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JP2000294423A - Laminated ferrite inductor device and manufacture therefor - Google Patents

Laminated ferrite inductor device and manufacture therefor

Info

Publication number
JP2000294423A
JP2000294423A JP11102563A JP10256399A JP2000294423A JP 2000294423 A JP2000294423 A JP 2000294423A JP 11102563 A JP11102563 A JP 11102563A JP 10256399 A JP10256399 A JP 10256399A JP 2000294423 A JP2000294423 A JP 2000294423A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ferrite
plating
terminal electrodes
inductor device
conductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11102563A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Fumio Uchikoba
文男 内木場
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP11102563A priority Critical patent/JP2000294423A/en
Publication of JP2000294423A publication Critical patent/JP2000294423A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent improper insulation between outer terminal electrodes caused by expansion in plating by adjusting a ferrite surface between the outer terminal electrodes to have a specific surface roughness. SOLUTION: Printed ferrite green sheets are so laminated in a predetermined order as printed patterns on adjacent sheets to become an U letter form which faces each other, are heated and clamped, after that are cut to form a chip, are detached from a binder and are made heat treatment to form a sintered compact. After the sinter treatment the obtained chip is ground, metallic paste such as silver is applied at a predetermined part and outer terminal electrodes are formed by baking treatment. Next, the ferrite surface between the outer terminal electrodes is ground to adjust at a predetermined roughness, after that metallic coating treatment is made by electrolytic plating. In this case center line mean roughness (Ra) is adjusted to be in a range of 0.01 to 0.1 μm or preferably 0.02 to 0.05 μm.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層フェライトイ
ンダクタに外部端子電極を設ける場合、その表面に金属
皮膜をめっきする際に、いわゆるめっきのびを生じ、隣
接端子間で絶縁不良となるのを防止した品質のよいイン
ダクタデバイス例えばフェライトチップインダクタ、イ
ンダクタアレイに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is to prevent so-called plating spread when a metal film is plated on the surface of an external terminal electrode provided on a laminated ferrite inductor, thereby preventing insulation failure between adjacent terminals. The present invention relates to a high quality inductor device such as a ferrite chip inductor and an inductor array.

【0002】[0002]

【従来の技術】U字形状の銀導体パターンを印刷したフ
ェライトシートの複数層を、隣接シート上の銀導体パタ
ーンのU字形状すなわちパターン1,…の組のU字形状
と、パターン2,…の組のU字形状とが互いに対向する
ように重ね合わせ、かつこの銀導体パターンをフェライ
トシートに穿設したスルーホール3,…を介して電気的
に連通させて焼結したコイル状構造積層体からなるイン
ダクタを、図1に示すように、フェライト4内部に並列
的に配列した面実装型部品例えばフェライトインダクタ
アレイは既に知られている(特公昭62−24923号
公報)。
2. Description of the Related Art A plurality of layers of a ferrite sheet on which a U-shaped silver conductor pattern is printed are formed by combining a U-shaped silver conductor pattern on an adjacent sheet, that is, a U-shape of a set of patterns 1,. And a coil-shaped laminated body sintered by electrically connecting the silver conductor pattern through through holes 3,... Formed in a ferrite sheet. As shown in FIG. 1, a surface mount type component, for example, a ferrite inductor array, in which inductors composed of are arranged in parallel inside a ferrite 4, is already known (Japanese Patent Publication No. 62-24923).

【0003】ところで、最近電子機器においては、小型
化の傾向が著しく、それに伴って使用される部品につい
ても微小化への要求が高まってきている。例えば、チッ
プコンデンサ、チップ抵抗などにおいては、1005
(縦1mm、横0.5mm、高さ0.5mm)形状の仕
様が一般的になりつつあり、また、これらの素子を複数
搭載したアレイに対する需要も増加してきている。しか
しながら、チップインダクタにおいては、前記したよう
なコイル状内部導体構造という複雑な形状をフェライト
磁器内部に形成しなければならないため、小型化には種
々の困難を伴い、コンデンサ、抵抗の分野に比べ、その
対応が著しく遅れており、現在では1608形状(縦
1.6mm、横0.8mm、高さ0.8mm)のもの
が、アレイにおいても3216形状(縦3.2mm、横
1.6mm、高さ1.6mm)の4回路内蔵型のものが
漸く実用化されつつあるのが実情である。
Recently, electronic devices have been significantly reduced in size, and accordingly, demands for miniaturization of components used have been increasing. For example, in chip capacitors, chip resistors, etc., 1005
(1 mm in length, 0.5 mm in width, 0.5 mm in height) is becoming a general specification, and the demand for an array equipped with a plurality of these elements is also increasing. However, in the chip inductor, since the complicated shape of the coiled internal conductor structure as described above must be formed inside the ferrite porcelain, there are various difficulties in downsizing and compared to the fields of capacitors and resistors. The response has been significantly delayed, and at present, the 1608 shape (1.6 mm in height, 0.8 mm in width, 0.8 mm in height) has been changed to the 3216 shape (3.2 mm in length, 1.6 mm in width, It is a fact that a four-circuit built-in type (1.6 mm) is being put to practical use.

【0004】これまで、フェライトチップインダクタア
レイについては、内部導体の配列に工夫を加え、より小
型のチップサイズで、より高いインダクタンスを得るよ
うにしたものが提案されている(特開平5−32627
0号公報、特開平5−326271号公報、5−326
272号公報)。そのほか、回路間の相互作用すなわち
クロストークを改善する方法もいくつか提案されている
(特開平6−338414号公報、特開平7−2224
3号公報、特開平8−250333号公報、特開平8−
264320号公報)。
Heretofore, a ferrite chip inductor array has been proposed in which the arrangement of internal conductors is modified to obtain a higher inductance with a smaller chip size (JP-A-5-32627).
0, JP-A-5-326271, 5-326
272). In addition, several methods for improving the interaction between circuits, that is, crosstalk, have been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open Nos. Hei 6-338414 and Hei 7-2224).
No. 3, JP-A-8-250333, JP-A-8-250333
264320).

【0005】しかしながら、さらに小型化して、201
0形状(縦2.0mm、横1.0mm、高さ1.0m
m)以下の4回路内蔵型のアレイになると、従来のチッ
プコンデンサでは見られなかったトラブルを生じること
が分った。すなわち、積層フェライトインダクタデバイ
スにおいては、はんだ付けによって端子電極を設ける
が、このはんだ付けを円滑に行うために通常は電解めっ
きによりスズの皮膜を端子電極表面に形成させている。
ところで、この場合、磁器の固体抵抗が低いと、めっき
処理により端子電極部分以外の磁器の部分までめっき皮
膜が形成される、いわゆるのび現象が発生する。そし
て、これまでのチップサイズにおいては、端子間距離が
比較的大きいため特に問題はないが、前記した1005
形状、2010形状4ライン内蔵型のように小型のもの
では、端子間距離が0.5mm以下であるため絶縁不良
となり、特に高温、高湿条件下ではショートの発生を避
けることができなくなる。
[0005] However, further miniaturization, 201
0 shape (2.0 mm long, 1.0 mm wide, 1.0 m high)
m) It has been found that the following four-circuit built-in type array causes troubles not seen in the conventional chip capacitors. That is, in a multilayer ferrite inductor device, a terminal electrode is provided by soldering, and a tin film is usually formed on the surface of the terminal electrode by electrolytic plating in order to smoothly perform the soldering.
By the way, in this case, if the solid resistance of the porcelain is low, a plating film is formed up to the porcelain portion other than the terminal electrode portion by the plating process, that is, a so-called spreading phenomenon occurs. In the conventional chip size, there is no particular problem because the distance between terminals is relatively large.
In the case of a compact type such as a 4-line type having a 2010 shape and a 4-line built-in type, insulation failure occurs because the distance between terminals is 0.5 mm or less.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、小型の積層
フェライトインダクタデバイスにおけるめっきのびに起
因する外部端子電極間の絶縁不良を防止し、高品質の製
品を提供することを目的としてなされたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a high quality product by preventing insulation failure between external terminal electrodes due to plating spread in a small-sized multilayer ferrite inductor device. It is.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者は、積層フェラ
イトインダクタデバイスにおける外部端子電極表面に施
しためっきの挙動について種々研究を重ねた結果、めっ
きのびが隣接外部端子電極間のフェライトの表面粗さに
関係することを見出し、この知見に基づいて本発明をな
すに至った。
The inventor of the present invention has conducted various studies on the behavior of plating applied to the surface of an external terminal electrode in a multilayer ferrite inductor device. The present inventors have found that the present invention is related to the present invention, and have accomplished the present invention based on this finding.

【0008】すなわち、本発明は、内部導体、フェライ
ト磁器及び外部端子電極から構成された積層フェライト
インダクタデバイスであって、外部端子電極間のフェラ
イト表面の表面粗さが0.01〜0.1μmに調整され
ていることを特徴とするインダクタデバイス、及びフェ
ライトグリーンシートにスルーホールを穿設したのち、
導体形成用ペーストをスクリーン印刷して導体パターン
を形成させるとともに、スルーホールに導体ペーストを
充填し、次いでこの印刷されたフェライトグリーンシー
トを複数層積層し、加熱圧着後、任意の寸法に裁断して
チップ形状として焼結処理を施してコイル状内部導体を
有するフェライト構造体としたのち、端子電極を焼き付
け、この端子電極の表面に金属導体皮膜をめっきして積
層フェライトインダクタデバイスを製造する方法におい
て、前記端子電極の焼き付け工程とその表面のめっき工
程との間に研磨処理を施し、外部端子電極間のフェライ
ト表面における表面粗さを0.01〜0.1μmに調整
することを特徴とする方法を提供するものである。な
お、本発明における表面粗さは、JIS B0651に
規定された測定機により測定される中心線平均粗さ(R
a)を意味する。
That is, the present invention relates to a multilayer ferrite inductor device comprising an internal conductor, a ferrite porcelain and an external terminal electrode, wherein the ferrite surface between the external terminal electrodes has a surface roughness of 0.01 to 0.1 μm. After drilling through holes in the inductor device and the ferrite green sheet, which are characterized by being adjusted,
A conductor forming paste is screen-printed to form a conductor pattern, and the through-hole is filled with the conductor paste.Then, a plurality of layers of the printed ferrite green sheet are laminated, heated and pressed, and then cut into arbitrary dimensions. In a method of manufacturing a multilayer ferrite inductor device by performing a sintering process as a chip shape to obtain a ferrite structure having a coil-shaped internal conductor, baking a terminal electrode, and plating a metal conductor film on a surface of the terminal electrode, A method comprising performing a polishing treatment between the baking step of the terminal electrode and the plating step of the surface thereof, and adjusting the surface roughness of the ferrite surface between the external terminal electrodes to 0.01 to 0.1 μm. To provide. In addition, the surface roughness in the present invention is the center line average roughness (R) measured by a measuring instrument specified in JIS B0651.
means a).

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明において用いられるフェラ
イト磁器は、従来の積層フェライトチップインダクタに
慣用されているフェライト材料の中から任意に選択し使
用することができるが、同時焼成が容易であるという点
で特にニッケル銅亜鉛フェライトが好ましい。本発明の
積層フェライトインダクタデバイスの構造は、従来のも
の、例えば図1に示される構造と特に違いはない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The ferrite porcelain used in the present invention can be arbitrarily selected from ferrite materials commonly used in conventional multilayer ferrite chip inductors, but it is easy to co-fire. In this respect, nickel copper zinc ferrite is particularly preferable. The structure of the multilayer ferrite inductor device of the present invention is not particularly different from a conventional one, for example, the structure shown in FIG.

【0010】次に、本発明の積層フェライトチップイン
ダクタの製造方法を、図2の工程図に従って説明する。
すなわち、本発明方法に従えば、先ず、フェライト粉末
又はフェライト形成用原料混合粉末を、バインダー、有
機溶剤と混合してスラリーを調製し、これをポリエチレ
ンテレフタレートフィルムのようなプラスチックフィル
ム上に、例えばドクターブレード法によって塗布し、乾
燥することによってフェライトグリーンシートを作製す
る。
Next, a method of manufacturing a multilayer ferrite chip inductor according to the present invention will be described with reference to the process chart of FIG.
That is, according to the method of the present invention, first, a slurry is prepared by mixing a ferrite powder or a raw material mixed powder for ferrite formation with a binder and an organic solvent, and the slurry is formed on a plastic film such as a polyethylene terephthalate film, for example, by a doctor. A ferrite green sheet is produced by applying and drying by a blade method.

【0011】次に、このフェライトグリーンシートに機
械的パンチ加工、レーザ加工などによりスルーホールを
穿設したのち、これに銀や銀パラジウム合金を含むペー
ストをスクリーン印刷して内部導体の導体パターンを形
成させると同時にフェライトグリーンシート間を電気的
に接続させるためのスルーホールにペーストを充填させ
る。
Next, through holes are formed in the ferrite green sheet by mechanical punching, laser processing, or the like, and a paste containing silver or a silver-palladium alloy is screen-printed on the through-holes to form conductor patterns of internal conductors. At the same time, the paste is filled in through holes for electrically connecting the ferrite green sheets.

【0012】次いで、このようにして得た印刷フェライ
トグリーンシートを隣接シート上の印刷パターンが互い
に対向したU字形状となるように所定の順に積層し、加
熱圧着したのち、所望の寸法に裁断しチップ形状とす
る。次にこのようにして得たグリーンチップに対し、脱
バインダー、続いて焼成のための熱処理を施し、焼結体
を形成させる。この際の焼結温度としては860〜96
0℃の範囲が選ばれる。
Next, the printed ferrite green sheets thus obtained are laminated in a predetermined order so that the printing patterns on the adjacent sheets are opposed to each other in a U-shape, heat-pressed, and cut into desired dimensions. Chip shape. Next, the green chip thus obtained is subjected to a binder removal treatment and then a heat treatment for firing to form a sintered body. The sintering temperature at this time is 860 to 96
A range of 0 ° C is chosen.

【0013】焼結処理後、得られたチップを研磨し、銀
のような金属のペーストを所定の部分に塗布し、焼き付
け処理することにより外部端子電極を形成する。次い
で、この外部端子電極間のフェライト表面を研磨して、
所定の表面粗さに調整したのち、電解めっきして金属被
覆処理を施こせば、フェライト内にコイルを内蔵したチ
ップインダクタを製造することができる。このようなチ
ップインダクタを複数回路内蔵させれば前記した図1に
示すようなチップインダクタアレイが得られる。
After the sintering process, the obtained chip is polished, a paste of a metal such as silver is applied to a predetermined portion, and baked to form external terminal electrodes. Next, the surface of the ferrite between the external terminal electrodes is polished,
If the surface is adjusted to a predetermined surface roughness and then subjected to electrolytic plating and metal coating, a chip inductor having a coil built in ferrite can be manufactured. By incorporating a plurality of such chip inductors, a chip inductor array as shown in FIG. 1 can be obtained.

【0014】本発明方法においてフェライト表面を研磨
するには、炭化ケイ素、ダイヤモンド、コランダム、立
方晶窒化ホウ素、溶融アルミナなどの研削材が用いられ
るが、特に炭化ケイ素が好ましい。これらは、粉末度#
5000〜#12000、好ましくは#8000〜#1
0000の粉体として用いられる。研磨方式としては、
例えばバレル研磨が適当である。このようにして、中心
線平均粗さ(Ra)が0.01〜0.1μm、好ましく
は0.02〜0.05μmの範囲になるように調整す
る。
For polishing the ferrite surface in the method of the present invention, abrasives such as silicon carbide, diamond, corundum, cubic boron nitride, and fused alumina are used, and silicon carbide is particularly preferred. These are fineness #
5000 to # 12000, preferably # 8000 to # 1
0000 powder. As the polishing method,
For example, barrel polishing is appropriate. Thus, the center line average roughness (Ra) is adjusted so as to be in the range of 0.01 to 0.1 μm, preferably 0.02 to 0.05 μm.

【0015】研削材として炭化ケイ素を用いた場合、粉
末度#5000〜#12000のものを用いると表面粗
さは0.01〜0.1μmの範囲になり、めっきのびが
0.05mm以下で剥離などのトラブルのないデバイス
が得られる。この粉末度が#5000よりも粗いものを
用いると、表面粗さは0.2μm以上となり、めっきの
びも0.1mm以上と大きくなるし、また#12000
よりも細かいものを用いると、表面粗さが0.005μ
mとなり、めっき層と外部端子電極との接着強度が不十
分で、めっき皮膜が簡単に剥離するようになる。
In the case where silicon carbide is used as the abrasive, if the particle size is # 5000 to # 12000, the surface roughness is in the range of 0.01 to 0.1 μm, and the plating elongation is 0.05 mm or less. A device without troubles can be obtained. If a material having a fineness greater than # 5000 is used, the surface roughness becomes 0.2 μm or more, the plating elongation becomes 0.1 mm or more, and # 12000
If a finer material is used, the surface roughness is 0.005μ.
m, the adhesive strength between the plating layer and the external terminal electrode is insufficient, and the plating film is easily peeled off.

【0016】このように表面粗さが小さくなるとめっき
のびが少なくなるのは、次の理由によるものと考えられ
る。すなわち、表面が比較的粗い場合は、端子電極の導
体部にめっきが付着すると同時に、フェライト磁器の凹
凸部にも付着するが、フェライト磁器とめっき層との付
着力はフェライト磁器の表面粗さが大きいほど強くな
る。そして、この際、隣接するフェライト磁器のめっき
不要部でも同様の付着が起り、これが一体化して成長す
ることが繰り返されてめっきのびを生じることになる。
しかしながら、フェライト磁器表面が平坦である場合に
は、いったんめっきが付着しても、フェライト磁器とめ
っき層との付着力が小さく、簡単に剥離する結果、めっ
きのびが生じにくくなるのである。
The reason why the plating spread is reduced when the surface roughness is reduced is considered to be as follows. In other words, when the surface is relatively rough, plating adheres to the conductors of the terminal electrodes and also to the irregularities of the ferrite porcelain, but the adhesion between the ferrite porcelain and the plating layer is reduced by the surface roughness of the ferrite porcelain. The larger, the stronger. Then, at this time, the same adhesion occurs also in the plating unnecessary portion of the adjacent ferrite porcelain, and this is repeated as a unitary growth, resulting in plating elongation.
However, when the surface of the ferrite porcelain is flat, even if the plating is once adhered, the adhesion between the ferrite porcelain and the plating layer is small, and the ferrite porcelain is easily peeled off.

【0017】[0017]

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明する。なお、各例中の表面粗さ及びめっきのびは次の
ようにして測定した。 (1)表面粗さ;ミツトヨ620SV表面粗さ計(ミツ
トヨ株式会社製)を用いて測定し、中心線平均粗さ(R
a)を求めた。 (2)めっきのび;光学顕微鏡を用いて、フェライト磁
器表面のめっき不要部分における最大距離を求めた。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples. The surface roughness and plating spread in each example were measured as follows. (1) Surface roughness: measured using a Mitutoyo 620 SV surface roughness meter (manufactured by Mitutoyo Corporation), and the center line average roughness (R
a) was determined. (2) Plating elongation: The maximum distance in the unnecessary portion of plating on the surface of the ferrite porcelain was determined using an optical microscope.

【0018】参考例 酸化鉄粉末49.5モル%、酸化ニッケル粉末14.5
モル%、酸化銅粉末15モル%及び酸化亜鉛粉末21モ
ル%を純水とともにボールミルで混合したのち、乾燥
し、720℃で4時間熱処理することにより、スピネル
型結晶構造をもつフェライトを製造した。次いでこのフ
ェライトを粉砕して比表面積約7cm2/gの粉末とし
た。
Reference Example 49.5 mol% of iron oxide powder, 14.5 nickel oxide powder
Molar%, copper oxide powder 15 mole%, and zinc oxide powder 21 mole% were mixed with pure water in a ball mill, dried, and heat-treated at 720 ° C. for 4 hours to produce a ferrite having a spinel type crystal structure. Next, the ferrite was pulverized into a powder having a specific surface area of about 7 cm 2 / g.

【0019】このフェライト粉末100重量部にエチル
アルコールとトルエンとキシレンの混合物(1:1:
1)100重量部及びブチラール樹脂5重量部を加えて
スラリーを調製し、これをドクターブレード法によりポ
リエチレンテレフタレートフィルム上に塗布し、乾燥す
ることにより、厚さ20μmのフェライトグリーンシー
トを得た。
A mixture of ethyl alcohol, toluene and xylene (1: 1:
1) 100 parts by weight and 5 parts by weight of butyral resin were added to prepare a slurry, which was coated on a polyethylene terephthalate film by a doctor blade method and dried to obtain a ferrite green sheet having a thickness of 20 μm.

【0020】次いで、レーザ加工で直径80μmのスル
ーホールを形成し、このシートに内部導体に相当する銀
導体ペーストをスクリーン印刷した。設定したチップサ
イズは1005形状1ライン、2010形状4ライン内
蔵のもので印刷乾燥時の導体の膜厚は約10μmであっ
た。導体を印刷したシートを所定の順で積み重ね、50
℃、800kg/cm2の圧力の下で圧着したのち、裁
断し、脱バインダー処理、900℃における2時間の焼
成工程を経て、フェライトチップを得た。このチップの
焼成体においては、フェライト層厚は15μm、電極厚
は8μmであった。この場合の内部導体を含まないフェ
ライト磁器の体積抵抗は2×107Ωcmであった。次
に、約2リットル容のバレルの約80容量%まで、直径
1mmのボールメディアを充填し、炭化ケイ素研削材
(GC#250)5cm3を添加し、十分に浸る量の水
を加えて約1時間研磨し、試料20000個を作成した
のち、それぞれの内部導体露出部に電極ペーストを塗布
し、670℃で焼き付け処理して外部端子電極を形成さ
せた。
Next, a through hole having a diameter of 80 μm was formed by laser processing, and a silver conductor paste corresponding to the internal conductor was screen-printed on the sheet. The set chip size was a built-in one line of 1005 shape and four lines of 2010 shape, and the film thickness of the conductor at the time of printing and drying was about 10 μm. The conductor-printed sheets are stacked in a predetermined order, and 50
After pressure bonding under a pressure of 800 kg / cm 2 at a temperature of 800 ° C., the material was cut, debindered, and fired at 900 ° C. for 2 hours to obtain a ferrite chip. In the fired body of this chip, the ferrite layer thickness was 15 μm and the electrode thickness was 8 μm. In this case, the volume resistance of the ferrite porcelain not including the internal conductor was 2 × 10 7 Ωcm. Next, a ball medium having a diameter of 1 mm is filled to about 80% by volume of a barrel having a capacity of about 2 liters, 5 cm 3 of silicon carbide abrasive (GC # 250) is added, and a sufficient amount of water is added to add about 5 cm 3 of water. After polishing for 1 hour to produce 20,000 samples, an electrode paste was applied to each exposed portion of the internal conductor and baked at 670 ° C. to form external terminal electrodes.

【0021】実施例1〜5、比較例1,2 参考例で得た試料20000個を分割し、それぞれ粉末
度が#3000〜#15000の範囲で異なる炭化ケイ
素研削材を用い、参考例と同じ研磨条件下で6時間研磨
処理した。次に、ワット浴(PH4.2、浴温50℃)
を用いて45分間めっき処理してニッケル皮膜を5μm
の厚さで形成させたのち、Sn232浴(PH7、浴温
20℃)を用いて30分間めっき処理してスズ皮膜を2
0μmの厚さで形成させた。このようにして得た各試料
の表面粗さとめっきのびを測定し、表1に示す。
Examples 1 to 5, Comparative Examples 1 and 2 20,000 samples obtained in Reference Examples were divided, and silicon carbide abrasives having different fineness in the range of # 3000 to # 15000 were used, and the same as in Reference Examples. Polishing was performed for 6 hours under the polishing conditions. Next, Watt bath (PH 4.2, bath temperature 50 ° C)
Nickel film 5μm by plating for 45 minutes using
And then plating using a Sn232 bath (PH7, bath temperature 20 ° C.) for 30 minutes to form a tin film 2
It was formed with a thickness of 0 μm. The surface roughness and plating spread of each sample thus obtained were measured and are shown in Table 1.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】この表から明らかなように、表面粗さが
0.01〜0.1μm特に0.02〜0.05μmのも
のは、めっきのびが0.05mm以下と小さく、しかも
フェライト面とめっき層との剥離もほとんど認められな
かった。
As is clear from this table, those having a surface roughness of 0.01 to 0.1 μm, particularly 0.02 to 0.05 μm, have a small plating elongation of 0.05 mm or less, and have a ferrite surface and a plating layer. Almost no peeling was observed.

【0024】[0024]

【発明の効果】本発明によると、外部端子電極における
めっきのびを抑制し、隣接端子間での絶縁不良のない高
品質のインダクタデバイスが提供される。
According to the present invention, it is possible to provide a high-quality inductor device that suppresses plating spread in an external terminal electrode and has no insulation failure between adjacent terminals.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 積層フェライトインダクタデバイスの構造例
を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing a structural example of a multilayer ferrite inductor device.

【図2】 本発明方法の1例の工程図。FIG. 2 is a process chart of an example of the method of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2 銀導体パターン 3 スルーホール 4 フェライト 1,2 silver conductor pattern 3 through hole 4 ferrite

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 内部導体、フェライト磁器及び外部端子
電極から構成された積層フェライトインダクタデバイス
であって、外部端子電極間のフェライト表面の表面粗さ
が0.01〜0.1μmに調整されていることを特徴と
するインダクタデバイス。
1. A multilayer ferrite inductor device comprising an internal conductor, a ferrite porcelain and an external terminal electrode, wherein the surface roughness of the ferrite surface between the external terminal electrodes is adjusted to 0.01 to 0.1 μm. An inductor device, comprising:
【請求項2】 フェライト表面の表面粗さが0.02〜
0.05μmに調整されている請求項1記載のインダク
タデバイス。
2. A ferrite surface having a surface roughness of 0.02 to 0.02.
2. The inductor device according to claim 1, which is adjusted to 0.05 [mu] m.
【請求項3】 フェライトグリーンシートにスルーホー
ルを穿設したのち、導体形成用ペーストをスクリーン印
刷して導体パターンを形成させるとともに、スルーホー
ルに導体ペーストを充填し、次いでこの印刷されたフェ
ライトグリーンシートを複数層積層し、加熱圧着後、任
意の寸法に裁断してチップ形状として焼結処理を施して
コイル状内部導体を有するフェライト構造体としたの
ち、端子電極を焼き付け、この端子電極の表面に金属導
体皮膜をめっきして積層フェライトインダクタデバイス
を製造する方法において、前記端子電極の焼き付け工程
とその表面のめっき工程との間に研磨処理を施し、外部
端子電極間のフェライト表面における表面粗さを0.0
1〜0.1μmに調整することを特徴とする方法。
3. After forming a through hole in a ferrite green sheet, a conductor forming paste is screen-printed to form a conductor pattern, the through hole is filled with a conductor paste, and then the printed ferrite green sheet is formed. After laminating a plurality of layers, after heating and compression, cut into arbitrary dimensions and subjected to a sintering process into a chip shape to obtain a ferrite structure having a coil-shaped internal conductor, and then bake the terminal electrode, on the surface of this terminal electrode In a method of manufacturing a multilayer ferrite inductor device by plating a metal conductor film, a polishing treatment is performed between a baking step of the terminal electrode and a plating step of the surface thereof to reduce the surface roughness of the ferrite surface between the external terminal electrodes. 0.0
A method comprising adjusting the thickness to 1 to 0.1 μm.
【請求項4】 フェライト表面における表面粗さを0.
02〜0.05μmに調整する請求項3記載の方法。
4. The ferrite surface has a surface roughness of 0.
4. The method according to claim 3, wherein the thickness is adjusted to 02 to 0.05 [mu] m.
【請求項5】 微細炭化ケイ素粉体を用いて研磨する請
求項3又は4記載の方法。
5. The method according to claim 3, wherein the polishing is performed using fine silicon carbide powder.
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