JP2003112422A - Ink jet recording head, vibrator unit and method of manufacturing vibrator unit - Google Patents
Ink jet recording head, vibrator unit and method of manufacturing vibrator unitInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】圧電振動子の変位量のばらつきに起因する吐出
インク量の変動を防止すること。
【解決手段】 縦振動モードで作動する圧電振動子9
を、複数個、所定のピッチで固定基板27にその一端を
固定して構成された複数の振動子ユニット8において、
圧電振動子9に弾性部材28を圧電振動子9の振動領域
に固定して変位量を調整する。複数の圧電振動子9の変
位を同じにすることにより、1列内のインク量の吐出ば
らつきを防止する。
(57) [Problem] To prevent a variation in the amount of ink ejected due to a variation in a displacement amount of a piezoelectric vibrator. A piezoelectric vibrator operating in a longitudinal vibration mode.
In a plurality of vibrator units 8 each having one end fixed to a fixed substrate 27 at a predetermined pitch,
The amount of displacement is adjusted by fixing the elastic member 28 to the piezoelectric vibrator 9 in the vibration region of the piezoelectric vibrator 9. By making the displacements of the plurality of piezoelectric vibrators 9 the same, it is possible to prevent a variation in the ejection of the ink amount in one row.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術の分野】本発明は、縦振動モードの
圧電振動子の伸縮によりノズル開口からインク滴を吐出
させて画像や文字を記録用紙に記録するインクジェット
式記録ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for recording images and characters on recording paper by ejecting ink droplets from nozzle openings by expanding and contracting a piezoelectric vibrator in a longitudinal vibration mode.
【0002】[0002]
【従来の技術】インク滴を吐出するノズルと連通する圧
力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電振
動子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノ
ズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘ
ッドとして、軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧
電振動子を使用したものが実用化されている。2. Description of the Related Art A part of a pressure generating chamber communicating with a nozzle for ejecting ink droplets is composed of a vibrating plate, and the vibrating plate is deformed by a piezoelectric vibrator to pressurize the ink in the pressure generating chamber to eject ink from the nozzle. An inkjet recording head that ejects droplets has been put into practical use using a piezoelectric vibrator of a longitudinal vibration mode that expands and contracts in the axial direction.
【0003】インクジェット式記録ヘッドの中でも、高
速駆動が可能である縦振動モードの圧電振動子を使用し
た記録ヘッドは、ノズル開口が穿設されたノズルプレー
ト、リザーバに連通する圧力発生室及びリザーバを形成
する流路形成板、及び弾性板により流路ユニットを積層
形成し、一端を一定ピッチで固定基板に軸長方向に伸縮
する圧電振動子を固定した振動子ユニットにより駆動す
るように構成されている。Among the ink jet type recording heads, a recording head using a piezoelectric vibrator of a longitudinal vibration mode which can be driven at high speed has a nozzle plate having a nozzle opening, a pressure generating chamber communicating with the reservoir and a reservoir. A flow path unit is formed by laminating a flow path forming plate and an elastic plate, and is configured to be driven by a vibrator unit in which one end is fixed at a fixed pitch and a piezoelectric vibrator that expands and contracts in the axial direction is fixed to a fixed substrate. There is.
【0004】このようなインクジェット式記録ヘッド
は、複数のノズル開口が配列するノズル列を一つの振動
子ユニットで構成している。各ノズルに使用される圧電
振動子の変位はそれぞればらつきを持っており、それら
をそろえなければ各ノズルのインク吐出量が異なってし
まい、色むらが発生するという問題がある。In such an ink jet recording head, a nozzle array in which a plurality of nozzle openings are arranged is constructed by one vibrator unit. The displacements of the piezoelectric vibrators used in the nozzles have variations, and if they are not aligned, the amount of ink discharged from the nozzles will be different, causing uneven color.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような問題を解消
するため、各ノズルの圧電振動子に印加する電圧を変え
て変位量のばらつきを抑制する方策が講じられている
が、各圧電振動子に異なる駆動信号を印加する方法では
ノズルごとに駆動信号生成回路を用意する必要がありコ
ストアップにつながる。本発明は、このような問題に鑑
みてなされたものであって、その目的とするところは1
つの駆動信号に対して、各ノズルの圧電振動子の変位量
を均一化することができるインクジェット式記録ヘッド
を提供することである。In order to solve such a problem, measures have been taken to suppress variations in displacement amount by changing the voltage applied to the piezoelectric vibrator of each nozzle. In the method of applying different drive signals to the nozzles, it is necessary to prepare a drive signal generation circuit for each nozzle, which leads to an increase in cost. The present invention has been made in view of such a problem, and its object is to
It is an object of the present invention to provide an inkjet recording head that can make the displacement amount of the piezoelectric vibrator of each nozzle uniform with respect to one drive signal.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレートと、圧力発生室及びリザーバを形成する流
路形成板と、弾性板を積層して形成された流路ユニット
と、縦振動モードで作動する複数の圧電振動子を所定の
ピッチで固定基板に一端を固定して構成された振動子ユ
ニットとからなり、前記圧電振動子の先端面を前記弾性
板に当接させて前記圧力発生室を加圧してインク滴を吐
出するインクジェット式記録ヘッドであって、弾性変形
可能な部材を前記圧電振動子のそれぞれの振動領域に固
定するようにしたインクジェット式記録ヘッドを提供す
るものである。In order to solve such a problem, according to the present invention, a nozzle plate having a nozzle opening, a flow path forming plate for forming a pressure generating chamber and a reservoir, and an elastic plate are provided. And a vibrator unit having a plurality of piezoelectric vibrators operating in a longitudinal vibration mode, one end of which is fixed to a fixed substrate at a predetermined pitch. An ink jet type recording head for ejecting ink droplets by pressurizing the pressure generating chamber by abutting the tip end face of the elastic plate, wherein elastically deformable members are fixed to respective vibration regions of the piezoelectric vibrator. The present invention provides an ink jet type recording head.
【0007】前記振動子ユニットを複数列有することで
ノズル列ごとに異なる色を配置することができることを
特徴としている。By having a plurality of rows of the vibrator units, different colors can be arranged for each nozzle row.
【0008】縦振動モードで作動する複数の圧電振動子
を所定のピッチで固定基板に一端を固定して構成された
振動子ユニットにおいて、少なくとも一つの前記圧電振
動子のそれぞれに弾性部材を前記圧電振動子の振動領域
に固定していることを特徴とする振動子ユニットを供給
するものである。In a vibrator unit configured by fixing one end of a plurality of piezoelectric vibrators operating in a longitudinal vibration mode to a fixed substrate at a predetermined pitch, at least one of the piezoelectric vibrators is provided with an elastic member. The vibrator unit is characterized in that it is fixed in the vibration region of the vibrator.
【0009】前記弾性部材が前記圧電振動子の振動領域
の片側もしくは両側に取り付けられていることで設計の
範囲を広げることを特徴としている。It is characterized in that the elastic member is attached to one side or both sides of the vibration region of the piezoelectric vibrator, thereby expanding the design range.
【0010】前記圧電振動子毎に前記弾性部材が前記圧
電振動子の振動領域に取り付けられている範囲が異なる
ことや前記弾性部材の厚みが異なること、弾性率が異な
る前記弾性部材が前記圧電振動子の振動領域に取り付け
られていることで前記圧電振動子毎に任意の変位を設定
できることを特徴としている。For each piezoelectric vibrator, the range in which the elastic member is attached to the vibration area of the piezoelectric vibrator is different, the thickness of the elastic member is different, and the elastic members having different elastic moduli are the piezoelectric vibrations. It is characterized in that an arbitrary displacement can be set for each of the piezoelectric vibrators by being attached to the vibration region of the child.
【0011】前記圧電振動子が、圧電材料と内部電極を
交互に積層して構成されていることで高速駆動が可能で
ある縦振動モードで用いることを特徴としている。The piezoelectric vibrator is characterized in that it is used in a longitudinal vibration mode capable of high-speed driving because it is constructed by alternately stacking piezoelectric materials and internal electrodes.
【0012】縦振動モードで作動する複数の圧電振動子
を所定のピッチで固定基板に一端を固定して構成された
振動子ユニットにおいて、前記圧電振動子の変位を測定
する工程と、その変位データに基づく選別を行う工程
と、選別された前記圧電振動子に弾性部材を前記圧電振
動子の振動領域に固定する工程を有することで変位を抑
制したい前記圧電振動子の抑制量を正確に把握すること
ができる振動子ユニットの製造方法を提供している。A step of measuring displacement of the piezoelectric vibrator in a vibrator unit constituted by fixing one end of a plurality of piezoelectric vibrators operating in a longitudinal vibration mode to a fixed substrate at a predetermined pitch, and displacement data thereof. And a step of fixing an elastic member to the selected piezoelectric vibrator in the vibration region of the piezoelectric vibrator, thereby accurately grasping the suppression amount of the piezoelectric vibrator whose displacement is desired to be suppressed. The present invention provides a method of manufacturing a vibrator unit that can be used.
【0013】前記弾性部材を熱硬化性または紫外線硬化
性のある液体状の高分子材料を前記圧電振動子に塗布
し、硬化されることにより成形することを特徴としてい
る。It is characterized in that the elastic member is formed by applying a thermosetting or ultraviolet curable liquid polymer material to the piezoelectric vibrator and curing it.
【0014】前記高分子材料を塗布する方法としてイン
クジェット式液体塗布装置を用いることを特徴としてい
る。An ink jet type liquid coating device is used as a method for coating the polymer material.
【0015】[0015]
【作用】インクジェット式記録ヘッド内の1ノズル列内
において、圧電振動子の変位のばらつきを抑える事が出
来、各ノズルから吐出されるインク量を均一にすること
ができる。[Function] It is possible to suppress variations in the displacement of the piezoelectric vibrator within one nozzle row in the ink jet recording head, and to make the amount of ink ejected from each nozzle uniform.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図1、図2は本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、流路ユニット1は、ノズル開口2を一定ピッチで
穿設したノズルプレート3と、ノズル開口2に連通する
圧力発生室4、これにインク供給口5を介してインクを
供給するリザーバ6を備えた流路形成基板7と、振動子
ユニット8の各圧電振動子9の先端に当接して圧力発生
室4の容積を膨張、縮小させる弾性板10とを一体に積
層して構成されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The details of the present invention will be described below with reference to illustrated embodiments. 1 and 2 show an embodiment of an ink jet recording head of the present invention, in which a flow path unit 1 communicates with a nozzle plate 3 in which nozzle openings 2 are formed at a constant pitch, and the nozzle openings 2. Pressure generating chamber 4, a flow path forming substrate 7 having a reservoir 6 that supplies ink to the pressure generating chamber 4 through the ink supply port 5, and the pressure generating chamber by contacting the tips of the piezoelectric vibrators 9 of the vibrator unit 8. The elastic plate 10 for expanding and contracting the volume 4 is integrally laminated.
【0017】流路ユニット1は、高分子材料の射出成形
等により構成されたホルダー11の開口面12に、また
振動ユニット8は外部からの駆動信号を伝達するFPC
(フレキシブルケーブル)やTCP(テープキャリアパ
ッケージ)、TAB等の弾性変形可能なリボン状ケーブ
ル13に接続された上で、収容室14に収容され、それ
ぞれのホルダー11との当接面を接着剤により固定さ
れ、ノズルプレート側にシールド材を兼ねる枠体15を
挿入して記録ヘッドに纏められている。本実施例では、
6色のインクを使用できるように6列のノズル列からな
っている。1列に1個合計6個の振動子ユニットが取り
付けられている。The flow path unit 1 is formed on the opening surface 12 of a holder 11 formed by injection molding of a polymer material, and the vibration unit 8 is an FPC for transmitting a drive signal from the outside.
(Flexible cable), TCP (tape carrier package), TAB, or other elastically deformable ribbon-shaped cable 13, and then accommodated in the accommodating chamber 14, and the contact surface with each holder 11 is bonded by an adhesive. A frame body 15 which is fixed and also serves as a shield material is inserted on the nozzle plate side and is integrated in the recording head. In this embodiment,
It consists of 6 nozzle rows so that 6 colors of ink can be used. A total of 6 transducer units are installed in each row.
【0018】図3(イ)、(ロ)は、振動子ユニット8
の一実施例を示すものであって、複数の圧電振動子9を
固定基板27に圧力発生室4の配列ピッチに一致させて
固定するとともに、圧電振動子9の列設方向の両端には
インク滴の吐出に関与しない、いわゆるダミーの圧電振
動子9’、9’が固定して構成されている。これら圧電
振動子9、9’は、一方の極となる電極21と、他方の
極となる電極22とを圧電材料23を介してサンドイッ
チ状に積層し、一方の電極21を自由端側の先端に、ま
た他方の電極22を固定端側の先端に露出させて、各端
面でセグメント電極24、及び共通電極25にそれぞれ
接続して構成されている。FIGS. 3A and 3B show the vibrator unit 8
FIG. 3 shows an embodiment of the present invention in which a plurality of piezoelectric vibrators 9 are fixed to a fixed substrate 27 so as to match the arrangement pitch of the pressure generating chambers 4 and ink is provided at both ends of the piezoelectric vibrators 9 in the row direction. So-called dummy piezoelectric vibrators 9 ', 9'that do not participate in the ejection of droplets are fixed and configured. In these piezoelectric vibrators 9 and 9 ', an electrode 21 serving as one pole and an electrode 22 serving as the other pole are laminated in a sandwich form with a piezoelectric material 23 interposed therebetween, and one electrode 21 is provided on the free end side. In addition, the other electrode 22 is exposed at the tip on the fixed end side and is connected to the segment electrode 24 and the common electrode 25 at each end face.
【0019】この実施例において、変位を抑えたい圧電
振動子9にだけ弾性部材28を接着すると、図4に示す
ように弾性部材28の拘束を受けて変位が低下する。圧
電振動子9の変位の低下量は、弾性部材28の接着面
積、厚み、弾性率から決まる。弾性部材28の厚みを変
えることにより、複数ある圧電振動子9の変位をコント
ロールできる。このようにして変位の大きい圧電振動子
9は変位を抑えられる。また、この方法では弾性部材2
8の厚みを変えることによって変位の抑制量を変えてい
るので接着面積は変わらないため接着位置を統一するこ
とができる。さらに、弾性部材28は、各圧電振動子9
のランクによって弾性率の異なる部材を用意すること
で、弾性部材28の形状をそろえることができ、設計を
しやすくすることができる。また、弾性部材28を圧電
振動子9の片側に取り付けることで製造工程の簡素化を
図ることができる。In this embodiment, when the elastic member 28 is adhered only to the piezoelectric vibrator 9 whose displacement is desired to be suppressed, the displacement is reduced due to the constraint of the elastic member 28 as shown in FIG. The amount of decrease in displacement of the piezoelectric vibrator 9 is determined by the adhesive area, thickness and elastic modulus of the elastic member 28. By changing the thickness of the elastic member 28, the displacement of the plurality of piezoelectric vibrators 9 can be controlled. In this way, the displacement of the piezoelectric vibrator 9 having a large displacement can be suppressed. Further, in this method, the elastic member 2
Since the amount of displacement suppression is changed by changing the thickness of No. 8, the adhesion area does not change and the adhesion positions can be unified. Further, the elastic member 28 is used for each piezoelectric vibrator 9
By preparing members having different elastic moduli depending on the rank, the shapes of the elastic members 28 can be made uniform, and the design can be facilitated. Further, by attaching the elastic member 28 to one side of the piezoelectric vibrator 9, the manufacturing process can be simplified.
【0020】弾性部材28の接着を各圧電振動子9に行
い、変位の大きい圧電振動子9の変位量を抑えることで
各圧電振動子9の変位をそろえることができたヘッドを
製作することができる。このヘッドを用いることで同一
の駆動信号が印可された場合、同じ変位を得ることで各
ノズルのインク吐出量を等しくすることが出来る。By bonding the elastic member 28 to each piezoelectric vibrator 9 and suppressing the displacement amount of the piezoelectric vibrator 9 having a large displacement, it is possible to manufacture a head in which the displacement of each piezoelectric vibrator 9 can be aligned. it can. When the same drive signal is applied by using this head, it is possible to equalize the ink ejection amount of each nozzle by obtaining the same displacement.
【0021】このことから、インクの吐出量を均一にす
ることにより、高画質な印字品質を得ることができる。From the above, it is possible to obtain high-quality printing quality by making the ink ejection amount uniform.
【0022】図5(イ)、(ロ)は本発明の他の実施例
を示すものであって、この実施例では、圧電振動子9の
振動領域に範囲を変えた弾性部材28を接着することで
変位の抑制量をコントロールしている。実施方法として
は、液体状の高分子を圧電振動子9に塗布し、その後熱
をかけて硬化させることにより弾性部材28を成形して
いる。また、高分子としては紫外線硬化型の材料を用い
ることもできる。高分子の塗布には塗布領域に穴をあけ
た部材を用意してその穴に高分子を塗布する方法があ
る。FIGS. 5A and 5B show another embodiment of the present invention. In this embodiment, an elastic member 28 having a different range is bonded to the vibration area of the piezoelectric vibrator 9. This controls the amount of displacement suppression. As an implementation method, a liquid polymer is applied to the piezoelectric vibrator 9, and then heat is applied to cure the polymer, whereby the elastic member 28 is formed. An ultraviolet curable material can also be used as the polymer. For coating the polymer, there is a method of preparing a member having a hole in the coating region and coating the hole with the polymer.
【0023】図6は本発明の実施例の製造方法を示すも
のであって、この実施例ではレーザードップラー微小振
動測定機101を用いて圧電振動子9の変位を測定す
る。これらの圧電振動子9は一番小さい圧電振動子9を
基準として、例えば変位が+0%〜1%のランク1、1
%〜2%のランク2、2%〜3%のランク3・・・のよ
うに変位データ処理装置102によって測定された変位
からランク分けを行う。これらのランク分けにしたがっ
て、変位を抑制する圧電振動子9を選択し高分子塗布範
囲を決定する。高分子塗布範囲は圧電振動子9のランク
が1の場合は塗布しない。ランクが2の場合は圧電振動
子9の変位が1%下がるように、ランクが3の場合は圧
電振動子9の変位が2%下がるように高分子塗布範囲を
変えることにより、複数ある圧電振動子9の変位をコン
トロールできる。このようにして変位の大きい圧電振動
子9は変位を抑えられる。塗布範囲はインクジェット式
液体塗布装置103に送られ、インクジェット式ヘッド
104から圧電振動子に塗布される。このようにインク
ジェット式液体塗布装置を使用することで無駄なく正確
に塗布することができる。その後高分子は硬化され弾性
部材28となる。弾性部材28を取り付けた振動子ユニ
ット8の圧電振動子9の変位は0%〜+1%の間にする
ことができ各圧電振動子9の変位のばらつきを抑えるこ
とができる。FIG. 6 shows a manufacturing method according to an embodiment of the present invention. In this embodiment, the displacement of the piezoelectric vibrator 9 is measured using a laser Doppler microvibration measuring machine 101. These piezoelectric vibrators 9 are, for example, ranks 1 and 1 with displacements of + 0% to 1%, based on the smallest piezoelectric vibrator 9.
The ranks are classified from the displacements measured by the displacement data processing device 102, such as rank 2 of% to 2%, rank 3 of 2% to 3%, and so on. According to these ranks, the piezoelectric vibrator 9 that suppresses displacement is selected and the polymer application range is determined. The polymer coating range is not coated when the piezoelectric vibrator 9 has a rank of 1. If the rank is 2, the displacement of the piezoelectric vibrator 9 is reduced by 1%, and if the rank is 3, the displacement of the piezoelectric vibrator 9 is reduced by 2%. The displacement of the child 9 can be controlled. In this way, the displacement of the piezoelectric vibrator 9 having a large displacement can be suppressed. The coating range is sent to the inkjet liquid coating device 103, and is coated on the piezoelectric vibrator from the inkjet head 104. As described above, by using the ink jet type liquid coating device, accurate coating can be performed without waste. After that, the polymer is cured to become the elastic member 28. The displacement of the piezoelectric vibrator 9 of the vibrator unit 8 to which the elastic member 28 is attached can be set between 0% and + 1%, and the variation in the displacement of each piezoelectric vibrator 9 can be suppressed.
【0024】図7は本発明の他の実施例を示すものであ
って、この実施例では弾性部材28を圧電振動子9の両
側に取り付けている。弾性部材28を片側に取り付けた
場合、圧電振動子9の弾性部材28を取り付けた側が拘
束を受け変位が落ちる。また、弾性部材28を付けなか
った側は拘束を受けにくいために変位に偏りが生じ図8
に示すように圧電振動子9は縦振動faと、たわみ振動
fbの周期で発振する。これに対して、弾性部材28を
圧電振動子9の両側に取り付けた場合は、変位の偏りが
発生しないため、図8に示すようにたわみ振動fbが発
振せず、残留振動を少なくすることができる。FIG. 7 shows another embodiment of the present invention. In this embodiment, elastic members 28 are attached to both sides of the piezoelectric vibrator 9. When the elastic member 28 is attached to one side, the side of the piezoelectric vibrator 9 to which the elastic member 28 is attached is constrained and the displacement is reduced. In addition, since the side without the elastic member 28 is less likely to be restrained, the displacement is biased.
As shown in, the piezoelectric vibrator 9 oscillates in a cycle of longitudinal vibration fa and flexural vibration fb. On the other hand, when the elastic members 28 are attached to both sides of the piezoelectric vibrator 9, since the displacement is not biased, the flexural vibration fb does not oscillate as shown in FIG. 8 and the residual vibration can be reduced. it can.
【0025】[0025]
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、複数のノズル開口が穿設されたノズルプレート、複
数の圧力発生室及びリザーバを形成する流路形成板、及
び弾性板を積層して形成された流路ユニットと、縦振動
モードで作動する複数の圧電振動子を所定のピッチで固
定基板に一端を固定して構成された振動子ユニットから
なるインクジェット式記録ヘッドにおいて、変位の大き
い圧電振動子に弾性部材を圧電振動子の振動領域に固定
したので、弾性部材により変位を抑制して、変位の小さ
い圧電振動子に変位を合わせることが出来る。これによ
り、単一の駆動信号に対して各圧電振動子の変位が等し
くなりノズルから吐出されるインク量をそろえることが
でき、高画質な印字を可能にする。As described above, in the present invention, a nozzle plate having a plurality of nozzle openings formed therein, a flow path forming plate forming a plurality of pressure generating chambers and a reservoir, and an elastic plate are laminated. In an ink jet recording head composed of a formed flow path unit and a vibrator unit configured by fixing one end of a plurality of piezoelectric vibrators operating in a longitudinal vibration mode to a fixed substrate at a predetermined pitch, a piezoelectric element having a large displacement Since the elastic member is fixed to the vibration region of the piezoelectric vibrator on the vibrator, the displacement can be suppressed by the elastic member, and the displacement can be matched with the piezoelectric vibrator having a small displacement. As a result, the displacement of each piezoelectric vibrator becomes equal to a single drive signal, and the amount of ink ejected from the nozzles can be made uniform, enabling high-quality printing.
【図1】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。FIG. 1 is an assembled perspective view showing an embodiment of an ink jet recording head of the present invention.
【図2】同上装置の断面構造を示す図である。FIG. 2 is a view showing a cross-sectional structure of the same device.
【図3】図(イ)、(ロ)は、それぞれ振動子ユニット
の一実施例を示す斜視図と、断面図である。3A and 3B are a perspective view and a cross-sectional view, respectively, showing an embodiment of a vibrator unit.
【図4】弾性部材の有無による違いを示す変位特性図で
ある。FIG. 4 is a displacement characteristic diagram showing a difference depending on the presence or absence of an elastic member.
【図5】振動子ユニットの一実施例を示す断面図であ
る。FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a vibrator unit.
【図6】インクジェット式液体塗布装置を用いた振動子
ユニットの製造方法図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a method of manufacturing a vibrator unit using an inkjet liquid coating device.
【図7】振動子ユニットの一実施例を示す断面図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a vibrator unit.
【図8】弾性部材を片側と両側につけた場合の違いを示
す変位特性図である。FIG. 8 is a displacement characteristic diagram showing a difference when elastic members are attached to one side and both sides.
1 流路ユニット 8 振動子ユニット 9 圧電振動子 11 ホルダー 13 ケーブル 27 固定基板 28 弾性部材 101 レーザードップラー微小振動測定機 102 変位データ処理装置 103 インクジェット式液体塗布装置 104 インクジェット式ヘッド 1 flow path unit 8 transducer unit 9 Piezoelectric vibrator 11 holder 13 cables 27 Fixed board 28 Elastic member 101 Laser Doppler Micro Vibration Measuring Machine 102 Displacement data processing device 103 Ink jet type liquid coating device 104 inkjet head
Claims (14)
レートと、複数の圧力発生室及びリザーバを形成する流
路形成板、及び弾性板を積層して形成された流路ユニッ
トと、縦振動モードで作動する複数の圧電振動子を所定
のピッチで固定基板に一端を固定して構成された振動子
ユニットとからなり、前記圧電振動子の先端面を前記弾
性板に当接させて前記圧力発生室を加圧してインク滴を
吐出するインクジェット式記録ヘッドであって、少なく
とも一つの前記圧電振動子のそれぞれにおいて弾性部材
を前記圧電振動子の振動領域に固定してなる振動子ユニ
ットを備えることを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッド。1. A nozzle plate having a plurality of nozzle openings, a flow path forming plate forming a plurality of pressure generating chambers and a reservoir, and a flow path unit formed by laminating elastic plates, and a vertical vibration. A piezoelectric unit which has a plurality of piezoelectric vibrators operating in a mode and which is fixed at one end to a fixed substrate at a predetermined pitch. An inkjet recording head for pressurizing a generation chamber to eject ink droplets, comprising: a vibrator unit in which an elastic member is fixed to a vibration region of the piezoelectric vibrator in each of at least one of the piezoelectric vibrators. An inkjet recording head characterized by:
を特徴とする請求項1に記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the vibrator unit has a plurality of rows.
子を所定のピッチで固定基板に一端を固定して構成され
た振動子ユニットにおいて、少なくとも一つの前記圧電
振動子のそれぞれに弾性部材を前記圧電振動子の振動領
域に固定していることを特徴とする振動子ユニット。3. A vibrator unit constituted by fixing a plurality of piezoelectric vibrators operating in a longitudinal vibration mode at one end to a fixed substrate at a predetermined pitch, wherein at least one of the piezoelectric vibrators has an elastic member. A vibrator unit, wherein the vibrator unit is fixed to a vibration region of the piezoelectric vibrator.
域の片側に取り付けられている請求項3に記載の振動子
ユニット。4. The vibrator unit according to claim 3, wherein the elastic member is attached to one side of a vibration region of the piezoelectric vibrator.
域の両側に取り付けられている請求項3に記載の振動子
ユニット。5. The vibrator unit according to claim 3, wherein the elastic members are attached to both sides of a vibration region of the piezoelectric vibrator.
圧電振動子の振動領域に取り付けられている範囲が異な
ることを特徴とする請求項3に記載の振動子ユニット。6. The vibrator unit according to claim 3, wherein a range in which the elastic member is attached to a vibration region of the piezoelectric vibrator is different for each of the piezoelectric vibrators.
が異なることを特徴とする請求項3に記載の振動子ユニ
ット。7. The vibrator unit according to claim 3, wherein the thickness of the elastic member is different for each of the piezoelectric vibrators.
弾性部材が前記圧電振動子の振動領域に取り付けられて
いることを特徴とする請求項3に記載の振動子ユニッ
ト。8. The vibrator unit according to claim 3, wherein the elastic member having a different elastic modulus for each of the piezoelectric vibrators is attached to a vibration region of the piezoelectric vibrator.
を交互に積層して構成されている請求項3に記載の振動
子ユニット。9. The vibrator unit according to claim 3, wherein the piezoelectric vibrator is configured by alternately stacking piezoelectric materials and internal electrodes.
を、複数個、所定のピッチで固定基板に一端を固定して
構成された振動子ユニットの製造方法において、前記圧
電振動子の変位を測定する工程と、その変位データに基
づく選別を行う工程と、選別された前記圧電振動子に弾
性部材を前記圧電振動子の振動領域に固定する工程を有
することを特徴とする振動子ユニットの製造方法。10. A method of manufacturing a vibrator unit comprising a plurality of piezoelectric vibrators operating in a longitudinal vibration mode, one end of which is fixed to a fixed substrate at a predetermined pitch, and displacement of the piezoelectric vibrator is measured. And a step of performing selection based on the displacement data thereof, and a step of fixing an elastic member to the selected piezoelectric vibrator in a vibration region of the piezoelectric vibrator, a method of manufacturing a vibrator unit. .
料を前記圧電振動子に塗布し、硬化されることにより成
形されることを特徴とする請求項10に記載の振動子ユ
ニットの製造方法。11. The method of manufacturing a vibrator unit according to claim 10, wherein the elastic member is formed by applying a liquid-state polymer material to the piezoelectric vibrator and curing the same. .
いたことを特徴とする請求項10に記載の振動子ユニッ
トの製造方法。12. The method according to claim 10, wherein a thermosetting material is used as the polymer material.
を用いたことを特徴とする請求項10に記載の振動子ユ
ニットの製造方法。13. The method of manufacturing a vibrator unit according to claim 10, wherein an ultraviolet curable material is used as the polymer material.
インクジェット式液体塗布装置を用いたことを特徴とす
る請求項10に記載の振動子ユニットの製造方法。14. The method of manufacturing a vibrator unit according to claim 10, wherein an ink jet type liquid applying device is used as a method of applying the polymer material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001306890A JP2003112422A (en) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | Ink jet recording head, vibrator unit and method of manufacturing vibrator unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001306890A JP2003112422A (en) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | Ink jet recording head, vibrator unit and method of manufacturing vibrator unit |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003112422A true JP2003112422A (en) | 2003-04-15 |
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ID=19126447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2001306890A Withdrawn JP2003112422A (en) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | Ink jet recording head, vibrator unit and method of manufacturing vibrator unit |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003112422A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018051908A (en) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | Method for manufacturing liquid jet head and liquid jet head |
-
2001
- 2001-10-02 JP JP2001306890A patent/JP2003112422A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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