JP2007233002A - Optical scanning apparatus and image forming apparatus - Google Patents
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Abstract
【課題】回折光学素子を用い、温度変動によるビームスポット径変動を低減し、回折光学素子の加工誤差による被走査面上における光量のばらつきを抑えた光走査装置を実現し、この光走査装置を用いた画像形成装置を得る。
【解決手段】発光部を有する光源部1と、発光部からの光ビームを以降の光学系に導光する第1の光学素子と、第1の光学素子から射出する光ビームを線像に変換する第2の光学素子4と、第2の光学素子4から射出する光ビームを偏向する光偏向器5と、光偏向器5により偏向された複数の光ビームを被走査面8上に集光させて光スポットを形成し被走査面8を光走査する第3の光学素子6と、を有する。少なくとも第3の光学素子6は樹脂製であり、第1、第2、第3の光学素子のいずれかは回折光学素子であり、回折光学素子の表面の中心線平均粗さRaが、20nm≦Ra≦200nmを満足する。
【選択図】図1
An optical scanning device that uses a diffractive optical element to reduce fluctuations in beam spot diameter due to temperature fluctuations and suppresses variations in the amount of light on the surface to be scanned due to processing errors of the diffractive optical element is realized. The used image forming apparatus is obtained.
A light source unit having a light emitting unit, a first optical element for guiding a light beam from the light emitting unit to a subsequent optical system, and a light beam emitted from the first optical element are converted into a line image. The second optical element 4, the optical deflector 5 that deflects the light beam emitted from the second optical element 4, and a plurality of light beams deflected by the optical deflector 5 are condensed on the scanned surface 8. And a third optical element 6 that forms a light spot and optically scans the surface to be scanned 8. At least the third optical element 6 is made of resin, and any one of the first, second, and third optical elements is a diffractive optical element, and the center line average roughness Ra of the surface of the diffractive optical element is 20 nm ≦ Ra ≦ 200 nm is satisfied.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、光走査装置および画像形成装置に関するもので、特に、安定したビームスポット径で光走査を行うために、光学素子の構成を工夫したものである。 The present invention relates to an optical scanning device and an image forming apparatus, and in particular, the configuration of an optical element is devised in order to perform optical scanning with a stable beam spot diameter.
光走査装置は、従来から、光プリンタやデジタル複写機、光プロッタ等の画像形成装置に関連して広く用いられているが、近時、低価格化の要求と併せて、温湿度などの環境変動の影響を受け難く、高密度で、精細度の高い画像を形成できるものが求められている。 Conventionally, optical scanning devices have been widely used in connection with image forming apparatuses such as optical printers, digital copiers, and optical plotters. There is a demand for a high-density, high-definition image that is less susceptible to fluctuations.
光走査装置には各種のレンズが用いられ、このレンズの材料として樹脂材料が広く用いられている。樹脂製レンズは、軽量であり、金型による一体成形が可能であるため、低コストで形成できるとともに、非球面に代表される特殊な面形状の形成が容易である。したがって、樹脂製レンズに特殊面を採用することにより、光学的な特性を向上させるとともに、光学系を構成するレンズ枚数を低減させることができる。すなわち、樹脂製レンズの採用は、光走査装置のコンパクト化・軽量化・低コスト化に資するところが大きい。しかし、反面において、良く知られているように、樹脂製レンズは、環境変化、特に温度変化に伴って、形状が変化したり、屈折率が変化したりするので、光学特性、特にパワーが設計値から変化し、被走査面上における光スポットの径である「ビームスポット径」が環境変動により変動する問題がある。 Various lenses are used in the optical scanning device, and resin materials are widely used as materials for the lenses. Since the resin lens is lightweight and can be integrally molded with a mold, it can be formed at a low cost, and a special surface shape represented by an aspheric surface can be easily formed. Therefore, by adopting a special surface for the resin lens, the optical characteristics can be improved and the number of lenses constituting the optical system can be reduced. In other words, the use of a resin lens greatly contributes to the reduction in size, weight, and cost of the optical scanning device. However, on the other hand, as is well known, resin lenses change in shape and refractive index in accordance with environmental changes, particularly temperature changes, so optical characteristics, especially power, are designed. There is a problem that the “beam spot diameter”, which is the diameter of the light spot on the surface to be scanned, varies due to environmental fluctuations.
温度変化に伴う樹脂製レンズのパワー変動は、正レンズと負レンズとで互いに逆に発生するので、光走査装置の光学系内に、正と負の樹脂製レンズを組み込み、これら正・負の樹脂製レンズにおいて発生する「環境変化に起因する光学特性変化」を互いに相殺させる方法が良く知られている。 The power fluctuation of the resin lens due to the temperature change occurs in the opposite direction between the positive lens and the negative lens. Therefore, the positive and negative resin lenses are incorporated in the optical system of the optical scanning device. A method of canceling out “changes in optical characteristics due to environmental changes” that occur in resin lenses is well known.
また、光走査装置の光源として一般的な半導体レーザは、温度が上昇すると発光波長が長波長側へずれるという性質、すなわち、温度変化による波長変化があり、また、モードホップ現象、すなわち半導体レーザの発振波長が急激に変化する現象による波長変化もある。光源における波長変化は、光走査装置に用いられる光学系の色収差による特性変化を惹起し、この特性変化もビームスポット径変動の原因となる。したがって、光学系内に樹脂製レンズを含み、光源に半導体レーザを用いる光走査装置では、温度変化に伴う光学特性の変化とともに、光源における波長変化に伴う光学特性の変化をも考慮した光学設計を行う必要がある。 In addition, a general semiconductor laser as a light source of an optical scanning device has a property that an emission wavelength shifts to a longer wavelength side when the temperature rises, that is, a wavelength change due to a temperature change, and a mode hop phenomenon, that is, a semiconductor laser. There is also a wavelength change due to a phenomenon in which the oscillation wavelength changes rapidly. A wavelength change in the light source causes a characteristic change due to chromatic aberration of an optical system used in the optical scanning apparatus, and this characteristic change also causes a beam spot diameter fluctuation. Therefore, in an optical scanning device that includes a resin lens in the optical system and uses a semiconductor laser as the light source, an optical design that takes into account changes in the optical characteristics accompanying changes in the wavelength of the light source as well as changes in the optical characteristics accompanying changes in temperature. There is a need to do.
温度変化に伴う光学特性の変化と、光源における波長変化とを考慮し、パワー回折面を採用して光学特性を安定させた光走査装置(レーザ走査装置)が知られている。その一つは、走査光学系に回折光学素子を適用した例である(例えば、特許文献1参照)。別の例は、カップリングレンズに回折光学素子を適用した例である(例えば、特許文献2参照)。さらに別の例は、カップリングレンズとシリンドリカルレンズを一体化させた光学素子に回折光学素子を適用した例である(例えば、特許文献3参照)。 There is known an optical scanning device (laser scanning device) that employs a power diffractive surface to stabilize optical characteristics in consideration of changes in optical characteristics accompanying temperature changes and wavelength changes in a light source. One of them is an example in which a diffractive optical element is applied to a scanning optical system (see, for example, Patent Document 1). Another example is an example in which a diffractive optical element is applied to a coupling lens (see, for example, Patent Document 2). Yet another example is an example in which a diffractive optical element is applied to an optical element in which a coupling lens and a cylindrical lens are integrated (see, for example, Patent Document 3).
回折光学素子を用いる際に最も注意を払わなければならないのは、回折光学素子の加工誤差に伴う回折効率の変動である。回折効率の変動は、光走査装置全体として見た場合に、被走査面上における光スポットの光量がばらつく原因になる。被走査面で光スポット光量がばらつくと、特にフルカラー画像を形成する場合に各色の重なりが悪くなり、画像品質が極端に劣化する。しかし、特許文献1乃至3に記載されているいずれの発明も、回折効率の低下を問題にしておらず、回折効率の低下に言及しているものはない。 What should be paid most attention to when using a diffractive optical element is a variation in diffraction efficiency due to a processing error of the diffractive optical element. The variation in diffraction efficiency causes variations in the amount of light spot on the surface to be scanned when viewed as the entire optical scanning device. If the amount of light spot varies on the surface to be scanned, especially when a full-color image is formed, the overlapping of the respective colors deteriorates and the image quality deteriorates extremely. However, none of the inventions described in Patent Documents 1 to 3 make a problem of a decrease in diffraction efficiency, and nothing mentions a decrease in diffraction efficiency.
本発明は、以上説明した従来技術の事情に鑑み、回折光学素子を用いた光走査装置において、温度変動によるビームスポット径変動を低減し、加えて回折光学素子の加工誤差による被走査面上における光量のばらつきが抑えられた光走査装置を実現すること、さらには、かかる光走査装置を用いることによって、高密度で高品質の画像を形成することができる画像形成装置を提供することを目的とする。 In the light scanning device using a diffractive optical element, the present invention reduces the beam spot diameter fluctuation due to the temperature fluctuation, and in addition, on the surface to be scanned due to the processing error of the diffractive optical element. It is an object of the present invention to provide an image forming apparatus capable of forming a high-density and high-quality image by using the optical scanning apparatus by realizing an optical scanning apparatus in which variations in light amount are suppressed. To do.
本発明は、請求項1に記載されているように、発光部を有する光源部と、発光部からの光ビームを以降の光学系に導光する第1の光学素子と、第1の光学素子から射出する光ビームを線像に変換する第2の光学素子と、第2の光学素子から射出する光ビームを偏向する光偏向器と、光偏向器により偏向された複数の光ビームを被走査面上に集光させて光スポットを形成し被走査面を光走査する第3の光学素子と、を有する光走査装置であって、少なくとも第3の光学素子は樹脂製であり、第1、第2、第3の光学素子のいずれかは回折光学素子であり、上記回折光学素子の段差によって発生する不用な次数の回折光が被走査面上に集光しないように上記回折光学素子の表面に粗さを設けたことを最も主要な特徴とする。 The present invention provides a light source unit having a light emitting unit, a first optical element that guides a light beam from the light emitting unit to a subsequent optical system, and a first optical element. A second optical element that converts the light beam emitted from the second optical element into a line image, an optical deflector that deflects the light beam emitted from the second optical element, and a plurality of light beams deflected by the optical deflector to be scanned And a third optical element that forms a light spot by condensing on the surface and optically scans the surface to be scanned, wherein at least the third optical element is made of resin, Either the second optical element or the third optical element is a diffractive optical element, and the surface of the diffractive optical element prevents the diffracted light of unnecessary orders generated by the steps of the diffractive optical element from being collected on the surface to be scanned. The main feature is to provide roughness.
本発明はまた、請求項2に記載されているように、発光部を有する光源部と、発光部からの光ビームを以降の光学系に導光する第1の光学素子と、第1の光学素子から射出する光ビームを線像に変換する第2の光学素子と、第2の光学素子から射出する光ビームを偏向する光偏向器と、光偏向器により偏向された複数の光ビームを被走査面上に集光させて光スポットを形成し被走査面を光走査する第3の光学素子と、を有する光走査装置であって、少なくとも第3の光学素子は樹脂製であり、第1、第2、第3の光学素子のいずれかは回折光学素子であり、回折光学素子の表面の中心線平均粗さRaが、20nm≦Ra≦200nmを満足することを特徴とする。 The present invention also provides a light source unit having a light emitting unit, a first optical element for guiding a light beam from the light emitting unit to a subsequent optical system, and a first optical device. A second optical element that converts a light beam emitted from the element into a line image; an optical deflector that deflects the light beam emitted from the second optical element; and a plurality of light beams deflected by the optical deflector. And a third optical element that condenses light on the scanning surface to form a light spot and optically scans the surface to be scanned, and at least the third optical element is made of resin. One of the second and third optical elements is a diffractive optical element, and the center line average roughness Ra of the surface of the diffractive optical element satisfies 20 nm ≦ Ra ≦ 200 nm.
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、回折光学素子は樹脂製であることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の発明において、樹脂製回折光学素子は第2の光学素子であることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項2記載の発明において、第1の光学素子と第2の光学素子は一体的に構成されており、この一体型光学素子が樹脂製回折光学素子であることを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項2乃至5のいずれかに記載の発明において、回折光学素子は、少なくとも副走査方向において温度変動に伴うビームウエスト位置の変化を補正する機能を有していることを特徴とする。
請求項7記載の発明は、請求項2乃至6のいずれかに記載の発明において、回折光学素子の回折面はマルチステップ形状となっていることを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, the diffractive optical element is made of resin.
The invention according to
The invention according to
A sixth aspect of the present invention is the diffractive optical element according to any one of the second to fifth aspects, wherein the diffractive optical element has a function of correcting a change in a beam waist position due to a temperature variation at least in the sub-scanning direction. It is characterized by that.
The invention according to
請求項8記載の発明は、請求項2乃至7のいずれかに記載の発明において、光源部は、複数の発光点を有するマルチビーム光源部であり、各々の発光点に対応して第1の光学素子が配置され、第1の光学素子は樹脂製回折光学素子であることを特徴とする。
請求項9記載の発明は、請求項2乃至7のいずれかに記載の発明において、光源部は、複数の発光点を有するマルチビーム光源部であり、複数の発光点から放射した光ビームが通過する第1の光学素子が1つ以上あり、この第1の光学素子がガラス製であることを特徴とする。
請求項10記載の発明は、請求項2、3、4、6または7記載の発明において、光源部は、面発光型半導体レーザを用いたマルチビーム光源部であり、第1の光学素子が樹脂製回折光学素子であることを特徴とする。
The invention according to
The invention according to
The invention according to claim 10 is the invention according to
請求項11記載の発明は、感光性の像担持体に対して光走査手段による光走査を行って潜像を形成し、この潜像を現像手段で可視化して画像を得る画像形成部を有する画像形成装置において、像担持体に対して光走査を行う光走査手段が、請求項1〜10のいずれかに記載の光走査装置であることを特徴とする。 According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided an image forming section for forming a latent image by performing optical scanning by a light scanning unit on a photosensitive image carrier and visualizing the latent image by a developing unit to obtain an image. In the image forming apparatus, the optical scanning unit that performs optical scanning on the image carrier is the optical scanning apparatus according to any one of claims 1 to 10.
請求項12記載の発明は、感光性の像担持体に対して光走査手段による光走査を行って潜像を形成し、この潜像を現像手段で可視化して画像を得る画像形成部を複数有するカラー画像形成可能な画像形成装置において、像担持体に対して光走査を行う光走査手段は、請求項1〜10のいずれかに記載の光走査装置であって色成分ごとの画像信号で変調された複数のレーザビームで光走査を行うことを特徴とする。 The invention according to claim 12 is provided with a plurality of image forming units for forming a latent image by performing optical scanning by the optical scanning unit on the photosensitive image carrier and visualizing the latent image by the developing unit. 11. An image forming apparatus capable of forming a color image, wherein the optical scanning unit that performs optical scanning with respect to the image carrier is the optical scanning apparatus according to claim 1, wherein an image signal for each color component is used. Optical scanning is performed with a plurality of modulated laser beams.
画像形成部を1つとしてモノクロームの画像形成を行うようにすることもできるし、請求項12記載の発明のように、2以上の画像形成部を設けて、2色画像や多色画像、さらにはフルカラー画像を形成するように画像形成装置を構成することもできる。フルカラー画像を形成可能な画像形成装置の場合、各画像形成部において光走査を行う光走査装置は、画像形成部ごとに別個のものであってもよいし、例えば、特開2004−280056号公報等によって知られているように、光学的な構成要素の一部、例えば光偏向器や走査光学系の一部を、複数の走査光学系で共有するようにしてもよい。画像形成部が2以上ある場合、2以上の画像形成部を同一の像担持体に対して異なる位置に設定することもできるし、いわゆるタンデム方式のカラー画像形成装置のように、複数の像担持体を平行に配列し、個々の像担持体を中心として個別の画像形成部を設けることもできる。 Monochrome image formation can be performed with one image forming unit, or two or more image forming units can be provided as in the invention of claim 12 to provide two-color images, multicolor images, and The image forming apparatus can be configured to form a full-color image. In the case of an image forming apparatus capable of forming a full-color image, the optical scanning device that performs optical scanning in each image forming unit may be separate for each image forming unit. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2004-280056 As is known, a part of optical components, for example, a part of an optical deflector or a scanning optical system may be shared by a plurality of scanning optical systems. When there are two or more image forming units, it is possible to set two or more image forming units at different positions with respect to the same image carrier, or a plurality of image carriers as in a so-called tandem color image forming apparatus. It is also possible to arrange the bodies in parallel and to provide individual image forming portions around the individual image carriers.
ここで、光走査装置の光学系に樹脂製レンズが含まれる場合に、環境条件の変動や波長変化に対して、被走査面に向かって集光される光ビームの位置変動、すなわちビームウエスト位置の変動について簡単に考察する。先ず、温度変動によるビームウエスト位置変動の原因となるのは、温度変動に伴う、
a.樹脂製レンズの屈折率自体の変化、
b.樹脂製レンズの形状変化、
c.半導体レーザの波長変化による樹脂製レンズの屈折率変化(色収差)
が考えられる。
温度変動に伴う、樹脂製レンズの屈折率自体の変化は、温度上昇に伴ってレンズが膨張し低密度化することによって屈折率が減少する現象として現れる。
温度変動に伴う、樹脂製レンズの形状変化は、温度上昇に伴ってレンズが膨張することによりレンズ面の曲率が減少する現象として現れる。
温度変動に伴う、半導体レーザの発光波長変化による樹脂製レンズの屈折率変化は、一般に温度上昇とともに長波長側へずれる現象として現れる。波長が長波長側へずれると、樹脂製レンズの屈折率は、一般に、減少する側へずれる。
このように、樹脂製レンズは、正レンズであるか負レンズであるかに拘わらず、温度上昇とともに、そのパワーの絶対値が減少するように変化する。
Here, when a resin lens is included in the optical system of the optical scanning device, the positional variation of the light beam condensed toward the scanned surface, that is, the beam waist position, with respect to the environmental condition variation and wavelength variation. Let us briefly consider the fluctuations. First, the cause of beam waist position fluctuation due to temperature fluctuation is due to temperature fluctuation.
a. Changes in the refractive index of the resin lens itself,
b. Plastic lens shape change,
c. Change in refractive index of resin lens due to wavelength change of semiconductor laser (chromatic aberration)
Can be considered.
The change in the refractive index itself of the resin lens accompanying the temperature fluctuation appears as a phenomenon in which the refractive index decreases as the lens expands and decreases in density as the temperature rises.
The change in the shape of the resin lens accompanying the temperature fluctuation appears as a phenomenon in which the curvature of the lens surface decreases due to the lens expanding as the temperature rises.
The change in the refractive index of the resin lens due to the change in the emission wavelength of the semiconductor laser accompanying the temperature fluctuation generally appears as a phenomenon that shifts to the longer wavelength side as the temperature rises. When the wavelength shifts to the longer wavelength side, the refractive index of the resin lens generally shifts to the decreasing side.
As described above, regardless of whether the lens is a positive lens or a negative lens, the absolute value of the power changes as the temperature increases.
一方、回折光学素子による回折角は波長に比例するため、回折光学素子の回折面の回折部によるパワーが正であっても負であっても、その絶対値は、それ波長が長くなると大きくなる傾向を持つ。従って、例えば、光走査装置の光学系における樹脂製レンズの合成パワーが正(または負)である場合には、回折面の回折部のパワーを正(または負)とすることにより、樹脂製レンズにおける温度変動に伴うパワー変化を、回折面の回折部における温度変動に伴うパワー変化で相殺することが可能になる。 On the other hand, since the diffraction angle by the diffractive optical element is proportional to the wavelength, the absolute value of the diffractive surface of the diffractive surface of the diffractive surface is positive or negative, and the absolute value increases as the wavelength increases. Have a tendency. Therefore, for example, when the combined power of the resin lens in the optical system of the optical scanning device is positive (or negative), the power of the diffractive portion of the diffractive surface is made positive (or negative), so that the resin lens It is possible to cancel the power change due to the temperature fluctuation at the diffractive surface with the power change accompanying the temperature fluctuation at the diffraction portion.
ここで、回折面の「回折部」と言っているのは、以下の理由による。一般の回折光学素子の回折面は、必ずしも平面に形成されるものに限られるものではなく、球面やシリンドリカル面に形成されたものを含んでいるので、回折面を形成している基板に当たる部分にもパワーを有することになる。この基板に当たる部分のパワーを除いた回折面のみのパワーという意味で、本明細書中ではこれを回折面の「回折部」と呼ぶ。 Here, the “diffractive part” of the diffractive surface is referred to for the following reason. The diffractive surface of a general diffractive optical element is not necessarily limited to a flat surface, but includes a surface formed on a spherical surface or a cylindrical surface. Will also have power. In the present specification, this means the power of only the diffractive surface excluding the power of the portion that hits the substrate.
いま少し具体的に説明するために、光学系内に含まれる樹脂製レンズのパワーと、回折面の「回折部」のパワーがともに正である場合に、環境温度が上昇した場合を考える。
樹脂製レンズの屈折率の変化によるビームウエスト位置変動量:A
樹脂製レンズの形状変化によるビームウエスト位置変動量:B
半導体レーザの発光波長変化に起因する樹脂製レンズの屈折率変化によるビームウエスト位置変動量:C
半導体レーザの発光波長変化に起因する回折面の「回折部」のパワー変化によるビームウエスト位置変動量:D
とすると、A>0、B>0、C>0であり、D<0(光偏向器から離れる向きの変化を正としている。)である。そして、この温度変化に伴うトータルのビームウエスト位置変動量は、A+B+C−Dである。A〜Cは、樹脂製レンズを含む光学系が定まれば定まるので、ビームウエスト位置変動量が0となる条件:A+B+C−D=0を満たすように回折面の「回折部」のパワーを設定することにより、温度変化に伴うビームウエスト位置変動を良好に補正することができる。
In order to explain a little more concretely, let us consider a case where the environmental temperature rises when the power of the resin lens included in the optical system and the power of the “diffractive part” of the diffractive surface are both positive.
Beam waist position fluctuation amount due to change in refractive index of resin lens: A
Beam waist position variation due to resin lens shape change: B
Beam waist position fluctuation amount due to change in refractive index of resin lens due to change in emission wavelength of semiconductor laser: C
Beam waist position fluctuation amount due to power change of “diffractive part” of diffractive surface due to change in emission wavelength of semiconductor laser: D
Then, A> 0, B> 0, C> 0, and D <0 (change in the direction away from the optical deflector is positive). And the total amount of beam waist position fluctuation | variation accompanying this temperature change is A + B + C-D. A to C are determined when an optical system including a resin lens is determined. Therefore, the power of the “diffractive part” of the diffractive surface is set so as to satisfy the condition that the beam waist position fluctuation amount is 0: A + B + C−D = 0. By doing so, the beam waist position fluctuation | variation accompanying a temperature change can be correct | amended favorably.
この発明にかかる光走査装置では、温度変化に起因する主走査方向および/または副走査方向のビームウエスト位置の変動を略0(ゼロ)とするように、回折光学素子が有する回折面のパワーを設定するので、温度変動によるビームウエスト位置変動が有効に補正され、常に安定したビームスポット径で光走査を行うことができる。この光走査装置を用いることにより、高品質の画像を安定して形成することが可能な画像形成装置を提供することができる。 In the optical scanning device according to the present invention, the power of the diffractive surface of the diffractive optical element is set so that the fluctuation of the beam waist position in the main scanning direction and / or the sub-scanning direction due to the temperature change is substantially 0 (zero). Therefore, the beam waist position variation due to temperature variation is effectively corrected, and optical scanning can always be performed with a stable beam spot diameter. By using this optical scanning device, it is possible to provide an image forming apparatus capable of stably forming a high-quality image.
以下、本発明にかかる光走査装置および画像形成装置の実施例について図面を参照しながら説明する。
図1は、光走査装置の一実施例を示す光学配置図である。図1において、符号1は光源部、符号3はアパーチュア、符号4は第2の光学素子としての回折光学素子、符号5は光偏向器である回転多面鏡のポリゴンミラー、符号6は第3の光学素子としての走査レンズ、符号8は被走査面をそれぞれ示す。また、符号G1はポリゴンミラー5を収納する防音ハウジング(図示されず)の窓を塞ぐ防音ガラスを示し、符号G2は光走査装置の光学系を収納するハウジングの偏向光ビーム射出部に設けられた防塵ガラスを示している。光源部1からの光ビームをポリゴンミラー5に導光する後述のカップリングレンズを第1の光学素子とする。第3の光学素子としての走査レンズ6は、ポリゴンミラー5で偏向された光ビームを被走査面8上に集光させて光スポットを形成し被走査面8を光走査する光学素子である。
Embodiments of an optical scanning device and an image forming apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is an optical layout diagram showing an embodiment of an optical scanning device. In FIG. 1, reference numeral 1 is a light source unit,
光源部1から放射された光ビームは、アパーチュア3によりビーム整形されて回折光学素子4に入射する。回折光学素子4を透過した光ビームは、回折光学素子4の光学的な作用によって、副走査方向に集束し、防音ガラスG1を透過した後、光偏向器であるポリゴンミラー5の偏向反射面近傍に、主走査方向に長い線像として結像される。ポリゴンミラー5は図示されないモータによって一定速度で回転駆動され、その偏向反射面によって光ビームが等角速度的に偏向反射され、偏向ビームが防音ガラスG1を透過して走査レンズ6に入射する。走査レンズ6は、1枚のレンズにより構成され、このレンズを透過した光ビームは防塵ガラスG2を介して被走査面8に入射し、走査レンズ6の作用により被走査面8上に光スポットを形成する。
The light beam emitted from the light source unit 1 is shaped by the
ポリゴンミラー5が等速回転すると、偏向反射面により反射された光ビームは等角速度的に偏向する。走査レンズ6は等角速度的に偏向しつつ入射してくる光ビームによる光スポットが、被走査面8上において主走査方向(図の上下方向)へ等速度的に移動するようにする等速特性を有しており、よって、光スポットは、被走査面8を等速度的に光走査する。走査レンズ6はアナモフィックな光学素子であり、副走査方向においてはポリゴンミラー5の偏向反射面位置と被走査面位置とを幾何光学的な共役関係としており、これによりポリゴンミラーの面倒れを補正している。被走査面8は、実体的には像担持体としての感光性媒体の感光面である。
When the
図1の実施例では、回折光学素子4を、光ビームを線像に変換する光学素子に適用したものとなっているが、第3の光学素子である走査レンズ6あるいは第1の光学素子であるカップリングレンズを回折光学素子とした場合でも、本発明の効果は変わらない。
In the embodiment of FIG. 1, the diffractive
さて、図1に搭載された回折光学素子4は、図5に示すように、回折面41が階段状に形成されてなるマルチステップ型である。このようなマルチステップ型とするためには、回折面41の「回折部」のパワーと「屈折部」のパワーを、絶対値が等しく異符号のものとすればよい。こうして得られる回折面は必然的にマルチステップ型となる。このような構造を取ると、回折面とバックカットの関係はどこでもほぼ直角となり、計測が容易になるばかりでなく、加工も非常にしやすいという利点がある。
As shown in FIG. 5, the diffractive
さらに、得られた回折面はノンパワーであるから、反対側の面に対する面間偏心があってもそれによる影響が極めて少なく、加工精度に対する要求レベルも低く抑えることが可能となる。また、マルチステップ型であれば、シェーパー加工を採用することで加工時間の短縮化も図ることができる。加工時間の短縮化は、加工時における熱の発生の低減など副次的なメリットも派生し、高精度のパワー回折面を得るのに好ましい。また、レンズそのもののパワーは入射面と射出面のパワーの合成として与えられるが、一方の面がノンパワーでも反対側のパワーを適切に設定することで、所望のレンズパワーを得ることができる。 Furthermore, since the obtained diffractive surface is non-powered, even if there is a decentering between the opposite surfaces, the influence thereof is extremely small, and the required level for processing accuracy can be kept low. In the case of a multi-step type, the machining time can be shortened by adopting shaper machining. The shortening of the processing time is preferable for obtaining a high-precision power diffractive surface because secondary merits such as reduction of heat generation during processing are derived. Further, the power of the lens itself is given as a combination of the power of the entrance surface and the exit surface, but a desired lens power can be obtained by appropriately setting the power on the opposite side even if one surface is non-power.
いま、上記回折面41の深さ方向に沿ったバックカット1つ分のデプスを「段差」と呼ぶことにする。回折効率を劣化させるパラメータはいくつかあるが、特に問題となるのはこの段差と表面粗さである。しかし、この2つは回折効率を劣化させる性質が異なる。
Now, the depth corresponding to one backcut along the depth direction of the
段差による誤差が発生した場合の回折効率の劣化は、所望の回折次数以外の、指向性の強い光ビームとすることにより、所望の回折次数の回折効率を劣化させることに起因する。一方、表面粗さが発生した場合の回折効率の劣化は、不用な散乱光が発生することにより、所望の回折次数の回折効率を劣化させることに起因する。従って、所望でない光ビームの発生によって被走査面に像を結ぶ可能性が大きいのは、指向性の強い光ビームを発生させる段差による誤差が発生した場合である。そこで、この指向性を低減させるために、本発明では、回折光学素子の表面に、意図的に所定の粗さを持たせることを提案する。 The deterioration of diffraction efficiency when an error due to a step occurs is caused by deterioration of the diffraction efficiency of a desired diffraction order by using a light beam with strong directivity other than the desired diffraction order. On the other hand, the deterioration of the diffraction efficiency when the surface roughness occurs is caused by the deterioration of the diffraction efficiency of a desired diffraction order by generating unnecessary scattered light. Therefore, the possibility of forming an image on the surface to be scanned due to the generation of an undesired light beam is high when an error due to a step that generates a light beam with high directivity occurs. In order to reduce this directivity, the present invention proposes that the surface of the diffractive optical element is intentionally given a predetermined roughness.
そのために必要な回折光学素子の表面の中心線平均粗さRaは、
Ra≧20nm
である。しかし、この表面粗さを際限なく大きくすることはできない。表面粗さを大きくすると、回折光学素全体として回折効率が大きく低下するので、より高出力の光源部を必要とすることになり、高出力の光源部を使用することによって、雰囲気温度の上昇やエネルギー供給の増大などの要因になる。そこで、上記回折光学素子表面の中心線平均粗さRaの上限に関し、本発明では
Ra≦200nm
とすることで上記の課題を解決している。
The centerline average roughness Ra of the surface of the diffractive optical element necessary for that is given by
Ra ≧ 20nm
It is. However, this surface roughness cannot be increased without limit. If the surface roughness is increased, the diffraction efficiency of the diffractive optical element as a whole is greatly reduced, so a higher-power light source unit is required. It becomes a factor such as an increase in energy supply. Therefore, regarding the upper limit of the centerline average roughness Ra on the surface of the diffractive optical element, in the present invention, Ra ≦ 200 nm
This solves the above problem.
回折光学素子を樹脂で成形する場合、成形品の離型の際に表面荒さが発生するが、Ra≧20nmであれば、通常の樹脂成形プロセスで充分達成可能なレベルであり、本発明のように表面粗さを規定しても、成形時間の増大、ひいてはコストの増大に至るようなことはない。 When the diffractive optical element is molded with a resin, surface roughness occurs when the molded product is released, but if Ra ≧ 20 nm, it is a level that can be sufficiently achieved by a normal resin molding process, as in the present invention. Even if the surface roughness is specified, the molding time is not increased and the cost is not increased.
なお、回折光学素子表面の「中心線平均粗さ」とは、図6に示すように、粗さ曲線f(x)から、その平均線の方向に基準長さLだけ抜き取り、この抜き取り部分の平均線から測定曲線までの偏差の絶対値を合計し、平均した値として定義され、次式で表現できるものである。
The “center line average roughness” on the surface of the diffractive optical element is, as shown in FIG. 6, extracted from the roughness curve f (x) by the reference length L in the direction of the average line, The absolute values of deviations from the average line to the measurement curve are summed and defined as an average value, which can be expressed by the following equation.
次に、光源部1の構造の例について詳細に説明する。光源部1はマルチビーム用光源であり、1パッケージ中に複数の発光点を有する半導体レーザアレイを用いることもできるし、1パッケージ中に1つの発光点を有する通常の半導体レーザを複数個組み合わせて用いることもできる。半導体レーザを複数個組み合わせて用いる場合、図2に示すような構成とすることができる。すなわち、光源1−1、1−2は半導体レーザであって、それぞれ単一の発光点を持つ。光源1−1、1−2から放射された各ビームは、第1の光学素子としてのカップリングレンズ2−1、2−2によりカップリングされる。カップリングされた各ビームの形態は、以後の光学系の光学特性に応じ、弱い発散性の光束や弱い集束性の光束となることも、平行光束となることもできる。 Next, an example of the structure of the light source unit 1 will be described in detail. The light source unit 1 is a multi-beam light source, and a semiconductor laser array having a plurality of light emitting points in one package can be used, or a plurality of ordinary semiconductor lasers having one light emitting point in one package are combined. It can also be used. When a plurality of semiconductor lasers are used in combination, the configuration shown in FIG. 2 can be adopted. That is, the light sources 1-1 and 1-2 are semiconductor lasers, each having a single light emitting point. The beams emitted from the light sources 1-1 and 1-2 are coupled by coupling lenses 2-1 and 2-2 as first optical elements. The form of each coupled beam can be a weak divergent light beam, a weak convergent light beam, or a parallel light beam, depending on the optical characteristics of the subsequent optical system.
カップリングレンズ2−1、2−2を透過した各ビームは、アパーチャ3−1、3−2によりビームの断面形状が整形され、ビーム合成プリズム20に入射する。ビーム合成プリズム20は、反射面と、偏光分離膜と1/2波長板とを有する。光源1−2からのビームは、ビーム合成プリズム20の反射面と、偏光分離膜とに反射されてビーム合成プリズム20から射出される。光源1−1からのビームは1/2波長板により偏光面を90度旋回され、偏光分離膜を透過してビーム合成プリズム20から射出される。このようにして、2つのビームが合成される。カップリングレンズ2−1、2−2の光軸に対する光源1−1、1−2の発光部の位置関係の調整により、ビーム合成された2ビームは互いに副走査方向に僅かに傾いて、基準となる光軸に対し微小角をなしている。光源1−1、1−2はそれぞれ個別のベース5−1,5−2に嵌め込まれて保持され、各ベース5−1,5−2にはまた、光源1−1、1−2の嵌合面とは反対側から、光源1−1、1−2に対向させてカップリングレンズ2−1、2−2が位置決めされて保持されている。各ベース5−1,5−2は1個のフランジ40の一面側から位置決めされて固定され、フランジ40の他面側には、上記アパーチャ3−1、3−2を構成する1枚のアパーチャ板30が位置決めされて固定されている。上記フランジ40、ビーム合成プリズム20をホルダー50で保持することにより、光源部1をユニット化している。
The beams transmitted through the coupling lenses 2-1 and 2-2 are shaped by the apertures 3-1 and 3-2, and are incident on the
光源として通常の半導体レーザを複数個組み合わせて用いる場合、図3に示すような構成とすることもできる。図3において、光源1−1、1−2は半導体レーザであって、それぞれ単一の発光点を持つ。光源1−1、1−2から放射された各ビームは、第1の光学素子としてのカップリングレンズ2−1、2−2によりカップリングされる。カップリングされた各ビームの形態は、以後の光学系の光学特性に応じ、弱い発散性の光束や弱い集束性の光束となることも、平行光束となることもできる。カップリングレンズ2−1、2−2の光軸はポリゴンミラー上で交差するように主走査方向に微小角をなすように構成され、光源1−1、1−2から放射された光ビームはこの光軸に沿って伝播される。図3において、符号3は光源ホルダー、3aは光源1−1、1−2の嵌合孔、3bはカップリングレンズ2−1、2−2の位置決め部、7は光源ホルダー3が固定され光走査装置のハウジングなど適宜の壁9を貫通して固定されるユニットホルダーをそれぞれ示している。図3に示すような構成にすると、図2に示す例で用いているビーム合成プリズム20や1/2波長板などが不用になり、光源部のコンパクト化、低コスト化を達成することができる。
When a combination of a plurality of ordinary semiconductor lasers is used as the light source, a configuration as shown in FIG. 3 can be used. In FIG. 3, light sources 1-1 and 1-2 are semiconductor lasers, each having a single light emitting point. The beams emitted from the light sources 1-1 and 1-2 are coupled by coupling lenses 2-1 and 2-2 as first optical elements. The form of each coupled beam can be a weak divergent light beam, a weak convergent light beam, or a parallel light beam, depending on the optical characteristics of the subsequent optical system. The optical axes of the coupling lenses 2-1 and 2-2 are configured to form a minute angle in the main scanning direction so as to intersect on the polygon mirror, and the light beams emitted from the light sources 1-1 and 1-2 are Propagated along this optical axis. In FIG. 3,
また、光源として複数のレーザビームを放射する半導体レーザアレイを用いる場合、光走査装置に搭載される光学素子の構成によっては、図4に示す半導体レーザアレイの例のように、被走査面上で所望のビームピッチを達成するために、複数の(図示の例では4つの)発光点の配列方向を主走査方向に(従って副走査方向にも)傾けて配置してもよい。 In addition, when a semiconductor laser array that emits a plurality of laser beams is used as a light source, depending on the configuration of the optical element mounted on the optical scanning device, as shown in the example of the semiconductor laser array shown in FIG. In order to achieve a desired beam pitch, the arrangement direction of a plurality of (four in the illustrated example) light emitting points may be inclined with respect to the main scanning direction (and thus also in the sub-scanning direction).
光源部が、図2や図3に示すように構成される場合を考える。この構成においては、カップリングレンズ2−1,2−2を樹脂化し、さらにこのカップリングレンズ2−1,2−2を、少なくとも片面に同心円の溝形状として形成された回折面を有する回折光学素子としてもよい。 Consider a case where the light source unit is configured as shown in FIGS. In this configuration, the coupling lenses 2-1 and 2-2 are made of resin, and the coupling lenses 2-1 and 2-2 have a diffractive optical surface having a diffractive surface formed as a concentric groove shape on at least one surface. It is good also as an element.
しかし、図4に示す例のように、光源部に半導体レーザアレイを用いた場合には、カップリングレンズを回折光学素子としない方が好ましい。その理由は、半導体レーザアレイの場合、各発光点から放射される光ビームの波長は必ずしも同じであるとは限らず、また、モードホップ現象も各発光点で全く独立に発生するので、波長のばらつきによる画像劣化が大きくなってしまうからである。このような波長依存性を回避するには、カップリングレンズの素材はガラスの方がよく、ガラスを用いることによって、品質の安定した画像を形成することができる。 However, as in the example shown in FIG. 4, when a semiconductor laser array is used for the light source unit, it is preferable not to use the coupling lens as a diffractive optical element. The reason is that in the case of a semiconductor laser array, the wavelength of the light beam emitted from each light emitting point is not necessarily the same, and the mode hop phenomenon also occurs at each light emitting point completely independently. This is because image deterioration due to variations becomes large. In order to avoid such wavelength dependency, the material of the coupling lens is preferably glass, and an image with stable quality can be formed by using glass.
また、図4において、半導体レーザアレイではなく面発光型半導体レーザ(VCSEL)を用いた場合は、各発光点から放射される光ビームの波長ばらつきはほとんどないため、カップリングレンズを樹脂製回折光学素子にすることが可能である。 In FIG. 4, when a surface emitting semiconductor laser (VCSEL) is used instead of the semiconductor laser array, there is almost no variation in the wavelength of the light beam emitted from each light emitting point. It can be an element.
カップリングレンズと第2の光学素子としてのシリンダレンズを樹脂化できるような光走査装置の場合には、この2つのレンズを一体的に形成し、これを回折光学素子とすることもできる。このようにすると、部品点数が実質的に一つ減るのでコストダウンに有効である。 In the case of an optical scanning apparatus in which the coupling lens and the cylinder lens as the second optical element can be made of resin, the two lenses can be formed integrally and used as a diffractive optical element. In this way, the number of parts is substantially reduced by one, which is effective for cost reduction.
図7は、感光性の像担持体に対して光走査手段による光走査を行って潜像を形成し、この潜像を現像手段で可視化して画像を得る画像形成部を有する画像形成装置であって、像担持体に対して光走査を行う光走査手段として、これまで説明してきた光走査装置を用いた画像形成装置の実施例を示す。この画像形成装置は、タンデム型フルカラー光プリンタである。図7において、画像形成装置の下部には、水平方向に配設された給紙カセット130から給紙される転写紙(図示されず)を搬送する搬送ベルト132が設けられている。搬送ベルト132の上部には、イエロー(Y)用の感光体17Y、マゼンタ(M)用の感光体17M、シアン(C)用の感光体17C、及びブラック(K)用の感光体17Kが、搬送ベルト132による転写紙の搬送方向上流側から順に等間隔で配設されている。なお、以下において、符号中に付したY、M、C、Kで、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックを区別する。
FIG. 7 shows an image forming apparatus having an image forming unit that forms a latent image by performing optical scanning by a light scanning unit on a photosensitive image carrier and visualizes the latent image by a developing unit to obtain an image. An embodiment of an image forming apparatus using the optical scanning device described so far will now be described as an optical scanning means for optically scanning the image carrier. This image forming apparatus is a tandem type full-color optical printer. In FIG. 7, a
感光体17Y、17M、17C、17Kは全て同一径に形成され、その周囲に、電子写真プロセスに従いプロセス部材が順に配設されている。感光体13Yを例に採れば、帯電チャージャ140Y、光走査装置150Y、現像装置160Y、転写チャージャ130Y、クリーニング装置180Y等が感光体の回転方向に順に配設されている。他の感光体13M、13C、13Kについても同様である。すなわち、この画像形成装置は、感光体17Y、17M、17C、17Kを色毎に設定された被走査面とするものであり、各々の感光体に対して光走査装置150Y、150M、150C、150Kが1対1の対応関係で設けられている。
The
これら光走査装置は、それぞれが図1に示したような光学配置を有するものを独立に用いることもできるし、例えば、特開2004−280056号公報等により従来から知られたもののように、光偏向器(回転多面鏡)を共用し、各光走査装置における走査光学系のレンズを、感光体17Mと17Yの光走査に共用するとともに、感光体17K、17Cの光走査に共有するものとすることもできる。搬送ベルト132の周囲には、感光体17Yよりも転写紙搬送方向上流側にレジストローラ19と、ベルト帯電チャージャ110が設けられ、感光体17Kよりも下流側に位置させてベルト分離チャージャ111、除電チャージャ112、クリーニング装置113等が設けられている。ベルト分離チャージャ111よりも転写紙搬送方向下流側には定着装置114が設けられ、排紙トレイ115に向けて排紙ローラ116で結ばれている。
As these optical scanning devices, those having the optical arrangement as shown in FIG. 1 can be used independently. For example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-280056, etc. The deflector (rotating polygon mirror) is shared, and the lens of the scanning optical system in each optical scanning device is shared for optical scanning of the photoconductors 17M and 17Y, and is shared for optical scanning of the
このような構成において、例えば、フルカラーモード時であれば、帯電チャージャ140Y、140M、140C、140Kで表面が均一に帯電された各感光体17Y、17M、17C、17Kに対し、Y、M、C、K各色の画像信号に基づき各光走査装置150Y、150M、150C、150Kで光走査されることにより上記各感光体に静電潜像が形成される。これら静電潜像はそれぞれ現像装置160Y、160M、160C、160Kで対応する色トナーで現像されてトナー画像となる。各トナー画像は、搬送ベルト132上に静電的に吸着されて搬送される転写紙上に順次転写されることにより重ね合わせられ、定着装置114によりフルカラー画像として定着された後、排紙トレイ115上に排紙される。
In such a configuration, for example, in the full color mode, Y, M, and C are applied to each of the
かかる画像形成装置の露光手段として、前述の光走査装置を用いることにより、常に安定したビームスポット径を得ることができ、精細度の高い印字ないしは画像を得ることができる画像形成装置を、コンパクトの、かつ、安価に実現することができる。 By using the above-described optical scanning device as the exposure unit of such an image forming apparatus, a stable beam spot diameter can be obtained at all times, and a high-definition print or image can be obtained with a compact image forming apparatus. And can be realized at low cost.
1 光源部
1−1 光源
1−2 光源
2−1 第1の光学素子としてのカップリングレンズ
2−2 第1の光学素子としてのカップリングレンズ
3 アパーチャ
4 第2の光学素子としての回折光学素子
5 光偏向器としてのポリゴンミラー
6 第3の光学素子としての走査レンズ
8 被走査面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source part 1-1 Light source 1-2 Light source 2-1 Coupling lens as 1st optical element 2-2 Coupling lens as 1st
Claims (12)
少なくとも第3の光学素子は樹脂製であり、
第1、第2、第3の光学素子のいずれかは回折光学素子であり、
上記回折光学素子の段差によって発生する不用な次数の回折光が被走査面上に集光しないように上記回折光学素子の表面に粗さを設けた光走査装置。 A light source unit having a light emitting unit, a first optical element that guides a light beam from the light emitting unit to a subsequent optical system, and a second optical that converts the light beam emitted from the first optical element into a line image An optical deflector for deflecting a light beam emitted from the second optical element; and a plurality of light beams deflected by the optical deflector are condensed on the surface to be scanned to form a light spot to form a surface to be scanned. A third optical element for optically scanning the optical scanning device,
At least the third optical element is made of resin,
Any of the first, second, and third optical elements is a diffractive optical element,
An optical scanning device provided with a roughness on the surface of the diffractive optical element so that unnecessary orders of diffracted light generated by the steps of the diffractive optical element are not condensed on the surface to be scanned.
少なくとも第3の光学素子は樹脂製であり、
第1、第2、第3の光学素子のいずれかは回折光学素子であり、
回折光学素子の表面の中心線平均粗さRaが、
20nm≦Ra≦200nm
を満足する光走査装置。 A light source unit having a light emitting unit, a first optical element that guides a light beam from the light emitting unit to a subsequent optical system, and a second optical that converts the light beam emitted from the first optical element into a line image An optical deflector for deflecting a light beam emitted from the second optical element; and a plurality of light beams deflected by the optical deflector are condensed on the surface to be scanned to form a light spot to form a surface to be scanned. A third optical element for optically scanning the optical scanning device,
At least the third optical element is made of resin,
Any of the first, second, and third optical elements is a diffractive optical element,
The center line average roughness Ra of the surface of the diffractive optical element is
20 nm ≦ Ra ≦ 200 nm
An optical scanning device that satisfies the requirements.
像担持体に対して光走査を行う光走査手段が、請求項1〜10のいずれかに記載の光走査装置である画像形成装置。 In an image forming apparatus having an image forming unit that performs light scanning by a light scanning unit on a photosensitive image carrier to form a latent image, and visualizes the latent image with a developing unit to obtain an image.
The image forming apparatus according to claim 1, wherein the optical scanning unit that performs optical scanning on the image carrier is the optical scanning device according to claim 1.
像担持体に対して光走査を行う光走査手段は、請求項1〜10のいずれかに記載の光走査装置であって色成分ごとの画像信号で変調された複数のレーザビームで光走査を行う画像形成装置。
Image formation capable of forming a color image having a plurality of image forming units for forming a latent image by performing optical scanning with a light scanning unit on a photosensitive image carrier and visualizing the latent image with a developing unit In the device
An optical scanning unit that performs optical scanning on an image carrier is the optical scanning device according to any one of claims 1 to 10, wherein optical scanning is performed with a plurality of laser beams modulated by an image signal for each color component. An image forming apparatus to perform.
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