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JP2000233488A - Substrate alignment method in screen printing - Google Patents

Substrate alignment method in screen printing

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Publication number
JP2000233488A
JP2000233488A JP11038352A JP3835299A JP2000233488A JP 2000233488 A JP2000233488 A JP 2000233488A JP 11038352 A JP11038352 A JP 11038352A JP 3835299 A JP3835299 A JP 3835299A JP 2000233488 A JP2000233488 A JP 2000233488A
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JP
Japan
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substrate
screen printing
accuracy
mask plate
recognition
Prior art date
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Application number
JP11038352A
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Japanese (ja)
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JP3613055B2 (en
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Yuji Otake
裕治 大武
Kunihiko Tokita
邦彦 時田
Seiichi Miyahara
清一 宮原
Hiroshi Murata
浩 村田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Publication of JP2000233488A publication Critical patent/JP2000233488A/en
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Screen Printers (AREA)
  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板を正しく位置合わせして位置精度を向上
させることができるスクリーン印刷における基板の位置
合わせ方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 パターン孔が設けられたマスクプレート
に対して基板6の位置合わせを行うスクリーン印刷にお
ける基板の位置合わせ方法において、基板6上の対角位
置に設けられた2つの認識マーク6a,6bを認識する
ことにより基板6の回転方向の位置ずれ角度Δθを求
め、基板6上で最も位置補正精度を必要とする電極部位
6cランド部を認識することにより電極部位6cの直交
座標軸方向の位置ずれ量Δx,Δyを求め、この位置ず
れ量Δx,Δyと前記位置ずれ角度Δθに基づいて基板
6の位置補正を行う。これにより、位置補正精度を最も
必要とする所定部位の位置精度を向上させることができ
る。
(57) Abstract: An object of the present invention is to provide a method of aligning a substrate in screen printing that can improve the positional accuracy by correctly aligning the substrate. SOLUTION: In a substrate alignment method in screen printing for aligning a substrate 6 with a mask plate provided with a pattern hole, two recognition marks 6a and 6b provided at diagonal positions on the substrate 6 are provided. The position deviation angle Δθ in the rotational direction of the substrate 6 is obtained by recognizing the position of the electrode portion 6c on the substrate 6 where the position correction accuracy is most required. The amounts Δx and Δy are obtained, and the position of the substrate 6 is corrected based on the positional deviation amounts Δx and Δy and the positional deviation angle Δθ. As a result, it is possible to improve the position accuracy of the predetermined portion that requires the position correction accuracy most.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、スクリーン印刷に
おいて、基板をマスクプレートに対して位置合わせする
スクリーン印刷における基板の位置合わせ方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for aligning a substrate in a screen printing, which aligns the substrate with a mask plate in the screen printing.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品実装工程において、基板上にク
リーム半田や導電性ペーストなどを印刷する方法として
スクリーン印刷が用いられる。この方法は、印刷対象部
位に応じてパターン孔が開口されたマスクプレートを基
板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給して
スキージを摺動させることにより、パターン孔を介して
基板上にペーストを印刷するものである。このスクリー
ン印刷においては、基板をマスクプレートに対して正確
に位置合わせする必要がある。このため基板には位置検
出用の認識マークが設けられており、基板がスクリーン
印刷装置に搬入された後にこれらの認識マークを光学的
に認識することにより基板の位置ずれ量を検出し、この
位置ずれ量を補正した上で基板の位置決めが行われる。
従来より認識マークとして基板の対角位置近傍に設けら
れた2点の認識マークが広く用いられており、この2点
を認識することにより、基板の直交座標軸方向の位置ず
れ量および回転方向の位置ずれ角度を算出していた。
2. Description of the Related Art In an electronic component mounting process, screen printing is used as a method for printing cream solder, conductive paste, or the like on a substrate. In this method, a mask plate having a pattern hole opened according to a portion to be printed is brought into contact with a substrate, a paste is supplied onto the mask plate, and a squeegee is slid, so that the squeegee slides on the substrate through the pattern hole. Prints the paste. In this screen printing, it is necessary to accurately align the substrate with the mask plate. For this reason, a recognition mark for position detection is provided on the substrate, and after the substrate is carried into the screen printing device, the amount of displacement of the substrate is detected by optically recognizing these recognition marks. The substrate is positioned after correcting the shift amount.
Conventionally, two-point recognition marks provided near the diagonal positions of the substrate have been widely used as recognition marks, and by recognizing these two points, the amount of displacement of the substrate in the orthogonal coordinate axis direction and the position in the rotation direction are recognized. The shift angle was calculated.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで基板は樹脂な
ど熱や外力によって伸縮変形する材質で作られているた
め、製造工程において変形が生じる。しかもその変形は
基板全体にわたって均一とは限らず、部分的な変形を生
じる場合がある。このため基板の対角位置に設けられた
2点の認識マークと基板内の各部位との相対的位置関係
は必ずしも一定とはならない。
However, since the substrate is made of a material such as resin which expands and contracts due to heat and external force, the substrate is deformed in the manufacturing process. Moreover, the deformation is not necessarily uniform over the entire substrate, and may cause partial deformation. For this reason, the relative positional relationship between the two recognition marks provided at diagonal positions of the substrate and each part within the substrate is not necessarily constant.

【0004】ところが、本来の位置合わせの対象である
部位、すなわち最も位置合わせ精度を確保したい部位
は、通常は基板の内側で対角位置とは離れた別の部位で
ある場合が多い。しかしながら従来は対角位置に設けら
れた2点の認識マークの位置検出結果に基づいて基板全
体の位置補正を行っていたため、最も位置精度を要する
部位が必ずしも正しく位置合わせされず、必要な位置精
度が確保されないという問題点があった。
[0004] However, the part to be originally aligned, that is, the part where it is desired to ensure the most accurate alignment is usually another part inside the substrate and separated from the diagonal position. However, conventionally, since the position correction of the entire substrate is performed based on the position detection results of the two recognition marks provided at the diagonal positions, a portion requiring the highest position accuracy is not always correctly aligned, and the required position accuracy is not necessarily obtained. There was a problem that was not secured.

【0005】そこで本発明は、基板を正しく位置合わせ
して位置精度を向上させることができるスクリーン印刷
における基板の位置合わせ方法を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of positioning a substrate in screen printing, which can improve the positional accuracy by correctly positioning the substrate.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】請求項1記載のスクリー
ン印刷における基板の位置合わせ方法は、パターン孔が
設けられたマスクプレートを基板に当接させ、前記マス
クプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させ
ることにより基板にペーストを印刷するスクリーン印刷
における基板の位置合わせ方法であって、前記基板上の
相互に遠隔する2点に形成された特徴点を認識すること
により基板の回転方向の位置ずれ角度を求め、基板上の
所定部位の特定特徴点を認識することにより当該所定部
位の直交座標軸方向の位置ずれ量を求め、この位置ずれ
量と前記位置ずれ角度に基づいて基板の位置補正を行う
ようにした。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of positioning a substrate in screen printing, comprising: bringing a mask plate provided with pattern holes into contact with the substrate; supplying a paste onto the mask plate; Is a method of positioning a substrate in screen printing in which paste is printed on the substrate by sliding the substrate, and by recognizing characteristic points formed at two points remote from each other on the substrate, the position of the substrate in the rotation direction of the substrate is recognized. A position shift angle is obtained, and a specific feature point of a predetermined portion on the substrate is recognized to obtain a position shift amount of the predetermined portion in the orthogonal coordinate axis direction, and the position of the substrate is corrected based on the position shift amount and the position shift angle. To do.

【0007】請求項2記載のスクリーン印刷における基
板の位置合わせ方法は、請求項1記載のスクリーン印刷
における基板の位置合わせ方法であって、前記特定特徴
点は、複数の特徴点である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of aligning a substrate in screen printing, wherein the specific feature points are a plurality of feature points.

【0008】本発明によれば、基板上の相互に遠隔する
2点に設けられた特徴点を認識して基板の回転方向の位
置ずれ角度を求め、基板の所定部位の特定特徴点を認識
して所定部位の直交座標軸方向の位置ずれ量を求めるこ
とにより、位置補正精度を最も必要とする所定部位の位
置精度を向上させることができる。
According to the present invention, a feature point provided at two mutually distant points on a substrate is recognized, a positional deviation angle in the rotational direction of the board is obtained, and a specific feature point at a predetermined portion of the board is recognized. By calculating the amount of displacement of the predetermined portion in the direction of the orthogonal coordinate axes, the position accuracy of the predetermined portion requiring the highest position correction accuracy can be improved.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のスク
リーン印刷装置の側面図、図2は同スクリーン印刷装置
の平面図、図3(a)は同基板の平面図、図3(b)は
同基板の部分拡大図、図4は同スクリーン印刷装置の制
御系の構成を示すブロック図、図5は同スクリーン印刷
における基板の位置合わせのフロー図、図6(a),
(b)は同基板の位置合わせの説明図である。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the screen printing apparatus, FIG. 3 (a) is a plan view of the same board, and FIG. FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a control system of the screen printing apparatus. FIG. 5 is a flowchart of substrate alignment in the screen printing apparatus.
(B) is an explanatory view of the positioning of the substrate.

【0010】まず図1、図2を参照してスクリーン印刷
装置の構造を説明する。図1において、基板位置決め手
段である基板位置決め部1は、X軸テーブル2およびY
軸テーブル3よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル4
を段積みし、さらにその上にZ軸テーブル5を配設して
構成されており、Z軸テーブル5上には基板6をクラン
パ8によって保持する基板保持部7が設けられている。
印刷対象の基板6は図2に示す搬入コンベア14によっ
て基板位置決め部1に搬入される。基板位置決め部1を
駆動することにより、基板6の位置を調整することがで
きる。印刷後の基板6は、搬出コンベア15によって搬
出される。
First, the structure of the screen printing apparatus will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, a board positioning unit 1 serving as a board positioning means includes an X-axis table 2 and a Y-axis table 2.
The θ axis table 4 on the moving table composed of the axis table 3
Are stacked, and a Z-axis table 5 is further disposed thereon. On the Z-axis table 5, a substrate holding unit 7 for holding a substrate 6 by a clamper 8 is provided.
The substrate 6 to be printed is carried into the substrate positioning unit 1 by the carry-in conveyor 14 shown in FIG. By driving the substrate positioning unit 1, the position of the substrate 6 can be adjusted. The printed substrate 6 is carried out by the carry-out conveyor 15.

【0011】基板位置決め部1の上方には、スクリーン
マスク10が配設されており、スクリーンマスク10は
ホルダ11にマスクプレート12を装着して構成されて
いる。基板6は基板位置決め部1によってマスクプレー
ト12に対して位置合わせされ下方から当接する。スク
リーンマスク10上には、スキージユニット13が水平
方向に往復動自在に配設されている。基板6がマスクプ
レート12の下面に当接した状態で、マスクプレート1
2上にペーストであるクリーム半田を供給し、スキージ
ユニット13のスキージをマスクプレート12の表面に
当接させて摺動させることにより、基板6の表面にはマ
スクプレート12に設けられたパターン孔12a(図2
参照)を介してクリーム半田が印刷される。
A screen mask 10 is provided above the substrate positioning section 1. The screen mask 10 is configured by mounting a mask plate 12 on a holder 11. The substrate 6 is positioned with respect to the mask plate 12 by the substrate positioning unit 1 and abuts from below. A squeegee unit 13 is arranged on the screen mask 10 so as to be able to reciprocate in the horizontal direction. With the substrate 6 in contact with the lower surface of the mask plate 12, the mask plate 1
2, the squeegee of the squeegee unit 13 is brought into contact with the surface of the mask plate 12 and is slid, so that the pattern holes 12 a formed in the mask plate 12 are provided on the surface of the substrate 6. (Figure 2
Cream solder is printed.

【0012】スクリーンマスク10の上方には、撮像手
段であるカメラ20が設けられている。図2に示すよう
に、カメラ20はX軸テーブル21およびY軸テーブル
22によってXY方向に水平移動する。すなわちX軸テ
ーブル21およびY軸テーブル22は移動手段となって
いる。カメラ20は基板6に設けられた特徴点としての
各認識マークや特定位置補正部位を撮像する。そして撮
像により得られた画像データに基づいて各認識マークや
特定位置補正部位の位置が求められる。
Above the screen mask 10, a camera 20 as an image pickup means is provided. As shown in FIG. 2, the camera 20 is horizontally moved in the XY directions by the X-axis table 21 and the Y-axis table 22. That is, the X-axis table 21 and the Y-axis table 22 are moving means. The camera 20 captures an image of each recognition mark as a feature point provided on the substrate 6 and a specific position correction site. Then, based on the image data obtained by the imaging, the positions of the respective recognition marks and the specific position correction site are obtained.

【0013】図3(a)に示すように、基板6には対角
位置に特徴点である認識マーク6a,6bが設けられて
いる。また基板6上の内側に位置する所定部位としての
電極部位6cは、基板6上で最も位置精度が必要とされ
るQFPなどの電子部品が実装される実装部位であり、
位置補正時の優先順位が高い特定位置補正部位となって
いる。図3(b)に示すように、電極部位6cは複数の
電極より成り、電極部位6c全体を平均的に精度よく位
置補正するために、対角位置にある2つのランド部p
a,pbを位置検出対象の特定特徴点として撮像し、検
出された2つのランド部pa,pbの中点6pを電極部
位6cの代表点とする。なお、ここでは2つのランド部
pa,pbを特定特徴点として認識する例を示している
が、どちらか1つのランドで電極部位6cを代表させて
もよい。
As shown in FIG. 3A, the substrate 6 is provided with recognition marks 6a and 6b, which are characteristic points, at diagonal positions. The electrode portion 6c as a predetermined portion located on the inner side of the substrate 6 is a mounting portion on which electronic components such as QFPs which require the highest positional accuracy on the substrate 6 are mounted.
The specific position correction part has a higher priority in position correction. As shown in FIG. 3B, the electrode portion 6c is composed of a plurality of electrodes. In order to correct the position of the entire electrode portion 6c on average with high accuracy, two land portions p at diagonal positions are used.
Images of a and pb are taken as specific feature points of the position detection target, and a middle point 6p of the two detected land portions pa and pb is set as a representative point of the electrode portion 6c. Here, an example is shown in which two land portions pa and pb are recognized as specific feature points, but one of the lands may represent the electrode portion 6c.

【0014】次に、図4を参照してスクリーン印刷装置
の制御系の構成について説明する。図4において、CP
U30は全体制御部であり以下に説明する各部の全体制
御を行う。認識マーク位置記憶部31は基板6の認識マ
ーク6a,6bや電極部位6cの位置を記憶する。印刷
位置データ記憶部32は、認識マーク6a,6b、電極
部位6cを認識することにより得られた基板6とマスク
プレート12との位置ずれ量の計算結果、すなわち印刷
時に基板6をマスクプレート12に位置合わせする際に
補正すべき位置補正量を記憶する。認識パラメータ記憶
部33は、特徴部として基板6に設けられた認識マーク
6a,6b、電極部位6cを画像認識によって特定する
のに必要なパラメータ、すなわち認識マークやランド部
の形状・寸法などの認識パラメータおよびカメラ20に
よって認識マーク6a,6b、電極部位6cを撮像する
際の照明データを記憶する。
Next, the configuration of a control system of the screen printing apparatus will be described with reference to FIG. In FIG.
U30 is an overall control unit that performs overall control of each unit described below. The recognition mark position storage unit 31 stores the positions of the recognition marks 6a and 6b of the substrate 6 and the positions of the electrode parts 6c. The print position data storage unit 32 calculates the positional shift amount between the substrate 6 and the mask plate 12 obtained by recognizing the recognition marks 6a and 6b and the electrode portions 6c, that is, the substrate 6 is stored in the mask plate 12 during printing. A position correction amount to be corrected at the time of positioning is stored. The recognition parameter storage unit 33 recognizes parameters necessary for specifying the recognition marks 6a and 6b and the electrode parts 6c provided on the substrate 6 as characteristic parts by image recognition, that is, recognition of the shape and dimensions of the recognition mark and the land. The parameters and the illumination data when the recognition marks 6a and 6b and the electrode part 6c are imaged by the camera 20 are stored.

【0015】画像処理部34は、カメラ20によって基
板6を撮像することによって得られた画像データを画像
処理することにより、認識マーク6a,6b、電極部位
6cの位置を検出する。ここでは、認識パラメータ記憶
部33から認識マーク6a,6b、電極部位6cの形状
やサイズを表す認識パラメータを読み出して認識マーク
6a,6b、電極6cのリファレンスパターンを自動生
成し、このリファレンスパターンと得られた画像データ
をパターンマッチさせながら位置検索処理を行うことに
より、認識マーク6a,6b、電極部位6cの位置を検
出する。テーブル駆動部35は基板位置決め用のX軸テ
ーブル2、Y軸テーブル3、θ軸テーブル4、Z軸テー
ブル5およびカメラ移動用のX軸テーブル21、Y軸テ
ーブル22を駆動する。
The image processing section 34 detects the positions of the recognition marks 6a and 6b and the electrode portions 6c by performing image processing on image data obtained by imaging the substrate 6 with the camera 20. Here, the recognition marks 6a and 6b and the recognition parameters indicating the shape and size of the electrode part 6c are read from the recognition parameter storage unit 33, and the reference patterns of the recognition marks 6a and 6b and the electrode 6c are automatically generated. The position of the recognition marks 6a and 6b and the positions of the electrode portions 6c are detected by performing a position search process while performing pattern matching on the obtained image data. The table driving unit 35 drives the X-axis table 2, the Y-axis table 3, the θ-axis table 4, the Z-axis table 5, and the X-axis table 21 and the Y-axis table 22 for moving the camera.

【0016】次に各図を参照して基板の位置合わせ方法
について図5のフローに沿って説明する。この位置合わ
せは、スクリーン印刷時に、搬入された基板とスクリー
ンマスクとの相対的な位置ずれ量を検出することを目的
として行われるものである。まず図1において基板6を
搬入コンベア14によって搬入し、基板位置決め部1に
よって位置決めする。
Next, a method of aligning a substrate will be described with reference to the drawings in accordance with the flow chart of FIG. This alignment is performed for the purpose of detecting a relative positional shift amount between the loaded substrate and the screen mask during screen printing. First, in FIG. 1, the substrate 6 is carried in by the carry-in conveyor 14 and is positioned by the substrate positioning unit 1.

【0017】次いでカメラ20によって基板6上の認識
マーク6a,6b、電極部位6cを撮像する(ST
1)。次いで、認識マーク6a,6b、および電極部位
6cの対角位置の2つのランド部pa,pbの光学座標
上での位置を検出し、検出結果を認識マーク位置記憶部
31に記憶させる(ST2)。
Next, the camera 20 images the recognition marks 6a and 6b and the electrode portion 6c on the substrate 6 (ST).
1). Next, the positions of the diagonal positions of the recognition marks 6a, 6b and the electrode portion 6c on the optical coordinates of the two lands pa, pb are detected, and the detection results are stored in the recognition mark position storage unit 31 (ST2). .

【0018】次に、認識マーク6a,6bの位置検出結
果から、図6(a)に示すように認識マーク6a,6b
を結ぶ直線の傾きを検出し、正規角度(点A、Bを結ぶ
直線のなす角度)に対する位置ずれ角度Δθを求める
(ST3)。次に、ランド部pa,pbの位置検出結果
からランド部pa,pbの中点6pの位置を求め、電極
部位6cの代表点とする(ST4)。そしてこの代表点
6pの、正規位置(点P)に対する直交座標軸方向の位
置ずれ量Δx,Δyを求め(ST5)、求められたΔ
x,ΔおよびΔθを位置補正量として記憶させる(ST
6)。
Next, based on the position detection results of the recognition marks 6a and 6b, as shown in FIG.
Is detected, and a displacement angle Δθ with respect to a normal angle (an angle formed by the straight line connecting points A and B) is obtained (ST3). Next, the position of the midpoint 6p of the lands pa and pb is determined from the position detection results of the lands pa and pb, and is determined as a representative point of the electrode portion 6c (ST4). Then, the positional deviation amounts Δx and Δy of the representative point 6p in the orthogonal coordinate axis direction with respect to the normal position (point P) are obtained (ST5), and the obtained Δ
x, Δ and Δθ are stored as position correction amounts (ST
6).

【0019】そしてテーブル駆動部35を駆動して基板
6を位置合わせする際には、これらの位置補正量に基づ
き各軸を駆動する(ST7)。これにより、図6(b)
に示すように、特定位置補正部位である電極部位6cの
代表点6pは正規位置点Pに重ね合わされる。したがっ
て、最も位置精度が求められる電極部位6cの近傍では
高精度の位置合わせが実現される。このようにして基板
6をスクリーンマスク10に対して位置合わせした後、
スクリーン印刷が行われる(ST8)。
When the table driving unit 35 is driven to align the substrate 6, each axis is driven based on these positional correction amounts (ST7). As a result, FIG.
As shown in the figure, the representative point 6p of the electrode portion 6c which is the specific position correction portion is superimposed on the normal position point P. Therefore, high-accuracy alignment is realized in the vicinity of the electrode portion 6c where the positional accuracy is most required. After aligning the substrate 6 with the screen mask 10 in this manner,
Screen printing is performed (ST8).

【0020】上記位置合わせ方法を用いることにより、
QFPなど実装位置精度が必要とされる電子部品の実装
位置を精度よく補正するとともに、基板全体の回転方向
のずれ角度を精度良く合わせることが可能となる。
By using the above alignment method,
It is possible to accurately correct the mounting position of an electronic component that requires mounting position accuracy such as QFP, and to accurately match the rotational angle of the entire substrate in the rotational direction.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、基板上の相互に遠隔す
る2点に設けられた特徴点を認識して基板の回転方向の
位置ずれ角度を求め、基板の所定部位の特定特徴点を認
識して直交座標軸方向の位置ずれ量を求めるようにした
ので、位置補正精度を最も必要とする所定部位の位置精
度を向上させるとともに、基板の回転方向の位置ずれを
精度良く補正することができる。
According to the present invention, the characteristic points provided at two mutually remote points on the substrate are recognized, the positional deviation angle in the rotational direction of the substrate is obtained, and the specific characteristic point at a predetermined portion of the substrate is determined. Recognition and determination of the amount of displacement in the orthogonal coordinate axis direction improve the positional accuracy of a predetermined portion requiring the greatest positional correction accuracy, and can correct the positional displacement in the rotational direction of the substrate with high accuracy. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
側面図
FIG. 1 is a side view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
平面図
FIG. 2 is a plan view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図3】(a)本発明の一実施の形態の基板の平面図 (b)本発明の一実施の形態の基板の部分拡大図3A is a plan view of a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3B is a partially enlarged view of the substrate according to the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
制御系の構成を示すブロック図
FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of a control system of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷におけ
る基板の位置合わせのフロー図
FIG. 5 is a flowchart of substrate alignment in screen printing according to an embodiment of the present invention.

【図6】(a)本発明の一実施の形態の基板の位置合わ
せの説明図 (b)本発明の一実施の形態の基板の位置合わせの説明
FIG. 6A is an explanatory diagram of a substrate alignment according to an embodiment of the present invention. FIG. 6B is an explanatory diagram of a substrate alignment according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板位置決め部 6 基板 6a、6b 認識マーク 6c 電極部位 6p 代表点 12 マスクプレート 12a パターン孔 13 スキージユニット 20 カメラ 31 認識マーク位置記憶部 34 画像認識部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate positioning part 6 Substrate 6a, 6b Recognition mark 6c Electrode part 6p Representative point 12 Mask plate 12a Pattern hole 13 Squeegee unit 20 Camera 31 Recognition mark position storage part 34 Image recognition part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮原 清一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 村田 浩 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2C035 AA06 FA29 FB24 FB27 FB33 FD01 2C250 DA07 EB26 EB28 EB33 5E319 BB05 CD04 CD29 5E343 BB72 DD03 FF02 FF24  ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Seiichi Miyahara 1006 Kadoma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. F term (reference) 2C035 AA06 FA29 FB24 FB27 FB33 FD01 2C250 DA07 EB26 EB28 EB33 5E319 BB05 CD04 CD29 5E343 BB72 DD03 FF02 FF24

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】パターン孔が設けられたマスクプレートを
基板に当接させ、前記マスクプレート上にペーストを供
給してスキージを摺動させることにより基板にペースト
を印刷するスクリーン印刷における基板の位置合わせ方
法であって、前記基板上の相互に遠隔する2点に形成さ
れた特徴点を認識することにより基板の回転方向の位置
ずれ角度を求め、基板上の所定部位の特定特徴点を認識
することにより当該所定部位の直交座標軸方向の位置ず
れ量を求め、この位置ずれ量と前記位置ずれ角度に基づ
いて基板の位置補正を行うことを特徴とするスクリーン
印刷における基板の位置合わせ方法。
A mask plate provided with pattern holes is brought into contact with a substrate, a paste is supplied onto the mask plate, and a squeegee is slid to print the paste on the substrate. Recognizing a feature point formed at two mutually distant points on the substrate to determine a position shift angle in a rotation direction of the substrate and recognizing a specific feature point of a predetermined portion on the substrate. A position shift amount of the predetermined portion in the direction of the orthogonal coordinate axis, and correcting the position of the substrate based on the position shift amount and the position shift angle.
【請求項2】前記特定特徴点は、複数の特徴点であるこ
とを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷における
基板の位置合わせ方法。
2. The method according to claim 1, wherein the specific feature points are a plurality of feature points.
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