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JP2000199815A - Color filter and method of manufacturing the same - Google Patents

Color filter and method of manufacturing the same

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JP2000199815A
JP2000199815A JP11000349A JP34999A JP2000199815A JP 2000199815 A JP2000199815 A JP 2000199815A JP 11000349 A JP11000349 A JP 11000349A JP 34999 A JP34999 A JP 34999A JP 2000199815 A JP2000199815 A JP 2000199815A
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Japan
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layer
colored layer
color filter
thickness
color
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JP11000349A
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Japanese (ja)
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Keizo Ishikawa
桂三 石川
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Dai Nippon Printing Co Ltd
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Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 着色層の色ごとに最適な液晶層の厚みをもち
表示品質に優れた液晶表示装置を可能とするカラーフィ
ルタと、このようなカラーフィルタを簡便に製造できる
製造方法を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタは、透明基板の一方の面
に色ごとに異なる紫外線透過率をもつ複数色からなる着
色層と、少なくとも着色層上に形成された透明保護層と
を備え、この透明保護層の厚みは着色層の360〜38
0nmの領域での紫外線透過率の平均値の大きさに対応
して着色層の色ごとに異なるものとし、このようなカラ
ーフィルタを、第1の工程で透明基板上に色ごとに紫外
線透過率の異なる複数色からなる着色層を形成し、第2
の工程で透明保護層用の感光性樹脂組成物を用いて上記
着色層を覆うように塗布膜を形成し、透明基板の裏面か
ら紫外線を照射して着色層を介して塗布膜を露光、現像
し、着色層の360〜380nmの領域での紫外線透過
率の平均値の大きさに応じて色ごとに塗布膜を所望の厚
みにした後、この塗布膜を硬化させて透明保護層を形成
することにより製造する。
(57) [Summary] [Problem] To provide a color filter capable of providing a liquid crystal display device having an optimum liquid crystal layer thickness for each color of a coloring layer and excellent display quality, and a manufacturing method capable of easily manufacturing such a color filter. Provide a way. SOLUTION: The color filter is provided with a colored layer composed of a plurality of colors having different ultraviolet transmittances for each color on one surface of a transparent substrate, and a transparent protective layer formed at least on the colored layer. The thickness of the layer is 360 to 38 of the colored layer.
It is assumed that the color filter is different for each color of the colored layer in accordance with the average value of the ultraviolet transmittance in the region of 0 nm. Forming a colored layer composed of a plurality of different colors,
Forming a coating film using the photosensitive resin composition for a transparent protective layer in the step of covering the coloring layer, exposing the coating film through the coloring layer by irradiating ultraviolet rays from the back surface of the transparent substrate, and developing Then, after the coating film has a desired thickness for each color according to the average value of the ultraviolet transmittance in the region of 360 to 380 nm of the coloring layer, the coating film is cured to form a transparent protective layer. It is manufactured by

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタおよ
びその製造方法に係り、特に表示品質に優れた液晶表示
装置用のカラーフィルタとその製造方法に関する。
The present invention relates to a color filter and a method of manufacturing the same, and more particularly to a color filter for a liquid crystal display device having excellent display quality and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして、カ
ラーの液晶表示装置が注目されている。一般に、カラー
液晶表示装置は、ブラックマトリックスおよび複数の色
(通常、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色)から
なる着色層を備えたカラーフィルタと、薄膜トランジス
タ(TFT素子)を備えたTFTアレイ基板とを所定の
間隙をもたせて貼り合わせており、この間隙部に液晶材
料を注入している。したがって、この間隙部は液晶層の
厚みそのものであり、液晶層の厚みにムラがあると、カ
ラー液晶表示装置内で輝度ムラ、色ムラが生じ、表示品
質を著しく損なうことになるので、液晶層の厚みはでき
る限り均一であることが望ましい。
2. Description of the Related Art In recent years, color liquid crystal display devices have attracted attention as flat displays. In general, a color liquid crystal display device includes a color filter including a black matrix and a coloring layer including a plurality of colors (usually, three primary colors of red (R), green (G), and blue (B)); ) Are attached to each other with a predetermined gap, and a liquid crystal material is injected into the gap. Therefore, this gap is the thickness of the liquid crystal layer itself. If the thickness of the liquid crystal layer is uneven, unevenness in brightness and color occurs in the color liquid crystal display device, and display quality is significantly impaired. Is desirably as uniform as possible.

【0003】一方、液晶層が均一であっても、カラーフ
ィルタの画素の色(R、G、B)によって可視光の透過
率が異なるという事実がある。したがって、均一で最適
な可視光透過率を得るためには、液晶層の厚みを各色
(R、G、B)に最適なものとする必要がある。
On the other hand, there is a fact that even if the liquid crystal layer is uniform, the transmittance of visible light differs depending on the color (R, G, B) of the pixel of the color filter. Therefore, in order to obtain a uniform and optimal visible light transmittance, it is necessary to optimize the thickness of the liquid crystal layer for each color (R, G, B).

【0004】このため、R、G、Bの色ごとに着色層の
厚みに変化をもたせ、色ごとに液晶層を所定の厚みに設
定する、いわゆるマルチギャップのカラーフィルタが開
発されている。
For this reason, a so-called multi-gap color filter has been developed in which the thickness of the colored layer is changed for each of the colors R, G, and B, and the liquid crystal layer is set to a predetermined thickness for each color.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例え
ば、上述のようなR、G、Bの色ごとに厚みの異なる着
色層を従来公知の顔料分散法により形成する場合、最も
厚みの小さい着色層の形成において使用する感光性塗料
の着色材含有率が高くなり、地汚れ、色ムラ、基板との
密着性不良等が発生するという問題があった。
However, for example, when a colored layer having a different thickness for each of the R, G, and B colors as described above is formed by a conventionally known pigment dispersion method, the color layer having the smallest thickness is used. There has been a problem that the content of the coloring material in the photosensitive paint used in the formation becomes high, causing background stain, uneven color, poor adhesion to the substrate, and the like.

【0006】また、均一な厚みの着色層を形成し、この
着色層上に保護層用の感光性樹脂組成物を用いて塗布膜
を形成し、この塗布膜を階調露光することにより所望の
厚みの透明保護層を形成してマルチギャップのカラーフ
ィルタとする方法がある。しかし、階調露光用のフォト
マスクを使用することにより塗布膜の階調露光を行う場
合、フォトマスクの作製が難しいという問題があり、ま
た、塗布膜の階調露光をステップ露光で行う場合は、露
光工程に要する時間が長くなるという問題があった。
[0006] Further, a colored layer having a uniform thickness is formed, a coating film is formed on the colored layer by using a photosensitive resin composition for a protective layer, and the coating film is subjected to gradation exposure to obtain a desired layer. There is a method of forming a transparent protective layer having a thickness to form a multi-gap color filter. However, when performing gradation exposure of a coating film by using a photomask for gradation exposure, there is a problem that it is difficult to manufacture a photomask, and when performing gradation exposure of a coating film by step exposure, In addition, there is a problem that the time required for the exposure process becomes long.

【0007】本発明は、上記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、着色層の色ごとに最適な液晶層の厚み
をもち表示品質に優れた液晶表示装置を可能とするカラ
ーフィルタと、このようなカラーフィルタを簡便に製造
できる製造方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and a color filter which enables a liquid crystal display device having an optimum liquid crystal layer thickness for each color of a colored layer and excellent display quality. It is another object of the present invention to provide a manufacturing method capable of easily manufacturing such a color filter.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のカラーフィルタは、透明基板と、該
透明基板の一方の面に形成された複数色からなる着色層
と、少なくとも該着色層上に形成された透明保護層とを
備え、前記着色層は色ごとに異なる紫外線透過率をも
ち、かつ、着色層の360〜380nmの領域での紫外
線透過率の平均値の大きさに対応するように前記透明保
護層の厚みは前記着色層の色ごとに異なるような構成と
した。
In order to achieve the above object, a color filter according to the present invention comprises a transparent substrate, a colored layer having a plurality of colors formed on one surface of the transparent substrate, and at least A transparent protective layer formed on the colored layer, wherein the colored layer has a different ultraviolet transmittance for each color, and the average value of the ultraviolet transmittance of the colored layer in a range of 360 to 380 nm. The thickness of the transparent protective layer was different for each color of the colored layer.

【0009】また、本発明のカラーフィルタは、360
〜380nmの領域での紫外線透過率の平均値の大きい
着色層上の透明保護層ほど厚みが大きいような構成と
し、さらに、着色層は赤色、緑色および青色の3色から
なり、着色層の360〜380nmの領域での紫外線透
過率の平均値が、青色着色層において最も大きく、赤色
着色層において最も小さいような構成とした。
Further, the color filter of the present invention has a 360
The thickness of the transparent protective layer on the colored layer having a larger average value of the ultraviolet transmittance in the region of 3380 nm is larger, and the colored layer is composed of three colors of red, green and blue. The average value of the ultraviolet transmittance in the region of 3380 nm was the largest in the blue colored layer and the smallest in the red colored layer.

【0010】また、本発明のカラーフィルタは、360
〜380nmの領域での紫外線透過率の平均値の小さい
着色層上の透明保護層ほど厚みが大きいような構成と
し、さらに、着色層は赤色、緑色および青色の3色から
なり、着色層の360〜380nmの領域での紫外線透
過率の平均値が、青色着色層において最も小さく、赤色
着色層において最も大きいような構成とした。
Further, the color filter of the present invention has a 360
The thickness of the transparent protective layer on the colored layer having a smaller average value of the ultraviolet transmittance in the region of 3380 nm is larger, and the colored layer is composed of three colors of red, green and blue. The average value of the ultraviolet transmittance in the region of 3380 nm was set to be the smallest in the blue coloring layer and the largest in the red coloring layer.

【0011】本発明のカラーフィルタの製造方法は、透
明基板上に色ごとに紫外線透過率の異なる複数色からな
る着色層を形成する第1の工程、透明保護層用の感光性
樹脂組成物を用いて前記着色層を覆うように塗布膜を形
成し、透明基板の裏面から紫外線を照射して前記着色層
を介して前記塗布膜を露光、現像し、着色層の360〜
380nmの領域での紫外線透過率の平均値の大きさに
応じて色ごとに塗布膜を所望の厚みにした後、前記塗布
膜を硬化させて透明保護層を形成する第2の工程、を有
するような構成とした。
The method of manufacturing a color filter according to the present invention comprises a first step of forming a colored layer composed of a plurality of colors having different ultraviolet transmittances on a transparent substrate on a transparent substrate, wherein a photosensitive resin composition for a transparent protective layer is formed. A coating film is formed so as to cover the coloring layer by using, and the ultraviolet light is irradiated from the back surface of the transparent substrate to expose and develop the coating film via the coloring layer, thereby developing the coloring layer.
A second step of forming a transparent protective layer by forming a coating film of a desired thickness for each color according to the average value of the ultraviolet transmittance in the region of 380 nm and then curing the coating film. Such a configuration was adopted.

【0012】このような本発明では、着色層上に形成さ
れた透明保護層用の感光性樹脂組成物の塗布膜を、透明
基板の裏面から紫外線を照射して着色層を介することに
より露光するので、着色層の360〜380nmの領域
での紫外線透過率の平均値の大きさに応じて各色ごとに
塗布膜の露光量に差が生じ、現像、硬化によって色ごと
に所望の厚みを有する透明保護層が形成される。
In the present invention, the coating film of the photosensitive resin composition for the transparent protective layer formed on the colored layer is exposed to ultraviolet rays from the back surface of the transparent substrate and through the colored layer. Therefore, the amount of exposure of the coating film for each color varies depending on the average value of the ultraviolet transmittance in the region of 360 to 380 nm of the colored layer, and the transparent film having a desired thickness for each color is developed and cured. A protective layer is formed.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて図面を参照して説明する。本発明のカラーフィルタ 図1は、本発明の一実施形態であるカラーフィルタを使
用した液晶表示装置の例を示す縦断面図である。図1に
おいて、液晶表示装置1は本発明のカラーフィルタ11
とTFTアレイ基板21とを液晶層31を介して対向さ
せた構造である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Color Filter Figure 1 of the present invention is a longitudinal sectional view showing an example of a liquid crystal display device using a color filter which is an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a liquid crystal display device 1 includes a color filter 11 of the present invention.
And a TFT array substrate 21 with a liquid crystal layer 31 interposed therebetween.

【0014】本発明のカラーフィルタ11は、透明基板
12、透明基板12の一方の面に所定のパターンで形成
されたブラックマトリックス(遮光層)13、複数色か
らなる着色層14、着色層14上に形成された透明保護
層16、透明導電膜17とを備えている。そして、着色
層14は、赤色着色層14R、緑色着色層14Gおよび
青色着色層14Bからなり、色ごとに、360〜380
nmの領域での紫外線透過率の平均値(以下、「紫外線
透過率の大きさ」という)が異なるものである。すなわ
ち、着色層14の各色における紫外線透過率の大きさ
は、14R<14G<14B、あるいは、14R>
14G>14Bとなるように設定されている。
The color filter 11 of the present invention comprises a transparent substrate 12, a black matrix (light-shielding layer) 13 formed on one surface of the transparent substrate 12 in a predetermined pattern, a colored layer 14 of a plurality of colors, and on the colored layer 14. A transparent protective layer 16 and a transparent conductive film 17 formed on the substrate. The coloring layer 14 includes a red coloring layer 14R, a green coloring layer 14G, and a blue coloring layer 14B.
The average value of the ultraviolet transmittance in the region of nm (hereinafter, referred to as “the magnitude of the ultraviolet transmittance”) is different. That is, the magnitude of the ultraviolet transmittance of each color of the colored layer 14 is 14R <14G <14B or 14R>.
It is set so that 14G> 14B.

【0015】このような着色層14上に設けられた透明
保護層16は、着色層14の各色の着色層14R,14
G,14Bの紫外線透過率の大きさに対応するような厚
みを有している。図示例では、透明保護層16の厚み
は、青色着色層14B上の透明保護層16Bの厚みが最
も大きく、以下、緑色着色層14G上の透明保護層16
G、赤色着色層14R上の透明保護層16Rの順に厚み
が小さいものとなっている。
The transparent protective layer 16 provided on such a colored layer 14 includes colored layers 14R, 14R of each color of the colored layer 14.
G and 14B have a thickness corresponding to the magnitude of the ultraviolet transmittance. In the illustrated example, the thickness of the transparent protective layer 16 is such that the transparent protective layer 16B on the blue colored layer 14B has the largest thickness, and hereinafter the transparent protective layer 16 on the green colored layer 14G.
G and the thickness of the transparent protective layer 16R on the red coloring layer 14R are smaller in this order.

【0016】一方、TFTアレイ基板21は、基板22
上に薄膜トランジスタ(図示せず)に接続された表示電
極23を備えており、カラーフィルタ11の各着色層1
4R,14G,14Bと、対応するTFTアレイ基板2
1の表示電極23とが対向するように位置合わせがなさ
れている。
On the other hand, the TFT array substrate 21 is
A display electrode 23 connected to a thin film transistor (not shown) is provided thereon.
4R, 14G, 14B and the corresponding TFT array substrate 2
Positioning is performed so that one display electrode 23 faces the other.

【0017】このような液晶表示装置1では、液晶層3
1の厚みは均一ではなく、各着色層14R,14G,1
4B上においてそれぞれ最適な厚みとなっている。図示
例では、各着色層14R,14G,14B上の透明保護
層16R,16G,16Bの厚みに対応して、液晶層3
1の厚みは、それぞれTR、TG、TBとなっており、
液晶層31の厚みの最適化がなされている。したがっ
て、カラーフィルタ11の画素を構成する各色の着色層
14R,14G,14Bにおける可視光の透過率が均一
で最適なものとなり、表示品質に優れた液晶表示装置1
が可能となる。
In such a liquid crystal display device 1, the liquid crystal layer 3
1 is not uniform, and each colored layer 14R, 14G, 1
4B, each has an optimum thickness. In the illustrated example, the liquid crystal layer 3 corresponds to the thickness of the transparent protective layers 16R, 16G, 16B on the colored layers 14R, 14G, 14B.
The thicknesses of 1 are TR, TG, and TB, respectively.
The thickness of the liquid crystal layer 31 has been optimized. Therefore, the visible light transmittance of the colored layers 14R, 14G, and 14B of each color constituting the pixels of the color filter 11 is uniform and optimal, and the liquid crystal display device 1 having excellent display quality is provided.
Becomes possible.

【0018】本発明のカラーフィルタ11を構成する透
明基板12としては、石英ガラス、パイレックスガラ
ス、合成石英板等の可撓性のないリジット材、あるいは
透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有するフ
レキシブル材を用いることができる。この中で特にコー
ニング社製7059ガラスは、熱膨脹率の小さい素材で
あり寸法安定性および高温加熱処理における作業性に優
れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含まない無アルカ
リガラスであるため、アクティブマトリックス方式によ
るLCD用のカラー液晶表示装置に適している。
As the transparent substrate 12 constituting the color filter 11 of the present invention, a rigid material having no flexibility such as quartz glass, Pyrex glass, or a synthetic quartz plate, or a flexible material such as a transparent resin film or an optical resin plate is used. A flexible material having properties can be used. Of these, Corning 7059 glass is a material having a low coefficient of thermal expansion, excellent dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and is an alkali-free glass containing no alkali component in the glass. It is suitable for a color liquid crystal display device for LCD by the method.

【0019】また、透明基板12に形成されているブラ
ックマトリックス13は、スパッタリング法、真空蒸着
法等により厚み1000〜4000Å程度のクロム等の
金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成し
たもの、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポ
リイミド系樹脂、アクリル系樹脂、ポリビニルアルコー
ル誘導体樹脂、ゼラチン系樹脂等の樹脂層を形成し、こ
の樹脂層をパターニングして形成したもの、カーボン微
粒子等の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層を形成
し、この感光性樹脂層をパターニングして形成したもの
等、いずれであってもよい。
The black matrix 13 formed on the transparent substrate 12 is formed by forming a metal thin film of chromium or the like having a thickness of about 1000 to 4000 ° by sputtering, vacuum evaporation, or the like, and patterning the thin film. Forming a resin layer of polyimide resin, acrylic resin, polyvinyl alcohol derivative resin, gelatin resin, etc. containing light-shielding particles such as carbon fine particles and patterning this resin layer; The photosensitive resin layer containing the light-shielding particles may be formed, and the photosensitive resin layer may be formed by patterning.

【0020】本発明のカラーフィルタ11を構成する着
色層14は、赤色着色層14R、緑色着色層14Gおよ
び青色着色層14Bがモザイク型、トライアングル型、
ストライプ型、4画素配置型等の所望のパターンで配列
されたものである。このような着色層14の厚みは0.
5〜3.0μm程度の範囲で各色均一に設定することが
できる。また、液晶層31の厚みTR、TG、TBの設
定を考慮して、図2に示されるように、予め着色層14
R,14G,14Bの厚みに差を設けるようにしてもよ
い。この場合、使用する感光性樹脂組成物の着色材含有
率が高くなり、地汚れ、色ムラ、基板との密着性不良等
が発生しない範囲で着色層の厚みを設定する必要があ
る。
The coloring layer 14 constituting the color filter 11 of the present invention is composed of a red coloring layer 14R, a green coloring layer 14G, and a blue coloring layer 14B in a mosaic type, a triangle type,
They are arranged in a desired pattern such as a stripe type, a four-pixel arrangement type, or the like. Such a colored layer 14 has a thickness of 0.1.
Each color can be set uniformly within a range of about 5 to 3.0 μm. Further, in consideration of the setting of the thicknesses TR, TG, and TB of the liquid crystal layer 31, as shown in FIG.
A difference may be provided between the thicknesses of R, 14G, and 14B. In this case, it is necessary to set the thickness of the coloring layer within a range in which the content of the coloring material of the photosensitive resin composition to be used becomes high and the background stain, uneven color, poor adhesion to the substrate, and the like do not occur.

【0021】本発明のカラーフィルタ11を構成する透
明保護層16は、公知のネガ型感光性樹脂、ポジ型感光
性樹脂を用いて形成したものである。すなわち、後述す
るように、着色層14の各色の紫外線透過率の大きさが
14R<14G<14Bである場合、公知のネガ型の
透明感光性樹脂を用いて形成することができ、また、着
色層14の各色の紫外線透過率の大きさが14R>1
4G>14Bである場合、公知のポジ型の透明感光性樹
脂を用いて形成することができる。着色層14上におけ
る透明保護層16の厚みは、使用する液晶材料等を考慮
して設定することができ、例えば、赤色着色層14R上
における透明保護層16Rの厚みを0〜2.0μm程
度、緑色着色層14G上における透明保護層16Gの厚
みを0.2〜2.5μm程度、青色着色層14B上にお
ける透明保護層16Bの厚みを1.5〜4.0μm程度
とし、透明保護層16Rと16Gの厚みの差を0.2〜
1.0μm程度、透明保護層16Gと16Bの厚みの差
を0.5〜1.5μm程度に設定することができる。
The transparent protective layer 16 constituting the color filter 11 of the present invention is formed using a known negative photosensitive resin or positive photosensitive resin. That is, as described later, when the magnitude of the ultraviolet transmittance of each color of the colored layer 14 is 14R <14G <14B, the colored layer 14 can be formed using a known negative-type transparent photosensitive resin. The magnitude of the ultraviolet transmittance of each color of the layer 14 is 14R> 1
When 4G> 14B, it can be formed using a known positive type transparent photosensitive resin. The thickness of the transparent protective layer 16 on the coloring layer 14 can be set in consideration of the liquid crystal material to be used and the like. For example, the thickness of the transparent protective layer 16R on the red coloring layer 14R is about 0 to 2.0 μm, The thickness of the transparent protective layer 16G on the green coloring layer 14G is about 0.2 to 2.5 μm, and the thickness of the transparent protective layer 16B on the blue coloring layer 14B is about 1.5 to 4.0 μm. 16G thickness difference 0.2 ~
The difference in thickness between the transparent protective layers 16G and 16B can be set to about 1.0 μm, and about 0.5 to 1.5 μm.

【0022】透明導電膜17は、酸化インジウムスズ
(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO)
等、およびその合金等により形成されたものである。こ
のような透明導電膜17の厚みは200〜2000Å程
度が好ましい。
The transparent conductive film 17 is made of indium tin oxide (ITO), zinc oxide (ZnO), tin oxide (SnO)
And an alloy thereof. The thickness of such a transparent conductive film 17 is preferably about 200 to 2000 °.

【0023】本発明のカラーフィルタの製造方法 次に、本発明のカラーフィルタの製造方法を上述のカラ
ーフィルタ11を例として説明する。
Next, a method of manufacturing a color filter according to the present invention will be described with reference to the above-described color filter 11 as an example.

【0024】図3は本発明のカラーフィルタの製造方法
の一実施形態を示す工程図である。本発明のカラーフィ
ルタの製造方法では、まず、第1の工程として、所定の
パターン形状でブラックマトリックス13を備えた透明
基板12上に、色ごとに紫外線透過率の異なる赤色着色
層14R、緑色着色層14Gおよび青色着色層14Bが
配列されてなる着色層14を形成する(図3(A))。
着色層14の形成は、例えば、公知のネガ型あるいはポ
ジ型の感光性レジストに着色材を含有させた感光性樹脂
組成物を用いた顔料分散法等により形成することがで
き、着色層14の各色の紫外線透過率の設定は、使用す
る各色の感光性樹脂組成物における紫外線吸収剤の含有
量を調整することにより行うことができる。使用する紫
外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系、ベンゾフ
ェノン系、ベンゾエート系、サリチル酸エステル系、シ
アノアクリレート系の化合物等を挙げることができる。
FIG. 3 is a process chart showing an embodiment of the method for manufacturing a color filter of the present invention. In the method for manufacturing a color filter of the present invention, first, as a first step, a red coloring layer 14R having a different ultraviolet transmittance for each color is formed on a transparent substrate 12 having a black matrix 13 in a predetermined pattern shape. The coloring layer 14 in which the layer 14G and the blue coloring layer 14B are arranged is formed (FIG. 3A).
The colored layer 14 can be formed, for example, by a pigment dispersion method using a photosensitive resin composition containing a coloring material in a known negative or positive photosensitive resist, and the like. The setting of the ultraviolet transmittance of each color can be performed by adjusting the content of the ultraviolet absorber in the photosensitive resin composition of each color to be used. Examples of the ultraviolet absorber used include benzotriazole-based, benzophenone-based, benzoate-based, salicylate-based, and cyanoacrylate-based compounds.

【0025】このような着色層14における紫外線透過
率の大きさは、14R<14G<14B、あるいは、
14R>14G>14Bとなるように設定する。
The magnitude of the ultraviolet transmittance of the colored layer 14 is 14R <14G <14B, or
14R>14G> 14B.

【0026】尚、本発明は液晶層厚の最適化を透明保護
層の厚みにより制御するので、着色層14の厚みは0.
5〜3.0μm程度の範囲で均一に形成することができ
るが、予め着色層14R,14G,14Bの厚みに若干
の差を設け、さらに、透明保護層の厚みを制御すること
により、液晶層厚の最適化の適応範囲をより広げること
ができる。
In the present invention, since the optimization of the thickness of the liquid crystal layer is controlled by the thickness of the transparent protective layer, the thickness of the colored layer 14 is set to 0.1.
It can be formed uniformly in the range of about 5 to 3.0 μm. However, by providing a slight difference in the thickness of the colored layers 14R, 14G and 14B in advance and controlling the thickness of the transparent protective layer, the liquid crystal layer can be formed. The adaptation range of the thickness optimization can be further expanded.

【0027】次に、第2の工程として、まず、着色層1
4を覆うように透明保護層用の感光性樹脂組成物を用い
て塗布膜15を形成する(図3(B))。使用する感光
性樹脂は、着色層14R,14G,14Bの紫外線透過
率の大きさが14R<14G<14Bである場合には
ネガ型の感光性樹脂であり、着色層14R,14G,1
4Bの紫外線透過率の大きさが14R>14G>14
Bである場合にはポジ型の感光性樹脂である。具体的に
は、ネガ型の感光性樹脂組成物としては、光重合性、架
橋性を有するアクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリ
アミド系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂、
ポリアミック酸系樹脂等の光透過性のネガ型感光性樹脂
の1種または2種以上を用い、これに酸化防止剤、界面
活性剤、消泡剤、蛍光増白剤、紫外線吸収剤、分散剤、
粘度調整剤等を添加したものを使用することができる。
また、ポジ型の感光性樹脂組成物としては、ノボラック
系樹脂、ポリアミック酸系樹脂、マレイミド−スチレン
共重合体、ポリビニルフェノール誘導体等の樹脂と光酸
発生剤の混合物、ポリアミック酸誘導体等の光透過性の
ポジ型感光性樹脂の1種または2種以上を用い、これに
酸化防止剤、界面活性剤、消泡剤、蛍光増白剤、紫外線
吸収剤、分散剤、粘度調整剤等を添加したものを使用す
ることができる。
Next, as a second step, first, the colored layer 1
A coating film 15 is formed using the photosensitive resin composition for a transparent protective layer so as to cover No. 4 (FIG. 3B). The photosensitive resin used is a negative photosensitive resin when the magnitude of the ultraviolet transmittance of the coloring layers 14R, 14G, 14B is 14R <14G <14B, and the coloring layers 14R, 14G, 1
The magnitude of the ultraviolet transmittance of 4B is 14R>14G> 14
In the case of B, it is a positive photosensitive resin. Specifically, as the negative photosensitive resin composition, photopolymerizable, crosslinkable acrylic resin, polyimide resin, polyamide resin, epoxy resin, polyester resin,
One or more light-transmitting negative photosensitive resins such as a polyamic acid resin are used, and an antioxidant, a surfactant, an antifoaming agent, a fluorescent brightener, an ultraviolet absorber, and a dispersant are used. ,
What added a viscosity modifier etc. can be used.
Further, as a positive photosensitive resin composition, a mixture of a resin such as a novolak resin, a polyamic acid resin, a maleimide-styrene copolymer, a polyvinyl phenol derivative and a photoacid generator, and a light transmission material such as a polyamic acid derivative One or two or more positive photosensitive resins are used, and an antioxidant, a surfactant, an antifoaming agent, a fluorescent brightener, an ultraviolet absorber, a dispersant, a viscosity modifier, and the like are added thereto. Things can be used.

【0028】この塗布膜15の厚みは均一であり、各色
の着色層14R,14G,14Bごとに所望の厚みをも
つ透明保護層16の最終形状等を考慮して塗布膜15の
厚みを設定することができ、例えば、1.0〜7.0μ
m程度の範囲で設定することができる。
The thickness of the coating film 15 is uniform, and the thickness of the coating film 15 is set in consideration of the final shape of the transparent protective layer 16 having a desired thickness for each color layer 14R, 14G, 14B. For example, 1.0 to 7.0 μ
It can be set within a range of about m.

【0029】次に、透明基板12の裏面から紫外線を照
射して、着色層14を介し塗布膜15を露光する(図3
(C))。これにより、塗布膜15は着色層14R,1
4G,14Bの紫外線透過率の大きさに応じた露光量で
露光される。すなわち、着色層14R,14G,14B
の紫外線透過率の大きさが14R<14G<14Bで
ある場合、ネガ型感光性の塗布膜15は青色着色層14
B上で露光量が最大となり、赤色着色層14R上で露光
量が最小となる。また、着色層14R,14G,14B
の紫外線透過率の大きさが14R>14G>14Bで
ある場合、ポジ型感光性の塗布膜15は青色着色層14
B上で露光量が最小となり、赤色着色層14R上で露光
量が最大となる。したがって、露光後の現像、硬化処理
により形成される透明保護層16の厚みは、青色着色層
14B上の透明保護層16Bの厚みが最も大きく、以
下、緑色着色層14G上の透明保護層16G、赤色着色
層14R上の透明保護層16Rの順に厚みが小さいもの
となる(図3(D))。各色の着色層14R,14G,
14B上の透明保護層16R、16G、16Bの厚み
は、例えば、透明保護層16Rを0〜1.5μmの範
囲、透明保護層16Gを0.5〜2.0μmの範囲、透
明保護層16Bを1.0〜2.5μmの範囲で設定する
ことができる。
Next, ultraviolet rays are irradiated from the back surface of the transparent substrate 12 to expose the coating film 15 via the coloring layer 14 (FIG. 3).
(C)). As a result, the coating film 15 becomes a colored layer 14R, 1
Exposure is performed at an exposure amount corresponding to the magnitude of the ultraviolet transmittance of 4G and 14B. That is, the colored layers 14R, 14G, 14B
Is less than 14R <14G <14B, the negative photosensitive coating film 15 is
The exposure amount becomes maximum on B, and becomes minimum on the red coloring layer 14R. Also, the colored layers 14R, 14G, 14B
Is greater than 14R>14G> 14B, the positive photosensitive coating film 15 is
The exposure amount becomes minimum on B and the exposure amount becomes maximum on the red coloring layer 14R. Therefore, the thickness of the transparent protective layer 16 formed on the blue colored layer 14B is the largest for the transparent protective layer 16 formed by development and curing after exposure, and hereinafter, the transparent protective layer 16G on the green colored layer 14G, The thickness becomes smaller in the order of the transparent protective layer 16R on the red coloring layer 14R (FIG. 3D). Each of the colored layers 14R, 14G,
The thickness of the transparent protective layers 16R, 16G, and 16B on 14B is, for example, 0 to 1.5 μm for the transparent protective layer 16R, 0.5 to 2.0 μm for the transparent protective layer 16G, and 0.5 to 2.0 μm for the transparent protective layer 16B. It can be set in the range of 1.0 to 2.5 μm.

【0030】その後、上記の透明保護層16上に、酸化
インジウムスズ(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化
スズ(SnO)等、およびその合金等を用いて、蒸着
法、スパッタリング法、CVD法等の公知の方法により
所定のパターンで透明導電膜17を形成する(図3
(E))。これにより、カラーフィルタ11が得られ
る。
Thereafter, on the transparent protective layer 16 described above, an indium tin oxide (ITO), a zinc oxide (ZnO), a tin oxide (SnO), an alloy thereof, or the like, and an evaporation method, a sputtering method, or a CVD method are used. The transparent conductive film 17 is formed in a predetermined pattern by a known method such as that shown in FIG.
(E)). Thereby, the color filter 11 is obtained.

【0031】[0031]

【実施例】次に、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples.

【0032】(実施例1) まず、ガラス基板(コーニ
ング(株)製7059ガラス 厚み0.7mm)上に真
空蒸着法によりクロム薄膜(厚み1000Å)を成膜
し、このクロム薄膜上にスピン塗布方法により感光性レ
ジスト(東京応化工業(株)製OFPR800)を塗布
し乾燥した。次いで、ブラックマトリックス用のフォト
マスクを介して感光性レジスト層を露光・現像しレジス
トパターンを形成し、このレジストパターンをマスクと
してクロム薄膜をエッチングし、レジストパターンを剥
離除去してブラックマトリックスを形成した。エッチン
グ液は硝酸第2セリウムアンモニウムと過塩素酸を混合
した水溶液を使用した。
Example 1 First, a chromium thin film (thickness 1000 mm) was formed on a glass substrate (Corning Co., Ltd., 7059 glass 0.7 mm thick) by a vacuum evaporation method, and a spin coating method was performed on this chromium thin film. Was applied and OFPR800 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. was applied and dried. Next, a photosensitive resist layer was exposed and developed through a photomask for a black matrix to form a resist pattern, a chromium thin film was etched using the resist pattern as a mask, and the resist pattern was peeled off to form a black matrix. . As the etching solution, an aqueous solution obtained by mixing ceric ammonium nitrate and perchloric acid was used.

【0033】一方、下記組成のベース感光性樹脂を用い
て、下記組成の各色の着色層用の感光性樹脂組成物R
1、G1、B1を調製した。これらの感光性樹脂組成物
R1、G1、B1は、紫外線吸収剤の添加量を調整する
ことにより、紫外線透過率の大きさ(360〜380n
mの領域での紫外線透過率の平均値)がR1<G1<B
1となるように設定した。
On the other hand, using a base photosensitive resin having the following composition, a photosensitive resin composition R for a colored layer of each color having the following composition is provided.
1, G1 and B1 were prepared. These photosensitive resin compositions R1, G1, and B1 can adjust the amount of the ultraviolet absorber to adjust the magnitude of the ultraviolet transmittance (360 to 380 n).
m1) (R1 <G1 <B)
It was set to be 1.

【0034】 ベース感光性樹脂の組成 ・o−クレゾールノボラックエポキシアクリレート … 9.5重量部 (水酸基の50%を無水フタル酸と反応させたもの) ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート … 9.5重量部 (日本化薬(株)製DPHA) ・イルガキュアー907(チバガイギー社製) … 1重量部 ・イルガキュアー369(チバガイギー社製) … 2重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 80重量部 ・ベンゾフェノン … 1重量部 赤色感光性樹脂組成物R1 ・ベース感光性樹脂 … 50重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 85重量部 ・クロモフタルレッドBRN(チバガイギー社製) … 10重量部 ・紫外線吸収剤 … 5重量部 2−エチルヘキシル−2シアノ−3,3´−ジフェニルアクリレート 緑色感光性樹脂組成物G1 ・ベース感光性樹脂 … 50重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 50重量部 ・ジグライム … 35重量部 ・リオノールグリーン2Y−301 … 8重量部 (東洋インキ製造(株)製) ・紫外線吸収剤 … 2.5重量部 2−エチルヘキシル−2シアノ−3,3´−ジフェニルアクリレート 青色感光性樹脂組成物B1 ・ベース感光性樹脂 … 50重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 50重量部 ・ジグライム … 35重量部 ・クロモフタルブルーA3R(チバガイギー社製) … 12重量部 Composition of base photosensitive resin o-cresol novolak epoxy acrylate: 9.5 parts by weight (50% of hydroxyl groups reacted with phthalic anhydride) Dipentaerythritol hexaacrylate: 9.5 parts by weight ( Nippon Kayaku Co., Ltd. DPHA)-Irgacure 907 (Ciba-Geigy) ... 1 part by weight-Irgacure 369 (Ciba-Geigy) ... 2 parts by weight-Ethyl cellosolve acetate ... 80 parts by weight-Benzophenone ... 1 part by weight red Photosensitive resin composition R1 , base photosensitive resin ... 50 parts by weight-Ethyl cellosolve acetate ... 85 parts by weight-Chromophthal Red BRN (manufactured by Ciba Geigy) ... 10 parts by weight-UV absorber ... 5 parts by weight 2-ethylhexyl-2 cyano-3,3'-diphenylacrylate green-sensitive trees Composition G1-based photosensitive resin ... 50 parts by weight of ethyl cellosolve acetate ... 50 parts by weight diglyme ... 35 parts by weight Lionol Green 2Y-301 ... 8 parts by weight (manufactured by Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) Ultraviolet absorber 2.5 parts by weight 2-ethylhexyl-2-cyano-3,3'-diphenylacrylate blue photosensitive resin composition B1 base photosensitive resin 50 parts by weight Ethyl cellosolve acetate 50 parts by weight Diglyme 35 parts by weight・ Chromophthal Blue A3R (Ciba Geigy) 12 parts by weight

【0035】次に、上記のガラス基板上に感光性樹脂組
成物B1をスピンコート法(回転数600r.p.m.)によ
り塗布して乾燥し、青色着色層用のフォトマスクを介し
て露光し現像して青色着色層(厚み1.5μm)を形成
した。同様にして、感光性樹脂組成物G1、感光性樹脂
組成物R1を用いて、緑色着色層、赤色着色層を形成し
た(図3(A)に相当)。尚、上記の各色の感光性樹脂
組成物に含有させた開始剤の感光域は405nm付近で
ある。
Next, the photosensitive resin composition B1 is applied onto the above-mentioned glass substrate by a spin coating method (rotation speed: 600 rpm), dried, exposed to light through a blue colored layer photomask, and developed. Thus, a blue colored layer (thickness: 1.5 μm) was formed. Similarly, a green coloring layer and a red coloring layer were formed using the photosensitive resin composition G1 and the photosensitive resin composition R1 (corresponding to FIG. 3A). Incidentally, the photosensitive region of the initiator contained in the photosensitive resin composition of each color described above is around 405 nm.

【0036】このように形成した青色着色層B、緑色着
色層G、赤色着色層Rについて、360〜380nmの
波長域の紫外線に対する透過率の平均値を紫外可視分光
光度計で測定した結果、青色着色層B=5.0〜5.5
%、緑色着色層G=2.5〜3.0%、赤色着色層R=
1.0%以下であった。
With respect to the blue colored layer B, the green colored layer G, and the red colored layer R thus formed, the average value of the transmittance for ultraviolet rays in the wavelength range of 360 to 380 nm was measured with an ultraviolet-visible spectrophotometer. Colored layer B = 5.0-5.5
%, Green coloring layer G = 2.5 to 3.0%, red coloring layer R =
1.0% or less.

【0037】次に、下記組成の透明保護層用のネガ型感
光性組成物を調製し、着色層を形成したガラス基板上に
スピンコート法(回転数500r.p.m.)により塗布し、
100℃で5分間乾燥して塗布膜を形成した(図3
(B)に相当)。
Next, a negative photosensitive composition for a transparent protective layer having the following composition was prepared and applied on a glass substrate having a colored layer formed thereon by a spin coating method (at a rotation speed of 500 rpm).
The coating film was formed by drying at 100 ° C. for 5 minutes (FIG. 3)
(Equivalent to (B)).

【0038】 保護層用の感光性組成物 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート … 40重量部 (日本化薬(株)製DPHA) ・メチルメタクリレート/メタクリル酸 /ベンジルメタクリレート共重合体 … 40重量部 ・イルガキュアー907(チバガイギー社製) … 20重量部 ・2,2´−ビス(2−クロロフェニル)−4,4´,5,5´ −テトラフェニルビスイミダゾール … 10重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …250重量部 Photosensitive composition for protective layer : dipentaerythritol hexaacrylate: 40 parts by weight (DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) methyl methacrylate / methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer: 40 parts by weight Irgacure 907 (manufactured by Ciba Geigy) 20 parts by weight 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbisimidazole 10 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether acetate 250 parts by weight Department

【0039】次に、ガラス基板の裏面から超高圧水銀ラ
ンプを用いて365nmの紫外線を300mJ/cm2
照射し、着色層を介して塗布膜を露光した(図3(C)
に相当)。その後、炭酸ナトリウム0.1重量%水溶液
に界面活性剤を添加して調製した現像液に1分間浸漬し
て現像を行い、塗布膜の未硬化部分を除去し、次いで2
00℃で60分間の熱処理を行って透明保護層を形成し
た(図3(D)に相当)。この透明保護層の厚みは、青
色着色層上で2.0μm、緑色着色層上で1.0μm、
赤色着色層上で0.3μmであった。次に、透明保護層
上にスパッタリング法によりITOの透明導電膜(厚み
1000Å)を形成してカラーフィルタを得た(図3
(E)に相当)。
Next, an ultraviolet ray of 365 nm was irradiated from the back surface of the glass substrate with a super high pressure mercury lamp to 300 mJ / cm 2.
Irradiated to expose the coating film through the colored layer (FIG. 3C)
Equivalent). Thereafter, the film is immersed in a developer prepared by adding a surfactant to a 0.1% by weight aqueous solution of sodium carbonate for 1 minute to carry out development to remove an uncured portion of the coating film.
Heat treatment was performed at 00 ° C. for 60 minutes to form a transparent protective layer (corresponding to FIG. 3D). The thickness of this transparent protective layer is 2.0 μm on the blue colored layer, 1.0 μm on the green colored layer,
It was 0.3 μm on the red coloring layer. Next, a transparent conductive film of ITO (thickness 1000 °) was formed on the transparent protective layer by a sputtering method to obtain a color filter (FIG. 3).
(Equivalent to (E)).

【0040】このカラーフィルタは、地汚れ、色ムラ、
ガラス基板と着色層との密着性不良等がない良好なもの
であった。
This color filter can be used for background dirt, color unevenness,
It was good without poor adhesion between the glass substrate and the colored layer.

【0041】さらに、上記のカラーフィルタを用いて、
液晶層の厚みを青色着色層上で3.7μm、緑色着色層
上で4.7μm、赤色着色層上で5.4μmとして図1
に示されるような液晶表示装置を作製した。この液晶表
示装置の表示品質は優れたものであった。
Further, using the above color filter,
The thickness of the liquid crystal layer was 3.7 μm on the blue coloring layer, 4.7 μm on the green coloring layer, and 5.4 μm on the red coloring layer in FIG.
The liquid crystal display device as shown in was manufactured. The display quality of this liquid crystal display device was excellent.

【0042】(実施例2) 実施例1と同様にして、ガ
ラス基板(コーニング(株)製7059ガラス 厚み
0.7mm)上にブラックマトリックスを形成した。ま
た、実施例1と同様のベース感光性樹脂を用いて、下記
組成の各色の着色層用の感光性樹脂組成物R2、G2、
B2を調製した。これらの感光性樹脂組成物R2、G
2、B2は、紫外線吸収剤の添加量を調整することによ
り、紫外線透過率の大きさ(360〜380nmの領域
での紫外線透過率の平均値)がR2>G2>B2となる
ように設定した。
Example 2 In the same manner as in Example 1, a black matrix was formed on a glass substrate (Corning Co., Ltd., 7059 glass, thickness 0.7 mm). Also, using the same base photosensitive resin as in Example 1, photosensitive resin compositions R2, G2,
B2 was prepared. These photosensitive resin compositions R2, G
2, B2 was set such that the magnitude of the ultraviolet transmittance (average value of the ultraviolet transmittance in the range of 360 to 380 nm) was R2>G2> B2 by adjusting the amount of the ultraviolet absorber added. .

【0043】 赤色感光性樹脂組成物R2 ・ベース感光性樹脂 … 50重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 85重量部 ・クロモフタルレッドBRN(チバガイギー社製) … 10重量部 緑色感光性樹脂組成物G2 ・ベース感光性樹脂 … 50重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 50重量部 ・ジグライム … 35重量部 ・リオノールグリーン2Y−301 … 8重量部 (東洋インキ製造(株)製) ・紫外線吸収剤 … 2.5重量部 2−エチルヘキシル−2シアノ−3,3´−ジフェニルアクリレート 青色感光性樹脂組成物B2 ・ベース感光性樹脂 … 50重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 50重量部 ・ジグライム … 35重量部 ・クロモフタルブルーA3R(チバガイギー社製) … 15重量部 ・紫外線吸収剤 … 10重量部 2−エチルヘキシル−2シアノ−3,3´−ジフェニルアクリレート Red photosensitive resin composition R2 , base photosensitive resin: 50 parts by weight Ethyl cellosolve acetate: 85 parts by weight Chromophtal red BRN (manufactured by Ciba Geigy) 10 parts by weight Green photosensitive resin composition G2 , base Photosensitive resin: 50 parts by weight ・ Ethyl cellosolve acetate: 50 parts by weight ・ Diglyme: 35 parts by weight ・ Lionol green 2Y-301: 8 parts by weight (manufactured by Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) ・ UV absorber: 2.5 parts by weight Part 2-ethylhexyl-2-cyano-3,3'-diphenylacrylate blue photosensitive resin composition B2 · base photosensitive resin ... 50 parts by weight-ethyl cellosolve acetate ... 50 parts by weight-diglyme ... 35 parts by weight-chromophtal blue A3R (Manufactured by Ciba-Geigy) 15 parts by weight UV absorber 10 parts by weight 2-ethylhexyl-2-cyano-3,3'-diphenyl acrylate

【0044】次に、上記のガラス基板上に感光性樹脂組
成物B2をスピンコート法(回転数600r.p.m.)によ
り塗布して乾燥し、青色着色層用のフォトマスクを介し
て露光し現像して青色着色層(厚み1.5μm)を形成
した。同様にして、感光性樹脂組成物G2、感光性樹脂
組成物R2を用いて、緑色着色層、赤色着色層を形成し
た(図3(A)に相当)。
Next, the photosensitive resin composition B2 is applied on the glass substrate by a spin coating method (rotation speed: 600 rpm), dried, exposed to light through a photomask for a blue colored layer, and developed. Thus, a blue colored layer (thickness: 1.5 μm) was formed. Similarly, a green coloring layer and a red coloring layer were formed using the photosensitive resin composition G2 and the photosensitive resin composition R2 (corresponding to FIG. 3A).

【0045】このように形成した青色着色層B、緑色着
色層G、赤色着色層Rについて、実施例1と同様にして
360〜380nmの波長域の紫外線に対する平均透過
率を測定した結果、青色着色層B=0.5%以下、緑色
着色層G=10〜11%、赤色着色層R=22〜23%
であった。
With respect to the blue colored layer B, the green colored layer G, and the red colored layer R thus formed, the average transmittance to ultraviolet rays in the wavelength range of 360 to 380 nm was measured in the same manner as in Example 1. Layer B = 0.5% or less, green coloring layer G = 10-11%, red coloring layer R = 22-23%
Met.

【0046】次に、下記組成の透明保護層用のポジ型感
光性組成物を調製し、着色層を形成したガラス基板上に
スピンコート法(回転数500r.p.m.)により塗布し、
120℃で4分間乾燥して塗布膜を形成した(図3
(B)に相当)。
Next, a positive-type photosensitive composition for a transparent protective layer having the following composition was prepared and applied on a glass substrate having a colored layer formed thereon by a spin coating method (at a rotation speed of 500 rpm).
It was dried at 120 ° C. for 4 minutes to form a coating film (FIG. 3
(Equivalent to (B)).

【0047】 保護層用の感光性塗布液 ・t−ブトキシカルボニル基(t−BOC)で保護された ポリビニルフェノール樹脂 … 10重量部 ・ヘキサメトキシメチロール化メラミン … 10重量部 ・乳酸エチル … 50重量部 ・光酸発生剤(ミドリ化学(株)製TAZ−104) … 10重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …150重量部 Photosensitive coating solution for protective layer・ Polyvinylphenol resin protected with t-butoxycarbonyl group (t-BOC): 10 parts by weight ・ Hexamethoxymethylolated melamine: 10 parts by weight ・ Ethyl lactate: 50 parts by weight -Photoacid generator (TAZ-104 manufactured by Midori Kagaku KK) ... 10 parts by weight-Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 150 parts by weight

【0048】次に、ガラス基板の裏面から超高圧水銀ラ
ンプを用いて365nmの紫外線を500mJ/cm2
照射し、着色層を介して塗布膜を露光した(図3(C)
に相当)。その後、水酸化カリウム水溶液1.0重量%
に界面活性剤を加えて調製した現像液に1.5分間浸漬
して現像を行い、さらに低高圧水銀ランプを用いて全面
に紫外線照射(300mJ/cm2 )を行った後、20
0℃で60分間の熱処理を行って透明保護層を形成した
(図3(D)に相当)。この透明保護層の厚みは、青色
着色層上で1.7μm、緑色着色層上で0.7μm、赤
色着色層上で0.05μmであった。次いで、透明保護
層上にスパッタリング法によりITOの透明導電膜(厚
み1000Å)を形成してカラーフィルタを得た(図3
(E)に相当)。
Next, ultraviolet light of 365 nm was irradiated from the back surface of the glass substrate using a super-high pressure mercury lamp to 500 mJ / cm 2.
Irradiated to expose the coating film via the colored layer (FIG. 3C)
Equivalent). Then, 1.0% by weight of aqueous potassium hydroxide solution
Immersed in a developer prepared by adding a surfactant to the mixture for 1.5 minutes to perform development, and further, the entire surface was irradiated with ultraviolet rays (300 mJ / cm 2 ) using a low-pressure mercury lamp.
Heat treatment was performed at 0 ° C. for 60 minutes to form a transparent protective layer (corresponding to FIG. 3D). The thickness of the transparent protective layer was 1.7 μm on the blue coloring layer, 0.7 μm on the green coloring layer, and 0.05 μm on the red coloring layer. Next, a transparent conductive film of ITO (thickness: 1000 Å) was formed on the transparent protective layer by a sputtering method to obtain a color filter (FIG. 3).
(Equivalent to (E)).

【0049】このカラーフィルタは、地汚れ、色ムラ、
ガラス基板と着色層との密着性不良等がない良好なもの
であった。
This color filter is used for background dirt, color unevenness,
It was good without poor adhesion between the glass substrate and the colored layer.

【0050】さらに、上記のカラーフィルタを用いて、
液晶層の厚みを青色着色層上で3.7μm、緑色着色層
上で4.7μm、赤色着色層上で5.4μmとして図1
に示されるような液晶表示装置を作製した。この液晶表
示装置の表示品質は優れたものであった。
Further, using the above color filter,
The thickness of the liquid crystal layer was 3.7 μm on the blue coloring layer, 4.7 μm on the green coloring layer, and 5.4 μm on the red coloring layer in FIG.
The liquid crystal display device as shown in was manufactured. The display quality of this liquid crystal display device was excellent.

【0051】(比較例)まず、実施例1と同様のベース
感光性樹脂を用いて、下記組成の各色の着色層用の感光
性樹脂組成物R´、G´、B´を調製した。
(Comparative Example) First, using the same base photosensitive resin as in Example 1, photosensitive resin compositions R ', G', and B 'for the colored layers having the following compositions were prepared.

【0052】 赤色感光性樹脂組成物R´ ・ベース感光性樹脂 … 50重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 85重量部 ・クロモフタルレッドBRN(チバガイギー社製) … 10重量部 緑色感光性樹脂組成物G´ ・ベース感光性樹脂 … 75重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 50重量部 ・ジグライム … 35重量部 ・リオノールグリーン2Y−301 … 8重量部 (東洋インキ製造(株)製) 青色感光性樹脂組成物B´ ・ベース感光性樹脂 … 100重量部 ・エチルセロソルブアセテート … 50重量部 ・ジグライム … 35重量部 ・クロモフタルブルーA3R(チバガイギー社製) … 12重量部 Red photosensitive resin composition R ' , base photosensitive resin: 50 parts by weight-Ethyl cellosolve acetate ... 85 parts by weight-Chromophthal Red BRN (manufactured by Ciba Geigy) ... 10 parts by weight Green photosensitive resin composition G' -Base photosensitive resin ... 75 parts by weight-Ethyl cellosolve acetate ... 50 parts by weight-Ziglyme ... 35 parts by weight-Lionol Green 2Y-301 ... 8 parts by weight (Toyo Ink Mfg. Co., Ltd.) Blue photosensitive resin composition B ' Base photosensitive resin 100 parts by weight Ethyl cellosolve acetate 50 parts by weight Diglyme 35 parts by weight Chromophtal blue A3R (manufactured by Ciba-Geigy) 12 parts by weight

【0053】次に、ガラス基板(コーニング(株)製7
059ガラス 厚み0.7mm)上に感光性樹脂組成物
B´をスピンコート法(回転数400r.p.m.)により塗
布して乾燥し、青色着色用のフォトマスクを介して露光
し現像して青色着色層(厚み3.2μm)を形成した。
同様にして、感光性樹脂組成物G´、感光性樹脂組成物
R´を用いて、緑色着色層(厚み2.2μm)、青色着
色層(厚み1.5μm)を形成して各色ごとに厚みの異
なる構造を有する着色層を形成した。
Next, a glass substrate (Corning Co., Ltd. 7)
059 glass (thickness: 0.7 mm), a photosensitive resin composition B ′ is applied by a spin coating method (rotation speed: 400 rpm), dried, exposed through a blue coloring photomask, developed, and colored blue. A layer (thickness 3.2 μm) was formed.
Similarly, a green colored layer (2.2 μm in thickness) and a blue colored layer (1.5 μm in thickness) are formed using the photosensitive resin composition G ′ and the photosensitive resin composition R ′, and the thickness is set for each color. Colored layers having different structures were formed.

【0054】次いで、下記組成の保護層用塗布液をスピ
ンコート法(回転数700r.p.m.)により塗布して乾燥
し、次に、フォトマスクを介して超高圧水銀ランプを用
い、着色層の形成領域およびその周辺部にのみ紫外線を
100mJ/cm2 照射した。
Next, a coating solution for a protective layer having the following composition is applied by a spin coating method (rotational speed: 700 rpm) and dried, and then a colored layer is formed using an ultra-high pressure mercury lamp through a photomask. Only the region and its peripheral part were irradiated with ultraviolet rays at 100 mJ / cm 2 .

【0055】 保護層用塗布液 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート … 40重量部 (日本化薬(株)製DPHA) ・メチルメタクリレート/メタクリル酸 /ベンジルメタクリレート共重合体 … 40重量部 ・イルガキュアー907(チバガイギー社製) … 20重量部 ・2,2´−ビス(2−クロロフェニル)−4,4´,5,5´ −テトラフェニルビスイミダゾール … 10重量部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …400重量部 Coating solution for protective layer : dipentaerythritol hexaacrylate: 40 parts by weight (DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) methyl methacrylate / methacrylic acid / benzyl methacrylate copolymer: 40 parts by weight Irgacure 907 (Ciba Geigy) 20 parts by weight-2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbisimidazole ... 10 parts by weight -Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 400 parts by weight

【0056】その後、炭酸ナトリウム0.1重量%水溶
液に界面活性剤を加えて調製した現像液に1.5分間浸
漬して現像を行い、さらに200℃で60分間の熱処理
を行って透明保護層を形成した。この透明保護層上にス
パッタリング法によりITOの透明導電膜(厚み100
0Å)を形成して比較としてのカラーフィルタを得た。
Thereafter, development is carried out by immersing in a developing solution prepared by adding a surfactant to a 0.1% by weight aqueous solution of sodium carbonate for 1.5 minutes, followed by a heat treatment at 200 ° C. for 60 minutes to obtain a transparent protective layer. Was formed. An ITO transparent conductive film (thickness: 100) was formed on this transparent protective layer by sputtering.
0 °) was formed to obtain a color filter for comparison.

【0057】このカラーフィルタは、特に青色着色層を
厚膜化したことにより、膜厚分布の悪化による色ムラ、
ガラス基板との密着性不良が発生し、液晶表示装置用の
カラーフィルタとして使用に供し得ないものであった。
In this color filter, in particular, by increasing the thickness of the blue coloring layer, color unevenness due to deterioration of the film thickness distribution,
Poor adhesion to the glass substrate occurred, and it could not be used as a color filter for a liquid crystal display device.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればカ
ラーフィルタは、透明基板の一方の面に色ごとに異なる
紫外線透過率をもつ複数色からなる着色層と、少なくと
も着色層上に形成された透明保護層とを備え、この透明
保護層の厚みは着色層の紫外線透過率の大きさに対応し
て着色層の色ごとに異なるものであり、このようなカラ
ーフィルタを用いて製造される液晶表示装置では、着色
層の色ごとに最適な液晶層の厚みを設定することがで
き、表示品質に優れた液晶表示装置が可能となる。そし
て、本発明のカラーフィルタを、第1の工程で透明基板
上に色ごとに紫外線透過率の異なる複数色からなる着色
層を形成し、第2の工程で透明保護層用の感光性樹脂組
成物を用いて上記着色層を覆うように塗布膜を形成し、
透明基板の裏面から紫外線を照射し着色層を介して塗布
膜を露光、現像し、着色層の紫外線透過率の大きさに応
じて色ごとに塗布膜を所望の厚みにした後、この塗布膜
を硬化させて透明保護層を形成することにより製造する
ので、着色層の厚膜化による地汚れ、色ムラ、基板との
密着性不良等を生じることがなく、かつ、階調露光用の
フォトマスクや複雑な露光工程が不要であり、簡便にカ
ラーフィルタを製造することができる。
As described above in detail, according to the present invention, a color filter is provided on one surface of a transparent substrate with a colored layer composed of a plurality of colors having different ultraviolet transmittances for each color, and at least on the colored layer. The transparent protective layer is formed, and the thickness of the transparent protective layer is different for each color of the colored layer corresponding to the magnitude of the ultraviolet transmittance of the colored layer, and is manufactured using such a color filter. In such a liquid crystal display device, the optimal thickness of the liquid crystal layer can be set for each color of the colored layer, and a liquid crystal display device with excellent display quality can be realized. The color filter of the present invention is obtained by forming a colored layer of a plurality of colors having different ultraviolet transmittances for each color on a transparent substrate in a first step, and a photosensitive resin composition for a transparent protective layer in a second step. Forming a coating film so as to cover the colored layer by using an object;
The coating film is exposed and developed through the colored layer by irradiating ultraviolet rays from the back surface of the transparent substrate, and the coating film is formed into a desired thickness for each color according to the magnitude of the ultraviolet transmittance of the colored layer. Is hardened to form a transparent protective layer, so that there is no occurrence of background contamination, color unevenness, poor adhesion to the substrate, etc. due to thickening of the colored layer, and a photo for gradation exposure. Since a mask and a complicated exposure step are not required, a color filter can be easily manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態であるカラーフィルタを使
用した液晶表示装置の例を示す縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of a liquid crystal display device using a color filter according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明のカラーフィルタの他の実施形態を示す
縦断面図である。
FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing another embodiment of the color filter of the present invention.

【図3】本発明のカラーフィルタの製造方法の一実施形
態を示す工程図である。
FIG. 3 is a process chart showing one embodiment of a method for manufacturing a color filter of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…液晶表示装置 11…カラーフィルタ 12…透明基板 13…ブラックマトリックス 14(14R,14G,14B)…着色層 15…透明保護層用の塗布膜 16…透明保護層 17…透明導電膜 31…液晶層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal display device 11 ... Color filter 12 ... Transparent substrate 13 ... Black matrix 14 (14R, 14G, 14B) ... Coloring layer 15 ... Coating film for a transparent protective layer 16 ... Transparent protective layer 17 ... Transparent conductive film 31 ... Liquid crystal layer

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Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板と、該透明基板の一方の面に形
成された複数色からなる着色層と、少なくとも該着色層
上に形成された透明保護層とを備え、前記着色層は色ご
とに異なる紫外線透過率をもち、かつ、着色層の360
〜380nmの領域での紫外線透過率の平均値の大きさ
に対応するように前記透明保護層の厚みは前記着色層の
色ごとに異なることを特徴とするカラーフィルタ。
1. A transparent substrate comprising: a transparent substrate; a colored layer having a plurality of colors formed on one surface of the transparent substrate; and a transparent protective layer formed on at least the colored layer. Have a different ultraviolet transmittance, and 360
A color filter, wherein the thickness of the transparent protective layer is different for each color of the colored layer so as to correspond to the average value of the ultraviolet transmittance in the region of -380 nm.
【請求項2】 360〜380nmの領域での紫外線透
過率の平均値の大きい着色層上の透明保護層ほど厚みが
大きいことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィル
タ。
2. The color filter according to claim 1, wherein the thickness of the transparent protective layer on the colored layer having a larger average value of the ultraviolet transmittance in the range of 360 to 380 nm is larger.
【請求項3】 着色層は赤色、緑色および青色の3色か
らなり、着色層の360〜380nmの領域での紫外線
透過率の平均値が、青色着色層において最も大きく、赤
色着色層において最も小さいことを特徴とする請求項2
に記載のカラーフィルタ。
3. The coloring layer is composed of three colors of red, green and blue, and the average value of the ultraviolet transmittance of the coloring layer in the range of 360 to 380 nm is the largest in the blue coloring layer and the smallest in the red coloring layer. 3. The method according to claim 2, wherein
The color filter according to 1.
【請求項4】 360〜380nmの領域での紫外線透
過率の平均値の小さい着色層上の透明保護層ほど厚みが
大きいことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィル
タ。
4. The color filter according to claim 1, wherein the thickness of the transparent protective layer on the colored layer having a smaller average value of the ultraviolet transmittance in the range of 360 to 380 nm is larger.
【請求項5】 着色層は赤色、緑色および青色の3色か
らなり、着色層の360〜380nmの領域での紫外線
透過率の平均値が、青色着色層において最も小さく、赤
色着色層において最も大きいことを特徴とする請求項4
に記載のカラーフィルタ。
5. The colored layer is composed of three colors of red, green and blue, and the average value of ultraviolet transmittance of the colored layer in the range of 360 to 380 nm is smallest in the blue colored layer and largest in the red colored layer. 5. The method according to claim 4, wherein
The color filter according to 1.
【請求項6】 透明基板上に色ごとに紫外線透過率の異
なる複数色からなる着色層を形成する第1の工程、 透明保護層用の感光性樹脂組成物を用いて前記着色層を
覆うように塗布膜を形成し、透明基板の裏面から紫外線
を照射して前記着色層を介して前記塗布膜を露光、現像
し、着色層の360〜380nmの領域での紫外線透過
率の平均値の大きさに応じて色ごとに塗布膜を所望の厚
みにした後、前記塗布膜を硬化させて透明保護層を形成
する第2の工程、を有することを特徴とするカラーフィ
ルタの製造方法。
6. A first step of forming a colored layer of a plurality of colors having different ultraviolet transmittances for each color on a transparent substrate, wherein the colored layer is covered with a photosensitive resin composition for a transparent protective layer. A coating film is formed on the substrate, and the coating film is exposed and developed through the colored layer by irradiating ultraviolet rays from the back surface of the transparent substrate, and the average value of the ultraviolet transmittance of the colored layer in the range of 360 to 380 nm is increased. A second step of forming a transparent protective layer by curing the coating film after forming the coating film to a desired thickness for each color in accordance with the color filter.
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