JP2002228403A - 球面測定装置および球面測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】球欠リングをレンズ球面に倣わせ、球欠リング
の縁径が小さい場合でも、正確に測定レンズの球面半径
を測定する。 【解決手段】測定子２と、測定子２の軸心と同軸に一体
化された球欠リング１と、軸心にそれぞれ直交する２つ
の軸と、球欠リング１を２つの軸の各々の軸方向に移動
させる球欠リング移動手段と、前記球欠リングを前記２
つの軸の各々の軸回りに回動させる球欠リング回動手段
とを有する球面測定装置において、測定レンズ２１をそ
の軸心回りに回動または回転させるレンズ回転手段２
２、２３、２４、２７、３０、４４を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子であるレ
ンズの研削、研磨加工の際、光学表面の曲率半径を測定
する球面測定装置および球面測定方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レンズの光学表面の曲率半径を測
定する球面測定装置には、特開平８−２３３５０５号公
報所載の技術がある。図９を用いてこの技術を説明す
る。図９において、球欠リング１０１と測定子１０２と
は、測定子１０２を軸心としてハンジング１０３に一体
化されている。ハウジング１０３の外周面には、横孔１
０４が貫通しており、横孔１０４には軸受け１０５が固
定されている。ハウジング１０３の周囲には、十字状の
Ｘダイ１０６が配設され、Ｘダイ１０６の外周には、２
つの横孔１０７、１０８が貫通している。横孔１０７に
は、軸１０９が嵌合し、Ｘダイ１０６と軸１０９とは一
体化されている。軸１０９は軸受け１０５に嵌合し、ハ
ウジング１０３とＸダイ１０６とが連結されている。Ｘ
ダイ１０６の横孔１０８には軸受け１１３が固定され、
軸受け１１３には軸１１２が嵌合している。Ｘダイ１０
６の周囲には、Ｙダイ１１０が配設され、Ｙダイ１１０
の外周には、横孔１１１が貫通している。横孔１１１に
は、軸１１２が固定され、Ｙダイ１１０と軸１１２とは
一体化し、Ｘダイ１０６とＹダイ１１０とは連結されて
いる。

【０００３】Ｙダイ１１０の上方には、固定ダイ１１６
が配設され、固定ダイ１１６には、シャフト１１５が垂
設されている。一方、Ｙダイ１１０の上面には、軸受け
１１４が立設され、軸受け１１４には、シャフト１１５
が摺動自在に嵌合している。シャフト１１５の外周に
は、バネ１１７が巻回され、バネ１１７の弾発力によ
り、Ｙダイ１１０を下方に付勢している。また、測定子
１０２の上端には、テーパ状の嵌合部１０２ａが形成さ
れ、固定ダイ１１６の中央に穿設されたすり鉢状の嵌合
孔１１６ａに嵌合し、測定子１０２の落下を防止してい
る。

【０００４】上記構成の球面測定装置では、ある一定の
圧力で被測定物であるレンズ１１８が球欠リング１０１
の縁に圧接されると、球欠リング１０１と一体化した測
定子１０２は、計測と同時に上に持ち上がり、バネ１１
７が縮んで固定ダイ１１６の嵌合孔１１６ａから測定子
１０２の嵌合部１０２ａが外れて、位置決めが解除さ
れ、測定子１０２はスライド移動および回動し、球欠リ
ング１０１はレンズ１１８のレンズ球面１１８ａに倣
い、球欠リング１０１の縁がレンズ球面１１８ａに線接
触する。このとき、測定子１０２の先端部１０２ｂは、
レンズ球面１１８ａに押されて上方へ変位し、図示しな
い測定子アンプ部に変位量を表示する。この変位量と球
欠リング１０１の縁径とにより、レンズの曲率半径を算
出する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】図１０は、球欠リング
１０１に測定レンズ１１８が当て付いたときの球欠リン
グ付近の断面図である。レンズの曲率半径は、球欠リン
グ１０１の縁径と測定子１０２の先端部１０２ｂの変位
量から計算する。すなわち、図１０に示すように、球欠
リング１０１の縁点１２１、１２２、および測定子１０
２と測定レンズ１１８との接点１２３ａを通る円の曲率
半径から算出する。ここで、測定子変位量に誤差が生
じ、接点１２３ａが点１２３ｂの位置と認識されたとす
ると、曲率半径計算に誤差が生じる。球欠リング１０１
の縁径が大きい場合、測定子１０２の先端部の変位量誤
差が、測定レンズ１１８の曲率半径計算へ与える影響は
比較的少ない。しかし、球欠リング１０１の縁径が小さ
い場合は、大きな影響を及ぼし、変位量誤差を無視する
ことができない。

【０００６】しかし、上記従来技術では、軸と軸受けと
の間のスライド、回転動作、およびレンズ表面上での球
欠リングの移動が停止することがあり、球欠リング１０
１がレンズ球面１１８ａに倣わないことがあった。図１
１は、球欠リング１０１が測定レンズ１１８へ当て付い
ていない状態を示す図である。この場合、測定子１０２
の先端部１０２ｂの変位量に誤差が発生する。しかも、
球欠リング１０１の縁径が小さくなると、許される変位
量の誤差は小さくなる。そのため、球欠リング１０１の
縁径が小さい場合の球面測定は精度が悪かった。

【０００７】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、請求項１または２に係る発明の課題は、球
欠リングをレンズ球面に倣わせ、球欠リングの縁径が小
さい場合でも、正確に測定レンズの球面半径を測定する
ことができる球面測定装置を提供することである。

【０００８】請求項３または４に係る発明の課題は、正
確かつ容易に測定レンズの球面半径を測定することがで
きる球面測定方法を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、測定子と、該測定子の軸心
と同軸に一体化された球欠リングと、前記軸心にそれぞ
れ直交する２つの軸と、前記球欠リングを前記２つの軸
の各々の軸方向に移動させる球欠リング移動手段と、前
記球欠リングを前記２つの軸の各々の軸回りに回動させ
る球欠リング回動手段とを有する球面測定装置におい
て、測定レンズをその軸心回りに回動または回転させる
レンズ回転手段を設けた。

【００１０】請求項２に係る発明は、測定子と、該測定
子の軸心と同軸に一体化された球欠リングと、前記軸心
にそれぞれ直交する２つの軸と、前記球欠リングを前記
２つの軸の各々の軸方向に移動させる球欠リング移動手
段と、前記球欠リングを前記２つの軸の各々の軸回りに
回動させる球欠リング回動手段とを有する球面測定装置
において、測定レンズを振動させるレンズ振動手段を設
けた。

【００１１】請求項３に係る発明は、球欠リングを位置
決めする工程と、前記球欠リングに測定レンズを当て付
ける工程と、前記球欠リングの位置決めを解除し前記球
欠リングに測定レンズを当て付けつつ測定子の軸心にそ
れぞれ直交する２つの軸の軸方向へ前記球欠リングを移
動させつつ前記２つの軸の軸回りに前記球欠リングを回
動させる球欠リング移動回動工程と、前記球欠リングに
測定レンズを当て付けつつ測定子先端部の変位を計測す
る球面計測工程とを有する球面測定方法において、前記
球欠リング移動回動工程と前記球面計測工程との間に、
前記球欠リングに測定レンズを当て付けつつ測定レンズ
をその軸心回りに回転または回動させる測定レンズ回転
工程を設けた。

【００１２】請求項４に係る発明は、球欠リングを位置
決めする工程と、前記球欠リングに測定レンズを当て付
ける工程と、前記球欠リングの位置決めを解除し前記球
欠リングに測定レンズを当て付けつつ測定子の軸心にそ
れぞれ直交する２つの軸の軸方向へ前記球欠リングを移
動させつつ前記２つの軸の軸回りに前記球欠リングを回
動させる球欠リング移動回動工程と、前記球欠リングに
測定レンズを当て付けつつ測定子先端部の変位を計測す
る球面計測工程とを有する球面測定方法において、前記
球欠リング移動回動工程と前記球面計測工程との間に、
前記球欠リングに測定レンズを当て付けつつ振動させる
測定レンズ振動工程を設けた。

【００１３】請求項１に係る発明の球面測定装置では、
測定レンズをその軸心回りに回動または回転させるレン
ズ回転手段を設けたことにより、測定レンズを球欠リン
グに当て付けて球欠リングの軸心にそれぞれ直交する２
つの軸方向に球欠リングを移動させ、前記２つの軸回り
に球欠リングを回動させた後、さらにレンズ回転手段に
より測定レンズをその軸心回りに回転または回動させ、
測定レンズのレンズ球面と球欠リングとを密着させる。

【００１４】請求項２に係る発明の球面測定装置では、
測定レンズを振動させるレンズ振動手段を設けたことに
より、測定レンズを球欠リングに当て付けて球欠リング
の軸心にそれぞれ直交する２つの軸方向に球欠リングを
移動させ、前記２つの軸回りに球欠リングを回動させた
後、さらにレンズ振動手段により測定レンズに振動を与
え、測定レンズのレンズ球面と球欠リングとを密着させ
る。

【００１５】請求項３に係る発明の球面測定方法では、
球欠リング移動回動工程と球面計測工程との間に、球欠
リングに測定レンズを当て付けつつ測定レンズをその軸
心回りに回転または回動させる測定レンズ回転工程を設
けたことにより、測定レンズを球欠リングに当て付けて
球欠リングの軸心にそれぞれ直交する２つの軸方向に球
欠リングを移動させ、前記２つの軸回りに球欠リングを
回動させた後、さらに、測定レンズ回転工程により測定
レンズをその軸心回りに回転または回動させ、測定レン
ズのレンズ球面と球欠リングとを密着させる。

【００１６】請求項４に係る発明の球面測定方法では、
球欠リング移動回動工程と球面計測工程との間に、球欠
リングに測定レンズを当て付けつつ振動させる測定レン
ズ振動工程を設けたことにより、測定レンズを球欠リン
グに当て付けて球欠リングの軸心にそれぞれ直交する２
つの軸方向に球欠リングを移動させ、前記２つの軸回り
に球欠リングを回動させた後、さらに、測定レンズ振動
工程により測定レンズに振動を与え、測定レンズのレン
ズ球面と球欠リングとを密着させる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、具体的な実施の形態につい
て説明する。

【００１８】（実施の形態１）図１〜図５は実施の形態
１を示し、図１は球面測定装置の斜視図、図２は球面測
定装置の上部の測定子配置部の分解斜視図、図３は球面
測定装置の下部のレンズ保持部の分解斜視図、図４は球
欠リングに測定レンズを当て付け、チャックを開放した
状態の球面測定装置の斜視図、図５はロッドシリンダに
より測定レンズを回動した状態の球面測定装置の斜視図
である。

【００１９】図１において、球面測定装置は、主に、Ｌ
字状のベース４１と、その中間部に配置された測定子配
置部と、下部に配置されたレンズ保持部と、上部に配置
されたチャック部と、側面部に配置されたレンズ回動部
とから構成されている。

【００２０】まず、測定子配置部から説明する。図２に
おいて、球欠リング１は、ハウジング３へ螺着されてい
る。測定子２は、球欠リング１およびハウジング３へ嵌
挿され、ネジ１４によってハウジング３へ固定されてい
る。測定子２の先端部２ａは、図示しないアンプに変位
位置が表示される。ハウジング３は、Ｘダイ６にネジ１
５によって固定されている。Ｘダイ６の側面には、軸受
け孔４ａ、４ｂが穿設され、軸受け孔４ａ、４ｂには、
軸受け５ａ、５ｂが固着されている。軸受け５ａ、５ｂ
には、２つの軸の一方としての軸９ａ、９ｂが嵌挿さ
れ、軸９ａ、９ｂは、さらにコの字状のＹダイ１０に穿
設された孔７ａ、７ｂに嵌挿され、ネジ１６ａ、１６ｂ
により固定されている。軸９ａ、９ｂは、軸受け５ａ、
５ｂに対し、その軸方向に微小移動可能かつ回動可能に
なっている。軸受け５ａ、５ｂと軸９ａ、９ｂとにより
球欠リング移動手段および球欠リング回動手段の一方を
構成している。

【００２１】また、Ｙダイ１０には、コの字状の中間位
置に孔８が穿設され、孔８には２つの軸の他方としての
軸１２が嵌挿され、ネジ１７により固定されている。軸
１２は、軸受け１３に嵌挿され、軸受け１３は、ベース
４１（図１参照）に固着されている。軸１２は、軸受け
１３に対し、その軸方向に微小移動可能かつ回動可能に
なっている。軸１２と軸受け１３とにより、球欠リング
移動手段および球欠リング回動手段の他方を構成してい
る。このように、測定子配置部は、軸１２および軸受け
１３によりベース４１に連結されている。

【００２２】つぎに、レンズ保持部について説明する。
図１において、ベース４１のＬ字状の水平部４１ａに
は、昇降シリンダ４２が配設されている。昇降シリンダ
４２の昇降ロッド４９は、上下方向に進退自在で、先端
にはジョイント４３が固着されている。一方、ベース４
１の垂直部４１ｂには、ガイドレール５０が固着され、
ガイドレール５０には、ガイド４５が上下動自在に嵌装
されている。ガイド４５にはＬベース２６が取着され、
Ｌ字状の水平部下面には、ジョイント４３が連結されて
いる。これにより、Ｌベース２６は、昇降シリンダ４２
により上下に駆動される。

【００２３】図３において、Ｌベース２６の垂直部下部
側面には、軸バネ受け２７が螺着されている。Ｌベース
２６の水平部中央には、軸受け穴３２が穿設され、軸受
け穴３２には、軸受け２５が嵌着されている。軸受け２
５には、レンズ受け２２が回動自在に嵌装され、レンズ
受け２２には、レンズ受け穴３１が穿設されており、測
定レンズ２１が装着されるようになっている。レンズ受
け２２の上部外周面には、ハネ２３がネジ２４によって
螺着されている。また、レンズ受け２２の下部外周面に
は、バネ用ハネ２８がネジ２９により螺着されている。
軸バネ受け２７とバネ用ハネ２８との間には、バネ３０
が張架されている。

【００２４】つぎに、チャック部およびレンズ回動部に
ついて説明する。図１において、チャック部では、ベー
ス４１の上部に、チャック４６が配設され、測定子２を
初期位置に固定、開放するチャック爪４８が開閉自在に
装備されている。また、レンズ回動部では、ベース４１
の側面部に、ロッドシリンダ４４が取着され、ロッド５
１が水平方向に進退自在に装備されている。ロッド５１
は、レンズ保持部のレンズ受け２２に取着されたハネ２
３の先端を押して、レンズ受け２２に装着された測定レ
ンズ２１を回動させる。レンズ受け２２、ハネ２３、バ
ネ用ハネ２８、バネ３０、軸バネ受け２７およびロッド
シリンダ４４によりレンズ回転手段を構成している。

【００２５】つぎに、上記構成の球面測定装置の作用に
ついて説明する。図１に示すように、まず、球欠リング
を位置決めする工程として、チャック４６を作動させ、
チャック爪４８を閉じて、測定子２を把持し、球欠リン
グ１の位置を初期位置に固定する。レンズ受け２２に測
定レンズ２１を装着する。図４に示すように、球欠リン
グに測定レンズを当て付ける工程として、昇降シリンダ
４２を作動させて、レンズ受け２２を上昇させ、測定レ
ンズ２１を球欠リング１及び測定子２の先端部２ａ（図
２参照）に所定の圧力で圧接させる。つぎに、球欠リン
グ移動回動工程として、チャック４６のチャック爪４８
を開放し、球欠リング１、測定子２およびハウジング３
を初期位置から開放する。すると、球欠リング１には、
測定レンズ２１に対して、安定した位置に動こうとする
力、すなわち、測定レンズ２１のレンズ球面２１ａ（図
１参照）に倣おうとする外力が働き、Ｘダイ６は軸受け
５ａ、５ｂ（図２参照）と軸９ａ、９ｂ（図２参照）と
の間の摺動により微小移動し、Ｙダイ１０は軸受け１３
（図２参照）と軸１２（図２参照）との間の摺動により
微小移動する。また、球欠リング１は、軸９ａ、９ｂ、
軸１２を軸として微小回動する。

【００２６】球欠リング１の倣い動作が停止したところ
で、図５に示すように、測定レンズ回転工程として、ロ
ッドシリンダ４４を作動させて、ロッド５１を前進さ
せ、ハネ２３の先端を押して、レンズ受け２２および測
定レンズ２１を回転させる。このとき、バネ３０は、レ
ンズ受け２２に取着されたバネ用ハネ２８の回転により
伸ばされる。ロッドシリンダ４４を後退方向に作動させ
ると、ロッド５１は後退し、バネ３０の引張り力によ
り、レンズ受け２２および測定レンズ２１は逆回転し、
初期の位置で停止する。この動作を１回以上行うことに
より、球欠リング１の縁が測定レンズ２１のレンズ球面
２１ａ（図３参照）に倣い、双方が密着し安定した状態
になる。ここで、球面計測工程として、測定子２の先端
部２ａ（図２参照）の変位量が、図示しないアンプに表
示され、測定レンズ２１の曲率半径を算出することがで
きる。測定終了後、昇降シリンダ４２を下方に作動させ
て、レンズ受け２２を下降させ、チャック４６のチャッ
ク爪４８を閉塞状態にして、球欠リング１を初期位置に
固定し、測定レンズ２１を取り出す。

【００２７】なお、球欠リング１が測定レンズ２１に倣
う前に、なにらかの原因で倣い動作が停止したとして
も、昇降シリンダ４２による圧接後のロッドシリンダ４
４およびバネ３０の働きにより、測定レン２１が回転
し、球欠リング１は移動しようとする。球欠リング１が
移動しようとすると、各軸と各軸受けとの間に力が作用
する。測定レンズ２１がさらに回転すると、球欠リング
１と測定レンズ２１とは滑り動作を始める。すなわち、
倣い動作を再び始める。球欠リング１が倣いきらなかっ
た測定レンズ２１も、もう一度、球欠リング１が倣い動
作を行い、安定した位置で停止する。これにより、確実
に、球欠リング１が測定レンズ２１のレンズ球面２１ａ
に倣い、互いに密着し、正確な曲率半径を算出すること
ができる。

【００２８】本実施の形態によれば、測定レンズ２１を
球欠リング１に当て付けて球欠リング２１を水平方向に
微動および上下方向に微回動させた後、さらにレンズ回
転手段により測定レンズ２１をその軸心回りに回転およ
び逆回転させ、測定レンズ２１のレンズ球面２１ａと球
欠リング１とを密着させるので、球欠リング２１の縁径
が小さい場合でも、正確に測定レンズの球面半径を測定
することができる。

【００２９】本実施の形態では、測定レンズ２１のレン
ズ回転手段を、レンズ受け２２、ハネ２３、バネ用ハネ
２８、バネ３０、軸バネ受け２７およびロッドシリンダ
４４で構成したが、これに限るものではなく、モータ、
回転シリンダ等で回動または回転させてもよい。

【００３０】（実施の形態２）図６〜図８は実施の形態
２を示し、図６は球面測定装置の斜視図、図７は球面測
定装置の下部のレンズ保持部の分解斜視図、図８は変形
例の球面測定装置の斜視図である。本実施の形態は、実
施の形態１とは、レンズ回転手段に替えてレンズ振動手
段を、測定レンズ回転工程に替えて測定レンズ振動工程
を用いている点が異なり、その他の部分は同様のため、
異なる部分のみ説明し、同一の部材には同一の符号を付
し説明を省略する。

【００３１】図６において、Ｌベース６６は、ガイド４
５に固着されている。Ｌベース６６のＬ字状の水平部上
面には、図７に示すように、２つのバカ孔６６ａが穿設
され、ネジ７１、７２によりレンズ受け６２が固定され
ている。また、ベース４１の垂直部４１ｂの中央には、
レンズ振動手段としての、ロッドシリンダ４４が配設さ
れ、ロッド５１の先端がレンズ受け６２の外周面を叩く
ように構成されている。その他の構成は実施の形態１と
同様である。

【００３２】上記構成の球面測定装置の作用について、
実施の形態１と異なる部分のみ説明する。図６に示すよ
うに、球欠リング１と測定レンズ２１とを圧接させ、チ
ャック４６のチャック爪４８を開放し、球欠リング１の
倣い動作が止まった後、測定レンズ振動工程として、ロ
ッドシリンダ４４でレンズ受け６２の外周面を叩き、振
動を与える。これにより、実施の形態１と同様に、昇降
シリンダ４２による球欠リング１と測定レンズ２１との
圧接時点で、球欠リング１が測定レンズ２１のレンズ球
面２１ａ（図３参照）に密着していなくても、振動を与
えることにより、球欠リング１の水平方向の微動と上下
方向の微回動が発生し、球欠リング１は測定レンズ２１
のレンズ球面２１ａに密着する。

【００３３】本実施の形態によれば、実施の形態１と同
様の効果に加え、球面測定装置の部品点数を削減し、安
価に製作することができる。

【００３４】本実施の形態では、レンズ受け６２に与え
る振動を、その外周面から与えるようにしたが、図８に
示すように、ロッドシリンダ４４をベース４１の水平部
４１ａに縦に配置し、ロッド５１によりＬベース６６の
下面を叩いて、測定レンズ２１の軸心方向に振動させて
もよい。また、レンズ受け６２や測定レンズ２１に与え
る振動を、超音波で振動するように構成してもよい。

【００３５】

【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、測定レン
ズを球欠リングに当て付けて球欠リングの軸心にそれぞ
れ直交する２つの軸方向に球欠リングを移動させ、前記
２つの軸回りに球欠リングを回動させた後、さらにレン
ズ回転手段により測定レンズをその軸心回りに回転また
は回動させ、測定レンズのレンズ球面と球欠リングとを
密着させるようにしたので、球欠リングをレンズ球面に
倣わせ、球欠リングの縁径が小さい場合でも、正確に測
定レンズの球面半径を測定することができる。

【００３６】請求項２に係る発明によれば、測定レンズ
を球欠リングに当て付けて球欠リングの軸心にそれぞれ
直交する２つの軸方向に球欠リングを移動させ、前記２
つの軸回りに球欠リングを回動させた後、さらにレンズ
振動手段により測定レンズに振動を与え、測定レンズの
レンズ球面と球欠リングとを密着させるようにしたの
で、請求項１に係る発明と同様の効果に加え、球面測定
装置の部品点数を削減し、安価に製作することができ
る。

【００３７】請求項３に係る発明によれば、測定レンズ
を球欠リングに当て付けて球欠リングの軸心にそれぞれ
直交する２つの軸方向に球欠リングを移動させ、前記２
つの軸回りに球欠リングを回動させた後、さらに、測定
レンズ回転工程により測定レンズをその軸心回りに回転
または回動させ、測定レンズのレンズ球面と球欠リング
とを密着させるようにしたので、正確かつ容易に測定レ
ンズの球面半径を測定することができる。

【００３８】請求項４に係る発明によれば、測定レンズ
を球欠リングに当て付けて球欠リングの軸心にそれぞれ
直交する２つの軸方向に球欠リングを移動させ、前記２
つの軸回りに球欠リングを回動させた後、さらに、測定
レンズ振動工程により測定レンズに振動を与え、測定レ
ンズのレンズ球面と球欠リングとを密着させるようにし
たので、正確かつ容易に測定レンズの球面半径を測定す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態１の球面測定装置の斜視図である。

【図２】実施の形態１の球面測定装置の上部の測定子配
置部の分解斜視図である。

【図３】実施の形態１の球面測定装置の下部のレンズ保
持部の分解斜視図である。

【図４】実施の形態１の球欠リングに測定レンズを当て
付け、チャックを開放した状態の球面測定装置の斜視図
である。

【図５】実施の形態１のロッドシリンダにより測定レン
ズを回動した状態の球面測定装置の斜視図である。

【図６】実施の形態２の球面測定装置の斜視図である。

【図７】実施の形態２の球面測定装置の下部のレンズ保
持部の分解斜視図である。

【図８】実施の形態２の変形例の球面測定装置の斜視図
である。

【図９】従来技術の球面測定装置の概略構成図である。

【図１０】従来技術の球面測定装置の問題点の説明図で
ある。

【図１１】従来技術の球面測定装置の問題点の説明図で
ある。

【符号の説明】

１ 球欠リング ２ 測定子 ２１ 測定レンズ ２２ レンズ受け ２３ ハネ ２７ 軸バネ受け ２８ バネ用ハネ ３０ バネ ４４ ロッドシリンダ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定子と、該測定子の軸心と同軸に一体
   化された球欠リングと、前記軸心にそれぞれ直交する２
   つの軸と、前記球欠リングを前記２つの軸の各々の軸方
   向に移動させる球欠リング移動手段と、前記球欠リング
   を前記２つの軸の各々の軸回りに回動させる球欠リング
   回動手段とを有する球面測定装置において、 測定レンズをその軸心回りに回動または回転させるレン
   ズ回転手段を設けたことを特徴とする球面測定装置。
2. 【請求項２】 測定子と、該測定子の軸心と同軸に一体
   化された球欠リングと、前記軸心にそれぞれ直交する２
   つの軸と、前記球欠リングを前記２つの軸の各々の軸方
   向に移動させる球欠リング移動手段と、前記球欠リング
   を前記２つの軸の各々の軸回りに回動させる球欠リング
   回動手段とを有する球面測定装置において、 測定レンズを振動させるレンズ振動手段を設けたことを
   特徴とする球面測定装置。
3. 【請求項３】 球欠リングを位置決めする工程と、前記
   球欠リングに測定レンズを当て付ける工程と、前記球欠
   リングの位置決めを解除し前記球欠リングに測定レンズ
   を当て付けつつ測定子の軸心にそれぞれ直交する２つの
   軸の軸方向へ前記球欠リングを移動させつつ前記２つの
   軸の軸回りに前記球欠リングを回動させる球欠リング移
   動回動工程と、前記球欠リングに測定レンズを当て付け
   つつ測定子先端部の変位を計測する球面計測工程とを有
   する球面測定方法において、 前記球欠リング移動回動工程と前記球面計測工程との間
   に、前記球欠リングに測定レンズを当て付けつつ測定レ
   ンズをその軸心回りに回転または回動させる測定レンズ
   回転工程を設けたことを特徴とする球面測定方法。
4. 【請求項４】 球欠リングを位置決めする工程と、前記
   球欠リングに測定レンズを当て付ける工程と、前記球欠
   リングの位置決めを解除し前記球欠リングに測定レンズ
   を当て付けつつ測定子の軸心にそれぞれ直交する２つの
   軸の軸方向へ前記球欠リングを移動させつつ前記２つの
   軸の軸回りに前記球欠リングを回動させる球欠リング移
   動回動工程と、前記球欠リングに測定レンズを当て付け
   つつ測定子先端部の変位を計測する球面計測工程とを有
   する球面測定方法において、 前記球欠リング移動回動工程と前記球面計測工程との間
   に、前記球欠リングに測定レンズを当て付けつつ振動さ
   せる測定レンズ振動工程を設けたことを特徴とする球面
   測定方法。