JP2014139344A - タンタル粉末およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】容量を維持しながら小型タンタル電解コンデンサーに使用できるタンタル粉末及びその製造法を提供
【解決手段】本発明のタンタル粉末は、以下の測定方法により測定してＣＶ値が２００，０００〜８００，０００μＦＶ／ｇである点により特徴づけられるタンタル粉末。密度が４．５ｇ／ｃｍ³であるようにタンタル粉末を形成してペレットが製造され、次いでペレットが、電圧６Ｖおよび電流９０ｍＡ／ｇで濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で化成処理され、化成処理されたペレットが測定試料として用いられ、周波数１２０Ｈｚおよび電圧１．５Ｖで温度２５℃で濃度３０．５体積％の硫酸水溶液中でＣＶ値が測定されるタンタル粉末。
【選択図】図１

Description

本願は、参照によりそのまま本願に組み込まれる２００６年５月５日に出願された先の米国仮特許出願第６０／７９８，０７０号の米国特許法第１１９条（ｅ）項に基づく利益を主張する。

本発明はタンタル電解コンデンサーに使用できるタンタル粉末およびその製造方法に関する。

本発明は、バルブ金属粉末およびバルブ金属粉末を使用する電解コンデンサーならびに前記粉末およびコンデンサーの製造方法にも関する。より詳細には、本発明は高表面積バルブ金属粉末および高キャパシタンスを有するコンデンサーに関する。

タンタル粉末から作られるタンタルコンデンサーは電子回路の小型化の主な誘因であり、そのような回路を極端な環境に利用するのを可能にしてきた。タンタルコンデンサーは典型的には、タンタル粉末を圧縮してペレットを形成し、ペレットを炉内で焼結して多孔質タンタル体（電極）を形成し、前記多孔質体を好適な電解液中で陽極酸化して、前記焼結体上に連続誘電体酸化膜を形成して製造される。

タンタルコンデンサーを製造するのに好適な粉末の開発は、良質なコンデンサーの製造においてタンタル粉末が最もよく作用するためにタンタル粉末に要求される特性を描写するコンデンサー製造者およびタンタル処理者の両方による努力から生じた。そのような特性には、比表面積、純度、収縮、加圧成形性などがある。

第１に、粉末は、多孔質体に形成され焼結された場合、十分な電極表面積を与えなければならない。タンタルコンデンサーのμＦＶ／ｇは、タンタル粉末ペレットの焼結により製造される焼結多孔質体の比表面積に関連づけることができる。タンタル粉末の比表面積は、焼結多孔質体中に達成できる最大μＦＶ／ｇに関連づけることができる。

粉末の純度も重要な事柄である。金属および非金属汚染物は、タンタルコンデンサー中の誘電体酸化膜を劣化させる傾向がある。高い焼結温度は揮発性汚染物の一部を除去するように作用するが、高温は多孔質体を収縮させる傾向もあり、その正味の比表面積を減少させ得られるコンデンサーのキャパシタンスも減少させる。焼結条件下での比表面積の損失、すなわち収縮を最小限にすることは、高μＦＶ／ｇタンタルコンデンサーを製造するために必要である。

上記で議論のとおり、タンタルペレットのμＦＶ／ｇは、焼結粉末の比表面積の関数になることがある。もちろん、ペレット当たりの粉末の量（グラム）を増やすことにより、より大きい正味の表面積が得られるが、コストおよび大きさを考慮すると、開発はタンタル粉末の比表面積を増やす手段に必然的に集中した。

タンタル粉末の比表面積を増大させるために提案された方法の１つは、粉末粒子をフレーク状に平坦化することである。しかし、より薄いタンタルフレークを作ることにより比表面積を増大させる努力はそれに伴う加工特性の損失により阻まれ、例えば、非常に薄いタンタルフレークは、加圧成形性が劣り形成電圧が低いと考えられるであろう。また、高表面積粉末を作る過程において、粉砕は長時間かかり、時間を消費しコストがかかり、粉砕時間が長いと、通常粉末の割れる点に到達する。このように、高キャパシタンス粉末を妨げる境界のようなものが存在した。

タンタル電解コンデンサーは、一般的に、タンタル粉末圧縮体から形成されているアノード、アノード表面を化成処理して与えられる誘導体物質である酸化膜および酸化膜とは反対に与えられるカソードを有する。近年、電子デバイスの小型化に次いで、低使用電圧および高容量を持つ小型タンタル電解コンデンサーが求められている。タンタル電解コンデンサーの性能は、タンタル粉末の性質により影響を受けることがあり、例えば、タンタル粉末の表面積が大きいとコンデンサーの静電容量も大きくなる。したがって、例えば、参照により本願にそのまま組み込まれる日本国特開平８−１６２３７２号に言及されるとおりタンタル粉末の粒度を小さくし、化成処理後の酸化膜の表面積を大きくすることにより、静電容量を増大させる努力がなされてきた。

しかし、特開平８−１６２３７２号のように、タンタル粉末の粒度を小さくしながら、化成処理により従来の酸化膜と同じ膜厚の酸化膜を形成する場合、タンタル粉末のほとんどは最後に酸化され、アノード電極になることのできる非酸化面積が不十分になり、コンデンサーとしての使用が困難になる。さらに、酸化膜を薄くすることにより静電容量を増すことが可能になるが、特開平８−１６２３７２号に記載のタンタル粉末を使用して酸化膜が薄くなる場合、漏れ電流が増大する傾向がある。したがって、特開平８−１６２３７２号に記載されたタンタル粉末では、タンタル電解コンデンサーの容量を維持しながら小型化するには限度があった。これらの状態を考慮し、容量を維持しながら小型タンタル電解コンデンサーを提供できるタンタル粉末の提供およびそのようなタンタル粉末を製造する方法の提供を目的とし、本発明は完成した。

一般的に、タンタル粉末を含む二次粒子は、一次粒子間に狭い結合領域を持つ突起および窪みがあり、これらの狭い領域（窪み領域）は、化成処理の後電極として使用するための非酸化領域の欠如につながる。さらに、膜の厚さは窪み領域で特に薄くなる傾向があるので、酸化膜を薄くすると漏れ電流が増大することが見いだされた。その認識に基づき、これらの窪み領域の減少を考慮して、以下のタンタル粉末およびその製造方法が発明された。

本発明は、以下の測定方法で測定する場合ＣＶ値（μＦＶ／ｇ）が２００，０００〜８００，０００ＣＶ／ｇ、または４５０，０００〜８００，０００ＣＶ／ｇであるタンタル粉末に関する：
タンタル粉末を４．５ｇ／ｃｍ³のプレス密度（ｐｒｅｓｓ ｄｅｎｓｉｔｙ）で加圧成形してタンタルペレット（タンタルリード線を含む）を形成し、次いでペレットを焼結し、濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で６Ｖの電圧および９０ｍＡ／ｇの電流で化成処理し、化成処理したペレットを測定試料として使用し、周波数１２０Ｈｚおよび電圧１．５Ｖで濃度３０．５体積％の硫酸水溶液中で２５℃の温度でＣＶ値を測定する。

本発明は、本発明のタンタル粉末を製造する方法にもさらに関する。前記方法は、溶融塩中に溶解しているフッ化カリウムタンタル（potassium tantalum fluoride）に少なくとも１種の還元剤および／または窒素を分散して加えタンタル微粒子を形成する工程およびそれに電解および電着処理を施すことによりタンタル微粒子の表面をなめらかにする（例えば表面の粗さを低減させかつ／または粒子間のネック（複数可）の厚さを増す）工程を含む。

本発明は、本発明のタンタル粉末を製造する方法にも関するが、前記方法は、気体状還元剤を気体状タンタル化合物に接触させることによりタンタル微粒子を形成する工程およびそれに電解および電着処理を施すことによるタンタル微粒子の表面をなめらかにする工程を含む。

本発明の方法は、熱凝集(thermally aggregated)(または集塊)(agglomerated)した後にタンタル微細粉末を粉砕および篩い分けする工程もさらに含むことがある。

本発明のタンタル粉末は、容量を維持しながら小型のタンタル電解コンデンサーを提供できる。本発明のタンタル粉末を製造する方法は、容量を維持しながら小型のタンタル電解コンデンサーを得ることができる。

本願に取り入れられ本願の一部を構成する添付図面は、本発明の実施形態の一部を説明し、記載とともに本発明の原理を説明するのに役立つ。

図１は、本発明においてタンタル粉末を製造する方法の１実施形態に使用されるタンタル粉末の製造装置を表す概略図である。 図２は、電解および電着処理の前の二次粒子を表す概略図である。 図３は、電解および電着処理の後の二次粒子を表す概略図である。 図４は、電解および電着処理が行われている時の電流変化のパターンの１例を示すグラフである。

本発明のタンタル粉末のキャパシタンス（ＣＶ）値は、４５０，０００〜８００，０００ＣＶ／ｇなど、２００，０００ＣＶ／ｇ〜８００，０００ＣＶ／ｇになりうる。ＣＶ値が４５０，０００μＦＶ／ｇ以上のタンタル粉末は、小型であるが大容量のタンタル電解コンデンサーの製造を可能にする。キャパシタンスに関して、アノードに形成される時タンタル粉末は、２００，０００ＣＶ／ｇ〜８００，０００ＣＶ／ｇの、約５００，０００〜８００，０００ＣＶ／ｇの、約５５０，０００〜８００，０００ＣＶ／ｇの、約６００，０００〜約８００，０００ＣＶ／ｇの、約６５０，０００〜約８００，０００ＣＶ／ｇの、約７００，０００〜約８００，０００ＣＶ／ｇの、約５００，０００〜約７５０，０００ＣＶ／ｇの、または約５００，０００〜７００，０００ＣＶ／ｇなどのキャパシタンスを持つことがある。しかし、８００，０００ＣＶ／ｇを超えるＣＶ値を持つタンタル粉末は製造が困難である。漏れに関して、漏れは５０ｎＡ／ＣＶ以下、３０ｎＡ／ＣＶ以下など、２５ｎＡ／ＣＶ以下など、２０ｎＡ／ＣＶ以下、１０ｎＡ／ＣＶ以下、１．０ｎＡ／ＣＶ〜３０ｎＡ／ＣＶなどのことがある。

本発明におけるＣＶ値の測定方法に関して、第１にタンタルペレットが製造される。ペレットにはタンタルリード線が存在している。タンタル粉末は４．５ｇ／ｃｍ³のプレス密度でペレットに形成される。この密度を得るために、タンタル粉末の質量およびペレット形状のみが規定される必要がある。タンタル粉末の収縮比が５〜１０％の範囲であるようにペレットの焼結温度を任意に選択するのが好ましい。焼結温度は、好ましくは９００〜１，０００℃の範囲である。さらに、タンタル粉末のＣＶ値が高いほど、より低い温度を選択するのが好ましい。次に、濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で６Ｖの電圧でペレットを化成処理することにより、化成処理した物質が製造される。化成処理には、タンタル粉末の表面上に均一な（または実質的に均一な）酸化膜を形成するために、必要な場合、温度に関して３０〜６０℃、電圧に関して４〜６Ｖ、処理時間に関して９０〜１２０分の範囲で調整することが好ましい。次いで、化成処理した物質のＣＶ値が、温度２５℃、周波数１２０Ｈｚおよび電圧１．５Ｖの条件下で濃度３０．５体積％の硫酸水溶液中で測定される。焼結に関して、焼結時間は５分〜１時間以上でよく、１０分〜３０分など、１０分〜２０分など、または１０分〜１５分などである。どのような望ましい焼結時間を利用してもよい。焼結温度に関して、どのような望ましい焼結温度を利用してもよい。例えば、焼結温度は８００℃〜１，５００℃、９００℃〜１，４５０℃、９００℃〜１，４００℃、９００℃〜１，３５０℃、９００℃〜１，３００℃、９００℃〜１，２５０℃、９００℃〜１，２００℃、９００℃〜１，１５０℃であり、これらの範囲のどのような焼結温度でもよい。プレス密度に関して、他のプレス密度を、試験法または一般的なタンタル粉末の使用にも利用できる。プレス密度は、約３．０〜約６．０ｇ／ｃｍ³、５．０ｇ／ｃｍ³など、５．５ｇ／ｃｍ³など、または４．０ｇ／ｃｍ³でよい。本発明に関して、キャパシタンスを測定するために利用される試験方法は単にキャパシタンスを測定する試験であることを理解されたい。本発明のタンタル粉末は、種々の電気的条件、種々の形成電圧、種々の作用電圧、種々の形成温度などで使用できる。形成電圧に関して、５ボルト、４ボルト、３ボルトなどの他の形成電圧も利用でき、例えば、５〜１０ボルト、５〜１６ボルト、５〜２０ボルトなどが形成電圧として利用できる。

本発明のタンタル粉末は、一次粒子を凝集（または集塊）して形成された二次粒子の形態でよく、または二次粒子をさらに凝集（または集塊）して形成された三次粒子の形態でもよい。

タンタル粉末の一次粒子の平均粒度（または平均粒径）が１０〜３０ｎｍであることが好ましく、より好ましくは１３〜２７ｎｍである。他の範囲には、１５ｎｍ〜２５ｎｍ、１７ｎｍ〜２２ｎｍまたは１８ｎｍ〜２０ｎｍがある。タンタル粉末の一次粒子が１０ｎｍ以上である場合化成処理後に十分なアノードが維持でき、３０ｎｍ以下の場合タンタル粉末の表面積が増すことがある。粒度または粒径は、１つのアノードまたはいくつかのアノードに存在する粉末のロット、バッチまたは量に関連する。

さらに、タンタル粉末の一次粒子の粒度分布（または粒径分布）に関して、８０％以上の粒子が平均粒度の±５ｎｍ以内に含まれる分布を持つことが好ましい。８０％以上の粒子が平均粒度の±５ｎｍ以内に含まれる分布では、粒度分布が一様または均一であるので、一次粒子が互いに凝集する場合ボイドが形成される傾向があり、タンタル電解コンデンサーを形成する場合、カソードを作る物質が、タンタル粉末の内側を完全に含浸することを可能にする。粒径分布は、平均粒度の±５ｎｍ以内に含まれる粒子に関して８０％未満でもよい。粒径分布は、８５％〜９９％以上の、または９０％〜９９％以上の、または９５％〜９９％以上のタンタル粉末が平均粒度の±５ｎｍ以内に含まれるものでよい。本発明の目的には、粒径分布に与えられた種々のパーセント範囲は、±１０ｎｍまたは±７ｎｍ以内に含まれる粒子に当てはまる。

本発明の１つまたは複数の実施形態において、タンタル粉末（一次、二次または三次粉末）は望ましい流速を有することがある。例えば、本発明のタンタル粉末の流速は、２０グラムのタンタル粉末が直径０．１インチの穴を通過するのにかかる時間を試験が伴う場合、約３０秒〜約３分の流速を有することがある。流速は、約４５秒〜約２と１／２分、約６０秒〜約２分、約６０秒〜約１と１／２分でも他の流速でよい。

本発明の１つまたは複数の実施形態において、タンタル粉末の二次粒子は望ましい粒径を有することがある。例えば、本発明の二次粒子は、Ｍｉｃｒｏｔｒａｃで測定して１μm〜１５０μmの、１０μm〜１２５μmの、５０μm〜１００μmの、７５μm〜１２０μmなどのＤ５０を有することがある。さらにこれらのＤ５０範囲の１つまたは複数の実施形態において、Ｄ１０は０．７μm〜２０μm、１μm〜１５μmなど、５μm〜１０μmなどのことがある。また、本発明の１つまたは複数の実施形態において、本願記載の種々のＤ５０範囲で、粒子は５μm〜２００μm、１０μm〜１７５μmなど、１５μm〜１５０μmなど、約２０μm〜約１２５μmなど、約２５μm〜約１００μmなど、約５０μm〜約７５μmなどのＤ９０範囲を持つことがある。より低いＤ１０数およびより低いＤ９０数は本願記載のより低いＤ５０サイズ、１μm〜７５μmの大きさなどにより適用可能であろう。さらに、より高いエンドＤ１０(ｅｎｄ Ｄ１０)およびより高いエンドＤ９０（ｅｎｄ Ｄ９０）数は、より高い範囲のＤ５０範囲、７５μm〜１５０μmなどにより適用可能であろう。

次に、タンタル粉末の製造方法の１実施形態が説明される。１実施形態において、図１に示されるタンタル粉末の製造装置１０（以下で製造装置１０と省略される）が使用される。製造装置１０は、タンタル製容器１１、容器１１に挿入された攪拌手段１２、容器１１中に還元剤を分散して加える第１添加手段１３、容器１１中に窒素を（任意に）分散して加える第２添加手段１４、容器１１中に取付けられた電極１５、容器１１および電極１５に電気的に接続しているＤＣ交流電源１６および容器１１を支持するインコネル製支持容器１７を備えている。第１添加手段１３は、第１供給管１３ａおよび第１供給管１３ａに接続していて水平に据付けられている第１スパージャー１３ｂから構成されており、第２添加手段１４は第２供給管１４ａおよび第２供給管１４ａに接続していて水平に据付けられている第２スパージャー１４ｂから構成されている。第１スパージャー１３ｂおよび第２スパージャー１４ｂは、均一な添加のために供給管１３ａおよび１４ａと接続している箇所からの距離が増すにつれて大きくなる複数の孔を底部に備えた環状管でよい。

タンタル粉末の１製造方法において、まず、不純物の混入を防ぐために、容器１１は事前に任意に水で洗浄され、好ましくは、さらに任意の超音波洗浄を施した後に完全に乾燥される。次に、希釈塩が容器１１に加えられる。容器１１の内部が加熱され溶融塩を調整し、攪拌手段１２により容器１１の内部を攪拌しながらフッ化カリウムタンタル（Ｋ₂ＴａＦ₇）が加えられ溶融塩中に溶解する。次に、少なくとも１つの実施形態において、攪拌を続けながら、第１添加手段１３により、還元剤（複数可）が、溶融塩に溶解しているフッ化カリウムタンタルに均一に分散して加えられ、同時に、第２添加手段１４により窒素が分散して加えられる。結果として、フッ化カリウムタンタルが還元され、凝集（または集塊）した一次粒子である二次粒子から構成されるタンタル微粒子が形成される。さらに、本発明において、分散して加えるとは、複数の点または位置で同時に（または実質的に同時に）加えることを意味する。

溶融塩を構成する希釈塩に関して、塩化カリウム（ＫＣｌ）、塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）、フッ化カリウム（ＫＦ）またはその共晶塩が例として引用される。個別の塩または混合物が利用できる。還元剤に関して、ナトリウム、マグネシウム、カルシウムなどのアルカリ金属またはアルカリ土類金属またはその水素化物、すなわち水素化マグネシウムおよび水素化カルシウムが例として引用される。ナトリウムが好ましい。ナトリウムが還元剤として使用される場合、フッ化カリウムタンタル中のフッ素とナトリウムが互いに反応し、ナトリウムのフッ化物を形成する。フッ化物は水溶性であり、したがって後の処理で容易に除去される。

７７０℃〜８８０℃が、容器１１の好ましい内部温度である。容器１１の内部温度が７７０℃以上である場合、容器１１中の成分は確実に溶解でき、８８０℃以下である場合、発生したタンタル一次粉末の自己焼結が防止でき、発生した粒子が粗くなることが防止される。７７０℃未満または８８０℃より高い温度など、他の温度も利用できる。

次に、電解および電着処理を、溶融塩中のタンタル微粒子に利用できる。特に、ＤＣ交流電源１６を使用することにより、電流の方向が交互に変換するＤＣ交流（DC alternating current）が発生し、ＤＣ交流が容器１１と電極１５を通ってタンタル微粒子に印加される。ＤＣ交流は誘導効果を持ち、したがってタンタル微粒子が容器１１および電極１５に直接接触していない場合ですら、電流はタンタル微粒子に印加される。結果として、タンタル微粒子はカソードまたはアノードとして作用する。さらに、ＤＣ交流が印加されている時、アノードおよびカソードは交互に切り替わる。タンタル微粒子がアノードとして作用している間、電子はタンタル微粒子のタンタルから除かれ、タンタルが陽イオン化して溶融塩中に溶解する現象（電解）が起こる。タンタル微粒子がカソードとして作用している間、溶融塩中のタンタルカチオンがタンタル微粒子中の電子と結合し、タンタル微粒子上に粘着する現象（電着）が起こる。電解および電着が交互に施された結果として、タンタル微粒子は電解研磨を受け、その表面がなめらかになる。

電解および電着処理に関して、タンタル微粒子の表面を十分になめらかにするために、図４に示すとおり、必要な場合、電解の時間（τ）、電着電流密度（α）、電解が起こる時の電流密度（β）、反転周波数（θ）および中断時間（ε）を調整することが好ましい。電解に関して、電解時間および電流密度を必要な場合に調整することにより、主に多くの突起および窪みを持つタンタル二次粒子の窪んだ領域で、タンタルイオンがイオン化されることができ、特に、低電流密度で長期間印加されることが好ましい。低電流密度で長期間電解を施されると、タンタルイオンは粒子に近く維持されることができる。さらに、必要な場合中断時間を調整することにより、タンタル表面近くに維持されているイオンの拡散が、イオン化タンタルイオンによる粘度上昇効果により促進され、タンタルイオンが窪んだ領域の中へ動くことができる。さらに、電着に関して、必要な場合電着時間および電流密度を調整することにより、タンタルが吸着され窪んだ領域でなめらかになり、具体的に言うと、高電流密度で短期間印加されることが好ましい。さらに、電流反転により発生する振動効果またはタンタルイオン濃度が高い領域と溶融塩の領域の間の表面張力により、表面をなめらかにすることが促進される。出発集塊粉末が電解および／または電着処理の後のタンタル粉末と比較される場合、本発明がタンタル粉末表面をなめらかにする（例えばネック厚さを増す）能力に関して、ネック厚さは、ネック厚さに対して５％以上、１０％以上、１５％以上、２０％以上、２５％以上または３０％以上増加できる。

さらに、０．００１〜０．１Ａ／ｃｍ²が、電解および電着の両方に好ましい電流密度である。他の電流密度範囲は、０．０１〜０．１Ａ／ｃｍ²または０．０５〜０．１Ａ／ｃｍ²である。電流密度が低すぎると反応が進行しそうになく、他方で高すぎると反応速度が１ｎｍ／秒を超え、制御が困難になる傾向を生み出す。電流密度は、０．１Ａ／ｃｍ²を超えても、０．００１Ａ／ｃｍ²未満でもよい。

電着の時間（タンタル微粒子がカソードとして作用する時間）は、好ましくは、電解の時間（タンタル微粒子がアノードとして作用する時間）の０．８〜１０倍（例えば、１〜８倍、２〜７倍、３〜５倍）である。電着の時間が電解の時間の０．８倍以上であると、タンタル微粒子の表面は十分になめらかになることができ、１０倍未満であると、過剰な電着の結果として粒子が粗くなることを防止できる。タンタル粒子の一次粒子の粒度が大きい場合、粒子をさらに微細化することができ、したがって電解の時間を長くすることが好ましい。

タンタル粒子が微細であるので、電解および電着は非常に短時間（０．１Ａ／ｃｍ²で０．２２６ｎｍ／秒以内）で実施される。したがって、反転周波数が低すぎると反転効果は完全に表されず、高すぎるとイオンの移動速度が追いつくことができない。さらに、形状が樹状の必要ないボイドを不純物で埋めることがある。一般的な反転周波数は、どんな電流密度でも、０．５ｎｍ／秒以内、０．３ｎｍ／秒以内、０．２ｎｍ／以内、０．１ｎｍ／秒以内、１ｎｍ／秒以内でよい。

次に、表面のなめらかなタンタル微粒子が熱凝集（または集塊）して三次粒子（すなわち、５００〜５０００μｍの平均径および／または粒径分布）を形成できる。熱凝集は、発生する収縮比が５〜１０％となる条件下で実施されることが好ましい。５％以上の収縮比で熱凝集は十分に実施でき、１０％以下の収縮比は過剰な熱凝集を防止することができる。収縮比が前記範囲にあるためには、熱凝集の温度が好ましくは９００〜１２００℃であり、より好ましくはおよそ１０５０℃である。熱凝集温度が９００℃以上であると５％以上の収縮比が得られ、１２００℃以下であると１０％以下の収縮比が得られる。熱凝集は、例えば５分以上の凝集を起こすに十分な時間で、これらの温度で起こる。収縮比は、１つまたは複数の実施形態において、５％〜１０％の範囲の外側でもよい。例えば、収縮比は、１％〜２０％、３％〜２０％、３％〜１５％またはこれらの範囲内の他のパーセンテージでよい。

次に、熱凝集三次粒子を粉砕および篩い分けできる。粉砕の１方法として、差動ロールを含むロールグラニュレーターを使用する方法が１例として引用される。本願の差動ロールは、介在する空間に配置された２本のロールであって、その間で互いに逆向きに回転し、各ロールが異なる回転数を持つ２本のロールである。２本の差動ロールの円周速度の間のバランスに関して、片方のロールの円周速度は他のロールの円周速度より２０％以上速く、その理由は、そうすれば高収縮比で４４〜１５０μｍのタンタル粉末を得ることが可能であるからである。ローラーの片方は、例えば、２０％〜１００％高い、２０％〜８０％高い、２５％〜７５％高い、または３０％〜７０％高い、もう一方のローラーとは異なる回転速度（例えば、異なるｒｐｍ）速度を有してよい。

篩い分け方法に関して、異なるメッシュの２つの篩いを積み重ねて粉砕した粉末を篩い分けする方法が１例として引用される。本願で、２つの篩いの一方は、ある粒度範囲の上限より小さい粉末を通すが、前記粒度範囲の上限より大きい粉末を通さず、もう片方は、前記粒度範囲の下限より小さい粉末を通すが、前記粒度範囲の下限より大きい粉末を通さない。使用時に、前者の篩いは上に後者は底におかれる。さらに、篩い分け方法に関して、１例として、振動技術または回転技術が利用できる。本願で、振動技術は積み重ねた篩いを上下に動かす方法であり、回転技術は積み重ねた篩いを水平に循環させて動かす方法である。

上述のとおり、篩い分けから得られた三次粒子から構成されるタンタル粉末（平均粒径がおよそ４４〜１５０μｍまたは５５〜１５０μｍの粒度範囲）は、例えば、タンタル電解コンデンサー用のタンタル粉末として使用できる。三次粒子は集塊しているのが典型的である。

タンタル粉末の純度に関して、タンタル粉末は、タンタルに関してどのような望ましい純度を有してもよい。例えば、タンタル金属は９５％Ｔａ以上の純度を有し、例えば９９％Ｔａ以上、９９．９５％Ｔａ以上、９９．９９Ｔａ以上または９９．９９９％Ｔａ以上などである。種々の不純物濃度は以下の記載のとおりでよい。

本発明の少なくとも１つの実施形態において、粉末および／またはペレットおよび／または焼結アノードは以下の特性を持つことがあるが、粉末がこれらの範囲外の特性を持つこともあることを理解されたい：
純度レベル：
約５，０００ｐｐｍ〜約６０，０００ｐｐｍの酸素含量、例えば約８，０００ｐｐｍ〜約５０，０００ｐｐｍの、または約１０，０００ｐｐｍ〜約３０，０００、または約１２，０００ｐｐｍ〜約２０，０００ｐｐｍの酸素。酸素（ｐｐｍ）対ＢＥＴ（ｍ²／ｇ）比は、約２，０００〜約４，０００でよく、例えば約２，２００〜約３，８００、約２，４００〜約３，６００、約２，６００〜約３，４００、または約２，８００〜約３，２００などでよい。
約１ｐｐｍ〜約１００ｐｐｍの炭素含量、より好ましくは約１０ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍの、または約２０ｐｐｍ〜約３０ｐｐｍの炭素。
約１００ｐｐｍ〜約２０，０００ｐｐｍ以上の窒素含量、より好ましくは約１，０００ｐｐｍ〜約５，０００ｐｐｍ、または約３，０００ｐｐｍ〜約４，０００ｐｐｍ、または約３，０００ｐｐｍ〜約３，５００ｐｐｍの窒素。
約１０ｐｐｍ〜約１，０００ｐｐｍの水素含量、より好ましくは約３００ｐｐｍ〜約７５０ｐｐｍ、または約４００ｐｐｍ〜約６００ｐｐｍの水素。
約１ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍの鉄含量、より好ましくは約５ｐｐｍ〜約２０ｐｐｍの鉄。
約１ｐｐｍ〜約１５０ｐｐｍのニッケル含量、より好ましくは約５ｐｐｍ〜約１００ｐｐｍまたは約２５ｐｐｍ〜約７５ｐｐｍのニッケル。
約１ｐｐｍ〜約１００ｐｐｍのクロム含量、より好ましくは約５ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍ、または約５ｐｐｍ〜約２０ｐｐｍのクロム。
約０．１ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍのナトリウム含量、より好ましくは約０．５ｐｐｍ〜約５ｐｐｍのナトリウム。
約０．１ｐｐｍ〜約１００ｐｐｍのカリウム含量、より好ましくは約５ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍ、または約３０ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍのカリウム。
約１ｐｐｍ〜約５０ｐｐｍのマグネシウム含量、より好ましくは約５ｐｐｍ〜約２５ｐｐｍのマグネシウム。
約５ｐｐｍ〜約５００ｐｐｍのリン（Ｐ）含量、より好ましくは約１００ｐｐｍ〜約３００ｐｐｍのリン。
約１ｐｐｍ〜約５００ｐｐｍのフッ化物（Ｆ）含量、より好ましくは約２５ｐｐｍ〜約３００ｐｐｍ、または約５０ｐｐｍ〜約３００ｐｐｍまたは約１００ｐｐｍ〜約３００ｐｐｍ。

粉末は、約２．５μｍ以下の、例えば約０．１０〜約２．０μｍ、約０．２０〜約０．８μｍのフィッシャーサブシーブサイズ（ＦＳ）を有することがある。粉末は、約２．０ｇ／ｃｃ以下、１．８０ｇ／ｃｃ以下、１．５ｇ／ｃｃ以下、例えば約０．８０ｇ／ｃｃ〜約１．３０ｇ／ｃｃまたは約１．０ｇ／ｃｃ〜約１．２０ｇ／ｃｃの嵩密度を有することがある。

粉末（一次、二次または三次）は、メッシュサイズに基づき以下のとおりの粒径分布（全体の％に対して）を持つ：
約０．０〜約１％、好ましくは約０．０〜約０．５％、より好ましくは０．０〜約０．０の＋６０＃、
約４５％〜約７０％、好ましくは約５５％〜約６５％または約６０％〜約６５％の６０／１７０、
約２０％〜約５０％、好ましくは約２５％〜約４０％または約３０％〜約３５％の１７０／３２５、
約１．０％〜約１０％、好ましくは約２．５％〜約７．５％、約４〜約６％などの３２５／４００、
約０．１〜約２．０％、好ましくは約０．５％〜約１．５％の−４００。

粉末は、１１５０℃の焼結温度で１０分間、６０℃の形成温度および４．５ｇ／ｃｃのプレス密度および６Ｖの形成電圧でアノードに形成された場合、約２００，０００ＣＶ／ｇ〜約８００，０００ＣＶ／ｇのキャパシタンス、例えば約４５０，０００ＣＶ／ｇ〜約７００，０００ＣＶ／ｇの、または約５００，０００ＣＶ／ｇ〜約７００，０００ＣＶ／ｇのキャパシタンスを有することがある。また、漏れ電流は２０ｎＡ／μＦＶ未満になることがあり、約２．５〜約１５ｎＡ／μＦＶまたは約３．０〜約１０ｎＡ／μＦＶになることがある。キャパシタンスおよび／または漏れ電流の前記値または範囲は、１２００℃または１２５０℃の焼結温度で１０分間および／または５ボルト〜１６ボルトの形成電圧でも可能である。また、キャパシタンスおよび漏れ電流の範囲内の個々の値はどれも本発明の目的に使用できる。

本発明のＴａ粉末は、単峰形または二峰形などの多峰形である細孔径分布も有する。本発明のＴａ粉末は、大体約０．１μｍの細孔径〜約０．２μｍの、例えば約０．１μｍ〜約０．１８μｍのセンターピーク強度があるように細孔径を有することがある。また、細孔径は、約０．３〜約０．５ｄＶ／ｄ（ｌｏｇｄ）のピーク高さ、例えば０．４ｄＶ／ｄ（ｌｏｇｄ）などのピーク高さを持つことがある。本発明の目的には、これらの範囲は、上記に記載され全ての図に示されている範囲の２０％以内、または１０％以内、または５％以内、または２％以内でよい。

本発明のＴａ粉末は、約４．０ｍ²／ｇ〜約２０ｍ²／ｇの、より好ましくは約４〜約１５ｍ²／ｇの、例えば約１２〜１５ｍ²／ｇのＢＥＴ表面積を有することがある。

本発明は、本発明の粉末を含み、あるいは本発明の粉末から作られるコンデンサーにも関する。例えば、粉末は従来の技術を利用してコンデンサーアノードの少なくとも１部を形成できる。コンデンサーは、ウェットコンデンサーでも固体コンデンサーでもよい。

上述の製造方法において、１種または複数の還元剤を分散して加えることにより、フッ化カリウムタンタルと還元剤を均一に反応させることが可能であり、そのため粒度の小さい一次粒子を形成し、一次粒子の相互結合により二次粒子が形成できる。一般的に、図２に示すとおり、二次粒子２０ａは一次粒子２１と２１の狭い相互結合領域を有し、突起および窪みを有する構造（ネック２２を有する構造）として現れるが、電解および電着処理が施される本実施形態において、粗くなることを防止しながらネックのないなめらかな表面の二次粒子２０ｂ（図３参照）が得られる。これは、電解および電着処理の間に、タンタルが二次粒子２０ａの窪んだ領域（ネック２２）で沈殿するが、突出している領域では電解がより進行しそうであるという事実によると考えられる。したがって、小さい粒度が未だ維持されているので、電解および電着処理から得られる二次粒子は大きい表面積を有する。このため、これらの二次粒子を利用するタンタル粉末では、大きい静電容量を持つコンデンサーを得ることが可能である。さらに、なめらかになった表面およびより狭い領域を有する結果として、酸化膜が均一に形成され、漏れ電流が低減できる（具体的には、１０ｎＡ／μＦ未満）。さらに、本発明において、フッ化カリウムタンタルの還元があり、同じ装置に連続的な電解および電着処理が施され、その結果混入する不純物は少なくなる。さらに、上述の実施形態において、タンタル微粒子の熱凝集の結果として三次粒子が形成した後、それに続く粉砕および篩い分けにより、均一な粒度のタンタル粉末が得られる。タンタル粉末の粒度が均一であると、粒子間に空間が形成される傾向があり、そのため表面積が増しＣＶ値を容易に上げることが可能である。

さらに、上述のタンタル粉末の製造方法の実施形態において、還元剤または窒素を分散して加える手段として、スパージャーを含む方法が利用されてきたが、本発明において、これに限定されず、１例として、添加のための複数のノズルを備えた添加手段を利用することもできる。さらに、上述の実施形態において、窒素が第２添加手段により加えられたが、窒素の添加を省略してよい。しかし、窒素の添加により、一次粒子の粒度を容易に小さくできる。

さらに、上述の実施形態において、タンタル微粒子を形成するために、還元剤が、溶融塩中に溶解しているフッ化カリウムタンタルに分散して加えられたが、気体状タンタル化合物（例えば、塩化タンタル、ヨウ化タンタル、五酸化タンタルなど）が気体状還元剤と接触して、タンタル微粒子が形成されることもある。気体状還元剤を気体状タンタル化合物と接触させる方法として、１例として、気体状タンタル化合物および還元剤が加熱された容器に供給された後、冷却され、凝集して回収する方法が引用される。気体状還元剤として、水素、気化したナトリウム、気化したマグネシウムなどが例として引用される。還元が起こる温度に関して、タンタル化合物の沸点より１０〜２００℃高い温度が好ましい。還元が起こる時、温度がタンタル化合物の沸点より１０℃以上高いと、反応が容易に制御でき、温度がタンタル化合物の沸点より２００℃以下高いと、粒子が粗くなるのを防止できる。

さらに、本発明は、なめらかになったタンタル微粒子の熱凝集、粉砕および篩い分けのプロセスを含むが、このプロセスを省略できる。この場合、なめらかになったタンタル微粒子が本発明のタンタル粉末になるであろう。

窒素に関して、窒素は、気体、液体または固体などどのような状態でもよい。窒素が気体状態であることが好ましい。本発明のタンタル粉末は、ドーパントとして存在する、または他の状態で存在する窒素をどのような量有してもよい。窒素は、どのような比で結晶形態および／または固溶体形態で存在してもよい。存在してよい窒素は、完全に結晶形態でも、完全に固溶体形態でも、その組み合わせでもよい。タンタル粉末中に存在する窒素の量は、約５０ｐｐｍ〜約２５０，０００ｐｐｍなどどのような量でもよい。他の量には、約１００ｐｐｍ以上、約２００ｐｐｍ以上、約５００ｐｐｍ以上、約１，０００ｐｐｍ以上、約１，０００〜約４，０００ｐｐｍ、約１，０００ｐｐｍ〜約５，０００ｐｐｍ、約１，０００ｐｐｍ〜約７，５００ｐｐｍ、約１００ｐｐｍ〜約５，０００ｐｐｍ、約１，０００ｐｐｍ〜約１０，０００ｐｐｍ、約１，０００ｐｐｍ〜約２０，０００ｐｐｍなどがあるが、これらに限定されない。これらのｐｐｍ範囲の全ては、粉末中に存在する窒素に関する。

本発明の１実施形態によると、製造されるタンタル粉末は、コンデンサーアノード（例えばウェットアノードまたは固体アノード）の形成に使用される。コンデンサーアノードおよびコンデンサー（ウェット電解コンデンサー、固体状態コンデンサーなど）は、例えば、米国特許第６，８７０，７２７号；第６，８１３，１４０号；第６，６９９，７５７号；第７，１９０，５７１号；第７，１７２，９８５号；第６，８０４，１０９号；第６，７８８，５２３号；第６，５２７，９３７Ｂ２号；第６，４６２，９３４Ｂ２号；第６，４２０，０４３Ｂ１号；第６，３７５，７０４Ｂ１号；第６，３３８，８１６Ｂ１号；第６，３２２，９１２Ｂ１号；第６，６１６，６２３号；第６，０５１，０４４号；第５，５８０，３６７号；第５，４４８，４４７号；第５，４１２，５３３号；第５，３０６，４６２号；第５，２４５，５１４号；第５，２１７，５２６号；第５，２１１，７４１号；第４，８０５，７０４号および第４，９４０，４９０号に記載のどのような方法により形成しても、かつ／または１つまたは複数の成分／設計を有してもよいが、前記特許は全て参照によりそのまま本願に組み込まれる。粉末はグリーン体に形成され、焼結されて、焼結圧縮体を形成し、焼結圧縮体は従来の技術により陽極酸化できる。本発明により製造されたタンタル粉末から作られるコンデンサーアノードは、向上した電気的漏れ特性を有すると考えられる。本発明のコンデンサーは、自動車用電子機器；携帯電話；モニター、マザーボードなどのコンピューター；テレビおよびブラウン管を含む民生用電子機器；プリンター／コピー機；電源；モデム；ノートブックコンピューター；およびディスクドライブなどの幅広い最終用途に使用できる。

本発明を代表するものとされる、以下の実施例により本発明はさらに明らかになるであろう。

実施例１

本実施形態において、図１に示す製造装置を使用したが、容器１１は５０Ｌ容器であり、液体および気体と接触した全ての領域が高純度タンタルでできている。前記容器１１中に３５ｋｇの塩化カリウムを加え、攪拌手段１２により攪拌しながら溶解するまで８００℃で加熱した。次に、溶解した塩化カリウム中に３７．５ｇのフッ化カリウムタンタルを溶解させた後、第１添加手段１３により１０．８ｇの溶融ナトリウムを分散して加えながら、窒素を第２添加手段１４により分散して加えた。結果としてフッ化カリウムタンタルを還元して、タンタル微粒子が得られた。１１００℃でタンタル微粒子を熱凝集させ、ロールグラニュレーターでそれらを粉砕した後、４４〜１５０μｍのタンタル粉末が得られた。さらに、本製造実施例に使用した全ての原材料では、その中の水分は使用前に除去されていた。
実施例２

実施例１と同じフッ化カリウムタンタル還元を３回繰り返した後、微細なタンタル粉末を得た。次に、塩化カリウムの溶解を維持しながら、１００ｇのフッ化カリウムタンタルを新たに容器１１に加えた。次に、電流密度０．０２Ａ／ｃｍ²で反転周波数１００ＨｚのＤＣ交流を、ＤＣ交流電源１６により発生させ、容器１１および電極１５中にＤＣ交流を１５秒タンタル微粒子に印加し、タンタル微粒子に電解および電着処理を施し、電解研磨を行った。このときに容器１１の内部を、得られた粒子が沈殿するように攪拌手段１２により攪拌した。さらに、電着の時間（タンタル微粒子がカソードとして作用する時間）は電解の時間（タンタル微粒子がアノードとして作用する時間）の１．５倍に設定する。上述のとおり、なめらかな表面のタンタル微粒子（タンタル粉末）が得られた。
実施例３

実施例２と同様であるが、新たに容器１１に加えるフッ化カリウムタンタルの量を５０ｇとし、ＤＣ交流の電流密度を０．０２Ａ／ｃｍ²とし、ＤＣ交流を印加する期間を１０秒として、なめらかな表面のタンタル微粒子（タンタル粉末）が得られた。
実施例４

実施例２と同様であるが、フッ化カリウムタンタル還元を３回繰り返した後に１回のみフッ化カリウムタンタルを加えて、なめらかな表面のタンタル微粒子（タンタル粉末）が得られた。
実施例５

３００℃で気化した塩化タンタルを水素により還元し、およそ３０ｎｍの平均一次粒度のタンタル微粒子が得られた。電解研磨は、タンタル微粒子に実施例２と同じ電解電着処理を施してタンタル微粒子に対して１ｋＨｚで実施し、なめらかな表面のタンタル微粒子（タンタル粉末）が得られた。
実施例６

実施例５と同様であるが、塩化タンタルを、水素の代わりに９００℃で気化したナトリウムにより還元し、なめらかな表面のタンタル微粒子（タンタル粉末）を得られた。

実施例１〜６で得られたタンタル粉末に関して、ＣＶ値および漏れ電流を以下のとおり測定した。結果を表１に示す。

ＣＶ値の測定方法：密度が４．５ｇ／ｃｍ³であるようにタンタル粉末を形成してペレットを製造し、次いでペレットを、電圧６Ｖおよび電流９０ｍＡ／ｇで濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で化成処理した。次いで、化成処理したペレットを測定試料として用い、周波数１２０Ｈｚおよび電圧１．５Ｖで温度２５℃で濃度３０．５体積％の硫酸水溶液中でＣＶ値を測定した。

漏れ電流の測定方法：密度が４．５ｇ／ｃｍ³であるようにタンタル粉末を形成してペレットを製造し、次いでペレットを、電圧６Ｖおよび電流９０ｍＡ／ｇで濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で化成処理した。次いで、化成処理したペレットを測定試料として用い、電圧４．０Ｖを３分間印加して、温度２５℃で濃度１０体積％のリン酸水溶液中で漏れ電流を測定した。

実施例１では、フッ化カリウムタンタルが溶融塩中でナトリウムにより還元されたのみであるが、タンタル粉末のＣＶ値はおよそ４５５，０００μＦＶ／ｇであった。しかし、実施例２〜４では、電解および電着処理が施され、一次粒子の平均粒度は１０〜３０μｍの範囲内にあり、タンタル粉末のＣＶ値はおよそ５００，０００〜７００，０００μＦＶ／ｇに増加し、漏れ電流は１０ｎＡ／μＦ未満のままであった。

実施例５では、塩化タンタルが水素により還元され電解および電着処理が施されたが、一次粒子の平均粒度は１０〜３０μｍの範囲内にあり、タンタル粉末のＣＶ値はおよそ８００，０００μＦＶ／ｇに増加し、漏れ電流は１０ｎＡ／μＦ未満のままであった。

実施例６では、塩化タンタルがナトリウムにより還元され電解および電着処理が施されたが、一次粒子の平均粒度は１０〜３０μｍの範囲内にあり、タンタル粉末のＣＶ値はおよそ６５０，０００μＦＶ／ｇに増加し、漏れ電流は１０ｎＡ／μＦ未満のままであった。

出願者は、本開示中の全ての引用文献の内容全体を明確に取り入れる。さらに、量、濃度または他の値またはパラメーターが、範囲、好ましい範囲または好ましい高い値および好ましい低い値のリストのいずれかとして与えられる場合、範囲が別に開示されているかどうかに関わらず、高い範囲限界または好ましい値と低い範囲限界または好ましい値のどのような組から形成された全ての範囲も具体的に開示していると理解されたい。数値の範囲が本願において列挙されている場合、特に記載のない限り、その範囲はその端点ならびにその範囲内の全ての整数および分数を含むものとする。本発明の範囲は、範囲を定義する際に列挙された特定の値に限定されるものではない。

本発明の他の実施形態は、本明細書および本願に開示した本発明の実施を考察して、当業者には明らかであろう。本明細書および実施例が例示的であるのみと考えられ、本発明の真の範囲および精神が以下の特許請求項およびその等価物により示されているものとする。

１０ 製造装置
１１ 容器
１２ 攪拌手段
１３ 第１添加手段
１３ａ 第１供給管
１３ｂ 第１スパージャー
１４ 第２添加手段
１４ａ 第２供給管
１４ｂ 第２スパージャー
１５ 電極
１６ ＤＣ交流電源（DC alternating power supply）
１７ 支持容器
２０ａ、２０ｂ 二次粒子
２１ 一次粒子
２２ ネック

Claims (7)

1. タンタル粉末であって、
   溶融塩中に溶解しているフッ化カリウムタンタル中に少なくとも１種の還元剤を分散して加えることにより、１０ｎｍ〜３０ｎｍの平均一次粒径を有し、前記一次粒子が凝集した二次粒子であるタンタル微粒子を形成する工程、および
   前記タンタル微粒子に、電流の方向を交互に変換させて電解および電着処理を施すことにより、タンタル微粒子の表面の粗さを低減させかつ／またはネックの厚さを増大させる工程により製造されたタンタル粉末であって、
   前記タンタル粉末で電解コンデンサーアノードが形成された場合、前記アノードが４５０，０００〜８００，０００μＦ／ｇのキャパシタンスを有し、かつ下記の手順：
   タンタル粉末をプレス密度４．５ｇ／ｃｍ³で加圧成形してタンタルリード線を含むペレットにし、
   前記ペレットを焼結し、
   前記焼結ペレットを電圧６Ｖおよび電流９０ｍＡ／ｇで濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で陽極酸化して陽極酸化されたペレットを形成し、そして
   周波数１２０Ｈｚおよび電圧１．５Ｖで温度２５℃にて濃度３０．５体積％の硫酸水溶液中でキャパシタンスを試験する
   ことにより測定されるタンタル粉末。
2. タンタル粉末の製造方法であって、
   前記タンタル粉末で電解コンデンサーアノードが形成された場合、前記アノードは、
   (1)４５０，０００〜８００，０００μＦ／ｇのキャパシタンスを有し、かつ
   (2)下記の手順：
   タンタル粉末をプレス密度４．５ｇ／ｃｍ³で加圧成形してタンタルリード線を含むペレットにし、
   前記ペレットを焼結し、
   前記焼結ペレットを電圧６Ｖおよび電流９０ｍＡ／ｇで濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で陽極酸化して陽極酸化されたペレットを形成し、そして
   周波数１２０Ｈｚおよび電圧１．５Ｖで温度２５℃にて濃度３０．５体積％の硫酸水溶液中でキャパシタンスを試験する
   ことにより測定され、
   前記製造方法は、下記：
   溶融塩中に溶解しているフッ化カリウムタンタル中に少なくとも１種の還元剤を分散して加えることにより、１０ｎｍ〜３０ｎｍの平均一次粒径を有し、前記一次粒子が凝集した二次粒子であるタンタル微粒子を形成する工程、および
   前記タンタル微粒子に、電流の方向を交互に変換させて電解および電着処理を施すことにより、タンタル微粒子の表面の粗さを低減させかつ／またはネックの厚さを増大させる工程
   を含むことを特徴とする、タンタル粉末の製造方法。
3. タンタル粉末の製造方法であって、
   前記タンタル粉末で電解コンデンサーアノードが形成された場合、前記アノードは、
   (1)４５０，０００〜８００，０００μＦ／ｇのキャパシタンスを有し、かつ
   (2)下記の手順：
   タンタル粉末をプレス密度４．５ｇ／ｃｍ³で加圧成形してタンタルリード線を含むペレットにし、
   前記ペレットを焼結し、
   前記焼結ペレットを電圧６Ｖおよび電流９０ｍＡ／ｇで濃度０．１体積％のリン酸水溶液中で陽極酸化して陽極酸化されたペレットを形成し、そして
   周波数１２０Ｈｚおよび電圧１．５Ｖで温度２５℃にて濃度３０．５体積％の硫酸水溶液中でキャパシタンスを試験する
   ことにより測定され、
   前記製造方法は、下記：
   少なくとも１種の気体状還元剤を少なくとも１種の気体状タンタル化合物に接触させることにより、１０ｎｍ〜３０ｎｍの平均一次粒径を有し、前記一次粒子が凝集した二次粒子であるタンタル微粒子を形成する工程、および
   前記タンタル微粒子に、溶融塩中で電流の方向を交互に変換させて電解および電着処理を施すことにより、タンタル微粒子の表面の粗さを低減させかつ／またはネックの厚さを増大させる工程
   を含むことを特徴とする、タンタル粉末の製造方法。
4. 前記電解および電着処理の後でタンタル微粒子を熱凝集または集塊させ集塊粒子を形成する工程および次いで前記集塊粒子を粉砕および篩い分けする工程をさらに含む、請求項２または３に記載の方法。
5. 前記電解および電着処理が、０．００１〜０．１Ａ／ｃｍ²の電流密度で起こる、請求項２または３に記載の方法。
6. 前記アノードが１０ｎＡ／μＦ未満のＤＣ漏れを有する、請求項１に記載のタンタル粉末。
7. 請求項１に記載のタンタル粉末を含み前記キャパシタンスを有する、電解コンデンサーアノード。

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