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JP2007007862A - Drawing processing apparatus and method - Google Patents

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JP2007007862A
JP2007007862A JP2005182447A JP2005182447A JP2007007862A JP 2007007862 A JP2007007862 A JP 2007007862A JP 2005182447 A JP2005182447 A JP 2005182447A JP 2005182447 A JP2005182447 A JP 2005182447A JP 2007007862 A JP2007007862 A JP 2007007862A
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drawing data
unit
image processing
data
processing unit
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Japanese (ja)
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Naoto Kaneshiro
金城  直人
Mitsuru Mushiyano
満 武者野
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fujifilm Holdings Corp
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drawing processing apparatus and a method wherein a desired two-dimensional image can be speedily drawn by efficiently transmitting and receiving drawing data. <P>SOLUTION: A CPU 74 constituting an image processing part 70 transmits the drawing data stored in a memory 84 to an exposure part 72 via a bus 88 and an I/F 86, and draws to record the two-dimensional image onto a substrate by driving a DMD 36. On the other hand, while loading of the substrate to an exposure recorder 10, processing of alignment and measurement to the substrate, and unloading of the substrate from the exposure recorder 10 are carried out on the basis of control of a system management server 11, an RIP 8 makes the next drawing data stored into an HD 82 of the image processing part 70 via an I/F 76 and the bus 88. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、描画データに基づき、記録媒体に対して二次元画像を描画する描画処理装置及び方法に関する。   The present invention relates to a drawing processing apparatus and method for drawing a two-dimensional image on a recording medium based on drawing data.

従来から、描画データに基づき、所望の二次元画像を描画面上に形成する描画処理装置が種々知られている。   Conventionally, various drawing processing apparatuses that form a desired two-dimensional image on a drawing surface based on drawing data are known.

このような描画処理装置として、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス(DMD)等の空間光変調素子を利用し、描画データに応じて光ビームを変調して露光を行う装置が提案されている(特許文献1、2参照)。ここで、DMDは、シリコン等の半導体基板上のメモリセル(SRAMアレイ)に微小なマイクロミラーを二次元状に多数配置して構成したものであり、メモリセルに蓄積される電荷による静電気力を描画データに従って制御することにより、マイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させ、この反射面の角度変化により所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができる。   As such a drawing processing apparatus, for example, an apparatus that uses a spatial light modulation element such as a digital micromirror device (DMD) and modulates a light beam in accordance with drawing data to perform exposure has been proposed ( (See Patent Documents 1 and 2). Here, the DMD is configured by arranging a number of micromirrors two-dimensionally in a memory cell (SRAM array) on a semiconductor substrate such as silicon, and the electrostatic force due to the charge accumulated in the memory cell is reduced. By controlling according to the drawing data, the angle of the reflecting surface can be changed by tilting the micromirror, and an image can be formed by forming a drawing point at a desired position by changing the angle of the reflecting surface.

特開2003−50469号公報JP 2003-50469 A 特開2003−57834号公報JP 2003-57834 A

このような描画処理装置では、描画データをラスタデータに変換して画像処理部に送信した後、画像処理部においてラスタデータに所望の画像処理を施し、次いで、そのラスタデータを多数のマイクロミラーからなる空間光変調素子を備えた描画部に送信して描画処理が行われる。   In such a drawing processing device, after drawing data is converted into raster data and transmitted to the image processing unit, the image processing unit performs desired image processing on the raster data, and then the raster data is received from a number of micromirrors. Drawing processing is performed by transmitting to a drawing unit including the spatial light modulation element.

この場合、描画面積が大きいか、あるいは、描画密度が高いと、描画データの量も多くなるため、画像処理部に対してラスタデータを送信する処理に長時間を要してしまう。また、画像処理部は、ラスタデータを受信している間、受信処理に専念しており、画像処理されたラスタデータを描画部に送信することができないため、描画部が描画処理を行うことができず、描画効率も低下してしまう。   In this case, if the drawing area is large or the drawing density is high, the amount of drawing data also increases, so that it takes a long time to transmit raster data to the image processing unit. In addition, the image processing unit is dedicated to reception processing while receiving raster data, and the image processing raster data cannot be transmitted to the drawing unit. This is not possible and the drawing efficiency is also reduced.

本発明は、前記の課題を解決するためになされたもので、描画データを効率的に送受信して所望の二次元画像を迅速に描画することができる描画処理装置及び方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a drawing processing apparatus and method capable of efficiently sending and receiving drawing data and quickly drawing a desired two-dimensional image. And

前記の課題を解決するため、本発明は、描画データに基づき、記録媒体に対して二次元画像を描画する描画処理装置において、
前記描画データを供給する描画データ供給部と、
前記描画データ供給部から送信された前記描画データを記憶するメモリを有し、前記描画データに対して所定の画像処理を行う画像処理部と、
前記画像処理部から送信された画像処理済みの前記描画データに基づいて、前記記録媒体に前記二次元画像を描画する描画部と、
前記描画データ供給部から前記画像処理部を介して前記描画部に送信される前記描画データの送信処理を制御する送信制御部と、
を備え、前記送信制御部は、前記描画データ供給部から前記画像処理部の前記メモリに対する前記描画データの送信処理を、前記画像処理部から前記描画部に対して画像処理済みの前記描画データを送信する期間以外の期間に行うことを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention provides a drawing processing apparatus for drawing a two-dimensional image on a recording medium based on drawing data.
A drawing data supply unit for supplying the drawing data;
An image processing unit having a memory for storing the drawing data transmitted from the drawing data supply unit, and performing predetermined image processing on the drawing data;
A drawing unit that draws the two-dimensional image on the recording medium based on the image-processed drawing data transmitted from the image processing unit;
A transmission control unit that controls transmission processing of the drawing data transmitted from the drawing data supply unit to the drawing unit via the image processing unit;
The transmission control unit performs transmission processing of the drawing data from the drawing data supply unit to the memory of the image processing unit, and outputs the drawing data that has undergone image processing from the image processing unit to the drawing unit. It is characterized in that it is performed during a period other than the transmission period.

また、本発明は、描画データに基づき、記録媒体に対して二次元画像を描画する描画処理方法において、
前記描画データを描画データ供給部から画像処理部に送信するステップと、
前記画像処理部に送信された前記描画データに対して所定の画像処理を行うステップと、
画像処理された前記描画データを前記画像処理部から描画部に送信するステップと、
前記描画部に送信された前記描画データに基づき、前記記録媒体に前記二次元画像を描画するステップと、
からなり、前記描画データ供給部から前記画像処理部に対する前記描画データの送信処理を、前記画像処理部から前記描画部に対して前記描画データを送信する期間以外の期間に行うことを特徴とする。
The present invention also provides a drawing processing method for drawing a two-dimensional image on a recording medium based on drawing data.
Transmitting the drawing data from the drawing data supply unit to the image processing unit;
Performing predetermined image processing on the drawing data transmitted to the image processing unit;
Transmitting the image-processed drawing data from the image processing unit to the drawing unit;
Drawing the two-dimensional image on the recording medium based on the drawing data transmitted to the drawing unit;
The drawing data transmission process from the drawing data supply unit to the image processing unit is performed during a period other than the period during which the drawing data is transmitted from the image processing unit to the drawing unit. .

本発明の描画処理装置及び方法では、画像処理部から描画部に描画データを送信していない期間に、描画データ供給部から画像処理部に描画データを送信することにより、描画データを効率的に送受信して所望の二次元画像を迅速に描画することができる。   In the drawing processing apparatus and method of the present invention, the drawing data is efficiently transmitted by transmitting the drawing data from the drawing data supply unit to the image processing unit during a period when the drawing data is not transmitted from the image processing unit to the drawing unit. A desired two-dimensional image can be quickly drawn by transmitting and receiving.

図1は、本発明の描画処理装置及び方法が適用される実施形態である露光記録システム4を示す。   FIG. 1 shows an exposure recording system 4 which is an embodiment to which the drawing processing apparatus and method of the present invention are applied.

露光記録システム4は、描画データを作成し、ベクトルデータとして出力するCAD装置6と、CAD装置6から送信されたベクトルデータをラスタイメージデータであるビットマップデータに変換した後、このビットマップデータをランレングス符号化処理し、圧縮されたランレングスデータとして出力するラスタイメージプロセッサ(RIP)8(描画データ供給部)と、RIP8から送信されたランレングスデータに対してアラインメント処理を含む画像処理を施した後、ランレングスデータをビットマップデータに展開し、このビットマップデータに基づき、記録媒体に二次元画像を露光記録する露光記録装置10と、CAD装置6、RIP8及び露光記録装置10の管理制御を行うシステム管理サーバ11(送信制御部)とから基本的に構成される。   The exposure recording system 4 creates drawing data and outputs it as vector data, and after converting the vector data transmitted from the CAD device 6 into bitmap data which is raster image data, the bitmap data is converted into the bitmap data. A raster image processor (RIP) 8 (drawing data supply unit) that performs run-length encoding processing and outputs it as compressed run-length data, and performs image processing including alignment processing on the run-length data transmitted from RIP 8. After that, the run-length data is expanded into bitmap data, and the exposure recording apparatus 10 that exposes and records a two-dimensional image on the recording medium based on the bitmap data, and the management control of the CAD apparatus 6, the RIP 8, and the exposure recording apparatus 10 From the system management server 11 (transmission control unit) Specifically configured.

ここで、露光記録装置10は、ビットマップデータに基づいて積層プリント配線基板等の露光処理を行う装置であり、図2に示すように構成される。   Here, the exposure recording apparatus 10 is an apparatus that performs exposure processing of a laminated printed wiring board or the like based on bitmap data, and is configured as shown in FIG.

すなわち、露光記録装置10は、複数の脚部12によって支持された変形の極めて小さい定盤14を備え、この定盤14上には、2本のガイドレール16を介して露光ステージ18(描画ステージ)が矢印Y方向に往復移動可能に設置される。露光ステージ18には、感光材料が塗布された矩形状の基板Fが吸着保持される。   That is, the exposure recording apparatus 10 includes a surface plate 14 that is supported by a plurality of legs 12 and has a very small deformation. On the surface plate 14, an exposure stage 18 (a drawing stage) is provided via two guide rails 16. ) Is installed so as to be able to reciprocate in the arrow Y direction. A rectangular substrate F coated with a photosensitive material is sucked and held on the exposure stage 18.

定盤14の中央部には、ガイドレール16を跨ぐようにして門型のコラム20が設置される。このコラム20の一方の側部には、基板Fの所定位置に形成されたアラインメントマーク60a〜60dを含む画像を撮像するCCDカメラ22a、22bが固定され、コラム20の他方の側部には、基板Fに対して画像を露光記録する複数の露光ヘッド24a〜24jが位置決め保持されたスキャナ26が固定される。CCDカメラ22a、22bには、ロッドレンズ62a、62bを介してストロボ64a、64bが装着される。ストロボ64a、64bは、基板Fを感光することのない赤外光からなる照明光をCCDカメラ22a、22bの撮像域に照射する。   A gate-shaped column 20 is installed at the center of the surface plate 14 so as to straddle the guide rail 16. Fixed to one side of the column 20 are CCD cameras 22a and 22b that capture images including alignment marks 60a to 60d formed at predetermined positions on the substrate F, and on the other side of the column 20, A scanner 26 in which a plurality of exposure heads 24a to 24j for exposing and recording images on the substrate F is positioned and held is fixed. Strobes 64a and 64b are attached to the CCD cameras 22a and 22b via rod lenses 62a and 62b. The strobes 64a and 64b irradiate the imaging areas of the CCD cameras 22a and 22b with illumination light composed of infrared light that does not expose the substrate F.

アラインメントマーク60a〜60dは、露光ステージ18に対する基板Fの装着位置のずれ、基板Fの変形等を検出するためのもので、画像が描画される基板Fと明確に区別することのできるスルーホール、あるいは、基板Fに露光記録されたマークからなり、露光ステージ18によって搬送される基板Fの隅角部近傍に形成されている。なお、アラインメントマーク60a〜60dは、露光記録される画像に影響を与えることのない部位であれば、基板Fの隅角部近傍以外の部位に形成されていてもよい。また、基板Fの変形等に対する補正精度に応じた所望の数からなるマークを形成することもできる。   The alignment marks 60a to 60d are for detecting a displacement of the mounting position of the substrate F with respect to the exposure stage 18, deformation of the substrate F, and the like, and are through holes that can be clearly distinguished from the substrate F on which an image is drawn. Alternatively, it is composed of marks recorded by exposure on the substrate F, and is formed in the vicinity of the corner of the substrate F conveyed by the exposure stage 18. Note that the alignment marks 60a to 60d may be formed in a portion other than the vicinity of the corner portion of the substrate F as long as it does not affect the image to be exposed and recorded. Further, it is possible to form a desired number of marks corresponding to the correction accuracy for deformation or the like of the substrate F.

露光ヘッド24a〜24jは、基板Fの移動方向(矢印Y方向)と直交する方向に2列で千鳥状に配列される。図3は、各露光ヘッド24a〜24jの構成を示す。露光ヘッド24a〜24jには、例えば、光源ユニット28を構成する複数の半導体レーザから出力されたレーザビームLが合波され光ファイバ30を介して導入される。レーザビームLが導入された光ファイバ30の出射端には、ロッドレンズ32、反射ミラー34及びデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)36が順に配列される。   The exposure heads 24a to 24j are arranged in a staggered manner in two rows in a direction orthogonal to the moving direction (arrow Y direction) of the substrate F. FIG. 3 shows the configuration of each of the exposure heads 24a to 24j. For example, laser beams L output from a plurality of semiconductor lasers constituting the light source unit 28 are combined and introduced into the exposure heads 24 a to 24 j via the optical fiber 30. A rod lens 32, a reflection mirror 34, and a digital micromirror device (DMD) 36 are arranged in order at the exit end of the optical fiber 30 into which the laser beam L is introduced.

ここで、DMD36は、図4に示すように、SRAMセル(メモリセル)38の上に格子状に配列された多数のマイクロミラー40(描画素子)を揺動可能な状態で配置したものであり、各マイクロミラー40の表面には、アルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。SRAMセル38にDMDコントローラ42から描画データに従ったデジタル信号が書き込まれると、その信号に応じて各マイクロミラー40が所定方向に傾斜し、その傾斜状態に従ってレーザビームLのオンオフ状態が実現される。   Here, as shown in FIG. 4, the DMD 36 has a large number of micromirrors 40 (drawing elements) arranged in a lattice on an SRAM cell (memory cell) 38 in a swingable state. A material having high reflectivity such as aluminum is deposited on the surface of each micromirror 40. When a digital signal according to the drawing data is written from the DMD controller 42 to the SRAM cell 38, each micromirror 40 is tilted in a predetermined direction according to the signal, and the on / off state of the laser beam L is realized according to the tilted state. .

オンオフ状態が制御されたDMD36によって反射されたレーザビームLの射出方向には、拡大光学系である第1結像光学レンズ44、46、DMD36の各マイクロミラー40に対応して多数のレンズを配設したマイクロレンズアレー48、ズーム光学系である第2結像光学レンズ50、52が順に配列される。なお、マイクロレンズアレー48の前後には、迷光を除去するとともに、レーザビームLを所定の径に調整するためのマイクロアパーチャアレー54、56が配設される。   In the emission direction of the laser beam L reflected by the DMD 36 whose on / off state is controlled, a large number of lenses are arranged corresponding to the first imaging optical lenses 44 and 46 that are the magnifying optical system and the micromirrors 40 of the DMD 36. The provided microlens array 48 and second imaging optical lenses 50 and 52 which are zoom optical systems are sequentially arranged. Before and after the micro lens array 48, micro aperture arrays 54 and 56 for removing stray light and adjusting the laser beam L to a predetermined diameter are disposed.

各露光ヘッド24a〜24jに組み込まれるDMD36は、図5及び図6に示すように、高い解像度を実現すべく、基板Fの移動方向(矢印Y方向)に対して所定角度傾斜した状態に設定される。すなわち、DMD36を基板Fの移動方向に対して傾斜させることにより、DMD36を構成するマイクロミラー40の矢印Y方向と直交する方向(矢印X方向)に対する間隔を狭くし、これによって、矢印X方向に記録される画像の解像度を高くすることができる。矢印Y方向の解像度は、基板Fの移動速度によって調整することができる。なお、各露光ヘッド24a〜24jにより一度に露光される範囲である露光エリア58a〜58jは、露光ヘッド24a〜24j間の継ぎ目が生じることのないよう、矢印X方向に重畳するように設定される。   As shown in FIGS. 5 and 6, the DMD 36 incorporated in each of the exposure heads 24a to 24j is set in a state inclined at a predetermined angle with respect to the moving direction of the substrate F (arrow Y direction) in order to achieve high resolution. The That is, by inclining the DMD 36 with respect to the moving direction of the substrate F, the interval between the micromirrors 40 constituting the DMD 36 in the direction perpendicular to the arrow Y direction (arrow X direction) is narrowed. The resolution of the recorded image can be increased. The resolution in the arrow Y direction can be adjusted by the moving speed of the substrate F. Note that exposure areas 58a to 58j, which are ranges exposed at a time by each of the exposure heads 24a to 24j, are set so as to overlap in the direction of the arrow X so that there is no joint between the exposure heads 24a to 24j. .

露光記録装置10の制御回路は、CCDカメラ22a、22bを用いて取得したアラインメントマーク60a〜60dの位置データに基づき、ランレングスデータに対して所望の画像処理を行う画像処理部70と、画像処理されたランレングスデータを解凍してビットマップデータに展開し、DMD36を駆動して基板Fに二次元画像を露光記録する露光部72(描画部)とを備える。   The control circuit of the exposure recording apparatus 10 includes an image processing unit 70 that performs desired image processing on the run length data based on the position data of the alignment marks 60a to 60d acquired using the CCD cameras 22a and 22b, and the image processing. The run length data is decompressed and expanded into bitmap data, and an exposure unit 72 (drawing unit) that drives the DMD 36 to expose and record a two-dimensional image on the substrate F is provided.

画像処理部70は、画像処理を行うCPU74を有する。CPU74には、RIP8から送信された描画データであるランレングスデータを受信するインタフェース(I/F)76と、CCDカメラ22a、22bによって撮像したアラインメントマーク60a〜60dを含む画像データを受信するインタフェース(I/F)78と、受信したランレングスデータをハードディスクドライブ(HDD)80を介して記憶するハードディスク(HD)82と、ランレングスデータ及びアラインメント情報をHD82から読み出して記憶するとともに、CPU74によって画像処理されたランレングスデータを記憶するメモリ84と、画像処理されたランレングスデータを露光部72に送信するインタフェース(I/F)86とがバス88を介して接続される。   The image processing unit 70 includes a CPU 74 that performs image processing. The CPU 74 has an interface (I / F) 76 that receives run-length data that is drawing data transmitted from the RIP 8, and an interface that receives image data including alignment marks 60a to 60d imaged by the CCD cameras 22a and 22b. I / F) 78, a hard disk (HD) 82 for storing the received run-length data via a hard disk drive (HDD) 80, and reading and storing the run-length data and alignment information from the HD 82 and image processing by the CPU 74 A memory 84 for storing the run length data and an interface (I / F) 86 for transmitting the image processed run length data to the exposure unit 72 are connected via a bus 88.

なお、HD82は、基板Fに記録される現在の二次元画像に係る第1ランレングスデータ(第1描画データ)と、第1ランレングスデータに続いて基板Fに記録される次の二次元画像に係る第2ランレングスデータ(第2描画データ)とを記憶するのに必要な容量を有しているものとする。   The HD 82 is the first run-length data (first drawing data) relating to the current two-dimensional image recorded on the substrate F, and the next two-dimensional image recorded on the substrate F following the first run-length data. It is assumed that it has a capacity necessary for storing the second run-length data (second drawing data).

露光部72は、画像処理部70のI/F86から送信されたランレングスデータを一旦記憶するバッファ90と、バッファ90に記憶されたランレングスデータを解凍してビットマップデータに展開した後、DMD36を構成する複数のマイクロミラー40の配列に従ったフレームデータに変換する解凍変換処理部92と、フレームデータを一時記憶するバッファ94と、バッファ94に記憶されたフレームデータに基づき、DMD36を構成するマイクロミラー40を制御し、基板Fに二次元画像を露光記録するDMDコントローラ42とを備える。   The exposure unit 72 temporarily stores the run-length data transmitted from the I / F 86 of the image processing unit 70, decompresses the run-length data stored in the buffer 90, and expands the run-length data into bitmap data. The DMD 36 is configured based on the decompression conversion processing unit 92 that converts the frame data into the frame data according to the arrangement of the plurality of micromirrors 40 that constitutes the frame, the buffer 94 that temporarily stores the frame data, and the frame data stored in the buffer 94 A DMD controller 42 for controlling the micromirror 40 and exposing and recording a two-dimensional image on the substrate F;

本実施形態の露光記録システム4は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作及び作用効果について、図7及び図8に示すフローチャートに基づいて説明する。なお、図7は、CAD装置6、RIP8及び画像処理部70間での処理に係るフローチャートであり、図8は、画像処理部70及び露光部72間での処理に係るフローチャートである。   The exposure recording system 4 of the present embodiment is basically configured as described above. Next, its operation and effect will be described based on the flowcharts shown in FIGS. 7 is a flowchart relating to processing between the CAD device 6, the RIP 8, and the image processing unit 70, and FIG. 8 is a flowchart relating to processing between the image processing unit 70 and the exposure unit 72.

先ず、CAD装置6を用いて、基板Fに露光記録する二次元画像の全描画データを作成する(ステップS1)。なお、露光記録システム4では、複数の基板Fに対して同一の描画データを用いて二次元画像であるプリント配線パターンを記録するとともに、異なる描画データを用いて各基板Fにプリント配線パターンを積層記録する処理が行われるものとする。従って、全描画データとは、異なる複数のプリント配線パターンを基板Fに記録するための全ての描画データである。なお、全描画データには、異なる基板Fに描画すべき描画データを含めることもできる。   First, using the CAD device 6, all drawing data of a two-dimensional image to be exposed and recorded on the substrate F is created (step S1). In the exposure recording system 4, a printed wiring pattern that is a two-dimensional image is recorded on a plurality of substrates F using the same drawing data, and the printed wiring patterns are stacked on each substrate F using different drawing data. It is assumed that a recording process is performed. Accordingly, the total drawing data is all drawing data for recording a plurality of different printed wiring patterns on the substrate F. Note that all the drawing data may include drawing data to be drawn on different substrates F.

CAD装置6で作成された全描画データは、ベクトルデータ形式でRIP8に送信される。RIP8は、ベクトルデータをラスタイメージデータ形式の描画データに変換する(ステップS2)。次いで、RIP8は、ラスタイメージデータをランレングス符号化処理し、圧縮されたランレングスデータ形式の描画データに変換する(ステップS3)。この場合、ランレングスデータは、例えば、描画データを構成する0の画素が二次元画像のライン方向に連続する数と、描画データを構成する1の画素がライン方向に連続する数とを用いて表すことができる。   All drawing data created by the CAD device 6 is transmitted to the RIP 8 in the vector data format. The RIP 8 converts the vector data into raster image data format drawing data (step S2). Next, the RIP 8 performs a run-length encoding process on the raster image data and converts it into drawing data in a compressed run-length data format (step S3). In this case, the run-length data uses, for example, the number of 0 pixels constituting the drawing data that are continuous in the line direction of the two-dimensional image and the number of 1 pixels that make up the drawing data that are continuous in the line direction. Can be represented.

RIP8で生成されたランレングスデータ形式の描画データR(N)は、当該描画データR(N)が最初のプリント配線パターンの描画データR(N)である場合、N=1とし(ステップS4)、画像処理部70及び露光部72間でデータ送信中でなければ、画像処理部70に送信され、画像処理部70及び露光部72間でデータ送信中であれば、画像処理部70への送信を待機状態とする(ステップS5、S6)。この場合、RIP8、画像処理部70及び露光部72間でデータの送受信は、システム管理サーバ11によって管理制御される。   The drawing data R (N) in the run length data format generated by the RIP 8 is set to N = 1 when the drawing data R (N) is the drawing data R (N) of the first printed wiring pattern (step S4). If the data is not being transmitted between the image processing unit 70 and the exposure unit 72, the data is transmitted to the image processing unit 70. If the data is being transmitted between the image processing unit 70 and the exposure unit 72, the data is transmitted to the image processing unit 70. Is set to a standby state (steps S5 and S6). In this case, transmission / reception of data among the RIP 8, the image processing unit 70, and the exposure unit 72 is managed and controlled by the system management server 11.

RIP8から露光記録装置10の画像処理部70に送信された描画データR(1)は、CPU74の制御に基づき、I/F76及びバス88を介してHDD80によりHD82に記憶される(ステップS7)。描画データR(1)が大量のデータからなる場合、描画データR(1)を露光記録システム4を構成するハードウエアにより決まる所定のブロックデータに分割し、各ブロックデータを単位としてステップS5〜S8の処理を繰り返す。   The drawing data R (1) transmitted from the RIP 8 to the image processing unit 70 of the exposure recording apparatus 10 is stored in the HD 82 by the HDD 80 via the I / F 76 and the bus 88 based on the control of the CPU 74 (step S7). When the drawing data R (1) is composed of a large amount of data, the drawing data R (1) is divided into predetermined block data determined by the hardware constituting the exposure recording system 4, and steps S5 to S8 are performed for each block data. Repeat the process.

描画データR(1)の画像処理部70に対する全ての送信処理が終了し(ステップS8)、次の描画データR(N)がある場合(ステップS9)、N=N+1とし(ステップS10)、ステップS5〜S9の処理を繰り返す。なお、HD82には、描画データR(N)と、描画データR(N)に次いで基板Fに記録される描画データR(N+1)とが記憶される。   When all the transmission processing of the drawing data R (1) to the image processing unit 70 is completed (step S8) and there is the next drawing data R (N) (step S9), N = N + 1 (step S10), step The processes of S5 to S9 are repeated. The HD 82 stores drawing data R (N) and drawing data R (N + 1) recorded on the substrate F after the drawing data R (N).

画像処理部70では、露光部72において最初の基板F(M)に最初のプリント配線パターンの描画データR(N)を記録する場合、N=1、M=1とする(ステップS11、S12)。次いで、CPU74は、HD82から描画データR(1)を読み出し、バス88を介してメモリ84に描画データR(1)を記憶させる(ステップS13)。   In the image processing unit 70, when the exposure unit 72 records the drawing data R (N) of the first printed wiring pattern on the first substrate F (M), N = 1 and M = 1 are set (steps S11 and S12). . Next, the CPU 74 reads the drawing data R (1) from the HD 82, and stores the drawing data R (1) in the memory 84 via the bus 88 (step S13).

一方、露光記録装置10は、露光ステージ18に基板F(1)を吸着保持させた後(ステップS14)、露光ステージ18をスキャナ26側に移動させ、基板F(1)に形成されたアラインメントマーク60a〜60dを含む画像をCCDカメラ22a、22bにより撮像する(ステップS15)。撮像されたアラインメントマーク60a〜60dを含む画像データは、I/F78及びバス88を介してメモリ84に記憶される。   On the other hand, the exposure recording apparatus 10 attracts and holds the substrate F (1) on the exposure stage 18 (step S14), then moves the exposure stage 18 to the scanner 26 side, and the alignment mark formed on the substrate F (1). Images including 60a to 60d are taken by the CCD cameras 22a and 22b (step S15). Image data including the imaged alignment marks 60 a to 60 d is stored in the memory 84 via the I / F 78 and the bus 88.

CPU74は、アラインメントマーク60a〜60dの画像データから、露光ステージ18に対する各アラインメントマーク60a〜60dの位置データを算出し、その位置データに基づき、露光ステージ18に対する基板F(1)の装着位置ずれ、基板F(1)の変形等を調整するためのアラインメントデータを算出し、このアラインメントデータを用いて、メモリ84に記憶されている描画データR(1)に対するアラインメント処理を行う(ステップS16)。   The CPU 74 calculates the position data of the alignment marks 60a to 60d with respect to the exposure stage 18 from the image data of the alignment marks 60a to 60d, and based on the position data, the mounting position shift of the substrate F (1) with respect to the exposure stage 18; Alignment data for adjusting deformation or the like of the substrate F (1) is calculated, and alignment processing is performed on the drawing data R (1) stored in the memory 84 using the alignment data (step S16).

アラインメント処理された描画データR(1)は、バス88及びI/F86を介して露光部72に送信され(ステップS17)、一旦バッファ90に格納される。   The alignment-processed drawing data R (1) is transmitted to the exposure unit 72 via the bus 88 and the I / F 86 (step S17) and temporarily stored in the buffer 90.

露光部72の解凍変換処理部92は、バッファ90に格納されたランレングスデータ形式の描画データR(1)を解凍してビットマップデータに展開する。次いで、解凍変換処理部92は、このビットマップデータをDMD36を構成する複数のマイクロミラー40に設定したアドレス連続方向の配列からなるフレームデータに変換し、バッファ94に格納する。   The decompression conversion processing unit 92 of the exposure unit 72 decompresses the drawing data R (1) in the run length data format stored in the buffer 90 and develops it into bitmap data. Next, the decompression conversion processing unit 92 converts the bitmap data into frame data composed of an array in the address continuous direction set in the plurality of micromirrors 40 constituting the DMD 36 and stores the frame data in the buffer 94.

そして、露光記録装置10は、露光ステージ18をスキャナ26側からCCDカメラ22a、22b側に移動させ、DMDコントローラ42は、バッファ94に記憶された描画データR(1)に係るフレームデータをDMD36に供給し、基板F(1)に所望の画像を露光記録する(ステップS18)。   Then, the exposure recording apparatus 10 moves the exposure stage 18 from the scanner 26 side to the CCD cameras 22a and 22b side, and the DMD controller 42 sends the frame data related to the drawing data R (1) stored in the buffer 94 to the DMD 36. Then, a desired image is exposed and recorded on the substrate F (1) (step S18).

すなわち、光源ユニット28から出力されたレーザビームLは、光ファイバ30を介して各露光ヘッド24a〜24jに導入される。導入されたレーザビームLは、ロッドレンズ32から反射ミラー34を介してDMD36に入射する。   That is, the laser beam L output from the light source unit 28 is introduced into the exposure heads 24 a to 24 j via the optical fiber 30. The introduced laser beam L enters the DMD 36 from the rod lens 32 via the reflection mirror 34.

DMDコントローラ42は、バッファ94からフレームデータを読み出し、DMD36を構成する各マイクロミラー40をオンオフ制御する。DMD36を構成する各マイクロミラー40により所望の方向に選択的に反射されたレーザビームLは、第1結像光学レンズ44、46によって拡大された後、マイクロアパーチャアレー54、マイクロレンズアレー48及びマイクロアパーチャアレー56を介して所定の径に調整され、次いで、第2結像光学レンズ50、52により所定の倍率に調整されて基板F(1)に導かれる。露光ステージ18は、定盤14に沿って移動し、基板F(1)には、露光ステージ18の移動方向と直交する方向に配列される複数の露光ヘッド24a〜24jにより所望の二次元画像が露光記録される。この場合、アラインメントマーク60a〜60dを基準とする目標位置に所望の二次元画像が露光記録される。   The DMD controller 42 reads frame data from the buffer 94 and controls each micromirror 40 constituting the DMD 36 on and off. The laser beam L selectively reflected in a desired direction by the respective micromirrors 40 constituting the DMD 36 is expanded by the first imaging optical lenses 44 and 46, and then the microaperture array 54, the microlens array 48, and the microlens. It is adjusted to a predetermined diameter via the aperture array 56, and then adjusted to a predetermined magnification by the second imaging optical lenses 50 and 52 and guided to the substrate F (1). The exposure stage 18 moves along the surface plate 14, and a desired two-dimensional image is formed on the substrate F (1) by a plurality of exposure heads 24a to 24j arranged in a direction orthogonal to the moving direction of the exposure stage 18. The exposure is recorded. In this case, a desired two-dimensional image is exposed and recorded at the target position with reference to the alignment marks 60a to 60d.

基板F(1)に対する描画データR(1)による露光記録が終了すると(ステップS19)、基板F(1)を露光ステージ18から取り外し(ステップS20)、次の基板F(M)がある場合(ステップS21)、M=M+1とし(ステップS22)、ステップS14〜S21の処理を繰り返す。なお、二次元画像が露光記録された基板F(1)には、現像処理、エッチング処理を経て、所望のプリント配線パターンが形成される。   When the exposure recording with the drawing data R (1) on the substrate F (1) is completed (step S19), the substrate F (1) is removed from the exposure stage 18 (step S20), and there is a next substrate F (M) ( In step S21), M = M + 1 is set (step S22), and the processes in steps S14 to S21 are repeated. It should be noted that a desired printed wiring pattern is formed on the substrate F (1) on which the two-dimensional image is exposed and recorded through development processing and etching processing.

全ての基板F(M)に対して描画データR(1)に基づく二次元画像が露光記録された後(ステップS21)、次の描画データR(N)がある場合(ステップS23)、N=N+1とし(ステップS24)、ステップS12〜S23の処理を繰り返す。この場合、描画データR(N)によるプリント配線パターンが記録された基板F(M)に対して描画データR(N+1)が重ねて露光記録される。   After two-dimensional images based on the drawing data R (1) are exposed and recorded on all the substrates F (M) (step S21), when there is next drawing data R (N) (step S23), N = N + 1 is set (step S24), and the processing of steps S12 to S23 is repeated. In this case, the drawing data R (N + 1) is exposed and recorded on the substrate F (M) on which the printed wiring pattern based on the drawing data R (N) is recorded.

なお、描画データR(N)が大量のデータからなる場合、描画データR(N)を露光記録システム4を構成するハードウエアにより決まる所定のブロックデータに分割し、各ブロックデータを単位としてステップS17〜S19の処理を繰り返すようにしてもよい。   If the drawing data R (N) consists of a large amount of data, the drawing data R (N) is divided into predetermined block data determined by the hardware constituting the exposure recording system 4, and each block data is used as a unit in step S17. The process of S19 may be repeated.

ここで、RIP8から画像処理部70への描画データR(N)の送信処理(ステップS6)と、画像処理部70から露光部72への描画データR(N)の送信処理(ステップS17)とにつき、図9及び図10を用いて説明する。なお、図9及び図10において、処理が中断されているブロック間の部分を点線で示し、処理が継続されているブロック間の部分を実線で示している。   Here, drawing data R (N) transmission processing from the RIP 8 to the image processing unit 70 (step S6), drawing data R (N) transmission processing from the image processing unit 70 to the exposure unit 72 (step S17), and This will be described with reference to FIGS. In FIGS. 9 and 10, portions between blocks where processing is interrupted are indicated by dotted lines, and portions between blocks where processing is continued are indicated by solid lines.

先ず、図9に示すように、画像処理部70から露光部72へ描画データR(N)を送信して露光記録を行う場合、画像処理部70のCPU74は、メモリ84に記憶された描画データR(N)に対するアラインメント処理を行い、処理された描画データR(N)をバス88及びI/F86を介して露光部72に送信する。このとき、CPU74は、バス88を占有してメモリ84及びバス88に対する処理に専念し、HD82に対する制御を中断する。従って、システム管理サーバ11は、RIP8から画像処理部70への描画データR(N)の送信処理を行わない(ステップS5)。露光部72に送信された描画データR(N)は、解凍変換処理部92によって処理され、DMDコントローラ42を介してDMD36を駆動することで、基板F(M)に対する露光記録が行われる。この間、システム管理サーバ11は、露光記録に並行して、描画データR(N)を画像処理部70から露光部72に順次送信する。   First, as shown in FIG. 9, when the drawing data R (N) is transmitted from the image processing unit 70 to the exposure unit 72 to perform exposure recording, the CPU 74 of the image processing unit 70 stores the drawing data stored in the memory 84. Alignment processing is performed on R (N), and the processed drawing data R (N) is transmitted to the exposure unit 72 via the bus 88 and the I / F 86. At this time, the CPU 74 occupies the bus 88 and concentrates on the processing for the memory 84 and the bus 88 and interrupts the control for the HD 82. Accordingly, the system management server 11 does not perform the transmission process of the drawing data R (N) from the RIP 8 to the image processing unit 70 (step S5). The drawing data R (N) transmitted to the exposure unit 72 is processed by the decompression conversion processing unit 92, and the DMD 36 is driven via the DMD controller 42 to perform exposure recording on the substrate F (M). During this time, the system management server 11 sequentially transmits drawing data R (N) from the image processing unit 70 to the exposure unit 72 in parallel with exposure recording.

一方、露光記録装置10では、基板F(M)を露光ステージ18にロードしている間(ステップS14)、CCDカメラ22a、22bを用いて基板F(M)のアラインメント測定処理を行っている間(ステップS15)、基板F(M)を露光ステージ18からアンロードしている間(ステップS20)は、画像処理部70から露光部72に描画データR(N)を送信して露光処理を行うことができないため、画像処理部70のバス88が空いた状態となっている。   On the other hand, in the exposure recording apparatus 10, while the substrate F (M) is being loaded on the exposure stage 18 (step S14), the alignment measurement processing of the substrate F (M) is performed using the CCD cameras 22a and 22b. (Step S15) While the substrate F (M) is being unloaded from the exposure stage 18 (Step S20), the drawing data R (N) is transmitted from the image processing unit 70 to the exposure unit 72 to perform exposure processing. Therefore, the bus 88 of the image processing unit 70 is vacant.

そこで、システム管理サーバ11は、RIP8及び画像処理部70を制御し、図10に示すように、次の露光処理に必要な描画データR(N+1)をRIP8から画像処理部70のI/F76及びバス88を介して送信し、HD82に記憶させる。また、HD82に記憶された描画データR(N+1)は、バス88を介してメモリ84に記憶させ、次の露光記録のための準備をさせることができる。   Therefore, the system management server 11 controls the RIP 8 and the image processing unit 70 to obtain drawing data R (N + 1) necessary for the next exposure processing from the RIP 8 to the I / F 76 and the image processing unit 70 as shown in FIG. The data is transmitted via the bus 88 and stored in the HD 82. In addition, the drawing data R (N + 1) stored in the HD 82 can be stored in the memory 84 via the bus 88 and can be prepared for the next exposure recording.

この場合、露光記録システム4では、複数の基板F(M)のロード、アンロードを繰り返して描画データR(N)を露光記録した後、複数の基板F(M)のロード、アンロードを再度繰り返して次の描画データR(N+1)を露光記録している。従って、描画データR(N)による露光記録を行う際の基板F(M)のロード、アラインメント計測処理、アンロードの各時間を利用して、次の描画データR(N+1)を画像処理部70に送信しておくことができる。この結果、基板F(M)に対する描画データR(N)の露光記録が終了した後、次の描画データR(N+1)による露光記録を速やかに開始することができる。   In this case, the exposure recording system 4 repeats loading and unloading of the plurality of substrates F (M) to expose and record the drawing data R (N), and then loads and unloads the plurality of substrates F (M) again. The next drawing data R (N + 1) is repeatedly recorded by exposure. Accordingly, the next drawing data R (N + 1) is transferred to the image processing unit 70 using the loading, alignment measurement processing, and unloading times of the substrate F (M) when performing exposure recording with the drawing data R (N). Can be sent to. As a result, after the exposure recording of the drawing data R (N) on the substrate F (M) is completed, the exposure recording by the next drawing data R (N + 1) can be started promptly.

なお、上述した露光記録装置10は、例えば、多層プリント配線基板(PWB:Printed Wiring Board)の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト(DFR:Dry Film Resist)の露光、液晶表示装置(LCD)の製造工程におけるカラーフィルタの形成、TFTの製造工程におけるDFRの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP)の製造工程におけるDFRの露光等の用途に好適に用いることができる。また、本発明は、インクジェット記録ヘッドを備えた描画装置にも同様して適用することが可能である。   Note that the exposure recording apparatus 10 described above includes, for example, exposure of a dry film resist (DFR) in a manufacturing process of a multilayer printed wiring board (PWB) and manufacture of a liquid crystal display (LCD). It can be suitably used for applications such as color filter formation in the process, DFR exposure in the TFT manufacturing process, and DFR exposure in the plasma display panel (PDP) manufacturing process. The present invention can be similarly applied to a drawing apparatus provided with an ink jet recording head.

本実施形態の露光記録システムのブロック図である。It is a block diagram of the exposure recording system of this embodiment. 本実施形態の露光記録装置の構成図である。It is a block diagram of the exposure recording apparatus of this embodiment. 本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the exposure head in the exposure recording apparatus of this embodiment. 本実施形態の露光ヘッドを構成するDMDの説明図である。It is explanatory drawing of DMD which comprises the exposure head of this embodiment. 本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドと、露光ステージに位置決めされた基板との関係説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a relationship between an exposure head in the exposure recording apparatus of the present embodiment and a substrate positioned on an exposure stage. 本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドと、基板上の露光エリアとの関係説明図である。It is an explanatory view of the relationship between the exposure head in the exposure recording apparatus of the present embodiment and the exposure area on the substrate. 本実施形態の露光記録システムを構成するCAD装置、RIP及び画像処理部間での処理のフローチャートである。It is a flowchart of the process between the CAD apparatus, RIP, and image processing part which comprise the exposure recording system of this embodiment. 本実施形態の露光記録システムを構成する画像処理部及び露光部間での処理のフローチャートである。It is a flowchart of the process between the image processing part and exposure part which comprise the exposure recording system of this embodiment. 本実施形態の露光記録システムを構成するRIP及び露光記録装置における処理の説明図である。It is explanatory drawing of the process in RIP and exposure recording apparatus which comprise the exposure recording system of this embodiment. 本実施形態の露光記録システムを構成するRIP及び露光記録装置における処理の説明図である。It is explanatory drawing of the process in RIP and exposure recording apparatus which comprise the exposure recording system of this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

4…露光記録システム 6…CAD装置
8…RIP 10…露光記録装置
11…システム管理サーバ 18…露光ステージ
22a、22b…CCDカメラ 24a〜24j…露光ヘッド
36…DMD 60a〜60d…アラインメントマーク
70…画像処理部 72…露光部
74…CPU 82…HD
84…メモリ 90、94…バッファ
92…解凍変換処理部 F…基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 4 ... Exposure recording system 6 ... CAD apparatus 8 ... RIP 10 ... Exposure recording apparatus 11 ... System management server 18 ... Exposure stage 22a, 22b ... CCD camera 24a-24j ... Exposure head 36 ... DMD 60a-60d ... Alignment mark 70 ... Image Processing unit 72 ... Exposure unit 74 ... CPU 82 ... HD
84 ... Memory 90, 94 ... Buffer 92 ... Decompression conversion processing unit F ... Substrate

Claims (10)

描画データに基づき、記録媒体に対して二次元画像を描画する描画処理装置において、
前記描画データを供給する描画データ供給部と、
前記描画データ供給部から送信された前記描画データを記憶するメモリを有し、前記描画データに対して所定の画像処理を行う画像処理部と、
前記画像処理部から送信された画像処理済みの前記描画データに基づいて、前記記録媒体に前記二次元画像を描画する描画部と、
前記描画データ供給部から前記画像処理部を介して前記描画部に送信される前記描画データの送信処理を制御する送信制御部と、
を備え、前記送信制御部は、前記描画データ供給部から前記画像処理部の前記メモリに対する前記描画データの送信処理を、前記画像処理部から前記描画部に対して画像処理済みの前記描画データを送信する期間以外の期間に行うことを特徴とする描画処理装置。
In a drawing processing device for drawing a two-dimensional image on a recording medium based on drawing data,
A drawing data supply unit for supplying the drawing data;
An image processing unit having a memory for storing the drawing data transmitted from the drawing data supply unit, and performing predetermined image processing on the drawing data;
A drawing unit that draws the two-dimensional image on the recording medium based on the image-processed drawing data transmitted from the image processing unit;
A transmission control unit that controls transmission processing of the drawing data transmitted from the drawing data supply unit to the drawing unit via the image processing unit;
The transmission control unit performs transmission processing of the drawing data from the drawing data supply unit to the memory of the image processing unit, and outputs the drawing data that has undergone image processing from the image processing unit to the drawing unit. A drawing processing apparatus, which is performed during a period other than a transmission period.
請求項1記載の装置において、
前記メモリは、前記描画部に送信する第1描画データと、前記第1描画データに対して時系列的に連続する第2描画データとを記憶可能に構成されることを特徴とする描画処理装置。
The apparatus of claim 1.
The memory is configured to be capable of storing first drawing data transmitted to the drawing unit and second drawing data continuous in time series with respect to the first drawing data. .
請求項1記載の装置において、
前記送信制御部は、前記描画部が前記記録媒体に前記二次元画像を描画する処理と並行して、前記画像処理部から前記描画部に画像処理済みの前記描画データを送信する処理を行うことを特徴とする描画処理装置。
The apparatus of claim 1.
The transmission control unit performs a process of transmitting the image-processed drawing data from the image processing unit to the drawing unit in parallel with the process of the drawing unit drawing the two-dimensional image on the recording medium. A drawing processing apparatus characterized by the above.
請求項1記載の装置において、
前記送信制御部は、前記記録媒体を描画ステージに対して着脱する処理と並行して、前記描画データ供給部から前記画像処理部の前記メモリに前記描画データを送信することを特徴とする描画処理装置。
The apparatus of claim 1.
The transmission control unit transmits the drawing data from the drawing data supply unit to the memory of the image processing unit in parallel with the process of attaching / detaching the recording medium to / from the drawing stage. apparatus.
請求項1記載の装置において、
前記送信制御部は、前記描画部に対する前記記録媒体のアラインメント測定処理と並行して、前記描画データ供給部から前記画像処理部の前記メモリに前記描画データを送信することを特徴とする描画処理装置。
The apparatus of claim 1.
The transmission control unit transmits the drawing data from the drawing data supply unit to the memory of the image processing unit in parallel with the alignment measurement processing of the recording medium with respect to the drawing unit. .
請求項1記載の装置において、
前記描画部は、複数の前記描画データに従って駆動され、前記記録媒体に複数の描画点を形成する複数の描画素子を有することを特徴とする描画処理装置。
The apparatus of claim 1.
The drawing processing apparatus, wherein the drawing unit includes a plurality of drawing elements that are driven according to the plurality of drawing data and form a plurality of drawing points on the recording medium.
描画データに基づき、記録媒体に対して二次元画像を描画する描画処理方法において、
前記描画データを描画データ供給部から画像処理部に送信するステップと、
前記画像処理部に送信された前記描画データに対して所定の画像処理を行うステップと、
画像処理された前記描画データを前記画像処理部から描画部に送信するステップと、
前記描画部に送信された前記描画データに基づき、前記記録媒体に前記二次元画像を描画するステップと、
からなり、前記描画データ供給部から前記画像処理部に対する前記描画データの送信処理を、前記画像処理部から前記描画部に対して前記描画データを送信する期間以外の期間に行うことを特徴とする描画処理方法。
In a drawing processing method for drawing a two-dimensional image on a recording medium based on drawing data,
Transmitting the drawing data from the drawing data supply unit to the image processing unit;
Performing predetermined image processing on the drawing data transmitted to the image processing unit;
Transmitting the image-processed drawing data from the image processing unit to the drawing unit;
Drawing the two-dimensional image on the recording medium based on the drawing data transmitted to the drawing unit;
The drawing data transmission process from the drawing data supply unit to the image processing unit is performed during a period other than the period during which the drawing data is transmitted from the image processing unit to the drawing unit. Drawing processing method.
請求項7記載の方法において、
前記画像処理部から前記描画部に対する前記描画データの送信処理は、前記描画部が前記記録媒体に前記二次元画像を描画する処理と並行して行われることを特徴とする描画処理方法。
The method of claim 7, wherein
The drawing processing method, wherein the drawing data transmission process from the image processing unit to the drawing unit is performed in parallel with a process in which the drawing unit draws the two-dimensional image on the recording medium.
請求項7記載の方法において、
前記描画データ供給部から前記画像処理部に対する前記描画データの送信処理は、前記記録媒体を描画ステージに対して着脱する処理と並行して行われることを特徴とする描画処理方法。
The method of claim 7, wherein
The drawing processing method, wherein the drawing data transmission process from the drawing data supply unit to the image processing unit is performed in parallel with a process of attaching / detaching the recording medium to / from the drawing stage.
請求項7記載の方法において、
前記描画データ供給部から前記画像処理部に対する前記描画データの送信処理は、前記描画部に対する前記記録媒体のアラインメント測定処理と並行して行われることを特徴とする描画処理方法。
The method of claim 7, wherein
The drawing processing method, wherein the drawing data transmission process from the drawing data supply unit to the image processing unit is performed in parallel with the recording medium alignment measurement process for the drawing unit.
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