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JP2004123806A - 活性エネルギー線硬化性樹脂とそれを用いた光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物 - Google Patents

活性エネルギー線硬化性樹脂とそれを用いた光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物 Download PDF

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JP2004123806A
JP2004123806A JP2002286378A JP2002286378A JP2004123806A JP 2004123806 A JP2004123806 A JP 2004123806A JP 2002286378 A JP2002286378 A JP 2002286378A JP 2002286378 A JP2002286378 A JP 2002286378A JP 2004123806 A JP2004123806 A JP 2004123806A
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Japan
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active energy
curable resin
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JP2002286378A
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English (en)
Inventor
Masashi Minegishi
峰岸 昌司
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Taiyo Holdings Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Ink Mfg Co Ltd
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Publication date
Application filed by Taiyo Ink Mfg Co Ltd filed Critical Taiyo Ink Mfg Co Ltd
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  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)

Abstract

【課題】種々の用途、特にプリント配線板の永久マスクや多層配線板の層間絶縁層等の製造に有用な活性エネルギー線硬化性樹脂と、耐熱性、密着性、耐無電解めっき性、耐吸湿性並びにPCT(プレッシャークッカー)耐性に優れる光硬化性・熱硬化性樹脂組成物並びにその硬化物を提供する。
【解決手段】ビスフェノールA誘導体に、1分子中に少なくとも1つの不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を有する化合物(a)を反応させる事により得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、更に多塩基酸無水物を付加したカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂と、(A)上記カルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤及び(D)多官能エポキシ化合物を含有する光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物。
【選択図】   なし

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、活性エネルギー線硬化性樹脂とそれを用いたアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、種々の用途、特にプリント配線板の永久マスクや多層配線板の層間絶縁層等の製造に有用な活性エネルギー線硬化性樹脂と、耐熱性、密着性、耐無電解めっき性、耐吸湿性並びにPCT(プレッシャークッカー)耐性に優れる液状のアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物並びにその硬化物に関する。
【0002】
【従来の技術】
現在、一部の民生用プリント配線板並びに殆どの産業用プリント配線板のソルダーレジストには、高精度、高密度の観点から、紫外線照射後、現像することにより画像形成し、熱及び光照射で仕上げ硬化(本硬化)する液状現像型ソルダーレジストが使用されている。また環境問題への配慮から、現像液として希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像タイプの液状ソルダーレジストが主流になっている。このような希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像タイプのソルダーレジストとしては、例えば、特開昭61−243869号公報には、ノボラック型エポキシ化合物と不飽和一塩基酸の反応生成物に酸無水物を付加した感光性樹脂、光重合開始剤、希釈剤及びエポキシ化合物からなるソルダーレジスト組成物が、また特開2001−75275号公報には、ノボラック化合物、ビスフェノール型化合物若しくはポリビニルフェノールのフェノール性水酸基と不飽和基を有するエポキシ化合物との反応生成物に酸無水物を付加した感光性樹脂からなるソルダーレジスト組成物が開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来、ソルダーレジストとしては幾つかの材料系が提案されているが、現在、感光性成分として主として前記ノボラック型エポキシ化合物と不飽和一塩基酸の反応生成物に酸無水物を付加した感光性樹脂若しくは、ノボラック化合物と不飽和基を有するエポキシ化合物との反応生成物に酸無水物を付加した感光性樹脂を用いたソルダーレジスト組成物が、実際のプリント配線板の製造において主流となっている。しかしながら、このような感光性樹脂は、光硬化性やアルカリ現像性には優れているものの、耐熱性と強靭性とのバランスの点で必ずしも満足なレベルに達しているとは言い難く、また、硬化時に収縮を生じる傾向があり、伸びが少なく強靭性に欠けるため、熱衝撃によるクラックが発生し易いという欠点があった。また、ビスフェノール型やポリビニルフェノールのフェノール性水酸基と不飽和基を有するエポキシ化合物との反応生成物に酸無水物を付加した感光性樹脂においては、フレキ性はあるものの耐熱性が劣るという欠点があった。
【0004】
また、近年のエレクトロニクス機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の高密度化に対応して、ソルダーレジストにも高性能化が要求されている。さらに最近では、リードフレームと封止樹脂を用いたQFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、ソルダーレジストを施したプリント配線板と封止樹脂を用いたICパッケージが登場した。これら新しいパッケージは、ソルダーレジストを施したプリント配線板の片側にボール状のはんだ等の金属をエリア状に配し、もう片側にICチップをワイヤーボンディングもしくはバンプ等で直接接続し、封止樹脂で封止した構造をしており、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等の呼び名で呼ばれている。これらのパッケージは、同一サイズのQFP等のパッケージよりも多ピンでさらに小型化が容易である。また実装においても、ボール状はんだのセルフアライメント効果により低い不良率を実現し、急速にその導入が進められている。
【0005】
しかしながら、従来市販されているアルカリ現像型ソルダーレジストを施したプリント配線板では、パッケージの長期信頼性試験であるPCT耐性が劣り、ソルダーレジスト皮膜の剥離が生じていた。また、ソルダーレジストの吸湿により、パッケージ実装時のリフロー中にパッケージ内部で吸湿した水分が沸騰し、パッケージ内部のソルダーレジスト皮膜及びその周辺にクラックが生じる、いわゆるポップコーン現象が問題視されていた。このような耐吸湿性や長期信頼性における不具合は、上記実装技術の場合のみに限られるものではなく、一般のプリント配線板のソルダーレジストや、ビルドアップ基板等の多層配線板の層間絶縁層など、他の用途の製品においても望ましくない。
【0006】
したがって、本発明の一つの目的は、耐熱性と強靭性の両方を有すると共に、アルカリ現像性にも優れる活性エネルギー線硬化性樹脂を提供することにある。本発明の他の目的は、従来からのプリント配線板のソルダーレジストや多層配線板の層間絶縁層などに要求される密着性、耐無電解めっき性、電気特性等の特性を維持もしくは向上させ、かつ、特にICパッケージに要求される耐吸湿性並びにPCT(プレッシャークッカー)耐性等の特性に優れる硬化皮膜が得られ、プリント配線板の高密度化、面実装化に対応可能でアルカリ現像可能な液状の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明によれば、下記一般式(1)で示されるビスフェノールA誘導体に、
【化2】
Figure 2004123806
1分子中に少なくとも1つの不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を有する化合物(a)を反応させて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂、及び上記活性エネルギー線硬化性樹脂に、更に多塩基酸無水物(b)を反応させて得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂が提供される。
【0008】
更に本発明によれば、(A)上記カルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤及び(D)一分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(以下、多官能エポキシ化合物という)を含有することを特徴とするアルカリ水溶液により現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物が提供される。
更にまた本発明によれば、上記光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を塗布・乾燥後、活性エネルギー線照射及び/又は加熱により硬化させて得られる硬化皮膜が提供される。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明者は、前記の課題を解決するため鋭意検討を重ねた結果、前記ビスフェノール誘導体に、1分子中に少なくとも1つの不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を有する化合物(a)を反応させて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂が、耐水性と強靭性を有することを見出し、更に上記活性エネルギー線硬化性樹脂に多塩基酸無水物(b)を反応させて熱硬化性のカルボキシル基を導入した活性エネルギー線硬化樹脂を含有する樹脂組成物が、耐熱性、密着性、無電解金めっき性、電気特性、耐吸湿性並びにPCT(プレッシャークッカー)耐性等の特性に優れる硬化物を与えることを見出し、本発明を完成させるに至ったものである。
【0010】
すなわち、本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂は、前記ビスフェノールA誘導体に、1分子中に少なくとも1つの不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を有する化合物を反応させて得られる活性エネルギー線硬化性樹脂が、汎用のフェノールノボラック樹脂を使用したものに比べ、不飽和結合間の距離が離れ、かつ3次元化しやすくなったことにより、耐水性、強靭性に優れたものとなる。更に、多塩基酸無水物を反応させて熱硬化性のカルボキシル基を導入した活性エネルギー線硬化性樹脂を含有する光硬化性・熱硬化性組成物は、耐熱性、基材に対する密着性、無電解金めっき耐性、電気特性、耐吸湿性並びにPCT(プレッシャークッカー)耐性等に優れたものとなる。
【0011】
以下、本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂及びこれを用いた光硬化性・熱硬化性組成物の各成分について詳細に説明する。まず、本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂について説明する。
前記一般式(1)に示されるビスフェノールA誘導体は、例えば特開平9−194575号公報に開示されているように、ビスフェノールAとジビニルベンゼンを付加することにより得られる。
初めに、第一の態様である活性エネルギー線硬化性樹脂は、上記ビスフェノールA誘導体のフェノール性水酸基1当量に対し、1分子中に少なくとも1つ以上の不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を持つ化合物(a)を、0.5〜1.3当量、好ましくは、0.8〜1.1当量反応させることに得られる。
前記の少なくとも1つ以上の不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を持つ化合物(a)の付加量が、前記フェノール性水酸基1当量に対し、0.5当量未満の場合感度が低下し、一方、1.2当量を超えた場合粘着性の問題が生じるので好ましくない。
次に、第二の態様であるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂は、上記反応で生成した活性エネルギー線硬化性樹脂中の水酸基1当量に対し、0.1〜1.1当量、好ましくは0.3〜1.0当量の多塩基酸無水物(b)を反応させて得られる。上記多塩基酸無水物の付加量が0.1当量未満では現像性の低下が起こり、1.1当量を越えると活性エネルギー線硬化性樹脂中の酸価が上昇しソルダーレジスト硬化塗膜の耐アルカリ性等のレジスト膜としての特性を下げる要因となり、好ましくない。
【0012】
上記の1分子中に少なくとも1つ以上の不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を持つ化合物(a)の代表的なものとして、グリシジル(メタ)アクリレート等のエピハロヒドリンとラジカル重合性不飽和モノカルボン酸との反応性生成物;グリシジルアリルエーテル、ペンタエリスリトールトリアクリレートモノグリシジルエーテル等のエピハロヒドリンとラジカル重合性不飽和基含有1価または多価アルコールのエステル化物;3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート等のシクロオレフィンアルコールの酸化(エポキシ化)物とラジカル重合性不飽和モノカルボン酸とのエステル化物;3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタン(メタ)アクリレート等の3−エチル−3−ヒドロキシメチルオキセタンとラジカル重合性不飽和モノカルボン酸とのエステル化物が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を併用して用いることができる。
【0013】
上記多塩基酸無水物(b)としては、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、3,6−エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸等の脂環式二塩基酸無水物;無水コハク酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、オクテニル無水コハク酸、ペンタドデセニル無水コハク酸、無水フタル酸、無水トリメリット酸等の脂肪族又は芳香族二塩基酸無水物;或いはビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等の脂肪族又は芳香族四塩基酸二無水物が挙げられ、これらは単独で又は2種以上を併用して使用することができる。これらの中でも、アルカリ溶解性や合成の容易さから脂環式二塩基酸無水物が特に好ましい。
【0014】
以下、前記カルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂(A)を含有する本発明のアルカリ現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物について、説明する。
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、固形成分である前記カルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂(A)と光重合開始剤(B)を希釈剤(C)としての有機溶剤で溶解することにより、アルカリ可溶性の光硬化性液状組成物を構成し、更に、粉体又は有機溶剤に可溶の多官能エポキシ化合物(D)を加えることにより、熱硬化性を付与した組成物である。更にまた、感光性を上げるために光重合性モノマーを反応性の希釈剤(C)として加えた組成物である。
【0015】
前記光重合開始剤(B)としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベンゾインとベンゾインアルキルエーテル類;アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン等のアセトフェノン類;2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノアミノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン、N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアミノアセトフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;ベンゾフェノン、4,4´−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類又はキサントン類;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。これら公知慣用の光重合開始剤は、単独で又は2種類以上の混合物として使用でき、さらにはN,N−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、N,N−ジメチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の三級アミン類などの光開始助剤を加えることができる。また可視光領域に吸収のあるCGI−784(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)等のチタノセン化合物等も、光反応を促進するために添加することもできる。特に好ましい光重合開始剤は、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノアミノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタン−1−オン等であるが、特にこれらに限られるものではなく、紫外光もしくは可視光領域で光を吸収し、(メタ)アクリロイル基等の不飽和基をラジカル重合させるものであれば、光重合開始剤、光開始助剤に限らず、単独であるいは複数併用して使用できる。
【0016】
前記光重合開始剤(B)及び光開始助剤の合計配合量は、前記カルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部(固形分として、以下同様)に対して0.1〜25質量部、好ましくは0.5〜20質量部の割合が好ましい。光重合開始剤の配合量が上記範囲よりも少ない場合、活性エネルギー線の照射を行なっても硬化しないか、もしくは照射時間を増やす必要があり、適切な塗膜物性が得られ難くなる。一方、上記範囲よりも多量に光重合開始剤を添加しても、表面の光硬化性に変化は無いが厚膜硬化性が低下し、又経済的にも好ましくない。
【0017】
次に、前記希釈剤(C)としては、光重合性ビニル系モノマー及び/又は有機溶剤が使用できる。
光重合性ビニル系モノマーの代表的なものとしては、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのモノ又はジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコール又はこれらのエチレオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、及びこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などのアクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルのアクリレート類;及びメラミンアクリレート、及び/又は上記アクリレートに対応する各メタクリレート類などがある。
【0018】
前記有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル及び上記グリコールエーテル類の酢酸エステル化物などのエステル類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤などが挙げられ、前記カルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂(A)と相溶性が良いものが好ましい。
【0019】
前記のような希釈剤(C)は、単独で又は2種以上の混合物として用いられ、使用量の好適な範囲は、光重合性ビニル系モノマーを用いる場合は、活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部に対して10〜60質量部、好ましくは15〜50質量部である。光重合性ビニル系モノマーの配合割合が10質量部未満の場合光硬化性、作業性が低下し、60質量部を超えた場合指触乾燥性が悪くなるので好ましくない。一方、有機溶剤の使用量は特定の割合に限定されるものではないが、前記活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部に対して30〜300質量部程度の範囲が適当であり、選択する塗布方法に応じて適宜設定できる。
【0020】
前記希釈剤(C)の使用目的は、光重合性ビニル系モノマーの場合は、感光性成分を希釈せしめ、塗布しやすい状態にすると共に、光重合性を増強するものである。一方、有機溶剤の場合は、感光性成分を溶解し希釈せしめ、それによって液状として塗布し、次いで乾燥させることにより造膜せしめ、接触露光を可能とするためである。従って、用いる希釈剤に応じて、フォトマスクを塗膜に密着させる接触方式あるいは非接触方式のいずれかの露光方式が用いられる。
【0021】
前記多官能エポキシ化合物(D)としては、具体的には、ジャパンエポキシレジン社製のエピコート828、エピコート834、エピコート1001、エピコート1004、大日本インキ化学工業社製のエピクロン840、エピクロン850、エピクロン1050、エピクロン2055、東都化成社製のエポトートYD−011、YD−013、YD−127、YD−128、ダウケミカル社製のD.E.R.317、D.E.R.331、D.E.R.661、D.E.R.664、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社のアラルダイド6071、アラルダイド6084、アラルダイドGY250、アラルダイドGY260、住友化学工業社製のスミ−エポキシESA−011、ESA−014、ELA−115、ELA−128、旭化成工業社製のA.E.R.330、A.E.R.331、A.E.R.661、A.E.R.664等(何れも商品名)のビスフェノールA型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコートYL903、大日本インキ化学工業社製のエピクロン152、エピクロン165、東都化成社製のエポトートYDB−400、YDB−500、ダウケミカル社製のD.E.R.542、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイド8011、住友化学工業社製のスミ−エポキシESB−400、ESB−700、旭化成工業社製のA.E.R.711、A.E.R.714等(何れも商品名)のブロム化エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコート152、エピコート154、ダウケミカル社製のD.E.N.431、D.E.N.438、大日本インキ化学工業社製のエピクロンN−730、エピクロンN−770、エピクロンN−865、東都化成社製のエポトートYDCN−701、YDCN−704、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドECN1235、アラルダイドECN1273、アラルダイドECN1299、アラルダイドXPY307、日本化薬社製のEPPN−201、EOCN−1025、EOCN−1020、EOCN−104S、RE−306、住友化学工業社製のスミ−エポキシESCN−195X、ESCN−220、旭化成工業社製のA.E.R.ECN−235、ECN−299等(何れも商品名)のノボラック型エポキシ樹脂;大日本インキ化学工業社製のエピクロン830、ジャパンエポキシレジン社製エピコート807、東都化成社製のエポトートYDF−170、YDF−175、YDF−2004、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドXPY306等(何れも商品名)のビスフェノールF型エポキシ樹脂;東都化成社製のエポトートST−2004、ST−2007、ST−3000(商品名)等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコート604、東都化成社製のエポトートYH−434、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドMY720、住友化学工業社製のスミ−エポキシELM−120等(何れも商品名)のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドCY−350(商品名)等のヒダントイン型エポキシ樹脂;ダイセル化学工業社製のセロキサイド2021、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドCY175、CY179等(何れも商品名)の脂環式エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL−933、ダウケミカル社製のT.E.N.、EPPN−501、EPPN−502等(何れも商品名)のトリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のYL−6056、YX−4000、YL−6121(何れも商品名)等のビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物;日本化薬社製EBPS−200、旭電化工業社製EPX−30、大日本インキ化学工業社製のEXA−1514(商品名)等のビスフェノールS型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコート157S(商品名)等のビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;ジャパンエポキシレジン社製のエピコートYL−931、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイド163等(何れも商品名)のテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のアラルダイドPT810、日産化学工業社製のTEPIC等(何れも商品名)の複素環式エポキシ樹脂;日本油脂社製ブレンマーDGT等のジグリシジルフタレート樹脂;東都化成社製ZX−1063等のテトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;新日鉄化学社製ESN−190、ESN−360、大日本インキ化学工業社製HP−4032、EXA−4750、EXA−4700等のナフタレン基含有エポキシ樹脂;大日本インキ化学工業社製HP−7200、HP−7200H等のジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;日本油脂社製CP−50S、CP−50M等のグリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;さらにシクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらエポキシ樹脂は単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にビフェノール型もしくはビキシレノール型エポキシ樹脂又はそれらの混合物が好ましい。
【0022】
上記のような多官能エポキシ化合物(D)は、熱硬化することにより、ソルダーレジストの密着性、耐熱性等の特性を向上させる。その配合量は、前記活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部に対して10〜100質量部であり、好ましくは25〜60質量部の割合である。多官能エポキシ化合物(D)の配合量が10質量部未満の場合、硬化皮膜の吸湿性が高くなってPCT耐性が低下し易くなり、また、はんだ耐熱性や耐無電解めっき性も低くなり易くなるため好ましくない。一方、100質量部を超えると、塗膜の現像性や硬化皮膜の耐無電解めっき性が悪くなり、またPCT耐性も劣ったものとなるので好ましくない。
【0023】
前記エポキシ硬化触媒(E)としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等の有機酸ヒドラジド化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物など、また市販されているものとしては、例えば四国化成工業社製の2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(いずれもイミダゾール系化合物の商品名)、サンアプロ社製のU−CAT3503X、U−CAT3502T(いずれもジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物の商品名)、DBU、DBN、U−CATSA102、U−CAT5002(いずれも二環式アミジン化合物及びその塩)などがある。特に、これらに限られるものではなく、エポキシ樹脂の硬化触媒、もしくはエポキシ基とカルボキシル基の反応を促進するものであればよく、単独で又は2種以上を混合して使用してもかまわない。また、密着性付与剤としても機能するグアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を前記エポキシ硬化触媒と併用する。上記エポキシ硬化触媒(E)の配合量は通常の量的割合で充分であり、例えば前記活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部に対して0.1〜20質量部、好ましくは0.5〜15.0質量部の割合である。
【0024】
さらに、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、本発明の効果を損なわない範囲で、前記した活性エネルギー線硬化性樹脂(A)以外の他の活性エネルギー線硬化性樹脂(F)を含有することができる。
他の活性エネルギー線硬化性樹脂(F)としては、不飽和基を有する限り全て使用可能であり、特定のものに限定されるものではなく、例えば、前記一般式(1)に示されるビスフェノールA誘導体に、1分子中に少なくとも1つの不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を有する化合物(a)を反応させる事により得られる活性エネルギー線硬化性樹脂やウレタンアクリレート樹脂も光硬化性向上や耐薬品性向上のために使用できる。それらの中でも、特に好ましいものとして、下記のようなカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂が挙げられる。
(1)不飽和カルボン酸と不飽和二重結合を有する化合物と、不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、部分的にエチレン性不飽和基をペンダントとして付加させることによって得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂
(2)エポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物と、不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、不飽和カルボン酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂
(3)不飽和二重結合を有する酸無水物と不飽和二重結合を有する化合物との共重合体に、水酸基と不飽和二重結合を有する化合物を反応させて得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂
(4)多官能エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸を反応させ、生成した2級の水酸基に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂
(5)水酸基含有ポリマーに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂に、部分的にエポキシ基と不飽和二重結合を有する化合物をさらに反応させて得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂
(6)多官能オキセタン化合物に不飽和モノカルボン酸を反応させて得られる変性オキセタン樹脂の一級水酸基に対して、さらに多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂が挙げられる。
これらの中でも、得られる硬化物の耐熱性等を向上させるために、上記(4)の手法でクレゾールノボラック系エポキシ化合物を用いて得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂を配合させることが特に好ましい。
【0025】
また、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物には、それらの塗布性や耐熱性等の諸特性の低下を招くことなく、その硬化物の誘電率及び誘電正接を低下させるために球状多孔質フィラー(G)を配合することができる。球状多孔質フィラーの材料としては、シリカや架橋樹脂物が挙げられる。
光硬化性・熱硬化性樹脂組成物に通常のフィラーを配合した場合、硬化物の誘電率及び誘電正接はそのフィラーの誘電率、誘電正接に支配されるが、球状多孔質フィラーを配合した場合、その孔中に空気中を包摂することから、その誘電特性を低下させることができるようになる。このように空気を包摂しうるためには、球状多孔質フィラーの平均粒径は1〜15μm、さらに好ましくは1〜10μmの範囲にあることが望ましく、また、球状多孔質フィラーの吸油量は、約50〜800m/g、好ましくは100〜200m/gであることが好ましい。球状多孔質フィラー(G)の配合割合は、前記活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部当り5質量部以上、100質量部以下、好ましくは50質量部以下であることが好ましい。
【0026】
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物には、フレキシブル性と強靭性を付与することを目的として、エポキシ化ポリブタジエン(H)を配合することができる。このエポキシ化ポリブタジエン(H)としては、例えばダイセル化学工業社製エポリードPB3600、PB4700等があり、その配合量は、前記活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部当たり5〜50質量部とすることが好ましい。
さらに、フレキシブル性と低反りを付与することを目的として、平均粒径1〜15μmの球状ウレタンビーズ(I)を配合することができる。この球状ウレタンビーズ(I)の配合量は、前記活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部当たり5〜100質量部とすることが好ましい。
【0027】
本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物には、さらに必要に応じて、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素紛、微粉状酸化ケイ素、無定形シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、マイカ等の公知慣用の無機フィラーを単独で又は2種以上配合することができる。これらは塗膜の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させる目的で用いられる。無機フィラーの配合量は、前記活性エネルギー線硬化性樹脂(A)100質量部当り10〜300質量部、好ましくは30〜200質量部が適当である。
【0028】
本発明の組成物は、さらに必要に応じてフタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックなどの公知慣用の着色剤;ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、t−ブチルカテコール、ピロガロール、フェノチアジンなどの公知慣用の熱重合禁止剤;微粉シリカ、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤;シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤;イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤などの密着性付与剤等、公知慣用の添加剤類を配合することができる。
【0029】
以上のような組成を有する本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、必要に応じて希釈して塗布方法に適した粘度に調整し、これを例えば、回路形成されたプリント配線板にスクリーン印刷法、カーテンコート法、スプレーコート法、ロールコート法等の方法により塗布し、例えば約60〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥させることにより、塗膜を形成できる。その後、パターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液により現像してレジストパターンを形成でき、さらに、活性エネルギー線の照射後加熱硬化もしくは加熱硬化後活性エネルギー線の照射、又は、加熱硬化のみで最終硬化(本硬化)させることにより、耐熱性、基材に対する密着性、無電解金めっき耐性、電気特性、耐吸湿性並びにPCT(プレッシャークッカー)耐性に優れた硬化皮膜(ソルダーレジスト皮膜)が形成される。
【0030】
上記アルカリ水溶液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。
また、光硬化させるための照射光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ又はメタルハライドランプなどが適当である。その他、レーザー光線なども活性エネルギー線として利用できる。
【0031】
また、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を用いて多層プリント配線板の層間絶縁樹脂層を形成する場合には、必要に応じて塗布方法に適した粘度に調整し、これを例えば予め回路形成された配線板の導体層の上に前記したような従来公知の方法により塗布し、必要に応じて例えば約60〜100℃の温度で乾燥してタックフリーの塗膜を形成した後、黒円等の所定形状の光不透過部を形成したネガフィルムを通して選択的に活性光線により露光し、未露光部を例えば前記したようなアルカリ水溶液により現像し、ネガフィルムの黒円に相当するバイアホールを形成する。その後、必要に応じて所定の層間導通孔等の穴明けを行った後、酸化剤、アルカリ水溶液、有機溶剤等の粗化剤により粗面化処理を行い、粗面化した絶縁樹脂層表面に無電解めっき、電解めっき等により導体層を被覆した後、加熱処理を行い、上記絶縁樹脂層の架橋密度を上げると共に応力緩和を行う。例えば約140〜180℃の温度に加熱して硬化させることにより、耐衝撃性、耐熱性、耐溶剤性、耐酸性、耐吸湿性、PCT耐性、密着性、電気特性などの諸特性に優れた層間絶縁樹脂層を形成できる。その後、常法に従って、絶縁樹脂層表面の導体層をエッチングして所定の回路パターンを形成し、回路形成された導体層を形成する。また、このような操作を所望に応じて順次繰り返し、絶縁樹脂層及び所定の回路パターンの導体層を交互にビルドアップして形成することもできる。
なお、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物は、上記のようなビルドアップ法による多層プリント配線板の製造方法の絶縁樹脂層としてだけでなく、例えば樹脂付銅箔ラミネート法による多層プリント配線板の製造における絶縁樹脂層の形成や、積層プレス法に用いるプリプレグ用の絶縁樹脂組成物等としても用いることができる。
【0032】
【実施例】
以下に実施例及び比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。
【0033】
合成例1
ガス導入管、撹拌装置、冷却管及び温度計を備えたフラスコに、カルビトールアセテート280部、フェノールノボラック型樹脂(ベースモールCZ−256、大日本インキ化学工業社製、水酸基当量160)160部とグリシジルメタクリレート142部を仕込み、窒素雰囲気下にて、100℃で撹拌・溶解させた。その後、トリフェニルホスフィン2.5部を添加し、フラスコ内の温度を100℃で保持しながら、16時間反応させた。その後、テトラヒドロ無水フタル酸106.4部を加え、8時間反応させた。反応は、電位差滴定による反応液の酸価、全酸価測定を行ない、得られる付加率にて追跡し、反応率95%以上を終点とする。
このようにして得られたカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂は、固形物の酸価86mgKOH/gであった。以下、この反応溶液をワニスAと称す。
【0034】
比較合成例1
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エピクロンN−695、大日本インキ化学工業社製、エポキシ当量220)330部を、ガス導入管、撹拌装置、冷却管及び温度計を備えたフラスコに入れ、カルビトールアセテート400部を加え、加熱溶解し、ハイドロキノン0.46部と、トリフェニルホスフィン1.38部を加えた。この混合物を95〜105℃に加熱し、アクリル酸108部を徐々に滴下し、16時間反応させた。この反応生成物を、80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸163部を加え、8時間反応させた。反応は、電位差滴定による反応液の酸化、全酸化測定を行ない、得られる付加率にて追跡し、反応率95%以上を終点とする。このようにして得られたカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂は、固形物の酸価100mgKOH/gであった。以下、この反応溶液をワニスB−1と称す。
【0035】
比較合成例2
フェノールノボラック型エポキシ樹脂(EPPN−201、日本化薬社製、エポキシ当量190)322部を、ガス導入管、撹拌装置、冷却管及び温度計を備えたフラスコに入れ、カルビトールアセテート400部を加え、加熱溶解し、ハイドロキノン0.46部と、トリフェニルホスフィン1.38部を加えた。この混合物を95〜105℃に加熱し、アクリル酸122部を徐々に滴下し、16時間反応させた。この反応生成物を、80〜90℃まで冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸156部を加え、8時間反応させた。反応は、電位差滴定による反応液の酸化、全酸化測定を行ない、得られる付加率にて追跡し、反応率95%以上を終点とする。このようにして得られたカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂は、固形物の酸価96mgKOH/gであった。以下、この反応溶液をワニスB−2と称す。
【0036】
実施例1及び比較例1,2
前記合成例1及び比較合成例1,2で得られた各ワニスを用いた表1に示す配合成分を、3本ロールミルで混練し、光硬化性・熱硬化性樹脂組成物を得た。
【0037】
【表1】
Figure 2004123806
1 ;チバ・スペシャルティケミカルズ社製、光重合開始剤
2 ;日本化薬社製、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
3 ;大日本インキ化学工業社製、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
【0038】
前記実施例1及び比較例1,2の光硬化性・熱硬化性組成物の評価結果を下記表2に示す。
【表2】
Figure 2004123806
なお、上記表2中の性能試験の方法は以下の通りである。
【0039】
(1)現像性
上記各実施例及び比較例の組成物を、パターン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面塗布し、80℃で40分、50分、60分、又は70分乾燥し、室温まで放冷した後、30℃の1%NaCO水溶液をスプレー圧0.2MPaの条件で60秒間現像を行ない、乾燥塗膜の現像残りの有無を目視で確認した。判定基準は以下のとおりである。
○:完全に現像されている。
△:一部塗膜が残っている。
×:塗膜が完全に残っている。
【0040】
(2)引張弾性率、(3)引張強度(引張破壊強さ)、(4)伸び率(引張破壊伸び)
下記の方法で作製した評価サンプルの引張弾性率、引張強度(引張破壊強さ)、伸び率(引張破壊伸び)を引張−圧縮試験機(株式会社島津製作所製)によって測定した。
予め水洗・乾燥を行なったテフロン(登録商標)板に、上記各実施例及び比較例の組成物をスクリーン印刷法で塗布し、熱風循環式乾燥炉で80℃,30分乾燥させた。これを室温まで冷却した後、露光量500mJ/cmの条件で露光し、熱風循環式乾燥炉で硬化を150℃,60分間行なった。これを室温まで冷却した後、テフロン(登録商標)板から硬化塗膜をはがし、評価サンプルを得た。
【0041】
(5)吸水率
予め質量を測定したガラス板に、上記各実施例及び比較例の組成物をスクリーン印刷法で塗布し、熱風循環式乾燥炉で80℃,30分乾燥させた。これを室温まで冷却した後、露光量500mJ/cmの条件で露光し、熱風循環式乾燥炉で硬化を150℃,60分間行ない、評価サンプルを得た。これを室温まで冷却した後、評価サンプルの質量を測定した。次に、この評価サンプルをPCT装置(TABAI ESPEC HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて121℃、100%R.H.、24時間処理し、処理後の硬化物の質量を測定し、下記算式により硬化物の吸水率を求めた。
吸水率=(W2−W1)/(W1−Wg)
ここで、W1は評価サンプルの質量、W2はPCT処理後の評価サンプルの質量、Wgはガラス板の質量である。
【0042】
上記各実施例及び比較例の組成物を、銅箔基板上にスクリーン印刷法で塗布し、熱風循環式乾燥炉で80℃,40分乾燥させた。これを室温まで冷却した後、露光量500mJ/cmの条件で露光し、熱風循環式乾燥炉で硬化を150℃,60分間行ない、その後室温まで冷却し、鉛筆硬度及び密着性試験用評価サンプルを得た。
(6)鉛筆硬度
JIS K 5400の試験方法に従って鉛筆硬度試験機を用い、上記サンプルに荷重1kgをかけた際の皮膜にキズが付かない最も高い硬度を求めた。
(7)密着性
JIS D 0202の試験方法に従って上記評価サンプルにクロスカットを入れ、次いでセロハン粘着テープによるピーリングテスト後の剥がれの状態を目視判定した。判定基準は以下のとおりである。
○:全く剥がれが認められないもの
△:ほんの僅か剥がれたもの
×:完全に剥がれたもの
【0043】
(8)誘電率、誘電正接:JIS C 6481に準拠して求めた。
【0044】
(9)電気絶縁性
IPC B−25のクシ型電極Bクーポンに、上記各実施例及び比較例の組成物をパイロット精工(株)製ロールコーターを用いて全面に塗布し、熱風循環式乾燥炉で80℃,30分乾燥させた。これを室温まで冷却した後、露光量100mJ/cmの条件で露光し、熱風循環式乾燥炉で硬化を150℃,60分間行ない、評価サンプルを得た。このクシ型電極にDC500Vのバイアス電圧を印加し、絶縁抵抗値を測定した。
【0045】
(10)耐酸性試験
前記(9)電気絶縁性に用いたのと同じ評価サンプルを10容量%硫酸水溶液に20℃,30分間浸漬後取り出し、塗膜の状態と密着性とを総合的に判定評価した。判定基準は以下のとおりである。
○:変化が認められないもの
△:ほんの僅か変化しているもの
×:塗膜にフクレあるいは膨潤脱落があるもの
【0046】
(11)耐アルカリ性試験:10容量%硫酸水溶液を10容量%水酸化ナトリウム水溶液に変えた以外は、前記(10)耐酸性試験と同様に試験評価した。
【0047】
(12)PCT耐性
プリント配線板に上記各実施例及び比較例の組成物をスクリーン印刷法で塗布し、熱風循環式乾燥炉で80℃,30分乾燥させた。これを室温まで冷却した後、露光量500mJ/cmの条件で露光し、熱風循環式乾燥炉で硬化を150℃,60分間行ない、評価サンプルを得た。これを室温まで冷却した後、PCT装置(TABAI ESPEC HAST SYSTEM TPC−412MD)を用いて121℃、2気圧の条件で168時間処理し、硬化皮膜の状態を評価した。判定基準は以下のとおりである。
○:剥がれ、変色そして溶出なし。
△:剥がれ、変色そして溶出のいずれかあり。
×:剥がれ、変色そして溶出が多く見られる。
【0048】
表2に示す結果から明らかな如く、本発明の光硬化性・熱硬化性樹脂組成物から得られた硬化物は、PCT耐性に優れ、吸水率、密着性、電気絶縁抵抗、硬度、耐薬品性等にも優れた特性を有している。これに対して、比較例の芳香族エポキシアクリレート化合物から得られた硬化物は、吸水率、PCT耐性等が劣っていた。
【0049】
【発明の効果】
以上のように、本発明のカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂は、前記一般式(1)で示されるビスフェノールA誘導体に、不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を有する化合物を反応させ、更に多塩基酸無水物を反応させて光硬化性とアルカリ現像性を付与したものであるが、前記構造式に示したビスフェノールAのノボラック骨格を導入したことによって、その硬化物は、耐熱性、基材に対する密着性、無電解金めっき耐性、電気特性、耐吸湿性並びにPCT(プレッシャークッカー)耐性等に優れたものである。従って、塗料、印刷インキ、接着剤、各種レジスト材料等として有用であり、特にプリント配線板のソルダーレジストや、多層プリント配線板の層間絶縁層などの用途に好適に用いることができる。

Claims (6)

  1. 下記一般式(1)に示されるビスフェノールA誘導体に、
    Figure 2004123806
    1分子中に少なくとも1つの不飽和基とオキシラン環又はオキセタン環を有する化合物(a)を反応させる事により得られる活性エネルギー線硬化性樹脂。
  2. 前記請求項1記載の活性エネルギー線硬化性樹脂に、更に多塩基酸無水物(b)を反応させる事により得られるカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂。
  3. (A)前記請求項2に記載のカルボキシル基含有の活性エネルギー線硬化性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)希釈剤及び(D)一分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物を含有することを特徴とするアルカリ水溶液により現像可能な光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
  4. 前記請求項3に記載の組成物に、さらに(E)エポキシ硬化触媒を含有することを特徴とする光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
  5. 前記請求項3又は4記載の組成物に、さらに(F)請求項2に記載された活性エネルギー線硬化性樹脂以外の活性エネルギー線硬化性樹脂を含有することを特徴とする光硬化性・熱硬化性樹脂組成物。
  6. 前記請求項3乃至5のいずれか1項に記載の組成物を、活性エネルギー線照射及び/又は加熱により硬化させて得られる硬化物。
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