【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム等で用いられる無人搬送システムに関し、詳しくは、走行路上を走行させる無人搬送車の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体製造工場等のクリーンルームでは、処理装置等に沿って敷設された走行経路上に無人搬送車を走行させて、該搬送車により物品を該処理装置等に搬送する無人搬送車システムが知られている。
走行経路は、複数の第1閉ループ路と、該第1閉ループ路間を接続する第2閉ループ路とを備え、該第1閉ループ路は処理装置に沿って敷設される工程内搬送用のループとして、該第2閉ループ路は第1閉ループ路間を連絡する工程間搬送用の長距離ループとして構成され、搬送車を介して第1閉ループ路の下方の処理装置から、別の第1閉ループ路の下方の処理装置へと物品が移送される。
また、従来の搬送車は、搬送する物品を載置する物品載置部を走行路の上側に設け、走行路の下に設けられた物品載置箇所との間で、物品を受け渡しするための昇降装置が設けられている。このような昇降装置においては物品を移載する際、この昇降装置を搬送車本体及び走行路から外れるように水平移動させる必要性から、昇降装置を昇降可能にする水平移動機構が備えられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このため、第1閉ループ路上の搬送車から、その下方の処理装置の物品載置箇所に物品を受け渡す際には、走行経路が邪魔になるために、前記水平移動機構により前記物品の昇降装置を走行経路の走行方向に対して左右方向に大きく水平移動させた上で、物品を昇降させて受け渡しを行う。このため、この状態では機体のバランスが悪く、搬送車が第1閉ループ路上から落下する恐れがあり、搬送車にはカウンタウェイトが搭載されて、該カウンタウェイトを、該昇降装置を水平移動させた方向とは左右反対方向に移動させ、機体のバランスを保っていた。
以上のような機構は大仕掛けとなり、そこで、本発明では、昇降装置を大きく水平移動させることなく、物品を走行経路の下方の物品載置箇所へ受け渡すことができる無人搬送車を提供することを課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段は、以下に示すとおりである。
まず、請求項1に記載のように、走行路の上で物品を保持して走行するとともに、該物品を走行路の下方の物品載置箇所に受け渡す搬送車であって、前記搬送車は、下方が開口する物品収納空間を形成した車体と、該物品収納空間内に物品を保持する保持装置とを備える。
【0005】
そして、請求項2に記載のように、前記搬送車は、天井近傍に敷設された走行路を走行する。
【0006】
また、請求項3に記載のように、前記保持装置は、物品保持部と、該物品保持部を昇降させる昇降部とを備え、該昇降部の昇降により、該物品保持部を前記開口から走行路を通過させて、前記物品載置箇所まで移動可能とする。
【0007】
さらに、請求項4に記載のように、前記搬送車は、前記物品保持部を車体進行方向に対して直交する方向に横移動させる移動装置を備える。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
図1は無人搬送車システム1の走行経路2の分岐部を示す斜視図、図2は無人搬送車システム1の概略構成を示す平面図、図3は自動倉庫5付近の平面図、図4は自動倉庫5付近の正面図、図5は第1搬送車10Aから自動倉庫5への物品9の受け渡しを説明する図、図6は走行経路2上の第1搬送車10Aの斜視図、図7は第2搬送車10Bの斜視図、図8は搬送車10A・10Bの底面図、図9は走行経路2の一部平面図、図10は走行経路2の正面断面図である。
なお、以下の説明では、搬送車10(10A・10B)については、その進行方向を前方として各構成部材の前後左右位置を説明し、走行経路2(21・22・23)については、その走行方向を前方として各構成部材の前後左右位置を説明するものとする。
【0009】
まず、半導体製造工場等のクリーンルーム内での無人搬送車システムに適用される無人搬送車システム1について説明する。
図1及び図2に示すように、無人搬送車10の移動経路となる走行経路2がクリーンルームの天井から吊り下げ部材30・30・・・を介して吊設されており、この走行経路2に沿って複数の作業場3・3・・・が配置されている。この走行経路2は大別して、図2に示されるように、複数の第1閉ループ路21・21・・・と、該第1閉ループ路21・21・・・間を接続する第2閉ループ路22とから成り、該第1閉ループ路21は作業場3の処理装置4・4・・・に沿って敷設される工程内搬送用のループとして、該第2閉ループ路22は各作業場3・3・・・間を連絡する工程間搬送用の長距離ループとして構成されている。この第1閉ループ路21と第2閉ループ路22とは連結路23・23を介して連結されており、該連結路23・23と、該第1閉ループ21の曲線部と、該第2閉ループ22の直線部とで囲われるスペースには物品9を保管する自動倉庫5が配置されている。詳細は後述するが、この第1閉ループ21路の外側方であり、且つ第2閉ループ22路の外側方に配置される自動倉庫5・5・・・では、該第1閉ループ路21上の第1搬送車10A、及び該第2閉ループ路22上の第1搬送車10Aの両方から、物品9の移載が可能である。ここで言う物品9とは、例えば、半導体ウエハを収納したカセット等のことである。
【0010】
図3に示すように、処理装置4の入出庫口にはそれぞれ物品9の載置箇所としてのステーション41・41が設けられており、該ステーション41・41は処理装置4から突設されて、第1閉ループ路21の下方に配置されている。第1閉ループ路21の外側に配置された処理装置4は移載装置を備え、該移載装置によって物品9がステーション41と処理装置4内との間で移載される。詳細については後述するが、このステーション41・41上方の第1閉ループ路21には、物品9が上下に通過可能な通過口20・20が形成されている。
【0011】
また、図3及び図4に示すように、自動倉庫5には、第1閉ループ路21に対向する側面の下部、及び第2閉ループ22路に対向する側面の上部と下部に、それぞれ入出庫口が設けられている。自動倉庫5下部の2箇所の入出庫口にはそれぞれ物品9の載置箇所としてのステーション51・51と52・52とが1組ずつ設けられ、該ステーション51・51、52・52は自動倉庫5から突設されて、それぞれ第1閉ループ路21の下方と、第2閉ループ路22の下方とに配置されている。このステーション51(52)はローラコンベア等の搬送コンベアを備え、該搬送コンベアによって物品9が自動倉庫5に入出庫される。
なお、このステーション51・51上方の第1閉ループ路21、及びステーション52・52上方の第2閉ループ路22についても、物品9が上下に通過可能な通過口20・20が形成されている。
【0012】
一方、自動倉庫5上部の入出庫口にはそれぞれ物品9の受け渡し口となるステーション53・53が、第2閉ループ路22の外側方まで突設されている。このステーション53は、入出庫コンベアとして一対のローラコンベア54・54を備え、該ローラコンベア54・54は、搬送車10の進行方向に対して前後に並設されて、第2閉ループ路22を走行する第2搬送車10Bのローラコンベア8・8と同じ高さで配置されている。この1対のローラコンベア54・54で物品9下面の前後両端部を転支して、搬送車10の進行方向に対して左右方向に横送りする構成である。このローラコンベア54・54の外側端部(第2閉ループ路22側端部)には、第2搬送車10Bへ物品9を受け渡す時以外に、ローラコンベア54・54の搬送面から上方に突出した状態で物品9を係止し、物品9を受け渡す時に搬送面から下降する上下動自在なストッパ55が設けられており、ローラコンベア54・54上の物品9の落下が防止されている。
【0013】
次に、前記搬送車10について説明する。
本実施例では、走行経路2上に2種類の搬送車10A・10Bを、図2中の矢印の方向に一方向に走行させており、第1搬送車10A・10A・・・は工程間搬送と工程内搬送の兼用タイプとして、第2搬送車10B・10B・・・は工程間搬送専用のタイプとして構成されている。
【0014】
図6及び図7に示すように、この第1搬送車10A及び第2搬送車10Bの車体本体10a・10aは略同じ構造であり、車体本体10aの中央部には物品収納空間10bが形成されて、該物品収納空間10bの下側部と一側部とは、物品9が通過可能なように外部へ開口され、該車体本体10aの下側部及び一側部が「門」字型に形成されている。
なお、この車体本体10aの一側部の開口部については、第1閉ループ路21及び第2閉ループ路22上で外側に向くように配置される。
【0015】
図8に示すように、車体本体10aの前記一側部の反対側部の下部にはブラケット16が突設され、該ブラケット16から、一対のガイドローラ12・12が垂設されている。このガイドローラ12・12は、これらの車軸が鉛直方向に向けられ、車体の前後中央で前後に並設されている。
【0016】
また、車体本体10aの前記反対側部には、駆動輪11が車軸を左右水平方向に向けて配置されている。平面視で、この駆動輪11の車軸は、前記ガイドローラ12・12を結ぶ直線の垂直2等分線上に配置されており、該駆動輪11の一部分は車体本体10aの下面から下方に突出して、後述するレール24Lの走行部24bと当接するように構成されている。
【0017】
そして、車体本体10aの下面における、駆動輪11の前後に、一対の補助輪13・13が設けられている。該補助輪13・13は方向転換自在なキャスター輪で構成され、車軸を左右水平方向に向けて配置されており、この補助輪13・13は、通常、レール24Lの走行部24bとは接触しないように、該走行部24bとの間に若干(例えば数ミリ程度)の間隙を開けて配置されている。この補助輪13・13はこれらの車輪を走行部24bから浮かせて、駆動輪11が常に前記走行部24bと接するようにしており、車体本体10aが傾くと該車輪が走行部24bに接触して、それ以上傾かないようにしている。
【0018】
さらに、車体本体10aの下面の一側部端には、一対の従動輪14・14が垂設されている。この従動輪14・14は方向転換自在なキャスター輪で構成され、車体本体10a下面における前後端部に、車軸を左右水平方向に向けて配置されている。
【0019】
一方、図6及び図7に示すように、車体本体10aの上面における前部と後部には1対の分岐装置17・17が設けられている。該分岐装置17は車体本体10aの上面の左右方向中央部に配置されるガイドローラ18と、その左右両側方に配置される分岐ローラ19・19とを備え、該ローラ18・19・19は車軸を鉛直方向に向けて配置されて、分岐ローラ19・19については上下動自在に構成されている。
【0020】
また、車体本体10aの左右両側の上部には、給電線6・6から電力を得るためのピックアップユニット60・60が配設されている。このピックアップユニット60・60は、車体に占める重量比が多いため、車体の前後両側に配置することで、車体全体の重量バランスを保ち、例えば、曲線部をなめらかに走行することを可能にしている。また、走行経路2は分岐路を有するため、該走行経路2の一側に敷設される給電線6・6は、分岐路等、所により、該走行経路2のこれとは反対側に敷設される箇所もあり、該ピックアップユニット60・60を車体本体10aの左右両側部に配置することで、このような分岐路等においても、走行する搬送車10へ、瞬断することなく電力を供給することができる。
【0021】
前記ピックアップユニット60には、断面が略「E」字型をしたフェライト製のコア61が固定されており、該コア61の上下中央の突出部にピックアップコイル62が巻回されている。該コア61は、上下の突出部とその間の中央の突出部との間に形成された2つの凹部スペース内に、後述する給電線ホルダ65・65・・・の先端部に保持された給電線6・6が、それぞれ一本ずつ位置するように配置されている。この給電線6・6に高周波電流を流すことによって発生する磁界を、ピックアップコイル62で受けるようにしている。そして、電磁誘導現象を利用し、ピックアップコイル62に発生する誘導電流から電力を取り出す。このようにして、給電線6・6からピックアップユニット60に非接触で電力が供給され、駆動輪11のモータを駆動したり、制御機器に電力を供給したりしている。
【0022】
以上、車体本体10aの構成であり、図6に示すように、第1搬送車10Aには、物品9の保持装置として、物品収納空間10b内に、チャックを備えたホイスト7が搭載されている。物品収納空間10b上方の天井面には横移動装置70が垂設されており、横移動装置70にホイスト本体71が設けられている。ホイスト本体71には、チャックを昇降させるための昇降手段が設けられており、横移動装置70で、ホイスト本体71を車体進行方向に対して左右横方向(直交する方向)に移動させることができる。このため、ホイスト7の真下から、ステーション41(又は51、52)が進行方向に対して直交する方向に据え付け誤差などにより多少ずれていた場合にも、物品9をステーション41(又は51、52)の物品載置部の真上となるように、ホイスト本体71を移動させることで、物品9をステーションの載置部へ正確に移載することができる。また、ステーション41(又は51、52)が、平面視で車体本体10aに形成されている側壁開口側にあって、車体進行方向に対して左右横方向(直交する方向)で、レール24Rより側方にずれた位置にあった場合でも、横移動装置70の移動量を増やすことで対応することが可能になる。その際には、移動側のレール24Rに切欠を設ける必要がある。
【0023】
このホイスト7の本体71には4組の巻取ドラムが取り付けられており、図4、図5に示されるように、該巻取ドラムにはそれぞれベルト73・73・・・が巻回されて、該ベルト73・73・・・を介して昇降部72が昇降自在に吊設されている。このように昇降部72が昇降自在に構成されており、該昇降部72の下部に物品9を保持するためのチャックが設けられている。チャックは、物品9の上部に形成されている図示されない上部フランジを把持するようになっている。そして、第1搬送車10Aにより物品9を搬送する際には、前記昇降部72が巻き上げられ、物品9はチャックで保持・固定された状態となる。この状態では、物品9は、物品収納空間10b内に収納されるとともに、その底面がレール24L・24Rよりも上方に配置され、物品9が走行の妨げとならないようになっている。
【0024】
次に、この第1搬送車10Aによる物品9の移載について説明する。
第1搬送車10Aは、第1閉ループ路21又は第2閉ループ路22を走行しており、目的の処理装置4のステーション41(又は自動倉庫5のステーション51、若しくはステーション52)の上方で停止させる。このとき、第1搬送車10Aの下方に前記の第1閉ループ路21の通過口20(又は第2閉ループ路22の通過口20)が位置し、ホイスト7を保持する横移動装置70で左右方向の位置の調節を行い、該ホイスト7を該ステーション41(又は51、52)上の物品9の直上方に位置させる。
【0025】
そして、図5に示すように、前記ホイスト7の昇降部72を通過口20から下降させ、ステーション41(又は51、52)上の物品9をチャックで把持して、該昇降部72を上昇させ、再び該通過口20を通過させて、該物品9を物品収納空間10b内に収納する。この物品9を保持した状態で第1搬送車10Aを走行させ、搬送先のステーション41(又は51、52)の上方で停止させて、横移動装置70で左右方向の位置を調節し、通過口20より物品9を把持したホイスト7の昇降部72を下降させて、該物品9を搬送先のステーション41(又は51、52)上に載置する。このように第1搬送車10Aによって、物品9は、主に処理装置4・4間、及び処理装置4と自動倉庫5の間で移送され、また、自動倉庫5・5間でも移送される。
【0026】
このように第1搬送車10Aは走行経路2の上で物品9を保持して搬送する搬送車でありながら、ホイスト7により走行経路2に開口された通過口20から、その下方のステーション41(又は51、52)へ容易に物品9を受け渡すことができる。該第1搬送車10Aによれば、仮に第1閉ループ路21と第2閉ループ路22とで、ステーション41・51・52の高さ位置が異なる場合であっても、容易に物品9を受け渡すことができ、その上、受け渡しの際には走行経路2の通過口20を上下に通過させて物品9を昇降させれば良いので、第1搬送車10Aは安定した状態で物品9を移載することができ、従来のように、移載装置を走行経路2と直交した方向(左右方向)に、しかも物品9を走行経路から外れた位置まで一旦移動させる場合に比し、安定した移載作業ができ、しかも、移載に要する経路が短くなって、移載時間も短縮することができる。
【0027】
一方、図7に示すように、第2搬送車10Bには、移載装置として、物品収納空間10bを形成する前後の内側面下部に、一対のローラコンベア8・8が突設されている。ローラコンベア8・8の下面には落下防止プレート82が渡設され、車体本体10a下方の開口部が塞がれている。ローラコンベア8・8は物品9下面の前後両端部を転支して、左右方向に横送りするように構成されている。また、車体本体10aの一側方の開口部にはストッパ80が開閉自在に設けられ、ローラコンベア8・8の先端には、上下動自在なストッパ80が設けられ、物品9の搬送中には、ローラコンベア8・8の搬送面より上に突出して物品9が落下しないように物品9を係止するようになっており、物品9をステーション53のローラコンベア54・54との間で受け渡す時には、搬送面より下降するようになっている。
【0028】
次に、この第2搬送車10Bによる物品9の移載について説明する。
この第2搬送車10Bは第2閉ループ路22を周回しており、図4に示すように、自動倉庫5上部の入出庫口と対向する位置で停止させ、このとき、第2搬送車10Bのローラコンベア8・8と自動倉庫5のローラコンベア54・54とがそれぞれ接近対向し、同じ高さで一直線状に並んでいる。そして、第2搬送車10B及び自動倉庫5のストッパ80及びストッパ55が解除されて、物品9が自動倉庫5のローラコンベア54・54から第2搬送車10Bのローラコンベア8・8へと搬送される。物品9が第2搬送車10Bに積み込まれると、ストッパ80により該物品9の落下を防止し、この状態で第2搬送車10Bを走行させる。そして、搬送先の自動倉庫5上部の入出庫口と対向する位置で停止させ、ストッパ80及びストッパ55が解除された後、物品9は第2搬送車10Bのローラコンベア8・8から自動倉庫5のローラコンベア54・54へと搬送される。自動倉庫5のローラコンベア54・54と、第2搬送車10Bのローラコンベア8・8との間の物品9の受け渡しであるが、一方から送り出された物品9を他方が引き込むという形になる。
【0029】
例えば、自動倉庫5から第2搬送車10Bへ物品9を受け渡す場合、物品9は、ローラコンベア54・54のローラに、縁部を支持された状態で、ローラの回転により自動倉庫5側から第2搬送車10Bへ移動させられる。そして、物品9は、順にローラ上を移動しながらローラコンベア54・54の端部に到着する。ローラコンベア54・54の端部とローラコンべア8・8の高さは略同じに調整してあり、ローラコンベア54・54のローラが回転を続けることで、物品9は、ローラコンベア54・54端部を経てローラコンベア8・8へ送り出される。ローラコンベア8・8のローラは、ローラコンベア54・54のローラと回転方向を同じにしてあるため、物品9の緑部がローラコンベア8・8のローラにかかると、その回転に伴い、物品9をローラコンベア54・54から引き込む形になる。そして、物品9がローラコンベア54・54からローラコンベア8・8への乗り移りが完了するまでの間、ローラコンベア54・54により送り出されるとともに、ローラコンベア8・8に引き込まれる状態となる。
【0030】
このように第2搬送車10Bは、自動倉庫5・5間で物品9を搬送する専用の搬送車として構成されている。この第2搬送車10Bによれば、第1搬送車10Aのような昇降装置が搭載された移載装置により物品9を移載する場合に比し、自動倉庫5・5間で物品9をより一層短時間で搬送することができる。
【0031】
以上、2種類の搬送車10A・10Bについての説明であるが、コストの面では、ホイスト7を搭載する第1搬送車10Aよりもローラコンベア8・8を搭載する第2搬送車10Bの方が安価に製作できる。このため、システム全体に存在する第1搬送車10A・10A・・・の台数を極力少なくして、その分、第2搬送車10B・10B・・・を導入し、自動倉庫5・5間の搬送には、第2搬送車10B・10B・・・を、それ以外の搬送には、第1搬送車10A・10A・・・を用いるように搬送制御して、無人搬送車システム1を構築するコストの低減化を図ることができる。
【0032】
なお、第2搬送車10B・10B・・・を用いる場合には、自動倉庫5の上部に、第2搬送車用のステーション53・53を設ける必要があり、事情に応じて、全ての走行経路2に渡って、第1搬送車10A・10A・・・だけを走行させる構成としてもよい。
【0033】
次に、前記走行経路2(21・22・23)について説明する。
図1及び図9に示すように、走行経路2は、一対のレール24L・24Rと、該レール24L・24Rの下面間を連結する繋ぎ部材25・25・・・と、該レール24L・24Rの直線部の間に配設される落下防止部材26・26と、該レール24L・24Rの曲線部に配設される落下防止部材27と、分岐部又は合流部に配設される乗り移り部材28等を備え、クリーンルームの天井付近に敷設されている。
【0034】
前記吊り下げ部材30は、一対の吊り下げロッド31・31と、吊り下げフレーム32とを備え、該吊り下げフレーム32は上部フレーム32aと側部ロッド32b・32bとにより「門」字型に構成されている。
吊り下げロッド31・31はクリーンルームの天井から垂設され、該吊り下げロッド31・31の下端部に上部フレーム32aの左右両側部が締結固定され、該上部フレームの左右両端部に側部ロッド32b・32bの上端部が締結固定され、該側部ロッド32b・32bの下端部に繋ぎ部材25の左右両端部が締結固定されている。
【0035】
このように繋ぎ部材25・25・・・は吊り下げ部材30・30・・・によって懸吊されており、該繋ぎ部材25・25・・・の上面の左右両側部にレール24L・24Rの下面が載置固定されている。この繋ぎ部材25・25・・・は走行経路2の走行方向に間隔を開けて多数配置され、該繋ぎ部材25・25・・・により、2本のレール24L・24Rの間隔が、一定幅に保たれている。
また、必要に応じ、単にレール24L・24Rをその下面にて連結するのみで吊り下げ部材30・30・・・に懸吊されない繋ぎ部材25・25を適宜設けても良い。
【0036】
なお、上記の繋ぎ部材25・25・・・は、前記処理装置4のステーション41の上方位置、及び前記自動倉庫5のステーション51・52の上方位置には配置されず、この処理装置4のステーション41の上方位置と、自動倉庫5のステーション51・52の上方位置とにおける、レール24L・24Rの下面間には図5に示されるような繋ぎ部材29・29が架設されて、該繋ぎ部材29・29と、レール24L・24Rとに包囲されて前記した通過口20が形成されている。
【0037】
このように簡単な構成で、レール24L・24Rは吊り下げ部材30・30・・・を介して吊設された繋ぎ部材25・25・・・によって吊られることとなる。しかも、該レール24L・24Rの間隔は繋ぎ部材25・25・・・によって広がらないように補強されるので、走行経路2上を走行する搬送車10の駆動輪11又は従動輪14・14のレール24L・24Rからの脱輪が確実に防がれ、搬送車10の落下が防止されて、安全性が向上する。
また、前述のようなレール24L・24Rを補強する繋ぎ部材25・25・・・を吊り下げ部材30・30・・・で吊り下げる構成としたため、レール24L・24Rを吊るためのハンガーを別途設ける必要がなくなり、コストの削減を図ることができる。
【0038】
図9に示すように、前記レール24L(24R)は、適宜長さに形成された、複数のレール体24l・24l・・・(24r・24r・・・)から成り、少なくとも該レール体24l(24r)の長手方向両端部が繋ぎ部材25・25に支持固定されている。このレール体24l・24l・・・(24r・24r・・・)が走行経路2の走行方向に継ぎ足されて、レール24L(24R)が連綴されている。
レール体24l・24rは、図10に示すように、断面「L」字型の形状で、水平な走行部24b・24dを対向させて配置されており、一方のレール体24lの外側部にはガイド溝24cが形成されて、該ガイド溝24cに前記搬送車10のガイドローラ12・12が緩挿される。
【0039】
図1に示すように、前記落下防止部材26・26は棒状の部材であり、走行経路2おける処理装置4のステーション41の上方位置、自動倉庫5のステーション51・52の上方位置、分岐部、合流部、及び曲線部以外の箇所のレール24L・24Rの間に架設されている。
この落下防止部材26は、適宜長さに形成された、複数の落下防止バー26a・26a・・・から成り、図9に示すように、繋ぎ部材25(29)の上面に支持固定されながら、走行経路2の走行方向に沿って継ぎ足され、こうしてレール24L・24R間に平行な2筋の落下防止部材26・26が架設されている。
なお、この実施例においては落下防止部材26・26の長さは繋ぎ部材25(29)の間隔と同じ長さにしている。
ただし、このとき落下防止バー26a・26a・・・によって前記通過口20・20・・・は塞がない(図5参照)。
【0040】
前記繋ぎ部材25(29)の上面には、左右に一定間隔を開けて、断面「凹」字型のブラケット38・38が固設されており、該ブラケット38の凹部に上方から、該落下防止バー26aを着脱自在に嵌合保持させている。このようにして落下防止バー26a・26a・・・をブラケット38・38・・・に嵌合させながら、走行経路2の走行方向に継ぎ足していき、繋ぎ部材25・25・・・、29・29・・・間に架設していく。
なお、実施例では該落下防止バー26aの終端部が上記ブラケット38・38に保持されている。
【0041】
このような構成で、落下防止バー26a・26a・・・は、繋ぎ部材25・25・・・、29・29・・・上のブラケット38・38・・・で効果的に支持されて、落下防止バー26a・26a・・・自体が落下することはなく、搬送車10等から物品9がレール24L・24Rの間に落下したときには、落下した物品9は落下防止部材26・26によって、確実に落下が防止される。
【0042】
また、図1に示すように、曲線部に設けられた前記落下防止部材27はプレート状の部材であり、走行経路2の曲線部におけるレール24L・24R間に介設されている。この落下防止部材27の上面は水平面に形成されており、前記レール体24l・24rの走行部24b・24dの上面と同じ高さ位置に配置されている。
なお、この落下防止部材27と、走行経路2の曲線部のレール体24l・24rとを一体的に成形してもよい。
このように、本実施例では、レール24L・24R間に落下防止部材26・26・27が配設されているが、その形状や配置数等については特に限定するものではない。
【0043】
分岐部又は合流部に設けられた前記乗り移り部材28は、プレート状の部材であり、走行経路2の分岐部又は合流部に配設されている。本実施例では、分岐部又は合流部で、レール24L・24R、24L・24Rを交錯させずに、該分岐部又は合流部の始端部と終端部との間でレール24L・24Rの何れか一方を間断して、分岐部又は合流部の全域にわたりレール24L・24Rの間を塞いで走行面として機能する乗り移り部材28を介設している。この乗り移り部材28の上面は水平面に形成されており、前記レール体24lの走行部24bの上面と同じ高さ位置に配置されている。
この構成では、該分岐部又は合流部の始端部と終端部との間では、レール24のガイド溝24cによる案内がなくなるが、替わりに、後述するガイドレール35によって案内がなされる。
【0044】
詳細については後述するが、搬送車10は分岐部の始端部手前で分岐装置17・17が作動し、進行方向に搬送車10を案内するガイドレール35により案内され始めた後、搬送車10が走行していたレール24が途絶えるようになっている。その結果、ガイドローラ12・12とガイド溝24cとによる搬送車10の案内がなくなるが、分岐部の始端部と終端部との間では、搬送車10は上方で該ガイドレール35によって案内されながら、該分岐部におけるレール24L・24R間を塞いだ乗り移り部材28の上面をスムースに走行する。このとき、搬送車10の駆動輪11及び従動輪14・14は乗り移り部材28の上面で確実に支持されており、搬送車10が旋回するときには、搬送車10は、ガイドレール35に案内されながら駆動輪11によって推進するが、従動輪14・14がキャスター輪であるため、その方向を自在に変更することができ、従動輪14・14が搬送車10のガイドレール35に沿った進行方向に追随していき、搬送車10はガイドレール35に沿ってスムーズに旋回する。そうして、該分岐部の終端部で間断していたレール24L・24Rの一方が敷設されているのでガイドローラ12・12がレール24のガイド溝24cに再び緩挿される。そして、ガイドレール35は、ガイドローラ12・12が前記のようにガイド溝24cに緩挿されるまで搬送車10を案内するように設けられて、一時的に両者によって搬送車10は案内されるが、その後、ガイドレール35による案内がなくなり、搬送車10は該ガイド溝24cによって案内される。
【0045】
このような構成で、乗り移り部材28は、搬送車10が間断されたレール24L・24R、24L・24R間で乗り移るまでの間の走行面となるとともに、走行経路2の分岐部又は合流部で、搬送車10の脱輪及び物品9の落下を防止する役割も果たしている。
【0046】
前記ガイドレール35・35は、分岐部又は合流部における搬送車10の走行経路2に沿って架設されており、前記吊り下げフレーム32を構成する上部フレーム32aの左右方向の中央部から垂設されて、走行方向に沿って該複数の上部フレーム32a・32a・・・間に架設されている。ガイドレール35・35は、それぞれ分岐前(合流後)の1本の経路から分岐後(合流前)の2本の経路へとそれぞれ2本架設されており、該分岐前(合流後)の1本の経路において、該2本のガイドレール35・35の端部は平行に配設され、該ガイドレール35が搬送車10の分岐装置17のガイドローラ18・19の間に挟み込まれるように構成されている。
【0047】
搬送車10が分岐部に差し掛かると、該分岐部の始端部で分岐装置17を作動させて、一方の分岐ローラ19を上昇させ、該分岐ローラ19とガイドローラ18とで一方のガイドレール35を挟み込み、搬送車10は該一方のガイドレール35によって案内されるようになる。この後、該搬送車10の下方のレール24L・24Rの一方が途絶え、ガイドローラ12・12とガイド溝24cとによる案内がなくなるが、搬送車10は上方で該一方のガイドレール35で案内されながら、乗り移り部材28の上面を走行する。そして、該分岐部の終端部で途絶えていた一方のレール24L・24Rが敷設されることにより、再びガイドローラ12・12がレール24Lのガイド溝24cに係合される。そして、前述のようなガイドレール35によって案内されていた搬送車10は、ガイド溝24cによって案内されることになる。
【0048】
同様に、搬送車10が合流部に差し掛かると、該合流部の始端部で分岐装置17・17を作動させて、一方の分岐ローラ19を上昇させ、該分岐ローラ19とガイドローラ18とで合流部始端部のガイドレール35を挟み込み、搬送車10は該ガイドレール35に案内されながら合流部を通過する。
その際の、搬送車10を案内するガイドレール35と前記ガイド溝24cの関係は前述した分岐部の場合と同様で自明であるので省略する。
【0049】
また、図1に示すように、前記吊り下げフレーム32における、前記上部フレーム32aの少なくとも左右の一方側に、取付部材36が支持固定されている。図6及び図10に示すように、この取付部材36は、断面「コ」字型の長手部材で、内側に取付溝36bが形成されており、該取付溝36bに所定間隔を開けて多数の給電線ホルダ65・65・・・が取り付けられている。
【0050】
なお、下方が開口した「コ」字形状の取付部材を上部フレーム32aに取り付け、取付部材から給電線ホルダが垂下するようにしても良い。このように、吊り下げフレーム32を天井から吊り下げられる上部フレーム32aと、該上部フレーム32aに吊り下げられる一対の側部ロッド32b・32bと、該一対の側部ロッド32b・32bに支持される繋ぎ部材25とを備え、上部フレーム32aに給電線ホルダ65(取付部材36)とガイドレール35とを取り付け、繋ぎ部材25にレール24L・24Rと落下防止部材26とを取り付け、側部ロッド32b・32bを上部フレーム32aに対して着脱自在とし、走行レール24L・24Rを多数のレール体24l・24rから成るものとする。そして、側部ロッド32b・32bを上部フレーム32aから取り外すことで、給電線6・6やガイドレール35など部分的に取り外すのが困難な部材は残したまま、レール24L・24R、落下防止部材26及び吊り下げ部材30を部分的に取り外すことができる。この結果、上部フレーム32aより下方に空間を形成することができ、例えば、そのままではレール24L・24Rが邪魔になって搬送できないような背の高い処理装置でも、容易に搬送することができる。
【0051】
給電線ホルダ65は、断面「コ」字型のブロック状の部材で、上下の突出部の先端で給電線6・6が保持され、該上下の突出部を繋ぐ垂直部には外方向に凸部65aが形成されて、該凸部65aを前記取付部材36の取付溝36bに嵌合させて取り付けるように構成している。
このような構成で、給電線6・6は多数の給電線ホルダ65・65・・・に保持されて、走行経路2に沿って架設されている。
【0052】
以上、本発明に係る無人搬送車システム1の一実施例であり、別実施例として、第1搬送車10Aには昇降装置であるホイスト7及び横移動装置70を搭載せずに、処理装置4のステーション41や自動倉庫5のステーション51・52等、物品の載置箇所にマスト付きのリフターを設け、該リフターを介して物品9の搬送車10とステーションの載置箇所との間の受け渡しをする構成としてもよい。
【0053】
この別実施例では、第1閉ループ路21又は第2閉ループ路22を走行する第1搬送車10Aを、目的の処理装置4のステーション41(又は自動倉庫5のステーション51、若しくはステーション52)の上方で停止させた後、ステーション41(又は51、52)上に載置されている物品9をリフターですくい、該リフターを上昇させて、該物品9を第1搬送車10Aの下方のレール24L・24R間に設けられた通過口20から物品収納空間10b内に収納し、該物品9を第1搬送車10Aに設けられた保持機構によって保持する。この状態で第1搬送車10Aを走行させて、搬送先のステーション41(又は51、52)の上方で停止させ、該物品9の保持を解除して、該ステーション41(又は51、52)から上昇してきたリフターに載せ、該リフターを下降させて、通過口20を通過させ、該物品9を搬送先のステーション41(又は51、52)上に載置する。
【0054】
【発明の効果】
以上のように構成した本発明では、次のような効果を奏する。
まず、請求項1のように、走行路の上で物品を保持して走行するとともに、該物品を走行路の下方の物品載置箇所に受け渡す搬送車であって、前記搬送車は、下方が開口する物品収納空間を形成した車体と、該物品収納空間内に物品を保持する保持装置とを備えたことで、走行路の上で物品を保持して搬送する搬送車でありながら、該保持装置により走行路に開口された通過口から、その真下の物品載置箇所へ容易に物品を受け渡すことができ、搬送車の作業性が向上する。
【0055】
そして、請求項2のように、前記搬送車は、天井近傍に敷設された走行路を走行することで、床面に設置されている処理装置などの物品載置箇所に対して、容易に物品を受け渡すことができる。
【0056】
また、請求項3のように、前記保持装置は、物品保持部と、該物品保持部を昇降させる昇降部とを備え、該昇降部の昇降により、該物品保持部を前記開口から走行路を通過させて、前記物品載置箇所まで移動可能とすることで、物品載置箇所にリフターなどを設ける必要はなく、該保持装置を介して物品を物品載置箇所に容易に受け渡すことができる。
【0057】
さらに、請求項4のように、前記搬送車は、前記物品保持部を車体進行方向に対して直交する方向に横移動させる移動装置を備えたことで、走行路の真下からずれた位置に設けられている物品載置箇所に対しても、容易且つ確実に物品を受け渡すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】無人搬送車システム1の走行経路2の分岐部を示す斜視図。
【図2】無人搬送車システム1の概略構成を示す平面図。
【図3】自動倉庫5付近の平面図。
【図4】自動倉庫5付近の正面図。
【図5】第1搬送車10Aから自動倉庫5への物品9の受け渡しを説明する図。
【図6】走行経路2上の第1搬送車10Aの斜視図。
【図7】第2搬送車10Bの斜視図。
【図8】搬送車10A・10Bの底面図。
【図9】走行経路2の一部平面図。
【図10】走行経路2の正面断面図。
【符号の説明】
1 無人搬送車システム
2 走行経路
4 処理装置
5 自動倉庫
7 ホイスト
9 物品
10 搬送車
10A 第1搬送車
10B 第2搬送車
20 通過口
21 第1閉ループ路
22 第2閉ループ路
24L レール
24R レール
29 繋ぎ部材
30 吊り下げ部材
41 ステーション
51 ステーション
52 ステーション
70 横移動装置
71 ホイスト本体
72 昇降部
73 ワイヤ[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an automatic guided vehicle system used in a clean room or the like, and more particularly, to a structure of an automatic guided vehicle that travels on a traveling path.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, in a clean room such as a semiconductor manufacturing factory, an automatic guided vehicle system that runs an automated guided vehicle on a traveling route laid along a processing device and the like and transports articles to the processing device and the like by the transported vehicle is known. Are known.
The traveling path includes a plurality of first closed loop paths and a second closed loop path connecting the first closed loop paths, and the first closed loop path is a loop for in-process conveyance laid along the processing device. The second closed loop is configured as a long-distance loop for inter-process transfer communicating between the first closed loops, and a processing device below the first closed loop is connected to another first closed loop via a carrier. Articles are transferred to a lower processing device.
Further, the conventional transport vehicle is provided with an article mounting portion for mounting the articles to be transported on the upper side of the traveling path, and for transferring the articles to and from an article mounting location provided below the traveling path. An elevating device is provided. Such an elevating device is provided with a horizontal moving mechanism that enables the elevating device to be moved up and down because it is necessary to move the elevating device horizontally so as to deviate from the carrier body and the traveling path when transferring articles. .
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
For this reason, when the articles are transferred from the transport vehicle on the first closed loop path to the article placement location of the processing apparatus therebelow, the traveling path is obstructed. Is moved horizontally in the left-right direction with respect to the traveling direction of the traveling route, and then the articles are lifted and delivered. For this reason, in this state, the balance of the airframe is poor, and there is a possibility that the transport vehicle may fall from the first closed loop road, and the transport vehicle is equipped with a counter weight, and the counter weight is moved horizontally by the elevating device. It was moved in the opposite direction to the left and right to maintain the balance of the aircraft.
The mechanism as described above is a large mechanism, and the present invention provides an automatic guided vehicle that can deliver articles to an article placement location below the traveling route without significantly moving the lifting device horizontally. As an issue.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem are as follows.
First, as described in claim 1, a transport vehicle that travels while holding an article on a travel path and delivers the article to an article placement location below the travel path, wherein the transport vehicle is A vehicle body having an article storage space that opens downward, and a holding device that holds an article in the article storage space.
[0005]
Then, as set forth in claim 2, the transport vehicle travels on a travel path laid near the ceiling.
[0006]
According to a third aspect of the present invention, the holding device includes an article holding unit, and an elevating unit that moves the article holding unit up and down, and moves the article holding unit from the opening by raising and lowering the elevating unit. It is possible to move to a place where the article is placed by passing through a road.
[0007]
Further, as set forth in claim 4, the transport vehicle includes a moving device that horizontally moves the article holding unit in a direction perpendicular to the vehicle body traveling direction.
[0008]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a branch portion of a traveling route 2 of the automatic guided vehicle system 1, FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the automatic guided vehicle system 1, FIG. 3 is a plan view near an automatic warehouse 5, and FIG. FIG. 5 is a front view of the vicinity of the automatic warehouse 5, FIG. 5 is a view for explaining the transfer of articles 9 from the first transport vehicle 10A to the automatic warehouse 5, FIG. 6 is a perspective view of the first transport vehicle 10A on the traveling route 2, and FIG. Is a perspective view of the second transport vehicle 10B, FIG. 8 is a bottom view of the transport vehicles 10A and 10B, FIG. 9 is a partial plan view of the travel route 2, and FIG.
In the following description, with respect to the transport vehicle 10 (10A / 10B), the front / rear and left / right positions of each component are described with the traveling direction being forward, and the traveling route 2 (21/22/23) is traveling. The front, rear, left and right positions of each component are described with the direction being the front.
[0009]
First, an automatic guided vehicle system 1 applied to an automatic guided vehicle system in a clean room such as a semiconductor manufacturing factory will be described.
As shown in FIGS. 1 and 2, a traveling path 2 serving as a moving path of the automatic guided vehicle 10 is suspended from the ceiling of the clean room via hanging members 30. A plurality of workplaces 3, 3... Are arranged along. The traveling path 2 is roughly divided into a plurality of first closed loop paths 21 and a second closed loop path 22 connecting the first closed loop paths 21 as shown in FIG. The first closed loop path 21 is a loop for in-process conveyance laid along the processing devices 4, 4... Of the work place 3, and the second closed loop path 22 is a work place 3, 3,. -It is configured as a long-distance loop for inter-process transport that connects between the processes. The first closed loop 21 and the second closed loop 22 are connected via connecting paths 23, 23, the connecting section 23, the curved portion of the first closed loop 21, and the second closed loop 22. An automatic warehouse 5 for storing articles 9 is arranged in a space surrounded by the straight line portion. Although the details will be described later, in the automatic warehouses 5.5 arranged outside the first closed loop 21 road and outside the second closed loop 22 road, The article 9 can be transferred from both the one transport vehicle 10A and the first transport vehicle 10A on the second closed loop path 22. The article 9 here refers to, for example, a cassette containing semiconductor wafers.
[0010]
As shown in FIG. 3, stations 41 and 41 are provided at the entrances and exits of the processing apparatus 4 as places where the articles 9 are placed, and the stations 41 and 41 are provided to protrude from the processing apparatus 4. It is arranged below the first closed loop path 21. The processing device 4 disposed outside the first closed loop path 21 includes a transfer device, and the article 9 is transferred between the station 41 and the inside of the processing device 4 by the transfer device. As will be described in detail later, in the first closed loop path 21 above the stations 41, there are formed passage openings 20 through which articles 9 can pass vertically.
[0011]
In addition, as shown in FIGS. 3 and 4, the automatic warehouse 5 has a loading / unloading opening at the lower part of the side facing the first closed loop path 21 and at the upper part and lower part of the side facing the second closed loop path 22, respectively. Is provided. Stations 51, 51 and 52, 52 are provided at the two entrances and exits at the lower part of the automatic warehouse 5 as places where the articles 9 are placed, and the stations 51, 51, 52, 52 are automatic warehouses. 5, and are disposed below the first closed loop path 21 and below the second closed loop path 22, respectively. The station 51 (52) includes a transport conveyor such as a roller conveyor, and the articles 9 are moved into and out of the automatic warehouse 5 by the transport conveyor.
The first closed loop path 21 above the stations 51, 51 and the second closed loop path 22 above the stations 52, 52 are also formed with passage openings 20, 20 through which articles 9 can pass vertically.
[0012]
On the other hand, stations 53 serving as delivery ports for the articles 9 are respectively provided at the entrances and exits of the upper part of the automatic warehouse 5 so as to protrude to the outside of the second closed loop path 22. The station 53 includes a pair of roller conveyors 54 as an in-and-out conveyor, and the roller conveyors 54 are arranged in front and rear with respect to the traveling direction of the transport vehicle 10 and travel on the second closed loop path 22. Are arranged at the same height as the roller conveyors 8.8 of the second transport vehicle 10B. The pair of roller conveyors 54 rotatably support the front and rear ends of the lower surface of the article 9, and are fed laterally in the horizontal direction with respect to the traveling direction of the transport vehicle 10. The outer ends (ends on the second closed loop path 22 side) of the roller conveyors 54 project upward from the conveying surfaces of the roller conveyors 54, except when the articles 9 are transferred to the second conveyor 10B. The article 9 is locked in this state, and a vertically movable stopper 55 is provided which descends from the conveying surface when the article 9 is delivered, so that the article 9 on the roller conveyors 54 is prevented from dropping.
[0013]
Next, the carrier 10 will be described.
In the present embodiment, two types of transport vehicles 10A and 10B are traveling in one direction in the direction of the arrow in FIG. 2 on the travel route 2, and the first transport vehicles 10A and 10A. The second transfer vehicles 10B, 10B,... Are configured as a type dedicated to transfer between processes.
[0014]
As shown in FIGS. 6 and 7, the body bodies 10a of the first carrier 10A and the second carrier 10B have substantially the same structure, and an article storage space 10b is formed in the center of the body 10a. The lower part and one side of the article storage space 10b are opened to the outside so that the article 9 can pass through, and the lower part and one side of the vehicle body 10a have a "gate" shape. Is formed.
The opening on one side of the vehicle body 10a is disposed on the first closed loop path 21 and the second closed loop path 22 so as to face outward.
[0015]
As shown in FIG. 8, a bracket 16 projects from a lower portion of the body 10a opposite to the one side, and a pair of guide rollers 12 extends from the bracket 16. The axles of these guide rollers 12 are oriented vertically, and are arranged side by side at the front and rear center of the vehicle body.
[0016]
A drive wheel 11 is arranged on the opposite side of the vehicle body 10a with the axle directed horizontally in the left-right direction. In plan view, the axle of the drive wheel 11 is disposed on a vertical bisector of a straight line connecting the guide rollers 12, and a part of the drive wheel 11 projects downward from the lower surface of the vehicle body 10 a. , And is configured to abut a traveling portion 24b of a rail 24L described later.
[0017]
A pair of auxiliary wheels 13 are provided on the lower surface of the vehicle body 10a before and after the drive wheel 11. The auxiliary wheels 13 are formed of caster wheels that can change direction, and are arranged with their axles directed horizontally in the left and right direction. The auxiliary wheels 13 do not normally contact the running portion 24b of the rail 24L. As described above, a slight gap (for example, about several millimeters) is provided with the running portion 24b. The auxiliary wheels 13 and 13 lift these wheels from the traveling portion 24b so that the drive wheel 11 is always in contact with the traveling portion 24b. When the vehicle body 10a is tilted, the wheels come into contact with the traveling portion 24b. Try not to lean any further.
[0018]
Further, a pair of driven wheels 14 is vertically provided at one side end of the lower surface of the vehicle body 10a. The driven wheels 14 are formed of caster wheels that can change direction, and are arranged at front and rear ends on the lower surface of the vehicle body 10a with the axle directed horizontally in the left-right direction.
[0019]
On the other hand, as shown in FIGS. 6 and 7, a pair of branching devices 17 are provided at the front and rear portions of the upper surface of the vehicle body 10a. The branching device 17 includes a guide roller 18 disposed at the center in the left-right direction on the upper surface of the vehicle body 10a, and branch rollers 19 disposed at both left and right sides of the guide roller 18. The rollers 18 Are arranged in the vertical direction, and the branch rollers 19 are configured to be vertically movable.
[0020]
Further, pickup units 60 for obtaining electric power from the power supply lines 6.6 are disposed at the upper portions on both left and right sides of the vehicle body 10a. Since the pickup units 60 and 60 have a large weight ratio in the vehicle body, they are arranged on both front and rear sides of the vehicle body to maintain the weight balance of the entire vehicle body and enable, for example, to smoothly travel on a curved portion. . In addition, since the traveling route 2 has a branch road, the power supply lines 6.6 laid on one side of the traveling route 2 are laid on the opposite side of the traveling route 2 depending on places such as a branch road. By arranging the pickup units 60 on the left and right sides of the vehicle body 10a, power can be supplied to the traveling carrier 10 without interruption even in such a branch road. be able to.
[0021]
A ferrite core 61 having a substantially “E” cross section is fixed to the pickup unit 60, and a pickup coil 62 is wound around a protruding portion in the upper and lower center of the core 61. The core 61 is provided with power supply lines held at the distal ends of power supply line holders 65, described later, in two concave spaces formed between upper and lower protrusions and a central protrusion therebetween. 6, 6 are arranged so as to be located one by one. The pickup coil 62 receives a magnetic field generated by flowing a high-frequency current through the power supply lines 6. Then, electric power is extracted from the induced current generated in the pickup coil 62 by utilizing the electromagnetic induction phenomenon. In this manner, electric power is supplied from the power supply lines 6 to the pickup unit 60 in a non-contact manner, so as to drive the motor of the driving wheels 11 and supply electric power to the control device.
[0022]
As described above, with the configuration of the vehicle body 10a, as shown in FIG. 6, a hoist 7 having a chuck is mounted in an article storage space 10b as a holding device for the article 9 in the first carrier 10A. . A horizontal moving device 70 is suspended from the ceiling surface above the article storage space 10b, and a hoist body 71 is provided on the horizontal moving device 70. The hoist body 71 is provided with elevating means for elevating and lowering the chuck, and the lateral moving device 70 can move the hoist body 71 in the left and right lateral directions (directions orthogonal to the vehicle body traveling direction). . Therefore, even when the station 41 (or 51, 52) is slightly displaced from directly below the hoist 7 in a direction orthogonal to the traveling direction due to an installation error or the like, the article 9 is moved to the station 41 (or 51, 52). By moving the hoist main body 71 so as to be directly above the article mounting portion, the article 9 can be accurately transferred to the mounting portion of the station. Further, the station 41 (or 51, 52) is located on the side wall opening side formed in the vehicle body 10a in a plan view, and is located on the side in the left-right lateral direction (direction orthogonal to the vehicle body traveling direction) from the rail 24R. Even in the case where it is shifted to the direction, it is possible to cope by increasing the amount of movement of the lateral movement device 70. In that case, it is necessary to provide a notch in the rail 24R on the moving side.
[0023]
Four sets of winding drums are attached to the main body 71 of the hoist 7, and as shown in FIGS. 4 and 5, belts 73 are wound around the winding drums, respectively. The elevating part 72 is suspended via the belts 73 so as to be able to move up and down freely. Thus, the elevating unit 72 is configured to be able to move up and down, and a chuck for holding the article 9 is provided below the elevating unit 72. The chuck is adapted to grip an upper flange (not shown) formed on the upper part of the article 9. When the article 9 is transported by the first transport vehicle 10A, the elevating section 72 is wound up, and the article 9 is held and fixed by the chuck. In this state, the article 9 is stored in the article storage space 10b, and the bottom surface thereof is disposed above the rails 24L and 24R so that the article 9 does not hinder traveling.
[0024]
Next, transfer of the article 9 by the first carrier 10A will be described.
The first transport vehicle 10A travels on the first closed loop path 21 or the second closed loop path 22 and stops above the station 41 of the target processing device 4 (or the station 51 or the station 52 of the automatic warehouse 5). . At this time, the passing port 20 of the first closed loop path 21 (or the passing port 20 of the second closed loop path 22) is located below the first carrier 10A, and the lateral moving device 70 that holds the hoist 7 moves in the left-right direction. Is adjusted to position the hoist 7 directly above the article 9 on the station 41 (or 51, 52).
[0025]
Then, as shown in FIG. 5, the elevating part 72 of the hoist 7 is lowered from the passage opening 20, the article 9 on the station 41 (or 51, 52) is gripped by the chuck, and the elevating part 72 is raised. The article 9 is stored in the article storage space 10b by passing through the passage port 20 again. With the article 9 held, the first transport vehicle 10A is run, stopped above the destination station 41 (or 51, 52), and adjusted in the lateral direction by the lateral movement device 70, and the passage opening The lifting unit 72 of the hoist 7 holding the article 9 is lowered from 20 and the article 9 is placed on the station 41 (or 51, 52) of the transfer destination. As described above, the articles 9 are mainly transferred between the processing apparatuses 4 and 4, between the processing apparatuses 4 and the automatic warehouse 5, and also between the automatic warehouses 5.5 by the first transport vehicle 10 </ b> A.
[0026]
As described above, the first transport vehicle 10A is a transport vehicle that holds and transports the articles 9 on the travel route 2, and the first transport vehicle 10 </ b> A passes through the passage opening 20 opened in the travel route 2 by the hoist 7 and the station 41 ( Or, 51, 52), the article 9 can be easily delivered. According to the first conveyance vehicle 10A, even if the height positions of the stations 41, 51, and 52 are different between the first closed loop path 21 and the second closed loop path 22, the articles 9 can be easily delivered. In addition, at the time of delivery, the article 9 may be moved up and down by passing the article 9 up and down through the passage opening 20 of the traveling route 2, so that the first carrier 10A transfers the article 9 in a stable state. As compared with the conventional case where the transfer device is once moved in a direction (left-right direction) orthogonal to the travel path 2 and the article 9 is temporarily moved to a position outside the travel path, the transfer apparatus is more stable. Work can be performed, and the route required for transfer is shortened, so that the transfer time can be shortened.
[0027]
On the other hand, as shown in FIG. 7, a pair of roller conveyors 8, 8 project from the lower part of the inner surface before and after forming the article storage space 10b as a transfer device in the second transport vehicle 10B. A fall prevention plate 82 is provided on the lower surfaces of the roller conveyors 8 and 8, and an opening below the vehicle body 10a is closed. The roller conveyors 8.8 are configured to roll around the front and rear ends of the lower surface of the article 9 and to feed the article 9 laterally. A stopper 80 is provided at one side opening of the vehicle body 10a so as to be openable and closable, and a stopper 80 is provided at the end of the roller conveyors 8, 8 so as to be movable up and down. The articles 9 protrude above the conveying surfaces of the roller conveyors 8 and 8 so as to prevent the articles 9 from falling, and transfer the articles 9 to and from the roller conveyors 54 of the station 53. At times, it descends from the transport surface.
[0028]
Next, transfer of the article 9 by the second carrier 10B will be described.
The second transport vehicle 10B circulates around the second closed loop path 22 and stops at a position facing the entrance / exit port above the automatic warehouse 5, as shown in FIG. The roller conveyers 8.8 and the roller conveyers 54 of the automatic warehouse 5 respectively approach and face each other, and are arranged in a straight line at the same height. Then, the stoppers 80 and 55 of the second transport vehicle 10B and the automatic warehouse 5 are released, and the article 9 is transported from the roller conveyors 54 of the automatic warehouse 5 to the roller conveyors 8.8 of the second transport vehicle 10B. You. When the articles 9 are loaded on the second transport vehicle 10B, the stoppers 80 prevent the articles 9 from dropping, and the second transport vehicle 10B runs in this state. Then, after the stopper 80 and the stopper 55 are released, the articles 9 are stopped at the position opposite to the entrance / exit port at the upper part of the automatic warehouse 5 at the destination, and the articles 9 are transferred from the roller conveyor 8.8 of the second transport vehicle 10B to the automatic warehouse 5 Are conveyed to the roller conveyors 54. The transfer of the articles 9 between the roller conveyors 54 of the automatic warehouse 5 and the roller conveyors 8.8 of the second transport vehicle 10B is such that the articles 9 sent from one side are pulled in by the other.
[0029]
For example, when the article 9 is transferred from the automated warehouse 5 to the second transport vehicle 10B, the article 9 is rotated from the automated warehouse 5 side by the rotation of the roller with the edges supported by the rollers of the roller conveyors 54, 54. It is moved to the second carrier 10B. Then, the articles 9 arrive at the ends of the roller conveyors 54 while sequentially moving on the rollers. The heights of the end portions of the roller conveyors 54 and the roller conveyors 8.8 are adjusted to be substantially the same, and as the rollers of the roller conveyors 54 continue to rotate, the articles 9 are transferred to the roller conveyors 54. It is sent out to the roller conveyor 8.8 via the end. The rollers of the roller conveyors 8.8 have the same rotation direction as the rollers of the roller conveyors 54. Therefore, when the green portion of the article 9 hits the rollers of the roller conveyor 8.8, the articles 9 From the roller conveyors 54. Until the transfer of the article 9 from the roller conveyors 54 to the roller conveyors 8.8 is completed, the articles 9 are sent out by the roller conveyors 54 and 54 and are drawn into the roller conveyors 8.8.
[0030]
Thus, the second transport vehicle 10B is configured as a dedicated transport vehicle that transports the articles 9 between the automatic warehouses 5.5. According to the second transport vehicle 10B, the articles 9 can be transferred between the automatic warehouses 5, 5 in comparison with the case where the articles 9 are transported by the transport device equipped with a lifting device such as the first transport vehicle 10A. It can be transported in a shorter time.
[0031]
The two types of transport vehicles 10A and 10B have been described above. However, in terms of cost, the second transport vehicle 10B on which the roller conveyors 8.8 are mounted is more expensive than the first transport vehicle 10A on which the hoist 7 is mounted. It can be manufactured at low cost. Therefore, the number of the first transport vehicles 10A, 10A,... Existing in the entire system is reduced as much as possible, and the second transport vehicles 10B, 10B,. Controlling the transport so as to use the second transport vehicles 10B, 10B... For the transport, and using the first transport vehicles 10A, 10A. Cost can be reduced.
[0032]
When the second transport vehicles 10B, 10B,... Are used, it is necessary to provide stations 53 for the second transport vehicles at the upper part of the automatic warehouse 5. .. Over the second carrier 10A.
[0033]
Next, the traveling route 2 (21, 22, 23) will be described.
As shown in FIGS. 1 and 9, the traveling route 2 includes a pair of rails 24L / 24R, connecting members 25/25... Connecting the lower surfaces of the rails 24L / 24R, and the rails 24L / 24R. Fall prevention members 26, 26 disposed between the straight portions, fall prevention members 27 disposed at the curved portions of the rails 24L, 24R, transfer members 28 disposed at the branching or merging portion, etc. It is laid near the ceiling of the clean room.
[0034]
The hanging member 30 includes a pair of hanging rods 31 and a hanging frame 32, and the hanging frame 32 is formed in a “gate” shape by an upper frame 32a and side rods 32b. Have been.
The hanging rods 31 are suspended from the ceiling of the clean room, and the left and right sides of the upper frame 32a are fastened to the lower ends of the hanging rods 31 and the side rods 32b are fixed to the left and right ends of the upper frame. The upper end of 32b is fastened and fixed, and the right and left ends of the connecting member 25 are fastened and fixed to the lower ends of the side rods 32b.
[0035]
Are suspended by the suspending members 30, 30 and the lower surfaces of the rails 24L and 24R are provided on both left and right sides of the upper surface of the connecting members 25, 25. Is mounted and fixed. Are arranged at intervals in the traveling direction of the traveling path 2, and the distance between the two rails 24L and 24R is made constant by the connecting members 25. Is kept.
Further, if necessary, connecting members 25, 25 which merely connect the rails 24L, 24R at their lower surfaces and are not suspended by the hanging members 30, 30, ... may be provided as appropriate.
[0036]
The connecting members 25 are not arranged above the station 41 of the processing apparatus 4 and above the stations 51 and 52 of the automatic warehouse 5, but the stations of the processing apparatus 4 Between the lower surfaces of the rails 24L and 24R at positions above the stations 41 and 52 of the automatic warehouse 5, connecting members 29, 29 as shown in FIG. 29, and the above-mentioned passage opening 20 is formed so as to be surrounded by the rails 24L and 24R.
[0037]
With such a simple configuration, the rails 24L and 24R are suspended by the connecting members 25 that are suspended via the suspension members 30. Moreover, since the distance between the rails 24L, 24R is reinforced so as not to be widened by the connecting members 25, 25, the rails of the driving wheels 11 or the driven wheels 14, 14 of the transport vehicle 10 traveling on the traveling path 2 Derailment from the 24L and 24R is reliably prevented, the carrier 10 is prevented from falling, and safety is improved.
Further, since the connecting members 25, 25, ... that reinforce the rails 24L, 24R as described above are suspended by the suspending members 30, 30, ..., hangers for suspending the rails 24L, 24R are separately provided. This eliminates the need and can reduce costs.
[0038]
As shown in FIG. 9, the rail 24L (24R) is composed of a plurality of rails 241, 24l... (24r, 24r. Both ends in the longitudinal direction 24r) are supported and fixed to the connecting members 25. (24r, 24r,...) Are added in the traveling direction of the traveling route 2 and the rails 24L (24R) are continuously bound.
As shown in FIG. 10, the rails 24l and 24r have a cross section of an “L” shape, and are arranged with the horizontal running portions 24b and 24d facing each other. A guide groove 24c is formed, and the guide rollers 12 of the transport vehicle 10 are loosely inserted into the guide groove 24c.
[0039]
As shown in FIG. 1, the fall prevention members 26 are rod-shaped members, and are located above the station 41 of the processing apparatus 4 on the traveling route 2, above the stations 51 and 52 of the automatic warehouse 5, a branch portion, It is erected between the rails 24L and 24R at locations other than the junction and the curved portion.
The fall prevention member 26 is composed of a plurality of fall prevention bars 26a, 26a,... Formed in an appropriate length, and is supported and fixed to the upper surface of the connecting member 25 (29) as shown in FIG. Two parallel fall prevention members 26, 26 are installed between the rails 24L, 24R in such a manner as to extend along the traveling direction of the traveling route 2.
In this embodiment, the length of the fall prevention members 26 is the same as the interval between the connecting members 25 (29).
However, at this time, the passage openings 20 are not closed by the fall prevention bars 26a (see FIG. 5).
[0040]
On the upper surface of the connecting member 25 (29), brackets 38, 38 having a “recessed” cross-section are fixedly provided at regular intervals on the left and right. The bar 26a is detachably fitted and held. In this way, while fitting the fall prevention bars 26a, 26a,... To the brackets 38, 38,. ··· Build in between.
In the embodiment, the end portions of the fall prevention bar 26a are held by the brackets 38.
[0041]
In such a configuration, the fall prevention bars 26a are effectively supported by the brackets 38 on the connecting members 25, 25, 29 The prevention bars 26a do not fall, and when the articles 9 fall between the rails 24L and 24R from the carrier 10 or the like, the fallen articles 9 are reliably prevented by the fall prevention members 26. Fall is prevented.
[0042]
As shown in FIG. 1, the fall prevention member 27 provided in the curved portion is a plate-shaped member, and is interposed between the rails 24L and 24R in the curved portion of the travel path 2. The upper surface of the fall prevention member 27 is formed in a horizontal plane, and is arranged at the same height position as the upper surfaces of the running portions 24b and 24d of the rail bodies 24l and 24r.
The fall prevention member 27 and the rails 24l and 24r of the curved portion of the travel path 2 may be integrally formed.
As described above, in the present embodiment, the fall prevention members 26, 26, 27 are provided between the rails 24L, 24R, but the shape, the number of arrangements, and the like are not particularly limited.
[0043]
The transfer member 28 provided at the branch or the junction is a plate-shaped member, and is disposed at the branch or the junction of the travel route 2. In the present embodiment, without intersecting the rails 24L / 24R, 24L / 24R at the branch or junction, one of the rails 24L / 24R is provided between the start end and the end of the branch or junction. , And a transfer member 28 that functions as a running surface by closing the rails 24L and 24R over the entire area of the branch portion or the merging portion is provided. The upper surface of the transfer member 28 is formed in a horizontal plane, and is arranged at the same height position as the upper surface of the running portion 24b of the rail body 24l.
In this configuration, the guide by the guide groove 24c of the rail 24 is not provided between the start end and the end of the branching or merging portion. Instead, the guide is provided by the guide rail 35 described later.
[0044]
Although the details will be described later, the branching device 17 is operated in front of the start end of the branching portion of the transporting vehicle 10, and the transporting vehicle 10 starts to be guided by the guide rail 35 that guides the transporting vehicle 10 in the traveling direction. The running rail 24 is interrupted. As a result, the guide of the transport vehicle 10 by the guide rollers 12 and the guide groove 24c is eliminated, but the transport vehicle 10 is guided upward by the guide rail 35 between the start end and the end of the branch portion. Then, the vehicle smoothly travels on the upper surface of the transfer member 28 which blocks the rails 24L and 24R at the branch portion. At this time, the drive wheel 11 and the driven wheels 14 of the carrier 10 are securely supported on the upper surface of the transfer member 28, and when the carrier 10 turns, the carrier 10 is guided by the guide rail 35. Although the propulsion is performed by the drive wheel 11, the direction can be freely changed because the driven wheels 14 are caster wheels, and the driven wheels 14 can be moved in the traveling direction along the guide rail 35 of the carrier 10. Following, the carrier 10 smoothly turns along the guide rail 35. Then, since one of the rails 24L and 24R interrupted at the end of the branch portion is laid, the guide rollers 12 and 12 are loosely inserted into the guide grooves 24c of the rail 24 again. The guide rail 35 is provided so as to guide the carrier 10 until the guide rollers 12 are loosely inserted into the guide grooves 24c as described above, and the carrier 10 is temporarily guided by both. Thereafter, the guide by the guide rail 35 disappears, and the carrier 10 is guided by the guide groove 24c.
[0045]
With such a configuration, the transfer member 28 serves as a running surface before the transfer vehicle 10 transfers between the interrupted rails 24L / 24R, 24L / 24R, and at a branch portion or a junction of the travel route 2, It also plays a role in preventing the carrier 10 from derailing and the articles 9 from falling.
[0046]
The guide rails 35 are erected along the traveling path 2 of the transport vehicle 10 at the branching portion or the merging portion, and are vertically suspended from the center in the left-right direction of the upper frame 32 a constituting the hanging frame 32. ., Are provided between the plurality of upper frames 32a along the traveling direction. Two guide rails 35 are respectively erected from one path before branching (after merging) to two paths after branching (before merging). In the path of the book, the ends of the two guide rails 35 are arranged in parallel, and the guide rail 35 is sandwiched between the guide rollers 18 and 19 of the branching device 17 of the carrier 10. Have been.
[0047]
When the transport vehicle 10 approaches the branch, the branching device 17 is operated at the start end of the branch to raise one branch roller 19, and the branch roller 19 and the guide roller 18 form one guide rail 35. , The carrier 10 is guided by the one guide rail 35. Thereafter, one of the rails 24L and 24R below the transport vehicle 10 is interrupted, and the guide by the guide rollers 12 and the guide groove 24c is lost, but the transport vehicle 10 is guided upward by the one guide rail 35. While traveling on the upper surface of the transfer member 28. Then, by laying one of the rails 24L and 24R interrupted at the end of the branch portion, the guide rollers 12 and 12 are engaged with the guide grooves 24c of the rail 24L again. Then, the transport vehicle 10 guided by the guide rail 35 as described above is guided by the guide groove 24c.
[0048]
Similarly, when the transport vehicle 10 reaches the junction, the branching device 17 is operated at the start end of the junction to raise one branch roller 19, and the branch roller 19 and the guide roller 18 The carrier 10 passes through the junction while being guided by the guide rail 35, sandwiching the guide rail 35 at the start end of the junction.
In this case, the relationship between the guide rail 35 for guiding the transport vehicle 10 and the guide groove 24c is the same as in the case of the above-described branch portion, and is therefore omitted.
[0049]
As shown in FIG. 1, an attachment member 36 is supported and fixed to at least one of the left and right sides of the upper frame 32a in the hanging frame 32. As shown in FIGS. 6 and 10, the mounting member 36 is a longitudinal member having a U-shaped cross section, and has a mounting groove 36b formed on an inner side thereof. The power supply line holders 65 are attached.
[0050]
It should be noted that a “U” -shaped mounting member having a lower opening may be mounted on the upper frame 32a, and the power supply line holder may hang down from the mounting member. In this manner, the upper frame 32a from which the hanging frame 32 is hung from the ceiling, the pair of side rods 32b hung from the upper frame 32a, and the pair of side rods 32b 32b are supported. A connecting member 25 is provided, the power supply line holder 65 (the mounting member 36) and the guide rail 35 are mounted on the upper frame 32a, the rails 24L and 24R and the fall prevention member 26 are mounted on the connecting member 25, and the side rods 32b. 32b is detachable from the upper frame 32a, and the traveling rails 24L and 24R are composed of a large number of rail bodies 24l and 24r. By removing the side rods 32b and 32b from the upper frame 32a, the rails 24L and 24R and the fall prevention member 26 remain, while the members that are difficult to partially remove, such as the feeder line 6.6 and the guide rail 35, remain. In addition, the suspension member 30 can be partially removed. As a result, a space can be formed below the upper frame 32a. For example, even a tall processing device that cannot be transported because the rails 24L and 24R are in the way can be easily transported.
[0051]
The power supply line holder 65 is a block-shaped member having a U-shaped cross section. The power supply lines 6.6 are held at the tips of the upper and lower protruding portions, and the vertical portions connecting the upper and lower protruding portions are outwardly convex. A portion 65a is formed, and the convex portion 65a is configured to be fitted and mounted in the mounting groove 36b of the mounting member 36.
In such a configuration, the power supply lines 6, 6 are held along a large number of power supply line holders 65, 65,.
[0052]
The above is one embodiment of the automatic guided vehicle system 1 according to the present invention. As another embodiment, the hoist 7 and the lateral moving device 70 as the elevating device are not mounted on the first carrier vehicle 10A, and the processing device 4 is not mounted. A lifter with a mast is provided at the place where the articles are placed, such as the station 41 of the station 41 and the stations 51 and 52 of the automatic warehouse 5, and the transfer between the carrier 10 of the articles 9 and the place of the station is carried out via the lifter. It is good also as a structure which performs.
[0053]
In this alternative embodiment, the first carrier 10A traveling on the first closed loop path 21 or the second closed loop path 22 is moved above the station 41 of the target processing apparatus 4 (or the station 51 or the station 52 of the automatic warehouse 5). , The articles 9 placed on the station 41 (or 51, 52) are picked up by a lifter, the lifters are raised, and the articles 9 are moved down the rails 24L. The article 9 is stored in the article storage space 10b from the passage opening 20 provided between the 24Rs, and the article 9 is held by a holding mechanism provided in the first transport vehicle 10A. In this state, the first transport vehicle 10A is driven to stop above the transport destination station 41 (or 51, 52), the holding of the article 9 is released, and from the station 41 (or 51, 52). The article 9 is placed on the lifter which has been lifted, lowered, and passed through the passage 20, and the article 9 is placed on the station 41 (or 51, 52) of the transport destination.
[0054]
【The invention's effect】
The present invention configured as described above has the following effects.
First, as in claim 1, a transport vehicle that travels while holding an article on a travel path and delivers the article to an article placement location below the travel path, wherein the transport vehicle is Is provided with a body that forms an article storage space that opens, and a holding device that holds the article in the article storage space. The article can be easily transferred from the passage opening opened in the traveling path to the article placement position immediately below the holding apparatus, and the workability of the carrier is improved.
[0055]
Then, as in claim 2, the transport vehicle travels along a traveling path laid near the ceiling, so that the transport vehicle can easily place the articles on the article mounting location such as a processing device installed on the floor surface. Can be handed over.
[0056]
Further, as in claim 3, the holding device includes an article holding section, and an elevating section that raises and lowers the article holding section, and moves the article holding section from the opening to the traveling path by elevating the elevating section. By allowing the article to pass and moving to the article placement location, there is no need to provide a lifter or the like at the article placement location, and the article can be easily transferred to the article placement location via the holding device. .
[0057]
Further, as in claim 4, the transport vehicle is provided at a position displaced from immediately below a traveling path by including a moving device for laterally moving the article holding unit in a direction orthogonal to the vehicle traveling direction. It is possible to easily and reliably transfer the articles to the placed article placement location.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a branch portion of a traveling route 2 of an automatic guided vehicle system 1.
FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the automatic guided vehicle system 1.
FIG. 3 is a plan view near the automatic warehouse 5.
FIG. 4 is a front view of the vicinity of the automatic warehouse 5;
FIG. 5 is a view for explaining delivery of an article 9 from a first transport vehicle 10A to an automatic warehouse 5.
FIG. 6 is a perspective view of a first transport vehicle 10A on a traveling route 2.
FIG. 7 is a perspective view of a second transport vehicle 10B.
FIG. 8 is a bottom view of the transport vehicles 10A and 10B.
FIG. 9 is a partial plan view of the traveling route 2.
FIG. 10 is a front sectional view of a traveling route 2.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Automatic guided vehicle system 2 Travel route 4 Processing device 5 Automatic warehouse 7 Hoist 9 Article 10 Transport vehicle 10A First transport vehicle 10B Second transport vehicle 20 Passage opening 21 First closed loop path 22 Second closed loop path 24L Rail 24R Rail 29 Connecting Member 30 Hanging member 41 Station 51 Station 52 Station 70 Lateral moving device 71 Hoist body 72 Elevating unit 73 Wire