JP2001213517A - 板状部材の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】塵や傷を発生させることがなく、生産性の高い
板状部材の搬送装置を提供しようとするものである。 【解決手段】本発明の板状部材の搬送装置は圧力流体の
送り込まれる圧力容器１の前面に多孔質体２を取り付
け、多孔質体２を通して圧力流体が噴き出されるように
したるようにして、板状部材を垂直あるいは斜めに無接
触状態で支持し、板状部材の下端を搬送支持するコンベ
ア６を設けた。
板状部材の搬送装置を提供しようとするものである。 【解決手段】本発明の板状部材の搬送装置は圧力流体の
送り込まれる圧力容器１の前面に多孔質体２を取り付
け、多孔質体２を通して圧力流体が噴き出されるように
したるようにして、板状部材を垂直あるいは斜めに無接
触状態で支持し、板状部材の下端を搬送支持するコンベ
ア６を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば半導体ウ
ェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどの搬送に用い
られる板状部材の搬送装置に関するものである。
ェハーや液晶表示装置のガラスパネルなどの搬送に用い
られる板状部材の搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体ウェハーや液晶表示装置の
ガラスパネルなどの製造過程において用いられる板状部
材の搬送装置は、特許出願公開平成１０年第１５８８６
６号公報に示されるようにローラーコンベアの上にガラ
スパネルなどの板状部材を載置し、ローラーコンベアに
よって板状部材を搬送するようにしていた。また同時に
板状部材に超純水等の洗浄水を掛けて洗浄するようにし
ていた。
ガラスパネルなどの製造過程において用いられる板状部
材の搬送装置は、特許出願公開平成１０年第１５８８６
６号公報に示されるようにローラーコンベアの上にガラ
スパネルなどの板状部材を載置し、ローラーコンベアに
よって板状部材を搬送するようにしていた。また同時に
板状部材に超純水等の洗浄水を掛けて洗浄するようにし
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】半導体ウェハーや液晶
表示装置のガラスパネルなどの板状部材は極めて小さな
塵が付着しても重大な不良となるが、上記のような従来
の板状部材の搬送装置は板状部材の主面と接するローラ
ーコンベアで搬送しているため、ローラーコンベアの表
面に塵が付着していると、その塵が板状部材の主面に付
着する可能性がある。
表示装置のガラスパネルなどの板状部材は極めて小さな
塵が付着しても重大な不良となるが、上記のような従来
の板状部材の搬送装置は板状部材の主面と接するローラ
ーコンベアで搬送しているため、ローラーコンベアの表
面に塵が付着していると、その塵が板状部材の主面に付
着する可能性がある。
【０００４】またローラーコンベアによって板状部材が
運搬される場合、板状部材が薄いと容易に反りを発生し
板状部材の端部が1つのローラーから次のローラーへ移
る時に衝撃を受ける。従って、板状部材の搬送速度をあ
る速度以上にすることができない。このため生産性をあ
るレベルから上げることが困難になる。
運搬される場合、板状部材が薄いと容易に反りを発生し
板状部材の端部が1つのローラーから次のローラーへ移
る時に衝撃を受ける。従って、板状部材の搬送速度をあ
る速度以上にすることができない。このため生産性をあ
るレベルから上げることが困難になる。
【０００５】特に液晶表示装置は精細度が年々上がって
おり、精細度を上げるためにはガラスパネルを薄くしな
ければならない。所がガラスパネルを薄くするに従っ
て、衝撃に対して弱くなり益々生産性が上がらなくな
る。
おり、精細度を上げるためにはガラスパネルを薄くしな
ければならない。所がガラスパネルを薄くするに従っ
て、衝撃に対して弱くなり益々生産性が上がらなくな
る。
【０００６】さらに板状部材２は上面だけしか洗浄でき
ない。このため両面を洗浄するためには、板状部材２を
反転させる必要がある。最近の液晶表示装置用のガラス
パネルは厚さが０.７ｍｍで縦８００ｍｍ、横１１００
ｍｍのものが多用されている。
ない。このため両面を洗浄するためには、板状部材２を
反転させる必要がある。最近の液晶表示装置用のガラス
パネルは厚さが０.７ｍｍで縦８００ｍｍ、横１１００
ｍｍのものが多用されている。
【０００７】このように薄くて広いガラスパネルは両端
を把持して持ち上げると、中心部分撓みによって４０ｍ
ｍ程度も垂れ下がる。従って、このようなガラスパネル
を反転させる作業は容易ではなく、反転に複雑な装置が
必要となる。
を把持して持ち上げると、中心部分撓みによって４０ｍ
ｍ程度も垂れ下がる。従って、このようなガラスパネル
を反転させる作業は容易ではなく、反転に複雑な装置が
必要となる。
【０００８】本発明は上記のような問題点を解消するも
のであり、塵や傷を発生させることがなく、生産性の高
い板状部材の洗浄装置を提供しようとするものである。
のであり、塵や傷を発生させることがなく、生産性の高
い板状部材の洗浄装置を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の板状部材の洗浄装置は圧力流体の送り込ま
れる圧力容器に多孔質体を取り付け、多孔質体を通して
噴出される圧力流体によって板状部材を立たせて板状部
材の下端のみを接触状態で支持して搬送するようにし
た。
め、本発明の板状部材の洗浄装置は圧力流体の送り込ま
れる圧力容器に多孔質体を取り付け、多孔質体を通して
噴出される圧力流体によって板状部材を立たせて板状部
材の下端のみを接触状態で支持して搬送するようにし
た。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、少なくとも１つの平面部を有する多孔質体を設け、
圧力流体の送り込まれる圧力容器の一面に前記多孔質体
を平面部が外を向くように取り付け、多孔質体を通して
圧力流体が噴き出されるようにするとともに、多孔質体
の平面部が傾斜あるいは垂直になるようにし、多孔質体
より噴出する圧力流体により支持される板状部材の下端
部を支持搬送するコンベアを設けたものであり、多孔質
体の平面部と板状部材との間に圧力流体の膜が形成さ
れ、板状部材が倒れないように支持されながら板状部材
の下端がコンベアで支持搬送されるという作用を有す
る。
は、少なくとも１つの平面部を有する多孔質体を設け、
圧力流体の送り込まれる圧力容器の一面に前記多孔質体
を平面部が外を向くように取り付け、多孔質体を通して
圧力流体が噴き出されるようにするとともに、多孔質体
の平面部が傾斜あるいは垂直になるようにし、多孔質体
より噴出する圧力流体により支持される板状部材の下端
部を支持搬送するコンベアを設けたものであり、多孔質
体の平面部と板状部材との間に圧力流体の膜が形成さ
れ、板状部材が倒れないように支持されながら板状部材
の下端がコンベアで支持搬送されるという作用を有す
る。
【００１１】
【実施例】以下本発明の板状部材の搬送装置の実施例に
ついて搬送とともに板状部材を洗浄する装置を図に沿っ
て詳細に説明する。
ついて搬送とともに板状部材を洗浄する装置を図に沿っ
て詳細に説明する。
【００１２】図１は板状部材の搬送装置実施例１の断面
図である。図１において１は圧力容器であり、圧力容器
１の開口には多孔性セラミックス材２が設けられてい
る。多孔性セラミックス材２は板状であり、少なくとも
圧力容器１の外部に露出した主面が平面状である。
図である。図１において１は圧力容器であり、圧力容器
１の開口には多孔性セラミックス材２が設けられてい
る。多孔性セラミックス材２は板状であり、少なくとも
圧力容器１の外部に露出した主面が平面状である。
【００１３】また多孔性セラミックス材２はアルミナ、
シリカ、チタニア、マグネシア、カルシア、イットニア
を含有する焼結体よりなる。この焼結体は酸化すること
なく、寿命が極めて長く焼結条件の設定によって孔の径
や分布を調整することができる。
シリカ、チタニア、マグネシア、カルシア、イットニア
を含有する焼結体よりなる。この焼結体は酸化すること
なく、寿命が極めて長く焼結条件の設定によって孔の径
や分布を調整することができる。
【００１４】圧力容器１には圧力流体パイプ３が接続さ
れ、圧力流体パイプ３を介して圧力容器１内部へ圧送さ
れた洗浄液が送り込まれる。そして圧力容器１は垂直な
基板４に複数本取り付けられている。
れ、圧力流体パイプ３を介して圧力容器１内部へ圧送さ
れた洗浄液が送り込まれる。そして圧力容器１は垂直な
基板４に複数本取り付けられている。
【００１５】洗浄液としては洗浄条件に合わせて純水、
超純水あるいはエタノール等の有機洗浄液を用いること
ができる。また洗浄液は洗浄液タンク（図示せず）より
ポンプ（図示せず）によって圧力流体パイプ３へ圧送さ
れる。
超純水あるいはエタノール等の有機洗浄液を用いること
ができる。また洗浄液は洗浄液タンク（図示せず）より
ポンプ（図示せず）によって圧力流体パイプ３へ圧送さ
れる。
【００１６】５は被洗浄板状部材のガラス基板であり裏
面が多孔性セラミックス材２と対向し垂直に支持されて
いる。６はガラス基板５の下端を支持し搬送するベルト
コンベアであり、複数の駆動ローラー７に張架されてい
る。８は駆動ローラー７の支持駆動シャフトである。
面が多孔性セラミックス材２と対向し垂直に支持されて
いる。６はガラス基板５の下端を支持し搬送するベルト
コンベアであり、複数の駆動ローラー７に張架されてい
る。８は駆動ローラー７の支持駆動シャフトである。
【００１７】９は洗浄液噴霧ノズルであり、ガラス基板
５の表面に向かって洗浄液１０を噴霧するもので、複数
個設けられている。そして各洗浄液噴霧ノズル９は図２
に示すように洗浄液供給パイプ１１によって洗浄液が供
給される。
５の表面に向かって洗浄液１０を噴霧するもので、複数
個設けられている。そして各洗浄液噴霧ノズル９は図２
に示すように洗浄液供給パイプ１１によって洗浄液が供
給される。
【００１８】また図２に示されるように洗浄液噴霧ノズ
ル９はガラス基板５の上下から洗浄液１０を吹き付け
る。また図２に示される１２はモーターで支持駆動シャ
フト８に連結されており、モーター１２の回転駆動力に
よってベルトコンベア６が駆動される。
ル９はガラス基板５の上下から洗浄液１０を吹き付け
る。また図２に示される１２はモーターで支持駆動シャ
フト８に連結されており、モーター１２の回転駆動力に
よってベルトコンベア６が駆動される。
【００１９】本発明の板状部材の搬送装置実施例１は上
記の如く構成され、以下その動作について説明する。先
ず、圧力流体パイプ３から洗浄液を圧送する。すると圧
力容器１の内部は洗浄液で満たされ、多孔性セラミック
ス材２を通過して多孔性セラミックス材２の前面から噴
出する。また洗浄液供給パイプ１１から洗浄液を圧送す
る。すると洗浄液噴霧ノズル９から洗浄液が噴出する。
記の如く構成され、以下その動作について説明する。先
ず、圧力流体パイプ３から洗浄液を圧送する。すると圧
力容器１の内部は洗浄液で満たされ、多孔性セラミック
ス材２を通過して多孔性セラミックス材２の前面から噴
出する。また洗浄液供給パイプ１１から洗浄液を圧送す
る。すると洗浄液噴霧ノズル９から洗浄液が噴出する。
【００２０】この状態で多孔性セラミックス材２の前面
にガラス基板５を通すと、多孔性セラミックス材２の前
面とガラス基板５との間に洗浄液層１３ができ、またガ
ラス基板５は洗浄液層１３と洗浄液噴霧ノズル９から噴
出した洗浄液との間に挟まれた状態となる。
にガラス基板５を通すと、多孔性セラミックス材２の前
面とガラス基板５との間に洗浄液層１３ができ、またガ
ラス基板５は洗浄液層１３と洗浄液噴霧ノズル９から噴
出した洗浄液との間に挟まれた状態となる。
【００２１】つまりガラス基板５は、下端縁以外は無接
触状態で多孔性セラミックス材２と洗浄液噴霧ノズル９
との間に浮遊する。従ってガラス基板５の表面及び裏面
とも無接触状態で洗浄及び搬送される。
触状態で多孔性セラミックス材２と洗浄液噴霧ノズル９
との間に浮遊する。従ってガラス基板５の表面及び裏面
とも無接触状態で洗浄及び搬送される。
【００２２】ここでモーター１２を動作させてベルトコ
ンベア６を駆動すると、ベルトコンベア６の上に乗った
ガラス基板５は移動する。この時にガラス基板５の両面
は洗浄液によって支持され、下端縁のみしかベルトコン
ベア６と接触していないため、ガラス基板５の両面が汚
れることはない。またガラス基板５が極めて薄くて湾曲
しやすくても、
ンベア６を駆動すると、ベルトコンベア６の上に乗った
ガラス基板５は移動する。この時にガラス基板５の両面
は洗浄液によって支持され、下端縁のみしかベルトコン
ベア６と接触していないため、ガラス基板５の両面が汚
れることはない。またガラス基板５が極めて薄くて湾曲
しやすくても、
【００２３】このようにしてガラス基板５の両面が同時
に洗浄されながら、ガラス基板５は次工程へと移送され
る。
に洗浄されながら、ガラス基板５は次工程へと移送され
る。
【００２４】以上の実施例１では、多孔質体として多孔
性セラミックス材を用いる例を示したが、これ以外にポ
リテトラフルオロエチレン等の多孔質の合成樹脂を用い
ることもできる。また多孔質体を板状とした例を示した
が、洗浄液の透過率によっては板状ではなく棒状であっ
てもよい。
性セラミックス材を用いる例を示したが、これ以外にポ
リテトラフルオロエチレン等の多孔質の合成樹脂を用い
ることもできる。また多孔質体を板状とした例を示した
が、洗浄液の透過率によっては板状ではなく棒状であっ
てもよい。
【００２５】また以上の実施例ではガラス基板５は垂直
の状態で搬送するようにしていたが、基板４を垂直に対
して０度〜３０度程度傾斜させてもよい。あるいはガラ
ス基板５の片面のみ洗浄すればよいような場合には圧力
流体パイプ３より圧縮空気を送りながら、洗浄液供給パ
イプ１１へ洗浄液を送るようにする。これによりガラス
基板５の裏面は圧力流体によって無接触状態に保持さ
れ、ガラス基板５の表面は洗浄液によって洗浄される。
の状態で搬送するようにしていたが、基板４を垂直に対
して０度〜３０度程度傾斜させてもよい。あるいはガラ
ス基板５の片面のみ洗浄すればよいような場合には圧力
流体パイプ３より圧縮空気を送りながら、洗浄液供給パ
イプ１１へ洗浄液を送るようにする。これによりガラス
基板５の裏面は圧力流体によって無接触状態に保持さ
れ、ガラス基板５の表面は洗浄液によって洗浄される。
【００２６】以上の実施例１では圧力流体として洗浄液
を用いたため、ガラス基板５が洗浄されながら次工程へ
と移送されるようになっていたが、洗浄を必要としない
場合は、圧力流体として圧縮空気や圧縮窒素等の気体と
することができる。この場合であっても、ガラス基板５
等の板状部材は垂直あるいは０度〜３０度程度斜めに支
持され下端縁のみコンベアで支持されるため、搬送中に
板状部材が湾曲や振動を発生しにくい。
を用いたため、ガラス基板５が洗浄されながら次工程へ
と移送されるようになっていたが、洗浄を必要としない
場合は、圧力流体として圧縮空気や圧縮窒素等の気体と
することができる。この場合であっても、ガラス基板５
等の板状部材は垂直あるいは０度〜３０度程度斜めに支
持され下端縁のみコンベアで支持されるため、搬送中に
板状部材が湾曲や振動を発生しにくい。
【００２７】次に本発明の実施例２について説明する。
図３は本発明の板状部材の搬送装置の実施例２〜７の正
面図である。図３は図面の重複を避けるために実施例２
〜７を１つの図面に描いたものである。
図３は本発明の板状部材の搬送装置の実施例２〜７の正
面図である。図３は図面の重複を避けるために実施例２
〜７を１つの図面に描いたものである。
【００２８】つまり、実施例２のものにリンス散布管１
９を設けたものが実施例３であり、実施例２のものに洗
浄ブラシ２０を設けたものが実施例４であり、実施例２
のものにジェット管２１を設けたものが実施例５であ
り、実施例２のものに超音波発生装置２２を設けたもの
が実施例６であり、実施例２のものにエアナイフ２３を
設けたものが実施例７である。そして、この実施例２〜
７において、実施例１と共通の部分については同一の番
号を付与して重複した説明を省略する。
９を設けたものが実施例３であり、実施例２のものに洗
浄ブラシ２０を設けたものが実施例４であり、実施例２
のものにジェット管２１を設けたものが実施例５であ
り、実施例２のものに超音波発生装置２２を設けたもの
が実施例６であり、実施例２のものにエアナイフ２３を
設けたものが実施例７である。そして、この実施例２〜
７において、実施例１と共通の部分については同一の番
号を付与して重複した説明を省略する。
【００２９】図３において１４はガラス基板５の上端を
支持する上部ローラであり、基板４の上端部に多数整列
されて設けられている。図３に示されるものは図１及び
図２に示されるものと異なって駆動ローラー７にベルト
コンベア６が設けれていない。
支持する上部ローラであり、基板４の上端部に多数整列
されて設けられている。図３に示されるものは図１及び
図２に示されるものと異なって駆動ローラー７にベルト
コンベア６が設けれていない。
【００３０】そして各駆動ローラー７の一つはモーター
１２によって直接駆動され、他の駆動ローラー７はモー
ター１２の駆動力がプーリー１５、１６及びベルト１
７、１８によって順次伝えられるようになっている。つ
まり全ての駆動ローラー７はモーター１２によって回転
駆動される。
１２によって直接駆動され、他の駆動ローラー７はモー
ター１２の駆動力がプーリー１５、１６及びベルト１
７、１８によって順次伝えられるようになっている。つ
まり全ての駆動ローラー７はモーター１２によって回転
駆動される。
【００３１】図４は図３のＡ−Ａ断面図である。図４か
ら判るように基板４は垂直に対して角度θ傾斜してい
る。この角度θは１０〜２０度の範囲内に設定するのが
好ましい。
ら判るように基板４は垂直に対して角度θ傾斜してい
る。この角度θは１０〜２０度の範囲内に設定するのが
好ましい。
【００３２】図５にガラス基板５の上端及び下端を支持
して傾斜させた時、つまり相対する２辺が単純支持で他
の２辺が自由な長方形の板の撓みを模式的に示し、この
撓み量ｗを算出する式を式１に示す。
して傾斜させた時、つまり相対する２辺が単純支持で他
の２辺が自由な長方形の板の撓みを模式的に示し、この
撓み量ｗを算出する式を式１に示す。
【００３３】
【式１】
【００３４】図６は本発明の実施例３を示す断面図であ
り、図３のＢ−Ｂ断面図である。この実施例３において
１９はリンス散布管である。図６から判るようにリンス
散布管１９はガラス基板５の両面に同時にリンス２４を
散布できるようにガラス基板５を跨いでいる。ここでリ
ンスとは、純水あるいは純水にイソ・プロピル・アルコ
ールを混合したものである。
り、図３のＢ−Ｂ断面図である。この実施例３において
１９はリンス散布管である。図６から判るようにリンス
散布管１９はガラス基板５の両面に同時にリンス２４を
散布できるようにガラス基板５を跨いでいる。ここでリ
ンスとは、純水あるいは純水にイソ・プロピル・アルコ
ールを混合したものである。
【００３５】図７は本発明の実施例４を示す断面図であ
り、図３のＣ−Ｃ断面図である。この実施例４において
２０は洗浄ブラシである。この図７から判るように洗浄
ブラシ２０は一対設けられガラス基板５の両面を挟むよ
うに構成されている。
り、図３のＣ−Ｃ断面図である。この実施例４において
２０は洗浄ブラシである。この図７から判るように洗浄
ブラシ２０は一対設けられガラス基板５の両面を挟むよ
うに構成されている。
【００３６】またブラシ２０はモーター２５及びその回
転を伝えるギヤ２６、２７、２８によって回転駆動され
る。これによってガラス基板５は両面が同時に洗浄ブラ
シ２０によって洗浄される。
転を伝えるギヤ２６、２７、２８によって回転駆動され
る。これによってガラス基板５は両面が同時に洗浄ブラ
シ２０によって洗浄される。
【００３７】図８は本発明の実施例５を示す断面図であ
り、図３のＤ−Ｄ断面図である。この実施例５において
２１はジェット管である。図８から判るようにジェット
管２１はガラス基板５の両面に同時にジェット水流２９
を吹きつけできるようにガラス基板５を跨いでいる。ま
たジェット管２１はガラス基板５と平行に上下運動でき
るように適宜駆動手段が設けられている。
り、図３のＤ−Ｄ断面図である。この実施例５において
２１はジェット管である。図８から判るようにジェット
管２１はガラス基板５の両面に同時にジェット水流２９
を吹きつけできるようにガラス基板５を跨いでいる。ま
たジェット管２１はガラス基板５と平行に上下運動でき
るように適宜駆動手段が設けられている。
【００３８】これによってガラス基板５の両面が満遍な
くジェット水流２９によって洗浄される。
くジェット水流２９によって洗浄される。
【００３９】図９は本発明の実施例６を示す断面図であ
り、図３のＥ−Ｅ断面図である。この実施例６において
２２は超音波発生装置であり、ガラス基板５の両面に対
面するように一対設けられている。この超音波発生装置
２２のガラス基板５への対向面には多数の超音波振動子
３１が設けられている。
り、図３のＥ−Ｅ断面図である。この実施例６において
２２は超音波発生装置であり、ガラス基板５の両面に対
面するように一対設けられている。この超音波発生装置
２２のガラス基板５への対向面には多数の超音波振動子
３１が設けられている。
【００４０】３２は清浄洗浄水であり、超音波発生装置
２２の上部よりガラス基板５と超音波発生装置２２との
間に流し込まれる。超音波振動子３１の清掃作用によっ
てガラス基板５の表面に付着した塵は清浄洗浄水３２の
中に混入し、排水３３となって外部へ放出される。また
同様に超音波発生装置２２の中程より清浄洗浄水３４が
ガラス基板５と超音波発生装置２２との間に流し込まれ
る。そして清浄洗浄水の中にも塵が混入し排水３５とな
って外部へ排出される。
２２の上部よりガラス基板５と超音波発生装置２２との
間に流し込まれる。超音波振動子３１の清掃作用によっ
てガラス基板５の表面に付着した塵は清浄洗浄水３２の
中に混入し、排水３３となって外部へ放出される。また
同様に超音波発生装置２２の中程より清浄洗浄水３４が
ガラス基板５と超音波発生装置２２との間に流し込まれ
る。そして清浄洗浄水の中にも塵が混入し排水３５とな
って外部へ排出される。
【００４１】図１０は本発明の実施例７を示す断面図で
あり、図３のＦ−Ｆ断面図である。この実施例７におい
て２３はエアナイフであり、これもガラス基板５の両面
に作用するように一対設けられている。このエアナイフ
２３は管状であり、上部より清浄空気が圧送される。そ
してガラス基板５との対向面に多数の開口が設けられ、
ここより清浄空気が高速空気流３６となってガラス基板
５に当てられる。するとガラス基板５の表面に付着した
洗浄水やリンスが吹き飛ばされる。
あり、図３のＦ−Ｆ断面図である。この実施例７におい
て２３はエアナイフであり、これもガラス基板５の両面
に作用するように一対設けられている。このエアナイフ
２３は管状であり、上部より清浄空気が圧送される。そ
してガラス基板５との対向面に多数の開口が設けられ、
ここより清浄空気が高速空気流３６となってガラス基板
５に当てられる。するとガラス基板５の表面に付着した
洗浄水やリンスが吹き飛ばされる。
【００４２】
【発明の効果】本発明の板状部材の搬送装置は上記の如
く構成したので、板状部材の表裏主面を無接触状態で搬
送することができ塵や傷を発生させることがなく、生産
性の高い板状部材の搬送装置を提供することができるも
のである。
く構成したので、板状部材の表裏主面を無接触状態で搬
送することができ塵や傷を発生させることがなく、生産
性の高い板状部材の搬送装置を提供することができるも
のである。
【００４３】特に、被搬送物である板状部材は垂直ある
いは０度〜３０度程度斜めに支持され下端縁のみコンベ
アで支持されるため、板状部材に掛かる重力のベクトル
は板状部材の主面と平行あるいは０度〜３０度程度傾斜
したものとなる。従って重力によって板状部材が反るこ
とは殆どない。
いは０度〜３０度程度斜めに支持され下端縁のみコンベ
アで支持されるため、板状部材に掛かる重力のベクトル
は板状部材の主面と平行あるいは０度〜３０度程度傾斜
したものとなる。従って重力によって板状部材が反るこ
とは殆どない。
【００４４】さらに本発明の板状部材の洗浄装置は、板
状部材が垂直あるいは傾斜した状態で搬送され、下端縁
のみ搬送手段と接しているため、搬送手段からの衝撃力
のベクトルは板状部材の主面にほぼ平行になり、搬送に
伴う衝撃によって板状部材が撓むことがなく、板状部材
が極めて薄くても破損される問題がない。
状部材が垂直あるいは傾斜した状態で搬送され、下端縁
のみ搬送手段と接しているため、搬送手段からの衝撃力
のベクトルは板状部材の主面にほぼ平行になり、搬送に
伴う衝撃によって板状部材が撓むことがなく、板状部材
が極めて薄くても破損される問題がない。
【００４５】また本発明の板状部材の洗浄装置は、圧力
流体として洗浄液を用いると搬送と同時に板状部材を洗
浄することができる。そして板状部材の両面より洗浄液
を掛けるようにすると板状部材の両面を同時に洗浄する
ことができ、板状部材の洗浄工程において両面を洗浄す
る必要があっても、板状部材を反転する必要がない。よ
って板状部材が極めて薄く広いガラス基板であっても、
生産性が落ちることはない。
流体として洗浄液を用いると搬送と同時に板状部材を洗
浄することができる。そして板状部材の両面より洗浄液
を掛けるようにすると板状部材の両面を同時に洗浄する
ことができ、板状部材の洗浄工程において両面を洗浄す
る必要があっても、板状部材を反転する必要がない。よ
って板状部材が極めて薄く広いガラス基板であっても、
生産性が落ちることはない。
【図１】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例１を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例１を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例２を示す
正面図である。
正面図である。
【図４】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例２を示す
断面図である。
断面図である。
【図５】ガラス板を傾斜させた場合の撓みを示す模式図
である。
である。
【図６】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例３を示す
断面図である。
断面図である。
【図７】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例４を示す
断面図である。
断面図である。
【図８】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例５を示す
断面図である。
断面図である。
【図９】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例６を示す
断面図である。
断面図である。
【図１０】本発明の板状部材の洗浄装置の実施例７を示
す断面図である。
す断面図である。
１ 圧力容器 ２ 多孔性セラミックス材 ３ 洗浄液パイプ ４ 基板 ５ ガラス基板 ６ ベルトコンベア ７ 駆動ローラー ８ 支持駆動シャフト ９ 洗浄液噴霧ノズル １０ 洗浄液 １１ 洗浄液供給パイプ １２ モーター １３ 洗浄液層 １４ 上部ローラ １５、１６ プーリー １７、１８ ベルト １９ リンス散布管 ２０ 洗浄ブラシ ２１ ジェット管 ２２ 超音波発生装置 ２３ エアナイフ ２４ リンス ２５ モーター ２６、２７、２８ ギヤ ２９ ジェット水流 ３１ 超音波振動子 ３２，３４ 清浄洗浄水 ３３，３５ 排水 ３６ 高速空気流
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４３ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４３Ｂ ６４３Ｃ ６４３Ｄ ６４４ ６４４Ｄ 21/68 21/68 Ａ (72)発明者 永田 徹三 福岡県大野城市南ヶ丘５丁目16番15号 Ｆターム(参考） 3B116 AA03 AB14 AB42 BA02 BA23 BB26 BB33 BB85 CC01 CC03 3B201 AA03 AB14 AB42 BA02 BA23 BB26 BB33 BB85 BB90 BB93 BB95 CC01 CC12 5F031 CA02 CA05 GA51 GA63 MA23 PA20 PA23
Claims (9)
- 【請求項１】少なくとも１つの平面部を有する多孔質体
を設け、圧力流体の送り込まれる圧力容器の一面に前記
多孔質体を前記平面部が外を向くように取り付け、前記
多孔質体を通して圧力流体が噴き出されるようにすると
ともに、前記多孔質体の平面部が傾斜あるいは垂直にな
るようにし、前記多孔質体より噴出する圧力流体により
支持される板状部材の下端部を支持搬送する搬送手段を
設けた板状部材の搬送装置。 - 【請求項２】板状部材の上端部を支持する支持手段を有
する請求項１記載の板状部材の搬送装置。 - 【請求項３】圧力流体は洗浄液である請求項１または請
求項２記載の板状部材の搬送装置。 - 【請求項４】多孔質体より噴出する圧力流体により支持
される板状部材の少なくとも１面より洗浄液を掛けるよ
うにした請求項１または請求項２記載の板状部材の搬送
装置。 - 【請求項５】圧力流体は気体である請求項１または請求
項２記載の板状部材の搬送装置。 - 【請求項６】板状部材の少なくとも１面と接するブラシ
を有する請求項３記載の板状部材の搬送装置。 - 【請求項７】板状部材の少なくとも１面にエアーを吹き
付けるノズルを設けた請求項３記載の板状部材の搬送装
置。 - 【請求項８】洗浄液に超音波を与える振動子を設けた請
求項３記載の板状部材の搬送装置。 - 【請求項９】洗浄液はリンス作用を有する液体である請
求項３記載の板状部材の搬送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000133035A JP2001213517A (ja) | 1999-11-24 | 2000-05-01 | 板状部材の搬送装置 |
| KR1020000069956A KR100339716B1 (ko) | 1999-11-24 | 2000-11-23 | 판상부재의 반송 및 세정장치 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33350499 | 1999-11-24 | ||
| JP11-333504 | 1999-11-24 | ||
| JP2000133035A JP2001213517A (ja) | 1999-11-24 | 2000-05-01 | 板状部材の搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001213517A true JP2001213517A (ja) | 2001-08-07 |
Family
ID=26574536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000133035A Pending JP2001213517A (ja) | 1999-11-24 | 2000-05-01 | 板状部材の搬送装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001213517A (ja) |
| KR (1) | KR100339716B1 (ja) |
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| US20100221422A1 (en) * | 2004-08-12 | 2010-09-02 | Cardinal Cg Company | Vertical-offset coater and methods of use |
| CN101823215A (zh) * | 2004-02-18 | 2010-09-08 | 川崎成套设备股份有限公司 | 板材的立式加工生产线 |
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| CN102224089A (zh) * | 2008-09-26 | 2011-10-19 | 康宁股份有限公司 | 用于运输玻璃片的液体喷射支座 |
| JP2011207756A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-20 | Corning Inc | 移動するガラス板の非接触エッチング |
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| CN101203362B (zh) * | 2005-06-02 | 2012-12-19 | 康宁日本有限公司 | 板材分割单元 |
| CN102883978A (zh) * | 2010-05-03 | 2013-01-16 | 爱诺华李赛克技术中心有限公司 | 用于输送板形元件的装置 |
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| JP2014229774A (ja) * | 2013-05-23 | 2014-12-08 | 東京応化工業株式会社 | 塗布装置 |
| JP2018011087A (ja) * | 2017-10-20 | 2018-01-18 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置 |
| CN115285696A (zh) * | 2022-10-09 | 2022-11-04 | 山东阅航环保科技有限公司 | 一种中空玻璃双面清洗线 |
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