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JP2009521842A - 静止画またはビデオ撮影用画像センサ - Google Patents

静止画またはビデオ撮影用画像センサ Download PDF

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JP2009521842A JP2008547316A JP2008547316A JP2009521842A JP 2009521842 A JP2009521842 A JP 2009521842A JP 2008547316 A JP2008547316 A JP 2008547316A JP 2008547316 A JP2008547316 A JP 2008547316A JP 2009521842 A JP2009521842 A JP 2009521842A
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Abstract

画像センサは、複数の垂直CCDと、偶数番目の垂直CCDから電荷パケットを受け取る第1のHCCDと、奇数番目の垂直CCDから電荷パケットを受け取る第2のHCCDとを有し、前記第1のHCCDからの4つの電荷パケットを加算し、前記第1のHCCDにおいて加算された前記4つの電荷パケットの第1の電荷パケットより1つまたは2つの電荷パケット分だけ空間的に後で前記第2のHCCDにおける加算プロセスが始まるように、前記第2のHCCDにおいて4つの電荷パケットを加算する。

Description

本発明は画像センサの分野に関し、具体的には、画像センサの配列全体をサンプリングしてすべての画素値を所定の方法で加算することによる、少なくとも毎秒30フレームを撮れる画像センサに関する。
図1を参照するに、インターラインCCD(interline charge coupled device)画像センサ10はフォトダイオード20の配列よりなる。フォトダイオードはカラーフィルタに覆われ、光の波長の狭い帯域でしかフォトダイオードに電荷が発生しないようになっている。図2を参照するに、一般的に画像センサは、図2に示したように、2×2の副配列(sub array)としてフォトダイオード上に構成された3種類以上の異なるカラーフィルタのパターンを有する。一般的な説明として、2×2の配列が4色A、B、C及びDを有すると仮定する。デジタルカメラで使用される最も一般的なカラーフィルタのパターンはバイエルパターンであり、バイエルパターンの場合、Aは赤、BとCは緑、Dは青である。
図1に戻り、光生成(photo-generated)電荷の画像読み出しは、フォトダイオードの電荷の一部または全部の垂直CCD(VCCD)30への転送により始まる。プログレッシブスキャンCCDの場合、すべてのフォトダイオードは電荷を同時にVCCD30に転送する。2フィールドインターレースCCDの場合には、最初、第1のフィールド画像読み出しとして、偶数番目の行のフォトダイオードが電荷をVCCD30に転送し、次に、第2のフィールド画像読み出しとして、奇数番目の行のフォトダイオードが電荷をVCCD30に転送する。インターレースCCDは2フィールド読み出しに限らない。4以上のインターレースフィールドもよく使われている。
VCCD30内の電荷の読み出しは、水平CCD(HCCD)40に、一度に一行ずつ並行してすべての列(columns)を転送することにより行われる。次に、HCCD40は電荷を出力アンプ50に順次転送する。
図1は24画素のみの配列を示している。多くの静止画撮影用デジタルカメラは数百万画素を有する画像センサを使用している。1,000万画素の画像センサは、40MHzのデータレートで読み出しを行うのに少なくとも1/3秒を要する。これでは、同じカメラをビデオ録画用に使用することはできない。ビデオレコーダは画像の読み出しを1/30秒で行う必要がある。本発明が解決する問題は、100万画素以上の画像センサを、高画質デジタルカメラと毎秒30フレームのビデオカメラの両方で以下に使用するかということである。
先行技術は、低い解像度でビデオ画像を撮ることによりこの問題を解決している。例えば、特許文献1に記載されているように、米国特許3200×2400画素の画像センサを5画素おきに読み出す。この方法は、サブサンプリングと呼ばれることが多いが、間引きモードやスキップモードとも呼ばれることがある。画像を1/5にサブサンプリングすることにより、フォトダイオードの4%しか使用されないという不利益が生じる。サブサンプリングされた画像では、感度の低下やエイリアスアーティファクト(alias artifacts)が生じる。画像センサ上に結像された細い線がサンプリングされない画素上にしかないとき、その線はビデオ画像では再生されない。特許文献2、3には別のサブサンプリング方式が記載されている。
先行技術では、特許文献4または特許文献5を含め、このサブサンプリングの問題を画素を加算することにより解決しようとしている。しかし、この先行技術でも一部の画素はサンプリングされずに残ってしまう。
特許文献6は、サブサンプリングせずに画素を加算することにより、フレームレートを高くしている。しかし、2フィールドのインターレース読み出しを必要とする。プログレッシブスキャンで読み出したビデオ画像を取得することが望ましい。インターレースビデオが2つのフィールドを取得する時点は異なる。画像中の動いている物体は、各インターレースフィールドを取得したとき、違った場所に現れる。
先行技術の別の問題点は、垂直方向の画像解像度のみが低下することである。水平方向では、HCCDはすべての画素を読み出さねばならない。画像センサが非常に大きい(800万画素以上)場合、垂直方向においてサブサンプリングその他の方法により画像の解像度を低下させるだけでは、フレームレートを毎秒30フレームに上げることはできない。
特許文献7は画像読み出しをさらに速くするために、垂直及び水平方向の画像解像度を低下させている。しかし、この先行技術はストライプ状カラーフィルタパターン(3×1カラーフィルタ配列)を必要とするが、このストライプ状カラーフィルタパターンは、バイエルすなわち2×2カラーフィルタ配列パターンよりも性能が劣っていると一般的に考えられている。
特許文献8は、2n+1画素の四角形中の画素グループを加算することによりサブサンプリングの問題を解決している。これは、奇数個の画素の画素副配列を加算する手段を提供するだけである。また、特許文献8は、複数の水平CCDを使用して最大解像度(full resolution)での画像読み出しをより速くすることは開示していない。本発明は、複数の水平CCDで偶数番目の画素グループを加算する手段を開示する。
特許文献9は、複数の水平CCDで画素副配列を加算する手段を提供している。しかし、その水平CCDアーキテクチャでは、1つの水平CCD中の電荷パケットを第2の水平CCDとは独立にシフトして、加算された画素パターンがバイエルカラーフィルタパターンと厳密に一致するように画素を正しく加算する手段を提供しない。この欠点は、すべての水平CCDレジスタに共通な2つだけの水平CCD制御ゲートを使用することに起因している。特許文献10は、画素副配列を加算するときに、水平CCDクロックサイクルの総数を1/2に低減する手段も提供していない。そのため、本発明と比較してフレームレートは1/2に低下する。
米国特許第6,342,921号 米国特許5,668,597号 米国特許5,828,406号 米国特許第6,661,451号 米国特許出願公開第2002/0135689A1号公報 米国特許出願公開第2001/0010554A1号公報 米国特許出願公開第2003/0067550A1号公報 米国特許出願公開第2004/0150733A1号公報 米国特許出願公開第2005/0259171A1号公報 米国特許出願公開第2005/0259171A1号公報
先行技術の欠点を考慮して、2×2カラーフィルタパターンを有する100万画素画像センサから毎秒30フレームを生成することができ、画素配列を100%サンプリングし、ビデオ画像をプログレッシブスキャン(非インターレース)で読み出し、バイエルカラーフィルタパターンに厳密に一致する新しい加算画素配列を生成し、標準のバイエルカラーフィルタパターン補間とビデオ圧縮ハードウェアを使用できる発明が望ましい。
本発明は上記の問題の少なくとも一部を解消することを目的とする。概略的には、本発明の一態様による画像センサは、
(a)複数の垂直電荷結合素子と、
(b)偶数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第1の水平電荷結合素子と、
(c)奇数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第2の水平電荷結合素子とを有し、
前記第1の水平電荷結合素子からの4つの電荷パケットを加算し、前記第1の水平電荷結合素子において加算された前記4つの電荷パケットのうちの第1の電荷パケットより1つまたは2つの電荷パケット分だけ空間的に後で前記第2の水平電荷結合素子における加算プロセスが始まるように、前記第2の水平電荷結合素子において4つの電荷パケットを加算する。
本発明の上記その他の目的は、以下の説明と図面を参照すればより明らかになるであろう。図面においては、複数の図で共通な同一要素には出来る限り同一の参照数字を使用した。
本発明の上記その他の態様、目的、特徴、有利性は、添付した図面を参照して、好ましい実施形態の詳細な説明と特許請求の範囲を読めばより明らかに理解できるであろう。
本発明は、画素配列全体をサンプリングしつつビデオのための毎秒30フレームを生成する有利性を有する。
発明の詳細な説明
図3Aと図3Bを参照するに、本発明の画像センサ100を示している。図を明りょうにするため、画像センサ100の画素配列の一部のみを示した。画素センサ100は、フォトダイオード120の配列よりなり、フォトダイオード120の列(columns)の間にはVCCD130がある。フォトダイオード配列の全体にわたり2×2配列の繰り返しのカラーフィルタがある。4種類のカラーフィルタA、B、C及びDは相異なる3つまたは4つの色である。この色は一般的にはAが赤、BとCが緑、Dが青であるが、これに限らない。他によく使われる色としては、シアン、マゼンタ、黄色または白のフィルタがある。
手短に図4を参照するに、1つの画素を示した。VCCD130はインターレースされた4相型であり、1つのフォトダイオード120につき2つの制御ゲート電極132、134がある。
図3Aに戻り、フォトダイオード120に格納された画像の最高解像度(full resolution)読み出しは、インターレースされた画像センサ100の場合次のように行われる。最初に、ライン1と示したすべてのラインよりなるフィールド1の電荷が、フォトダイオード120から隣接するVCCD130に転送される。VCCD130は色AとCを含むラインからの電荷のみを受け取る。本技術分野で周知なように、電荷は、VCCD130に入ると、シリアルHCCD(図示せず)に向けて並行して転送され、次に、出力アンプ(図示せず)に転送される。次に、図3Bにおいて、色AとCからのすべての信号がVCCD130に転送された後、残りのライン2のフォトダイオード120中の電荷がVCCD130に転送される。これは色BとDのみを含むフィールド2である。画像は2つのフィールドで読み出されるので、外部のシャッタを使用して光をブロックし、第1のフィールドが読み出されている間に第2のフィールドに信号が蓄積することを防止する。画像センサが3つ以上のインターレースされたフィールドに分割されていても、同様の読み出しシーケンスが行われる。
センサがデジタルカメラにインストールされ、ビデオモードで使用されるとき、外部シャッタはオープンにして画像センサ100を連続的に動作させる。ほとんどのアプリケーションでは、ビデオは少なくとも毎秒10フレームのフレームレートであり、最も好ましいフレームレートは毎秒30フレームである。現在、一般的に画像センサは、50MHz未満のデータレート及び1つまたは2つの出力アンプで毎秒30フレームでの最高解像度画像の読み出しが不可能であるくらい解像度が高い。本発明のソリューションは、画像センサ内の画素を加算して、ビデオレートの画像取得ができる解像度まで画素数を下げる。
本発明の好ましい実施形態では、CCDシフトレジスタ内の4×4の画素副配列を加算して、1つの色の16画素の和を表す電荷パケットを形成する。図5は、画像センサ画素配列100の一部を示す図である。加算されるフォトダイオード120だけを色A、B、CまたはDで示した。この加算構成は画像センサ全体の画素配列にわたり繰り返され、画像センサ中のすべての画素を含む。
加算プロセスの第1のステップを図6に示す。1つの色の電荷の4つのラインが加算される。図6は、繰り返される画像センサ100の8つのラインを示す。第1のフォトダイオード120の電荷は、ライン2と7上のVCCD130に転送される。これは違う色の電荷パケットを混じらせずに行われる。次に、2つのラインはそれぞれライン8と5と揃うまで(align)シフトダウンされる。次のフォトダイオード120の電荷がライン8と5から転送され、ライン2と7から来た同じ色の電荷と加算される。次に、加算された電荷パケットはもう2ライン分シフトダウンされ、それぞれライン6と3と揃い、電荷パケットがライン6と3からVCCD130に加算される。次に、加算された電荷パケットはもう2ライン分シフトダウンされ、それぞれライン4と1と揃い、電荷パケットがライン4と1からVCCD130に加算される。ここで、VCCD130は、列131あたり、図7に示したように、フォトダイオード120の電荷の4つのラインの和よりなる、2色の電荷パケットを含む。
図8は、VCCD130ゲートV1乃至V16を有する、異なる形体の画像センサ画素配列100を示す図である。1ラインあたり2つのゲートがあり、画素配列のうちの4つの列のみを示した。電荷の4ラインの加算を行う制御電圧と時間の関係を図9に示した。
加算プロセスは4つ以上のラインに容易に拡張することができる。図6に示した加算した電荷のラインをもう2行下に転送する;別の電荷のラインがもう2回加算され、合計は6ライン分の電荷となる。これは任意の偶数ライン2n+2(n=1、2、3、4、・・・)に拡張することができる。加算プロセスの開始点は、違う色の和の中心が離れるように、各列(column)の2つの色の間でオフセットされる。
ここまでは、本発明は、電荷パケットの4つのラインをいかに加算してフレームレートを4倍またはそれ以上に上げるかを開示した。10メガ画素またはそれ以上の画素配列は、1秒当たり30フレームを実現するために、フレームレートを少なくとも8倍上げる必要がある。画像読み出しを速くするソリューションは、HCCDにおいても電荷パケットを加算して、最大解像度モードで動作したときの半分のクロックサイクル数で、水平電荷加算モードにおいて電荷パケットをクロックアウト(clock out)できるHCCDを使用する。
図10を参照するに、周知の先行技術によるHCCDを示した。このHCCDは1列あたり4つの制御ゲートを利用する擬似2相CCDである。2つのゲートの各ペアH1、H2、H3は結線されており、2つのゲートの一方の下にはチャネルポテンシャルインプラントアジャストメント(channel potential implant adjustment)380がある。チャネルポテンシャルインプラントアジャストメント380はHCCD中の電荷転送の方向を制御する。電荷はVCCDから一度に1ラインずつ転送され、HCCDのH2ゲートの下に来る。図10は、図1に示した色AとCを含むラインからの電荷パケットを示している。この電荷パケットは、図11のクロック信号を印加することにより、時間ステップT0、T1及びT2で、HCCD中を1行(row)ずつ順次進んでいく。
米国特許第6,462,779号には、HCCD中の2つの画素を加算して、HCCDクロックサイクルの総数を半分に減らす方法が記載されている。これを図12に示したこの方法はすべての画素が1色であるリニア画像センサ用に設計されている。図2の2×2カラーパターンを利用する2次元配列では、各ラインは2色以上である。このため、図12では、色AとCを含むラインをHCCDに転送し、図13のタイミングのクロックを供給すると、色AとCが加算される。そうすると、色情報と画像が崩れる。
図14に示した本発明は、HCCDにおいて画素を加算するとき、色がまざるのを回避する方法を提供する。本発明は、4つの色A、B、C及びDの2×2カラーフィルタパターンにより覆われたフォトダイオード430の配列よりなる。フォトダイオード430からの電荷パケットは、上記の通り、4ライン加算により、VCCD420中で垂直に転送され加算される。4ライン加算の結果を図14に示した。第1のHCCD400と第2のHCCD410が画素配列の下にある。第1のHCCD400から第2のHCCD410に電荷パケットを転送するために、1列おきに転送チャネル460がある。各HCCDの終わりに、後段での処理のために電荷パケットを電圧に変換する出力アンプ440と450がある。
図15a乃至図15dは、HCCDにより1ラインを読み出す電荷転送シーケンスを示している。最初に、図15aにおいて、色AとCを含む1ラインが第1のHCCD400に転送され、図15bに示したようになる。電荷パケットは、色に対応する文字と、その電荷パケットが由来する列に対応する添字とにより示されている(label)。図15cにおいて、偶数番の列からの電荷パケットのみが転送ゲート460を通って第2のHCCD410に送られる。図15dにおいて、第2のHCCD410中の電荷パケットを1列だけ進め、第1のHCCD400中の電荷パケットと揃える。各HCCDを読み出すのに必要なクロックサイクル数は、HCCD中の列数の半分である。第2のHCCD410を追加することにより、読み出し時間が半分に減少する。最も重要なことは、各HCCDが1種類の色しか含まないことである。
2つの電荷パケットは、図16a乃至図16dに示したように、各HCCD400と410で水平に加算される。この加算は違う色の電荷パケットを混じらせずに行われる。特に興味深いのは、図16bと図16cであり、HCCD410中の電荷がHCCD400中の電荷より2列先に進んでいる。これにより、列1と列3の和が列4と列6の和と揃う(align)。ここで、これらの電荷パケットが、出力アンプの浮遊拡散の次の電荷パケット(のセット)と加算されると、HCCD400からの4列の和1+3+5+7と、HCCD410からの4列の和4+6+8+10となる。この加算プロセスにより、図17に示したように加算画素の中心のスペーシング(spacing)がよくなる。図18は、図16bと図16cに示したHCCDの列シフトが余分に行われなければ、加算画素の中心が正しく分離されないことを示している。
2つの画素の加算により、各HCCD400と410から読み出す電荷パケットの数は1/2に減少する。このHCCDのデザインにより、全体的な速さは4倍になる。上記の4ライン加算と組み合わせると、ビデオモードの場合にフレームレートが8倍から16倍に高くなる。これにより、数百万画素の画像センサ中のすべての画素を毎秒30フレームのフレームレートでサンプリングすることが十分にできる。
図19はHCCDの構造を詳細に示した図である。第1のHCCD400と第2のHCCD410が、p型ウェルまたは基板540中のn型埋設チャネルCCD520の上に形成されている。図19の上部には、第1のHCCD400の横から見た断面K−Mを示した。7つのワイヤがあり、制御電圧をHCCDゲートH1乃至H4に供給している。別のワイヤTGは2つのHCCD400と410の間の転送ゲートを制御する。ゲート電極は一般的には少なくとも2つのレベルのポリシリコン材料であるが、これには限定されない。使用する製造プロセスの制限によりポリシリコンの第1または第2のレベルが使用できなければ、転送ゲートには第3のレベルのポリシリコンを使用してもよい。転送ゲート領域の埋設チャネルにインプラント(implants)を注意深く使用し、ゲート電圧を少し変更すれば、転送ゲートはまったく省略することができる。転送ゲートの構造そのものは、本発明の機能にとっては重要ではない。
第1のHCCDから第2のHCCDへの電荷の転送のために、図19のHCCDに印加されるクロック電圧を図20に示した。図20の時間T1において、ゲートH1、H3、H4はロー(low)であり、VCCD400から電荷を受け取る。ゲートH2とTGはハイ(high)であり、第1のHCCD400から転送ゲートTGを介して第2のHCCD410に電荷が流れる。転送ゲートTGと揃っていない(aligned)列からの電荷はゲートH3とH4に残る。時間T3において、ゲートH3とH4にはゲートH1とH2とは反対のクロックが供給され、電荷を両方のHCCDを通って、各HCCDの終わりにある出力アンプに向けて順次進める。
以下に、静止画撮影用の最大解像度モード(full resolution mode)でのHCCDの読み出しを説明する。図21は、第1のHCCD400の電荷転送シーケンスを示し、図22は、第2のHCCD410の電荷転送シーケンスを示す。電荷パケットの色に対応する文字A、B、CまたはDにより電荷パケットを識別する。電荷パケットラベルの添字はその電荷パケットの列番号に対応する。各時間ステップのクロック電圧を図23に示した。各HCCDは2つの電圧HとLの間で擬似2相CCDとしてクロックを供給される。転送ゲートTGはオフ状態(L)にされ、2つのHCCD間の電荷の混じり(mixing)を防止する。
ビデオモードでは、第1のHCCD400の場合は図24に示したように、または第2のHCCD410の場合は図25に示したように2つの電荷パケットが加算される。第1のHCCDは色Aの画素からの電荷パケットのみを含み、第2のHCCDは色Cの画素からの電荷パケットのみを含む点に留意せよ。図26はゲート電圧クロック供給シーケンスを示している。ゲートH1とH2はHとLのほぼ中間の電圧で一定になっている。ビデオモードでは電圧HとLは、最大解像度の静止画撮影の場合に使用する電圧を同じでなくてもよい。ゲートH3とH4のみが相補的にクロック供給される。図25から分かるように、1つのクロックサイクルで電荷パケットがHCCD中の4つの列だけ進む。これにより、ビデオモードにおける速さが4倍になる。このクロック供給方式により2つの電荷パケットが加算される。別の2つの電荷パケットを加算して4列の合計とすることが望ましい。これは、図27に示した各HCCDの出力アンプ521で行われる。1つおきのHCCDクロックサイクルで浮遊拡散523をリセットするリセットゲート522があり、HCCDからの2つの電荷パケットを浮遊拡散523に転送する。
多数のフォトダイオード電荷が加算されるので、VCCDまたはHCCD中の電荷が多すぎてブルーミング(blooming)を生じる可能性がある。VCCDとHCCDは簡単にあふれてしまう。よく知られているように、垂直オーバーフロードレイン型のフォトダイオードの電荷量は、画像センサ基板に印加される電圧により一定に保たれる。この電圧を調節して、VCCDまたはHCCDがあふれることを防止するレベルにフォトダイオードの電荷キャパシティを下げる。これは、画素を加算することなくても通常使用されている手順とまったく同じである。
図28は、上記の通り、ビデオと高解像度静止画撮影が可能な本発明の画像センサ600を含む電子カメラ610を示す図である。ビデオモードでは、すべての画素が100パーセントサンプリングされる。
VCCD電荷キャパシティはVCCDゲートクロック電圧の振幅により制御される。本発明では、HCCD中の電荷を加算するので、VCCDは、出力アンプで全信号を発生するために、全部の電荷パケットを含む必要はない。HCCDが2つの電荷パケットを加算する場合、VCCDクロック電圧の振幅を下げて、VCCD電荷キャパシティを1/2に下げることができる。VCCDクロック電圧を下げる利点は、ビデオモードでの消費電力が低下することである。消費電力は電圧の2乗で変化する。よって、カメラは静止画撮影モードで動作しているとき、VCCDクロック電圧を高くし、ビデオモードで動作しているとき、VCCDクロック電圧を低くする。
本発明には他にも実施形態がある。図26は、3つのHCCDクロック電圧が必要であることを示している。別の実施形態では、2つのHCCDクロック電圧のみを必要とするHCCDクロックを供給する。HCCDのデザインとゲートレイアウトは図19と同じである。電荷の流れと新しいクロック供給シーケンスを図29から図33に示した。このシーケンスのタイミング図を図33に示した。図33の時間T0は図29に対応する。クロック供給シーケンスのこの時点において、1列の電荷がVCCDから2つのHCCD400及び410に転送される。各HCCDごとに1色である。図33の次の時間ステップT1は図30に対応する。同じ色の隣接する2つの電荷パケットが各HCCDで加算されている。画像センサのフレームレートを高くするため、2行の電荷をVCCDからデュアルHCCDに一致させる必要がある。このため、図31に対応する図33の次の時間ステップT2では、HCCD410において電荷パケットを2列シフトして、空の電荷パケットをHCCD400の電荷パケットの下に配置する。次に、HCCD400の電荷パケットをHCCD400からHCCD410の空の電荷パケットに転送ゲート460を通して転送する。図31において、VCCDから1ラインの電荷すべてがHCCD410に入る。VCCDの次の電荷の行をHCCD400内に完全に入れなければならない。図32に対応する図33の時間ステップT3において、隣接する列の相異なる2つの色をHCCD400で加算する。
相異なる2つの色を加算したが、フォイルカラー(foil color)画像を再構成することは可能である。例えば、カラーパターンはAが緑、Bが赤、Cが青、Dが緑であるとする。これはバイエル(Bayer)カラーフィルタパターンである。HCCD410は青と緑を別々に含んでいる。HCCD400は赤と緑の和であり、黄色になる。最終的に必要な赤・緑・青の画像のうち赤の成分だけが欠けている。画像処理で「黄色−緑」を計算すると赤の成分を回復できる。
Aが緑、Bが青、Cが赤、Dが緑であるバイエルパターンでは、HCCD410には赤と緑が別々に含まれる結果となる。HCCD400には青+緑の和が含まれ、これはシアンである。最終的に必要な赤・緑・青の画像のうち青の成分だけが欠けている。画像処理で「シアン−緑」を計算すると青の成分を回復できる。
本発明の第2の実施形態をVCCDにおける加算パターン演算と組み合わせてもよい。第2の実施形態と使用するVCCD加算演算では、偶数または奇数番目の和に限らずに1つ以上の画素を加算してもよい。
先行技術の画像センサを示す図である。 画像センサ用の一般的なカラーフィルタを示す図である。 最高解像度読み出しの場合の本発明の画像センサにおける電荷の流れを示す図である。 最高解像度読み出しの場合の本発明の画像センサにおける電荷の流れを示す図である。 VCCDを含む画素の詳細を示す図である。 加算される4色の4×4画素副配列を示す図である。 電荷の4つの行を加算するプロセスを示す図である。 図6において、4つの行を加算するプロセスが完了した後の状態を示す図である。 8ライン反復VCCDゲート構造の詳細を示す図である。 4行加算プロセスの場合の16VCCDゲートのタイミング図である。 擬似2相HCCDの先行技術を示す図である。 図10に示した先行技術によるタイミング図である。 先行技術の2倍速HCCDを示す図である。 図12に示した先行技術によるタイミング図である。 デュアル出力HCCDを示す図である。 最高解像度画像を読み出す場合の電荷の流れを示す図である。 最高解像度画像を読み出す場合の電荷の流れを示す図である。 最高解像度画像を読み出す場合の電荷の流れを示す図である。 最高解像度画像を読み出す場合の電荷の流れを示す図である。 デュアル出力2倍速HCCDの場合に同じ色の2つの電荷パケットを加算する場合の電荷の流れを示す図である。 デュアル出力2倍速HCCDの場合に同じ色の2つの電荷パケットを加算する場合の電荷の流れを示す図である。 デュアル出力2倍速HCCDの場合に同じ色の2つの電荷パケットを加算する場合の電荷の流れを示す図である。 デュアル出力2倍速HCCDの場合に同じ色の2つの電荷パケットを加算する場合の電荷の流れを示す図である。 同じ色の列の好ましい加算を示す図である。 同じ色の列の不利な加算を示す図である。 デュアル出力2倍速HCCDゲート電極の詳細を示す図である。 図16a−16dの場合のタイミング図である。 図19に示したHCCD400の断面KMを示す図である。 図19に示したHCCD410の断面RSを示す図である。 図21と図22の場合のタイミング図である。 2倍速モードで動作する図19に示したHCCD400の断面KMを示す図である。 2倍速モードで動作する図19に示したHCCD410の断面RSを示す図である。 図24と図25の場合のタイミング図である。 各HCCDの浮遊拡散出力における電荷パケットの加算を示す図である。 本発明の画像センサを利用したカメラを示す図である。 図32の時間ステップT0における電荷パケットの位置を示す図である。 図32の時間ステップT1における電荷パケットの位置を示す図である。 図32の時間ステップT2における電荷パケットの位置を示す図である。 図32の時間ステップT3における電荷パケットの位置を示す図である。 本発明の第2の実施形態の場合のタイミング図である。
符号の説明
10 画像センサ(CCD)
20 フォトダイオード
30 垂直CCD(VCCD)
40 水平CCD(HCCD)
50 出力アンプ
100 画像センサ
120 フォトダイオード
130 垂直CCD(VCCD)
131 1列につき2色
132 制御ゲート電極
134 制御ゲート電極
380 チャネルポテンシャルインプラントアジャストメント
400 第1のHCCD
410 第2のHCCD
420 垂直CCD(VCCD)
430 フォトダイオード
440 出力アンプ
450 出力アンプ
460 転送チャネル/ゲート
520 n型埋設チャネルCCD
521 出力アンプ
522 リセットゲート
523 浮遊拡散
540 p型ウェルまたは基板
600 画像センサ
610 電子カメラ

Claims (12)

  1. (a)複数の垂直電荷結合素子と、
    (b)偶数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第1の水平電荷結合素子と、
    (c)奇数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第2の水平電荷結合素子とを有し、
    前記第1の水平電荷結合素子からの4つの電荷パケットを加算し、前記第1の水平電荷結合素子において加算された前記4つの電荷パケットのうちの第1の電荷パケットより1つまたは2つの電荷パケット分だけ空間的に後で前記第2の水平電荷結合素子における加算プロセスが始まるように、前記第2の水平電荷結合素子において4つの電荷パケットを加算する画像センサ。
  2. 加算せずに、前記第1と第2の水平電荷結合素子からすべての電荷パケットを読み出す非加算モードをさらに有する、請求項1に記載の画像センサ。
  3. 前記加算プロセスは、前記第1と第2の水平電荷結合素子の出力アンプセンスノードで行われる、請求項1に記載の画像センサ。
  4. 前記加算プロセスは、前記第1と第2の水平電荷結合素子内で行われる、請求項1に記載の画像センサ。
  5. (a)複数の垂直電荷結合素子と、
    (b)偶数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第1の水平電荷結合素子と、
    (c)奇数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第2の水平電荷結合素子とを有し、
    前記2つの水平電荷結合素子の間で電荷を加算せずに2つの電荷パケットが前記第1と第2の水平電荷結合素子内で加算されるように、電荷パケットの第1のラインを前記第1と第2の水平電荷結合素子に転送し、前記第1の水平電荷結合素子の加算された電荷パケットを前記第2の水平電荷結合素子に転送し、隣接する偶数番目と奇数番目の水平電荷結合素子からの電荷パケットが前記第1の水平電荷結合素子内で加算されるように、電荷パケットの第2のラインを前記垂直電荷結合素子から前記第1の水平電荷結合素子に転送する画像センサ。
  6. 加算せずに、前記第1と第2の水平電荷結合素子からすべての電荷パケットを読み出す非加算モードをさらに有する、請求項5に記載の画像センサ。
  7. (a)複数の垂直電荷結合素子と、
    (b)偶数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第1の水平電荷結合素子と、
    (c)奇数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第2の水平電荷結合素子とを有し、
    前記第1の水平電荷結合素子からの4つの電荷パケットを加算し、前記第1の水平電荷結合素子において加算された前記4つの電荷パケットのうちの第1の電荷パケットより1つまたは2つの電荷パケット分だけ空間的に後で前記第2の水平電荷結合素子における加算プロセスが始まるように、前記第2の水平電荷結合素子において4つの電荷パケットを加算する画像センサを有するカメラ。
  8. 加算せずに、前記第1と第2の水平電荷結合素子からすべての電荷パケットを読み出す非加算モードをさらに有する、請求項7に記載のカメラ。
  9. 前記加算プロセスは、前記第1と第2の水平電荷結合素子の出力アンプセンスノードで行われる、請求項7に記載のカメラ。
  10. 前記加算プロセスは、前記第1と第2の水平電荷結合素子内で行われる、請求項7に記載のカメラ。
  11. (a)複数の垂直電荷結合素子と、
    (b)偶数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第1の水平電荷結合素子と、
    (c)奇数番目の垂直電荷結合素子から電荷パケットを受け取る第2の水平電荷結合素子とを有し、
    前記2つの水平電荷結合素子の間で電荷を加算せずに2つの電荷パケットが前記第1と第2の水平電荷結合素子内で加算されるように、電荷パケットの第1のラインを前記第1と第2の水平電荷結合素子に転送し、前記第1の水平電荷結合素子の加算された電荷パケットを前記第2の水平電荷結合素子に転送し、隣接する偶数番目と奇数番目の水平電荷結合素子からの電荷パケットが前記第1の水平電荷結合素子内で加算されるように、電荷パケットの第2のラインを前記垂直電荷結合素子から前記第1の水平電荷結合素子に転送する画像センサを有するカメラ。
  12. 加算せずに、前記第1と第2の水平電荷結合素子からすべての電荷パケットを読み出す非加算モードをさらに有する、請求項11に記載の画像センサ。
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