JP2014040022A

JP2014040022A - Liquid discharge head

Info

Publication number: JP2014040022A
Application number: JP2012182526A
Authority: JP
Inventors: Sayaka Takahashi; 紗綾香高橋; Shin Ishimatsu; 伸石松; Chiaki Muraoka; 千秋村岡
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2012-08-21
Filing date: 2012-08-21
Publication date: 2014-03-06

Abstract

【課題】露光装置のテレセントリック性の影響を低減させ、記録品位の低減を抑制した液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】
本発明の液体吐出ヘッドは、インクを吐出するための複数の吐出口５を有する記録素子基板を備えており、複数の吐出口５が並んで吐出口列９が形成されている。吐出口列９は、記録素子基板の厚さ方向に対して角度を有する一部の吐出口５からなる傾斜吐出部５２を有している。傾斜吐出部５２の吐出口５の口径が、傾斜吐出部５２を構成していない吐出口５の口径よりも小さくなっている。
【選択図】図４A liquid discharge head that reduces the influence of telecentricity of an exposure apparatus and suppresses a reduction in recording quality is provided.
[Solution]
The liquid ejection head of the present invention includes a recording element substrate having a plurality of ejection ports 5 for ejecting ink, and a plurality of ejection ports 5 are arranged to form an ejection port array 9. The discharge port array 9 has an inclined discharge portion 52 including a part of the discharge ports 5 having an angle with respect to the thickness direction of the recording element substrate. The diameter of the discharge port 5 of the inclined discharge unit 52 is smaller than the diameter of the discharge port 5 that does not constitute the inclined discharge unit 52.
[Selection] Figure 4

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。 The present invention relates to a liquid discharge head that discharges liquid.

液体を吐出する液体吐出ヘッドを用いる例としては、液体であるインクを記録媒体に吐出して記録を行うインクジェット記録装置が挙げられる。インクジェット記録装置で使用される液体吐出ヘッドを作製する方法として、特許文献１には、投影方式のｉ線露光装置を用いる方法が紹介されている。特許文献１に記載の液体吐出ヘッドは、吐出口および吐出口に液体を供給する流路が設けられた吐出口形成部材と、吐出口からインクを吐出するために利用される吐出エネルギーを発生するエネルギー発生素子を有する基板と、を有している。 An example of using a liquid discharge head that discharges a liquid is an ink jet recording apparatus that performs recording by discharging liquid ink onto a recording medium. As a method for producing a liquid discharge head used in an ink jet recording apparatus, Patent Document 1 introduces a method using a projection type i-line exposure apparatus. The liquid discharge head described in Patent Document 1 generates a discharge port forming member provided with a discharge port and a flow path for supplying liquid to the discharge port, and discharge energy used for discharging ink from the discharge port. And a substrate having an energy generating element.

そして、この特許文献１の液体吐出ヘッドの吐出口の製造方法は以下の通りである。まず、基板上にポジ型感光性樹脂層を形成する。そして、形成したポジ型感光性樹脂層を露光し、液体の流路のパターンを形成する。次に、形成したパターン上に吐出口形成部材となるネガ型感光性樹脂層を形成する。そして、形成したネガ型感光性樹脂層を、ｉ線露光し、パターニングして、現像処理をして、吐出口を形成する。 And the manufacturing method of the discharge port of the liquid discharge head of this patent document 1 is as follows. First, a positive photosensitive resin layer is formed on a substrate. Then, the formed positive photosensitive resin layer is exposed to form a liquid flow path pattern. Next, a negative photosensitive resin layer to be a discharge port forming member is formed on the formed pattern. Then, the formed negative photosensitive resin layer is subjected to i-line exposure, patterned, and developed to form discharge ports.

この方法により、極めて良好な円形形状の吐出口を再現良くかつ簡便に得ることができる。 By this method, an extremely good circular discharge port can be easily obtained with good reproducibility.

また、露光装置の画角以上の液体吐出ヘッドの吐出口列（複数の吐出口の列）を、投影方式のｉ線を用いた露光装置により加工するには、吐出口列を長手方向に２分割して露光、つまり２回に分けて露光するのが一般的である。このようにすることで、画角以上の吐出口列を備える液体吐出ヘッドを製造することができる。 Further, in order to process an ejection port array (rows of a plurality of ejection ports) of a liquid ejection head having an angle of view larger than that of the exposure apparatus by an exposure apparatus using a projection type i-line, the ejection port array is set to 2 in the longitudinal direction. It is common to divide and expose, that is, to divide into two exposures. By doing in this way, a liquid discharge head provided with the discharge port row | line more than an angle of view can be manufactured.

特開２００９−１６６４９２号公報JP 2009-166492 A

しかしながら、分割して露光した場合、形成された吐出口列のうち１回目に露光された部分と２回目に露光された部分との境界部分（以下、「つなぎ部」とも称する）が、露光装置の画角の外周部の位置で露光されると問題が生じる。具体的には、吐出口列が、露光装置の光学系に起因するテレセントリック性の影響をうけて形成される。 However, when exposure is performed in a divided manner, a boundary portion (hereinafter also referred to as a “joint portion”) between a portion exposed first time and a portion exposed second time in the formed ejection opening array is referred to as an exposure apparatus. If exposure is performed at the outer peripheral portion of the angle of view, a problem arises. Specifically, the ejection port array is formed under the influence of telecentricity caused by the optical system of the exposure apparatus.

ｉ線露光装置の露光は、露光装置のマスクに形成された吐出口パターンの位置を透過したレーザ光は、レンズユニットで縮小され複数の基板からなるウェハーに露光する、投影露光であるため、吐出口はテレセントリック性の影響をうける。したがって、液体吐出ヘッドの吐出口列の断面は、図７のような形状となる。なお、形状はイメージしやすいように誇張して図示している。 The exposure of the i-line exposure apparatus is a projection exposure in which the laser light that has passed through the position of the discharge port pattern formed on the mask of the exposure apparatus is a projection exposure that is reduced by the lens unit and exposed to a wafer composed of a plurality of substrates. The exit is affected by telecentricity. Therefore, the cross section of the discharge port array of the liquid discharge head has a shape as shown in FIG. It should be noted that the shape is exaggerated for ease of imagery.

上記の方法で製造された液体吐出ヘッドを搭載した記録装置で記録を行った場合、図７に示すように、吐出口列２９の両端部に位置する吐出口２５は、記録素子基板２１の厚さ方向に平行になっているため、吐出されるインク滴は、記録媒体４３に垂直に着弾する。そのため、吐出口２５の位置と記録媒体４３に形成されるドット４４の位置のずれがない。しかしながら、１回目に露光した部分と２回目に露光した部分との境界部分であるつなぎ部４２に近づくにつれて、吐出口２５は徐々にテレセントリック性の影響をうけるため、記録素子基板２１の厚さ方向に対して角度を有するようになる。それに伴い、吐出されるインク滴も、徐々につなぎ部４２に近づくように記録媒体４３に着弾するため、ドット４４もつなぎ部４２に向かってずれていく。したがって、記録媒体４３の、つなぎ部４２に対向する位置にドット４４が集中するようになり、記録画像に黒スジが生じてしまう。 When recording is performed by a recording apparatus equipped with the liquid ejection head manufactured by the above method, the ejection ports 25 positioned at both ends of the ejection port array 29 are formed on the recording element substrate 21 as shown in FIG. Since the ink droplets are parallel to the vertical direction, the ejected ink droplets land vertically on the recording medium 43. Therefore, there is no deviation between the position of the ejection port 25 and the position of the dot 44 formed on the recording medium 43. However, as the ejection port 25 is gradually affected by the telecentricity as it approaches the connecting portion 42 that is the boundary between the first exposed portion and the second exposed portion, the thickness direction of the recording element substrate 21 is increased. With an angle to Along with this, the ejected ink droplets also land on the recording medium 43 so as to gradually approach the joint portion 42, and therefore shift toward the joint portion 42 with the dots 44. Therefore, the dots 44 are concentrated on the recording medium 43 at a position facing the connecting portion 42, and black streaks are generated in the recorded image.

また、つなぎ部４２付近の吐出口２５から吐出されたインク滴で形成される記録媒体４３とドット２４と間の距離は、紙間距離（液体吐出ヘッド２１と記録媒体４３との間の距離）が変動すれば変化する。すなわち紙間距離が小さければインク滴が吐出口２５から吐出されてから記録媒体４３に着弾するまでの距離である飛翔距離も小さいため、吐出口２５の位置とトッド２４の位置とのずれは小さい。しかしながら、紙間距離が大きければ、インク滴の飛翔距離が大きくなり、吐出口２５の位置とドット４４の位置とのずれが大きい。 Further, the distance between the recording medium 43 formed by the ink droplets ejected from the ejection port 25 near the connecting portion 42 and the dots 24 is the distance between the sheets (the distance between the liquid ejection head 21 and the recording medium 43). Changes if fluctuates. In other words, if the distance between the papers is small, the flying distance, which is the distance from when the ink droplets are ejected from the ejection ports 25 until they land on the recording medium 43, is also small. . However, if the inter-paper distance is large, the flying distance of the ink droplet is large, and the deviation between the position of the ejection port 25 and the position of the dot 44 is large.

また、一般的に、つなぎ部４２近傍では、つなぎ部４２の方向に傾斜した吐出口２５（ノズル）が形成され、傾斜は、つなぎ部４２に近づくほど大きい。したがって、この問題を解決するために、例えばドット４４が重ならないようにつなぎ部４２近傍の吐出口２５同士の位置を、互いに離間する方向に移動させるという方法が挙げられる。しかし、例えば最大紙間距離（液体吐出ヘッドと記録媒体との間の距離が最も大きい）に合わせて吐出口２５の位置を決定してしまうと、紙間距離が小さくなった場合につなぎ部４２近傍の吐出口２５から吐出されたインクによるドット２４同士の距離が大きくなる。その結果、記録画像に白スジが生じてしまう。 In general, the discharge port 25 (nozzle) inclined in the direction of the connecting portion 42 is formed in the vicinity of the connecting portion 42, and the inclination becomes larger as the connecting portion 42 is approached. Therefore, in order to solve this problem, for example, there is a method of moving the positions of the ejection ports 25 in the vicinity of the connecting portion 42 in a direction away from each other so that the dots 44 do not overlap. However, if the position of the ejection port 25 is determined in accordance with, for example, the maximum distance between sheets (the distance between the liquid ejection head and the recording medium is the largest), the connecting portion 42 is obtained when the distance between the sheets is reduced. The distance between the dots 24 by the ink ejected from the nearby ejection ports 25 increases. As a result, white streaks occur in the recorded image.

本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、露光装置のテレセントリック性の影響を低減させ、記録品位の低減を抑制した液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid discharge head that reduces the influence of telecentricity of an exposure apparatus and suppresses the reduction in recording quality.

本発明の液体吐出ヘッドは、インクを吐出するための複数の吐出口を有する記録素子基板を備えており、複数の吐出口が並んで吐出口列が形成されている。吐出口列は、記録素子基板の厚さ方向に対して角度を有する一部の吐出口からなる傾斜吐出部を有している。傾斜吐出部の吐出口の口径が、傾斜吐出部を構成していない吐出口の口径よりも小さくなっている。 The liquid discharge head of the present invention includes a recording element substrate having a plurality of discharge ports for discharging ink, and a plurality of discharge ports are arranged to form a discharge port array. The ejection port array has an inclined ejection portion including a part of ejection ports having an angle with respect to the thickness direction of the recording element substrate. The diameter of the discharge port of the inclined discharge part is smaller than the diameter of the discharge port that does not constitute the inclined discharge part.

本発明によれば、製造時における露光装置のテレセントシック性の影響による記録品位の低減を抑制することができる。 According to the present invention, it is possible to suppress a reduction in recording quality due to the influence of the telecentricity of the exposure apparatus during manufacturing.

本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態の模式図である。It is a schematic diagram of one embodiment of a liquid discharge head according to the present invention. ｉ線のステッパーでの露光のイメージを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the image of exposure with the stepper of i line | wire. ｉ線のステッパーを用いて分割して露光する方法を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the method of dividing | segmenting and exposing using an i line | wire stepper. 第１の実施例の吐出口列を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the discharge outlet row | line | column of 1st Example. 第２の実施例の吐出口列を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the discharge outlet row | line | column of a 2nd Example. 第２の実施例の変形例の吐出口列を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the discharge outlet row | line | column of the modification of a 2nd Example. 吐出口列の断面とインク滴の着弾位置とを示す模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a cross section of an ejection port array and a landing position of an ink droplet.

以下に、添付の図面に基づき、本発明の実施の形態を説明する。なお、同一の機能を有する構成には添付図面中、同一の番号を付与し、その説明を省略することがある。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In addition, the same number is attached | subjected to the structure which has the same function in an accompanying drawing, and the description may be abbreviate | omitted.

（第１の実施例）
図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態の模式図である。液体吐出ヘッド５１は、シリコン（Ｓｉ）基板で形成された記録素子基板１と、記録素子基板１上に積層された樹脂材料からなる吐出口形成部材４と、で形成されている。なお、記録素子基板１と吐出口形成部材４とを一体形成して、１つの記録素子基板としてもよい。記録素子基板１上には、所定のピッチで吐出エネルギー発生素子２が２列に並んでおり、さらに、Ｓｉ基板を異方性エッチングする事により形成された供給口３が、吐出エネルギー発生素子２の２つの列に挟まれるように開口している。吐出口形成部材４には、各エネルギー発生素子２に対向する位置に設けられた、吐出口（ノズル）５が複数形成されている。なお、複数の吐出口５を以下、「吐出口列９」と称す。吐出口形成部材４は、供給口３から吐出口５に連通する個別の流路６を形成する流路部材としても機能している。なお、本実施例の説明では、吐出口形成部材４の表面の開口のみではなく、開口につながる流路６一部を含めて吐出口５と表現している。 (First embodiment)
FIG. 1 is a schematic view of an embodiment of a liquid discharge head according to the present invention. The liquid ejection head 51 is formed by a recording element substrate 1 formed of a silicon (Si) substrate and an ejection port forming member 4 made of a resin material laminated on the recording element substrate 1. The recording element substrate 1 and the discharge port forming member 4 may be integrally formed to form one recording element substrate. On the recording element substrate 1, the ejection energy generating elements 2 are arranged in two rows at a predetermined pitch, and the supply port 3 formed by anisotropic etching of the Si substrate is further provided with the ejection energy generating elements 2. Are opened so as to be sandwiched between the two rows. The discharge port forming member 4 is formed with a plurality of discharge ports (nozzles) 5 provided at positions facing the respective energy generating elements 2. The plurality of discharge ports 5 is hereinafter referred to as “discharge port array 9”. The discharge port forming member 4 also functions as a flow channel member that forms an individual flow channel 6 that communicates from the supply port 3 to the discharge port 5. In the description of the present embodiment, not only the opening on the surface of the discharge port forming member 4 but also a part of the flow path 6 connected to the opening is expressed as the discharge port 5.

この液体吐出ヘッド５１では、供給口３を介して流路６内に充填された、例えばインクに、エネルギー発生素子２によって発生するエネルギー（例えば熱エネルギー）が加えられる。すると、インク液滴が加熱による発泡圧力によって、吐出口５から吐出し、記録媒体に付着するため、記録を行うことができる。 In the liquid ejection head 51, energy (for example, thermal energy) generated by the energy generating element 2 is applied to, for example, ink filled in the flow path 6 through the supply port 3. Then, the ink droplets are ejected from the ejection port 5 by the foaming pressure due to heating and adhere to the recording medium, so that recording can be performed.

液体吐出ヘッド５１の吐出口５の形成方法を説明する。まず、記録素子基板１上にポジ型感光性樹脂の層を形成し、次にフォトリソグラフ工程によりポジ型感光性樹脂をパターニングして、インク流路パターンを形成する。 A method for forming the discharge port 5 of the liquid discharge head 51 will be described. First, a positive photosensitive resin layer is formed on the recording element substrate 1, and then the positive photosensitive resin is patterned by a photolithography process to form an ink flow path pattern.

次に、流路パターンが形成された記録素子基板１上に、吐出口形成部材４となるネガ型感光性樹脂の層を形成する。次に、ｉ線露光装置で、マスクを介して紫外光であるｉ線を用いてネガ型感光性樹脂層をパターン露光し、現像処理をおこない、吐出口５を形成する。吐出口５を露光するｉ線露光装置としては、ｉ線のステッパーが挙げられる。 Next, a layer of a negative photosensitive resin that forms the discharge port forming member 4 is formed on the recording element substrate 1 on which the flow path pattern is formed. Next, in the i-line exposure apparatus, the negative photosensitive resin layer is subjected to pattern exposure using i-line that is ultraviolet light through a mask, and development processing is performed to form the discharge ports 5. Examples of the i-line exposure apparatus that exposes the discharge port 5 include an i-line stepper.

次に、より具体的に吐出口５の形成方法を説明する。図２は、ｉ線のステッパーでの露光のイメージを示す模式図である。記録素子基板１が複数配置されたウェハー１１は、後にダイサー等で切り出されて、個別の記録素子基板１となる。マスク１０には、吐出口パターン１２があり、パターンを通過したレーザ光１４（ｉ線光）は、レンズユニット１３を介して投影され、ウェハー１１上に露光する。 Next, a method for forming the discharge port 5 will be described more specifically. FIG. 2 is a schematic diagram showing an image of exposure with an i-line stepper. The wafer 11 on which a plurality of recording element substrates 1 are arranged is later cut out by a dicer or the like to become individual recording element substrates 1. The mask 10 has an ejection port pattern 12, and laser light 14 (i-line light) that has passed through the pattern is projected through the lens unit 13 and exposed onto the wafer 11.

ｉ線のステッパーの画角以上の吐出口列を形成するには、例えば２回に分けて露光をする方法が一般的である。図３は、ｉ線のステッパーを用いて分割して露光する方法を示す模式図である。 In order to form an ejection port array having an angle of view larger than that of the i-line stepper, for example, a method of performing exposure in two steps is generally used. FIG. 3 is a schematic diagram showing a method of dividing and exposing using an i-line stepper.

図３（ａ）に示すような、吐出口パターンである１ｓｔショットパターン１５と２ｎｄショットパターン１６が形成されたマスク１０を介して露光を行う。はじめに、シャッター２１で２ｎｄショットパターン１６を覆った状態で、１ｓｔショットパターン１５を用いて１回目の露光を行う（図３（ｂ）参照）。なお、ステッパーのｉ線は、ほぼマスク１０全体に照射される。 As shown in FIG. 3A, exposure is performed through a mask 10 on which a 1st shot pattern 15 and a 2nd shot pattern 16 which are ejection port patterns are formed. First, with the shutter 21 covering the 2nd shot pattern 16, the first exposure is performed using the 1st shot pattern 15 (see FIG. 3B). Note that the i-line of the stepper is applied to substantially the entire mask 10.

つぎに、遮光をするシャッター２１で１ｓｔショットパターン１５を覆った状態で、２ｎｄショットパターン１６を用いて２回目の露光を行う。このとき、ウェハー１１（記録素子基板１）の、１回目の露光で１ｓｔショットパターン１５のＡ部１７の位置を介して露光された位置と、２ｎｄショットパターン１６のＢ’部２０とが長手方向で隣接または重なるように、露光を行う（図３（ｃ）参照）。なお、図３（ｃ）の破線で、１回目の露光で照射された部分を示している。 Next, the second exposure is performed using the 2nd shot pattern 16 in a state where the first shot pattern 15 is covered with the light-shielding shutter 21. At this time, the position of the wafer 11 (recording element substrate 1) exposed by the first exposure through the position of the A portion 17 of the 1st shot pattern 15 and the B ′ portion 20 of the 2nd shot pattern 16 are in the longitudinal direction. Then, exposure is performed so as to be adjacent or overlap with each other (see FIG. 3C). In addition, the part irradiated by the 1st exposure is shown with the broken line of FIG.3 (c).

このように２回に分けて露光をおこなうことで、ステッパーの画角以上の大きさの吐出口列のパターンを形成することができる。そして、現像処理を行うことで、吐出口列９が形成される（図３（ｄ）参照）。 By performing the exposure in two steps in this way, it is possible to form a discharge port array pattern having a size larger than the angle of view of the stepper. Then, by performing development processing, the ejection port array 9 is formed (see FIG. 3D).

なお、画角の外周（マスク１０の外周）付近に位置するＡ部１７とＢ’部２０の位置ではテレセントリック性が悪く、マスク１０の中心付近に位置するＡ’部１８とＢ部１９はテレセントリック性がよい。吐出口列９を形成するために露光するときには、１ｓｔショットパターン１５におけるテレセントリック性の悪い部分Ａ部１７と、２ｎｄショットパターン１６におけるテレセントリック性の悪い部分Ｂ’部２０をつないで吐出口列９を形成した（図３（ｄ）参照）。すなわち、１ｓｔショットパターン１５のおけるテレセントリック性の良い部分Ａ’部１８と、２ｎｄショットパターン１６におけるテレセントリック性の良い部分Ｂ部１９は、吐出口列９の長手方向の両端に配置される。 The telecentricity is poor at the positions of the A portion 17 and the B ′ portion 20 located near the outer periphery of the angle of view (the outer periphery of the mask 10), and the A ′ portion 18 and the B portion 19 located near the center of the mask 10 are telecentric. Good sex. When exposure is performed to form the discharge port array 9, the portion A portion 17 having poor telecentricity in the 1st shot pattern 15 and the portion B 'portion 20 having poor telecentricity in the 2nd shot pattern 16 are connected to form the discharge port array 9. It formed (refer FIG.3 (d)). That is, the portion A ′ portion 18 with good telecentricity in the 1st shot pattern 15 and the portion B portion 19 with good telecentricity in the 2nd shot pattern 16 are arranged at both ends in the longitudinal direction of the ejection port array 9.

本実施例では、吐出口列９の、形成された吐出口列のうち１回目に露光された部分と２回目に露光された部分の境界部分であるつなぎ部付近における記録素子基板１の厚さ方向に対して角度を有する吐出口５からなる傾斜吐出部からのインクの吐出量を調節する。つまり、つなぎ部２２付近の、記録素子基板１の厚さ方向に対して角度を有する吐出口からのインクの吐出量を、吐出口列の両端に位置する吐出口からのインクの吐出量よりも少なくする。 In the present embodiment, the thickness of the recording element substrate 1 in the vicinity of the joint portion of the discharge port array 9, which is the boundary between the first exposed portion and the second exposed portion of the formed discharge port array. The amount of ink ejected from the inclined ejection section composed of the ejection ports 5 having an angle with respect to the direction is adjusted. That is, the amount of ink discharged from the discharge ports near the connecting portion 22 and having an angle with respect to the thickness direction of the recording element substrate 1 is set to be larger than the amount of ink discharged from the discharge ports located at both ends of the discharge port array. Reduce.

図４は、図１の吐出口形成部材４のＡＡ断面の概略図である。本実施例では、図４に示すように、つなぎ部２２が存在する傾斜吐出部５２の吐出口５の口径を、吐出口列の端部に位置する吐出口５の口径に比べて小さくする。このような構成にすることで、記録画像に黒スジを生じさせるつなぎ部２２付近の吐出口５から吐出されるインクが少なくなる。そのため、１つのドット２４が小さくなり、また、ドット２４同士の間隔が大きくなる。したがって、つなぎ部２２付近の吐出口５から吐出されて記録媒体２３に形成されたドット２４同士が重なり合いにくくなり、記録媒体２３の、つなぎ部２２に対向する位置にドットが集中しにくくなる。よって、ドット２４同士の重なりを抑制することができ、記録画像に黒スジが生じてしまうことを防止することができる。 FIG. 4 is a schematic view of an AA cross section of the discharge port forming member 4 of FIG. In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the diameter of the discharge port 5 of the inclined discharge unit 52 where the connecting portion 22 exists is made smaller than the diameter of the discharge port 5 located at the end of the discharge port array. By adopting such a configuration, the amount of ink ejected from the ejection ports 5 in the vicinity of the connecting portion 22 that causes black streaks in the recorded image is reduced. Therefore, one dot 24 becomes small and the interval between the dots 24 becomes large. Accordingly, the dots 24 ejected from the ejection port 5 near the joint portion 22 and formed on the recording medium 23 are less likely to overlap each other, and the dots are less likely to concentrate on the recording medium 23 at a position facing the joint portion 22. Therefore, overlapping of the dots 24 can be suppressed, and black streaks can be prevented from occurring in the recorded image.

なお、つなぎ部２２は、吐出口列９の長手方向で傾斜吐出部５２の中央部に位置する。そのため、つなぎ部２２を挟むように位置する吐出口５のみの口径を小さくしてもよい。 The connecting portion 22 is located at the center of the inclined discharge portion 52 in the longitudinal direction of the discharge port array 9. For this reason, the diameter of only the discharge port 5 positioned so as to sandwich the connecting portion 22 may be reduced.

また、紙間距離が最大のとき、つなぎ部２２を挟むように位置する、記録素子基板１の厚さ方向から最も角度を有する吐出口５同士から吐出されたインクによるドット２４同士が重なり合うようにすれば、紙間距離が最大になるまではドット同士は重なり合わない。また、紙間距離が最大のときにドット同士が重なり合ったとしても、１つのドット２４は小さいため、ドット２４同士が重なり合っても大きなドットにはならない。したがって、紙間距離が変化しても、黒スジや白スジが生じることを防止することができる。 Further, when the distance between the sheets is the maximum, the dots 24 formed by the ink ejected from the ejection ports 5 that are positioned so as to sandwich the connecting portion 22 and have the most angle from the thickness direction of the recording element substrate 1 overlap each other. In this case, the dots do not overlap each other until the inter-paper distance is maximized. Even if dots overlap each other when the inter-paper distance is maximum, one dot 24 is small, so even if the dots 24 overlap each other, a large dot is not formed. Therefore, it is possible to prevent black stripes and white stripes from occurring even if the distance between the sheets changes.

さらに、吐出口５の口径は、口径を小さくしたい位置の吐出口５に相当する位置のマスク１０の大きさを調節しておけばよいので、本発明の液体吐出ヘッド５１を簡便に製造することができる。 Further, since the diameter of the discharge port 5 may be adjusted by adjusting the size of the mask 10 at a position corresponding to the discharge port 5 at the position where it is desired to reduce the diameter, the liquid discharge head 51 of the present invention can be easily manufactured. Can do.

（第２の実施例）
本実施例では、図５に示すように、傾斜吐出部５２において、つなぎ部２２を挟んで位置する、記録素子基板１の厚さ方向に対して最も角度を有する吐出口５の一方からインクを吐出しないようになっている。つまり、複数の吐出口５が等間隔で並んだ吐出口列９のなかで、吐出口５が間引きされた状態になっており、吐出口５同士の間隔が大きくなっている。例えば、あらかじめ、つなぎ部２２を挟んで位置する吐出口５（およびエネルギー発生素子２）の一方を形成しないようにしてもよいし、塞いでしまっても構わない。 (Second embodiment)
In this embodiment, as shown in FIG. 5, in the inclined ejection part 52, the ink is ejected from one of the ejection ports 5 that are located at the most angle with respect to the thickness direction of the recording element substrate 1 and sandwich the connecting part 22. Do not discharge. That is, the discharge ports 5 are thinned out in the discharge port array 9 in which the plurality of discharge ports 5 are arranged at equal intervals, and the interval between the discharge ports 5 is increased. For example, one of the discharge ports 5 (and the energy generating element 2) positioned with the connecting portion 22 interposed therebetween may not be formed in advance or may be closed.

このとき、すべての吐出口５の口径は同じで構わない。しかしながら、白スジが目立つような場合には、図６に示すように、他方の吐出口５の口径を大きくして、記録されない部分を減らすことによって白スジの低減を図るような構成をとってもよい。 At this time, the diameters of all the discharge ports 5 may be the same. However, when white streaks are conspicuous, as shown in FIG. 6, the diameter of the other discharge port 5 may be increased to reduce white streaks by reducing the portions that are not recorded. .

このような構成にすることで、記録媒体２３の、つなぎ部２２に対向する位置に集中するドット２４を減らすことができる。そのため、記録画像に黒スジが生じてしまうことを防止することができる。 By adopting such a configuration, it is possible to reduce the dots 24 concentrated on the recording medium 23 at a position facing the connecting portion 22. For this reason, it is possible to prevent black streaks from occurring in the recorded image.

以上で説明したように、本発明の液体吐出ヘッド５１は、露光装置のテレセントシック性の影響を抑制することができる。また、本発明の液体吐出ヘッド５１を搭載した記録装置で記録を行っても、記録画像に黒スジが生じることを防止することができる。 As described above, the liquid discharge head 51 of the present invention can suppress the influence of the telecentricity of the exposure apparatus. Further, even when recording is performed by a recording apparatus equipped with the liquid discharge head 51 of the present invention, it is possible to prevent black streaks from occurring in the recorded image.

１記録素子基板
３供給口
５吐出口
９吐出口列
１５１ｓｔショットパターン
１６２ｎｄショットパターン
２２つなぎ部
５１液体吐出ヘッド
５２傾斜吐出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Recording element board | substrate 3 Supply port 5 Discharge port 9 Discharge port row | line | column 15 1st shot pattern 16 2nd shot pattern 22 Connection part 51 Liquid discharge head 52 Inclined discharge part

Claims

A liquid discharge head including a recording element substrate having a plurality of discharge ports for discharging ink,
The discharge port array is formed side by side with the plurality of discharge ports,
The ejection port array has an inclined ejection portion including a part of ejection ports having an angle with respect to the thickness direction of the recording element substrate,
The liquid discharge head, wherein a diameter of the discharge port of the inclined discharge unit is smaller than a diameter of the discharge port that does not constitute the inclined discharge unit.

The diameter of two discharge ports adjacent in the central portion of the inclined discharge portion in the longitudinal direction of the discharge port row is smaller than the diameter of the discharge ports that do not constitute the inclined discharge portion. The liquid discharge head according to 1.

A liquid discharge head including a recording element substrate having a plurality of discharge ports for discharging ink,
The discharge port array is formed side by side with the plurality of discharge ports,
The ejection port array has an inclined ejection portion including a part of ejection ports having an angle with respect to the thickness direction of the recording element substrate,
The liquid discharge head in which the interval between the adjacent discharge ports in the inclined discharge unit is larger than the interval between the adjacent discharge ports that do not constitute the inclined discharge unit.

In the longitudinal direction of the discharge port array, the interval between the adjacent discharge ports at the central portion of the inclined discharge unit is larger than the interval between adjacent discharge ports that do not constitute the inclined discharge unit. The liquid discharge head according to claim 3.

5. The diameter of one of the adjacent discharge ports that are spaced apart from each other is made larger than the diameter of the discharge port that does not constitute the inclined discharge unit. Liquid discharge head.

A recording apparatus comprising the liquid ejection head according to claim 1.