JP2004226129A - Visual inspection apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、外観検査装置に関する。この発明は特に、プリント基板などの被検査体に搭載される電子部品の状態を検査する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、情報化社会の急激な発展とともに、パーソナルコンピュータや携帯電話が爆発的に普及してきている。普及の背景には、単にこれらの製品価格が低下してきたこと以外に、多様化したデザインとこれを実現するための機器のコンパクト化が進んだことも重要な要素のひとつとして挙げられる。電子機器のコンパクト化は機器の携帯性に対する影響も大きく、電子部品の高集積化の開発競争に一層拍車をかけている。
【0003】
電子部品の高密度設計を支えるためには、部品の実装技術そのものだけでなく、その実装状態を検査する技術の実現が欠かせない。こうした技術のひとつとして、従来は、部品実装後のプリント基板(以下、単に「基板」という。)の外観検査に、接触型の試験を行うICT(In−Circuit Tester)などが用いられたが、たとえばBGA(Ball Grid Array)やCSP(Chip Size Package, Chip Scale Package)といった技術が登場したように実装方法の変化と高密度化が一層進んだ結果、接触型の検査装置による対応が困難になりつつある。したがって、非接触型、特に画像認識技術を用いた外観検査装置の需要が伸びてきている。
【0004】
近年の基板製造は多機種少量生産という形態が多くなったため、これらの基板を検査する装置の設定も頻繁に変更され得る。しかしながら、少量生産ゆえにわざわざ全体的な検査設定を変えるまでもない場合がある。また、たとえば手作業によるハンダ付けなどの微修正をオフラインで行った場合に、再びわざわざ検査ラインに載せることなくすぐ簡単に検査できる方が効率的である。特許文献1には、基板を把持する支持台が往復運動する間に基板上を走査して二種類の外観画像を取得する卓上据え置き型の外観検査装置が開示されている。
【0005】
【特許文献1】
特開2002−181730号公報 (全文、第1−7図)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このような卓上据え置き型の外観検査装置において、手付け部品のハンダ付け後の基板を検査する場合、基板の大きさや高さがまちまちであるため、基板を支持台に固定するのが難しく、往復運動の折り返し点で停止して運動方向を変えるときに発生する振動により基板の位置がずれ、撮像される二種類の画像に位置ずれによる誤差が発生する恐れがあった。一方で、基板をネジ留めなどにより支持台にしっかりと固定させることもできるが、それは作業者にとって手間がかかり、オフラインで簡便に手付け後の基板を検査したいというニーズに応えることができない。
【0007】
本発明はこうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、個別の状況に応じた柔軟な検査を容易かつ高い精度で行うことのできる基板検査技術の提供にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明のある態様は、外観検査装置に関する。この装置は、三次元形状を有する被検査体の外観を検査するものであって、被検査体を走査する走査ユニットと、被検査体を把持する支持台とを含み、走査ユニットおよび支持台の相対運動によって走査ユニットのセンサが被検査体の上面を一定速度で一回走査し、その相対運動の始点は走査ユニットから離れた待機位置に設定され、その待機位置にて被検査体と走査ユニットとのクリアランスが確保されて被検査体の着脱が自在となるように走査ユニットおよび支持台の位置決めがなされている。
【0009】
ここでいう「被検査体」は、主に各種電子部品を搭載した基板を示す。外観検査には、部品の位置ずれ検出などの検査が含まれる。
【0010】
この装置によれば、支持台もしくは走査ユニットが被検査体の上面を一回だけ移動する間に所定の外観検査がなされるので、たとえば作業者がマニュアルで支持台に基板を載置して試験ユニットに収納/取出を繰り返しながら次々に検査することができる。したがって、生産ライン上の基板を次々に検査するのとは異なり、基板ひとつひとつに対して柔軟に対応する個別検査を簡単な操作で実現できる。
【0011】
また、前記走査ユニットは、被検査体の検査面に垂直上方から投光する落射照明源と、被検査体の検査面に斜め方向から投光する側方照明源とを含み、前記相対運動の際に、前記落射照明源と前記側方照明源を交互に切り替えて点灯することを繰り返し、それぞれの照明状態における二種類の外観検査用画像を取得してもよい。これにより、走査ユニットのセンサが被検査体の上面を一定速度で走査する間に、落射光による画像と側方光による画像の両方を一度に取得することができる。いったん検査面の走査がスタートすると、停止することがないため、被検査体が振動する恐れがなく、振動による誤差がほとんど発生しない。また、二種類の画像を取得するために、二回に分けて走査したり、支持台を往復運動させたりする必要がなく、一回の走査で二種類の画像を同時に取得することができるため、二種類の画像間の位置ずれを最小にすることができる。さらに、一回のみの走査で検査ができるため、検査速度を短縮することができる。
【0012】
前記支持台は、前記被検査体を収容するための取り外しが可能な治具を含み、前記治具には前記被検査体に合わせた嵌め込み部が設けられてもよい。走査ユニットが被検査体の上面を一定速度で走査し、画像取得時に振動が生じない構成であるため、治具の嵌め込み部と被検査体の間には遊びがあってもよい。またこの嵌め込み部には、前記被検査体を仮留めするための固定具が設けられてもよい。
【0013】
なお、以上の構成要素の任意の組合せや、本発明の構成要素や表現を方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【0014】
【発明の実施の形態】
本実施形態の外観検査装置は、基板を載置した支持台がレール上を滑動する間に基板上を走査することによって画像を取得する卓上据え置き型の試験ユニットを備える。この装置は、生産ライン上に設置して次々に基板を検査していく方式と異なり、マニュアルでセットした基板をひとつひとつ検査するのが主な使用方法である。また、基板の一回の移動の間に二種類の画像が得られるので、検査時間を短縮することができる。
【0015】
本実施形態においては、ラインセンサによる撮像ラインに対して垂直に支持台を駆動させることで順次ラインごとの画像が得られ、検査面の一次元運動で検査が完了する。外観検査装置の別のタイプとして、検査面を二次元的に移動させて停止し、これを繰り返して次々にスポット撮影をするものもあるが、その場合、一般に機構系が複雑になり、検査時間も長い場合が多い。その点で、本実施形態のように一次元センサを用いる方が有利である。本出願人は先に、特開平8−254500号公報において、このような一次元センサを用いた外観検査装置を提案した。この装置は、当時一般的であった側方照明源の他に落射照明源を設け、試験項目に応じてこれらの切り替えを行っている。その趣旨は以下の通りである。
【0016】
いま、図1の基板1を被検査体とする。図2(a)、図2(b)はそれぞれ側方光6aと落射光6bの効果を示す。図2(a)のごとく、反射光8aは、部品2の水平面については斜め上方へ向かい、ハンダ4が正しく盛られた傾斜部分については一部が垂直上方へ向かう。一方、図2(b)のごとく、落射光6bの反射光8bは、部品2の水平面においてほぼ全反射し、垂直上方へ向かうが、前記の傾斜部分についてはそうならない。
【0017】
図3(a)、図3(b)は、それぞれ側方光6a、落射光6bにより、基板1の垂直上方に設けられたCCDセンサによって得られた画像を示す。図3(a)のごとく側方光6aによれば、コピーマシンのような画像が得られ、部品のリード部分のブリッジ、すなわちハンダが複数のリードをショートさせる実装不良や部品の極性マークの判定が比較的容易である。一方、図3(b)のごとく落射光6bによれば、強いコントラスト画像が得られ、立体物の輪郭部分やハンダの傾斜部分が黒く写る。したがって、部品の位置ずれや欠品の他、ハンダが正しく部品の電極やリードに付いているかどうかの判定が比較的容易になる。
【0018】
図4は、外観検査装置の検査前の状態を例示する。本装置10は、主に卓上据え置き型の試験ユニット14およびメインユニット12で構成される。試験ユニット14は、被検査体である基板1の上面を走査する走査ユニット16と、その基板1を把持する支持台22とを含む。
【0019】
支持台22は、レール23a、b上に滑動自在に載置される。支持台22は、レール23a、b上を滑動することによって、試験ユニット14内の走査ユニット16下方を通過する。本図に示される支持台22は、この運動の始点に位置する状態である。この位置は、走査ユニット16から離れた待機位置として設定される。この待機位置にて基板1と走査ユニット16とのクリアランスが確保されるので、操作者による基板1の着脱作業が可能である。
【0020】
図5は、外観検査装置の検査中の状態を例示する。本図は、支持台22が試験ユニット14の内部に収まる方向で駆動するとともに、走査ユニット16の下方を通過している状態を示している。
【0021】
なお、本実施形態においては、支持台22が運動することによって走査ユニット16のセンサが基板1の上面を走査する構成としているが、これを走査ユニット16側の機構が運動することによって走査がなされる構成であってもよい。または、支持台22がいったん試験ユニット14の内部に収まった後で、走査ユニット16が駆動して走査する構成であってもよい。いずれにしても、走査ユニット16および支持台22が相対運動することにより走査が実現されていればよい。
【0022】
図6は、外観検査装置の構成を示す。外観検査装置10は、メインユニット12および試験ユニット14を備える。試験ユニット14の下部には支持台22が設けられ、被検査体である基板1が把持されている。支持台22の端部近傍には、それを駆動するステッピングモータ20が設けられている。支持台22は、レール23上に載置されている。試験ユニット14の上部には、走査ユニット16が設けられている。
【0023】
走査ユニット16は照明ユニット30、レンズ32およびラインセンサ34を有する。これらの部材はフレーム36上に固定されている。照明ユニット30は、落射照明源、側方照明源、ハーフミラーなどを内蔵する。基板1から垂直上方への反射光はハーフミラーでレンズ32へ導かれ、レンズ32を通過した後、一次元CCDセンサであるラインセンサ34へ入力される。ラインセンサ34はライン単位に基板1を走査してその画像データ54を出力する。
【0024】
メインユニット12は、本装置全体を統括的に制御するもので、ハードウェア的には、任意のコンピュータのCPU、メモリ、その他のLSIで実現でき、ソフトウェア的にはメモリにロードされた外観検査機能のあるプログラムなどによって実現されるが、ここではそれらの連携によって実現される機能ブロックを描いている。したがって、これらの機能ブロックがハードウェアのみ、ソフトウェアのみ、またはそれらの組合せによっていろいろなかたちで実現できることは、当業者には理解されるところである。
【0025】
メインユニット12のヘッド制御ユニット40はまず、照明制御クロック50を照明ユニット30へ供給し、1ライン毎に落射照明と側方照明を交互に切り替えて点灯させる。ヘッド制御ユニット40はさらに、モータ制御信号52をステッピングモータ20へ、試験開始信号56をメモリ制御ユニット42へそれぞれ出力する。モータ制御信号52によってステッピングモータ20のステップ制御がなされ、検査の開始に際し、基板1の端部が走査ユニット16の下方へ位置するように支持台22を移動させる。以降、1ライン撮像するたびにモータ制御信号52によって支持台22が1ライン分進行する。一方、試験開始信号56を参照し、メモリ制御ユニット42はメモリ44へ画像データ54の書込を制御し、以降、画像データ54がライン単位で記録されていく。画像データ54は、落射照明によるものと側方照明によるものとが1ライン毎にインターリーブされて入力され、全ラインの撮像が終わると、メモリ44内には、落射照明による外観検査用画像と、側方照明による外観検査用画像が個別に形成される。
【0026】
解析ユニット46は、走査と並行して、または走査完了後にメモリ44から画像データ54を読み出し、判定基準記憶部48にあらかじめ記録された判定基準に照らして、検査項目ごとに合否を判断する。検査項目として、部品の位置ずれ、欠品、ハンダのヌレの判定、ハンダブリッジの有無、搭載部品の間違い、極性の反転の判定などがある。たとえば、落射試験によるハンダヌレの判定は、部品の電極の周りに一様に暗い部分が生じれば合格、電極から離れたところに暗い丸が生じれば不合格とすることができる。後者の場合、ハンダが電極に載らず、基板1のランドに低い山状に溶けずに残っている可能性が高い。いずれにしても、判定基準記憶部48にはあらかじめ検査すべき基板1の部品搭載について、合否に関する判断基準または基準画像が記録され、実際にラインセンサ34で取得された画像にそれらの基準または画像を適用して合否判定が行われる。
【0027】
図7は、基板1を収容するための取り外し可能な治具100を示す。手付け部品をハンダ付けした後の基板1は、形状、サイズ、高さがまちまちであり、支持台22に基板1を設置するための統一された固定具を用意することはできない。そこで、手付け後の基板1をそのまま収容できる治具100を基板1に合わせてあらかじめ用意する。治具100には、基板1の形状、サイズ、高さに合わせて、嵌め込み部102が設けられており、操作者は、基板1をこの嵌め込み部102に嵌め込んだ上で、治具100を支持台22に設置する。
【0028】
ここで、基板1を治具100に嵌め込む際の作業性や、手付け部品の位置のばらつきを考慮して、基板1と治具100の嵌め込み部102の間には余裕を設けているため、検査搬送時に揺れが生じると、一般には正確な外観画像を取得することができなくなる恐れがある。特に、検査面をXY方向に走査して基板1をスポット撮影するタイプの外観検査装置では、搬送時に移動と停止を繰り返すため、加減速による揺れが大きく、治具100に嵌め込まれた基板1が振動し、外観画像を正確に撮影できなくなる。しかしながら、本実施の形態では、走査ユニット16が基板1の上面をスタート位置から一定速度で走査し、途中で停止することがないため、外観画像の取得時に振動が生じない構造である。したがって、本実施の形態では、治具100が基板1をそれほど強固に把持する必要はなく、治具100の嵌め込み部102と基板1の間に遊びがあってもよく、治具100に基板1が嵌め込まれた状態で支持台22に設置すれば、走査ユニット16の下を静かに滑動することで、基板1の正確な外観画像を取得することが可能である。
【0029】
図8は、治具100に嵌め込まれた基板1を仮留めした状態を示す。治具100には、走査のスタート時に基板1が治具100の嵌め込み部102から外れたり、動いたりしないように仮留めするためのピン104などの固定具が設けられる。同図に示すように、手付け後の基板1の隅には、ネジ留め用の穴106が設けられているのが一般的である。治具100の嵌め込み部102にピン104を設け、このネジ留め用の穴106に下側からピン104を通すことで、基板1を簡単に仮留めすることができる。
【0030】
以上、本発明を実施の形態をもとに説明した。この実施の形態は例示であり、それらの各構成要素や各処理プロセスの組合せにいろいろな変形が可能なこと、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは当業者に理解されるところである。以下、変形例を挙げる。
【0031】
本実施形態においては、外観検査装置10を基板生産ラインから外れた場所に設置する場合を主に説明したが、これを生産ラインに組み込み、一部の製品を検査する場合に適用してもよい。走査ユニット16が基板1上を一回だけ走査することにより二種類の画像を取得し、外観検査を行うことができるため、生産ラインへの外観検査装置10の組込みにも有利である。例えば走査ヘッド16の側を固定式にして基板1の支持台22をコンベアにすることにより、生産ラインを流れる基板1をそのまま検査することができる。
【0032】
【発明の効果】
本発明によれば、製造状況に応じてより柔軟性の高い方法で簡単に基板を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】被検査体の例である基板の外観図である。
【図2】(a)、(b)はそれぞれ、側方試験における側方光、落射試験における落射光およびそれらの反射光の方向を示す図である。
【図3】(a)、(b)はそれぞれ、側方試験、落射試験において得られる画像の例を示す図である。
【図4】外観検査装置の検査前の状態における外観を示す図である。
【図5】外観検査装置の検査中の状態における外観を示す図である。
【図6】実施の形態に係る外観検査装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図7】基板を収容するための取り外し可能な治具を示す図である。
【図8】図7の治具に嵌め込まれた基板を仮留めした状態を示す図である。
【符号の説明】
1 基板、 10 外観検査装置、 12 メインユニット、 14 試験ユニット、 16 走査ユニット、 20 ステッピングモータ、 22 支持台、 23 レール、 30 照明ユニット、 34 ラインセンサ、 100 治具、 102 嵌め込み部。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a visual inspection device. The present invention particularly relates to a technique for inspecting a state of an electronic component mounted on an object to be inspected such as a printed circuit board.
[0002]
[Prior art]
In recent years, with the rapid development of the information society, personal computers and mobile phones have exploded. In addition to simply lowering the prices of these products, one of the important factors behind the spread is the diversified designs and the downsizing of the equipment for realizing them. The downsizing of electronic devices has a great effect on the portability of the devices, and further accelerates the development competition for higher integration of electronic components.
[0003]
In order to support high-density design of electronic components, it is indispensable to realize not only the component mounting technology itself but also a technology for inspecting the mounting state. As one of such techniques, an ICT (In-Circuit Tester) or the like for performing a contact-type test has been conventionally used for an appearance inspection of a printed circuit board (hereinafter, simply referred to as a “board”) after component mounting. For example, as the technologies such as BGA (Ball Grid Array) and CSP (Chip Size Package, Chip Scale Package) have appeared, the mounting method has been changed and the density has been further increased. It is getting. Therefore, the demand for a non-contact type appearance inspection apparatus, particularly using an image recognition technique, is increasing.
[0004]
In recent years, many types of substrate manufacturing have been performed in a small number of models. Therefore, the setting of an apparatus for inspecting these substrates may be frequently changed. However, there is a case where it is not necessary to change the entire inspection setting because of small-volume production. Further, for example, when fine correction such as soldering by manual operation is performed off-line, it is more efficient that the inspection can be performed immediately and easily without putting it on the inspection line again.
[0005]
[Patent Document 1]
JP 2002-181730 A (full text, FIG. 1-7)
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
When inspecting a board after soldering hand-held components in such a tabletop type appearance inspection apparatus, it is difficult to fix the board to the support base because the size and height of the board are various, and reciprocating motion There is a possibility that the position of the substrate is displaced due to the vibration generated when stopping at the turning point and changing the direction of movement, resulting in an error due to the displacement between the two types of captured images. On the other hand, the substrate can be firmly fixed to the support table by screwing or the like, but this is troublesome for an operator, and cannot meet the need to easily inspect the mounted substrate off-line.
[0007]
The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide a board inspection technique capable of easily and accurately performing a flexible inspection according to an individual situation.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
One embodiment of the present invention relates to a visual inspection device. This apparatus is for inspecting the appearance of an inspection object having a three-dimensional shape, and includes a scanning unit that scans the inspection object, and a support table that grips the inspection object, and includes a scanning unit and a support table. Due to the relative movement, the sensor of the scanning unit scans the upper surface of the inspection object once at a constant speed, and the starting point of the relative movement is set at a standby position away from the scanning unit, and the inspection object and the scanning unit at the standby position The scanning unit and the support table are positioned so that a clearance is secured between the scanning unit and the inspection object.
[0009]
The “test object” here indicates a substrate on which various electronic components are mainly mounted. The appearance inspection includes an inspection such as a detection of a displacement of a component.
[0010]
According to this apparatus, a predetermined appearance inspection is performed while the support table or the scanning unit moves only once on the upper surface of the object to be inspected. Therefore, for example, the operator manually places the substrate on the support table and performs the test. Inspection can be performed one after another while repeatedly storing / removing the unit. Therefore, unlike the case where the substrates on the production line are inspected one after another, an individual inspection flexibly corresponding to each substrate can be realized by a simple operation.
[0011]
The scanning unit may include an epi-illumination source that projects light from above and perpendicular to the inspection surface of the object to be inspected, and a side illumination source that emits light from an oblique direction to the inspection surface of the object to be inspected. In this case, it is also possible to alternately switch on the epi-illumination source and the side illumination source and turn on the light, thereby acquiring two types of visual inspection images in each illumination state. Thereby, while the sensor of the scanning unit scans the upper surface of the inspection object at a constant speed, it is possible to acquire both the image by the incident light and the image by the side light at a time. Once the scanning of the inspection surface starts, the inspection surface does not stop, so that there is no danger that the object to be inspected vibrates, and almost no error due to the vibration occurs. In addition, in order to acquire two types of images, it is not necessary to perform two scans or to reciprocate the support base, and it is possible to simultaneously acquire two types of images in one scan. , The displacement between the two types of images can be minimized. Furthermore, since the inspection can be performed by only one scan, the inspection speed can be reduced.
[0012]
The support may include a detachable jig for accommodating the inspection object, and the jig may be provided with a fitting portion adapted to the inspection object. Since the scanning unit scans the upper surface of the test object at a constant speed and does not generate vibration when acquiring an image, there may be play between the fitting portion of the jig and the test object. Further, the fitting portion may be provided with a fixing tool for temporarily fixing the test object.
[0013]
It is to be noted that any combination of the above-described components, and any replacement of the components and expressions of the present invention between methods, apparatuses, systems, and the like are also effective as embodiments of the present invention.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The visual inspection apparatus according to the present embodiment includes a desk-top test unit that acquires an image by scanning the substrate while the support table on which the substrate is mounted slides on the rail. This apparatus is mainly used for inspecting each board set manually, unlike a system in which boards are inspected one after another by being installed on a production line. In addition, since two types of images are obtained during one movement of the substrate, the inspection time can be reduced.
[0015]
In this embodiment, by sequentially driving the support base with respect to the imaging line by the line sensor, images for each line are sequentially obtained, and the inspection is completed by one-dimensional movement of the inspection surface. Another type of visual inspection device is one that moves the inspection surface two-dimensionally, stops it, and repeats this to take spot images one after another. In that case, however, the mechanism system is generally complicated, and the inspection time is generally increased. Are often long. In that regard, it is more advantageous to use a one-dimensional sensor as in the present embodiment. The present applicant has previously proposed an appearance inspection apparatus using such a one-dimensional sensor in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-254500. This device provides an epi-illumination source in addition to the side illumination source that was common at the time, and switches between them according to the test items. The purpose is as follows.
[0016]
Now, let the
[0017]
FIGS. 3A and 3B show images obtained by a CCD sensor provided vertically above the
[0018]
FIG. 4 illustrates a state of the appearance inspection apparatus before inspection. The
[0019]
The support base 22 is slidably mounted on the rails 23a and 23b. The support 22 passes below the
[0020]
FIG. 5 exemplifies a state of the appearance inspection apparatus during an inspection. This figure shows a state in which the support base 22 is driven in a direction that fits inside the
[0021]
In the present embodiment, the sensor of the
[0022]
FIG. 6 shows the configuration of the visual inspection device. The
[0023]
The
[0024]
The
[0025]
First, the
[0026]
The
[0027]
FIG. 7 shows a
[0028]
Here, a margin is provided between the
[0029]
FIG. 8 shows a state in which the
[0030]
The present invention has been described based on the embodiments. This embodiment is an exemplification, and it is understood by those skilled in the art that various modifications can be made to the combination of each component and each processing process, and that such modifications are also within the scope of the present invention. . Hereinafter, modified examples will be described.
[0031]
In the present embodiment, the case where the
[0032]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, a board | substrate can be easily inspected by a more flexible method according to a manufacturing situation.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external view of a substrate that is an example of a device to be inspected.
FIGS. 2A and 2B are diagrams illustrating directions of side light in a side test, incident light in an epi-illumination test, and reflected light thereof, respectively.
FIGS. 3A and 3B are diagrams illustrating examples of images obtained in a side test and an epi-illumination test, respectively.
FIG. 4 is a diagram showing an appearance of the appearance inspection apparatus in a state before inspection.
FIG. 5 is a diagram showing an appearance of the appearance inspection apparatus in a state under inspection.
FIG. 6 is a functional block diagram showing a configuration of a visual inspection device according to the embodiment.
FIG. 7 is a view showing a removable jig for accommodating a substrate.
FIG. 8 is a view showing a state where a substrate fitted into the jig of FIG. 7 is temporarily fixed.
[Explanation of symbols]
1 board, 10 visual inspection device, 12 main unit, 14 test unit, 16 scanning unit, 20 stepping motor, 22 support base, 23 rail, 30 lighting unit, 34 line sensor, 100 jig, 102 fitting part.
Claims (4)
前記被検査体を走査する走査ユニットと、
前記被検査体を把持する支持台とを含み、
前記走査ユニットおよび前記支持台の相対運動によって前記走査ユニットのセンサが前記被検査体の上面を一定速度で一回走査し、
前記相対運動の始点は前記走査ユニットから離れた待機位置に設定され、
前記待機位置にて前記被検査体と前記走査ユニットとのクリアランスが確保されて前記被検査体の着脱が自在となるように前記走査ユニットおよび前記支持台の位置決めがなされていることを特徴とする外観検査装置。A device for inspecting the appearance of a test object having a three-dimensional shape,
A scanning unit for scanning the inspection object,
And a support for gripping the object to be inspected,
The sensor of the scanning unit scans the upper surface of the test object once at a constant speed by the relative movement of the scanning unit and the support table,
The starting point of the relative movement is set at a standby position away from the scanning unit,
The scanning unit and the support table are positioned so that a clearance between the inspection object and the scanning unit is secured at the standby position and the inspection object can be freely attached and detached. Appearance inspection device.
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