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JP2001060311A - Disk media - Google Patents

Disk media

Info

Publication number
JP2001060311A
JP2001060311A JP11237087A JP23708799A JP2001060311A JP 2001060311 A JP2001060311 A JP 2001060311A JP 11237087 A JP11237087 A JP 11237087A JP 23708799 A JP23708799 A JP 23708799A JP 2001060311 A JP2001060311 A JP 2001060311A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
layer
temperature
disk
recording layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11237087A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Hosokawa
哲夫 細川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP11237087A priority Critical patent/JP2001060311A/en
Publication of JP2001060311A publication Critical patent/JP2001060311A/en
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁性記録層が希土類金属と遷移金属との合金
からなるディスク媒体を磁気ディスク装置に対しても適
用可能にするとを課題とする。 【解決手段】 ディスク媒体の磁性記録層3を希土類金
属と遷移金属との合金で構成し、補償温度が80°C以
上で且つキュリー温度以下とする。
(57) [Problem] To provide a disk medium whose magnetic recording layer is made of an alloy of a rare earth metal and a transition metal can be applied to a magnetic disk device. SOLUTION: The magnetic recording layer 3 of the disk medium is made of an alloy of a rare earth metal and a transition metal, and the compensation temperature is 80 ° C. or higher and Curie temperature or lower.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁性記録層として、希
土類金属と遷移金属の合金が用いられるディスク媒体、
および、そのディスク媒体を備えるディスク装置に関す
る。
The present invention relates to a disk medium in which an alloy of a rare earth metal and a transition metal is used as a magnetic recording layer,
And a disk device having the disk medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置に適用される磁気ディ
スクの磁性記録層の材料としては、面内磁化の性質を持
つCoCrPtTa等のCoCr系の合金が広く使用さ
れている。しかし、CoCr系材料に対する面内記録で
は、記録密度を高くすると、再生信号のS/Nが低下
し、記録データの読取において、エラーが発生してしま
う。高密度記録に伴うS/Nの低下を防ぐために、磁性
記録層を薄くしてビット境界からの反磁界を低減する手
法や、結晶粒径を小さくしてノイズを低減するなどの手
法が取られてきた。
2. Description of the Related Art As a material of a magnetic recording layer of a magnetic disk applied to a magnetic disk device, a CoCr alloy such as CoCrPtTa having in-plane magnetization properties is widely used. However, in in-plane recording on a CoCr-based material, when the recording density is increased, the S / N of the reproduced signal decreases, and an error occurs in reading recorded data. In order to prevent a reduction in S / N due to high-density recording, a method of reducing the demagnetizing field from the bit boundary by making the magnetic recording layer thinner and a method of reducing noise by reducing the crystal grain size have been adopted. Have been.

【0003】上述の手法により、S/Nの改善は可能で
あるが、記録されたデータの保存信頼性の低下という問
題が起きる。つまり、熱揺らぎの問題が発生する。熱揺
らぎの影響は、Ku・V/kTで示される。ここで、K
uは磁性記録層の磁気異方性定数、Vは記録層の磁性粒
子の体積、kはボルツマン定数である。この式から、S
/N改善のために結晶粒を小さくすると、熱揺らぎの影
響を受けやすくなる。また、磁性記録層を薄くすること
も、磁性粒の体積の縮小を伴うため、やはり、熱揺らぎ
の影響を受けやすくなる。熱揺らぎの影響を受けやすく
なると、記録磁化の方向が不安定になり、データが読み
取れなくなってしまう。特に、動作中のディスクドライ
ブ内の温度は60°C以上の高温であるため、熱揺らぎ
の影響が一層増加し、データの保持信頼性が急激に低下
する。
[0003] Although the S / N ratio can be improved by the above-described method, there arises a problem that storage reliability of recorded data is reduced. That is, a problem of thermal fluctuation occurs. The effect of thermal fluctuation is indicated by Ku · V / kT. Where K
u is the magnetic anisotropy constant of the magnetic recording layer, V is the volume of magnetic particles in the recording layer, and k is the Boltzmann constant. From this equation, S
When the crystal grains are made small for improving the / N ratio, the crystal grains are easily affected by thermal fluctuation. Also, making the magnetic recording layer thinner involves a reduction in the volume of the magnetic grains, so that the magnetic recording layer is also more susceptible to thermal fluctuations. If it becomes susceptible to thermal fluctuations, the direction of recording magnetization becomes unstable, and data cannot be read. In particular, since the temperature inside the disk drive during operation is as high as 60 ° C. or more, the influence of the thermal fluctuation is further increased, and the reliability of data retention is rapidly lowered.

【0004】結晶粒によるノイズ発生および熱揺らぎに
よるデータの保持信頼性の低下の問題を解決する手法と
して、磁性記録層の材料として希土類金属と遷移金属の
合金を採用することが考えられている。希土類金属と遷
移金属との合金はアモルファスなので結晶粒によるノイ
ズは元々発生しない。たとえば、特開昭58−1653
06号公報には、10〜40at%のGd、Tb、Dy
等の希土類金属と、60〜90at%のFe、Co、N
i等の遷移金属の合金により磁性記録層を構成すること
が開示されている。
As a method of solving the problems of noise generation due to crystal grains and reduction in data retention reliability due to thermal fluctuation, adoption of an alloy of a rare earth metal and a transition metal as a material for a magnetic recording layer has been considered. Since an alloy of a rare earth metal and a transition metal is amorphous, noise due to crystal grains does not originally occur. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-1653
No. 06 discloses that 10 to 40 at% of Gd, Tb, Dy
And 60 to 90 at% of Fe, Co, N
It is disclosed that the magnetic recording layer is composed of an alloy of a transition metal such as i.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年の磁気
ディスク媒体の記録密度は大幅に向上されてきており、
記録ビット径も0.1〜1.0μm程度に小さくなって
きている。
Incidentally, the recording density of magnetic disk media in recent years has been greatly improved.
The recording bit diameter has also been reduced to about 0.1 to 1.0 μm.

【0006】ところが、上記特開昭58−165306
号公報に開示される組成範囲において、Tb或いはDy
を30at%以上とすると、室温(25°C)における
保磁力が1kOe以下であり、小さな記録ビットが安定
に存在することが困難になる。また、Tbの組成が20
〜25at%では、室温における保磁力が10kOe以
上となる。光磁気ディスク装置のように、媒体を加熱す
ることにより保磁力を落としてデータを記録する方式に
おいては、保磁力が大きくても記録は可能であるが、熱
によるアシストのない磁気ディスク装置においては、保
磁力が大きすぎると、磁気ヘッドによる記録が困難であ
る。
However, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-165306 discloses the above.
Or Ty or Dy in the composition range disclosed in
Is 30 at% or more, the coercive force at room temperature (25 ° C.) is 1 kOe or less, and it is difficult to stably provide small recording bits. Further, when the composition of Tb is 20
At 2525 at%, the coercive force at room temperature is 10 kOe or more. In a method of recording data by lowering the coercive force by heating the medium, such as a magneto-optical disk device, recording is possible even if the coercive force is large, but in a magnetic disk device without heat assist, If the coercive force is too large, it is difficult to record with a magnetic head.

【0007】更に、GdFeまたはGdFeCoにおい
ては、垂直磁気異方性が極めて小さく、上記のほとんど
の組成範囲において保磁力が1kOe以下のため、高密
度記録は困難である。
Further, GdFe or GdFeCo has extremely small perpendicular magnetic anisotropy and a coercive force of 1 kOe or less in most of the above composition ranges, so that high-density recording is difficult.

【0008】また、磁気ディスクに対する記録において
記録密度を高めるためには、一般的には、記録再生ヘッ
ドを磁性記録層に近づける必要がある。そのためには、
磁性記録層の上に形成される保護層の厚さは薄いことが
必要である。しかし、上述のTbは、希土類金属の中
で、最も酸素に活性である性質を持つため、保護層の厚
さを十分に確保する必要が有る。その結果、ヘッドを保
護層に近づけることができず、高密度記録が困難となっ
ている。
In order to increase the recording density in recording on a magnetic disk, it is generally necessary to move the recording / reproducing head closer to the magnetic recording layer. for that purpose,
The thickness of the protective layer formed on the magnetic recording layer needs to be small. However, the above-mentioned Tb has the property of being the most active in oxygen among the rare earth metals, so it is necessary to ensure a sufficient thickness of the protective layer. As a result, the head cannot be brought close to the protective layer, making high-density recording difficult.

【0009】そこで、本発明の第1の目的は、記録密度
の高いディスク媒体を提供することである。
Accordingly, a first object of the present invention is to provide a disk medium having a high recording density.

【0010】本発明の第2の目的は、S/Nが高いディ
スク媒体を提供することである。
A second object of the present invention is to provide a disk medium having a high S / N.

【0011】本発明の第3の目的は、データの保持信頼
性が高いディスク媒体を提供することである。
A third object of the present invention is to provide a disk medium having high data retention reliability.

【0012】本発明の第4の目的は、磁気ヘッドによる
データの記録が容易なディスク媒体を提供することであ
る。
A fourth object of the present invention is to provide a disk medium in which data can be easily recorded by a magnetic head.

【0013】本発明の第5の目的は、ヘッドの浮上量の
低下を実現するディスク媒体を提供することである。
[0015] A fifth object of the present invention is to provide a disk medium capable of reducing the flying height of a head.

【0014】[0014]

【課題を解決する手段】希土類金属と遷移金属の合金に
おいては、希土類金属の磁化と遷移金属の磁化が逆方向
に向いており、媒体全体としての磁化は、希土類金属の
磁化と遷移金属の磁化の差に相当する。また、一般に、
磁性材料の磁化は温度の上昇に従って低下するが、希土
類金属と遷移金属の合金は、特定の温度で各々の磁化の
大きさが等しくなる。その温度は補償温度と呼ばれ、補
償温度では磁化が零となり、保磁力はきわめて大きい値
を示す。本発明は、この補償温度を最適値にすることに
よって、希土類金属と遷移金属の合金を記録磁性層とす
るディスク媒体の性能向上を図る。
In an alloy of a rare earth metal and a transition metal, the magnetization of the rare earth metal and the magnetization of the transition metal are in opposite directions, and the magnetization of the medium as a whole is the magnetization of the rare earth metal and the magnetization of the transition metal. Is equivalent to the difference Also, in general,
Although the magnetization of a magnetic material decreases with an increase in temperature, an alloy of a rare earth metal and a transition metal has the same magnitude of magnetization at a specific temperature. The temperature is called a compensation temperature. At the compensation temperature, the magnetization becomes zero and the coercive force shows a very large value. The present invention aims to improve the performance of a disk medium having an alloy of a rare earth metal and a transition metal as a recording magnetic layer by setting the compensation temperature to an optimum value.

【0015】本発明のディスク媒体は、磁性記録層とし
て希土類金属と遷移金属の合金が用いられ、更に、80
°C≦補償温度≦キュリー温度の関係を満たすことを特
徴とする。
In the disk medium of the present invention, an alloy of a rare earth metal and a transition metal is used as the magnetic recording layer.
It satisfies the relationship of ° C ≦ compensation temperature ≦ Curie temperature.

【0016】上記ディスク媒体は、磁性記録層はアモル
ファスであるため、結晶粒によるノイズは生じない。ま
た、補償温度が磁気ディスク装置がおかれる通常の温度
範囲から外れ、室温(25°C)〜80°Cの範囲にお
いて、保磁力は1kOe〜10kOeを示し、極端に大
きくなることも、小さくなることもない。従って、磁気
ヘッドは熱アシスト無しでディスク媒体にデータを記録
することができるとともに、磁気ビットが熱的に安定に
存在するだけの保磁力が確保される。更に、温度変化に
対する保磁力の変動幅が小さく、記録に必要な磁気ヘッ
ドの磁場の制御が容易となる。
In the above disk medium, since the magnetic recording layer is amorphous, no noise is caused by crystal grains. In addition, the coercive force is 1 kOe to 10 kOe in the range of room temperature (25 ° C.) to 80 ° C. when the compensation temperature is outside the normal temperature range where the magnetic disk device is placed, and the extremely large coercive force is reduced. Not even. Therefore, the magnetic head can record data on the disk medium without thermal assist, and secures a coercive force enough for the magnetic bits to be thermally stable. Further, the fluctuation width of the coercive force with respect to the temperature change is small, and the control of the magnetic field of the magnetic head required for recording becomes easy.

【0017】以上述べた特徴により、高密度記録が可能
になるとともに、磁気ディスクドライブとの組み合わせ
においても良好な記録および再生が行える。
With the above-described features, high-density recording can be performed, and good recording and reproduction can be performed in combination with a magnetic disk drive.

【0018】前記磁性記録層は、例えば、材料をDyx
(Fe1-y Coy 1-x とし、その組成を、0.26≦
x≦0.30、0.25≦y<1.0とすることにより
実現できる。更に、Dyは酸化しにくい材料であるた
め、磁性記録層の上に形成される保護層の厚さを薄くし
ても差し支えない。その結果、磁気ヘッドと磁性記録層
との距離を近づけることができ、高密度記録が可能とな
る。
The magnetic recording layer is made of, for example, Dy x
(Fe 1-y Co y ) 1-x and the composition is 0.26 ≦
It can be realized by satisfying x ≦ 0.30 and 0.25 ≦ y <1.0. Further, since Dy is a material that is hardly oxidized, the thickness of the protective layer formed on the magnetic recording layer may be reduced. As a result, the distance between the magnetic head and the magnetic recording layer can be reduced, and high-density recording can be performed.

【0019】特に、Dyは酸化に強く、磁性記録膜の上
に形成される保護膜の厚は10nmあれば足りる。保護
層が薄いことにより、磁気ヘッドと磁性記録層との距離
が近くなる。従って、希土類金属としてDyを用いるこ
とは、高密度記録化に有効である。
In particular, Dy is resistant to oxidation, and it is sufficient that the protective film formed on the magnetic recording film has a thickness of 10 nm. Since the protective layer is thin, the distance between the magnetic head and the magnetic recording layer becomes short. Therefore, the use of Dy as a rare earth metal is effective for high density recording.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】図1に本発明のディスク媒体の断
面を示す。即ち、基板1上に、磁性記録層3、保護層4
が順に積層されている。以下に、ディスク媒体を構成す
る各層について説明する。
FIG. 1 shows a cross section of a disk medium according to the present invention. That is, the magnetic recording layer 3 and the protective layer 4
Are sequentially stacked. Hereinafter, each layer of the disk medium will be described.

【0021】基板1は非磁性体からなり、円盤状の形状
を有する。基板2を構成する材料としては、アルミニウ
ム(アルミニウム合金を含む)基板、ガラス(強化ガラ
スも含む)基板、表面酸化膜を有するシリコン基板、S
iC基板、カーボン基板、プラスチック基板、セラミッ
ク基板等を包含する。
The substrate 1 is made of a non-magnetic material and has a disk shape. Examples of the material forming the substrate 2 include an aluminum (including aluminum alloy) substrate, a glass (including tempered glass) substrate, a silicon substrate having a surface oxide film,
It includes an iC substrate, a carbon substrate, a plastic substrate, a ceramic substrate, and the like.

【0022】なお、一般的には、基板1の上には、Si
N層やNiP層2が成膜される。ここで、基板1がガラ
ス製であれば、SiN層は、Si単結晶をターゲットと
し、ArとN2 の混合ガスの導入による反応性DCマグ
ネトロンスパッタにより成膜される。NiP層は、Ni
Pをターゲットとし、Arガスの導入によるDCマグネ
トロンスパッタにより成膜される。また、基板がアルミ
製やプラスチック製であれば、NiP層はメッキによっ
て成膜されるのがよい。
In general, the substrate 1 is covered with Si
An N layer or a NiP layer 2 is formed. Here, if the substrate 1 is made of glass, the SiN layer is formed by reactive DC magnetron sputtering using a single crystal of Si as a target and introducing a mixed gas of Ar and N 2 . The NiP layer is made of Ni
The film is formed by DC magnetron sputtering using P as a target and introducing Ar gas. If the substrate is made of aluminum or plastic, the NiP layer is preferably formed by plating.

【0023】ここで、プラスチック基板は、アルミ基板
やガラス基板よりも安価であるという利点があるが、耐
熱性が低く、その上に配置される磁性記録層を室温(2
5°C)で成膜する必要がある。しかし、CoCr系合
金を磁性記録層として使用するディスク媒体において、
磁性記録層を室温で成膜すると、十分な磁気特性は得ら
れない。一方、希土類金属と遷移金属の合金からなる本
発明の磁性記録層は、室温で成膜されても十分な磁気特
性が得られ、安価なプラスチック基板の使用による低コ
スト化が可能となる。
Here, the plastic substrate has the advantage that it is less expensive than the aluminum substrate or the glass substrate, but has low heat resistance, and the magnetic recording layer disposed thereon has a room temperature (2 ° C.).
5 ° C.). However, in a disk medium using a CoCr alloy as a magnetic recording layer,
If the magnetic recording layer is formed at room temperature, sufficient magnetic properties cannot be obtained. On the other hand, the magnetic recording layer of the present invention comprising an alloy of a rare earth metal and a transition metal can obtain sufficient magnetic properties even when formed at room temperature, and can reduce the cost by using an inexpensive plastic substrate.

【0024】基板1のサイズは、所望とする媒体の種類
や適用先のディスク装置等に応じて決められ、一般的に
は、直径は1インチ〜3.5インチ、厚さは0.5mm
〜1.0mmである。
The size of the substrate 1 is determined according to the type of a desired medium and the disk device to which the substrate 1 is applied. Generally, the diameter is 1 inch to 3.5 inches, and the thickness is 0.5 mm.
1.01.0 mm.

【0025】なお、磁性記録層としてCoCr系合金が
用いられたディスク媒体においては、基板表面に円周方
向に沿ったテクスチャ加工を施すことが有用であった。
テクスチャ加工によって磁性記録層の磁化容易方向が更
に円周方向に向き、高いS/N比が得られる。しかし、
本発明のように、希土類金属と遷移金属の合金からなる
磁性記録層は垂直磁化膜なので、面内周方向への異方性
を付与するテクスチャ加工は必要なく、むしろノイズを
引き起こす。
In the case of a disk medium using a CoCr-based alloy as the magnetic recording layer, it was useful to subject the substrate surface to texture processing along the circumferential direction.
By the texture processing, the direction of easy magnetization of the magnetic recording layer is further oriented in the circumferential direction, and a high S / N ratio can be obtained. But,
As in the present invention, since the magnetic recording layer made of an alloy of a rare earth metal and a transition metal is a perpendicular magnetization film, texture processing for giving anisotropy in the in-plane circumferential direction is not required, but rather causes noise.

【0026】磁性記録層3は、希土類金属と遷移金属の
合金からなる。その磁気特性は、室温(25°C)で希
土類金属の副格子磁化優勢(希土類金属の磁化が遷移金
属の磁化よりも大きい)である。これにより、温度の上
昇に従って、媒体全体の保磁力が大きくなる。更に、キ
ュリー温度Tc と保証温度Tcompとの間には、80°C
≦Tcomp≦Tc の関係が成り立つ。具体的な材料として
は、Dyx (Fe1-yCoy 1-x が挙げられ、組成
は、0.26≦x≦0.30、0.25≦y<1.0で
あることが望ましい。
The magnetic recording layer 3 is made of an alloy of a rare earth metal and a transition metal. At room temperature (25 ° C.), the magnetic characteristics are such that the sub-lattice magnetization of the rare earth metal is dominant (the magnetization of the rare earth metal is larger than the magnetization of the transition metal). Thus, the coercive force of the entire medium increases as the temperature increases. Further, between the Curie temperature Tc and the guaranteed temperature Tcomp , 80 ° C
The relationship of ≦ T comp ≦ T c holds. Specific materials include Dy x (Fe 1-y Co y ) 1-x , and the composition may satisfy 0.26 ≦ x ≦ 0.30 and 0.25 ≦ y <1.0. desirable.

【0027】磁性記録層3は、一般的には、マグネトロ
ンスパッタ法等のスパッタ法により成膜される。成膜状
件として、室温状態で、10mTorrのArガス圧力
中で成膜されるのが好ましい。DyFeCoの成膜にあ
たっては、CoCr系合金の成膜と異なり、室温であっ
ても十分な磁気特性が得られる。また、バイアスも必要
ない。スパッタ法に代わる他の成膜法としては、例え
ば、蒸着法、イオンビームスパッタ法等が挙げられる。
磁性記録層3の厚さは、30nm〜150nmであるこ
とが好ましい。磁性記録層3の膜厚が30nm以下であ
ると、ディスク媒体からの漏れ磁束が小さくなり、再生
信号の強度が低下する。一方、磁性記録層3の膜厚が1
50nm以上であると、反磁界の影響を受けやすくな
り、記録が不安定になる。なお、DyFeCoの耐食性
を向上させるために、必要に応じてCr等が添加されて
もよい。また、保磁力の調整のために、GdまたはTb
をDyに添加することも可能である。ここで、Gdを添
加することにより保磁力は小さくなり、Tbを添加する
ことにより保磁力は大きくなる。
The magnetic recording layer 3 is generally formed by a sputtering method such as a magnetron sputtering method. As a film forming condition, it is preferable to form a film at room temperature under an Ar gas pressure of 10 mTorr. In forming a film of DyFeCo, sufficient magnetic properties can be obtained even at room temperature, unlike the film formation of a CoCr-based alloy. Also, no bias is required. As other film forming methods instead of the sputtering method, for example, a vapor deposition method, an ion beam sputtering method and the like can be mentioned.
The thickness of the magnetic recording layer 3 is preferably 30 nm to 150 nm. When the thickness of the magnetic recording layer 3 is 30 nm or less, the magnetic flux leaking from the disk medium becomes small, and the intensity of the reproduced signal decreases. On the other hand, when the thickness of the magnetic recording layer 3 is 1
If it is 50 nm or more, the recording medium becomes susceptible to a demagnetizing field, and the recording becomes unstable. In order to improve the corrosion resistance of DyFeCo, Cr or the like may be added as needed. Gd or Tb is used to adjust the coercive force.
Can be added to Dy. Here, the coercive force decreases by adding Gd, and increases by adding Tb.

【0028】保護層4は、カーボン単体、またはカーボ
ンを含む化合物からなり、例えば、WC、SiC、B4
C、水素含有カーボンや、高い硬度を有する点で注目さ
れているダイヤモンドライクカーボン(DLC)が挙げ
られる。保護層4は、マグネトロンスパッタ法等のスパ
ッタ法により成膜されるのが好ましく、適当な成膜の条
件としては、例えば、室温〜100°Cの成膜温度、1
〜10mTorrのArガス圧力が挙げられる。また、
スパッタ法に代えて他の成膜法、例えば、蒸着法、イオ
ンビームスパッタ法等を使用してもよい。保護層6の膜
厚については、薄過ぎると磁性記録層3が酸化しやすく
なる。例えば、磁性記録層3の希土類金属としてTbを
用いると、酸化防止のために保護層4の膜厚は15nm
以上必要であるが、Dyを用いると、10nmあれば足
りる。保護層4が厚過ぎると、ヘッドと磁性記録層3と
の間隔が広くなり、高密度記録が困難になる。そのた
め、必要な保護層4の厚さが比較的薄くて済むDyを磁
性記録層3の希土類金属として用いることは、高密度記
録の観点から理想的である。
The protective layer 4 is made of carbon alone or a compound containing carbon, for example, WC, SiC, B 4
C, hydrogen-containing carbon, and diamond-like carbon (DLC), which has attracted attention because of its high hardness. The protective layer 4 is preferably formed by a sputtering method such as a magnetron sputtering method. Suitable film forming conditions include, for example, a film forming temperature of room temperature to 100 ° C.
Ar gas pressure of 10 to 10 mTorr. Also,
Instead of the sputtering method, another film forming method, for example, an evaporation method, an ion beam sputtering method, or the like may be used. If the thickness of the protective layer 6 is too small, the magnetic recording layer 3 is easily oxidized. For example, when Tb is used as the rare earth metal of the magnetic recording layer 3, the protective layer 4 has a thickness of 15 nm to prevent oxidation.
Although it is necessary as described above, when Dy is used, 10 nm is sufficient. If the protective layer 4 is too thick, the distance between the head and the magnetic recording layer 3 increases, making high-density recording difficult. Therefore, it is ideal from the viewpoint of high-density recording to use Dy, which requires a relatively thin protective layer 4 as the rare earth metal of the magnetic recording layer 3.

【0029】なお、保護層4の上には、ディスク媒体の
表面を平滑化するために潤滑膜が形成されてもよい。潤
滑膜はフロロカーボン樹脂系の材料からなり、膜厚0.
5nm〜2nmを有する。潤滑膜は、上記材料を含有す
る溶液中にディスク媒体を浸すことにより、記媒体に潤
滑剤の膜が形成される。膜厚は、溶液中の材料の濃度や
媒体を溶液から引き上げる速さに依存する。
Incidentally, a lubricating film may be formed on the protective layer 4 in order to smooth the surface of the disk medium. The lubricating film is made of a fluorocarbon resin-based material and has a film thickness of 0.
5 nm to 2 nm. The lubricating film forms a lubricant film on the recording medium by immersing the disk medium in a solution containing the above materials. The film thickness depends on the concentration of the material in the solution and the speed at which the medium is pulled out of the solution.

【0030】さらに、本発明は、上記ディスク媒体を搭
載するディスク装置にある。本発明のディスク装置にお
いては、その構造は特に限定されないというものの、基
本的には、ディスク媒体に対して情報の記録を行うため
の記録ヘッド部及び情報の再生を行う再生ヘッド部を備
える磁気ヘッドを包含する。特に、再生ヘッド部は、磁
界の強さに応じて電気抵抗が変化する磁気抵抗素子を使
用した磁気抵抗効果型ヘッド、すなわち、MRヘッドを
備えていることが好ましい。
Further, the present invention resides in a disk device on which the above-mentioned disk medium is mounted. In the disk device of the present invention, the structure is not particularly limited, but basically, a magnetic head including a recording head unit for recording information on a disk medium and a reproducing head unit for reproducing information. Is included. In particular, it is preferable that the reproducing head includes a magnetoresistive head using a magnetoresistive element whose electric resistance changes according to the strength of a magnetic field, that is, an MR head.

【0031】本発明のディスク装置における磁気ヘッド
は、その記録ヘッド部及び再生ヘッド部を図2及び図3
に示すような積層構造とすることができる。図2は、磁
気ヘッドの側断面図であり、図3は、図2の線分B−B
にそった断面図である。なお、図2および図3に示され
る磁気ヘッドは、主に面内記録に用いられるが、垂直方
向の磁場も発生させるため、垂直磁気記録媒体に対して
も記録可能である。
In the magnetic head in the disk drive of the present invention, the recording head and the reproducing head are shown in FIGS.
A laminated structure as shown in FIG. FIG. 2 is a side sectional view of the magnetic head, and FIG. 3 is a line segment BB of FIG.
FIG. The magnetic head shown in FIGS. 2 and 3 is mainly used for in-plane recording, but also generates a magnetic field in the vertical direction, so that it can also be recorded on a perpendicular magnetic recording medium.

【0032】図2および図3に示されるように、磁気ヘ
ッドは、情報の記録を行う誘導型の記録ヘッド部11、
情報の読み出しを行う磁気抵抗効果型の再生ヘッド部1
1を持つ。記録ヘッド部11は、NiFe等からなる下
部磁極(上部シールド層)13と、一定間隔をもって下
部磁極13と対向したNiFe等からなる上部磁極14
と、これらの磁極13及び14を励磁し、記録ギャップ
部分にて、磁気記録媒体に情報の記録を行わせるコイル
15等から構成される。
As shown in FIGS. 2 and 3, the magnetic head comprises an inductive recording head section 11 for recording information,
Magnetoresistive read head 1 for reading information
Have one. The recording head unit 11 includes a lower magnetic pole (upper shield layer) 13 made of NiFe or the like, and an upper magnetic pole 14 made of NiFe or the like opposed to the lower magnetic pole 13 at a fixed interval.
And a coil 15 that excites the magnetic poles 13 and 14 and causes the magnetic recording medium to record information at the recording gap.

【0033】再生ヘッド部12は、好ましくはAMRヘ
ッドやGMRヘッド等でもって構成されるものである。
再生ヘッド部12の磁気抵抗効果素子部12A上には、
磁気抵抗効果素子部12Aにセンス電流を供給するため
の一対の導体層16が記録トラック幅に相応する間隔を
もって設けられている。ここで、導体層16の膜厚は、
磁気抵抗効果素子部12Aの近傍部分16Aが薄く形成
され、他の部分16Bは厚く形成されている。
The reproducing head section 12 is preferably constituted by an AMR head, a GMR head or the like.
On the magnetoresistive element section 12A of the reproducing head section 12,
A pair of conductor layers 16 for supplying a sense current to the magnetoresistive element section 12A are provided at intervals corresponding to the recording track width. Here, the thickness of the conductor layer 16 is
The portion 16A near the magnetoresistive element portion 12A is formed thin, and the other portion 16B is formed thick.

【0034】図3及び図3の構成では、導体層16の膜
厚が、磁気抵抗効果素子部12Aの近傍部分16Aで薄
くなっているため、下部磁極(上部シールド層)13等
の湾曲が小さくなっている。このため、磁気記録媒体に
対向する記録ギャップの形状もあまり湾曲せず、情報の
記録時における磁気ヘッドのトラック上の位置と読み出
し時における磁気ヘッドのトラック上の位置に多少ずれ
があっても、磁気ディスク装置は正確に情報を読み出す
ことができる。そのため、許容されるオフトラック量が
小さいにもかかわらず読み出しの誤差が生じるという事
態を避けることができる。
In the structure shown in FIGS. 3 and 3, since the thickness of the conductor layer 16 is small in the portion 16A near the magnetoresistive element portion 12A, the curvature of the lower magnetic pole (upper shield layer) 13 and the like is small. Has become. Therefore, the shape of the recording gap facing the magnetic recording medium is not so curved, and even if the position on the track of the magnetic head during recording of information and the position on the track of the magnetic head during reading are slightly shifted, The magnetic disk device can read information accurately. Therefore, it is possible to avoid a situation in which a read error occurs even though the allowable off-track amount is small.

【0035】一方、導体層16の膜厚が、磁気抵抗効果
素子部12Aの近傍以外の部分16Bでは厚く形成され
ているため、導体層16の抵抗を全体として小さくする
こともでき、その結果、磁気抵抗素子部12Aの抵抗変
化を高感度で検出することが可能になり、S/N比が向
上し、また、導体層16での発熱も避けることができ、
発熱に起因したノイズの発生も防げる。
On the other hand, since the thickness of the conductor layer 16 is formed thicker in the portion 16B other than the vicinity of the magnetoresistive element portion 12A, the resistance of the conductor layer 16 can be reduced as a whole. A change in resistance of the magnetoresistive element portion 12A can be detected with high sensitivity, the S / N ratio is improved, and heat generation in the conductor layer 16 can be avoided.
The generation of noise due to heat generation can also be prevented.

【0036】上記したような磁気抵抗効果型の磁気ヘッ
ドは、その多数個を薄膜技術を用いてセラミック製ヘッ
ド基板上に形成した後、ヘッド基板をヘッド毎に切り出
し、所定の形状に加工することによって製造することが
できる。
In the above-described magnetoresistive effect type magnetic head, after forming a large number of them on a ceramic head substrate by using a thin film technique, the head substrate is cut out for each head and processed into a predetermined shape. Can be manufactured by

【0037】さらに、本発明のディスク装置は、図4及
び図5に示される通りである。なお、図4はディスク装
置の平面図(カバーを除いた状態)、図5は図4の線分
A−Aにそった断面図である。
Further, the disk device of the present invention is as shown in FIGS. 4 is a plan view of the disk device (with the cover removed), and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.

【0038】磁気ディスク50は、ベースプレート51
上に設けられたスピンドルモータ52によって駆動され
る。本実施形態においては、ディスク媒体は3枚備えら
れている。
The magnetic disk 50 includes a base plate 51
It is driven by a spindle motor 52 provided above. In the present embodiment, three disk media are provided.

【0039】ヘッドスライダを支持する駆動するアクチ
ュエータ53は、ベースプレート51の上に回転可能に
支持される。アクチュエータ53の一端には、ディスク
50の記録面と平行な方向に延びる複数のヘッドアーム
54が形成されている。ヘッドアーム54の一端には、
サスペンション55が取り付けられる。サスペンション
55のフレクシャー部にヘッドスライダ1が図示されな
い絶縁膜を介して取り付けられている。アクチュエータ
53の他端には、コイル57が取り付けられている。
The driving actuator 53 for supporting the head slider is rotatably supported on the base plate 51. At one end of the actuator 53, a plurality of head arms 54 extending in a direction parallel to the recording surface of the disk 50 are formed. At one end of the head arm 54,
The suspension 55 is attached. The head slider 1 is attached to a flexure portion of the suspension 55 via an insulating film (not shown). A coil 57 is attached to the other end of the actuator 53.

【0040】ベースプレート51上には、マグネット及
びヨークで構成された磁気回路58が設けられ、この磁
気回路58の磁気ギャップ内に、上記コイル57が配置
されている。そして、磁気回路58とコイル57とでム
ービングコイル型のリニアモータ(VCM:ボイスコイ
ルモータ)が構成されている。そして、これらベースプ
レート51の上部はカバー59で覆われている。
A magnetic circuit 58 comprising a magnet and a yoke is provided on the base plate 51, and the coil 57 is disposed in a magnetic gap of the magnetic circuit 58. The magnetic circuit 58 and the coil 57 constitute a moving coil type linear motor (VCM: voice coil motor). The upper portions of the base plates 51 are covered with a cover 59.

【0041】次に、上記構成のディスク装置の作動を説
明する。ディスク50が停止している時には、スライダ
40はディスク50の退避ゾーンに接触し停止してい
る。
Next, the operation of the disk device having the above configuration will be described. When the disk 50 is stopped, the slider 40 contacts the retraction zone of the disk 50 and stops.

【0042】次に、磁気ディスク50がスピンドルモー
タ52によって、高速で回転駆動されると、この磁気デ
ィスク50の回転による発生する空気流によって、スラ
イダ40は微小間隔をもってディスク面から浮上する。
この状態でコイル57に電流を流すと、コイル57には
推力が発生し、アクチュエータ53が回転する。これに
より、ヘッド(スライダ40)を磁気ディスク50の所
望のトラック上に移動させ、データのリード/ライトを
行なうことができる。
Next, when the magnetic disk 50 is driven to rotate at a high speed by the spindle motor 52, the slider 40 flies from the disk surface at a minute interval due to the air flow generated by the rotation of the magnetic disk 50.
When a current is applied to the coil 57 in this state, a thrust is generated in the coil 57, and the actuator 53 rotates. As a result, the head (slider 40) can be moved to a desired track on the magnetic disk 50 to read / write data.

【0043】この磁気ディスク装置では、磁気ヘッドの
導体層として、磁気抵抗効果素子部の近傍部分を薄く形
成し他の部分を厚く形成したものを用いているため、記
録ヘッド部の磁極の湾曲を小さくすると共に導体層の抵
抗を下げ、オフトラックが小さい範囲であれば正確にか
つ高感度に情報を読み出すことができる。
In this magnetic disk drive, since the conductor layer of the magnetic head is formed thinner in the vicinity of the magnetoresistive element and thicker in the other part, the curvature of the magnetic pole of the recording head is reduced. As the resistance is reduced, the resistance of the conductor layer is reduced, and information can be read accurately and with high sensitivity if the off-track is in a small range.

【0044】[0044]

【実施例】本実施例では、断面が図1に示されるディス
ク媒体を以下に説明する条件に基づいて作製した。本実
施例では、NiP層2、磁性記録層3および保護層4の
形成のために、図6に示されるようなDCマグネトロン
スパッタ装置10が使用された。スパッタ装置20は、
図示されるように、ガスをスパッタ室に導入するガス供
給口21、排気口22、基板を支持するサセプタ23、
ターゲット24、そしてマグネット25を装備してい
る。 1.ディスク媒体の作製 化学強化され、かつよく洗浄された表面を有するディス
ク状のガラス基板1の上に、DCマグネトロンスパッタ
装置により、以下に説明する工程を経て、NiP層、D
x (Fe65Co351-x 、保護層が順次成膜された。
EXAMPLE In this example, a disk medium having a cross section shown in FIG. 1 was manufactured under the following conditions. In this embodiment, a DC magnetron sputtering apparatus 10 as shown in FIG. 6 was used for forming the NiP layer 2, the magnetic recording layer 3, and the protective layer 4. The sputtering device 20
As shown, a gas supply port 21 for introducing a gas into the sputtering chamber, an exhaust port 22, a susceptor 23 for supporting a substrate,
A target 24 and a magnet 25 are provided. 1. Preparation of Disk Medium On a disk-shaped glass substrate 1 having a chemically strengthened and well-cleaned surface, the NiP layer, D
y x (Fe 65 Co 35 ) 1-x and a protective layer were sequentially formed.

【0045】まず、基板1は、NiPチャンバーへ入れ
られ、予めセットされたNiPターゲットを用いたDC
マグネトロンスパッタによりNiP層2が成膜された。
NiP層2の成膜の前に、チャンバー内は5.0×10
-7Torr以下に排気され、次いで、Arガスの導入に
より、5.0×10-3Torrに保持された。この状態
において、基板1上に厚さ90nmのNiP層2が成膜
された。NiP層2の膜厚は、NiPターゲットへの投
入電力を調整することにより制御される。
First, the substrate 1 is placed in a NiP chamber, and a DC using a preset NiP target is set.
The NiP layer 2 was formed by magnetron sputtering.
Before forming the NiP layer 2, the inside of the chamber was 5.0 × 10
The gas was evacuated to -7 Torr or less, and then kept at 5.0 × 10 -3 Torr by introducing Ar gas. In this state, a 90 nm-thick NiP layer 2 was formed on the substrate 1. The thickness of the NiP layer 2 is controlled by adjusting the power supplied to the NiP target.

【0046】NiP層2が成膜されたガラス基板1は、
DyFeCo成膜チャンバーへ移され、xおよびyのさ
まざまな組み合わせを有するDyx (Fe1-y Coy
1-xターゲットを用いてDCマグネトロンスパッタによ
って磁性記録層3が成膜された。磁性記録層3の成膜の
前に、チャンバー内は5.0×10-7Torr以下に排
気され、次いで、Arガスの導入により、5.0×10
-3Torrに保持された。この状態において、NiP層
2上に厚さ30nmの磁性記録層3が成膜された。磁性
記録層3の膜厚は、Dyx (Fe1-y Coy 1-x ター
ゲットへの投入電力を調整することにより制御される。
The glass substrate 1 on which the NiP layer 2 is formed,
Dy x (Fe 1-y Co y ) transferred to a DyFeCo deposition chamber and having various combinations of x and y
The magnetic recording layer 3 was formed by DC magnetron sputtering using a 1-x target. Before the formation of the magnetic recording layer 3, the inside of the chamber is evacuated to 5.0 × 10 −7 Torr or less, and then 5.0 × 10 −7 by introducing Ar gas.
-3 Torr. In this state, a magnetic recording layer 3 having a thickness of 30 nm was formed on the NiP layer 2. The thickness of the magnetic recording layer 3 is controlled by adjusting the power supplied to the Dy x (Fe 1-y Co y ) 1-x target.

【0047】磁性記録層3が形成されたガラス基板1
は、カーボン成膜チャンバーへ移され、カーボンターゲ
ットを用いたDCマグネトロンスパッタにより保護層4
が成膜された。保護層4の成膜の前に、チャンバー内
は、5.0×10-7Torr以下に排気され、次いで、
Ar、H2 およびN2 の混合ガスの導入により、5.0
×10-3Torrに保持された。なお、Ar、H2 およ
びN2 混合比は、80:17:3である。この状態にお
いて、磁性記録層3上に厚さ10nmのDLC層4(保
護層)が成膜された。保護層4の膜厚は、カーボンター
ゲットへの投入電力を調整することにより制御される。
Glass substrate 1 on which magnetic recording layer 3 is formed
Is transferred to a carbon film forming chamber, and the protective layer 4 is formed by DC magnetron sputtering using a carbon target.
Was formed. Before forming the protective layer 4, the inside of the chamber is evacuated to 5.0 × 10 −7 Torr or less.
By introducing a mixed gas of Ar, H 2 and N 2 , 5.0
× 10 −3 Torr. The mixing ratio of Ar, H 2 and N 2 is 80: 17: 3. In this state, a DLC layer 4 (protective layer) having a thickness of 10 nm was formed on the magnetic recording layer 3. The thickness of the protective layer 4 is controlled by adjusting the power supplied to the carbon target.

【0048】以上のような工程を経て、断面が図1に示
されるディスクが作製された。 2.ディスクの評価 図7は、Dy27(Fe65Co3573における、保磁力
(Hc)の温度依存性を示すグラフである。
Through the steps described above, a disk having a cross section shown in FIG. 1 was produced. 2. Evaluation of Disk FIG. 7 is a graph showing the temperature dependence of the coercive force (Hc) in Dy 27 (Fe 65 Co 35 ) 73 .

【0049】図7が示すように、室温におかれた状態で
は、Hcは約3kOeであり、80°Cまでの範囲にお
いては、温度の上昇に伴って緩やかに上昇するが、80
〜100°Cの範囲では、温度の上昇に伴って急上昇す
る。Hcの極大点である100〜120°Cが補償温度
compである。なお、補償温度のもとでは、保磁力は大
きくなり過ぎて、一般の磁気特性測定装置では測定でき
ない。そのため、特性線は補償温度の区間で途切れてい
る。後に示される図8および図11においても同様であ
る。Tcomp以上の範囲においては、温度の上昇に伴って
Hcは小さくなり、約220°Cにおいてキュリー温度
(Tc)となり、磁性が消滅する。
As shown in FIG. 7, at room temperature, Hc is about 3 kOe. In the range up to 80 ° C., Hc gradually increases with the rise of temperature.
In the range of 100100 ° C., the temperature rises sharply as the temperature rises. The maximum point of Hc, 100 to 120 ° C., is the compensation temperature T comp . Under the compensation temperature, the coercive force becomes too large and cannot be measured by a general magnetic property measuring device. Therefore, the characteristic line is interrupted in the section of the compensation temperature. The same applies to FIGS. 8 and 11 described later. In a range equal to or higher than T comp , Hc decreases as the temperature rises, reaches a Curie temperature (Tc) at about 220 ° C., and the magnetism disappears.

【0050】ところで、ディスクドライブ内の温度は6
0°C程度まで上昇する。磁性記録層としてCoCr系
合金が用いられるディスク媒体は、温度の上昇とともに
Hcが低下する性質を持つため、ディスクドライブ内の
温度の上昇により記録ビットが熱的に不安定になるとい
う問題がある。一方、図7に示されるように、Dy
27(Fe65Co3573からなる磁性記録層が用いられる
ディスク媒体においては、約60°Cまでの温度範囲で
は、Hcは小さ過ぎることもなく、大き過ぎることもな
い値を示す。従って、ディスクドライブ内の通常の温度
範囲において、磁気ビットを安定に保持できるととも
に、磁気ヘッドが発する磁場でも記録が可能である。ま
た、Hcの変化が緩やかであることにより、磁気ヘッド
の磁場の制御が容易である。更に、DyFeCoはアモ
ルファスなので、結晶粒によるノイズが発生せず、高品
質な再生信号が得られる。
The temperature inside the disk drive is 6
It rises to about 0 ° C. Since a disk medium using a CoCr-based alloy as the magnetic recording layer has a property that Hc decreases as the temperature increases, there is a problem that the recording bit becomes thermally unstable due to an increase in the temperature in the disk drive. On the other hand, as shown in FIG.
In a disk medium using a magnetic recording layer made of 27 (Fe 65 Co 35 ) 73 , Hc shows a value that is neither too small nor too large in a temperature range up to about 60 ° C. Therefore, the magnetic bit can be stably held in a normal temperature range in the disk drive, and recording can be performed with a magnetic field generated by the magnetic head. Further, since the change of Hc is gradual, it is easy to control the magnetic field of the magnetic head. Furthermore, since DyFeCo is amorphous, noise due to crystal grains does not occur, and a high-quality reproduced signal can be obtained.

【0051】図8は、Dy25(Fe65Co3575におけ
る、保磁力(Hc)の温度依存性を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing the temperature dependence of the coercive force (Hc) in Dy 25 (Fe 65 Co 35 ) 75 .

【0052】図8が示すように、このディスク媒体のT
compは約60°Cである。そして、室温(25°C)か
らドライブ内の最高温度である60°Cまでの範囲にお
いて、Hcが温度上昇に伴って急上昇する。Hcが大き
ければ、磁気ビットは熱的に安定するが、記録のために
強力な磁場を発生する磁気ヘッドが要求される。現状に
おいては、10kOe以上の磁場を発生する磁気ヘッド
の実現は困難である。また、温度変化に伴うHcの急激
な変化に応じて磁気ヘッドの記録磁界の強さを適正値に
制御することは困難である。
As shown in FIG. 8, the T
comp is about 60 ° C. Then, in a range from room temperature (25 ° C.) to 60 ° C. which is the maximum temperature in the drive, Hc rises sharply with the temperature rise. If Hc is large, the magnetic bit is thermally stable, but a magnetic head that generates a strong magnetic field for recording is required. At present, it is difficult to realize a magnetic head that generates a magnetic field of 10 kOe or more. Further, it is difficult to control the strength of the recording magnetic field of the magnetic head to an appropriate value in response to a rapid change in Hc due to a temperature change.

【0053】図7および図8に示される結果より、T
comp≧80°Cであることにより、磁気ディスクの実用
的な温度環境において、熱的に安定でかつ急激なHcの
変化がないディスク媒体得られる。
From the results shown in FIGS. 7 and 8, T
By satisfying comp ≧ 80 ° C., a disk medium which is thermally stable and has no rapid change in Hc in a practical temperature environment of the magnetic disk can be obtained.

【0054】図9は、Dyx (Fe65Co351-x にお
ける、TcompのDy添加濃度依存性(x依存性)を示す
グラフである。
FIG. 9 is a graph showing the dependence of T comp on the Dy addition concentration (x dependence) in Dy x (Fe 65 Co 35 ) 1 -x .

【0055】図9が示すように、Dyの添加濃度が24
at%のときに、Tcomp=室温(25°C)となる。ま
た、Dyの添加濃度が26at%のときに、Tcomp=8
0°Cとなる。従って、Tcomp≧80°Cを満たすに
は、x≧補償組成+0.2を満たせばよいことが分か
る。補償組成は、室温が補償温度であるための組成であ
り、ここでは、0.24である。この関係は、Cr等の
非磁性材料や希土類金属として更にTbやGdを添加し
た場合にも成り立つ。
As shown in FIG. 9, the Dy addition concentration was 24
At at%, T comp = room temperature (25 ° C.). When the concentration of Dy added is 26 at%, T comp = 8
0 ° C. Therefore, it can be seen that in order to satisfy T comp ≧ 80 ° C., it is sufficient to satisfy x ≧ compensation composition + 0.2. The compensation composition is a composition for which room temperature is a compensation temperature, and is 0.24 here. This relationship also holds when Tb or Gd is further added as a nonmagnetic material such as Cr or a rare earth metal.

【0056】図10は、Dy32(Fe65Co3568にお
ける、保磁力(Hc)の温度依存性を示すグラフであ
る。
FIG. 10 is a graph showing the temperature dependence of the coercive force (Hc) in Dy 32 (Fe 65 Co 35 ) 68 .

【0057】本媒体は、Tc<Tcompの性質を示す。室
温でのHcは1kOeと低く、温度の上昇に伴って単純
にHcが低下する。そのため、高温の環境において、磁
気ビットを熱的に安定に保持することが困難となる。従
って、Tc≧Tcompであることが望ましい。希土類金属
の濃度が30at%を超えると、Tc<Tcompとなり、
保磁力が極端に小さくなり、高密度記録にとって不利に
なるといえる。
This medium shows the property of Tc <T comp . Hc at room temperature is as low as 1 kOe, and Hc simply decreases as the temperature increases. Therefore, it is difficult to stably maintain the magnetic bit in a high-temperature environment. Therefore, it is desirable that Tc ≧ T comp . When the concentration of the rare earth metal exceeds 30 at%, Tc <T comp , and
It can be said that the coercive force becomes extremely small, which is disadvantageous for high density recording.

【0058】図11は、Dyx (Fe65Co351-x
おける、HcのDy添加濃度依存性(x依存性)を示す
グラフである。
FIG. 11 is a graph showing the dependence of Hc on the Dy addition concentration (x dependence) in Dy x (Fe 65 Co 35 ) 1 -x .

【0059】図11が示すように、Dyの添加濃度が約
24at%のときに、Hcはピークを持ち、それ以上の
領域においては、濃度の上昇に伴ってHcが低下する。
磁気データを熱的に安定に保持するのに必要とされる1
kOe以上のHcを確保するには、図11より、Dyの
濃度は30at%以下、つまり、x≦0.30であるこ
とが望ましい。
As shown in FIG. 11, when the additive concentration of Dy is about 24 at%, Hc has a peak, and in a region higher than that, Hc decreases as the concentration increases.
1 required to keep magnetic data thermally stable
In order to secure Hc of kOe or more, it is desirable from FIG. 11 that the concentration of Dy is 30 at% or less, that is, x ≦ 0.30.

【0060】図12は、Dy27(Fe1-y Coy 73
おける、キュリー温度TcのCo添加濃度依存性(y依
存性)を示すグラフである。
FIG. 12 is a graph showing the dependency of the Curie temperature Tc on the Co addition concentration (y dependency) in Dy 27 (Fe 1 -y Co y ) 73 .

【0061】図12が示すように、Co濃度が高くなる
につれてキュリー温度が上昇することが分かる。ところ
で、先の図7に示される特性のように、60°C以下の
領域で温度変化に対するHcの変動を小さくするには、
comp≦Tcを満たす必要がある。Tc<Tcompの関係
があると、Tcomp以下の領域で磁性が消滅してしまい、
図10に示されるように、室温から温度が上昇するに伴
いHcが低下する。T compは主に希土類金属の濃度に依
存し、図9に示されるように、Dy濃度の増加に伴い上
昇する。また、前述のように、1kOeの保磁力の確保
のためには、Dy濃度は30at%以下であることが必
要であり、Dy濃度がこの範囲にあるときのTcompの最
大値は、図9より、約150°Cである。つまり、T
comp≦Tcを満たすには、Tc≧150°Cであること
が要求される。図12より、遷移金属中におけるCo濃
度が25at%以上、つまり、y≧0.25であれば、
Tc≧150を満足する。
As shown in FIG. 12, the Co concentration increases.
It can be seen that the Curie temperature increases as the temperature increases. Place
Therefore, as shown in the characteristics shown in FIG.
To reduce the variation of Hc with respect to temperature change in the region,
Tcomp≤ Tc. Tc <Tcompconnection of
If there is, TcompThe magnetism disappears in the following areas,
As shown in FIG. 10, as the temperature increases from room temperature,
Hc decreases. T compDepends mainly on the rare earth metal concentration.
Therefore, as shown in FIG.
Ascend. Also, as described above, securing a coercive force of 1 kOe.
For this purpose, the Dy concentration must be 30 at% or less.
It is important that the Ty when the Dy concentration is in this range iscompMost
The maximum value is about 150 ° C. from FIG. That is, T
compTo satisfy ≦ Tc, Tc ≧ 150 ° C.
Is required. FIG. 12 shows that the Co concentration in the transition metal
If the degree is 25 at% or more, that is, y ≧ 0.25,
It satisfies Tc ≧ 150.

【0062】[0062]

【発明の効果】以上述べたように、本発明のディスク媒
体は、磁性記録層として希土類金属と遷移金属の合金が
用いられ、80°C≦Tcomp≦Tcを満たしており、磁
気ビットの熱的安定性と、磁気ヘッドによる記録容易性
を両立することが出きる。また、アモルファスのため結
晶粒によるノイズが発生しない。よって、ディスク媒体
の高記録密度化が達成されるともに、光磁気ディスク装
置だけでなく磁気ディスク装置にも応用可能な汎用性の
高いディスク媒体が実現できる。
As described above, the disk medium of the present invention uses an alloy of a rare earth metal and a transition metal as the magnetic recording layer, and satisfies 80 ° C. ≦ T comp ≦ Tc. It is possible to achieve both good stability and easy recording by the magnetic head. In addition, noise due to crystal grains does not occur due to being amorphous. Therefore, a high recording density of the disk medium can be achieved, and a highly versatile disk medium applicable not only to the magneto-optical disk device but also to the magnetic disk device can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のディスク媒体の断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a disk medium of the present invention.

【図2】本発明のディスク装置に使われる磁気ヘッドの
側断面図である。
FIG. 2 is a side sectional view of a magnetic head used in the disk drive of the present invention.

【図3】図2に示される磁気ヘッドの線分B−Bに沿う
断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of the magnetic head shown in FIG. 2, taken along line BB.

【図4】本発明のディスク装置の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the disk device of the present invention.

【図5】本発明のディスク装置の断面図である。FIG. 5 is a sectional view of the disk device of the present invention.

【図6】スパッタリング装置を示す図である。FIG. 6 is a view showing a sputtering apparatus.

【図7】Dy27(Fe65Co3573における、保磁力
(Hc)の温度依存性を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing temperature dependency of coercive force (Hc) in Dy 27 (Fe 65 Co 35 ) 73 ;

【図8】Dy25(Fe65Co3575における、保磁力
(Hc)の温度依存性を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing temperature dependency of coercive force (Hc) in Dy 25 (Fe 65 Co 35 ) 75 .

【図9】Dyx (Fe65Co351-x における、Tcomp
のDy濃度依存性(x依存性)を示すグラフである。
FIG. 9 shows T comp in Dy x (Fe 65 Co 35 ) 1-x .
5 is a graph showing the Dy concentration dependency (x dependency) of Dy.

【図10】Dy27(Fe65Co3573における、保磁力
(Hc)の温度依存性を示すグラフである。
FIG. 10 is a graph showing temperature dependence of coercive force (Hc) in Dy 27 (Fe 65 Co 35 ) 73 ;

【図11】Dyx (Fe65Co351-x における、Hc
のDy濃度依存性(x依存性)を示すグラフである。
FIG. 11 shows Hc of Dy x (Fe 65 Co 35 ) 1-x
5 is a graph showing the Dy concentration dependency (x dependency) of Dy.

【図12】Dy27(Fe1-y Coy 73における、キュ
リー温度TcのCo濃度依存性(y依存性)を示すグラ
フである。
FIG. 12 is a graph showing Co concentration dependency (y dependency) of Curie temperature Tc in Dy 27 (Fe 1 -y Co y ) 73 .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・基板 2・・・NiP層 3・・・磁性記録層 4・・・保護層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... NiP layer 3 ... Magnetic recording layer 4 ... Protective layer

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】磁性記録層として希土類金属と遷移金属の
合金が用いられるディスク媒体において、 補償温度は80°C以上であり、且つキュリー温度以下
であることを特徴とするディスク媒体。
1. A disk medium in which an alloy of a rare earth metal and a transition metal is used as a magnetic recording layer, wherein a compensation temperature is 80 ° C. or higher and a Curie temperature or lower.
【請求項2】前記磁性記録層は、Dyx (Fe1-y Co
y 1-x からなり、0.26≦x≦0.30、0.25
≦y<1.0であることを特徴とする請求項1に記載の
ディスク媒体。
2. The magnetic recording layer according to claim 1, wherein said magnetic recording layer is Dy x (Fe 1-y Co
y ) 1-x , 0.26 ≦ x ≦ 0.30, 0.25
2. The disk medium according to claim 1, wherein ≤y <1.0.
【請求項3】前記磁性記録層の上に厚さ5〜10nmの
非磁性の保護層が形成されることを特徴とする請求項2
に記載のディスク媒体。
3. A non-magnetic protective layer having a thickness of 5 to 10 nm is formed on said magnetic recording layer.
A disk medium according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003036531A (en) * 2001-07-25 2003-02-07 Fuji Electric Co Ltd Method for manufacturing perpendicular magnetic recording medium

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