DE69316409T2 - Verfahren zur Transformierung eines Flüssigkeitsstromes in einen Gasstrom und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Transformierung eines Flüssigkeitsstromes in einen Gasstrom und Vorrichtung zur Durchführung dieses VerfahrensInfo
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Description
- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Transformierung eines Flüssigkeitsstromes in einen Gasstrom, wobei der Flüssigkeitsstrom in einen Raum geleitet wird, in dem die Flüssigkeit verdampft und der so entstehende Dampf mit einem Trägergas vermischt fortgetragen wird.
- Derartige Verfahren und Vorrichtungen sind bekannt und werden verwendet zum Beispiel an Orten, wo der betreffende Gas- oder Dampfstrom zur Implementierung von Prozessen für die chemische Aufdampfung benötigt wird, wie sie bei der Herstellung von Chips durchgeführt werden.
- Ein gebräuchliches Verfahren zum Erreichen einer derartigen Transformierung ist das sogenannte Blasen- (oder Bubbler) Verfahren. Dabei wird ein Trägergas - zum Beispiel Sauerstoff - in die Flüssigkeit, die verdampft werden soll geleitet, zum Beispiel Tetra-Ethyl-Ortho-Silikat - TEOS. Das Trägergas verursacht in der Flüssigkeit Gasblasen. Wenn die Flüssigkeit bei einer bestimmten hohen Temperatur gehalten wird, wird in dem abgeschlossenen Raum über der Flüssigkeitsoberfläche eine Mischung aus Trägergas und Dampf gebildet. Diese Mischung wird dann fortgetragen und kann zum Beispiel in dem besagten Aufdampfprozeß verwendet werden.
- Dieses bekannte Verfahren hat Nachteile: der austretende Gasstrom - daher die Mischung - ist nicht kontinuierlich und nicht stabil. Große Schwankungen bezüglich der Stabilität und Kontinuität können entstehen und ein derartiger Strom wird durch zum Beispiel Gaseinschlüsse hin und wieder selbst gänzlich unterbrochen. Die Nachteile sind besonders hervorspringend, wenn man mit schwachen Flüssigkeitsströmen arbeitet, wie zum Beispiel 10 - 500 Gramm/Stunde.
- Die Instabilität und Diskontinuität wird besonders verursacht aufgrund der Tatsache, daß die Temperatur ein derartiger kritischer Parameter ist in Hinblick auf jene Größeneinheiten, aber andere Parameter beeinflussen ebenfalls beide Einheiten in starkem Maße, wie zum Beispiel der Druck, die Größe der Blasen und die Höhe des Flüssigkeitsstandes. Es sei auch bemerkt, daß dieses Blasenverfahren, falls nötig, auch ohne die Verwendung eines Trägergases durchgeführt werden kann. Jedoch ist in diesem Fall eine relativ hohe Temperatur - für TEOS ungefähr 110 ºC - erforderlich.
- Ein Gas-Flüssigkeits-Mischen mit partieller Verdampfung ist auch von EP-A-0488 909 (veröffentlicht am 3.06.92) und GB-A-578 783 bekannt. Nach diesen bekannten Verfahren und Vorrichtungen wird der Flüssigkeitsstrom von einem Gasimpuls angesaugt, die Flüssigkeitsmenge wird durch die Gasimpulse bestimmt, eine vollständige Verdampfung kann nicht eintreten.
- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung, so wie sie beansprucht wird, wobei die besagten Nachteile nicht auftreten.
- Es ist wesentlich, daß die Misch- und Verdampfungsschritte vollständig und kontrolliert durchgeführt werden. Zu diesem Zweck wird sichergestellt, daß die Flüssigkeit mit dem Trägergas "unmittelbar" gemischt wird, das heißt bevor sie einen weiten Weg zurücklegen muß und daß die Verdampfung ebenfalls kurz danach erfolgt. Es ist dann wichtig, daß, sobald eine Flüssigkeit, die verdampft werden soll, in den Raum gelangt, in dem das Mischen mit dem Trägergas stattfindet, sie in einen intensiven Kontakt mit dem Trägergas treten kann. Deshalb muß das Trägergas zu und entlang dem Ort geleitet werden, wo die Flüssigkeit in den Mischraum eintritt und danach muß die Mischung schnell - infolgedessen zum Beispiel mit einem kurzen Abstand - in den Verdampfungsraum gebracht werden.
- Wärme ist für die Verdampfung nötig. Abhängig von der Flüssigkeit, die verdampft werden soll, und der Menge muß Wärme entweder zugeführt oder von der Umgebung aufgenommen werden, ohne unerwünschte Auswirkungen.
- Es zeigt sich, daß Stabilität und Kontinuität des Gasstromes im Fall der erfindungsgemäßen Anwendung des Verfahrens weniger als 1% schwanken.
- Gemäß der Erfindung wird die Mischung mit Hilfe eines einstellbaren Ventils in den Mischraum gebracht und die Mischung wird unter Druck zum Verdampfungsraum transportiert. Natürlich werden im Fall, daß mehrere Flüssigkeiten in den Mischraum gebracht werden, mehrere einstellbare Ventile verwendet: für jede Flüssigkeit eines. Der Druck, bei dem die Mischung in den Verdampfungsraum gebracht wird, wird mit Hilfe einer Düse, die den Ausgang des Mischraums bildet, aufgebaut.
- Flüssigkeiten, auf die das Verfahren gemäß der Erfindung angewendet wird, sind zum Beispiel: Trimethylphosphat (TMP): (CH&sub3;O)&sub3;P; Trimethylborat (TMB): (CH&sub3;O)&sub3;B; sowie Tetra-Ethyl-Ortho-Silikat (TEOS): (CH&sub3;-CH&sub2;O)&sub4;-Si. Sauerstoff wird als Trägergas für alle drei verwendet und im gasförmigen Zustand werden sie für die Herstellung von Halbleitern verwendet.
- In einem Implementierungsbeispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung, wobei TEOS als Flüssigkeit verwendet wird, wurde mit einem Flüssigkeitsstrom von 30 Gramm/Stunde und mit einem Sauerstoff-Trägergasstrom von 6 l/Minute gearbeitet. Um eine gute Verdampfung zu gewährleisten wurde eine Zufuhr von 10 J/s an Wärme benötigt (bei Verwendung von TMP und TMB erwies sich eine zusätzliche Zufügung von Wärme als unnötig).
- Ein weiterer Flüssigkeitstyp, für den das Verfahren gemäß der Erfindung angewendet wurde ist TiCl&sub4;, wobei Wasserstoff als Trägergas verwendet wird. Als Gas wird diese Substanz zum Anlassen von Metallen, zum Beispiel Drehwerkzeugen verwendet.
- Die Erfindung bezieht sich auch auf eine Vorrichtung zur Implementierung des oben beschriebenen Verfahrens. Eine derartige Vorrichtung umfaßt einen Behälter, der aus einem ersten Raum besteht, um die Flüssigkeit mit dem Gas in Berührung zu bringen, einer Zufuhrleitung für die Flüssigkeit und einer Zufuhrleitung für ein Gas, die beide in dem besagten ersten Raum vorhanden sind, einem zweiten Raum zur Verdampfung der Flüssigkeit und einem Ausgang für das Gas und die verdampfte Flüssigkeit. Die besagte Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Zufuhrleitung für die Flüssigkeit ein oder mehrere einstellbare Ventile enthält, die sich in der Nähe des Endes der Zufuhrleitung befinden, mit einer Ventilmündung, die in den ersten Raum mündet, und daß die Gaszufuhrleitung so angeordnet ist, daß der Gasstrom hinter die Ventilmündung geleitet wird, so daß der Flüssigkeitsstrom von dem Gasstrom mitgenommen wird.
- Eine bevorzugte Ausführung einer Vorrichtung gemäß der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung aus einem Behälter besteht mit einem ersten Kanal in einer Wand für das Ventil, mit einem zweiten Kanal in einer Wand für die Zufuhr des Trägergases zu einer Stelle in unmittelbarer Nähe jenes ersten Kanals, mit einem hauptsächlich röhrenförmigen Teil vorzugsweise in der Nähe der Verlängerung des ersten Kanals, der als Mischraum dient und der über eine Düse in einen geschlossenen Verdampfungsraum mündet, wovon eine Wand mit einer Ausgangsöffnung für die Mischung aus Trägergas und Dampf/Gas versehen ist. Die Verdampfungseinheit kann in Serie geschaltet sein, wobei der Gas/Dampfstrom der ersten Einheit als ein Trägergas für eine folgende Einheit dient.
- Die Erfindung wird weiter an Hand einer Zeichnung erklärt, in der:
- Fig. 1 schematisch eine bekannte Vorrichtung für die Transformierung des Flüssigkeitsstromes in einen Gasstrom zeigt;
- Fig. 2 schematisch den Teil einer Vorrichtung gemäß der Erfindung zeigt, wo die Mischung der Flüssigkeit mit dem Trägergas stattfindet;
- Fig. 3 schematisch eine Implementierungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung zeigt.
- In der in Fig. 1 gezeigten bekannten Vorrichtung - eine sogenannte "Blasen"- (Bubbler) Einrichtung - wird das Trägergas über eine Dosiereinrichtung 1 in der Richtung des Pfeils 2 über die Röhre 3 in den Behälter 4 geleitet, in dem sich die zu verdampfende Flüssigkeit 5 befindet. Im Behälter 4 findet die Mischung des Trägergases mit der Flüssigkeit 5 statt und die Verdampfung findet ebenfalls statt. Mit Hilfe einer Heiz- und Regeleinrichtung 7, die zu diesem Zweck in dem Behälter anwesend ist, wird gewährleistet, daß die Wärmemenge, die erwünscht ist, um die Verdampfung stattfinden zu lassen, zugefügt wird. Die entstehende Mischung von Trägergas und Dampf/Gas wird oberhalb der Oberfläche der Flüssigkeit 5 aufgefangen und über eine Ausgangsleitung 8 und eine Dosiereinrichtung 9 zu dem Ort geleitet, wo der Dampf benötigt wird.
- Der Strom des Gemischs, der auf diese bekannte Weise erzeugt wird, der die Vorrichtung verläßt, ist nicht stabil und nicht kontinuierlich.
- Fig. 2 zeigt schematisch einen bedeutenden Teil der Vorrichtung gemäß der Erfindung und zwar jenen Teil, in dem das Trägergas der Ausgangsöffnung eines Ventils im Mischraum zugeführt wird. Ein Trägergas 10 strömt in Pfeilrichtung in den Mischraum 11. Die zu verdampfende Flüssigkeit strömt in jenen Mischraum 11 über die Ventilmündung 12. Als Folge der Tatsache, daß das Trägergas auf eine genaue Weise zur Ventilmündung geleitet wird, wird sobald Flüssigkeit in den Mischraum 11 durch die Ventilmündung zu "fallen" droht, diese Flüssigkeit von dem Trägergas "eingefangen" und damit gründlich vermischt. Die auf diese Weise erhaltene Mischung wird dann in der Richtung des Pfeils 13 in den Verdampfungsraum geleitet.
- Fig. 3 zeigt eine Skizze einer Vorrichtung gemäß der Erfindung in mehr Einzelheiten. Der Behälter 14 hat eine Öffnung 15 in einer Wand, durch die Trägergas 16 in der Richtung des Pfeils zum Mischraum 17 strömt. Das Trägergas 16 wird zu einer Stelle unmittelbar unterhalb der Ausgangsöffnung 25 des Ventils 19 (im allgemeinen ein magnetisch betätigtes Ventil) geleitet, das durch eine Öffnung in einer Wand des Behälters 14 in den Mischraum 17 mündet. Es sei erwähnt, daß obgleich nur ein Ventil in der Zeichnung eingezeichnet ist, eine Vorrichtung gemäß der Erfindung mehrere Einlaßventile haben kann, durch die verschiedene Flüssigkeiten in den Mischraum gebracht werden können.
- Im Mischraum 17 findet die vollständige Mischung statt. Das Gemisch strömt anschließend in den überwiegend röhrenförmigen Teil 20 entsprechend dem Pfeil 21. Die Mischung wird dann über das Sprühstück 22 - siehe Pfeil 23 - in den Verdampfungsraum (24) gesprüht. In diesem Raum findet dann die Verdampfung statt und von dort wird die Mischung aus Gas und Dampf zum Bestimmungsort transportiert.
Claims (3)
1. Verfahren zur Transformierung eines Flüssigkeitsstromes in einen Gasstrom,
bei dem der Flüssigkeitsstrom mit einem Gasstrom in einen Mischraum (11, 17)
gebracht wird, wonach das besagte Gas und die besagte Flüssigkeit in einen
Verdampfungsraum (24) geleitet wird, um besagte Flüssigkeit zumindest teilweise zu
verdampfen, und daß schließlich dieser Strom den Verdampfungsraum (24) verläßt, dadurch
gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit über eine Ventilmündung (12, 25) in den
Mischraum (11, 17) gebracht wird, der Flüssigkeitsstrom von einem oder mehreren
einstellbaren Ventilen geregelt wird und daß das Gas ein Trägergas enthält, dessen Strom
hinter den Ausgang der besagten Ventilmündung geleitet wird, so daß im wesentlichen
der gesamte Flüssigkeitsstrom mit dem Gasstrom zum Verdampfungsraum
transportiert wird.
2. Vorrichtung zur Implementierung des Verfahrens nach Anspruch 1, die einen
Behälter enthält, der aus einem ersten Raum (11, 17) besteht, um die Flüssigkeit mit
dem Gas in Berührung zu bringen, einer Zufuhrleitung für die Flüssigkeit und einer
Zufuhrleitung für das Gas, die beide in dem besagten ersten Raum vorhanden sind,
einem zweiten Raum (24) zur Verdampfung der Flüssigkeit und einem Ausgang für
das Gas und die verdampfte Flüssigkeit, dadurch gekennzeichnet, daß die
Zufuhrleitung für die Flüssigkeit (12, 25) ein oder mehrere einstellbare Ventile enthält,
die sich in der Nähe des Endes der Zufuhrleitung befinden, mit einer Ventilmündung,
die in den ersten Raum (11, 17) mündet, und daß die Gaszufuhrleitung so angeordnet
ist, daß der Gasstrom hinter die Ventilmündung geleitet wird, so daß der
Flüssigkeitsstrom von dem Gasstrom mitgenommen wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung
aus einem Behälter (14) besteht mit einem ersten Kanal (25) in einer Wand für ein
Ventil für den Flüssigkeitsstrom, mit einem zweiten Kanal in einer Wand, um das Gas
(16) zum Flüssigkeitsstrom vom Ausgang des besagten ersten Kanals (25) zu leiten,
mit einem hauptsächlich röhrenförmigen Teil (20) vorzugsweise in der Nähe der
Verlängerung des ersten Kanals (25), der als Mischraum dient und der über eine Düse
(22) in einen geschlossenen Verdampfungsraum (24) mündet, wovon eine Wand mit
einer Ausgangsöffnung für das Gas und die verdampfte Flüssigkeit versehen ist.
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3409812A1 (de) | 2017-05-31 | 2018-12-05 | Meyer Burger (Germany) AG | Gasversorgungssystem und gasversorgungsverfahren |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5575854A (en) * | 1993-12-30 | 1996-11-19 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor treatment apparatus |
| DE19515776A1 (de) * | 1994-04-28 | 1995-11-02 | Nippon Denso Co | Verbesserter Aufbau einer volumetrischen Meßvorrichtung |
| DE19502944C2 (de) * | 1995-01-31 | 2000-10-19 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zur Überführung eines Flüssigkeitsstromes in einen Gasstrom |
| US5653813A (en) * | 1995-04-03 | 1997-08-05 | Novellus Systems, Inc. | Cyclone evaporator |
| TW393521B (en) * | 1996-05-23 | 2000-06-11 | Ebara Corp | Vaporizer apparatus and film deposition apparatus therewith |
| US6045864A (en) | 1997-12-01 | 2000-04-04 | 3M Innovative Properties Company | Vapor coating method |
| US6012647A (en) * | 1997-12-01 | 2000-01-11 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus and method of atomizing and vaporizing |
| DE19755643C2 (de) * | 1997-12-15 | 2001-05-03 | Martin Schmaeh | Vorrichtung zum Verdampfen von Flüssigkeit und zum Herstellen von Gas/Dampf-Gemischen |
| KR100460746B1 (ko) * | 1999-04-13 | 2004-12-09 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 구리 금속 배선 형성 방법 |
| JP4393677B2 (ja) * | 1999-09-14 | 2010-01-06 | 株式会社堀場エステック | 液体材料気化方法および装置並びに制御バルブ |
| DE19947609C1 (de) * | 1999-10-04 | 2001-05-03 | Univ Muenchen Tech | Vorrichtung zur Erzeugung von Ein- oder Mehrkomponenten-Prüfgas organisch-chemischer Stoffe |
| US6761109B2 (en) * | 2001-03-28 | 2004-07-13 | The Boc Group, Inc. | Apparatus and method for mixing a gas and a liquid |
| US7008658B2 (en) * | 2002-05-29 | 2006-03-07 | The Boc Group, Inc. | Apparatus and method for providing treatment to a continuous supply of food product by impingement |
| US20030228401A1 (en) * | 2002-06-06 | 2003-12-11 | Newman Michael D. | System and method of using non-volatile microbiocidal application agents |
| TW201209219A (en) * | 2010-08-16 | 2012-03-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Coating apparatus and coating method |
| JP2012205970A (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-25 | Chino Corp | 蒸発装置 |
| EP2739765B1 (de) | 2011-08-05 | 2019-01-16 | 3M Innovative Properties Company | Systeme und verfahren zur verarbeitung von dampf |
| US20180141080A1 (en) | 2015-06-30 | 2018-05-24 | 3M Innovative Properties Company | Discontinuous coatings and methods of forming the same |
| US20190112711A1 (en) | 2016-04-01 | 2019-04-18 | 3M Innovative Properties Company | Roll-To-Roll Atomic Layer Deposition Apparatus and Method |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL72520C (de) * | ||||
| US921934A (en) * | 1908-05-07 | 1909-05-18 | John M Willard | Apparatus for producing gas from liquid hydrocarbons. |
| US1122703A (en) * | 1913-07-21 | 1914-12-29 | Lester M Dull | Carbureter. |
| US1202771A (en) * | 1914-04-08 | 1916-10-31 | Miles E Babbitt | Carbureter. |
| US1207664A (en) * | 1914-09-03 | 1916-12-05 | Thurston Motor Fuel Gasifier Company Of California | Gaseous heater. |
| US1798065A (en) * | 1927-12-28 | 1931-03-24 | Clark Rice Owen | Carburetor |
| US1965144A (en) * | 1932-11-01 | 1934-07-03 | Kane Carburetor Corp | Carburetor |
| GB578783A (en) * | 1943-03-24 | 1946-07-11 | British Thomson Houston Co Ltd | Improvements in apparatus for producing aerosols |
| NL142338B (nl) * | 1968-02-28 | 1974-06-17 | Showa Denko Kk | Toestel ten gebruike bij een inrichting voor het bereiden van een aerosol van een chemische verbinding. |
| DE2151007B2 (de) * | 1971-10-08 | 1976-08-19 | Auergesellschaft Gmbh, 1000 Berlin | Verfahren und vorrichtung zum kontinuierlichen herstellen eines gemisches von gas mit dampf |
| US4916077A (en) * | 1987-02-27 | 1990-04-10 | Shell Oil Company | Method and apparatus for oxidative decomposition and analysis of a sample |
| US4950456A (en) * | 1987-02-27 | 1990-08-21 | Shell Oil Company | Apparatus for analysis of a sample for sulphur |
| JPH0784662B2 (ja) * | 1989-12-12 | 1995-09-13 | アプライドマテリアルズジャパン株式会社 | 化学的気相成長方法とその装置 |
| US5204314A (en) * | 1990-07-06 | 1993-04-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Method for delivering an involatile reagent in vapor form to a CVD reactor |
| FR2669555B1 (fr) * | 1990-11-27 | 1993-07-23 | Ass Gestion Ecole Fr Papeterie | Dispositif de conditionnement de gaz. |
-
1992
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1993
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-
1994
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
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