JP2003086724A - Semiconductor device and fingerprint detection device - Google Patents
Semiconductor device and fingerprint detection deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 外部への開口や記憶装置などを備えていて
も、小型・薄型化を可能とし、かつ低コスト化を図る。
【解決手段】 指紋検知装置101は、上部樹脂部材1
02と下部樹脂部材103とを組合わせて形成するパッ
ケージ内に、指紋検知素子1と記憶素子12とを実装し
ている。指紋検知素子1は、指紋検知部9が上部樹脂部
材102の開口部7から露出し、指紋20の幾何学的情
報を検知し、電気信号に変換する。指紋検知素子1が検
知した幾何学的情報を、記憶素子12に予め記憶させて
おいた情報と比較すれば、個人認証などを指紋20によ
って行うことができる。指紋検知素子1と記憶素子12
とが一体的なパッケージに実装されるので、小型化や薄
型化を図り、別個に配線基板に実装する場合に比較し
て、著しい低コスト化を図ることができる。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To reduce the size and thickness and to reduce the cost even if an external opening or a storage device is provided. SOLUTION: A fingerprint detecting device 101 includes an upper resin member 1.
The fingerprint detection element 1 and the storage element 12 are mounted in a package formed by combining the second resin member 02 and the lower resin member 103. In the fingerprint detecting element 1, the fingerprint detecting section 9 is exposed from the opening 7 of the upper resin member 102, detects the geometric information of the fingerprint 20, and converts it into an electric signal. If the geometric information detected by the fingerprint detecting element 1 is compared with information stored in the storage element 12 in advance, personal authentication or the like can be performed by the fingerprint 20. Fingerprint detection element 1 and storage element 12
Since the components are mounted in an integrated package, the size and thickness can be reduced, and the cost can be significantly reduced as compared with the case where the components are separately mounted on a wiring board.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、指紋検知などのた
めに開口部を有するパッケージに実装される半導体装置
および指紋検知装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device and a fingerprint detection device mounted in a package having an opening for fingerprint detection and the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、インターネットの普及を背景に、
情報の電子化やネットワーク化が急速に進展しており、
同時に企業情報や個人情報の管理の重要性が高まってき
ている。このような情報を安全に利用するためには、情
報へのアクセスの際に、利用者の資格を何らかの方法に
よって認証する必要がある。従来は、利用者毎に認証番
号を予め定めておき、さらにパスワードを設定して個人
認証を行っている。しかしながら、従来の認証番号とパ
スワードによる個人認証では、盗用やなりすまし等の危
険性が増大してきており、一層秘匿性の高い個人認証が
求められるようになってきている。2. Description of the Related Art In recent years, with the spread of the Internet,
The digitization and networking of information is progressing rapidly,
At the same time, the importance of managing corporate information and personal information is increasing. In order to use such information safely, it is necessary to authenticate the user's qualification by some method when accessing the information. Conventionally, an authentication number is set in advance for each user, and a password is set to perform individual authentication. However, in the conventional personal authentication using the authentication number and password, the risk of plagiarism, spoofing, etc. is increasing, and personal authentication with higher confidentiality is being demanded.
【0003】このような背景を基に、指紋や虹彩等の万
人不同でかつ終生不変な生物学的な特徴を利用した個人
認証手法が拡がりつつある。特に指紋認証に関しては、
指紋検知素子の小型化が可能であり、かつ長年の研究に
より高精度の照合アルゴリズムが確立されているため、
パーソナルコンピュータヘのログイン手段としての利用
を中心に、急速に普及してきている。On the basis of such a background, a personal authentication method utilizing biological characteristics such as fingerprints and iris that are invariant to everyone and are constant throughout life is spreading. Especially regarding fingerprint authentication,
Since the fingerprint sensor can be miniaturized and a highly accurate matching algorithm has been established through many years of research,
It is rapidly spreading, mainly for use as a login means for personal computers.
【0004】指紋認証に用いられる指紋検知装置の原理
は、光学方式と半導体方式とに大別される。光学方式の
指紋検知装置は、レンズやプリズム等の部品点数が多く
なり、また光学寸法の制約から一定以上の小型化は困難
である。一方、半導体方式の装置は、容易に小型化が図
れるため、携帯電話や携帯情報端末への搭載も可能であ
る。The principle of a fingerprint detection device used for fingerprint authentication is roughly classified into an optical system and a semiconductor system. The optical fingerprint detection device has a large number of parts such as lenses and prisms, and it is difficult to downsize the optical fingerprint detection device to a certain size or more due to optical size restrictions. On the other hand, the semiconductor type device can be easily downsized, and thus can be mounted on a mobile phone or a mobile information terminal.
【0005】半導体方式の指紋検知装置は、個人に特有
な幾何学的指紋情報を、指紋検知素子表面の指紋検知部
で、静電容量の変化や圧力の変化等から電気信号に変換
する機構であるめ、必然的に指紋検知部が装置外部に露
出する構造とすることが要求される。但し、一部体温の
変化を電気信号に変換する指紋検知素子の場合は、検知
部表面に保護を目的として樹脂を塗布することも可能で
はあるが、検知部上の塗膜はそれ以外の外皮と比べ遙か
に薄くする必要がある。The semiconductor type fingerprint detecting device is a mechanism for converting geometric fingerprint information peculiar to an individual into an electric signal from a change in capacitance or a change in pressure at a fingerprint detecting portion on the surface of the fingerprint detecting element. Therefore, it is inevitably required that the fingerprint detection unit be exposed to the outside of the device. However, in the case of a fingerprint detection element that partially converts a change in body temperature into an electric signal, it is possible to apply resin to the surface of the detection part for protection, but the coating on the detection part is not covered by other skins. It needs to be much thinner than.
【0006】このように指紋検知素子の検知部を外部に
露出させる指紋検知装置としては、特開平9−2892
68号公報に開示の構成が知られている。以下、図8お
よび図9を用いて、従来の指紋検知装置の構造を説明す
る。As a fingerprint detecting device for exposing the detecting portion of the fingerprint detecting element to the outside as described above, Japanese Patent Laid-Open No. 9-2892
The configuration disclosed in Japanese Patent No. 68 is known. The structure of the conventional fingerprint detecting device will be described below with reference to FIGS. 8 and 9.
【0007】図8は従来の指紋検知装置30の概略的な
構造を示す。図8において、半導体素子として形成され
る指紋検知素子31は、42%のニッケル(Ni)を鉄
(Fe)中に含む高ニッケル鉄合金である42アロイ等
の金属からなるリードフレーム32上に、銀(Ag)ペ
ースト等のダイボンド用の接着剤33を介して搭載され
る。指紋検知素子31上の電極パッド34は、金(A
u)等からなる金属細線35を介して、リードフレーム
32で外部に引出されているリード部36と接続され
る。指紋検知素子31表面には、指紋検知部37が形成
される。指紋検知部37の表面には、一時的に、除去可
能な保護膜(図示せず)が被覆される。成形金型(図示
せず)に、保護膜で指紋検知部37を被覆している指紋
検知素子31を搭載したリードフレーム32を挟み、エ
ポキシ樹脂等からなる封止樹脂38を圧入して固めるこ
とによって、パッケージ39が得られる。そして、前述
の保護膜を所定の溶剤等で除去し、指紋検知部37を外
部に露出させることによって、指紋検知装置30が得ら
れる。外部に露出させた指紋検知部37に、指先の指紋
40を接触させれば、指紋検知素子31に接続されてい
るリード部36には、指紋40に対応する電気信号が得
られる。FIG. 8 shows a schematic structure of a conventional fingerprint detecting device 30. In FIG. 8, a fingerprint detection element 31 formed as a semiconductor element is provided on a lead frame 32 made of a metal such as 42 alloy which is a high nickel iron alloy containing 42% nickel (Ni) in iron (Fe). It is mounted via a die-bonding adhesive 33 such as silver (Ag) paste. The electrode pad 34 on the fingerprint detection element 31 is made of gold (A
It is connected to the lead portion 36 that is led out to the outside by the lead frame 32 via the thin metal wire 35 made of u) or the like. A fingerprint detecting section 37 is formed on the surface of the fingerprint detecting element 31. The surface of the fingerprint detection unit 37 is temporarily covered with a removable protective film (not shown). A lead frame 32 having a fingerprint detection element 31 covering the fingerprint detection portion 37 with a protective film is sandwiched in a molding die (not shown), and a sealing resin 38 made of epoxy resin or the like is press-fitted and hardened. A package 39 is obtained by Then, the above-mentioned protective film is removed with a predetermined solvent or the like, and the fingerprint detection unit 37 is exposed to the outside, whereby the fingerprint detection device 30 is obtained. When the fingerprint detection unit 37 exposed to the outside is brought into contact with the fingerprint 40 of the fingertip, an electric signal corresponding to the fingerprint 40 is obtained at the lead unit 36 connected to the fingerprint detection element 31.
【0008】図9は前述の指紋検知装置30から得られ
る指紋情報の電気信号を、外部の記憶装置50に保存さ
せる場合として想定される概略な装置構成を示す。図9
において、指紋検知装置30は、ガラスエポキシ等の有
機材料からなり、所定の導電性配線パターン(図示せ
ず)が形成されている配線基板51上に搭載される。導
電性配線パターンには所定のランドパターン52が形成
されている。指紋検知装置30のリード部36がランド
パターン52に、はんだ材料53によって接続すること
で、配線基板51と指紋検知装置30との電気的接続が
得られる。FIG. 9 shows a schematic device configuration which is assumed when an electric signal of fingerprint information obtained from the fingerprint detection device 30 is stored in an external storage device 50. Figure 9
In, the fingerprint detecting device 30 is made of an organic material such as glass epoxy and is mounted on the wiring board 51 on which a predetermined conductive wiring pattern (not shown) is formed. A predetermined land pattern 52 is formed on the conductive wiring pattern. By connecting the lead portion 36 of the fingerprint detecting device 30 to the land pattern 52 with the solder material 53, the wiring board 51 and the fingerprint detecting device 30 can be electrically connected.
【0009】一方、半導体集積回路チップからなる記憶
素子54は、42アロイ等からなるリードフレーム55
上に、Agペースト等の接着剤56を介して搭載され
る。記憶素子54上の電極パッド57は、Au等からな
る金属細線58を介して、リードフレーム55のリード
部59と接続される。成形金型(図示せず)に記憶素子
54を搭載しているリードフレーム55を挟み、エポキ
シ樹脂等からなる封止樹脂60を注入して固めることに
よって、パッケージ61が得られ、記憶装置50として
製造することができる。記憶装置50は、リード部59
が所定のランドパターン62上に、はんだ材料63によ
って接続されることで、配線基板51と電気的接続を得
ることができる。On the other hand, the memory element 54 made of a semiconductor integrated circuit chip has a lead frame 55 made of 42 alloy or the like.
It is mounted on top with an adhesive 56 such as Ag paste. The electrode pad 57 on the memory element 54 is connected to the lead portion 59 of the lead frame 55 via a thin metal wire 58 made of Au or the like. A lead frame 55 carrying the memory element 54 is sandwiched between molding dies (not shown), and a sealing resin 60 made of epoxy resin or the like is injected and solidified to obtain a package 61, which serves as the memory device 50. It can be manufactured. The storage device 50 includes a lead unit 59.
By being connected to the predetermined land pattern 62 by the solder material 63, the electrical connection with the wiring board 51 can be obtained.
【0010】所定の電気的接続が施された後、指紋検知
装置30の露出した指紋検知部37に任意の指紋40を
押しつければ、指紋検知部37の表面には、個人に特有
な幾何学的な指紋に対応する静電容量の変化、圧力の変
化、若しくは熱的な変化等の分布パターンが発生し、こ
れを所定の電気信号に変換することによって、指紋情報
が得られる。この情報は、記憶装置50に電気的に保存
され、個人認証が必要な際には、指紋検知素子31にて
電気信号に変換された指紋情報が、所定のアルゴリズム
を介して予め記憶装置50内に登録されている指紋情報
と比較照合されることで、個人を特定することができ
る。After a predetermined electrical connection is made, if an arbitrary fingerprint 40 is pressed against the exposed fingerprint detecting portion 37 of the fingerprint detecting device 30, the surface of the fingerprint detecting portion 37 will have a geometrical shape peculiar to an individual. Fingerprint information is obtained by generating a distribution pattern such as a change in capacitance, a change in pressure, or a thermal change corresponding to a typical fingerprint, and converting the distribution pattern into a predetermined electric signal. This information is electrically stored in the storage device 50, and when personal authentication is required, the fingerprint information converted into an electric signal by the fingerprint detection element 31 is stored in advance in the storage device 50 via a predetermined algorithm. Individuals can be specified by comparing and collating with the fingerprint information registered in.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報記載の構造を有する指紋検知装置30の場合、一時的
に保護膜で指紋の検知部を覆ってからパッケージ39を
形成し、その後に保護膜を除去するなどの工程が必要と
なり、製造方法が非常に煩雑である。このため、高コス
ト化が避けられない。また指紋認証にて個人を特定し情
報にアクセスする際には、予め指紋検知素子31にて電
気信号に変換され、記憶装置50内に保存された指紋情
報と比較照合するプロセスが必要となる。上記公報記載
の指紋検知装置30では、内部に記憶装置50を配置す
る手法は提供されていない。このため、図9で想定して
いるように、必然的に指紋検知装置30の外部に記憶装
置50を配置しなけらぱならず、機器の大型化、高コス
ト化を招いてしまう。近年のように、インターネットの
普及に伴って高まっている指紋検知装置の携帯電話や携
帯情報端末への搭載に対し、高コスト化と大型化とは大
きな障害となっている。However, in the case of the fingerprint detecting device 30 having the structure described in the above publication, the protective film is temporarily covered with the fingerprint detecting portion to form the package 39, and then the protective film is formed. A process such as removal is required, and the manufacturing method is very complicated. Therefore, cost increase is inevitable. Further, when identifying an individual by fingerprint authentication and accessing the information, a process of comparing and collating with the fingerprint information which is converted into an electric signal in advance by the fingerprint detecting element 31 and stored in the storage device 50 is required. The fingerprint detection device 30 described in the above publication does not provide a method of arranging the storage device 50 inside. Therefore, as assumed in FIG. 9, the storage device 50 must be necessarily arranged outside the fingerprint detection device 30, which leads to an increase in size and cost of the device. As in recent years, increasing the cost and increasing the size of a fingerprint detection device mounted on a mobile phone or a mobile information terminal has become a major obstacle to mounting the fingerprint detection device on the mobile phone and the mobile information terminal.
【0012】本発明の目的は、外部への開口や記憶装置
などを備えていても、小型・薄型化が可能で、かつ低コ
ストな半導体装置および指紋検知装置を提供することで
ある。An object of the present invention is to provide a semiconductor device and a fingerprint detecting device which can be made small and thin and which is low in cost even if it has an opening to the outside and a storage device.
【0013】[0013]
【課題を解決するための手段】本発明は、1以上の開口
部を有し、かつ導電性配線パターンが選択的に形成され
ている第1のパッケージ部材と、導電性配線パターンが
選択的に形成されている第2のパッケージ部材と、予め
定める能動部が第1のパッケージ部材の開口部と重な
り、かつ第1のパッケージ部材の導電性配線パターンに
対する電気的接続が行われるように搭載される第1の半
導体素子と、第2のパッケージ部材に、該第2のパッケ
ージ部材の導電性配線パターンに対する電気的接続が行
われるように搭載される第2の半導体素子とを含み、第
1のパッケージ部材および第2のパッケージ部材は、第
1の半導体素子と第2の半導体素子とを内部に収容し、
導電性配線パターンが相互に接続されるように組合わさ
れて、該開口部が外部に開口するパッケージを形成する
ことを特徴とする半導体装置である。According to the present invention, a first package member having one or more openings and in which a conductive wiring pattern is selectively formed, and a conductive wiring pattern are selectively formed. The formed second package member and the predetermined active portion are mounted so as to overlap the opening of the first package member and to be electrically connected to the conductive wiring pattern of the first package member. A first package including a first semiconductor element and a second semiconductor element mounted on the second package member so as to be electrically connected to the conductive wiring pattern of the second package member; The member and the second package member house the first semiconductor element and the second semiconductor element inside,
The semiconductor device is characterized in that the conductive wiring patterns are combined so as to be connected to each other to form a package in which the opening is opened to the outside.
【0014】本発明に従えば、第1の半導体素子と第2
の半導体素子とを含む半導体装置を、第1の半導体素子
を搭載する第1のパッケージ部材と、第2の半導体素子
を搭載する第2のパッケージ部材とを組合わせてパッケ
ージを形成し、製造することができる。第1のパッケー
ジ部材は、1以上の開口部を有し、かつ導電性配線パタ
ーンが選択的に形成されている。第1の半導体素子は、
予め定める能動部が第1のパッケージ部材の開口部と重
なり、かつ第1のパッケージ部材の導電性配線パターン
に対する電気的接続が行われるように、第1のパッケー
ジ部材に搭載される。第2の半導体素子は、第2のパッ
ケージ部材に、該第2のパッケージ部材の導電性配線パ
ターンに対する電気的接続が行われるように搭載され
る。第1のパッケージ部材と第2のパッケージ部材とを
形成しておき、第1の半導体素子と第2の半導体素子と
をそれぞれ搭載し、第1のパッケージ部材と第2のパッ
ケージ部材とを組合わせれば、導電性配線パターン相互
の電気的接続が行われ、半導体装置を製造することがで
きる。第1の半導体素子と第2の半導体素子とが開口部
を有するパッケージに実装される半導体装置を簡単な製
造工程で、低コストで製造することができる。第1の半
導体素子としては外部への露出が必要なセンサなどを用
い、第2の半導体素子としては記憶用のメモリ素子など
を用いて、半導体装置の小型化や薄型化を図ることがで
きる。According to the present invention, the first semiconductor element and the second semiconductor element
And manufacturing a semiconductor device including the semiconductor element, the first package member having the first semiconductor element mounted thereon, and the second package member having the second semiconductor element mounted thereon to form a package. be able to. The first package member has one or more openings, and conductive wiring patterns are selectively formed. The first semiconductor element is
The predetermined active portion is mounted on the first package member such that the active portion overlaps with the opening of the first package member and is electrically connected to the conductive wiring pattern of the first package member. The second semiconductor element is mounted on the second package member so as to be electrically connected to the conductive wiring pattern of the second package member. The first package member and the second package member are formed in advance, the first semiconductor element and the second semiconductor element are mounted respectively, and the first package member and the second package member are combined. For example, the conductive wiring patterns are electrically connected to each other, and the semiconductor device can be manufactured. A semiconductor device in which a first semiconductor element and a second semiconductor element are mounted in a package having an opening can be manufactured at a low cost by a simple manufacturing process. By using a sensor or the like that needs to be exposed to the outside as the first semiconductor element and using a memory element for storage or the like as the second semiconductor element, the semiconductor device can be downsized or thinned.
【0015】また本発明で、前記第1の半導体素子は、
指紋検知素子であることを特徴とする。According to the present invention, the first semiconductor element is
It is a fingerprint detection element.
【0016】本発明に従えば、第1の半導体素子として
指紋検知素子を用い、指紋の検知機能を有する半導体装
置を、小型化や薄型化を図り、かつ低コストで製造する
ことができる。According to the present invention, a fingerprint detecting element is used as the first semiconductor element, and a semiconductor device having a fingerprint detecting function can be miniaturized and thinned and manufactured at low cost.
【0017】また本発明で、前記第2の半導体素子は、
記憶素子であることを特徴とする。本発明に従えば、開
口部に一部を露出させる第1の半導体素子とともに、第
2の半導体素子として記憶素子を含むので、第1の半導
体素子で外部から検知する情報などを、記憶素子に記憶
することができる半導体装置を、小型化や薄型化を図
り、かつ低コストで製造することができる。In the present invention, the second semiconductor element may be
It is a storage element. According to the present invention, the memory element is included as the second semiconductor element together with the first semiconductor element that is partially exposed in the opening. Therefore, information that is externally detected by the first semiconductor element is stored in the memory element. A storable semiconductor device can be manufactured at a low cost with downsizing and thinning.
【0018】また本発明で、前記第2のパッケージ部材
に選択的に形成されている導電性配線パターンは、前記
第2の半導体素子を搭載する領域から外部に延伸してい
ることを特徴とする。Further, in the present invention, the conductive wiring pattern selectively formed on the second package member extends outward from a region where the second semiconductor element is mounted. .
【0019】本発明に従えば、第2のパッケージ部材に
第2の半導体素子を搭載すれば、第2のパッケージ部材
に選択的に形成されている導電性配線パターンが第2の
半導体素子を搭載する領域から外部に延伸しているの
で、第2の半導体素子と外部との電気的接続を容易に行
うことができる。According to the present invention, when the second semiconductor element is mounted on the second package member, the conductive wiring pattern selectively formed on the second package member mounts the second semiconductor element. Since it extends from the region to the outside, the second semiconductor element and the outside can be easily electrically connected.
【0020】また本発明で、前記第1のパッケージ部材
または前記第2のパッケージ部材のうちの少なくとも一
方は、難メッキ性樹脂材料を射出成形して得られる立体
物と、該立体物の表面に選択的に射出成形される易メッ
キ性樹脂材料とを含み、前記導電性配線パターンは、該
易メッキ性樹脂材料の表面に形成される無電解メッキ層
からなることを特徴とする。Further, according to the present invention, at least one of the first package member and the second package member has a three-dimensional object obtained by injection-molding a hard-to-plate resin material and a three-dimensional object on the surface of the three-dimensional object. And an electroless plating layer selectively formed by injection molding, wherein the conductive wiring pattern is formed of an electroless plating layer formed on the surface of the easily plating resin material.
【0021】本発明に従えば、第1のパッケージ部材ま
たは第2のパッケージ部材のうちの少なくとも一方を、
射出成形と無電解メッキとで製造することができる。難
メッキ性樹脂材料を射出成形して形成される立体物の表
面に、易メッキ性樹脂材料を選択的に射出成形すること
は、成形用の型があれば迅速に、量産性よく行うことが
できる。成形されたパッケージ部材に無電解メッキを行
えば、易メッキ性樹脂材料に導電性の無電解メッキ層が
付着し、導電性配線パターンを容易に得ることができ
る。According to the invention, at least one of the first package member or the second package member is
It can be manufactured by injection molding and electroless plating. Selective injection molding of the easy-plating resin material on the surface of a three-dimensional object formed by injection-molding a hard-to-plate resin material can be performed quickly and with good mass productivity if there is a molding die. it can. When electroless plating is performed on the molded package member, a conductive electroless plating layer is attached to the easily-platable resin material, and a conductive wiring pattern can be easily obtained.
【0022】また本発明で、前記第1の半導体素子また
は前記第2の半導体素子のうちの少なくとも一方は、前
記第1のパッケージ部材または前記第2のパッケージ部
材に形成されている導電性配線パターンと電気的に接続
するために、予め形成されている金属突起電極を備える
ことを特徴とする。In the present invention, at least one of the first semiconductor element and the second semiconductor element is a conductive wiring pattern formed on the first package member or the second package member. It is characterized in that it is provided with a metal projection electrode which is formed in advance for electrically connecting with.
【0023】本発明に従えば、第1の半導体素子または
第2の半導体素子のうちの少なくとも一方に予め形成さ
れている金属突起電極を使用して、第1のパッケージ部
材または第2のパッケージ部材に形成されている導電性
配線パターンとの電気的接続を容易に行うことができ
る。According to the present invention, the first package member or the second package member is formed by using the metal projection electrode previously formed on at least one of the first semiconductor element and the second semiconductor element. Electrical connection with the conductive wiring pattern formed on the substrate can be easily performed.
【0024】また本発明は、柔軟な有機基材上に選択的
に導電性配線パターンが形成されている接続配線部材を
さらに含み、前記金属突起電極を備える半導体素子は、
該金属突起電極が該接続配線部材の導電性配線パターン
に接続され、該導電性パターンを介して、前記パッケー
ジ部材に形成されている導電性配線パターンと電気的に
接続されることを特徴とする。Further, the present invention further comprises a connection wiring member in which a conductive wiring pattern is selectively formed on a flexible organic base material, and the semiconductor element having the metal projection electrode is
The metal bump electrode is connected to a conductive wiring pattern of the connection wiring member, and is electrically connected to a conductive wiring pattern formed on the package member via the conductive pattern. .
【0025】本発明に従えば、半導体素子に備えられる
金属突起電極とパッケージ部材の導電性配線パターンと
を電気的に接続する際に、柔軟な有機基材上に選択的に
導電性配線パターンが形成されている接続配線部材を介
して行うので、半導体素子に応力などがかからないよう
にすることができる。According to the present invention, when electrically connecting the metal projection electrode provided in the semiconductor element and the conductive wiring pattern of the package member, the conductive wiring pattern is selectively formed on the flexible organic base material. Since the connection wiring member is formed, the semiconductor element can be prevented from being stressed.
【0026】また本発明で、前記第2の半導体素子は、
金属細線を介して、前記第2のパッケージ部材に形成さ
れている導電性配線パターンと電気的に接続されること
を特徴とする。In the present invention, the second semiconductor element may be
It is characterized in that it is electrically connected to the conductive wiring pattern formed on the second package member through the thin metal wire.
【0027】本発明に従えば、半導体集積回路のアセン
ブリ工程で一般的に使用されているワイヤボンドで、第
2の半導体素子と第2のパッケージ部材に形成されてい
る導電性配線パターンとを、金属細線を介して電気的に
接続することができる。According to the present invention, the second semiconductor element and the conductive wiring pattern formed on the second package member are formed by wire bonding generally used in the assembly process of the semiconductor integrated circuit. It can be electrically connected via a thin metal wire.
【0028】また本発明は、前記第1のパッケージ部材
の開口部に臨む前記第1の半導体素子の能動部に、保護
樹脂が配設されることを特徴とする。Further, the present invention is characterized in that a protective resin is disposed on the active portion of the first semiconductor element facing the opening of the first package member.
【0029】本発明に従えば、第1のパッケージ部材の
開口部に臨む第1の半導体素子の能動部を、保護樹脂で
保護して信頼性を高めることができる。According to the present invention, the active portion of the first semiconductor element facing the opening of the first package member can be protected by the protective resin to enhance reliability.
【0030】また本発明で、前記第1のパッケージ部材
の開口部に臨む第1の半導体素子は、該開口部と隣接す
る周囲が、前記保護樹脂によって覆われていることを特
徴とする。Further, in the invention, the first semiconductor element facing the opening of the first package member is characterized in that the periphery adjacent to the opening is covered with the protective resin.
【0031】本発明に従えば、第1の半導体素子は、第
1のパッケージ部材の開口部と隣接する周囲が保護樹脂
によって覆われているので、開口部で露出している部分
を除いて、能動部の周囲や半導体装置のパッケージ内部
を確実に保護することができる。According to the present invention, since the first semiconductor element has the periphery adjacent to the opening of the first package member covered with the protective resin, except for the portion exposed at the opening, It is possible to surely protect the periphery of the active portion and the inside of the package of the semiconductor device.
【0032】さらに本発明は、半導体基板の一方表面に
指先を接触させて指紋を検知するための指紋検知部を有
する指紋検知素子と、指紋検知素子によって検知される
指紋情報の処理に関連する機能を半導体基板に備える指
紋情報素子とを、パッケージ内に実装して形成される指
紋検知装置であって、該パッケージは、該指紋検知素子
を搭載する上部パッケージ部材と、該指紋情報素子を搭
載して、該上部パッケージ部材と組合わされる下部パッ
ケージ部材とを含み、該上部パッケージ部材は、1以上
の開口部を有し、かつ導電性配線パターンが選択的に形
成され、該指紋検知素子を、指紋検知部が該開口部に配
置され、かつ該導電性配線パターンに対する電気的接続
が行われるように搭載し、該下部パッケージ部材は、組
合わせ時に上部パッケージ部材の導電性配線パターンと
相互に接続される導電性配線パターンが選択的に形成さ
れ、該導電線配線パターンに対する電気的接続が行われ
るように該指紋情報素子を搭載し、該上部パッケージ部
材と該下部パッケージ部材とを組合わせると、該開口部
が外部に開口し、導電性配線パターンの相互接続が行わ
れることを特徴とする指紋検知装置である。Further, the present invention relates to a fingerprint detection element having a fingerprint detection section for detecting a fingerprint by bringing one finger surface into contact with one surface of the semiconductor substrate, and a function related to processing of fingerprint information detected by the fingerprint detection element. A fingerprint detection device formed by mounting a fingerprint information device having a semiconductor substrate on a semiconductor substrate in a package, the package including an upper package member on which the fingerprint detection device is mounted and the fingerprint information device. And a lower package member in combination with the upper package member, the upper package member having one or more openings, and a conductive wiring pattern selectively formed, the fingerprint detecting element comprising: A fingerprint detection unit is disposed in the opening and is mounted so as to make an electrical connection to the conductive wiring pattern. A conductive wiring pattern interconnected with the conductive wiring pattern of the cage member is selectively formed, and the fingerprint information element is mounted so that the conductive wiring pattern is electrically connected to the upper wiring member. When the lower package member and the lower package member are combined with each other, the opening is opened to the outside, and the conductive wiring patterns are interconnected with each other.
【0033】本発明に従えば、半導体基板の一方表面に
指先を接触させて指紋を検知するための指紋検知部を有
する指紋検知素子は、導電性配線パターンを有し、開口
部を有する上部パッケージ部材に搭載される。半導体基
板に、指紋検知素子によって検知される指紋情報の処理
に関連する機能を備える指紋情報素子は、導電性配線パ
ターンを有する下部パッケージ部材に搭載される。指紋
検知素子の指紋検知部は、パッケージとしての組立時に
外部に開口する上部パッケージ部材の開口部に配置され
るので、指先を指紋検知部に接触させることができる。
上部パッケージ部材と下部パッケージ部材とは、パッケ
ージとしての組立時に、導電性配線パターンが相互に電
気的に接続されるので、たとえば指紋検知素子にて電気
信号に変換された個人に特有な指紋の幾何学的情報を指
紋情報素子内に保存し、かつ本人認証の照合の際などに
読み出すことができる指紋検知装置を容易に製造するこ
とができる。組合わされるパッケージ内に指紋検知素子
および指紋情報素子を実装するので、指紋検知装置の小
型化や薄型化を容易に行うことができる。According to the present invention, a fingerprint detecting element having a fingerprint detecting portion for detecting a fingerprint by touching one surface of a semiconductor substrate with a fingertip has a conductive wiring pattern and an upper package having an opening. Mounted on a member. A fingerprint information device having a function related to processing of fingerprint information detected by a fingerprint detection device on a semiconductor substrate is mounted on a lower package member having a conductive wiring pattern. Since the fingerprint detecting portion of the fingerprint detecting element is arranged at the opening of the upper package member that is opened to the outside when the package is assembled, the fingertip can be brought into contact with the fingerprint detecting portion.
Since the conductive wiring patterns of the upper package member and the lower package member are electrically connected to each other at the time of assembling as a package, for example, the geometrical shape of a fingerprint unique to an individual converted into an electric signal by a fingerprint detecting element. It is possible to easily manufacture a fingerprint detection device that can store biological information in a fingerprint information element and can read it out at the time of collation of personal identification. Since the fingerprint detection element and the fingerprint information element are mounted in the package to be combined, the fingerprint detection device can be easily miniaturized and thinned.
【0034】また本発明で、前記上部パッケージ部材に
搭載される前記指紋検知素子は、前記半導体基板で、前
記指紋検知部を有する一方表面に対向する他方表面側
を、封止樹脂によって覆われていることを特徴とする。Further, in the present invention, the fingerprint detecting element mounted on the upper package member has the other surface of the semiconductor substrate facing the one surface having the fingerprint detecting portion covered with a sealing resin. It is characterized by being
【0035】本発明に従えば、指紋検知素子は、上部パ
ッケージ部材の開口部と隣接する周囲が封止樹脂によっ
て覆われているので、開口部で露出している部分を除い
て、パッケージ内部を確実に封止することができる。According to the present invention, since the fingerprint detecting element has the periphery adjacent to the opening of the upper package member covered with the sealing resin, the inside of the package except the part exposed at the opening is covered. It can be surely sealed.
【0036】また本発明で、前記下部パッケージ部材に
搭載される前記指紋情報素子は、封止樹脂によって覆わ
れていることを特徴とする。Further, in the present invention, the fingerprint information element mounted on the lower package member is covered with a sealing resin.
【0037】本発明に従えば、指紋情報素子は封止樹脂
によって覆われるので、周囲の環境からの影響を受けに
くくして信頼性を高めることができる。According to the present invention, since the fingerprint information element is covered with the sealing resin, the fingerprint information element is less susceptible to the surrounding environment and the reliability can be improved.
【0038】[0038]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、指
紋検知装置に本発明を適用する場合について、図1〜図
7を参照して説明する。実施の各形態で、対応する部分
には同一の参照符を付し、重複する説明は省略すること
がある。すなわち本発明は、指紋検知装置についての前
述の間題点を解決するために、以下の手段を提供するも
のである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 7 in the case of applying the present invention to a fingerprint detection device. In each of the embodiments, corresponding parts are designated by the same reference numerals, and redundant description may be omitted. That is, the present invention provides the following means in order to solve the aforementioned problems of the fingerprint detection device.
【0039】図1および図2は、本発明の実施の第1形
態である指紋検知装置101の概略的な断面構成を示
す。図1は、指紋検知装置101を、指紋検知素子1の
表面に垂直な断面構成を示す。図2は、図1の切断面線
II−IIから見た断面構成を示す。指紋検知装置10
1は、半導体装置としてのパッケージを、第1のパッケ
ージ部材である上部樹脂部材102と、第2のパッケー
ジ部材である下部樹脂部材103とを組合わせて形成し
ている。FIG. 1 and FIG. 2 show a schematic sectional structure of a fingerprint detecting device 101 which is a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a fingerprint detection device 101 in a sectional configuration perpendicular to the surface of the fingerprint detection element 1. FIG. 2 shows a sectional configuration taken along the section line II-II in FIG. Fingerprint detection device 10
A package 1 as a semiconductor device is formed by combining an upper resin member 102 which is a first package member and a lower resin member 103 which is a second package member.
【0040】第1の半導体素子である指紋検知素子1上
は、半導体基板の一方表面に指紋検知部を含む能動部が
形成されている。能動部の周囲には電極パッド2が形成
され、電極パッド2には、予めメッキ工法等によりAu
やはんだ材料等からなる金属突起電極3が形成されてい
る。上部樹脂部材102は、難メッキ性樹脂材料4を射
出成形して得られる立体物と、その表面に、選択的に射
出成形された易メッキ性樹脂材料5とからなる。易メッ
キ性樹脂材料5は、表面に、Au等の無電解メッキから
なる導電性配線パターン6を有する。さらに上部樹脂部
材102には、少なくとも一箇所以上の開口部7を有す
る。指紋検知素子1は、指紋検知部9が上部樹脂部材1
02の開口部7から外部に露出するように配置される。
上部樹脂部材102の導電性配線パターン6と、指紋検
知素子1の金属突起電極3とは、熱圧着されるか、もし
くは異方性導電樹脂8によって接続される。導電性配線
パターン6と金属突起電極3とを直接接触させて電気的
に接続した後で、非導電性樹脂で周囲を封止することも
できる。指紋検知素子1の種類によっては、指紋検知部
9の表面全面が保護樹脂10で覆い保護される場合もあ
るが、少なくとも開口部7に囲繞された指紋検知部9の
周囲は保護樹脂10で覆われる。上部樹脂部材102に
搭載される指紋検知素子1の裏面は、素子の保護の目的
で封止樹脂11等で覆われる。On the fingerprint detecting element 1 which is the first semiconductor element, an active portion including a fingerprint detecting portion is formed on one surface of the semiconductor substrate. An electrode pad 2 is formed around the active part, and the electrode pad 2 is previously plated with Au by a plating method or the like.
A metal projection electrode 3 made of a solder material or the like is formed. The upper resin member 102 is composed of a three-dimensional object obtained by injection-molding the difficult-plating resin material 4, and an easily-plating resin material 5 selectively injection-molded on the surface thereof. The easily-platable resin material 5 has a conductive wiring pattern 6 made of electroless plating such as Au on the surface. Further, the upper resin member 102 has at least one opening 7. In the fingerprint detecting element 1, the fingerprint detecting section 9 is the upper resin member 1
It is arranged so as to be exposed to the outside from the opening 7 of No. 02.
The conductive wiring pattern 6 of the upper resin member 102 and the metal projection electrode 3 of the fingerprint detection element 1 are thermocompression bonded or connected by an anisotropic conductive resin 8. After the conductive wiring pattern 6 and the metal projection electrode 3 are brought into direct contact with each other to be electrically connected, the periphery can be sealed with a non-conductive resin. Depending on the type of the fingerprint detection element 1, the entire surface of the fingerprint detection unit 9 may be covered and protected by the protective resin 10. However, at least the periphery of the fingerprint detection unit 9 surrounded by the opening 7 is covered with the protective resin 10. Be seen. The back surface of the fingerprint detection element 1 mounted on the upper resin member 102 is covered with a sealing resin 11 or the like for the purpose of protecting the element.
【0041】一方、第2の半導体としての記憶素子12
は、Agぺ一スト等の接着剤13にて下部樹脂部材10
3に搭載されるように、ダイボンドされる。下部樹脂部
材103は、前述の上部樹脂部材102と同様にして製
造することができる。記憶素子12上の電極パッド14
と下部樹脂部材103の導電性配線パターン15とは、
Au等からなる金属細線16を介し、ワイヤボンドによ
って電気的に接続される。下部樹脂部材103に搭載さ
れる記憶素子12の表面は、素子の保護の目的で封止樹
脂17等で覆われる。On the other hand, the memory element 12 as the second semiconductor
Is the lower resin member 10 with an adhesive 13 such as Ag paste.
It is die-bonded so as to be mounted on the No. 3. The lower resin member 103 can be manufactured in the same manner as the upper resin member 102 described above. Electrode pad 14 on storage element 12
And the conductive wiring pattern 15 of the lower resin member 103,
It is electrically connected by wire bonding through the thin metal wire 16 made of Au or the like. The surface of the memory element 12 mounted on the lower resin member 103 is covered with a sealing resin 17 or the like for the purpose of protecting the element.
【0042】以上のようにして指紋検知素子1を搭載し
た上部樹脂部材102と、記憶素子12を搭載した下部
樹脂部材103とは、はんだ材料18等により互いに貼
合され、かつ両者の導電性配線パターン6および15が
相互に電気的に接続されることで、指紋検知装置101
が形成される。図示を省略している外部の制御回路から
の制御信号は、外部端子19を通して指紋検知装置10
1に導入される。As described above, the upper resin member 102 on which the fingerprint detecting element 1 is mounted and the lower resin member 103 on which the memory element 12 is mounted are bonded to each other with the solder material 18 or the like, and the conductive wirings of the both are bonded together. Since the patterns 6 and 15 are electrically connected to each other, the fingerprint detection device 101
Is formed. A control signal from an external control circuit (not shown) is transmitted through the external terminal 19 to the fingerprint detection device 10
Introduced in 1.
【0043】そして、指紋検知装置101の指紋検知部
9上に任意の指紋20を押しつけることによって、指紋
検知部9の表面に個人に特有な幾何学的な指紋情報に対
応した静電容量の変化、圧力の変化、若しくは熱的な変
化等が発生する。指紋情報は個人を特定するためなどに
利用するために、所定の電気信号に変換して記憶素子1
2内に格納する。Then, by pressing an arbitrary fingerprint 20 on the fingerprint detecting section 9 of the fingerprint detecting apparatus 101, the capacitance of the surface of the fingerprint detecting section 9 changes corresponding to the geometric fingerprint information peculiar to an individual. , Pressure change, or thermal change occurs. The fingerprint information is converted into a predetermined electric signal to be used for identifying an individual, etc.
Store in 2.
【0044】また個人認証が必要な際には、指紋20を
指紋検知部9に押しつけることで指紋検知素子1にて電
気信号に変換される指紋情報を、所定のアルゴリズムを
介して、予め記憶素子12内に登録されている指紋情報
と比較照合する。比較照合の結果が一致すれば、認証す
べき個人を特定することができる。When personal authentication is required, the fingerprint information converted into an electric signal by the fingerprint detecting element 1 by pressing the fingerprint 20 against the fingerprint detecting section 9 is stored in advance in a storage element through a predetermined algorithm. The fingerprint information registered in 12 is compared and collated. If the comparison and matching results match, the individual to be authenticated can be specified.
【0045】図3は、本発明の実施の第2形態を示し、
本発明に係わる指紋検知装置201の構造を、指紋検知
素子1の表面に垂直な断面構成として示すものである。
本実施形態の指紋検知装置201は、第1のパッケージ
部材である上部樹脂部材201と第2のパッケージ部材
である下部樹脂部材103とからパッケージが組立てら
れる。上部樹脂部材202では、図1および図2の実施
形態と同様に、半導体からなる指紋検知素子1上の電極
パッド2には、予めメッキ工法等によりAuやはんだ材
料等からなる金属突起電極3が形成される。金属突起電
極3は、予め導電性配線パターンとして、錫(Sn)等
の低融点金属のメッキが施されているポリイミド等の薄
い有機基材からなるフレキシブル配線基板21の一端と
熱圧着される。また上部樹脂部材202は難メッキ性樹
脂材料を射出成形して得られる立体物の表面に、選択的
に射出成形された易メッキ性樹脂材料5からなり、易メ
ッキ性樹脂材料5の表面にはAu等の無電解メッキから
なる導電性配線パターン6を有する。更に上部樹脂部材
202には少なくとも1箇所以上の開口部7を有する。
指紋検知素子1と接続されるフレキシブル配線基板21
の他端と配線パターン6とは、指紋検知素子1の指紋検
知部9が上記樹脂部材102の開口部7から外部に露出
するようにして熱圧着され、接続される。指紋検知素子
1の種類によっては、指紋検知部9の表面全面が保護樹
脂10で覆い保護される場合もあるが、少なくとも開口
部に囲繞された指紋検知部9の周囲は保護樹脂10で覆
われる。上部樹脂部材202に搭載される指紋検知素子
1の裏面は、素子の保護を目的に封止樹脂11等で覆わ
れる。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention,
The structure of a fingerprint detection device 201 according to the present invention is shown as a cross-sectional configuration perpendicular to the surface of the fingerprint detection element 1.
In the fingerprint detection device 201 of this embodiment, a package is assembled from the upper resin member 201 which is the first package member and the lower resin member 103 which is the second package member. In the upper resin member 202, as in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the metal projection electrode 3 made of Au or a solder material is previously formed on the electrode pad 2 on the fingerprint detection element 1 made of a semiconductor by a plating method or the like. It is formed. The metal bump electrode 3 is thermocompression-bonded to one end of a flexible wiring substrate 21 made of a thin organic base material such as polyimide on which a low melting point metal such as tin (Sn) is plated in advance as a conductive wiring pattern. Further, the upper resin member 202 is made of the easy-plating resin material 5 selectively injection-molded on the surface of the three-dimensional object obtained by injection-molding the hard-plating resin material. It has a conductive wiring pattern 6 made of electroless plating such as Au. Further, the upper resin member 202 has at least one opening 7.
Flexible wiring board 21 connected to fingerprint detection element 1
The other end and the wiring pattern 6 are connected by thermocompression bonding so that the fingerprint detecting portion 9 of the fingerprint detecting element 1 is exposed to the outside from the opening 7 of the resin member 102. Depending on the type of the fingerprint detection element 1, the entire surface of the fingerprint detection unit 9 may be covered and protected with the protective resin 10, but at least the periphery of the fingerprint detection unit 9 surrounded by the opening is covered with the protective resin 10. . The back surface of the fingerprint detection element 1 mounted on the upper resin member 202 is covered with the sealing resin 11 or the like for the purpose of protecting the element.
【0046】下部樹脂部材103には、半導体からなる
記憶素子12が搭載され、上部樹脂部材202と下部樹
脂部杖103とが電気的に接続され、指紋検知装置20
1を成し、指紋検知素子1にて指紋20の幾何学的情報
を電気信号に変換し、記憶素子12内にその情報を格納
する手法は、実施の第1形態の場合と同様である。The memory element 12 made of a semiconductor is mounted on the lower resin member 103, the upper resin member 202 and the lower resin member cane 103 are electrically connected to each other, and the fingerprint detecting device 20 is provided.
The method of converting the geometrical information of the fingerprint 20 into an electric signal by the fingerprint detecting element 1 and storing the information in the storage element 12 is the same as that of the first embodiment.
【0047】図4は、本発明の実施の第3形態を示し、
本発明に係わる指紋検知装置301の構造を、指紋検知
素子1の表面に垂直な断面構成として示すものである。
本実施形態の指紋検知装置301は、第1のパッケージ
部材である上部樹脂部材102と第2のパッケージ部材
である下部樹脂部材303とからパッケージが組立てら
れる。半導体からなる指紋検知素子1が金属突起電極3
の電気的接続を利用して、上部樹脂部材102に搭載さ
れる手法は、実施の第1形態の場合と同様である。半導
体からなる記憶素子12上の電極パッド14には、予め
メッキ工法等によりAuやはんだ材料等からなる金属突
起電極22が形成される。金属突起電極22は、予め導
電性配線パターンが形成されてSn等の低融点金属のメ
ッキが施されるポリイミド等の薄い有機基材からなるフ
レキシブル配線基板23の一端と、熱圧着される。FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention,
The structure of a fingerprint detecting device 301 according to the present invention is shown as a cross-sectional structure perpendicular to the surface of the fingerprint detecting element 1.
In the fingerprint detection device 301 of this embodiment, a package is assembled from the upper resin member 102 that is the first package member and the lower resin member 303 that is the second package member. The fingerprint detection element 1 made of a semiconductor has a metal projection electrode 3
The method of mounting on the upper resin member 102 using the electrical connection of is similar to that of the first embodiment. On the electrode pad 14 on the memory element 12 made of a semiconductor, a metal projection electrode 22 made of Au, a solder material or the like is previously formed by a plating method or the like. The metal protrusion electrode 22 is thermocompression-bonded to one end of a flexible wiring substrate 23 made of a thin organic base material such as polyimide on which a conductive wiring pattern is previously formed and which is plated with a low melting point metal such as Sn.
【0048】上部樹脂部材102と下部樹脂部材303
とが電気的に接続されて指紋検知装置301を成し、指
紋検知素子1にて指紋20の幾何学的情報を電気信号に
変換し、記憶素子12内にその情報を保存する手法は、
実施例の第1形態や第2形態の場合と同様である。Upper resin member 102 and lower resin member 303
And are electrically connected to form the fingerprint detection device 301, the fingerprint detection element 1 converts the geometrical information of the fingerprint 20 into an electric signal, and the information is stored in the storage element 12.
This is similar to the case of the first and second forms of the embodiment.
【0049】図5は、本発明の実施の第4形態を示し、
本発明に係わる指紋検知装置401の構造を、指紋検知
素子1の表面に垂直な断面構成として示すものである。
本実施形態の指紋検知装置401は、第1のパッケージ
部材である上部樹脂部材202と第2のパッケージ部材
である下部樹脂部材303とからパッケージが組立てら
れる。半導体からなる指紋検知素子1がフレキシブル配
線基板21介し上部樹脂部材202に搭載される手法
は、実施の第2形態の場合と同様である。半導体からな
る記憶素子12がフレキシブル配線基板22介して下部
樹脂部材303に搭載される手法は、実施の第3形態の
場合と同様である。上部樹脂部材202と下部樹脂部材
303とが電気的に接続され、指紋検知装置401を成
し、指紋検知素子1にて指紋20の幾何学的情報を電気
信号に変換し、記憶素子12内にその情報を保存する手
法は、実施の第1〜第3形態の場合と同様である。FIG. 5 shows a fourth embodiment of the present invention,
The structure of a fingerprint detection device 401 according to the present invention is shown as a cross-sectional configuration perpendicular to the surface of the fingerprint detection element 1.
In the fingerprint detection device 401 of this embodiment, a package is assembled from an upper resin member 202 that is a first package member and a lower resin member 303 that is a second package member. The method of mounting the fingerprint detection element 1 made of a semiconductor on the upper resin member 202 via the flexible wiring board 21 is the same as in the case of the second embodiment. The method of mounting the memory element 12 made of a semiconductor on the lower resin member 303 via the flexible wiring board 22 is the same as in the case of the third embodiment. The upper resin member 202 and the lower resin member 303 are electrically connected to each other to form a fingerprint detection device 401, and the fingerprint detection element 1 converts the geometric information of the fingerprint 20 into an electric signal and stores it in the storage element 12. The method of storing the information is the same as in the first to third embodiments.
【0050】図6は、本発明の実施の第5形態を示し、
本発明に係わる指紋検知装置501の構造を、指紋検知
素子1の表面に垂直な断面構成として示すものである。
本実施形態の指紋検知装置501は、第1のパッケージ
部材である上部樹脂部材102と第2のパッケージ部材
である下部樹脂部材503とからパッケージが組立てら
れる。半導体からなる指紋検知素子1が金属突起電極3
介し上部樹脂部材102に搭載される手法は、実施の第
1形態の場合と同様である。FIG. 6 shows a fifth embodiment of the present invention,
The structure of a fingerprint detection device 501 according to the present invention is shown as a cross-sectional configuration perpendicular to the surface of the fingerprint detection element 1.
In the fingerprint detection device 501 of this embodiment, a package is assembled from an upper resin member 102 that is a first package member and a lower resin member 503 that is a second package member. The fingerprint detection element 1 made of a semiconductor has a metal projection electrode 3
The method of mounting on the upper resin member 102 via the same is the same as in the case of the first embodiment.
【0051】下部樹脂部材503では、半導体からなる
記憶素子12上の電極パッド14に、メッキ工法等によ
ってAuやはんだ材料等からなる金属突起電極22が予
め形成される。金属突起電極22は、下部樹脂部材50
2の導電性配線パターン15に熱圧着されるか、もしく
は異方性導電樹脂24によって接続される。導電性配線
パターン15と金属突起電極22とを直接接触させて電
気的に接続した後で、非導電性樹脂で周囲を封止するこ
ともできる。下部樹脂部材503に搭載された記憶素子
12の裏面は、素子の保護の目的で封止樹脂17等で覆
われる。上部樹脂部材102と下部樹脂部材503とが
電気的に接続され、指紋検知装置501を成し、指紋検
知素子1にて指紋20の幾何学的情報を電気信号に変換
し、記憶素子12内にその情報を保存する手法は、実施
の第1〜第4の形態の場合と同様である。In the lower resin member 503, the metal projection electrode 22 made of Au, a solder material or the like is previously formed on the electrode pad 14 on the memory element 12 made of semiconductor by a plating method or the like. The metal protrusion electrode 22 is formed of the lower resin member 50.
The second conductive wiring pattern 15 is thermocompression bonded or is connected by the anisotropic conductive resin 24. After the conductive wiring pattern 15 and the metal projection electrode 22 are brought into direct contact with each other to be electrically connected, the periphery can be sealed with a non-conductive resin. The back surface of the memory element 12 mounted on the lower resin member 503 is covered with a sealing resin 17 or the like for the purpose of protecting the element. The upper resin member 102 and the lower resin member 503 are electrically connected to each other to form a fingerprint detection device 501, and the fingerprint detection element 1 converts geometric information of the fingerprint 20 into an electric signal and stores it in the storage element 12. The method of storing the information is the same as in the first to fourth embodiments.
【0052】図7は、本発明の実施の第6形態を示し、
本発明に係わる指紋検知装置601の構造を、指紋検知
素子1の表面に垂直な断面構成として示すものである。
本実施形態の指紋検知装置601は、第1のパッケージ
部材である上部樹脂部材202と第2のパッケージ部材
である下部樹脂部材503とからパッケージが組立てら
れる。半導体からなる指紋検知素子1がフレキシプル配
線基板21を介して上部樹脂部材202に搭載される手
法は、実施の第2形態の場合と同様である。半導体から
なる記憶素子12が金属突起電極22を介して下部樹脂
部材303に搭載される手法は、実施の第5形態の場合
と同様である。上部樹脂部材202と下部樹脂部材50
3とが電気的に接続され、指紋検知装置601を成し、
指紋検知素子1にて指紋20の幾何学的情報を電気信号
に変換し、記憶素子12内にその情報を保存する手法
は、実施の第1〜第5形態の場合と同様である。FIG. 7 shows a sixth embodiment of the present invention,
The structure of a fingerprint detection device 601 according to the present invention is shown as a cross-sectional configuration perpendicular to the surface of the fingerprint detection element 1.
In the fingerprint detection device 601 of this embodiment, a package is assembled from an upper resin member 202 that is a first package member and a lower resin member 503 that is a second package member. The method of mounting the fingerprint detection element 1 made of a semiconductor on the upper resin member 202 via the flexible wiring board 21 is the same as in the case of the second embodiment. The method of mounting the memory element 12 made of a semiconductor on the lower resin member 303 via the metal protruding electrode 22 is the same as in the fifth embodiment. Upper resin member 202 and lower resin member 50
3 is electrically connected to form a fingerprint detection device 601,
The method of converting the geometrical information of the fingerprint 20 into an electric signal by the fingerprint detecting element 1 and storing the information in the memory element 12 is the same as in the first to fifth embodiments.
【0053】以上で説明しているような本発明の実施の
いずれかの形態を用いることにより、半導体からなる指
紋検知素子1と、半導体からなる記憶素子12とが、難
メッキ性樹脂材料4と易メッキ性樹脂材料5とからなる
上部樹脂部材102,202と下部樹脂部材103,3
03,503の易メッキ性樹脂材料上に形成された導電
性配線パターン6,15を介し相互に電気的に接続され
ることで、指紋検知素子1で電気信号に変換された個人
を特定しうる指紋の幾何学的情報を、記憶素子12内に
保存することがきる指紋検知装置101,201,30
1,401,501,601を得ることができる。従
来、個別に製造された指紋検知装置と記憶装置とを実装
する場合に必要であった配線基板が不要になるので、コ
スト低減を図ることができる。さらに、指紋検知素子1
と記憶素子12とが一体化されたパッケージ内に格納さ
れることによって、従来、個別に製造され配線基板上に
個々に実装していた場合に比べ、著しい小型化・薄型化
を図ることができる。By using one of the embodiments of the present invention as described above, the fingerprint detecting element 1 made of a semiconductor and the memory element 12 made of a semiconductor are made of the hard-to-plate resin material 4. Upper resin members 102, 202 and lower resin members 103, 3 made of the easily-platable resin material 5
It is possible to specify an individual who has been converted into an electric signal by the fingerprint detection element 1 by being electrically connected to each other through the conductive wiring patterns 6 and 15 formed on the easily plated resin material 03, 503. Fingerprint detection devices 101, 201, 30 capable of storing geometric information of fingerprints in the storage element 12.
1,401,501,601 can be obtained. Conventionally, a wiring board, which has been necessary when mounting a fingerprint detection device and a storage device, which are manufactured separately, is not required, so that the cost can be reduced. Furthermore, the fingerprint detection element 1
Since the storage element 12 and the storage element 12 are housed in an integrated package, the size and thickness can be significantly reduced as compared with the case where the conventional manufacturing method and the mounting method are individually mounted on the wiring board. .
【0054】なお、上部樹脂部材102,202および
下部樹脂部材103,303,503は、難メッキ性樹
脂材料4を射出成形して得られる立体物の表面に、選択
的に易メッキ性樹脂部材6を射出成形し、さらにその表
面に無電解メッキからなる導電性配線パターン6,15
を形成しているけれども、セラミックなどの他の電気絶
縁材料でパッケージを組立てる部材を形成することもで
きる。また、下部樹脂部材に相当する部分は、一般的な
半導体集積回路の樹脂パッケージと同様に、記憶素子1
2などを、リードフレームに装着して、トランスファモ
ールドで全体を封止し、外部に露出するリードを上部樹
脂部材102,202の導電性配線パターン6と接続す
るようにしてもよい。記憶素子12の代りに、メモリを
含むマイクロコンピュータなど、他の機能を有する半導
体集積回路素子を用いることもできる。また、指紋検知
素子1の代りに、温度、湿度、気圧などを検出するセン
サを用いることもできる。さらに、撮像素子を実装すれ
ば、撮像面を露出させることができるので、光学系によ
る結像を高精度で行うことができる。The upper resin members 102, 202 and the lower resin members 103, 303, 503 are selectively plated easily on the surface of a three-dimensional object obtained by injection-molding the resin material 4 which is difficult to plate. Is injection-molded and electroconductive plating is applied to the surface of the conductive wiring pattern 6, 15
However, it is also possible to form the members for assembling the package with other electrically insulating materials such as ceramics. Further, the portion corresponding to the lower resin member is similar to the resin package of a general semiconductor integrated circuit in the memory element 1.
2 or the like may be mounted on a lead frame, the whole may be sealed by transfer molding, and the leads exposed to the outside may be connected to the conductive wiring patterns 6 of the upper resin members 102 and 202. Instead of the memory element 12, a semiconductor integrated circuit element having another function such as a microcomputer including a memory can be used. Instead of the fingerprint detection element 1, a sensor that detects temperature, humidity, atmospheric pressure, etc. can be used. Furthermore, since the image pickup surface can be exposed by mounting the image pickup element, it is possible to perform image formation by the optical system with high accuracy.
【0055】[0055]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、第1の半導体素子と第2の半導体素子とを含む
半導体装置を、第1の半導体素子を搭載する第1のパッ
ケージ部材と、第2の半導体素子を搭載する第2のパッ
ケージ部材とを組合わせてパッケージを形成し、開口部
に第1の半導体素子の能動部を配置する半導体装置を、
簡単な製造工程で、低コストで製造することができる。
第1の半導体素子と第2の半導体素子とを、同一のパッ
ケージ内に実装して、半導体装置の小型化や薄型化を図
ることができる。As described above in detail, according to the present invention, a semiconductor device including a first semiconductor element and a second semiconductor element is mounted in a first package in which the first semiconductor element is mounted. A semiconductor device in which a member and a second package member on which the second semiconductor element is mounted are combined to form a package, and the active portion of the first semiconductor element is arranged in the opening;
It can be manufactured at low cost with a simple manufacturing process.
By mounting the first semiconductor element and the second semiconductor element in the same package, it is possible to reduce the size and thickness of the semiconductor device.
【0056】また本発明によれば、指紋の検知機能を有
する半導体装置を、小型化や薄型化を図り、かつ低コス
トで製造することができる。Further, according to the present invention, a semiconductor device having a fingerprint detecting function can be miniaturized and thinned and manufactured at low cost.
【0057】また本発明によれば、第1の半導体素子で
外部から検知する情報などを、第2の半導体素子として
の記憶素子に記憶することができる半導体装置を、小型
化や薄型化を図り、かつ低コストで製造することができ
る。Further, according to the present invention, it is possible to reduce the size and the thickness of a semiconductor device which can store information detected from the outside by the first semiconductor element in the memory element as the second semiconductor element. It can be manufactured at low cost.
【0058】また本発明によれば、第2のパッケージ部
材に搭載する第2の半導体素子と外部との電気的接続を
容易に行うことができる。Further, according to the present invention, it is possible to easily electrically connect the second semiconductor element mounted on the second package member to the outside.
【0059】また本発明によれば、第1のパッケージ部
材または第2のパッケージ部材のうちの少なくとも一方
を、射出成形と無電解メッキとで迅速かつ量産性よく製
造することができる。Further, according to the present invention, at least one of the first package member and the second package member can be manufactured quickly and with good mass productivity by injection molding and electroless plating.
【0060】また本発明によれば、予め形成されている
金属突起電極を使用して、半導体素子とパッケージ部材
に形成されている導電性配線パターンとの電気的接続を
容易に行うことができる。Further, according to the present invention, it is possible to easily perform the electrical connection between the semiconductor element and the conductive wiring pattern formed on the package member by using the metal projection electrode formed in advance.
【0061】また本発明によれば、金属突起電極と導電
性配線パターンとを電気的に接続する際に、柔軟な有機
基材上に選択的に導電性配線パターンが形成されている
接続配線部材を介して行うので、半導体素子に応力など
がかからないようにすることができる。Further, according to the present invention, a connection wiring member in which a conductive wiring pattern is selectively formed on a flexible organic base material when electrically connecting the metal projection electrode and the conductive wiring pattern. Since it is carried out via the semiconductor device, it is possible to prevent stress from being applied to the semiconductor element.
【0062】また本発明によれば、金属細線をワイヤボ
ンドして、第2の半導体素子と第2のパッケージ部材に
形成されている導電性配線パターンとを、電気的に接続
することができる。Further, according to the present invention, it is possible to wire-bond the thin metal wires to electrically connect the second semiconductor element and the conductive wiring pattern formed on the second package member.
【0063】また本発明によれば、第1のパッケージ部
材の開口部に臨む第1の半導体素子を、保護樹脂で保護
して信頼性を高めることができる。Further, according to the present invention, the reliability can be enhanced by protecting the first semiconductor element facing the opening of the first package member with the protective resin.
【0064】また本発明によれば、第1の半導体素子
は、第1のパッケージ部材の開口部と隣接する周囲が保
護樹脂によって覆われているので、開口部で露出してい
る部分を除いて、保護樹脂で確実に保護することができ
る。Further, according to the present invention, since the periphery of the first semiconductor element, which is adjacent to the opening of the first package member, is covered with the protective resin, except for the portion exposed at the opening. It can be surely protected with a protective resin.
【0065】さらに本発明によれば、指先を接触させて
指紋を検知するための指紋検知部を有する指紋検知素子
を、指紋情報の処理に関連する機能を備える指紋情報素
子とともに、開口部を有するパッケージ内に実装し、小
型化や軽量化を図ることができる。パッケージは上部パ
ッケージ部材と下部パッケージ部材とから組立てられ、
指紋検知素子の指紋検知部は、パッケージとしての組立
時に外部に開口する上部パッケージ部材の開口部に配置
されるので、指先を指紋検知部に接触させることができ
る。たとえば指紋検知素子にて電気信号に変換された個
人に特有な指紋の幾何学的情報を指紋情報素子内に保存
し、かつ本人認証の照合の際などに読み出すことができ
る指紋検知装置を容易に製造することができる。組合わ
されるパッケージ内に指紋検知素子および指紋情報素子
を実装するので、指紋検知装置の小型化や薄型化を容易
に行うことができる。Further, according to the present invention, a fingerprint detecting element having a fingerprint detecting section for contacting a fingertip to detect a fingerprint, and a fingerprint information element having a function related to processing of fingerprint information, have an opening. It can be mounted in a package to reduce size and weight. The package is assembled from the upper package member and the lower package member,
Since the fingerprint detecting portion of the fingerprint detecting element is arranged at the opening of the upper package member that is opened to the outside when the package is assembled, the fingertip can be brought into contact with the fingerprint detecting portion. For example, a fingerprint detection device that can store the geometrical information of a fingerprint unique to an individual converted into an electric signal by the fingerprint detection device in the fingerprint information device and read it out at the time of collation of personal authentication can be easily provided. It can be manufactured. Since the fingerprint detection element and the fingerprint information element are mounted in the package to be combined, the fingerprint detection device can be easily miniaturized and thinned.
【0066】また本発明によれば、指紋検知素子は、パ
ッケージの開口部と隣接する周囲が封止樹脂によって覆
われるので、パッケージ内部を確実に封止することがで
きる。Further, according to the present invention, since the periphery of the fingerprint detecting element adjacent to the opening of the package is covered with the sealing resin, the inside of the package can be surely sealed.
【0067】また本発明よれば、指紋情報素子は封止樹
脂によって覆われるので、周囲の環境からの影響を受け
にくくして信頼性を高めることができる。Further, according to the present invention, since the fingerprint information element is covered with the sealing resin, the fingerprint information element is less susceptible to the influence of the surrounding environment and the reliability can be improved.
【図1】本発明の実施の第1形態である指紋検知装置1
01の概略的な構成を示す断面図である。FIG. 1 is a fingerprint detection device 1 according to a first embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the schematic structure of 01.
【図2】図1の切断面線II−IIから見た断面図であ
る。FIG. 2 is a sectional view taken along the section line II-II in FIG.
【図3】本発明の実施の第2形態である指紋検知装置2
01の概略的な構成を示す断面図である。FIG. 3 is a fingerprint detection device 2 according to a second embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the schematic structure of 01.
【図4】本発明の実施の第3形態である指紋検知装置3
01の概略的な構成を示す断面図である。FIG. 4 is a fingerprint detection device 3 according to a third embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the schematic structure of 01.
【図5】本発明の実施の第4形態である指紋検知装置4
01の概略的な構成を示す断面図である。FIG. 5 is a fingerprint detection device 4 according to a fourth embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the schematic structure of 01.
【図6】本発明の実施の第5形態である指紋検知装置5
01の概略的な構成を示す断面図である。FIG. 6 is a fingerprint detection device 5 according to a fifth embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the schematic structure of 01.
【図7】本発明の実施の第6形態である指紋検知装置6
01の概略的な構成を示す断面図である。FIG. 7 is a fingerprint detection device 6 according to a sixth embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the schematic structure of 01.
【図8】従来技術による指紋検知装置の概略的な構成を
示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a fingerprint detection device according to a conventional technique.
【図9】図8の指紋検知装置と記憶装置とを組合わせて
いる状態を示す断面図である。9 is a cross-sectional view showing a state in which the fingerprint detection device and the storage device of FIG. 8 are combined.
1 指紋検知素子
3,22 金属突起電極
4 難メッキ性樹脂材料
5 易メッキ性樹脂材料
6,15 導電性配線パターン
7 開口部
8,24 異方性導電樹脂
9 指紋検知部
10 保護樹脂
11,17 封止樹脂
12 記憶素子
13 接着剤
16 金属細線
18 はんだ材料
20 指紋
21,23 フレキシブル配線基板
101,201,301,401,501,601 指
紋検知装置
102,202 上部樹脂部材
103,303,503 下部樹脂部材DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fingerprint detection element 3, 22 Metal projection electrode 4 Hard-plating resin material 5 Easy-plating resin material 6, 15 Conductive wiring pattern 7 Openings 8, 24 Anisotropic conductive resin 9 Fingerprint detection portion 10 Protective resin 11, 17 Sealing resin 12 Storage element 13 Adhesive 16 Metal thin wire 18 Solder material 20 Fingerprint 21,23 Flexible wiring board 101, 201, 301, 401, 501, 601 Fingerprint detection device 102, 202 Upper resin member 103, 303, 503 Lower resin Element
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 25/16 A61B 5/10 322 Fターム(参考) 2F063 AA41 BA29 BA30 BB01 BB02 CA35 HA04 HA10 MA07 ZA01 4C038 FF01 FF05 FG00 5B047 AA25 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01L 25/16 A61B 5/10 322 F term (reference) 2F063 AA41 BA29 BA30 BB01 BB02 CA35 HA04 HA10 MA07 ZA01 4C038 FF01 FF05 FG00 5B047 AA25
Claims (13)
パターンが選択的に形成されている第1のパッケージ部
材と、 導電性配線パターンが選択的に形成されている第2のパ
ッケージ部材と、 予め定める能動部が第1のパッケージ部材の開口部と重
なり、かつ第1のパッケージ部材の導電性配線パターン
に対する電気的接続が行われるように搭載される第1の
半導体素子と、 第2のパッケージ部材に、該第2のパッケージ部材の導
電性配線パターンに対する電気的接続が行われるように
搭載される第2の半導体素子とを含み、 第1のパッケージ部材および第2のパッケージ部材は、
第1の半導体素子と第2の半導体素子とを内部に収容
し、導電性配線パターンが相互に接続されるように組合
わされて、該開口部が外部に開口するパッケージを形成
することを特徴とする半導体装置。1. A first package member having one or more openings and in which a conductive wiring pattern is selectively formed, and a second package in which a conductive wiring pattern is selectively formed. A member, a first semiconductor element mounted so that a predetermined active portion overlaps the opening of the first package member, and is electrically connected to the conductive wiring pattern of the first package member; A second semiconductor element mounted on the second package member so as to be electrically connected to the conductive wiring pattern of the second package member, and the first package member and the second package member are ,
A package in which the first semiconductor element and the second semiconductor element are housed inside, and the conductive wiring patterns are combined so as to be connected to each other to form a package in which the opening is opened to the outside. Semiconductor device.
であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the first semiconductor element is a fingerprint detection element.
ることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装
置。3. The semiconductor device according to claim 1, wherein the second semiconductor element is a memory element.
成されている導電性配線パターンは、前記第2の半導体
素子を搭載する領域から外部に延伸していることを特徴
とする請求項1〜3のいずれかに記載の半導体装置。4. The conductive wiring pattern selectively formed on the second package member extends to the outside from a region where the second semiconductor element is mounted. 4. The semiconductor device according to any one of 3 to 3.
2のパッケージ部材のうちの少なくとも一方は、難メッ
キ性樹脂材料を射出成形して得られる立体物と、該立体
物の表面に選択的に射出成形される易メッキ性樹脂材料
とを含み、 前記導電性配線パターンは、該易メッキ性樹脂材料の表
面に形成される無電解メッキ層からなることを特徴とす
る請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置。5. At least one of the first package member and the second package member is a three-dimensional object obtained by injection-molding a hard-to-plate resin material, and selectively on the surface of the three-dimensional object. 5. An easily-platable resin material that is injection-molded, wherein the conductive wiring pattern comprises an electroless plating layer formed on the surface of the easily-platable resin material. The semiconductor device according to 1.
半導体素子のうちの少なくとも一方は、前記第1のパッ
ケージ部材または前記第2のパッケージ部材に形成され
ている導電性配線パターンと電気的に接続するために、
予め形成されている金属突起電極を備えることを特徴と
する請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置。6. At least one of the first semiconductor element and the second semiconductor element is electrically connected to a conductive wiring pattern formed on the first package member or the second package member. To connect to
The semiconductor device according to claim 1, further comprising a metal projection electrode that is formed in advance.
パターンが形成されている接続配線部材をさらに含み、 前記金属突起電極を備える半導体素子は、該金属突起電
極が該接続配線部材の導電性配線パターンに接続され、
該導電性パターンを介して、前記パッケージ部材に形成
されている導電性配線パターンと電気的に接続されるこ
とを特徴とする請求項6記載の半導体装置。7. A semiconductor device having a metal protrusion electrode, wherein the metal protrusion electrode further comprises a connection wiring member in which a conductive wiring pattern is selectively formed on a flexible organic base material. Connected to the conductive wiring pattern of
7. The semiconductor device according to claim 6, wherein the semiconductor device is electrically connected to a conductive wiring pattern formed on the package member via the conductive pattern.
して、前記第2のパッケージ部材に形成されている導電
性配線パターンと電気的に接続されることを特徴とする
請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置。8. The second semiconductor element is electrically connected to a conductive wiring pattern formed on the second package member via a thin metal wire. 6. The semiconductor device according to any one of 5 above.
む前記第1の半導体素子の能動部に、保護樹脂が配設さ
れることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の
半導体装置。9. The protective resin is disposed on an active portion of the first semiconductor element which faces the opening of the first package member, and a protective resin is disposed on the active portion of the first semiconductor element. Semiconductor device.
臨む第1の半導体素子は、該開口部と隣接する周囲が、
前記保護樹脂によって覆われていることを特徴とする請
求項9記載の半導体装置。10. The first semiconductor element facing the opening of the first package member has a periphery adjacent to the opening,
The semiconductor device according to claim 9, wherein the semiconductor device is covered with the protective resin.
せて指紋を検知するための指紋検知部を有する指紋検知
素子と、指紋検知素子によって検知される指紋情報の処
理に関連する機能を半導体基板に備える指紋情報素子と
を、パッケージ内に実装して形成される指紋検知装置で
あって、 該パッケージは、該指紋検知素子を搭載する上部パッケ
ージ部材と、該指紋情報素子を搭載して、該上部パッケ
ージ部材と組合わされる下部パッケージ部材とを含み、 該上部パッケージ部材は、1以上の開口部を有し、かつ
導電性配線パターンが選択的に形成され、該指紋検知素
子を、指紋検知部が該開口部に配置され、かつ該導電性
配線パターンに対する電気的接続が行われるように搭載
し、 該下部パッケージ部材は、組合わせ時に上部パッケージ
部材の導電性配線パターンと相互に接続される導電性配
線パターンが選択的に形成され、該導電線配線パターン
に対する電気的接続が行われるように該指紋情報素子を
搭載し、 該上部パッケージ部材と該下部パッケージ部材とを組合
わせると、該開口部が外部に開口し、導電性配線パター
ンの相互接続が行われることを特徴とする指紋検知装
置。11. A semiconductor substrate having a fingerprint detection element having a fingerprint detection part for detecting a fingerprint by touching one surface of the semiconductor substrate with a fingertip, and a function related to processing of fingerprint information detected by the fingerprint detection element. A fingerprint detecting device formed by mounting a fingerprint information element provided in a package in a package, the package including an upper package member on which the fingerprint detecting element is mounted, and the fingerprint information element mounted on the package. A lower package member in combination with an upper package member, wherein the upper package member has one or more openings, and a conductive wiring pattern is selectively formed. Is mounted in the opening so as to be electrically connected to the conductive wiring pattern, and the lower package member is an upper package member when assembled. Conductive wiring patterns that are mutually connected to the conductive wiring patterns are selectively formed, and the fingerprint information device is mounted so that the conductive wiring patterns are electrically connected to the conductive wiring patterns. A fingerprint detecting device, characterized in that, when combined with a lower package member, the opening is opened to the outside, and the conductive wiring patterns are interconnected.
前記指紋検知素子は、前記半導体基板で、前記指紋検知
部を有する一方表面に対向する他方表面側を、封止樹脂
によって覆われていることを特徴とする請求項11記載
の指紋検知装置。12. The fingerprint detecting element mounted on the upper package member has the other surface side of the semiconductor substrate facing the one surface having the fingerprint detecting section covered with a sealing resin. The fingerprint detection device according to claim 11, which is characterized in that.
前記指紋情報素子は、封止樹脂によって覆われているこ
とを特徴とする請求項11または12記載の指紋検知装
置。13. The fingerprint detecting device according to claim 11, wherein the fingerprint information element mounted on the lower package member is covered with a sealing resin.
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| JP2003086724A true JP2003086724A (en) | 2003-03-20 |
Family
ID=19097798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001272425A Pending JP2003086724A (en) | 2001-09-07 | 2001-09-07 | Semiconductor device and fingerprint detection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003086724A (en) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013534008A (en) * | 2010-06-18 | 2013-08-29 | オーセンテック,インコーポレイテッド | Finger sensor having sealing layer on sensing area and associated method |
| CN104183560A (en) * | 2014-08-26 | 2014-12-03 | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 | Capacitance type fingerprint sensor packaging structure and packaging method |
| CN104484660A (en) * | 2014-12-31 | 2015-04-01 | 华天科技(西安)有限公司 | Chip-integrated fingerprint identification sensor and manufacturing method thereof |
| CN104681533A (en) * | 2014-12-31 | 2015-06-03 | 华天科技(西安)有限公司 | Substrate groove-based chip integrated fingerprint identification sensor and manufacturing method thereof |
| CN104779222A (en) * | 2015-04-10 | 2015-07-15 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | Biometric identification module structure and manufacture method |
| JP2016076617A (en) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 新光電気工業株式会社 | Semiconductor device for fingerprint recognition, manufacturing method of semiconductor device for fingerprint recognition, and semiconductor device |
| JP6055038B1 (en) * | 2015-07-09 | 2016-12-27 | コンクラフト ホールディング コーポレーション エルティーデーConcraft Holding Co., Ltd. | Manufacturing method of frame used for fingerprint authentication panel, and manufacturing method of light guide structure using the frame |
| JP2018529158A (en) * | 2015-05-08 | 2018-10-04 | マイクロアレイ マイクロエレクトロニクス コーポレーション リミテッドMicroarray Microelectronics Corp., Ltd | Fingerprint identification module |
| KR20190076679A (en) * | 2017-12-22 | 2019-07-02 | 엘지이노텍 주식회사 | Fingerprint sensing module and lectronic device comprising the same |
| WO2024257532A1 (en) * | 2023-06-14 | 2024-12-19 | 株式会社村田製作所 | Pressure sensor |
-
2001
- 2001-09-07 JP JP2001272425A patent/JP2003086724A/en active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013534008A (en) * | 2010-06-18 | 2013-08-29 | オーセンテック,インコーポレイテッド | Finger sensor having sealing layer on sensing area and associated method |
| CN104183560A (en) * | 2014-08-26 | 2014-12-03 | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 | Capacitance type fingerprint sensor packaging structure and packaging method |
| JP2016076617A (en) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 新光電気工業株式会社 | Semiconductor device for fingerprint recognition, manufacturing method of semiconductor device for fingerprint recognition, and semiconductor device |
| CN104484660A (en) * | 2014-12-31 | 2015-04-01 | 华天科技(西安)有限公司 | Chip-integrated fingerprint identification sensor and manufacturing method thereof |
| CN104681533A (en) * | 2014-12-31 | 2015-06-03 | 华天科技(西安)有限公司 | Substrate groove-based chip integrated fingerprint identification sensor and manufacturing method thereof |
| CN104779222A (en) * | 2015-04-10 | 2015-07-15 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | Biometric identification module structure and manufacture method |
| JP2018529158A (en) * | 2015-05-08 | 2018-10-04 | マイクロアレイ マイクロエレクトロニクス コーポレーション リミテッドMicroarray Microelectronics Corp., Ltd | Fingerprint identification module |
| JP6055038B1 (en) * | 2015-07-09 | 2016-12-27 | コンクラフト ホールディング コーポレーション エルティーデーConcraft Holding Co., Ltd. | Manufacturing method of frame used for fingerprint authentication panel, and manufacturing method of light guide structure using the frame |
| KR20190076679A (en) * | 2017-12-22 | 2019-07-02 | 엘지이노텍 주식회사 | Fingerprint sensing module and lectronic device comprising the same |
| CN111512447A (en) * | 2017-12-22 | 2020-08-07 | Lg伊诺特有限公司 | Fingerprint identification module and electronic device comprising same |
| JP2021506127A (en) * | 2017-12-22 | 2021-02-18 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | Fingerprint recognition module and electronic devices including it |
| US11100351B2 (en) | 2017-12-22 | 2021-08-24 | Lg Innotek Co., Ltd. | Fingerprint recognition module and electronic device comprising same |
| KR102438206B1 (en) * | 2017-12-22 | 2022-08-31 | 엘지이노텍 주식회사 | Fingerprint recognition module and electronic device including same |
| CN111512447B (en) * | 2017-12-22 | 2023-09-29 | Lg伊诺特有限公司 | Fingerprint identification module and electronic device comprising same |
| WO2024257532A1 (en) * | 2023-06-14 | 2024-12-19 | 株式会社村田製作所 | Pressure sensor |
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