JP2012004297A - Light-emitting diode, light emitting device, illumination device, and display - Google Patents
Light-emitting diode, light emitting device, illumination device, and display Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012004297A JP2012004297A JP2010137235A JP2010137235A JP2012004297A JP 2012004297 A JP2012004297 A JP 2012004297A JP 2010137235 A JP2010137235 A JP 2010137235A JP 2010137235 A JP2010137235 A JP 2010137235A JP 2012004297 A JP2012004297 A JP 2012004297A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting diode
- light
- electrode
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 81
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 21
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 12
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 6
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 3
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
Description
本発明は、発光ダイオード、それを用いた発光装置、照明装置及びディスプレイに関する。 The present invention relates to a light emitting diode, a light emitting device using the same, a lighting device, and a display.
発光ダイオードは、省エネルギー、長寿命という利点があり、照明装置、カラー画像表示装置、液晶パネルのバックライト、又は、交通信号灯などの光源として、注目されている。 Light emitting diodes have the advantages of energy saving and long life, and are attracting attention as light sources such as lighting devices, color image display devices, liquid crystal panel backlights, or traffic signal lights.
発光ダイオードは、例えば、青色発光ダイオードを例に採ると、特許文献1に開示されているように、サファイアでなる支持層(基板)の表面に、バッファ層、N型GaN層、活性層、P型GaN層、及び、透明電極層を順次に積層した構造となっている。
For example, when the light emitting diode is a blue light emitting diode, as disclosed in
透明電極層の一部表面にはP側電極が形成されており、また、透明電極層、P型GaN層及び活性層の一部をドライエッチングし、N型GaN層の一部を露出させ、この露出したN型GaN層にN側電極を形成した構造となっている。特許文献2、3にも、同様の積層構造及び電極構造が開示されている。
A P-side electrode is formed on a part of the surface of the transparent electrode layer, and the transparent electrode layer, the P-type GaN layer and a part of the active layer are dry-etched to expose a part of the N-type GaN layer, An N-side electrode is formed on the exposed N-type GaN layer.
上述したように、従来の発光ダイオードでは、P側電極を、発光面となる透明電極層の表面に形成する一方、透明電極層、P型GaN層及び活性層の一部をドライエッチングし、N型GaN層の一部を露出させ、この露出したN型GaN層にN側電極を形成した構造となっているため、発光面積がP側電極及びN側電極の占有面積分だけ、縮小されてしまう。このため、当然の結果として、発光量が低下してしまうし、発光効率も低下する。 As described above, in the conventional light emitting diode, the P-side electrode is formed on the surface of the transparent electrode layer serving as the light emitting surface, while the transparent electrode layer, the P-type GaN layer, and a part of the active layer are dry-etched, and N Since a part of the p-type GaN layer is exposed and the n-side electrode is formed on the exposed n-type GaN layer, the light emission area is reduced by the occupied area of the p-side electrode and the n-side electrode. End up. For this reason, as a natural result, the amount of light emission decreases and the light emission efficiency also decreases.
また、N側電極を、N型GaN層の露出部分に限定的、集中的に設ける構造であるため、この部分に電流が集中する傾向にあり、均一な面発光の妨げとなる。 In addition, since the N-side electrode is provided in a limited and concentrated manner on the exposed portion of the N-type GaN layer, current tends to concentrate on this portion, thereby preventing uniform surface light emission.
更に、N側電極を形成するためのドライエッチングに当たっては、ICP型RIE装置を用いなければならない。ICP型RIE装置は、各種Siマイクロマシンニング(MEMS)用途をはじめ、化合物半導体エッチングによる高周波デバイス加工や、アルチックエッチングによる薄膜磁気ヘッド加工などに使用されるものであるが、極めて高価なものである。その高額な設備コストが発光ダイオードのコストアップに反映されてしまう。 Furthermore, an ICP type RIE apparatus must be used for dry etching for forming the N-side electrode. ICP-type RIE equipment is used for various Si micromachining (MEMS) applications, high-frequency device processing by compound semiconductor etching, thin film magnetic head processing by Altic etching, etc., but it is extremely expensive. . The expensive equipment cost is reflected in the cost increase of the light emitting diode.
本発明の課題は、発光量が大きく、発光効率の高い発光ダイオード、それを用いた発光装置、照明装置及びディスプレイを提供することである。 An object of the present invention is to provide a light emitting diode having a large light emission amount and high light emission efficiency, and a light emitting device, a lighting device, and a display using the light emitting diode.
本発明のもう一つの課題は、均一な面発光を実現し得る発光ダイオード、それを用いた発光装置、照明装置及びディスプレイを提供することである。 Another object of the present invention is to provide a light emitting diode capable of realizing uniform surface light emission, a light emitting device using the same, a lighting device, and a display.
本発明の更にもう一つの課題は、コストの安価な発光ダイオード、それを用いた発光装置、照明装置及びディスプレイを提供することである。 Still another object of the present invention is to provide an inexpensive light emitting diode, a light emitting device using the same, a lighting device, and a display.
上述した課題の少なくとも一つを解決するため、本発明に係る発光ダイオードは、n型半導体層と、p型半導体層と、支持層と、電極とを含んでおり、前記n型半導体層及びp型半導体層は、前記支持層の一面上に積層されている。 In order to solve at least one of the above-described problems, a light emitting diode according to the present invention includes an n-type semiconductor layer, a p-type semiconductor layer, a support layer, and an electrode. The type semiconductor layer is laminated on one surface of the support layer.
前記電極は、n側電極及びp側電極を含んでおり、前記n側電極及び前記p側電極の一方は、前記p型半導体層及び前記n型半導体層のうち、前記支持層側に位置する一方の半導体層を、前記支持層側から貫通し、先端が他方の半導体層に達している。 The electrode includes an n-side electrode and a p-side electrode, and one of the n-side electrode and the p-side electrode is located on the support layer side of the p-type semiconductor layer and the n-type semiconductor layer. One semiconductor layer penetrates from the support layer side, and the tip reaches the other semiconductor layer.
前記n側電極及び前記p側電極の他方は、前記支持層側に位置する前記一方の半導体層の、前記支持層側の面に形成された薄膜電極である。薄膜電極は、金属膜である。 The other of the n-side electrode and the p-side electrode is a thin film electrode formed on the surface on the support layer side of the one semiconductor layer located on the support layer side. The thin film electrode is a metal film.
p型半導体層及びn型半導体層に電気エネルギーを供給する電極に関しては、従来は、透明電極層の一部表面にP側電極を形成し、ドライエッチングによって露出させたN型GaN層に、N側電極を形成した構造となっていた。このため、上述した問題点を生じていた。 With respect to electrodes for supplying electric energy to the p-type semiconductor layer and the n-type semiconductor layer, conventionally, a P-side electrode is formed on a part of the surface of the transparent electrode layer, and an N-type GaN layer exposed by dry etching is formed on an N-type GaN layer. The side electrode was formed. For this reason, the problem mentioned above has arisen.
本発明では、この問題点を解決する手段として、n側電極及びp側電極の一方は、p型半導体層及びn型半導体層のうち、支持層側に位置する一方の半導体層を、支持層側から貫通し、先端が他方の半導体層に達している。 In the present invention, as a means for solving this problem, one of the n-side electrode and the p-side electrode is one of the p-type semiconductor layer and the n-type semiconductor layer, and one of the semiconductor layers located on the support layer side is replaced with the support layer. It penetrates from the side and the tip reaches the other semiconductor layer.
n側電極及びp側電極の他方は、一方の半導体層の支持層側に位置する面に形成された薄膜電極とする。この構成によれば、次の作用効果を得ることができる。 The other of the n-side electrode and the p-side electrode is a thin film electrode formed on the surface of one semiconductor layer located on the support layer side. According to this configuration, the following operational effects can be obtained.
(a)n側電極及びp側電極の一方は、p型半導体層及びn型半導体層のうち、支持層側に位置する一方の半導体層を、支持層側から貫通し、先端が他方の半導体層に達するように形成し、他方を、半導体層の支持層側に位置する面に形成された薄膜電極としたから、p側電極であれ、n側電極であれ、それが、発光面に現れることはない。従って、電極によって、発光面積が縮小されることがないから、発光量が大きく、発光効率の高い面発光の発光ダイオードを実現することができる。 (A) One of the n-side electrode and the p-side electrode is one of the p-type semiconductor layer and the n-type semiconductor layer, which penetrates one semiconductor layer located on the support layer side from the support layer side, and the tip is the other semiconductor The thin film electrode formed on the surface of the semiconductor layer located on the support layer side is formed on the other side, so that the p-side electrode or the n-side electrode appears on the light emitting surface. There is nothing. Therefore, since the light emitting area is not reduced by the electrode, it is possible to realize a surface emitting light emitting diode having a large light emission amount and high light emission efficiency.
(b)電極の一方については、半導体層における電流の面密度が微細孔の面密度に依存する。したがって、半導体層の面に対する微細孔の面密度を高密度化、均一化するなどにより、透明電極層を有することなしに、半導体層に対する電流の面拡散を促進し、均一な面発光を実現し得る。このため、透明電極層を省略し、製造プロセスの簡素化、それに伴う生産効率の向上、及び、コストダウンを達成することができる。しかも、透明電極層による光エネルギーの損失がなくなるので、発光量及び発光効率が向上する。もっとも、透明電極層を排除するものではない。 (B) For one of the electrodes, the surface density of the current in the semiconductor layer depends on the surface density of the micropores. Therefore, by increasing the surface density of the micropores with respect to the surface of the semiconductor layer, the surface diffusion of current to the semiconductor layer is promoted without having a transparent electrode layer, and uniform surface emission is realized. obtain. For this reason, a transparent electrode layer is abbreviate | omitted and the simplification of a manufacturing process, the improvement of the production efficiency accompanying it, and a cost reduction can be achieved. In addition, since the loss of light energy due to the transparent electrode layer is eliminated, the light emission amount and the light emission efficiency are improved. However, the transparent electrode layer is not excluded.
(c)微細孔は、レーザ穿孔法又は化学的穿孔法など、公知の穿孔技術を適用して容易に開けることができる。しかも、電極は、このようにして穿孔された微細孔内に充填された導体よって構成されているから、電極製造に当たって、溶融金属を、微細孔内に充填し、かつ、加圧する方法を採用することができる。この方法によれば、微細孔内に空洞のない緻密な電極を形成することができる。加圧状態を維持したままで硬化させると、更に良好な結果が得られる。 (C) The fine holes can be easily opened by applying a known drilling technique such as laser drilling or chemical drilling. In addition, since the electrode is composed of the conductor filled in the fine holes thus drilled, a method of filling and pressurizing the molten metal into the fine holes is adopted when manufacturing the electrode. be able to. According to this method, it is possible to form a dense electrode without a cavity in the micropore. Even better results can be obtained by curing while maintaining the pressurized state.
しかも、上述した製造方法は、プレス工法に属するものであり、従来のICP型RIE装置を用いたドライエッチング法に比較して、設備費が著しく安価で、処理時間も短くて済む。従って、コストの安価な発光ダイオードを実現することができる。 Moreover, the manufacturing method described above belongs to the press method, and the equipment cost is significantly lower and the processing time is shorter than the dry etching method using a conventional ICP type RIE apparatus. Therefore, an inexpensive light emitting diode can be realized.
微細孔は、好ましくは、所定の面密度で分布させる。これにより、半導体発光層に対する電流の面拡散を促進し、均一な面発光を実現し得る。微細孔は、その孔径がμmオーダである。 The micropores are preferably distributed with a predetermined surface density. Thereby, the surface diffusion of the current with respect to the semiconductor light emitting layer can be promoted, and uniform surface light emission can be realized. The micropore has a pore size on the order of μm.
(d)電極の他方は、薄膜電極であるから、製造が容易であり、しかも電流が効率よく面拡散される。 (D) Since the other electrode is a thin film electrode, it is easy to manufacture and the current is efficiently diffused into the surface.
光出射側の面に透明電極層を有し、電極の一部、例えばP側電極の一端部が、透明電極層に接続されていてもよい。これにより、電極分布による電流の面拡散の促進とともに、透明電極層による電流の面拡散の促進作用を併せ得ることができる。 A transparent electrode layer may be provided on the light emitting side surface, and a part of the electrode, for example, one end of the P-side electrode may be connected to the transparent electrode layer. Accordingly, it is possible to obtain both the surface diffusion of the current by the electrode distribution and the promotion of the surface diffusion of the current by the transparent electrode layer.
発光ダイオードは、赤色発光ダイオード、緑色発光ダイオードまたは青色発光ダイオードの何れであってもよいし、白色発光ダイオードであってもよい。 The light emitting diode may be a red light emitting diode, a green light emitting diode or a blue light emitting diode, or a white light emitting diode.
本発明は、更に、上述した発光ダイオードを用いた発光装置、照明装置ディスプレイ(表示装置)及び信号灯を開示する。 The present invention further discloses a light emitting device, a lighting device display (display device), and a signal lamp using the above-described light emitting diode.
以上述べたように、本発明によれば、次のような効果を得ることができる。
(a)発光量が大きく、発光効率の高い発光ダイオード、それを用いた発光装置、照明装置及びディスプレイを提供することができる。
(b)電流の面拡散を促進し、均一な面発光を実現し得る発光ダイオード、それを用いた発光装置、照明装置及びディスプレイを提供することができる。
(c)コストの安価な発光ダイオード、それを用いた発光装置、照明装置及びディスプレイを提供することができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
(A) It is possible to provide a light emitting diode having a large light emission amount and high luminous efficiency, and a light emitting device, a lighting device and a display using the light emitting diode.
(B) It is possible to provide a light emitting diode that can promote surface diffusion of current and realize uniform surface light emission, and a light emitting device, a lighting device, and a display using the light emitting diode.
(C) A low-cost light-emitting diode, a light-emitting device using the light-emitting diode, a lighting device, and a display can be provided.
本発明の他の目的、構成及び利点については、添付図面を参照し、更に詳しく説明する。添付図面は、単に、例示に過ぎない。 Other objects, configurations and advantages of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The accompanying drawings are merely examples.
1.発光ダイオード
図1を参照すると、本発明に係る発光ダイオードは、支持層1と、半導体発光層2と、p側電極4と、n側電極3とを含む。支持層1は、半導体層によって構成することができる。代表的には、Si、SiCなどの半導体層である。支持層1の一面上には、半導体発光層2が搭載されている。
1. Light-Emitting Diode Referring to FIG. 1, a light-emitting diode according to the present invention includes a
半導体発光層2は、これまで種々のタイプのものが提案されてきている。基本的には、pn接合を持ち、代表的にはIII-V族化合物半導体が用いられる。もっとも、公知技術に限らず、これから提案されることのある化合物半導体を用いたものであってもよい。半導体発光層2の層構造についても同様である。
Various types of semiconductor
本発明において、発光ダイオードは、赤色発光ダイオード、緑色発光ダイオード、青色発光ダイオード、橙色発光ダイオードの何れであってもよいし、白色発光ダイオードであってもよい。それらの発光ダイオードにおいて、半導体発光層2を構成する半導体材料の一例を以下に示す。
In the present invention, the light emitting diode may be any of a red light emitting diode, a green light emitting diode, a blue light emitting diode, and an orange light emitting diode, or a white light emitting diode. In these light emitting diodes, an example of a semiconductor material constituting the semiconductor
(a)赤色発光ダイオード
(ア) ヒ素(As)系の化合物半導体を用いたもの
例:AlGaAs系赤色発光ダイオード
(イ) ヒ素(As)、リン(P)系の化合物半導体を用いたもの
例:GaAsP系赤色発光ダイオード
(b)緑色発光ダイオード
(ア) リン(P)系の化合物半導体を用いたもの
例:GaP系緑色発光ダイオード
(イ) 窒素(N)系の化合物半導体を用いたもの
例:GaN系緑色発光ダイオード
(c)青色発光ダイオード
窒素(N)系の化合物半導体を用いたもの
例:GaN系青色発光ダイオード
(d)白色発光ダイオード
窒素(N)系の化合物半導体を用いたもの
例:GaN系白色発光ダイオード
(e)橙色発光ダイオード
リン(P)系の四元混晶化合物半導体を用いたもの
例:AlGaInP系橙色発光ダイオード
(A) Red light emitting diode (a) Using an arsenic (As) compound semiconductor Example: AlGaAs red light emitting diode (A) Using an arsenic (As) or phosphorus (P) compound semiconductor Example: GaAsP-based red light emitting diode (b) Green light-emitting diode (a) Using phosphorus (P) compound semiconductor Example: GaP green light-emitting diode (A) Using nitrogen (N) compound semiconductor Example: GaN-based green light-emitting diode (c) Blue light-emitting diode Using nitrogen (N) -based compound semiconductor Example: GaN-based blue light-emitting diode (d) White light-emitting diode Using nitrogen (N) -based compound semiconductor Example: GaN based white light emitting diode (e) Orange light emitting diode Phosphorus (P) based quaternary mixed crystal compound semiconductor Example: AlGaInP based orange light emitting diode
図1及び図2は、窒素(N)系の化合物半導体を用いたGaN系青色発光ダイオードの一例を示している。図を参照すると、半導体発光層2は、支持層1の一面上に、n型半導体層21、活性層22、p型半導体層23及びトップ層24を、この順序で積層した構造を持つ。一例であるが、n型半導体層21は、SiドープGaN層で構成され、p型半導体層23はMgドープGaN層で構成される。図示とは異なって、p型半導体層23とn型半導体層21の積層位置を入れ替えた構造であってよい。
1 and 2 show an example of a GaN blue light emitting diode using a nitrogen (N) compound semiconductor. Referring to the figure, the semiconductor
活性層22は、GaN−InGaN等でなる多重量子井戸MQW(Multiple Quantum Well)構造を有し、p型半導体層23と接する側に、Al−GaN超格子キャップ層を備えることがある。トップ層24は、光学的に透明な光学層であればよく、透明電極である必要はない。即ち、半導体発光層21の光出射面に透明電極を持たない場合がある。もっとも、透明電極を排除する趣旨ではない。
The
電極に関しては、従来は、透明電極層の一部表面にP側電極を形成し、ドライエッチングによって露出させたn型GaN層に、n側電極を形成した構造となっていた。このため、既に指摘した問題点を生じていた。 Conventionally, the electrode has a structure in which a P-side electrode is formed on a part of the surface of the transparent electrode layer, and the n-side electrode is formed on the n-type GaN layer exposed by dry etching. For this reason, the problem already pointed out has arisen.
本発明では、この問題点を解決する手段として、p型半導体層23のためのp側電極4を、支持層1、n型半導体層21及び活性層22を貫通し、p型半導体層23に到達する微細孔5内に充填した導体によって構成すると共に、支持層1の側に位置するn型半導体層21のためのn側電極を、薄膜電極3によって構成した。薄膜電極3には光反射膜としての役割をも担わせることができる。p側電極4の周りは、必要に応じて、絶縁膜6によって覆う。
In the present invention, as a means for solving this problem, the p-
p側電極4のための微細孔5は、所定のピッチ間隔で、m行n列のマトリクス状に配置する。行数m及び列数nは任意である。微細孔5は、その孔径はμmオーダであり、ピッチ間隔もそのようなオーダでよい。これにより、微細孔5の内部に充填されたp側電極4を、従来の透明電極層に代わる電極として機能させ、半導体発光層2に対する電流面拡散を促進し、均一な面発光を実現し得る。従って、発光量及び発光効率を改善しながら、従来必須であった透明電極層を省略して、製造プロセスを簡素化し、コストダウンを図ることができる。
The
n側薄膜電極3は、n型半導体層21の支持層1と向き合う面のほぼ全面に形成されている。支持層1には、縦導体71、72が設けられている。縦導体71、72は、支持層1の厚み方向に貫通して設けられた微細孔内に充填されたもので、p側電極4と同様の手段によって形成することができる。
The n-side
縦導体71、72のうち、縦導体71は、n側薄膜電極3の引出電極となるものであり、縦導体72は、ヒート・シンクである。縦導体71、72の組も、p側電極4と同様に、m行n列のマトリクス状に配置することができる。
Of the
引出電極となる縦導体71は、その電流容量を考慮して、その本数、分布密度などが決定される。ヒート・シンクとなる縦導体72は、効率的な面放熱を促すために、均一な面密度で分布させることが好ましい。もっとも、縦導体71、72に分けるのではなく、同一構成の縦導体を、ヒート・シンク又は引出電極として使い分けてもよい。ヒート・シンク用縦導体72は、図1に図示するように、n側薄膜電極3に接続させてもよいし、図2に示すように、n側薄膜電極3から離してもよい。また、p側電極4は、図3に示すように、その先端部をトップ層24に接触させてもよい。この構造は、トップ層24が透明電極である場合に有用である。上述した発光ダイオードによれば、次の作用効果を得ることができる。
The number, distribution density, and the like of the
(a)p側電極4は、支持層1の側に位置するn型半導体層21を、支持層1の側から貫通し、先端がp型半導体層23に達するように形成されており、しかも、n側電極が、n型半導体層21の支持層1の側に位置する面に形成された薄膜電極3によって構成されているから、p側電極であれ、n側電極であれ、それが、発光面に現れることはない。従って、電極によって、発光面積が縮小されることがないから、発光量が大きく、発光効率の高い面発光の発光ダイオードを実現することができる。
(A) The p-
(b)電流分布が微細孔5の分布に依存する。したがって、半導体発光層2の面に対する微細孔5の面分布を高密度化、均一化するなどにより、半導体発光層2に対する電流の面拡散を促進し、電流分布を均一化し、均一な面発光を実現し得る。
(B) The current distribution depends on the distribution of the fine holes 5. Accordingly, the surface distribution of the
(c)p側電極4及び縦導体71、72のための微細孔は、レーザ穿孔法又は化学的穿孔法など、公知の穿孔技術を適用して容易に開けることができる。しかも、p側電極4及び縦導体71、72は、このようにして穿孔された微細孔内に充填された導体よって構成できるから、電極製造に当たって、溶融金属を、微細孔内に充填し、かつ、加圧する方法を採用することができる。この方法によれば、微細孔内に空洞のない緻密なp側電極4及び縦導体71、72を形成することができる。加圧状態を維持したままで硬化させると、更に良好な結果が得られる。
(C) The fine holes for the p-
上述した加圧充填製造方法は、プレス工法に属するものであり、従来のICP型RIE装置を用いたドライエッチング法に比較して、設備費が著しく安価で、処理時間も短くて済む。従って、コストの安価な発光ダイオードを実現することができる。 The pressure filling manufacturing method described above belongs to the press method, and the equipment cost is significantly lower and the processing time is shorter than the dry etching method using a conventional ICP type RIE apparatus. Therefore, an inexpensive light emitting diode can be realized.
(d)n型半導体層21のためのn側電極は、薄膜電極3であるから、製造が容易であり、しかも電流が効率よく面拡散される。
(D) Since the n-side electrode for the n-
p側電極4及び縦導体71、72は、電気的特性の向上及び電極自体の品質向上等の観点から、溶融金属を用いて形成することが好ましい。この場合に用いられる金属材料の主なものとしては、ビスマス(Bi)、錫(Sn)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)及び亜鉛(Zn)を例示することができる。特に、ビスマス(Bi)を含有させると、ビスマス(Bi)の持つ凝固時の体積膨張特性により、微細孔5の内部で、空洞や空隙を生じることのない緻密なp側電極4及び縦導体71、72を形成することができる。
The p-
次に、図4を参照すると、発光面積の大きな発光ダイオードが図示されている。図において、図1及び図2に現れた構成部分と対応する部分については、同一の参照符号を付し、重複説明を省略する。 Next, referring to FIG. 4, a light emitting diode having a large light emitting area is illustrated. In the figure, components corresponding to those shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図5及び図6の実施形態では、微細孔5は、支持層1の面において、所定のピッチ間隔で、マトリクス状に配置されている。従って、微細孔5の内部に形成されるp側電極4も、M行N列のマトリクス状配置となり、行数M及び列数Nにほぼ比例する大きな発光面積及び発光量を確保することができる。
In the embodiment of FIGS. 5 and 6, the
2.発光装置
本発明は、2つ態様に係る発光装置を開示する。
(1)第1の態様に係る発光装置
図5を参照すると、第1の態様に係る発光装置は、発光ダイオードLEDと、蛍光体8とを含む。発光ダイオードLEDは、図1〜図3を参照して説明した本発明に係る発光ダイオードである。蛍光体8は、発光ダイオードLEDの光出射側に設けられ、発光ダイオードLEDの発光とは異なる色光を発光する。
2. Light Emitting Device The present invention discloses a light emitting device according to two embodiments.
(1) Light Emitting Device According to First Aspect Referring to FIG. 5, the light emitting device according to the first aspect includes a light emitting diode LED and a phosphor 8. The light emitting diode LED is a light emitting diode according to the present invention described with reference to FIGS. The phosphor 8 is provided on the light emitting side of the light emitting diode LED, and emits color light different from the light emission of the light emitting diode LED.
例えば、発光ダイオードLEDとして、青色発光ダイオードを用い、蛍光体8として、青色発光ダイオードの発する青色光に対して補色光を発光するものを用いた場合には、白色光(可視光)が得られる。青色発光ダイオードとして、GaN系化合物半導体が用いられ場合、対応する蛍光体8として、YAG系蛍光体8が用いられる。 For example, when a blue light emitting diode is used as the light emitting diode LED and a phosphor 8 that emits complementary color light with respect to the blue light emitted from the blue light emitting diode is used, white light (visible light) is obtained. . When a GaN compound semiconductor is used as the blue light emitting diode, a YAG phosphor 8 is used as the corresponding phosphor 8.
もっとも、発光装置としての発色光は、発光ダイオードLEDのタイプと、蛍光体8の光学的性質によって、広範囲に設定することができるので、白色光に限定されるものではない。 However, the color light as the light emitting device can be set in a wide range depending on the type of the light emitting diode LED and the optical property of the phosphor 8, and is not limited to white light.
発光ダイオードLEDは、マザーボード9の一面上に搭載されており、マザーボード9の他面側には、n側電極3及びp側電極5等に給電するための端子10、11が備えられている。蛍光体8は、マザーボード9の一面上で発光ダイオードLEDを、いわゆる「弾丸状」に覆っている。
The light-emitting diode LED is mounted on one surface of the
更に、図6を参照すると、発光面積の極めて大きな発光装置が図示されている。この発光装置は、面発光デバイスとして好適なものである。発光ダイオードLEDは、図4などで説明したように、微細孔5及び電極4を、M行N列に配置したもので、大面積の発光面を確保することができる。この大面積の発光ダイオードLEDの光出射側(発光面側)に、発光ダイオードLEDの発光とは異なる色光を発光する蛍光体8が設けられている。
Further, referring to FIG. 6, a light emitting device having a very large light emitting area is shown. This light emitting device is suitable as a surface emitting device. As described with reference to FIG. 4 and the like, the light emitting diode LED has the
発光ダイオードLEDとして、青色発光ダイオードを用い、蛍光体8として、青色発光ダイオードの発する青色光に対して補色光を発光するものを用いた場合には、照明装置または液晶バックライトなどに極めて有用な大面積の白色光(可視光)の発光装置が得られる。 When a blue light emitting diode is used as the light emitting diode LED and a phosphor 8 that emits complementary color light with respect to the blue light emitted from the blue light emitting diode is used, it is extremely useful for an illumination device or a liquid crystal backlight. A large-area white light (visible light) light-emitting device can be obtained.
(2)第2の態様に係る発光装置
第2の態様に係る発光装置は、図7〜図9に図示されている。まず、図7、図8を参照すると、赤色発光ダイオードRと、緑色発光ダイオードGと、青色発光ダイオードBとの組み合わせ含む。この発光装置は、光の3原色である赤色、緑色及び青色の各発光ダイオードR,G,Bを組み合わせ(1セルとして)て、白色光を得るものである。
(2) Light Emitting Device According to Second Aspect The light emitting device according to the second aspect is illustrated in FIGS. 7 to 9. First, referring to FIGS. 7 and 8, a combination of a red light emitting diode R, a green light emitting diode G, and a blue light emitting diode B is included. In this light emitting device, red, green, and blue light emitting diodes R, G, and B, which are the three primary colors of light, are combined (as one cell) to obtain white light.
赤色発光ダイオードR、緑色発光ダイオードG及び青色発光ダイオードBは、何れも、本発明に係る発光ダイオードである。 The red light emitting diode R, the green light emitting diode G, and the blue light emitting diode B are all light emitting diodes according to the present invention.
次に、図9を参照すると、赤色、緑色及び青色の各発光ダイオードR,G,Bを組み合わせて1セルとし、この発光ダイオードセル(C11〜CMN)を、M行N列に配置したもので、大面積の発光面を有する白色光の発光装置となる。 Next, referring to FIG. 9, the red, green, and blue light emitting diodes R, G, and B are combined into one cell, and the light emitting diode cells (C11 to CMN) are arranged in M rows and N columns. Thus, a white light emitting device having a large area light emitting surface is obtained.
3.照明装置
本発明に係る照明装置は、図5〜図9に図示した発光装置を用いて構成することができる。図5に示した発光装置を用いた場合には、その複数個を配列し、中間色光、白色光を生じさせる。発光装置は、マトリクス状(縦横状)に狭ピッチで配列することが好ましい。
3. Lighting Device The lighting device according to the present invention can be configured using the light emitting device illustrated in FIGS. When the light emitting device shown in FIG. 5 is used, a plurality of the light emitting devices are arranged to generate intermediate color light and white light. The light emitting devices are preferably arranged in a matrix (vertical and horizontal) at a narrow pitch.
次に、図6に示した発光装置を用いる場合は、発光装置自体が大面積化されているので、そのまま用い、中間色光、白色光を生じさせることができる。更に大面積化するには、図8に示された発光装置の複数個を、横または縦に並べてゆけばよい。 Next, when the light-emitting device shown in FIG. 6 is used, since the light-emitting device itself has a large area, it can be used as it is to generate intermediate color light and white light. In order to further increase the area, a plurality of light emitting devices shown in FIG. 8 may be arranged horizontally or vertically.
図7及び図8に示した発光装置を用いる場合は、その複数個を配列し、中間色光、白色光を生じさせる。発光装置は、マトリクス状(縦横状)に狭ピッチで配列することが好ましい。 When the light-emitting devices shown in FIGS. 7 and 8 are used, a plurality of the light-emitting devices are arranged to generate intermediate color light and white light. The light emitting devices are preferably arranged in a matrix (vertical and horizontal) at a narrow pitch.
図9に示した発光装置を用いる場合は、発光装置自体が大面積化されているので、そのまま用い、中間色光、白色光を生じさせることができる。更に大面積化するには、図9に示された発光装置の複数個を、横または縦に並べてゆけばよい。 In the case of using the light emitting device shown in FIG. 9, since the light emitting device itself has a large area, it can be used as it is and can generate intermediate color light and white light. In order to further increase the area, a plurality of light emitting devices shown in FIG. 9 may be arranged horizontally or vertically.
4.ディスプレイ
本発明に係るディスプレイ(表示装置)は、液晶ディスプレイと、発光ダイオードディスプレイを含んでいる。
(1)液晶ディスプレイ
図10を参照すると、液晶ディスプレイは、液晶パネル12と、バックライト13とを有する。バックライト12は、図5〜図9に示した発光装置を用いた本発明に係る照明装置でなり、液晶パネル12を、その背面から照明する。図10は、図6に図示した発光装置を用いた場合を例示している。
4). Display The display (display device) according to the present invention includes a liquid crystal display and a light emitting diode display.
(1) Liquid Crystal Display Referring to FIG. 10, the liquid crystal display includes a
(2)発光ダイオードディスプレイ
本発明に係る発光ダイオードディスプレイは、複数の発光装置を配列したものである。発光装置は、好ましくは、図9に図示した発光装置である。即ち、赤色発光ダイオードRと、緑色発光ダイオードGと、青色発光ダイオードBとの組み合わせ(1セルとして)を含んでいる。赤色発光ダイオードR、緑色発光ダイオードG及び青色発光ダイオードBは、何れも本発明に係る発光ダイオードである。1セル内に置いて、ドット状に配列された赤色、緑色及び青色の各発光ダイオードR,G,Bを、個別的に駆動して、所望のカラー画像を表示する。
(2) Light-emitting diode display The light-emitting diode display according to the present invention comprises a plurality of light-emitting devices arranged. The light emitting device is preferably the light emitting device illustrated in FIG. That is, a combination (as one cell) of a red light emitting diode R, a green light emitting diode G, and a blue light emitting diode B is included. The red light emitting diode R, the green light emitting diode G, and the blue light emitting diode B are all light emitting diodes according to the present invention. The red, green, and blue light emitting diodes R, G, and B arranged in a cell and individually arranged in one cell are individually driven to display a desired color image.
本発明に係る発光ダイオードによって、交通信号灯を構成することもできる。必要な信号灯色光は、発光ダイオードのタイプ、及び、それと蛍光体8との組み合わせによって実現することができる。 A traffic signal lamp can also be constituted by the light emitting diode according to the present invention. The necessary signal lamp color light can be realized by the type of the light emitting diode and the combination thereof with the phosphor 8.
以上、好ましい実施形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種種の変形態様を採り得ることは自明である。 Although the contents of the present invention have been specifically described above with reference to the preferred embodiments, it is obvious that those skilled in the art can adopt various modifications based on the basic technical idea and teachings of the present invention. It is.
1 支持層
2 半導体発光層
21 n型半導体層
23 p型半導体層
3 薄膜電極
4 電極
5 微細孔
1 Support layer
2 Semiconductor light emitting layer
21 n-type semiconductor layer
23 p-type semiconductor layer
3 Thin film electrodes
4 electrodes
5 micropores
Claims (7)
前記n型半導体層及びp型半導体層は、前記支持層の一面上で積層されており、
前記電極は、n側電極及びp側電極を含んでおり、
前記n側電極及び前記p側電極の一方は、前記p型半導体層及び前記n型半導体層のうち、前記支持層側に位置する一方の半導体層を、前記支持層側から貫通し、先端が他方の半導体層に達しており、
前記n側電極及び前記p側電極の他方は、前記支持層側に位置する前記一方の半導体層の、前記支持層側の面に形成された薄膜電極である、
発光ダイオード。 a light-emitting diode including an n-type semiconductor layer, a p-type semiconductor layer, a support layer, and an electrode;
The n-type semiconductor layer and the p-type semiconductor layer are stacked on one surface of the support layer,
The electrode includes an n-side electrode and a p-side electrode,
One of the n-side electrode and the p-side electrode penetrates one of the p-type semiconductor layer and the n-type semiconductor layer located on the support layer side from the support layer side, and the tip is Reaching the other semiconductor layer,
The other of the n-side electrode and the p-side electrode is a thin-film electrode formed on the surface of the one semiconductor layer located on the support layer side on the support layer side,
Light emitting diode.
前記発光ダイオードは、請求項1又は2に記載されたものでなり、
前記蛍光体は、前記発光ダイオードの光出射側に設けられ、前記発光ダイオードの発光とは異なる色光を発光する、
発光装置。 A light emitting device including a light emitting diode and a phosphor,
The light emitting diode is the one described in claim 1 or 2,
The phosphor is provided on the light emitting side of the light emitting diode, and emits color light different from the light emission of the light emitting diode.
Light emitting device.
前記赤色発光ダイオード、前記緑色発光ダイオード及び青色発光ダイオードは、請求項1乃至3の何れかに記載されたものでなる、
発光装置。 A light emitting device including a combination of a red light emitting diode, a green light emitting diode, and a blue light emitting diode,
The red light-emitting diode, the green light-emitting diode, and the blue light-emitting diode are those described in any one of claims 1 to 3.
Light emitting device.
前記バックライトは、請求項5に記載された照明装置でなり、前記液晶パネルを、その背面から照明する、液晶ディスプレイ。 A liquid crystal display having a liquid crystal panel and a backlight,
The said backlight is a illuminating device described in Claim 5, The liquid crystal display which illuminates the said liquid crystal panel from the back surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010137235A JP4657374B1 (en) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | Light emitting diode, light emitting device, lighting device, and display |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010137235A JP4657374B1 (en) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | Light emitting diode, light emitting device, lighting device, and display |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP4657374B1 JP4657374B1 (en) | 2011-03-23 |
| JP2012004297A true JP2012004297A (en) | 2012-01-05 |
Family
ID=43952775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010137235A Expired - Fee Related JP4657374B1 (en) | 2010-06-16 | 2010-06-16 | Light emitting diode, light emitting device, lighting device, and display |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4657374B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014135490A (en) * | 2013-01-14 | 2014-07-24 | Lg Innotek Co Ltd | Light-emitting element |
| JP2014135480A (en) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Lg Innotek Co Ltd | Light-emitting element |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5887638B2 (en) * | 2011-05-30 | 2016-03-16 | 億光電子工業股▲ふん▼有限公司Everlight Electronics Co.,Ltd. | Light emitting diode |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020117681A1 (en) * | 2001-02-23 | 2002-08-29 | Weeks T. Warren | Gallium nitride material devices and methods including backside vias |
| WO2003044872A1 (en) * | 2001-11-19 | 2003-05-30 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Compound semiconductor light emitting device and its manufacturing method |
| WO2005081319A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelectronic component, device comprising a plurality of optoelectronic components, and method for the production of an optoelectronic component |
| JP2009105376A (en) * | 2007-10-19 | 2009-05-14 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | Semiconductor light emitting device, manufacturing method thereof, and semiconductor light emitting device package using the same |
| JP2009194109A (en) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | Semiconductor light-emitting element, manufacturing method thereof and illumination apparatus |
| JP4454689B1 (en) * | 2009-09-10 | 2010-04-21 | 有限会社ナプラ | Light emitting diode, light emitting device, lighting device, display and signal lamp |
-
2010
- 2010-06-16 JP JP2010137235A patent/JP4657374B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020117681A1 (en) * | 2001-02-23 | 2002-08-29 | Weeks T. Warren | Gallium nitride material devices and methods including backside vias |
| WO2003044872A1 (en) * | 2001-11-19 | 2003-05-30 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Compound semiconductor light emitting device and its manufacturing method |
| WO2005081319A1 (en) * | 2004-02-20 | 2005-09-01 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelectronic component, device comprising a plurality of optoelectronic components, and method for the production of an optoelectronic component |
| JP2009105376A (en) * | 2007-10-19 | 2009-05-14 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | Semiconductor light emitting device, manufacturing method thereof, and semiconductor light emitting device package using the same |
| JP2009194109A (en) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | Semiconductor light-emitting element, manufacturing method thereof and illumination apparatus |
| JP4454689B1 (en) * | 2009-09-10 | 2010-04-21 | 有限会社ナプラ | Light emitting diode, light emitting device, lighting device, display and signal lamp |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014135480A (en) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Lg Innotek Co Ltd | Light-emitting element |
| JP2014135490A (en) * | 2013-01-14 | 2014-07-24 | Lg Innotek Co Ltd | Light-emitting element |
| US9368688B2 (en) | 2013-01-14 | 2016-06-14 | Lg Innotek Co., Ltd. | Light emitting device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4657374B1 (en) | 2011-03-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4454689B1 (en) | Light emitting diode, light emitting device, lighting device, display and signal lamp | |
| Hamidnia et al. | Application of micro/nano technology for thermal management of high power LED packaging–A review | |
| CN102456827B (en) | Light-emitting device and method for manufacturing the same | |
| JP4805831B2 (en) | Semiconductor light emitting device, lighting module, lighting device, surface mount component, and display device | |
| TWI513065B (en) | Semiconductor light emitting device and light emitting device | |
| TWI606612B (en) | Semiconductor light emitting element and method of manufacturing same | |
| JP5762786B2 (en) | Light emitting device, light emitting device package | |
| CN102332520A (en) | Light emitting device | |
| CN103151447B (en) | A kind of double-side diode structure and preparation method thereof | |
| JP5124688B2 (en) | Lighting device, display, and signal lamp | |
| JP5276680B2 (en) | Light emitting device package, lighting system | |
| US7811843B1 (en) | Method of manufacturing light-emitting diode | |
| US8120011B2 (en) | Opto-electronic device | |
| KR20120004876A (en) | Light emitting device, light emitting device manufacturing method, light emitting device package and light emitting system | |
| JP4657374B1 (en) | Light emitting diode, light emitting device, lighting device, and display | |
| TWI453952B (en) | Light emitting element and manufacturing method thereof | |
| US8076675B2 (en) | Light-emitting diode chip and method of manufacturing the same | |
| JP5278175B2 (en) | Light emitting device | |
| CN102693970B (en) | LED device | |
| TW201444073A (en) | Light-emitting diode module | |
| CN107278334A (en) | High voltage driven light emitting device and manufacturing method thereof | |
| JP2015050256A (en) | Nitride semiconductor light emitting device | |
| JP2010205948A (en) | Led display device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4657374 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |