x¹⁴ y⁴	4.9461334881e-45	-2.0485040722e-49
C177	x¹² y⁶	1.3393924193e-44	-7.5236646888e-49
C179	x¹⁰ y⁸	1.2990662420e-43	-1.5690873359e-48
C181	x⁸ y¹⁰	1.9397890176e-42	-1.9545219554e-48
C183	x⁶ y¹²	6.7622219538e-42	-1.4616727693e-48
C185	x⁴ y¹⁴	2.7005399337e-41	-6.2091358891e-49
C187	x² y¹⁶	-3.1716206518e-41	-1.1118992179e-49
C189	y¹⁸	-3.8203956226e-41	-7.1282199203e-51
C191	x¹⁸ y	-5.4447916296e-49	3.2039971584e-54
C193	x¹⁶ y³	-1.6517668017e-47	2.9536859588e-53
C195	x¹⁴ y⁵	-1.3942505179e-46	9.4356644907e-53
C197	x¹² y⁷	-2.5876132845e-46	1.4293579867e-52
C199	x¹⁰ y⁹	2.2045472140e-45	4.3548558136e-53
C201	x⁸ y¹¹	1.0716887109e-44	-1.4247679093e-52
C203	x⁶ y¹³	2.0380217012e-44	-1.9863557956e-52
C205	x⁴ y¹⁵	-5.2803582029e-44	-1.3054475128e-52
C207	x² y¹⁷	-2.2419329092e-43	-5.4868828706e-53
C209	y¹⁹	2.4877563605e-43	-1.0099252056e-53
C210	x²⁰	-8.9327229128e-53	1.7970943296e-57
C212	x¹⁸ y²	-4.2152206640e-51	3.7608786470e-56
C214	x¹⁶ y⁴	-6.3645033096e-50	2.9065681533e-55
C216	x¹⁴ y⁶	-3.6369055165e-49	1.2080200826e-54
C218	x¹² y⁸	-9.9749679811e-49	2.9787459814e-54
C220	x¹⁰ y¹⁰	-5.5258229488e-48	4.6315533987e-54
C222	x⁸ y¹²	-4.8656256980e-47	4.5792000902e-54
C224	x⁶ y¹⁴	-1.2157558726e-46	2.8452231315e-54
C226	x⁴ y¹⁶	-3.2787067054e-46	1.0305641711e-54
C228	x² y¹⁸	1.0728913097e-45	1.6184312129e-55
C230	y²⁰	-5.7046137479e-46	9.0177653609e-57
C232	x²⁰ y	1.2276085551e-54	-2.0894750662e-60
C234	x¹⁸ y³	4.4080266077e-53	-2.2136833230e-59
C236	x¹⁶ y⁵	4.9384078173e-52	-8.7756059518e-59
C238	x¹⁴ y⁷	2.0892235257e-51	-1.8439035136e-58
C240	x¹² y⁹	6.7673603843e-52	-1.7378672310e-58
C242	x¹⁰ y¹¹	-3.8096714699e-50	2.7445146337e-59
C244	x⁸ y¹³	-7.9387347722e-50	2.2923432344e-58
C246	x⁶ y¹⁵	-2.2374465113e-49	2.3826110438e-58
C248	x⁴ y¹⁷	1.3277981388e-48	1.3698462898e-58
C250	x² y¹⁹	-1.5320505047e-48	5.0315916673e-59
C252	y²¹	6.6606646146e-49	8.5645107817e-60
C253	x²²	1.8462871592e-58	-1.2652222688e-63
C255	x²⁰ y²	1.3035807840e-56	-2.5110269625e-62
C257	x¹⁸ y⁴	2.5630550325e-55	-2.0153247661e-61
C259	x¹⁶ y⁶	2.0097364713e-54	-9.0879946944e-61
C261	x¹⁴ y⁸	8.2347344956e-54	-2.5348268529e-60
C263	x¹² y¹⁰	1.2572723477e-53	-4.6572219719e-60
C265	x¹⁰ y¹²	9.7429169012e-53	-5.7420266651e-60
C267	x⁸ y¹⁴	3.7343879328e-52	-4.7173897302e-60
C269	x⁶ y¹⁶	1.1315981070e-51	-2.5280992143e-60
C271	x⁴ y¹⁸	-1.2286991914e-51	-8.1186738159e-61
C273	x² y²⁰	4.8801464776e-52	-1.2112653718e-61
C275	y²²	-3.8028486496e-52	-6.8360525636e-63

Tabelle 4 zu Fig. 7

x _i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-402.949474	-54.556507	403.374997	-67.760326
-402.301960	-47.907550	403.152254	-74.306857
-401.365920	-41.232932	402.639488	-80.811093
-400.142937	-34.537026	401.837539	-87.269148
-398.635063	-27.824262	400.747727	-93.677266
-396.844809	-21.099111	399.371838	-100.031820
-394.775127	-14.366071	397.712114	-106.329323
-392.429401	-7.629654	395.771237	-112.566425
-389.811422	-0.894369	393.552307	-118.739917
-386.925373	5.835282	391.058824	-124.846728
-383.775808	12.554822	388.294665	-130.883926
-380.367628	19.259798	385.264057	-136.848713
-376.706057	25.945793	381.971550	-142.738422
-372.796623	32.608429	378.421993	-148.550513
-368.645127	39.243366	374.620502	-154.282569
-364.257623	45.846309	370.572433	-159.932288
-359.640392	52.413005	366.283353	-165.497475
-354.799912	58.939247	361.759011	-170.976040
-349.742838	65.420866	357.005310	-176.365986
-344.475973	71.853738	352.028280	-181.665403
-339.006244	78.233772	346.834051	-186.872461
-333.340677	84.556915	341.428829	-191.985402
-327.486369	90.819141	335.818873	-197.002535
-321.450464	97.016447	330.010473	-201.922226
-315.240131	103.144847	324.009931	-206.742894
-308.862536	109.200364	317.823543	-211.463009
-302.324819	115.179019	311.457585	-216.081080
-295.634073	121.076824	304.918297	-220.595657
-288.797320	126.889769	298.211871	-225.005325
-281.821492	132.613816	291.344443	-229.308702
-274.713411	138.244882	284.322080	-233.504434
-267.479769	143.778834	277.150779	-237.591197
-260.127114	149.211479	269.836450	-241.567692
-252.661834	154.538552	262.384923	-245.432644
-245.090143	159.755716	254.801933	-249.184803
-237.418070	164.858553	247.093120	-252.822941
-229.651447	169.842566	239.264030	-256.345855
-221.795901	174.703181	231.320105	-259.752362
-213.856847	179.435754	223.266689	-263.041303
-205.839483	184.035577	215.109018	-266.211543
-197.748786	188.497893	206.852231	-269.261970
-189.589513	192.817907	198.501357	-272.191498
-181.366197	196.990805	190.061326	-274.999067
-173.083152	201.011766	181.536964	-277.683643
-164.744479	204.875983	172.932999	-280.244225
-156.354070	208.578675	164.254057	-282.679839
-147.915618	212.115105	155.504670	-284.989546
-139.432626	215.480590	146.689278	-287.172443
-130.908422	218.670522	137.812230	-289.227663
-122.346170	221.680371	128.877792	-291.154378
-113.748888	224.505711	119.890147	-292.951802
-105.119462	227.142226	110.853406	-294.619192
-96.460664	229.585735	101.771608	-296.155852
-87.775169	231.832213	92.648726	-297.561132
-79.065572	233.877816	83.488676	-298.834434
-70.334401	235.718910	74.295320	-299.975208
-61.584136	237.352108	65.072474	-300.982959
-52.817216	238.774300	55.823911	-301.857248
-44.036054	239.982694	46.553370	-302.597689
-35.243042	240.974852	37.264557	-303.203955
-26.440561	241.748723	27.961157	-303.675776
-17.630982	242.302677	18.646833	-304.012942
-8.816673	242.635529	9.325234	-304.215302
0.000000	242.746560	0.000000	-304.282765
8.816673	242.635529	-9.325234	-304.215302
17.630982	242.302677	-18.646833	-304.012942
26.440561	241.748723	-27.961157	-303.675776
35.243042	240.974852	-37.264557	-303.203955
44.036054	239.982694	-46.553370	-302.597689
52.817216	238.774300	-55.823911	-301.857248
61.584136	237.352108	-65.072474	-300.982959
70.334401	235.718910	-74.295320	-299.975208
79.065572	233.877816	-83.488676	-298.834434
87.775169	231.832213	-92.648726	-297.561132
96.460664	229.585735	-101.771608	-296.155852
105.119462	227.142226	-110.853406	-294.619192
113.748888	224.505711	-119.890147	-292.951802
122.346170	221.680371	-128.877792	-291.154378
130.908422	218.670522	-137.812230	-289.227663
139.432626	215.480590	-146.689278	-287.172443
147.915618	212.115105	-155.504670	-284.989546
156.354070	208.578675	-164.254057	-282.679839
164.744479	204.875983	-172.932999	-280.244225
173.083152	201.011766	-181.536964	-277.683643
181.366197	196.990805	-190.061326	-274.999067
189.589513	192.817907	-198.501357	-272.191498
197.748786	188.497893	-206.852231	-269.261970
205.839483	184.035577	-215.109018	-266.211543
213.856847	179.435754	-223.266689	-263.041303
221.795901	174.703181	-231.320105	-259.752362
229.651447	169.842566	-239.264030	-256.345855
237.418070	164.858553	-247.093120	-252.822941
245.090143	159.755716	-254.801933	-249.184803
252.661834	154.538552	-262.384923	-245.432644
260.127114	149.211479	-269.836450	-241.567692
267.479769	143.778834	-277.150779	-237.591197
274.713411	138.244882	-284.322080	-233.504434
281.821492	132.613816	-291.344443	-229.308702
288.797320	126.889769	-298.211871	-225.005325
295.634073	121.076824	-304.918297	-220.595657
302.324819	115.179019	-311.457585	-216.081080
308.862536	109.200364	-317.823543	-211.463009
315.240131	103.144847	-324.009931	-206.742894
321.450464	97.016447	-330.010473	-201.922226
327.486369	90.819141	-335.818873	-197.002535
333.340677	84.556915	-341.428829	-191.985402
339.006244	78.233772	-346.834051	-186.872461
344.475973	71.853738	-352.028280	-181.665403
349.742838	65.420866	-357.005310	-176.365986
354.799912	58.939247	-361.759011	-170.976040
359.640392	52.413005	-366.283353	-165.497475
364.257623	45.846309	-370.572433	-159.932288
368.645127	39.243366	-374.620502	-154.282569
372.796623	32.608429	-378.421993	-148.550513
376.706057	25.945793	-381.971550	-142.738422
380.367628	19.259798	-385.264057	-136.848713
383.775808	12.554822	-388.294665	-130.883926
386.925373	5.835282	-391.058824	-124.846728
389.811422	-0.894369	-393.552307	-118.739917
392.429401	-7.629654	-395.771237	-112.566425
394.775127	-14.366071	-397.712114	-106.329323
396.844809	-21.099111	-399.371838	-100.031820
398.635063	-27.824262	-400.747727	-93.677266
400.142937	-34.537026	-401.837539	-87.269148
401.365920	-41.232932	-402.639488	-80.811093
402.301960	-47.907550	-403.152254	-74.306857
402.949474	-54.556507	-403.374997	-67.760326
403.307360	-61.175504	-403.307360	-61.175504

Die Spiegel M1, M3, M4, M5 und M8 haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Die Spiegel M2, M6 und M7 haben positive Radiuswerte, sind grundsätzlich also Konvexspiegel. Die Spiegel M1 bis M8 der Projektionsoptik 7 nach 7 haben keine R_x, R_y-Radiuswerte mit jeweils sich unterscheidenden Vorzeichen. Keiner der Spiegel M1 bis M8 hat also grundsätzlich die Form einer Sattelfläche.
Eine Berandung einer Blendenfläche der Blende (vgl. auch die Tabelle 4 zur 7) ergibt sich durch Durchstoßpunkte an der Blendenfläche aller Strahlen des Beleuchtungslichts 3, die bildseitig am Feldmittelpunkt mit einer vollen bildseitigen telezentrischen Apertur in Richtung der Blendenfläche propagieren. Bei der Ausführung der Blende als Aperturblende handelt es sich bei der Berandung um eine innere Berandung.
Die Blende AS kann in einer Ebene liegen oder auch dreidimensional ausgeführt sein. Die Ausdehnung der Blende AS kann in Scanrichtung (y) kleiner sein als in cross-Scanrichtung (x).

Weitere Daten der Projektionsoptik 7 ergeben sich aus der nachfolgenden Tabelle 5: Tabelle 5 zu Fig. 7

NA	Numerische Apertur	0,75
\|βxl	Vergrößerungsmaßstab in Crossscanrichtung	4
\|βy\|	Vergrößerungsmaßstab in Scanrichtung	8
RMS	gescannte Wellenfrontabweichung	10,0 mλ
N	Anzahl der Spiegel	8

Der in der Tabelle 5 angegebene Wert NA bezeichnet die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik. Es handelt sich hier also um eine andere Größe als die oben eingeführte Größe NA, die ein Maß ist für einen Winkel zwischen einer Normalen auf der zu prüfenden optischen Oberfläche und einer optischen Achse.
Die Projektionsoptik 7 ist ausgelegt auf eine Wellenlänge des Beleuchtungslichts 3 von 13,5 nm.
Der mittlere Wellenfrontfehler RMS (gescannte Wellenfrontabweichung) ist ein Maß für die Abbildungsqualität der Projektionsoptik 7.
Die Projektionsoptik 7 ist bildseitig zumindest näherungsweise telezentrisch.
Die 8 bis 15 zeigen Randkonturen der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8 in deren jeweiligen lokalen xy-Koordinaten. Zudem sind noch Linien gleicher Höhe in den 8 bis 15 eingezeichnet, um eine grobe Vorstellung für einen Krümmungsverlauf der Spiegel M1 bis M8 zu geben.
Die lokalen xy-Koordinaten, die nachfolgend zur Beschreibung insbesondere der Spiegel M1 bis M8 gegeben werden, haben jeweils x-Achsen, die zur x-Achse des globalen xyz-Koordinatensystems nach 7 parallel verlaufen. Die y-Achse der lokalen Koordinaten ist um die jeweilige x-Achse jeweils verkippt, sodass die lokale xy-Ebene mit einer hauptsächlichen Anordnungsebene, in der die Reflexionsfläche des jeweiligen Spiegel M1 bis M8 angeordnet ist, übereinstimmt.
Zu beachten sind die unterschiedlichen Skalierungen der x- und y-Koordinaten in den 8 bis 15. Die GI-Spiegel M2, M3, M5, M6 haben stark von eins abweichende x/y-Aspektverhältnisse ihrer Reflexionsflächen, wobei die x-Dimension regelmäßig deutlich größer ist als die y-Dimension, sodass Aspektverhältnisse resultieren, die auch deutlich größer sind als 2 und die auch deutlich größer sein können als 3. Eine Ausnahme ist der Spiegel M6, bei dem eine y-Dimension der Erstreckung der Nutz-Reflexionsfläche in etwa so groß ist wie die x-Dimension.
Der NI-Spiegel M4 hat ein sehr großes x/y-Aspektverhältnis, das in der Größenordnung von 10 liegt. Senkrecht zur Meridionalebene der 7 hat der NI-Spiegel M4 also eine viel größere Erstreckung als in der Meridionalebene.
Die teilweise von einer runden Form sehr stark abweichenden Randkonturen der Spiegel M1 bis M7, das teilweise stark von 1 abweichende x/y-Aspektverhältnis sowie zum Teil auch die absolute Ausdehnung der Nutz-Reflexionsfläche, die beim Spiegel M8 größer ist als bei allen anderen Spiegeln, bedingt neben der Topographie der Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8 jeweils eine unterschiedliche Randkontur des Prüflicht-Strahlengangs 28 bei der Vermessung der Nutz-Reflexionsfläche des jeweiligen Spiegels M1 bis M8. Dies ist in den 16 bis 23 verdeutlicht, die die Randkonturen 28_M1 bis 28_M8 der Prüflicht-Strahlengänge zur Prüfung der Spiegel M1 bis M8 für jeweils den hinsichtlich der Abdeckung durch die DOEs 16₁ optimierten Fall gemäß dem vorstehend beschriebenen Beispiels der Randkontur 28₃ (vgl. 6A) zeigen. Zu beachten ist hierbei, dass sich die Randkonturen 28_Mi des Prüflicht-Strahlengangs von den in den 8 bis 15 dargestellten Randkonturen der Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8 auch qualitativ zum Teil sehr deutlich unterscheiden. So ist beispielsweise die Randkontur 28_M8 des hinsichtlich seiner Nutz-Reflexionsfläche mit guter Näherung kreisförmig berandeten Spiegels M8 deutlich von einer Kreisform abweichend.
Aus der Skalierung der x- und y-Koordinaten der 16 bis 23 ergibt sich auch, dass eine Flächenerstreckung der Randkonturen 28_Mi sich spiegelabhängig deutlich voneinander unterscheidet. So ist die Flächenerstreckung der Randkontur 28_M8 des Prüflicht-Strahlengangs zur Vermessung der Nutz-Reflexionsfläche des Spiegels M8 so klein, dass sie von einem einzigen DOE 16 vollständig überdeckt wird. Die Randkonturen 28_M1, 28_M4, 28_M6 sind so ausgedehnt, dass zur vollständigen Abdeckung diese Randkonturen jeweils zwei DOEs 16₁, 16₂ erforderlich sind. Für die Abdeckung der Randkonturen 28_M3 und 28_M5 des Prüflicht-Strahlengangs für die Spiegel M3 und M5 sind jeweils drei DOEs 16₁, 16₂, 16₃ erforderlich. Zur Abdeckung der Randkontur 28_M2 sind vier DOEs 16₁ bis 16₄ und zur Abdeckung der Randkontur 28_M7 des Prüflicht-Strahlengangs für den Spiegel M7 sind sieben DOEs 16₁ bis 16₇ erforderlich.
Insgesamt sind zur vollständigen Vermessung aller Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8 der abbildenden Optik 7 nach 7 also zwei + vier + drei + zwei + drei + zwei + sieben + eins = 24 DOEs 16₁ erforderlich, also genau dreimal so viel DOEs 16_i wie zu vermessende Spiegel M1 bis M8.
Die maximale Anzahl von DOE 16i, die zur Vermessung genau einer Reflexionsfläche eines der Spiegel M1 bis M8 erforderlich ist, ist bei der Projektionsoptik 7 nach 7 also sieben für den Spiegel M7.
24 zeigt eine weitere Ausführung eines Projektionsoptik bzw. abbildenden Optik 31, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 23 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Die Projektionsoptik 31 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,75.
Die Projektionsoptik 31 hat insgesamt elf Spiegel M1 bis M11. Die Spiegel M1, M10 und M11 sind als Spiegel für normalen Einfall ausgeführt. Die Spiegel M2 bis M9 sind als Spiegel für streifenden Einfall des Beleuchtungslichts 3 ausgeführt. Die Projektionsoptik 31 hat genau acht Spiegel für streifenden Einfall.
Die Spiegel M2 bis M8, also sieben der acht GI-Spiegel der Projektionsoptik 31, reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf den jeweiligen Spiegel M2 bis M8 addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken. Der nachfolgende GI-Spiegel M9 ist ein sogenannter Konterspiegel und reflektiert das Abbildungslicht 3 so, dass sich eine gegen die Umlenkwirkung der Spiegel M2 bis M8 gerichtete Umlenkwirkung ergibt, die sich also subtraktiv auf die Umlenkwirkung der GI-Spiegel M2 bis M8 auswirkt. Entsprechend der Regeln für die umliegende Wirkung der Spiegel, die im Zusammenhang mit den Projektionsoptik-Ausführungen der DE 10 2019 219 209 A1 genannt sind, hat die Projektionsoptik 31 für die Spiegel M1 bis M11 folgende Abfolge umlenkender Wirkungen: RLLLLLLLR0L.
Die Projektionsoptik 31 ist objektseitig näherungsweise telezentrisch. Die Eintrittspupille liegt, wenn der Abbildungsstrahlengang ausschließlich in Bezug auf die Einzelstrahlen, die das Objektfeld 4 passieren, berücksichtigt wird, in der xz-Ebene 4001,06 mm nach dem Objektfeld 4 und in der yz-Ebene 6466,33 mm nach dem Objektfeld 4.
Die Projektionsoptik 31 hat eine Pupillenebene im Strahlengang zwischen den Spiegeln M1 und M2. Eine Zwischenbildebene liegt im Bereich einer Reflexion am Spiegel M5. Eine weitere Pupillenebene liegt im Abbildungslicht-Strahlengang zwischen den Spiegeln M5 und M6. Eine weitere Zwischenbildebene liegt zwischen den Spiegeln M6 und M7. Die Anzahl der Zwischenbildebenen unterscheidet sich von der Zwischenbild-Anzahl in der Meridionalebene nach 24 von der Zwischenbild-Anzahl in der hierzu senkrechten Ebene. Derartige Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Zwischenbild-Anzahlen in zueinander senkrechten Ebenen sind grundsätzlich bekannt aus der WO 2016/166080 A1 und der DE 10 2015 226 531 A1 .
Die optischen Designdaten für die Projektionsoptik 31 ergeben sich aus den nachfolgenden Tabellen 1 bis 5, die wiederum vom Grundaufbau her den Tabellen 1 bis 5 zur Ausführung nach 7 entsprechen.

Radien der Flächen Tabelle 1 zu Fig. 24

	Radius _x [mm]	Power _x [1/mm]	Radius _y [mm]	Power _y [1/mm]
M01	-5043.37023844	0.00038813	-2042.86166975	0.00095822
M02	-30415.47889237	0.00001287	26963.82408958	-0.00001452
M03	-8486.32405306	0.00004763	5633.72518157	-0.00007175
M04	-5277.47408171	0.00004620	-11734.64283564	0.00002078
M05	-1467.59917784	0.00031042	-3857.10103746	0.00011811
M06	-973.61865002	0.00058199	-1731.71334144	0.00032721
M07	-1924.50822132	0.00015276	-16879.47119438	0.00001742
M08	6166.26357440	-0.00008257	-3537.09214074	0.00014394
M09	-3966.73768242	0.00016591	1948.22898194	-0.00033781
M10	25483.32557260	-0.00006840	359.56085674	-0.00484758
M11	-954.45352800	0.00206189	-777.18598478	0.00253218

Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen Tabelle 2 zu Figur 24

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	197.140408508	2047.381422893
M02	0.000000000	570.780746017	909.549156095
M03	0.000000000	976.403611864	585.426570971
M04	0.000000000	1607.622418091	323.810402777
M05	0.000000000	2196.231172328	281.390843146
M06	0.000000000	2731.732101857	473.978872934
M07	0.000000000	3002.757211233	775.232622615
M08	0.000000000	3081.039882645	1059.350814400
M09	0.000000000	3041.986439678	1277.910150281
M10	0.000000000	3370.532600948	2187.046499371
Blende	0.000000000	3337.532188605	2095.752968097
M11	-0.000000000	3148.568109526	1572.995922393
Wafer	0.000000000	3148.567979010	2300.000590487
	α _x [°]	α _y [°]	α _z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	6.339549673	0.000000000	0.000000000
M02	-55.224167225	180.000000000	0.000000000
M03	149.430210289	0.000000000	0.000000000
M04	-13.317091330	180.000000000	0.000000000
M05	187.829311144	0.000000000	0.000000000
M06	33.902149793	180.000000000	0.000000000
M07	241.309619348	0.000000000	0.000000000
M08	87.363309364	180.000000000	0.000000000
M09	85.131020296	0.000000000	0.000000000
M10	-19.871341113	0.000000000	180.000000000
Blende	160.126297478	-0.000000000	-0.000000000
M11	170.063153882	-0.000000000	0.000000000
Wafer	0.000010286	0.000000000	180.000000000

Freiformkoeffizienten der Flächen Tabelle 3a zu Figur 24

Koeffizient	Formel	M01	M02	M03
C7	x² y	-1.2741868398e-08	-1.4819181706e-08	1.1295957762e-07
C9	y³	-1.9184163301e-08	1.0993836744e-08	-1.6879870366e-08
C10	x⁴	-5.0652957833e-12	1.2845429487e-10	1.1085897949e-10
C12	x² y²	8.9461937748e-11	-1.2363844612e-10	-5.0886369628e-11
C14	y⁴	-2.0368284638e-11	-1.5223462064e-11	-5.0067209640e-11
C16	x⁴ y	-7.2468109998e-14	-1.0885363078e-13	-2.2834099144e-13
C18	x² y³	-1.2344154720e-13	-1.8534841755e-13	-1.6880203405e-13
C20	y⁵	-3.6210262766e-16	-1.5035596255e-14	-3.4089256547e-14
C21	x⁶	1.1439984274e-17	-6.4842115323e-17	-3.2360466788e-16
C23	x⁴ y²	-1.4884601952e-17	-6.9997664309e-17	-7.7928873452e-17
C25	x² y⁴	1.1384372878e-16	1.8832826285e-16	-2.1238435246e-17
C27	y⁶	7.3627428342e-17	-2.3566064016e-16	2.1514000028e-16
C29	x⁶y	2.4308604391e-21	-1.1485613790e-19	-2.9343431558e-19
C31	x⁴y³	1.8637506957e-19	3.5416465757e-19	1.7996340613e-19
C33	x²y⁵	-7.8582221425e-19	-2.1344292037e-19	5.3673550749e-19
C35	y⁷	3.3087289811e-19	-8.3363669699e-19	-3.0316225567e-19
C36	x⁸	-2.8770762310e-23	-1.1609574295e-22	-3.7650145908e-22
C38	x⁶y²	-5.2131672621e-22	-1.3528116535e-21	7.9071630361e-22
C40	x⁴y⁴	1.6422080968e-21	-1.5012077445e-21	4.0291179705e-21
C42	x²y⁶	9.0616177414e-22	-1.0683248462e-21	2.3739951598e-21
C44	y⁸	-1.3621023978e-20	-2.8643370712e-21	2.7159317416e-22
C46	x⁸y	2.6714674908e-25	-7.4611966222e-25	7.5680577607e-25
C48	x⁶y³	-1.0401759038e-24	1.6001444733e-23	4.5018293915e-24
C50	x⁴y⁵	1.7160347562e-24	2.5305794560e-23	2.5940609257e-24
C52	x²y⁷	5.7684575220e-24	7.343 5934462e-24	3.1521660218e-24
C54	y⁹	-5.7051662721e-23	-1.4022490726e-23	-4.6134097295e-24
C55	x¹⁰	1.1348121831e-27	-6.1257584556e-28	1.8100013129e-27
C57	x⁸y²	1.2898656724e-26	4.4653393609e-26	-1.4134009130e-26
C59	x⁶y⁴	-1.1601497283e-26	7.4922477719e-26	-7.8450168837e-26
C61	x⁴y⁶	-1.6932682227e-25	5.7786884461e-26	-1.5865195643e-25
C63	x²y⁸	4.8686431126e-26	-1.9079857249e-26	-1.3775612391e-25
C65	y¹⁰	1.2483436751e-24	-5.5493346877e-26	5.3566038925e-26
C67	x¹⁰y	-3.2431818733e-30	-1.3648517090e-29	-6.5559718377e-30
C69	x⁹y³	1.3656852798e-29	-3.7315781690e-28	-4.3117653242e-29
C71	x⁶y⁵	8.4596512930e-30	-9.6134628599e-28	-1.9636736331e-28
C73	x⁴y⁷	-3.7678746613e-28	-9.1704627072e-28	-2.4933823963e-28
C75	x²y⁹	1.2293234710e-27	-3.2311553077e-28	8.2981286899e-29
C77	y¹¹	3.3221737408e-27	-6.4112491603e-29	-9.8582254924e-29
C78	x¹²	-1.8073041303e-32	1.7285755266e-32	-5.3352440389e-33
C80	x¹⁰y²	-2.5198678710e-31	-5.6142767966e-31	1.3812239726e-31
C82	x⁸y⁴	-2.6555315358e-31	-1.0825672259e-30	8.6524158731e-31
C84	x⁶y⁶	5.1877501127e-30	-6.6939982642e-31	2.8114784635e-30
C86	x⁴y⁸	1.2428781666e-29	-1.6213692295e-30	5.3973562552e-30
C88	x²y¹⁰	-1.5528993552e-29	1.4426188229e-31	1.9472082937e-30
C90	y¹²	-7.0156762408e-29	3.5878207265e-31	-1.0268602888e-30
C92	x¹²y	4.4730314443e-35	1.0645390568e-34	5.5091541838e-35
C94	x¹⁰y³	-5.6241771985e-35	5.2155310316e-33	2.6317765341e-34
C96	x⁸y⁵	-5.9699123029e-34	1.9895453827e-32	2.5791978254e-33
C98	x⁶y⁷	4.4532967339e-33	2.9048097100e-32	6.9194420639e-33
C100	x⁴y⁹	1.7785329827e-32	1.6094144761e-32	1.7153070168e-33
C102	x²y¹¹	-1.2082092711e-31	6.1918052928e-33	3.6346899970e-34
C104	y¹³	-1.3108338389e-31	1.7139069378e-33	2.3542132538e-33
C105	x¹⁴	1.6820745880e-37	-1.8732269027e-37	2.7203983558e-38
C107	x¹²y²	2.9841795030e-36	4.2344428013e-36	-6.743070181 le-37
C109	x¹⁰y⁴	9.5648206744e-36	1.1856626758e-35	-5.5889093660e-36
C111	x⁸y⁶	-5.9164953119e-35	5.2707274781e-36	-2.2672566405e-35
C113	x⁶y⁸	-3.7775800264e-34	2.8200851992e-35	-7.0360801174e-35
C115	x⁴y¹⁰	-4.0800660120e-34	5.1163249631e-35	-8.8909683388e-35
C117	x²y¹²	1.1769869152e-33	1.5304213660e-35	-1.4992570218e-35
C119	y¹⁴	2.5172104320e-33	3.7667630899e-36	1.4431872155e-35
C121	x¹⁴y	-3.5331856073e-40	5.6140627314e-41	-2.7574517385e-40
C123	x¹²y³	-1.5102144535e-40	-3.7921870405e-38	-6.3592289662e-40
C125	x¹⁰y⁵	5.5387488199e-39	-2.0814406049e-37	-1.3567706294e-38
C127	x⁸y⁷	-1.4756784321e-38	-4.6696106276e-37	-7.5749541500e-38
C129	x⁶y⁹	-2.4332468576e-37	-3.3590181319e-37	-1.0876172013e-37
C131	x⁴y¹¹	-2.1890495220e-37	-6.7937677839e-38	1.8314326740e-38
C133	x²y¹³	4.9969106032e-36	7.1054536278e-39	-5.2684189671e-38
C135	y¹⁵	2.7954336278e-36	4.3096333755e-39	-2.3588225429e-38
C136	x¹⁶	-9.3058845881e-43	1.8123904160e-42	-2.9384146135e-43
C138	x¹⁴y²	-2.0384117753e-41	-1.8789437367e-41	2.0364045001e-42
C140	x¹²y⁴	-1.1111637237e-40	-8.5982134104e-41	2.0187024932e-41
C142	x¹⁰y⁶	2.2561297775e-40	-1.4722583120e-40	9.2403669179e-41
C144	x⁸y⁸	3.9631205750e-39	-3.5685442702e-40	3.4004695196e-40
C146	x⁶y¹⁰	1.2115697723e-38	-6.4428123192e-40	9.5559409160e-40
C148	x⁴y¹²	4.4104016490e-39	-6.1227257779e-40	6.7814833904e-40
C150	x²y¹⁴	-4.2337879319e-38	-2.3076034648e-41	1.4683779697e-40
C152	y¹⁶	-5.3855525075e-38	-2.2165301483e-42	-1.6082780369e-40
C154	x¹⁶y	1.3707620876e-45	-2.7070616473e-45	8.7545305519e-46
C156	x¹⁴y³	2.4985729503e-45	1.3769734404e-43	-3.8619902042e-46
C158	x¹²y⁵	-2.5853304876e-44	1.0544053868e-42	1.3510808797e-44
C160	x¹⁰y⁷	6.3259313789e-46	3.4466149943e-42	3.2487022585e-43
C162	x⁸y⁹	8.1712379355e-43	3.8436821619e-42	1.1050304602e-42
C164	x⁶y¹¹	4.6454559936e-42	8.0905407649e-43	5.0234922992e-43
C166	x⁴y¹³	-4.3373633177e-42	-9.4728077455e-43	1.1611786734e-43
C168	x²y¹⁵	-9.8163807075e-41	-6.3335848309e-44	3.9731153967e-43
C170	y¹⁷	-2.7564045251e-41	-1.2781632060e-44	2.1553606641e-43
C171	x¹⁸	2.8457339168e-48	-9.0410527124e-48	1.1488079593e-48
C173	x¹⁶y²	7.4400779220e-47	4.3830526911e-47	-3.9515818091e-48
C175	x¹⁴y⁴	5.7054927205e-46	3.4643567303e-46	-4.3399206369e-47
C177	x¹²y⁶	4.2628529512e-46	1.5565705242e-45	-2.3171709938e-46
C179	x¹⁰y⁸	-1.6775907620e-44	4.1485463397e-45	-3.6040615083e-46
C181	x⁸y¹⁰	-9.2165567448e-44	4.7009721582e-45	-2.8687049919e-45
C183	x⁶y¹²	-1.7891845956e-43	4.0996691970e-45	-5.2263182565e-45
C185	x⁴y¹⁴	4.8966408481e-44	1.5763443633e-45	-2.9325381249e-45
C187	x²y¹⁶	7.5360793693e-43	-4.7168113909e-47	-7.9015409186e-46
C189	y¹⁸	6.1547572101e-43	-1.0260235370e-47	9.5867819174e-46
C191	x¹⁸y	-2.0587001589e-51	7.0595956406e-51	-1.3203077947e-51
C193	x¹⁶y³	-7.0194713306e-51	-1.9434986024e-49	2.6370585575e-51
C195	x¹⁴y⁵	5.9203086220e-50	-2.0798495304e-48	6.9142773517e-50
C197	x¹²y⁷	4.9919523584e-50	-9.3247134492e-48	-3.8785383967e-49
C199	x¹⁰y⁹	-5.6301228005e-49	-1.5932461778e-47	-3.0208696243e-48
C201	x⁸y¹¹	-7.9900319804e-48	-8.2452760069e-48	-4.2680525576e-48
C203	x⁶y¹³	-2.2138325112e-47	8.2918476065e-48	-1.0513531962e-48
C205	x⁴y¹⁵	9.6822880110e-47	6.8680058869e-48	-1.9860634023e-48
C207	x²y¹⁷	7.3944652171e-46	1.3575741255e-49	1.7159025459e-50
C209	y¹⁹	7.8903362989e-47	-6.4828617205e-51	-1.6731653324e-48
C210	x²⁰	-3.6997869672e-54	1.6103206414e-53	-1.5051543494e-54
C212	x¹⁸y²	-1.1258659144e-52	-3.6574838915e-53	3.5397391185e-54
C214	x¹⁶y⁴	-1.1065785937e-51	-5.7734875552e-52	5.8581535845e-53
C216	x¹⁴y⁶	-3.3200555031e-51	-4.9904843726e-51	4.6744791738e-52
C218	x¹²y⁸	2.1706915974e-50	-1.7731134617e-50	-7.0478430615e-52
C220	x¹⁰y¹⁰	2.1597222382e-49	-2.4993374762e-50	-3.5104364078e-52
C222	x⁸y¹²	7.3412490302e-49	-1.0954673029e-50	6.2391791402e-51
C224	x⁶y¹⁴	9.348250193 le-49	8.0941281473e-51	9.7733880161e-51
C226	x⁴y¹⁶	-1.0629945009e-48	6.2758507426e-51	7.2176235176e-51
C228	x²y¹⁸	-5.2950748510e-48	1.9592009934e-52	-1.0091955636e-51
C230	y²⁰	-2.8334862451e-48	-1.2107464014e-53	-7.3601477295e-53

Tabelle 3b zu Figur 24

Koeffizient	Formel	M04	M05	M06
C7	x²y	-4.8025678767e-08	1.4389539524e-07	-1.3672417366e-07
C9	y³	1.0625847178e-08	1.7266473550e-07	9.7745473980e-08
C10	x⁴	-6.0604081624e-12	-8.8653242315e-11	1.3556415481e-11
C12	x²y²	1.2213973056e-11	-2.7037708117e-10	3.1050599922e-10
C14	y⁴	-3.3278065740e-11	-5.5502731293e-11	2.3782195227e-10
C16	x⁴y	4.8327950447e-14	1.4841568691e-13	-1.9157398868e-14
C18	x²y³	-2.7878880873e-14	1.5792574639e-14	1.2190894935e-13
C20	y⁵	2.3755329816e-14	-1.1664598498e-13	1.3542296260e-13
C21	x⁶	-2.2816664426e-16	1.6320277133e-17	7.2119424668e-17
C23	x⁴y²	-5.1052347610e-18	1.6428867584e-17	-2.1057206300e-16
C25	x²y⁴	2.7248202711e-17	4.4242554168e-16	-1.8870434687e-15
C27	y⁶	-9.2667824469e-17	4.8991401299e-16	2.4300986257e-15
C29	x⁶y	-5.4438667227e-20	1.8574212569e-19	-3.6514374528e-19
C31	x⁴y³	6.0293306702e-20	-6.3477648706e-19	-5.4027364515e-19
C33	x²y⁵	-1.9737058795e-19	-1.5987830910e-18	-7.8977520540e-18
C35	y⁷	1.4139291631e-19	-1.6217937724e-18	-1.3048700069e-17
C36	x⁸	-1.0996111909e-22	6.8721581330e-23	1.2399686880e-22
C38	x⁶y²	6.1013394207e-23	4.5391991400e-22	-1.0875862047e-21
C40	x⁴y⁴	-5.2498963770e-22	9.7330780478e-22	-7.2184337159e-22
C42	x²y⁶	4.3733824110e-22	7.4648192482e-21	-4.5183939760e-20
C44	y⁸	3.2469041284e-22	1.1100685020e-20	2.0699633075e-20
C46	x⁸y	-1.5101064213e-25	-2.9792451067e-25	-1.4428024255e-24
C48	x⁶y³	-1.3988015196e-24	2.5878953176e-24	1.5156563243e-23
C50	x⁴y⁵	-5.8959032872e-25	-1.5646013899e-24	2.7983741486e-22
C52	x²y7	-1.6238995950e-24	1.6258954683e-23	2.0954797440e-21
C54	y⁹	-2.0956125197e-24	1.4494064686e-23	9.5688720846e-21
C55	x¹⁰	1.4623819808e-27	-8.0283670021e-28	-2.2858000741e-27
C57	x⁸y²	-1.1989069648e-27	-2.7776998564e-27	7.4426312326e-27
C59	x⁶y⁴	-1.8003069368e-28	-4.4483838365e-27	3.4916710208e-25
C61	x⁴y⁶	-6.0408655936e-27	-1.1189732002e-25	3.6001205383e-24
C63	x²y⁸	-2.8943331096e-26	-8.2318639770e-25	6.6172353967e-24
C65	y¹⁰	-3.0567456188e-26	-1.4578699932e-24	-5.8100938291e-24
C67	x¹⁰y	1.0728946292e-30	2.7018048337e-30	-8.7806240051e-30
C69	x⁸y³	2.1109544738e-30	-9.6681344235e-30	-4.0731022051e-28
C71	x⁶y⁵	7.9708367784e-30	1.1113584318e-28	-7.7163557193e-27
C73	x⁴y⁷	-5.5263550120e-29	8.7671453365e-28	-6.6302797501e-26
C75	x²y⁹	-4.1156063574e-29	5.1172912443e-27	-5.7598914948e-25
C77	y¹¹	-2.0333349942e-30	1.8457481996e-26	-2.2977041637e-24
C78	x¹²	1.1909352511e-33	7.4914712145e-34	2.0056574900e-32
C80	x¹⁰y²	6.9897714625e-33	-5.7924669001e-33	-1.4957294673e-31
C82	x⁸y⁴	-8.1886943881e-33	2.4589568451e-32	-7.0817463929e-30
C84	x⁶y⁶	-1.1715752064e-31	2.4621630015e-31	-1.0432604349e-28
C86	x⁴y⁸	2.3474984808e-32	7.4447956123e-31	-6.4599491066e-28
C88	x²y¹⁰	5.2843044349e-31	-9.7104741676e-30	-1.3521861515e-28
C90	y¹²	8.4616264305e-31	-5.9669993437e-29	1.5094637607e-27
C92	x¹²y	1.0727884118e-36	-6.0126372957e-36	3.4276629980e-34
C94	x¹⁰y³	-4.9827392931e-35	-3.8465713442e-35	4.5042418595e-33
C96	x⁸y⁵	-3.9932948106e-34	-1.3111285559e-33	1.2588784055e-31
C98	x⁶y⁷	1.4458307077e-34	-7.9065941782e-33	1.3309550623e-30
C100	x⁴y⁹	1.2975870926e-33	-1.3129056891e-32	1.1088424250e-29
C102	x²y¹¹	2.5828094640e-33	-1.0437931825e-31	9.1976840955e-29
C104	y¹³	1.6486118199e-33	-1.2725447782e-31	3.0552187947e-28
C105	x¹⁴	-2.7797610244e-38	-5.4616954773e-39	-4.3337339971e-38
C107	x¹²y²	-1.6283018019e-37	1.9448639136e-37	2.3273303282e-36
C109	x¹⁰y⁴	-3.0549834242e-37	3.9098820361e-37	7.7098939589e-35
C111	x⁸y⁶	2.9226624965e-37	5.8672790820e-36	1.5306669592e-33
C113	x⁶y⁸	4.3352907715e-36	3.6845025042e-35	1.5261124919e-32
C115	x⁴y¹⁰	5.0347585694e-36	-4.4217093830e-35	6.3182654945e-32
C117	x²y¹²	-2.6654412356e-36	1.0766374581e-33	-6.6907916891e-32
C119	y¹⁴	-1.2791516843e-35	-1.3826240590e-33	-4.5997441197e-31
C121	x¹⁴y	-9.6626691508e-41	-7.6889975382e-41	-2.5311014454e-39
C123	x¹²y³	5.2298421712e-41	4.0810646821e-40	-2.3419080252e-38
C125	x¹⁰y⁵	2.3378609613e-39	4.8931661453e-39	-1.0971619767e-36
C127	x⁸y⁷	6.6695138771e-39	1.0178398234e-38	-1.5937467028e-35
C129	x⁶y⁹	3.3373129625e-39	-1.3016976532e-37	-1.3238169660e-34
C131	x⁴y¹¹	1.0196292940e-39	1.4079158144e-38	-1.1279795226e-33
C133	x²y¹³	-5.020625703 le-38	-1.4179676012e-36	-8.2894166547e-33
C135	y¹⁵	-4.3253431001e-38	1.2169205777e-35	-2.4458436729e-32
C136	x¹⁶	4.5171524900e-44	1.1703530985e-43	-4.8538909013e-43
C138	x¹⁴y²	9.6200314032e-43	-1.2201756715e-42	-1.6211646695e-41
C140	x¹²y⁴	2.4639923110e-42	-4.5733680382e-42	-4.7606139448e-40
C142	x¹⁰y⁶	1.1273631295e-41	-5.1611255493e-41	-1.2828276962e-38
C144	x⁸y⁸	-1.7777457196e-41	-2.1634280035e-41	-1.6606057519e-37
C146	x⁶y¹⁰	-6.2923933882e-41	3.5501132359e-41	-1.2610734358e-36
C148	x⁴y¹²	-7.0097565030e-41	3.2696027596e-39	-3.3368615732e-36
C150	x²y¹⁴	-8.7648018463e-41	2.0223044052e-39	1.0060508777e-35
C152	y¹⁶	7.1440952420e-41	1.1614816198e-38	6.7164213856e-35
C154	x¹⁶y	4.8521065900e-46	5.9276549336e-46	6.4923879991e-45
C156	x¹⁴y³	1.8108550880e-45	1.3331424237e-47	4.5431109549e-44
C158	x¹²y⁵	2.2933119641e-45	1.5577253372e-44	4.6992813341e-42
C160	x¹⁰y⁷	-3.3992590035e-44	1.1819615845e-44	9.4748180681e-41
C162	x⁸y⁹	-9.6423596974e-44	8.9092543628e-43	9.5687929046e-40
C164	x⁶y¹¹	-3.1754541452e-43	-2.1257385088e-42	6.9912360736e-39
C166	x⁴y¹³	-2.2425969994e-43	-2.4764145481e-42	6.2626709586e-38
C168	x²y¹⁵	2.3361005665e-43	-1.3345295915e-40	3.9397332622e-37
C170	y¹⁷	4.5641977577e-43	-2.1388128419e-41	1.1170039376e-36
C171	x¹⁸	3.5977705014e-50	-4.7061684127e-49	2.7394935115e-48
C173	x¹⁶y²	-2.0889836899e-48	2.7072157285e-48	4.3691482696e-47
C175	x¹⁴y⁴	-2.7606658056e-48	7.9700889434e-48	1.4960267733e-45
C177	x¹²y⁶	-7.0611165855e-47	1.1815951383e-46	5.7878782376e-44
C179	x¹⁰y⁸	-7.7937394107e-47	-1.3502507299e-46	9.1916142607e-43
C181	x⁸y¹⁰	-1.2568873747e-46	-1.7028866685e-45	9.2781245328e-42
C183	x⁶y¹²	-5.3087267763e-46	-6.8644522124e-46	5.2850872324e-41
C185	x⁴y¹⁴	-5.2127763954e-46	1.7487286763e-44	8.1862522344e-41
C187	x²y¹⁶	1.1726783409e-45	-3.0634584652e-44	-6.6542577047e-40
C189	y¹⁸	1.9738789157e-46	2.3252359373e-45	-4.4976216181e-39
C191	x¹⁸y	-8.2248377907e-52	-1.1431956881e-51	-3.7404764234e-51
C193	x¹⁶y³	-7.8544535975e-51	-3.5014580741e-51	3.3421956002e-51
C195	x¹⁴y⁵	-4.9326147367e-50	-8.1768221945e-50	-7.7237451724e-48
C197	x¹²y⁷	-9.6942373108e-50	-2.5476028386e-49	-2.1297702621e-46
C199	x¹⁰y⁹	-4.3960068690e-50	-1.2756493649e-49	-2.7601040441e-45
C201	x⁸y¹¹	2.8889667664e-49	8.8443761939e-49	-2.1645305460e-44
C203	x⁶y¹³	-5.7548870393e-49	-2.9592524545e-47	-1.5921092463e-43
C205	x⁴y¹⁵	-9.4537403519e-49	5.4370746779e-46	-1.4227142912e-42
C207	x²y¹⁷	1.9260445572e-48	6.0730203347e-46	-7.7424913361e-42
C209	y¹⁹	-1.5714649143e-48	-2.8721939092e-47	-2.2395184274e-41
C210	x²⁰	-9.6507190360e-56	6.0475468659e-55	-3.7974898739e-54
C212	x¹⁸y²	3.5097355334e-55	-1.0071821253e-54	-2.6218505183e-53
C214	x¹⁶y⁴	-2.5476749021e-53	1.3148765025e-53	-1.7481600420e-51
C216	x¹⁴y⁶	-1.0486851626e-53	9.6826498134e-53	-1.0686650591e-49
C218	x¹²y⁸	-1.0013401555e-52	1.3483472303e-52	-2.0723139893e-48
C220	x¹⁰y¹⁰	1.9070649861e-52	5.6645715145e-52	-2.5368720845e-47
C222	x⁸y¹²	3.3059792089e-52	2.7839185145e-50	-1.9785476007e-46
C224	x⁶y¹⁴	-4.0161094642e-52	-1.9765520074e-49	-8.9371557120e-46
C226	x⁴y¹⁶	-7.4292770920e-52	-4.3708654390e-49	-2.8711239142e-46
C228	x²y¹⁸	1.2373927292e-51	-1.2171805623e-48	1.7160602813e-44
C230	y²⁰	-2.0816607358e-51	1.0535594055e-50	1.1594561261e-43

Tabelle 3c zu Figur 24

Koeffizient	Formel	M07	M08	M09
C7	x² y	-1.7224057428e-08	2.0665071135e-07	-1.3011488342e-08
C9	y³	-1.0109390036e-07	1.4709925716e-07	-5.6938396913e-07
C10	x⁴	-1.5932842728e-10	-3.0226799607e-10	1.9509767370e-10
C12	x²y²	4.5339212082e-10	-8.0347905837e-12	5.3037193458e-12
C14	y⁴	1.4269000201e-09	-4.9042892576e-10	3.2757176326e-09
C16	x⁴y	1.8404261345e-12	-1.5126574087e-13	6.8238519428e-13
C18	x²y³	3.6705743661e-12	2.5546083927e-12	-5.6740419820e-12
C20	y⁵	-8.5793081386e-12	1.7042445001e-12	-1.8386043051e-11
C21	x⁶	1.0866353515e-15	-1.5804427649e-16	3.3768736220e-15
C23	x⁴y²	-8.0628658734e-17	-4.4114085913e-15	1.0757943667e-14
C25	x²y⁴	-3.9916054581e-14	-4.0891087562e-15	4.4277959782e-15
C27	y⁶	3.0166502165e-14	-7.0953909637e-15	1.2695258567e-13
C29	x⁶y	-5.9873357656e-18	-7.5950402523e-19	-1.8065438743e-17
C31	x⁴y³	-7.3591064193e-17	8.6340120401e-18	-1.0014127698e-16
C33	x²y⁵	1.6580549448e-16	3.6271901713e-17	-1.9449109556e-16
C35	y⁷	-3.4798238210e-16	2.9309937869e-17	-8.3474136204e-16
C36	x⁸	-9.6939020734e-21	6.3682478858e-20	-2.4257145601e-18
C38	x⁶y²	-3.7041914369e-20	-8.0421388403e-20	-3.6497554163e-18
C40	x⁴y⁴	5.5572070389e-19	-1.1942095710e-19	-2.0510090998e-18
C42	x²y⁶	-1.4084277609e-18	-1.2326257998e-19	9.8557159293e-19
C44	y⁸	2.1349783898e-18	-1.2987507882e-19	5.4728586548e-18
C46	x⁸y	1.2825104249e-22	9.1035186585e-22	-2.7640502222e-20
C48	x⁶y³	9.8201156861e-22	-5.5088294347e-22	3.4358440735e-20
C50	x⁴y⁵	-3.6190457262e-21	-1.4213390737e-22	5.7623651305e-20
C52	x²y⁷	1.0953332866e-20	1.2088607813e-22	2.7667287353e-21
C54	y⁹	3.9900275653e-20	2.9744696803e-22	-3.7937719381e-20
C55	x¹⁰	2.3922600605e-25	-8.7004984890e-25	7.2209297044e-22
C57	x⁸y²	1.9054899128e-25	1.2197620439e-23	1.9079983276e-21
C59	x⁶y⁴	-6.8571452727e-24	8.6894920185e-24	1.5854109463e-21
C61	x⁴y⁶	-4.1755610007e-24	-2.1638955139e-24	6.9976516020e-22
C63	x²y⁸	1.0143857693e-22	-8.7536248037e-24	1.0343884473e-22
C65	y¹⁰	-5.6533192410e-23	5.4929752921e-25	4.4381295194e-22
C67	x¹⁰y	-2.7986968076e-27	-7.7440864108e-26	2.3572186315e-23
C69	x⁸y³	-9.8169759538e-27	1.056280673 le-25	6.1419757996e-24
C71	x⁶y⁵	-4.2675912378e-26	1.6313326625e-25	-1.3545915547e-23
C73	x⁴y⁷	9.7021660398e-27	1.5154426687e-25	-1.6740759512e-23
C75	x²y⁹	-7.3175963227e-25	2.0243563004e-25	-2.8607153745e-24
C77	y¹¹	-6.7341110942e-24	1.2680844281e-26	-3.7229456903e-24
C78	x¹²	-3.5740727257e-30	-1.7831495359e-28	-9.0087887157e-26
C80	x¹⁰y²	7.1946788308e-31	-1.3732539087e-27	-3.7528505287e-25
C82	x⁸y⁴	-2.0969278166e-28	-1.0361274550e-27	-4.1255021356e-25
C84	x⁶y⁶	1.0132149185e-27	-2.7285791667e-28	-3.7695693416e-25
C86	x⁴y⁸	-1.7446925469e-27	3.8207902812e-28	-9.9510411533e-26
C88	x²y¹⁰	-1.1722002116e-26	8.1944999958e-29	6.7494512734e-27
C90	y¹²	2.7239688935e-27	-3.1618838519e-28	-2.4693650645e-26
C92	x¹²y	4.3867915266e-32	2.1508045938e-30	-6.2043966265e-27
C94	x¹⁰y³	-2.0566438915e-31	-1.2068364558e-29	-5.0321474008e-27
C96	x⁸y⁵	2.3174419435e-30	-1.9998974290e-29	-2.9482996021e-28
C98	x⁶y⁷	-1.9503378688e-30	-1.7822936801e-29	2.6858708559e-27
C100	x⁴y⁹	4.2473710544e-29	-1.9051012633e-29	2.6523568692e-27
C102	x²y¹¹	-1.2908918250e-28	-1.9990948746e-29	-1.5936802758e-28
C104	y¹³	6.9858363703e-28	2.4684455549e-30	3.4292666442e-28
C105	x¹⁴	3.7515505365e-35	1.1575169643e-32	4.6930820872e-31
C107	x¹²y²	-5.3900030816e-35	7.3081266723e-32	2.1908554647e-29
C109	x¹⁰y⁴	7.6639171643e-33	5.4657361532e-32	2.4156194038e-29
C111	x⁸y⁶	-2.4661583999e-32	9.8464680436e-33	6.1733697702e-29
C113	x⁶y⁸	6.6109953354e-32	-3.3289211898e-32	4.6485956640e-29
C115	x⁴y¹⁰	-3.5513670833e-31	-1.7898551685e-32	6.0947923786e-30
C117	x²y¹²	-1.4417826604e-30	2.5258860259e-32	3.4035332823e-30
C119	y¹⁴	3.1463400028e-30	1.7918359694e-33	8.4956685149e-30
C121	x¹⁴y	-6.6872727252e-37	2.6206377439e-35	7.4322568175e-31
C123	x¹²y³	6.3085891289e-36	8.0139136220e-34	7.0614811170e-31
C125	x¹⁰y⁵	-3.3318152546e-35	1.3327455969e-33	2.6053824405e-31
C127	x⁸y⁷	-1.9105027058e-35	1.3454239492e-33	5.4016791346e-32
C129	x⁶y⁹	-7.2417414164e-34	1.2435524621e-33	-2.7254410964e-31
C131	x⁴y¹¹	-8.4684017787e-33	1.3079255333e-33	-2.1977843862e-31
C133	x²y¹³	9.8683889579e-33	1.2184541736e-33	4.2994753781e-32
C135	y¹⁵	-6.6138913364e-33	-1.6285103837e-34	-1.0889096993e-31
C136	x¹⁶	-3.4215532077e-40	-2.9465885612e-37	1.0109278782e-33
C138	x¹⁴y²	-9.7335531930e-40	-1.5210301598e-36	6.6035141764e-34
C140	x¹²y⁴	-8.5634280204e-38	-1.6470124500e-37	2.0015387437e-33
C142	x¹⁰y⁶	-1.1100822982e-37	1.4820830362e-36	-1.8967956017e-33
C144	x⁸y⁸	1.1697049616e-36	1.9967592475e-36	-4.6572396473e-33
C146	x⁶y¹⁰	-1.0975975007e-35	2.9817284932e-36	-2.7767104548e-33
C148	x⁴y¹²	4.5315420159e-35	-1.3286320932e-36	-7.0767764683e-35
C150	x²y¹⁴	1.0272852181e-34	-3.1576776365e-36	-8.1019040178e-34
C152	y¹⁶	-6.7061832974e-36	5.8751587590e-37	-5.1504050482e-34
C154	x¹⁶y	8.3083420344e-42	-1.9679434889e-39	-4.2337516647e-35
C156	x¹⁴y³	-5.1416304751e-41	-2.3879553746e-38	-3.0181812957e-35
C158	x¹²y⁵	-1.8535482814e-40	-4.4457558446e-38	5.4892640958e-36
C160	x¹⁰y⁷	1.6389472689e-39	-4.6681852798e-38	-2.2807927345e-35
C162	x⁸y⁹	-3.6663265867e-39	-5.2186328838e-38	-4.4636885760e-36
C164	x⁶y¹¹	4.5514017960e-38	-4.0784947240e-38	1.0387447308e-35
C166	x⁴y¹³	5.0893322207e-37	-4.0817534626e-38	8.0778620451e-36
C168	x²y¹⁵	2.5611809253e-37	-3.7295684774e-38	-9.8579017550e-37
C170	y¹⁷	-4.4001383055e-36	4.1364996264e-39	1.0046364350e-35
C171	x¹⁸	2.7915088923e-45	3.4347216170e-42	-9.6862616410e-38
C173	x¹⁶y²	5.3765128011e-44	4.9396771927e-42	-4.6597697330e-38
C175	x¹⁴y⁴	-1.5887639036e-44	-6.0806051413e-41	-1.0002778625e-38
C177	x¹²y⁶	7.4364136995e-42	-1.0643590550e-40	-1.7425454854e-38
C179	x¹⁰y⁸	-4.6023152045e-41	-1.2527630866e-40	8.8480946963e-39
C181	x⁸y¹⁰	1.4605701126e-41	-9.7784107430e-41	6.4674776908e-38
C183	x⁶y¹²	-1.0154002205e-39	-1.2120863530e-40	8.1977871878e-38
C185	x⁴y¹⁴	1.9738216893e-39	8.6699553121e-41	-4.2193336815e-39
C187	x²y¹⁶	4.2022392775e-39	1.2041943206e-40	6.0799361154e-38
C189	y¹⁸	-8.6512174393e-38	-2.6120286880e-41	1.8494149763e-38
C191	x¹⁸y	-4.6447957646e-47	2.3088502394e-44	9.9811673988e-40
C193	x¹⁶y³	6.8702255885e-47	2.6018761512e-43	7.9607054718e-40
C195	x¹⁴y⁵	6.4175386127e-45	5.7943102060e-43	-1.9158114052e-43
C197	x¹²y⁷	-8.7797418074e-45	6.3466779933e-43	-2.3976481383e-43
C199	x¹⁰y⁹	-1.0518945571e-43	8.6422805543e-43	-1.3726395944e-43
C201	x⁸y¹¹	-2.8854965068e-42	7.4419609306e-43	-6.7579618953e-44
C203	x⁶y¹³	-2.6954953782e-42	5.2805578784e-43	-2.5569314410e-44
C205	x⁴y¹⁵	-3.0449794129e-42	5.5597531262e-43	-8.1688524133e-41
C207	x²y¹⁷	5.6076187389e-41	5.4659883193e-43	-2.5761923190e-40
C209	y¹⁹	-5.6610471118e-40	-5.6578095704e-46	-6.4622023555e-40
C210	x²⁰	-1.2319343525e-50	-1.4621924424e-47	3.0656719077e-42
C212	x¹⁸y²	-5.1512244822e-49	1.4146461029e-46	-2.7706734020e-45
C214	x¹⁶y⁴	5.2302065065e-48	1.1991561318e-45	-6.8647913071e-46
C216	x¹⁴y⁶	-3.3165722760e-47	2.0652442326e-45	3.7700441451e-45
C218	x¹²y⁸	3.1188735505e-46	2.3194805119e-45	1.9013808471e-45
C220	x¹⁰y¹⁰	-2.6328733821e-45	2.7237178119e-45	1.0576701007e-45
C222	x⁸y¹²	-3.0413810056e-45	1.3910749730e-45	4.4536515963e-46
C224	x⁶y¹⁴	-5.4723785190e-45	2.0759677985e-45	2.9715487171e-46
C226	x⁴y¹⁶	-1.5154964780e-44	-1.8135388196e-45	3.4042903298e-46
C228	x²y¹⁸	1.8200880350e-43	-2.0901687127e-45	1.2875940281e-43
C230	y²⁰	-1.2814102263e-42	1.5506268697e-46	2.1777293777e-42

Tabelle 3d zu Figur 24

Koeffizient	Formel	M10	M11
C7	x²y	-1.0496635534e-06	5.1289259077e-09
C9	y³	2.2520329727e-06	-2.3253792018e-08
C10	x⁴	6.0810428875e-10	-3.4438692411e-11
C12	x²y²	-9.5214908407e-10	-5.2749193599e-11
C14	y⁴	2.2997576588e-09	-3.6262042550e-12
C16	x⁴y	3.4697107078e-13	9.2308520526e-16
C18	x²y³	-6.2552554797e-12	-1.7987972015e-14
C20	y⁵	2.1415305189e-11	-3.7531114481e-14
C21	x⁶	6.0354430294e-16	-2.6416890144e-17
C23	x⁴y²	9.2956195569e-15	-1.4633660764e-16
C25	x²y⁴	-1.1704524177e-14	-1.1199781212e-16
C27	y⁶	3.5588298539e-14	-4.0587037039e-18
C29	x⁶y	-3.9552562530e-18	3.6842804865e-20
C31	x⁴y³	-9.0346432250e-18	-9.3114362802e-21
C33	x²y⁵	1.2744022025e-16	-7.9764335747e-20
C35	y⁷	-7.8781321664e-17	-6.1836373732e-20
C36	x⁸	8.7810658057e-22	-5.1122733471e-23
C38	x⁶y²	5.5926525700e-20	-2.455483183 le-22
C40	x⁴y⁴	-2.8225082818e-19	-4.2121800978e-22
C42	x²y⁶	1.4701153432e-18	-2.0173631414e-22
C44	y⁸	1.0298612414e-18	-7.6716821285e-24
C46	x⁸y	-5.3279976148e-23	3.1143894563e-26
C48	x⁶y³	1.6836595523e-22	1.8318229567e-26
C50	x⁴y⁵	-3.4647890382e-21	-1.2914717123e-25
C52	x²y⁷	-4.3705360197e-21	-1.4573129548e-25
C54	y⁹	2.2087649882e-20	-6.5157955425e-26
C55	x¹⁰	-1.1091227548e-26	-3.6915897743e-29
C57	x⁸y²	-1.1791833335e-24	-3.7478576472e-29
C59	x⁶y⁴	-1.8820242946e-24	-1.2198510752e-28
C61	x⁴y⁶	-3.1003108546e-24	-1.2342428856e-28
C63	x²y⁸	-1.3523780908e-22	-1.0607607865e-28
C65	y¹⁰	1.4082549194e-22	-3.3812059803e-29
C67	x¹⁰y	1.0100289193e-27	-2.4141156767e-32
C69	x⁸y³	1.2502921952e-26	3.2608884102e-31
C71	x⁶y⁵	5.2595866595e-26	2.6914820693e-31
C73	x⁴y⁷	3.9900633341e-25	-8.0720238197e-31
C75	x²y⁹	-5.8203507564e-25	-1.2122689459e-30
C77	y¹¹	9.0571709503e-25	-4.3690037004e-31
C78	x¹²	3.8675917808e-31	-4.3578196270e-34
C80	x¹⁰y²	1.7143437050e-29	-3.3028925763e-33
C82	x⁸y⁴	1.6272796438e-28	-1.0103889923e-32
C84	x⁶y⁶	1.1233335114e-28	-1.5181752322e-32
C86	x⁴y⁸	2.5570151258e-27	-1.0299611305e-32
C88	x²y¹⁰	-6.6651805077e-28	-2.4320604088e-33
C90	y¹²	7.9400703740e-27	9.9880298175e-36
C92	x¹²y	-1.9411406017e-32	7.6751661894e-39
C94	x¹⁰y³	-4.5003137710e-31	-1.2471663922e-36
C96	x⁸y⁵	-1.8404287302e-30	-4.6521406627e-36
C98	x⁶y⁷	-8.8675540545e-30	-3.5610030791e-37
C100	x⁴y⁹	-5.5305717221e-30	6.6975911582e-36
C102	x²y¹¹	-1.6718804545e-29	6.4265399756e-36
C104	y¹³	3.3333634313e-29	1.6796002659e-36
C105	x¹⁴	-3.7765069939e-36	1.6438978195e-39
C107	x¹²y²	-1.0801273299e-34	1.3131597794e-38
C109	x¹⁰y⁴	-2.1572247734e-33	5.0738780873e-38
C111	x⁸y⁶	-4.9605167516e-33	1.0245481060e-37
C113	x⁶y⁸	-2.7372730075e-32	1.0933927432e-37
C115	x⁴y¹⁰	-2.0706262333e-32	5.3812751409e-38
C117	x²y¹²	-7.8998202013e-32	9.1828878529e-39
C119	y¹⁴	-7.4972119102e-32	9.6937477231e-41
C121	x¹⁴y	2.1560623845e-37	1.9480888836e-43
C123	x¹²y³	6.7209138357e-36	4.1514537914e-42
C125	x¹⁰y⁵	4.1002521767e-35	2.4459536051e-41
C127	x⁸y⁷	1.5947416749e-34	1.3552500153e-41
C129	x⁶y⁹	3.2340395390e-34	-3.9368279412e-41
C131	x⁴y¹¹	3.1699640670e-34	-6.3690783523e-41
C133	x²y¹³	7.3873979472e-34	-3.9490833992e-41
C135	y¹⁵	-1.3299743172e-33	-8.2599201028e-42
C136	x¹⁶	1.7681683748e-41	-4.5530807476e-45
C138	x¹⁴y²	-3.1297801726e-40	-4.6866658569e-44
C140	x¹²y⁴	2.7661375734e-39	-2.0719100828e-43
C142	x¹⁰y⁶	1.8885705469e-38	-5.0661785872e-43
C144	x⁸y⁸	8.9734302137e-38	-7.3473093101e-43
C146	x⁶y¹⁰	7.8400122741e-37	-5.9624206832e-43
C148	x⁴y¹²	-2.5804769230e-36	-2.3795163268e-43
C150	x²y¹⁴	6.0723474278e-36	-3.8175770619e-44
C152	y¹⁶	-6.1725153142e-36	-2.0985203060e-45
C154	x¹⁶y	-1.2784223600e-42	3.5470524515e-49
C156	x¹⁴y³	-4.9052812228e-41	-6.0504467187e-48
C158	x¹²y⁵	-4.2083443731e-40	-6.2425390894e-47
C160	x¹⁰y⁷	-1.7350267972e-39	-7.4128435763e-47
C162	x⁸y⁹	-5.5446113919e-39	6.5168144505e-47
C164	x⁶y¹¹	-3.2279802281e-39	2.1455691201e-46
C166	x⁴y¹³	-3.2815460073e-38	2.1002814760e-46
C168	x²y¹⁵	2.2197881354e-38	1.0180615512e-46
C170	y¹⁷	-1.4611013042e-38	1.8255671269e-47
C171	x¹⁸	-1.9427172905e-47	6.6345891821e-51
C173	x¹⁶y²	8.6959124379e-45	8.4011819708e-50
C175	x¹⁴y⁴	1.4125593318e-43	4.0878898522e-49
C177	x¹²y⁶	7.1314703954e-43	1.1664367269e-48
C179	x¹⁰y⁸	2.8697801874e-42	2.1075038520e-48
C181	x⁸y¹⁰	-5.7889272955e-42	2.3685889597e-48
C183	x⁶y¹²	2.7661321735e-41	1.5329497739e-48
C185	x⁴y¹⁴	-5.4137787070e-41	5.1743395648e-49
C187	x²y¹⁶	1.3135748867e-40	7.7319876967e-50
C189	y¹⁸	3.6966463365e-42	5.4639298088e-51
C191	x¹⁸y	3.0311628175e-48	-1.1084210008e-55
C193	x¹⁶y³	1.4078766229e-46	7.5940095339e-54
C195	x¹⁴y⁵	1.5963626285e-45	6.8360726466e-53
C197	x¹²y⁷	7.8075195962e-45	1.1697809894e-52
C199	x¹⁰y⁹	3.1124998815e-44	-4.8595876136e-53
C201	x⁸y¹¹	3.1129116031e-44	-3.3770489676e-52
C203	x⁶y¹³	2.0108115350e-43	-4.6862467303e-52
C205	x⁴y¹⁵	2.3296342199e-43	-3.3498605566e-52
C207	x²y¹⁷	5.9875582088e-43	-1.3171740719e-52
C209	y¹⁹	1.3345147140e-43	-2.0888652525e-53
C210	x²⁰	-5.8312692007e-53	-4.9995131725e-57
C212	x¹⁸y²	-3.4287851484e-50	-7.2793813987e-56
C214	x¹⁶y⁴	-7.8283563271e-49	-3.9400892127e-55
C216	x¹⁴y⁶	-5.7229625752e-48	-1.2790162676e-54
C218	x¹²y⁸	-2.5084425144e-47	-2.7196946310e-54
C220	x¹⁰y¹⁰	-3.2925425093e-47	-3.8642829354e-54
C222	x⁸y¹²	-5.2565666713e-47	-3.5085391614e-54
C224	x⁶y¹⁴	2.4067140278e-46	-1.9446576855e-54
C226	x⁴y¹⁶	6.0928638143e-46	-6.1416537876e-55
C228	x²y¹⁸	9.7171168631e-46	-9.8729191734e-56
C230	y²⁰	2.5053942857e-46	-7.7936758004e-57

Koordinaten des Blendenrandes Tabelle 4 zu Figur 24

x _i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-378.409313	53.458994	380.988391	42.616944
-376.791936	58.679281	381.945491	36.996667
-374.959428	63.765157	382.678264	31.244930
-372.914630	68.716497	383.184954	25.363032
-370.660582	73.533431	383.464022	19.352477
-368.200527	78.216346	383.514134	13.214965
-365.537884	82.765876	383.334157	6.952384
-362.676247	87.182895	382.923147	0.566807
-359.619355	91.468502	382.280337	-5.939498
-356.371081	95.624004	381.405121	-12.564071
-352.935406	99.650898	380.297036	-19.304242
-349.316398	103.550852	378.955743	-26.157123
-345.518187	107.325681	377.381006	-33.119586
-341.544948	110.977331	375.572664	-40.188245
-337.400876	114.507857	373.530613	-47.359436
-333.090174	117.919408	371.254779	-54.629191
-328.617030	121.214208	368.745092	-61.993219
-323.985612	124.394542	366.001469	-69.446873
-319.200053	127.462742	363.023790	-76.985134
-314.264447	130.421177	359.811881	-84.602581
-309.182841	133.272239	356.365504	-92.293368
-303.959231	136.018333	352.684346	-100.051204
-298.597559	138.661871	348.768019	-107.869324
-293.101709	141.205259	344.616055	-115.740478
-287.475504	143.650894	340.227924	-123.656907
-281.722697	146.001152	335.603036	-131.610330
-275.846975	148.258388	330.740770	-139.591931
-269.851944	150.424922	325.640492	-147.592353
-263.741132	152.503043	320.301583	-155.601688
-257.517975	154.495000	314.723476	-163.609483
-251.185822	156.402998	308.905684	-171.604738
-244.747924	158.229199	302.847845	-179.575921
-238.207436	159.975714	296.549755	-187.510979
-231.567417	161.644606	290.011413	-195.397363
-224.830830	163.237888	283.233061	-203.222055
-218.000552	164.757520	276.215225	-210.971600
-211.079375	166.205407	268.958757	-218.632150
-204.070019	167.583403	261.464876	-226.189506
-196.975145	168.893308	253.735209	-233.629170
-189.797365	170.136868	245.771829	-240.936404
-182.539260	171.315773	237.577292	-248.096282
-175.203393	172.431663	229.154671	-255.093757
-167.792329	173.486118	220.507590	-261.913723
-160.308649	174.480668	211.640253	-268.541079
-152.754968	175.416784	202.557465	-274.960795
-145.133946	176.295883	193.264655	-281.157978
-137.448311	177.119324	183.767891	-287.117938
-129.700861	177.888407	174.073890	-292.826258
-121.894484	178.604373	164.190022	-298.268855
-114.032162	179.268399	154.124310	-303.432052
-106.116978	179.881602	143.885423	-308.302645
-98.152123	180.445030	133.482663	-312.867970
-90.140895	180.959665	122.925948	-317.115972
-82.086702	181.426420	112.225789	-321.035268
-73.993057	181.846135	101.393261	-324.615217
-65.863579	182.219576	90.439969	-327.845979
-57.701981	182.547435	79.378013	-330.718576
-49.512068	182.830324	68.219939	-333.224948
-41.297726	183.068779	56.978701	-335.358003
-33.062912	183.263255	45.667603	-337.111660
-24.811647	183.414125	34.300250	-338.480892
-16.547997	183.521681	22.890489	-339.461754
-8.276071	183.586130	11.452354	-340.051410
0.000000	183.607600	0.000000	-340.248153
8.276071	183.586130	-11.452354	-340.051410
16.547997	183.521681	-22.890489	-339.461754
24.811647	183.414125	-34.300250	-338.480892
33.062912	183.263255	-45.667603	-337.111660
41.297726	183.068779	-56.978701	-335.358003
49.512068	182.830324	-68.219939	-333.224948
57.701981	182.547435	-79.378013	-330.718576
65.863579	182.219576	-90.439969	-327.845979
73.993057	181.846135	-101.393261	-324.615217
82.086702	181.426420	-112.225789	-321.035268
90.140895	180.959665	-122.925948	-317.115972
98.152123	180.445030	-133.482663	-312.867970
106.116978	179.881602	-143.885423	-308.302645
114.032162	179.268399	-154.124310	-303.432052
121.894484	178.604373	-164.190022	-298.268855
129.700861	177.888407	-174.073890	-292.826258
137.448311	177.119324	-183.767891	-287.117938
145.133946	176.295883	-193.264655	-281.157978
152.754968	175.416784	-202.557465	-274.960795
160.308649	174.480668	-211.640253	-268.541079
167.792329	173.486118	-220.507590	-261.913723
175.203393	172.431663	-229.154671	-255.093757
182.539260	171.315773	-237.577292	-248.096282
189.797365	170.136868	-245.771829	-240.936404
196.975145	168.893308	-253.735209	-233.629170
204.070019	167.583403	-261.464876	-226.189506
211.079375	166.205407	-268.958757	-218.632150
218.000552	164.757520	-276.215225	-210.971600
224.830830	163.237888	-283.233061	-203.222055
231.567417	161.644606	-290.011413	-195.397363
238.207436	159.975714	-296.549755	-187.510979
244.747924	158.229199	-302.847845	-179.575921
251.185822	156.402998	-308.905684	-171.604738
257.517975	154.495000	-314.723476	-163.609483
263.741132	152.503043	-320.301583	-155.601688
269.851944	150.424922	-325.640492	-147.592353
275.846975	148.258388	-330.740770	-139.591931
281.722697	146.001152	-335.603036	-131.610330
287.475504	143.650894	-340.227924	-123.656907
293.101709	141.205259	-344.616055	-115.740478
298.597559	138.661871	-348.768019	-107.869324
303.959231	136.018333	-352.684346	-100.051204
309.182841	133.272239	-356.365504	-92.293368
314.264447	130.421177	-359.811881	-84.602581
319.200053	127.462742	-363.023790	-76.985134
323.985612	124.394542	-366.001469	-69.446873
328.617030	121.214208	-368.745092	-61.993219
333.090174	117.919408	-371.254779	-54.629191
337.400876	114.507857	-373.530613	-47.359436
341.544948	110.977331	-375.572664	-40.188245
345.518187	107.325681	-377.381006	-33.119586
349.316398	103.550852	-378.955743	-26.157123
352.935406	99.650898	-380.297036	-19.304242
356.371081	95.624004	-381.405121	-12.564071
359.619355	91.468502	-382.280337	-5.939498
362.676247	87.182895	-382.923147	0.566807
365.537884	82.765876	-383.334157	6.952384
368.200527	78.216346	-383.514134	13.214965
370.660582	73.533431	-383.464022	19.352477
372.914630	68.716497	-383.184954	25.363032
374.959428	63.765157	-382.678264	31.244930
376.791936	58.679281	-381.945491	36.996667
378.409313	53.458994	-380.988391	42.616944
379.808935	48.104673	-379.808935	48.104673

Tabelle 5 zu Fig. 24

NA	Numerische Apertur	0,75
\|βx\|	Vergrößerungsmaßstab in Crossscanrichtung	4,3
\|βy\|	Vergrößerungsmaßstab in Scanrichtung	8,0
RMS	gescannte Wellenfrontabweichung	9,4 mλ
N	Anzahl der Spiegel	11

Die Spiegel M1, M4, M5, M6, M7 und M11 haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Der Spiegel M10 hat positive Radiuswerte, ist grundsätzlich also ein Konvexspiegel. Die Spiegel M2, M3, M8 und M9 haben Rx, R_y-Radiuswerte mit jeweils sich unterscheidenden Vorzeichen, haben also grundsätzlich die Form einer Sattelfläche.
25 bis 35 zeigen Randkonturen von Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M11. Wie vorstehend im Zusammenhang mit den Spiegel M1 bis M8 der Projektionsoptik 7 erläutert, haben einige der Spiegel M1 bis M11 der Projektionsoptik 31 ein steil von 1 abweichendes x/y-Aspektverhältnis. Dies gilt besonders für die GI-Spiegel M5 bis M7.
Die 36 bis 46 zeigen die Abdeckung von Randkonturen 28_M1 bis 28_M11 von Prüflicht-Strahlengängen in jeweils optimierten DOE-Anordnungsebenen zur Vermessung der Spiegel M1 bis M8 mit einer jeweils minimierten Anzahl von DOEs 16_i.
Die Randkonturen 28_M6, 28_M7, 28_M9 und 28_M11 haben jeweils eine so kleine Flächenerstreckung, dass sie mit genau einem DOE 16 abgedeckt werden können. Die Randkonturen 28_M1, 28_M5 und 28_M8 können mit genau zwei DOEs 16₁, 16₂ abgedeckt werden. Zur Abdeckung der Randkontur 28_M4 sind fünf DOEs 16_i (i = 1 bis 5) erforderlich. Zur Abdeckung der Randkonturen 28_M2 und 28_M10 sind jeweils sechs DOEs 16_i (i = 1 bis 6) erforderlich. Die Abdeckung der Randkontur 28_M3 erfordert sieben DOEs 16_i (i = 1 bis 7).
Insgesamt sind 34 DOEs 16_i erforderlich, um die Randkonturen 28_M1 bis 28_M11 des jeweiligen Prüflicht-Strahlengangs zur Vermessung aller Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M11 abzudecken. Es sind also 34/11 = 3,09 DOEs 16_i pro Spiegel erforderlich. Die optimierte Anzahl von DOEs 16_i bzw. von DOE-Prüfpositionen zur Vermessung der Spiegel M1 bis M11 ist also 3,09-mal so groß wie die Anzahl der Spiegel der abbildenden Optik 31.
47 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik bzw. abbildenden Optik 32, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 46 und insbesondere im Zusammenhang mit den 7 und 24 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Die Projektionsoptik 32 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,75.
Die Projektionsoptik 32 nach 47 hat insgesamt neun Spiegel M1 bis M9. Die Spiegel M1, M8 und M9 sind als Spiegel für normalen Einfall (NI-Spiegel) ausgeführt. Die Spiegel M2 bis M7 sind jeweils als Spiegel für streifenden Einfall (GI-Spiegel) ausgeführt. Die Projektionsoptik 32 hat also drei NI-Spiegel und sechs GI-Spiegel.
Die NI-Spiegel M2 bis M7 reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf den jeweiligen Spiegel M2 bis M7 addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken. Die Projektionsoptik 32 hat also keinen Konter-GI-Spiegel.
Die Projektionsoptik 32 ist objektseitig näherungsweise telezentrisch. Die Eintrittspupille liegt, wenn der Abbildungsstrahlengang ausschließlich in Bezug auf die Einzelstrahlen, die das Objektfeld 4 passieren, berücksichtigt wird, in der xz-Ebene 4671,44 mm nach dem Objektfeld 4 und in der yz-Ebene 5335,68 mm nach dem Objektfeld 4.
Eine Pupillenebene liegt bei der Projektionsoptik 32 im Abbildungslicht-Strahlengang zwischen den Spiegeln M1 und M2. Eine erste Zwischenbildebene liegt im Strahlengang zwischen den Spiegeln M2 und M3. Eine weitere Pupillenebene liegt zwischen den Spiegeln M3 und M4. Eine weitere Zwischenbildebene liegt im Bereich einer Reflexion am Spiegel M5. Die Anzahl der Zwischenbildebenen unterscheidet sich von der Zwischenbild-Anzahl in der Meridionalebene nach 47 von der Zwischenbild-Anzahl in der hierzu senkrechten Ebene. Derartige Projektionsoptiken mit unterschiedlichen Zwischenbild-Anzahlen in zueinander senkrechten Ebenen sind grundsätzlich bekannt aus der WO 2016/166080 A1 und der DE 10 2015 226 531 A1 .
Abgesehen von der Anzahl der GI-Spiegel und der fehlenden Anordnung eines Konter-GI-Spiegels entspricht die Projektionsoptik 32 vom Grundaufbau her der Projektionsoptik 31.
Die optischen Designdaten der Projektionsoptik 32 nach 47 ergeben sich aus den nachfolgenden Tabellen 1 bis 5, die den Tabellen 1 bis 5 zur Ausführung nach den 7 und 24 entsprechen.

Radien der Flächen Tabelle 1 zu Figur 47

	Radius _x [mm]	Power _x [1/mm]	Radius _y [mm]	Power _y [1/mm]
M01	-4071.44068277	0.00048123	-1631.52471239	0.00120091
M02	48896.91761640	-0.00000359	2239.64298509	-0.00007832
M03	-9752.10004581	0.00004360	-3438.06627919	0.00012366
M04	-5485.71780854	0.00007159	-5283.45110120	0.00007433
M05	481013.70359341	-0.00000026	-182300.88785044	0.00000069
M06	-1661.90840851	0.00050804	-21118.37212071	0.00003998
M07	-1745.11630488	0.00022875	75100.37434981	-0.00000532
M08	3797.59962465	-0.00047858	426.01140990	-0.00426618
M09	-965.71033134	0.00203925	-846.27428788	0.00232705

Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen Tabelle 2 zu Figur 47

	D _x [mm]	D _y [mm]	D _z [mm]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	0.000000000	-211.581911687	2248.834227099
M02	0.000000000	-460.586657372	1180.941821471
M03	0.000000000	-849.553269374	694.272659077
M04	0.000000000	-1620.859258566	211.688781499
M05	0.000000000	-2348.798909307	46.116316591
M06	0.000000000	-3228.280224576	58.856326318
M07	0.000000000	-3600.398400344	432.512361743
M08	0.000000000	-4079.186351741	2394.780244510
Blende	0.000000000	-4058.585126397	2310.348038728
M09	0.000000000	-3917.700827396	1732.946844089
Wafer	0.000000000	-3917.700831432	2499.378943080
	α_x [°]	α_y[°]	α_z [°]
Retikel	0.000000000	0.000000000	0.000000000
M01	-3.875252178	0.000000000	0.000000000
M02	244.120653147	0.000000000	-0.000000000
M03	221.699848190	-0.000000000	-0.000000000
M04	202.423571742	-0.000000000	-0.000000000
M05	185.992099661	-0.000000000	-0.000000000
M06	157.025966115	-0.000000000	-0.000000000
M07	119.296969179	-0.000000000	-0.000000000
M08	13.712087714	0.000000000	-0.000000000
Blende	178.328611199	-0.000000000	-0.000000000
M09	186.856044008	-0.000000000	-0.000000000
Wafer	0.000000302	0.000000000	180.000000000

Freiformkoeffizienten der Flächen Tabelle 3a zu Figur 47

Koeffizient	Formel	M01	M02	M03
C2	y	-2.3184573390e-04	-1.5255109035e-03	-1.1286552982e-03
C7	x²y	-1.3331858915e-09	-2.0537689606e-08	-9.5071643339e-08
C9	y³	-1.8241116714e-08	5.9465242700e-07	2.3149662265e-08
C10	x⁴	1.7305129211e-11	3.1854556108e-11	-6.9339830289e-12
C12	x²y²	1.2616639269e-12	-3.6674576966e-10	2.7066148116e-11
C14	y⁴	-8.3137652607e-12	1.9944929919e-10	-3.0742437401e-11
C16	x⁴y	1.9873920432e-14	5.6217422917e-14	6.0056753966e-14
C18	x²y³	-3.1180553335e-14	-1.2980711349e-12	-2.5782594383e-14
C20	y⁵	-2.4986055339e-14	-5.7054060338e-12	5.5353721940e-14
C21	x⁶	1.0573403792e-17	-1.9617443509e-17	-2.3101613421e-16
C23	x⁴y²	3.4368916661e-17	2.3818729172e-16	1.0407136606e-16
C25	x²y⁴	-8.4595676345e-17	-5.8809754843e-15	8.8813855889e-17
C27	y⁶	-2.3626287952e-16	-3.0376197642e-14	7.9925849232e-17
C29	x⁶y	6.5674489968e-21	2.8360686950e-19	-4.0866058998e-20
C31	x⁴y³	8.4977841943e-20	-2.1173720737e-18	-6.5494996176e-20
C33	x²y⁵	-3.3338610455e-19	-1.0094613043e-17	-1.1567684999e-19
C35	y⁷	-1.6704685989e-18	-9.2195054449e-17	-8.4447753000e-19
C36	x⁸	3.1181197044e-24	1.9560605067e-22	1.9016106238e-22
C38	x⁶y²	2.9970101616e-23	6.5536840945e-22	-1.0360493775e-22
C40	x⁴y⁴	9.4322614516e-22	-7.2581886014e-21	-1.2339170479e-22
C42	x²y⁶	5.0325627266e-21	5.3033051790e-20	-7.9963812100e-24
C44	y⁸	1.2904810476e-20	-1.0294838393e-19	-1.4629225979e-20
C46	X⁸y	-1.1732863762e-25	1.7004470173e-25	9.7630893676e-26
C48	x⁶y³	-1.8635901269e-24	9.9599340459e-25	-5.2498436998e-26
C50	x⁴y⁵	-3.9370076842e-24	1.5026535840e-23	-2.2405536888e-24
C52	x²y⁷	7.1535294967e-23	5.7406843465e-22	2.2730738918e-23
C54	y⁹	2.4174147962e-22	-8.1371011561e-22	1.6938607727e-23
C55	x¹⁰	-4.3425214758e-29	-1.4095736159e-27	1.8673968142e-28
C57	x⁸y²	-8.5281848525e-28	-4.5931956384e-27	-2.9699306843e-28
C59	x⁶y⁴	-9.1863282877e-27	3.3133803471e-26	5.9991225241e-27
C61	x⁴y⁶	-1.5049146826e-25	2.7350429322e-25	-1.2734790180e-27
C63	x²y⁸	-4.5541182822e-25	-2.9012338475e-25	1.8416377958e-25
C65	y¹⁰	2.8108050624e-26	-2.0895881659e-23	9.0362082512e-25
C67	x¹⁰y	1.7112746062e-30	-5.3844172661e-30	1.2297311485e-30
C69	x⁸y³	4.4172364770e-29	-6.0358521114e-29	-1.6716088551e-30
C71	x⁶y⁵	3.0650119877e-28	-1.7933829536e-28	1.0741458763e-29
C73	x⁴y⁷	-5.2911237125e-28	-1.2991327929e-27	-2.5311444056e-28
C75	x²y⁹	-9.3187901532e-27	-1.9938354883e-26	-1.4975662295e-27
C77	y¹¹	-1.7120201396e-26	2.8075804792e-26	2.4918778681e-27
C78	x¹²	4.4094849311e-34	6.9758999733e-33	-8.1074904275e-33
C80	x¹⁰y²	1.6619975470e-32	-4.0044525397e-33	-5.4957211134e-33
C82	x⁸y⁴	5.6410256892e-32	-3.6155104569e-31	-4.6518714971e-32
C84	x⁶y⁶	1.0672623949e-30	-3.3644640485e-30	-2.0640533876e-31
C86	x⁴y⁸	1.4919955190e-29	-1.2103699794e-29	1.0473536668e-30
C88	x²y¹⁰	1.9907514191e-29	2.8804078931e-28	-2.3926852531e-29
C90	y¹²	-5.3269493685e-29	2.3654977370e-27	-1.6733268314e-29
C92	x¹²y	-1.7585571219e-35	3.7411514561e-35	-4.3150967049e-36
C94	x¹⁰y³	-6.4283977529e-34	3.3273880789e-34	3.5044614453e-35
C96	x⁸y⁵	-6.4717964413e-33	2.1470323895e-33	6.2572826770e-35
C98	x⁶y⁷	-1.7663954729e-32	-7.7762333665e-34	-3.2379425599e-34
C100	x⁴y⁹	1.4548705846e-31	1.6761161297e-31	3.4011836303e-32
C102	x²y¹¹	6.9585886896e-31	3.6134437221e-30	-4.1163103244e-32
C104	y¹³	6.8004392936e-31	1.1344539745e-29	-9.5981222150e-32
C105	x¹⁴	-4.2075694046e-39	-3.3660308274e-38	4.6054390658e-38
C107	x¹²y²	-2.3805630370e-37	-3.7958640098e-38	2.4664262926e-38
C109	x¹⁰y⁴	-9.9104194339e-37	1.3627358303e-36	6.4355004883e-38
C111	x⁸y⁶	1.0226577321e-35	2.8294634180e-35	3.0265658246e-36
C113	x⁶y⁸	-8.4722268648e-35	1.7797604917e-34	-1.8248560547e-35
C115	x⁴y¹⁰	-8.4696633962e-34	1.0031711908e-33	1.2519498432e-34
C117	x²y¹²	-2.4871741470e-34	-1.3797757588e-33	6.3184579787e-34
C119	y¹⁴	3.3923228716e-33	-4.5088492717e-32	-5.2090166177e-35
C121	x¹⁴y	1.1661146813e-40	-2.3524422935e-40	-1.2550553725e-41
C123	x¹²y³	6.0745387259e-39	-1.2189060905e-39	-1.2895577644e-40
C125	x¹⁰y⁵	7.9590097953e-38	-9.0639664337e-39	-1.1773393314e-39
C127	x⁸y⁷	4.6043831471e-37	6.5923649152e-38	1.4983727545e-38
C129	x⁶y⁹	-2.5563164384e-37	4.5986519964e-37	-2.0390199926e-37
C131	x⁴y¹¹	-1.3129043411e-35	-7.3141324547e-36	-3.7185479589e-37
C133	x²y¹³	-3.2884800377e-35	-1.5960184203e-34	2.5789695384e-36
C135	y¹⁵	-1.5746790552e-35	-5.6416956835e-34	1.6837951325e-37
C136	x¹⁶	3.4369798479e-44	8.1470832447e-44	-9.3679073274e-44
C138	x¹⁴y²	2.2352130961e-42	2.0201664921e-43	-3.9727188811e-44
C140	x¹²y⁴	1.9936318708e-41	-1.0259601910e-42	1.4348956538e-43
C142	x¹⁰y⁶	-1.8585887813e-40	-6.0423447158e-41	-1.0060355795e-41
C144	x⁸y⁸	-1.3045015555e-39	-5.3138679547e-40	3.9565043288e-41
C146	x⁶y¹⁰	4.4444195371e-39	-3.4722184265e-39	-3.7382073551e-41
C148	x⁴y¹²	2.8022527364e-38	-6.4096708792e-38	-3.0036474983e-39
C150	x² y¹⁴	-1.4465129759e-38	-7.3536175671e-37	-2.7536686630e-39
C152	y¹⁶	-1.0216643204e-37	-1.8369691553e-36	-5.9764600284e-40
C154	x¹⁶y	-4.3688299026e-46	6.0943439591e-46	6.8998294212e-47
C156	x¹⁴y³	-3.5586185636e-44	1.7264894143e-45	1.4173204641e-46
C158	x¹²y⁵	-6.1435885861e-43	2.2514830819e-44	3.7874585441e-45
C160	x¹⁰y⁷	-5.3231713306e-42	-1.8040507908e-43	-3.8619882787e-44
C162	x⁸y⁹	-1.5536485752e-41	-2.3503693967e-42	2.4778842178e-43
C164	x⁶y¹¹	8.0571018451e-41	-1.2736777612e-41	2.7352811645e-42
C166	x⁴y¹³	6.3332706731e-40	-1.2402156842e-40	-6.2497089172e-42
C168	x²y¹⁵	1.0156682986e-39	-1.0576096900e-39	-1.6336149125e-41
C170	y¹⁷	2.0905689949e-40	-2.0852349937e-39	-2.5485060777e-42
C171	x¹⁸	-2.0084338634e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C173	x¹⁶y²	-1.3337668867e-47	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C175	x¹⁴y⁴	-2.0156419058e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C177	x¹²y⁶	8.4741622513e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C179	x¹⁰y⁸	2.0004310427e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C181	x⁸y¹⁰	6.3209832571e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C183	x⁶y¹²	-1.4025055911e-43	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C185	x⁴y¹⁴	-5.0183873622e-43	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C187	x²y¹⁶	7.7684870467e-43	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C189	y¹⁸	1.5258203758e-42	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C191	x¹⁸y	5.3651700308e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C193	x¹⁶y³	1.1345988661e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C195	x¹⁴y⁵	2.8368903193e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C197	x¹²y⁷	3.5470571553e-47	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C199	x¹⁰y⁹	2.0087162926e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C201	x⁸y¹¹	1.3833409443e-46	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C203	x⁶y¹³	-4.1423526372e-45	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C205	x⁴y¹⁵	-1.7908645151e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C207	x²y¹⁷	-2.0416998917e-44	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C209	y¹⁹	-1.9940585597e-45	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C210	x²⁰	7.5428628658e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C212	x¹⁸y²	4.8930258599e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C214	x¹⁶y⁴	1.0714819061e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C216	x¹⁴y⁶	2.8127311346e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C218	x¹²y⁸	-1.0390367029e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C220	x¹⁰y¹⁰	-7.7393488061e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C222	x⁸y¹²	-1.5962328657e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C224	x⁶y¹⁴	2.5067287280e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C226	x⁴y¹⁶	3.3997896018e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C228	x²y¹⁸	-1.6905629123e-47	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C230	y²⁰	-6.8861001997e-48	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C232	x²⁰y	2.1157822918e-57	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C234	x¹⁸y³	-1.0692365216e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C236	x¹⁶y⁵	-6.6401826707e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C238	x¹⁴y⁷	-1.3488102964e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C240	x¹²y⁹	-1.1538483153e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C242	x¹⁰y¹¹	-4.1696714982e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C244	x⁸y¹³	5.4963186121e-51	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C246	x⁶y¹⁵	1.0145599907e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C248	x⁴y¹⁷	2.9668225460e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C250	x²y¹⁹	2.5667063887e-49	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C252	y²¹	3.2888915028e-50	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C253	x²²	-1.6089478503e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C255	x²⁰y²	-1.0090570538e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C257	x¹⁸y⁴	-2.9286023568e-57	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C259	x¹⁶y⁶	-1.2205530502e-56	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C261	x¹⁴y⁸	2.2961571495e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C263	x¹²y¹⁰	2.9358318814e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C265	x¹⁰y¹²	1.3749132147e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C267	x⁸y¹⁴	2.0918004190e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C269	x⁶ y¹⁶	-2.2722234003e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C271	x⁴ y¹⁸	2.2436398414e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C273	x² y²⁰	1.8450778253e-52	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C275	y²²	-8.2025345565e-53	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C277	x²² y	-8.8433848309e-63	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C279	x²⁰ y³	-3.5802029359e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C281	x¹⁸ y⁵	3.4692856549e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C283	x¹⁶ y⁷	2.5477574638e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C285	x¹⁴y⁹	3.2521088120e-57	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C287	x¹²y¹¹	1.9286432862e-56	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C289	x¹⁰ y¹³	4.3855267915e-56	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C291	x⁸ y¹⁵	-1.5413178747e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C293	x⁶ y¹⁷	-1.2410698499e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C295	x⁴ y¹⁹	-2.6540993396e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C297	x² y²¹	-1.8206827092e-54	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C299	y²³	-5.3154888302e-55	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C300	x²⁴	1.4688507051e-66	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C302	x²² y²	8.9691922801e-65	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C304	x²⁰ y⁴	3.2649481684e-63	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C306	x¹⁸y⁶	2.5343730471e-62	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C308	x¹⁶ y⁸	-1.5958235876e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C310	x¹⁴ y¹⁰	-3.7833229473e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C312	x¹² y¹²	-2.7205267770e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C314	x¹⁰ y¹⁴	-9.4145268130e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C316	x⁸ y¹⁶	-1.1213358579e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C318	x⁶y¹⁸	7.6578376835e-59	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C320	x⁴ y²⁰	-3.4804656424e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C322	x²y²²	-8.3372754965e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C324	y²⁴	8.1511862048e-58	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C326	x²⁴ y	9.8401518662e-69	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C328	x²² y³	7.9730201262e-67	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C330	x²⁰ y⁵	8.6746312634e-66	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C332	x¹⁸ y⁷	-1.5679275633e-64	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C334	x¹⁶ y⁹	-3.5504813557e-63	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C336	x¹⁴ y¹¹	-2.9643234290e-62	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C338	x¹² y¹³	-1.3010189625e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C340	x¹⁰ y¹⁵	-1.7901748795e-61	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C342	x⁸ y¹⁷	1.1535660450e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C344	x⁶ y¹⁹	6.0904574722e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C346	x⁴ y²¹	9.8131191576e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C348	x² y²³	5.4883732930e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00
C350	y²⁵	3.3464858570e-60	0.0000000000e+00	0.0000000000e+00

Tabelle 3b zu Figur 47

Koeffizient	Formel	M04	M05	M06
C2	y	1.1037254798e-04	-9.7175319626e-05	-5.5480776939e-04
C7	x² y	-2.3441646363e-08	-2.7429915033e-08	6.4291720674e-08
C9	y³	2.3836393452e-08	6.1152565541e-09	-1.6846800716e-09
C10	x⁴	4.8112515241e-11	-4.5107269820e-11	2.8336781157e-11
C12	x²y²	5.3478561388e-11	-1.5073027813e-11	1.5242085259e-11
C14	y4	1.9442406609e-11	1.1831405428e-12	1.4440044701e-11
C16	x⁴ y	-2.5039841987e-14	1.0019079534e-13	3.3684858290e-14
C18	x² y³	-3.9662080156e-14	-2.4510647904e-14	1.3893214000e-13
C20	y⁵	-5.7409414277e-15	1.0152127084e-14	-2.1466776311e-13
C21	x⁶	-8.8292191086e-17	5.9164044908e-17	4.5728863270e-17
C23	x⁴ y²	1.0897086151e-17	-1.1582313041e-17	2.3125096959e-16
C25	x² y⁴	-4.4784973801e-17	-2.1473270989e-17	-7.7952138847e-16
C27	y⁶	-1.7009085998e-17	-1.4262903543e-16	-1.0100066226e-15
C29	x⁶ y	1.3505931159e-20	-6.6095754364e-20	2.6644795131e-19
C31	x⁴ y³	1.1039245583e-19	9.4356252935e-20	-1.7514803151e-18
C33	x² y⁵	3.9148772688e-20	1.4640824719e-19	-5.8256378113e-18
C35	y⁷	3.0720918130e-20	7.1010299407e-19	2.6423204282e-18
C36	x⁸	2.7464586045e-23	6.5251633661e-23	1.4729938431e-22
C38	x⁶ y²	-9.6659372838e-23	-1.1778523602e-22	-1.8769372638e-21
C40	x⁴ y⁴	4.1174478008e-22	-8.4237491781e-22	-1.5733679081e-20
C42	x²y⁶	1.2985602072e-22	-1.7272729531e-21	1.7919878801e-20
C44	y⁸	-2.9526520034e-22	1.5739161803e-20	3.3316533161e-22
C46	x⁸ y	-2.6555453862e-25	-1.8372007090e-25	-1.0754552731e-24
C48	x⁶ y³	-1.3031291975e-24	1.3387047447e-24	-1.9996184246e-23
C50	x⁴ y⁵	-1.2534025709e-24	5.9788531677e-24	4.8208560039e-23
C52	x ²y⁷	-2.0033352324e-24	-1.6058317162e-23	6.0263924778e-23
C54	y⁹	-2.5505944479e-24	-1.4391763457e-22	-7.4410171060e-23
C55	x¹⁰	6.0367981985e-28	-1.3063584935e-27	-3.1916723745e-28
C57	x⁸ y²	8.8919092395e-28	9.5143686302e-28	-1.4320807569e-26
C59	x⁶ y⁴	-7.8519597882e-28	8.4393638279e-27	7.2711882803e-26
C61	x⁴ y⁶	6.2308362927e-27	3.1110070053e-26	3.5584604903e-25
C63	x² y⁸	6.8207573377e-27	1.6301661775e-25	-1.9131265163e-25
C65	y¹⁰	2.7828866032e-26	-7.9125906150e-25	-1.1250049343e-25
C67	x¹⁰y	-3.8510365503e-31	-6.4767773809e-31	-7.9236092470e-30
C69	x⁸ y³	6.3749497678e-30	-1.8637817752e-29	2.9447310306e-29
C71	x⁶ y⁵	1.7425565993e-29	-1.5862090603e-28	9.2097219390e-28
C73	x⁴y⁷	6.0802410006e-29	-5.1352890548e-28	-4.8057821375e-28
C75	x²y⁹	4.1556674412e-29	1.3099667754e-27	-1.9002604012e-27
C77	y¹¹	1.7228196166e-28	1.4774568216e-26	5.9158703045e-27
C78	x¹²	-2.7123531988e-33	1.0143726062e-32	-1.0045662986e-33
C80	x¹⁰ y²	-6.7525586756e-33	-2.6793542815e-33	-4.3017238928e-32
C82	x⁸ y⁴	-9.4458910559e-33	4.2777410541e-33	1.0114016556e-30
C84	x⁶ y⁶	-1.8119399881e-31	4.7911076163e-31	-7.6779697730e-31
C86	x⁴y⁸	-3.6596815698e-31	1.1923767583e-30	-1.5414617010e-29
C88	x²y¹⁰	-6.3489167289e-31	-1.7055017166e-29	3.5159821727e-29
C90	y¹²	-7.5908058214e-31	-3.7988294369e-29	-2.0103142784e-29
C92	x¹² y	6.6064017100e-36	-4.8416317536e-36	-2.8296826478e-35
C94	x¹⁰ y³	-2.5843036145e-35	9.1281887744e-35	7.7097251747e-34
C96	x⁸ y⁵	-8.9625012630e-35	1.2060875663e-33	-1.9330196917e-33
C98	x⁶ y⁷	-5.1265752726e-34	3.7861182320e-33	-5.0248599797e-32
C100	x⁴y⁹	-4.6651036388e-34	-8.8016661601e-34	1.2451277078e-31
C102	x² y¹¹	-1.0346359877e-33	1.6595580632e-32	-2.0602434378e-31
C104	y¹³	-4.4859462239e-33	-4.1456701409e-31	-4.8323761522e-32
C105	x¹⁴	7.7845241534e-39	-3.7681391059e-38	-3.4930703038e-38
C107	x¹² y²	2.4706968276e-38	5.0983540171e-38	5.5905809854e-37
C109	x¹⁰ y⁴	4.1570320654e-38	-2.9003376271e-37	2.0323022007e-36
C111	x⁸y⁶	1.7327211039e-36	-5.3445882429e-36	-9.7040604897e-35
C113	x⁶ y⁸	6.0620176482e-36	-3.9889661271e-35	2.6527161248e-34
C115	x⁴y¹⁰	9.7315813133e-36	9.4677255853e-35	-6.3133535299e-34
C117	x² y¹²	1.3087845218e-35	4.6853694525e-34	-1.2064030920e-34
C119	y¹⁴	9.5829113558e-36	3.6899928836e-33	-6.8580345501e-35
C121	x¹⁴ y	-3.2010889419e-41	2.1446568474e-41	-3.6062391556e-42
C123	x¹² y³	8.0214560389e-41	-4.1724986144e-40	4.3368247074e-39
C125	x¹⁰ y⁵	1.0222565194e-40	-4.5579682373e-39	-8.9371715612e-38
C127	x⁸ y⁷	-1.2743112288e-39	-4.2208879614e-39	3.8491341790e-37
C129	x⁶ y⁹	-2.1230879978e-39	1.9758309493e-37	-1.2314046235e-36
C131	x⁴ y¹¹	-1.1786966884e-38	-8.6667062968e-37	-9.5806335728e-38
C133	x² y¹³	1.4869988767e-38	-2.4576573898e-36	8.2456539748e-37
C135	y¹⁵	5.4539894890e-38	-1.2920304446e-35	4.0804864419e-37
C136	x¹⁶	-1.0197286924e-44	6.1630014930e-44	1.8522372876e-43
C138	x¹⁴ y²	-3.0893654206e-44	-1.5559495582e-43	1.7345751230e-42
C140	x¹² y⁴	2.5655339835e-44	1.8585998437e-42	-6.7711206644e-41
C142	x¹⁰y⁶	-4.8097311714e-42	3.9864706403e-41	4.4181684825e-40
C144	x⁸ y⁸	-3.0088640854e-41	4.6729196459e-42	-1.1247481416e-39
C146	x⁶ y¹⁰	-6.0311448365e-41	-4.5877802851e-40	-1.0086738522e-39
C148	x⁴ y¹²	-8.3439482012e-41	2.8243021132e-39	2.0092440999e-39
C150	x² y¹⁴	-8.5596667670e-41	4.7459028803e-39	2.7367905146e-39
C152	y¹⁶	-4.9147603952e-41	2.2116872467e-38	1.4072168179e-39
C154	x¹⁶ y	6.9877086116e-47	-2.4596688259e-47	2.2377426674e-45
C156	x¹⁴ y³	-1.4575982984e-46	1.0870510355e-45	-3.5267657142e-44
C158	x¹² y⁵	-5.3293692170e-47	-1.0272567049e-44	1.8177286416e-43
C160	x¹⁰ y⁷	1.6120980481e-44	-5.2076419532e-44	-2.2362514039e-43
C162	x⁸ y⁹	6.0765762358e-44	4.1614420059e-44	-8.6328188868e-43
C164	x⁶y¹¹	1.1550944765e-43	3.7744556328e-43	2.6888635332e-43
C166	x⁴ y¹³	1.5769336338e-43	-3.2211660440e-42	2.6078920248e-42
C168	x² y¹⁵	-8.3121271856e-44	-3.0988314881e-42	2.7770939759e-42
C170	y¹⁷	-2.6757018919e-43	-1.5320981053e-41	7.9309823805e-43

Tabelle 3c zu Figur 47

Koeffizient	Formel	M07	M08	M09
C2	y	1.1253272212e-02	1.4921285929e-01	3.5724901001e-02
C7	x² y	-1.3904485414e-07	-6.0397082184e-07	1.1829356713e-08
C9	y³	2.1181283420e-08	2.2014836008e-06	5.2325711869e-08
C10	x⁴	6.0945764519e-11	3.4492522441e-10	-1.4175746734e-11
C12	x²y²	-1.6577833008e-10	1.1162195581e-09	-5.8919643067e-1 1
C14	y⁴	-7.6502132946e-13	7.8590255603e-09	-1.5967328995e-1 1
C16	x⁴ y	1.8250460390e-13	-7.3176565409e-13	7.7848835690e-15
C18	x² y³	-1.7932896207e-14	-5.5819003742e-13	6.0428847020e-14
C20	y⁵	-9.2211060758e-15	4.1598927511e-11	5.7809599245e-14
C21	x⁶	-1.4388904513e-16	3.4350663163e-16	-1.3390708650e-17
C23	x⁴ y²	6.3897794069e-18	5.2261966696e-15	-1.1477717204e-16
C25	x² y⁴	7.9944716417e-20	1.4680876404e-14	-1.2000553177e-16
C27	y⁶	1.1944325884e-16	2.1117947506e-13	-3.1047627466e-17
C29	x⁶ y	-1.1781453713e-19	-2.1289500586e-18	-1.4381666033e-21
C31	x⁴ y³	-2.2566395562e-19	-6.6897378217e-19	7.6005507410e-20
C33	x²y⁵	-9.5458552382e-19	5.6426096103e-17	1.3933717172e-19
C35	y⁷	-2.0361166187e-19	1.1837424583e-15	6.8423643071e-20
C36	x⁸	-2.8367536606e-22	2.7902750649e-22	-2.4129645374e-23
C38	x⁶ y²	1.0581053412e-22	1.9876919873e-20	-1.7206570904e-22
C40	x⁴ y⁴	3.7451207202e-21	1.1223397531e-19	-3.0878959077e-22
C42	x² y⁶	1.1758270291e-21	3.5765157442e-20	-2.1169927353e-22
C44	y⁷	-9.7130783328e-23	6.1792191031e-18	-4.1497031031e-23
C46	x⁸ y	-3.8872941057e-24	-1.3279847513e-23	-4.4474792963e-28
C48	x⁶ y³	-9.7130256349e-24	-8.2366962263e-23	7.8184416087e-26
C50	x⁴ y⁵	-2.6578478493e-24	4.6934331533e-22	2.4492456019e-25
C52	x² y⁷	3.7125499500e-24	2.7293360646e-21	2.7554250808e-25
C54	y⁹	2.4428573025e-25	4.8484839871e-20	1.3324088159e-25
C55	x¹⁰	4.5095697017e-27	1.7951960251e-26	-2.5232429141e-29
C57	x⁸ y²	3.1155943314e-27	3.2119438389e-26	-2.0717444962e-28
C59	x⁶ y⁴	2.0171984312e-27	-8.9376682249e-25	-5.6906902589e-28
C61	x⁴y⁶	-3.0361839034e-26	5.6784447963e-24	-7.6942227498e-28
C63	x²y⁸	-1.4184856574e-26	9.3118046150e-23	-4.0724540256e-28
C65	y¹⁰	3.0493505995e-27	6.4943696975e-22	-1.0912083734e-28
C67	x¹⁰y	5.0080848622e-29	7.9224015032e-30	3.3767363386e-32
C69	x⁸ y³	3.7230304464e-29	1.5009720679e-28	3.0924714531e-31
C71	x⁶ y⁵	1.5488250830e-28	1.6460106000e-26	9.0195122147e-31
C73	x⁴y⁷	9.9140643500e-29	1.0607284006e-25	1.1519950368e-30
C75	x² y⁹	1.7320227167e-29	2.5517394833e-25	6.1281659387e-31
C77	y¹¹	-7.4674262311e-31	5.4827901118e-24	-5.8207230145e-32
C78	x¹²	6.6161749913e-33	-1.7436484283e-31	-3.6942824616e-35
C80	x¹⁰ y²	1.0164437427e-31	9.2788630272e-31	-7.4353437705e-34
C82	x⁸ y⁴	-3.3360988652e-31	2.9406711517e-29	-2.4807970391e-33
C84	x⁶ y⁶	-6.0826783863e-31	3.2203462494e-28	-2.6960079077e-33
C86	x⁴y⁸	6.3949583504e-33	4.7687999826e-28	-8.7385159762e-34
C88	x²y¹⁰	-6.2025652737e-32	-9.9498761988e-27	-5.3601484811e-34
C90	y¹²	-4.1853700186e-32	1.0800044272e-26	-4.1305815319e-35
C92	x¹² y	-5.4834461581e-34	-2.8884550371e-34	-4.1519881561e-37
C94	x¹⁰ y³	-7.0908831698e-34	4.9143545274e-32	-1.6027084193e-36
C96	x⁸ y⁵	-4.4089993469e-34	-1.3237773617e-31	-4.0112132321e-36
C98	x⁶ y⁷	-4.9767173830e-34	-3.2006085584e-30	-6.0927548716e-36
C100	x⁴ y⁹	-3.5943943681e-34	-9.3100371924e-30	-4.8868416149e-36
C102	x²y¹¹	-3.9205497722e-34	-6.7611885196e-29	-1.7018665218e-36
C104	y¹³	7.7452228772e-35	-1.8156326470e-28	1.8609627336e-37
C105	x¹⁴	-3.2816261383e-37	1.6426903878e-36	1.4710333927e-41
C107	x¹² y²	-8.0482553389e-37	3.8756486731e-36	3.0036309795e-39
C109	x¹⁰y⁴	-2.1441444642e-36	-2.0117519913e-35	1.4297040199e-38
C111	x⁸ y⁶	8.4054613977e-36	-7.7210492428e-33	2.1321175491e-38
C113	x⁶ y⁸	1.1677778557e-35	-6.3792271864e-32	8.5964525686e-39
C115	x⁴y¹⁰	3.3706087764e-36	-8.9180858882e-32	-4.1406691713e-39
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C342	x⁸y¹⁷	0.0000000000e+00	4.0840274610e-58	8.1461582459e-70
C344	x⁶y¹⁹	0.0000000000e+00	2.3168314365e-58	-3.8844860003e-70
C346	x⁴ y²¹	0.0000000000e+00	-1.9330354259e-59	-3.5576032025e-70
C348	x² y²³	0.0000000000e+00	2.9729672713e-59	3.3853565023e-70
C350	y²⁵	0.0000000000e+00	8.7582083938e-60	4.0051948646e-71

Koordinaten des Blendenrandes Tabelle 4 zu Figur 47

x _i [mm]	y _i [mm]	x _i+N/2 [mm]	y _i+N/2 [mm]
-383.448470	-0.138724	383.731999	-13.334719
-382.871028	6.515194	383.439072	-19.870019
-382.003607	13.201685	382.858111	-26.359193
-380.847412	19.917081	381.991232	-32.799141
-379.404322	26.657606	380.841150	-39.186873
-377.676878	33.419387	379.411145	-45.519513
-375.668256	40.198453	377.705019	-51.794291
-373.382248	46.990753	375.727052	-58.008540
-370.823220	53.792158	373.481953	-64.159687
-367.996084	60.598474	370.974809	-70.245252
-364.906252	67.405455	368.211041	-76.262834
-361.559597	74.208811	365.196345	-82.210107
-357.962408	81.004214	361.936651	-88.084811
-354.121346	87.787309	358.438071	-93.884744
-350.043396	94.553717	354.706855	-99.607756
-345.735819	101.299036	350.749347	-105.251743
-341.206114	108.018844	346.571946	-110.814640
-336.461962	114.708700	342.181071	-116.294417
-331.511189	121.364146	337.583122	-121.689078
-326.361720	127.980705	332.784458	-126.996652
-321.021540	134.553893	327.791364	-132.215197
-315.498652	141.079214	322.610030	-137.342794
-309.801042	147.552172	317.246534	-142.377550
-303.936644	153.968271	311.706827	-147.317594
-297.913308	160.323019	305.996719	-152.161082
-291.738768	166.611928	300.121872	-156.906194
-285.420616	172.830504	294.087800	-161.551141
-278.966275	178.974248	287.899861	-166.094160
-272.382980	185.038640	281.563263	-170.533525
-265.677756	191.019126	275.083069	-174.867544
-258.857401	196.911112	268.464199	-179.094563
-251.928475	202.709947	261.711445	-183.212968
-244.897290	208.410916	254.829471	-187.221189
-237.769903	214.009237	247.822829	-191.117699
-230.552112	219.500053	240.695970	-194.901016
-223.249455	224.878436	233.453250	-198.569706
-215.867212	230.139385	226.098943	-202.122380
-208.410409	235.277826	218.637251	-205.557697
-200.883818	240.288610	211.072313	-208.874364
-193.291970	245.166519	203.408214	-212.071134
-185.639154	249.906251	195.648995	-215.146807
-177.929433	254.502427	187.798658	-218.100231
-170.166648	258.949585	179.861174	-220.930298
-162.354430	263.242178	171.840492	-223.635949
-154.496210	267.374583	163.740541	-226.216170
-146.595236	271.341112	155.565238	-228.669994
-138.654581	275.136024	147.318493	-230.996500
-130.677159	278.753553	139.004212	-233.194813
-122.665740	282.187936	130.626298	-235.264107
-114.622962	285.433446	122.188661	-237.203601
-106.551346	288.484434	113.695214	-239.012562
-98.453309	291.335369	105.149877	-240.690306
-90.331173	293.980881	96.556580	-242.236195
-82.187183	296.415805	87.919265	-243.649643
-74.023510	298.635227	79.241883	-244.930110
-65.842268	300.634526	70.528397	-246.077109
-57.645517	302.409422	61.782782	-247.090202
-49.435276	303.956012	53.009026	-247.969001
-41.213530	305.270819	44.211126	-248.713171
-32.982233	306.350825	35.393090	-249.322425
-24.743319	307.193509	26.558933	-249.796532
-16.498706	307.796873	17.712679	-250.135310
-8.250301	308.159475	8.858357	-250.338628
0.000000	308.280440	0.000000	-250.406409
8.250301	308.159475	-8.858357	-250.338628
16.498706	307.796873	-17.712679	-250.135310
24.743319	307.193509	-26.558933	-249.796532
32.982233	306.350825	-35.393090	-249.322425
41.213530	305.270819	-44.211126	-248.713171
49.435276	303.956012	-53.009026	-247.969001
57.645517	302.409422	-61.782782	-247.090202
65.842268	300.634526	-70.528397	-246.077109
74.023510	298.635227	-79.241883	-244.930110
82.187183	296.415805	-87.919265	-243.649643
90.331173	293.980881	-96.556580	-242.236195
98.453309	291.335369	-105.149877	-240.690306
106.551346	288.484434	-113.695214	-239.012562
114.622962	285.433446	-122.188661	-237.203601
122.665740	282.187936	-130.626298	-235.264107
130.677159	278.753553	-139.004212	-233.194813
138.654581	275.136024	-147.318493	-230.996500
146.595236	271.341112	-155.565238	-228.669994
154.496210	267.374583	-163.740541	-226.216170
162.354430	263.242178	-171.840492	-223.635949
170.166648	258.949585	-179.861174	-220.930298
177.929433	254.502427	-187.798658	-218.100231
185.639154	249.906251	-195.648995	-215.146807
193.291970	245.166519	-203.408214	-212.071134
200.883818	240.288610	-211.072313	-208.874364
208.410409	235.277826	-218.637251	-205.557697
215.867212	230.139385	-226.098943	-202.122380
223.249455	224.878436	-233.453250	-198.569706
230.552112	219.500053	-240.695970	-194.901016
237.769903	214.009237	-247.822829	-191.117699
244.897290	208.410916	-254.829471	-187.221189
251.928475	202.709947	-261.711445	-183.212968
258.857401	196.911112	-268.464199	-179.094563
265.677756	191.019126	-275.083069	-174.867544
272.382980	185.038640	-281.563263	-170.533525
278.966275	178.974248	-287.899861	-166.094160
285.420616	172.830504	-294.087800	-161.551141
291.738768	166.611928	-300.121872	-156.906194
297.913308	160.323019	-305.996719	-152.161082
303.936644	153.968271	-311.706827	-147.317594
309.801042	147.552172	-317.246534	-142.377550
315.498652	141.079214	-322.610030	-137.342794
321.021540	134.553893	-327.791364	-132.215197
326.361720	127.980705	-332.784458	-126.996652
331.511189	121.364146	-337.583122	-121.689078
336.461962	114.708700	-342.181071	-116.294417
341.206114	108.018844	-346.571946	-110.814640
345.735819	101.299036	-350.749347	-105.251743
350.043396	94.553717	-354.706855	-99.607756
354.121346	87.787309	-358.438071	-93.884744
357.962408	81.004214	-361.936651	-88.084811
361.559597	74.208811	-365.196345	-82.210107
364.906252	67.405455	-368.211041	-76.262834
367.996084	60.598474	-370.974809	-70.245252
370.823220	53.792158	-373.481953	-64.159687
373.382248	46.990753	-375.727052	-58.008540
375.668256	40.198453	-377.705019	-51.794291
377.676878	33.419387	-379.411145	-45.519513
379.404322	26.657606	-380.841150	-39.186873
380.847412	19.917081	-381.991232	-32.799141
382.003607	13.201685	-382.858111	-26.359193
382.871028	6.515194	-383.439072	-19.870019
383.448470	-0.138724	-383.731999	-13.334719
383.735407	-6.756510	-383.735407	-6.756510

Tabelle 5 zu Fig. 47

NA	Numerische Apertur	0,75
lβxl	Vergrößerungsmaßstab in Crossscanrichtung	4,0
\|βy\|	Vergrößerungsmaßstab in Scanrichtung	8,0
RMS	gescannte Wellenfrontabweichung	7,8 mλ
N	Anzahl der Spiegel	9

48 bis 56 zeigen Randkonturen von Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M9 der Projektionsoptik 31.
Insbesondere die GI-Spiegel M2 bis M6 haben ein stark von 1 abweichendes x/y-Aspektverhältnis.
47 bis 65 zeigen wiederum Randkonturen 28_M1 bis 28_M9 bei zur Minimierung der Anzahl der DOE 16_i optimierter Anordnung des jeweiligen Prüflicht-Strahlengangs zur Vermessung der Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M9.
Die Randkontur 28_M9 ist so klein, dass sie mit einem einzigen DOE 16 abgedeckt werden kann. Zur Abdeckung der Randkontur 28_M1 sind zwei DOEs 16₁, 16₂ erforderlich. Zur Abdeckung der Randkonturen 28_M3, 28_M6 und 28_M7 sind jeweils drei DOE 16_i (i = 1 bis 3) erforderlich. Zur Abdeckung der Randkonturen 28_M4 und 28_M5 sind jeweils vier DOE 16_i (i = 1 bis 4) erforderlich. Zur Abdeckung der Randkontur 28_M8 sind sechs DOEs 16_i (i = 1 bis 6) erforderlich.
Insgesamt sind 32 DOEs 16_i bzw. 32 DOE-Prüfpositionen erforderlich, um alle Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M9 der abbildenden Optik 32 vollständig zu vermessen. Das Verhältnis zwischen dieser Anzahl 32 der DOEs 16_i und der Anzahl 9 der Spiegel der abbildenden Optik 32 ist 32/9 = 3,56.
In der nachfolgenden Tabelle sind die Anzahldaten hinsichtlich Spiegelanzahl und Minimalzahl DOE für die drei vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele noch einmal zusammengefasst.

Projektionsoptik Anzahl der Spiegel Minimalzahl DOEs DOEs pro Spiegel

7 8 24 3,00

24 11 34 3,09

47 9 32 3,56

Spiegel/DOE-Anzahldaten der Ausführungsbeispiele nach den 7, 24 und 47
Zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauteils wird die Projektionsbelichtungsanlage 1 folgendermaßen eingesetzt: Zunächst werden die Reflexionsmaske 10 beziehungsweise das Retikel und das Substrat beziehungsweise der Wafer 11 bereitgestellt. Anschließend wird eine Struktur auf dem Retikel 10 auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers 11 mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 projiziert. Durch Entwicklung der lichtempfindlichen Schicht wird dann eine Mikro- oder Nanostruktur auf dem Wafer 11 und somit das mikrostrukturierte Bauteil erzeugt.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

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WO 2012126867 [0056]
DE 10155711 [0056]
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WO 2016166080 A1 [0060, 0099, 0115]
DE 102015226531 A1 [0060, 0099, 0115]
US 20070058269 A1 [0067]

Claims

Abbildende Optik (7; 31; 32) - mit einer Mehrzahl von Spiegeln (Ml bis M8; M1 bis M11; M1 bis M9) zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8), - mit einer bildseitigen numerischen Apertur, die größer ist als 0,55, - wobei jeder der Spiegel (M1 bis M8; M1 bis M11; M1 bis M9) derart ausgeführt ist, dass er mit einer Prüfoptik (15) mit mindestens einem DOE (16) mit vorgegebenem maximalen Durchmesser zur Prüfwellenfront-Erzeugung vermessen werden kann, - wobei die abbildende Optik (7; 31; 32) derart ausgeführt ist, dass zur vollständigen Vermessung aller Reflexionsflächen der Spiegel (M1 bis M8; M1 bis M11; M1 bis M9) der abbildenden Optik (7; 31; 32) -- eine maximale Anzahl von DOEs (16_i) der Prüfoptik (15) und/oder -- eine maximale Anzahl von DOE-Prüfpositionen des mindestens einen DOEs (16) der Prüfoptik (15) erforderlich ist, die höchstens fünfmal so groß ist wie die Anzahl der Spiegel der abbildenden Optik (7; 31; 32).
Abbildende Optik nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegel (M1 bis M8; M1 bis M11; M1 bis M9) zur Prüfung mit einer Prüfoptik (15) ausgelegt sind, deren mindestens ein DOE (16) einen maximalen Durchmesser von weniger als 500 mm hat.
Abbildende Optik nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Ausführung als anamorphotische Optik.
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch einen Wellenfrontfehler von höchstens 20 mλ.
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Spiegelanzahl von mindestens acht.
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur vollständigen Vermessung genau einer Reflexionsfläche der Spiegel (M1 bis M8; M1 bis M11; M1 bis M9) der abbildenden Optik (7; 31; 32) - eine maximale Anzahl von DOEs (16_i) der Prüfoptik (15) und/oder - eine maximale Anzahl von DOE-Prüfpositionen des mindestens einen DOEs (16) der Prüfoptik (15) erforderlich ist, die nicht größer ist als 7.
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch mindestens vier GI-Spiegel.
Abbildende Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch mindestens drei NI-Spiegel.
Optisches System - mit einer abbildenden Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 8 und - mit einer Beleuchtungsoptik (6) zur Beleuchtung des Objektfeldes (4) mit Beleuchtungs- und Abbildungslicht (3).
Beleuchtungssystem mit einem optischen System nach Anspruch 9 und mit einer Lichtquelle (2) zur Erzeugung des Beleuchtungs- und Abbildungslichts (3).
Projektionsbelichtungsanlage für die Projektionslithographie mit einem Beleuchtungssystem nach Anspruch 10.
Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten: - Bereitstellen eines Retikels (10) und eines Wafers (11), - Projizieren einer Struktur auf dem Retikel (10) auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers (11) mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 11, - Erzeugen einer Mikro- und/oder Nanostruktur auf dem Wafer (11).
Strukturiertes Bauteil, hergestellt nach einem Verfahren nach Anspruch 12.