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JP2011205424A - Mounting structure for electronic component - Google Patents

Mounting structure for electronic component Download PDF

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JP2011205424A
JP2011205424A JP2010071040A JP2010071040A JP2011205424A JP 2011205424 A JP2011205424 A JP 2011205424A JP 2010071040 A JP2010071040 A JP 2010071040A JP 2010071040 A JP2010071040 A JP 2010071040A JP 2011205424 A JP2011205424 A JP 2011205424A
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JP
Japan
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electronic component
resin
coating film
mounting structure
component mounting
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Application number
JP2010071040A
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Japanese (ja)
Inventor
Yukihiro Hashi
幸弘 橋
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Abstract

【課題】アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能な、電子部品の実装構造体、及び電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】接続電極33,34を有する基材3に電子部品1が実装された電子部品1の実装構造体2である。電子部品1は、所定の機能を有する機能片11と、機能片11に電気的に接続される導電部を含む被覆膜25,26により表面が覆われてなる樹脂突起部24と、樹脂突起の一部が露出した樹脂露出部27,28を有する。樹脂露出部27,28は、被覆膜25,26における導電部を接続電極33,34に導電接触させた状態で電子部品1を基材3に保持する。
【選択図】図2
An electronic component mounting structure and a method for manufacturing the electronic component are provided that can prevent the deterioration of the electronic component characteristics by preventing the influence of outgas.
A mounting structure 2 of an electronic component 1 in which the electronic component 1 is mounted on a base material 3 having connection electrodes 33 and 34. The electronic component 1 includes a functional piece 11 having a predetermined function, a resin protruding portion 24 whose surface is covered with coating films 25 and 26 including a conductive portion electrically connected to the functional piece 11, and a resin protruding portion The resin exposed portions 27 and 28 are partially exposed. The resin exposed portions 27 and 28 hold the electronic component 1 on the base material 3 in a state where the conductive portions in the coating films 25 and 26 are in conductive contact with the connection electrodes 33 and 34.
[Selection] Figure 2

Description

本発明は、電子部品の実装構造体に関するものである。   The present invention relates to an electronic component mounting structure.

例えば、水晶振動子等の機能片を含む電子部品は、水晶振動子に設けられた励振電極と水晶振動子を駆動する駆動回路に接続するための接続電極がハンダ等の導電ペーストにより導電接触した状態で固定される(例えば、特許文献1参照)。このような導電ペーストを用いる場合、例えば落下衝撃などの衝撃が加わった際、水晶振動子と接続電極との接続部が破損するおそれがあり、接続信頼性を低下させる要因となっていた。   For example, in an electronic component including a functional piece such as a crystal resonator, an excitation electrode provided on the crystal resonator and a connection electrode for connecting to a drive circuit that drives the crystal resonator are in conductive contact with a conductive paste such as solder. It is fixed in a state (see, for example, Patent Document 1). When such a conductive paste is used, for example, when an impact such as a drop impact is applied, the connection portion between the crystal resonator and the connection electrode may be damaged, which is a factor of reducing connection reliability.

特開平11−261360号公報JP-A-11-261360

そこで、弾性を有するコア部と、コア部の表面に設けられた導電膜と、から構成されるバンプ電極を上記励振電極に設け、接着材を介してバンプ電極と接続電極とを導電接触させる電子部品の実装構造も考えられる。しかしながら、このようなバンプ電極を採用する場合においては、接着材から発生したアウトガスにより水晶振動子の振動特性を変化させ、信頼性を低下させる虞がある。   Therefore, the bump electrode composed of the elastic core portion and the conductive film provided on the surface of the core portion is provided on the excitation electrode, and the bump electrode and the connection electrode are electrically conductively contacted through the adhesive. A component mounting structure is also conceivable. However, when such a bump electrode is employed, there is a possibility that the vibration characteristics of the crystal resonator are changed by the outgas generated from the adhesive, and the reliability is lowered.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能な、電子部品の実装構造体を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an electronic component mounting structure that can prevent deterioration of electronic component characteristics by preventing the influence of outgas.

上記課題を解決するために、本発明の電子部品の実装構造体は、接続電極を有する基材に電子部品を実装する電子部品の実装構造体であって、前記電子部品は、所定の機能を有する機能片と、前記機能片に電気的に接続される導電部を含む被覆膜により表面が覆われ、且つ外周部を除く少なくとも一部が前記被覆膜より露出し、少なくとも表面に接着機能を有する樹脂露出部を含む樹脂突起部と、を有しており、前記被覆膜を前記接続電極に導通接触させ、且つ前記基材の一部に前記樹脂露出部を接触させた状態に前記電子部品を前記基材に実装することを特徴とする。   In order to solve the above problems, an electronic component mounting structure according to the present invention is an electronic component mounting structure in which an electronic component is mounted on a substrate having a connection electrode, and the electronic component has a predetermined function. And the surface is covered with a coating film including a functional piece having a conductive portion electrically connected to the functional piece, and at least a portion excluding the outer peripheral portion is exposed from the coating film, and at least a bonding function is provided on the surface. A resin protrusion including a resin exposed portion, and the coating film is in conductive contact with the connection electrode, and the resin exposed portion is in contact with a part of the substrate. An electronic component is mounted on the substrate.

本発明の電子部品の実装構造体によれば、被覆膜により覆われた樹脂突起部を電気的接点に用いるとともに、樹脂露出部を接着材として機能させることで良好な導通状態を保持するとともに電子部品を基材上に実装した構造体が得られる。ここで、樹脂露出部を除く樹脂突起部は被覆膜に覆われているため、樹脂から発生するアウトガスの影響を防止できる。また、樹脂露出部は被覆膜および基材の接続電極により周囲が囲まれることで、密閉状態とされる。これにより、樹脂露出部から発生するアウトガスの影響を防止できる。よって、アウトガスに起因する電子部品の特性の低下を防止することができる。また、樹脂突起部は弾性を有しているため、外部からの衝撃が加わった場合でも導通部への付加を低減することができ、優れた導通信頼性を得ることができる。   According to the electronic component mounting structure of the present invention, the resin protrusion covered with the coating film is used as an electrical contact, and the resin exposed portion functions as an adhesive to maintain a good conduction state. A structure in which an electronic component is mounted on a substrate is obtained. Here, since the resin protrusion except for the resin exposed portion is covered with the coating film, the influence of outgas generated from the resin can be prevented. Further, the resin exposed portion is sealed by being surrounded by the coating film and the connection electrode of the base material. Thereby, the influence of the outgas generated from the resin exposed portion can be prevented. Therefore, it is possible to prevent deterioration of the characteristics of the electronic component due to outgassing. Moreover, since the resin protrusion has elasticity, even when an external impact is applied, the addition to the conductive portion can be reduced, and excellent conductive reliability can be obtained.

また、上記電子部品の実装構造体においては、前記機能片が、水晶片であるのが好ましい。本発明は、電子部品が水晶片を備えた水晶振動子を構成する。よって、上述のようにアウトガスによる水晶振動子の振動特性の劣化が防止されるとともに高い導通信頼性を備えた水晶振動子となる。   In the electronic component mounting structure, the functional piece is preferably a crystal piece. In the present invention, the electronic component constitutes a crystal resonator including a crystal piece. Therefore, as described above, the vibration characteristics of the crystal resonator due to outgas are prevented from being deteriorated, and the crystal resonator has high conduction reliability.

また、上記電子部品の実装構造体においては、前記被覆膜は少なくとも2層から形成され、最表層に対する下層のアンダーカット量が下層の膜厚以上であることが好ましい。この構成によれば、被覆膜の最表層が接続電極と確実に密着し、樹脂露出部を確実に封止状態とすることができる。   In the electronic component mounting structure, it is preferable that the coating film is formed of at least two layers, and the undercut amount of the lower layer relative to the outermost layer is equal to or greater than the film thickness of the lower layer. According to this configuration, the outermost layer of the coating film can be securely adhered to the connection electrode, and the resin exposed portion can be reliably sealed.

また、上記電子部品の実装構造体においては、前記機能片に設けられた電極層により前記被覆膜が構成されるのが好ましい。このようにすれば、電子部品の製造時に、電極層とともに被覆膜を形成することができ、製造工程を簡略化できる。   In the electronic component mounting structure, it is preferable that the coating film is constituted by an electrode layer provided on the functional piece. If it does in this way, a coating film can be formed with an electrode layer at the time of manufacture of electronic parts, and a manufacturing process can be simplified.

水晶振動子パッケージの断面構成を示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional structure of a crystal oscillator package. 図1の平面図である。It is a top view of FIG. 水晶振動子を下方から視た図である。It is the figure which looked at the quartz oscillator from the lower part. 図3におけるA−A´線矢視断面構成を示す図である。It is a figure which shows the AA 'line arrow cross-section structure in FIG. バンプ電極及び接着部の形成工程を示す図である。It is a figure which shows the formation process of a bump electrode and an adhesion part.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each drawing used for the following description, the scale of each member is appropriately changed to make each member a recognizable size.

図1は本発明に係る電子部品の実装構造体を適用した水晶振動子パッケージを示す図である。図1に水晶振動子パッケージの断面構成を示す図であり、図2は図1の平面図、図3は水晶振動子を下方から視た図である。また、図4(a)、(b)は図3におけるA−A´線矢視に対応する断面構成図であり、バンプ電極の形状を説明するための図である。   FIG. 1 is a view showing a crystal resonator package to which an electronic component mounting structure according to the present invention is applied. FIG. 1 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of a crystal resonator package, FIG. 2 is a plan view of FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram of the crystal resonator viewed from below. FIGS. 4A and 4B are cross-sectional configuration diagrams corresponding to the arrows AA ′ in FIG. 3 and are diagrams for explaining the shape of the bump electrode.

水晶振動子パッケージ(電子部品の実装構造体)2は、図1、2に示すように、水晶振動子(電子部品)1と、水晶振動子1を封止する容器(基材)3と、を備えている。水晶振動子1は、図1から図3に示すように、水晶片(機能片)11と、水晶片11を励振する一対の励振電極12、13と、バンプ電極14と、樹脂露出部15とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, a crystal resonator package (electronic component mounting structure) 2 includes a crystal resonator (electronic component) 1, a container (base material) 3 for sealing the crystal resonator 1, It has. As shown in FIGS. 1 to 3, the crystal resonator 1 includes a crystal piece (functional piece) 11, a pair of excitation electrodes 12 and 13 that excite the crystal piece 11, a bump electrode 14, and a resin exposed portion 15. It has.

容器3は、詳細については後述するように水晶振動子1との電気的接続に用いられる接続電極33、34と、回路基板(図示略)などに実装する際の端子電極35、36が形成されている。   As will be described in detail later, the container 3 is formed with connection electrodes 33 and 34 used for electrical connection with the crystal unit 1 and terminal electrodes 35 and 36 when mounted on a circuit board (not shown). ing.

水晶片11は、平面視でほぼU字状であって、基部21から2つの腕部22、23が同一方向に並列して延びる音叉型の平面形状を有する板状部材である。一対の励振電極12、13それぞれは、例えばAl(アルミニウム)やAu(金)などの導電材料で形成されており、水晶片11の一面に形成されている。そして、励振電極12は、水晶片11の一面において基部21から腕部22にわたって形成されている。また、励振電極13は、水晶片11の一面において基部21から腕部23にわたって形成されている。   The crystal piece 11 is a plate-like member having a substantially U shape in a plan view and having a tuning fork type planar shape in which two arm portions 22 and 23 extend in parallel in the same direction from the base portion 21. Each of the pair of excitation electrodes 12 and 13 is formed of a conductive material such as Al (aluminum) or Au (gold), and is formed on one surface of the crystal piece 11. The excitation electrode 12 is formed from the base portion 21 to the arm portion 22 on one surface of the crystal piece 11. The excitation electrode 13 is formed from the base 21 to the arm 23 on one surface of the crystal piece 11.

バンプ電極14は、基部21の一面に形成されており、上記励振電極12、13に電気的に接続された状態に設けられている。バンプ電極14は、図1及び図3に示すように、突起状の樹脂コア部(樹脂突起部)24と、樹脂コア部24の表面に形成された一対の導電膜(被覆膜)25、26と、樹脂コア部が露出した樹脂露出部27、28を備えている。樹脂露出部27,28は、少なくとも表面に接着機能を有する。   The bump electrode 14 is formed on one surface of the base 21 and is provided in a state of being electrically connected to the excitation electrodes 12 and 13. As shown in FIGS. 1 and 3, the bump electrode 14 includes a protruding resin core part (resin protruding part) 24 and a pair of conductive films (covering films) 25 formed on the surface of the resin core part 24. 26 and resin exposed portions 27 and 28 in which the resin core portion is exposed. The resin exposed portions 27 and 28 have an adhesive function at least on the surface.

導電膜25、26は、例えばスパッタ法などによる成膜後にパターニングすることで形成されている。本実施形態では、スパッタ法によって形成したAu/Cr層をパターニングすることで励振電極12、13と連続して形成されており、励振電極12、13と導通している。すなわち、水晶振動子パッケージ2は、バンプ電極14を水晶振動子1と容器3との電気的接点として利用している。   The conductive films 25 and 26 are formed by patterning after film formation by sputtering, for example. In the present embodiment, the Au / Cr layer formed by sputtering is patterned so as to be continuous with the excitation electrodes 12 and 13 and is electrically connected to the excitation electrodes 12 and 13. That is, the crystal resonator package 2 uses the bump electrode 14 as an electrical contact between the crystal resonator 1 and the container 3.

なお、導電膜25、26は、例えばAu(金)、TiW(チタン/タングステン)、Cu(銅)、Cr(クロム)、Ni(ニッケル)、Ti、W、NiV(ニッケル/バナジウム)、Al、Pd(パラジウム)、鉛フリーハンダなどの金属や合金、これらの単層、或いは複数種を積層したもので形成してもよい。   The conductive films 25 and 26 are made of, for example, Au (gold), TiW (titanium / tungsten), Cu (copper), Cr (chromium), Ni (nickel), Ti, W, NiV (nickel / vanadium), Al, You may form with metals and alloys, such as Pd (palladium) and lead-free solder, these single layers, or what laminated | stacked multiple types.

図2に示すように、樹脂コア部24は、平面視略、丸形状から構成されており、樹脂コア部24を覆う導電膜25、26もそれぞれ丸形状となっている。また、樹脂コア部24は、後述するようにフォトリソグラフィ技術やエッチング技術によって樹脂材料をパターニングした後、樹脂パターンを融解させることで断面形状が略半円状とされている。   As shown in FIG. 2, the resin core portion 24 has a substantially round shape in plan view, and the conductive films 25 and 26 that cover the resin core portion 24 also have a round shape. Further, the resin core portion 24 has a substantially semicircular cross-sectional shape by melting a resin pattern after patterning a resin material by a photolithography technique or an etching technique as will be described later.

樹脂コア部24は上述のように導電膜25、26により覆われることから種々の樹脂材料を用いることができ、例えばポリイミド樹脂やアクリル樹脂、フェノール樹脂、シリコーン樹脂、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂などの感光性絶縁樹脂や熱硬化性絶縁樹脂で形成されている(本実施形態では、エポキシ樹脂を用いた)。   Since the resin core portion 24 is covered with the conductive films 25 and 26 as described above, various resin materials can be used. For example, polyimide resin, acrylic resin, phenol resin, silicone resin, silicone-modified polyimide resin, epoxy resin, etc. The photosensitive insulating resin or the thermosetting insulating resin is used (in this embodiment, an epoxy resin is used).

さらに、樹脂コア部24(バンプ電極14)の外周部を除く少なくとも一部(略半円状の頂点部)は、導電膜から樹脂コア部24が露出した樹脂露出部27、28を有し、少なくとも樹脂露出部27、28の表面は接着機能を有する。樹脂露出部27、28は、図1に示されるように、バンプ電極14を構成する樹脂コア部24が後述する接続電極33、34それぞれの表面形状に導電接触させた状態で水晶振動子1を容器本体31に実装(保持)可能となっている。水晶振動子1は、図1に示されるように基部21が容器3に支持された片持ち支持構造となっている。   Furthermore, at least a portion (substantially semicircular apex portion) excluding the outer peripheral portion of the resin core portion 24 (bump electrode 14) has resin exposed portions 27 and 28 where the resin core portion 24 is exposed from the conductive film, At least the surfaces of the resin exposed portions 27 and 28 have an adhesive function. As shown in FIG. 1, the resin exposed portions 27 and 28 are formed in a state where the resin core portion 24 constituting the bump electrode 14 is in conductive contact with the surface shapes of connection electrodes 33 and 34 described later. It can be mounted (held) on the container body 31. As shown in FIG. 1, the crystal unit 1 has a cantilever support structure in which a base 21 is supported by a container 3.

樹脂露出部27、28は、少なくとも表面に接着性を有する材料であれば種々のものを用いることができ、具体的に本実施形態においては、上記樹脂コア部24と同一材料(エポキシ樹脂)から構成している。なお、樹脂露出部27、28は、接着材として機能しない樹脂の表面に接着性を有する接着層を別途形成することで構成してもよい。   Various materials can be used for the resin exposed portions 27 and 28 as long as the materials have adhesiveness at least on the surface. Specifically, in the present embodiment, the resin exposed portions 27 and 28 are made of the same material (epoxy resin) as the resin core portion 24. It is composed. The resin exposed portions 27 and 28 may be configured by separately forming an adhesive layer having adhesiveness on the surface of a resin that does not function as an adhesive.

図4(a)に示されるように、導電膜は少なくとも2層以上から形成され、最表層に対する下層のアンダーカット量が下層の膜厚以上であることが好ましい。具体的には、図4(a)のアンダーカット量Wを下層膜厚t以上に設定されている。これにより図4(b)に示されるようにバンプ電極14を構成する樹脂コア部24を後述する接続電極33、34に導電接触させる際、最表層のアンダーカット部が前記接続電極33、34の形状に倣って変形することにより、導電膜25、26と接続電極33、34の安定した電気的接続の確保および樹脂露出部27、28を確実に封止状態とすることができる。   As shown in FIG. 4A, the conductive film is preferably formed of at least two layers, and the amount of undercut of the lower layer relative to the outermost layer is preferably equal to or greater than the thickness of the lower layer. Specifically, the undercut amount W in FIG. 4A is set to be equal to or greater than the lower layer thickness t. As a result, as shown in FIG. 4B, when the resin core portion 24 constituting the bump electrode 14 is brought into conductive contact with the connection electrodes 33 and 34 described later, the outermost undercut portion of the connection electrodes 33 and 34 is formed. By deforming according to the shape, it is possible to ensure stable electrical connection between the conductive films 25 and 26 and the connection electrodes 33 and 34 and to ensure that the resin exposed portions 27 and 28 are sealed.

上記容器3は、容器本体31と、容器本体31を覆う蓋体32とを備えている。容器本体31は、ほぼ箱状に形成されており、例えばセラミックスなどの絶縁材料で形成されている。そして、容器本体31の底部の上面には、接続電極33、34が形成されている。また、容器本体31の底部の下面には、回路基板(図示略)などに実装する際の端子電極35、36が形成されている。接続電極33、34それぞれは、例えばW膜上に形成されたNiめっき層上にAu膜を積層することで構成されており、容器本体31に形成された配線(図示略)を介して端子電極35、36それぞれに接続されている。蓋体32は、容器本体31と同様に、例えばセラミックスなどの絶縁材料で形成されている。そして、蓋体32は、容器本体31の開口部にロウ付けなどにより接合されており、容器本体31との間に形成される空間内に水晶振動子1を封止する。   The container 3 includes a container body 31 and a lid body 32 that covers the container body 31. The container body 31 is formed in a substantially box shape, and is formed of an insulating material such as ceramics. Connection electrodes 33 and 34 are formed on the upper surface of the bottom of the container body 31. Terminal electrodes 35 and 36 for mounting on a circuit board (not shown) or the like are formed on the bottom surface of the bottom of the container body 31. Each of the connection electrodes 33 and 34 is configured, for example, by laminating an Au film on a Ni plating layer formed on a W film, and is connected to a terminal electrode via a wiring (not shown) formed on the container body 31. 35 and 36 are connected to each other. The lid 32 is formed of an insulating material such as ceramics, for example, similarly to the container body 31. The lid 32 is joined to the opening of the container main body 31 by brazing or the like, and seals the crystal unit 1 in a space formed between the lid 32 and the container main body 31.

上述したように本実施形態に係る水晶振動子パッケージ2は、バンプ電極14を電気的接点として用い、接着部により良好な導通状態を保持するとともに水晶振動子1を容器3上に実装することができる。樹脂コア部24は導電膜25、26によって覆われているため樹脂コア部24から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させるといった不具合を防止できる。さらに、樹脂露出部27、28は図1に示したようにアンダーカット部が接続電極33、34の表面形状に倣って変形することで導電膜25,26が密着した状態となる。すなわち、樹脂露出部27、28はバンプ電極14により周囲が囲まれることで密閉状態とされる。これにより、樹脂露出部27、28から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させるといった不具合を防止できる。   As described above, the crystal resonator package 2 according to the present embodiment can mount the crystal resonator 1 on the container 3 while using the bump electrode 14 as an electrical contact to maintain a good conduction state by the bonding portion. it can. Since the resin core portion 24 is covered with the conductive films 25 and 26, it is possible to prevent a problem that outgas generated from the resin core portion 24 deteriorates the vibration characteristics of the crystal resonator 1 (crystal piece 11). Further, as shown in FIG. 1, the resin exposed portions 27 and 28 are brought into close contact with the conductive films 25 and 26 by the undercut portion being deformed following the surface shape of the connection electrodes 33 and 34. That is, the resin exposed portions 27 and 28 are hermetically sealed by being surrounded by the bump electrode 14. Thereby, the malfunction that the outgas generated from the resin exposure parts 27 and 28 reduces the vibration characteristic of the crystal oscillator 1 (crystal piece 11) can be prevented.

このように本実施形態に係る水晶振動子パッケージ2によれば、樹脂材料から発生するアウトガスに起因する水晶振動子1(電子部品)の特性の低下を防止することができ、信頼性の高いものを提供できる。また、樹脂コア部24及び接着部はいずれも弾性を有しているため、外部からの衝撃が加わった場合でもバンプ電極14及び接続電極33、34における導通部への付加を軽減することができ、優れた導通信頼性を得ることができる。また、フォトリソグラフィ技術によりバンプ電極を作製することができるため、従来の導電ペーストより電極を小型化することができる。   As described above, according to the crystal resonator package 2 according to the present embodiment, it is possible to prevent deterioration in the characteristics of the crystal resonator 1 (electronic component) due to outgas generated from the resin material, and it is highly reliable. Can provide. In addition, since both the resin core portion 24 and the adhesive portion have elasticity, it is possible to reduce the addition of the bump electrode 14 and the connection electrodes 33 and 34 to the conductive portion even when an external impact is applied. Excellent conduction reliability can be obtained. In addition, since the bump electrode can be manufactured by a photolithography technique, the electrode can be made smaller than the conventional conductive paste.

本発明の電子部品の製造方法の一実施形態として、上記水晶振動子パッケージ2(水晶振動子1)を製造する工程について説明する。本実施形態では、上記バンプ電極14及び接着部を形成する工程に特徴を有している。そのため、以下ではバンプ電極14及び接着部を製造する方法を中心に説明する。   As an embodiment of the electronic component manufacturing method of the present invention, a process of manufacturing the crystal unit package 2 (crystal unit 1) will be described. The present embodiment is characterized in the step of forming the bump electrode 14 and the bonding portion. Therefore, below, it demonstrates centering on the method of manufacturing the bump electrode 14 and an adhesion part.

まず、図5(a)に示すように、水晶片11の一面にスピンコート法により感光性樹脂材料50を塗布する。具体的に本実施形態では、後述の接着工程において接着材としての機能を有するエポキシ樹脂を塗布した。続いて、露光及び現像工程を行う。具体的には、図5(b)に示すように、上記樹脂コア部24を構成する第1の樹脂パターンP1に対応する開口が形成されたフォトマスクMを用いる。   First, as shown in FIG. 5A, a photosensitive resin material 50 is applied to one surface of the crystal piece 11 by spin coating. Specifically, in the present embodiment, an epoxy resin having a function as an adhesive is applied in an adhesion process described later. Subsequently, exposure and development processes are performed. Specifically, as shown in FIG. 5B, a photomask M in which openings corresponding to the first resin pattern P1 constituting the resin core portion 24 are formed is used.

このようなフォトマスクMを用いて露光処理及び現像処理を行うことで、図5(c)に示すように、水晶片11上には第1の樹脂パターンP1が形成される。   By performing exposure processing and development processing using such a photomask M, a first resin pattern P <b> 1 is formed on the crystal piece 11 as shown in FIG. 5C.

このように本実施形態では、樹脂パターンP1はフォトリソ法によって形成するため、微細なパターンが形成可能である。   Thus, in this embodiment, since the resin pattern P1 is formed by the photolithography method, a fine pattern can be formed.

続いて、図5(d)に示すように、樹脂パターンP1を加熱させ、融解させることにより半円状の樹脂コア部24を形成する。加熱方法としては種々の方法を例示することができ、本実施形態では、例えば水晶振動子1を加熱炉内に入れることで加熱処理を行った。   Subsequently, as shown in FIG. 5D, the resin pattern P <b> 1 is heated and melted to form a semicircular resin core portion 24. Various methods can be exemplified as the heating method. In this embodiment, for example, the crystal unit 1 is placed in a heating furnace to perform the heat treatment.

このようにして樹脂コア部24を形成した後、水晶片11上に励振電極12、13を構成する形成する。励振電極12、13は、例えばスパッタ法によりAu/Cr層を成膜した後、所望の形状にパターニングする。具体的には、樹脂コア部24を覆った状態にするとともに樹脂露出部27、28を露出させるようにAu/Cr層をパターニングする。また、Cr層のパターニング時にAu層に対するCr層のアンダーカット量WをCr層の膜厚以上になるようにパターニングを行う。これにより励振電極12、13及び樹脂コア部24を覆う導電膜25,26および樹脂露出部27,28を形成することができる。以上の工程により、励振電極12、13の接続部に樹脂コア部24及び樹脂露出部27、28を備えた水晶振動子1が製造できる。   After forming the resin core portion 24 in this way, the excitation electrodes 12 and 13 are formed on the crystal piece 11. The excitation electrodes 12 and 13 are patterned into a desired shape after forming an Au / Cr layer by sputtering, for example. Specifically, the Au / Cr layer is patterned so that the resin core portion 24 is covered and the resin exposed portions 27 and 28 are exposed. Further, patterning is performed so that the undercut amount W of the Cr layer with respect to the Au layer is equal to or greater than the film thickness of the Cr layer during patterning of the Cr layer. Thereby, the conductive films 25 and 26 and the resin exposed portions 27 and 28 covering the excitation electrodes 12 and 13 and the resin core portion 24 can be formed. Through the above-described steps, the crystal unit 1 including the resin core portion 24 and the resin exposed portions 27 and 28 at the connection portions of the excitation electrodes 12 and 13 can be manufactured.

次に、水晶振動子1の実装方法について、図4を参照しながら説明する。ここで、図4は水晶振動子1の容器3への実装時におけるバンプ電極14を示す断面図である。まず、水晶振動子1に設けられたバンプ電極14を容器本体31に形成された接続電極33、34に対して接触、押圧させる(図4(a)、図4(b)参照)。なお、水晶振動子1の実装は加熱しながら行われる。   Next, a method for mounting the crystal unit 1 will be described with reference to FIG. Here, FIG. 4 is a cross-sectional view showing the bump electrode 14 when the crystal unit 1 is mounted on the container 3. First, the bump electrode 14 provided on the crystal unit 1 is brought into contact with and pressed against the connection electrodes 33 and 34 formed on the container main body 31 (see FIGS. 4A and 4B). The crystal unit 1 is mounted while heating.

このとき、アンダーカット部を含む導電膜25、26は変形して接続電極33、34それぞれの形状に倣う。そして、樹脂露出部27、接続電極33、の表面形状に倣うと共に、樹脂露出部28が接続電極34の表面形状に倣う。これにより、導電膜25及び接続電極33と導電膜26及び接続電極34とが、それぞれ十分な接触面積で導電接触する。また、樹脂露出部27、28は接続電極33、34に接触する。そして、樹脂露出部27、28を硬化させる。よって、樹脂露出部27、28は接続電極33、34とを接着し、導電膜25及び接続電極33と導電膜26及び接続電極34とのそれぞれの接触状態を保持することができる。   At this time, the conductive films 25 and 26 including the undercut portions are deformed to follow the shapes of the connection electrodes 33 and 34, respectively. Then, it follows the surface shape of the resin exposed portion 27 and the connection electrode 33, and the resin exposed portion 28 follows the surface shape of the connection electrode 34. As a result, the conductive film 25 and the connection electrode 33 and the conductive film 26 and the connection electrode 34 are in conductive contact with each other with a sufficient contact area. The resin exposed portions 27 and 28 are in contact with the connection electrodes 33 and 34. Then, the resin exposed portions 27 and 28 are cured. Therefore, the resin exposed portions 27 and 28 can bond the connection electrodes 33 and 34 and maintain the contact state between the conductive film 25 and the connection electrode 33, the conductive film 26 and the connection electrode 34.

以上のようにして、水晶振動子1を容器本体31内に実装する。その後、容器本体31と蓋体32とを接合して水晶振動子1を封止する。このようにして、水晶振動子パッケージ2が形成される。このとき、樹脂コア部24は導電膜25、26によって覆われているため、樹脂コア部24から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させることが防止される。さらに、樹脂露出部27、28はバンプ電極14により周囲が囲まれることで図4(b)に示すように密閉状態となっており、樹脂露出部27、28から発生するアウトガスが水晶振動子1(水晶片11)の振動特性を低下させることが防止される。このようにして形成される水晶振動子パッケージ2によれば、樹脂材料から発生するアウトガスに起因する水晶振動子1の特性の低下を防止することで信頼性の高いものとなる。また、水晶振動子1と容器本体31との接続部分に例えば落下衝撃などの衝撃が加わった際、樹脂コア部24が弾性変形してこの衝撃を吸収する。   As described above, the crystal unit 1 is mounted in the container body 31. Thereafter, the container body 31 and the lid body 32 are joined to seal the crystal unit 1. In this way, the crystal resonator package 2 is formed. At this time, since the resin core portion 24 is covered with the conductive films 25 and 26, the outgas generated from the resin core portion 24 is prevented from deteriorating the vibration characteristics of the crystal resonator 1 (crystal piece 11). Further, since the resin exposed portions 27 and 28 are surrounded by the bump electrode 14, the resin exposed portions 27 and 28 are in a sealed state as shown in FIG. 4B, and the outgas generated from the resin exposed portions 27 and 28 is generated by the crystal resonator 1. It is possible to prevent the vibration characteristics of the (crystal piece 11) from being lowered. According to the crystal resonator package 2 formed as described above, the reliability of the crystal resonator 1 is improved by preventing the deterioration of the characteristics of the crystal resonator 1 caused by the outgas generated from the resin material. Further, when an impact such as a drop impact is applied to the connection portion between the crystal resonator 1 and the container body 31, the resin core portion 24 is elastically deformed to absorb the impact.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、接着材15が平面視円形形状のものとしたが、矩形状に形成してもよい。また、本発明では、水晶振動子1にバンプ電極14を形成したが、容器本体31にバンプ電極14を形成しても良い。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change can be added in the range which does not deviate from the meaning of this invention. For example, in the above embodiment, the adhesive material 15 has a circular shape in plan view, but may be formed in a rectangular shape. In the present invention, the bump electrode 14 is formed on the crystal unit 1, but the bump electrode 14 may be formed on the container body 31.

1…水晶振動子(電子部品)、2…水晶振動子パッケージ(電子部品の実装構造体)、3…容器(基材)、4…蓋、11…水晶片(機能片)、12,13…励振電極、14…バンプ電極、15…樹脂露出部、24…樹脂コア(樹脂突起部)、25,26…導電膜(被覆膜、導電部)、27,28…樹脂露出部、33,34…接続電極。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Crystal oscillator (electronic component), 2 ... Crystal oscillator package (electronic component mounting structure), 3 ... Container (base material), 4 ... Lid, 11 ... Crystal piece (functional piece), 12, 13 ... Excitation electrode, 14 ... bump electrode, 15 ... resin exposed portion, 24 ... resin core (resin protrusion), 25, 26 ... conductive film (coating film, conductive portion), 27, 28 ... resin exposed portion, 33, 34 ... connection electrode.

Claims (11)

接続電極を有する基材に電子部品が実装された電子部品の実装構造体であって、
前記電子部品は、
所定の機能を有する機能片と、
前記機能片に電気的に接続される導電部を含む被覆膜により表面が覆われ、且つ、少なくとも一部が前記被覆膜より露出する樹脂露出部を含む樹脂突起部と、
を有しており、
前記被覆膜と前記接続電極とが導通接触され、且つ、前記基材と前記樹脂露出部とが接触された状態で、前記電子部品が前記基材に実装されていることを特徴とする電子部品の実装構造体。
An electronic component mounting structure in which an electronic component is mounted on a base material having a connection electrode,
The electronic component is
A functional piece having a predetermined function;
A resin protrusion including a resin exposed portion whose surface is covered by a coating film including a conductive portion electrically connected to the functional piece, and at least a portion of which is exposed from the coating film;
Have
The electronic component is mounted on the base material in a state where the coating film and the connection electrode are in conductive contact with each other and the base material and the resin exposed portion are in contact with each other. Component mounting structure.
前記樹脂露出部が、前記被覆膜および前記接続電極に囲われた閉鎖空間に面していることを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装構造体。   2. The electronic component mounting structure according to claim 1, wherein the resin exposed portion faces a closed space surrounded by the coating film and the connection electrode. 前記機能片が、水晶片であることを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品の実装構造体。   The electronic component mounting structure according to claim 1, wherein the functional piece is a crystal piece. 前記被覆膜が少なくとも2層から構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子部品の実装構造体。   The electronic component mounting structure according to claim 1, wherein the coating film includes at least two layers. 前記被覆膜の最表層に対する前記被覆膜の下層のアンダーカット量が前記被覆膜の下層の膜厚以上であることを特徴とする請求項4に記載の実装構造体。   The mounting structure according to claim 4, wherein an undercut amount of a lower layer of the coating film with respect to an outermost layer of the coating film is equal to or greater than a film thickness of the lower layer of the coating film. 前記機能片に設けられた電極層により前記被覆膜が構成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の電子部品の実装構造体。   The electronic component mounting structure according to any one of claims 1 to 5, wherein the coating film is configured by an electrode layer provided on the functional piece. 接続電極を有する基材に電子部品が実装された電子部品の実装構造体であって、
前記電子部品は、
所定の機能を有する機能片と、
前記機能片に電気的に接続される電極部を有し、
前記基材は、
前記接続電極に電気的に接続される導電部を含む被覆膜により表面が覆われ、且つ、少なくとも一部が前記被覆膜より露出する樹脂露出部を含む樹脂突起部と、
を有しており、
前記被覆膜が前記電極部に導通接触し、且つ、前記機能片の一部に前記樹脂露出部が接触した状態で前記電子部品が前記基材に実装されていることを特徴とする電子部品の実装構造体。
An electronic component mounting structure in which an electronic component is mounted on a base material having a connection electrode,
The electronic component is
A functional piece having a predetermined function;
Having an electrode portion electrically connected to the functional piece;
The substrate is
A resin protrusion including a resin exposed portion, the surface of which is covered with a coating film including a conductive portion electrically connected to the connection electrode, and at least a part of which is exposed from the coating film;
Have
The electronic component is mounted on the base material in a state where the coating film is in conductive contact with the electrode portion and the resin exposed portion is in contact with a part of the functional piece. Implementation structure.
前記樹脂露出部が、前記被覆膜および前記電極部に囲われて外部との閉鎖空間になっていることを特徴とする請求項7に記載の電子部品の実装構造体。   The electronic component mounting structure according to claim 7, wherein the resin exposed portion is surrounded by the coating film and the electrode portion to form a closed space with the outside. 前記機能片が、水晶片であることを特徴とする請求項7又は8に記載の電子部品の実装構造体。   9. The electronic component mounting structure according to claim 7, wherein the functional piece is a crystal piece. 前記被覆膜が少なくとも2層から構成されていることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項に記載の電子部品の実装構造体。   The electronic component mounting structure according to claim 7, wherein the coating film includes at least two layers. 前記被覆膜の下層のアンダーカット量が前記被覆膜の下層の膜厚以上であることを特徴とする請求項10に記載の電子部品の実装構造体。   The mounting structure for an electronic component according to claim 10, wherein an undercut amount of the lower layer of the coating film is equal to or greater than a film thickness of the lower layer of the coating film.
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