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JP2001250275A - Surface-reproducing optical recording medium - Google Patents

Surface-reproducing optical recording medium

Info

Publication number
JP2001250275A
JP2001250275A JP2000060367A JP2000060367A JP2001250275A JP 2001250275 A JP2001250275 A JP 2001250275A JP 2000060367 A JP2000060367 A JP 2000060367A JP 2000060367 A JP2000060367 A JP 2000060367A JP 2001250275 A JP2001250275 A JP 2001250275A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide groove
optical recording
header
recording medium
area
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000060367A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koyata Takahashi
小弥太 高橋
Keiichiro Nishizawa
恵一郎 西澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tosoh Corp
Original Assignee
Tosoh Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tosoh Corp filed Critical Tosoh Corp
Priority to JP2000060367A priority Critical patent/JP2001250275A/en
Publication of JP2001250275A publication Critical patent/JP2001250275A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 書き換え可能なヘッダー領域と、案内溝が形
成されたデータ領域を備えた表面再生型光記録媒体にお
いて、SNRを低下させることなく浮上型SILヘッド
の振動を抑制し、安定な浮上性を得る。 【解決手段】 ヘッダー領域にも案内溝を形成するとと
もに、ヘッダー領域の案内溝をデータ領域の案内溝より
浅く形成する。また、基板の、ヘッダー領域の案内溝の
底及びヘッダー領域の記録面の表面粗さ(Ra)を0.
5nm以下とする。
PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the vibration of a flying type SIL head without lowering the SNR in a surface reproduction type optical recording medium having a rewritable header area and a data area in which a guide groove is formed. To obtain stable levitation. SOLUTION: A guide groove is formed also in a header area, and the guide groove in the header area is formed shallower than the guide groove in the data area. In addition, the surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove in the header area and the recording surface of the header area of the substrate is set to 0.1.
The thickness is set to 5 nm or less.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は書き換えが可能な光
記録媒体、特に、浮上型光ヘッドによりレーザービーム
を照射することにより情報の記録、再生及び消去を行な
う表面再生型光記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rewritable optical recording medium, and more particularly to a surface-reproducing optical recording medium for recording, reproducing and erasing information by irradiating a laser beam with a floating optical head.

【0002】[0002]

【従来の技術】光磁気記録媒体や相変化記録媒体などの
光記録媒体は大容量・高密度記録が可能な可搬型記録媒
体であり、近年のマルチメディア化に伴なうコンピュー
タの大容量ファイルや動画を記録する書き換え型メディ
アとして需要が急増しつつある。
2. Description of the Related Art Optical recording media, such as magneto-optical recording media and phase-change recording media, are portable recording media capable of large-capacity, high-density recording. Demand for rewritable media for recording video and moving images is rapidly increasing.

【0003】光記録媒体は一般にプラスチック等の透明
な円盤状の基板に記録層を含む多層膜を形成し、レーザ
ーを照射して記録、消去を行い、レーザーの反射光で再
生する。
In general, an optical recording medium is formed by forming a multilayer film including a recording layer on a transparent disc-shaped substrate such as plastic, irradiating a laser to record and erase, and reproducing by a reflected light of the laser.

【0004】光磁気記録媒体は、従来、固定磁界を加え
て消去した後、反対方向の固定磁界を加えて記録するい
わゆる光変調記録が中心であったが、近年、レーザーを
照射しながら、磁界を記録パターンに従って変調させる
磁界変調方式が、1回転で記録(ダイレクトオーバーラ
イト)可能でしかも高記録密度になっても正確に記録で
きる方式として注目を浴びている。
[0004] Conventionally, magneto-optical recording media have mainly focused on so-called optical modulation recording in which a fixed magnetic field is applied to erase data and then recording is performed by applying a fixed magnetic field in the opposite direction. Has attracted attention as a method that can perform recording (direct overwrite) in one rotation and can accurately record even at a high recording density.

【0005】相変化記録媒体は、光変調記録によるダイ
レクトオーバーライトが可能で、CDやDVDと同じ光
学系で再生可能なため注目を浴びている。
[0005] Phase change recording media have attracted attention because they can be directly overwritten by optical modulation recording and can be reproduced by the same optical system as CDs and DVDs.

【0006】記録再生のためのレーザーは従来、基板を
通して記録膜に照射されていた。最近、光学ヘッドを記
録膜に近付けて記録再生する、いわゆる、近接場光記録
が高密度化の手段として注目されている(Appl.P
hys.Lett.68,p.141(1996))。
この記録方法ではSolid ImmersionLe
ns(以下SILと略す)ヘッドを使用しレーザービー
ムスポットサイズを縮小することにより、光源のレーザ
ー波長(λ)によって決まる従来の記録限界(〜λ/2
NA:NAは対物レンズの開口数)より短いマークでの
記録再生が可能であり、超高記録密度の記録再生が実現
できる。この近接場光記録では光学ヘッドを記録媒体に
近付ける必要があるために(20〜200nm)、従来
の光記録媒体のように基板側から基板を通して記録膜に
レーザービームを照射するのではなく、記録膜側から直
接記録膜にレーザービームを照射する方法を用いる。光
記録媒体の表面から一定の距離にSILを保持してレー
ザービームを照射し、記録再生を行なうために浮上式の
SILヘッドを利用することが提案されている。
Conventionally, a laser for recording / reproducing has been applied to a recording film through a substrate. Recently, so-called near-field optical recording, in which an optical head is brought close to a recording film to perform recording / reproducing, has attracted attention as a means for increasing the density (Appl.
hys. Lett. 68, p. 141 (1996)).
In this recording method, Solid ImmersionLe
By using an ns (hereinafter abbreviated as SIL) head to reduce the laser beam spot size, the conventional recording limit (限界 λ / 2) determined by the laser wavelength (λ) of the light source is obtained.
NA: NA can be recorded / reproduced with a mark shorter than the numerical aperture of the objective lens), and recording / reproducing with an extremely high recording density can be realized. In this near-field optical recording, it is necessary to bring the optical head close to the recording medium (20 to 200 nm). Therefore, instead of irradiating the recording film with a laser beam from the substrate side through the substrate as in a conventional optical recording medium, recording is performed. A method of directly irradiating the recording film with a laser beam from the film side is used. It has been proposed to use a floating SIL head for performing recording and reproduction by irradiating a laser beam while holding the SIL at a fixed distance from the surface of the optical recording medium.

【0007】光記録媒体は、ヘッダーと呼ばれるプレピ
ット部分でアドレスを読み取りながらセクターごとに記
録再生を行う。また、トラックの半径が異なる場所への
光ヘッドの移動はシークと呼ばれるが、シークを高速に
行うためにシークしながらヘッダーのアドレス検出が可
能なグレーコードがヘッダーに用いられることもある。
光記録媒体への記録はSILヘッドにより、記録膜上に
なされる。記録された記録マークはSILヘッド下面か
ら一定の距離にあるものが読み取られるが、プレピット
ではSILヘッド下面からの高さの変化による反射率の
変化を読み取るため最適なフォーカスが異なる。また、
浮上型光ヘッドでシークを繰り返すとプレピットへ異物
がたまりエラーが増加する場合があった。そのため、表
面再生型光記録媒体では、ヘッダーを光磁気や相変化記
録のマークで形成することが考えられる。
The optical recording medium performs recording and reproduction for each sector while reading an address in a pre-pit portion called a header. The movement of the optical head to a place where the radius of the track is different is called a seek. In order to perform the seek at a high speed, a gray code that can detect the address of the header while seeking is sometimes used for the header.
Recording on the optical recording medium is performed on the recording film by the SIL head. The recorded mark is read at a certain distance from the lower surface of the SIL head, but the optimal focus is different in the pre-pit because the change in the reflectance due to the change in height from the lower surface of the SIL head is read. Also,
When seeks were repeated with a flying optical head, foreign matter could accumulate in the pre-pits, increasing errors in some cases. Therefore, in the surface-reproducing optical recording medium, it is conceivable that the header is formed by magneto-optical or phase-change recording marks.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上述の表面再生型光記
録媒体の書換可能なヘッダーの読み取り性をよくするた
めには、基板上にヘッダー領域として案内溝のない平坦
な部分を形成し、この平坦な部分に書き込むことが考え
られる。しかしながら、浮上型光ヘッドをこのような媒
体表面で浮上させた場合には、わずかな異物や機械特性
のふらつきでヘッドが振動する現象がみられた。また、
媒体が光磁気記録媒体の場合にはヘッダー領域の記録マ
ークがデータ領域の記録マークに比べて不安定な現象が
みられた。本発明の目的はこのような表面再生型光記録
媒体の書換可能なヘッダーに伴う不安定性を改善するも
のである。
In order to improve the readability of the rewritable header of the surface-reproducing optical recording medium, a flat portion without a guide groove is formed as a header region on the substrate. Writing to a flat part is conceivable. However, when the flying type optical head is floated on such a medium surface, a phenomenon in which the head vibrates due to a slight foreign matter or fluctuation of mechanical characteristics has been observed. Also,
When the medium was a magneto-optical recording medium, a phenomenon was observed in which the recording marks in the header area were more unstable than the recording marks in the data area. An object of the present invention is to improve the instability associated with a rewritable header of such a surface-reproducing optical recording medium.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上述のよう
な現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、本発明を完成す
るに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies in view of the above-mentioned current situation, and as a result, completed the present invention.

【0010】すなわち、本発明は書き換え可能なヘッダ
ー領域と、案内溝が形成されたデータ領域を備えた表面
再生型光記録媒体であって、ヘッダー領域にデータ領域
より浅い案内溝が形成されていることを特徴とする表面
再生型光記録媒体である。
That is, the present invention relates to a surface-reproduction optical recording medium having a rewritable header area and a data area in which a guide groove is formed, wherein a guide groove shallower than the data area is formed in the header area. A surface-reproducing optical recording medium characterized by the following.

【0011】図1に本発明の表面再生型光記録媒体の一
実施態様の模式図を示す。なお、図1は図を簡略にする
ため、セクター数を4として図示しているが、実際のセ
クター数は数十〜数百程度である。案内溝は螺旋状ある
いは同心円状に形成されている。案内溝はヘッダー領域
11にある案内溝13とデータ領域12にある案内溝1
4で構成される。案内溝の形状は図1下部の斜視図に示
すが、溝深さについては、ヘッダー領域11にある案内
溝13の方が、データ領域12にある案内溝14より浅
く形成されている。このような浅い案内溝は、例えば、
基板の原盤(スタンパ)を作製するためのレーザーカッ
ティング工程でレーザーパワーをデータ部に比べて下げ
る事で形成される。この場合、案内溝形成のためのパワ
ーを下げることで溝幅が細くなるが、本発明は、ヘッダ
ー領域の案内溝をデータ領域の案内溝よりも浅く形成す
ることを特徴とするものであり、溝幅は必ずしも細く形
成する必要はない。これらの点は図4〜6でも同様であ
る。
FIG. 1 is a schematic view of an embodiment of a surface-reproduction optical recording medium according to the present invention. Although FIG. 1 shows the number of sectors as 4 for simplicity, the actual number of sectors is about several tens to several hundreds. The guide groove is formed spirally or concentrically. The guide grooves are a guide groove 13 in the header area 11 and a guide groove 1 in the data area 12.
4 The shape of the guide groove is shown in the lower perspective view of FIG. 1. Regarding the groove depth, the guide groove 13 in the header area 11 is formed shallower than the guide groove 14 in the data area 12. Such a shallow guide groove, for example,
It is formed by lowering the laser power in the laser cutting step for producing a master disk (stamper) of the substrate as compared with the data part. In this case, although the groove width is reduced by lowering the power for forming the guide groove, the present invention is characterized in that the guide groove in the header area is formed shallower than the guide groove in the data area, The groove width does not necessarily have to be formed thin. These points are the same in FIGS.

【0012】図2は本発明の表面再生型光記録媒体の一
実施態様の積層構造を模式的に示す部分断面図である。
基板21上に、反射層22、記録層23、誘電体層2
4、固体潤滑層25、ルブリカント層26が積層されて
いる。
FIG. 2 is a partial sectional view schematically showing a laminated structure of an embodiment of a surface-reproducing optical recording medium according to the present invention.
On a substrate 21, a reflective layer 22, a recording layer 23, a dielectric layer 2
4. A solid lubricating layer 25 and a lubricant layer 26 are laminated.

【0013】基板21としては機械特性などの媒体基板
としての特性を満たすものであれば特に限定されず、ガ
ラス、ポリカーボネート、アモルファスポリオレフィ
ン、エンジニアリングプラスチック等を用いることがで
きる。ガラスの場合は紫外線硬化樹脂と2P法で作製す
ることが可能である。
The substrate 21 is not particularly limited as long as it satisfies the characteristics of a medium substrate such as mechanical characteristics, and glass, polycarbonate, amorphous polyolefin, engineering plastic, or the like can be used. In the case of glass, it can be produced by an ultraviolet curing resin and a 2P method.

【0014】薄膜の構造は本発明では特に限定されない
が、反射層22はAl、Al合金、Ag、Au、Cu、
それらを1種以上含む合金など反射率および熱伝導率の
高い金属で構成される。記録層23はTbFeCo、N
dDyFeCoなどの光磁気記録材料やGeSbTeや
AgInSbTeなどの相変化記録材料などが用いられ
る。記録層の保護のために上下にGeNなどの保護層を
挿入してもよい。誘電体層24は、使用するレーザー波
長で光学的に透明であれば、窒化ケイ素、窒化ゲルマニ
ウム、五酸化タンタル、窒化アルミニウム、ZnS−S
iO2などいずれも用いることは可能である。固体潤滑
層25は、ダイヤモンドライクカーボンやSiO2など
SILヘッドの浮上性を確保することが可能な材料で、
使用するレーザー波長で光学的に透明な材料が用いられ
る。ルブリカント層26は、潤滑性を確保するための液
体材料、主にパーフロロエーテル系の材料が好ましい。
Although the structure of the thin film is not particularly limited in the present invention, the reflection layer 22 is made of Al, Al alloy, Ag, Au, Cu,
It is made of a metal having high reflectance and thermal conductivity such as an alloy containing at least one of them. The recording layer 23 is made of TbFeCo, N
A magneto-optical recording material such as dDyFeCo or a phase change recording material such as GeSbTe or AgInSbTe is used. Protective layers such as GeN may be inserted above and below for protection of the recording layer. If the dielectric layer 24 is optically transparent at the laser wavelength to be used, silicon nitride, germanium nitride, tantalum pentoxide, aluminum nitride, ZnS-S
Any of iO 2 and the like can be used. The solid lubricating layer 25 is made of a material such as diamond-like carbon or SiO 2 that can ensure the floating property of the SIL head.
An optically transparent material is used at the laser wavelength used. The lubricant layer 26 is preferably made of a liquid material for ensuring lubricity, mainly a perfluoroether-based material.

【0015】このような構成の積層構造の上面にSIL
ヘッドを浮上させ、フォーマット時にヘッダー領域12
で記録層23にヘッダー信号のマークを書き込む。書き
込みは光磁気記録の場合は、レーザーパルスを照射しな
がら磁界を変調させる光パルス磁界変調方式、相変化記
録の場合は光変調方式などが用いられる。
An SIL is provided on the upper surface of the laminated structure having such a structure.
The head is raised and the header area 12
To write a header signal mark on the recording layer 23. In the case of magneto-optical recording, an optical pulse magnetic field modulation method of modulating a magnetic field while irradiating a laser pulse is used, and in the case of phase change recording, an optical modulation method is used.

【0016】ヘッダーは案内溝がない平坦な領域に書き
込んだ方がSNRが高く低エラーレートが得られると考
えられるが、浮上ヘッドをこのような媒体表面で浮上さ
せた場合には、わずかな異物や機械特性のふらつきでヘ
ッドが振動する現象がみられる。
It is considered that the SNR is high and a low error rate can be obtained when the header is written in a flat area having no guide groove. However, when the flying head is floated on such a medium surface, a slight foreign matter is generated. And a phenomenon in which the head vibrates due to fluctuations in mechanical characteristics.

【0017】このように浮上性が乱れやすい原因は案内
溝がない部分でのヘッドの浮上高さの変動や、ヘッドと
ディスクの接触面積が増えることによるスティクション
の増加であると考えられる。ヘッダー領域11にデータ
領域12に比べ浅い案内溝13を形成することで高いS
NRと浮上高さの変動およびスティクションの抑制が同
時に可能となる。
It is considered that the cause of the disturbance of the flying property is fluctuation of the flying height of the head in a portion where there is no guide groove, and increase in stiction due to an increase in the contact area between the head and the disk. By forming a guide groove 13 shallower than the data area 12 in the header area 11, a high S
Variations in NR and flying height and suppression of stiction can be simultaneously achieved.

【0018】データ領域の案内溝は良好なトラッキング
状態を得るために深さ30nm以上が好ましく、記録デ
ータのSNRの点から100nm以下とすることが好ま
しい。ヘッダー領域の案内溝の深さは5nm以上30n
m以下とすることでヘッダー領域のエラーレートを十分
低くすることが可能となり、好ましい。
The depth of the guide groove in the data area is preferably 30 nm or more in order to obtain a good tracking state, and is preferably 100 nm or less from the viewpoint of the SNR of the recorded data. The depth of the guide groove in the header area is 5 nm or more and 30 n
By setting m or less, the error rate of the header region can be sufficiently reduced, which is preferable.

【0019】媒体が光磁気記録媒体の場合にはヘッダー
領域を案内溝のない平坦な領域にするとデータ領域に比
べて記録マークが低い再生パワーで消えやすくなる現象
がみられる。ヘッダー領域に案内溝をつけることでヘッ
ダー領域とデータ領域の記録マークの安定性が同等にな
る。
In the case where the medium is a magneto-optical recording medium, when the header area is a flat area without guide grooves, a phenomenon in which the recording mark is easily erased with a lower reproducing power than the data area is observed. By providing a guide groove in the header area, the stability of the recording marks in the header area and the data area becomes equal.

【0020】さらに、ヘッダー領域の案内溝13の底お
よびヘッダー領域のランド中央部の表面粗さ(Ra)が
0.5nm以下である基板を使用することによりさらに
高いSNRを得ることが可能で、案内溝のない平坦な領
域を使用した場合と同等のエラーレートが得られる。な
お、ヘッダー領域のランド中央部とは、ヘッダー領域
の、2本の案内溝に挟まれたディスク面(ランド)の中
央部分であり、その表面粗さ(Ra)は周方向(案内溝
に沿う方向)に測定する。また、案内溝の底の表面粗さ
(Ra)も周方向(案内溝に沿う方向)に測定する。こ
れらの表面粗さの測定には、例えばAFM(原子間力顕
微鏡)等を用いることができる。
Furthermore, by using a substrate having a surface roughness (Ra) of 0.5 nm or less at the bottom of the guide groove 13 in the header area and the center of the land in the header area, it is possible to obtain a higher SNR. An error rate equivalent to the case where a flat area without a guide groove is used is obtained. Note that the center of the land in the header area is the center of the disk area (land) between the two guide grooves in the header area, and the surface roughness (Ra) is in the circumferential direction (along the guide groove). Direction). The surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove is also measured in the circumferential direction (the direction along the guide groove). For the measurement of the surface roughness, for example, an AFM (atomic force microscope) or the like can be used.

【0021】ところで、ヘッダー領域にヘッダー情報を
正確に書き込むためには、ヘッダー書き込みのトリガー
となる信号を発生する領域があることが好ましい。
Incidentally, in order to accurately write header information in the header area, it is preferable that there is an area for generating a signal which triggers the writing of the header.

【0022】トリガー信号をデータ領域とヘッダー領域
の案内溝の深さの変化によるレーザー光の回折で得る場
合は、データ領域とヘッダー領域の案内溝の深さの差が
20nm以上であることが好ましい。
When the trigger signal is obtained by diffraction of laser light due to a change in the depth of the guide groove between the data area and the header area, the difference between the depth of the guide groove between the data area and the header area is preferably 20 nm or more. .

【0023】また、図4に模式的に示すようにデータ領
域42とヘッダー領域41の境界部に周方向の幅が20
μm以内のミラー部(案内溝を形成していない領域)4
5を設けることにより、データ領域42からヘッダー領
域41にレーザービームが入った時の信号強度が高ま
る。ミラー部45の幅を20μm以内とすることでステ
ィクションは無視できるレベルとなる。
As schematically shown in FIG. 4, the boundary between the data area 42 and the header area 41 has a width of 20 in the circumferential direction.
Mirror part within μm (area where guide groove is not formed) 4
By providing 5, the signal intensity when the laser beam enters the header area 41 from the data area 42 increases. By setting the width of the mirror portion 45 within 20 μm, stiction becomes a negligible level.

【0024】図4に示す基板では、基板上に案内溝が螺
旋状あるいは同心円状に形成されている。案内溝はヘッ
ダー領域41にある案内溝43とデータ領域42にある
案内溝44で構成される。案内溝の形状は図4下部の斜
視図に示すが、溝深さについては、ヘッダー領域41に
ある案内溝43の方が、データ領域42にある案内溝4
4より浅く形成されている。このような浅い案内溝は、
例えば、基板の原盤(スタンパ)を作製するためのレー
ザーカッティング工程でレーザーパワーをデータ部に比
べてヘッダー部より下げる事で形成される。この場合、
案内溝形成のためのパワーを下げることで溝幅が細くな
るが、本発明は、ヘッダー領域の案内溝をデータ領域の
案内溝よりも浅く形成することを特徴とするものであ
り、溝幅は必ずしも細く形成する必要はない。
In the substrate shown in FIG. 4, guide grooves are formed on the substrate in a spiral or concentric manner. The guide groove includes a guide groove 43 in the header area 41 and a guide groove 44 in the data area 42. The shape of the guide groove is shown in the lower perspective view of FIG. 4. Regarding the groove depth, the guide groove 43 in the header area 41 is better than the guide groove 4 in the data area 42.
It is formed shallower than 4. Such a shallow guide groove
For example, it is formed by lowering the laser power in the laser cutting process for manufacturing a master disk (stamper) of the substrate from the header portion compared to the data portion. in this case,
Although the groove width is reduced by lowering the power for forming the guide groove, the present invention is characterized in that the guide groove in the header area is formed shallower than the guide groove in the data area, and the groove width is It is not necessarily required to be formed thin.

【0025】またさらに、トリガー信号強度を高めるた
めには、図5に示すようにヘッダー毎に書き込みのタイ
ミングをとるためのピットを1個以上有することが好ま
しい。図5では各々のピットがトラック間で分離してい
るが、このような分離したピットからのトリガー信号の
検出にはピットに入射した光の回折を用いることが可能
で、ピット幅は回折が起きやすいようにレーザービーム
径より十分細いことが好ましい。
Further, in order to increase the trigger signal strength, it is preferable that each header has one or more pits for setting the write timing as shown in FIG. In FIG. 5, each pit is separated between tracks. However, the detection of a trigger signal from such a separated pit can use diffraction of light incident on the pit, and the pit width causes diffraction. It is preferable that the diameter is sufficiently smaller than the diameter of the laser beam so as to make it easier.

【0026】また、図6に示すように書き込みのタイミ
ングをとるためのピット65を内周から外周に向かって
半径方向に繋がるようにすれば、ピットの底からの反射
光量とランドからの反射光量あるいはピットの底からの
反射光とランドからの反射光の位相の差を用いてトリガ
ー信号を得ることが可能である。SILを使ったシステ
ムでは反射率あるいは位相の差は光の照射された平面と
SILヘッドの底面の距離による多重干渉に依存する。
ピットの周方向の長さがビーム径より十分大きければ、
ピットが内周から外周に向かって半径方向に繋がること
により、回折が起こらなくなり、反射光量変化あるいは
位相差変化により十分な出力が得られる。
As shown in FIG. 6, if the pits 65 for setting the write timing are connected in the radial direction from the inner circumference to the outer circumference, the amount of reflected light from the bottom of the pit and the amount of reflected light from the land can be improved. Alternatively, it is possible to obtain a trigger signal using a phase difference between reflected light from the bottom of the pit and reflected light from the land. In a system using SIL, the difference in reflectance or phase depends on multiple interference due to the distance between the plane irradiated with light and the bottom surface of the SIL head.
If the circumferential length of the pit is sufficiently larger than the beam diameter,
Since the pits are connected in the radial direction from the inner circumference to the outer circumference, diffraction does not occur, and a sufficient output can be obtained by a change in reflected light amount or a change in phase difference.

【0027】また、図5および図6のようにピットの前
後に各々10μm以内の幅のミラー部(案内溝を形成し
ていない領域)を設けることにより、スティクションは
無視できるレベルでトリガー信号強度が高まるので好ま
しい。
Also, as shown in FIG. 5 and FIG. 6, by providing mirror portions (regions in which guide grooves are not formed) each having a width of 10 μm or less before and after the pit, stiction can be reduced to a negligible level. Is preferred because the

【0028】シークを高速に行うためにシークしながら
ヘッダーのアドレス検出が可能なグレーコードを用いる
場合、ヘッダー領域は、ヘッドがリニアモーターで直線
的に動く場合は、半径方向で直線的に配置されているこ
とが好ましく、図7に示されるようにスイングアームで
円弧状に動く場合は、回転とシーク速度等を考慮した円
弧的に配置されていることが好ましい。
When a gray code capable of detecting the address of the header while seeking is used to perform the seek at high speed, the header area is linearly arranged in the radial direction when the head moves linearly by the linear motor. In the case where the swing arm moves in an arc shape as shown in FIG. 7, it is preferably arranged in an arc shape in consideration of rotation, seek speed, and the like.

【0029】また、記録領域が複数のゾーンに分割され
ている場合には、ゾーンごとにヘッダー領域が半径方向
で直線的または円弧的に配置されていることが好まし
い。
When the recording area is divided into a plurality of zones, it is preferable that the header areas are arranged linearly or arcuately in the radial direction for each zone.

【0030】なお、ヘッダー領域が半径方向で直線的に
配置されているとは、例えば図1に示すように、ヘッダ
ー領域が、ディスクの中心を通る直線上に配置されてい
ることであり、ヘッダー領域が半径方向で円弧的に配置
されているとは、例えば図7の黒く塗りつぶした部分7
2で示すように、ヘッダー領域が、ディスクの内周から
外周に至る円弧又はそれに類似した曲線上に配置されて
いることである。
Note that the fact that the header area is linearly arranged in the radial direction means that the header area is arranged on a straight line passing through the center of the disk as shown in FIG. 1, for example. The fact that the regions are arranged in an arc in the radial direction means that, for example, the portion 7 shown in FIG.
As shown by 2, the header area is arranged on a circular arc from the inner circumference to the outer circumference of the disk or a curve similar thereto.

【0031】[0031]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to only these Examples.

【0032】(実施例1)図6で摸式的に示されるよう
なヘッダー領域とデーター領域を有し、螺旋状の案内溝
を備えた基板を用い、図2に示すような積層構造の直径
130mmの表面再生型光磁気記録媒体を製造した。ト
ラックピッチ0.4μmの案内溝(ヘッダー領域61の
案内溝63およびデータ領域62の案内溝64)の付い
たポリカーボネート製の基板22を、ヘッダー領域の案
内溝63の深さ20nm、データ領域の案内溝64の深
さ75nmのスタンパーを用いて射出成形により作製し
た。スタンパー上の案内溝の深さは、スタンパー製造の
ための厚み80nmのレジスト付原盤の紫外線レーザー
カッティングの際にレーザーパワーを変化させることに
より制御した。ヘッダー領域にはヘッダー書き込みのト
リガーとなる半径方向に繋がったピット65も同時に形
成した。ヘッダー領域はデータ領域の前にあり、両者の
長さの比は1:20とし、一周に180個のヘッダー領
域/データ領域を形成した。成形された基板21上でも
スタンパーと同じ深さの案内溝であることがAFM(原
子間力顕微鏡)により確認された。同様にAFMによる
測定で成形後の基板21上でヘッダー領域の案内溝63
の底およびヘッダー領域のランド中央部の表面粗さ(R
a)は各々0.7nm、0.6nmとなった。
Example 1 A substrate having a header area and a data area as schematically shown in FIG. 6 and having a spiral guide groove was used, and the diameter of the laminated structure as shown in FIG. 2 was used. A surface reproducing type magneto-optical recording medium of 130 mm was manufactured. The substrate 22 made of polycarbonate provided with guide grooves having a track pitch of 0.4 μm (the guide grooves 63 in the header area 61 and the guide grooves 64 in the data area 62) is guided by the guide groove 63 in the header area at a depth of 20 nm and the data area. The groove 64 was formed by injection molding using a stamper having a depth of 75 nm. The depth of the guide groove on the stamper was controlled by changing the laser power at the time of ultraviolet laser cutting of an 80-nm-thick resist-coated master for manufacturing the stamper. In the header area, pits 65 connected in the radial direction, which trigger the writing of the header, were also formed at the same time. The header area was before the data area, the ratio of the lengths was 1:20, and 180 header areas / data areas were formed in one round. It was confirmed by AFM (atomic force microscope) that the guide groove had the same depth as the stamper even on the formed substrate 21. Similarly, the guide groove 63 in the header area is formed on the molded substrate 21 by the AFM measurement.
Surface roughness (R
a) was 0.7 nm and 0.6 nm, respectively.

【0033】作製された基板21上にスパッタ法で40
nmのAu合金反射層22、20nmのキュリー温度2
00℃のTbFeCo記録層23、220nmのSiN
誘電体層24、10nmのDLCでできた固体潤滑層2
5を積層した。その後、パーフロロエーテル系のルブリ
カント層26を1nm引き上げ法により塗布した。
On the manufactured substrate 21, 40
Au alloy reflective layer 22 nm, Curie temperature 2 at 20 nm
TbFeCo recording layer 23 at 00 ° C., 220 nm SiN
Dielectric layer 24, solid lubricating layer 2 made of 10 nm DLC
5 were stacked. Thereafter, a perfluoroether-based lubricant layer 26 was applied by a 1-nm pull-up method.

【0034】(比較例1)スタンパーのヘッダー領域6
1に案内溝63を形成しない他は実施例1と同様の表面
再生型光磁気記録媒体を製造した。
(Comparative Example 1) Header area 6 of stamper
A surface-reproducing type magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the guide groove 63 was not formed in Example 1.

【0035】(比較例2)ヘッダー領域のカッティング
のレーザーパワーをデータ領域と同じにした他は実施例
1と同様の方法でスタンパーを作製した。このスタンパ
ーを用いて射出成形により作製したポリカーボネート製
の基板21の案内溝の深さはヘッダー領域、データ領域
ともに75nmであった。ヘッダー領域の案内溝13の
底およびヘッダー領域のランド中央部の表面粗さ(R
a)は各々0.8nm、0.6nmとなった。その後、
実施例1と同様22〜26の層をコートした。
Comparative Example 2 A stamper was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the laser power for cutting the header area was the same as that for the data area. The depth of the guide groove of the polycarbonate substrate 21 manufactured by injection molding using this stamper was 75 nm for both the header region and the data region. The surface roughness (R) of the bottom of the guide groove 13 in the header area and the center of the land in the header area
a) was 0.8 nm and 0.6 nm, respectively. afterwards,
As in Example 1, 22 to 26 layers were coated.

【0036】(実施例2)原盤のカッティング後に16
0℃でレジストの熱処理をすること以外は、実施例1と
同様の表面再生型光磁気記録媒体を製造した。原盤のレ
ジスト表面は実施例1より滑らかになり、成形後の基板
上でヘッダー領域の案内溝63の底およびヘッダー領域
のランド中央部の表面粗さ(Ra)は各々0.4nm、
0.4nmとなった。ここでヘッダー領域ではカッティ
ング後も案内溝の底に50nmのレジストが残っている
ため、カッティング後のレジスト熱処理によりヘッダー
領域では案内溝の底とランド中央部の両方の表面粗さが
改善された。得られたヘッダー領域の案内溝13の深
さ、データ領域の案内溝64の深さは基板上でそれぞれ
15nm、70nmとレジストの熱処理によりやや浅く
なった。その後、実施例1と同様22〜26の層をコー
トした。
Example 2 After cutting the master, 16
A surface-reproducing magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the resist was heat-treated at 0 ° C. The resist surface of the master was smoother than that of Example 1, and the surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove 63 in the header region and the center of the land in the header region on the molded substrate was 0.4 nm, respectively.
0.4 nm. Here, since 50 nm of resist remains at the bottom of the guide groove even after cutting in the header region, the surface roughness of both the bottom of the guide groove and the center of the land was improved in the header region by the resist heat treatment after cutting. The depth of the guide groove 13 in the header region and the depth of the guide groove 64 in the data region were slightly reduced to 15 nm and 70 nm on the substrate by the heat treatment of the resist. Thereafter, layers 22 to 26 were coated as in Example 1.

【0037】(実施例3)実施例1と同じスタンパーを
用いて射出成形により作製したポリカーボネート製の基
板21を、ランプアニールにより10秒間基板表面を1
40℃に加熱することにより、基板表面を滑らかにし
た。案内溝はアニールにより浅くなり、アニール後の案
内溝の深さはヘッダー領域で10nm、データ領域で5
0nmであった。ヘッダー領域の案内溝63の底および
ヘッダー領域のランド中央部の表面粗さ(Ra)は各々
0.3nm、0.3nmとなった。その後、実施例1と
同様22〜26の層をコートした。
(Example 3) A polycarbonate substrate 21 produced by injection molding using the same stamper as in Example 1 was subjected to lamp annealing for 10 seconds on the substrate surface.
The substrate surface was smoothed by heating to 40 ° C. The guide groove becomes shallower by annealing, and the depth of the guide groove after annealing is 10 nm in the header region and 5 in the data region.
It was 0 nm. The surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove 63 in the header area and the center of the land in the header area were 0.3 nm and 0.3 nm, respectively. Thereafter, layers 22 to 26 were coated as in Example 1.

【0038】実施例1〜3及び比較例1、2の表面再生
型光磁気記録媒体について、2400rpmで媒体を回
転させて、薄膜面上にレーザー波長685nm、有効開
口数1.3のスライダーSILヘッドを50nmの高さ
に浮上させ、レーザーをパルス的に照射して記録層23
をキュリー温度以上に暖めながら、SILヘッド上のコ
イル磁界を変調させてヘッダー領域にアドレス部がグレ
ーコードで構成されるヘッダーを書き込んだ。SILヘ
ッドの近くにはAEセンサーを取り付け、異物との接触
やヘッドの振動を調べた。
With respect to the surface reproducing type magneto-optical recording media of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2, the media were rotated at 2400 rpm, and a slider SIL head having a laser wavelength of 685 nm and an effective numerical aperture of 1.3 on the thin film surface. Is floated to a height of 50 nm, and the recording layer 23 is irradiated by irradiating a laser pulse.
Was heated above the Curie temperature, the coil magnetic field on the SIL head was modulated, and a header whose address portion was composed of a gray code was written in the header area. An AE sensor was attached near the SIL head, and the contact with foreign matter and the vibration of the head were examined.

【0039】表1に示すように実施例1〜3、比較例2
ではディスクの内周〜外周まで顕著なAEセンサーから
の信号は見られなかったが(表中には良好と記載)、比
較例1ではヘッダーの3倍周期の信号がディスクの内周
/外周部で生じ、ヘッダー部のスティクションによる振
動が生じていることが示された。
As shown in Table 1, Examples 1 to 3 and Comparative Example 2
No significant signal from the AE sensor was observed from the inner circumference to the outer circumference of the disk (described as good in the table). It was shown that vibration was caused by stiction of the header portion.

【0040】実施例1〜3及び比較例1、2のいずれも
ヘッダーの書き込みは可能であった。ヘッダーの書き込
みには内周から外周に向かって繋がったピット65から
のSUM信号をトリガーとして用いた。表1にはトリガ
ー信号の強度をヘッダー部のランド上のSUM信号レベ
ルで規格化して示すが、いずれも十分大きく良好な信号
が得られた。
In each of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2, the header could be written. For writing the header, a SUM signal from a pit 65 connected from the inner circumference to the outer circumference was used as a trigger. Table 1 shows the intensity of the trigger signal normalized by the level of the SUM signal on the land of the header portion. In each case, a sufficiently large and good signal was obtained.

【0041】書き込んだヘッダーの再生信号のSNR
は、実施例1で平均28dB、実施例2で平均30d
B、実施例3で平均32dB、比較例1で平均29dB
であったが、比較例2では平均23dBと小さい。ヘッ
ダーの再生信号のSNRは、実施例1〜3では媒体の場
所によるばらつきが±1.5dB以内であったが、比較
例1では±4dBとばらつきが生じ、特にヘッダー部に
よる振動が生じている場所でのSNRのばらつきが顕著
となった。
SNR of playback signal of written header
Is 28 dB on average in Example 1 and 30 dB on average in Example 2.
B, averaged 32 dB in Example 3, averaged 29 dB in Comparative Example 1
However, in Comparative Example 2, the average was as small as 23 dB. In the first to third embodiments, the SNR of the reproduced signal of the header was within ± 1.5 dB depending on the location of the medium, but in Comparative Example 1, the variation was ± 4 dB, and particularly the vibration caused by the header portion occurred. The variation of the SNR at the place became remarkable.

【0042】また、実施例1と実施例2、3の比較でヘ
ッダー領域の案内溝の底およびヘッダー領域のランド中
央部の表面粗さ(Ra)を0.5nm以下に小さくする
ことでヘッダー領域のSNRは、案内溝がない場合と同
等以上となった。
Also, by comparing the first embodiment with the second and third embodiments, the surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove in the header area and the center of the land in the header area is reduced to 0.5 nm or less, thereby reducing the header area. The SNR was equal to or higher than the case where there was no guide groove.

【0043】実施例1〜3及び比較例1についてヘッダ
ー領域で再生パワー1.5mWでの再生サイクル試験を
行なった。実施例1〜3では1万回の再生サイクル試験
でSNRの低下はみられなかった。比較例1では1万回
の再生サイクル試験でSNRが2dB低下した。
With respect to Examples 1 to 3 and Comparative Example 1, a reproduction cycle test was performed at a reproduction power of 1.5 mW in the header area. In Examples 1 to 3, no reduction in SNR was observed in 10,000 regeneration cycle tests. In Comparative Example 1, the SNR was reduced by 2 dB after 10,000 regeneration cycle tests.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】(実施例4)実施例2と同じ基板に図3に
示すような構造の直径130mmの表面再生型光相変化
記録媒体を製造した。基板31上に40nmのAg合金
反射層32、20nmのZnS−Si02層33、20
nmのGeSbTe記録層34、180nmのZnS−
Si02誘電体層35、40nmのDLCでできた固体
潤滑層36を積層したのち、パーフロロエーテル系のル
ブリカント層37を1nm塗布した。
Example 4 A surface-reproducing optical phase-change recording medium having a diameter of 130 mm and a structure as shown in FIG. 3 was manufactured on the same substrate as in Example 2. A 40 nm Ag alloy reflective layer 32, a 20 nm ZnS—SiO 2 layer 33, 20 on a substrate 31.
GeSbTe recording layer 34, 180 nm ZnS-
After laminating an SiO 2 dielectric layer 35 and a solid lubricating layer 36 made of 40 nm DLC, a perfluoroether-based lubricant layer 37 was applied to a thickness of 1 nm.

【0046】実施例4ではディスクの内周〜外周まで顕
著なAEセンサーからの信号は見られなかった。また、
書き込んだヘッダーの再生信号のSNRは、平均33d
Bで媒体の場所によるばらつきは±1.5dB以内と良
好であった。
In Example 4, no remarkable signal from the AE sensor was observed from the inner circumference to the outer circumference of the disk. Also,
The SNR of the reproduced signal of the written header is 33d on average.
In B, the variation depending on the location of the medium was as good as ± 1.5 dB or less.

【0047】(実施例5)図1で摸式的に示されるよう
なヘッダー領域とデーター領域を有し、螺旋状の案内溝
を備えた基板を用い、図2に示すような積層構造の直径
130mmの表面再生型光磁気記録媒体を製造した。ト
ラックピッチ0.4μmの案内溝(ヘッダー領域11の
案内溝13およびデータ領域12の案内溝14)の付い
たポリカーボネート製の基板22を、原盤のカッティン
グ後に160℃でレジストの熱処理を行ったヘッダー領
域の案内溝13の深さ15nm、データ領域の案内溝1
4の深さ65nmのスタンパーを用いて射出成形により
作製した。成形後の基板の溝深さはスタンパーと同じで
あった。スタンパー上の案内溝の深さは、スタンパー製
造のための厚み70nmのレジスト付原盤の紫外線レー
ザーカッティングの際にレーザーパワーを変化させるこ
とにより制御した。ヘッダー領域はデータ領域の前にあ
り、両者の長さの比は1:20とし、一周に190個の
ヘッダー領域/データ領域を形成した。成形された基板
21上でもスタンパーとほぼ同じ深さの案内溝であるこ
とがAFMにより確認された。SiN誘電体層24を2
45nmとした他は実施例1と同様の表面再生型光磁気
記録媒体を製造した。成形後の基板上でヘッダー領域の
案内溝13の底およびヘッダー領域のランド中央部の表
面粗さ(Ra)は各々0.4nm、0.4nmとなっ
た。
(Embodiment 5) A substrate having a header area and a data area as schematically shown in FIG. 1 and having a spiral guide groove is used, and the diameter of the laminated structure as shown in FIG. 2 is used. A surface reproducing type magneto-optical recording medium of 130 mm was manufactured. A polycarbonate substrate 22 having guide grooves with a track pitch of 0.4 μm (the guide grooves 13 in the header area 11 and the guide grooves 14 in the data area 12) was subjected to a resist heat treatment at 160 ° C. after cutting the master. Guide groove 13 having a depth of 15 nm and a guide groove 1 in the data area.
4 was produced by injection molding using a 65 nm deep stamper. The groove depth of the formed substrate was the same as that of the stamper. The depth of the guide groove on the stamper was controlled by changing the laser power at the time of ultraviolet laser cutting of a 70-nm-thick resist-coated master for manufacturing the stamper. The header area was before the data area, and the length ratio was 1:20, and 190 header areas / data areas were formed in one round. It was confirmed by AFM that the guide groove was almost the same depth as the stamper on the formed substrate 21. The SiN dielectric layer 24 is
A surface reproduction type magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the thickness was set to 45 nm. The surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove 13 in the header region and the center of the land in the header region on the molded substrate were 0.4 nm and 0.4 nm, respectively.

【0048】(実施例6)図4で摸式的に示されるよう
なヘッダー領域とデーター領域を有し、螺旋状の案内溝
を備えた基板を用い、図2に示すような積層構造の直径
130mmの表面再生型光磁気記録媒体を製造した。ト
ラックピッチ0.4μmの案内溝(ヘッダー領域41の
案内溝43およびデータ領域42の案内溝44)の付い
たポリカーボネート製の基板22を、原盤のカッティン
グ後に160℃でレジストの熱処理を行ったヘッダー領
域の案内溝43の深さ15nm、データ領域の案内溝4
4の深さ65nmのスタンパーを用いて射出成形により
作製した。データ領域とヘッダー領域の境界には半径に
比例した幅(最外周で約10μm)のミラー部(案内溝
を形成していない領域)を形成した。成形後の基板の溝
深さはスタンパーと同じであった。スタンパー上の案内
溝の深さは、スタンパー製造のための厚み70nmのレ
ジスト付原盤の紫外線レーザーカッティングの際にレー
ザーパワーを変化させることにより制御した。ヘッダー
領域はデータ領域の前にあり、両者の長さの比は1:2
0とし、一周に190個のヘッダー領域/データ領域を
形成した。成形された基板21上でもスタンパーとほぼ
同じ深さの案内溝であることがAFMにより確認され
た。SiN誘電体層24を245nmとした他は実施例
1と同様の表面再生型光磁気記録媒体を製造した。成形
後の基板上でヘッダー領域の案内溝43の底およびヘッ
ダー領域のランド中央部の表面粗さ(Ra)は各々0.
4nm、0.4nmとなった。
(Embodiment 6) A substrate having a header area and a data area as schematically shown in FIG. 4 and having a spiral guide groove is used, and the diameter of the laminated structure as shown in FIG. 2 is used. A surface reproducing type magneto-optical recording medium of 130 mm was manufactured. A polycarbonate substrate 22 having a guide groove with a track pitch of 0.4 μm (a guide groove 43 in the header area 41 and a guide groove 44 in the data area 42) was subjected to a resist heat treatment at 160 ° C. after cutting the master. 15 nm deep in the guide groove 43, and the guide groove 4 in the data area.
4 was produced by injection molding using a 65 nm deep stamper. At the boundary between the data region and the header region, a mirror portion (region where the guide groove was not formed) having a width proportional to the radius (about 10 μm at the outermost periphery) was formed. The groove depth of the formed substrate was the same as that of the stamper. The depth of the guide groove on the stamper was controlled by changing the laser power at the time of ultraviolet laser cutting of a 70-nm-thick resist-coated master for manufacturing the stamper. The header area is before the data area, and the length ratio is 1: 2.
It was set to 0, and 190 header areas / data areas were formed in one round. It was confirmed by AFM that the guide groove was almost the same depth as the stamper on the formed substrate 21. A surface-reproducing magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the SiN dielectric layer 24 was set to 245 nm. The surface roughness (Ra) of each of the bottom of the guide groove 43 in the header region and the center of the land in the header region on the molded substrate is equal to 0.1.
4 nm and 0.4 nm.

【0049】(実施例7)図5で摸式的に示されるよう
なヘッダー領域とデーター領域を有し、螺旋状の案内溝
を備えた基板を用い、図2に示すような積層構造の直径
130mmの表面再生型光磁気記録媒体を製造した。ト
ラックピッチ0.4μmの案内溝(ヘッダー領域51の
案内溝53およびデータ領域52の案内溝54)の付い
たポリカーボネート製の基板22を、原盤のカッティン
グ後に160℃でレジストの熱処理を行ったヘッダー領
域の案内溝53の深さ15nm、データ領域の案内溝5
4の深さ65nmのスタンパーを用いて射出成形により
作製した。ヘッダー領域には、半値幅が150nmで半
径に比例した長さ(最外周で約5μm)のトリガーピッ
トの前後に半径に比例した長さ(最外周で約6μm)の
ミラー部(案内溝を形成していない領域)が形成されて
いる。成形後の基板の溝深さはスタンパーと同じであっ
た。スタンパー上の案内溝の深さは、スタンパー製造の
ための厚み70nmのレジスト付原盤の紫外線レーザー
カッティングの際にレーザーパワーを変化させることに
より制御した。ヘッダー領域はデータ領域の前にあり、
両者の長さの比は1:20とし、一周に190個のヘッ
ダー領域/データ領域を形成した。成形された基板21
上でもスタンパーとほぼ同じ深さの案内溝であることが
AFMにより確認された。SiN誘電体層24を245
nmとした他は実施例1と同様の表面再生型光磁気記録
媒体を製造した。成形後の基板上でヘッダー領域の案内
溝53の底およびヘッダー領域のランド中央部の表面粗
さ(Ra)は各々0.4nm、0.4nmとなった。
(Embodiment 7) A substrate having a header area and a data area as schematically shown in FIG. 5 and having a spiral guide groove is used, and the diameter of the laminated structure as shown in FIG. 2 is used. A surface reproducing type magneto-optical recording medium of 130 mm was manufactured. A polycarbonate substrate 22 having a guide groove having a track pitch of 0.4 μm (a guide groove 53 in the header region 51 and a guide groove 54 in the data region 52) was subjected to a resist heat treatment at 160 ° C. after cutting the master. 15 nm deep in the guide groove 53, and the guide groove 5 in the data area.
4 was produced by injection molding using a 65 nm deep stamper. In the header area, before and after the trigger pit having a half-value width of 150 nm and a length proportional to the radius (about 5 μm at the outermost circumference), a mirror portion (guide groove formed with a length proportional to the radius (about 6 μm at the outermost circumference) is formed. (A region that is not performed). The groove depth of the formed substrate was the same as that of the stamper. The depth of the guide groove on the stamper was controlled by changing the laser power during ultraviolet laser cutting of a 70-nm-thick resist-coated master for manufacturing the stamper. The header area is before the data area,
The length ratio was 1:20, and 190 header areas / data areas were formed in one round. Molded substrate 21
It was confirmed by AFM that the guide groove had almost the same depth as the stamper. The SiN dielectric layer 24 is 245
A surface reproduction type magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the thickness was changed to nm. The surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove 53 in the header region and the center of the land in the header region on the molded substrate were 0.4 nm and 0.4 nm, respectively.

【0050】表1に示すように実施例5〜7のいずれに
おいてもヘッダーの信号品質、浮上性、トリガー信号と
もに良好であった。
As shown in Table 1, in all of Examples 5 to 7, the signal quality of the header, the floating property, and the trigger signal were good.

【0051】[0051]

【発明の効果】本発明では、書き換え可能なヘッダー領
域にデータ領域より浅い案内溝を形成することにより浮
上型SILヘッドの振動が抑制され、安定な浮上性が得
られる。また、データ領域に比べてヘッダー領域の案内
溝が浅いことや、ヘッダー領域の案内溝の底およびヘッ
ダー領域のランド中央部の表面粗さ(Ra)が0.5n
m以下である基板を使用することにより、ヘッダー領域
に案内溝を付けたことによるSNRの低下も抑制でき
る。また、媒体が光磁気記録媒体の場合にはヘッダー領
域に案内溝をつけることでヘッダー領域においてもデー
タ領域と同等の記録マークの繰り返し再生耐久性が得ら
れる。
According to the present invention, by forming a guide groove shallower than the data area in the rewritable header area, the vibration of the flying type SIL head is suppressed, and a stable flying property is obtained. The guide groove in the header area is shallower than the data area, and the surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove in the header area and the center of the land in the header area is 0.5 n.
By using a substrate having a diameter of not more than m, a decrease in SNR due to the provision of the guide groove in the header region can also be suppressed. When the medium is a magneto-optical recording medium, by providing a guide groove in the header area, it is possible to obtain the same recording mark repetitive reproduction durability as the data area in the header area.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の表面再生型光記録媒体の一例の構造を
示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing the structure of an example of a surface-reproduction optical recording medium according to the present invention.

【図2】本発明の表面再生型光記録媒体で光磁気記録を
用いたときの薄膜構造の一例を示す部分断面図である。
FIG. 2 is a partial sectional view showing an example of a thin film structure when magneto-optical recording is used in the surface-reproducing optical recording medium of the present invention.

【図3】本発明の表面再生型光記録媒体で相変化記録を
用いたときの薄膜構造の一例を示す部分断面図である。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing an example of a thin film structure when phase change recording is used in the surface-reproducing optical recording medium of the present invention.

【図4】本発明の表面再生型光記録媒体の別の一例の構
造を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing the structure of another example of the surface-reproduction optical recording medium of the present invention.

【図5】本発明の表面再生型光記録媒体の別の一例の構
造を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing the structure of another example of the surface-reproduction optical recording medium of the present invention.

【図6】本発明の表面再生型光記録媒体の別の一例の構
造を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing the structure of another example of the surface-reproduction optical recording medium of the present invention.

【図7】本発明の表面再生型光記録媒体の別の一例の構
造を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing the structure of another example of the surface-reproduction optical recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11、41、51、61:ヘッダー領域 12、42、52、62:データ領域 13、43、53、63:ヘッダー領域にある案内溝 14、44、64、64:データ領域にある案内溝 45:ミラー部 55、65:トリガーとなるピット 21、31、71:基板 22:反射層 23:記録層 24:誘電体層 25、36:固体潤滑層 26、37:ルブリカント層 32:Ag合金反射層 33:ZnS−Si02層 34:GeSbTe記録層 35:ZnS−Si02誘電体層 72:円弧的に配置されたヘッダー領域 73:スライダー 74:スイングアーム11, 41, 51, 61: header area 12, 42, 52, 62: data area 13, 43, 53, 63: guide groove in header area 14, 44, 64, 64: guide groove in data area 45: Mirror parts 55, 65: pits serving as triggers 21, 31, 71: substrate 22: reflective layer 23: recording layer 24: dielectric layer 25, 36: solid lubricating layer 26, 37: lubricant layer 32: Ag alloy reflective layer 33 : ZnS-Si0 2 layer 34: GeSbTe recording layer 35: ZnS-Si0 2 dielectric layer 72: the arc-arranged header area 73: slider 74: swing arm

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 11/105 521 G11B 11/105 521J 531 531X ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11B 11/105 521 G11B 11/105 521J 531 531X

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 書き換え可能なヘッダー領域と、案内溝
が形成されたデータ領域を備えた表面再生型光記録媒体
であって、ヘッダー領域にデータ領域より浅い案内溝が
形成されていることを特徴とする表面再生型光記録媒
体。
1. A surface-reproducing optical recording medium having a rewritable header area and a data area in which a guide groove is formed, wherein a guide groove shallower than the data area is formed in the header area. Surface-reproducing optical recording medium.
【請求項2】 ヘッダー領域の案内溝の深さが5nm以
上30nm以下であることを特徴とする請求項1に記載
の表面再生型光記録媒体。
2. The surface-reproducing optical recording medium according to claim 1, wherein the depth of the guide groove in the header region is 5 nm or more and 30 nm or less.
【請求項3】 ヘッダー領域の案内溝の底およびヘッダ
ー領域のランド中央部の表面粗さ(Ra)が0.5nm
以下である基板を用いて作成したことを特徴とする請求
項1または2に記載の表面再生型光記録媒体。
3. The surface roughness (Ra) of the bottom of the guide groove in the header area and the center of the land in the header area is 0.5 nm.
3. The surface-reproducing optical recording medium according to claim 1, wherein the surface-reproducing optical recording medium is prepared using the following substrate.
【請求項4】 データ領域とヘッダー領域の案内溝の深
さの差が20nm以上であることを特徴とする請求項1
〜3のいずれか1項に記載の表面再生型光記録媒体。
4. The method according to claim 1, wherein the difference between the depths of the guide grooves in the data area and the header area is 20 nm or more.
4. The surface-reproducing optical recording medium according to any one of items 3 to 3.
【請求項5】 データ領域とヘッダー領域の境界部に周
方向の幅が20μm以内のミラー部を設けたことを特徴
とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面再生型
光記録媒体。
5. The surface-reproducing optical recording according to claim 1, wherein a mirror portion having a circumferential width of 20 μm or less is provided at a boundary between the data area and the header area. Medium.
【請求項6】 ヘッダー領域に書き込みのタイミングを
とるためのピットが1個以上形成されていることを特徴
とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面再生型
光記録媒体。
6. The surface-reproducing optical recording medium according to claim 1, wherein one or more pits for setting a write timing are formed in the header area.
【請求項7】 書き込みのタイミングをとるためのピッ
トが半径方向に繋がっていることを特徴とする請求項6
に記載の表面再生型光記録媒体。
7. A pit for setting a write timing is connected in a radial direction.
4. A surface-reproducing optical recording medium according to item 1.
【請求項8】 書き込みのタイミングをとるためのピッ
トの前後に各々周方向の幅が10μm以内のミラー部を
設けたことを特徴とする請求項6または7に記載の表面
再生型光記録媒体。
8. The surface-reproducing optical recording medium according to claim 6, wherein a mirror portion having a circumferential width of 10 μm or less is provided before and after the pit for setting a writing timing.
【請求項9】 ヘッダー領域が、半径方向で直線的に配
置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか
1項に記載の表面再生型光記録媒体。
9. The method according to claim 1, wherein the header areas are linearly arranged in the radial direction.
Item 2. The surface-reproducing optical recording medium according to item 1.
【請求項10】 ヘッダー領域が、半径方向で円弧的に
配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれ
か1項に記載の表面再生型光記録媒体。
10. The surface-reproducing optical recording medium according to claim 1, wherein the header area is arranged in an arc in a radial direction.
【請求項11】 記録領域が複数のゾーンに分割されて
いる表面再生型光記録媒体であって、ヘッダー領域が、
前記複数のゾーンごとに半径方向で直線的または円弧的
に配置されていることを特徴とする請求項1〜8のいず
れか1項に記載の表面再生型光記録媒体。
11. A surface-reproducing optical recording medium in which a recording area is divided into a plurality of zones, wherein a header area comprises:
The surface-reproducing optical recording medium according to any one of claims 1 to 8, wherein the plurality of zones are arranged linearly or in an arc in a radial direction.
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