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JP2016161803A - Liquid crystal panel and manufacturing method of liquid crystal panel - Google Patents

Liquid crystal panel and manufacturing method of liquid crystal panel Download PDF

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JP2016161803A
JP2016161803A JP2015041108A JP2015041108A JP2016161803A JP 2016161803 A JP2016161803 A JP 2016161803A JP 2015041108 A JP2015041108 A JP 2015041108A JP 2015041108 A JP2015041108 A JP 2015041108A JP 2016161803 A JP2016161803 A JP 2016161803A
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liquid crystal
crystal panel
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laser
bright spot
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Application number
JP2015041108A
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Japanese (ja)
Inventor
智毅 桂
Tomotake Katsura
智毅 桂
岩崎 直子
Naoko Iwasaki
直子 岩崎
横溝 政幸
Masayuki Yokomizo
政幸 横溝
山下 真司
Shinji Yamashita
真司 山下
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal panel that uniformly increases blackness of an area irradiated with a laser beam irrespective of before or after the generation of bubbles generated in the liquid crystal panel during irradiation with a laser beam, and a manufacturing method of the same.SOLUTION: A manufacturing method of a liquid crystal panel includes the steps of: irradiating a bright spot defective pixel or pixels adjacent to a bright spot defective pixel with a laser beam having a laser peak power density larger than that in a laser irradiation condition when blackening a bright spot defective pixel of a liquid crystal panel to generate bubbles in liquid crystal; and subsequently irradiating the bright spot defective pixel with a laser beam to blacken the bright spot defective pixel.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、液晶パネルとその製造方法に関し、特に液晶パネルに生じた輝点欠陥画素の黒化に関するものである。   The present invention relates to a liquid crystal panel and a method for manufacturing the same, and more particularly to blackening of bright spot defective pixels generated in a liquid crystal panel.

液晶パネルには、製造工程における異物混入などにより、輝点欠陥と呼ばれる欠陥が画素に発生することがある。輝点欠陥は、液晶パネルに黒など暗い色を表示した際にも明るい画素として視認される欠陥である。目立ちやすいため、輝点欠陥が発生すると発生したパネルは不良品として廃棄されることが多く、液晶パネル製造における歩留まり低下の原因となっている。   In a liquid crystal panel, a defect called a bright spot defect may occur in a pixel due to foreign matter mixed in a manufacturing process. The bright spot defect is a defect that is visually recognized as a bright pixel even when a dark color such as black is displayed on the liquid crystal panel. Since it is conspicuous, a panel generated when a bright spot defect occurs is often discarded as a defective product, which causes a decrease in yield in liquid crystal panel manufacturing.

このような液晶パネルのける輝点欠陥を修正する方法として、従来、液晶パネルの輝点欠陥画素に対応した部分のカラーフィルター色材にレーザを照射することにより、これを黒化して輝点欠陥を目立たなくするという技術があった。   Conventionally, as a method of correcting the bright spot defect in such a liquid crystal panel, the color filter colorant corresponding to the bright spot defective pixel of the liquid crystal panel is irradiated with a laser to blacken the bright spot defect. There was a technology to make it inconspicuous.

この場合のレーザの照射方法としては、下記のものがあった。
(1)レーザを連続して照射して、カラーフィルターを白と黒の中間、すなわち、グレーに変色させて輝点欠陥を目立たなくするもの(例えば、特許文献1参照)、
(2)上部基板の上側からレーザ装置を使用して色フィルタ及び上部基板の境界面にレーザ光の焦点を合わせてレーザ光を照射することによって、色フィルタの透過率が変化して、光源部からの光を遮断するもの(例えば、特許文献2参照)、及び
(3)輝点欠陥画素に含まれるカラーフィルタに対してレーザを照射し、カラーフィルタの物性を光透過性が低下するように変化させ、隣接セルへの影響を最小化するもの(例えば、特許文献3参照)。
In this case, the laser irradiation method was as follows.
(1) Continuously irradiating a laser to change the color filter to the middle of white and black, that is, gray to make the bright spot defect inconspicuous (see, for example, Patent Document 1),
(2) The laser device is used from the upper side of the upper substrate to irradiate the laser light with the laser light focused on the boundary surface between the color filter and the upper substrate, whereby the transmittance of the color filter changes, and the light source unit (3) for irradiating a color filter included in a bright spot defective pixel with a laser so that the light transmittance of the color filter is reduced. It is changed to minimize the influence on adjacent cells (for example, see Patent Document 3).

特開平3−21928号公報JP-A-3-21928 特開2006−227621号公報JP 2006-227621 A 特開2008−170938号公報JP 2008-170938 A

上記のように、液晶パネルの輝点欠陥をレーザ照射によって修正、すなわちリペアする場合、レーザビームをスキャンすることによってカラーフィルターの色材などが加熱されて熱変性し黒色化する反応を利用して画素を黒化する。レーザ照射による発熱は、一部は周囲の部材に拡散し、残りの一部によってカラーフィルター色材などの温度が上昇する。
黒化のためのレーザビームスキャン中には液晶にバブルが発生し、レーザ照射部付近の熱拡散が途中で変化すると、黒化の度合いに従って空間分布が発生するという課題があった。
As described above, when the bright spot defect of the liquid crystal panel is corrected by laser irradiation, that is, when the laser beam is scanned, the color material of the color filter is heated to thermally denature and blacken. Blacken the pixel. A part of the heat generated by the laser irradiation diffuses to the surrounding members, and the temperature of the color filter coloring material or the like rises due to the remaining part.
During the laser beam scan for blackening, bubbles are generated in the liquid crystal, and if the thermal diffusion near the laser irradiation part changes in the middle, there is a problem that a spatial distribution is generated according to the degree of blackening.

本発明は、斯かる課題を解決するためになされたもので、その目的は、レーザビーム照射時に液晶パネルに生じるバブルの発生の前後に拘わらずレーザ照射した領域の黒化度を均一且つ高くする液晶パネルとその製造方法を提供することにある。   The present invention has been made to solve such a problem, and its purpose is to make the degree of blackening of the laser irradiated region uniform and high regardless of the occurrence of bubbles generated in the liquid crystal panel during laser beam irradiation. The object is to provide a liquid crystal panel and a method of manufacturing the same.

上記の目的を達成するため、本発明に係る液晶パネルは、液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素上に照射して発生させたバブルを液晶中に有し、前記輝点欠陥画素上にレーザビームが照射されることにより黒化された前記輝点欠陥画素を有する。   In order to achieve the above object, the liquid crystal panel according to the present invention irradiates the bright spot defect pixel with a laser beam having a laser peak power density equal to or higher than a laser irradiation condition when blackening the bright spot defect pixel of the liquid crystal panel. The bubbles generated in this manner are included in the liquid crystal, and the bright spot defective pixels are blackened by irradiating the bright spot defective pixels with a laser beam.

また、本発明に係る液晶パネルは、液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素に隣接する画素上に照射して発生させたバブルを液晶中に有し、前記輝点欠陥画素上にレーザビームが照射されることにより黒化された前記輝点欠陥画素を有する。   Further, the liquid crystal panel according to the present invention irradiates a pixel adjacent to the bright spot defective pixel with a laser beam having a laser peak power density equal to or higher than a laser irradiation condition for blackening the bright spot defective pixel of the liquid crystal panel. It has the generated bubble in the liquid crystal and has the bright spot defective pixel blackened by irradiating the bright spot defective pixel with a laser beam.

また、本発明によれば、液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素上に照射して液晶中にバブルを発生させ、前記輝点欠陥画素上にレーザビームを照射して前記輝点欠陥画素を黒化する液晶パネルの製造方法が提供される。   In addition, according to the present invention, a laser beam having a laser peak power density equal to or higher than a laser irradiation condition for blackening a bright spot defective pixel of a liquid crystal panel is irradiated on the bright spot defective pixel to generate bubbles in the liquid crystal. There is provided a method of manufacturing a liquid crystal panel in which the bright spot defective pixels are irradiated with a laser beam to blacken the bright spot defective pixels.

さらに、本発明によれば、及び液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素に隣接する画素上に照射して液晶中にバブルを発生させ、前記輝点欠陥画素上にレーザビームを照射して前記輝点欠陥画素を黒化する液晶パネルの製造方法が提供される。   Further, according to the present invention, a liquid crystal is irradiated with a laser beam having a laser peak power density equal to or higher than a laser irradiation condition when blackening a bright spot defective pixel of a liquid crystal panel on a pixel adjacent to the bright spot defective pixel. There is provided a method of manufacturing a liquid crystal panel in which bubbles are generated and the bright spot defective pixels are irradiated with a laser beam to blacken the bright spot defective pixels.

本発明者は、液晶バブル発生前にレーザ照射した領域は黒化度が低く、液晶バブル発生後にレーザ照射した領域は黒化度が高くなることに着目して、液晶中にバブルを発生させてから色材の黒化加工を実施するため、液晶への熱拡散が抑制されて高く均一な黒化度合いを得ることが出来る。   The inventor noticed that the area irradiated with laser before the generation of liquid crystal bubbles had a low degree of blackening, and that the area irradiated with laser after the generation of liquid crystal bubbles had a high degree of blackening, generated bubbles in the liquid crystal. Therefore, since the blackening of the color material is performed, thermal diffusion to the liquid crystal is suppressed, and a high and uniform blackening degree can be obtained.

本発明の各実施の形態で使用される液晶パネルを含む液晶モジュールの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the liquid crystal module containing the liquid crystal panel used by each embodiment of this invention. 本発明の各実施の形態による液晶パネルとその製造方法において輝点欠陥画素の黒化装置として用いられるレーザ照射装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the laser irradiation apparatus used as a blackening apparatus of a bright spot defect pixel in the liquid crystal panel by each embodiment of this invention, and its manufacturing method. 本発明の実施の形態1に係る液晶パネルとその製造方法を説明するための工程図である。It is process drawing for demonstrating the liquid crystal panel which concerns on Embodiment 1 of this invention, and its manufacturing method. 本発明の実施の形態2に係る液晶パネルとその製造方法を説明するための工程図である。It is process drawing for demonstrating the liquid crystal panel which concerns on Embodiment 2 of this invention, and its manufacturing method.

図1に、液晶パネル15を含む液晶モジュール16の概略構成断面図を示す。尚、図1では、液晶モジュール16における各要素の厚みは、説明のため実際の比率とは大きく異なって図示されている。   FIG. 1 shows a schematic cross-sectional view of a liquid crystal module 16 including a liquid crystal panel 15. In FIG. 1, the thickness of each element in the liquid crystal module 16 is illustrated to be significantly different from the actual ratio for the sake of explanation.

液晶モジュール16は、液晶パネル15、バックライト12、液晶パネル駆動制御装置17等から構成される。液晶パネル15の背面側、すなわち液晶パネル15を見る正面とは反対側の面(裏面)であって図1では液晶パネル15の下側にバックライト12が配置される。液晶パネル15及びバックライト12は、更に図1の下側の液晶パネル駆動制御装置17と電気的に接続され、この液晶パネル駆動制御装置17によって動作制御される。   The liquid crystal module 16 includes a liquid crystal panel 15, a backlight 12, a liquid crystal panel drive control device 17, and the like. The backlight 12 is disposed on the back side of the liquid crystal panel 15, that is, the surface (back side) opposite to the front side when the liquid crystal panel 15 is viewed, and below the liquid crystal panel 15 in FIG. 1. The liquid crystal panel 15 and the backlight 12 are further electrically connected to the lower liquid crystal panel drive control device 17 in FIG. 1, and the operation is controlled by the liquid crystal panel drive control device 17.

液晶パネル15は、カラーフィルター基板13とTFT基板14との間に液晶7が挟み込まれた構造を有する。カラーフィルター基板13は、カラーフィルター基板側ガラス基板3上に形成され赤・緑・青に相当する特定の波長域の透過光を透過して色を表現するカラーフィルター色材1と、隣接する画素間に配置され透過光を遮るブラックマトリックス4と、液晶7に電圧を印加するための対向電極5と、液晶7を規定の向きに配向させるためのカラーフィルター基板側配向膜6とを有する。   The liquid crystal panel 15 has a structure in which the liquid crystal 7 is sandwiched between the color filter substrate 13 and the TFT substrate 14. The color filter substrate 13 is formed on the color filter substrate side glass substrate 3 and transmits the transmitted light in a specific wavelength range corresponding to red, green, and blue to express the color, and adjacent pixels. It has a black matrix 4 disposed between them to block transmitted light, a counter electrode 5 for applying a voltage to the liquid crystal 7, and a color filter substrate side alignment film 6 for aligning the liquid crystal 7 in a specified direction.

これらブラックマトリックス4と対向電極5と配向膜6は、カラーフィルター基板側ガラス基板3の液晶7側の面に設けられているが、カラーフィルター基板側ガラス基板3の液晶7の面とは反対側の面上には、カラーフィルター基板側偏光板2が設けられている。   The black matrix 4, the counter electrode 5, and the alignment film 6 are provided on the surface of the color filter substrate side glass substrate 3 on the liquid crystal 7 side, but are opposite to the surface of the color filter substrate side glass substrate 3 on the liquid crystal 7 side. The color filter substrate side polarizing plate 2 is provided on the surface.

液晶7の裏側の面にはTFT基板14(TFT:Thin Film Transistor)が設けられ、このTFT基板14は、液晶7を規定の向きに配向させるためのTFT基板側配向膜8と、液晶7に印加する電圧を制御するためのTFTアレイ9と、TFT基板側ガラス基板10と、TFT基板側偏光板11とで構成される。TFT基板側配向膜8及びTFTアレイ9は、TFT基板側ガラス基板10の液晶7側の面に形成され、TFT基板側偏光板11はその反対側の面に設けられる。   A TFT substrate 14 (TFT: Thin Film Transistor) is provided on the back surface of the liquid crystal 7. The TFT substrate 14 is provided on the TFT substrate-side alignment film 8 for aligning the liquid crystal 7 in a specified direction, and on the liquid crystal 7. It comprises a TFT array 9 for controlling the voltage to be applied, a TFT substrate side glass substrate 10, and a TFT substrate side polarizing plate 11. The TFT substrate side alignment film 8 and the TFT array 9 are formed on the surface of the TFT substrate side glass substrate 10 on the liquid crystal 7 side, and the TFT substrate side polarizing plate 11 is provided on the opposite surface.

本発明による液晶パネルとその製造方法における輝点欠陥黒化処理は、液晶パネル15を対象とし、輝点欠陥画素のカラーフィルター色材1などに対してレーザを照射することでこれを黒化し、液晶パネル15上の輝点欠陥を遮蔽、つまり目立たなくするためのものである。
まず、レーザ照射装置である、液晶パネル15の輝点欠陥の黒化に用いる装置について、図2を参照して以下に説明する。
The bright spot defect blackening process in the liquid crystal panel and the manufacturing method thereof according to the present invention targets the liquid crystal panel 15 and blackens it by irradiating the color filter color material 1 of the bright spot defective pixel with laser. This is for shielding the bright spot defect on the liquid crystal panel 15, that is, making it inconspicuous.
First, an apparatus used for blackening a bright spot defect of the liquid crystal panel 15 as a laser irradiation apparatus will be described below with reference to FIG.

この黒化装置は、図示のとおり大きく分けて、レーザ照射・観察部18及び液晶パネル設置部19とで構成される。レーザ照射・観察部18で発生、成形、集光したレーザビーム、すなわちレーザ光を、液晶パネル設置部19に設置した液晶パネル15に照射して、液晶パネル15の輝点欠陥画素が存在するカラーフィルター色材1などをレーザ加工する。   This blackening device is roughly divided into a laser irradiation / observation unit 18 and a liquid crystal panel installation unit 19 as shown in the figure. A laser beam generated, shaped, and condensed by the laser irradiation / observation unit 18, that is, a laser beam, is applied to the liquid crystal panel 15 installed in the liquid crystal panel installation unit 19, and the color in which the bright spot defective pixels of the liquid crystal panel 15 exist The filter color material 1 and the like are laser processed.

液晶パネル設置部19は、XYステージ28、パネル設置部29、及び観察用光源30によって構成される。液晶パネル15を載置したパネル設置部29は、レーザ照射・観察部18から入射するレーザビームの光軸に対して垂直な平面上で略直交する2軸を有するXYステージ28で駆動される。XYステージ28の駆動により液晶パネル15の任意の場所にレーザビームを照射出来る。また、パネル設置部29には透過穴31が設けられ、観察用光源30によって液晶パネル15を照らして、加工中の液晶パネル15を観察出来る様にしている。   The liquid crystal panel installation unit 19 includes an XY stage 28, a panel installation unit 29, and an observation light source 30. The panel installation unit 29 on which the liquid crystal panel 15 is mounted is driven by an XY stage 28 having two axes substantially orthogonal to each other on a plane perpendicular to the optical axis of the laser beam incident from the laser irradiation / observation unit 18. By driving the XY stage 28, it is possible to irradiate a laser beam to an arbitrary place on the liquid crystal panel 15. In addition, a transmission hole 31 is provided in the panel installation part 29 so that the liquid crystal panel 15 can be observed by illuminating the liquid crystal panel 15 with the observation light source 30.

レーザ照射・観察部18は、レーザビームを発生する第1部分、レーザビームを調整・集光する第2部分、及び液晶パネルを観察する第3部分を有する。
レーザ照射・観察部18のレーザビームを発生する第1部分は、レーザ発振器20及びレーザ駆動電源21により構成される。レーザ駆動電源21により駆動されたレーザ発振器20からレーザビームを発生する。レーザ発振器20としては、固体レーザ、ガスレーザ、レーザダイオード(LD)、ファイバーレーザなどを使用することが出来る。
The laser irradiation / observation unit 18 includes a first part that generates a laser beam, a second part that adjusts and collects the laser beam, and a third part that observes the liquid crystal panel.
The first part that generates the laser beam of the laser irradiation / observation unit 18 is constituted by a laser oscillator 20 and a laser drive power source 21. A laser beam is generated from a laser oscillator 20 driven by a laser driving power source 21. As the laser oscillator 20, a solid laser, a gas laser, a laser diode (LD), a fiber laser, or the like can be used.

レーザ照射・観察部18のレーザビームを調整・集光する第2部分は、レーザビーム調整光学系22、転写マスク23、及び対物レンズ24により構成される。転写マスク23で成形されたレーザビームを対物レンズ24により液晶パネル15上に縮小転写する。   The second part that adjusts and condenses the laser beam of the laser irradiation / observation unit 18 includes a laser beam adjustment optical system 22, a transfer mask 23, and an objective lens 24. The laser beam formed by the transfer mask 23 is reduced and transferred onto the liquid crystal panel 15 by the objective lens 24.

転写マスク23は、略円形若しくは略矩形の開口であり、開口の大きさを変化させる機構を有する。円形の場合はアイリス絞り、矩形の場合はスリットを使用することが出来る。アイリス絞りは羽の重なり具合を調整することで開口径を調整可能である。スリットは略直交する2ペアのスリットで構成され、スリット間の距離を調整することで開口幅を調整可能である。   The transfer mask 23 is a substantially circular or substantially rectangular opening, and has a mechanism for changing the size of the opening. An iris diaphragm can be used for a circle, and a slit can be used for a rectangle. The iris diaphragm can adjust the aperture diameter by adjusting the degree of overlap of the wings. The slit is composed of two pairs of slits substantially orthogonal to each other, and the opening width can be adjusted by adjusting the distance between the slits.

液晶パネル15上のレーザビームスポットは、転写マスク23の開口の形状と対物レンズ24の倍率によって決定する。例えば、転写マスク23の開口の大きさを縦200μm×横200μm、対物レンズ24の倍率を40倍とすると、縦200μm×横200μmを1/40倍で転写することになるため、液晶パネル15上のレーザビームスポットは、縦200μm×横200μm×1/40=縦5μm×横5μmとなる。転写マスク23の開口の大きさを調整することで、液晶パネル15上のレーザビームスポット径を制御することが可能である。   The laser beam spot on the liquid crystal panel 15 is determined by the shape of the opening of the transfer mask 23 and the magnification of the objective lens 24. For example, if the size of the opening of the transfer mask 23 is 200 μm in length × 200 μm in width and the magnification of the objective lens 24 is 40 times, the image is transferred at a ratio of 200 μm in length × 200 μm in width at 1/40 times. The laser beam spot is 200 μm long × 200 μm wide × 1/40 = 5 μm long × 5 μm wide. The diameter of the laser beam spot on the liquid crystal panel 15 can be controlled by adjusting the size of the opening of the transfer mask 23.

転写マスク23上でのビームプロファイルは、レーザビーム調整光学系22によって調整される。レーザビーム調整光学系22は、レンズ、プリズム、回折光学素子などで構成される。   The beam profile on the transfer mask 23 is adjusted by the laser beam adjusting optical system 22. The laser beam adjusting optical system 22 includes a lens, a prism, a diffractive optical element, and the like.

レーザ照射・観察部18の加工中の液晶パネルを観察するための第3部分は、ミラー25及びカメラ26で構成される。液晶パネル15を照らした光の一部はミラー25でカメラ26方向に反射されて、カメラ26で液晶パネルの状態を観察できる。   The third part for observing the liquid crystal panel being processed by the laser irradiation / observation unit 18 is constituted by a mirror 25 and a camera 26. Part of the light that illuminates the liquid crystal panel 15 is reflected by the mirror 25 toward the camera 26, and the camera 26 can observe the state of the liquid crystal panel.

レーザ照射・観察部18はZステージ27上に設置され、このZステージ27の駆動により、レーザ及び観察のフォーカシングのため対物レンズ24と液晶パネル15との間の相対距離を調整する。   The laser irradiation / observation unit 18 is installed on the Z stage 27, and the relative distance between the objective lens 24 and the liquid crystal panel 15 is adjusted for laser and observation focusing by driving the Z stage 27.

続いて、輝点欠陥画素の黒化処理工程について説明する。
液晶パネルの黒化する領域は、液晶パネルの画素や画素の一部であり、一辺が数十μm〜数百μmの矩形や矩形に近い形状である。レーザ照射により黒化されるのは、液晶パネル15のカラーフィルター色材1や配向膜6、8などである。いずれにしても、黒化対象となる構成物は、厚みが数μm以下の薄膜である。レーザを照射すると、レーザの吸収によりこれらの薄膜が加熱されて熱変性し黒化する。
Next, a blackening process step for bright spot defective pixels will be described.
The blackened region of the liquid crystal panel is a pixel of the liquid crystal panel or a part of the pixel, and is a rectangle having a side of several tens to several hundreds of μm or a shape close to a rectangle. The color filter colorant 1 and the alignment films 6 and 8 of the liquid crystal panel 15 are blackened by the laser irradiation. In any case, the composition to be blackened is a thin film having a thickness of several μm or less. When the laser is irradiated, these thin films are heated by the absorption of the laser to be thermally denatured and blackened.

このような薄膜のレーザ加工においては、加工点でのレーザ出力が大き過ぎると膜が破損する。膜がレーザ照射により急加熱されて急激に熱膨張し、膜に対して応力が発生するためである。液晶パネル15中で膜が破損すると、液晶中に不純物や異物が散乱され、黒化した画素の周辺の画素で新たな欠陥が生じることがある。   In laser processing of such a thin film, if the laser output at the processing point is too large, the film is damaged. This is because the film is rapidly heated by laser irradiation and rapidly expands, and stress is generated on the film. When the film is broken in the liquid crystal panel 15, impurities and foreign matters are scattered in the liquid crystal, and new defects may occur in pixels around the blackened pixels.

一方で、加工点でのレーザ出力を小さくすると、膜の破損を抑制することが出来るが、小さくし過ぎると黒化対象となる構成物に与えるエネルギーが不足し、輝点欠陥を遮蔽するのに十分な黒化度合いを得ることが出来ない。   On the other hand, if the laser output at the processing point is reduced, damage to the film can be suppressed. However, if the laser output is too small, the energy given to the composition to be blackened is insufficient and the bright spot defect is shielded. A sufficient degree of blackening cannot be obtained.

膜の破損を抑制しつつ十分な黒化度合いを得るため、加工点でのレーザ出力及び加工点でのレーザビームスポットの大きさを最適化する必要がある。加工点でのレーザビームスポットの大きさは数μm〜数十μm程度が最適である。ここでレーザビームスポットの大きさとは2次元的な広がりを持つレーザビームスポットの外形の代表的な長さであり、レーザビームスポットが円形の場合は直径、矩形の場合は一辺の長さである。加工点でのレーザ出力は、レーザ発振器20で発生するレーザ出力や加工点でのレーザビームスポットの大きさなどにより調整可能である。   In order to obtain a sufficient degree of blackening while suppressing damage to the film, it is necessary to optimize the laser output at the processing point and the size of the laser beam spot at the processing point. The optimum size of the laser beam spot at the processing point is about several μm to several tens of μm. Here, the size of the laser beam spot is a typical length of the outer shape of the laser beam spot having a two-dimensional spread, and is a diameter when the laser beam spot is circular, or a side length when the laser beam spot is rectangular. . The laser output at the processing point can be adjusted by the laser output generated by the laser oscillator 20 and the size of the laser beam spot at the processing point.

一辺が数十μm〜数百μmの画素の領域を、数μm〜数十μmのレーザビームスポットで隙間無く黒化するために、レーザビームスポットを液晶パネル15に対して相対的にスキャンする。このスキャン動作は、液晶パネル15を設置したパネル設置部29のXYステージ28を駆動することによって実施する。   The laser beam spot is scanned relative to the liquid crystal panel 15 in order to blacken an area of a pixel having a side of several tens of μm to several hundreds of μm with a laser beam spot of several μm to several tens of μm without any gap. This scanning operation is performed by driving the XY stage 28 of the panel installation unit 29 on which the liquid crystal panel 15 is installed.

レーザ照射による黒化処理を、液晶パネル15のカラーフィルター基板側偏光板2及びTFT基板側偏光板11を貼り付けたまま実施することが出来れば、リペアの救済効果が大きい。しかしながら、レーザ照射での偏光板2,11の損傷が裂けられない場合、黒化対象の観察が難しい場合などは片方若しくは両方の偏光板を除去してから黒化処理を実施してもよい。   If the blackening process by laser irradiation can be performed with the color filter substrate side polarizing plate 2 and the TFT substrate side polarizing plate 11 of the liquid crystal panel 15 attached, the repair relief effect is great. However, when damage to the polarizing plates 2 and 11 due to laser irradiation is not torn or when it is difficult to observe the blackening target, the blackening treatment may be performed after removing one or both polarizing plates.

実施の形態1.
図3に、本発明を、RGB画素の内のB(ブルー)画素に存在する輝点欠陥を修正する時のプロセスフロー及び液晶パネル断面図を示す。同図(a)に示すように、液晶パネル15上にレーザを、カラーフィルターなどの黒化のためのレーザ照射条件と比較してピークパワー密度が高い条件で短時間照射することにより液晶バブル40を発生させる。その後、同図(b)に示す黒化工程を実施する。
なお、これらの工程は、液晶パネルを製造する工程とも称することができる。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 3 shows a process flow and a cross-sectional view of a liquid crystal panel when the present invention corrects a bright spot defect existing in a B (blue) pixel among RGB pixels. As shown in FIG. 5A, a liquid crystal bubble 40 is irradiated by irradiating a laser on a liquid crystal panel 15 for a short time under a condition where the peak power density is higher than that of a laser irradiation condition for blackening such as a color filter. Is generated. Thereafter, the blackening process shown in FIG.
In addition, these processes can also be called the process of manufacturing a liquid crystal panel.

液晶バブル40を発生させるためのレーザ照射においては、レーザビームのスポットは、転写マスク23のサイズや形状で決定される。レーザビームスポットが大きいと、後述のカラーフィルター色材などへの表面形状変化が大きくなるため、レーザビームスポットはできるだけ小さい方がよく、1μm〜3μm程度が望ましい。レーザビームスポットの形状は、四角でも丸でも構わない。使用するレーザはカラーフィルター色材などの黒化と共通である方が、装置構成が簡単である。   In laser irradiation for generating the liquid crystal bubble 40, the spot of the laser beam is determined by the size and shape of the transfer mask 23. When the laser beam spot is large, the surface shape change to the color filter coloring material described later becomes large. Therefore, the laser beam spot should be as small as possible, and preferably about 1 μm to 3 μm. The shape of the laser beam spot may be square or round. If the laser to be used is the same as that of the black material such as the color filter color material, the apparatus configuration is simple.

また、液晶バブル40を発生するためのレーザ照射は1パルスで十分であり、カラーフィルター色材等の部材の損傷領域を最小限にするためにも1パルスであることが望ましい。パルスレーザとしては、Qスイッチレーザやモードロックレーザなどのパルスレーザを用いても良いし、レーザダイオードなどの連続発振レーザを用いて駆動電流をパルス形状によってパルス化しても良い。後者の場合、1m秒以下の照射時間でも十分に液晶バブル40を発生させることが可能である。それより長い時間レーザを照射するとカラーフィルター色材などの表面形状変化が大きくなるため、照射時間は1m秒以下であることが望ましい。   Further, one pulse is sufficient for laser irradiation for generating the liquid crystal bubble 40, and it is desirable that one pulse be used in order to minimize a damaged area of a member such as a color filter color material. As the pulsed laser, a pulsed laser such as a Q-switched laser or a mode-locked laser may be used, or a driving current may be pulsed by a pulse shape using a continuous wave laser such as a laser diode. In the latter case, the liquid crystal bubble 40 can be sufficiently generated even with an irradiation time of 1 msec or less. When the laser is irradiated for a longer time, the surface shape change of the color filter color material and the like becomes larger, so the irradiation time is desirably 1 msec or less.

一方で、レーザ液晶バブル40を発生させるためのレーザ照射により、レーザ照射部近辺のカラーフィルター色材1などに亀裂が発生したり、カラーフィルター色材等の表面形状による液晶配向が乱されたりすることが原因で新たな表示不良を発生させることがある。表示不良が著しい場合には別の欠陥として視認され、リペア失敗となるが、著しい表示不良でなければ、黒化するより好ましい状態と言える。   On the other hand, the laser irradiation for generating the laser liquid crystal bubble 40 may cause cracks in the color filter color material 1 in the vicinity of the laser irradiation portion, or disturb the liquid crystal alignment due to the surface shape of the color filter color material or the like. For this reason, a new display defect may occur. When the display defect is remarkable, it is visually recognized as another defect and repair failure occurs. However, if the display defect is not remarkable, it can be said that it is a more preferable state of blackening.

すなわち、図3(a)に示すように液晶パネル15上にレーザを、カラーフィルターなどの黒化のためのレーザ照射条件と比較してピークパワー密度が高い条件でB画素部分を短時間照射することにより液晶バブル40を発生させるが、このとき図示のようにカラーフィルタ色材1に亀裂41が生じ得る。しかし、このように亀裂41が生じても、ピークパワー密度が高いため、B画素は黒化状態には至っていない。
そこで、同図(b)に示すように、B画素に黒化のためのレーザ照射を行い、黒化状態となる。
That is, as shown in FIG. 3A, the B pixel portion is irradiated on the liquid crystal panel 15 for a short time under a condition where the peak power density is higher than the laser irradiation condition for blackening such as a color filter. As a result, the liquid crystal bubble 40 is generated. At this time, the color filter color material 1 may be cracked 41 as illustrated. However, even if the crack 41 occurs in this way, the B pixel has not reached the blackened state because the peak power density is high.
Therefore, as shown in FIG. 5B, the B pixel is irradiated with laser for blackening, and the blackened state is obtained.

実施の形態2.
上記のリペア失敗の問題は、図3の例のように、輝点欠陥が存在する画素がRGB画素の内のB画素であれば大きな問題にはならないが、G画素又はR画素に輝点欠陥が存在する場合には顕著になる。それはG(グリーン)及びR(レッド)画素の波長領域は人間の目の感度が高いために、同程度の液晶配向の乱れでもB(ブルー)画素と比較して、視認され易いためである。
Embodiment 2. FIG.
The above repair failure problem does not pose a major problem if the pixel where the bright spot defect exists is a B pixel among the RGB pixels as in the example of FIG. 3, but the bright spot defect occurs in the G pixel or the R pixel. It becomes noticeable when there is. This is because the wavelength range of the G (green) and R (red) pixels is highly sensitive to the human eye, so even if the liquid crystal orientation is disturbed to the same extent, it is easier to see compared to the B (blue) pixels.

図4に本発明の実施の形態2に係るG画素又はR画素の黒化における工程図及び液晶パネル断面図を示す。G画素又はR画素の黒化においては、同図(a)に示したように、対象画素の黒化のためのレーザスキャンに先立ち、対象画素に隣接するB画素にレーザを照射して、液晶バブル40を発生させる。液晶バブル40はレーザを照射した画素を中心に数十画素以上に広がる。隣接画素にレーザを照射して液晶バブル40を発生させることで、対象画素で液晶バブル40を発生したのと同様の、レーザ照射による発熱の液晶7への拡散を軽減する効果を得ることが出来る。
このとき、B画素には亀裂41が生じ得るが、この亀裂41は著しい表示不良をもたらすものではない。
FIG. 4 shows a process diagram and a liquid crystal panel sectional view in blackening of the G pixel or the R pixel according to the second embodiment of the present invention. In the blackening of the G pixel or the R pixel, as shown in FIG. 5A, prior to the laser scan for blackening the target pixel, the B pixel adjacent to the target pixel is irradiated with a laser, and the liquid crystal Bubble 40 is generated. The liquid crystal bubble 40 spreads over several tens of pixels around the pixel irradiated with the laser. By irradiating the adjacent pixel with laser to generate the liquid crystal bubble 40, it is possible to obtain the effect of reducing the diffusion of heat generated by the laser irradiation to the liquid crystal 7, similar to the case where the liquid crystal bubble 40 is generated at the target pixel. .
At this time, a crack 41 may occur in the B pixel, but the crack 41 does not cause a significant display defect.

B画素にレーザを照射して液晶バブル40を発生させた後、同図(b)に示すように、レーザビームスポットを黒化対象画素に移動して、対象画素を黒化する。対象画素まで広がった液晶バブル40によりレーザ照射による発熱の液晶への拡散が抑制されるために、均一で十分な黒化状態を得ることが出来る。また、目立ち難いB画素への照射で液晶バブル40を発生させることで、液晶バブル発生に起因する亀裂41などの表示不良が生じても、著しい表示不良ではないのでリペア失敗にまでは至らず、黒化リペアの成功確率を向上させることが可能となる。   After irradiating the B pixel with the laser to generate the liquid crystal bubble 40, the laser beam spot is moved to the blackening target pixel to blacken the target pixel as shown in FIG. Since the liquid crystal bubble 40 extending to the target pixel suppresses the diffusion of heat generated by laser irradiation into the liquid crystal, a uniform and sufficient blackened state can be obtained. In addition, by generating the liquid crystal bubble 40 by irradiating the inconspicuous B pixel, even if a display defect such as a crack 41 caused by the liquid crystal bubble occurs, it does not lead to a repair failure because it is not a significant display defect. It is possible to improve the success probability of blackening repair.

黒化工程の前にバブル発生工程を設けない場合、黒化工程中に液晶バブルが発生することがある。この場合、液晶バブル40が発生する前は、黒化のために照射したレーザのエネルギーが液晶7に拡散されるため比較的黒色化が進展しない。
液晶バブル40が発生した後は黒色化がより進展するので、黒化度合いに空間分布が発生する。黒化度合いの低い領域からは光が漏れるため、輝点欠陥を遮蔽出来ずに黒化リペア失敗となる。
If the bubble generation step is not provided before the blackening step, liquid crystal bubbles may be generated during the blackening step. In this case, before the liquid crystal bubble 40 is generated, the energy of the laser irradiated for blackening is diffused into the liquid crystal 7, so that blackening does not progress relatively.
Since the blackening further progresses after the liquid crystal bubble 40 is generated, a spatial distribution occurs in the degree of blackening. Since light leaks from an area where the degree of blackening is low, the black spot repair fails without shielding the bright spot defect.

以上のように本発明によれば、黒化のためのレーザエネルギーが液晶に拡散することを抑制し、均一で十分な黒化状態を得ることが出来るという顕著な効果を奏するものである。   As described above, according to the present invention, it is possible to prevent the laser energy for blackening from diffusing into the liquid crystal and to obtain a remarkable effect that a uniform and sufficient blackening state can be obtained.

1 カラーフィルター色材、2 カラーフィルター基板側偏光板、3 カラーフィルター基板側ガラス基板、4 ブラックマトリックス、5 対向電極、6 カラーフィルター基板側配向膜、7 液晶、8 TFT基板側配向膜、9 TFTアレイ、10 TFT基板側ガラス基板、11 TFT基板側偏光板、12 バックライト、13 カラーフィルター基板、14 TFT基板、15 液晶パネル、16 液晶モジュール、17 液晶パネル駆動制御装置、18 レーザ照射・観察部、19 液晶パネル設置部、20 レーザ発振器、21 レーザ駆動電源、22 レーザビーム調整光学系、23 転写マスク、24 対物レンズ、25 ミラー、26 カメラ、27 Zステージ、28 XYステージ、29 パネル設置部、30 観察用光源、31 透過穴、40 液晶バブル、41 亀裂。   1 color filter color material, 2 color filter substrate side polarizing plate, 3 color filter substrate side glass substrate, 4 black matrix, 5 counter electrode, 6 color filter substrate side alignment film, 7 liquid crystal, 8 TFT substrate side alignment film, 9 TFT Array, 10 TFT substrate side glass substrate, 11 TFT substrate side polarizing plate, 12 backlight, 13 color filter substrate, 14 TFT substrate, 15 liquid crystal panel, 16 liquid crystal module, 17 liquid crystal panel drive control device, 18 laser irradiation / observation section , 19 Liquid crystal panel installation section, 20 Laser oscillator, 21 Laser drive power supply, 22 Laser beam adjustment optical system, 23 Transfer mask, 24 Objective lens, 25 Mirror, 26 Camera, 27 Z stage, 28 XY stage, 29 Panel installation section, 30 Light source for observation, 31 through Hole, 40 liquid crystal bubble, 41 crack.

Claims (10)

液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素上に照射して発生させたバブルを液晶中に有し、前記輝点欠陥画素上にレーザビームが照射されることにより黒化された前記輝点欠陥画素を有する
液晶パネル。
The liquid crystal panel has bubbles generated by irradiating a laser beam having a laser peak power density equal to or higher than a laser irradiation condition when blackening the bright spot defective pixel of the liquid crystal panel on the bright spot defective pixel, and the bright spot A liquid crystal panel having the bright spot defective pixel blackened by irradiating the defective pixel with a laser beam.
液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素に隣接する画素上に照射して発生させたバブルを液晶中に有し、前記輝点欠陥画素上にレーザビームが照射されることにより黒化された前記輝点欠陥画素を有する
液晶パネル。
The liquid crystal has bubbles generated by irradiating a pixel adjacent to the bright spot defective pixel with a laser beam having a laser peak power density equal to or higher than the laser irradiation condition when blackening the bright spot defective pixel of the liquid crystal panel. A liquid crystal panel having the bright spot defective pixels blackened by irradiating the bright spot defective pixels with a laser beam.
前記バブルを発生するためのレーザビームは、レーザの単一エネルギーパルスである
請求項1又は2に記載の液晶パネル。
The liquid crystal panel according to claim 1, wherein the laser beam for generating the bubble is a single energy pulse of a laser.
前記輝点欠陥画素が、RGB画素の内のB画素である場合に、前記バブルが、前記B画素にレーザビームを照射して発生されたものである
請求項1に記載の液晶パネル。
The liquid crystal panel according to claim 1, wherein, when the bright spot defective pixel is a B pixel among RGB pixels, the bubble is generated by irradiating the B pixel with a laser beam.
前記輝点欠陥画素が、RGB画素の内のR画素若しくはG画素である場合に、前記バブルが、前記R画素若しくはG画素に隣接するB画素にレーザビームを照射して発生されたものである
請求項2に記載の液晶パネル。
When the bright spot defective pixel is an R pixel or a G pixel among RGB pixels, the bubble is generated by irradiating a B pixel adjacent to the R pixel or the G pixel with a laser beam. The liquid crystal panel according to claim 2.
液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素上に照射して液晶中にバブルを発生させ、
前記輝点欠陥画素上にレーザビームを照射して前記輝点欠陥画素を黒化する
液晶パネルの製造方法。
A laser beam having a laser peak power density equal to or higher than the laser irradiation condition when blackening the bright spot defective pixel of the liquid crystal panel is irradiated on the bright spot defective pixel to generate bubbles in the liquid crystal,
A method of manufacturing a liquid crystal panel, wherein the bright spot defective pixel is irradiated with a laser beam to blacken the bright spot defective pixel.
液晶パネルの輝点欠陥画素を黒化するときのレーザ照射条件以上のレーザピークパワー密度のレーザビームを前記輝点欠陥画素に隣接する画素上に照射して液晶中にバブルを発生させ、
前記輝点欠陥画素上にレーザビームを照射して前記輝点欠陥画素を黒化する
液晶パネルの製造方法。
A laser beam having a laser peak power density equal to or higher than the laser irradiation condition when blackening the bright spot defective pixel of the liquid crystal panel is irradiated on a pixel adjacent to the bright spot defective pixel to generate bubbles in the liquid crystal,
A method of manufacturing a liquid crystal panel, wherein the bright spot defective pixel is irradiated with a laser beam to blacken the bright spot defective pixel.
前記バブルを発生するためのレーザビームは、レーザの単一エネルギーパルスである
請求項6又は7に記載の液晶パネルの製造方法。
The method for manufacturing a liquid crystal panel according to claim 6, wherein the laser beam for generating the bubble is a single energy pulse of a laser.
前記輝点欠陥画素が、RGB画素の内のB画素である場合に、前記B画素にレーザビームを照射して前記バブルを発生させる
請求項6に記載の液晶パネルの製造方法。
The method of manufacturing a liquid crystal panel according to claim 6, wherein when the bright spot defective pixel is a B pixel among RGB pixels, the bubble is generated by irradiating the B pixel with a laser beam.
前記輝点欠陥画素が、RGB画素の内のR画素若しくはG画素である場合に、前記R画素若しくはG画素に隣接するB画素にレーザビームを照射して前記バブルを発生させる
請求項7に記載の液晶パネルの製造方法。
The bubble is generated by irradiating a B pixel adjacent to the R pixel or the G pixel with a laser beam when the bright spot defective pixel is an R pixel or a G pixel among RGB pixels. Liquid crystal panel manufacturing method.
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