JP2001076661A - Charged particle beam equipment - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料ステージに取り付けられた試料ホルダの
図形を誤りなく表示させる荷電粒子線装置を提供するこ
と。
【解決手段】 試料ホルダには、そのホルダの種類を表
すホルダ端子が固定されている。試料ホルダが試料ホル
ダ取付台１１に取り付けられると、試料ホルダのホルダ
端子が電気接点コネクタ１２に接続される。ホルダ情報
処理手段１８のホルダ判定手段１９は、電気接点コネク
タ１２からの信号に基づき、試料ステージに取り付けら
れた試料ホルダの種類を判定する。試料ホルダの種類が
判定されると、ホルダ情報処理手段１８は、判定された
試料ホルダに対応するホルダ形状データをホルダ形状デ
ータ格納手段２０から読み出し、表示処理手段２４の画
面上にそのホルダの形状を表示させる。
(57) [Problem] To provide a charged particle beam apparatus for displaying a figure of a sample holder attached to a sample stage without error. SOLUTION: A holder for a sample holder is fixed to indicate a type of the holder. When the sample holder is mounted on the sample holder mount 11, the holder terminal of the sample holder is connected to the electrical contact connector 12. The holder determination unit 19 of the holder information processing unit 18 determines the type of the sample holder attached to the sample stage based on a signal from the electrical contact connector 12. When the type of the sample holder is determined, the holder information processing unit 18 reads the holder shape data corresponding to the determined sample holder from the holder shape data storage unit 20 and displays the shape of the holder on the screen of the display processing unit 24. Is displayed.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】 本発明は、電子プローブマ
イクロアナライザや走査型電子顕微鏡等の荷電粒子線装
置に関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a charged particle beam apparatus such as an electron probe microanalyzer and a scanning electron microscope.
【０００２】[0002]
【従来の技術】 電子プローブマイクロアナライザ（Ｅ
ＰＭＡ）は、試料に電子線を照射し、その照射によって
試料から発生した特性Ｘ線を検出し、検出した特性Ｘ線
に基づいて試料の定性および定量分析を行う装置であ
る。2. Description of the Related Art An electron probe microanalyzer (E)
PMA) is an apparatus that irradiates a sample with an electron beam, detects characteristic X-rays generated from the sample by the irradiation, and performs qualitative and quantitative analysis of the sample based on the detected characteristic X-rays.
【０００３】このような電子プローブマイクロアナライ
ザで使用される試料ホルダの種類は多く、試料ホルダの
形状は、試料がセットされる試料穴の数や試料ホルダの
大きさ等によってそれぞれ異なっている。There are many types of sample holders used in such an electron probe microanalyzer, and the shape of the sample holder differs depending on the number of sample holes in which a sample is set, the size of the sample holder, and the like.
【０００４】従来の電子プローブマイクロアナライザ
は、各試料ホルダの形状データを格納しており、オペレ
ータが、試料ステージに取り付けられる試料ホルダの種
類を装置に選択入力すると、表示装置の画面上に搭載試
料ホルダの概略図形が表示される。A conventional electronic probe microanalyzer stores shape data of each sample holder. When an operator selects and inputs a type of a sample holder to be mounted on a sample stage into a device, the mounted sample is displayed on a screen of a display device. The outline figure of the holder is displayed.
【０００５】そして、オペレータが前記表示装置の画面
上で、マウス等を用いて試料の観察位置を指定すると、
その指定した位置が電子線光軸上に来るように前記試料
ステージが移動し、その指定位置を中心とする領域の光
学像が表示装置の画面上に表示される。なお、この光学
像は、電子プローブマイクロアナライザに備えられたＣ
ＣＤカメラ付光学顕微鏡によって得られる。When the operator designates the observation position of the sample on the screen of the display device using a mouse or the like,
The sample stage moves so that the designated position is on the electron beam optical axis, and an optical image of a region centered on the designated position is displayed on the screen of the display device. Note that this optical image is obtained from the C probe provided in the electron probe microanalyzer.
Obtained by an optical microscope equipped with a CD camera.
【０００６】このようにして試料の光学像が表示装置の
画面上に表示されると、オペレータはその画面上で、マ
ウス等を用いて試料の分析位置を指定する。すると、そ
の分析位置が電子線光軸上に来るように前記試料ステー
ジが移動し、その分析位置に電子線が照射されて試料分
析が行われる。[0006] When the optical image of the sample is displayed on the screen of the display device in this manner, the operator specifies the analysis position of the sample on the screen using a mouse or the like. Then, the sample stage moves so that the analysis position is on the electron beam optical axis, and the analysis position is irradiated with an electron beam to perform sample analysis.
【０００７】また、従来の電子プローブマイクロアナラ
イザにおいては、各試料ホルダに衝突回避レバーが取り
付けられる一方、試料ステージ側に衝突回避スイッチが
取り付けられており、たとえば大形の試料ホルダが使用
されたときでも、試料ホルダが試料室の側壁に衝突する
前に前記レバーによって前記衝突回避スイッチがオンに
なって、試料ステージの移動が停止される。In the conventional electronic probe microanalyzer, a collision avoiding lever is attached to each sample holder, while a collision avoiding switch is attached to the sample stage side. For example, when a large sample holder is used. However, before the sample holder collides with the side wall of the sample chamber, the collision avoidance switch is turned on by the lever, and the movement of the sample stage is stopped.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、従来
の電子プローブマイクロアナライザにおいては、上述し
たように、オペレータがマニュアル操作によって試料ホ
ルダの種類を装置に選択入力するため、入力ミスがある
と、表示装置の画面上に実際とは異なった試料ホルダの
概略図形が表示されてしまう。そのため、その表示画面
上で観察位置を指定しても、試料部分のないホルダ部分
だけの光学像が表示されることもあり、試料分析をうま
く行えなくなる。However, in the conventional electronic probe microanalyzer, as described above, since the operator selects and inputs the type of the sample holder into the device by manual operation, if there is an input error, the display device is not displayed. A schematic figure of the sample holder different from the actual one is displayed on the screen. Therefore, even if the observation position is specified on the display screen, an optical image of only the holder portion without the sample portion may be displayed, and the sample analysis cannot be performed well.
【０００９】また、試料穴を多数備えた多試料ホルダが
使用されると、上述した試料観察位置の指定および分析
位置の指定にかなりの時間がかかる。When a multi-sample holder having a large number of sample holes is used, it takes a considerable time to specify the sample observation position and the analysis position.
【００１０】また、従来においては、各試料ホルダに衝
突回避レバーを取り付けると共に、試料ステージ側にも
衝突回避スイッチを取り付けなければならず、このよう
な取付は装置のコストアップにつながっていた。Conventionally, a collision avoidance lever must be attached to each sample holder, and a collision avoidance switch must also be attached to the sample stage. Such attachment has led to an increase in the cost of the apparatus.
【００１１】本発明はこのような問題を解決することを
目的とするものである。An object of the present invention is to solve such a problem.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】 そのために本発明の荷
電粒子線装置は、試料ステージに試料ホルダが取り付け
られ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照
射し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該
検出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うよ
うにした荷電粒子線装置において、前記試料ステージに
取り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定
手段と、各試料ホルダに対応させて、ホルダ形状データ
を格納するホルダ形状データ格納手段と、前記ホルダ判
定手段により判定された試料ホルダに対応するホルダ形
状データを、前記ホルダ形状データ格納手段から読み出
し、該読み出した形状データに基づいて表示手段にホル
ダ形状を表示させる手段を備えたことを特徴とする。To this end, a charged particle beam apparatus according to the present invention has a sample holder attached to a sample stage, irradiates the sample placed on the sample holder with a charged particle beam, and irradiates the sample with the irradiation. In a charged particle beam apparatus configured to detect a signal generated from the above, and perform sample analysis or sample image display based on the detected signal, a holder determination unit that determines a type of a sample holder attached to the sample stage, The holder shape data storage means for storing the holder shape data corresponding to the sample holder, and the holder shape data corresponding to the sample holder determined by the holder determination means are read out from the holder shape data storage means, and the readout is performed. A display device is provided with means for displaying the holder shape based on the shape data.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１４】図１は、本発明の荷電粒子線装置の一例と
して示した、電子プローブマイクロアナライザの概略図
である。FIG. 1 is a schematic view of an electron probe microanalyzer shown as an example of the charged particle beam apparatus of the present invention.
【００１５】図１の構成について説明すると、１は鏡筒
であり、鏡筒１の中には上から順に、電子銃２、集束レ
ンズ３、偏向器４、対物レンズ５の電子光学手段が配置
されている。また、対物レンズ５の近くであって電子線
光軸上には、ＣＣＤカメラ付光学顕微鏡６が配置されて
いる。Referring to the configuration of FIG. 1, reference numeral 1 denotes a lens barrel, and an electron gun 2, a focusing lens 3, a deflector 4, and an electron optical means such as an objective lens 5 are arranged in the lens barrel 1 in order from the top. Have been. An optical microscope 6 with a CCD camera is arranged near the objective lens 5 and on the electron beam optical axis.
【００１６】前記鏡筒１は試料室チャンバー７に取り付
けられており、試料室チャンバー７内、すなわち試料室
は図示しない排気装置により高真空に排気されている。The lens barrel 1 is attached to a sample chamber 7, and the inside of the sample chamber 7, that is, the sample chamber is evacuated to a high vacuum by an exhaust device (not shown).
【００１７】試料室のステージ台８上には、Ｙ軸方向に
移動可能なＹステージ９が配置されており、Ｙステージ
９の上には、Ｘ軸方向に移動可能なＸステージ１０が配
置されている。このＸステージ１０上には、試料ホルダ
取付台１１と電気接点コネクタ（接続端子）１２が固定
されており、電気接点コネクタ１２は、後で詳しく説明
する試料ホルダが取付台１１に取り付けられたときに、
試料ホルダに固定されたホルダ端子と接続するものであ
る。また、試料室内には、Ｘ線検出器１３と２次電子検
出器１４が配置されている。A Y stage 9 movable in the Y-axis direction is arranged on a stage 8 in the sample chamber, and an X stage 10 movable in the X-axis direction is arranged on the Y stage 9. ing. On the X stage 10, a sample holder mounting base 11 and an electrical contact connector (connection terminal) 12 are fixed, and the electrical contact connector 12 is mounted when the sample holder described later in detail is mounted on the mounting base 11. To
It is connected to a holder terminal fixed to the sample holder. An X-ray detector 13 and a secondary electron detector 14 are arranged in the sample chamber.
【００１８】１５は、前記試料室チャンバー７に取り付
けられた予備排気室チャンバーであり、予備排気室チャ
ンバー１５は、試料室チャンバー７の側面に設けられた
ホルダ通過用扉１６を覆うように試料室チャンバー７に
取り付けられている。１７は、予備排気室チャンバー１
５に取り付けられた試料搬送手段であり、また、予備排
気室チャンバー１５は図示しない排気装置に接続されて
いる。Reference numeral 15 denotes a preliminary exhaust chamber attached to the sample chamber 7. The preliminary exhaust chamber 15 covers a holder passage door 16 provided on the side of the sample chamber 7 so as to cover the sample chamber. It is attached to the chamber 7. 17 is a preliminary exhaust chamber 1
The pre-evacuation chamber 15 is connected to an exhaust device (not shown).
【００１９】前記電気接点コネクタ１２はホルダ情報処
理手段１８に接続されており、ホルダ情報処理手段１８
は、ホルダ判定手段１９、ホルダ形状データ格納手段２
０、分析位置データ格納手段２１、移動制限データ格納
手段２２および観察位置検出手段２３を備えている。ま
た、このホルダ情報処理手段１８は、表示処理手段２４
と、キーボードとマウスを備えた入力指示手段２５と、
分析処理手段２６に接続されている。The electrical contact connector 12 is connected to the holder information processing means 18.
Means holder determination means 19, holder shape data storage means 2
0, an analysis position data storage means 21, a movement restriction data storage means 22, and an observation position detection means 23. The holder information processing means 18 includes a display processing means 24.
Input input means 25 having a keyboard and a mouse;
It is connected to the analysis processing means 26.
【００２０】分析処理手段２６は、自動分析制御手段２
７、ステージ制御手段２８、光学顕微鏡制御手段２９、
分析制御手段３０およびマニュアル分析制御手段３１を
備えている。また、この分析処理手段２６は、表示処理
手段３２と、キーボードとマウスを備えた入力指示手段
３３と、前記Ｘステージ１０およびＹステージ９を移動
させるＸ−Ｙステージ駆動手段３４と、前記電子光学手
段と、前記検出器に接続されている。The analysis processing means 26 includes an automatic analysis control means 2
7, stage control means 28, optical microscope control means 29,
An analysis control unit 30 and a manual analysis control unit 31 are provided. The analysis processing means 26 includes a display processing means 32, an input instruction means 33 having a keyboard and a mouse, an XY stage driving means 34 for moving the X stage 10 and the Y stage 9, Means and the detector.
【００２１】次に、図１の装置で使用される試料ホルダ
について説明する。Next, the sample holder used in the apparatus shown in FIG. 1 will be described.
【００２２】図２は、図１の装置で使用される種類Ｂの
試料ホルダを示したものである。種類Ｂの試料ホルダ３
５には、５個の試料穴３６ａ〜３６ｅが設けられてい
る。これらの試料穴には、試料取付台３７を保持したア
ダプタ３８がそれぞれセットされており、試料３９ａ〜
３９ｅは試料取付台３７にセットされている。FIG. 2 shows a type B sample holder used in the apparatus of FIG. Type B sample holder 3
5 is provided with five sample holes 36a to 36e. An adapter 38 holding a sample mounting table 37 is set in each of the sample holes, and a sample 39a to 39a is provided.
39e is set on the sample mount 37.
【００２３】また、試料ホルダ３５の側面には、そのホ
ルダの種類の情報を有するホルダ端子４０が固定されて
いる。種類Ｂのホルダ端子４０においては、電気接点ピ
ン４１がピン固定部〜のとに固定されている。On the side surface of the sample holder 35, a holder terminal 40 having information on the type of the holder is fixed. In the type B holder terminal 40, the electric contact pins 41 are fixed to the pin fixing portions.
【００２４】一方、前記Ｘステージ１０に固定された電
気接点コネクタ１２には、図３に示すように、ホルダ端
子４０のピン固定部〜に対応する位置にピン穴’
〜’が設けられている。また、ピン穴’にはリード
線Ｌ1が、ピン穴’にはリード線Ｌ2が、ピン穴’に
はリード線Ｌ3が、ピン穴’にはリード線Ｌ4が取り付
けられており、それらのリード線は前記ホルダ情報処理
手段１８に電気的に接続されている。On the other hand, as shown in FIG. 3, the electrical contact connector 12 fixed to the X stage 10 has pin holes' at positions corresponding to the pin fixing portions of the holder terminal 40.
~ 'Is provided. Further, pin holes 'leads L 1 The found pin holes' in the lead wire L 2 is, pin holes 'lead L 3 In the pin holes' in is the lead L 4 is attached, These lead wires are electrically connected to the holder information processing means 18.
【００２５】このような試料ホルダと試料ステージの構
成により、前記試料ホルダ３５が試料ホルダ取付台１１
に取り付けられると、ピン固定部のピン４１がピン穴
’に差し込まれ、ピン固定部のピン４１がピン穴
’に差し込まれる。そして、ピン穴’と’にピン
４１の電気的接触があったことを表す信号、すなわち、
種類Ｂの試料ホルダが試料ステージに取り付けられたこ
とを表す信号が前記リード線を介して前記ホルダ情報処
理手段１８に送られる。With such a configuration of the sample holder and the sample stage, the sample holder 35 is connected to the sample holder mount 11.
The pin 41 of the pin fixing portion is inserted into the pin hole ′, and the pin 41 of the pin fixing portion is inserted into the pin hole ′. Then, a signal indicating that the pin 41 has made electrical contact with the pin holes と, ',
A signal indicating that the type B sample holder is attached to the sample stage is sent to the holder information processing means 18 via the lead wire.
【００２６】以上、種類Ｂの試料ホルダについて説明し
たが、図１の装置で使用される他の試料ホルダも、その
ホルダの種類の情報を有するホルダ端子を備えている。
例えば、図１の装置で使用される種類Ａ〜Ｉの試料ホル
ダにおいては、図４に示すように、電気接点ピン４１が
ピン固定部〜の所定位置に固定されている。なお、
図４において、Ａ〜Ｉは試料ホルダの種類を示してお
り、〜は前記ピン固定部を示しており、各試料ホル
ダには○印が付けられているピン固定部にピン４１が固
定されている。Although the type B sample holder has been described above, other sample holders used in the apparatus shown in FIG. 1 also have holder terminals having information on the type of the holder.
For example, in the sample holders of types A to I used in the apparatus of FIG. 1, as shown in FIG. 4, the electric contact pins 41 are fixed at predetermined positions of the pin fixing portion to. In addition,
In FIG. 4, A to I indicate the types of sample holders, and ~ indicate the pin fixing portions, and the pin 41 is fixed to the pin fixing portion marked with a circle on each sample holder. I have.
【００２７】以上、図１の装置構成および、図１の装置
で使用される試料ホルダの構成について説明したが、以
下に、このような装置の動作について説明する。The configuration of the apparatus shown in FIG. 1 and the configuration of the sample holder used in the apparatus shown in FIG. 1 have been described above. The operation of such an apparatus will be described below.
【００２８】まず、オペレータは、試料をセットした試
料ホルダ、たとえば図２に示した種類Ｂの試料ホルダ３
５を、前記予備排気室チャンバー１５内において試料搬
送手段１７の先端に取り付ける。そして、予備排気室チ
ャンバー１５内が図示しない排気装置によって排気され
ると、オペレータはホルダ通過用扉１６を開け、試料搬
送手段１７を用いて試料ホルダ３５を試料ホルダ取付台
１１に取り付ける。First, an operator operates a sample holder on which a sample is set, for example, a sample holder 3 of type B shown in FIG.
5 is attached to the tip of the sample transfer means 17 in the preliminary exhaust chamber 15. When the inside of the preliminary exhaust chamber 15 is exhausted by an exhaust device (not shown), the operator opens the holder passage door 16 and attaches the sample holder 35 to the sample holder mounting table 11 by using the sample transporting means 17.
【００２９】このようにして試料ホルダ３５が試料ホル
ダ取付台１１に取り付けられると、上述したように試料
ホルダ３５のホルダ端子４０が電気接点コネクタ１２に
接続され、種類Ｂの試料ホルダ３５が試料ステージ（Ｘ
ステージ１０）に取り付けられたことを表す信号が、電
気接点コネクタ１２からホルダ情報処理手段１８に送ら
れる。When the sample holder 35 is thus mounted on the sample holder mount 11, the holder terminal 40 of the sample holder 35 is connected to the electrical contact connector 12 as described above, and the type B sample holder 35 is connected to the sample stage. (X
A signal indicating the attachment to the stage 10) is sent from the electrical contact connector 12 to the holder information processing means 18.
【００３０】すると、ホルダ情報処理手段１８のホルダ
判定手段１９は、電気接点コネクタ１２からの信号に基
づき、試料ステージに取り付けられた試料ホルダの種類
がＢであると判定する。Then, the holder determination means 19 of the holder information processing means 18 determines that the type of the sample holder attached to the sample stage is B based on the signal from the electrical contact connector 12.
【００３１】こうして試料ホルダの種類が判定される
と、ホルダ情報処理手段１８は、判定された試料ホルダ
Ｂに対応するホルダ形状データ（形状データＢ）をホル
ダ形状データ格納手段２０から読み出す。このホルダ形
状データ格納手段２０には、上述した種類Ａ〜Ｉの各試
料ホルダの形状データが格納されており、ホルダ情報処
理手段１８は、その読み出した形状データ（形状データ
Ｂ）に基づいて表示処理手段２４の画面上にホルダＢの
形状を表示させる。When the type of the sample holder is determined in this way, the holder information processing means 18 reads the holder shape data (shape data B) corresponding to the determined sample holder B from the holder shape data storage means 20. The holder shape data storage means 20 stores the shape data of the sample holders of the types A to I described above, and the holder information processing means 18 displays based on the read shape data (shape data B). The shape of the holder B is displayed on the screen of the processing means 24.
【００３２】図５は、表示処理手段２４の画面を示した
ものであり、ホルダＢの形状が表示処理手段２４の画面
左側に表示されている。また、画面右側上段には、前記
ホルダ判定手段１９により種類Ｂと自動判定された結果
が表示され、画面右側下段には、以下に述べる分析選択
表示が行われている。FIG. 5 shows a screen of the display processing means 24. The shape of the holder B is displayed on the left side of the screen of the display processing means 24. In addition, the upper right part of the screen displays the result automatically determined as type B by the holder determining unit 19, and the lower right part of the screen displays an analysis selection display described below.
【００３３】さて、ホルダＢの形状が表示処理手段２４
の画面に表示されると、オペレータは、自動分析を行う
かマニュアル分析を行うかを、入力指示手段２５を用い
て表示処理手段２４の画面上で選択する。Now, the shape of the holder B is determined by the display processing means 24.
Is displayed on the screen of the display processing means 24 using the input instruction means 25 to select whether to perform automatic analysis or manual analysis.
【００３４】例えば、オペレータが自動分析を選択する
と、ホルダ情報処理手段１８は、判定された種類Ｂの試
料ホルダに対応する分析位置データ（電子線照射位置デ
ータ）を分析位置データ格納手段２１から読み出す。こ
の分析位置データ格納手段２１には、上述した種類Ａ〜
Ｉの各試料ホルダに対応して分析位置データが格納され
ており、１つの試料ホルダについて前記試料穴の数だけ
の分析位置データが格納されている。すなわち、種類Ｂ
の試料ホルダ３５に関しては５個の分析位置データが記
憶されており、試料穴３６ａに対して分析位置データａ
（ｘ1，ｙ1）が、試料穴３６ｂに対して分析位置データ
ｂ（ｘ2，ｙ2）が、試料穴３６ｃに対して分析位置デー
タｃ（ｘ3，ｙ3）が、試料穴３６ｄに対して分析位置デ
ータｄ（ｘ4，ｙ4）が、試料穴３６ｅに対して分析位置
データｅ（ｘ5，ｙ5）がそれぞれ記憶されている。な
お、これらの分析位置データは、各試料穴の中心が電子
線光軸Ｏ上に位置するときの、試料ステージの基準位置
（０，０）からの移動量を表している。For example, when the operator selects automatic analysis, the holder information processing means 18 reads out the analysis position data (electron beam irradiation position data) corresponding to the determined type B sample holder from the analysis position data storage means 21. . The analysis position data storage means 21 includes the types A to
The analysis position data is stored corresponding to each sample holder of I, and the analysis position data for one sample holder is stored for the number of the sample holes. That is, type B
As for the sample holder 35, five analysis position data are stored, and the analysis position data a
(X 1 , y 1 ) is the analysis position data b (x 2 , y 2 ) for the sample hole 36 b, and the analysis position data c (x 3 , y 3 ) is the sample hole 36 d for the sample hole 36 c. analysis position data d (x 4, y 4) is analyzed position data e (x 5, y 5) are respectively stored to the sample hole 36e against. Note that these analysis position data indicate the amount of movement of the sample stage from the reference position (0, 0) when the center of each sample hole is located on the electron beam optical axis O.
【００３５】ホルダ情報処理手段１８は、種類Ｂの試料
ホルダに関する上記５個の分析位置データを分析位置デ
ータ格納手段２１から読み出すと、それらの分析位置デ
ータを分析処理手段２６の自動分析制御手段２７に送
る。The holder information processing means 18 reads out the above-mentioned five pieces of analysis position data relating to the type B sample holder from the analysis position data storage means 21, and reads the analysis position data from the automatic analysis control means 27 of the analysis processing means 26. Send to
【００３６】自動分析制御手段２７は５個の分析位置デ
ータを受け取ると、まず、分析位置データａ（ｘ1，
ｙ1）をステージ制御手段２８に送る。すると、ステー
ジ制御手段２８は、そのデータに基づき、Ｘステージ１
０がｘ1、Ｙステージ９がｙ1移動するようにＸ−Ｙステ
ージ駆動手段３４を制御する。この制御により、試料ス
テージ（９，１０）は座標（ｘ1，ｙ1）に位置決めさ
れ、試料穴３６ａの中心が電子線光軸Ｏ上に位置する。
その結果、試料穴３６ａにセットされた試料３９ａのほ
ぼ中心が電子線光軸Ｏ上に位置する。When the automatic analysis control means 27 receives the five pieces of analysis position data, first, the analysis position data a (x 1 ,
y 1 ) is sent to the stage control means 28. Then, based on the data, the stage control means 28 executes the X stage 1
The XY stage driving means 34 is controlled so that 0 moves x 1 and the Y stage 9 moves y 1 . This control sample stage (9, 10) is positioned on the coordinates (x 1, y 1), the center of the sample hole 36a is located on the electron beam optical axis O.
As a result, substantially the center of the sample 39a set in the sample hole 36a is located on the electron beam optical axis O.
【００３７】このように試料３９ａが電子線光軸Ｏ上に
位置すると、自動分析制御手段２７は、試料３９ａの光
学像を得るように光学顕微鏡制御手段２９に制御信号を
送る。すると、光学顕微鏡制御手段２９は、光学顕微鏡
６による光学像を表示処理手段３２に送るので、表示処
理手段３２の画面上には試料３９ａの光学像が表示され
る。When the sample 39a is located on the electron beam optical axis O, the automatic analysis control means 27 sends a control signal to the optical microscope control means 29 so as to obtain an optical image of the sample 39a. Then, the optical microscope control unit 29 sends the optical image from the optical microscope 6 to the display processing unit 32, so that the optical image of the sample 39 a is displayed on the screen of the display processing unit 32.
【００３８】また、試料３９ａが電子線光軸Ｏ上に位置
すると、自動分析制御手段２７は、試料３９ａの分析を
行うように分析制御手段３０に指示を行う。この指示を
受けた分析制御手段３０は、電子線が試料３９ａを照射
するように前記電子光学手段を制御するので、試料３９
ａに電子線が照射され、その照射によって試料３９ａか
ら発生した特性Ｘ線はＸ線検出器１３で検出される。そ
して、Ｘ線検出器１３の出力は分析制御手段３０に送ら
れ、分析制御手段３０は例えば得られたスペクトルデー
タを表示処理手段３２に送る。この結果、表示処理手段
３２の画面上には、上述した試料３９ａの光学像と共に
スペクトルが表示される。When the sample 39a is located on the electron beam optical axis O, the automatic analysis control means 27 instructs the analysis control means 30 to analyze the sample 39a. The analysis control means 30 receiving this instruction controls the electron optical means so that the electron beam irradiates the sample 39a.
a is irradiated with an electron beam, and the characteristic X-rays generated from the sample 39 a by the irradiation are detected by the X-ray detector 13. The output of the X-ray detector 13 is sent to the analysis control means 30, and the analysis control means 30 sends, for example, the obtained spectrum data to the display processing means 32. As a result, the spectrum is displayed on the screen of the display processing means 32 together with the optical image of the sample 39a described above.
【００３９】このようにして試料３９ａの分析が終了す
ると、次に、自動分析制御手段２７は分析位置データｂ
（ｘ2，ｙ2）をステージ制御手段２８に送る。その後、
試料３９ａの場合と同じ処理が行われて試料３９ｂの分
析が終了する。以後、試料３９ｃ、３９ｄ、３９ｅの分
析が同様にして行われる。図６は、表示処理手段３２の
画面上に表示される、試料３９ａ〜３９ｅの光学像と各
スペクトルを示したものである。When the analysis of the sample 39a is completed in this manner, the automatic analysis control means 27 next sends the analysis position data b
(X 2 , y 2 ) is sent to the stage control means 28. afterwards,
The same processing as in the case of the sample 39a is performed, and the analysis of the sample 39b ends. Thereafter, the analysis of the samples 39c, 39d, and 39e is performed in the same manner. FIG. 6 shows optical images and spectra of the samples 39a to 39e displayed on the screen of the display processing means 32.
【００４０】以上、表示処理手段２４の画面上において
自動分析が選択されたときの装置動作を説明したが、次
に、表示処理手段２４の画面上においてマニュアル分析
が選択されたときの装置動作について説明する。The operation of the apparatus when the automatic analysis is selected on the screen of the display processing means 24 has been described above. Next, the operation of the apparatus when the manual analysis is selected on the screen of the display processing means 24 will be described. explain.
【００４１】さて、オペレータが表示処理手段２４の画
面上においてマニュアル分析を選択すると、マニュアル
分析が選択されたことを表す信号が表示処理手段２４か
らホルダ情報処理手段１８に送られる。そしてオペレー
タは、入力指示手段２５を用いて、表示処理手段２４の
画面上に表示されているホルダ図形上で、前記電子線光
軸Ｏ上に位置させたい位置Ｑを指定する。この位置指定
が行われると、図７に示すように、ホルダ図形上のその
指定位置Ｑにたとえば×印のマーカが表示される。When the operator selects manual analysis on the screen of the display processing means 24, a signal indicating that manual analysis has been selected is sent from the display processing means 24 to the holder information processing means 18. Then, the operator designates a position Q to be positioned on the electron beam optical axis O on the holder graphic displayed on the screen of the display processing means 24 by using the input instruction means 25. When this position is specified, as shown in FIG. 7, for example, a marker with an X mark is displayed at the specified position Q on the holder graphic.
【００４２】このような位置指定が行われると、その位
置指定の情報はホルダ情報処理手段１８の観察位置検出
手段２３に送られる。観察位置検出手段２３はこの情報
に基づき、その位置Ｑを電子線光軸Ｏ上に位置させるた
めのＸステージ移動量ｘqとＹステージ移動量ｙqを求め
る。When such position designation is performed, the position designation information is sent to the observation position detection means 23 of the holder information processing means 18. Observation position detection means 23 based on this information, determine the X stage moving amount x q and Y stage movement amount y q for positioning the position Q on the electron beam optical axis O.
【００４３】こうして、位置Ｑを電子線光軸Ｏ上に位置
させるための試料ステージ移動量（ｘq，ｙq）が求めら
れると、ホルダ情報処理手段１８は、種類Ｂの試料ホル
ダに対応する試料ステージの移動制限データ（Ｘ＝
ｘB，Ｙ＝ｙB）を移動制限データ格納手段２２から読み
出す。この移動制限データ格納手段２２には、上述した
種類Ａ〜Ｉの各試料ホルダに対応して試料ステージの移
動制限データが格納されており、この移動制限データ
は、それ以上試料ステージをＸＹ方向に移動させると試
料ホルダが試料室側壁に衝突してしまう値を表してい
る。When the sample stage movement amount (x q , y q ) for positioning the position Q on the electron beam optical axis O is obtained, the holder information processing means 18 corresponds to the type B sample holder. Sample stage movement limit data (X =
x B, read from Y = y B) movement restriction data storage means 22. The movement restriction data storage means 22 stores movement restriction data of the sample stage corresponding to each of the sample holders of the types A to I described above, and the movement restriction data further moves the sample stage in the XY directions. The value indicates that the sample holder collides with the side wall of the sample chamber when moved.
【００４４】ホルダ情報処理手段１８は、移動制限デー
タ格納手段２２から移動制限データ（Ｘ＝ｘB，Ｙ＝
ｙB）を読み出すと、その値と前記試料ステージ移動量
（ｘq，ｙq）を比較し、ステージ移動量（ｘq，ｙq）が
（Ｘ＝ｘB，Ｙ＝ｙB）よりも大きい場合には、その旨を
表示処理手段２４の画面上に表示させて、ステージ制御
の指示を行わない。The holder information processing means 18 sends the movement restriction data (X = x B , Y =
When y B ) is read, the value is compared with the sample stage movement amount (x q , y q ), and the stage movement amount (x q , y q ) is larger than (X = x B , Y = y B ). If it is larger, this is displayed on the screen of the display processing means 24, and no instruction for stage control is given.
【００４５】一方、ステージ移動量（ｘq，ｙq）が（Ｘ
＝ｘB，Ｙ＝ｙB）よりも小さい場合には、ステージ制御
データ（ｘq，ｙq）を分析処理手段２６のマニュアル分
析制御手段３１に送る。On the other hand, when the stage movement amount (x q , y q ) is (X
= X B, when Y = y B) less than sends stage control data (x q, the y q) the manual analysis control unit 31 of the analysis process unit 26.
【００４６】マニュアル分析制御手段３１はステージ制
御データ（ｘq，ｙq）を受け取ると、そのデータをステ
ージ制御手段２８に送る。すると、ステージ制御手段２
８は、そのデータに基づき、Ｘステージ１０がｘq、Ｙ
ステージ９がｙq移動するようにＸ−Ｙステージ駆動手
段３４を制御する。この制御により、試料ステージは座
標（ｘq，ｙq）に位置決めされ、位置Ｑが電子線光軸Ｏ
上に位置する。When receiving the stage control data (x q , y q ), the manual analysis control means 31 sends the data to the stage control means 28. Then, the stage control means 2
8 is based on the data, and the X stage 10 performs x q , Y
The XY stage driving means 34 is controlled so that the stage 9 moves by yq . With this control, the sample stage is positioned at the coordinates (x q , y q ), and the position Q is set to the electron beam optical axis O.
Located on top.
【００４７】このように位置Ｑが電子線光軸Ｏ上に位置
すると、マニュアル分析制御手段３１は、位置Ｑを中心
とする領域の光学像を得るように光学顕微鏡制御手段２
９に制御信号を送る。すると、光学顕微鏡制御手段２９
は、光学顕微鏡６による光学像を表示処理手段３２に送
るので、表示処理手段３２の画面上には、図８に示すよ
うに、位置Ｑを中心とする領域の試料の光学像が表示さ
れる。なお、図８において、×印は位置Ｑを示してい
る。When the position Q is located on the electron beam optical axis O, the manual analysis control means 31 causes the optical microscope control means 2 to obtain an optical image of a region centered on the position Q.
9 to send a control signal. Then, the optical microscope control means 29
Sends the optical image from the optical microscope 6 to the display processing means 32, so that the optical image of the sample in the region centered on the position Q is displayed on the screen of the display processing means 32, as shown in FIG. . Note that, in FIG. 8, the crosses indicate the position Q.
【００４８】オペレータは、このように位置Ｑを中心と
する領域の光学像が表示されると、入力指示手段３３を
用いて、表示処理手段３２の画面上に表示されている光
学像上で、分析したい位置Ｓを指定する。この分析位置
指定が行われると、図８に示すように、ホルダ図形上の
その指定位置Ｓにたとえば△印のマーカが表示される。
なお、・印のマーカは試料穴３６ｄの中心を表してい
る。When the operator displays the optical image of the area around the position Q in this way, the operator uses the input instruction means 33 to display the optical image on the screen of the display processing means 32. Specify the position S to be analyzed. When the analysis position is specified, a marker, for example, is displayed at the specified position S on the holder graphic as shown in FIG.
In addition, the marker with a mark represents the center of the sample hole 36d.
【００４９】このような分析位置指定が行われると、そ
の位置指定の情報は表示処理手段３２から分析処理手段
２６の分析制御手段３０に送られる。分析制御手段３０
はこの情報に基づき、位置Ｓを電子線光軸Ｏ上に位置さ
せるためのＸステージ移動量ｘsとＹステージ移動量ｙs
を求める。When such an analysis position is designated, the position designation information is sent from the display processing means 32 to the analysis control means 30 of the analysis processing means 26. Analysis control means 30
Is based on this information, the X-stage movement amount x s and the Y-stage movement amount y s for positioning the position S on the electron beam optical axis O.
Ask for.
【００５０】こうして、分析制御手段３０は、位置Ｓを
電子線光軸Ｏ上に位置させるための試料ステージ移動量
（ｘs，ｙs）を求めると、そのステージ制御データ（ｘ
s，ｙs）をステージ制御手段２８に送る。すると、ステ
ージ制御手段２８は、そのデータに基づき、Ｘステージ
１０がｘs、Ｙステージ９がｙs移動するようにＸ−Ｙス
テージ駆動手段３４を制御する。この制御により、試料
ステージは座標（ｘ s，ｙs）に位置決めされ、分析位置
Ｓが電子線光軸Ｏ上に位置する。Thus, the analysis control means 30 sets the position S
Sample stage movement amount for positioning on the electron beam optical axis O
(Xs, Ys), The stage control data (x
s, Ys) Is sent to the stage control means 28. Then,
The image control means 28 performs an X stage operation based on the data.
10 is xs, Y stage 9 is ysXY to move
The stage driving means 34 is controlled. With this control, the sample
The stage has coordinates (x s, Ys) Positioned at the analysis position
S is located on the electron beam optical axis O.
【００５１】このように分析位置Ｓが電子線光軸Ｏ上に
位置すると、分析制御手段３０は、電子線が分析位置Ｓ
を照射するように前記電子光学手段を制御するので、分
析位置Ｓに電子線が照射され、その照射によって試料か
ら発生した特性Ｘ線はＸ線検出器１３で検出される。そ
して、Ｘ線検出器１３の出力は分析制御手段３０に送ら
れ、分析制御手段３０は得られたスペクトルデータを表
示処理手段３２に送る。この結果、表示処理手段３２の
画面上には、図８に示すように試料の光学像と共にスペ
クトルが表示される。When the analysis position S is located on the electron beam optical axis O in this manner, the analysis control means 30 sends the electron beam to the analysis position S.
Since the electron optical means is controlled to irradiate the electron beam, the analysis position S is irradiated with an electron beam, and the characteristic X-ray generated from the sample by the irradiation is detected by the X-ray detector 13. Then, the output of the X-ray detector 13 is sent to the analysis control means 30, and the analysis control means 30 sends the obtained spectrum data to the display processing means 32. As a result, the spectrum is displayed on the screen of the display processing means 32 together with the optical image of the sample as shown in FIG.
【００５２】以上、図１の装置動作について説明した
が、このような装置においては、試料ステージに取り付
けられる試料ホルダの種類が自動的に正確に判定され、
表示装置の画面上に実際に取り付けられた試料ホルダの
図形が誤りなく表示される。このため、この表示された
図形を用いた試料分析が正確かつ迅速に行われる。The operation of the apparatus shown in FIG. 1 has been described above. In such an apparatus, the type of the sample holder attached to the sample stage is automatically and accurately determined.
The figure of the actually mounted sample holder is displayed without error on the screen of the display device. Therefore, the sample analysis using the displayed graphic is performed accurately and quickly.
【００５３】また、図１の装置においては、各試料ホル
ダ毎に分析位置データ、すなわち電子線照射位置データ
が予め格納されているので、従来のようにいちいち分析
位置を指定しなくて済む。In the apparatus shown in FIG. 1, since the analysis position data, that is, the electron beam irradiation position data is stored in advance for each sample holder, it is not necessary to specify the analysis position each time as in the prior art.
【００５４】また、図１の装置においては、移動制限デ
ータを格納することにより、各試料ホルダに衝突回避レ
バーを取り付けたり、試料ステージに衝突回避スイッチ
を取り付けなくても、試料ホルダの試料室壁への衝突を
回避することができ、装置コストを下げることができ
る。In the apparatus shown in FIG. 1, the movement restriction data is stored, so that the collision avoidance lever is not attached to each sample holder or the collision avoidance switch is not attached to the sample stage. Collision can be avoided, and the cost of the apparatus can be reduced.
【００５５】なお、図１の装置に旧式の試料ホルダ、す
なわち、前記ホルダ端子を備えないだけでその形状は前
記種類Ａ〜Ｉの試料ホルダと全く同じである試料ホルダ
を装着したときにも対応できるように、図１の装置構成
を変形させることは容易である。たとえば、図９に示す
ように、前記表示処理手段２４の画面上に、入力指示手
段２５でそのホルダの種類を選択できるように表示を行
い、選択されたホルダの形状データをホルダ形状データ
格納手段２０から読み出して表示させるようにすればよ
い。It should be noted that the apparatus shown in FIG. 1 can be used even when an old-type sample holder, that is, a sample holder having the same shape as the sample holders of the types A to I except that the holder terminal is not provided is mounted. It is easy to modify the device configuration of FIG. For example, as shown in FIG. 9, a display is provided on the screen of the display processing means 24 so that the type of the holder can be selected by the input instruction means 25, and the shape data of the selected holder is stored in the holder shape data storage means. 20 and may be displayed.
【００５６】また、図１の装置において、分析位置デー
タ格納手段２１に、試料ホルダに対応させて電子線走査
データ、すなわち、試料上で電子線を２次元的に走査さ
せるためのデータを格納しておき、さらに、表示処理手
段２４の画面上において自動分析が選択されたときに、
その電子線走査により試料から発生した信号を２次電子
検出器１４で検出して画像処理を行うようにすれば、各
試料ホルダ毎に自動的に試料の２次電子像を得ることが
できる。In the apparatus shown in FIG. 1, electron beam scanning data, that is, data for scanning an electron beam two-dimensionally on a sample is stored in the analysis position data storage means 21 in correspondence with the sample holder. In addition, when the automatic analysis is selected on the screen of the display processing means 24,
If a signal generated from the sample by the electron beam scanning is detected by the secondary electron detector 14 and image processing is performed, a secondary electron image of the sample can be automatically obtained for each sample holder.
【図１】 本発明の一例として示した、電子プローブマ
イクロアナライザの概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of an electronic probe microanalyzer shown as an example of the present invention.
【図２】 図１の装置に使用される試料ホルダを説明す
るために示した図である。FIG. 2 is a view for explaining a sample holder used in the apparatus of FIG. 1;
【図３】 図１のＸステージ１０を説明するために示し
た図である。FIG. 3 is a view shown for explaining an X stage 10 of FIG. 1;
【図４】 図１の装置に使用される試料ホルダを説明す
るために示した図である。FIG. 4 is a view for explaining a sample holder used in the apparatus of FIG. 1;
【図５】 表示処理手段２４の表示形態を示した図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing a display mode of a display processing means 24.
【図６】 表示処理手段３２の表示形態を示した図であ
る。FIG. 6 is a diagram showing a display form of a display processing means 32.
【図７】 表示処理手段２４の表示形態を示した図であ
る。FIG. 7 is a diagram showing a display mode of the display processing means 24.
【図８】 表示処理手段３２の表示形態を示した図であ
る。FIG. 8 is a diagram showing a display mode of the display processing means 32.
【図９】 表示処理手段２４の表示形態を示した図であ
る。FIG. 9 is a diagram showing a display form of the display processing means 24.
１…鏡筒、２…電子銃、３…集束レンズ、４…偏向器、
５…対物レンズ、６…光学顕微鏡、７…試料室チャンバ
ー、８…ステージ台、９…Ｙステージ、１０…Ｘステー
ジ、１１…試料ホルダ取付台、１２…電気接点コネク
タ、１３…Ｘ線検出器、１４…２次電子検出器、１５…
予備排気室チャンバー、１６…ホルダ通過用扉、１７…
試料搬送手段、１８…ホルダ情報処理手段、１９…ホル
ダ判定手段、２０…ホルダ形状データ格納手段、２１…
分析位置データ格納手段、２２…移動制限データ格納手
段、２３…観察位置検出手段、２４…表示処理手段、２
５…入力指示手段、２６…分析処理手段、２７…自動分
析制御手段、２８…ステージ制御手段、２９…光学顕微
鏡制御手段、３０…分析制御手段、３１…マニュアル分
析制御手段、３２…表示処理手段、３３…入力指示手
段、３４…Ｘ−Ｙステージ駆動手段、３５…試料ホル
ダ、３６ａ、３６ｂ、３６ｃ、３６ｄ、３６ｅ…試料
穴、３７…試料取付台、３８…アダプタ、３９ａ、３９
ｂ、３９ｃ、３９ｄ、３９ｅ…試料、４０…ホルダ端
子、４１…ピンDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Barrel, 2 ... Electron gun, 3 ... Focusing lens, 4 ... Deflector,
5 Objective lens, 6 Optical microscope, 7 Sample chamber, 8 Stage, 9 Y stage, 10 X stage, 11 Sample holder mount, 12 Electrical connector, 13 X-ray detector , 14 ... secondary electron detector, 15 ...
Preliminary exhaust chamber chamber, 16 ... Door for passage of holder, 17 ...
Sample transporting means, 18: Holder information processing means, 19: Holder determining means, 20: Holder shape data storage means, 21 ...
Analysis position data storage means, 22 ... movement restriction data storage means, 23 ... observation position detection means, 24 ... display processing means, 2
5 Input instruction means, 26 Analysis processing means, 27 Automatic analysis control means, 28 Stage control means, 29 Optical microscope control means, 30 Analysis control means, 31 Manual analysis control means, 32 Display processing means 33, input instruction means, 34, XY stage driving means, 35, sample holder, 36a, 36b, 36c, 36d, 36e, sample hole, 37, sample mounting table, 38, adapter, 39a, 39
b, 39c, 39d, 39e: sample, 40: holder terminal, 41: pin
Claims (5)
れ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射
し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検
出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うよう
にした荷電粒子線装置において、前記試料ステージに取
り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手
段と、各試料ホルダに対応させて、ホルダ形状データを
格納するホルダ形状データ格納手段と、前記ホルダ判定
手段により判定された試料ホルダに対応するホルダ形状
データを、前記ホルダ形状データ格納手段から読み出
し、該読み出した形状データに基づいて表示手段にホル
ダ形状を表示させる手段を備えたことを特徴とする荷電
粒子線装置。1. A sample holder is mounted on a sample stage, a sample placed on the sample holder is irradiated with a charged particle beam, a signal generated from the sample by the irradiation is detected, and the sample is detected based on the detected signal. In a charged particle beam apparatus configured to perform analysis or sample image display, a holder determination unit that determines a type of a sample holder attached to the sample stage, and a holder shape that stores holder shape data corresponding to each sample holder. Data storage means, and means for reading holder shape data corresponding to the sample holder determined by the holder determination means from the holder shape data storage means, and displaying the holder shape on the display means based on the read shape data. A charged particle beam device, comprising:
れ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射
し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検
出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うよう
にした荷電粒子線装置において、前記試料ステージに取
り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手
段と、各試料ホルダに対応させて、荷電粒子線照射位置
データを格納する荷電粒子線照射位置データ格納手段
と、前記ホルダ判定手段により判定された試料ホルダに
対応する荷電粒子線照射位置データを、前記荷電粒子線
照射位置データ格納手段から読み出し、該読み出した荷
電粒子線照射位置データに基づいて荷電粒子線を試料に
照射する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装
置。2. A sample holder is mounted on a sample stage, a sample placed on the sample holder is irradiated with a charged particle beam, a signal generated from the sample by the irradiation is detected, and the sample is detected based on the detected signal. In a charged particle beam apparatus configured to perform analysis or sample image display, a holder determination unit that determines a type of a sample holder attached to the sample stage, and stores charged particle beam irradiation position data corresponding to each sample holder. Charged particle beam irradiation position data storage means, and charged particle beam irradiation position data corresponding to the sample holder determined by the holder determination means are read out from the charged particle beam irradiation position data storage means, and the read charged particle beam is read out. A charged particle beam apparatus comprising means for irradiating a sample with a charged particle beam based on irradiation position data.
れ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射
し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検
出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うよう
にした荷電粒子線装置において、前記試料ステージに取
り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手
段と、各試料ホルダに対応させて、前記試料ステージの
移動制限データを格納する移動制限データ格納手段と、
前記試料ステージの移動量を、前記ホルダ判定手段によ
り判定された試料ホルダに対応する前記移動制限データ
に基づいて制限する手段を備えたことを特徴とする荷電
粒子線装置。3. A sample holder is attached to a sample stage, a sample placed on the sample holder is irradiated with a charged particle beam, a signal generated from the sample by the irradiation is detected, and the sample is detected based on the detected signal. In a charged particle beam apparatus configured to perform analysis or sample image display, holder determination means for determining the type of a sample holder attached to the sample stage, and movement restriction data of the sample stage corresponding to each sample holder. Movement restriction data storage means for storing;
A charged particle beam apparatus comprising: means for restricting a movement amount of the sample stage based on the movement restriction data corresponding to the sample holder determined by the holder determination means.
れ、該試料ホルダに載置された試料に荷電粒子線を照射
し、該照射により試料から発生した信号を検出し、該検
出信号に基づいて試料分析または試料像表示を行うよう
にした荷電粒子線装置において、前記試料ステージに取
り付けられる試料ホルダの種類を判定するホルダ判定手
段と、各試料ホルダの形状データを格納するホルダ形状
データ格納手段と、前記ホルダ判定手段により判定され
た試料ホルダの形状データを、前記ホルダ形状データ格
納手段から読み出し、該読み出した形状データに基づい
て表示手段にホルダ形状を表示させる手段と、各試料ホ
ルダに対応させて、荷電粒子線照射位置データを格納す
る荷電粒子線照射位置データ格納手段と、前記ホルダ判
定手段により判定された試料ホルダに対応する荷電粒子
線照射位置データを、前記荷電粒子線照射位置データ格
納手段から読み出し、該読み出した荷電粒子線照射位置
データに基づいて荷電粒子線を試料に照射する手段を備
えたことを特徴とする荷電粒子線装置。4. A sample holder is mounted on a sample stage, a sample placed on the sample holder is irradiated with a charged particle beam, a signal generated from the sample by the irradiation is detected, and the sample is detected based on the detected signal. In a charged particle beam apparatus configured to perform analysis or sample image display, holder determination means for determining the type of sample holder attached to the sample stage, holder shape data storage means for storing shape data of each sample holder, Means for reading the shape data of the sample holder determined by the holder determination means from the holder shape data storage means, displaying the holder shape on the display means based on the read shape data, and corresponding to each sample holder. The charged particle beam irradiation position data storing means for storing the charged particle beam irradiation position data; Means for reading charged particle beam irradiation position data corresponding to the read sample holder from the charged particle beam irradiation position data storage means, and irradiating the sample with a charged particle beam based on the read charged particle beam irradiation position data. A charged particle beam device.
情報を有するホルダ端子を備え、一方、前記試料ステー
ジは、前記試料ホルダが試料ステージに取り付けられた
ときに前記ホルダ端子と接続する接続端子を備え、前記
ホルダ判定手段は前記接続端子の出力に基づいて試料ホ
ルダの種類を判定することを特徴とする請求項１から４
の何れかに記載の荷電粒子線装置。5. The sample holder includes a holder terminal having information on the type of the holder, while the sample stage is connected to the holder terminal when the sample holder is mounted on the sample stage. 5. The apparatus according to claim 1, wherein the holder determination unit determines a type of the sample holder based on an output of the connection terminal. 6.
The charged particle beam device according to any one of the above.
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