JP2001144571A - Piezoelectric vibrator component - Google Patents
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動部品に関
する。The present invention relates to a piezoelectric vibration component.
【０００２】[0002]
【従来の技術】圧電振動部品は、特開平１−２３６７１
５号公報、特開平８−１１１６２６号公報、特開平８−
３０７１９３号公報等に開示されているように、セラミ
ックス等でなるベース板に、圧電振動子を含む回路機能
素子を搭載し、ベース板に形成された取出し電極に、回
路機能素子の入力／出力および接地電極を、電気的機械
的に接合する。さらに、ベース板にキャップを接着封止
して、回路機能素子の周囲に気密空間を形成し、圧電振
動子を含む回路機能素子を、外力および環境条件から保
護する。2. Description of the Related Art Piezoelectric vibrating parts are disclosed in
No. 5, JP-A-8-111626 and JP-A-8-11626.
As disclosed in Japanese Patent No. 307193 and the like, a circuit functional element including a piezoelectric vibrator is mounted on a base plate made of ceramics or the like, and input / output of the circuit functional element and input / output of the circuit functional element are formed on an extraction electrode formed on the base plate. The ground electrode is electrically and mechanically joined. Furthermore, a cap is adhered and sealed to the base plate to form an airtight space around the circuit functional element, and the circuit functional element including the piezoelectric vibrator is protected from external force and environmental conditions.
【０００３】このような構造の圧電振動部品において、
キャップが圧電振動子を含む回路機能素子に接触する
と、特性が損なわれる。従って、キャップを確実に位置
決めすることは、極めて重要な技術的事項である。In a piezoelectric vibrating component having such a structure,
When the cap comes into contact with the circuit functional element including the piezoelectric vibrator, the characteristics are impaired. Therefore, reliable positioning of the cap is a very important technical matter.
【０００４】キャップの位置ずれを防止する手段とし
て、従来より種々の技術が提案され、実用に供されてい
る。例えば、実開平５−６３１１６号公報は、ベース板
に溝を設ける構造を開示している。しかしながら、ベー
ス板とキャップの位置決めとしてベース板に溝を設ける
手段は、引出し電極が溝部分を横切るため、充分な深さ
の溝を形成できず、製造中に受けるわずかな外力で溝か
らキャップが外れてしまい実質的な位置決めができな
い。Various techniques have been conventionally proposed as means for preventing displacement of the cap, and these techniques have been put to practical use. For example, Japanese Utility Model Laid-Open No. 5-63116 discloses a structure in which a groove is formed in a base plate. However, the means for providing a groove in the base plate as a positioning of the base plate and the cap cannot form a groove having a sufficient depth because the extraction electrode crosses the groove portion, and the cap is removed from the groove by a slight external force received during manufacturing. It comes off and cannot be positioned substantially.
【０００５】また、特開平７−３３６１７８号公報は、
ベース板の引出し電極に段差部を設ける構造を開示して
いる。引出し電極に段差部を設ける手段としては、スク
リーン印刷法が採用される。スクリーン印刷の適用によ
って、パターンを変えながら、重ね塗りを行い段差を得
る。このため、スクリーン印刷の位置精度、印刷パター
ンの切れが充分でなく、実質的な位置決めを行う段差を
作製することは困難である。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-336178 discloses that
A structure in which a step portion is provided in an extraction electrode of a base plate is disclosed. As a means for providing a step on the extraction electrode, a screen printing method is employed. By applying the screen printing, the pattern is changed and the coating is repeated to obtain a step. For this reason, the positional accuracy of screen printing and the cutting of the print pattern are not sufficient, and it is difficult to produce a step for performing substantial positioning.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、ベー
ス板及びキャップを確実に位置決めでき、効率的な生産
が可能で、製造歩留のよい電子部品を提供することであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an electronic component which can reliably position a base plate and a cap, can be efficiently produced, and has a good production yield.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明に係る圧電振動部品は、ベース板と、回路
機能素子と、キャップとを含む。前記ベース板は、一面
に搭載領域を有しており、前記回路機能素子は、圧電振
動子を含み、前記搭載領域内において、前記ベース板に
搭載されている。In order to solve the above-mentioned problems, a piezoelectric vibration component according to the present invention includes a base plate, a circuit function element, and a cap. The base plate has a mounting area on one surface, and the circuit functional element includes a piezoelectric vibrator, and is mounted on the base plate in the mounting area.
【０００８】前記キャップは、前記回路機能素子を包囲
して、前記ベース板の前記一面上に搭載され、前記回路
機能素子の周りに気密空間を形成する。前記キャップ及
び前記ベース板は、前記搭載領域の周りで、凹凸嵌合を
する。The cap surrounds the circuit functional element and is mounted on the one surface of the base plate to form an airtight space around the circuit functional element. The cap and the base plate engage with each other around the mounting area.
【０００９】上述したように、本発明に係る圧電振動部
品において、ベース板は、一面に搭載領域を有してお
り、回路機能素子は搭載領域内においてベース板に搭載
されており、キャップは、回路機能素子を包囲して、ベ
ース板の一面上に搭載され回路機能素子の周りに気密空
間を形成する。従って、キャップの形成する気密空間に
よって、圧電振動子を含む回路機能素子を、外力および
環境条件から保護することができる。As described above, in the piezoelectric vibrating component according to the present invention, the base plate has a mounting area on one surface, the circuit functional element is mounted on the base plate in the mounting area, and the cap is It is mounted on one surface of the base plate and surrounds the circuit function element to form an airtight space around the circuit function element. Therefore, the circuit functional element including the piezoelectric vibrator can be protected from external force and environmental conditions by the airtight space formed by the cap.
【００１０】しかも、本発明に係る圧電振動部品におい
て、キャップ及びベース板は、搭載領域の周りで、凹凸
嵌合をするから、ベース板に対するキャップの接合領域
を、機械的な凹凸嵌合によって確定し、キャップの機械
的位置ずれをなくすことができる。このため、ベース板
に対するキャップの搭載精度が極めて高くなり、圧電振
動子を含む回路機能素子にキャップ内壁等が接触するこ
とがなくなる。Moreover, in the piezoelectric vibrating component according to the present invention, the cap and the base plate are fitted around the mounting region with the concave and convex, so that the joining region of the cap to the base plate is determined by the mechanical concave and convex fitting. However, mechanical displacement of the cap can be eliminated. For this reason, the mounting accuracy of the cap on the base plate becomes extremely high, and the inner wall of the cap does not contact the circuit function element including the piezoelectric vibrator.
【００１１】しかも、ベース板に対して、キャップを封
止樹脂によって接合する一般的な構造において、凹凸嵌
合する部分の凹凸により、キャップ封止樹脂が回路機能
素子に付着するのを阻止できる。このため、キャップ封
止樹脂の付着による振動特性の悪化の問題も回避でき
る。従って、キャップの接合領域を狭く設定し、製品を
小型化し、また、製造歩留を向上させることができる。Moreover, in a general structure in which the cap is joined to the base plate by the sealing resin, the cap sealing resin can be prevented from adhering to the circuit functional element due to the unevenness of the portion where the unevenness fits. For this reason, the problem of deterioration of the vibration characteristics due to the adhesion of the cap sealing resin can be avoided. Therefore, the joining region of the cap can be set narrow, the product can be downsized, and the production yield can be improved.
【００１２】本発明の他の目的、構成及び利点について
は、添付図面を参照して更に詳しく説明する。図は単な
る例示に過ぎない。Other objects, configurations and advantages of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The figures are merely examples.
【００１３】[0013]
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る圧電振動部品
の分解斜視図、図２は図１に示した圧電振動部品の組立
状態における断面図、図３は図１、２に図示した圧電振
動部品のベース板とキャップとの組み合わせを説明する
図、図４は図１、２に示した圧電振動部品の電気回路図
である。図示された圧電振動部品は、ベース板１と、回
路機能素子２と、キャップ３とを含んでいる。FIG. 1 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibrating component according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view of the piezoelectric vibrating component shown in FIG. 1 in an assembled state, and FIG. 3 is shown in FIGS. FIG. 4 is a view for explaining a combination of a base plate and a cap of the piezoelectric vibration component, and FIG. 4 is an electric circuit diagram of the piezoelectric vibration component shown in FIGS. The illustrated piezoelectric vibration component includes a base plate 1, a circuit function element 2, and a cap 3.
【００１４】ベース板１は、平板状であって、一面に搭
載領域１０１を有している。ベース板１は、アルミナ、
フォルステライト等の硬質セラミックススでなる。ベー
ス板１は端子電極１１、１３を有する。端子電極１１、
１３は、互いに間隔を隔て、ベース板１の搭載領域１０
１の内面、側面及び裏面を経て、ベース板１を１周する
ように形成されている。搭載領域１０１の内面には、端
子電極１１〜１３の一部である接続部（メタライズ部）
１１０、１３０が付着されている。上述したような接続
部１１０、１３０を含む端子電極１１、１３は、スクリ
ーン印刷法、蒸着、スパッタリング等の方法を適宜組合
わせて形成することができる。好ましくは、スクリーン
印刷法を採用する。The base plate 1 has a flat plate shape and has a mounting area 101 on one surface. The base plate 1 is made of alumina,
It is made of hard ceramics such as forsterite. The base plate 1 has terminal electrodes 11 and 13. Terminal electrode 11,
13 is a mounting area 10 of the base plate 1 spaced apart from each other.
The base plate 1 is formed so as to make one round through the inner surface, side surface, and back surface of the base plate 1. On the inner surface of the mounting area 101, a connection part (metallized part) which is a part of the terminal electrodes 11 to 13
110 and 130 are attached. The terminal electrodes 11 and 13 including the connection portions 110 and 130 as described above can be formed by appropriately combining methods such as screen printing, vapor deposition, and sputtering. Preferably, a screen printing method is employed.
【００１５】ベース板１は、特徴的な構造として、搭載
領域１０１の周りに、凸部１０２を有する。実施例にお
いて、凸部１０２は、搭載領域１０１の周りを、連続的
にリング状に取り囲んでいる。実施例とは異なって、部
分的に不連続部分を有していてもよい。凸部１０２は、
乾式材料の粉末プレス成形、湿式材料のシート状での積
層等の周知の方法によって形成することができる。The base plate 1 has a projection 102 around the mounting area 101 as a characteristic structure. In the embodiment, the projection 102 continuously surrounds the mounting area 101 in a ring shape. Different from the embodiment, it may have a partially discontinuous portion. The protrusion 102
It can be formed by a well-known method such as powder press molding of a dry material and lamination of a wet material in a sheet shape.
【００１６】凸部１０２の高さ△Ｈは、０．０５〜０．
５ｍｍの範囲が望ましい。凸部１０２の外周面及び内周
面は、緩やかな斜面である。斜面の角度α１（図３参
照）は１０〜６０°が望ましい。凸部１０２の高さ△Ｈ
が０．０５ｍｍよりも小さいと、凸部１０２による位置
合わせ機能を期待できない。また、凸部１０２の高さ△
Ｈが０．５ｍｍよりも大きくなると、端部電極１１、１
３が凸部１０２を横切る部分で、スクリーン印刷による
電極形成が困難になり、蒸着、スパッタリング、ジェッ
トプリンティング等の手法が必要になり、コストアップ
となる。The height ΔH of the convex portion 102 is 0.05 to 0.5.
A range of 5 mm is desirable. The outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the convex portion 102 are gentle slopes. The angle α1 of the slope (see FIG. 3) is preferably 10 to 60 °. Height of convex portion 102 部 H
Is smaller than 0.05 mm, it is not possible to expect a positioning function by the convex portion 102. Also, the height of the convex portion 102１０２
When H is larger than 0.5 mm, the end electrodes 11, 1
The portion 3 crosses the convex portion 102, making it difficult to form an electrode by screen printing, necessitating techniques such as vapor deposition, sputtering, and jet printing, thereby increasing costs.
【００１７】斜面の角度α１が１０°よりも小さくなる
と、充分な凸部１０２の高さを得るためには、斜面の長
さが長くなり過ぎ、製品寸法を増大させ、実用的でな
い。また、斜面の角度α１が６０°を超すと、端子電極
１１、１３が凸部１０２を横切る部分で、スクリーン印
刷による電極形成が困難になり、蒸着、スパッタリン
グ、ジェットプリンティング等の手法が必要になり、コ
ストアップを招く。実施例において、端子電極１１、１
３は、一部が、凸部１０２の内周側の斜面にも形成され
ている。If the angle α1 of the slope is smaller than 10 °, the length of the slope becomes too long in order to obtain a sufficient height of the convex portion 102, and the product size is increased, which is not practical. If the angle α1 of the slope exceeds 60 °, it becomes difficult to form electrodes by screen printing at the portions where the terminal electrodes 11 and 13 cross the convex portions 102, and techniques such as vapor deposition, sputtering, and jet printing are required. , Resulting in increased costs. In the embodiment, the terminal electrodes 11, 1
Part 3 is also formed on the slope on the inner peripheral side of the projection 102.
【００１８】回路機能素子２は、圧電振動子２０を含
み、搭載領域１０１の内部において、ベース板１に搭載
されている。回路機能素子２を構成する圧電振動子２０
は、圧電基板２００と、第１の振動電極２０１と、第２
の振動電極２０２とを含んでいる。圧電基板２００は、
ＰＺＴ、ＰＴあるいは、ビスマスレイヤー化合物等の非
鉛圧電セラミックス等からなる。第１の振動電極２０１
は、圧電基板２００の厚さ方向の一面に設けられ、一端
が圧電基板２００の長さ方向の一端側にある一側端面に
導出され、他端が圧電基板２００の長さ方向の中間で終
わっている。The circuit functional element 2 includes the piezoelectric vibrator 20 and is mounted on the base plate 1 inside the mounting area 101. Piezoelectric vibrator 20 constituting circuit functional element 2
Are the piezoelectric substrate 200, the first vibration electrode 201, and the second
And the vibrating electrode 202. The piezoelectric substrate 200
It is made of lead-free piezoelectric ceramics such as PZT, PT or bismuth layer compound. First vibrating electrode 201
Is provided on one surface in the thickness direction of the piezoelectric substrate 200, one end is led out to one end surface on one end side in the length direction of the piezoelectric substrate 200, and the other end ends in the middle of the length direction of the piezoelectric substrate 200. ing.
【００１９】第２の振動電極２０２は、圧電基板２００
の厚さ方向の他面に設けられ、一端が圧電基板２００の
長さ方向の他端側にある他側端面に導出され、他端が圧
電基板２００の長さ方向の中間で終わっている。The second vibrating electrode 202 is connected to the piezoelectric substrate 200
Is provided on the other surface in the thickness direction, and one end is led out to the other end surface on the other end side in the length direction of the piezoelectric substrate 200, and the other end ends in the middle of the length direction of the piezoelectric substrate 200.
【００２０】圧電基板２００は、一例であるが、第１の
振動電極２０１及び第２の振動電極２０２の間に電圧が
印加されたとき、厚み辷り振動を行うように分極されて
いる。The piezoelectric substrate 200 is, by way of example, polarized so that when a voltage is applied between the first vibrating electrode 201 and the second vibrating electrode 202, a thickness-shear vibration occurs.
【００２１】キャップ３は、圧電振動子２０で構成され
る回路機能素子２を包囲して、ベース板１の一面上に搭
載され、回路機能素子２の周りに気密空間を形成する。
キャップ３は、アルミナ、フォルステライト等の硬質セ
ラミックススでなる。The cap 3 surrounds the circuit function element 2 composed of the piezoelectric vibrator 20 and is mounted on one surface of the base plate 1 to form an airtight space around the circuit function element 2.
The cap 3 is made of hard ceramics such as alumina and forsterite.
【００２２】キャップ３及びベース板１は、搭載領域１
０１の周りで、凹凸嵌合をする。実施例において、ベー
ス板１が、搭載領域１０１の周りに、凸部１０２を有す
る構造に対応して、キャップ３は、凸部１０２と対応す
る開口部の端面に、凹部３１を有する。キャップ３及び
ベース板１の凹凸嵌合は、ベース板１の凸部１０２及び
キャップ３の凹部３１の嵌合によって達成される。凹部
３１は、凸部１０２の斜面に対応する斜面を有する。斜
面の角度α２は、ベース板１の凸部１０２の斜面の角度
α１と同一になるように設定する（図３参照）。実施例
の場合、ベース板１の凸部１０２の外周側斜面と、キャ
ップ３の凹部の内側斜面とが重なる。The cap 3 and the base plate 1
Around the 01, the concave and convex fit. In the embodiment, the cap 3 has the concave portion 31 on the end face of the opening corresponding to the convex portion 102, corresponding to the structure in which the base plate 1 has the convex portion 102 around the mounting area 101. The concave-convex fitting of the cap 3 and the base plate 1 is achieved by fitting the convex portion 102 of the base plate 1 and the concave portion 31 of the cap 3. The recess 31 has a slope corresponding to the slope of the projection 102. The angle α2 of the slope is set to be the same as the angle α1 of the slope of the projection 102 of the base plate 1 (see FIG. 3). In the case of the embodiment, the outer peripheral side slope of the convex portion 102 of the base plate 1 and the inner side slope of the concave portion of the cap 3 overlap.
【００２３】また、実施例の場合、ベース板１は、搭載
領域１０１の全周に、凸部１０２を有しているので、キ
ャップ３の凹部３１も、開口端面の全周に設けてある。
従って、凹凸嵌合をする部分は、搭載領域１０１の全周
に設けられている。凸部１０２及び凹部３１の凹凸嵌合
部分は、封止樹脂（接着剤）８によって封止されてい
る。Further, in the case of the embodiment, since the base plate 1 has the convex portion 102 on the entire circumference of the mounting area 101, the concave portion 31 of the cap 3 is also provided on the entire circumference of the opening end face.
Therefore, the portion for fitting the unevenness is provided on the entire periphery of the mounting area 101. The convex and concave fitting portions of the convex portion 102 and the concave portion 31 are sealed with a sealing resin (adhesive) 8.
【００２４】図４の電気回路において、圧電振動子２０
の両端を端子１１、１３に接続した回路構成となる。In the electric circuit shown in FIG.
Is connected to terminals 11 and 13 in a circuit configuration.
【００２５】上述したように、本発明に係る圧電振動部
品において、ベース板１は、一面に搭載領域１０１を有
しており、回路機能素子２は搭載領域１０１内において
ベース板１に搭載されており、キャップ３は回路機能素
子２を包囲して、ベース板１の一面上に搭載され回路機
能素子２の周りに気密空間を形成する。従って、キャッ
プ３の形成する気密空間によって、圧電振動子を含む回
路機能素子２を、外力および環境条件から保護すること
ができる。As described above, in the piezoelectric vibration component according to the present invention, the base plate 1 has the mounting area 101 on one surface, and the circuit functional element 2 is mounted on the base plate 1 in the mounting area 101. The cap 3 surrounds the circuit function element 2 and is mounted on one surface of the base plate 1 to form an airtight space around the circuit function element 2. Therefore, the circuit functional element 2 including the piezoelectric vibrator can be protected from external force and environmental conditions by the airtight space formed by the cap 3.
【００２６】しかも、図示実施例の圧電振動部品におい
て、キャップ３及びベース板１は、搭載領域１０１の周
りで、凸部１０２及び凹部３１によって、凹凸嵌合をす
るから、ベース板１に対するキャップ３の接合領域を、
機械的な凹凸嵌合によって確定し、キャップ３の機械的
位置ずれをなくすことができる。このため、ベース板１
に対するキャップ３の搭載精度が極めて高くなり、圧電
振動子を含む回路機能素子２にキャップ３の内壁が接触
する等の不具合をなくすことができる。In addition, in the piezoelectric vibrating component of the illustrated embodiment, the cap 3 and the base plate 1 are fitted around the mounting area 101 by the projections 102 and the recesses 31 so that the cap 3 and the base plate 1 fit together. The joining area of
It is determined by mechanical asperity fitting, and the mechanical displacement of the cap 3 can be eliminated. Therefore, the base plate 1
Therefore, the mounting accuracy of the cap 3 with respect to the piezoelectric vibrator becomes extremely high, and it is possible to eliminate problems such as the inner wall of the cap 3 coming into contact with the circuit functional element 2 including the piezoelectric vibrator.
【００２７】更に、ベース板１に対して、キャップ３を
封止樹脂８によって接合する構造において、凹凸嵌合す
る凸部１０２及び凹部３１により、封止樹脂８が回路機
能素子２に付着するのを阻止できる。このため、封止樹
脂８の付着による振動特性の悪化の問題も回避できる。
従って、キャップ３の接合領域を狭く設定し、製品を小
型化し、また、製造歩留を向上させることができる。Further, in the structure in which the cap 3 is joined to the base plate 1 by the sealing resin 8, the sealing resin 8 adheres to the circuit functional element 2 by the projections 102 and the recesses 31 which are fitted into and recessed. Can be blocked. For this reason, the problem of deterioration of the vibration characteristics due to the adhesion of the sealing resin 8 can also be avoided.
Therefore, the joining region of the cap 3 can be set narrow, the product can be downsized, and the manufacturing yield can be improved.
【００２８】実施例において、ベース板１は、搭載領域
１０１の周りに、凸部１０２を有しており、キャップ３
は、凸部１０２と対応する位置に、凹部３１を有してお
り、ベース板１の凸部１０２及びキャップ３の凹部３１
が嵌合するから、凸部１０２及び凹部３１によるセルフ
アライメント効果が得られる。このため、外圧が働いて
も、凸部１０２及び凹部３１のセルフアライメント効果
により、位置ずれが起らない。凹凸嵌合する部分は、搭
載領域１０１の全周に設けられているから、搭載領域１
０１の全周において、気密封止効果及びセルフアライメ
ント効果が得られる。実施例とは異なって、キャップ３
に凸部を設け、ベース板１に、前記凸部と凹凸嵌合する
凹部を設けてもよい。In the embodiment, the base plate 1 has a projection 102 around the mounting area 101 and the cap 3
Has a concave portion 31 at a position corresponding to the convex portion 102, and has a concave portion 31 of the base plate 1 and a concave portion 31 of the cap 3.
Are fitted, a self-alignment effect by the convex portion 102 and the concave portion 31 can be obtained. For this reason, even if an external pressure acts, no displacement occurs due to the self-alignment effect of the convex portion 102 and the concave portion 31. Since the portion to be fitted into the concave and convex portions is provided all around the mounting area 101, the mounting area 1
01, an airtight sealing effect and a self-alignment effect can be obtained. Unlike the embodiment, the cap 3
The base plate 1 may be provided with a convex portion, and the base plate 1 may be provided with a concave portion that is fitted into the convex portion.
【００２９】図５は本発明に係る圧電振動部品の別の実
施例を示す断面図である。図において、図１、３に現れ
た構成部分と同一の構成部分については、同一の参照符
号を付してある。この実施例では、ベース板１及びキャ
ップ３は、ベース板１の凸部１０２の内周側斜面と、キ
ャップ３の凹部３１の外周側斜面とが重なるような関係
で、凹凸嵌合する。この実施例の場合も、図１〜図４に
示した実施例と同様の作用効果を奏する。FIG. 5 is a sectional view showing another embodiment of the piezoelectric vibration component according to the present invention. In the drawings, the same components as those shown in FIGS. 1 and 3 are denoted by the same reference numerals. In this embodiment, the base plate 1 and the cap 3 are fitted in an uneven manner such that the inner peripheral slope of the convex portion 102 of the base plate 1 and the outer peripheral slope of the concave portion 31 of the cap 3 overlap. In this embodiment, the same operation and effect as those of the embodiment shown in FIGS.
【００３０】図６は本発明に係る圧電振動部品の更に別
の実施例を示す分解斜視図、図７は図６に示した圧電振
動部品の組立状態における断面図、図８は図６、７に示
した圧電振動部品の電気回路図である。図において、図
１、３に現れた構成部分と同一の構成部分については、
同一の参照符号を付してある。FIG. 6 is an exploded perspective view showing another embodiment of the piezoelectric vibrating component according to the present invention, FIG. 7 is a sectional view of the piezoelectric vibrating component shown in FIG. 6 in an assembled state, and FIG. 8 is FIGS. FIG. 3 is an electric circuit diagram of the piezoelectric vibration component shown in FIG. In the figure, the same components as those shown in FIGS.
The same reference numerals are given.
【００３１】実施例に示されたベース板１は、一面に凹
部による搭載領域１０１を有する。搭載領域１０１は容
量素子２１の位置決めの働きをするので、搭載領域１０
１の形状及び深さは、容量素子２１の平面形状及び厚み
等を考慮して定められる。搭載領域１０１の深さは、位
置決めの機能を果たすために、最低０．１ｍｍは必要で
ある。また、位置決めの対象となる容量素子２１は、最
大厚さが０．６ｍｍ程度であり、搭載領域１０１へのメ
タライズの容易さを考慮すると、その深さは、最大０．
５ｍｍである。図示はしていないが、搭載領域１０１の
内周面は、素子挿入の容易さ、メタライズの信頼性向上
等の観点から、全周もしくは一部分にテーパー部を設け
てもよい。The base plate 1 shown in the embodiment has a mounting area 101 formed by a concave portion on one surface. Since the mounting area 101 functions to position the capacitive element 21, the mounting area 10
The shape and depth of 1 are determined in consideration of the planar shape and the thickness of the capacitive element 21 and the like. The depth of the mounting area 101 needs to be at least 0.1 mm in order to perform the positioning function. Further, the maximum thickness of the capacitive element 21 to be positioned is about 0.6 mm, and considering the ease of metallizing on the mounting area 101, the maximum depth is 0.1 mm.
5 mm. Although not shown, the inner peripheral surface of the mounting area 101 may be provided with a tapered portion all around or partly from the viewpoint of easy element insertion, improved reliability of metallization, and the like.
【００３２】凹部による搭載領域１０１の周囲には、凸
部１０２がリング状に設けられている。凸部１０２が不
連続であってもよいことは既に述べた通りである。A convex portion 102 is provided in a ring shape around the mounting region 101 formed by the concave portion. As described above, the protrusion 102 may be discontinuous.
【００３３】キャップ３及びベース板１は、搭載領域１
０１の周りで、凹凸嵌合をする。キャップ３及びベース
板１の凹凸嵌合は、ベース板１の凸部１０２及びキャッ
プ３の凹部３１の嵌合によって達成される。この凹凸嵌
合により、図１〜図５に示した実施例と同様の作用効果
が得られる。The cap 3 and the base plate 1
Around the 01, the concave and convex fit. The concave-convex fitting of the cap 3 and the base plate 1 is achieved by fitting the convex portion 102 of the base plate 1 and the concave portion 31 of the cap 3. By this concave-convex fitting, the same operation and effect as those of the embodiment shown in FIGS. 1 to 5 can be obtained.
【００３４】更に、ベース板１は端子電極１１〜１３を
有する。端子電極１１〜１３は、互いに間隔を隔て、ベ
ース板１の搭載領域１０１の内面、側面及び裏面を経
て、ベース板１を１周するように形成されている。搭載
領域１０１の内面には、端子電極１１〜１３の一部であ
る接続部（メタライズ部）１１０〜１３０が付着されて
いる。上述したような接続部１１０〜１３０を含む端子
電極１１〜１３は、搭載領域１０１が浅い場合は、スク
リーン印刷法を適用して形成することができ、搭載領域
１０１が深い場合は、蒸着、スパッタリング等の方法を
適宜組合わせて形成することができる。Further, the base plate 1 has terminal electrodes 11 to 13. The terminal electrodes 11 to 13 are formed so as to make a round around the base plate 1 via the inner surface, the side surface, and the back surface of the mounting area 101 of the base plate 1 at intervals. Connection portions (metallized portions) 110 to 130 that are a part of the terminal electrodes 11 to 13 are attached to the inner surface of the mounting area 101. The terminal electrodes 11 to 13 including the connection portions 110 to 130 as described above can be formed by applying a screen printing method when the mounting area 101 is shallow, and when the mounting area 101 is deep, deposition and sputtering are performed. And the like can be appropriately combined.
【００３５】回路機能素子２は、圧電振動子２０と、容
量素子２１とを含む。圧電振動子２０は、圧電基板２０
０と、第１の振動電極２０１と、第２の振動電極２０２
とを含んでいる。圧電基板２００は、ＰＺＴ、ＰＴある
いは、ビスマスレイヤー化合物等の非鉛圧電セラミック
ス等からなる。第１の振動電極２０１は、圧電基板２０
０の厚さ方向の一面に設けられ、一端が圧電基板２００
の長さ方向の一端側にある一側端面に導出され、他端が
圧電基板２００の長さ方向の中間で終わっている。The circuit function element 2 includes a piezoelectric vibrator 20 and a capacitance element 21. The piezoelectric vibrator 20 includes a piezoelectric substrate 20
0, the first vibrating electrode 201, and the second vibrating electrode 202
And The piezoelectric substrate 200 is made of a lead-free piezoelectric ceramic such as PZT, PT, or a bismuth layer compound. The first vibration electrode 201 is provided on the piezoelectric substrate 20.
0 is provided on one surface in the thickness direction, and one end of the piezoelectric substrate 200
Is drawn out to one end surface at one end side in the length direction, and the other end ends in the middle of the length direction of the piezoelectric substrate 200.
【００３６】第２の振動電極２０２は、圧電基板２００
の厚さ方向の他面に設けられ、一端が圧電基板２００の
長さ方向の他端側にある他側端面に導出され、他端が圧
電基板２００の長さ方向の中間で終わっている。The second vibrating electrode 202 is connected to the piezoelectric substrate 200
Is provided on the other surface in the thickness direction, and one end is led out to the other end surface on the other end side in the length direction of the piezoelectric substrate 200, and the other end ends in the middle of the length direction of the piezoelectric substrate 200.
【００３７】圧電基板２００は、第１の振動電極２０１
及び第２の振動電極２０２の間に電圧が印加されたと
き、厚み辷り振動を行うように分極されている。The piezoelectric substrate 200 includes a first vibrating electrode 201
When a voltage is applied between the second vibrating electrode 202 and the second vibrating electrode 202, it is polarized to perform thickness-shear vibration.
【００３８】図示実施例では、圧電振動子２０は、第１
のダミー電極６１及び第２のダミー電極６２を含んでい
る。第１のダミー電極６１は、圧電基板２００の厚さ方
向の他面において、圧電基板２００の長さ方向の他端側
に設けられ、第１の振動電極２０１と間隔を隔ててい
る。第２のダミー電極６２は、圧電基板２００の厚さ方
向の一面において、圧電基板２００の長さ方向の一端側
に設けられている。第１及び第２のダミー電極６１、６
２は、振動に影響のない範囲に設ける。In the illustrated embodiment, the piezoelectric vibrator 20 includes the first
, And a second dummy electrode 62. The first dummy electrode 61 is provided at the other end in the length direction of the piezoelectric substrate 200 on the other surface in the thickness direction of the piezoelectric substrate 200, and is spaced from the first vibration electrode 201. The second dummy electrode 62 is provided on one end in the length direction of the piezoelectric substrate 200 on one surface in the thickness direction of the piezoelectric substrate 200. First and second dummy electrodes 61, 6
2 is provided in a range that does not affect the vibration.
【００３９】容量素子２１は、同一の誘電体基板２１０
による少なくとも２つの容量Ｃ１、Ｃ２（図４参照）を
有する。誘電体基板２１０は、例えば、BaTiO3、SrTi
O3、PZT等の通常の誘電体からなる。The capacitive element 21 has the same dielectric substrate 210
Has at least two capacitors C1 and C2 (see FIG. 4). The dielectric substrate 210 is made of, for example, BaTiO 3 , SrTi
It is made of a normal dielectric material such as O 3 or PZT.
【００４０】２つの容量Ｃ１、Ｃ２は、誘電体基板２１
０の一面及び他面に設けられた複数の容量電極２１１〜
２１３によって取得される。図示実施例において、容量
電極は、第１の容量電極２１１と、第２の容量電極２１
２と、第３の容量電極２１３とを含んでいる。第１の容
量電極２１１は、誘電体基板２１０の厚さ方向の一面に
設けられ、一端が誘電体基板２１０の長さ方向の一端側
にある一側端面に導出され、他端が誘電体基板２１０の
長さ方向の中間で終わっている。The two capacitors C1 and C2 are connected to the dielectric substrate 21
0, a plurality of capacitance electrodes 211 to 211 provided on one surface and the other surface.
213. In the illustrated embodiment, the capacitance electrodes are a first capacitance electrode 211 and a second capacitance electrode 21.
2 and a third capacitor electrode 213. The first capacitor electrode 211 is provided on one surface in the thickness direction of the dielectric substrate 210, one end is led out to one end surface on one end side in the length direction of the dielectric substrate 210, and the other end is formed on the dielectric substrate 210. 210 ends in the middle of the length direction.
【００４１】第２の容量電極２１２は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の一面に設けられ、一端が誘電体基板２１
０の長さ方向の他端側にある他側端面に導出され、他端
が誘電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。The second capacitor electrode 212 is connected to the dielectric substrate 21
0 is provided on one surface in the thickness direction, and one end is provided on the dielectric substrate 21.
0 is led out to the other end face on the other end side in the length direction, and the other end ends in the middle of the length direction of the dielectric substrate 210.
【００４２】第３の容量電極２１３は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の他面に設けられ、第１及び第２の容量電
極２１１、２１２に共通に対向し、長さ方向の両端が誘
電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。The third capacitance electrode 213 is connected to the dielectric substrate 21
The second substrate is provided on the other surface in the thickness direction of 0, faces the first and second capacitor electrodes 211 and 212 in common, and ends at both ends in the length direction in the middle of the length direction of the dielectric substrate 210.
【００４３】図示実施例の容量素子２１は、更に、第３
のダミー電極６３及び第４のダミー電極６４を含んでい
る。第３及び第４のダミー電極６３、６４は、誘電体基
板２１０の厚さ方向の他面側において、その長さ方向の
両端に備えられている。第３及び第４のダミー電極６
３、６４の大きさ、形状または位置等は、第３及び第４
のダミー電極６３、６４と第３の容量電極２１３との間
に生じる浮遊容量が、取得されるべき容量に与える影響
を考慮して定める。The capacitive element 21 of the illustrated embodiment further includes a third
, And a fourth dummy electrode 64. The third and fourth dummy electrodes 63 and 64 are provided on the other surface in the thickness direction of the dielectric substrate 210 and at both ends in the length direction. Third and fourth dummy electrodes 6
The size, shape or position of 3, 64 is the third and fourth.
The stray capacitance generated between the dummy electrodes 63 and 64 and the third capacitance electrode 213 determines the influence on the capacitance to be obtained.
【００４４】容量素子２１を構成する誘電体基板２１０
は、圧電振動子２０を構成する圧電基板２０と長さがほ
ぼ同じであって、誘電体基板２１０及び圧電基板２０
は、長さ方向の両端を揃え、互いの厚さ方向の一面が、
圧電振動子２０の振動に必要な隙間を有して対向するよ
うに、互いに積層されている。Dielectric substrate 210 constituting capacitive element 21
Are substantially the same in length as the piezoelectric substrate 20 forming the piezoelectric vibrator 20, and have a dielectric substrate 210 and a piezoelectric substrate 20.
Are aligned at both ends in the length direction, and one surface in the thickness direction is
The piezoelectric vibrators 20 are stacked so as to face each other with a gap required for vibration of the piezoelectric vibrators 20.
【００４５】実施例に示された圧電振動部品は、更に、
第１乃至第４の補強層４１〜４４を含んでいる。補強層
４１〜４４は、導電接着剤でも絶縁接着剤でもよい。第
１の補強層４１は、圧電基板２００の厚さ方向の他面上
において、圧電基板２００の長さ方向の一端側に備えら
れ、一端が圧電基板２００の長さ方向の一側端面に導出
されている。図示実施例において、第１の補強層４１は
第１の振動電極２０１の上に設けられている。The piezoelectric vibrating component shown in the embodiment further includes:
The first to fourth reinforcing layers 41 to 44 are included. The reinforcing layers 41 to 44 may be a conductive adhesive or an insulating adhesive. The first reinforcing layer 41 is provided at one end in the length direction of the piezoelectric substrate 200 on the other surface in the thickness direction of the piezoelectric substrate 200, and one end is led out to one end surface in the length direction of the piezoelectric substrate 200. Have been. In the illustrated embodiment, the first reinforcing layer 41 is provided on the first vibration electrode 201.
【００４６】第２の補強層４２は、圧電基板２００の厚
さ方向の他面上において、圧電基板２００の長さ方向の
他端側（第１の補強層４１とは反対側）に設けられ、一
端が圧電基板２００の長さ方向の他側端面に導出されて
いる。図示実施例において、第２の補強層４２は、第１
のダミー電極６１に設けられている。The second reinforcement layer 42 is provided on the other surface of the piezoelectric substrate 200 in the thickness direction at the other end in the longitudinal direction of the piezoelectric substrate 200 (the side opposite to the first reinforcement layer 41). , One end is led out to the other end face in the length direction of the piezoelectric substrate 200. In the illustrated embodiment, the second reinforcing layer 42 includes the first reinforcing layer 42.
Is provided on the dummy electrode 61.
【００４７】第３の補強層４３は、容量素子２１の厚さ
方向の他面上において、容量素子２１の長さ方向の一端
側に設けられ、一端が容量素子２１の長さ方向の一側端
面に導出されている。The third reinforcing layer 43 is provided at one end in the longitudinal direction of the capacitive element 21 on the other surface in the thickness direction of the capacitive element 21, and has one end on one side in the longitudinal direction of the capacitive element 21. It is led to the end face.
【００４８】第４の補強層４４は、誘電体基板２１０の
厚さ方向の他面上において、誘電体基板２１０の長さ方
向の他端側に設けられ、一端が容量素子２１の長さ方向
の他側端面に導出されている。実施例において、第３の
補強層４３は、第３のダミー電極６３上に設けられてお
り、第４の補強層４４は、第４のダミー電極６４上に設
けられている。The fourth reinforcing layer 44 is provided on the other surface in the thickness direction of the dielectric substrate 210 at the other end in the length direction of the dielectric substrate 210 and has one end in the length direction of the capacitive element 21. To the other side end face. In the embodiment, the third reinforcing layer 43 is provided on the third dummy electrode 63, and the fourth reinforcing layer 44 is provided on the fourth dummy electrode 64.
【００４９】また、実施例に示された圧電振動部品は、
第１の端部電極５１と、第２の端部電極５２とを含んで
いる。第１の端部電極５１は、圧電基板２００及び誘電
体基板２１０の長さ方向の一側端面に付着され、両端が
第１の補強層４１及び第３の補強層４３に付着されてい
る。第２の端部電極５２は、圧電基板２００及び誘電体
基板２１０の長さ方向の他側端面に付着され、両端が第
２の補強層４２及び第４の補強層４４に付着されてい
る。第１及び第２の端部電極５１、５２は、蒸着、スパ
ッタリング等の薄膜法あるいは、導電接着剤の塗布、印
刷等の手法で形成することができる。またこれらを適切
に組合わせてもよい。さらに、各電極の端面への露出を
確実にするため、バレル研磨を施してから、第１及び第
２の端部電極５１、５２を形成してもよい。The piezoelectric vibrating component shown in the embodiment is
It includes a first end electrode 51 and a second end electrode 52. The first end electrode 51 is attached to one longitudinal end surface of the piezoelectric substrate 200 and the dielectric substrate 210, and both ends are attached to the first reinforcing layer 41 and the third reinforcing layer 43. The second end electrode 52 is attached to the other end surface of the piezoelectric substrate 200 and the dielectric substrate 210 in the longitudinal direction, and both ends are attached to the second reinforcing layer 42 and the fourth reinforcing layer 44. The first and second end electrodes 51 and 52 can be formed by a thin film method such as vapor deposition and sputtering, or a method such as application and printing of a conductive adhesive. These may be appropriately combined. Further, in order to ensure that each electrode is exposed to the end face, the first and second end electrodes 51 and 52 may be formed after barrel polishing.
【００５０】積層組立状態では、圧電振動子２０の圧電
基板２００に設けられた第２のダミー電極６２が、容量
素子２１の誘電体基板２１０に設けられた容量電極２１
１と、第１の導電性接着剤７１によって接続され、圧電
振動子２０の第２の振動電極２０２が第２の容量電極２
１２と第２の導電性接着剤７２によって接着されてい
る。In the stacked assembly state, the second dummy electrode 62 provided on the piezoelectric substrate 200 of the piezoelectric vibrator 20 is connected to the capacitor electrode 21 provided on the dielectric substrate 210 of the capacitor 21.
1 and the first conductive adhesive 71, and the second vibrating electrode 202 of the piezoelectric vibrator 20 is connected to the second capacitive electrode 2.
12 and a second conductive adhesive 72.
【００５１】回路機能素子２は、ベース板１の搭載領域
１０１内に位置決めされ、端子電極１１〜１３によって
ベース板１に電気的機械的に接続されている。図示実施
例では、容量素子２１が搭載領域１０１の内部に挿入さ
れる。そして、端部電極５１が第１の端子電極１１の接
続部１１０に導電性接着剤による接着またははんだ付け
等の手段２８０によって接続固定され、端部電極５２が
第３の端子電極１３の接続部１３０に導電性接着剤によ
る接着またははんだ付け等の手段２８０によって接続固
定される。第２の端子導体１２には、容量素子２１の第
３の容量電極２１３が、導電性接着剤による接着または
はんだ付け等の手段２８０によって接続固定される。容
量素子２１は、厚みが０．６ｍｍ程度であり、搭載領域
１０１は、その深さが、搭載領域１０１内に入る容量素
子２１の厚さよりも小さい値、例えば、０．１〜０．５
ｍｍである。The circuit functional element 2 is positioned in the mounting area 101 of the base plate 1 and is electrically and mechanically connected to the base plate 1 by terminal electrodes 11 to 13. In the illustrated embodiment, the capacitive element 21 is inserted inside the mounting area 101. Then, the end electrode 51 is connected and fixed to the connection portion 110 of the first terminal electrode 11 by means 280 such as bonding or soldering with a conductive adhesive, and the end electrode 52 is connected to the connection portion of the third terminal electrode 13. 130 is connected and fixed by means 280 such as bonding with a conductive adhesive or soldering. The third capacitor electrode 213 of the capacitor element 21 is connected and fixed to the second terminal conductor 12 by means 280 such as bonding with a conductive adhesive or soldering. The capacitance element 21 has a thickness of about 0.6 mm, and the depth of the mounting area 101 is smaller than the thickness of the capacitance element 21 entering the mounting area 101, for example, 0.1 to 0.5.
mm.
【００５２】キャップ３は、圧電振動子２０、及び、容
量素子２１を覆い、周辺がベース板１に、接着剤を用い
て接合される。これにより、圧電振動子２０、及び、容
量素子２１のある内部空間の気密が保たれる。The cap 3 covers the piezoelectric vibrator 20 and the capacitive element 21, and its periphery is joined to the base plate 1 using an adhesive. Thereby, the airtightness of the internal space where the piezoelectric vibrator 20 and the capacitive element 21 are provided is maintained.
【００５３】図８の電気回路において、圧電振動子２０
の両端を端子１１、１３に接続するとともに、圧電振動
子２０の両端に、容量素子２１を構成する容量Ｃ１、及
び、容量Ｃ２の一端を接続し、容量Ｃ１、Ｃ２の他端
を、接地端子１２に共通に接続した回路構成となる。In the electric circuit shown in FIG.
Are connected to terminals 11 and 13, one end of a capacitor C1 and one end of a capacitor C2 constituting the capacitive element 21 are connected to both ends of the piezoelectric vibrator 20, and the other ends of the capacitors C1 and C2 are connected to ground terminals. 12 are connected in common.
【００５４】図６〜図８に図示された圧電振動部品にお
いて、圧電振動子２０の圧電基板２００及び容量素子２
１の誘電体基板２１０は、長さがほぼ同じであって、長
さ方向の両端を揃え、互いの厚さ方向の一面が、圧電振
動子２０の振動に必要な隙間を有して対向するように、
互いに積層されて回路機能素子２を構成している。この
回路機能素子２はベース板１に位置決めされ、端子電極
１１〜１３によって、ベース板１に電気的機械的に接続
されている。この構造によれば、ベース板１に設けられ
た端子電極１１〜１３を、回路基板の導体パターンには
んだ付け等によって接続固定できるので、平面実装の可
能な圧電振動部品を提供できる。In the piezoelectric vibrating parts shown in FIGS. 6 to 8, the piezoelectric substrate 200 of the piezoelectric vibrator 20 and the capacitive element 2
The one dielectric substrate 210 has substantially the same length, the both ends in the length direction are aligned, and one surface in the thickness direction faces each other with a gap required for the vibration of the piezoelectric vibrator 20. like,
The circuit functional element 2 is formed by being laminated on each other. The circuit function element 2 is positioned on the base plate 1 and is electrically and mechanically connected to the base plate 1 by terminal electrodes 11 to 13. According to this structure, since the terminal electrodes 11 to 13 provided on the base plate 1 can be connected and fixed to the conductor pattern of the circuit board by soldering or the like, a piezoelectric vibration component that can be mounted on a plane can be provided.
【００５５】ベース板１は、一面に搭載領域１０１を有
しており、回路機能素子２はベース板１の搭載領域１０
１内に位置決めされているから、搭載領域１０１によっ
て、ベース板１に対する回路機能素子２の搭載接合領域
を確定し、機械的位置ずれをなくすことができる。この
ため、ベース板１に対する回路機能素子２の搭載精度が
極めて高くなり、封止用のキャップ３を接着したとき、
回路機能素子２に含まれる圧電振動子２０にキャップ３
の内壁が接触することがなくなる。The base plate 1 has a mounting area 101 on one surface, and the circuit functional element 2 is mounted on the mounting area 10 of the base plate 1.
1, the mounting area of the circuit functional element 2 with respect to the base plate 1 is determined by the mounting area 101, and mechanical displacement can be eliminated. For this reason, the mounting accuracy of the circuit functional element 2 on the base plate 1 becomes extremely high, and when the sealing cap 3 is bonded,
Cap 3 is attached to piezoelectric vibrator 20 included in circuit functional element 2.
The inner wall of the car will not contact.
【００５６】また、封止樹脂８が回路機能素子２に付着
することもなくなるので、封止樹脂８の付着による振動
特性の悪化の問題も回避できる。従って、キャップ３の
接合領域を狭く設定し、製品を小型化し、また、製造歩
留を向上させることができる。Further, since the sealing resin 8 does not adhere to the circuit functional element 2, the problem of deterioration of vibration characteristics due to the adhesion of the sealing resin 8 can be avoided. Therefore, the joining region of the cap 3 can be set narrow, the product can be downsized, and the manufacturing yield can be improved.
【００５７】ベース板１は、全体として平板状であっ
て、その一面に設けられた搭載領域１０１は、その深さ
が搭載領域１０１内に入る圧電振動子２０または容量素
子２１の厚さよりも小さい。これは、搭載領域１０１が
極めて浅いことを意味する。具体的には、搭載領域１０
１の深さは０．１〜０．５ｍｍ程度の浅いものとなる。
このため、端子電極１１〜１３の形成に当たって、搭載
領域１０１の内部へのメタライズも容易である。The base plate 1 has a flat plate shape as a whole, and the mounting area 101 provided on one surface thereof has a depth smaller than the thickness of the piezoelectric vibrator 20 or the capacitive element 21 entering the mounting area 101. . This means that the mounting area 101 is extremely shallow. Specifically, the mounting area 10
The depth of 1 is as shallow as about 0.1 to 0.5 mm.
Therefore, when forming the terminal electrodes 11 to 13, metallization inside the mounting area 101 is also easy.
【００５８】更に、圧電振動子２０と容量素子２１とを
積層した回路機能素子２を、アルミナ等でなるベース板
１に搭載できるので、誘電体でなるベ一ス板より、プリ
ント基板実装時の耐基板曲げ性が格段に向上する。Further, the circuit functional element 2 in which the piezoelectric vibrator 20 and the capacitive element 21 are laminated can be mounted on the base plate 1 made of alumina or the like. Substrate bending resistance is significantly improved.
【００５９】更に、図示実施例の圧電振動部品は、第１
乃至第４の補強層４１〜４４を含んでいる。第１の補強
層４１は、圧電基板２００の厚さ方向の他面上におい
て、圧電基板２００の長さ方向の一端側に備えられ、一
端が圧電基板２００の長さ方向の一側端面に導出されて
いる。第３の補強層４３は誘電体基板２１０の厚さ方向
の他面上において、誘電体基板２１０の長さ方向の一端
側に設けられ、一端が誘電体基板２１０の長さ方向の一
側端面に導出されている。従って、圧電基板２００及び
誘電体基板２１０の両者において、互いに揃えられた長
さ方向の一側端面に第１の端部電極５１を付与し、この
第１の端部電極５１の両端を、第１及び第３の補強層４
１、４３に接続することができる。Further, the piezoelectric vibrating component of the embodiment shown in FIG.
To the fourth reinforcing layers 41 to 44. The first reinforcing layer 41 is provided at one end in the length direction of the piezoelectric substrate 200 on the other surface in the thickness direction of the piezoelectric substrate 200, and one end is led out to one end surface in the length direction of the piezoelectric substrate 200. Have been. The third reinforcing layer 43 is provided at one end in the length direction of the dielectric substrate 210 on the other surface in the thickness direction of the dielectric substrate 210, and one end is located at one end surface in the length direction of the dielectric substrate 210. Is derived. Therefore, in both the piezoelectric substrate 200 and the dielectric substrate 210, the first end electrode 51 is provided on one end surface in the longitudinal direction aligned with each other, and both ends of the first end electrode 51 are First and third reinforcing layers 4
1, 43 can be connected.
【００６０】圧電基板２００及び誘電体基板２１０の稜
角部は、第１及び第３の補強層４１、４３の膜厚と、第
１の端部電極５１との接合になるから、圧電基板２００
及び誘電体基板２１０の稜角部において、電極膜が薄く
なることがない。特に、第１及び第３の補強層４１、４
３が導電性を有する場合は、第１の端部電極５１と接続
する導電部分の膜厚が、第１及び第３の補強層４１、４
３によって増大するから、接続部分の電気的接続の信頼
性が、一層向上する。Since the corners of the piezoelectric substrate 200 and the dielectric substrate 210 are joined to the thicknesses of the first and third reinforcing layers 41 and 43 and the first end electrode 51, the piezoelectric substrate 200
In addition, the electrode film does not become thin at the corners of the dielectric substrate 210. In particular, the first and third reinforcing layers 41, 4
3 has conductivity, the thickness of the conductive portion connected to the first end electrode 51 is limited to the first and third reinforcing layers 41, 4.
3, the reliability of the electrical connection at the connection portion is further improved.
【００６１】しかも、第１及び第３の補強層４１、４３
があるから、圧電基板２００や誘電体基板２１０の稜角
部に破損等を生じることがない。このため、第１の端部
電極５１の電気的導通の信頼性が極めて高くなる。Moreover, the first and third reinforcing layers 41, 43
Therefore, breakage or the like does not occur at the corners of the piezoelectric substrate 200 or the dielectric substrate 210. For this reason, the reliability of the electrical conduction of the first end electrode 51 becomes extremely high.
【００６２】更に、第１の端部電極５１は、圧電基板２
００及び誘電体基板２１０の長さ方向の一側端面に付着
されるものであって、最外側層となるから、個々の圧電
振動部品に分割する直前、または、分割後に付与でき
る。より具体的には、第１の端部電極５１は、研磨工程
の後に付与することができる。このため、製造プロセス
において、第１の端部電極５１が損傷を受けるのを、回
避することができる。Further, the first end electrode 51 is connected to the piezoelectric substrate 2.
Since it is attached to one end face in the length direction of the dielectric substrate 210 and the dielectric substrate 210 and is an outermost layer, it can be applied immediately before or after being divided into individual piezoelectric vibration components. More specifically, the first end electrode 51 can be applied after the polishing step. Therefore, it is possible to prevent the first end electrode 51 from being damaged in the manufacturing process.
【００６３】次に、第２の補強層４２は、圧電基板２０
０の厚さ方向の他面上において、圧電基板２００の長さ
方向の他端側に設けられ、一端が圧電基板２００の長さ
方向の他側端面に導出されている。第４の補強層４４は
誘電体基板２１０の厚さ方向の他面上において、誘電体
基板２１０の長さ方向の他端側に設けられ、一端が誘電
体基板２１０の長さ方向の他側端面に導出されている。
第２の端部電極５２は、圧電基板２００及び誘電体基板
２１０の長さ方向の他側端面に付着され、両端が第２の
補強層４２及び第４の補強層４４に付着されている。Next, the second reinforcing layer 42 is formed on the piezoelectric substrate 20.
On the other surface in the thickness direction of 0, it is provided at the other end in the length direction of the piezoelectric substrate 200, and one end is led out to the other end surface in the length direction of the piezoelectric substrate 200. The fourth reinforcement layer 44 is provided on the other surface in the thickness direction of the dielectric substrate 210 on the other end side in the length direction of the dielectric substrate 210, and one end is provided on the other side in the length direction of the dielectric substrate 210. It is led to the end face.
The second end electrode 52 is attached to the other end surface of the piezoelectric substrate 200 and the dielectric substrate 210 in the longitudinal direction, and both ends are attached to the second reinforcing layer 42 and the fourth reinforcing layer 44.
【００６４】第２の端部電極５２と、第２及び第４の補
強層４２、４４との関係は、第１の端部電極５１と、第
１の補強層４１及び第３の補強層４３との関係と同じで
ある。従って、第２の端部電極５２と、第２及び第４の
補強層４２、４４との間においても、第１の端部電極５
１と、第１の補強層４１及び第３の補強層４３との関係
において述べた上記作用効果が得られる。The relationship between the second end electrode 52 and the second and fourth reinforcing layers 42 and 44 is as follows: the first end electrode 51, the first reinforcing layer 41 and the third reinforcing layer 43. The relationship is the same. Therefore, the first end electrode 5 is also provided between the second end electrode 52 and the second and fourth reinforcing layers 42 and 44.
1 and the first and third reinforcing layers 41 and 43 have the above-described effects.
【００６５】[0065]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ベ
ース板及びキャップを確実に位置決めでき、効率的な生
産が可能で、製造歩留のよい電子部品を提供することが
できる。As described above, according to the present invention, the base plate and the cap can be reliably positioned, efficient production can be performed, and an electronic component having a good production yield can be provided.
【図１】本発明に係る圧電振動部品の分解斜視図であ
る。FIG. 1 is an exploded perspective view of a piezoelectric vibration component according to the present invention.
【図２】図１に示した圧電振動部品の組立状態における
断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the piezoelectric vibration component shown in FIG. 1 in an assembled state.
【図３】図１、２に図示した圧電振動部品のベース板と
キャップとの組み合わせを説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a combination of a base plate and a cap of the piezoelectric vibration component illustrated in FIGS.
【図４】図１、２に示した圧電振動部品の電気回路図で
ある。FIG. 4 is an electric circuit diagram of the piezoelectric vibration component shown in FIGS.
【図５】本発明に係る圧電振動部品の別の実施例を示す
断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another embodiment of the piezoelectric vibration component according to the present invention.
【図６】本発明に係る圧電振動部品の更に別の実施例を
示す分解斜視図である。FIG. 6 is an exploded perspective view showing still another embodiment of the piezoelectric vibration component according to the present invention.
【図７】図６に示した圧電振動部品の組立状態における
断面図である。FIG. 7 is a sectional view of the piezoelectric vibration component shown in FIG. 6 in an assembled state.
【図８】図６、７に示した圧電振動部品の電気回路図で
ある。FIG. 8 is an electric circuit diagram of the piezoelectric vibration component shown in FIGS.
１ ベース板 １０１ 搭載領域 １０２ 凸部 ２ 回路機能素子 ２０ 圧電振動子 ２１ 容量素子 ３ キャップ ３１ 凹部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base plate 101 Mounting area 102 Convex part 2 Circuit function element 20 Piezoelectric vibrator 21 Capacitance element 3 Cap 31 Concave part
Claims (7)
とを含む圧電振動部品であって、 前記ベース板は、一面に、搭載領域を有しており、 前記回路機能素子は、圧電振動子を含み、前記搭載領域
内において、前記ベース板に搭載されており、 前記キャップは、前記回路機能素子を包囲して、前記ベ
ース板の前記一面上に搭載され、前記回路機能素子の周
りに気密空間を形成しており、 前記キャップ及び前記ベース板は、前記搭載領域の周り
で、凹凸嵌合をする圧電振動部品。1. A piezoelectric vibrating component including a base plate, a circuit functional element, and a cap, wherein the base plate has a mounting area on one surface, and the circuit functional element is a piezoelectric vibrator. Wherein the cap is mounted on the base plate in the mounting area, the cap is mounted on the one surface of the base plate, surrounding the circuit functional element, and hermetically sealed around the circuit functional element. A piezoelectric vibrating component which forms a space, wherein the cap and the base plate engage with each other around the mounting area.
って、 前記ベース板は、前記搭載領域の周りに、凸部を有して
おり、 前記キャップは、前記凸部と対応する位置に、凹部を有
しており、 前記ベース板の前記凸部及び前記キャップの凹部が嵌合
する圧電振動部品。2. The piezoelectric vibration component according to claim 1, wherein the base plate has a projection around the mounting area, and the cap is located at a position corresponding to the projection. A piezoelectric vibrating component having a concave portion, wherein the convex portion of the base plate and the concave portion of the cap fit.
圧電振動部品であって、 前記凹凸嵌合する部分は、前記搭載領域の全周に設けら
れている圧電振動部品。3. The piezoelectric vibrating component according to claim 1, wherein the concave / convex fitting portion is provided all around the mounting area.
電振動部品であって、 前記凹凸嵌合をする部分は、接着剤によって封止されて
いる圧電振動部品。4. The piezoelectric vibrating component according to claim 1, wherein the portion for fitting the concave and convex is sealed with an adhesive.
電振動部品であって、 前記凸部は、外周側に斜面を有しており、 前記凹部は、前記凸部の前記斜面に対応する斜面を有す
る圧電振動部品。5. The piezoelectric vibrating component according to claim 2, wherein the convex portion has a slope on an outer peripheral side, and the concave portion has a slope on the slope of the convex portion. Piezoelectric vibration components with corresponding slopes.
って、 前記ベース板は、端子電極を有しており、 前記端子電極は、一部が、前記斜面に形成されている圧
電振動部品。6. The piezoelectric vibration component according to claim 5, wherein the base plate has a terminal electrode, and the terminal electrode is partially formed on the slope. parts.
圧電振動部品であって、 前記回路機能素子は、更に、容量素子を含み、 前記容量素子及び前記圧電振動子は、互いに積層されて
いる圧電振動部品。7. The piezoelectric vibrating component according to claim 1, wherein the circuit function element further includes a capacitance element, and the capacitance element and the piezoelectric vibrator are stacked on each other. Piezoelectric vibrating parts.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP32171299A JP2001144571A (en) | 1999-11-11 | 1999-11-11 | Piezoelectric vibrator component |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32171299A JP2001144571A (en) | 1999-11-11 | 1999-11-11 | Piezoelectric vibrator component |
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ID=18135604
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| Country | Link |
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- 1999-11-11 JP JP32171299A patent/JP2001144571A/en not_active Withdrawn
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