JP2001324717A - Color filter for liquid crystal display device, method of manufacturing the same, and color liquid crystal display device - Google Patents
Color filter for liquid crystal display device, method of manufacturing the same, and color liquid crystal display deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶表示装置組み立て工程で配向処理及びスペ
ーサー散布工程を省略できる液晶表示装置用カラーフィ
ルタ及び表示品質の優れたカラー液晶表示装置を提供す
ることを目的とする。
【解決手段】透明基板11上に公知の方法で遮光層1
2、赤色、緑色、青色からなる画素状カラーフィルタ層
13及び透明導電膜14を形成し、透明導電膜14上に
感光性樹脂を用いてスペーサー柱及び液晶配向機能突起
層を形成するための感光性樹脂層15を形成する。スペ
ーサー柱パターン71を有する露光マスク70を用いて
感光性樹脂層15を露光し、さらに、スペーサー柱パタ
ーン71と配向突起パターン72を有する露光マスク8
0を用いて再度露光する。所定の現像液で現像処理し、
スペーサー柱16及び液晶配向機能突起層17を形成
し、本発明の液晶表示装置用カラーフィルタ10を得
る。
An object of the present invention is to provide a color filter for a liquid crystal display device and a color liquid crystal display device having excellent display quality, which can omit an alignment process and a spacer dispersing step in a liquid crystal display device assembling process. A light shielding layer is formed on a transparent substrate by a known method.
2. A pixel-shaped color filter layer 13 made of red, green, and blue and a transparent conductive film 14 are formed, and a photosensitive resin is used on the transparent conductive film 14 to form spacer pillars and liquid crystal alignment function projection layers. The conductive resin layer 15 is formed. The photosensitive resin layer 15 is exposed using an exposure mask 70 having a spacer column pattern 71, and further, an exposure mask 8 having a spacer column pattern 71 and an alignment projection pattern 72.
Exposure is performed again using 0. Develop with a predetermined developer,
The spacer pillar 16 and the liquid crystal alignment function projection layer 17 are formed to obtain the color filter 10 for a liquid crystal display of the present invention.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に用
いるカラーフィルタ及びカラー液晶表示装置に関するも
ので、特に、画素状カラーフィルタ層が液晶配向制御機
能を有する液晶表示装置用カラーフィルタ及びそれを用
いたカラー液晶表示装置に関するBACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color filter used in a liquid crystal display device and a color liquid crystal display device. Color liquid crystal display device used
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の液晶表示装置用カラーフィルタ7
0は、図13に示すように、透明基板71上に形成され
た遮光層72、画素状カラーフィルタ層73及び透明導
電膜74が形成されたカラーフィルタ基板の透明導電膜
74の表面をラビング等により配向処理を行って、スペ
ーサ柱75を形成したものである。2. Description of the Related Art A conventional color filter 7 for a liquid crystal display device.
Numeral 0 denotes rubbing or the like on the surface of the transparent conductive film 74 of the color filter substrate on which the light-shielding layer 72, the pixel-like color filter layer 73, and the transparent conductive film 74 are formed, as shown in FIG. Are formed to form spacer pillars 75.
【0003】さらに、図14に示すように、透明基板8
1に液晶駆動素子アレイ82が形成されたアレイ基板8
0と、上記液晶表示装置用カラーフィルタ70の双方に
配向膜33及び配向膜34を形成し、配向処理を施した
後、周辺部をシールして貼り合わせ、液晶91を封入し
て、カラー液晶表示装置300を作製する。[0003] Further, as shown in FIG.
An array substrate 8 on which a liquid crystal drive element array 82 is formed
The alignment film 33 and the alignment film 34 are formed on both the color filter 70 for the liquid crystal display device, and the alignment process is performed. The display device 300 is manufactured.
【0004】上記配向処理は、通常ラビング法が広く使
われている。ラビング法ではラビング回数、ロール押し
込み量及びロール材質といった条件によって配向を制御
するため、制御パラメーターの計測が難しく、ラビング
状態を正確に管理することが困難であった。このよう
に、ラビング等の配向処理は物理的な方法で配向処理す
るため、ラビングにより配向膜が傷等のダメージを受け
たり、ムラが発生したり、ラビングロール等による発塵
が発生する等の問題を有している。A rubbing method is widely used for the alignment treatment. In the rubbing method, the orientation is controlled by conditions such as the number of rubbings, the amount of roll pressing, and the material of the roll, so that it is difficult to measure control parameters and to accurately manage the rubbing state. As described above, since the alignment treatment such as rubbing is performed by a physical method, the alignment film is damaged by rubbing such as a scratch, or unevenness is generated, and dust is generated by a rubbing roll or the like. Have a problem.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
に鑑み考案されたもので、画素状カラーフィルタ層の表
面に液晶配向機能層を形成することにより、配向膜形成
後の配向処理工程が不要な液晶表示装置用カラーフィル
タ及び表示品質の優れたカラー液晶表示装置を提供する
ことを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in view of the above-mentioned problems, and an alignment process after forming an alignment film by forming a liquid crystal alignment functional layer on the surface of a pixel-like color filter layer. It is an object of the present invention to provide a color filter for a liquid crystal display device which does not require a color filter and a color liquid crystal display device having excellent display quality.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項1においては、透明基板
上に少なくとも遮光層、画素状カラーフィルタ層及び透
明導電膜を有するカラーフィルタにおいて、前記画素状
カラーフィルタ層の表面に前記画素状カラーフィルタ層
と同一材料で液晶配向機能層が形成されていることを特
徴とする液晶表示装置用カラーフィルタとしたものであ
る。In order to achieve the above object, the present invention first provides a color filter having at least a light shielding layer, a pixel-like color filter layer and a transparent conductive film on a transparent substrate. 3. The color filter for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a liquid crystal alignment functional layer is formed of the same material as the pixel color filter layer on the surface of the pixel color filter layer.
【0007】また、請求項2においては、前記液晶配向
機能層がグレーティング状または3角形状をしているこ
とを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置用カラーフ
ィルタとしたものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided the color filter for a liquid crystal display device according to the first aspect, wherein the liquid crystal alignment functional layer has a grating shape or a triangular shape.
【0008】また、請求項3においては、前記画素状カ
ラーフィルタ層及び前記液晶配向機能層をマスク露光法
で形成することを特徴とする請求項1または請求項2に
記載の液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法とした
ものである。According to a third aspect of the present invention, the pixel-like color filter layer and the liquid crystal alignment function layer are formed by a mask exposure method. This is a method for manufacturing a filter.
【0009】さらにまた、請求項4においては、請求項
1または請求項2に記載の液晶表示装置用カラーフィル
タを用いて作製したことを特徴とするカラー液晶表示装
置としたものである。A fourth aspect of the present invention is a color liquid crystal display device manufactured using the color filter for a liquid crystal display device according to the first or second aspect.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき説
明する。図1(a)及び図1(b)に画素状カラーフィ
ルタ層の表面に液晶配向機能層が形成された本発明の液
晶表示装置用カラーフィルタの一実施例を示す部分平面
図及び部分構成断面図を、図2(a)及び図2(b)に
画素状カラーフィルタ層の表面に液晶配向機能層が形成
された本発明の液晶表示装置用カラーフィルタの他の実
施例を示す部分平面図及び部分構成断面図を、図3に本
発明の液晶表示装置用カラーフィルタを用いて作製した
カラー液晶表示装置の一実施例を示す部分構成断面図
を、図4に本発明の液晶表示装置用カラーフィルタを用
いて作製したカラー液晶表示装置の他の実施例を示す部
分構成断面図を、それぞれ示す。Embodiments of the present invention will be described below. 1A and 1B are a partial plan view and a partial cross-sectional view showing an embodiment of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention in which a liquid crystal alignment functional layer is formed on the surface of a pixel-like color filter layer. FIGS. 2A and 2B are partial plan views showing another embodiment of the color filter for a liquid crystal display device of the present invention in which a liquid crystal alignment functional layer is formed on the surface of a pixel-like color filter layer. FIG. 3 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of a color liquid crystal display device manufactured using the color filter for a liquid crystal display device of the present invention, and FIG. Sectional sectional views showing another embodiment of a color liquid crystal display device manufactured using a color filter are shown.
【0011】本発明の液晶表示装置用カラーフィルタ1
0は図1(a)及び図1(b)に示すように、透明基板
11上に遮光層12、赤色、緑色、青色からなる画素状
カラーフィルタ層13R、13G、13B及びグレーテ
ィング状の液晶配向機能層13aが形成されており、さ
らに透明導電膜14及びスペーサー柱15が形成された
ものである。A color filter 1 for a liquid crystal display according to the present invention.
Reference numeral 0 denotes a light-shielding layer 12, a pixel-like color filter layer 13R, 13G, 13B made of red, green, and blue, and a grating-like liquid crystal alignment on a transparent substrate 11, as shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b). A functional layer 13a is formed, and a transparent conductive film 14 and spacer pillars 15 are further formed.
【0012】本発明の液晶表示装置用カラーフィルタ2
0は図2(a)及び図2(b)に示すように、透明基板
21上に遮光層22、赤色、緑色、青色からなる画素状
カラーフィルタ層23R、23G、23B及び3角形状
の液晶配向機能層23aが形成されており、さらに透明
導電膜24及びスペーサー柱25が形成されたものであ
る。The color filter 2 for a liquid crystal display of the present invention
Reference numeral 0 denotes a light-shielding layer 22, a pixel-like color filter layer 23R, 23G, 23B made of red, green, and blue, and a triangular liquid crystal on a transparent substrate 21 as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b). An alignment function layer 23a is formed, and a transparent conductive film 24 and spacer pillars 25 are further formed.
【0013】以下本発明の液晶表示装置用カラーフィル
タ10の作製法について述べる。図5(a)〜(f)は
液晶表示装置用カラーフィルタ10の製造工程の一例を
示す部分構成断面図である。まず、透明基板11上に公
知の方法で遮光層12及び赤色の着色感光性樹脂層13
を形成する(図5(a)参照)。ここで、遮光層12は
ブラックマトリクスとも呼ばれ、所定濃度を有する樹脂
系の感光性樹脂層をパターニングして形成される。着色
感光性樹脂層13は有機顔料をエポキシ系、アクリル
系、ポリイミド系、ウレタン系、ポリエステル系及びポ
リビニル系の樹脂に分散した感光性樹脂を所定厚に塗布
して得られる。有機顔料としてはフタロシアニン系、ア
ジレーキ系、縮合アゾ系、キナクリドンアントラキノン
系、ペリレン系及びペリノン系等が使用される。また、
ゼラチン等の染色可能な動物性タンパク樹脂からなる感
光性樹脂層を染色した染色フィルターも使用される。Hereinafter, a method of manufacturing the color filter 10 for a liquid crystal display device of the present invention will be described. FIGS. 5A to 5F are cross-sectional views illustrating a part of the manufacturing process of the color filter 10 for a liquid crystal display device. First, a light shielding layer 12 and a red colored photosensitive resin layer 13 are formed on a transparent substrate 11 by a known method.
Is formed (see FIG. 5A). Here, the light-shielding layer 12 is also called a black matrix, and is formed by patterning a resin-based photosensitive resin layer having a predetermined concentration. The colored photosensitive resin layer 13 is obtained by applying a predetermined thickness of a photosensitive resin in which an organic pigment is dispersed in an epoxy-based, acrylic-based, polyimide-based, urethane-based, polyester-based, or polyvinyl-based resin. As the organic pigment, phthalocyanine-based, aziraki-based, condensed azo-based, quinacridone-anthraquinone-based, perylene-based, perinone-based, and the like are used. Also,
A dyeing filter which dyes a photosensitive resin layer made of a dyeable animal protein resin such as gelatin is also used.
【0014】次に、図7(a)に示す万線状のパターン
51、遮光パターン53及び54を有する露光マスク5
0R−aを用いて、赤色の着色感光性樹脂層13を所定
の露光量で露光する。(図5(b)参照)。Next, an exposure mask 5 having a linear pattern 51 and light shielding patterns 53 and 54 shown in FIG.
The red colored photosensitive resin layer 13 is exposed at a predetermined exposure amount using 0R-a. (See FIG. 5B).
【0015】次に、図7(b)に示す透明パターン5
2、遮光パターン53及び54を有する露光マスク50
R−bを用いて、透明基板11側より赤色の着色感光性
樹脂層13を所定の露光量で裏露光する(図5(c)参
照)。この一連の露光処理で赤色の着色感光性樹脂層1
3の表面にグレーティング状の液晶配向機能層及び赤色
画素状カラーフィルタ層の潜像が形成される。Next, the transparent pattern 5 shown in FIG.
2. Exposure mask 50 having light-shielding patterns 53 and 54
Using Rb, the red colored photosensitive resin layer 13 is back-exposed at a predetermined exposure amount from the transparent substrate 11 side (see FIG. 5C). By this series of exposure processing, a red colored photosensitive resin layer 1 is formed.
A latent image of a grating-like liquid crystal alignment function layer and a red pixel-like color filter layer is formed on the surface of 3.
【0016】次に、赤色の着色感光性樹脂層13を所定
の現像液でパターニング処理し、赤色画素状カラーフィ
ルタ層13R及びその表面にグレーティング状の液晶配
向機能層13aを形成する(図5(d)参照)。Next, the red colored photosensitive resin layer 13 is patterned with a predetermined developing solution to form a red pixel-like color filter layer 13R and a grating-like liquid crystal alignment functional layer 13a on its surface (FIG. 5 ( d)).
【0017】次に、緑色の着色感光性樹脂層13を形成
して、図8に示す露光マスク50G−a及び50G−b
を用いて、上記と同様な工程で、一連の露光処理及び現
像処理等のパターニング処理を行って、緑色画素状カラ
ーフィルタ層13G及びその表面にグレーティング状の
液晶配向機能層13aを、さらに、青色の着色感光性樹
脂層13を形成して、図9に示す露光マスク50B−a
及び50B−bを用いて、上記と同様な工程で、一連の
露光処理及び現像処理等のパターニング処理を行って、
青色画素状カラーフィルタ層13B及びその表面にグレ
ーティング状の液晶配向機能層13aを形成する(図5
(e)参照)。Next, a green colored photosensitive resin layer 13 is formed, and the exposure masks 50G-a and 50G-b shown in FIG.
In the same process as above, a patterning process such as a series of exposure and development processes is performed to form a green pixel-like color filter layer 13G and a grating-like liquid crystal alignment functional layer 13a on the surface thereof. Is formed, and the exposure mask 50B-a shown in FIG.
And a patterning process such as a series of exposure and development processes in the same process as above using 50B-b
A blue pixel-like color filter layer 13B and a grating-like liquid crystal alignment functional layer 13a are formed on the surface thereof.
(E)).
【0018】次に、画素状カラーフィルタ層13R、1
3G、13Bの液晶配向機能層13a及び遮光層12上
に酸化インジウム系のターゲットをスパッタリングして
透明導電膜14を形成する。さらに、感光性樹脂層を形
成して、所定のパターンを有する露光マスクにて、露
光、現像処理して、スペーサ柱15を形成して、本発明
の液晶表示装置用カラーフィルタ10を得る(図5
(f)参照)。ここで、感光性樹脂層としては、ポリイ
ミド系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタ
ン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹
脂、フェノールノボラック系樹脂を主成分とした感光性
樹脂を所定厚に塗布したものである。Next, the pixel-like color filter layers 13R, 1R
A transparent conductive film 14 is formed by sputtering an indium oxide-based target on the 3G and 13B liquid crystal alignment function layers 13a and the light shielding layer 12. Further, a photosensitive resin layer is formed, and is exposed and developed using an exposure mask having a predetermined pattern to form spacer pillars 15, thereby obtaining a color filter 10 for a liquid crystal display device of the present invention (FIG. 5
(F)). Here, as the photosensitive resin layer, a polyimide resin, an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester resin, a polyolefin resin, and a photosensitive resin having a phenol novolak resin as a main component have a predetermined thickness. It has been applied.
【0019】以下本発明の液晶表示装置用カラーフィル
タ20の作製法について述べる。図6(a)〜(f)は
液晶表示装置用カラーフィルタ20の製造工程の一例を
示す部分構成断面図である。まず、透明基板21上に公
知の方法で遮光層22及び赤色の着色感光性樹脂層23
を形成する(図6(a)参照)。ここで、遮光層22は
ブラックマトリクスとも呼ばれ、所定濃度を有する樹脂
系の感光性樹脂層をパターニングして形成される。着色
感光性樹脂層23は有機顔料をエポキシ系、アクリル
系、ポリイミド系、ウレタン系、ポリエステル系及びポ
リビニル系の樹脂に分散した感光性樹脂を所定厚に塗布
して得られる。有機顔料としてはフタロシアニン系、ア
ジレーキ系、縮合アゾ系、キナクリドンアントラキノン
系、ペリレン系及びペリノン系等が使用できる。また、
ゼラチン等の染色可能な動物性タンパク樹脂からなる感
光性樹脂層を染色した染色フィルターも使用できる。Hereinafter, a method of manufacturing the color filter 20 for a liquid crystal display device of the present invention will be described. FIGS. 6A to 6F are cross-sectional views of a partial configuration showing an example of a manufacturing process of the color filter 20 for a liquid crystal display device. First, a light shielding layer 22 and a red colored photosensitive resin layer 23 are formed on a transparent substrate 21 by a known method.
Is formed (see FIG. 6A). Here, the light shielding layer 22 is also called a black matrix, and is formed by patterning a resin-based photosensitive resin layer having a predetermined concentration. The colored photosensitive resin layer 23 is obtained by applying a predetermined thickness of a photosensitive resin in which an organic pigment is dispersed in an epoxy-based, acrylic-based, polyimide-based, urethane-based, polyester-based, or polyvinyl-based resin. As the organic pigment, phthalocyanine-based, azilake-based, condensed azo-based, quinacridone-anthraquinone-based, perylene-, perinone-based, and the like can be used. Also,
A dye filter obtained by dyeing a photosensitive resin layer made of a dyeable animal protein resin such as gelatin can also be used.
【0020】次に、図10(a)に示すような濃度勾配
を有するパターン61、遮光パターン63及び64を有
する露光マスク60R−aを用いて、赤色の着色感光性
樹脂層13を所定の露光量で露光する。(図6(b)参
照)。ここで、濃度勾配を有するパターン61は図10
(b)に示すように、パターンの中心部の濃度が低く
て、パターン周辺部にいくに従って濃度が高くなってお
り、パターン周辺部の濃度は遮光パターン63及び64
の濃度とほぼ同じになるようになっている。このため濃
度勾配に応じた傾斜パターンが形成される。Next, the red colored photosensitive resin layer 13 is exposed to a predetermined light by using an exposure mask 60R-a having a pattern 61 having a density gradient and light-shielding patterns 63 and 64 as shown in FIG. Expose in quantity. (See FIG. 6B). Here, the pattern 61 having the density gradient is shown in FIG.
As shown in (b), the density at the central portion of the pattern is low, and the density increases toward the peripheral portion of the pattern.
Is almost the same as the concentration of Therefore, an inclined pattern corresponding to the density gradient is formed.
【0021】次に、図10(c)に示すような透明パタ
ーン62、遮光パターン63及び64を有する露光マス
ク60R−bを用いて、透明基板側より赤色の着色感光
性樹脂層13を所定の露光量で裏露光する。(図6
(c)参照)。Next, by using an exposure mask 60R-b having a transparent pattern 62 and light-shielding patterns 63 and 64 as shown in FIG. Back exposure is performed with the exposure amount. (FIG. 6
(C)).
【0022】次に、赤色の着色感光性樹脂層23を所定
の現像液でパターニング処理し、赤色画素状カラーフィ
ルタ層23R及びその表面に3角形状の液晶配向機能層
23aを形成する(図6(d)参照)。Next, the red colored photosensitive resin layer 23 is patterned with a predetermined developing solution to form a red pixel-shaped color filter layer 23R and a triangular liquid crystal alignment functional layer 23a on its surface (FIG. 6). (D)).
【0023】次に、緑色の着色感光性樹脂層23を形成
して、図11(a)及び(c)に示す露光マスク60G
−a及び露光マスク60G−bを用いて、上記と同様な
工程で、一連の露光処理及び現像処理等のパターニング
処理を行って、緑色画素状カラーフィルタ層23G及び
その表面に3角形状の液晶配向機能層23aを、さら
に、青色の着色感光性樹脂層13を形成して、図12
(a)及び(c)に示す露光マスク60B−a及び露光
マスク60B−bを用いて、上記と同様な工程で、一連
の露光処理及び現像処理等のパターニング処理を行っ
て、青色画素状カラーフィルタ層23B及びその表面に
3角形状の液晶配向機能層23aを形成する(図6
(e)参照)。Next, a green colored photosensitive resin layer 23 is formed, and an exposure mask 60G shown in FIGS.
-A and a patterning process such as a series of exposure and development processes is performed using the exposure mask 60G-b in the same process as described above, so that a green pixel-like color filter layer 23G and a triangular liquid crystal are formed on the surface thereof. The alignment functional layer 23a and the blue colored photosensitive resin layer 13 are further formed to
Using the exposure mask 60B-a and the exposure mask 60B-b shown in (a) and (c), a patterning process such as a series of exposure process and development process is performed in the same process as described above to obtain a blue pixel-like color. A triangular liquid crystal alignment functional layer 23a is formed on the filter layer 23B and the surface thereof.
(E)).
【0024】次に、画素状カラーフィルタ層23R、2
3G、23Bの液晶配向機能層23a及び遮光層22上
に酸化インジウム系のターゲットをスパッタリングして
透明導電膜14を形成する。さらに、感光性樹脂層を形
成して、所定のパターンを有する露光マスクにて、露
光、現像処理して、スペーサ柱25を形成して、本発明
の液晶表示装置用カラーフィルタ20を得る(図6
(e)参照)。ここで、感光性樹脂層としては、ポリイ
ミド系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタ
ン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹
脂、フェノールノボラック系樹脂を主成分とした感光性
樹脂を所定厚に塗布したものである。さらに、スペーサ
ー柱26は遮光層22上の透明導電膜14上に形成さ
れ、幅10μm前後、高さ5μm前後の円柱ないし多角
柱の形状が一般的である。Next, the pixel-like color filter layers 23R, 2R
A transparent conductive film 14 is formed by sputtering an indium oxide-based target on the 3G and 23B liquid crystal alignment functional layers 23a and the light shielding layer 22. Further, a photosensitive resin layer is formed, and is exposed and developed using an exposure mask having a predetermined pattern to form spacer columns 25, thereby obtaining the color filter 20 for a liquid crystal display device of the present invention (FIG. 6
(E)). Here, as the photosensitive resin layer, a polyimide resin, an epoxy resin, an acrylic resin, a urethane resin, a polyester resin, a polyolefin resin, and a photosensitive resin having a phenol novolak resin as a main component have a predetermined thickness. It has been applied. Further, the spacer pillar 26 is formed on the transparent conductive film 14 on the light-shielding layer 22, and is generally in the shape of a column or polygon having a width of about 10 μm and a height of about 5 μm.
【0025】[0025]
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。 <実施例1>まず、0.7mm厚の無アルカリガラスか
らなる透明基板11にアクリル系樹脂にカーボンブラッ
クを分散した黒色の感光性樹脂をスピンナーを用いて塗
布し、黒色感光性樹脂層を形成し、露光、現像等のパタ
ーニング処理、加熱処理を行って幅14μm、高さ1.
3μmの遮光層12を形成した。The present invention will be described in detail with reference to the following examples. Example 1 First, a black photosensitive resin in which carbon black was dispersed in an acrylic resin was applied to a transparent substrate 11 made of non-alkali glass having a thickness of 0.7 mm using a spinner to form a black photosensitive resin layer. Then, a patterning process such as exposure and development, and a heating process are performed to make the width 14 μm and the height 1.
A 3 μm light-shielding layer 12 was formed.
【0026】次に、アクリル系樹脂にジアントラキノン
系顔料を分散した着色感光性樹脂をスピンナーを用いて
塗布し、赤色感光性樹脂層を形成し、露光マスク50R
−a及び露光マスク50R−bを用いて一連の露光処理
及び現像等のパターニング処理、加熱処理を行って、幅
100μm、膜厚1.3μmの赤色画素状カラーフィル
タ層13R及び膜厚1.0μm、幅6μm及びピッチ2
6μmのグレーティング状の液晶配向機能層13aを形
成した。Next, a colored photosensitive resin in which a dianthraquinone pigment is dispersed in an acrylic resin is applied using a spinner to form a red photosensitive resin layer.
-A and a patterning process such as a development process and a heating process using the exposure mask 50R-b, and a red pixel-like color filter layer 13R having a width of 100 μm and a thickness of 1.3 μm and a thickness of 1.0 μm. , Width 6 μm and pitch 2
A 6 μm grating-like liquid crystal alignment functional layer 13a was formed.
【0027】同様に、アクリル系樹脂にフタロシアニン
グリーン系顔料を分散した着色感光性樹脂をスピンナー
を用いて塗布し、緑色感光性樹脂層を形成し、露光マス
ク50G−a及び露光マスク50G−bを使って一連の
露光処理及び現像等のパターニング処理、加熱処理を行
って、幅100μm、膜厚1.3μmの緑色画素状カラ
ーフィルタ層13G及び膜厚1.0μm、幅6μm及び
ピッチ26μmのグレーティング状の液晶配向機能層1
3aを形成した。Similarly, a colored photosensitive resin in which a phthalocyanine green pigment is dispersed in an acrylic resin is applied using a spinner to form a green photosensitive resin layer, and the exposure masks 50G-a and 50G-b are formed. A series of patterning treatments such as exposure processing and development, and heat treatment are performed to obtain a green pixel color filter layer 13G having a width of 100 μm and a thickness of 1.3 μm, and a grating having a thickness of 1.0 μm, a width of 6 μm and a pitch of 26 μm Liquid crystal alignment function layer 1
3a was formed.
【0028】同様に、アクリル系樹脂にフタロシアニン
ブルー系顔料を分散した感光性樹脂をスピンナーを用い
て塗布し、青色感光性樹脂層を形成し、露光マスク50
G−a及び露光マスク50G−bを使って一連の露光処
理及び現像等のパターニング処理、加熱処理を行って、
幅100μm、膜厚1.3μmの青色画素状カラーフィ
ルタ層13B及び膜厚1.0μm、幅6μm及びピッチ
26μmのグレーティング状の液晶配向機能層13aを
形成した。Similarly, a photosensitive resin in which a phthalocyanine blue pigment is dispersed in an acrylic resin is applied using a spinner to form a blue photosensitive resin layer.
Using Ga and the exposure mask 50G-b, a series of exposure processing and patterning processing such as development, and heating processing are performed.
A blue pixel-like color filter layer 13B having a width of 100 μm and a thickness of 1.3 μm and a grating-like liquid crystal alignment functional layer 13a having a thickness of 1.0 μm, a width of 6 μm and a pitch of 26 μm were formed.
【0029】次に、酸化インジウム系のターゲットをス
パッタリングして、赤色、緑色、青色からなる画素状カ
ラーフィルタ層13R、13G、13Bの液晶配向機能
層13a及び遮光層12上に0.5μm厚の透明導電膜
14を形成した。Next, an indium oxide-based target is sputtered to a thickness of 0.5 μm on the liquid crystal alignment functional layers 13 a of the pixel color filter layers 13 R, 13 G, and 13 B made of red, green, and blue and the light shielding layer 12. A transparent conductive film 14 was formed.
【0030】次に、透明導電膜14上にアクリル系樹脂
を主成分とした感光性樹脂を塗布し、感光性樹脂層を形
成し、スペーサー柱パターンが所定位置に形成された露
光マスクを用いて、感光性樹脂層に所定量の露光を行
い、現像処理、加熱処理を行って、5.5μm高さのス
ペーサー柱15を形成し、本発明の液晶表示装置用カラ
ーフィルタ10を得た。Next, a photosensitive resin containing an acrylic resin as a main component is applied on the transparent conductive film 14 to form a photosensitive resin layer, and a spacer pillar pattern is formed at a predetermined position using an exposure mask. Then, a predetermined amount of exposure was performed on the photosensitive resin layer, and development and heating were performed to form spacer pillars 15 having a height of 5.5 μm. Thus, a color filter 10 for a liquid crystal display device of the present invention was obtained.
【0031】<実施例2>まず、0.7mm厚の無アル
カリガラスからなる透明基板21にアクリル系樹脂にカ
ーボンブラックを分散した黒色の感光性樹脂を塗布し、
黒色感光性樹脂層を形成し、露光、現像等のパターニン
グ処理、加熱処理を行って幅14μm、高さ1.3μm
の遮光層22を形成した。Example 2 First, a black photosensitive resin in which carbon black was dispersed in an acrylic resin was applied to a transparent substrate 21 made of non-alkali glass having a thickness of 0.7 mm.
A black photosensitive resin layer is formed, and a patterning process such as exposure and development, and a heating process are performed. The width is 14 μm and the height is 1.3 μm.
Was formed.
【0032】次に、アクリル系樹脂にジアントラキノン
系顔料を分散した感光性樹脂を塗布し、赤色感光性樹脂
層を形成し、露光マスク60R−a及び露光マスク60
R−bを用いて一連の露光処理及び現像等のパターニン
グ処理、加熱処理を行って、幅80μm、膜厚1.3μ
mの赤色画素状カラーフィルタ層23R及び中心部の高
さ1.0μm、幅80μmの3角形状の液晶配向機能層
23aを形成した。Next, a photosensitive resin in which a dianthraquinone pigment is dispersed in an acrylic resin is applied to form a red photosensitive resin layer, and the exposure mask 60R-a and the exposure mask 60R are formed.
Using Rb, a series of patterning processes such as exposure and development, and a heating process were performed to obtain a width of 80 μm and a thickness of 1.3 μm.
m red pixel-shaped color filter layer 23R and a triangular liquid crystal alignment functional layer 23a having a height of 1.0 μm at the center and a width of 80 μm were formed.
【0033】同様に、アクリル系樹脂にフタロシアニン
グリーン系顔料を分散した着色感光性樹脂を塗布し、緑
色感光性樹脂層を形成し、露光マスク60G−a及び露
光マスク60G−bを用いて一連の露光処理及び現像等
のパターニング処理、加熱処理を行って、幅80μm、
膜厚1.3μmの緑色画素状カラーフィルタ層23G及
び中心部の高さ1.0μm、幅80μmの3角形状の液
晶配向機能層23aを形成した。Similarly, a colored photosensitive resin in which a phthalocyanine green pigment is dispersed in an acrylic resin is applied to form a green photosensitive resin layer, and a series of steps is performed using an exposure mask 60G-a and an exposure mask 60G-b. By performing patterning processing such as exposure processing and development, and heating processing, a width of 80 μm,
A green pixel-like color filter layer 23G having a thickness of 1.3 μm and a triangular liquid crystal alignment functional layer 23a having a height of 1.0 μm at the center and a width of 80 μm were formed.
【0034】同様に、アクリル系樹脂にフタロシアニン
ブルー系顔料を分散した着色感光性樹脂を塗布し、青色
感光性樹脂層を形成し、露光マスク60B−a及び露光
マスク60B−bを用いて一連の露光処理及び現像等の
パターニング処理、加熱処理を行って、幅80μm、
1.3μm厚の青色画素状カラーフィルタ層23B及び
中心部の高さ1.0μm、幅80μmの3角形状の液晶
配向機能層23aを形成した。Similarly, a colored photosensitive resin in which a phthalocyanine blue pigment is dispersed is applied to an acrylic resin to form a blue photosensitive resin layer, and a series of steps is performed using the exposure masks 60B-a and 60B-b. By performing patterning processing such as exposure processing and development, and heating processing, a width of 80 μm,
A blue pixel-like color filter layer 23B having a thickness of 1.3 μm and a triangular liquid crystal alignment functional layer 23a having a height of 1.0 μm and a width of 80 μm at the center were formed.
【0035】次に、酸化インジウム系のターゲットをス
パッタリングして、赤色、緑色、青色からなる画素状カ
ラーフィルタ層23R、23G、23Bの液晶配向機能
層23a及び遮光層22上に0.5μm厚の透明導電膜
24を形成した。Next, an indium oxide-based target is sputtered to a thickness of 0.5 μm on the liquid crystal alignment function layer 23 a of the pixel color filter layers 23 R, 23 G, and 23 B made of red, green, and blue and the light shielding layer 22. A transparent conductive film 24 was formed.
【0036】次に、透明導電膜24上にアクリル系樹脂
を主成分とした感光性樹脂を塗布し、感光性樹脂層を形
成し、スペーサー柱パターンが所定位置に形成された露
光マスクを用いて、感光性樹脂層に所定量の露光を行
い、現像処理、加熱処理を行って、5.5μm高さのス
ペーサー柱25を形成し、本発明の液晶表示装置用カラ
ーフィルタ20を得た。Next, a photosensitive resin containing an acrylic resin as a main component is applied on the transparent conductive film 24 to form a photosensitive resin layer, and an exposure mask having spacer column patterns formed at predetermined positions is used. The photosensitive resin layer was exposed to light of a predetermined amount, developed and heated to form spacer pillars 25 having a height of 5.5 μm, thereby obtaining a color filter 20 for a liquid crystal display of the present invention.
【0037】<実施例3>本発明の液晶表示装置用カラ
ーフィルタ10及び透明基板31上に液晶駆動素子アレ
イ32が形成されたアレイ基板30の双方に配向膜33
及び配向膜34を形成し、周辺部をシールして貼り合わ
せ、液晶セルを作製し、液晶41を液晶セル内に封入し
て本発明のカラー液晶表示装置100を得た。<Embodiment 3> An alignment film 33 is formed on both a color filter 10 for a liquid crystal display device of the present invention and an array substrate 30 having a liquid crystal driving element array 32 formed on a transparent substrate 31.
Then, an alignment film 34 was formed, and the peripheral portion was sealed and bonded. Thus, a liquid crystal cell was produced, and the liquid crystal 41 was sealed in the liquid crystal cell to obtain a color liquid crystal display device 100 of the present invention.
【0038】<実施例4>本発明の液晶表示装置用カラ
ーフィルタ20及び透明基板31上に液晶駆動素子アレ
イ32が形成されたアレイ基板30の双方に配向膜33
及び配向膜34を形成し、周辺部をシールしてを貼り合
わせ、液晶セルを作製し、液晶41を液晶セル内に封入
して本発明のカラー液晶表示装置200を得た。<Embodiment 4> An alignment film 33 is formed on both a color filter 20 for a liquid crystal display device of the present invention and an array substrate 30 having a liquid crystal driving element array 32 formed on a transparent substrate 31.
Then, an alignment film 34 was formed, and the periphery was sealed and bonded together to form a liquid crystal cell. The liquid crystal 41 was sealed in the liquid crystal cell to obtain a color liquid crystal display device 200 of the present invention.
【0039】[0039]
【発明の効果】本発明の液晶表示装置用カラーフィルタ
は、露光マスクのパターンと着色感光性樹脂層の露光量
を制御することで、画素状カラーフィルター層と液晶配
向機能層を同時に形成でき、再現性に優れた液晶配向機
能層を得ることができる。本発明の液晶表示装置用カラ
ーフィルタを用いてカラー液晶表示装置を作製すること
で、ラビング、スペーサー散布の工程が省略でき、且
つ、表示品質に優れたカラー液晶表示装置を得ることが
できる。According to the color filter for a liquid crystal display device of the present invention, the pixel color filter layer and the liquid crystal alignment functional layer can be formed simultaneously by controlling the pattern of the exposure mask and the exposure amount of the colored photosensitive resin layer. A liquid crystal alignment functional layer having excellent reproducibility can be obtained. By manufacturing a color liquid crystal display device using the color filter for a liquid crystal display device of the present invention, the steps of rubbing and spacer spraying can be omitted, and a color liquid crystal display device excellent in display quality can be obtained.
【図1】(a)は、本発明の液晶表示装置用カラーフィ
ルタの一実施例を示す部分模式平面図である。(b)
は、本発明の液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例
を示す部分模式平面図をA−A線で切断した部分模式断
面図である。FIG. 1A is a partial schematic plan view showing one embodiment of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention. (B)
FIG. 1 is a partial schematic cross-sectional view taken along line AA of a partial schematic plan view illustrating an embodiment of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention.
【図2】(a)は、本発明の液晶表示装置用カラーフィ
ルタの他の実施例を示す部分模式平面図である。(b)
は、本発明の液晶表示装置用カラーフィルタの他の実施
例を示す部分模式平面図をA−A線で切断した部分模式
断面図である。FIG. 2 (a) is a partial schematic plan view showing another embodiment of the color filter for a liquid crystal display device of the present invention. (B)
FIG. 4 is a partial schematic cross-sectional view taken along line AA of a partial schematic plan view showing another embodiment of the color filter for a liquid crystal display device of the present invention.
【図3】本発明のカラー液晶表示装置の一実施例を示す
部分模式断面図である。FIG. 3 is a partial schematic cross-sectional view showing one embodiment of the color liquid crystal display device of the present invention.
【図4】本発明のカラー液晶表示装置の他の実施例を示
す部分模式断面図である。FIG. 4 is a partial schematic sectional view showing another embodiment of the color liquid crystal display device of the present invention.
【図5】(a)〜(f)は、本発明の液晶表示装置用カ
ラーフィルタの製造工程の一実施例を示す部分模式断面
図である。FIGS. 5A to 5F are partial schematic cross-sectional views showing one embodiment of a process for manufacturing a color filter for a liquid crystal display device of the present invention.
【図6】(a)〜(f)は、本発明の液晶表示装置用カ
ラーフィルタの製造工程の他の実施例を示す部分模式断
面図である。FIGS. 6A to 6F are partial schematic cross-sectional views showing another embodiment of the manufacturing process of the color filter for a liquid crystal display device of the present invention.
【図7】(a)及び(b)は、本発明の液晶表示装置用
カラーフィルタの画素状カラーフィルタ層及び液晶配向
機能層を形成するための露光工程に用いる露光マスクの
一例を示す部分平面図である。FIGS. 7A and 7B are partial plan views showing an example of an exposure mask used in an exposure step for forming a pixel-like color filter layer and a liquid crystal alignment function layer of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention. FIG.
【図8】(a)及び(b)は、本発明の液晶表示装置用
カラーフィルタの画素状カラーフィルタ層及び液晶配向
機能層を形成するための露光工程に用いる露光マスクの
一例を示す部分平面図である。FIGS. 8A and 8B are partial plan views showing an example of an exposure mask used in an exposure step for forming a pixel-like color filter layer and a liquid crystal alignment functional layer of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention. FIG.
【図9】(a)及び(b)は、本発明の液晶表示装置用
カラーフィルタの画素状カラーフィルタ層及び液晶配向
機能層を形成するための露光工程に用いる露光マスクの
一例を示す部分平面図である。FIGS. 9A and 9B are partial plan views showing an example of an exposure mask used in an exposure step for forming a pixel-like color filter layer and a liquid crystal alignment functional layer of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention. FIG.
【図10】(a)及び(c)は、本発明の液晶表示装置
用カラーフィルタの画素状カラーフィルタ層及び液晶配
向機能層を形成するための露光工程に用いる露光マスク
の一例を示す部分平面図である。(b)は、露光マスク
60R−aのパターン濃度の一例を示す説明図である。FIGS. 10A and 10C are partial plan views showing an example of an exposure mask used in an exposure step for forming a pixel-like color filter layer and a liquid crystal alignment functional layer of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention. FIG. (B) is an explanatory view showing an example of the pattern density of the exposure mask 60R-a.
【図11】(a)及び(c)は、本発明の液晶表示装置
用カラーフィルタの画素状カラーフィルタ層及び液晶配
向機能層を形成するための露光工程に用いる露光マスク
の一例を示す部分平面図である。(b)は、露光マスク
60G−aのパターン濃度の一例を示す説明図である。FIGS. 11A and 11C are partial plan views showing an example of an exposure mask used in an exposure step for forming a pixel-like color filter layer and a liquid crystal alignment functional layer of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention. FIG. (B) is an explanatory view showing an example of the pattern density of the exposure mask 60G-a.
【図12】(a)及び(c)は、本発明の液晶表示装置
用カラーフィルタの画素状カラーフィルタ層及び液晶配
向機能層を形成するための露光工程に用いる露光マスク
の一例を示す部分平面図である。(b)は、露光マスク
60B−aのパターン濃度の一例を示す説明図である。FIGS. 12A and 12C are partial plan views each showing an example of an exposure mask used in an exposure step for forming a pixel-like color filter layer and a liquid crystal alignment functional layer of a color filter for a liquid crystal display device of the present invention. FIG. (B) is an explanatory view showing an example of the pattern density of the exposure mask 60B-a.
【図13】従来の液晶表示装置用カラーフィルタの一実
施例を示す部分模式平面図である。FIG. 13 is a partial schematic plan view showing one embodiment of a conventional color filter for a liquid crystal display device.
【図14】従来のカラー液晶表示装置の一実施例を示す
部分模式断面図である。FIG. 14 is a partial schematic cross-sectional view showing one embodiment of a conventional color liquid crystal display device.
10、20、70……液晶表示装置用カラーフィルタ 11、21、71、81……透明基板 12、22、72……遮光層 13、23……着色感光性樹脂層 13a、23a……液晶配向機能層 13R、13G、13B、23R、23G、23B、7
3……画素状カラーフィルタ層 14、24、74、82……透明導電膜 15、25、75……スペーサー柱 30、80……アレイ基板 33、34……配向膜 41、91……液晶 50R−a、50R−b、50G−a、50G−b、5
0B−a、50B−b、60R−a、60R−b、60
G−a、60G−b、60B−a、60B−b……露光
マスク 51……万線状パターン 52、62……透明パターン 53、54、63、64……遮光パターン 100、200、300……カラー液晶表示装置10, 20, 70: Color filter for liquid crystal display device 11, 21, 71, 81: Transparent substrate 12, 22, 72: Light shielding layer 13, 23: Colored photosensitive resin layer 13a, 23a: Liquid crystal alignment Functional layer 13R, 13G, 13B, 23R, 23G, 23B, 7
3. Pixel color filter layer 14, 24, 74, 82 Transparent conductive film 15, 25, 75 Spacer pillar 30, 80 Array substrate 33, 34 Alignment film 41, 91 Liquid crystal 50R -A, 50R-b, 50G-a, 50G-b, 5
0B-a, 50B-b, 60R-a, 60R-b, 60
Ga, 60G-b, 60B-a, 60B-b Exposure mask 51 Linear pattern 52, 62 Transparent pattern 53, 54, 63, 64 Light-shielding pattern 100, 200, 300 … Color liquid crystal display
Claims (4)
ラーフィルタ層及び透明導電膜を有するカラーフィルタ
において、前記画素状カラーフィルタ層の表面に前記画
素状カラーフィルタ層と同一材料で液晶配向機能層が形
成されていることを特徴とする液晶表示装置用カラーフ
ィルタ。1. A color filter having at least a light-shielding layer, a pixel-like color filter layer and a transparent conductive film on a transparent substrate, wherein a liquid crystal alignment function is formed on the surface of the pixel-like color filter layer using the same material as the pixel-like color filter layer. A color filter for a liquid crystal display device, comprising a layer.
たは3角形状をしていることを特徴とする請求項1記載
の液晶表示装置用カラーフィルタ。2. A color filter for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein said liquid crystal alignment function layer has a grating shape or a triangular shape.
配向機能層をマスク露光法で形成することを特徴とする
請求項1または請求項2に記載の液晶表示装置用カラー
フィルタの製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the pixel-like color filter layer and the liquid crystal alignment function layer are formed by a mask exposure method.
装置用カラーフィルタを用いて作製したことを特徴とす
るカラー液晶表示装置。4. A color liquid crystal display device manufactured using the color filter for a liquid crystal display device according to claim 1.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000144861A JP2001324717A (en) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | Color filter for liquid crystal display device, method of manufacturing the same, and color liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000144861A JP2001324717A (en) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | Color filter for liquid crystal display device, method of manufacturing the same, and color liquid crystal display device |
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|---|---|
| JP2001324717A true JP2001324717A (en) | 2001-11-22 |
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| JP2000144861A Pending JP2001324717A (en) | 2000-05-17 | 2000-05-17 | Color filter for liquid crystal display device, method of manufacturing the same, and color liquid crystal display device |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001324717A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100451738C (en) * | 2003-01-24 | 2009-01-14 | 精工爱普生株式会社 | Liquid crystal device and electronic equipment |
| US20110128481A1 (en) * | 2009-11-27 | 2011-06-02 | Chunghwa Picture Tubes, Ltd. | Display device and method of measuring surface structure thereof |
-
2000
- 2000-05-17 JP JP2000144861A patent/JP2001324717A/en active Pending
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