JP2002361014A - Chemical filter - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルームなどで使用されるひだ折り加
工されたケミカルフィルタであり、重量も重くならず、
圧力損失が低く、しかもアウトガス発生の少ないケミカ
ルフィルタを提供することを課題とする。
【解決手段】 物理吸着層を含むケミカルフィルタの上
流側にのみ、ひだ折りの形状を保持するための合成樹脂
製の保形材を設けた。
(57) [Summary] [PROBLEMS] A fold-folded chemical filter used in a clean room, etc., without increasing the weight.
An object of the present invention is to provide a chemical filter having low pressure loss and low outgas generation. SOLUTION: A shape retention material made of synthetic resin for maintaining a folded shape is provided only on the upstream side of a chemical filter including a physical adsorption layer.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力損失が低く、
アウトガス発生の少ない、ひだ折り加工されたケミカル
フィルタに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a low pressure drop,
The present invention relates to a pleated chemical filter that generates less outgas.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体や液晶の生産施設、または半導体
や液晶の周辺技術関連で用いるクリーンルーム等におい
ては、取り入れ外気や該クリーンルーム内の作業雰囲気
中に含まれる、有機系ガス状汚染物質や無機系ガス状汚
染物質を除去するケミカルフィルタが設置されている。
このようなケミカルフィルタには、例えば活性炭、活性
炭繊維、ゼオライト、イオン交換樹脂、その他化学吸着
材等の吸着材が使用されている。そして、これら吸着材
が単独で用いられたり、ネット状物や不織布等の基材に
吸着材等が担持されている。また、ガス状汚染物質との
接触面積を大きくして、圧力損失を低く抑えるため、ケ
ミカルフィルタはひだ折り加工されたものが使用されて
いる。そして、ケミカルフィルタを使用する際に、風圧
によって、このようなひだ折りの形態が変形して、隣り
合うひだが下流側で互いにくっ付いてしまうことを防ぐ
ために、合成樹脂製のセパレータやリテーナ等の保形材
が下流側、若しくは下流側と上流側の両方に設けられて
いた。2. Description of the Related Art In a semiconductor or liquid crystal production facility, or in a clean room or the like used in connection with semiconductor or liquid crystal peripheral technologies, organic gaseous pollutants or inorganic gaseous contaminants contained in the outside air taken in or the working atmosphere in the clean room. A chemical filter is installed to remove gaseous pollutants.
For such a chemical filter, for example, activated carbon, activated carbon fiber, zeolite, ion exchange resin, and other adsorbents such as a chemical adsorbent are used. These adsorbents are used alone, or adsorbents are carried on a substrate such as a net-like material or a nonwoven fabric. Further, in order to increase the contact area with the gaseous pollutant and suppress the pressure loss to a low level, a chemical filter which has been folded is used. When using a chemical filter, such folds are deformed by wind pressure to prevent the adjacent folds from sticking to each other on the downstream side. Was provided on the downstream side, or on both the downstream side and the upstream side.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年ク
リーンルーム内のガス状汚染物質の管理濃度の基準が厳
しくなってきた。例えば、ガス状汚染物質のうち有機物
質は、シリコンウェハやガラス基板表面上に物理吸着し
て、表面洗浄や加熱により除去が困難である場合がある
ことが判ってきた。そして、これら有機物質のウェハ表
面への吸着を防止するには、クリーンルーム雰囲気中の
該有機物質の濃度をできるだけ低いレベルで管理しなけ
ればならない。このように、近年になって、クリーンル
ーム内のガス状汚染物質の管理濃度の基準が厳しくなっ
てきた。However, in recent years, standards for controlling the concentration of gaseous pollutants in clean rooms have become strict. For example, it has been found that an organic substance out of gaseous contaminants is physically adsorbed on the surface of a silicon wafer or a glass substrate and is difficult to remove by surface cleaning or heating. In order to prevent these organic substances from adsorbing to the wafer surface, the concentration of the organic substances in the clean room atmosphere must be controlled at a level as low as possible. Thus, in recent years, the standards for the control concentration of gaseous pollutants in clean rooms have become strict.
【0004】そこで、従来のケミカルフィルタの高性能化を
検討したところ、下流側に設けた合成樹脂製の保形材か
ら、主として有機質のガス状汚染物質が多量に発生して
いることがわかった。そこで、保形材として、アルミニ
ウム製の波板状のセパレータを用いたが、圧力損失がか
えって上昇してしまう場合があること、またアルミニウ
ム製であるため重量が重くなってしまい、ＦＦＵ(ファ
ンフィルタユニット)タイプとして天井に用いることが
できないことがわかった。そこで、ひだ折り加工されて
おり、重量も重くならず、圧力損失が低く、しかもアウ
トガス発生の少ないケミカルフィルタを提供することを
課題とした。[0004] In consideration of the performance enhancement of the conventional chemical filter, it was found that a large amount of mainly organic gaseous pollutants was generated from the synthetic resin shape-retaining material provided on the downstream side. . Therefore, a corrugated separator made of aluminum was used as a shape-retaining material. However, the pressure loss sometimes increased, and the weight was heavy because of aluminum, so that the FFU (fan filter) was used. It turned out that it cannot be used for ceiling as a unit) type. Therefore, it is an object of the present invention to provide a chemical filter which is fold-folded, does not increase in weight, has low pressure loss, and generates less outgas.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の手段は、請求項１の発明では、ひだ折り加工されたケ
ミカルフィルタであって、該ケミカルフィルタは物理吸
着層を含み、該ケミカルフィルタの上流側にのみ合成樹
脂製の保形材を有することを特徴とするケミカルフィル
タであり、重量も重くならず、圧力損失が低く、しかも
アウトガス発生の少ないケミカルフィルタを提供するこ
とができる。According to a first aspect of the present invention, there is provided a chemical filter which has been subjected to a pleating process, wherein the chemical filter includes a physical adsorption layer, A chemical filter characterized by having a synthetic resin shape-retaining material only on the upstream side of the chemical filter, which can provide a chemical filter that does not increase in weight, has low pressure loss, and generates less outgas.
【0006】請求項２の発明では、前記物理吸着層の吸着材
が、物理吸着材のみからなることを特徴とする請求項１
に記載のケミカルフィルタであり、特にアウトガス発生
の少ないケミカルフィルタを提供することができる。[0006] In the second aspect of the present invention, the adsorbent of the physical adsorption layer comprises only a physical adsorbent.
In particular, the present invention can provide a chemical filter that generates less outgas.
【0007】また、請求項３の発明では、前記物理吸着層
が、ホットメルト樹脂から成る連結部と樹脂凝集部とで
構成されたウエブの一方の表面に、該樹脂凝集部を介し
て物理吸着粉粒体を固着してなる積層単位を有し、該ウ
エブの他方の表面と、他の積層単位を構成する物理吸着
粉粒体とが樹脂凝集部を介して固着して成ることを特徴
とする請求項１または２に記載のケミカルフィルタであ
り、特に、重量も重くならず、ひだ折り加工がし易く、
圧力損失も高くならず、しかもフィルタの枠体に設置し
てユニット化する場合、ユニット加工も容易である。[0007] In the invention of claim 3, the physical adsorption layer is physically adsorbed on one surface of a web constituted by a connecting portion made of a hot melt resin and a resin aggregation portion via the resin aggregation portion. It has a laminating unit in which the granules are fixed, and the other surface of the web and the physical adsorption granules forming the other laminating units are fixed through a resin aggregation portion. The chemical filter according to claim 1, wherein the weight is not increased, and the fold processing is easy.
When the pressure loss does not increase and the unit is mounted on the frame of the filter to form a unit, unit processing is easy.
【0008】また、請求項４の発明では、前記保形材がホッ
トメルト樹脂であることを特徴とする請求項１〜３の何
れかに記載のケミカルフィルタである。[0008] According to a fourth aspect of the present invention, in the chemical filter according to any one of the first to third aspects, the shape-retaining material is a hot melt resin.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るケミカルフィ
ルタの好ましい実施の形態について詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the chemical filter according to the present invention will be described below in detail.
【0010】本発明のケミカルフィルタは図１に例示するよ
うに、ひだ折り加工されたケミカルフィルタであって、
該ケミカルフィルタは物理吸着層を少なくとも一層含
み、該ケミカルフィルタの上流側にのみ合成樹脂製の保
形材３を有することを特徴とするケミカルフィルタであ
る。As shown in FIG. 1, the chemical filter of the present invention is a pleated chemical filter,
The chemical filter is characterized by including at least one physical adsorption layer and having a shape-retaining material 3 made of synthetic resin only on the upstream side of the chemical filter.
【0011】本発明のケミカルフィルタは、物理吸着層を少
なくとも一層含むシート状物からなるか、若しくは物理
吸着層を少なくとも一層含むシート状物と物理吸着層を
含まないシート状物とが複合された複合シート状物から
なるケミカルフィルタ素材からなり、該ケミカルフィル
タ素材はひだ折り加工が可能であり、また通気性を有し
ている必要がある。[0011] The chemical filter of the present invention is composed of a sheet having at least one physical adsorption layer, or a sheet having at least one physical adsorption layer and a sheet having no physical adsorption layer. It is made of a chemical filter material made of a composite sheet, and the chemical filter material needs to be foldable and have air permeability.
【0012】前記物理吸着層を少なくとも一層含むシート状
物のうち物理吸着層以外の層は、物理吸着層を保護する
例えば不織布製のカバー材等であっても、強度を補強す
るネット状物等であっても、また物理吸着層の汚染物質
除去の効率を向上させるイオン交換樹脂を不織布等の基
材に担持したものであっても、或いは物理吸着作用以外
の化学反応や触媒作用を持つ吸着材を不織布等の基材に
担持したもの等であってもよいが、物理吸着層と一体化
されている必要がある。[0012] Of the sheet-like material containing at least one physical adsorption layer, a layer other than the physical adsorption layer may be, for example, a cover material made of nonwoven fabric for protecting the physical adsorption layer, or a net-like material for reinforcing the strength. Or an ion-exchange resin loaded on a base material such as a nonwoven fabric to improve the efficiency of removing contaminants from the physical adsorption layer, or adsorption having a chemical reaction or catalytic action other than the physical adsorption action The material may be carried on a base material such as a nonwoven fabric or the like, but must be integrated with the physical adsorption layer.
【0013】また、前記物理吸着層を含まないシート状物
は、物理吸着層を少なくとも一層含むシート状物を保護
する例えば不織布製のカバー材等であっても、強度を補
強するネット状物等であっても、また物理吸着層の汚染
物質除去の効率を向上させるイオン交換樹脂を不織布等
の基材に担持したものであっても、或いは物理吸着作用
以外の化学反応や触媒作用を持つ吸着材を不織布等の基
材に担持したもの等であってもよいが、物理吸着層を少
なくとも一層含むシート状物と積層され複合化されてい
る必要がある。[0013] Further, the sheet-like material not containing the physical adsorption layer is, for example, a cover material made of nonwoven fabric for protecting the sheet-like material containing at least one physical adsorption layer, but a net-like material or the like for reinforcing the strength. Or an ion-exchange resin loaded on a base material such as a nonwoven fabric to improve the efficiency of removing contaminants from the physical adsorption layer, or adsorption having a chemical reaction or catalytic action other than the physical adsorption action The material may be carried on a base material such as a nonwoven fabric or the like, but it is necessary that the material is laminated and composited with a sheet-like material containing at least one physical adsorption layer.
【0014】前記物理吸着層とは、物理吸着能を有する繊維
からなる通気性を有するシート状物の層、又は物理吸着
能を有する繊維と物理吸着作用以外の化学反応や触媒作
用やイオン交換作用を有する繊維とが混合された繊維か
らなる通気性を有するシート状物の層であるが、繊維が
物理吸着能を有する繊維のみからなる前者の物理吸着層
の場合、特にアウトガス発生の少ないケミカルフィルタ
とすることができるので好ましい。[0014] The physical adsorption layer is a layer of a gas-permeable sheet made of fibers having a physical adsorption ability, or a chemical reaction, a catalytic action, or an ion exchange action other than a physical adsorption action with a fiber having a physical adsorption ability. Is a layer of a gas-permeable sheet made of fibers mixed with fibers having the above-mentioned, but in the case of the former physical adsorption layer made of only fibers having physical adsorption capacity, a chemical filter with less outgas generation This is preferable.
【0015】或いは前記物理吸着層とは、粒子状の物理吸着
材が集積してシート状になった層、又は粒子状の物理吸
着材と物理吸着作用以外の化学反応や触媒作用やイオン
交換作用を有する粒子とが混合された吸着材が集積して
シート状になった層であるが、粒子状の吸着材が物理吸
着材のみからなる前者の物理吸着層の場合、特にアウト
ガス発生の少ないケミカルフィルタとすることができる
ので好ましい。[0015] Alternatively, the physical adsorption layer refers to a layer in which a particulate physical adsorbent is accumulated and formed into a sheet, or a chemical reaction, a catalytic action, or an ion exchange action other than the physical adsorbent and the physical adsorbent. Is a layer formed by stacking adsorbents mixed with particles having particles, but in the case of the former physical adsorption layer in which the particulate adsorbent consists only of physical adsorbents, especially chemicals with less outgas generation This is preferable because it can be used as a filter.
【0016】或いは前記物理吸着層とは、粒子状の物理吸着
材が熱融着性の樹脂で互いに接合してシート状となった
層、又は粒子状の物理吸着材と物理吸着作用以外の化学
反応や触媒作用やイオン交換作用を有する粒子とが混合
された吸着材が熱融着性の樹脂で互いに接合してシート
状となった層であるが、粒子状の吸着材が物理吸着材の
みからなる前者の物理吸着層の場合、特にアウトガス発
生の少ないケミカルフィルタとすることができるので好
ましい。[0016] Alternatively, the physical adsorption layer may be a layer in which a particulate physical adsorbent is bonded to each other with a heat-fusible resin to form a sheet, or a chemical adsorbent other than the physical adsorbent and the particulate physical adsorbent. Adsorbents mixed with particles having a reaction, catalytic action, or ion exchange action are bonded together with heat-fusible resin to form a sheet, but the particulate adsorbent is only a physical adsorbent The former physical adsorption layer is preferred because it can be used as a chemical filter with less outgassing.
【0017】或いは前記物理吸着層とは、支持体に物理吸着
材を担持して得られる層、又は物理吸着材と物理吸着作
用以外の化学反応や触媒作用やイオン交換作用を有する
物質とが混合された物理吸着材を支持体に担持して得ら
れる層であるが、支持体に物理吸着材のみを担持して得
られる前者の物理吸着層の場合、特にアウトガス発生の
少ないケミカルフィルタとすることができるので好まし
い。[0017] Alternatively, the physical adsorption layer is a layer obtained by supporting a physical adsorbent on a support, or a mixture of the physical adsorbent and a substance having a chemical reaction, a catalytic action, or an ion exchange action other than the physical adsorption action. This layer is obtained by supporting the physical adsorbent on the support.However, in the case of the former physical adsorption layer obtained by supporting only the physical adsorbent on the support, a chemical filter that generates less outgas is used. Is preferred.
【0018】物理吸着層が物理吸着能を有する繊維からなる
通気性を有するシート状物の層である場合、物理吸着能
を有する繊維としては、活性炭繊維や、活性炭繊維に酸
性ガスもしくは塩基性ガスを吸着する能力を付加させた
繊維などを使用することができ、比表面積が２００ｍ２
／ｇ以上の多孔質のものを選択して使用するのが好まし
く、５００ｍ２／ｇ以上のものがより好ましい。このよ
うな物理吸着能を有する繊維からなる通気性を有するシ
ート状物の層の形態としては、不織布、織物、ろ紙、な
どの多孔質体などが挙げられ、なかでも不織布は通気性
が高いので好ましい。In the case where the physical adsorption layer is a layer of a gas-permeable sheet made of fibers having physical adsorption ability, the fibers having physical adsorption ability include activated carbon fibers or acid gas or basic gas on activated carbon fibers. Fibers having the ability to adsorb water can be used, and the specific surface area is 200 m 2.
/ G or more is preferably used, and more preferably 500 m 2 / g or more. Examples of the form of the layer of a breathable sheet made of fibers having such physical adsorption ability include non-woven fabrics, woven fabrics, filter papers, and other porous materials. Among them, non-woven fabrics have high air permeability. preferable.
【0019】また、物理吸着層が物理吸着材の粒子が集積し
てシート状になった層である場合としては、例えば、図
４に例示する形態のものがある。すなわち、ホットメル
ト樹脂から成る連結部１０と樹脂凝集部１２とで構成さ
れたウエブの一方の表面に、該樹脂凝集部１２を介して
物理吸着粉粒体１１を固着してなる積層単位１３ａを有
し、該ウエブの他方の表面と、他の積層単位１３ｂを構
成する物理吸着粉粒体とが樹脂凝集部を介して固着して
成るように形成された物理吸着層１３ａ、１３ｂがあ
り、このようなケミカルフィルタ素材はひだ折り加工が
し易く、圧力損失も高くならない。また、フィルタの枠
体に設置してユニット化する場合、ユニット加工も容易
であるため、ケミカルフィルタ素材として好ましい形態
である。Further, as a case where the physical adsorption layer is a layer in which the particles of the physical adsorption material are accumulated to form a sheet, for example, there is a form illustrated in FIG. That is, on one surface of a web composed of a connecting portion 10 made of a hot melt resin and a resin aggregation portion 12, a lamination unit 13 a formed by fixing the physisorbed powder 11 via the resin aggregation portion 12 is formed. There is a physical adsorption layer 13a, 13b formed so that the other surface of the web and the physical adsorption powder constituting another laminated unit 13b are fixed via a resin aggregation portion, Such a chemical filter material is easy to be crimped and the pressure loss does not increase. Further, when the filter is installed in a frame to form a unit, the unit can be easily processed, which is a preferable form as a chemical filter material.
【0020】また、物理吸着層が支持体に物理吸着材を担持
して得られる層である場合、該支持体は通気性を有する
シート状物ならばいずれも使用可能であり、このような
通気性を有するシート状物としては、不織布、織物、
膜、ろ紙、スポンジなどの多孔質体などが挙げられ、な
かでも不織布は通気性が高いので好ましい。また、該支
持体に用いるシート状物が高分子材料であれば、フィル
タ加工におけるひだ折り加工などへの追従性が高く、耐
久性に優れているので好ましく用いることができる。In the case where the physical adsorption layer is a layer obtained by supporting a physical adsorbent on a support, the support may be any air-permeable sheet-like material. Nonwoven fabric, woven fabric,
Examples thereof include a porous body such as a membrane, filter paper, and sponge. Among them, a non-woven fabric is preferable because of high air permeability. In addition, if the sheet material used for the support is a polymer material, it can be preferably used because it has a high follow-up property to folds and the like in filter processing and has excellent durability.
【0021】前記物理吸着材は、脱臭用途に使用できるもの
ならばいずれも使用可能で、活性炭、活性炭繊維、ゼオ
ライトなどを好ましく使用でき、このような、物理吸着
材にさらに、酸性ガスもしくは塩基性ガスを吸着する能
力を付加されている物理吸着材を用いても良い。また、
物理吸着材は、比表面積が２００ｍ２／ｇ以上の多孔質
のものを選択して使用するのが好ましく、５００ｍ２／
ｇ以上のものがより好ましい。また、物理吸着材を接合
する熱融着性の樹脂は発生ガスの少ない樹脂を用いるこ
とが望ましい。As the physical adsorbent, any one can be used as long as it can be used for deodorization. Activated carbon, activated carbon fiber, zeolite and the like can be preferably used. A physical adsorbent to which the ability to adsorb gas is added may be used. Also,
Physical adsorbent has a specific surface area is preferably selected and used in 200 meters 2 / g or more porous, 500 meters 2 /
g or more are more preferable. Further, it is desirable to use a resin that generates a small amount of gas as a heat-fusible resin for joining the physical adsorbent.
【0022】ケミカルフィルタに設けられる合成樹脂製の保
形材の材質としては熱可塑性樹脂であっても熱硬化性樹
脂であっても良いが、熱可塑性樹脂の中でもホットメル
ト樹脂であれば、本発明のケミカルフィルタを製造する
際に、ホットメルト樹脂を加熱溶融しながら任意の形状
にケミカルフィルタ素材の上流側に線状や、点状に塗布
した後にひだ折り加工することができるので好ましい。
このようなホットメルト樹脂としては、ポリエチレン、
ポリアミド、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸
ビニル、ポリビニルアルコールなど任意のホットメルト
樹脂を用いることができる。また、前記熱可塑性樹脂に
気体を混入して２〜４倍程度に発泡させた独立気泡型熱
可塑性樹脂を用いることもできる。この熱可塑性樹脂の
塗布量としては任意であるが、ケミカルフィルタ素材の
層、大きさ、折りひだの数、その間隔などによって増減
するので、これらを考慮して適宜決定することができ
る。熱可塑性樹脂の塗布形態としては、図２に例示する
ように例えば巾４ｍｍ×長さ４０ｍｍ（寸法ｂ）の大き
さの線状に、その線の巾方向に５０ｍｍ（寸法ａ）の間
隔をあけて、折り山の線４にまたがるようにして、且つ
谷線５にはまたがらないようにして、熱可塑性樹脂から
なる保形材３が塗布されるのが好ましい。[0022] The material of the synthetic resin shape-retaining material provided in the chemical filter may be a thermoplastic resin or a thermosetting resin. When manufacturing the chemical filter of the present invention, the hot melt resin is heated and melted, and is preferably applied to the upstream side of the chemical filter material in the form of a line or a dot after being applied to a desired shape, and then subjected to fold folding.
Such hot melt resins include polyethylene,
Any hot melt resin such as polyamide, polyester, polyvinyl chloride, polyvinyl acetate and polyvinyl alcohol can be used. Alternatively, a closed-cell thermoplastic resin obtained by mixing a gas with the thermoplastic resin and foaming it by about 2 to 4 times may be used. The amount of the thermoplastic resin to be applied is arbitrary, but it can be appropriately determined in consideration of these factors, because it varies depending on the layer and size of the chemical filter material, the number of folds, the interval between them, and the like. As an application form of the thermoplastic resin, as illustrated in FIG. 2, for example, a line having a size of 4 mm in width × 40 mm in length (dimension b) is provided at intervals of 50 mm (dimension a) in the width direction of the line. Thus, it is preferable that the shape-retaining material 3 made of a thermoplastic resin is applied so as to straddle the folded crest line 4 and not to straddle the valley line 5.
【0023】図１に例示するように、ケミカルフィルタの上
流側に合成樹脂製の保形材３を設ける方法としては、上
述のように、ケミカルフィルタ素材の上流側にホットメ
ルト樹脂を塗布することによって保形材が形成され、そ
の後にケミカルフィルタ素材がひだ折り加工される方法
が好ましいが、必ずしもその方法に限定されず、ケミカ
ルフィルタ素材がひだ折り加工された後に、合成樹脂の
保形材をケミカルフィルタ素材の上流側に設置して、隣
り合う折り山４相互の間隔を保持する方法も可能であ
る。このような方法としては、例えば、図３に例示する
ように、隣り合う折り山の頂点部分４を合成樹脂の保形
材である細巾の薄板状部材３と接着させながら、その細
巾の薄板状部材同士の間隔を一定間隔に保ちながら、折
り山の頂点間を繋げた方法がある。As illustrated in FIG. 1, as a method of providing the synthetic resin shape retaining material 3 on the upstream side of the chemical filter, a hot melt resin is applied on the upstream side of the chemical filter material as described above. A method in which the shape-retaining material is formed and then the chemical filter material is pleated is preferable, but the method is not necessarily limited to this method. A method is also possible in which the space is provided upstream of the chemical filter material to maintain the interval between adjacent folded ridges 4. As an example of such a method, as illustrated in FIG. 3, while adhering the apex portions 4 of adjacent folding ridges to a thin thin plate-shaped member 3 which is a shape-retaining material of a synthetic resin, for example, There is a method in which the vertexes of the folded ridges are connected while keeping the interval between the thin plate members at a constant interval.
【0024】ケミカルフィルタ素材または保形材付きのケミ
カルフィルタ素材のひだ折り加工方法としては、レシプ
ロ方式、ロータリー方式などのプリーツ加工機によっ
て、ケミカルフィルタ素材または保形材付きのケミカル
フィルタ素材にジグザグ形状を付与する方法がある。ま
た、ジグザグ形状に成形された押型でケミカルフィルタ
素材または保形材付きのケミカルフィルタ素材をプレス
することによって、ジグザグ形状を付与するなど、従来
より知られた方法を用いることができる。The fold processing method of the chemical filter material or the chemical filter material with the shape retaining material is a zigzag shape of the chemical filter material or the chemical filter material with the shape retaining material by a pleating machine such as a reciprocating method or a rotary method. Is provided. Further, a conventionally known method such as imparting a zigzag shape by pressing a chemical filter material or a chemical filter material with a shape retaining material with a zigzag-shaped pressing die can be used.
【0025】このようにしてひだ折り加工されたケミカルフ
ィルタは、図１又は図３に例示するように、隣合う折り
山４相互の間隔がケミカルフィルタ上流側に設けられた
合成樹脂からなる保形材３によって保持されている。
尚、従来の粉塵除去を目的としたひだ折り加工されたエ
アフィルタでは、図６のように、ひだ折りの形状を保持
するため保形材３がエアフィルタの上流側と下流側に配
置されているか、若しくは下流側にのみ配置されてい
る。その大きな理由として、粉塵の捕集に伴いエアフィ
ルタが目詰まりを生じてエアフィルタ前後に大きな差圧
が生じてしまい、このため、ひだ折りの形状が下流側で
大きく膨らんでしまうことを防止することがあげられ
る。しかし、本発明のケミカルフィルタは、粉塵の除去
ではなくガス状汚染物質を除去するのが目的であるた
め、粉塵によって上記のように、ひだ折りの形状が下流
側で大きく膨らんでしまうことがなく、上流側に保形材
を設けるのみでケミカルフィルタの形状を十分に保つこ
とができるのである。As shown in FIG. 1 or FIG. 3, the chemical filter which has been subjected to the fold-folding process as described above has a shape-preserving shape made of a synthetic resin in which the interval between adjacent folding ridges 4 is provided on the upstream side of the chemical filter. It is held by the material 3.
In a conventional air filter subjected to a fold processing for the purpose of removing dust, as shown in FIG. 6, shape retaining materials 3 are arranged on the upstream side and the downstream side of the air filter in order to maintain the shape of the fold. Or only on the downstream side. The major reason is that the air filter is clogged due to the collection of dust, and a large differential pressure is generated across the air filter, thereby preventing the fold shape from expanding significantly on the downstream side. That is. However, since the purpose of the chemical filter of the present invention is not to remove dust but to remove gaseous pollutants, as described above, the shape of the fold does not greatly expand on the downstream side due to dust. Only by providing the shape retaining material on the upstream side, the shape of the chemical filter can be sufficiently maintained.
【0026】このようにして形成された本発明のケミカルフ
ィルタは、物理吸着層を含んでいるので、ケミカルフィ
ルタの上流側にのみ設けられた合成樹脂製の保形材から
発生するガス状汚染物質を吸着することができる。その
結果、ケミカルフィルタの下流側の空気中のガス状汚染
物質の濃度を極めて少なくすることができる。すなわ
ち、本発明のケミカルフィルタによって、ガス状汚染物
質の濃度が極めて少ない処理空気を得ることができる。Since the chemical filter of the present invention thus formed includes a physical adsorption layer, gaseous contaminants generated from the synthetic resin shape-retaining material provided only on the upstream side of the chemical filter Can be adsorbed. As a result, the concentration of gaseous pollutants in the air downstream of the chemical filter can be extremely reduced. That is, with the chemical filter of the present invention, it is possible to obtain treated air having a very low concentration of gaseous pollutants.
【0027】[0027]
【実施例】以下、本発明の実施例につき説明するが、こ
れは発明の理解を容易とするための好適例に過ぎず、本
願発明はこれら実施例の内容に限定されるものではな
い。 （実施例１）図４のように、支持体９としてポリエステ
ルスパンボンド不織布（面密度３０ｇ／ｍ２）を準備
し、片面に、熱可塑性ポリアミド樹脂からなる面密度２
０ｇ／ｍ２のホットメルト不織布を接着層として積層し
た。次に、該接着層の上に粒径０．３〜０．５ｍｍの活
性炭粒子１１を１ｍ２当たり３５０ｇ／ｍ２の量になる
ように散布した。続いて、約５ｋｇ／ｃｍ２の水蒸気処
理を支持体側から７秒間行い、該接着層を溶融せしめた
後、固着されていない活性炭粒子を除去することによ
り、支持体９に樹脂凝集部１２を介して活性炭粒子１１
を固着し１層目の積層単位１３ａを得た。更にこの状態
の積層単位１３ａに上記と同様の熱可塑性ポリアミド不
織布を積層し、活性炭粒子を散布、水蒸気処理、並びに
固着されていない活性炭粒子の除去を経て２層目の積層
単位１３ｂを形成した。その後更に、その積層単位１３
ｂの上に、熱可塑性ポリエチレン樹脂からなる面密度２
０ｇ／ｍ２のホットメルト不織布を積層し、その上にカ
バー材として面密度３０ｇ／ｍ２のポリエステルスパン
ボンド不織布１４を積層した後、水蒸気処理を支持体側
から行って、物理吸着層を含むケミカルフィルタ素材８
を得た。次に、図２のように該ケミカルフィルタ素材に
ポリ酢酸ビニルからなるホットメルト樹脂３を巾４ｍｍ
×長さ４０ｍｍ（寸法ｂ）の大きさの線状に、その線の
巾方向に５０ｍｍ（寸法ａ）の間隔をあけて、折り山の
線にまたがるようにして、且つ谷線にはまたがらないよ
うにして、塗布加工することにより、合成樹脂からなる
保形材をケミカルフィルタの上流側のみに形成した。以
上の処理により、スパンボンド不織布の間に、物理吸着
能力を有する活性炭層を設け、ケミカルフィルタの上流
側のみにホットメルト樹脂加工による保形材を設けた、
保形材付きのケミカルフィルタ素材を得た。その後、図
１のように、保形材付きのケミカルフィルタ素材２を折
高さ４０ｍｍ、山間隔が６ｍｍになるようにひだ折り加
工を施し、ケミカルフィルタ１を作製した。その後、そ
のケミカルフィルタ１の周囲をポリエステル不織布で取
り囲み縦３００ｍｍ、横３００ｍｍ、高さ４０ｍｍのケ
ミカルフィルタユニット（図示せず）を作製した。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below, but these are merely preferred examples for easy understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the contents of these embodiments. (Example 1) As shown in FIG. 4, a polyester spunbonded nonwoven fabric (area density 30 g / m 2 ) was prepared as a support 9, and a surface density 2 of a thermoplastic polyamide resin was formed on one surface.
A hot melt nonwoven fabric of 0 g / m 2 was laminated as an adhesive layer. Then, the activated carbon particles 11 having a particle size 0.3~0.5mm was sprayed so that the amount of 1 m 2 per 350 g / m 2 on the adhesive layer. Subsequently, a steam treatment of about 5 kg / cm 2 is performed for 7 seconds from the side of the support to melt the adhesive layer, and thereafter, the activated carbon particles that are not fixed are removed. Activated carbon particles 11
To obtain a first-layer laminated unit 13a. Further, a thermoplastic polyamide non-woven fabric similar to the above was laminated on the laminated unit 13a in this state, and the activated carbon particles were sprayed, steamed, and activated carbon particles that were not fixed were removed to form a second laminated unit 13b. Thereafter, the stacking unit 13
b, the surface density of a thermoplastic polyethylene resin 2
After laminating the 0 g / m 2 hot melt nonwoven fabric, a laminate of a polyester spunbonded nonwoven fabric 14 of the surface density 30 g / m 2 as a cover material thereon, performing steam treatment from the support side, chemical including the physical adsorption layer Filter material 8
Got. Next, as shown in FIG. 2, a hot melt resin 3 made of polyvinyl acetate was applied to the chemical filter material by a width of 4 mm.
X A line having a length of 40 mm (dimension b), straddling the ridge line, with a 50 mm (dimension a) interval in the width direction of the line, and straddling the valley line. By carrying out coating processing in such a manner, a shape retaining material made of a synthetic resin was formed only on the upstream side of the chemical filter. By the above processing, between the spunbonded nonwoven fabric, an activated carbon layer having physical adsorption capacity was provided, and a shape-retaining material formed by hot melt resin processing was provided only on the upstream side of the chemical filter.
A chemical filter material with a shape-retaining material was obtained. Thereafter, as shown in FIG. 1, a chemical filter material 2 with a shape-retaining material was subjected to a fold folding process so that a folding height was 40 mm and a mountain interval was 6 mm. Thereafter, a chemical filter unit (not shown) having a length of 300 mm, a width of 300 mm, and a height of 40 mm was produced by surrounding the periphery of the chemical filter 1 with a polyester nonwoven fabric.
【0028】（比較例１）ホットメルト樹脂を巾４ｍｍ×長
さ４０ｍｍの大きさの線状に、その線の巾方向に５０ｍ
ｍの間隔をあけて、折り山の線にまたがるようにして、
且つケミカルフィルタ素材の反対面の谷線にまたがるよ
うにして、ケミカルフィルタ素材の上流側と下流側に塗
布加工を施した以外、実施例１と同様にして、図６に示
すケミカルフィルタ２０を作製した。その後、実施例１
と同様にして、ケミカルフィルタユニットを作製した。(Comparative Example 1) A hot melt resin was formed into a linear shape having a size of 4 mm in width and 40 mm in length, and 50 m in the width direction of the line.
With a distance of m, straddle the fold line
A chemical filter 20 shown in FIG. 6 was produced in the same manner as in Example 1 except that the coating process was performed on the upstream and downstream sides of the chemical filter material so as to straddle the valley line on the opposite surface of the chemical filter material. did. Then, Example 1
In the same manner as in the above, a chemical filter unit was produced.
【0029】（比較例２）ホットメルト樹脂を塗布加工しな
いこと以外は実施例１と同様にして、ケミカルフィルタ
を作製した。その後、実施例１と同様にして、ケミカル
フィルタユニットを作製した。Comparative Example 2 A chemical filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the hot melt resin was not applied. Thereafter, a chemical filter unit was manufactured in the same manner as in Example 1.
【0030】（比較例３）ホットメルト樹脂を塗布加工しな
いこと以外は実施例１と同様にして、ケミカルフィルタ
を作製した後、隣り合う折り山相互の間隔を保持する冶
具として、厚さ０．５ｍｍアルミニウムから予め成型さ
れた波状の保形材をケミカルフィルタの上流側と下流側
に挿入してケミカルフィルタを作製した。その後、実施
例１と同様にして、ケミカルフィルタユニットを作製し
た。(Comparative Example 3) A chemical filter was manufactured in the same manner as in Example 1 except that hot melt resin was not applied, and then a jig having a thickness of 0.1 mm was used as a jig for maintaining an interval between adjacent folded ridges. A corrugated shape preform molded from 5 mm aluminum was inserted into the upstream and downstream sides of the chemical filter to produce a chemical filter. Thereafter, a chemical filter unit was manufactured in the same manner as in Example 1.
【0031】本発明のケミカルフィルタの圧力損失、及びガ
ス発生量を評価するため下記の試験方法を用いた。この
うち、ガス発生量の評価はケミカルフィルタ素材または
保形材付きのケミカルフィルタ素材を用いて行った。ま
た、比較例３については、アルミニウム製の波板からの
有機質のガス発生がほとんどないため、ケミカルフィル
タ素材からのガス発生量は、ホットメルト樹脂の保形材
を塗布加工しなかった比較例２と同等と見なされるの
で、ガス発生量の試験は行わず、比較例２と同じ値を推
定値として用いた。 （圧力損失の評価方法）実施例１、比較例１〜３のケミ
カルフィルタユニットを間口３００ｍｍ×３００ｍｍの
ダクトに取り付け、風速３０ｃｍ／ｓｅｃにおけるフィ
ルタユニット前後の圧力損失を測定した。その結果を表
１にまとめた。[0031] The following test methods were used to evaluate the pressure loss and gas generation amount of the chemical filter of the present invention. Among them, the gas generation amount was evaluated using a chemical filter material or a chemical filter material with a shape-retaining material. Further, in Comparative Example 3, since almost no organic gas was generated from the aluminum corrugated sheet, the amount of gas generated from the chemical filter material was set to a value in Comparative Example 2 in which the hot melt resin shape retaining material was not applied. Therefore, the test for the gas generation amount was not performed, and the same value as in Comparative Example 2 was used as the estimated value. (Method of Evaluating Pressure Loss) The chemical filter units of Example 1 and Comparative Examples 1 to 3 were attached to a duct having a width of 300 mm × 300 mm, and pressure loss before and after the filter unit at a wind speed of 30 cm / sec was measured. Table 1 summarizes the results.
【0032】（ケミカルフィルタ素材または保形材付きケミ
カルフィルタ素材からのガス発生量の評価方法）本発明
のケミカルフィルタ素材または保形材付きケミカルフィ
ルタ素材からの発生ガスの評価方法として、ダイナミッ
クヘッドスペース法を用いた。図５はこの方法に用いる
発生ガス捕集装置（ジーエルサイエンス(株)製 ＭＳＴ
Ｄ−２５８Ｍ）である。まず、実施例１、比較例１〜２
のケミカルフィルタ素材または保形材付きケミカルフィ
ルタ素材を、その周縁を覆うことができる内径２．５ｃ
ｍの円筒形のガラスセルの間に挟み込んで周囲をＰＴＦ
Ｅ製テープ（テフロン（登録商標）テープ）で封じ、非
処理気体であるヘリウムガス１７が試料を通過後に再度
回りこんで吸着材に接することのないようにした。次
に、試料がはめ込まれたセル１５を、発生ガス捕集装置
のチャンバー１６の中央の噴出し口１９の上に置いた。
このとき実施例１の保形材付きケミカルフィルタ素材の
場合は、ホットメルト加工面が非処理気体が流れる上流
側になるように設置した。次いで、清浄なヘリウムガス
１７を流速２４０ｍｌ／ｍｉｎで連続的に流通させなが
らチャンバー内を８０℃に加熱して、３０分間後に捕集
速度１００ｍｌ／ｍｉｎで固体吸着材１８（成分；2,6
‐diphenylene oxiside）に２０分間捕集した。次いで
固体吸着材１８に捕集した物質をガスクロマトグラフ質
量分析計（(株)島津製作所製 ＱＰ−５０５０を使用）
で分析し、ケミカルフィルタ素材または保形材付きケミ
カルフィルタ素材からのガス発生量を計算した。ガス発
生量（μｇ／ｍ２・ｈｒ）は、ケミカルフィルタ素材ま
たは保形材付きケミカルフィルタ素材の単位面積
（ｍ２）あたり、単位時間（ｈｒ）あたりの発生量（μ
ｇ）をトルエン換算で計算して求めた。(Evaluation Method of Gas Generation Amount from Chemical Filter Material or Chemical Filter Material with Shape Retaining Material) As a method for evaluating gas generated from the chemical filter material or the chemical filter material with shape retaining material of the present invention, dynamic head space Method was used. FIG. 5 shows a generated gas collecting apparatus (MST manufactured by GL Sciences Inc.) used in this method.
D-258M). First, Example 1, Comparative Examples 1-2
Inner diameter 2.5c capable of covering the peripheral edge of the chemical filter material or the shape-retaining chemical filter material
m between glass cells of cylindrical shape
The sample was sealed with a tape made of E (Teflon (registered trademark) tape) so that the helium gas 17, which is a non-treatment gas, passed around the sample again and did not come into contact with the adsorbent. Next, the cell 15 into which the sample was fitted was placed on the ejection port 19 at the center of the chamber 16 of the generated gas collecting device.
At this time, in the case of the chemical filter material with the shape-retaining material of Example 1, the hot-melt processing surface was installed so as to be on the upstream side where the non-processed gas flows. Next, the inside of the chamber was heated to 80 ° C. while continuously flowing clean helium gas 17 at a flow rate of 240 ml / min. After 30 minutes, the solid adsorbent 18 (components: 2,6) was collected at a collection rate of 100 ml / min.
-Diphenylene oxiside) for 20 minutes. Next, the substance collected on the solid adsorbent 18 was subjected to gas chromatography / mass spectrometry (using QP-5050 manufactured by Shimadzu Corporation).
And the amount of gas generated from the chemical filter material or the chemical filter material with a shape-retaining material was calculated. The amount of gas generation (μg / m 2 · hr) is calculated based on the amount of generation (μ 2 ) per unit area (m 2 ) per unit time (hr) of the chemical filter material or the chemical filter material with shape-retaining material.
g) was calculated and calculated in terms of toluene.
【0033】[0033]
【表１】ケミカルフィルタの圧力損失とガス発生量 [Table 1] Pressure loss and gas generation amount of chemical filter
【0034】実施例１に示すように、上流側のみにポリエチ
レン樹脂の保形材を設けた本発明のケミカルフィルタで
は、その下流側で発生する発生ガス量は、８０℃におけ
るトルエン換算で４０μｇ／ｍ２・ｈｒであり、この値
は保形材を使用しなかった比較例２の３７μｇ／ｍ２・
ｈｒに匹敵する低い値である。これに対して、上流側及
び下流側にポリエチレン樹脂の保形材を設けた比較例１
では、発生ガス量が７０００μｇ／ｍ２・ｈｒと高い値
を示している。また、比較例２では保形材を用いなかっ
たために、ケミカルフィルタのひだが変形して、圧力損
失が高くなってしまい、長期間の使用が困難であった。
また、比較例３では保形材としてアルミニウム製の波板
を用いたため、発生するガス状汚染物質量は少ないもの
の、圧力損失が高くなってしまい、また重量が重くなっ
てしまったためケミカルフィルタとして用いることがで
きなかった。このように、本発明のケミカルフィルタに
よれば、合成樹脂製の保形材を用いているにもかかわら
ず、発生するガス状汚染物質量を極めて少なくすること
ができる。[0034] As shown in Example 1, in the chemical filter of the present invention in which a polyethylene resin shape-retaining material is provided only on the upstream side, the amount of generated gas on the downstream side is 40 µg / 80% in toluene conversion. m 2 · hr, which is 37 μg / m 2 · m of Comparative Example 2 in which no shape-retaining material was used.
It is a low value comparable to hr. On the other hand, Comparative Example 1 in which a polyethylene resin shape-retaining material was provided on the upstream and downstream sides
Shows that the generated gas amount is as high as 7000 μg / m 2 · hr. In Comparative Example 2, since no shape-retaining material was used, the folds of the chemical filter were deformed and the pressure loss was increased, making it difficult to use the filter for a long time.
Further, in Comparative Example 3, an aluminum corrugated plate was used as a shape-retaining material, and although the amount of gaseous pollutants generated was small, the pressure loss was high and the weight was heavy, so that it was used as a chemical filter. I couldn't do that. As described above, according to the chemical filter of the present invention, the amount of gaseous pollutants generated can be extremely reduced despite the use of the synthetic resin shape retaining material.
【0035】[0035]
【発明の効果】本発明のケミカルフィルタは、クリーン
ルームなどでケミカルフィルタユニットとして使用した
場合、重量も重くならず、圧力損失が低く、しかもケミ
カルフィルタ自身よりガス状汚染物質が発生しないか、
または発生するガス状汚染物質が極めて少なく、クリー
ンルーム内の製品などへ悪影響を及ぼすことがない。When the chemical filter of the present invention is used as a chemical filter unit in a clean room or the like, the weight does not increase, the pressure loss is low, and furthermore, whether or not gaseous pollutants are generated from the chemical filter itself.
In addition, generated gaseous pollutants are extremely small, and do not adversely affect products in a clean room.
【図１】本発明のケミカルフィルタFIG. 1 is a chemical filter of the present invention.
【図２】本発明のケミカルフィルタのひだ折り加工前の
図FIG. 2 is a diagram of a chemical filter of the present invention before a fold processing.
【図３】本発明のケミカルフィルタの保形材が異なる一
例FIG. 3 shows an example of the chemical filter of the present invention having different shape-retaining materials.
【図４】本発明のケミカルフィルタの物理吸着層の一例
の模式的断面図FIG. 4 is a schematic sectional view of an example of a physical adsorption layer of the chemical filter of the present invention.
【図５】ダイナミックヘッドスペース法に用いる発生ガ
ス捕集装置の説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of a generated gas collecting device used for a dynamic headspace method.
【図６】従来のケミカルフィルタ または 従来のエア
フィルタFIG. 6: Conventional chemical filter or conventional air filter
１ ケミカルフィルタ ２ 物理吸着層を含むケミカルフィルタ素材 ３ 保形材 ４ ひだ折りの山または山線 ５ ひだ折りの谷または谷線 ６ 披処理気体の通過方向 ７ ひだ折り加工前のケミカルフィルタ ８ 物理吸着層 ９ 支持体 １０ 連結部 １１ 物理吸着材 １２ 樹脂凝集部 １３ 積層単位 １４ カバー材 １５ 試料 １６ チャンバー １７ ヘリウムガス １８ 固体吸着剤 １９ ガス吹出し口 ２０ 従来のケミカルフィルタ または 従来のエアフ
ィルタREFERENCE SIGNS LIST 1 chemical filter 2 chemical filter material including physical adsorption layer 3 shape-retaining material 4 fold ridge or mountain line 5 fold valley or valley line 6 gas passing direction 7 chemical filter before fold processing 8 physical adsorption Layer 9 Support 10 Connecting part 11 Physical adsorbent 12 Resin aggregation part 13 Stacking unit 14 Cover material 15 Sample 16 Chamber 17 Helium gas 18 Solid adsorbent 19 Gas outlet 20 Conventional chemical filter or conventional air filter
Claims (4)
あって、該ケミカルフィルタは物理吸着層を含み、該ケ
ミカルフィルタの上流側にのみ合成樹脂製の保形材を有
することを特徴とするケミカルフィルタ。Claims: 1. A chemical filter which is subjected to a fold-folding process, wherein the chemical filter includes a physical adsorption layer, and has a synthetic resin shape retaining material only on the upstream side of the chemical filter. .
のみからなることを特徴とする請求項１に記載のケミカ
ルフィルタ。2. The chemical filter according to claim 1, wherein the adsorbent of the physical adsorption layer comprises only a physical adsorbent.
ら成る連結部と樹脂凝集部とで構成されたウエブの一方
の表面に、該樹脂凝集部を介して物理吸着粉粒体を固着
してなる積層単位を有し、該ウエブの他方の表面と、他
の積層単位を構成する物理吸着粉粒体とが樹脂凝集部を
介して固着して成ることを特徴とする請求項１または２
に記載のケミカルフィルタ。3. The physical adsorption layer is formed by fixing a physical adsorption powder particle to one surface of a web composed of a connection portion made of a hot melt resin and a resin aggregation portion via the resin aggregation portion. 3. The web according to claim 1, wherein the other surface of the web and the physisorbed powder constituting the other laminated unit are fixed to each other via a resin aggregation portion.
Chemical filter according to 1.
とを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のケミカル
フィルタ。4. The chemical filter according to claim 1, wherein the shape-retaining material is a hot melt resin.
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Cited By (4)
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|---|---|---|---|---|
| JP2008126097A (en) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Nitto Denko Corp | Filter unit, method for manufacturing the same, and filter medium |
| JP2009293531A (en) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Tigers Polymer Corp | Sound absorbing material and sound absorbing duct system |
| WO2010101520A1 (en) * | 2009-03-02 | 2010-09-10 | Camfil Ab | Regenerable pleated filter medium |
| JP2014113532A (en) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Nitto Denko Corp | Filter medium and method for producing filter medium |
-
2001
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008126097A (en) * | 2006-11-16 | 2008-06-05 | Nitto Denko Corp | Filter unit, method for manufacturing the same, and filter medium |
| JP2009293531A (en) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Tigers Polymer Corp | Sound absorbing material and sound absorbing duct system |
| WO2010101520A1 (en) * | 2009-03-02 | 2010-09-10 | Camfil Ab | Regenerable pleated filter medium |
| CN102387849A (en) * | 2009-03-02 | 2012-03-21 | 康斐尔有限公司 | Renewable Pleated Filter Media |
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| JP2014113532A (en) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Nitto Denko Corp | Filter medium and method for producing filter medium |
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