JP2005283885A - Substrate for liquid crystal display panel and its cutting method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示パネル用ガラスのように、スイッチング素子等を被覆して表面を平坦化する平坦化膜が成膜されるとともに、スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板及びその切断方法に関する。 The present invention provides a liquid crystal display panel in which a flattening film that covers a switching element or the like and flattenes the surface is formed like a glass for a liquid crystal display panel, and an electric wiring connected to the switching element is formed. The present invention relates to a substrate for cutting and its cutting method.
従来、液晶表示装置は、液晶層を介して液晶表示パネル用の基板と対向基板が対向して配され、これらにマトリクス状に配列された複数の画素電極とこれらの画素電極と対向して配設される共通電極である対向電極を備え、両電極間に表示媒体である液晶を介在させている。表示領域における表示にあたっては、画素電極に選択的に電位が書き込まれ、この画素電極と対向電極との間の電位差により、介在する液晶の光学的変調が行われ、表示パターンとして視認されることとなる。 Conventionally, in a liquid crystal display device, a substrate for a liquid crystal display panel and a counter substrate are arranged to face each other with a liquid crystal layer interposed therebetween, and a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix form and these pixel electrodes are arranged to face each other. A counter electrode as a common electrode is provided, and liquid crystal as a display medium is interposed between the two electrodes. When displaying in the display area, a potential is selectively written to the pixel electrode, and the liquid crystal optically modulated by the potential difference between the pixel electrode and the counter electrode is visually recognized as a display pattern. Become.
このような液晶表示装置の画素電極には、スイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜(層間絶縁膜)が成膜され、この平坦化膜の上に透明電極が形成される。このときの平坦化膜は、画素電極と対向電極間の電位を均一に保つための役割や、高開口率を実現する役割を有している。また、反射表示領域と透過表示領域を併せ持つ半透過型液晶表示装置では、外光を反射させるための凹凸を有する反射層上に、反射層の凹凸を平坦化するための平坦化膜が成膜され、その上に透明電極を積層した構成とされている。そして、マトリクス状に電気配線が配された液晶表示用基板では、基板の外側(額縁エリア)へ電気配線が引き出されるとともに、静電気不良の防止や電気的検査等の目的でショートリングへ接続されている。このショートリングは、液晶表示パネル用の基板の切り出し工程において切断される。
ところで、マトリクス状に電気配線が配された液晶表示パネル用の基板の製造方法においては、電気配線が形成された一対のマザーガラス基板(液晶表示パネル用の基板と対向基板)を互いに貼り合わせてパネル化した後に、所定のサイズ(一画面分あるいは数画面分)に切り出したり(「スクライブ」とか「分断」とか「割断」とも呼ばれる。)、電気配線が形成された一対の液晶表示パネル用の基板と対向基板を所定のサイズに切り出した後に互いに貼り合わせてパネル化したりする。なお、上記ショートリングを切断するときにも行われる。しかしながら、この切り出し工程において切り出すと、上記電気配線が水分等による腐食する問題を有していた。これを防止する対策としては、電気配線層の上層に保護層を形成することが挙げられるが、この保護層は切り出し方向の点は考慮されていないために、切断ラインに沿って切断する際に基板の割れ方向のばらつき、つまり切断中において切断ライン以外にひびが入るという問題を有していた。 By the way, in a method for manufacturing a substrate for a liquid crystal display panel in which electrical wiring is arranged in a matrix, a pair of mother glass substrates (a substrate for a liquid crystal display panel and a counter substrate) on which electrical wiring is formed are bonded together. After forming a panel, it is cut into a predetermined size (one screen or several screens) (also called “scribe”, “divided” or “cleavage”), or for a pair of liquid crystal display panels on which electrical wiring is formed. After the substrate and the counter substrate are cut out to a predetermined size, they are bonded together to form a panel. It is also performed when the short ring is cut. However, when the cutting is performed in this cutting process, the electric wiring has a problem of being corroded by moisture or the like. Measures to prevent this include forming a protective layer on top of the electrical wiring layer, but this protective layer does not take into account the direction of the cutting direction, so when cutting along the cutting line There has been a problem in that the crack direction of the substrate varies, that is, cracks occur other than the cutting line during cutting.
なお、液晶表示パネル用の基板の切断方法としては、上記特許文献1のように、液晶表示パネル用の基板に切断用のテープを貼ってから切断する方法があるが、これは基板の製造工程とは別のものであり、しかも特別にテープを準備しなければならない煩雑さを有する。
In addition, as a method for cutting a substrate for a liquid crystal display panel, there is a method of cutting after applying a cutting tape to a substrate for a liquid crystal display panel as in
そこで本発明の目的は、従来の電気配線の腐食の課題を防止しつつ、液晶表示パネル用の基板を所定サイズに切り出す切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる液晶表示パネル用の基板及びその切断方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel substrate capable of suppressing variations in cracking direction when cutting out a liquid crystal display panel substrate to a predetermined size while preventing the problems of conventional electrical wiring corrosion. And a cutting method thereof.
本発明の請求項1記載の液晶表示パネル用の基板は、スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板において、切り出し用の平坦化膜が液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上に所定の幅で形成されるとともに、前記電気配線の上において交差するように配されていることを特徴とする。また、本発明の請求項4記載の液晶表示パネル用の基板の切断方法は、スイッチング素子と接続される電気配線が形成された液晶表示パネル用の基板の切断方法において、切り出し用の平坦化膜が前記液晶表示パネル用の基板を切り出す切り出し用の切断ライン上にも所定の幅で形成され、切り出し用の平坦化膜が前記電気配線の上において交差するように配されて、切り出し用の平坦化膜を介して液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上を切断することを特徴とする。ここで、反射表示領域と透過表示領域を併せ持つ半透過型液晶表示装置では、外光を反射させるための凹凸を有する反射層上に、反射層の凹凸を平坦化するための平坦化膜が成膜されるが、このような平坦化膜であっても良く、その種類を問われない。しかし、切り出し用の平坦化膜としては、スイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜が、上記電気配線の形成過程に順序的に近い工程で行われることからは好ましい。
The substrate for a liquid crystal display panel according to
これらの発明によれば、切り出し用の平坦化膜が液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上にも所定の幅で形成されていることにより、液晶表示パネル用の基板の切り出し工程において、引き出されている電気配線を切断しても、切り出し用の平坦化膜が腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる。 According to these inventions, the flattening film for cutting out is formed with a predetermined width on the cutting line for cutting out the substrate for the liquid crystal display panel, so that in the step of cutting out the substrate for the liquid crystal display panel, Even if the drawn electrical wiring is cut, the cutting flattening film plays a role of preventing corrosion and can suppress variation in the cracking direction during cutting.
本発明の請求項3記載の液晶表示パネル用の基板は、前記請求項1記載の発明を前提として、切り出し用の平坦化膜は、ミシン目状に所定間隔をおいて成膜されていない箇所が設けられていることを特徴とする。 A substrate for a liquid crystal display panel according to a third aspect of the present invention is based on the premise of the first aspect, wherein the flattening film for cutting is not formed at a predetermined interval in a perforation shape. Is provided.
この発明によれば、切り出し用の平坦化膜がミシン目状に所定間隔で成膜されていない箇所が設けられていることにより、予め切断するときの切り込みが形成されていることになり、切断ラインに沿って切断し易くなり、切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる。 According to the present invention, the cut-out flattening film is formed in a perforated pattern at predetermined intervals, so that a cut is formed when cutting in advance. It becomes easy to cut along the line, and variation in the cracking direction can be suppressed during cutting.
本発明の請求項5記載の液晶表示パネル用の基板の切断方法は、前記請求項4記載の発明を前提として、前記切り出し用の平坦化膜は、スイッチング素子を被覆して表面を平坦化する平坦化膜を成膜する際に成膜されることを特徴とする。
In the substrate cutting method for a liquid crystal display panel according to
この発明によれば、切り出し用の平坦化膜は、スイッチング素子等を被覆して表面を平坦化する平坦化膜の形成過程で一度に成膜される。 According to the present invention, the flattening film for cutting is formed at a time in the process of forming the flattening film that covers the switching elements and the like to flatten the surface.
本発明の液晶表示パネル用の基板及びその切断方法によれば、切り出し用の平坦化膜が液晶表示パネル用の基板の切り出し用の切断ライン上にも所定の幅で形成されていることにより、液晶表示パネル用の基板の切り出し工程において、引き出されている電気配線を切断しても、切り出し用の平坦化膜が腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に割れ方向のばらつきを抑えることができる。また、切り出し用の平坦化膜をミシン目状に所定間隔をおいてパターンを形成することで、切断の際に切断ラインに沿って切断しやすくなり、切断不良を低減することが可能になる。 According to the substrate for a liquid crystal display panel and the cutting method thereof of the present invention, the flattening film for cutting is also formed with a predetermined width on the cutting line for cutting the substrate for the liquid crystal display panel. In the process of cutting out a substrate for a liquid crystal display panel, even if the electrical wiring drawn out is cut, the flattening film for cutting plays a role in preventing corrosion and also suppresses variation in crack direction during cutting. it can. In addition, by forming a pattern on the flattening film for cutting at a predetermined interval in the form of perforations, it becomes easy to cut along the cutting line at the time of cutting, and it becomes possible to reduce cutting defects.
本発明の請求項5記載の液晶表示パネル用の基板の切断方法によれば、切り出し用の平坦化膜は、スイッチング素子等を被覆して表面を平坦化する平坦化膜の形成過程で一度に成膜されることから、従来のように製造後に切断用のために特別に切断用のテープを貼るような必要がなくなる。
According to the method for cutting a substrate for a liquid crystal display panel according to
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に述べる。 Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本実施の形態は、アクティブマトリクス型の液晶ディスプレイ基板、つまり液晶表示パネル用の基板に本発明を適用したもので、液晶表示パネル用の基板に電気配線パターンが形成されたTFT(Thin Film Transistor)である。この液晶表示装置は、液晶層を挟んで液晶表示パネル用のアレイ基板と対向基板とが対向配置された構成をとる。 In this embodiment, the present invention is applied to an active matrix type liquid crystal display substrate, that is, a substrate for a liquid crystal display panel, and a TFT (Thin Film Transistor) in which an electric wiring pattern is formed on the substrate for a liquid crystal display panel It is. This liquid crystal display device has a configuration in which an array substrate for a liquid crystal display panel and a counter substrate are disposed to face each other with a liquid crystal layer interposed therebetween.
図1及び図2に示すように、液晶表示パネル用のアレイ基板1には、TFTに信号を供給するためのゲート線とデータ線とが互いに直交するように複数設けられるとともに、これらゲート線とデータ線との交差部に対応して設けられるTFTによって制御される複数の画素電極が、マトリクス状に配列されている。液晶表示パネル用のアレイ基板1は、ガラス基板等の対向基板Cと対向する側の面に、このスイッチング素子2に起因する段差を無くすように表面が平坦化された透明性樹脂よりなる平坦化膜(層間絶縁膜)4aが成膜され、平坦化膜4a上に透明電極が形成される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
一方、上記液晶表示パネル用のアレイ基板1と対向する対向基板(カラーフィルター基板)Cには、カラーフィルタと、ITO等の透明導電材料からなる対向電極と、配向膜(図示せず)とをこの順に配されている。なお、液晶表示パネル用のアレイ基板1の液晶層と反対側の主面には、位相差板及び偏光板が配され、一方、対向基板(カラーフィルター基板)Cにも位相差板及び偏光板が配されている。
On the other hand, the counter substrate (color filter substrate) C facing the
上記液晶表示パネル用のアレイ基板1において、TFT基板1の面積はカラーフィルタ基板Cの面積より大きく、液晶表示パネル用のアレイ基板1とカラーフィルタ基板Cとを貼り合わせたとき、液晶表示パネル用のアレイ基板1の一部がはみ出す領域が設けられる(図2中符号7)。上記TFT基板2のはみ出した領域7に形成された電気配線5は、製造過程における静電破壊を防止するためショートリング6へと接続されている。上記ショートリング6は、液晶基板1の実装前に、TFT基板1を切断ライン3cで切断し、ショートリング6を含む切断除去7を分離することにより切断される。切断ライン3b,3cは、ダイヤモンド針等で切断されるラインである。
In the
この液晶表示パネル用の基板1を製造するためには、ガラス基板等の絶縁性基板にTFT等のスイッチング素子2を形成し、このスイッチング素子2に起因する段差を無くすように表面が平坦化された透明性樹脂よりなる平坦化膜(層間絶縁膜)4aが成膜された後、この平坦化膜4aの上に透明電極が形成される(図1)。上記平坦化膜(層間絶縁膜)4aの成膜に際しては、液晶表示パネル用の基板1の切り出し工程における切断ライン3b上であって上記切断ライン3bとなる位置にも上記平坦化膜(切り出し用の平坦化膜)4bを形成する(図2)。また、切断ラインがショートリング6を切断する位置であるときは、電気配線5は上記一部はみだした領域7にも引き出されるが、この引き出した電気配線5の上方であって上記切断ライン3cとなる位置にも上記平坦化膜(切り出し用の平坦化膜)4cを形成する(図3)。このように、電気配線5のすべてを覆うように切り出し用の平坦化膜4cを形成するのではなく、液晶表示パネル用の基板1の切り出し工程における切断ライン3bや3c上にのみ所定の幅で形成する。そして、前記切り出し用の平坦化膜4b,4cは、ミシン目状に所定間隔(パターニングされない領域)をおいて平坦化膜4b,4cが形成されない領域8も成膜したが、所定間隔をおかずに切断ライン3b,3c上の全域に成膜することも可能である。いずれの場合も、切り出し用の平坦化膜4b,4cは、フォトリソグラフィによってパターン形成した。この結果、電気配線5は、XYマトリクス状に配列されているため、切り出し用の平坦化膜4b,4cとは交差するようになるとともに、切り出し用の平坦化膜4b,4cの下方に配されることとなる。なお、上記平坦化膜4b,4cが形成されない領域8も成膜するミシン目状にするときには、電気配線5の上には少なくとも平坦化膜4b,4cが形成されるようにする。
In order to manufacture the
そして、液晶表示パネル用の基板1の切り出し工程において、所定のサイズ(一画面分あるいは数画面分)に切り出す。切り出し工程においては、電気配線5が形成された一対のマザーガラス基板(液晶表示パネル用の基板1と対向基板C)を互いに貼り合わせてパネル化した後に、所定のサイズ(一画面分あるいは数画面分)に切り出したり、電気配線5が形成された液晶表示パネル用の基板1と対向基板Cを所定のサイズに切り出した後に互いに貼り合わせてパネル化したりする。また、上記ショートリング6を切断するときにも行われる。
Then, in the step of cutting out the
まず、上記ショートリング6を切断するときは、図2に示すように、切断ライン3cに沿って切り出すが、切り出す位置における電気配線5を切断しても、切り出し用の平坦化膜4cがその上に被覆されているので、腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に切断ライン3cから外れて割れる割れ方向のばらつきを抑えることができる。このときの切断した状態が図4(b)である。次に、電気配線5が形成された一対のマザーガラス基板1,Cを所定のサイズに切り出すときは、図3に示すように、切断ライン3bに沿って切り出すが、切り出す位置における電気配線5を切断しても、切り出し用の平坦化膜4bがその上に被覆されているので、腐食防止の役割を果たすとともに、切り出しの際に切断ライン3cの割れ方向のばらつきを抑えることができる。このときの切断した状態が図4(a)である。
First, when the
ここで、切り出し用の平坦化膜4b,4cをミシン目状に所定間隔をおいて成膜しない箇所8を設けた場合には、切り出し用の平坦化膜4b,4cがフォトリソグラフィによってパターニングされた領域とパターニングされない領域とが交互に設けられ、パターニングされない領域8が予め切断ライン3b,3cにおける切り込みとなるために、その方向に切り出されることなり、切断する際に基板1の割れ方向のばらつき、つまり切断中において切断ライン3b,3c以外にひびが入る事態を防止する。したがって、切断の際に切断ライン3b,3cに沿って切断し易くなり、切断不良を低減することができる。一方、所定間隔をおかずに切断ライン3b,3c上の全域に成膜する場合は、電気配線5のすべてを保護するように簡易に成膜される利点がある。
Here, in the case where the portions 8 where the flattening
また、反射表示領域と透過表示領域を併せ持つ半透過型液晶表示装置においては、外光を反射させるための凹凸を有する反射層上に、反射層の凹凸を平坦化するための平坦化膜及び透明電極をこの順に積層した構成とされている。本実施の形態の電気配線5上に形成される切り出し用の平坦化膜4b,4cは、反射層の凹凸を平坦化するための上記平坦化膜を成膜するときに、電気配線5上に成膜することも可能である。
In a transflective liquid crystal display device having both a reflective display area and a transmissive display area, a flattening film and a transparent film for flattening the unevenness of the reflective layer on the reflective layer having an unevenness for reflecting external light It is set as the structure which laminated | stacked the electrode in this order. The flattening
以上のように本発明は、平坦化膜を形成する液晶表示パネル用の基板であれば、その平坦化膜の種類を問わずに、その平坦化膜の製造工程を利用して、切断ライン3b,3c上に形成することができる。
As described above, according to the present invention, if the substrate for a liquid crystal display panel forms a flattening film, the
1 液晶表示パネル用の基板
2 スイッチング素子
3b,3c 液晶表示パネル用の基板の切断ライン
4a 表示領域に配された平坦化膜(層間絶縁膜)
4b,4c 切り出し用の平坦化膜
5 電気配線
6 ショートリング
8 切り出し用の平坦化膜のミシン目状の成膜されていない箇所
C 対向基板(カラーフィルター基板)
DESCRIPTION OF
4b, 4c
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