JP2000024601A

JP2000024601A - ディスク形ワークの洗浄装置

Info

Publication number: JP2000024601A
Application number: JP10194129A
Authority: JP
Inventors: Yoshinobu Terui; 井善信照; Hiroshi Sato; 藤博司佐
Original assignee: Speedfam Clean System Co Ltd
Current assignee: Speedfam Clean System Co Ltd
Priority date: 1998-07-09
Filing date: 1998-07-09
Publication date: 2000-01-25
Also published as: US6163916A

Abstract

(57)【要約】【課題】ディスク形ワークを大きな駆動力で確実に回
転させながら洗浄することができる、簡単で効率的な駆
動手段を備えた洗浄装置を得る。【解決手段】ワークＷを１枚ずつ洗浄するための洗浄
機構１８を、上記ワークを軸線の回りに強制的に回転さ
せる無端の駆動ベルト１９と、回転するワークＷの両面
を両側から挟持して洗浄する一対の洗浄ローラー２０，
２０とで構成し、上記駆動ベルト１９を、ワークＷの円
周方向に湾曲させた状態で該ワークＷの外周に線接触さ
せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク基板
や光ディスク基板、シリコンウエハ、ガラスウエハなど
のような、実質的にディスク形をしたワークを洗浄する
ための装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ディスク形をしたワークをロール状の洗
浄部材で洗浄するスクラブ式の洗浄装置は、例えば特開
昭６１−８７３４号公報や特公平７−１４５０９号公報
等に記載されているように、従来より公知である。

【０００３】この種の洗浄装置は一般に、ワークの外周
に小径で硬質の駆動ローラーを接触させ、この駆動ロー
ラーでワークを軸線の回りに強制的に回転させながら、
該ワークの表面を回転する上記洗浄部材で洗浄するよう
に構成されている。

【０００４】ところがこのように、ワークの外周に小径
の駆動ローラーを接触させて回転させる方法は、該駆動
ローラーとワークとの接触が点接触であるため、該駆動
ローラーの回転力がワークに伝わりにくく、スリップに
よる回転不良を生じ易いという問題があった。しかも、
このように駆動ローラーがスリップする現象は、ワーク
に作用する洗浄部材の面圧（押付力）が大きいほど顕著
に現れるため、該面圧をあまり大きくすることができ
ず、これが洗浄効果を低下させる原因の１つになってい
た。

【０００５】上記スリップの問題は、上記駆動ローラー
を複数設けることによってある程度解決することはでき
るが、洗浄槽内の狭い空間部分に複数の駆動ローラーを
適度の間隔を保って設置しなければならないため、それ
らの設置スペースの確保が難しい。しかも、間隔をおい
て位置する複数の駆動ローラーをそれぞれ駆動源に連結
しなければならないため、装置の構造が複雑化し、これ
らの駆動ローラーや連結機構等がワークの搬送や洗浄部
材の配置等の邪魔になるという問題も生ずる。また、硬
質の駆動ローラーとの接触によってワークの外周に傷が
付き易いという欠点もある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な技術的
課題は、ワークを大きな駆動力で確実に回転させながら
洗浄することができる、簡単で効率的な駆動手段を備え
た洗浄装置を提供することにある。

【０００７】本発明の他の技術的課題は、洗浄中のワー
クを傷付けることなく安全かつ確実に回転させることが
できる、ベルト式の駆動手段を備えた洗浄装置を提供す
ることにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、ディスク形ワークを１枚ずつ洗浄
するための洗浄機構を少なくとも１つ備えた洗浄装置が
提供される。この洗浄機構は、上記ワークを軸線の回り
に強制的に回転させる無端の駆動ベルトと、回転するワ
ークの両面を両側から挟持して洗浄する複数の洗浄ロー
ラーとを含んでいて、上記駆動ベルトが、ワークの円周
方向に湾曲した状態で該ワークの外周に線接触するよう
に配設されていることを特徴としている。

【０００９】上記構成を有する本発明の洗浄装置によれ
ば、ワークの駆動に無端の駆動ベルトを使用し、該駆動
ベルトをワークの外周に線接触させるようにしているた
め、小径の駆動ローラーをワークに点接触させる従来方
式に比べ、ベルトの駆動力をワークに確実に伝えること
が可能になり、該ワークを大きな駆動力で確実に回転さ
せることができる。この結果、ワークの種類やその他の
洗浄条件に応じ、洗浄ローラーの面圧を増大させて洗浄
効果を高めることも可能になる。また、柔軟な駆動ベル
トをワークに線接触させるようにしているため、該ワー
クに傷が付きにくい。

【００１０】本発明の具体的な構成態様によれば、上記
洗浄ローラーが、ワークを挟んで相対する位置に該ワー
クを横断するように少なくとも一対配設され、洗浄時の
回転力によって該ワークを上記駆動ベルトに押し付ける
ように構成されている。このように、洗浄ローラーに押
付手段を兼ねさせることにより、洗浄中にワークを回転
自在に支持する専用の支持ローラー等を設ける必要がな
いため、洗浄装置の構成が簡単になる。

【００１１】本発明の洗浄装置は、ワークを洗浄液の流
れの中に浸漬させた状態で洗浄する構成であっても、ノ
ズルから洗浄液をワークに噴射しながら洗浄する構成で
あっても良い。

【００１２】また、本発明の好ましい具体的な実施形態
によれば、ワークを自動的かつ連続的に洗浄できるよう
にするため、一方向から他方向に向けて洗浄液が連続的
に流れる洗浄槽に沿って、上記駆動ベルト及び洗浄ロー
ラーを含む洗浄機構を少なくとも１つ有する１つ以上の
洗浄部と、該洗浄部に未洗浄ワークを供給するためのロ
ーディング部と、該洗浄部から洗浄済ワークを取り出す
ためのアンローディング部とが設けられると共に、これ
らのローディング部と洗浄部及びアンローディング部と
の間にワークを順次搬送するワークホルダが設けられ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照しながら詳細に説明する。図１には第１実
施例の洗浄装置１Ａが主要な構成部品のみを用いて簡略
的に示され、図２〜図６にはその具体的構成が示されて
いる。この洗浄装置１Ａは、ディスク形ワークＷを一枚
ずつ自動的かつ連続的に搬送しながら、洗浄液２の流れ
の中でスクラブ式に洗浄するものである。

【００１４】上記洗浄装置１Ａは、機体３に支持された
流液式の洗浄槽４を備えている。この洗浄槽４は、実質
的に溝形をしていて、その一端に洗浄液２を供給するた
めの給液部６を有すると共に、他端に洗浄液２を排出す
るための排液部７を有し、上記給液部６から排液部７に
向けて、純水や洗剤溶液又は化学薬液等からなる洗浄液
２が連続的に流されるようになっている。また、該洗浄
槽４の底部４ａは、給液部６側より排液部７側が低くな
る方向に若干傾斜している。

【００１５】上記給液部６及び排液部７には、洗浄液２
の流れを全液深についてほぼ一様なものにするため、多
孔質プレートからなる整流機構９，１０がそれぞれ設け
られている。給液部６側の整流機構９は、空隙率の異な
る複数の繊維プレート９ａ，９ｂにより形成されてい
て、空隙率の小さい繊維プレート９ａが空隙率の大きい
繊維プレート９ｂより上流側に配設されている。そし
て、密閉構造の給液部６から上記繊維プレート９ａ，９
ｂを通じて洗浄液２を加圧状態で供給することにより、
全液深についてほぼ一様な流速が得られるようになって
いる。

【００１６】一方、排液部７側の整流機構１０は、多数
の通水孔１０ｂを開けた金属製の穿孔プレート１０ａで
形成され、この穿孔プレート１０ａが、その上端を洗浄
液２の一部がオーバーフローし、残りが上記通水孔１０
ｂを通じて排液部７に流出するように配設されている。

【００１７】上記給液部６には、供給源から常時新しい
洗浄液を供給しても良いが、該給液部６と排液部７との
間に洗浄液の浄化機能を備えた給液機構を接続し、使用
済みの洗浄液を回収、浄化することによって循環的に再
使用することもできる。

【００１８】上記洗浄槽４には、洗浄液２の流れに沿っ
て下流側から順次、未洗浄ワークを供給するためのロー
ディング部１３と、供給されたワークを洗浄するための
洗浄部１４と、洗浄済ワークを取り出すためのアンロー
ディング部１５とが、相互間に等間隔Ｌを保って設置さ
れている。また、洗浄槽４の内部には、ワークＷを縦向
きかつ液流と平行に支持して上記各部の間を搬送する複
数のワークホルダ１６が設けられている。

【００１９】上記洗浄部１４には、ワークＷを１枚ずつ
洗浄するための洗浄機構１８が設けられている。この洗
浄機構１８は、上記ワークＷを洗浄液２中で軸線の回り
に強制的に回転させる無端の駆動ベルト１９と、回転す
るワークＷの両面を両側から挟持して洗浄液２中で洗浄
する複数の洗浄ローラー２０とを含んでいる。

【００２０】上記駆動ベルト１９は、複数の溝付きプー
リ２２に巻き掛けられて周回方向に駆動されるようにな
っていて、ワークＷの円周方向に湾曲した状態で、該ワ
ークＷの上部外周に線接触するように配設されている。
この駆動ベルト１９は、ゴムや合成ゴムあるいは合成樹
脂のような、ワークを傷付けない程度に柔軟で摩擦の大
きい素材からなるもので、図６からも分かるように、そ
の外周面に周方向の窪み１９ａが設けられ、該窪み１９
ａの部分でワークＷの外周に当接するようになってい
る。

【００２１】このように、ワークＷの駆動に無端の駆動
ベルト１９を使用し、この駆動ベルト１９をワークの外
周に線接触させることにより、小径の駆動ローラーをワ
ークに点接触させる従来の駆動方式に比べ、駆動ベルト
１９の駆動力をワークに確実に伝えることが可能にな
り、該ワークＷを大きな駆動力で確実に回転させること
ができる。また、駆動ベルト１９が軟質でワークに線接
触しているため、該ワークを傷付けることがない。

【００２２】上記プーリ２２は、図２及び図４から分か
るように、機体３に取り付けられた台板２５から洗浄槽
４内に延びる軸受部材２６に回転自在に支持されてい
て、上記台板２５上に設けられたモーター２７により、
伝動機構２８を通じて矢印方向に駆動されるようになっ
ている。

【００２３】また、上記駆動ベルト１９のワークＷに当
接する部分は、図２及び図６から分かるように、２つの
プーリ２２，２２の間に設けられた一対のガイド２９，
２９によって湾曲した状態に支持されている。これらの
ガイド２９は、上記台板２５から下向きに延びる取付部
材３０の下端に、駆動ベルト１９を挟んで相対するよう
に取り付けられたもので、それぞれの内側面に上向きに
湾曲するガイド面２９ａを有し、このガイド面２９ａ上
に駆動ベルト１９を摺接させることにより、該ベルト１
９を上向きに湾曲させたものである。

【００２４】一方、上記洗浄ローラー２０は、上記駆動
ベルト１９のほぼ真下の、ワークＷを実質的に直径方向
に横断する位置に、該ワークＷを挟んで相対するように
一対配設されている。この洗浄ローラー２０は、金属や
合成樹脂等からなる硬質の芯材２０ａの周囲に、スポン
ジ質や繊維質の素材か、又はその他の柔軟で洗浄能力の
ある素材からなる洗浄部材２０ｂを必要な厚さに取り付
けたもので、ワークＷを両側から挟持した状態で回転す
ることによって該ワークＷの両面を洗浄するものであ
る。

【００２５】上記各洗浄ローラー２０は、軸受部材３２
によって支持板３３上に回転自在に取り付けられ、伝動
機構３４を介してモーター３５に連結されることによ
り、洗浄時に矢印方向に駆動されるようになっている。
このときの上記各洗浄ローラー２０，２０の回転方向
は、それらの回転力でワークＷを上方に持ち上げる方向
であり、これによって該ワークＷが、ワークホルダ１６
から持ち上げられて上記駆動ベルト１９に下から押し付
けられるようになっている。即ち、上記洗浄ローラー２
０は、ワークＷを駆動ベルト１９に押し付けるための押
付手段を兼ねるものである。

【００２６】このように洗浄ローラー２０に押付手段を
兼ねさせることにより、洗浄中のワークを回転自在に支
持させるために専用の支持ローラーを特別に設ける必要
がないため、洗浄装置１Ａの構成が簡単になる。しか
も、洗浄ローラー２０のワークＷに対する面圧（押付
力）を大きくすると、それだけ該ワークを駆動ベルト１
９に強く押し付けることができて該駆動ベルト１９によ
る駆動がより確実になると同時に、洗浄ローラー２０に
よる洗浄効果も向上するといった相乗効果が得られる。

【００２７】上記洗浄ローラー２０が取り付けられてい
る支持板３３は、ベース３７の両端から洗浄槽４内に延
びる支持アーム３８の下端に取り付けられていて、上記
ベース３７は、機体３にスライド機構３９を介して洗浄
槽４の横幅方向に移動自在に取り付けられており、この
ベース３７の移動によって一対の洗浄ローラー２０，２
０が、相互に接近したり離れたりできるようになってい
る。

【００２８】上記伝動機構３４は、モーター３５に連結
された第１駆動軸３４ａと、該第１駆動軸３４ａに歯車
３４ｂ，３４ｃで連結された第２駆動軸３４ｄと、該第
２駆動軸３４ｄと洗浄ローラー２０とを連結する歯車３
４ｅ，３４ｆとで構成され、これらの各部材が、上記支
持板３３と一方の支持アーム３８とに沿って設置されて
いる。また、上記スライド機構３９は、機体３に洗浄槽
４の横幅方向に向けて設けられたレール３９ａと、ベー
ス３７側に設けられて該レール３９ａに沿って摺動自在
の移動部材３９ｂと、上記ベース３７を駆動するための
図示しない駆動手段とで構成されている。

【００２９】なお、図示の例では、上記洗浄ローラー２
０がワークＷを挟んで相対する位置に一対だけ設けられ
ているが、２対以上設けることもできる。また、ワーク
Ｗの両側の洗浄ローラーの位置は上下に若干ずれていて
も良い。要するに洗浄ローラー２０は、ワークＷを駆動
ベルト１９に押し付けながら洗浄できるような位置関係
に複数配設されていれば良いのである。

【００３０】ワークＷを搬送する上記ワークホルダ１６
は、円弧状に湾曲する支持溝１７を上端に有し、この支
持溝１７内にワークの下端部外周を嵌合させた状態で支
持するものである。このワークホルダ１６は、上記洗浄
部１４（正確には洗浄機構１８）とローディング部１３
及びアンローディング部１５の総数より１つ少ない数
（図示の実施例では２つ）だけ設けられていて、これら
のワークホルダ１６Ａ，１６Ｂがそれぞれ、共通の支持
基板４２から洗浄槽４内に延びる支持アーム４３の下端
に、上記各部１３，１４，１５間の間隔Ｌと同じ間隔を
保って取り付けられている。そして上記支持基板４２
は、機体３に設けた駆動機構４４に連結されており、こ
れにより上記２つのワークホルダ１６Ａ，１６Ｂが、互
いに同期した状態で、図３に実線と鎖線で示す位置の間
を上下動自在、かつ洗浄槽４に沿って上記間隔Ｌと同じ
距離だけ往復移動自在となっている。

【００３１】更に、上記ローディング部１３及びアンロ
ーディング部１５には、それぞれ、ワークＷの中心孔に
挿入、係止可能なフック４７を備えたチャックアーム４
６が設けられていて、これらのチャックアーム４６が図
示しない駆動機構に接続されており、これらのチャック
アーム４６によって未洗浄ワークの供給と洗浄済ワーク
の取り出しとが自動的に行われるようになっている。

【００３２】上記構成を有する洗浄装置１Ａにおいて、
図１に示すように、２つのワークホルダ１６Ａ，１６Ｂ
が、それぞれローディング部１３と洗浄部１４とに臨む
復帰位置を占めている状態で、第１ワークホルダ１６Ａ
にチャックアーム４６で未洗浄ワークＷが供給される
と、これら２つのワークホルダ１６Ａ，１６Ｂは、一旦
下降したあと間隔Ｌ分だけ上流側に向けて移動すること
により、図３に鎖線で示す前進位置まで変移し、その位
置で再び上昇する。これにより、第１ワークホルダ１６
Ａが保持する未洗浄ワークＷは洗浄部１４に送られ、第
２ワークホルダ１６Ｂが洗浄部１４から供給された洗浄
済ワークＷを保持している場合には、この洗浄済ワーク
Ｗがアンローディング部１５に送られる。

【００３３】上記洗浄部１４においては、一対の洗浄ロ
ーラー２０，２０が両側からワークＷを挟持して図１及
び図６の矢印方向に回転することにより、その回転力で
該ワークＷを第１ワークホルダ１６Ａから持ちあげて駆
動ベルト１９に押し付ける。これにより該ワークＷは、
この駆動ベルト１９で強制的に回転させられながら、上
記洗浄ローラー２０，２０で両面がスクラブ洗浄され
る。このとき該ワークＷは、図６に示すように、洗浄ロ
ーラー２０，２０の回転力により持ち上げられて駆動ベ
ルト１９に押し付けられており、上記第１ワークホルダ
１６Ａからは離間している。

【００３４】一方、アンローディング部１５において
は、第２ワークホルダ１６Ｂに保持された洗浄済ワーク
Ｗが、チャックアーム４６によって外部に取り出され
る。

【００３５】空になった上記２つのワークホルダ１６
Ａ，１６Ｂは、一旦下降して下流側に後退したあと再び
上昇し、図１に実線で示すように、第１ワークホルダ１
６Ａがローディング部１３に臨みかつ第２ワークホルダ
１６Ｂが洗浄部１４に臨む位置である復帰位置を占め
る。そして再び、上記動作を繰り返すことにより、ワー
クＷが一枚ずつ自動的かつ連続的に搬送されながら洗浄
液２の流れの中でスクラブ式に洗浄される。

【００３６】上記洗浄槽４には、洗浄中又は搬送中のワ
ークＷに超音波を照射するための超音波照射手段４８を
適宜位置に少なくとも１つ取り付けることができる。

【００３７】図７は本発明の第２実施例を概略的に示す
もので、この第２実施例の洗浄装置１Ｂは、複数の洗浄
部１４ａ，１４ｂを洗浄液２の流れに沿って配設した点
が、上記第１実施例の洗浄装置１Ａと相違している。こ
のように洗浄部１４ａ，１４ｂを複数段に設けることに
より、各洗浄部１４ａ，１４ｂで精度の異なる洗浄を行
うことができる。この場合に、洗浄部の数に応じてワー
クホルダ１６も増設されることは当然である。また、各
洗浄部に設けられている洗浄ローラー２０は、洗浄部毎
に個別に駆動しても良いが、洗浄槽４の左右同じ側に位
置する洗浄ローラー同士を一つに連結し、それらを１つ
の駆動機構で駆動するように構成しても良い。なお、そ
の他の構成及び作用は第１実施例と実質的に同じである
から、主要な同一構成部分に第１実施例と同じ符号を付
してその説明は省略する。

【００３８】図８は本発明の第３実施例を概略的に示す
もので、この第３実施例の洗浄装置１Ｃは、複数の洗浄
部を備えている点で上記第２実施例の洗浄装置１Ｂと共
通しているが、各洗浄部にそれぞれ複数の洗浄機構を設
けることにより、複数のワークを個別にかつ同時に洗浄
処理することができるようになっている点で、第２実施
例と相違している。

【００３９】即ち、この洗浄装置１Ａは、第１及び第２
の２つの洗浄部１４ａ，１４ｂを有していて、各洗浄部
１４ａ，１４ｂにそれぞれ、第１及び第２の２つの洗浄
機構１８ａ，１８ｂが設けられており、これにより、２
枚のワークＷを個別にかつ同時に洗浄できるように構成
したものである。

【００４０】この場合、ローディング部１３とアンロー
ディング部１５にも、２枚のワークＷを同時に処理でき
るように２つのチャックアーム４６ａ，４６ｂが設けら
れており、ワークホルダ１６についても同様に、２枚の
ワークを同時に搬送できるよう、２つのワークホルダ１
６ａ，１６ｂを１組として３組が設けられている。ま
た、このワークホルダ１６の移動距離は、上記洗浄部１
４とローディング部１３及びアンローディング部１５の
配設間隔が２Ｌということになるため、それと同じ２Ｌ
になる。なお、その他の構成は第２実施例と実質的に同
じである。

【００４１】図９は本発明の第４実施例であって、この
実施例の洗浄装置１Ｄは、ワークを洗浄液中に浸漬させ
た状態で洗浄するのではなく、ノズル５０から噴射され
る洗浄液２のシャワー流の中で洗浄するように構成され
ている点で、上記第１実施例と相違している。

【００４２】なお、それ以外の構成、即ち洗浄部１４、
ローディング部１３、アンローディング部１５、及びワ
ークホルダ１６の構成については、実質的に上記第１実
施例と同じであるから、同一構成部分に第１実施例と同
一の符号を付してそれらの説明は省略する。また、この
シャワー式の洗浄装置１Ｄにおいても、上記第２及び第
３実施例のように、洗浄部１３や洗浄機構１８を複数段
設けることができることは言うまでもないことである。

【００４３】更にまた、上記各実施例では、ワークＷを
洗浄ローラー２０，２０の回転力だけで駆動ベルト１９
に押し付けるようにしているが、ワークホルダ１６で補
助的に駆動ベルトに押し付けるようにしても良い。この
場合には、上記ワークホルダ１６における支持溝１７の
溝底を、ワークが接触した状態で抵抗なく回転できるよ
うに形成しておく必要がある。その方法として、該支持
溝１７の溝底面の摩擦を小さくすることによりワークが
滑り易い面にするとか、支持溝１７の溝底にローラーや
ベアリングのような自由に回転できる部材を複数設け、
この回転部材でワークを２点又は３点で支持させるよう
にすれば良い。

【００４４】

【発明の効果】このように本発明によれば、ワークを無
端の駆動ベルトにより大きな駆動力で確実に回転させな
がら洗浄することができ、洗浄中のワークを傷付けるこ
ともない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄装置の第１実施例を主要な構
成部品のみを用いて簡略的に示した断面図である。

【図２】図１の洗浄装置の洗浄機構に関する構成を具体
的に示す断面図である。

【図３】図１の洗浄装置のワークホルダに関する構成を
具体的に示す断面図である。

【図４】図２におけるIV−IV線での断面図である。

【図５】図１におけるＶ−Ｖ線での断面図である。

【図６】洗浄機構の要部拡大断面図である。

【図７】本発明に係る洗浄装置の第２実施例を主要な構
成部品のみを用いて簡略的に示した断面図である。

【図８】本発明に係る洗浄装置の第３実施例を主要な構
成部品のみを用いて簡略的に示した断面図である。

【図９】本発明に係る洗浄装置の第４実施例を示す要部
断面図である。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ洗浄装置２洗浄液４洗浄槽１３ローディ
ング部１４，１４ａ，１４ｂ洗浄部１５アンロ
ーディング部１６，１６Ａ，１６Ｂ，１６ａ，１６ｂワークホルダ１８，１８ａ，１８ｂ洗浄機構１９駆動ベ
ルト１９ａ窪み２０洗浄ロ
ーラー５０給液ノズルＷワーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3B116 AA03 AB23 AB33 AB44 BB02 3B201 AA03 AB13 AB24 AB29 AB33 AB44 BA02 BA15 BB03 BB23 BB81 BB83 BB93 BB94 CB01 CB12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ディスク形ワークを１枚ずつ洗浄するため
の洗浄機構を少なくとも１つ有し、該洗浄機構が、上記
ワークを軸線の回りに強制的に回転させる無端の駆動ベ
ルトと、回転するワークの両面を両側から挟持して洗浄
する複数の洗浄ローラーとを含んでいて、上記駆動ベル
トが、ワークの円周方向に湾曲した状態で該ワークの外
周に線接触するように配設されていることを特徴とする
ディスク形ワークの洗浄装置。
【請求項２】請求項１に記載の洗浄装置において、上記
洗浄ローラーが、ワークを挟んで相対する位置に該ワー
クを横断するように少なくとも一対配設されていて、洗
浄時の回転力によって該ワークを上記駆動ベルトに押し
付ける押付手段を兼ねていることを特徴とするもの。
【請求項３】請求項１又は２に記載の洗浄装置におい
て、上記駆動ベルト及び洗浄ローラーが、洗浄槽内に充
填された洗浄液中においてワークを洗浄可能なるように
配設されていることを特徴とするもの。
【請求項４】請求項１又は２に記載の洗浄装置におい
て、該洗浄装置が、ワークに洗浄液を供給するための給
液ノズルを有し、該給液ノズルから噴射される洗浄液の
噴流の中で上記ワークを洗浄するように構成されている
ことを特徴とするもの。
【請求項５】一方向から他方向に向けて洗浄液が連続的
に流れる流液式の洗浄槽、該洗浄槽に沿って設けられた
少なくとも１つの洗浄部、該洗浄部の下流側に設けられ
た未洗浄ワークを供給するためのローディング部、上記
洗浄部の上流側に設けられた洗浄済ワークを取り出すた
めのアンローディング部、上記ローディング部と洗浄部
及びアンローディング部の間を一定距離往復移動するこ
とによりワークを上流側の各部へと順次搬送する複数の
ワークホルダ、を有し、上記各洗浄部が、ディスク形ワークを１枚ずつ洗浄する
ための洗浄機構を少なくとも１つ有し、上記洗浄機構が、上記ワークを洗浄液中で軸線の回りに
強制的に回転させる無端の駆動ベルトと、回転するワー
クの両面を両側から挟持して洗浄液中で洗浄する複数の
洗浄ローラーとを含んでいて、上記駆動ベルトが、ワー
クの円周方向に湾曲した状態で該ワークの外周に線接触
するように配設されている、ことを特徴とするディスク
形ワークの洗浄装置。
【請求項６】請求項５に記載の洗浄装置において、上記
洗浄ローラーが、ワークを挟んで相対向する位置に該ワ
ークを実質的に直径方向に横断するように一対配設され
ていて、洗浄時の回転力で該ワークを上記駆動ベルトに
押し付ける押付手段を兼ねていることを特徴とするも
の。
【請求項７】請求項６に記載の洗浄装置において、上記
各ワークホルダが、１枚のワークを縦向きかつ液流と平
行に支持して搬送可能なるように構成されると共に、上
記駆動ベルトが、上記ワークの上部外周に当接するよう
に配設され、かつ上記一対の洗浄ローラーが、上記駆動
ベルトとワークホルダとの間に配設されていて、該洗浄
ローラーの洗浄時の回転力でワークが上記ワークホルダ
から持ち上げられた状態で駆動ベルトに押し付けられる
ようなっていることを特徴とするもの。
【請求項８】請求項１から７までの何れか１つに記載の
洗浄装置において、上記駆動ベルトが外周面に周方向に
延びる窪みを有していて、該窪み内にワークの外周面が
嵌合した状態で当接するように構成されていることを特
徴とするもの。