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JP2008047953A - Case of microphone, and microphone - Google Patents

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JP2008047953A
JP2008047953A JP2006218626A JP2006218626A JP2008047953A JP 2008047953 A JP2008047953 A JP 2008047953A JP 2006218626 A JP2006218626 A JP 2006218626A JP 2006218626 A JP2006218626 A JP 2006218626A JP 2008047953 A JP2008047953 A JP 2008047953A
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JP
Japan
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substrate
conductive layer
microphone
conductive
hole
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Application number
JP2006218626A
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Japanese (ja)
Inventor
Motoaki Ito
元陽 伊藤
Takao Imahori
能男 今堀
Hiroshi Fujinami
宏 藤浪
Kentaro Yonehara
賢太郎 米原
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Star Micronics Co Ltd
Original Assignee
Star Micronics Co Ltd
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Priority to CNA2007101401678A priority patent/CN101123828A/en
Priority to US11/836,901 priority patent/US20080037815A1/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a case of a microphone capable of suppressing deterioration in microphone characteristic due to heat applied by reflow soldering during mounting, and a microphone. <P>SOLUTION: The case 22 comprises a case base frame 24 where space is defined therethrough, and a circuit board 23 and a top substrate 25 which close an opening thereof. The circuit board 23 is formed in multilayered structure having a conductive layer 23d buried in a substrate body 23a made of an insulator, and the conductive layer 23d is formed in a mesh shape. The top substrate 25 is formed in the multilayered structure having a conductive layer 25d buried in a substrate body 25a made of an insulator, and the conductive layer 25d is formed in a mesh shape. The conductive layer 23d is electrically connected to conductive patterns 23b and 23c through a through hole 34, and the conductive layer 25d is electrically connected to conductive patterns 25b and 25c through a through hole 35. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、携帯電話、ビデオカメラ、パーソナルコンピュータ等の機器に用いられるコンデンサマイクロホン等のマイクロホンの筐体、及び、マイクロホンに関するものである。   The present invention relates to a microphone housing such as a condenser microphone used in devices such as a mobile phone, a video camera, and a personal computer, and a microphone.

この種のマイクロホンとしては、例えば特許文献1に開示されるものがある。このエレクトレット型コンデンサマイクロホンは、電装部品を実装した回路基板と、絶縁基板上に背極電極、エレクトレット層及びスペーサが一体化された背極基板と、支持枠に振動膜が張設された振動膜ユニットとを、金属製のシールドケースに積層状態で収容することによって構成されている。
特開2004−222091号公報
An example of this type of microphone is disclosed in Patent Document 1. This electret condenser microphone has a circuit board on which electrical components are mounted, a back electrode board in which a back electrode, electret layer and spacer are integrated on an insulating board, and a vibration film in which a vibration film is stretched on a support frame. The unit is configured to be housed in a laminated state in a metal shield case.
JP 2004-222091 A

ところで、例えば携帯電話の回路基板へのコンデンサマイクロホンの実装は、リフロー半田付けによって行われることが一般的である。ところが、リフロー半田付けの際には、コンデンサマイクロホンが例えば260℃程度の高温に晒される。上記特許文献1のコンデンサマイクロホンにおいては、シールドケースが金属製であるため同ケースは容易に熱せられ、その熱が支持枠を介して振動膜に容易に伝達され、また、回路基板及び絶縁基板を介して背極電極やスペーサに容易に伝達される。この結果、エレクトレット層の温度が上昇してチャージ抜けが起こったり、背極電極とスペーサとの熱膨張率の差から振動膜と背極基板との間隔が設定値から変化したりする。このため、マイクロホンにおける感度やS/N比等の諸特性が悪化する問題があった。   By the way, for example, a capacitor microphone is generally mounted on a circuit board of a mobile phone by reflow soldering. However, during reflow soldering, the condenser microphone is exposed to a high temperature of about 260 ° C., for example. In the condenser microphone disclosed in Patent Document 1, since the shield case is made of metal, the case is easily heated, and the heat is easily transmitted to the vibrating membrane through the support frame. To be easily transmitted to the back electrode and the spacer. As a result, the temperature of the electret layer rises to cause charge loss, or the distance between the vibrating membrane and the back electrode substrate changes from the set value due to the difference in thermal expansion coefficient between the back electrode and the spacer. For this reason, there is a problem that various characteristics such as sensitivity and S / N ratio in the microphone are deteriorated.

この発明の目的とするところは、実装時のリフロー半田付けによって加わる熱に基因するマイク特性の悪化を抑制することができるマイクロホンの筐体、及び、同筐体を備えたマイクロホンを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a microphone casing capable of suppressing deterioration of microphone characteristics caused by heat applied by reflow soldering during mounting, and a microphone including the casing. is there.

上記の目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、電気絶縁体よりなり、収容空間を透設した基枠と、その収容空間の開口を閉塞する基板とを備え、収容空間内に電気音響変換手段を収容するようにしたマイクロホンの筐体において、前記基板を、導電層が絶縁層に埋設されるように、絶縁層と導電層とにより多層に形成するとともに、導電層をメッシュ状に形成したことを特徴とする。   In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is provided with a base frame made of an electrical insulator, through which an accommodation space is formed, and a substrate that closes an opening of the accommodation space. In the microphone housing in which the electroacoustic conversion means is housed, the substrate is formed in multiple layers by the insulating layer and the conductive layer so that the conductive layer is embedded in the insulating layer, and the conductive layer is meshed. It was formed in the shape.

この発明においては、メッシュ状に形成されるとともに絶縁層に埋設された導電層により、基板の熱伝導性が低下する。このため、マイクロホンをリフロー半田付けによって実装するときに、筐体に加わった熱は、筐体の内部に侵入し難くなる。従って、筐体の内部に伝わった熱に基因する電気音響変換手段でのチャージ抜け等の支障の発生を抑制することができる。   In this invention, the thermal conductivity of the substrate is lowered by the conductive layer formed in the mesh shape and embedded in the insulating layer. For this reason, when the microphone is mounted by reflow soldering, the heat applied to the housing is less likely to enter the inside of the housing. Accordingly, it is possible to suppress the occurrence of troubles such as charge removal in the electroacoustic conversion means due to heat transmitted to the inside of the housing.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明に加えて、前記導電層の孔内に、絶縁層を構成する樹脂が充填されたことを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記導電層の孔は、空間を構成していることを特徴とする。
The invention according to claim 2 is characterized in that, in addition to the invention according to claim 1, a resin constituting the insulating layer is filled in the hole of the conductive layer.
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the holes of the conductive layer constitute a space.

請求項4に記載の発明は、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の発明において、前記導電層を、前記基板のスルーホールと電気接続したことを特徴とする。
この発明においては、スルーホールを介して導電層をアースに電気接続することができるため、導電層による電磁シールドを行うことができる。
The invention according to claim 4 is the invention according to any one of claims 1 to 3, wherein the conductive layer is electrically connected to a through hole of the substrate.
In this invention, since the conductive layer can be electrically connected to the ground through the through hole, electromagnetic shielding by the conductive layer can be performed.

請求項5に記載の発明は、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の発明に加えて、前記基板は、インピーダンス変換手段のための回路パターンを備え、前記収容空間の一方の開口を閉塞する第1基板と、音孔を備え、収容空間の他方の開口を閉塞する第2基板とよりなり、前記第1基板及び第2基板の少なくともいずれか一方に前記導電層を設けたことを特徴とする。   According to a fifth aspect of the invention, in addition to the invention according to any one of the first to fourth aspects, the substrate includes a circuit pattern for impedance conversion means, and one of the accommodation spaces is provided. A first substrate that closes the opening and a second substrate that includes a sound hole and closes the other opening of the accommodation space, and the conductive layer is provided on at least one of the first substrate and the second substrate. It is characterized by that.

請求項6に記載の発明は、請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の発明において、前記基板は音孔を備え、導電層はその音孔を横切って設けられていることを特徴とする。
この発明においては、導電層が音孔内に位置する状態となるため、音孔を通じて筐体の内部に塵埃等が侵入することが防止されるとともに、筐体内に熱が侵入しにくくなる。
The invention according to claim 6 is the invention according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate includes a sound hole, and the conductive layer is provided across the sound hole. Features.
In the present invention, since the conductive layer is positioned in the sound hole, it is possible to prevent dust and the like from entering the housing through the sound hole and to prevent heat from entering the housing.

請求項7に記載の発明は、請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載のマイクロホンの筐体の内部に電気音響変換手段を収容したことを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の発明において、前記電気音響変換手段は、エレクトレット層を備えたことを特徴とする。
The invention described in claim 7 is characterized in that the electroacoustic conversion means is accommodated in the inside of the casing of the microphone according to any one of claims 1 to 6.
The invention according to claim 8 is the invention according to claim 7, wherein the electroacoustic conversion means includes an electret layer.

この発明においては、高い熱によるエレクトレット層でのチャージ抜けが防止される。   In the present invention, charge leakage in the electret layer due to high heat is prevented.

この発明によれば、実装時のリフロー半田付けによって加わる熱に基因するマイク特性の悪化を抑制することができるという優れた効果を奏することができる。   According to the present invention, it is possible to obtain an excellent effect that it is possible to suppress deterioration of microphone characteristics due to heat applied by reflow soldering during mounting.

(第1実施形態)
次に、この発明を、エレクトレット型のコンデンサマイクロホンに具体化した第1実施形態について図1〜図3を用いて説明する。
(First embodiment)
Next, a first embodiment in which the present invention is embodied in an electret condenser microphone will be described with reference to FIGS.

図1及び図2に示すように、この実施形態のコンデンサマイクロホン21の筐体22は、平板状の回路基板23と、収容空間が透設されて全体として四角枠状をなす筐体基枠24と、平板状のトップ基板25とを積層して、接着剤により固定した構造となっている。前記回路基板23,筐体基枠24及びトップ基板25はエポキシ樹脂、液晶ポリマー、セラミック等の電気絶縁体により構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the housing 22 of the condenser microphone 21 of this embodiment includes a flat circuit board 23 and a housing base frame 24 having a rectangular frame shape as a whole through a housing space. And a flat top substrate 25 are stacked and fixed with an adhesive. The circuit board 23, the casing base frame 24, and the top board 25 are made of an electrical insulator such as an epoxy resin, a liquid crystal polymer, or a ceramic.

筐体基枠24の収容空間の一方を閉塞する回路基板23の基板本体23aの上下両面には銅よりなる導電パターン23b,23cが印刷されている。回路基板23の上下両面の所要位置には絶縁膜23eが印刷されている。そして、回路基板23上には、筐体22内に設けられたインピーダンス変換手段を構成する電界効果トランジスタ26やキャパシタンス27等の電装部品が実装され、この電装部品は、筐体基枠24の収容空間内に配置されている。前記筐体基枠24の枠本体24aの上下両面及び外側面には銅よりなる互いに連続した導電パターン24b,24c,24dが印刷されている。筐体基枠24の収容空間の他方を閉塞する前記トップ基板25の基板本体25aの上下両面には銅よりなる導電パターン25b,25cが印刷されている。トップ基板25には、外部から音を取り込むための音孔28が形成されている。   Conductive patterns 23b and 23c made of copper are printed on the upper and lower surfaces of the substrate body 23a of the circuit board 23 that closes one of the housing spaces of the housing base frame 24. Insulating films 23e are printed at required positions on the upper and lower surfaces of the circuit board 23. On the circuit board 23, electrical components such as a field effect transistor 26 and a capacitance 27 constituting impedance conversion means provided in the housing 22 are mounted. The electrical components are accommodated in the housing base frame 24. It is arranged in the space. Conductive patterns 24b, 24c, and 24d made of copper are printed on the upper and lower surfaces and the outer surface of the frame main body 24a of the housing base frame 24. Conductive patterns 25b and 25c made of copper are printed on both upper and lower surfaces of the substrate body 25a of the top substrate 25 that closes the other of the housing space of the housing base frame 24. The top substrate 25 is formed with a sound hole 28 for taking in sound from the outside.

さらに、回路基板23及びトップ基板25の内部には銅よりなる導電層23d,25dが埋設されている。図1及び図3に示すように、トップ基板25の導電層25dは、前記音孔28に対応する孔25eを有する。この導電層23d,25dは、微細な多数の貫通孔23f,25fを有するメッシュ状に形成されている。貫通孔23f,25fは、例えばレーザ加工やエッチングによって透設されている。導電層23d,25dの貫通孔23f,25fには、基板本体23a,25fを形成する電気絶縁性樹脂が充填されている。なお、導電層23d,25dは、例えば銅線の金属細線を網状に形成したものであってもよい。   Further, conductive layers 23 d and 25 d made of copper are embedded in the circuit board 23 and the top board 25. As shown in FIGS. 1 and 3, the conductive layer 25 d of the top substrate 25 has a hole 25 e corresponding to the sound hole 28. The conductive layers 23d and 25d are formed in a mesh shape having a large number of fine through holes 23f and 25f. The through holes 23f and 25f are formed by laser processing or etching, for example. The through holes 23f and 25f of the conductive layers 23d and 25d are filled with an electrically insulating resin that forms the substrate bodies 23a and 25f. Note that the conductive layers 23d and 25d may be formed, for example, by forming fine metal wires such as copper wires in a net shape.

図1及び図2に示すように、前記筐体基枠24内において、トップ基板25の環状をなす導電パターン25cの下面にはPPS(Polyphenylene Sulfide;ポリフェニレンスルフィド)の合成樹脂薄膜シート材よりなる振動膜29が張架状態で接着され、その振動膜29の上面には金蒸着により導電層29aが形成されている。振動膜29の下面周側の4箇所には、振動膜29の材料と同系材料(同一材料を含む)のPPS等の合成樹脂からなり、かつ4枚の小片からなるスペーサ30が接着固定されている。筐体基枠24内において、振動膜29の下面にはスペーサ30を介在させてバックプレート31が対向配置されている。このバックプレート31は、ステンレス鋼板からなる基板31aの上面にPTFE(polytetrafluoroethylene ;ポリテトラフルオロエチレン)等のフィルム31bが貼着されて構成されている。そのフィルム31bはコロナ放電等による分極処理が施されており、この分極処理によりフィルム31bはエレクトレット層を構成している。そして、前記バックプレート31は背極を構成し、このため、この実施形態のコンデンサマイクロホンはバックエレクトレットタイプである。さらに、バックプレート31の中央部には前記振動膜29の振動による空気移動を許容するための貫通孔32が形成されている。この実施形態においては、前記インピーダンス変換手段、振動膜29、バックプレート31等により電気音響変換手段が構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the housing base frame 24, the lower surface of the conductive pattern 25 c forming the ring shape of the top substrate 25 has a vibration made of a synthetic resin thin film sheet material of PPS (Polyphenylene Sulfide). The film 29 is adhered in a stretched state, and a conductive layer 29a is formed on the upper surface of the vibration film 29 by gold vapor deposition. Spacers 30 made of synthetic resin such as PPS of the same material (including the same material) as the material of the vibration film 29 and consisting of four small pieces are bonded and fixed at four locations on the lower surface side of the vibration film 29. Yes. In the housing base frame 24, a back plate 31 is disposed opposite to the lower surface of the vibration film 29 with a spacer 30 interposed therebetween. The back plate 31 is configured by attaching a film 31b such as PTFE (polytetrafluoroethylene) on the upper surface of a substrate 31a made of a stainless steel plate. The film 31b is polarized by corona discharge or the like, and the film 31b forms an electret layer by this polarization. And the said back plate 31 comprises a back pole, Therefore, the condenser microphone of this embodiment is a back electret type. Further, a through hole 32 for allowing air movement due to vibration of the vibration film 29 is formed at the center of the back plate 31. In this embodiment, an electroacoustic conversion means is constituted by the impedance conversion means, the vibration film 29, the back plate 31, and the like.

図1及び図2に示すように、前記筐体基枠24内において、バックプレート31と回路基板23との間には板バネ材よりなる保持部材33が圧縮状態で介装され、この保持部材33の弾性力によりバックプレート31が振動膜29の反対側からスペーサ30の下面と当接する方向に加圧されている。このため、振動膜29とバックプレート31との間にスペーサ30の厚み分の間隔が保持されて、それらの間に所定の容量を確保したコンデンサ部が形成されている。前記保持部材33は、ステンレス鋼板の表裏両面に金メッキを施して形成され、この保持部材33を介して、前記バックプレート31が回路基板23上のインピーダンス変換回路の端子44に電気接続されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, in the housing base frame 24, a holding member 33 made of a leaf spring material is interposed between the back plate 31 and the circuit board 23 in a compressed state. The back plate 31 is pressed from the opposite side of the vibration film 29 by the elastic force of 33 in a direction in contact with the lower surface of the spacer 30. For this reason, the space | interval for the thickness of the spacer 30 is hold | maintained between the vibration film 29 and the backplate 31, and the capacitor | condenser part which ensured the predetermined capacity | capacitance between them is formed. The holding member 33 is formed by performing gold plating on both the front and back surfaces of a stainless steel plate, and the back plate 31 is electrically connected to the terminal 44 of the impedance conversion circuit on the circuit board 23 through the holding member 33.

図1に示すように、前記回路基板23及びトップ基板25にはそれぞれ複数のスルーホール34,35が形成され、それらのスルーホール34,35の内周面には前記導電パターン23b,23c及び25b,25cとそれぞれ連続する導電パターン34a,35aが設けられている。また、スルーホール34,35内には導電材36,37がそれぞれ充填され、この導電材36,37と前記導電パターン34a,35aとにより導電部57,58が形成されている。そして、トップ基板25の導電パターン25b,25c及びスルーホール35を含む導電部58から筐体基枠24上の導電パターン24b〜24dを介して回路基板23上の導電パターン23b,23cに至り、さらに、スルーホール34を含む導電部57を介して図示しないアース端子に至る導電路が形成されている。   As shown in FIG. 1, a plurality of through holes 34 and 35 are formed in the circuit board 23 and the top board 25, respectively, and the conductive patterns 23b, 23c and 25b are formed on the inner peripheral surfaces of the through holes 34 and 35, respectively. , 25c and conductive patterns 34a, 35a, respectively, are provided. The through holes 34 and 35 are filled with conductive materials 36 and 37, respectively, and conductive portions 57 and 58 are formed by the conductive materials 36 and 37 and the conductive patterns 34a and 35a. And from the conductive part 58 including the conductive patterns 25b and 25c and the through hole 35 of the top substrate 25 to the conductive patterns 23b and 23c on the circuit board 23 through the conductive patterns 24b to 24d on the housing base frame 24, A conductive path to a ground terminal (not shown) is formed through the conductive portion 57 including the through hole 34.

図1及び図2に示すように、筐体基枠24の下面及び上面の内周縁には、導電パターン24c,24bの存在しない枠本体24aの露出部38,39が全体として環状をなすように形成されている。回路基板23の上面には、導電パターン23bの存在しない基板本体23aの露出部40が環状域に沿って複数配列されるように形成されている。トップ基板25の下面には、導電パターン25cの存在しない基板本体25aの露出部41が環状域に沿って複数配列されるように形成されている。そして、前記回路基板23の各露出部40と筐体基枠24の露出部38との間、及び、前記トップ基板25の各露出部41と筐体基枠24の露出部39との間にはそれぞれ接着部材42,43が介在され、この接着部材42,43により筐体基枠24と回路基板23及びトップ基板25が接着固定されている。この露出部41,39以外の部分においては、回路基板23の上面の導電パターン23b及びトップ基板25の下面の導電パターン25cと筐体基枠24の下面の導電パターン24c及び上面の導電パターン24bとがそれぞれ直接に接合して、トップ基板25と筐体基枠24、筐体基枠24と回路基板23とが電気接続されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the exposed portions 38 and 39 of the frame body 24 a where the conductive patterns 24 c and 24 b do not exist form a ring shape as a whole on the inner peripheral edges of the lower surface and the upper surface of the housing base frame 24. Is formed. On the upper surface of the circuit board 23, a plurality of exposed portions 40 of the board body 23a where the conductive pattern 23b does not exist are formed so as to be arranged along the annular region. On the lower surface of the top substrate 25, a plurality of exposed portions 41 of the substrate body 25a where the conductive pattern 25c does not exist are arranged along the annular region. And between each exposed portion 40 of the circuit board 23 and the exposed portion 38 of the housing base frame 24 and between each exposed portion 41 of the top substrate 25 and the exposed portion 39 of the housing base frame 24. Adhesive members 42 and 43 are interposed, and the casing base frame 24, the circuit board 23, and the top board 25 are bonded and fixed by the adhesive members 42 and 43, respectively. In portions other than the exposed portions 41 and 39, the conductive pattern 23b on the upper surface of the circuit board 23, the conductive pattern 25c on the lower surface of the top substrate 25, the conductive pattern 24c on the lower surface of the housing base frame 24, and the conductive pattern 24b on the upper surface Are joined directly, and the top substrate 25 and the housing base frame 24, and the housing base frame 24 and the circuit board 23 are electrically connected.

以上のように構成されたこの実施形態のコンデンサマイクロホン21において、音源からの音波がトップ基板25の音孔28を介して振動膜29に至ると、その振動膜29は音の周波数、振幅及び波形に応じて振動される。そして、振動膜29の振動に伴って、振動膜29とバックプレート31との間隔が設定値から変化し、コンデンサのインピーダンスが変化する。このインピーダンスの変化が、インピーダンス変換回路により電圧信号に変換されて出力される。   In the condenser microphone 21 of this embodiment configured as described above, when a sound wave from a sound source reaches the vibration film 29 through the sound hole 28 of the top substrate 25, the vibration film 29 has a sound frequency, amplitude and waveform. It is vibrated according to. As the vibration film 29 vibrates, the distance between the vibration film 29 and the back plate 31 changes from the set value, and the impedance of the capacitor changes. This change in impedance is converted into a voltage signal by an impedance conversion circuit and output.

さて、上記のように構成されたコンデンサマイクロホン21を、例えば携帯電話の回路基板上にリフロー半田付けによって実装しようすると、高熱が回路基板23やトップ基板25を通じて筐体22内に侵入しようとする。このとき、回路基板23及びトップ基板25に伝わった熱は、それらの基板本体23a,25aに埋設されたメッシュ状の導電層23d,25dによって基板23,25から筐体基枠24の内部への伝達が抑制される。これは、多数の貫通孔23f,25fを有する導電層23d,25dがメッシュ状に形成されるとともに基板本体23a,25aの電気絶縁性樹脂が貫通孔23f,25fに充填されているためであって、これに対し、貫通孔23f,25fを有しない導電層よりも熱伝導性が良くないためである。   When the condenser microphone 21 configured as described above is mounted on a circuit board of a mobile phone by reflow soldering, for example, high heat tends to enter the housing 22 through the circuit board 23 and the top board 25. At this time, the heat transmitted to the circuit board 23 and the top board 25 is transferred from the boards 23 and 25 to the inside of the housing base frame 24 by the mesh-like conductive layers 23d and 25d embedded in the board bodies 23a and 25a. Transmission is suppressed. This is because the conductive layers 23d and 25d having a large number of through holes 23f and 25f are formed in a mesh shape, and the electrically insulating resin of the substrate bodies 23a and 25a is filled in the through holes 23f and 25f. On the other hand, this is because the thermal conductivity is not better than the conductive layer having no through holes 23f and 25f.

このため、バックプレート31のフィルム31bの温度上昇が抑制され、エレクトレット層からのチャージ抜けが防止される。また、スペーサ30やバックプレート31の温度上昇が抑制され、それらの熱膨張率の差に基因するスペーサ30やバックプレート31の変形が抑制される。そして、スペーサ30やバックプレート31の変形に基因する振動膜29の張り具合の狂いや、振動膜29とバックプレート31との間隔の狂いが抑制される。従って、エレクトレット層からのチャージ抜け、振動膜29の張り具合の変化、間隔の狂い等に基因する感度やS/N比等の各種特性の劣化が抑制される。   For this reason, the temperature rise of the film 31b of the back plate 31 is suppressed, and the charge omission from the electret layer is prevented. Moreover, the temperature rise of the spacer 30 or the back plate 31 is suppressed, and the deformation of the spacer 30 or the back plate 31 due to the difference in their thermal expansion coefficients is suppressed. In addition, the deviation of the tension of the vibration film 29 caused by the deformation of the spacer 30 and the back plate 31 and the deviation of the distance between the vibration film 29 and the back plate 31 are suppressed. Therefore, deterioration of various characteristics such as sensitivity and S / N ratio due to missing charge from the electret layer, change in tension of the vibration film 29, gap in spacing, and the like are suppressed.

以上のように構成されたこの実施形態のコンデンサマイクロホン21においては以下の効果がある。
(1) 基板23,25にメッシュ状の導電層23d,25dを埋設するとともに、その貫通孔23f,25f内に電気絶縁性樹脂を充填した。このため、各導電層23d,25dの熱伝導性は、メッシュ状でない導電層の熱伝導性よりも低下する。従って、リフロー半田付け時に筐体22に加わった高い熱が、筐体22内に侵入し難くなる。ゆえに、フィルム31b、スペーサ30、バックプレート31等に熱が加わることに基因する感度やS/N比等の各種特性の悪化を抑制することができる。
The condenser microphone 21 of this embodiment configured as described above has the following effects.
(1) Mesh-like conductive layers 23d and 25d were embedded in the substrates 23 and 25, and electrically insulating resin was filled in the through holes 23f and 25f. For this reason, the thermal conductivity of each of the conductive layers 23d and 25d is lower than the thermal conductivity of the conductive layer that is not mesh-shaped. Accordingly, the high heat applied to the housing 22 during reflow soldering does not easily enter the housing 22. Therefore, deterioration of various characteristics such as sensitivity and S / N ratio due to heat applied to the film 31b, the spacer 30, the back plate 31, and the like can be suppressed.

(2) 基板23,25の導電層23d,25dはスルーホール34,35を介して基板23,25の導電パターン23b,23c、25b,25cに電気接続されている。従って、各導電パターン23b,23c、25b,25cに加えて、各導電層23d,25dによっても筐体22内のコンデンサ部及びインピーダンス変換回路を電磁シールドできる。   (2) The conductive layers 23d and 25d of the substrates 23 and 25 are electrically connected to the conductive patterns 23b, 23c, 25b and 25c of the substrates 23 and 25 through the through holes 34 and 35, respectively. Therefore, in addition to the conductive patterns 23b, 23c, 25b, and 25c, the conductive layers 23d and 25d can also electromagnetically shield the capacitor portion and the impedance conversion circuit in the housing 22.

(第2実施形態)
次に、この発明を、エレクトレット型のコンデンサマイクロホンに具体化した第2実施形態について図4及び図5を用いて説明する。なお、この実施形態は、前記第1実施形態のコンデンサマイクロホン21において、トップ基板25の導電層25dの形態を変更したことのみが異なる。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment in which the present invention is embodied in an electret condenser microphone will be described with reference to FIGS. This embodiment is different from the condenser microphone 21 of the first embodiment only in that the form of the conductive layer 25d of the top substrate 25 is changed.

図4及び図5に示すように、この実施形態の導電層25dは、音孔28に対応する前記孔25eを備えず、音孔28を横切って設けられている。従って、導電層25dは、音孔28の部分において外部へ露出されている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the conductive layer 25 d of this embodiment does not include the hole 25 e corresponding to the sound hole 28 and is provided across the sound hole 28. Therefore, the conductive layer 25d is exposed to the outside at the sound hole 28 portion.

以上のように構成されたこの実施形態のコンデンサマイクロホン21は、第1実施形態のコンデンサマイクロホン21と同様に作動する。
特に、この実施形態は、前記第1実施形態の(1),(2)に記載の効果に加え、以下の効果を有する。
The condenser microphone 21 of this embodiment configured as described above operates in the same manner as the condenser microphone 21 of the first embodiment.
In particular, this embodiment has the following effects in addition to the effects described in (1) and (2) of the first embodiment.

(3) 音孔28内に導電層25dが位置する状態となるため、音孔28を通じて振動膜29側に塵埃等が入ることが防止され、振動膜29の作動状態が塵埃によって妨げられることが防止される。なお、外部からの音は、音孔28部分の貫通孔25fを通って振動膜29に至る。   (3) Since the conductive layer 25d is positioned in the sound hole 28, dust or the like is prevented from entering the vibration film 29 through the sound hole 28, and the operating state of the vibration film 29 is hindered by dust. Is prevented. Note that the sound from the outside reaches the vibration film 29 through the through hole 25f of the sound hole 28 portion.

(4) 音孔28の部分にも導電層25dが設けられているため、電磁シールド性が向上するとともに、音孔28から筐体22内への熱の侵入を抑えることができる。
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
(4) Since the conductive layer 25d is also provided in the sound hole 28, the electromagnetic shielding property can be improved and the heat intrusion from the sound hole 28 into the housing 22 can be suppressed.
In addition, this embodiment can also be changed and embodied as follows.

・ 基板23,25の基板本体23a,25aを、複数の絶縁層と導電層23d,25dとを積層することによって多層に形成するとともに、導電層23d,25dの貫通孔23f,25f内に樹脂を充填することなく空間にする。このように構成すれば、熱伝達をさらに抑制できる。   The substrate bodies 23a and 25a of the substrates 23 and 25 are formed in multiple layers by laminating a plurality of insulating layers and conductive layers 23d and 25d, and resin is put in the through holes 23f and 25f of the conductive layers 23d and 25d. Make space without filling. If comprised in this way, heat transfer can further be suppressed.

・ 基板23,25の導電層23d,25dのうちの一方のみをメッシュ状にする。
・ 基板23,25の導電層23d,25dを2層以上設けた構成において、この発明を具体化すること。
Only one of the conductive layers 23d and 25d of the substrates 23 and 25 is made into a mesh.
The present invention is embodied in a configuration in which two or more conductive layers 23d and 25d of the substrates 23 and 25 are provided.

・ この発明を、バックプレート31にエレクトレット層を設ける代わりに、振動膜29をエレクトレット層としたホイルエレクトレット型のコンデンサマイクロホンの筐体に具体化する。   The present invention is embodied in a case of a foil electret type condenser microphone in which the vibration film 29 is an electret layer instead of providing an electret layer on the back plate 31.

・ この発明を、エレクトレット層が形成されたバックプレート31を設ける代わりに、トップ基板25の下面にエレクトレット層を形成したフロントエレクトレット型のコンデンサマイクロホンの筐体に具体化する。   The present invention is embodied in a case of a front electret condenser microphone in which an electret layer is formed on the lower surface of the top substrate 25 instead of providing the back plate 31 on which the electret layer is formed.

・ この発明を、振動電極板と、この振動電極板に対向配置された固定電極板とを備えたコンデンサ部が、半導体プロセス技術によりシリコン基板上に形成されたMEMS(Micro Electro Mechanical System)型のコンデンサマイクロホンの筐体に具体化する。   The present invention is a MEMS (Micro Electro Mechanical System) type in which a capacitor unit including a vibrating electrode plate and a fixed electrode plate disposed opposite to the vibrating electrode plate is formed on a silicon substrate by a semiconductor process technology. It is embodied in the case of a condenser microphone.

・ この発明を、エレクトレット層を備えず、外部のチャージポンプ回路によってバックプレート31と振動膜29との間に電圧が印可されるチャージポンプ型のコンデンサマイクロホンの筐体に具体化する。   The present invention is embodied in a case of a charge pump type condenser microphone that does not include an electret layer and in which a voltage is applied between the back plate 31 and the vibration film 29 by an external charge pump circuit.

・ この発明を、例えば合成樹脂を射出成形した筐体内にコンデンサ部を構成したコンデンサマイクロホンの筐体に具体化する。
・ この発明を、クリスタル形、圧電形、マグネチック形、炭素形等の各種マイクロホンの筐体に具体化する。
The present invention is embodied in a case of a condenser microphone in which a capacitor portion is formed in a case in which, for example, a synthetic resin is injection-molded.
The present invention is embodied in various microphone housings such as a crystal type, a piezoelectric type, a magnetic type, and a carbon type.

第1実施形態のコンデンサマイクロホンを示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows the condenser microphone of 1st Embodiment. 同じく分解斜視図。Similarly disassembled perspective view. トップ基板の導電層における横断面図。The cross-sectional view in the conductive layer of a top board | substrate. 第2実施形態におけるトップ基板の導電層における横断面図。The cross-sectional view in the conductive layer of the top board | substrate in 2nd Embodiment. コンデンサマイクロホンを示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows a condenser microphone.

符号の説明Explanation of symbols

21…マイクロホンとしてのコンデンサマイクロホン、22…筐体、23…第1基板としての回路基板、23a…絶縁層を構成する基板本体、23d…導電層、24…筐体基枠、25…第2基板としてのトップ基板、25a…絶縁層を構成する基板本体、25d…導電層、26…電気音響変換手段及びインピーダンス変換手段を構成するトランジスタ、27…同じくキャパシタンス、28…音孔、29…電気音響変換手段を構成する振動膜、31…同じくバックプレート、31a…同じく基板、31b…エレクトレット層としてのフィルム、34,35…スルーホール。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Condenser microphone as a microphone, 22 ... Housing | casing, 23 ... Circuit board as 1st board | substrate, 23a ... Substrate main body which comprises an insulating layer, 23d ... Conductive layer, 24 ... Housing base frame, 25 ... 2nd board | substrate As a top substrate, 25a ... substrate body constituting an insulating layer, 25d ... conductive layer, 26 ... transistor constituting electroacoustic conversion means and impedance conversion means, 27 ... capacitance, 28 ... sound hole, 29 ... electroacoustic conversion Vibrating membrane constituting the means, 31 ... same back plate, 31a ... same substrate, 31b ... film as electret layer, 34, 35 ... through hole.

Claims (8)

電気絶縁体よりなり、収容空間を透設した基枠と、その収容空間の開口を閉塞する基板とを備え、収容空間内に電気音響変換手段を収容するようにしたマイクロホンの筐体において、
前記基板を、導電層が絶縁層に埋設されるように、絶縁層と導電層とにより多層に形成するとともに、導電層をメッシュ状に形成したことを特徴とするマイクロホンの筐体。
In a microphone housing that is made of an electrical insulator, includes a base frame that has a transparent accommodation space, and a substrate that closes an opening of the accommodation space, and that accommodates electroacoustic conversion means in the accommodation space.
A microphone housing characterized in that the substrate is formed in multiple layers by an insulating layer and a conductive layer so that the conductive layer is embedded in the insulating layer, and the conductive layer is formed in a mesh shape.
前記導電層の孔内に、絶縁層を構成する樹脂が充填されたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロホンの筐体。   2. The microphone casing according to claim 1, wherein a resin constituting the insulating layer is filled in the hole of the conductive layer. 前記導電層の孔は、空間を構成していることを特徴とする請求項1に記載のマイクロホンの筐体。   The microphone housing according to claim 1, wherein the hole of the conductive layer constitutes a space. 前記導電層を、前記基板のスルーホールと電気接続したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載のマイクロホンの筐体。   The microphone housing according to any one of claims 1 to 3, wherein the conductive layer is electrically connected to a through hole of the substrate. 前記基板は、インピーダンス変換手段のための回路パターンを備え、前記収容空間の一方の開口を閉塞する第1基板と、音孔を備え、収容空間の他方の開口を閉塞する第2基板とよりなり、
前記第1基板及び第2基板の少なくともいずれか一方に前記導電層を設けたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のマイクロホンの筐体。
The substrate includes a circuit pattern for impedance conversion means, and includes a first substrate that closes one opening of the accommodation space, and a second substrate that includes a sound hole and closes the other opening of the accommodation space. ,
The microphone housing according to any one of claims 1 to 4, wherein the conductive layer is provided on at least one of the first substrate and the second substrate.
前記基板は音孔を備え、導電層はその音孔を横切って設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載のマイクロホンの筐体。   The microphone housing according to any one of claims 1 to 5, wherein the substrate includes a sound hole, and the conductive layer is provided across the sound hole. 請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載のマイクロホンの筐体の内部に電気音響変換手段を収容したことを特徴とするマイクロホン。   A microphone characterized in that electroacoustic conversion means is housed inside the microphone casing according to any one of claims 1 to 6. 前記電気音響変換手段は、エレクトレット層を備えたことを特徴とする請求項5に記載のマイクロホン。   The microphone according to claim 5, wherein the electroacoustic conversion means includes an electret layer.
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