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JP2011233512A - Light emitting device - Google Patents

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JP2011233512A
JP2011233512A JP2011071895A JP2011071895A JP2011233512A JP 2011233512 A JP2011233512 A JP 2011233512A JP 2011071895 A JP2011071895 A JP 2011071895A JP 2011071895 A JP2011071895 A JP 2011071895A JP 2011233512 A JP2011233512 A JP 2011233512A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic
light emitting
layer
support substrate
emitting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011071895A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaru Kajitani
優 梶谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Chemical Co Ltd filed Critical Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority to JP2011071895A priority Critical patent/JP2011233512A/en
Publication of JP2011233512A publication Critical patent/JP2011233512A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
    • H10K59/8052Cathodes
    • H10K59/80522Cathodes combined with auxiliary electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122Pixel-defining structures or layers, e.g. banks

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting device in which voltage drop can be suppressed without needlessly increasing the film thickness of wires on a support substrate.SOLUTION: A light emitting device has a support substrate 11, plural organic EL elements 15 each of which is constructed by laminating a first electrode 16, an organic EL layer 17 and a second electrode 18 in this order on the support substrate, a counter substrate 31 disposed so as to face the support substrate, a projecting portion 34 projecting from the support substrate to the counter substrate, and a connection electrode 35 which is formed to extend from the second electrode onto the projecting portion 34. A member 33 having conductivity is provided on a surface portion of the counter substrate which faces the support substrate, and the connection electrode formed on the projecting portion comes into contact with the counter substrate.

Description

本発明は発光装置およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a light emitting device and a method for manufacturing the same.

表示装置には、その構成や原理を異にする様々な種類の装置がある。そのひとつとして現在、画素の光源に有機EL(Electro Luminescence)素子を使用した表示装置が実用化されつつある。   There are various types of display devices having different configurations and principles. As one of them, a display device using an organic EL (Electro Luminescence) element as a light source of a pixel is being put into practical use.

表示装置は画像情報を表示する表示領域を有しており、この表示領域に複数の有機EL素子が整列して配置されている。各有機EL素子には電力供給源から電力が供給されるが、途中の配線で生じる電圧降下のために、各有機EL素子に印加される電圧は低下する。
電圧降下は電力供給源と有機EL素子との距離が離れるほど大きくなるため、その大きさは有機EL素子の配置によって異なる。たとえば表示領域の中央部に配置される有機EL素子と、表示領域の周縁部に配置される有機EL素子とでは、電力を供給する際に生じる電圧降下の大きさが異なる。このように電圧降下の大きさは有機EL素子の配置によって異なるため、各有機EL素子に印加される電圧もその配置によって異なり、結果として表示領域内の発光強度にむらが生じる(たとえば特許文献1参照)。
The display device has a display area for displaying image information, and a plurality of organic EL elements are arranged in alignment in this display area. Electric power is supplied to each organic EL element from a power supply source, but the voltage applied to each organic EL element decreases due to a voltage drop that occurs in the middle wiring.
Since the voltage drop increases as the distance between the power supply source and the organic EL element increases, the magnitude varies depending on the arrangement of the organic EL elements. For example, the magnitude of the voltage drop that occurs when power is supplied differs between the organic EL element arranged at the center of the display area and the organic EL element arranged at the peripheral edge of the display area. Since the magnitude of the voltage drop varies depending on the arrangement of the organic EL elements as described above, the voltage applied to each organic EL element also varies depending on the arrangement, and as a result, the emission intensity in the display region is uneven (for example, Patent Document 1) reference).

電圧降下を小さくするためには途中の配線の電気抵抗を小さくすればよく、そのためには配線の膜厚を厚くすればよい。しかしながら配線の膜厚を厚くするためにはその分だけ製造に要する時間が長くなる。特に有機EL素子が搭載される表示装置では、有機EL素子へ与えるダメージを抑制するために通常は成膜速度の遅い真空蒸着法によって配線を形成するため、配線の形成に要する時間がより長くなる。電圧降下に起因する発光強度のむらは表示領域が大きくなるほど顕著になるため、表示装置の大型化にともなって、配線の膜厚をより厚くする必要があり、配線の形成に要する時間もより長くなるという問題がある。   In order to reduce the voltage drop, the electrical resistance of the wiring on the way may be reduced, and for this purpose, the thickness of the wiring may be increased. However, in order to increase the thickness of the wiring, the time required for the manufacturing becomes longer accordingly. In particular, in a display device on which an organic EL element is mounted, in order to suppress damage to the organic EL element, the wiring is usually formed by a vacuum deposition method having a low film forming speed, and therefore the time required for forming the wiring becomes longer. . The unevenness of the light emission intensity caused by the voltage drop becomes more prominent as the display area becomes larger. Therefore, as the display device becomes larger, it is necessary to increase the thickness of the wiring, and the time required for forming the wiring also becomes longer. There is a problem.

特開2005−70295号公報JP-A-2005-70295

従って本発明の目的は、支持基板上の配線を不必要に厚膜化することなく、電圧降下が抑制された発光装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a light emitting device in which a voltage drop is suppressed without unnecessarily thickening a wiring on a supporting substrate.

本発明は、支持基板と、
第1電極、有機EL層、および第2電極がこの順で前記支持基板上に積層されて構成される複数の有機EL素子と、
前記支持基板と対向して配置される対向基板と、
前記支持基板から前記対向基板に向けて突起する突起部と、
前記第2電極から前記突起部上にまで延在して形成される接続電極とを備え、
前記対向基板の前記支持基板に臨む表面部には導電性を示す部材が設けられており、
前記突起部上に形成された接続電極が、前記対向基板に当接している、発光装置に関する。
また本発明は、前記支持基板上に設けられ、前記複数の有機EL素子を区分けする隔壁をさらに有し、
前記突起部は前記隔壁上に設けられる、発光装置に関する。
また本発明は、前記対向基板が導電性部材から構成されている、発光装置に関する。
また本発明は、前記対向基板は、電気絶縁性を示す絶縁性基板と、この絶縁性基板上に設けられる導電性薄膜とから構成されている、発光装置に関する。
また本発明は、前記導電性薄膜はスパッタリング法によって絶縁性基板上に形成されている、発光装置に関する。
また本発明は、前記導電性薄膜は、Ag、Al、Au、Cr、Cu、In、Mg、Mo、Pt、Sn、Ta、W、およびZnからなる群から選ばれる1種以上の金属の薄膜によって構成される、発光装置に関する。
また本発明は、前記発光装置を製造する発光装置の製造方法であって、
前記突起部、前記有機EL素子および前記接続電極がその上に設けられた支持基板を用意する工程と、
導電性を示す部材が表面部に設けられた対向基板を用意する工程と、
前記支持基板と対向基板とを貼り合せる工程とを含む発光装置の製造方法。
The present invention includes a support substrate,
A plurality of organic EL elements configured by laminating a first electrode, an organic EL layer, and a second electrode in this order on the support substrate;
A counter substrate disposed to face the support substrate;
A protrusion that protrudes from the support substrate toward the counter substrate;
A connection electrode formed extending from the second electrode onto the protrusion,
The surface portion facing the support substrate of the counter substrate is provided with a conductive member.
The present invention relates to a light emitting device in which a connection electrode formed on the protrusion is in contact with the counter substrate.
The present invention further includes a partition wall provided on the support substrate and separating the plurality of organic EL elements,
The protrusion relates to a light emitting device provided on the partition.
The present invention also relates to a light emitting device in which the counter substrate is made of a conductive member.
The present invention also relates to a light emitting device, wherein the counter substrate includes an insulating substrate exhibiting electrical insulation and a conductive thin film provided on the insulating substrate.
The present invention also relates to a light emitting device, wherein the conductive thin film is formed on an insulating substrate by a sputtering method.
According to the present invention, the conductive thin film is one or more metal thin films selected from the group consisting of Ag, Al, Au, Cr, Cu, In, Mg, Mo, Pt, Sn, Ta, W, and Zn. It is related with the light-emitting device comprised by these.
Further, the present invention is a method for manufacturing a light emitting device for manufacturing the light emitting device,
A step of preparing a support substrate on which the protrusion, the organic EL element, and the connection electrode are provided;
A step of preparing a counter substrate provided with a conductive member on the surface portion;
A method for manufacturing a light emitting device, comprising a step of bonding the support substrate and the counter substrate.

本発明によれば、支持基板上の配線を不必要に厚膜化することなく、電圧降下が抑制された発光装置を実現することができる。   According to the present invention, it is possible to realize a light emitting device in which a voltage drop is suppressed without unnecessarily thickening the wiring on the support substrate.

発光装置の一部を拡大して模式的に示す平面図である。It is a top view which expands and schematically shows a part of light-emitting device. 発光装置において、1つの有機EL素子15が設けられた領域を拡大して模式的に示す断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view schematically showing a region where one organic EL element 15 is provided in the light emitting device. 発光装置を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows a light-emitting device typically. 発光装置を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows a light-emitting device typically. 発光装置を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows a light-emitting device typically.

本発明の発光装置は、支持基板と、第1電極、有機EL層、および第2電極がこの順で前記支持基板上に積層されて構成される複数の有機EL素子と、前記支持基板と対向して配置される対向基板と、前記支持基板から前記対向基板に向けて突起する突起部と、前記第2電極から前記突起部上にまで延在して形成される接続電極とを備え、前記対向基板の前記支持基板に臨む表面部には導電性を示す部材が設けられており、前記突起部上に形成された接続電極が、前記対向基板に当接している発光装置である。   The light emitting device of the present invention includes a support substrate, a plurality of organic EL elements configured by laminating a first electrode, an organic EL layer, and a second electrode in this order on the support substrate, and facing the support substrate. A counter substrate disposed from the support substrate, the projecting portion projecting from the support substrate toward the counter substrate, and a connection electrode formed extending from the second electrode onto the projecting portion, In the light emitting device, a conductive member is provided on a surface portion of the counter substrate facing the support substrate, and a connection electrode formed on the protrusion is in contact with the counter substrate.

本発明の発光装置はたとえば表示装置として利用される。表示装置は主にアクティブマトリクス駆動型の装置と、パッシブマトリクス駆動型の装置とがある。本発明は両方の型の表示装置に適用可能であるが、本実施形態では一例としてアクティブマトリクス駆動型の表示装置に適用される発光装置について説明する。   The light emitting device of the present invention is used as a display device, for example. There are mainly two types of display devices: an active matrix drive type device and a passive matrix drive type device. Although the present invention can be applied to both types of display devices, in the present embodiment, a light emitting device applied to an active matrix drive type display device will be described as an example.

<発光装置の構成>
まず発光装置の構成について説明する。図1は発光装置の一部を拡大して模式的に示す平面図である。また図2は発光装置において、1つの有機EL素子15が設けられた領域を拡大して模式的に示す断面図である。なお図1では後述する隔壁12の設けられる領域にハッチングを施している。
<Configuration of light emitting device>
First, the structure of the light emitting device will be described. FIG. 1 is a plan view schematically showing an enlarged part of the light emitting device. FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an enlarged region where one organic EL element 15 is provided in the light emitting device. In FIG. 1, hatching is applied to a region where a partition wall 12 to be described later is provided.

本実施形態の発光装置は主に、支持基板11と、この支持基板11上に整列して設けられる複数の有機EL素子15と、支持基板11に対向して配置される対向基板31とを含んで構成される。   The light emitting device of the present embodiment mainly includes a support substrate 11, a plurality of organic EL elements 15 provided in alignment on the support substrate 11, and a counter substrate 31 disposed to face the support substrate 11. Consists of.

本実施形態では支持基板11上に隔壁12が設けられる。この隔壁12は支持基板11上に予め設定される区画を画定するために設けられる。なお複数の有機EL素子15は、この隔壁12によって画定される区画にそれぞれ設けられる。本実施形態における隔壁12は、第1隔壁部材13と第2隔壁部材14とが支持基板11側からこの順で積層されて構成される。以下において第1隔壁部材13および第2隔壁部材14を特に区別せずに説明する場合、第1隔壁部材13および第2隔壁部材14を総称して隔壁12という。   In the present embodiment, the partition wall 12 is provided on the support substrate 11. The partition wall 12 is provided to demarcate a preset section on the support substrate 11. The plurality of organic EL elements 15 are respectively provided in the sections defined by the partition walls 12. The partition 12 in the present embodiment is configured by laminating a first partition member 13 and a second partition member 14 in this order from the support substrate 11 side. Hereinafter, when the first partition member 13 and the second partition member 14 are described without particular distinction, the first partition member 13 and the second partition member 14 are collectively referred to as the partition 12.

本実施形態における隔壁12は、支持基板11の厚み方向Zの一方から見て(以下、「平面視で」ということがある。)格子状に設けられる。すなわち隔壁12は、行方向Xに延在する複数本の部材と、列方向Yに延在する複数本の部材とから構成される。行方向Xに延在する複数本の部材は、列方向Yに所定の間隔をあけて配置され、列方向Yに延在する複数本の部材は、行方向Xに所定の間隔をあけて配置される。そして行方向Xに延在する複数本の部材と、列方向Yに延在する部材とは、互いに直交し、一体的に形成されている。換言すると隔壁12は、平板状の絶縁性部材に複数の開口部19が形成された形状を有する。すなわち隔壁には行方向Xに所定の間隔をあけるとともに、列方向Yに所定の間隔をあけて配置される複数の開口部19が形成されている。なお本明細書において行方向Xと列方向Yとは、互いに垂直であって、かつそれぞれが支持基板11の厚み方向Zに垂直な方向を意味する。隔壁12を構成する上述の複数本の部材の幅は、発光装置の仕様や製造工程の簡易さなどによって決まるが、通常10μm〜100μm程度である。   The partition walls 12 in the present embodiment are provided in a lattice shape when viewed from one side in the thickness direction Z of the support substrate 11 (hereinafter sometimes referred to as “in plan view”). That is, the partition wall 12 includes a plurality of members extending in the row direction X and a plurality of members extending in the column direction Y. A plurality of members extending in the row direction X are arranged at a predetermined interval in the column direction Y, and a plurality of members extending in the column direction Y are arranged at a predetermined interval in the row direction X. Is done. The plurality of members extending in the row direction X and the members extending in the column direction Y are orthogonal to each other and are integrally formed. In other words, the partition wall 12 has a shape in which a plurality of openings 19 are formed in a flat insulating member. That is, the partition wall is formed with a plurality of openings 19 that are spaced apart in the row direction X and spaced apart in the column direction Y. In the present specification, the row direction X and the column direction Y mean directions perpendicular to each other and perpendicular to the thickness direction Z of the support substrate 11. The width of the plurality of members constituting the partition 12 is determined by the specifications of the light emitting device, the simplicity of the manufacturing process, and the like, but is usually about 10 μm to 100 μm.

第1隔壁部材13および第2隔壁部材14は、平面視で、それぞれ上述のように格子状に設けられるが、平面視におけるその外縁が互いに異なる。第2隔壁部材14はその外縁が、第1隔壁部材13の外縁から、第1隔壁部材13上の内側に退避して形成されている。換言すると平面視で第1隔壁部材13はその外縁が第2隔壁部材14の外縁からはみ出すように形成されている。   The first partition member 13 and the second partition member 14 are provided in a lattice shape as described above in plan view, but their outer edges are different from each other in plan view. The outer edge of the second partition member 14 is formed by retracting from the outer edge of the first partition member 13 to the inside on the first partition member 13. In other words, the first partition member 13 is formed so that its outer edge protrudes from the outer edge of the second partition member 14 in plan view.

第1隔壁部材13の厚みは、発光装置の仕様や製造工程の簡易さなどによって決まるが、通常30nm〜500nm程度である。また第2隔壁部材14の厚みは、発光装置の仕様や製造工程の簡易さなどによって決まるが、通常0.5μm〜5μm程度である。   Although the thickness of the 1st partition member 13 is decided by the specification of a light-emitting device, the simplicity of a manufacturing process, etc., it is about 30 nm-500 nm normally. The thickness of the second partition member 14 is usually about 0.5 μm to 5 μm, although it depends on the specifications of the light emitting device and the simplicity of the manufacturing process.

支持基板11上には複数の有機EL素子15が設けられる。各有機EL素子15は、それぞれ隔壁12に囲まれる領域に設けられる。すなわち隔壁12に形成された複数の開口部19に各有機EL素子15がそれぞれ設けられる。本実施形態では格子状の隔壁12が設けられるので、複数の有機EL素子15はそれぞれマトリクス状に配置される。すなわち複数の有機EL素子15は、それぞれ行方向Xに所定の間隔をあけるとともに、列方向Yに所定の間隔をあけて配置される。有機EL素子15または開口部19のサイズは、発光装置の仕様や製造工程の簡易さなどによって決まるが、たとえば表示装置では有機EL素子15または開口部19の行方向Xおよび列方向Yの幅はそれぞれ30μm〜300μm程度である。   A plurality of organic EL elements 15 are provided on the support substrate 11. Each organic EL element 15 is provided in a region surrounded by the partition wall 12. That is, each organic EL element 15 is provided in each of a plurality of openings 19 formed in the partition wall 12. In this embodiment, since the grid | lattice-like partition 12 is provided, the some organic EL element 15 is arrange | positioned at a matrix form, respectively. That is, the plurality of organic EL elements 15 are arranged at predetermined intervals in the row direction X and at predetermined intervals in the column direction Y, respectively. The size of the organic EL element 15 or the opening 19 is determined by the specifications of the light emitting device, the simplicity of the manufacturing process, etc. For example, in the display device, the width in the row direction X and the column direction Y of the organic EL element 15 or the opening 19 is Each is about 30 μm to 300 μm.

発光装置は支持基板11から対向基板31に向けて突起する突起部34をさらに備える。本実施形態では突起部34は隔壁12とは別に設けられる。なお後述するように隔壁とは別に突起部を設けるのではなく、突起部としても機能する隔壁を設けてもよい。   The light emitting device further includes a protrusion 34 that protrudes from the support substrate 11 toward the counter substrate 31. In the present embodiment, the protruding portion 34 is provided separately from the partition wall 12. In addition, as will be described later, a protruding portion may be provided separately from the partition wall, and a partition wall that also functions as a protruding portion may be provided.

本実施形態では突起部34は隔壁12上に設けられる。突起部34は、隔壁12上において所定の方向に連続するように形成されていてもよく、また所定の間隔をあけて離散的に形成されていてもよい。図3は連続する突起部34を備える発光装置を模式的に示す平面図であり、図4は所定の間隔をあけて配置される突起部34を備える発光装置を模式的に示す平面図である。図3および図4では突起部の設けられる領域にハッチングを施している。
突起部34は支持基板11から離間するにつれて先細状に形成される。このように突起部34を先細状に形成することによって、互いに連続する接続電極35と第2電極18とを容易に形成することができる。
In the present embodiment, the protrusion 34 is provided on the partition wall 12. The protrusions 34 may be formed on the partition wall 12 so as to be continuous in a predetermined direction, or may be formed discretely with a predetermined interval. FIG. 3 is a plan view schematically showing a light-emitting device having continuous protrusions 34, and FIG. 4 is a plan view schematically showing a light-emitting device having protrusions 34 arranged at a predetermined interval. . In FIG. 3 and FIG. 4, the area where the protrusion is provided is hatched.
The protrusion 34 is formed in a tapered shape as the protrusion 34 is separated from the support substrate 11. Thus, by forming the protrusion 34 in a tapered shape, the connection electrode 35 and the second electrode 18 that are continuous with each other can be easily formed.

連続する突起部を設ける場合、たとえば隔壁12と同様に格子状の突起部を形成してもよく(図3(1)参照)、また行方向Xまたは列方向Yに延在する複数本のストライプ状の突起部を形成してもよい(図3(2)参照)。このような連続する突起部は、たとえば断面形状が台形状に形成される。また離散的に突起部を配置する場合、たとえば格子状の隔壁の交差する部位に突起部を形成してもよく(図4(1)参照)、また行方向Xまたは列方向Yに隣り合う有機EL素子15の間に突起部を形成してもよい(図4(2)参照)。このような離散的に配置される突起部はたとえば、円錐台形状および角錐台形状などの錐台形状、などに形成される。   When providing continuous protrusions, for example, a lattice-like protrusion may be formed in the same manner as the partition wall 12 (see FIG. 3A), and a plurality of stripes extending in the row direction X or the column direction Y. A protruding portion may be formed (see FIG. 3B). Such a continuous protrusion has a trapezoidal cross-sectional shape, for example. When the protrusions are discretely arranged, for example, the protrusions may be formed at the intersecting portions of the grid-like partition walls (see FIG. 4 (1)), and the organic adjacent in the row direction X or the column direction Y. Projections may be formed between the EL elements 15 (see FIG. 4B). Such discretely arranged protrusions are formed in a truncated cone shape such as a truncated cone shape and a truncated pyramid shape, for example.

なお支持基板11と対向基板31とを貼り合せる際に、たとえ意図しないパーティクルが支持基板11上に存在していたとしても、パーティクルは通常凹所に収容されるため、対向基板と突起部とがパーティクルを挟むようにして接続されることを防ぐことができる。このような観点からは突起部を離散的に配置することが好ましい。   Note that when the support substrate 11 and the counter substrate 31 are bonded together, even if unintended particles exist on the support substrate 11, the particles are normally accommodated in the recesses, so that the counter substrate and the protrusions are It is possible to prevent the particles from being connected so as to sandwich the particles. From such a viewpoint, it is preferable to dispose the protrusions discretely.

突起部34のサイズは、発光装置の仕様や製造工程の簡易さなどによって決まるが、たとえば表示装置では突起部34の高さは1μm〜10μm程度である。   The size of the protrusion 34 is determined by the specifications of the light emitting device, the simplicity of the manufacturing process, and the like. For example, in the display device, the height of the protrusion 34 is about 1 μm to 10 μm.

有機EL素子15は、陽極および陰極から構成される一対の電極と、該電極間に設けられる有機EL層17とから構成される。有機EL層17は1層のみから構成されていてもよいが、複数の層が積層されて構成されていてもよい。なお有機EL素子15は有機EL層として少なくとも1層の発光層を備える。   The organic EL element 15 includes a pair of electrodes composed of an anode and a cathode, and an organic EL layer 17 provided between the electrodes. The organic EL layer 17 may be composed of only one layer, but may be composed of a plurality of layers stacked. The organic EL element 15 includes at least one light emitting layer as an organic EL layer.

以下では陽極および陰極から構成される一対の電極のうちの、支持基板寄りに配置される一方の電極を第1電極16といい、この第1電極16よりも支持基板11から離間して配置される他方の電極を第2電極18という。   In the following, of the pair of electrodes composed of the anode and the cathode, one electrode disposed near the support substrate is referred to as the first electrode 16, and is disposed farther from the support substrate 11 than the first electrode 16. The other electrode is called the second electrode 18.

本実施形態ではアクティブマトリクス駆動型の基板が用いられる。そのため支持基板11には有機EL素子15と同数の第1電極16が設けられる。複数の第1電極16は、複数の有機EL素子15と同様にマトリクス状に配置される。すなわち複数の第1電極16は、それぞれ行方向Xに所定の間隔をあけるとともに、列方向Yに所定の間隔をあけて配置される。第1電極16は、薄膜状に形成され、平面視でたとえば略矩形状や略楕円形状などに形成される。第1電極16は平面視で主に第1隔壁部材13の設けられる領域を除く領域に形成されるが、本実施形態ではその周縁部が第1隔壁部材13に覆われている。
換言すると本実施形態における第1隔壁部材13は第1電極16の周縁部を覆うように形成されている。
In this embodiment, an active matrix driving type substrate is used. Therefore, the same number of first electrodes 16 as the organic EL elements 15 are provided on the support substrate 11. The plurality of first electrodes 16 are arranged in a matrix like the plurality of organic EL elements 15. That is, the plurality of first electrodes 16 are arranged at predetermined intervals in the row direction X and at predetermined intervals in the column direction Y, respectively. The first electrode 16 is formed in a thin film shape, and is formed in, for example, a substantially rectangular shape or a substantially elliptical shape in plan view. The first electrode 16 is mainly formed in a region excluding the region where the first partition member 13 is provided in a plan view, but in the present embodiment, the peripheral portion is covered with the first partition member 13.
In other words, the first partition member 13 in the present embodiment is formed so as to cover the peripheral edge of the first electrode 16.

有機EL層17は、有機EL素子15のうちで、第1電極16および第2電極18に挟持される全ての層を意味する。有機EL層17としては、前述したように少なくとも発光層が設けられるが、この他に、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層、正孔ブロック層、電子輸送層および電子注入層などが必要に応じて設けられる。有機EL層17は、第1電極16上であって、かつ隔壁12に囲まれた領域に設けられる。すなわち有機EL層17は、第1電極16上であって、開口部19に設けられる。   The organic EL layer 17 means all layers sandwiched between the first electrode 16 and the second electrode 18 in the organic EL element 15. As described above, at least a light emitting layer is provided as the organic EL layer 17, but in addition to this, a hole injection layer, a hole transport layer, an electron block layer, a hole block layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like. Is provided as necessary. The organic EL layer 17 is provided on the first electrode 16 and in a region surrounded by the partition walls 12. That is, the organic EL layer 17 is provided on the opening 19 on the first electrode 16.

第2電極18は、本実施形態では複数の有機EL素子15に共通の電極として設けられる。すなわち第2電極18は、有機EL層17上のみならず、隔壁12および突起部34上にも延在して設けられ、複数の有機EL素子15にまたがって、連続して形成されている。   In the present embodiment, the second electrode 18 is provided as a common electrode for the plurality of organic EL elements 15. That is, the second electrode 18 is provided not only on the organic EL layer 17 but also on the partition wall 12 and the protrusion 34 and continuously formed across the plurality of organic EL elements 15.

このように本実施形態では第2電極から前記突起部34上にまで延在して導電性部材が形成される。この突起部上に形成される導電性部材を本明細書では接続電極35という。   As described above, in this embodiment, the conductive member is formed to extend from the second electrode to the protrusion 34. In this specification, the conductive member formed on the protrusion is referred to as a connection electrode 35.

対向基板31は支持基板11と対向して配置される。対向基板は、前記支持基板に臨む表面部に導電性を示す部材が設けられている。対向基板31は少なくともその表面部に導電性を示す部材が設けられていればよいため、その全てが導電性を示す部材によって構成されていてもよいが、本実施形態では対向基板31は、電気絶縁性を示す絶縁性基板32と、この絶縁性基板32上に設けられる導電性薄膜33とから構成されている。   The counter substrate 31 is disposed to face the support substrate 11. The counter substrate is provided with a conductive member on the surface portion facing the support substrate. Since the counter substrate 31 only needs to be provided with a member exhibiting conductivity on at least the surface portion thereof, all of the counter substrate 31 may be configured by a member exhibiting conductivity. In this embodiment, the counter substrate 31 is electrically The insulating substrate 32 is made up of an insulating substrate 32 and a conductive thin film 33 provided on the insulating substrate 32.

対向基板31は、導電性薄膜33を支持基板11側に配して、支持基板11と貼り合わされる。このように対向基板31を配置することで、前記突起部34上に形成された接続電極35が、対向基板31に当接する。なお本実施形態では導電性薄膜33に接続電極35が当接している。   The counter substrate 31 is bonded to the support substrate 11 with the conductive thin film 33 disposed on the support substrate 11 side. By disposing the counter substrate 31 in this way, the connection electrode 35 formed on the protrusion 34 abuts the counter substrate 31. In the present embodiment, the connection electrode 35 is in contact with the conductive thin film 33.

<発光装置の製造方法>
次に発光装置の製造方法について説明する。
<Method for manufacturing light emitting device>
Next, a method for manufacturing the light emitting device will be described.

(支持基板を用意する工程)
本工程では前記突起部、前記有機EL素子および前記接続電極がその上に設けられた支持基板を用意する。
(Process for preparing support substrate)
In this step, a support substrate on which the protrusion, the organic EL element, and the connection electrode are provided is prepared.

本実施形態ではアクティブマトリクス型の表示装置を実現するために、複数の有機EL素子を個別に駆動するための回路が予め形成された基板を支持基板11として使用することができる。たとえばTFT(Thin Film Transistor)およびキャパシタなどが予め形成された基板を支持基板11として使用することができる。   In this embodiment, in order to realize an active matrix display device, a substrate on which circuits for individually driving a plurality of organic EL elements are formed in advance can be used as the support substrate 11. For example, a substrate on which a TFT (Thin Film Transistor), a capacitor, and the like are formed in advance can be used as the support substrate 11.

次に支持基板11上に複数の第1電極16をマトリクス状に形成する。第1電極16は、たとえば支持基板11上の一面に透明導電性薄膜を形成し、これをフォトリソグラフィ法によってマトリクス状にパターニングし、不要な部分をエッチングにより除去することによって形成される。またたとえば所定の部位に開口が形成されたマスクを支持基板11上に配置し、このマスクを介して支持基板11上の所定の部位に透明導電性材料を選択的に堆積することにより第1電極16をパターン形成してもよい。第1電極16の材料については後述する。   Next, a plurality of first electrodes 16 are formed in a matrix on the support substrate 11. The first electrode 16 is formed, for example, by forming a transparent conductive thin film on one surface of the support substrate 11, patterning it in a matrix by photolithography, and removing unnecessary portions by etching. In addition, for example, a mask having an opening formed at a predetermined portion is disposed on the support substrate 11, and a transparent conductive material is selectively deposited on the predetermined portion on the support substrate 11 through the mask to thereby form the first electrode. 16 may be patterned. The material of the first electrode 16 will be described later.

次に隔壁12を支持基板11上に形成する。本実施形態ではまず第1隔壁部材13を形成する。第1隔壁部材13は有機物または無機物によって構成される。第1隔壁部材13を構成する有機物としてはアクリル樹脂、フェノール樹脂、およびポリイミド樹脂などの樹脂を挙げることができる。また第1隔壁部材13を構成する無機物としてはSiOやSiNなどを挙げることができる。 Next, the partition wall 12 is formed on the support substrate 11. In this embodiment, first, the first partition member 13 is formed. The first partition member 13 is made of an organic material or an inorganic material. Examples of the organic material constituting the first partition member 13 include resins such as acrylic resin, phenol resin, and polyimide resin. Examples of the inorganic material constituting the first partition member 13 include SiO x and SiN x .

有機物からなる第1隔壁部材13を形成する場合、まずたとえばポジ型またはネガ型の感光性樹脂を一面に塗布し、所定の部位を露光、現像する。さらにこれを硬化することによって、格子状の第1隔壁部材13が形成される。また無機物からなる第1隔壁部材13を形成する場合、無機物からなる薄膜をプラズマCVD法やスパッタ法などによって一面に形成し、次に所定の部位を除去することにより格子状の第1隔壁部材13が形成される。所定の部位の除去はたとえばフォトリソグラフィ法とエッチングによって行われる。   When the first partition member 13 made of an organic material is formed, first, for example, a positive or negative photosensitive resin is applied on one surface, and a predetermined portion is exposed and developed. Further, by curing this, a lattice-shaped first partition wall member 13 is formed. When forming the first partition member 13 made of an inorganic material, a thin film made of an inorganic material is formed on one surface by a plasma CVD method, a sputtering method, or the like, and then a predetermined portion is removed to thereby form a lattice-shaped first partition member 13. Is formed. The predetermined portion is removed by, for example, photolithography and etching.

次に格子状の第2隔壁部材14を形成する。第2隔壁部材14はたとえば第1隔壁部材13の材料として例示した材料を用いて、第1隔壁部材13を形成する方法と同様にして格子状に形成することができる。   Next, a grid-like second partition member 14 is formed. The second partition member 14 can be formed in a lattice shape in the same manner as the method for forming the first partition member 13 using, for example, the material exemplified as the material of the first partition member 13.

次に突起部34を形成する。突起部34は、たとえば第1隔壁部材13の材料として例示した材料を用いて、第1隔壁部材13を形成する方法と同様にして隔壁12上にパターン形成することができる。
隔壁12は有機EL層を形成する前に必要に応じて撥液化される。たとえば第2隔壁部材14が有機物から構成される場合、フッ化物を含有する雰囲気中でプラズマ処理を行うことにより、第2隔壁部材14の表面に撥液性を付与することができる。本処理ではフッ化物として、CF、CHF、CH、C、C、Cなどを用いることができる。このように第2隔壁部材14の表面に撥液性を付与することによって、隔壁12に囲まれる領域(開口部19)に供給されるインキを、開口部19内で保持することができる。
Next, the protrusion 34 is formed. The protrusions 34 can be patterned on the barrier ribs 12 in the same manner as the method of forming the first barrier rib members 13 using, for example, the material exemplified as the material of the first barrier rib members 13.
The partition wall 12 is made liquid repellent as necessary before forming the organic EL layer. For example, when the 2nd partition member 14 is comprised from organic substance, liquid repellency can be provided to the surface of the 2nd partition member 14 by performing a plasma process in the atmosphere containing a fluoride. In this treatment, CF 4 , CHF 3 , CH 2 F 2 , C 3 F 8 , C 4 F 6 , C 4 F 8 or the like can be used as the fluoride. Thus, by providing liquid repellency to the surface of the second partition member 14, the ink supplied to the region (opening 19) surrounded by the partition 12 can be held in the opening 19.

次に有機EL素子を形成する。なお本実施形態では第1電極16が予め形成されているため、さらに有機EL層17、第2電極18を形成することによって有機EL素子15を作製する。   Next, an organic EL element is formed. In this embodiment, since the first electrode 16 is formed in advance, the organic EL element 15 is fabricated by further forming the organic EL layer 17 and the second electrode 18.

有機EL層17はたとえば塗布法によって形成される。まず有機EL層17となる有機EL材料を含むインキを、隔壁12に囲まれる領域(開口部19)に選択的に供給する。
インキを選択的に供給する方法としては、インクジェットプリント法、凸版印刷法、凹版印刷法およびノズルコート法などの印刷法が挙げられる。次に供給されたインキを固化することによって有機EL層を形成する。
The organic EL layer 17 is formed by, for example, a coating method. First, ink containing an organic EL material to be the organic EL layer 17 is selectively supplied to a region (opening 19) surrounded by the partition wall 12.
Examples of methods for selectively supplying ink include ink-jet printing methods, letterpress printing methods, intaglio printing methods, and nozzle coating methods. Next, an organic EL layer is formed by solidifying the supplied ink.

なお全ての有機EL素子に共通する層を形成する場合、有機EL材料を含むインキを、隔壁12に囲まれる領域に選択的に供給する必要がないこともある。全ての有機EL素子に共通する層は、上述の方法と同様に、インキを選択的に供給することによって形成してもよいが、たとえばスピンコート法、キャピラリーコート法、ディップコート法などによって、全面にインキを塗布し、これを固化することによって形成してもよい。   When a layer common to all organic EL elements is formed, it may not be necessary to selectively supply an ink containing an organic EL material to a region surrounded by the partition wall 12. A layer common to all organic EL elements may be formed by selectively supplying ink in the same manner as described above. For example, the entire surface may be formed by spin coating, capillary coating, dip coating, or the like. You may form by apply | coating an ink and solidifying this.

次に第2電極18を形成する。第2電極18は本実施形態では全面に形成する。すなわち有機EL層17上、隔壁12上および突起部34上に、全面に導電性薄膜を形成する。
これによって全ての有機EL素子15に連続して設けられる第2電極18が形成され、結果として接続電極35が突起部34上に形成される。第2電極18の材料については後述する。
Next, the second electrode 18 is formed. In the present embodiment, the second electrode 18 is formed on the entire surface. That is, a conductive thin film is formed on the entire surface of the organic EL layer 17, the partition wall 12, and the protrusion 34.
As a result, the second electrode 18 continuously provided on all the organic EL elements 15 is formed, and as a result, the connection electrode 35 is formed on the protrusion 34. The material of the second electrode 18 will be described later.

次に対向基板31を用意する。本実施形態では絶縁性基板32と、この絶縁性基板32上に設けられる導電性薄膜33とから構成される対向基板31を用意する。   Next, the counter substrate 31 is prepared. In the present embodiment, a counter substrate 31 composed of an insulating substrate 32 and a conductive thin film 33 provided on the insulating substrate 32 is prepared.

絶縁性基板32はたとえばガラス基板、石英ガラス基板によって構成される。   The insulating substrate 32 is constituted by, for example, a glass substrate or a quartz glass substrate.

導電性薄膜33はたとえばスパッタリング法、イオンプレーティング法によって絶縁性基板32上に形成される。第2電極18は成膜する際に有機EL素子に損傷を与えることがあるため、有機EL素子に与える損傷の少ない方法によって形成することが好ましく、成膜方法が限定されることがある。他方、導電性薄膜33を形成する方法は特に限定されないため、導電性薄膜33は、第2電極18よりも成膜速度の速い方法によって形成することが好ましく、たとえばスパッタリング法によって形成することが好ましい。   The conductive thin film 33 is formed on the insulating substrate 32 by, for example, a sputtering method or an ion plating method. Since the second electrode 18 may damage the organic EL element when forming the film, it is preferable to form the second electrode 18 by a method that causes little damage to the organic EL element, and the film forming method may be limited. On the other hand, since the method for forming the conductive thin film 33 is not particularly limited, the conductive thin film 33 is preferably formed by a method having a film formation rate faster than that of the second electrode 18, for example, by sputtering. .

導電性薄膜33はたとえば電気抵抗の低い材料によって構成することが好ましく、Ag、Al、Au、Cr、Cu、In、Mg、Mo、Pt、Sn、Ta、W、およびZnからなる群から選ばれる1種以上の金属の薄膜によって構成されることが好ましい。   The conductive thin film 33 is preferably made of, for example, a material having low electric resistance, and is selected from the group consisting of Ag, Al, Au, Cr, Cu, In, Mg, Mo, Pt, Sn, Ta, W, and Zn. It is preferable that the thin film is formed of one or more kinds of metals.

対向基板31はたとえば所定の接着部材によって支持基板11に貼り合わされる。たとえばまず対向基板31の周縁部に接着部材を配置し、次に支持基板11に対向基板31を貼り合せる。その後、接着部材を硬化することによって、対向基板31と支持基板11とを接着することができる。対向基板31を支持基板11に貼り合せる工程はたとえば不活性ガス雰囲気、または真空雰囲気において行うことが好ましい。接着部材にはたとえば熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、フリットガラスが用いられる。   The counter substrate 31 is bonded to the support substrate 11 by a predetermined adhesive member, for example. For example, an adhesive member is first disposed on the peripheral edge of the counter substrate 31, and then the counter substrate 31 is bonded to the support substrate 11. Thereafter, the counter substrate 31 and the support substrate 11 can be bonded by curing the adhesive member. The step of bonding the counter substrate 31 to the support substrate 11 is preferably performed in, for example, an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere. For the adhesive member, for example, a thermosetting resin, a photocurable resin, or frit glass is used.

以上説明したように本実施形態の発光装置には、接続電極35を介して第2電極18に電気的に接続される導電性薄膜33が対向基板31に設けられる。電力供給源から供給される電流は、第2電極18だけでなく、導電性薄膜33も通って流れるため、この導電性薄膜33を設けることによって、電力供給源から各有機EL素子に電力を供給する際に生じる電圧降下を小さくすることができる。これによって支持基板上の第2電極18を不必要に厚膜化することなく、電圧降下の抑制された発光装置を実現することができる。   As described above, in the light emitting device of this embodiment, the conductive thin film 33 that is electrically connected to the second electrode 18 through the connection electrode 35 is provided on the counter substrate 31. Since the current supplied from the power supply source flows not only through the second electrode 18 but also through the conductive thin film 33, by providing the conductive thin film 33, power is supplied from the power supply source to each organic EL element. It is possible to reduce the voltage drop that occurs during the process. As a result, it is possible to realize a light emitting device in which the voltage drop is suppressed without unnecessarily thickening the second electrode 18 on the support substrate.

また上述したように導電性薄膜33の成膜方法には制限がないため、成膜速度の速い方法で導電性薄膜33を形成することができ、発光装置の製造に要する時間を短くすることができる。   Further, as described above, since there is no limitation on the method for forming the conductive thin film 33, the conductive thin film 33 can be formed by a method having a high film forming speed, and the time required for manufacturing the light emitting device can be shortened. it can.

また導電性薄膜33を設けることによって、第2電極18の厚膜化を抑えることができるため、第2電極18を形成する際に有機EL素子に与えられるダメージを抑制することができる。   Further, by providing the conductive thin film 33, the second electrode 18 can be prevented from being thickened, so that damage to the organic EL element when the second electrode 18 is formed can be suppressed.

なお突起部34を対向基板側に形成することも考えられなくはないが、この場合、対向基板と支持基板とを貼り合せる際に、両者の位置合わせを高精度に行う必要があるところ、本実施形態のように突起部34を支持基板側に形成することによって、位置合わせを高精度に行うことなく貼り合せを行うことができ、工程を簡易化することができる。   Although it is not considered that the protrusion 34 is formed on the counter substrate side, in this case, when the counter substrate and the support substrate are bonded together, it is necessary to align the both with high accuracy. By forming the protrusions 34 on the support substrate side as in the embodiment, bonding can be performed without highly accurate alignment, and the process can be simplified.

また突起部34はスペーサとしても機能するため、対向基板31にかかる応力を分散し、対向基板31が撓むことを防ぐことができる。このように突起部34をスペーサとしても用いることによって、スペーサを別に形成する必要がなくなり、工程を簡略化することができる。   Further, since the protrusion 34 also functions as a spacer, the stress applied to the counter substrate 31 can be dispersed and the counter substrate 31 can be prevented from bending. Thus, by using the projection 34 as a spacer, it is not necessary to separately form a spacer, and the process can be simplified.

上述の実施形態の発光装置では、対向基板31は、電気絶縁性を示す絶縁性基板32と、この絶縁性基板32上に設けられる導電性薄膜33とから構成されているとしたが、対向基板31は導電性部材から構成されていてもよい。たとえば対向基板はAg、Al、Au、Cr、Cu、In、Mg、Mo、Pt、Sn、Ta、W、およびZnからなる群から選ばれる1種以上の金属の薄板によって構成されていてもよい。   In the light emitting device of the above-described embodiment, the counter substrate 31 is composed of the insulating substrate 32 exhibiting electrical insulation and the conductive thin film 33 provided on the insulating substrate 32. 31 may be comprised from the electroconductive member. For example, the counter substrate may be composed of one or more thin metal plates selected from the group consisting of Ag, Al, Au, Cr, Cu, In, Mg, Mo, Pt, Sn, Ta, W, and Zn. .

また前述の実施形態の発光装置では突起部34が隔壁12とは別に設けられるとしたが、たとえば突起部と隔壁との両方の機能を発揮する突起部を設けてもよい。図5は突起部と隔壁との両方の機能を発揮する突起部を備える発光装置を模式的に示す平面図である。
このように突起部と隔壁との両方の機能を発揮する突起部を設ける場合、隔壁と別に突起部を形成する必要がなくなるので工程を簡略化することができる。
In the light emitting device according to the above-described embodiment, the protrusion 34 is provided separately from the partition wall 12. However, for example, a protrusion that exhibits both functions of the protrusion and the partition wall may be provided. FIG. 5 is a plan view schematically showing a light emitting device including a protrusion that exhibits both functions of the protrusion and the partition.
Thus, when providing the projection part which exhibits the function of both a projection part and a partition, since it becomes unnecessary to form a projection part separately from a partition, a process can be simplified.

また本実施形態における隔壁は第1隔壁部材13と第2隔壁部材14とが支持基板11側からこの順で積層されて構成されるとしたが、隔壁は、単層構造のものであってもよい。   In the present embodiment, the partition walls are configured such that the first partition member 13 and the second partition member 14 are laminated in this order from the support substrate 11 side. However, the partition wall may have a single-layer structure. Good.

また本実施形態における隔壁は、第1隔壁部材13と第2隔壁部材14とがともに格子形状を有するとしたが、隔壁の形状は格子形状に限られない。たとえば格子形状の第1隔壁部材13上に、ストライプ状の第2隔壁部材を設けてもよく、また第1隔壁部材13と第2隔壁部材14とをともにストライプ形状に形成してもよい。   In the present embodiment, both the first partition member 13 and the second partition member 14 have a lattice shape, but the shape of the partition is not limited to the lattice shape. For example, a stripe-shaped second partition member may be provided on the lattice-shaped first partition member 13, and both the first partition member 13 and the second partition member 14 may be formed in a stripe shape.

<有機EL素子の構成>
前述したように有機EL素子は種々の層構成をとりうるが、以下では有機EL素子の層構造、各層の構成、および各層の形成方法についてさらに詳しく説明する。
<Configuration of organic EL element>
As described above, the organic EL element can have various layer configurations. Hereinafter, the layer structure of the organic EL element, the configuration of each layer, and the method of forming each layer will be described in more detail.

前述したように有機EL素子は、陽極および陰極からなる一対の電極と、該電極間に設けられる1または複数の有機EL層とを含んで構成され、1または複数の有機EL層として少なくとも1層の発光層を有する。なお有機EL素子は、無機物と有機物とを含む層、および無機層などを含んでいてもよい。有機層を構成する有機物としては、低分子化合物でも高分子化合物でもよく、また低分子化合物と高分子化合物との混合物でもよい。有機層は、高分子化合物を含むことが好ましく、ポリスチレン換算の数平均分子量が10〜10である高分子化合物を含むことが好ましい。 As described above, the organic EL element includes a pair of electrodes including an anode and a cathode, and one or more organic EL layers provided between the electrodes, and includes at least one layer as one or more organic EL layers. Having a light emitting layer. The organic EL element may include a layer containing an inorganic substance and an organic substance, an inorganic layer, and the like. The organic substance constituting the organic layer may be a low molecular compound or a high molecular compound, or a mixture of a low molecular compound and a high molecular compound. The organic layer preferably contains a polymer compound, and preferably contains a polymer compound having a polystyrene-equivalent number average molecular weight of 10 3 to 10 8 .

陰極と発光層との間に設けられる有機EL層としては、電子注入層、電子輸送層、正孔ブロック層などを挙げることができる。陰極と発光層との間に電子注入層と電子輸送層との両方の層が設けられる場合、陰極に近い層を電子注入層といい、発光層に近い層を電子輸送層という。陽極と発光層との間に設けられる有機EL層としては、正孔注入層、正孔輸送層、電子ブロック層などを挙げることができる。正孔注入層と正孔輸送層との両方の層が設けられる場合、陽極に近い層を正孔注入層といい、発光層に近い層を正孔輸送層という。   Examples of the organic EL layer provided between the cathode and the light emitting layer include an electron injection layer, an electron transport layer, and a hole blocking layer. When both the electron injection layer and the electron transport layer are provided between the cathode and the light emitting layer, the layer close to the cathode is called an electron injection layer, and the layer close to the light emitting layer is called an electron transport layer. Examples of the organic EL layer provided between the anode and the light emitting layer include a hole injection layer, a hole transport layer, and an electron block layer. When both the hole injection layer and the hole transport layer are provided, a layer close to the anode is referred to as a hole injection layer, and a layer close to the light emitting layer is referred to as a hole transport layer.

本実施の形態の有機EL素子のとりうる層構成の一例を以下に示す。
a)陽極/発光層/陰極
b)陽極/正孔注入層/発光層/陰極
c)陽極/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極
d)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/陰極
e)陽極/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
f)陽極/正孔輸送層/発光層/陰極
g)陽極/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
h)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
i)陽極/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
j)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極
k)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極
l)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/陰極
m)陽極/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
n)陽極/発光層/電子注入層/陰極
o)陽極/発光層/電子輸送層/陰極
p)陽極/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極
(ここで、記号「/」は、記号「/」を挟む各層が隣接して積層されていることを示す。
以下同じ。)
本実施の形態の有機EL素子は2層以上の発光層を有していてもよい。上記a)〜p)の層構成のうちのいずれか1つにおいて、陽極と陰極とに挟持された積層体を「構造単位A」とすると、2層の発光層を有する有機EL素子の構成として、下記q)に示す層構成を挙げることができる。なお2つある(構造単位A)の層構成は互いに同じでも、異なっていてもよい。
q)陽極/(構造単位A)/電荷発生層/(構造単位A)/陰極
また「(構造単位A)/電荷発生層」を「構造単位B」とすると、3層以上の発光層を有する有機EL素子の構成として、下記r)に示す層構成を挙げることができる。
r)陽極/(構造単位B)x/(構造単位A)/陰極
なお記号「x」は、2以上の整数を表し、(構造単位B)xは、構造単位Bがx段積層された積層体を表す。また複数ある(構造単位B)の層構成は同じでも、異なっていてもよい。
An example of a layer structure that can be taken by the organic EL element of the present embodiment is shown below.
a) anode / light emitting layer / cathode b) anode / hole injection layer / light emitting layer / cathode c) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode d) anode / hole injection layer / light emitting layer / Electron transport layer / cathode e) anode / hole injection layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode f) anode / hole transport layer / light emitting layer / cathode g) anode / hole transport layer / light emitting layer / Electron injection layer / cathode h) anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / cathode i) anode / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode j) anode / hole Injection layer / hole transport layer / light emitting layer / cathode k) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode l) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / Electron transport layer / cathode m) anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode n) anode / light emitting layer / electron injection layer / cathode o) anode / Photo layer / electron transport layer / cathode p) anode / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode (here, the symbol “/” indicates that the layers sandwiching the symbol “/” are stacked adjacent to each other) Indicates.
same as below. )
The organic EL element of the present embodiment may have two or more light emitting layers. In any one of the layer configurations of a) to p) above, when the laminate sandwiched between the anode and the cathode is referred to as “structural unit A”, the configuration of the organic EL element having two light emitting layers is obtained. And the layer structure shown in the following q). Note that the two (structural unit A) layer structures may be the same or different.
q) Anode / (structural unit A) / charge generating layer / (structural unit A) / cathode If “(structural unit A) / charge generating layer” is “structural unit B”, it has three or more light emitting layers. Examples of the structure of the organic EL element include the layer structure shown in the following r).
r) anode / (structural unit B) x / (structural unit A) / cathode The symbol “x” represents an integer of 2 or more, and (structural unit B) x is a stack in which the structural unit B is stacked in x stages. Represents the body. A plurality of (structural units B) may have the same or different layer structure.

ここで、電荷発生層とは電界を印加することにより正孔と電子を発生する層である。電荷発生層としては、たとえば酸化バナジウム、インジウムスズ酸化物(Indium Tin Oxide:略称ITO)、酸化モリブデンなどから成る薄膜を挙げることができる。   Here, the charge generation layer is a layer that generates holes and electrons by applying an electric field. Examples of the charge generation layer include a thin film made of vanadium oxide, indium tin oxide (abbreviated as ITO), molybdenum oxide, or the like.

有機EL素子は、陽極および陰極から構成される一対の電極のうちの陽極を陰極よりも支持基板寄りに配置して、支持基板に設けてもよく、また陰極を陽極よりも支持基板寄りに配置して、支持基板に設けてもよい。たとえば上記a)〜r)において、右側から順に各層を支持基板上に積層して有機EL素子を構成してもよく、また左側から順に各層を支持基板上に積層して有機EL素子を構成してもよい。   In the organic EL element, the anode of the pair of electrodes composed of the anode and the cathode may be disposed closer to the support substrate than the cathode, and the cathode may be disposed closer to the support substrate than the anode. And you may provide in a support substrate. For example, in the above a) to r), each layer may be laminated on the support substrate in order from the right side to constitute an organic EL element, or each layer may be laminated on the support substrate in order from the left side to constitute an organic EL element. May be.

積層する層の順序、層数、および各層の厚さについては、発光効率や素子寿命を勘案して適宜設定することができる。   The order of the layers to be laminated, the number of layers, and the thickness of each layer can be appropriately set in consideration of the light emission efficiency and the element lifetime.

次に、有機EL素子を構成する各層の材料および形成方法についてより具体的に説明する。   Next, the material and forming method of each layer constituting the organic EL element will be described more specifically.

<陽極>
発光層から放たれる光が陽極を通って素子外に出射する構成の有機EL素子の場合、陽極には光透過性を示す電極が用いられる。光透過性を示す電極としては、金属酸化物、金属硫化物および金属などの薄膜を用いることができ、電気伝導度および光透過率の高いものが好適に用いられる。具体的には酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide:略称IZO)、金、白金、銀、および銅などから成る薄膜が用いられ、これらの中でもITO、IZO、または酸化スズから成る薄膜が好適に用いられる。
<Anode>
In the case of an organic EL element having a configuration in which light emitted from the light emitting layer is emitted outside the element through the anode, an electrode exhibiting optical transparency is used for the anode. As the electrode exhibiting light transmittance, a thin film of metal oxide, metal sulfide, metal or the like can be used, and an electrode having high electrical conductivity and light transmittance is preferably used. Specifically, a thin film made of indium oxide, zinc oxide, tin oxide, ITO, indium zinc oxide (abbreviated as IZO), gold, platinum, silver, copper, or the like is used. Among these, ITO, IZO Or a thin film made of tin oxide is preferably used.

陽極の作製方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法などを挙げることができる。また陽極として、ポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などの有機の透明導電膜を用いてもよい。   Examples of a method for producing the anode include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, and a plating method. Further, as the anode, an organic transparent conductive film such as polyaniline or a derivative thereof, polythiophene or a derivative thereof may be used.

陽極の膜厚は、求められる特性や成膜工程の簡易さなどを考慮して適宜設定され、たとえば10nm〜10μmであり、好ましくは20nm〜1μmであり、さらに好ましくは50nm〜500nmである。   The film thickness of the anode is appropriately set in consideration of the required characteristics and the simplicity of the film forming process, and is, for example, 10 nm to 10 μm, preferably 20 nm to 1 μm, and more preferably 50 nm to 500 nm.

<陰極>
陰極の材料としては、仕事関数が小さく、発光層への電子注入が容易で、電気伝導度の高い材料が好ましい。また陽極側から光を取出す構成の有機EL素子では、発光層から放たれる光を陰極で陽極側に反射するために、陰極の材料としては可視光に対する反射率の高い材料が好ましい。陰極には、たとえばアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属および周期表の13族金属などを用いることができる。陰極の材料としては、たとえばリチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、アルミニウム、スカンジウム、バナジウム、亜鉛、イットリウム、インジウム、セリウム、サマリウム、ユーロピウム、テルビウム、イッテルビウムなどの金属、前記金属のうちの2種以上の合金、前記金属のうちの1種以上と、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫のうちの1種以上との合金、またはグラファイト若しくはグラファイト層間化合物などが用いられる。合金の例としては、マグネシウム−銀合金、マグネシウム−インジウム合金、マグネシウム−アルミニウム合金、インジウム−銀合金、リチウム−アルミニウム合金、リチウム−マグネシウム合金、リチウム−インジウム合金、カルシウム−アルミニウム合金などを挙げることができる。また陰極としては導電性金属酸化物および導電性有機物などから成る透明導電性電極を用いることができる。具体的には、導電性金属酸化物として酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、およびIZOを挙げることができ、導電性有機物としてポリアニリンもしくはその誘導体、ポリチオフェンもしくはその誘導体などを挙げることができる。なお陰極は、2層以上を積層した積層体で構成されていてもよい。なお電子注入層が陰極として用いられることもある。
<Cathode>
A material for the cathode is preferably a material having a low work function, easy electron injection into the light emitting layer, and high electrical conductivity. Further, in the organic EL element configured to extract light from the anode side, a material having a high reflectivity with respect to visible light is preferable as the cathode material in order to reflect light emitted from the light emitting layer to the anode side by the cathode. As the cathode, for example, an alkali metal, an alkaline earth metal, a transition metal, a group 13 metal of the periodic table, or the like can be used. Examples of cathode materials include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, beryllium, magnesium, calcium, strontium, barium, aluminum, scandium, vanadium, zinc, yttrium, indium, cerium, samarium, europium, terbium, ytterbium, and the like. A metal, two or more alloys of the metals, one or more of the metals, and one or more of gold, silver, platinum, copper, manganese, titanium, cobalt, nickel, tungsten, tin An alloy, graphite, or a graphite intercalation compound is used. Examples of alloys include magnesium-silver alloys, magnesium-indium alloys, magnesium-aluminum alloys, indium-silver alloys, lithium-aluminum alloys, lithium-magnesium alloys, lithium-indium alloys, calcium-aluminum alloys, and the like. it can. As the cathode, a transparent conductive electrode made of a conductive metal oxide or a conductive organic material can be used. Specifically, examples of the conductive metal oxide include indium oxide, zinc oxide, tin oxide, ITO, and IZO, and examples of the conductive organic substance include polyaniline or a derivative thereof, polythiophene or a derivative thereof, and the like. The cathode may be composed of a laminate in which two or more layers are laminated. The electron injection layer may be used as a cathode.

陰極の膜厚は、求められる特性や成膜工程の簡易さなどを考慮して適宜設定され、たとえば10nm〜10μmであり、好ましくは20nm〜1μmであり、さらに好ましくは50nm〜500nmである。   The film thickness of the cathode is appropriately set in consideration of the required characteristics and the simplicity of the film forming process, and is, for example, 10 nm to 10 μm, preferably 20 nm to 1 μm, and more preferably 50 nm to 500 nm.

陰極の作製方法としては、真空蒸着法、イオンプレーティング法などを挙げることができる。   Examples of the method for producing the cathode include a vacuum deposition method and an ion plating method.

<正孔注入層>
正孔注入層を構成する正孔注入材料としては、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、および酸化アルミニウムなどの酸化物や、フェニルアミン系化合物、スターバースト型アミン系化合物、フタロシアニン系化合物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、およびポリチオフェン誘導体などを挙げることができる。
<Hole injection layer>
The hole injection material constituting the hole injection layer includes oxides such as vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, and aluminum oxide, phenylamine compounds, starburst amine compounds, phthalocyanine compounds, amorphous carbon , Polyaniline, and polythiophene derivatives.

正孔注入層の膜厚は、求められる特性および成膜工程の簡易さなどを考慮して適宜設定され、たとえば1nm〜1μmであり、好ましくは2nm〜500nmであり、さらに好ましくは5nm〜200nmである。   The film thickness of the hole injection layer is appropriately set in consideration of the required characteristics and the simplicity of the film forming process, and is, for example, 1 nm to 1 μm, preferably 2 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm. is there.

<正孔輸送層>
正孔輸送層を構成する正孔輸送材料としては、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン誘導体、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ(p−フェニレンビニレン)若しくはその誘導体、又はポリ(2,5−チエニレンビニレン)若しくはその誘導体などを挙げることができる。
<Hole transport layer>
As the hole transport material constituting the hole transport layer, polyvinylcarbazole or a derivative thereof, polysilane or a derivative thereof, a polysiloxane derivative having an aromatic amine in a side chain or a main chain, a pyrazoline derivative, an arylamine derivative, a stilbene derivative, Triphenyldiamine derivative, polyaniline or derivative thereof, polythiophene or derivative thereof, polyarylamine or derivative thereof, polypyrrole or derivative thereof, poly (p-phenylene vinylene) or derivative thereof, or poly (2,5-thienylene vinylene) or Examples thereof include derivatives thereof.

正孔輸送層の膜厚は、求められる特性および成膜工程の簡易さなどを考慮して設定され、たとえば1nm〜1μmであり、好ましくは2nm〜500nmであり、さらに好ましくは5nm〜200nmである。   The film thickness of the hole transport layer is set in consideration of the required characteristics and the simplicity of the film forming process, and is, for example, 1 nm to 1 μm, preferably 2 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm. .

<発光層>
発光層は、通常、主として蛍光及び/又はりん光を発光する有機物、または該有機物とこれを補助するドーパントとから形成される。ドーパントは、たとえば発光効率の向上や、発光波長を変化させるために加えられる。なお発光層を構成する有機物は、低分子化合物でも高分子化合物でもよく、塗布法によって発光層を形成する場合には、発光層は高分子化合物を含むことが好ましい。発光層を構成する高分子化合物のポリスチレン換算の数平均分子量はたとえば10〜10程度である。発光層を構成する発光材料としては、たとえば以下の色素系材料、金属錯体系材料、高分子系材料、ドーパント材料を挙げることができる。
<Light emitting layer>
The light emitting layer is usually formed of an organic substance that mainly emits fluorescence and / or phosphorescence, or an organic substance and a dopant that assists the organic substance. The dopant is added, for example, in order to improve the luminous efficiency and change the emission wavelength. In addition, the organic substance which comprises a light emitting layer may be a low molecular compound or a high molecular compound, and when forming a light emitting layer by the apply | coating method, it is preferable that a light emitting layer contains a high molecular compound. The number average molecular weight in terms of polystyrene of the polymer compound constituting the light emitting layer is, for example, about 10 3 to 10 8 . Examples of the light emitting material constituting the light emitting layer include the following dye materials, metal complex materials, polymer materials, and dopant materials.

(色素系材料)
色素系材料としては、たとえば、シクロペンダミン誘導体、テトラフェニルブタジエン誘導体化合物、トリフェニルアミン誘導体、オキサジアゾール誘導体、ピラゾロキノリン誘導体、ジスチリルベンゼン誘導体、ジスチリルアリーレン誘導体、ピロール誘導体、チオフェン環化合物、ピリジン環化合物、ペリノン誘導体、ペリレン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー、キナクリドン誘導体、クマリン誘導体などを挙げることができる。
(Dye material)
Examples of dye-based materials include cyclopentamine derivatives, tetraphenylbutadiene derivative compounds, triphenylamine derivatives, oxadiazole derivatives, pyrazoloquinoline derivatives, distyrylbenzene derivatives, distyrylarylene derivatives, pyrrole derivatives, thiophene ring compounds. Pyridine ring compounds, perinone derivatives, perylene derivatives, oligothiophene derivatives, oxadiazole dimers, pyrazoline dimers, quinacridone derivatives, coumarin derivatives, and the like.

(金属錯体系材料)
金属錯体系材料としては、たとえばTb、Eu、Dyなどの希土類金属、またはAl、Zn、Be、Ir、Ptなどを中心金属に有し、オキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造などを配位子に有する金属錯体を挙げることができ、たとえばイリジウム錯体、白金錯体などの三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミニウムキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、フェナントロリンユーロピウム錯体などを挙げることができる。
(Metal complex materials)
Examples of the metal complex material include rare earth metals such as Tb, Eu, and Dy, or Al, Zn, Be, Ir, Pt, etc. as a central metal, and oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole, quinoline. Examples include metal complexes having structures as ligands, such as iridium complexes, platinum complexes and other metal complexes that emit light from triplet excited states, aluminum quinolinol complexes, benzoquinolinol beryllium complexes, benzoxazolyl zinc A complex, a benzothiazole zinc complex, an azomethylzinc complex, a porphyrin zinc complex, a phenanthroline europium complex, and the like can be given.

(高分子系材料)
高分子系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン誘導体、ポリチオフェン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリシラン誘導体、ポリアセチレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、上記色素系材料や金属錯体系発光材料を高分子化したものなどを挙げることができる。
(Polymer material)
As polymer materials, polyparaphenylene vinylene derivatives, polythiophene derivatives, polyparaphenylene derivatives, polysilane derivatives, polyacetylene derivatives, polyfluorene derivatives, polyvinyl carbazole derivatives, the above dye materials and metal complex light emitting materials are polymerized. The thing etc. can be mentioned.

発光層の厚さは、通常約2nm〜200nmである。   The thickness of the light emitting layer is usually about 2 nm to 200 nm.

<電子輸送層>
電子輸送層を構成する電子輸送材料としては、公知のものを使用でき、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタン若しくはその誘導体、ベンゾキノン若しくはその誘導体、ナフトキノン若しくはその誘導体、アントラキノン若しくはその誘導体、テトラシアノアントラキノジメタン若しくはその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレン若しくはその誘導体、ジフェノキノン誘導体、又は8−ヒドロキシキノリン若しくはその誘導体の金属錯体、ポリキノリン若しくはその誘導体、ポリキノキサリン若しくはその誘導体、ポリフルオレン若しくはその誘導体などを挙げることができる。
<Electron transport layer>
As the electron transport material constituting the electron transport layer, known materials can be used, such as oxadiazole derivatives, anthraquinodimethane or derivatives thereof, benzoquinone or derivatives thereof, naphthoquinone or derivatives thereof, anthraquinones or derivatives thereof, tetracyanoanthra. Quinodimethane or derivatives thereof, fluorenone derivatives, diphenyldicyanoethylene or derivatives thereof, diphenoquinone derivatives, or metal complexes of 8-hydroxyquinoline or derivatives thereof, polyquinoline or derivatives thereof, polyquinoxaline or derivatives thereof, polyfluorene or derivatives thereof, etc. Can be mentioned.

電子輸送層の膜厚は、求められる特性や成膜工程の簡易さなどを考慮して適宜設定され、たとえば1nm〜1μmであり、好ましくは2nm〜500nmであり、さらに好ましくは5nm〜200nmである。   The film thickness of the electron transport layer is appropriately set in consideration of the required characteristics and the simplicity of the film forming process, and is, for example, 1 nm to 1 μm, preferably 2 nm to 500 nm, more preferably 5 nm to 200 nm. .

<電子注入層>
電子注入層を構成する材料としては、発光層の種類に応じて最適な材料が適宜選択され、アルカリ金属、アルカリ土類金属、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のうちの1種類以上を含む合金、アルカリ金属若しくはアルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩、またはこれらの物質の混合物などを挙げることができる。アルカリ金属、アルカリ金属の酸化物、ハロゲン化物、および炭酸塩の例としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、酸化リチウム、フッ化リチウム、酸化ナトリウム、フッ化ナトリウム、酸化カリウム、フッ化カリウム、酸化ルビジウム、フッ化ルビジウム、酸化セシウム、フッ化セシウム、炭酸リチウムなどを挙げることができる。また、アルカリ土類金属、アルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩の例としては、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、酸化カルシウム、フッ化カルシウム、酸化バリウム、フッ化バリウム、酸化ストロンチウム、フッ化ストロンチウム、炭酸マグネシウムなどを挙げることができる。電子注入層は、2層以上を積層した積層体で構成されてもよく、たとえばLiF/Caなどを挙げることができる。
<Electron injection layer>
As a material constituting the electron injection layer, an optimal material is appropriately selected according to the type of the light emitting layer, and an alloy containing one or more of alkali metals, alkaline earth metals, alkali metals and alkaline earth metals, Alkali metal or alkaline earth metal oxides, halides, carbonates, mixtures of these substances, and the like can be given. Examples of alkali metals, alkali metal oxides, halides, and carbonates include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, lithium oxide, lithium fluoride, sodium oxide, sodium fluoride, potassium oxide, potassium fluoride , Rubidium oxide, rubidium fluoride, cesium oxide, cesium fluoride, lithium carbonate, and the like. Examples of alkaline earth metals, alkaline earth metal oxides, halides and carbonates include magnesium, calcium, barium, strontium, magnesium oxide, magnesium fluoride, calcium oxide, calcium fluoride, barium oxide, Examples thereof include barium fluoride, strontium oxide, strontium fluoride, and magnesium carbonate. An electron injection layer may be comprised by the laminated body which laminated | stacked two or more layers, for example, LiF / Ca etc. can be mentioned.

電子注入層の膜厚としては、1nm〜1μm程度が好ましい。   The thickness of the electron injection layer is preferably about 1 nm to 1 μm.

上述の各有機EL層は、上述した塗布法、真空蒸着法、およびラミネート法などによって形成することができる。   Each organic EL layer described above can be formed by the above-described coating method, vacuum deposition method, laminating method, or the like.

なお塗布法では、各有機EL層となる有機EL材料を含むインキを塗布成膜することによって有機EL層を形成するが、その際に使用されるインキの溶媒には、たとえばクロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタンなどの塩素系溶媒、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶媒、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセルソルブアセテートなどのエステル系溶媒、および水などが用いられる。   In the coating method, an organic EL layer is formed by coating and forming an ink containing an organic EL material to be each organic EL layer. Examples of the ink solvent used at that time include chloroform, methylene chloride, Chlorine solvents such as dichloroethane, ether solvents such as tetrahydrofuran, aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate and ethyl cellosolve acetate , And water are used.

11 支持基板
12 隔壁
13 第1隔壁部材
14 第2隔壁部材
15 有機EL素子
16 第1電極
17 有機EL層
18 第2電極
19 開口部
31 対向基板
32 絶縁性基板
33 導電性薄膜
34 突起部
35 接続電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Support substrate 12 Partition 13 First partition member 14 Second partition member 15 Organic EL element 16 First electrode 17 Organic EL layer 18 Second electrode 19 Opening 31 Counter substrate 32 Insulating substrate 33 Conductive thin film 34 Protrusion 35 Connection electrode

Claims (7)

支持基板と、
第1電極、有機EL層、および第2電極がこの順で前記支持基板上に積層されて構成される複数の有機EL素子と、
前記支持基板と対向して配置される対向基板と、
前記支持基板から前記対向基板に向けて突起する突起部と、
前記第2電極から前記突起部上にまで延在して形成される接続電極とを備え、
前記対向基板の前記支持基板に臨む表面部には導電性を示す部材が設けられており、
前記突起部上に形成された接続電極が、前記対向基板に当接している、発光装置。
A support substrate;
A plurality of organic EL elements configured by laminating a first electrode, an organic EL layer, and a second electrode in this order on the support substrate;
A counter substrate disposed to face the support substrate;
A protrusion that protrudes from the support substrate toward the counter substrate;
A connection electrode formed extending from the second electrode onto the protrusion,
The surface portion facing the support substrate of the counter substrate is provided with a conductive member.
A light emitting device, wherein a connection electrode formed on the protrusion is in contact with the counter substrate.
前記支持基板上に設けられ、前記複数の有機EL素子を区分けする隔壁をさらに有し、 前記突起部は前記隔壁上に設けられる、請求項1記載の発光装置。   The light-emitting device according to claim 1, further comprising a partition wall provided on the support substrate and separating the plurality of organic EL elements, wherein the protrusion is provided on the partition wall. 前記対向基板が導電性部材から構成されている、請求項1または2記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the counter substrate is made of a conductive member. 前記対向基板は、電気絶縁性を示す絶縁性基板と、この絶縁性基板上に設けられる導電性薄膜とから構成されている、請求項1〜3のいずれか1つに記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the counter substrate includes an insulating substrate that exhibits electrical insulation and a conductive thin film provided on the insulating substrate. 前記導電性薄膜はスパッタリング法によって絶縁性基板上に形成されている、請求項4記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 4, wherein the conductive thin film is formed on an insulating substrate by a sputtering method. 前記導電性薄膜は、Ag、Al、Au、Cr、Cu、In、Mg、Mo、Pt、Sn、Ta、W、およびZnからなる群から選ばれる1種以上の金属の薄膜によって構成される、請求項4または5記載の発光装置。   The conductive thin film is composed of a thin film of one or more metals selected from the group consisting of Ag, Al, Au, Cr, Cu, In, Mg, Mo, Pt, Sn, Ta, W, and Zn. The light emitting device according to claim 4. 請求項1〜6のいずれか1つに記載の発光装置を製造する発光装置の製造方法であって、
前記突起部、前記有機EL素子および前記接続電極がその上に設けられた支持基板を用意する工程と、
導電性を示す部材が表面部に設けられた対向基板を用意する工程と、
前記支持基板と対向基板とを貼り合せる工程とを含む発光装置の製造方法。
A method for manufacturing a light emitting device for manufacturing the light emitting device according to claim 1,
A step of preparing a support substrate on which the protrusion, the organic EL element, and the connection electrode are provided;
A step of preparing a counter substrate provided with a conductive member on the surface portion;
A method for manufacturing a light emitting device, comprising a step of bonding the support substrate and the counter substrate.
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