JP2002015418A - Magnetic disk and method of manufacturing magnetic disk - Google Patents
Magnetic disk and method of manufacturing magnetic diskInfo
- Publication number
- JP2002015418A JP2002015418A JP2000195898A JP2000195898A JP2002015418A JP 2002015418 A JP2002015418 A JP 2002015418A JP 2000195898 A JP2000195898 A JP 2000195898A JP 2000195898 A JP2000195898 A JP 2000195898A JP 2002015418 A JP2002015418 A JP 2002015418A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- pattern
- servo
- track
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Signal Processing For Digital Recording And Reproducing (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】磁気パターン形成プロセスによるサーボパター
ンのプリフォーム工程により、サーボライト工程の時間
の短縮化を図り、結果として製造工程全体の製造コスト
の減少化を実現することにある。加えて、高精度なヘッ
ド位置検出を可能とすることにある。
【解決手段】磁気パターン形成プロセスにより、ディス
ク上にナルサーボパターンを構成する第1及び第2の磁
性体パターン301,302をプリフォームするディス
ク製造方法を提案する。第1及び第2の磁性体パターン
301,302は、異なる保磁力及び同一の残留磁化の
磁気特性を有し、ディスクの半径方向及び周方向に交互
に配置される。
[PROBLEMS] To reduce the time of a servo write process by a servo pattern preform process by a magnetic pattern forming process, and as a result, to reduce the manufacturing cost of the entire manufacturing process. . In addition, another object is to enable highly accurate head position detection. The present invention proposes a disk manufacturing method for preforming first and second magnetic patterns (301, 302) constituting a null servo pattern on a disk by a magnetic pattern forming process. The first and second magnetic patterns 301 and 302 have different coercive forces and magnetic characteristics of the same remanent magnetization, and are alternately arranged in the radial direction and the circumferential direction of the disk.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、特にハードディス
クドライブに適用し、サーボデータパターンに含まれる
ナルサーボパターンがプリフォームされた磁気ディスク
及び同磁気ディスクの製造方法に関する。The present invention relates to a magnetic disk in which a null servo pattern included in a servo data pattern is preformed, particularly to a hard disk drive, and a method of manufacturing the magnetic disk.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、磁気ディスク(以下単にディスク
と称す)を記録媒体とするハードディスクドライブ(H
DD)は、大容量かつ高速アクセスなどの特性を有する
ため、パーソナルコンピュータだけでなく、各種のディ
ジタル機器の記憶装置として注目されている。2. Description of the Related Art In recent years, a hard disk drive (H) using a magnetic disk (hereinafter simply referred to as a disk) as a recording medium has been developed.
DD) has attracted attention not only as a personal computer but also as a storage device for various digital devices because of its characteristics such as large capacity and high-speed access.
【0003】HDDは、図8に示すように、大別してヘ
ッド・ディスクアセンブリを含む機構系1と、サーボシ
ステム及びデータ記録再生システムを含む電子回路系2
とから構成されている。機構系1は、ディスク10と、
ディスク10を回転させるスピンドルモータ11と、デ
ィスク10上を浮上してデータの記録再生を行う磁気ヘ
ッド(以下単にヘッドと表記する)12と、ヘッド12
を搭載するヘッドアーム13と、ボイスコイルモータ
(VCM)14とを有する。ヘッドアーム13及びVC
M14は、ヘッド12を浮上または接触摺動させて、デ
ィスク10上の目標位置まで移動して位置決めするため
のアクチュエータを構成している。ヘッド12は、MR
素子(GMR素子なども含む)からなるリードヘッド
と、インダクティブ薄膜ヘッドからなるライトヘッドと
が分離して実装されたスライダからなる。As shown in FIG. 8, the HDD is roughly divided into a mechanical system 1 including a head / disk assembly and an electronic circuit system 2 including a servo system and a data recording / reproducing system.
It is composed of The mechanism system 1 includes a disk 10,
A spindle motor 11 for rotating the disk 10, a magnetic head (hereinafter simply referred to as a head) 12 that floats on the disk 10 to record and reproduce data, and a head 12
, And a voice coil motor (VCM) 14. Head arm 13 and VC
M14 constitutes an actuator for moving or positioning the head 12 to a target position on the disk 10 by floating or sliding. Head 12 is MR
A read head composed of elements (including GMR elements and the like) and a write head composed of an inductive thin-film head are composed of a slider separately mounted.
【0004】電子回路系2は、ディスクコントローラ
(HDC)20を有し、当該HDC20を介して、パー
ソナルコンピュータや各種ディジタル機器などのホスト
システム3と接続し、記録再生データ(リード/ライト
データ)及び各種のコマンドの転送を行なう。前記のH
DC20以外に、リード/ライトチャネル(チャネルI
C)21と、CPU22と、メモリ23と、VCMドラ
イバ24とを有する。チャネルIC21は、リード/ラ
イト信号処理回路であり、ホストシステム3から転送さ
れたユーザデータ(記録データ)を磁気記録信号に変調
(符号化)する機能を有する。また、チャネルIC21
は、リードヘッドにより再生された磁気記録信号を、元
のユーザデータに復号化する機能を有する。チャネルI
C21は、フレキシブル・プリント・ケーブル(FP
C)15及びヘッドアンプ回路16を介して、ヘッド1
2に接続されている。ヘッドアンプ回路16は、リード
ヘッドにより読出されたリード信号(磁気記録信号)を
増幅してチャネルIC21に送出するリードアンプ(プ
リアンプ)、及びチャネルIC21からの記録信号をラ
イト電流に変換して、ライトヘッドに送出するためのラ
イトアンプ(電流ドライバ)を有する。The electronic circuit system 2 has a disk controller (HDC) 20 and is connected to a host system 3 such as a personal computer and various digital devices via the HDC 20 to record and reproduce data (read / write data) and data. Transfers various commands. The above H
In addition to the DC 20, a read / write channel (channel I
C) 21, a CPU 22, a memory 23, and a VCM driver 24. The channel IC 21 is a read / write signal processing circuit, and has a function of modulating (encoding) user data (recording data) transferred from the host system 3 into a magnetic recording signal. In addition, the channel IC 21
Has a function of decoding a magnetic recording signal reproduced by a read head into original user data. Channel I
C21 is a flexible print cable (FP
C) the head 1 via the head amplifier circuit 16
2 are connected. The head amplifier circuit 16 amplifies a read signal (magnetic recording signal) read by the read head and sends the amplified signal to the channel IC 21. The head amplifier circuit 16 converts a recording signal from the channel IC 21 into a write current and writes the write signal. It has a write amplifier (current driver) for sending to the head.
【0005】CPU22は、メモリ23に格納されたソ
フトウェアを実行することにより、データ記録再生動作
を含むHDDの動作を制御する。また、CPU22は、
後述するサーボシステムを構成するメイン要素であり、
チャネルIC21により再生されたサーボデータを使用
してヘッド12の位置決め制御を実行する。VCMドラ
イバ24はサーボシステムの要素であり、CPU22か
らの制御値に基づいて、VCM14を駆動制御するため
の駆動電流を供給する。[0005] The CPU 22 controls the operation of the HDD including the data recording / reproducing operation by executing software stored in the memory 23. Also, the CPU 22
It is the main element that constitutes the servo system described later,
The positioning control of the head 12 is executed using the servo data reproduced by the channel IC 21. The VCM driver 24 is an element of the servo system, and supplies a drive current for driving and controlling the VCM 14 based on a control value from the CPU 22.
【0006】前述のサーボシステムは、ヘッドをディス
ク上の目標位置(アクセス対象の目標トラック又は目標
シリンダ)に位置決め制御するための機構(CPU2が
メイン要素)である。サーボシステムは、ディスク上の
所定領域に記録されたサーボデータを使用して、ヘッド
の位置(トラック位置及びトラック範囲内の位置)を検
出し、ヘッドを目標位置に追従させていくフィードバッ
ク制御システムである。通常のサーボシステムは、セク
タサーボ方式が採用されており、ディスクのデータ面
(表層に設けられる単一磁性層)上に配置されたサーボ
エリアに記録されたサーボデータを再生して、ヘッド位
置決め制御に使用する。The aforementioned servo system is a mechanism (CPU 2 is a main element) for controlling the positioning of the head at a target position (a target track or a target cylinder to be accessed) on the disk. The servo system detects the position of the head (track position and position within the track range) using servo data recorded in a predetermined area on the disk, and is a feedback control system that causes the head to follow a target position. is there. A normal servo system employs a sector servo method, and reproduces servo data recorded in a servo area arranged on a data surface (a single magnetic layer provided on a surface layer) of a disk to perform head positioning control. use.
【0007】セクタサーボ方式のディスク10は、図9
(B)に示すように、ディスク基板(例えばガラス基
板)90の両面のそれぞれの表層領域に、単層の磁性層
91が設けられたものである。当該磁性層91には、同
図(A)に示すように、同心円状のデータトラック10
0がヘッド12の可動範囲の全面に渡って構成されてい
る。各トラック100は、中心角α[deg]をなす扇
領域毎にサーボセクタ103と呼ぶデータエリア単位か
ら構成されている。サーボセクタ103のセクタ数は
「360/α」で規定される。The disk 10 of the sector servo system is shown in FIG.
As shown in (B), a single magnetic layer 91 is provided in each surface layer region on both surfaces of a disk substrate (for example, a glass substrate) 90. The magnetic layer 91 has concentric data tracks 10 as shown in FIG.
0 is formed over the entire movable range of the head 12. Each track 100 is composed of a data area unit called a servo sector 103 for each fan area having a central angle α [deg]. The number of sectors of the servo sector 103 is defined by “360 / α”.
【0008】各サーボセクタ103は、サーボデータパ
ターンが記録されたサーボエリア101と、ユーザデー
タのアクセス単位であるデータセクタからなるユーザデ
ータ領域(複数のデータセクタからなる)102とから
構成されている。サーボデータパターンは、各データト
ラック100を識別するためのアドレスコード(トラッ
ク番号またはシリンダコード)、サーボセクタ番号、及
びバーストパターンを含む。バーストパターンは、後述
するように、1トラックの範囲内でのヘッド12の位置
(オフトラック量又はヘッド変位)を検出するための位
置誤差信号パターンである。Each servo sector 103 is composed of a servo area 101 on which a servo data pattern is recorded, and a user data area (consisting of a plurality of data sectors) 102 composed of data sectors which are access units of user data. The servo data pattern includes an address code (track number or cylinder code) for identifying each data track 100, a servo sector number, and a burst pattern. The burst pattern is a position error signal pattern for detecting the position (off-track amount or head displacement) of the head 12 within one track as described later.
【0009】サーボエリア101のサーボデータパター
ンは、HDDの製造時に、サーボトラックライタ(ST
W)と呼ばれる専用装置より記録される。サーボデータ
パターンを記録する工程は、サーボライト工程と呼ばれ
る。このサーボライト工程では、STWに取り付けられ
たポジショナにより、既に組み立てられたHDD機構部
のヘッド12(またはSTW付随の専用磁気ヘッド)を
ディスク10面上の所望位置に位置決めし、1トラック
分のサーボライトが実行される。このサーボライト動作
は、ディスク10の記憶容量に従って設定されるデータ
トラック数分だけ繰り返し実行される。[0009] The servo data pattern in the servo area 101 is read by a servo track writer (ST) when the HDD is manufactured.
Recorded by a dedicated device called W). The step of recording the servo data pattern is called a servo write step. In this servo write process, the head 12 (or a dedicated magnetic head attached to the STW) of the HDD mechanism already assembled is positioned at a desired position on the surface of the disk 10 by the positioner attached to the STW, and servo for one track is performed. The write is performed. This servo write operation is repeatedly executed by the number of data tracks set according to the storage capacity of the disk 10.
【0010】このようなSTWを使用したサーボライト
工程では、HDDの記憶容量の増加(高トラック密度
化)に伴って、サーボライトに要する処理時間が増大す
ることになる。従って、HDDの記憶容量の増加に伴っ
て、サーボライト工程の処理時間の増大化は、製造コス
トの増大化の要因の一つになっている。また、サーボラ
イト工程時間の増加は、サーボライト中の外乱や、ディ
スク10を回転させるスピンドルモータの振動により、
ディスク10上のトラック形状を歪める確率を増加さ
せ、結果的に製造歩留まりを悪化させる要因にもなる。In the servo write process using such an STW, the processing time required for the servo write increases as the storage capacity of the HDD increases (higher track density). Therefore, the increase in the processing time of the servo write process is one of the factors that increase the manufacturing cost as the storage capacity of the HDD increases. Further, the increase in the servo write process time is caused by disturbance during the servo write and the vibration of the spindle motor for rotating the disk 10.
This increases the probability that the track shape on the disk 10 is distorted, and consequently causes the manufacturing yield to deteriorate.
【0011】セクターサーボ方式では、各サーボエリア
101上をヘッド12が通過した時点でのトラックに対
するヘッド位置を検出する。サーボシステムは、ヘッド
12を目標トラックまでシークさせた後に、当該目標ト
ラックの範囲内にヘッド12を追従させるトラック追従
制御(トラッキング動作)を実行する。このトラック追
従制御では、現在ヘッド位置と目標トラック中心線との
距離である位置誤差(オフトラック量又はヘッド変位)
が最小となるように、CPU22はVCM14の制御操
作量を算出し、その制御操作量に従ってヘッド12の位
置を調整する(変位させる)。In the sector servo system, the head position relative to the track at the time when the head 12 passes over each servo area 101 is detected. After the head 12 seeks to the target track, the servo system executes a track following control (tracking operation) for causing the head 12 to follow the range of the target track. In this track following control, a position error (off-track amount or head displacement) which is a distance between the current head position and the target track center line.
The CPU 22 calculates the control operation amount of the VCM 14 and adjusts (displaces) the position of the head 12 according to the control operation amount so that is minimized.
【0012】ここで、ディスク10の回転数がR[rp
m]、サーボセクタ数がnであるとき、位置誤差は、サ
ンプリング周波数Fs(Fs=n×(R/60)[H
z])で取得できる。従って、ナイキスト(Nyqui
st)周波数(Fs/2)以下の帯域にてヘッド12の
位置制御が可能である。一般的に、サンプリング周波数
(Fs)を増加させて、単位時間当りでのVCM14の
制御操作量の出力回数を増加することにより、位置誤差
を抑制する周波数帯域を意味するサーボ帯域を広帯域化
し、ヘッド位置決め精度を向上できることが知られてい
る。従って、サーボ広帯域化により、HDDの高トラッ
ク密度化を推進することが可能となる。Here, the rotational speed of the disk 10 is R [rp
m] and the number of servo sectors is n, the position error is the sampling frequency Fs (Fs = n × (R / 60) [H
z]). Therefore, Nyquist (Nyqui
st) The position of the head 12 can be controlled in a frequency band (Fs / 2) or less. In general, by increasing the sampling frequency (Fs) and increasing the number of outputs of the control operation amount of the VCM 14 per unit time, the servo band, which means a frequency band for suppressing a position error, is broadened, and It is known that positioning accuracy can be improved. Therefore, by increasing the servo bandwidth, it is possible to promote a higher track density of the HDD.
【0013】しかし、サーボ広帯域化のためには、サー
ボセクタ数nを増加させる必要がある。セクタサーボ方
式では、サーボセクタ数nの増加は、ユーザデータ領域
の減少となる。従って、サーボ広帯域化のためにサーボ
セクタ数nを増加させると、サーボエリア101とユー
ザデータ領域102との比であるフォーマット効率が低
下し、結果的にHDDの記憶容量の増大化を妨げること
になる。However, to increase the servo bandwidth, it is necessary to increase the number n of servo sectors. In the sector servo method, an increase in the number n of servo sectors results in a decrease in the user data area. Therefore, when the number n of servo sectors is increased for widening the servo bandwidth, the format efficiency, which is the ratio between the servo area 101 and the user data area 102, is reduced, and as a result, an increase in the storage capacity of the HDD is prevented. .
【0014】ところで、従来のHDDでは、トラック範
囲内でのヘッド位置の検出手法としては振幅積分型位置
検出方式が一般的である。当該振幅積分型位置検出方式
では、ディスク上に構成されたサーボエリアは、図14
に示すように、プリアンブル140、サーボマーク14
1、アドレスコード142、及び複数のバーストブロッ
ク(A〜D)からなるバーストパターン部143を有す
る。プリアンブル140は、ヘッドからの磁気再生信号
の自動ゲイン調整(AGC)や、信号周波数に対するチ
ャネルIC21の内部クロックの位相同期(PLL)等
に利用される。サーボマーク141は、アドレスコード
142やバーストブロック(A〜D)を生成するときの
基準タイミング信号として利用される。アドレスコード
142には、トラック番号(シリンダコード)や、サー
ボセクタ番号が含まれており、ディスク10上でのヘッ
ド位置の粗動情報に相当し、シーク制御に利用される。By the way, in a conventional HDD, an amplitude integration type position detection method is generally used as a method of detecting a head position within a track range. In the amplitude integration type position detection method, the servo area formed on the disk is as shown in FIG.
, The preamble 140, the servo mark 14
1, an address code 142, and a burst pattern unit 143 including a plurality of burst blocks (A to D). The preamble 140 is used for automatic gain adjustment (AGC) of a magnetic reproduction signal from a head, phase synchronization (PLL) of an internal clock of the channel IC 21 with respect to a signal frequency, and the like. The servo mark 141 is used as a reference timing signal when generating the address code 142 and the burst blocks (A to D). The address code 142 includes a track number (cylinder code) and a servo sector number, and corresponds to coarse movement information of a head position on the disk 10 and is used for seek control.
【0015】各バーストブロック(A〜D)はそれぞ
れ、正の磁化転位線と負の磁化転位線とが交互に配置さ
れた構成である。当該各磁化転位線の長さは、隣接トラ
ック間の中心距離となるトラックピッチTPに相当す
る。ここで、N,N−1,N+1はそれぞれ、トラック
N,N−1,N+1の中心線を示す。Each of the burst blocks (A to D) has a configuration in which positive magnetization dislocation lines and negative magnetization dislocation lines are alternately arranged. The length of each magnetization dislocation line corresponds to a track pitch TP which is a center distance between adjacent tracks. Here, N, N-1, and N + 1 indicate the center lines of the tracks N, N-1, and N + 1, respectively.
【0016】各バーストブロック(A〜D)は、1トラ
ック範囲内でのヘッド位置(微動情報)検出に利用され
る。バーストブロックA,Bの磁化転位線の端は、トラ
ック中心線(N,N−1,N+1)に相当する。また、
バーストブロックC,Dの磁化転位線の端は、トラック
中心線よりディスクの半径方向(矢印D1)にTP/2
分だけオフセットした位置に相当する。各バーストブロ
ック(A〜D)の磁化転位線がない部分144は、イレ
ーズされている領域である。Each burst block (A to D) is used for detecting a head position (fine movement information) within one track. The ends of the magnetization dislocation lines of the burst blocks A and B correspond to the track center lines (N, N-1, N + 1). Also,
The ends of the magnetization dislocation lines of the burst blocks C and D are TP / 2 in the disk radial direction (arrow D1) from the track center line.
This corresponds to a position offset by an amount. A portion 144 of each of the burst blocks (A to D) having no magnetization dislocation line is an erased region.
【0017】次に、振幅積分型位置検出方式でのヘッド
位置検出の動作原理を、図15を参照して説明する。Next, the operation principle of the head position detection by the amplitude integration type position detection method will be described with reference to FIG.
【0018】図15(A)は、縦軸が各バーストブロッ
ク(A〜D)からの再生信号(ヘッドのリード信号)の
振幅値を一定時間積分した値(バースト積分値)を示
し、横軸がオフトラック量(ヘッド変位)TEを示す。
また、同図(B)は、縦軸が位置誤差を示し、バースト
ブロック(A,B)による位置誤差信号(PES)16
0及びバーストブロック(C,D)による位置誤差信号
(PES)161を示す。In FIG. 15A, the vertical axis represents a value (burst integrated value) obtained by integrating the amplitude value of the reproduction signal (read signal from the head) from each of the burst blocks (A to D) for a predetermined time, and the horizontal axis represents the value. Indicates the off-track amount (head displacement) TE.
In FIG. 3B, the vertical axis indicates the position error, and the position error signal (PES) 16 due to the burst blocks (A, B).
11 shows a position error signal (PES) 161 due to 0 and burst blocks (C, D).
【0019】ヘッドがバーストブロック上をディスクの
半径方向(D1)にオフトラックしている状態を想定す
ると、各バーストブロック(A〜D)からの再生信号の
振幅(積分値)は、オフトラック量2TPに対して周期
的に増減する。ここで、再生信号の振幅を一定時間積分
する理由は、媒体ノイズや、電磁変換ノイズ、システム
ノイズ等を平均化効果により除去するためである。Assuming that the head is off-track on the burst block in the radial direction (D1) of the disk, the amplitude (integral value) of the reproduction signal from each burst block (A to D) is equal to the off-track amount. It increases and decreases periodically with respect to 2TP. Here, the reason why the amplitude of the reproduction signal is integrated for a certain period of time is to remove medium noise, electromagnetic conversion noise, system noise, and the like by an averaging effect.
【0020】図15(A)に示すように、バーストブロ
ック(A),(B)からの再生信号150,151は、
トラック中心近傍ではオフトラック量に比例して変化
し、TP/2分だけトラック中心からオフセットした位
置近傍ではオフトラック量と非線形的に変化する。一
方、バーストブロック(C),(D)からの再生信号1
52,153は、トラック中心近傍ではオフトラック量
と非線形的に変化し、TP/2分だけトラック中心から
オフセットした位置近傍ではオフトラック量に比例して
変化する。この場合、非線形的に変化する理由は、トラ
ックピッチ(TP)とヘッド幅(リードヘッド幅)が厳
密に一致しない限り、磁化転位線の中心近傍またはイレ
ーズされている領域144の中心近傍で、再生出力振幅
が飽和してしまうためである。As shown in FIG. 15A, reproduced signals 150 and 151 from the burst blocks (A) and (B) are
It changes in proportion to the off-track amount near the center of the track, and changes nonlinearly with the off-track amount near the position offset from the track center by TP / 2. On the other hand, the reproduced signal 1 from the burst blocks (C) and (D)
Numerals 52 and 153 change nonlinearly with the off-track amount near the track center, and change in proportion to the off-track amount near the position offset from the track center by TP / 2. In this case, the reason for the non-linear change is that, unless the track pitch (TP) and the head width (read head width) exactly match, the reproduction near the center of the magnetization dislocation line or the center of the erased region 144 is performed. This is because the output amplitude is saturated.
【0021】各バーストブロック(A〜D)からの再生
信号の積分値(IA〜IDと表記する)を使用して、下
記の演算式(1),(2)から、ヘッドが位置している
トラックにおける中心線からの距離に相当する位置誤差
PEab(即ち、PES160)及びPEcd(即ち、
PES161)が求められる。Using the integrated values (denoted as IA to ID) of the reproduced signals from the burst blocks (A to D), the head is located from the following arithmetic expressions (1) and (2). Position errors PEab (ie, PES160) and PEcd (ie, Pcd) corresponding to the distance from the center line in the track.
PES 161) is required.
【0022】 PEab=(IA−IB)/(IA+IB)…(1) PEcd=(IC−ID)/(IC+ID)…(2) ここで、前記の積分値がオフセット量に比例して変化す
るバーストブロックを選択することで、ヘッドオフセッ
ト量に対して一意に位置誤差信号(PES)を得ること
も可能である。しかし、ヘッドの浮上高変動などにより
再生信号振幅が変動する場合には、誤ったPESを得る
問題がある。このような問題を解決するために、前記式
(1),(2)に示すように、隣接する2組のバースト
ブロックからの積分値の和で規格化する手法が採用され
ている。また、PES160及びPPES161は、前
述の再生出力振幅の飽和が原因でオフトラック量(T
E)に対して非線形となる位置が存在するため、いずれ
かのPESの中でオフセット量に比例して変化する方を
選択して用いられるのが一般的である(図15(B)を
参照)。従って、振幅積分型位置検出方式では、再生信
号振幅の飽和問題とヘッド浮上高変動に対処するため
に、最低4つのバーストブロック(A〜D)を必要とす
る。PEab = (IA−IB) / (IA + IB) (1) PEcd = (IC−ID) / (IC + ID) (2) Here, the burst in which the integral value changes in proportion to the offset amount. By selecting a block, a position error signal (PES) can be uniquely obtained for the head offset amount. However, when the reproduction signal amplitude fluctuates due to fluctuations in the flying height of the head, there is a problem in that an erroneous PES is obtained. In order to solve such a problem, as shown in the equations (1) and (2), a method of normalizing by a sum of integral values from two adjacent sets of burst blocks is adopted. In addition, the PES 160 and PPES 161 have an off-track amount (T
Since there is a position that is non-linear to E), it is common to select and use one of the PESs that changes in proportion to the offset amount (see FIG. 15B). ). Therefore, in the amplitude integration type position detection method, at least four burst blocks (A to D) are required in order to cope with the saturation problem of the reproduction signal amplitude and the fluctuation of the head flying height.
【0023】ところで、振幅積分型位置検出方式以外の
位置検出方式として、ナル(Nu11)サーボ方式が提
案されている(IBM Technial Discl
osure Bulletin「Nu11 servo
pattern」Vol.18,No.8,Janu
ary 1976,pages2656/7、および、
USP4,412,165「Sampled Serv
o PositionControl System」
などの文献を参照)。ナルサーボ方式で使用されるサー
ボデータパターン(以下、ナルサーボパターンと称す)
は、振幅積分型のサーボパターンとはバーストブロック
の構成が異なる。As a position detection method other than the amplitude integration type position detection method, a null (Nu11) servo method has been proposed (IBM Technical Discl).
osure Bulletin "Nu11 servo
pattern, Vol. 18, No. 8, Janu
ary 1976, pages 2656/7, and
USP 4,412,165 "Sampled Serv
o Position Control System "
Etc.). Servo data pattern used in the null servo method (hereinafter referred to as null servo pattern)
Is different from the amplitude integral type servo pattern in the configuration of the burst block.
【0024】以下、ナルサーボ方式を,図10及び図1
1を参照して説明する。The null servo system will be described below with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG.
【0025】ナルサーボ方式においても、サーボエリア
に含まれるプリアンブル140、サーボマーク141、
及びアドレスコード142については、前述の振幅積分
型のサーボパターンと同様である(図10を参照)。こ
れに対して、バーストパターン部のバーストブロック2
00は、トラック中心線に対して隣接領域間で磁化転位
線(200Nと200S)からの漏洩磁界の方向が半径
方向に逆向きになるように磁気記録されている。ディス
クの円周方向には、正の磁化転位線(例えば200S)
と負の磁化転位線(例えば200N)とが交互に配置さ
れた構成である。In the null servo system, the preamble 140, the servo mark 141, and the
The address code 142 is the same as that of the above-described amplitude integration type servo pattern (see FIG. 10). On the other hand, burst block 2 in the burst pattern section
No. 00 is magnetically recorded such that the direction of the leakage magnetic field from the magnetization dislocation lines (200N and 200S) between adjacent regions with respect to the track center line is opposite to the radial direction. In the circumferential direction of the disk, a positive magnetization dislocation line (for example, 200S)
And negative magnetization dislocation lines (for example, 200 N) are alternately arranged.
【0026】このようなバーストパターン部の構成であ
ると、図10に示すように、ヘッドの円周方向の移動位
置110A〜110Cを想定した場合に、各再生信号の
振幅特性は、図11に示すように、最大振幅値を示す信
号波形111A、ほぼゼロを示す信号波形111B、及
び最大振幅値を示す信号波形111Cで示される。即
ち、ヘッド移動位置110Aと110Cとの場合では、
バーストブロック200からの各ヘッド再生出力は、相
互に180[deg]位相が異なるものとなる。With such a configuration of the burst pattern portion, as shown in FIG. 10, when the head moving positions 110A to 110C in the circumferential direction are assumed, the amplitude characteristic of each reproduced signal is as shown in FIG. As shown, the signal waveform 111A indicates the maximum amplitude value, the signal waveform 111B indicates almost zero, and the signal waveform 111C indicates the maximum amplitude value. That is, in the case of the head moving positions 110A and 110C,
Each head reproduction output from the burst block 200 has a phase difference of 180 [deg].
【0027】ここで、HDDのチャネルIC21は、振
幅積分型位置検出方式の場合と同様に、ヘッド12から
の再生信号の入力に従って、図12に示すように、プリ
アンブル140により内部クロックの位相同期(PL
L)を制御する。また、ヘッド12からの再生信号出力
(振幅)を一定時間積分し(サンプルホールドSH)、
これに位相に応じて正負の符号を付加した積分値(12
0)を「IR」とする。同様に、バーストブロック20
0からの再生信号出力を一定時間積分し、これに位相に
応じて正負の符号を付加した積分値(121)を「I
A」とすると、下記の演算式(3)から位置誤差信号P
ESが求められる。Here, as in the case of the amplitude integration type position detection method, the channel IC 21 of the HDD, in accordance with the input of the reproduction signal from the head 12, as shown in FIG. PL
L) is controlled. Further, the reproduction signal output (amplitude) from the head 12 is integrated for a certain period of time (sample hold SH),
The integral value (12
0) is “IR”. Similarly, the burst block 20
0 is integrated for a certain period of time, and an integrated value (121) obtained by adding a positive or negative sign according to the phase to the integrated signal (I)
A ”, the position error signal P is calculated from the following equation (3).
ES is required.
【0028】PES=IA/IR…(3) 位置誤差信号PESは、プリアンブル140からの再生
出力の積分値IRで規格化されているため、ヘッド12
の浮上高変動の影響を受けず、理想的には図13(A)
に示すように、ヘッドオフトラック量THに比例したも
のとなる。ヘッド12がトラック中心に位置する場合に
は、位置誤差信号PESの振幅値は0(Nu11)とな
る。ナルサーボ方式では、トラックピッチと再生ヘッド
幅が厳密に一致しない場合でも隣接トラックからの漏洩
磁界の効果により、振幅積分型のような再生信号振幅の
飽和が発生しない利点を持つ。PES = IA / IR (3) Since the position error signal PES is standardized by the integral value IR of the reproduction output from the preamble 140, the head 12
13 (A) is not affected by the flying height fluctuation of
As shown in the figure, the value becomes proportional to the head-off track amount TH. When the head 12 is located at the center of the track, the amplitude value of the position error signal PES is 0 (Nu11). The null servo method has an advantage that even when the track pitch and the read head width do not exactly match, due to the effect of the leakage magnetic field from the adjacent track, the saturation of the read signal amplitude unlike the amplitude integration type does not occur.
【0029】[0029]
【発明が解決しようとする課題】前述したように、ナル
サーボ方式では、トラックピッチTPとリードヘッド幅
とが厳密に一致しない場合でも、隣接トラックからの漏
洩磁界の効果により、振幅積分型のような再生信号振幅
の飽和が発生しない利点を有し、かつヘッドの浮上高変
動の影響を受け無いため、理想的にはヘッドオフトラッ
ク量THに比例して位置誤差信号PESを得ることが可
能である。また、ナルサーボパターンに含まれるバース
トブロック数は、振幅積分型と比較すると少なくでき
る。As described above, in the null servo system, even when the track pitch TP and the read head width do not exactly match, due to the effect of the leakage magnetic field from an adjacent track, the null-integrated type is not used. Since there is an advantage that the saturation of the reproduction signal amplitude does not occur, and there is no influence from the fluctuation of the flying height of the head, the position error signal PES can be obtained ideally in proportion to the head off-track amount TH. . Further, the number of burst blocks included in the null servo pattern can be reduced as compared with the amplitude integration type.
【0030】このため、ナルサーボ式位置検出方式と、
セクタサーボ方式とを組み合わせることで、振幅積分型
位置検出方式を使用した場合と比較して、サーボ広帯域
化に伴うフォーマット効率悪化の問題を軽減できる利点
がある。For this reason, a null servo type position detection method,
By combining with the sector servo method, there is an advantage that the problem of format efficiency deterioration due to the servo broadband can be reduced as compared with the case where the amplitude integration type position detection method is used.
【0031】しかしながら、ナルサーボパターンのサー
ボライト動作を、通常のSTWで行なう場合に、バース
トブロック200を記録するための記録ヘッドからの漏
洩磁界の影響で、トラック中心線の近傍にフリンジが発
生する可能性が高い。この影響で、ナルサーボ方式で
は、図13(B)に示すように、位置誤差信号PESの
ゼロ(0)の近傍でオフトラック量TEに対して非線形
に変化する部分130が発生する。また、STWによる
サーボライト工程では、1トラック毎にサーボライトし
ていくため、サーボライト時にディスクを回転させるス
ピンドルモータの微小な回転変動が生じると、隣接トラ
ック間での磁化転位線がヘッド周動方向(円周方向)に
ずれる可能性がある。この磁化転位線の円周方向に対す
る変動は、再生信号振幅の減少を招く。これにより、S
TWを使用したナルサーボパターンのサーボライト動作
では、結果的に位置誤差の誤検出を招くことになり、ヘ
ッド位置決め精度の低下につながることになる。さら
に、ナルサーボ方式だけでなく、通常のSTWを使用し
たサーボライト工程は、HDDの容量増大化に伴ってサ
ーボライト動作に要する時間が増大し、結果としてHD
Dの製造コストの増大化を招く要因になりつつある。However, when the servo write operation of the null servo pattern is performed by the normal STW, a fringe occurs near the track center line due to the influence of the leakage magnetic field from the recording head for recording the burst block 200. Probability is high. Due to this effect, in the null servo method, as shown in FIG. 13B, a portion 130 that changes nonlinearly with respect to the off-track amount TE occurs near zero (0) of the position error signal PES. Also, in the servo write process by the STW, the servo write is performed for each track, so if a slight rotation fluctuation of the spindle motor for rotating the disk occurs during the servo write, the magnetization dislocation line between the adjacent tracks causes the head to move around. Direction (circumferential direction). The fluctuation of the magnetization dislocation line in the circumferential direction causes a decrease in the amplitude of the reproduction signal. Thereby, S
The servo write operation of the null servo pattern using the TW results in erroneous detection of a position error, which leads to a decrease in head positioning accuracy. Further, in the servo write process using not only the null servo method but also a normal STW, the time required for the servo write operation increases with an increase in the capacity of the HDD.
D is becoming a factor that causes an increase in the manufacturing cost.
【0032】そこで、本発明の目的は、特にSTWによ
るサーボライト工程とは本質的に異なるサーボパターン
のサーボライト工程により、磁化転位線から構成される
バーストブロックをディスク上にプリフォームし、トラ
ック中心線の近傍にフリンジが発生することなく、高精
度の位置検出が可能な特にナルサーボパターンを有する
磁気ディスクを提供することにある。また、本発明の目
的は、従来のSTWによるサーボライト工程と比較し
て、サーボライト工程の時間の短縮化を図り、結果とし
て製造工程全体の製造コストの減少化を実現することに
ある。Accordingly, an object of the present invention is to preform a burst block composed of magnetization dislocation lines on a disk by a servo write step of a servo pattern which is essentially different from a servo write step by an STW, and to form a track center on a track. It is an object of the present invention to provide a magnetic disk having a null servo pattern capable of detecting a position with high accuracy without generating a fringe near a line. It is another object of the present invention to reduce the time required for the servo write process as compared with the conventional servo write process using the STW, and as a result, to reduce the manufacturing cost of the entire manufacturing process.
【0033】[0033]
【課題を解決するための手段】本発明の第1の観点は、
通常のサーボトラックライタを使用したサーボライト工
程ではなく、例えば半導体製造プロセスのようなパター
ン形成プロセスにより、特にナルサーボパターンをサー
ボエリアに記録された磁気ディスクに関する。SUMMARY OF THE INVENTION A first aspect of the present invention is as follows.
The present invention relates to a magnetic disk in which a null servo pattern is recorded in a servo area by a pattern forming process such as a semiconductor manufacturing process, not a servo write process using a normal servo track writer.
【0034】即ち、本発明の磁気ディスクは、パターン
形成用マスクを使用する磁性パターン形成プロセスを利
用して、ディスク基板上の所定の位置にナルサーボパタ
ーンが設けられている。また、ナルサーボパターンに含
まれるバーストパターンは、トラックの円周方向に複数
の正負の磁化転位線から構成されて、当該磁化転位線に
相当する磁性体の接合位置及び半径方向に隣接するトラ
ック境界位置では相互に異なる保磁力かつ同一残留磁化
の磁気特性を有する磁性体から構成されている。That is, in the magnetic disk of the present invention, a null servo pattern is provided at a predetermined position on the disk substrate by using a magnetic pattern forming process using a pattern forming mask. The burst pattern included in the null servo pattern is composed of a plurality of positive and negative magnetization dislocation lines in the circumferential direction of the track, and the joining position of the magnetic material corresponding to the magnetization dislocation line and the track boundary adjacent in the radial direction. At the position, it is made of a magnetic material having mutually different coercive forces and magnetic properties of the same remanence.
【0035】このような構成の磁気ディスクであれば、
ディスクドライブに適用した場合に、トラック中心線の
近傍で非線形となるような位置誤差信号の生成を招くこ
とがない高精度のヘッド位置決め制御の可能なナルサー
ボ方式を実現できる。また、本発明であれば、バースト
ブロック数が相対的に少ないナルサーボパターンを、デ
ィスク上に高精度でプリフォームできるため、結果とし
てフォーマット効率を悪化させることなくサーボ広帯域
化を実現することができる。With a magnetic disk having such a configuration,
When applied to a disk drive, it is possible to realize a null servo method capable of performing high-precision head positioning control without generating a position error signal that becomes non-linear near the track center line. Further, according to the present invention, a null servo pattern having a relatively small number of burst blocks can be preformed on a disk with high precision, and as a result, servo bandwidth can be widened without deteriorating the format efficiency. .
【0036】本発明の第2の観点は、ナルサーボパター
ンを形成する工程であって、第1の保磁力を有する磁性
膜のパターン形成処理により、トラックの円周方向及び
ディスクの半径方向に所定の間隔で第1の磁性体パター
ンを形成する工程と、第1の磁性体パターン間に第2の
保磁力を有する磁性膜を埋め込む処理により、円周方向
に複数の正負の磁化転位線を構成する磁性体の接合位置
で第1の磁性体パターンと交互に配置されて、かつ半径
方向に隣接するトラック境界位置で第1の磁性体パター
ンと交互に配置される第2の磁性体パターンを形成する
工程とを有する磁気ディスクの製造方法に関する。A second aspect of the present invention is a step of forming a null servo pattern, wherein a predetermined pattern is formed in a circumferential direction of a track and a radial direction of a disk by forming a pattern of a magnetic film having a first coercive force. Forming a plurality of positive and negative magnetization dislocation lines in the circumferential direction by forming a first magnetic pattern at intervals of and by embedding a magnetic film having a second coercive force between the first magnetic patterns. Forming a second magnetic material pattern alternately arranged with the first magnetic material pattern at a joining position of the magnetic material to be formed and alternately arranged with the first magnetic material pattern at a track boundary position adjacent in the radial direction. And a method for manufacturing a magnetic disk.
【0037】要するに、本発明の製造方法は、半導体製
造プロセスのようなパターン形成プロセスを利用して、
互いに異なる保磁力(Hc1,Hc2:Hc1<Hc
2)を有し、ほぼ同一の残留磁化(Mr)有する各磁性
体パターンを形成して、ナルサーボパターンをディスク
上にプリフォームする方法である。In short, the manufacturing method of the present invention utilizes a pattern forming process such as a semiconductor manufacturing process,
Coercive forces different from each other (Hc1, Hc2: Hc1 <Hc
This is a method of forming the respective magnetic material patterns having substantially the same residual magnetization (Mr), and preforming a null servo pattern on a disk.
【0038】このような製造方法であれば、従来のST
Wを使用したサーボライト工程で、バーストブロックの
記録時に記録ヘッドからの漏洩磁界の影響でトラック中
心線の近傍にフリンジが発生するような事態を防止でき
る。また、ディスクを回転させるスピンドルモータの微
小な回転変動が影響して、再生信号の振幅の減少を招く
ような事態も防止できる。With such a manufacturing method, the conventional ST
In a servo write process using W, it is possible to prevent a situation in which fringes are generated near the track center line due to the influence of a leakage magnetic field from a recording head when recording a burst block. Further, it is possible to prevent a situation in which a minute rotation fluctuation of the spindle motor for rotating the disk influences and causes a decrease in the amplitude of the reproduction signal.
【0039】さらに、本発明の方法を適用する具体的な
製造工程では、異なる保磁力の各磁性体パターンを表面
研磨し、さらに着磁工程(例えば専用記録ヘッドを使用
する)により各磁性体パターンを相互に反対方向に磁化
させる。この場合、磁気特性は異なるが、同質の磁性材
料からなる各磁性体パターンを研磨するため、磁性体と
非磁性体を研磨するような場合と比較して、高い平面度
(良好な表面性)を得ることが可能である。これによ
り、ヘッドを搭載したスライダの浮上または接触摺動特
性が良好となり、安定した再生出力特性が得られる。Further, in a specific manufacturing process to which the method of the present invention is applied, the surface of each magnetic material pattern having a different coercive force is polished, and each magnetic material pattern is subjected to a magnetizing process (for example, using a dedicated recording head). Are magnetized in mutually opposite directions. In this case, although the magnetic properties are different, each magnetic body pattern made of the same magnetic material is polished, so that a higher flatness (good surface property) is obtained as compared with a case where a magnetic body and a non-magnetic body are polished. It is possible to obtain Thereby, the flying or contact sliding characteristics of the slider on which the head is mounted are improved, and stable reproduction output characteristics are obtained.
【0040】なお、着磁工程において、サーボパターン
の着磁と同時に、ディスク上のサーボエリア以外のユー
ザデータエリアの磁性層をイレーズ処理を実行すること
により、従来の独立したイレーズ工程を削減することが
できる。In the magnetizing step, the conventional independent erasing step can be reduced by performing the erasing process on the magnetic layer of the user data area other than the servo area on the disk simultaneously with the magnetization of the servo pattern. Can be.
【0041】このような製造方法により製造した磁気デ
ィスクを使用したディスクドライブであれば、ナルサー
ボ方式を利用した高精度のヘッド位置決め制御を実現で
きるため、結果として高トラック密度化による記憶容量
の増大化を図ることができる。また、特にサーボライト
工程を改善できるため、ドライブ全体の製造工程の効率
化及び低コスト化を実現することが可能となる。With a disk drive using a magnetic disk manufactured by such a manufacturing method, high-precision head positioning control using a null servo method can be realized. As a result, an increase in storage capacity due to a high track density is achieved. Can be achieved. In addition, since the servo write process can be particularly improved, it is possible to realize an efficient and cost-effective manufacturing process of the entire drive.
【0042】[0042]
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施の形態を説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0043】(ディスク製造プロセス)以下図1を参照
して、同実施形態のディスクの製造工程において、当該
ディスク上のサーボエリアにナルサーボパターンをプリ
フォームするための工程を説明する。なお、同実施形態
のディスクは、サーボデータとしてバーストパターン部
に記録されるバーストブロックがナルサーボパターンで
ある以外、従来の振幅積分型位置検出方式でのディスク
の構成と同様である(図9を参照)。また、同実施形態
のディスクを使用するディスクドライブも、従来の振幅
積分型位置検出方式を採用したドライブとほぼ同様であ
る(図8を参照)。(Disk Manufacturing Process) A process for preforming a null servo pattern in a servo area on the disk in the disk manufacturing process of the embodiment will be described below with reference to FIG. The disk of the embodiment has the same configuration as the disk of the conventional amplitude integration type position detection method except that the burst block recorded in the burst pattern portion as servo data is a null servo pattern (see FIG. 9). reference). A disk drive using the disk of the embodiment is almost the same as a drive employing a conventional amplitude integration type position detection method (see FIG. 8).
【0044】同実施形態のナルサーボパターンのプリフ
ォーム工程は、例えば半導体製造プロセスの一部を利用
したパターン形成プロセスを有し、従来のSTW(サー
ボトラックライタ)によるサーボライト工程とは全く異
なるものである。以下、具体的にプロセスを説明する。The preform step of the null servo pattern according to the embodiment has a pattern formation process using, for example, a part of a semiconductor manufacturing process, and is completely different from a servo write step by a conventional STW (servo track writer). It is. Hereinafter, the process will be specifically described.
【0045】まず、図1(A)に示すように、ディスク
基板300上に保磁力(Hc1)、残留磁化(Mr)の
磁気特性を示す薄膜の磁性体301を、スパッタ装置を
用いて形成する。この磁性体301の表面上に、レジス
ト400を塗布する。First, as shown in FIG. 1A, a thin film magnetic material 301 having magnetic properties of coercive force (Hc1) and residual magnetization (Mr) is formed on a disk substrate 300 by using a sputtering apparatus. . A resist 400 is applied on the surface of the magnetic body 301.
【0046】次に、所望のサーボパターンを形成するた
めのマスク401を、レジスト400の上に設けて、光
源500により露光する(図1(B)を参照)。これを
現像すると、マスクされなかった部分のレジスト400
が除去される(図1(C)を参照)。この状態で例えば
イオンミリング処理により、現像によりレジスト400
が除去された部分の直下にある磁性膜301が除去され
る(図1(D)を参照)。Next, a mask 401 for forming a desired servo pattern is provided on the resist 400 and exposed by a light source 500 (see FIG. 1B). When this is developed, the unmasked portion of the resist 400
Is removed (see FIG. 1C). In this state, the resist 400 is developed by, for example, ion milling.
The magnetic film 301 immediately below the portion from which is removed is removed (see FIG. 1D).
【0047】ここで、レジスト400を除去すると、デ
ィスク基板300上にはマスク形状と同形状の磁性膜
(即ち、第1の磁性体パターン)301が残留すること
になる(図1(E)を参照)。この状態のディスク基板
300に対して、保磁力(Hc1)より大きい保磁力
(Hc2)、及びほぼ同一の残留磁化(Mr)の磁気特
性を示す磁性体302を、前記のスパッタ装置を用いて
成膜する(図1(F)を参照)。即ち、ディスク基板3
00上には、保磁力(Hc1)の磁性体パターン301
の表層上及びパターン形成による隣接区画に形成された
保磁力(Hc2)の磁性膜302が設けられる。Here, when the resist 400 is removed, a magnetic film (that is, a first magnetic pattern) 301 having the same shape as the mask shape remains on the disk substrate 300 (FIG. 1E). reference). A magnetic body 302 having a coercive force (Hc2) greater than the coercive force (Hc1) and substantially the same magnetic properties of remanent magnetization (Mr) is formed on the disk substrate 300 in this state by using the above-described sputtering apparatus. Film (see FIG. 1 (F)). That is, the disk substrate 3
00, a magnetic pattern 301 having a coercive force (Hc1)
A magnetic film 302 having a coercive force (Hc2) is formed on the surface of the substrate and in an adjacent section formed by pattern formation.
【0048】このようなディスク基板300の表層を、
例えば化学式研磨方法により研磨処理する。この研磨処
理により、ディスク基板300上には、保磁力(Hc
1)の磁性体パターン301と、保磁力(Hc2)の磁
性体パターン302とが交互に配置された構成からなる
磁性体が形成される(図1(G)を参照)。ここで、同
実施形態の研磨処理方法では、磁気特性(保磁力)は異
なるが、同質の磁性材料からなる磁性膜301,302
を研磨するため、磁性体と非磁性体のような異質の材料
を研磨する場合と比較して、高い平面度(良好な表面
性)を得ることが可能である。そして、当該ディスク基
板300上に、保護膜303を塗布することにより、サ
ーボパターンのプリフォーム工程は終了となる(図1
(H)を参照)。The surface layer of such a disk substrate 300 is
For example, polishing treatment is performed by a chemical polishing method. By this polishing process, the coercive force (Hc
A magnetic body having a configuration in which the magnetic body patterns 301 of 1) and the magnetic body patterns 302 of the coercive force (Hc2) are alternately formed (see FIG. 1G). Here, in the polishing method of the embodiment, the magnetic properties (coercive force) are different, but the magnetic films 301 and 302 made of the same magnetic material are used.
Therefore, higher flatness (good surface properties) can be obtained as compared with the case where different materials such as a magnetic material and a non-magnetic material are polished. Then, by applying a protective film 303 on the disk substrate 300, the servo pattern preform process is completed (FIG. 1).
(H)).
【0049】なお、以上のサーボパターンのプリフォー
ム工程は、ナルサーボパターンであるバーストパターン
部(バーストブロック)に関するものである。実際のデ
ィスク製造プロセスでは、当該プリフォーム工程だけで
なく、プリアンブル及びアドレスコードのプリフォーム
工程、及びユーザデータエリアの磁性膜のプリフォーム
工程が必要である。この場合、ユーザデータエリアの磁
性膜の磁気特性がサーボパターンを構成する二つの磁性
体パターンのいずれかと同一で良ければ、ユーザデータ
エリアの形状も考慮したマスクを使用して、図1の手順
とほぼ同様の手順により実施が可能である。仮に、ユー
ザデータエリアの磁性膜の磁気特性がサーボパターンを
構成する二つの磁性体パターンとは異なる場合は、サー
ボパターンのプリフォーム工程中はユーザデータエリア
はマスクし、プリフォーム後にユーザデータエリアの磁
性膜をスパッタする工程中は、逆にサーボパターンをマ
スクする必要がある。The above-described servo pattern preform process relates to a burst pattern portion (burst block) which is a null servo pattern. In the actual disk manufacturing process, not only the preform step but also a preamble step of a preamble and an address code and a preform step of a magnetic film in a user data area are required. In this case, if the magnetic characteristic of the magnetic film in the user data area is the same as one of the two magnetic material patterns constituting the servo pattern, the procedure shown in FIG. It can be implemented by almost the same procedure. If the magnetic characteristics of the magnetic film in the user data area are different from those of the two magnetic patterns forming the servo pattern, the user data area is masked during the servo pattern preform process, and the user data area is masked after the preform. Conversely, during the step of sputtering the magnetic film, it is necessary to mask the servo pattern.
【0050】(サーボパターンの着磁方法)以下、前述
の第1及び第2の磁性体パターン301,302をプリ
フォームしたディスク300に対する着磁方法を、図3
を参照して説明する。(Method of Magnetizing Servo Pattern) Hereinafter, a method of magnetizing the disk 300 on which the first and second magnetic material patterns 301 and 302 are preformed will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to FIG.
【0051】着磁工程は、第1及び第2の磁性体パター
ン301,302の磁化方向を相互に反対方向になるよ
うに磁化させる工程である。具体的には、専用の着磁用
ヘッド(記録ヘッド)600を使用して、記録磁界の強
度と向き、すなわち、着磁用ヘッド600への印加電流
値と向きとを変化させることにより、2方向の磁化状態
を生成する。The magnetizing step is a step of magnetizing the first and second magnetic patterns 301 and 302 so that the magnetization directions thereof are opposite to each other. Specifically, by using a dedicated magnetizing head (recording head) 600 and changing the strength and direction of the recording magnetic field, that is, the value and direction of the current applied to the magnetizing head 600, 2 Generate a magnetization state in the direction.
【0052】着磁工程では、ナルサーボパターンがプリ
フォームされたディスク基板300をスピンドルモータ
に取り付けて回転させて、図3(A),(B)に示すよ
うに、着磁用ヘッド600を移動(周方向701、70
0はディスクの半径方向を示す)させながら、当該ナル
サーボパターンを着磁する。着磁用ヘッド600は、ド
ライブで使用するヘッド12のヘッド幅より大きな幅を
有するインダクティブ型ヘッドやMIGヘッド等であ
る。In the magnetizing step, the disk substrate 300 on which the null servo pattern is preformed is mounted on a spindle motor and rotated to move the magnetizing head 600 as shown in FIGS. 3A and 3B. (Circumferential direction 701, 70
0 indicates the radial direction of the disk) while the null servo pattern is magnetized. The magnetizing head 600 is an inductive type head or a MIG head having a width larger than the head width of the head 12 used in the drive.
【0053】ここでは、着磁用ヘッド600により、図
3(A)に示す方向(反時計回りの右方向CCW)に、
磁界Ha(Ha>Hc2)を発生させる。これにより、
バーストブロック200内の磁性層は、全面的に右方向
に磁化される(磁化方向800A)。次に、図3(B)
に示すように、着磁用ヘッド600によりCW方向(時
計方向又は左方向)に、磁界Hb(Hc1<Hb<Hc
2)を発生させる。これにより、保磁力(Hc2)の第
2の磁性体パターン302の磁化方向は、CCW方向8
00Aのままであり、また保磁力(Hc1)の第1の磁
性体パターン301の磁化方向はCW方向800Bとな
る。この瞬間、対向する磁界が薄膜磁性層に構成される
ため、2つの磁性体301,302の接合位置からディ
スク面外に磁界が発生する。この接合位置が、磁化転位
線(図10の200N,200S)となる。なお、サー
ボパターンの着磁処理時に、ディスク上のユーザデータ
エリアの磁性膜に対するイレーズ処理も行うのが効率的
である。Here, the magnetizing head 600 moves in the direction (counterclockwise rightward CCW) shown in FIG.
A magnetic field Ha (Ha> Hc2) is generated. This allows
The entire magnetic layer in the burst block 200 is magnetized rightward (magnetization direction 800A). Next, FIG.
As shown in FIG. 7, the magnetic field Hb (Hc1 <Hb <Hc) is generated by the magnetization head 600 in the CW direction (clockwise or leftward).
2) is generated. As a result, the magnetization direction of the second magnetic pattern 302 having the coercive force (Hc2) is changed in the CCW direction 8.
00A, and the magnetization direction of the first magnetic pattern 301 having the coercive force (Hc1) is 800B in the CW direction. At this moment, an opposing magnetic field is formed in the thin-film magnetic layer, so that a magnetic field is generated outside the disk surface from the joining position of the two magnetic bodies 301 and 302. This junction position becomes the magnetization dislocation line (200N, 200S in FIG. 10). When the servo pattern is magnetized, it is efficient to perform an erase process on the magnetic film in the user data area on the disk.
【0054】(ナルサーボパターンの構成)前述のプリ
フォーム工程および着磁工程により、図2(A)に示す
ように、ディスク基板300上のサーボエリアには、相
互に異なる磁化方向でかつ保磁力の異なる磁性体パター
ン301,302からなるナルサーボパターン(バース
トブロック200)が構成される。なお、同図(B),
(C)は、それぞれ図2(A)に示すa−A及びb−B
における半径方向断面を示す図である。(Configuration of Null Servo Pattern) By the preform process and the magnetizing process, as shown in FIG. 2A, the servo areas on the disk substrate 300 have different magnetization directions and coercive forces. A null servo pattern (burst block 200) composed of different magnetic material patterns 301 and 302 is formed. In addition, FIG.
(C) shows aA and bB shown in FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a radial cross section in FIG.
【0055】ところで、同実施形態のナルサーボ方式で
のサーボデータパターンは、具体的には図4に示すよう
に、プリアンブル140、サーボマーク141、アドレ
スコード142、バーストブロック(バーストパターン
Aと表記)200及びバーストブロック(ブロックB)
201を含む。バーストブロック(バーストパターンB
と表記)201については、後述する。By the way, as shown in FIG. 4, the servo data pattern in the null servo system of the embodiment is specifically a preamble 140, a servo mark 141, an address code 142, a burst block (denoted as a burst pattern A) 200. And burst block (block B)
201. Burst block (burst pattern B
Will be described later.
【0056】プリアンブル140及びサーボマーク14
1は、ディスクの内周から外周まで連続する複数の正負
の磁化転位線で構成される(即ち、保磁力(Hc1),
(Hc2)の各磁性体の接合位置がディスク放射線上に
位置する)。アドレスコード142は、トラック番号
(シリンダコード)やサーボセクタ番号に対応した磁気
信号が再生されるように磁化転位線が構成されている。Preamble 140 and servo mark 14
Numeral 1 is composed of a plurality of positive and negative magnetization dislocation lines continuous from the inner circumference to the outer circumference of the disk (that is, coercive force (Hc1),
(The joining position of each magnetic body of (Hc2) is located on the disk radiation). The address code 142 has a magnetization dislocation line configured to reproduce a magnetic signal corresponding to a track number (cylinder code) or a servo sector number.
【0057】バーストパターンAおよびバーストパター
ンBは、長さTP(トラックピッチ)の磁化転位線の両
端がトラック中心線上に位置し、隣接トラックで磁化転
位線からの漏洩磁界の方向が逆向きになるように構成さ
れている。また、バーストパターンBは、バーストパタ
ーンAがディスクの半径方向にTP/2分だけオフセッ
トした位置に構成されている。なお、アドレスコード1
42は、バーストブロック200,201の後に位置し
ても差し支えない。ここで、図2(A)は、図4でのバ
ーストパターンA上をヘッドが移動したときの軌跡11
0Aにおけるディスク断面を示すものである。In the burst pattern A and the burst pattern B, both ends of the magnetization dislocation line having the length TP (track pitch) are located on the track center line, and the direction of the leakage magnetic field from the magnetization dislocation line is opposite in the adjacent track. It is configured as follows. The burst pattern B is formed at a position where the burst pattern A is offset by TP / 2 in the radial direction of the disk. Address code 1
42 may be located after the burst blocks 200 and 201. Here, FIG. 2A shows a trajectory 11 when the head moves on the burst pattern A in FIG.
It shows the disk cross section at 0A.
【0058】(ディスクドライブ)以下、図5〜図7を
参照して、同実施形態のナルサーボ方式のサーボパター
ンが形成されたディスクを使用したディスクドライブ
(HDD)のヘッド位置決め制御について説明する。(Disk Drive) A description will now be given, with reference to FIGS. 5 to 7, of head positioning control of a disk drive (HDD) using a disk on which a null servo type servo pattern is formed according to the embodiment.
【0059】図6(A)に示すように、サーボパターン
上をヘッド12が移動すると、同図(B)に示す再生信
号波形が得られる。ドライブのチャネルIC21では、
プリアンブル140からの再生信号出力により、リード
アンプのゲインが自動調整されて、PLLによりチャネ
ルIC内部クロックが再生信号周波数(もしくは再生信
号周波数のn倍)に同期される。その後、チャネルIC
21では、プリアンブル後半およびバーストパターン
A,及びバーストパターンBからの磁気再生出力の振幅
が一定時間積分される(即ち、内部クロックに同期して
サンプリングホールドされた再生出力の振幅総和に同
等)。さらに、再生出力の位相に従った正負の符号を付
加した積分値IR(出力120)、バースト積分値IA
(出力121)及びバースト積分値IB(出力122)
を算出する。前述の演算式(3)をバースト積分値IA
及びバースト積分値IBに適応することで、図5に示す
位置誤差信号900(PES−A)及び位置誤差信号9
01(PES−B)が求められる。同実施形態では、磁
化転位線を構成する2つの磁性体がプリフォームされて
いるため、位置誤差信号900(PES−A)及び位置
誤差信号901(PES−B)はそれぞれ、ヘッドオフ
トラック量THとの関係で線形性を備えている。即ち、
PES−AとPES−Bとは、互いにTP/2分だけ位
相がずれた状態で周期2TPで変化する。ドライブのC
PU22は、位置誤差信号(PES−A,PES−B)
に基づいて、ヘッド12のトラック追従制御およびシー
ク制御を実行することになる。When the head 12 moves on the servo pattern as shown in FIG. 6A, a reproduced signal waveform shown in FIG. 6B is obtained. In the channel IC 21 of the drive,
The output of the read signal from the preamble 140 automatically adjusts the gain of the read amplifier, and the PLL synchronizes the channel IC internal clock with the read signal frequency (or n times the read signal frequency). After that, the channel IC
At 21, the amplitude of the magnetic reproduction output from the latter half of the preamble, the burst pattern A, and the burst pattern B is integrated for a certain period of time (that is, equivalent to the total amplitude of the reproduction output sampled and held in synchronization with the internal clock). Further, an integral value IR (output 120) to which a positive or negative sign is added according to the phase of the reproduction output (output 120), and a burst integral value IA
(Output 121) and burst integration value IB (output 122)
Is calculated. The above equation (3) is replaced by the burst integrated value IA.
And the position error signal 900 (PES-A) and the position error signal 9 shown in FIG.
01 (PES-B) is required. In this embodiment, since the two magnetic materials forming the magnetization dislocation line are preformed, the position error signal 900 (PES-A) and the position error signal 901 (PES-B) are respectively the head off-track amount TH. It has linearity in relation to That is,
PES-A and PES-B change at a period of 2TP while being out of phase with each other by TP / 2. Drive C
PU22 is a position error signal (PES-A, PES-B)
, The track following control and the seek control of the head 12 are executed.
【0060】なお、プリフォームしたディスクをスピン
ドルモータ11に組み込んだ際、当該ディスクの内径と
ディスクを支持するハブとの隙間が原因で、スピンドル
モータ回転中心に対してディスク(トラック)が偏心す
ることがある。従って、少なくともトラック追従制御に
おいては、図7に示すように、ディスクの偏心量を学習
・推定し、これを抑圧するような操作量Cを生成するフ
ィードフォワード制御系を通常のトラック追従制御系と
併用する必要がある。このフィードフォワード制御系
は、ヘッドの目標位置PRと変位Yとの位置誤差PEに
含まれる偏心量ECを検出し、当該偏心量ECを抑圧す
るための偏心抑圧操作量ECSを算出する要素71を有
する。フィードフォワード制御系は、制御要素70によ
り算出される操作量(位置誤差PEに基づいた制御値)
と、偏心抑圧操作量ECSとを加算した操作量Cにより
プラント(実際はヘッドを駆動するためのVCM14)
72を駆動制御する。When the preformed disc is incorporated into the spindle motor 11, the disc (track) is eccentric with respect to the spindle motor rotation center due to the gap between the inner diameter of the disc and the hub supporting the disc. There is. Therefore, at least in the track following control, as shown in FIG. 7, a feedforward control system that learns and estimates the amount of eccentricity of the disk and generates an operation amount C that suppresses the eccentricity is replaced with a normal track following control system. Must be used together. The feedforward control system detects an eccentricity EC included in the position error PE between the target position PR and the displacement Y of the head, and includes an element 71 for calculating an eccentricity suppression operation amount ECS for suppressing the eccentricity EC. Have. The feedforward control system controls the operation amount calculated by the control element 70 (control value based on the position error PE).
The plant (actually, the VCM 14 for driving the head) is obtained from the operation amount C obtained by adding the eccentricity suppression operation amount ECS to the plant (actually, the VCM 14 for driving the head).
72 is driven and controlled.
【0061】ここで、同実施形態のナルサーボ方式での
サーボデータパターンには、バーストブロック(バース
トパターンA)200と共に、バーストブロック(バー
ストパターンB)201が設けられている。いま仮に、
ヘッド12がトラック境界線(トラック中心線より±T
P/2オフセットした位置)上を移動するとき、アドレ
スコード(トラック番号)142は、隣接する2トラッ
クからの再生信号から求められる。この場合、再生され
るトラック番号は、2トラックのいずれかに対応したも
のとなる。また、スピンドルモータのディスク半径方向
への振動の影響で、アドレスコード142上を移動した
時点と、バーストパターンA上を移動した時点とで、リ
ードヘッドの中心が位置するトラックが異なる場合があ
る。したがって、トラック番号と位置誤差信号(PES
−A)のみでは、バーストパターンAを取得時における
リードヘッドが存在する位置を厳密には確定できない。
ここで、ヘッドがトラック境界線上を移動する時には、
位置誤差信号(PES−B)は0近傍の値を取る。この
位置誤差信号(PES−B)の正負符号を確認すること
で、トラックが偶数トラックか奇数トラックかを判断す
ることが可能となる。仮に、隣接するトラック番号が再
生された場合でも、バーストパターンAの取得時におけ
るリードヘッドが存在するトラック番号を精度よく推定
することができる。従って、トラック位置に対して、ヘ
ッドがどのようにオフセットして移動する場合でも、バ
ーストパターンBを使用することで、トラック番号と位
置誤差信号(PES−A)により一意にトラック上の位
置を確定することが可能となる。Here, a burst block (burst pattern B) 201 as well as a burst block (burst pattern A) 200 are provided in the servo data pattern of the null servo system of the embodiment. Now, temporarily,
When the head 12 is positioned at the track boundary (± T from the track center line)
When moving on the position (P / 2 offset position), the address code (track number) 142 is obtained from reproduction signals from two adjacent tracks. In this case, the track number to be reproduced corresponds to one of the two tracks. Also, due to the influence of the vibration of the spindle motor in the radial direction of the disk, the track at which the center of the read head is located may be different between when moving on the address code 142 and when moving on the burst pattern A. Therefore, the track number and the position error signal (PES
With only -A), the position where the read head exists when the burst pattern A is obtained cannot be determined exactly.
Here, when the head moves on the track boundary,
The position error signal (PES-B) takes a value near 0. By checking the sign of the position error signal (PES-B), it is possible to determine whether the track is an even track or an odd track. Even if an adjacent track number is reproduced, the track number where the read head exists when the burst pattern A is obtained can be accurately estimated. Therefore, no matter how the head moves with respect to the track position, the position on the track is uniquely determined by the track number and the position error signal (PES-A) by using the burst pattern B. It is possible to do.
【0062】以上のように同実施形態によれば、第1
に、従来のSTWを使用したサーボライト工程ではな
く、磁気パターン形成プロセスにより、ディスクのサー
ボエリアにナルサーボパターンをプリフォームすること
ができる。従って、従来のサーボライト工程では、バー
ストブロック記録時の記録ヘッドからの漏洩磁界の影響
でトラック中心線上にフリンジが発生し、位置誤差信号
の0近傍でオフトラック量に対して非線形に変化するよ
うな事態を防止することが可能となる。また、ディスク
を回転させるスピンドルモータの微小な回転変動が影響
して、ヘッドからの再生信号の振幅減少を招くような問
題も解消できる。従って、高精度のナルサーボパターン
を使用できるため、ヘッド位置決め制御の精度を向上す
ることができる。As described above, according to the embodiment, the first
In addition, a null servo pattern can be preformed in a servo area of a disk by a magnetic pattern forming process instead of a servo write process using a conventional STW. Therefore, in the conventional servo write process, a fringe is generated on the track center line due to the influence of the leakage magnetic field from the recording head at the time of burst block recording, and changes nonlinearly with respect to the off-track amount near 0 of the position error signal. Can be prevented. Further, it is possible to solve a problem that a minute rotation fluctuation of a spindle motor for rotating a disk influences and causes a decrease in amplitude of a reproduction signal from a head. Therefore, since a highly accurate null servo pattern can be used, the accuracy of head positioning control can be improved.
【0063】第2に、従来のSTWによるサーボライト
工程と比較して、パターン形成プロセスによるサーボパ
ターンのプリフォーム工程は、相対的に処理時間が短時
間であり、かつSTWなどの設備コストより低コストの
設備により実現できる。従って、サーボパターンの書込
み工程を含むディスクの製造工程全体の処理時間の削減
と、製造コストの低減化を図ることが可能となる。これ
は結果として、ディスクを組み込むディスクドライブの
製造工程の効率化と低コスト化を図ることができる。Second, as compared with the conventional servo write process using the STW, the process of preforming the servo pattern by the pattern forming process has a relatively short processing time and is lower than the equipment cost such as the STW. It can be realized with cost equipment. Therefore, it is possible to reduce the processing time of the entire disk manufacturing process including the servo pattern writing process and the manufacturing cost. As a result, it is possible to improve the efficiency and cost of the manufacturing process of the disk drive incorporating the disk.
【0064】また、サーボパターンをプリフォーム工程
により形成することで、サーボパターンにより形成され
る多数のトラック形状が完全な同心円となり、トラック
形状が変動する場合に必要なトラックピッチマージンを
低減することができる効果も得られる。さらに、同実施
形態のディスク製造方法であれば、サーボパターンに含
まれるバーストブロック数が少なく済むなど、従来の振
幅積分型と比較して利点のあるナルサーボ方式を実現で
きるため、ディスクのフォーマット効率を維持し,かつ
サーボ広帯域化が可能となる。Further, by forming the servo pattern by the preform process, a large number of track shapes formed by the servo pattern become perfect concentric circles, and the track pitch margin required when the track shape fluctuates can be reduced. The effect that can be obtained is also obtained. Further, according to the disk manufacturing method of the embodiment, a null servo method having an advantage compared with the conventional amplitude integration type can be realized, such as reducing the number of burst blocks included in the servo pattern. It is possible to maintain and widen the servo bandwidth.
【0065】なお、同実施形態では、ヘッド周動方向と
磁性層の磁化方向が並行する長手磁気記録方式の場合に
ついて説明したが、磁性層を形成する磁性材料および成
膜プロセスの変形により、ヘッド周動方向と磁性層の磁
化方向が直行する垂直磁気記録方式に適用することもで
きる。また、サーボパターンのプリパターニングおよび
着磁方法自体はナルサーボ方式以外の例えば振幅積分型
にも適用することができる。In this embodiment, the case of the longitudinal magnetic recording system in which the circumferential direction of the head and the magnetization direction of the magnetic layer are parallel has been described. The present invention can also be applied to a perpendicular magnetic recording system in which the circumferential direction is perpendicular to the magnetization direction of the magnetic layer. The method of pre-patterning and magnetizing the servo pattern itself can be applied to, for example, an amplitude integration type other than the null servo method.
【0066】[0066]
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、特
にSTWによるサーボライト工程とは本質的に異なるサ
ーボパターンのサーボライト工程により、磁化転位線か
ら構成されるバーストブロックをディスク上にプリフォ
ームし、トラック中心線の近傍にフリンジが発生するこ
となく、高精度の位置検出が可能な磁気ディスクを提供
することができる。また、従来のSTWによるサーボラ
イト工程と比較して、サーボライト工程の時間の短縮化
を図り、結果として製造工程全体の製造コストの減少化
を実現することができる。これにより、本発明のディス
クを使用するディスクドライブであれば、製造効率を向
上できると共に、特にナルサーボ方式を使用してディス
クのフォーマット効率を向上できるため、結果として大
容量のディスクドライブを実現できる。As described above in detail, according to the present invention, a burst block composed of magnetization dislocation lines is formed on a disk by a servo write process of a servo pattern substantially different from a servo write process by an STW. It is possible to provide a magnetic disk capable of performing high-precision position detection without forming a fringe near a track center line after preforming. Further, as compared with the conventional servo write process using the STW, the time of the servo write process can be reduced, and as a result, the manufacturing cost of the entire manufacturing process can be reduced. As a result, the disk drive using the disk of the present invention can improve the manufacturing efficiency and, in particular, can improve the disk formatting efficiency using the null servo method, and as a result, a large capacity disk drive can be realized.
【図1】本発明の実施形態に関係するディスク製造プロ
セスを説明するための図。FIG. 1 is a view for explaining a disk manufacturing process related to an embodiment of the present invention.
【図2】同実施形態に関係するディスク上のナルサーボ
パターンの構成を説明するための図。FIG. 2 is an exemplary view for explaining a configuration of a null servo pattern on a disk according to the embodiment;
【図3】同実施形態に関係する着磁方法を説明するため
の図。FIG. 3 is an exemplary view for explaining a magnetizing method related to the embodiment;
【図4】同実施形態に関係するナルサーボ方式のサーボ
データパターンの構成を説明するための図。FIG. 4 is an exemplary view for explaining a configuration of a servo data pattern of a null servo system related to the embodiment;
【図5】同実施形態に関係するナルサーボ方式の原理を
説明するための図。FIG. 5 is an exemplary view for explaining the principle of a null servo system related to the embodiment;
【図6】同実施形態に関係するナルサーボ方式の原理を
説明するための図。FIG. 6 is an exemplary view for explaining the principle of a null servo system related to the embodiment;
【図7】同実施形態に関係するトラック追従制御系を示
すブロック図。FIG. 7 is an exemplary block diagram showing a track following control system related to the embodiment;
【図8】従来のディスクドライブの要部を示すブロック
図。FIG. 8 is a block diagram showing a main part of a conventional disk drive.
【図9】同ディスクドライブに使用するディスクの構成
を説明するための図。FIG. 9 is an exemplary view for explaining the configuration of a disk used in the disk drive.
【図10】従来のナルサーボパターンを説明するための
図。FIG. 10 is a view for explaining a conventional null servo pattern.
【図11】同ナルサーボパターンの再生信号波形を示す
図。FIG. 11 is a diagram showing a reproduced signal waveform of the null servo pattern.
【図12】同ナルサーボ方式の原理を説明するための
図。FIG. 12 is a view for explaining the principle of the null servo system.
【図13】同ナルサーボ方式の原理を説明するための
図。FIG. 13 is a view for explaining the principle of the null servo system.
【図14】従来の振幅積分型位置検出方式を説明するた
めのサーボパターンを示す図。FIG. 14 is a diagram showing a servo pattern for explaining a conventional amplitude integration type position detection method.
【図15】同振幅積分型位置検出方式を説明するための
再生信号波形図。FIG. 15 is a reproduction signal waveform diagram for explaining the amplitude integration type position detection method.
10…ディスク 11…スピンドルモータ 12…ヘッド 13…ヘッドアーム 21…リード/ライトチャネル(チャネルIC) 22…CPU 140…プリアンブル 141…サーボマーク 142…アドレスコード 200…バーストブロック(ナルサーボパターンA) 201…バーストブロック(ナルサーボパターンB) 300…ディスク基板 301…第1の磁性体パターン 302…第2の磁性体パターン 600…着磁用ヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Disc 11 ... Spindle motor 12 ... Head 13 ... Head arm 21 ... Read / write channel (channel IC) 22 ... CPU 140 ... Preamble 141 ... Servo mark 142 ... Address code 200 ... Burst block (null servo pattern A) 201 ... Burst block (null servo pattern B) 300: disk substrate 301: first magnetic pattern 302: second magnetic pattern 600: magnetizing head
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 21/10 G11B 21/10 B Fターム(参考) 5D006 BB07 DA03 5D044 AB01 BC01 CC05 DE02 EF05 GK12 5D096 AA02 BB01 CC01 DD08 EE03 GG01 HH14 WW02 5D112 AA05 AA24 DD05 FA04 GA19 GA26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G11B 21/10 G11B 21/10 B F term (Reference) 5D006 BB07 DA03 5D044 AB01 BC01 CC05 DE02 EF05 GK12 5D096 AA02 BB01 CC01 DD08 EE03 GG01 HH14 WW02 5D112 AA05 AA24 DD05 FA04 GA19 GA26
Claims (9)
されて、ヘッド位置決め制御に必要なサーボデータパタ
ーンが記録されている磁気ディスクにおいて、 パターン形成用マスクを使用する磁性パターン形成プロ
セスを利用して、ディスク基板上の所定の位置に、前記
サーボデータパターンが設けられていることを特徴とす
る磁気ディスク。1. A magnetic disk on which a servo data pattern necessary for head positioning control is recorded as a recording medium of a magnetic disk device, using a magnetic pattern forming process using a pattern forming mask. A magnetic disk, wherein the servo data pattern is provided at a predetermined position on a disk substrate.
クの範囲内の位置誤差信号を生成するためのバーストパ
ターンを含み、 前記バーストパターンはトラックの円周方向に複数の正
負の磁化転位線から構成されるナルサーボパターンであ
り、当該磁化転位線に相当する磁性体の接合位置及び半
径方向に隣接するトラック境界位置では相互に異なる保
磁力かつ同一の残留磁化の磁気特性を有する磁性体から
構成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気デ
ィスク。2. The servo data pattern includes a burst pattern for generating a position error signal within a range of each track, and the burst pattern includes a plurality of positive and negative magnetization dislocation lines in a circumferential direction of the track. The magnetic servo pattern is formed of a magnetic material having mutually different coercive forces and the same remanent magnetization magnetic characteristics at the joint position of the magnetic material corresponding to the magnetization dislocation line and the track boundary position adjacent in the radial direction. The magnetic disk according to claim 1, wherein
毎に第1のバーストパターンと第2のバーストパターン
とからなり、 当該第1のバーストパターン及び当該第2のバーストパ
ターンのそれぞれから得られる各位置誤差信号に応じて
ヘッドのオフトラック値を算出するときに、当該各オフ
トラック値が半径方向にほぼ1/2トラック分だけオフ
セットするように、前記第1のバーストパターン及び前
記第2のバーストパターンが配置されていることを特徴
とする請求項2記載の磁気ディスク。3. The null servo pattern includes a first burst pattern and a second burst pattern for each track, and each position obtained from each of the first burst pattern and the second burst pattern. When calculating the off-track value of the head in accordance with the error signal, the first burst pattern and the second burst pattern are so set that each off-track value is offset by approximately 1/2 track in the radial direction. 3. The magnetic disk according to claim 2, wherein.
ラックを識別するためのアドレスコードを含むことを特
徴とする請求項1から請求項3のいずれか記載の磁気デ
ィスク。4. The magnetic disk according to claim 1, wherein the servo data pattern includes an address code for identifying each track.
される磁気ディスクの製造方法において、 ディスク基板上に第1の保磁力を有する磁性膜を形成し
た後に、各トラックの範囲内の位置誤差信号を生成する
ためのナルサーボパターンを形成する工程であって、 前記第1の保磁力を有する磁性膜のパターン形成処理に
より、トラックの円周方向及びディスクの半径方向に所
定の間隔で第1の磁性体パターンを形成する工程と、 前記第1の磁性体パターン間に前記第1の保磁力より大
きい第2の保磁力を有する磁性膜を埋め込む処理及び着
磁処理により、前記円周方向に複数の正負の磁化転位線
を構成する磁性体の接合位置で前記第1の磁性体パター
ンと交互に配置されて、かつ前記半径方向に隣接するト
ラック境界位置で前記第1の磁性体パターンと交互に配
置される第2の磁性体パターンを形成する工程とを有す
ることを特徴とする磁気ディスクの製造方法。5. A method of manufacturing a magnetic disk used as a recording medium of a magnetic disk device, comprising: forming a magnetic film having a first coercive force on a disk substrate; A step of forming a null servo pattern for generation, wherein the pattern forming process of the magnetic film having the first coercive force causes the first magnetic layer to be formed at predetermined intervals in a circumferential direction of the track and a radial direction of the disk. Forming a body pattern, and embedding a magnetic film having a second coercive force larger than the first coercive force between the first magnetic body patterns and magnetizing the plurality of magnetic films in the circumferential direction. The first magnetic material is alternately arranged with the first magnetic material pattern at the joining position of the magnetic material forming the positive and negative magnetization dislocation lines and at the track boundary position adjacent in the radial direction. Forming a second magnetic pattern alternately arranged with the pattern.
程において、前記第2の磁性膜を埋め込み処理した後
に、研磨処理により前記第1及び第2の磁性体パターン
を同一の膜厚にして、前記ナルサーボパターンを構成す
るための工程を備えたことを特徴とする請求項5記載の
磁気ディスクの製造方法。6. In the step of forming the second magnetic pattern, after embedding the second magnetic film, the first and second magnetic patterns are made to have the same thickness by polishing. 6. A method for manufacturing a magnetic disk according to claim 5, further comprising a step of configuring said null servo pattern.
専用記録ヘッドを使用して、前記第2の保磁力以上の記
録磁界を発生させて前記第1及び第2の磁性体パターン
を一方向に磁化し、 次に、前記第1の保磁力以上で前記第2の保磁力未満の
記録磁界を発生させて前記第1の磁性体パターンの磁化
方向を反転させる工程を備えたことを特徴とする請求項
5または請求項6記載の磁気ディスクの製造方法。7. When the magnetic disk is being rotated,
Using a dedicated recording head, a recording magnetic field greater than or equal to the second coercive force is generated to magnetize the first and second magnetic material patterns in one direction. 7. The method for manufacturing a magnetic disk according to claim 5, further comprising a step of generating a recording magnetic field less than the second coercive force to invert a magnetization direction of the first magnetic material pattern. .
される磁気ディスクの製造方法において、 ディスク基板上の各トラックの範囲内の位置誤差信号を
生成するためのナルサーボパターンであって、ディスク
基板上に第1の保磁力を有する第1の磁性体パターンと
第2の保磁力を有する第2の磁性体パターンとがトラッ
クの円周方向及びディスクの半径方向に交互に配置され
て構成される前記ナルサーボパターンを形成する工程
と、 前記工程の終了後に、専用記録ヘッドを使用して、前記
第2の保磁力以上の記録磁界を発生させて前記第1及び
第2の磁性体パターンを一方向に磁化し、さらに前記第
1の保磁力以上で前記第2の保磁力未満の記録磁界を発
生させて前記第1の磁性体パターンの磁化方向を反転さ
せる着磁工程とを備えたことを特徴とする磁気ディスク
の製造方法。8. A method of manufacturing a magnetic disk used as a recording medium of a magnetic disk device, comprising: a null servo pattern for generating a position error signal within a range of each track on the disk substrate; A first magnetic material pattern having a first coercive force and a second magnetic material pattern having a second coercive force are alternately arranged in the circumferential direction of the track and the radial direction of the disk. Forming a null servo pattern; and, after the step is completed, using a dedicated recording head to generate a recording magnetic field that is equal to or greater than the second coercive force to cause the first and second magnetic material patterns to move in one direction. And a magnetizing step of generating a recording magnetic field that is greater than or equal to the first coercive force and less than the second coercive force to reverse the magnetization direction of the first magnetic material pattern. Method of manufacturing a magnetic disk according to claim.
磁気的記録再生を行なう磁気ディスク装置であって、 前記磁気ディスクは、 パターン形成用マスクを使用する磁性パターン形成プロ
セスを利用して所定の位置に設けられて、各トラックの
範囲内の位置誤差信号を生成し、相互に異なる保磁力の
磁気特性を有する複数の磁性体パターンから構成される
ナルサーボパターン及び各トラックを識別するためのア
ドレスコードを含むサーボデータパターンが記録されて
おり、 前記ヘッドにより前記サーボデータパターンを読出して
得られるサーボデータに基づいて、前記ヘッドを前記磁
気ディスク上の目標位置に位置決め制御するヘッド位置
決め制御手段を備えたことを特徴とする磁気ディスク装
置。9. A magnetic disk drive for magnetically recording and reproducing data on a magnetic disk by a head, wherein the magnetic disk is located at a predetermined position by using a magnetic pattern forming process using a pattern forming mask. A position error signal within a range of each track is generated, and a null servo pattern including a plurality of magnetic material patterns having magnetic characteristics of mutually different coercive forces and an address code for identifying each track are generated. And a head positioning control means for controlling the positioning of the head at a target position on the magnetic disk based on servo data obtained by reading the servo data pattern by the head. A magnetic disk drive characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000195898A JP2002015418A (en) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | Magnetic disk and method of manufacturing magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000195898A JP2002015418A (en) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | Magnetic disk and method of manufacturing magnetic disk |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002015418A true JP2002015418A (en) | 2002-01-18 |
Family
ID=18694485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000195898A Withdrawn JP2002015418A (en) | 2000-06-29 | 2000-06-29 | Magnetic disk and method of manufacturing magnetic disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002015418A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7474506B2 (en) | 2005-02-28 | 2009-01-06 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper |
-
2000
- 2000-06-29 JP JP2000195898A patent/JP2002015418A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7474506B2 (en) | 2005-02-28 | 2009-01-06 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6490111B1 (en) | Method and apparatus for refreshing servo patterns in a disc drive | |
| US8482877B2 (en) | Magnetic recording media, method for servowriting on same, and hard disk drive | |
| US7652839B2 (en) | Magnetic recording disk with identical servo patterns formed on each disk surface by single master template and disk drive using the disk | |
| US7746594B1 (en) | Disk drive comprising slanted line servo burst sets offset radially | |
| US7916416B1 (en) | Disk drive comprising slanted line servo bursts having a varying tilt angle | |
| US7746595B1 (en) | Disk drive comprising slanted line servo bursts having reverse polarity segments | |
| US11776570B2 (en) | Reducing non-coherent repeatable runout in two-dimensional magnetic recording disk drives | |
| US7466506B1 (en) | Magnetic recording disk drive with head positioning servo control system for disk surfaces with identical servo patterns | |
| US7158330B2 (en) | Method and apparatus for servo track writing by track following on a dedicated servo disk on a fluid spindle bearing | |
| US7095575B2 (en) | Magnetic disk apparatus, method for determining data track pitch, and self-servo write method | |
| US6466385B1 (en) | Method and apparatus of forming a magnetic disk with a servo sector and a data sector on a spiral track | |
| JP2006031856A (en) | Patterned disk medium for perpendicular magnetic recording and magnetic disk drive equipped with the medium | |
| JP4358067B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus | |
| US5615063A (en) | Magnetoresistive head bias current switching based on skew angle | |
| US20090268337A1 (en) | Method and apparatus for determining offset between read head and write head in a disk drive | |
| US7423831B2 (en) | Utilization of the acceleration zone in ammonite servo writing | |
| JP2004213736A (en) | Disk storage device and head positioning method in the same device | |
| KR101430613B1 (en) | Self-servo recording method for patterned magnetic recording medium and patterned magnetic recording medium | |
| JP2009016032A (en) | Magnetic recording medium, hard disk drive employing the same, and WR offset measurement method for hard disk drive | |
| US7532426B2 (en) | Method for erase process on recording surface of disk and disk drive apparatus | |
| JP2001189062A (en) | Disk storage device and servo data writing method | |
| JP2006244550A (en) | RECORDING MEDIUM DRIVE DEVICE, HEAD POSITION DETECTION METHOD, AND CLOCK SIGNAL GENERATION METHOD | |
| US20070242381A1 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording/reproducing device | |
| JP2002015418A (en) | Magnetic disk and method of manufacturing magnetic disk | |
| US20080170324A1 (en) | Magnetic recording medium, recording/reproducing apparatus, and stamper for manufacturing a magnetic recording medium |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050815 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20061117 |