JP2001289687A - 液体滅菌剤を供給および計量するための方法および装置 - Google Patents
液体滅菌剤を供給および計量するための方法および装置Info
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Abstract
ナから気化装置内に計量供給するための装置および方法
を提供する。 【解決手段】 上記の供給装置の動作方法は、付加的な
液体滅菌剤の必要性を感知する工程と、当該液体滅菌剤
が使用可能であるか否かを決定する工程と、当該液体滅
菌剤をコンテナからアキュムレータ内に供給する工程と
により構成されている。さらに、気化装置内に液体滅菌
剤を計量供給する方法は、当該気化装置に接続するチャ
ンバー内を真空にする工程と、供給の流れを継続的に感
知しながら液体滅菌剤を気化装置内に供給する工程とに
より構成されている。この計量装置は緩やかで制御され
た流れを維持することにより、液体滅菌剤の気化効率を
高め、ガス/液体境界面の正確な感知を実行可能にす
る。
Description
量する装置および方法に関し、特に、コンテナから気化
システムの中に液体滅菌剤を供給および計量する装置お
よび方法に関する。この気化システムにより生成された
蒸気またはガスは一般に滅菌処理および/または汚染除
去用途に使用される。
めに、特に医療分野においては、この装置または器具が
滅菌剤を蒸気化するチャンバーの中に入れられる。さら
に、有効で効率的な滅菌処理を確実に行なうために、液
体滅菌剤を正確に計量して、再現性良く計測した量を気
化チャンバーの中に供給する必要がある。
中に計量して供給する従来法の一例として、密封セルか
ら所定の使用量の液体滅菌剤を抽出する方法がある。す
なわち、カセットが一群のこれらのセルを保持してい
て、各セルから一定の使用量を抽出するために、分配装
置が各セルをそれぞれ穴あけして、空気圧により液体滅
菌剤を穴あけしたセルから押し出す。
の不都合点がある。第1に、セルのカセットを使用する
ことにより作業性の点で柔軟性に乏しくなる。その理由
は、チャンバーの中に導入する液体滅菌剤の量が個々の
セルの容積またはその倍数の量に制限されるためであ
る。第2に、比較的多量の液体滅菌処理剤を必要とする
多相または流動式の滅菌処理工程において、多数個のカ
セットが必要になり、この結果、この方法が作業性の点
で柔軟でなくなるだけでなく、経済的および実用的な観
点からも不都合である。さらに、液体滅菌剤(過酸化水
素等)はガスや蒸気に変化しやすい。このような気化現
象が起こると、各セルを排気しない限り、このガスや蒸
気によりカセットセルが破裂するおそれがある。しかし
ながら、時間経過に伴って、この排気により滅菌剤の濃
度が低下する。
めから気化チャンバーの中にポンプ供給される。この方
法の重要な点は有効且つ効率的な滅菌処理を行なうため
に液体滅菌剤を適正に計量することである。このように
液体滅菌剤の適正な量を計量する幾つかの制御機構が存
在しており、例えば、ポンプ容積を直接制御すること、
連続的な流れにおける1回の処理時間または分配時間を
制御すること、出力ポンプを固定すること、および液体
が液だめからポンプ供給されている時に液だめの減少量
をモニターすること等が挙げられる。
同様に、この方法もまた液体滅菌剤の経時的な状態変化
に伴う不都合点を有している。すなわち、既に述べたよ
うに、液体滅菌剤は経時的に状態変化してガスや蒸気を
形成しやすい。そのため、ガス状に変化した滅菌剤によ
り形成される気泡により上記の制御機構による効果、効
率、および精度が損なわれる。例えば、気泡により、ス
トローク式ポンプは、一定の延長時間アイドリング状態
に置かれた場合に、「蒸気ロック(vapor lock)」現象
を生じる。さらに、一定の圧力または減圧条件において
分配時間を制御することにより液体滅菌剤を計量する制
御機構において、液体は気泡と共に不均一な状態で気化
装置内に押し出される、または、吸引されるために、そ
の処理効率および効果が著しく低下する。さらに別の例
として、このようなガスや蒸気の形成により、液だめに
おける減少量をモニターする制御機構の作用効果が低下
する。すなわち、このような装置が一定の延長時間にお
いてアイドリング状態に維持されると、その秤量器で計
測した場合の液だめの減少量には、始動時に気化装置内
に分配される分配管の中に形成されている気泡が算入さ
れていない。
化する場合に生じる不都合点に加えて、液体滅菌剤の計
量を制御するために用いられていた従来の方法は、これ
らが高い注入速度および高圧処理に依存する場合に、さ
らに別の不都合を生じていた。すなわち、上記のような
状態変化に伴う不都合点を回避するためには、従来の制
御機構は高い注入速度および高圧を用いて液体滅菌剤を
できるだけ迅速に分配する必要がある。しかしながら、
このような高い注入速度および高圧は設備に過度の歪み
を与えることになり、システム内の漏れを生じる場合が
ある。さらに、このような高圧に耐える特定種類の材料
により設備を構成することによりシステム漏れを減少し
ようとすると、内部に含まれる物質により相容性の問題
が生じる場合がある。
化装置内に供給される液体滅菌剤を計量するシステム内
に液体滅菌剤のコンテナを供給して計量する装置および
方法が要望されている。この処理は高精度で再現性良く
計量された量において行なわれる必要がある。さらに、
システム漏れおよび材料相容性の問題を解消するため
に、比較的低い流速で一定の計量容積の液体滅菌剤を気
化チャンバーの中に供給できる計量装置および方法が要
望されている。従って、この目的を達成するために、上
記の装置内に流量センサーを内蔵する必要がある。
から気化装置内に液体滅菌剤のような液体を供給および
計量するための装置および方法が提供される。
供給装置はコンテナから液体を受容するためのアキュム
レータにより構成されている。さらに、この供給システ
ムはアキュムレータ内の液体の量等のアキュムレータの
所定の仕様条件を決定するためのセンサーを備えてい
る。また、この供給システムはコンテナ内の液体が使用
に適しているか否か等のコンテナについての所定の仕様
条件を決定するための第2のセンサーを備えている。ま
た、コンテナをキャリヤ内に装填するための供給機構が
備えることができ、このキャリヤは放出機構により放出
された後にオペレータにより開放される。さらに、アキ
ュムレータ内にコンテナ内の液体を供給するための第2
の供給機構を備えることができ、係止機構がアキュムレ
ータ内への液体の供給時に第2の供給機構内においてコ
ンテナを保持する。
キュムレータ内の液体が所定の仕様条件を満足するか否
かを決定する工程と、その後に、コンテナをコンテナ供
給装置内に装填する処理を促す信号を発生する工程とに
より構成されている。その後、この供給装置はコンテナ
内の液体が第2の仕様条件を満たすか否かを決定し、当
該条件を満たす場合に、このコンテナ供給装置はコンテ
ナを当該コンテナ供給装置内に装填することを容認す
る。コンテナがコンテナ供給装置内に装填されると、コ
ンテナは係止されてコンテナ供給システム内に固定保持
される。さらに、コンテナが係止されると、液体がコン
テナからアキュムレータ内に供給される。
本発明は一定計量容積の液体を気化装置に供給する計量
チューブ内に液体を供給するためのアキュムレータによ
り構成されている。この計量装置は複数のバルブを使用
しており、これらのバルブは装置内の流体の方向および
流れを制御する。さらに、この計量装置は液体をアキュ
ムレータから計量チューブに第1の流速で供給するため
の供給機構を備えている。さらに、第2の供給機構が液
体を計量チューブから気化装置に第2の流速で供給し、
この第2の流速は上記第1の流速よりも遅い。
装置および計量チューブを排気する工程と、その後に、
液体をアキュムレータから計量チューブに第1の流速で
供給する工程とにより構成されている。その後、この計
量装置は液体を計量チューブから気化装置に第2の流速
で供給し、この第2の流速は上記第1の流速よりも遅
い。これにより、この計量装置は緩やかで調整された流
れを維持することができ、液体滅菌剤の高効率な気化、
および空気/液体の境界領域の正確な感知を行なうこと
ができる。
コンテナ供給装置を示している図であり、図3は図1お
よび図2の装置内に装填可能なコンテナを示している図
である。
的に示している図である。図示の実施形態において、こ
の装置はコンテナ供給装置およびその一構造部分内に収
容された計量装置を備えている。後に詳述する計量装置
は供給パネル1の後方に収容されている。また、気化チ
ャンバーはコンテナ供給装置の上方に配置されている前
方パネル2の中に収容されている。維持管理、修復等の
処理がサービス・パネル3または側面パネル4を介する
接近により行なうことができる。コンテナ供給装置の外
部構成部品として、蓋5、ラッチ6、ポケット・ハンド
ル7、および紐8が含まれる。
いる図である。オペレータがポケット・ハンドル7を引
っ張って紐8を装置の構造部分から引き離すことによ
り、滅菌剤、感染防止剤、または液体殺菌剤のような液
体を入れたコンテナ9(図3に示すようなもの)を開口
したキャリヤ10の中に装填できる。蓋5、コンテナ1
0、保護部分12、ラッチ6、ポケット・ハンドル7、
および紐8から成るコンテナ・キャリヤ組立体11は装
置を開口状態にした時に一定角度だけ回動して、蓋5が
開いて、コンテナ9を供給用に中に入れることができる
ようになる。
いては、装置内に装填されるコンテナ9の中の液体が容
認不可と判断された場合に、オペレータは供給装置を開
口することができない。このようなコンテナ9内の液体
の使用が容認可能であるか否かの決定は、例えば、コン
テナ9に付着したバー・コード13を走査処理すること
により行なえる。図3に示すように、バー・コード13
は特定のコンテナ内に貯蔵される液体滅菌剤の関連デー
タを示すデジタル化情報を含んでいる。すなわち、各コ
ンテナ9にはコンテナの誤使用を防ぐために特定のバー
・コード13が備え付けられている。その一例として、
オペレータはコンテナ供給装置に、または当該装置の近
くに取り付けた移動可能なバー・コード読取装置を使用
して装填するコンテナ9のバー・コード13を走査でき
る。
り制御されるラチェット14から成るインターロック機
構が、コンテナ9内の液体が容認不可と決定された場合
に、供給装置の開口を阻止する。一方、コンテナおよび
その中の液体が容認可能であると決定された場合は、ソ
レノイド15が作動してラチェット14の係合が解除さ
れる。
よび図5に示す。保護部材12およびコンテナ・キャリ
ヤ10に接続固定した軸受け16が水平トラック17の
中に配置されている。図6に示すように、ラチェット1
4には、軸受け16およびコンテナ・キャリヤ10の横
方向の移動を阻止するための形状を有する先端部18が
設けられている。それゆえ、ラチェット14がソレノイ
ド15により係合解除されて移動可能になっても、軸受
け16の移動がラチェット14の先端部18により阻止
された状態で維持される。このことを解消するために、
オペレータはポケット・ハンドル7によりコンテナ・キ
ャリヤ10を構造部分側に押す必要がある。このオペレ
ータによるコンテナ・キャリヤ10の移動により、ラチ
ェット14の先端部18が軸受け16を越えることを可
能にする空隙部19が形成される。この空隙部19がオ
ペレータによる軸受け16の移動により形成されると、
ラチェット14は上方に回動して軸受け16を放出する
ことにより、軸受け16がトラック17の中を横方向に
移動する。
中で自由に可能な状態の移動できる状態の軸受け16と
共に、コンテナ・キャリヤ10から成るコンテナ・キャ
リヤ組立体11、紐8、アキュムレータ20、ブレード
21およびスパイク組立体22、ポケット・ハンドル
7、蓋5、およびラッチ6が回動軸23の周りを回動す
る。これと同時に、コンテナ・キャリヤ組立体11の全
体がトラック17内の軸受け16の水平移動により案内
されて横方向に移動する。さらに、トラック17の端部
において軸受け16の横方向の移動が阻止されるため
に、コンテナ・キャリヤ組立体11のその後の横方向の
移動および回動移動が阻止される。図7に示すように、
軸受け16がトラック17の端部に到達すると、連結部
材25上のピン24が位置40の周りに回動して棚部2
6上に支持されることにより、コンテナ・キャリヤ組立
体11が係止される。好ましくは、コンテナ9の供給ま
たは非供給時または蓋5の上昇時中に、連結部材25は
コンテナ・キャリヤ10を開口状態に維持する。また、
別の実施形態においては、コンテナ・キャリヤ10は連
結部材25により開口状態に係止されることなく動作で
きる。
完全に開口している時に、オペレータは一方の手でラッ
チ6を解除して蓋5を上昇し、キャップ27を付けたコ
ンテナ9をコンテナ・キャリヤ10の中に入れて、蓋5
をラッチ6により閉じる。この構成を図7に示してお
り、当該構成において、コンテナ9はコンテナ・キャリ
ヤ10の中に挿入されている。この時点で、コンテナ9
に穴は形成されておらず、キャップ27上のシール28
が穴あけの待機状態になっている。このシール28に穴
をあけるために、オペレータは連結部材25を押し下げ
てコンテナ・キャリヤ10の係止を解除することにより
コンテナ・キャリヤ10を閉じてから、コンテナ・キャ
リヤ組立体11を内側に押し込む必要がある。この係止
移動により、コンテナ9はスパイク組立体22の上に垂
直下方に押し下げられる。これにより、スパイク組立体
22のブレード21がコンテナ9のシール部28に穴あ
けする。コンテナ9のシール部28はラチェット14が
軸受け16上に係止した後にのみ穴あけできる。さら
に、コンテナ・キャリヤ組立体11が閉鎖状態で係止さ
れているので、シール部28がスパイク組立体22によ
り穴あけされた後にコンテナ9は後退することができな
い。
される時に、コンテナ9の内容物が重力に従ってアキュ
ムレータ20の中に流れ込む。好ましい実施形態におい
て、アキュムレータ20の容積はコンテナ9の容積より
も大きい。このシステムの重要な利点は装置がコンテナ
を手動装填するために重力に依存していることである。
さらに、この装置はドアの閉鎖機構を利用してコンテナ
のシール部を穴あけしている。これらの2種類の特徴に
より、空気圧やソレノイドを用いてコンテナを上下動す
ることによりシールを開口する構成よりもはるかに信頼
性の高い構成を得ることができる。
と、2個のセンサーがコンテナ9およびコンテナ9の中
の液体を検出する。図4に示すコンテナ・センサー29
はコンテナ9から流出する液体を検出してブレード21
がシール28に穴あけしたことを確認する。さらに、容
量センサー30がアキュムレータ20に流れ込む液体を
検出し、比較的少ない容量の時点で液体を検出する。す
なわち、アキュムレータ20が比較的少ない容量の段階
である場合に、容量センサー30はオペレータにディス
プレイを介して装置が新しいコンテナの装填を必要とし
ていることを指示する。
体22は図8に示すような開口機構を備えている。この
開口機構31はスパイク組立体22の上部に固定されて
いる。開口機構31は垂直に配置された2個の部材およ
びこれら2個の部材の間に備えられている分離部材32
を備えている。一方の部材はブレード21であり、第1
の穴あけ装置として作用して、スパイク組立体の垂直軸
に対して一定の角度で配置できる。第2の部材はこの開
口機構31における第2の穴あけ装置33である。従っ
て、コンテナ・キャリヤ組立体11が閉鎖状態の時にコ
ンテナがスパイク組立体上に下降すると、コンテナ9の
シール部28がこのスパイク組立体22におけるブレー
ド21および第2の穴あけ装置33により穴あけされ
る。この結果、ブレード21はシール部28に第1の開
口部を形成し、第2の穴あけ装置33は第2の開口部を
形成する。さらに、コンテナ9が下降すると、分離機構
32がシール部28における第1の開口部と第2の開口
部の間に割れ目を形成する。その後、コンテナ9がさら
に押されて下降すると、分離機構32はその割れ目を拡
大する。この処理により、スパイク組立体22における
開口機構がコンテナ9のシール部28に十分な開口部を
形成して、その中に収容されているあらゆる液体がさら
に容易にアキュムレータ20の中に流れ込むことができ
るようになる。
アキュムレータ20の中の液体滅菌剤が使用可能である
か否かを信頼性良く決定して、その決定を使用者に通知
するように構成されている。この場合に、アキュムレー
タ20の中の液体滅菌剤が容認不可であると決定される
と、使用者は図9に示す後述のドレイン・コンテナ36
にその液体滅菌剤を排出する。
して、液体滅菌剤をアキュムレータ20の中に移し終え
ると、計量装置が必要に応じて気化装置に液体滅菌剤を
分配する。図9は計量装置の概略図であり、図10は計
量装置の側面図である。この計量装置は過酸化水素のよ
うな液体滅菌剤の所定量を医療装置および器具の滅菌処
理用の気化装置に信頼性良く移すことができるように構
成されている。
はソフトウエアにより制御されて、注入の必要な時に、
一定量の液体過酸化水素のような液体滅菌剤を供給でき
る。すなわち、このソフトウエアにより、4個のバルブ
がチャンバー内で使用可能な真空状態と共にオン・オフ
動作して、所定量の液体過酸化水素が計量チューブから
気化装置に移動する。これらのバルブは図9においてバ
ルブ1号71、バルブ2号72、バルブ3号73、およ
びバルブ4号74として示されている。
実施形態は計量チューブ90を備えており、このチュー
ブ90の中に液体滅菌剤がアキュムレータ20から分配
される。既に説明したように、アキュムレータ20の容
量センサー30はアキュムレータ20内の液体滅菌剤の
容量を指示することができる。比較的小径(例えば、1
/4インチ)の分配チューブ85がアキュムレータ20
の底部からバルブ1号71まで延在している。好ましい
実施形態において、スクリーン87がアキュムレータ2
0と分配チューブ85との間(またはアキュムレータ2
0の中)に配置されていて、固形粒子の計量チューブ9
0中の通過を阻止する。バルブ1号71は計量チューブ
90に接続している。第2のバルブであるバルブ3号7
3は空気供給源に接続していて、このバルブもまた計量
チューブ90に接続している。この計量チューブ90の
容積は一定である。さらに、この計量チューブ90は2
個のバルブ、すなわち、バルブ2号72およびバルブ4
号74に接続している。排出チューブ100はバルブ4
号74から延出して容認不可の液体滅菌剤を排出可能に
している。また、注入チューブ105がバルブ2号72
から気化装置110まで延在していて、この気化装置1
10内への液体滅菌剤の注入を可能にしている。さら
に、気化装置110は減圧下に置かれる滅菌処理チャン
バー115に接続している。
ンテナ9、アキュムレータ20、および計量装置を収容
する第2のコンテナ34を備えている。これにより、コ
ンテナ供給装置が漏れや溢れを生じた場合に、この第2
のコンテナ34がこぼれた液体を閉鎖した装置内に保持
する。
り使用される計量方法の種々の状態を示す表である。状
態1において、装置はアイドリング状態であり、4個の
バルブ(すなわち、バルブ1号71、バルブ2号72、
バルブ3号73、およびバルブ4号74)の全てが閉じ
ている。状態2においては、バルブ2号72が開口して
計量チューブ90が排気される。その後、状態3におい
てバルブ2号72を閉鎖してバルブ1号71を開口する
ことによりアキュムレータ20からの液体滅菌剤により
計量チューブ90が満たされる。次に、状態4におい
て、先ずバルブ1号71を閉じてバルブ2号72を開口
した後に、短い遅延時間を挟んで、バルブ3号73を開
口することにより、液体滅菌剤が気化装置110の中に
注入される。このように計量した液体滅菌剤を気化装置
110の中に注入した後に、状態5において、流量セン
サー120がバルブ2号72を介して注入チューブ10
5内に入った空気を感知してバルブ3号73の閉鎖を促
す。この時点で、計量処理が完了する。その後、バルブ
2号72を閉鎖して、次の注入処理に備える。さらに、
状態6は、アキュムレータ20の中の液体滅菌剤が使用
不可であると決定された場合に、この滅菌剤をバルブ1
号71およびバルブ4号74を開口することにより装置
から排出する状態を示している。この使用不可の液体滅
菌剤は重力によりアキュムレータ20から排出チューブ
100を介してドレイン・コンテナ36の中に流れ込
む。
05の寸法および直径はバルブ1号71および分配チュ
ーブ85の寸法および直径よりも小さい。例えば、バル
ブ1号71および分配チューブ85は1/4インチの直
径を有していて、液体滅菌剤により計量チューブ90を
比較的迅速に満たすことができる。同一の実施例におい
て、バルブ2号72および注入チューブ105は1/1
6インチの直径を有している。このように比較的小さい
直径にすることにより、流速を比較的小さくすることが
可能になる。すなわち、気化装置内への流速が遅いほ
ど、気化状態中に気化装置が加熱状態で維持可能にな
り、気化効率を最大に高めることができる。また、流速
を遅くするほど、注入チューブ105の中の空気/液体
の境界面を正確に感知できる。
ー115の内部が真空状態に維持される。例えば、状態
2および状態3において、滅菌処理チャンバー内を真空
状態にすると共に、計量チューブおよび注入チューブが
排気されて、計量チューブが液体で満たされる。一方、
状態4および状態5における液体滅菌剤の注入中におい
ては、滅菌処理チャンバー115内の真空減圧処理がオ
フになる。また、状態6における排出処理中は、滅菌処
理チャンバー115の真空状態はオンでもオフでもよ
い。なお、状態1において計量装置がアイドリング状態
である時は、真空処理を常にオフにできる。このような
滅菌処理チャンバー内で使用可能な真空状態を利用して
液体滅菌剤を気化装置内に移動することにより、液体を
気化装置に供給するためのポンプの使用が全く必要なく
なる。
発明の基本的な新規な特徴の図示、説明、および指摘を
詳細に行なったが、例示の装置の形態および詳細部にお
ける種々の省略および置換および変更が当該技術分野の
熟練者により本発明の趣旨および範囲に逸脱することな
く行なうことが可能である。例えば、本発明を滅菌処理
装置における使用について説明したが、もちろん、本発
明による供給および計量のための装置および方法が所定
量の液体をコンテナの中に分配する際の効率および効果
を改善することが望まれる別の装置にも適用可能である
ことが当然に理解されると考える。
体の流速を感知する工程から成る請求項1に記載の方
法。 (3)前記液体をコンテナからアキュムレータ内に供給
する工程が当該コンテナのシール部を穴あけする工程に
より構成されている請求項1に記載の方法。 (4)前記コンテナのシールを穴あけする工程が前記コ
ンテナ供給装置を閉鎖する工程と同時に行なわれる実施
態様(3)に記載の方法。 (5)前記コンテナ供給システムが係止機構を備えてい
るコンテナ・キャリヤ組立体により構成されている請求
項1に記載の方法。
該コンテナ供給装置の中にコンテナを受容する工程が、
前記コンテナ・キャリヤ組立体をコンテナ供給装置に向
けて押すことにより前記係止機構を解除する工程と、前
記係止機構を解除した後に、コンテナ・キャリヤ組立体
をコンテナ供給装置から引き出す工程とにより構成され
ている請求項1に記載の方法。 (7)前記液体が第1の所定の仕様条件を満たしている
か否かを決定する工程がアキュムレータ内の液体の容量
を感知する工程により構成されている請求項1に記載の
方法。 (8)さらに、前記コンテナ内の液体が第2の所定の仕
様条件を満たしているか否かを決定する工程から成る請
求項1に記載の方法。 (9)前記コンテナ内の液体が第2の所定の仕様条件を
満たしているか否かを決定する工程が当該コンテナに対
して特異的な認識手段を感知する工程により構成されて
いる請求項(8)に記載の方法。 (10)前記コンテナに対して特異的な認識手段がバー
・コードである実施態様(8)に記載の方法。
ト・コード情報である実施態様(8)に記載の方法。 (12)前記液体が殺菌剤である請求項2に記載の供給
装置。 (13)前記コンテナが一定容量の液体を収容している
請求項2に記載の供給装置。 (14)前記アキュムレータの容量がコンテナの容量よ
りも大きい請求項2に記載の供給装置。 (15)前記コンテナが液体をコンテナ内に保持するた
めのシール機構を備えている請求項2に記載の供給装
置。
構を開口するための開口機構を備えている実施態様(1
5)に記載の供給装置。 (17)前記第1のセンサーがアキュムレータ内の液体
の容量を検出する請求項2に記載の供給装置。 (18)さらに、前記コンテナの第2の所定の使用条件
を決定するための第2のセンサーから成る請求項2に記
載の供給装置。 (19)前記第2のセンサーがバー・コード・スキャナ
である実施態様(18)に記載の供給装置。 (20)前記第2の所定の使用条件がロット・コード情
報である実施態様(18)に記載の供給装置。
ムレータ内に供給される液体の流速を検出するための第
3のセンサーにより構成されている実施態様(18)に
記載の供給装置。 (22)前記コンテナ供給装置の閉鎖時に、第1の穴あ
け装置が前記シール部を穴あけして第1の開口部を形成
する請求項4に記載の方法。 (23)前記コンテナ供給装置の閉鎖時に、第2の穴あ
け装置が前記シール部を穴あけして第2の開口部を形成
する請求項4に記載の方法。 (24)第1の穴あけ装置および第2の穴あけ装置が分
離機構を介して接続している請求項4に記載の方法。 (25)前記分離機構がコンテナ供給装置の閉鎖時に前
記第1の開口部および第2の開口部の間に割れ目を形成
し、さらに、コンテナ供給装置の閉鎖時に当該割れ目を
拡大する実施態様(24)に記載の方法。
に記載の方法。 (27)さらに、前記計量チューブをアキュムレータか
ら分離する工程から成る請求項5に記載の方法。 (28)さらに、前記気化装置を計量チューブから分離
する工程から成る請求項5に記載の方法。 (29)さらに、前記計量チューブの内部をガスにより
排出する工程から成る請求項5に記載の方法。 (30)さらに、前記計量チューブおよび気化装置の間
のガス/液体境界面を感知する工程から成る請求項5に
記載の方法。
に記載の装置。 (32)さらに、ガスの供給源から成る請求項6に記載
の装置。 (33)さらに、前記ガス供給源から計量チューブにガ
スを供給するための第3の供給機構から成る請求項6に
記載の装置。 (34)さらに、前記計量チューブおよび気化装置の間
のガス/液体境界面を検出するためのセンサーから成る
請求項6に記載の装置。 (35)さらに、前記アキュムレータから計量チューブ
内に供給される液体の流れをフィルター処理するための
アキュムレータ内に備えられたスクリーンから成る請求
項6に記載の装置。
高精度で再現性良く計量供給することができ、従来にお
けるシステム漏れおよび材料相容性の問題を解消するこ
とのできる計量装置および方法が提供できる。
ある。
ナ供給装置の詳細な側面図である。
面図である。
る。
置の詳細な側面図である。
ための表である。
Claims (6)
- 【請求項1】 コンテナ供給装置を介して液体をコンテ
ナからアキュムレータ内に供給する方法において、 アキュムレータ内の液体が第1の所定の仕様条件を満足
するか否かを決定する工程と、 コンテナをコンテナ供給装置内に装填することを促す信
号を発生する工程と、 コンテナ供給装置を開放してコンテナを当該コンテナ供
給装置内に装填可能な状態にする工程と、 コンテナをコンテナ供給装置内に装填する工程と、 コンテナ供給装置を閉鎖する工程と、 コンテナ供給装置を係止してコンテナを当該コンテナ供
給装置内に固定する工程と、 液体をコンテナからアキュムレータ内に供給する工程と
から成る方法。 - 【請求項2】 液体をコンテナからアキュムレータ内に
供給する供給装置において、 液体をアキュムレータ内に供給するためのコンテナと、 コンテナから液体を受容するためのアキュムレータと、 アキュムレータの第1の所定の仕様条件を決定する第1
のセンサーと、 コンテナをコンテナ・キャリヤの中に装填するための第
1の供給機構と、 コンテナの中の液体をアキュムレータの中に供給するた
めの第2の供給機構と、 コンテナ・キャリヤを放出するための放出機構と、 供給装置内にコンテナを固定するための係止機構とから
成る供給装置。 - 【請求項3】 液体を収容するシール状態のコンテナお
よび当該コンテナから液体を受容するためのアキュムレ
ータにより構成されている液体供給装置における開口機
構において、 コンテナを液体供給装置の中に装填する際に、コンテナ
のシール部を穴あけして第1の開口部を形成するように
配置された第1の穴あけ装置と、 コンテナを液体供給装置の中に装填する際に、コンテナ
のシール部を穴あけして第2の開口部を形成するように
配置された第2の穴あけ装置と、 第1の穴あけ装置および第2の穴あけ装置の間を接続す
る状態で配置されて、コンテナを液体供給装置の中に装
填する際に、第1の開口部および第2の開口部の間に割
れ目を形成してこの割れ目を拡大するための分離機構と
から成る開口機構。 - 【請求項4】 液体を収容するコンテナのシール部を開
口して、当該液体をアキュムレータの中に供給するため
の方法において、 コンテナをコンテナ供給装置の中に装填する工程と、 コンテナ供給装置を閉鎖する工程と、 コンテナ供給装置を閉鎖する時に、コンテナのシール部
を穴あけすることにより当該シール部に第1の開口部を
形成する工程と、 コンテナ供給装置を閉鎖する時に、コンテナのシール部
を穴あけすることにより当該シール部に第2の開口部を
形成する工程と、 コンテナ供給装置を閉鎖する時に、第1の開口部および
第2の開口部の間に割れ目を形成する工程と、 コンテナ供給装置を閉鎖する時に、割れ目を拡大する工
程とから成る方法。 - 【請求項5】 計量チューブを介してアキュムレータか
ら気化装置内に液体を供給する方法において、 気化装置を排気する工程と、 計量チューブを排気する工程と、 液体をアキュムレータから計量チューブの中に第1の流
速で供給する工程と、 液体を計量チューブから気化装置の中に第2の流速で供
給する工程とから成り、当該第2の流速が第1の流速よ
りも遅い方法。 - 【請求項6】 計量チューブを介してアキュムレータか
ら気化装置内に液体を供給する装置において、 液体を計量チューブに供給するためのアキュムレータ
と、 液体をアキュムレータから受容して、当該液体を気化装
置に供給するための計量チューブと、 一定の計量された容積の液体を計量チューブから受容す
るための気化装置と、 装置内の流体の方向および流速を制御する複数のバルブ
と、 液体をアキュムレータから計量チューブに第1の流速で
供給するための第1の供給機構と、 液体を計量チューブから気化装置に第2の流速で供給す
るための第2の供給機構とから成り、当該第2の流速が
第1の流速よりも遅い装置。
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