JP2016207999A - Image pickup device storage package and image pickup apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、CCD(Charge Coupled Device:電荷結合素子)およびC−MOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor:相補型金属酸化膜半導体)等の撮像素子を収納するための、リード端子を具備した撮像素子収納用パッケージおよびそれを用いた撮像装置に関するものである。 The present invention is for housing an image sensor having a lead terminal for housing an image sensor such as a CCD (Charge Coupled Device) and a C-MOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor). The present invention relates to a package and an imaging apparatus using the package.
撮像装置に用いられる、撮像素子を収納するための撮像素子収納用パッケージは、上面に撮像素子の搭載部を有する基体と、搭載部を取り囲むように基体の上面側に配置された枠体と、基体の上面とその上面に対向する枠体の下面とを接合する接合層と、枠体の内側から基体の外側へ接合層を貫通して延びる複数のリード端子とを含んでいる。 An image pickup device storage package for storing an image pickup device used in the image pickup apparatus includes a base body having an image pickup element mounting portion on an upper surface, a frame body disposed on the upper surface side of the base body so as to surround the mount portion, A bonding layer for bonding the upper surface of the base and the lower surface of the frame opposite to the upper surface, and a plurality of lead terminals extending through the bonding layer from the inside of the frame to the outside of the base.
例えば特許文献1に開示された撮像素子収納用パッケージでは、リード端子を形成するためのリードフレームに位置決め用の孔が形成され、そのリードフレームを基体と枠体との間に入れて重ね合わせたときに、その位置決め用の孔が外部に露出するように、基体および枠体に切欠き部が設けられて構成されている。
For example, in the image pickup device storage package disclosed in
撮像装置においては、レンズ等の光学系の部材と撮像素子との位置を高精度に合わせることが重要である。特許文献1に開示された撮像素子収納用パッケージのように、リードフレームに形成された孔を基準にして、搭載部に搭載された撮像素子と光学系の部材とを位置合わせする構造の場合は、撮像素子面に沿う面方向に関しては撮像素子と光学系の部材とを高精度に位置合わせすることができるが、撮像素子面に垂直な光軸方向に関しては、接合層の厚みのばらつきおよび接合層中での光軸方向におけるリードフレームの位置のばらつきによって、撮像素子面に対するリードフレームの位置の精度が十分なものとなり難いため、撮像素子と光学系の部材とを高精度に位置合わせすることが難しいという問題点があった。
In an imaging device, it is important to align the position of an optical system member such as a lens and an imaging element with high accuracy. In the case of a structure that aligns the image pickup element mounted on the mounting portion and the member of the optical system with reference to the hole formed in the lead frame, as in the image pickup element storage package disclosed in
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、撮像素子と光学系の部材との位置合わせの精度を向上させる点において有利な撮像素子収納用パッケージおよびそれを用いた撮像装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an image pickup device storage package that is advantageous in improving the alignment accuracy between the image pickup device and an optical system member, and the same. An imaging device is provided.
本発明の1つの態様による撮像素子収納用パッケージは、上面に撮像素子の搭載部を有する基体と、前記搭載部を取り囲むように前記基体の上面側に配置された枠体と、前記基体の上面と該上面に対向する前記枠体の下面とを接合する接合層と、前記枠体の内側から前記基体の外側へ向かって前記接合層を貫通して延びる複数のリード端子とを含む撮像素子収納用パッケージであって、前記基体は、前記枠体よりも外側へ延出する延出部を有し、該延出部に、厚み方向に貫通する孔または前記上面から窪んだ凹所が形成されている。 An image sensor housing package according to an aspect of the present invention includes a base body having an image sensor mounting portion on an upper surface thereof, a frame body disposed on the upper surface side of the base body so as to surround the mounting portion, and an upper surface of the base body. And a plurality of lead terminals extending through the bonding layer from the inner side of the frame toward the outer side of the base body. The base has an extending part extending outward from the frame, and a hole penetrating in the thickness direction or a recess recessed from the upper surface is formed in the extending part. ing.
本発明の1つの態様による撮像装置は、上述の撮像素子収納用パッケージと、該撮像素子収納用パッケージの前記搭載部に搭載された撮像素子と、前記枠体の上面に接合された
、前記撮像素子を封止する蓋体とを含んでいる。
An image pickup apparatus according to an aspect of the present invention includes the above-described image pickup device storage package, the image pickup device mounted on the mounting portion of the image pickup device storage package, and the image pickup device joined to the upper surface of the frame body. And a lid for sealing the element.
本発明の1つの態様による撮像素子収納用パッケージによれば、撮像素子が搭載される基体を介して、撮像素子と光学系の部材との位置合わせを行なうことができる。このため、撮像素子と光学系の部材とを、撮像素子面に沿う面方向に関して高精度に位置合わせすることができるだけではなく、撮像素子面に垂直な光軸方向に関しても高精度に位置合わせすることができる。 According to the image pickup device storage package according to one aspect of the present invention, the image pickup device and the optical system member can be aligned via the base on which the image pickup device is mounted. For this reason, not only can the image pickup device and the optical system member be aligned with high accuracy in the surface direction along the image pickup device surface, but also high-precision alignment in the optical axis direction perpendicular to the image pickup device surface. be able to.
本発明の1つの態様による撮像装置によれば、上述の撮像素子収納用パッケージを有することから、撮像素子と光学系の部材とが高精度に位置合わせされた撮像装置を実現することができる。 According to the imaging apparatus according to one aspect of the present invention, since the imaging element housing package is provided, an imaging apparatus in which the imaging element and the optical system member are aligned with high accuracy can be realized.
(第1の実施形態)
図1を参照して本発明の第1の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1および撮像装置10について説明する。図1は、本発明の第1の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1を備える撮像装置10を示す上面図である。図2は、図1に示すA−A線における撮像装置10の断面図である。なお、図1では、後述する蓋体8および接着剤9を省略して撮像装置10を図示している。
(First embodiment)
With reference to FIG. 1, an image
撮像素子収納用パッケージ1は、上面の中央部に、平面視で矩形状の撮像素子6の搭載部を有する基体2と、その搭載部を取り囲むように基体2の上面側に配置された枠体3と、基体2の上面とその上面に対向する枠体3の下面とを接合する接合層4と、枠体3の内側から基体2の外側へ向かって接合層4を貫通して延びる複数のリード端子5とを含んでいる。そして、基体2は、枠体3よりも外側へ延出する延出部2aを有しており、その延出部2aには、基体2を厚み方向に貫通する位置決め用の孔11aが形成されている。
The image pickup
また、図1および図2に示す例において、撮像装置10は、撮像素子収納用パッケージ1と、撮像素子収納用パッケージ1の搭載部に搭載された撮像素子6と、撮像素子6とリード端子5とを電気的に接続するボンディングワイヤ7と、枠体3の上面に接合された、搭載部に搭載された撮像素子6を封止する蓋体8と、枠体3の上面と蓋体8の下面とを接合する接着剤9とを含んでいる。
In the example shown in FIGS. 1 and 2, the
基体2は、位置決め用の孔11aを精度良く形成することができる材料からなる。また、基体2は、搭載部に搭載された撮像素子6から発生する熱によって変形すると撮像素子6と光学系の部材との位置精度が悪くなることから、熱膨張係数が小さな材料からなるのが好ましい。さらに、撮像素子6から発生する熱を良好に放散させる点で、基体2は熱伝
導率が高い材料からなるのが好ましい。
The
また、基体2には撮像素子6の搭載位置に位置決め用のマーク(図示せず)を設けておいてもよい。このようなマークがあれば、撮像素子6を位置決め用の孔11aに対してより正確に位置決めできるようになる。なお、基体2を金属の打抜き加工で形成する場合には、位置決め用マークは、位置決め用の孔11aを打ち抜くのと同時に刻印等で形成することもできる。このようにすると、位置決め用マークと位置決め用の孔11aとの相対位置がずれる可能性が低減される。
The
例えば基体2が金属材料からなる場合は、その材料例は、42アロイまたはステンレス等である。また、例えば基体2がセラミック材料からなる場合は、その材料例は、酸化アルミニウム質セラミックス、ムライト質セラミックス、炭化ケイ素質セラミックス、窒化アルミニウム質セラミックスまたは窒化ケイ素質セラミックス等である。これらセラミック材料の中では熱伝導率の点に関して、炭化ケイ素質セラミックス、窒化アルミニウム質セラミックスまたは窒化ケイ素質セラミックスが好ましい。
For example, when the
基体2は、平面視での形状が矩形状である板状の部材である。基体2を平面視したときのサイズは、例えば、短辺が10〜40mm程度であり、長辺が18〜75mm程度である。また、基体2の厚みは、例えば0.5〜3mm程度である。
The
基体2は、金属材料からなる場合であれば、例えば所定の厚さに圧延された金属材料からなる板材に適当な打抜き加工等を施して所定形状とすることによって作製される。この場合に、位置決め用の孔11aは、例えばドリル加工によって、基体2の延出部2aとなる領域における所定の位置に形成される。
If the
基体2は、例えば窒化ケイ素質セラミックスからなる場合であれば、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウムおよび酸化イットリウム等の原料粉末に適当な有機バインダー、可塑剤および溶剤を添加混合した泥漿物に、従来周知のドクターブレード法またはカレンダーロール法を採用することによって、セラミックグリーンシート(セラミック生シート)を形成する。次に、このセラミックグリーンシートに適当な打抜き加工等を施して所定形状とするとともに、必要に応じて複数枚を積層して成形体とする。しかる後、これを窒素雰囲気等の非酸化性雰囲気にて1600〜2000℃の温度で焼成することによって基体2が作製される。この場合に、位置決め用の孔11aは、例えばレーザ加工によって、基体2の延出部2aとなる領域における所定の位置に形成される。
If the
枠体3は、基体2を構成する材料と同じ熱膨張係数を有する材料からなるのが好ましく、例えば基体2と同じ材料からなる。これにより、基体2と枠体3との熱膨張係数の差に起因する熱応力の発生を抑制でき、撮像素子収納用パッケージ1全体として変形し難くすることができる。さらに、基体2および枠体3と接合層4との接合界面において剥離が生じるのを有効に防止することができ、気密信頼性の高い撮像素子収納用パッケージ1とすることが可能となる。
The
枠体3は、平面視で矩形状の外形を有する板材の面方向の中央部に、基体2の搭載部よりも大きなサイズを有する、平面視で矩形状の開口を有する貫通部を形成することによって構成される。枠体3を平面視したときの外形のサイズは、図1および図2に示す例において、短辺の長さが基体2の短辺の長さと同一であり、長辺の長さが基体2の長辺の長さよりも短く、15〜55mm程度である。また、枠体3の厚みは、例えば0.5〜3mm程度である。
The
枠体3は、例えば金属材料または窒化ケイ素質セラミックスからなる場合であれば、上
記した方法と同様の方法によって作製することができる。
If the
枠体3は、その外形における長辺の延びる方向が、基体2の長辺の延びる方向に一致し、かつその開口内に基体2の搭載部が位置するように基体2の上方側に配置されて、接合層4によって基体2に接合される。
The
ここで、枠体3の外形における長辺の長さは基体2の長辺の長さよりも短いので、上記のように配置して基体2と枠体3とを接合することにより、上方から見たときに、基体2の一部が枠体3よりも外側へ延出する。このように基体2のうち枠体3よりも外側へ延出する部分が、延出部2aに相当する。
Here, since the length of the long side in the outer shape of the
図1に示す例では、延出部2aは、基体2の長辺の延びる方向に対して、枠体3の両側に存在している。そして、各延出部2aには、位置決め用の孔11aが1つずつ形成されている。また、各延出部2aには、位置決め用の孔11a以外に、光学系の部材をこの延出部2aに固定するために用いられる固定用の孔11bが形成されている。図1に示す例では、一方の延出部2aには固定用の孔11bが1つ形成され、他方の延出部2aには固定用の孔11bが2つ形成されている。
In the example shown in FIG. 1, the extending
リード端子5は、銅、銅合金、鉄−ニッケルーコバルト合金または42アロイ等の金属からなる。リード端子5は、これらの金属からなる板材を、従来周知のスタンピング金型を用いた打抜き加工により、外周部に枠を有するとともにその枠の内周から内側に延出するように複数のリード端子5が配設された形状のリードフレームを形成し、打抜き金型等を用いて、そのリードフレームの枠を切断加工することによって作製される。
The
図1に示す例では、複数のリード端子5は、それぞれ枠体3の内側から基体2の一方の長辺側の側面よりも外側へ向かって基体2の短辺に平行に延びる一群のリード端子5と、それぞれ枠体3の内側から基体2の他方の長辺側の側面よりも外側へ向かって基体2の短辺に平行に延びる一群のリード端子5とからなっている。
In the example shown in FIG. 1, each of the plurality of
接合層4を構成する接合材は、例えば熱硬化性のエポキシ樹脂である。この接合材には、例えばビスフェノールA型液状エポキシ樹脂、ビスフェノールF型液状エポキシ樹脂またはフェノールノボラック型液状樹脂等からなる主剤に、球状の酸化珪素等から成る充填材、テトラヒドロメチル無水フタル酸等の酸無水物などを主とする硬化剤および着色剤としてカーボン紛末等を添加し、遠心攪拌機等を用いて混合および混練して、ペースト状としたものが使用される。
The bonding material constituting the
このペースト状の熱硬化性樹脂からなる接合材は、従来周知のスクリーン印刷法やディスペンス法等によって、基体2の上面における搭載部の周囲部分および枠体3の下面の全体にわたって所定の厚みにそれぞれ塗布される。これらをトンネル式の雰囲気炉またはオーブン等で乾燥させることによって、基体2および枠体3に接合材が被着される。
The bonding material made of the paste-like thermosetting resin has a predetermined thickness over the entire periphery of the mounting portion on the upper surface of the
このようにして接合材がそれぞれ被着された基体2および枠体3の各接合材間に、複数のリード端子5が形成されたリードフレームを挟み込んだ状態で、トンネル式の雰囲気炉またはオーブン等に通炉させ、約150℃で約90分間加熱することで接合材を完全に硬化させることにより、基体2、枠体3および複数のリード端子5が、接合層4によって強固にかつ気密に接合される。しかる後、打抜き金型等を用いてリードフレームの枠を切断加工することによって、撮像素子収納用パッケージ1が完成する。
A tunnel-type atmosphere furnace, oven, or the like with a lead frame having a plurality of
なお、接合材としては、この他にも例えばビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールA変性エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型
エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、特殊ノボラック型エポキシ樹脂、フェノール誘導体エポキシ樹脂またはビスフェノール骨格型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂に、イミダゾール系、アミン系、リン系、ヒドラジン系、イミダゾールアダクト系、アミンアダクト系、カチオン重合系またはジシアンジアミド系等の硬化剤を添加したもの等を使用することができる。
In addition, as the bonding material, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol A modified epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, special novolac type epoxy resin, phenol derivative An epoxy resin such as an epoxy resin or a bisphenol skeleton type epoxy resin to which a curing agent such as imidazole, amine, phosphorus, hydrazine, imidazole adduct, amine adduct, cationic polymerization or dicyandiamide is added Can be used.
接合層4は、例えば、ヤング率が0.5〜2GPaであり、且つガラス転移温度が110℃以下である接合材によって形成されている。なお、このヤング率およびこれ以降の説明におけるヤング率は、常温(約5〜35℃)における値である。
For example, the
接合層4のヤング率が0.5GPa以上であれば、リード端子5に超音波ボンディング法でボンディングワイヤ7を接続するときに、接合層4でワイヤボンド時の超音波が吸収されにくくなる。そのため、リード端子5に対するワイヤボンディング性を向上させることが容易になる。また、ヤング率が2GPa以下であれば、基体2および枠体3と接合層4との熱膨張係数の違いに起因して発生する応力によって基体2に反りが発生することが効果的に抑制される。そのため、例えば基体2の反りに起因して撮像素子6の高さ方向の精度が低下する可能性が効果的に低減される。
If the Young's modulus of the
また、(熱膨張係数の違いによって発生する応力で基体2に反りが発生しやすくなるが、)ガラス転移温度が110℃以下であると、例えば接合層4が熱硬化性の材料(上記の熱硬化性樹脂等)であるときに、接合層4を硬化させるためにかかる時間を短縮するために高温で硬化させたとしても、撮像素子6の高さ方向の精度を低下させる応力は接合層4のガラス転移温度以下(110℃)でしか加わらない。そのため、撮像素子6の高さ精度の向上およびその確保が容易になるので好ましい。
Further, if the glass transition temperature is 110 ° C. or lower (although the
なお、このようなヤング率およびガラス転移温度を有する接合層4の接合材としては、例えば熱硬化性のエポキシ樹脂のうちでも、2官能エポキシ樹脂が挙げられる。この場合には、ガラス転移温度が低くとも靱性が高い硬化物としやすいビスフェノールA型エポキシ樹脂またはビスフェノールF型エポキシ樹脂からなる主剤を用いる。また、この主剤が硬化した樹脂よりもヤング率の低いシリコンゴム、シリコンレジン、LDPE(Low Density Polyethylene:低密度ポリエチレン)、HDPE(High Density Polyethylene:高
密度ポリエチレン)、PMMA(Polymethyl Methacrylate:ポリメチルメタクリレート
)、架橋PMMA、ポリスチレン、架橋ポリスチレン、エチレン−アクリル共重合体、ポリメタクリル酸エチル、ブチルアクリレートまたはウレタン等の軟質微粒子等から成る充填材を含有させる。これらの混合物に、ガラス転移温度が低くとも靱性が高い硬化物のできやすい触媒型硬化剤であるイミダゾールもしくはアミン錯体等、または触媒型硬化剤ではないが低温で硬化させることができるアミンアダクトもしくはポリアミド等を、主な硬化剤としてさらに含有させる。以上の材料を含んだ接合材を用い、混練してペースト状としたものが、接合層4用の接合材(未硬化のもの)として使用される。
In addition, as a joining material of the joining
接合層4を形成している接合材は、例えば、その硬化温度が50〜100℃の熱硬化性材料である。接合材について、その硬化温度が50℃以上であれば、気候や室内環境によって接合材が必要時以外に硬化開始するような可能性が低減される。仮に、不要時に硬化が始まった接合材を使用した場合には、接合材となる未硬化物(樹脂)の回り込み性が低下しやすくなる可能性がある。また、接合材の硬化温度が100℃以下であると、基本的にその硬化温度(100℃)以上には接合層4が加熱されない。つまり、接合層4のガラス転移温度まで上昇する可能性が低減されるため、撮像素子6の高さ方向の精度を低下させる応力は低温域でしか加わらないため熱応力が低減される。したがって、熱応力による基体2の反り等による撮像素子6の高さ精度の低下が効果的に抑制されるので好ましい。
The bonding material forming the
なお、このような接合層4の接合材としては、例えば、溶剤が揮発しにくい低温で硬化させるため、溶剤を含まなくとも印刷性を確保できるように、熱硬化性のエポキシ樹脂のうちでも粘度の低いjER806(商標、三菱化学製)の様なビスフェノールF型液状エポキシ樹脂からなる主剤を用いる。これに、熱膨張係数を低下させる充填材をさらに含み、100℃以下の温度で硬化するアミキュアPN23(味の素製)の様なアミンアダクトを主な硬化剤として含んだ接合材(未硬化の混合物)を用いる。この接合材を混練してペースト状としたものが、接合層4用の接合材として使用される。
In addition, as a joining material of such a joining
以上のような未硬化のものが加熱されることによって硬化して接合層4が形成され、この接合層4によって基体2および枠体3が互いに接合される。また、接合層4内に、接合層4を貫通するようにして、リード端子5を含むリードフレームが配置される。
The uncured material as described above is heated to be cured to form the
また、接合材としては、樹脂以外にも低融点ガラスを用いることができる。この場合には、例えば、酸化鉛56〜66質量%、酸化硼素4〜14質量%、酸化珪素1〜6質量%および酸化亜鉛1〜11質量%を含むガラス成分に、フィラーとして酸化ジルコニウムシリカ系化合物を4〜15質量%添加して得られるガラス組成粉末に、適当な有機溶剤および溶媒を添加混合して得たガラスペーストを用いることができる。 In addition to the resin, low melting point glass can be used as the bonding material. In this case, for example, a zirconium oxide silica-based filler as a filler in a glass component containing 56 to 66% by mass of lead oxide, 4 to 14% by mass of boron oxide, 1 to 6% by mass of silicon oxide, and 1 to 11% by mass of zinc oxide. A glass paste obtained by adding and mixing an appropriate organic solvent and a solvent to a glass composition powder obtained by adding 4 to 15% by mass of a compound can be used.
このガラスペーストからなる接合材は、従来周知のスクリーン印刷法によって、基体2の上面における搭載部の周囲部分および枠体3の下面の全体にわたって所定の厚みに積層印刷塗布する。これを約430℃の温度で焼成することによって、基体2および枠体3に接合材が被着される。
The bonding material made of this glass paste is laminated and applied to a predetermined thickness over the entire periphery of the mounting portion on the upper surface of the
このようにして接合材がそれぞれ被着された基体2および枠体3の各接合材間に、複数のリード端子5が形成されたリードフレームを挟み込んだ状態で、トンネル式の雰囲気炉またはオーブン等に通炉させ、約470℃に加熱することで接合材を溶融して固着させることにより、基体2、枠体3および複数のリード端子5が接合層4によって強固にかつ気密に接合される。しかる後、打抜き金型等を用いてリードフレームの枠を切断加工することによって、撮像素子収納用パッケージ1が完成する。
A tunnel-type atmosphere furnace, oven, or the like with a lead frame having a plurality of
また、例えば図1に示す例のように、接合層4は、枠体3側における幅よりも基体2側における幅が広いことが好ましい。この場合には、撮像素子6の高さ方向の位置精度を向上させる上で有効な撮像素子収納用パッケージ1を提供することができる。これは次のような理由による。基体2の上面と枠体3の下面とに、基体2および枠体3とは異なる熱膨張係数を持つ接合層4を形成した場合には、基体2から離れた枠体3側の位置にある接合層4ほど熱膨張係数差による熱応力が大きくなる。この熱応力の分布(傾斜)に起因して、基体2を反らせるようにモーメント力が働く。このときに、基体2側の接合層4について枠体3側における幅よりも基体2側における幅が広いことによって、枠体3を十分な強度で基体2と接合させることができる。また同時に、枠体3側の接合層4の幅が狭いことによって、基体2の反りの発生を小さく抑えることができる。したがって、上記のようなモーメント力が働いたとしても基体2の反りが抑制されるので、撮像素子6の高さ方向の精度が向上するので好ましい。
Further, for example, as in the example shown in FIG. 1, the
なお、基体2の上面に被着される接合材の幅に比べて枠体3の下面に被着される接合材の幅を小さく形成することで、接合層4について、枠体3側における幅に比べて基体2側の幅を広く形成することができる。
Note that the width of the
また、この実施形態の例では、平面視において基体2が矩形状であり、基体2の各辺における接合層4は、リード端子5が形成されたリードフレームが接合層4の幅方向(各図におけるx−y方向)に貫通している。接合層4を幅方向に貫通しているリードフレーム
は、リードフレームのうち枠の部分またはリード端子5である。これらの枠およびリード端子5は、平面視において、それぞれ枠体3よりも内側の部分から外側の部分に抜け出るように貫通している。
In the example of this embodiment, the
この場合にも、撮像素子6の高さ方向の精度が向上するので好ましい。すなわち、有機樹脂(接着剤)である接合層4に比べると、金属材料であるリード端子5は、その熱膨張係数が基体2および枠体3の熱膨張係数により近い。そのため、リード端子5が接合層4の幅方向に貫通していることで、接合層4の見かけの熱膨張係数(接合層4およびその内部に位置しているリードフレームの一部)(図1では図示せず)が基体2に近付くようになり、基体2の反りの発生を小さく抑えることができる。したがって、基体2の反りによる撮像素子6の高さ方向の位置精度の低下が効果的に抑制される。
This is also preferable because the accuracy in the height direction of the
なお、リードフレームの枠を切断加工した後に、各リード端子5の表面に2μm程度の厚みのニッケルめっき層、およびその上に0.05μm程度の厚みの金めっき層を順次被着させておくことが好ましい。これにより、撮像素子6とリード端子5とを金線またはアルミニウム線等のボンディングワイヤ7によって電気的に接続することが容易になるとともに、リード端子5における基体2よりも外側に配置された部位が、外部の電子回路基板(図示せず)の配線導体に半田接合される際にその接合が容易になる。
After cutting the lead frame, a nickel plating layer having a thickness of about 2 μm and a gold plating layer having a thickness of about 0.05 μm are sequentially deposited on the surface of each
また、リード端子5を構成する金属としては、電気抵抗の小さな銅を用いるのが好ましいが、この場合は、接合材として樹脂を用いなければ気密性を確保することが難しい。したがって、接合材として低融点ガラスを用いる場合には、リード端子5を構成する金属として42アロイ等を用いることにより、接合材とリード端子5との熱膨張係数を合わせる必要がある。
Further, as the metal constituting the
また、近年の撮像装置においては信号伝送に差動線路が用いられるため、接合層4を構成する接合材として樹脂からなる接合材を使用することで、特性インピーダンスを100Ωに整合させ易くなる。このような観点から、樹脂からなる接合材を用いる方が電気特性的には好ましい。
In recent imaging apparatuses, since a differential line is used for signal transmission, it is easy to match the characteristic impedance to 100Ω by using a bonding material made of resin as a bonding material constituting the
また、基体2の上面に被着される接合材と枠体3の下面に被着される接合材とは、同じものであってもよいし、異なるものであってもよい。基体2の上面に被着される接合材と枠体3の下面に被着される接合材とを異ならせることにより、特性インピーダンスの微調整が容易になる。例えば、予め調整した接合材の特性が目標とする値から多少ずれてしまったとしても、接合材を作り直すのではなく、基体2および枠体3の一方側にその予め調整した接合材を被着させ、他方側にその予め調整した接合材の誘電率とは異なる誘電率を有する接合材を作製して被着させることにより、変更の工数を減らせるとともに、詳細に特性インピーダンスの微調整ができるようになる。
Further, the bonding material applied to the upper surface of the
撮像素子6は、CCDおよびC−MOS等の画像センサである。撮像素子6は、基体2の延出部2aに形成された位置決め用の孔11aを基準として位置合わせして、例えば銀エポキシ樹脂等の接着剤を介して、基体2の上面の搭載部に接着される。その後、金線またはアルミニウム線等のボンディングワイヤ7を用いて、撮像素子6の端子と複数のリード端子5とがそれぞれ電気的に接続される。
The
蓋体8は、透光性を有する材料からなり、その材料例としては、ガラスまたは水晶等である。蓋体8としては、基体2および枠体3と熱膨張係数が近いものを使用するのが好ましく、これにより、組立時の熱履歴および使用中の温度変化による変形を抑制することができる。
The
接着剤9としては、例えば紫外線硬化型のエポキシ樹脂が用いられる。接着剤9は、枠体3の上面にディスペンス法を用いて適量全周にわたって塗布され、蓋体8を枠体3の開口を閉塞するように枠体3の上面に載置した後に、紫外線を照射することで硬化する。これにより、撮像素子6が撮像素子収納用パッケージ1によって気密に封止された撮像装置10が完成する。
As the adhesive 9, for example, an ultraviolet curable epoxy resin is used. Adhesive 9 is applied to the upper surface of the
図3は、図1および図2に示す撮像装置10に、光学系の部材を取り付けた状態の装置の断面図を示している。図3に示す撮像装置10は、筐体12と、光学系の部材であるレンズ13と、固定ねじ14とをさらに含んでいる。なお、図3において、15はリードフレームの一部を示している。
FIG. 3 shows a cross-sectional view of the apparatus with an optical member attached to the
筐体12は、例えばエポキシ樹脂等の樹脂材料または鉄−ニッケル合金等の金属材料からなる筒状の部材であり、後述するようにレンズ13を支持する機能を有する。この筐体12の内周面に、例えば円形状の凸レンズ等のレンズ13の外周面が接合されて、レンズ鏡筒が構成されている。レンズ鏡筒は、外部の光を搭載部に搭載された撮像素子6に導いて結像させるための部材である。
The
筐体12は、筒状の本体部分12aと本体部分12aの下端にレンズ13の光軸に対して垂直に設けられた外向きのフランジ部分12bとを有し、フランジ部分12bには、基体2の延出部2aに形成された位置決め用の孔11aに嵌合させることができる凸部(図示せず)が、その下面から下方に突出するように2つ設けられている。この2つの凸部は、基体2の延出部2aに形成された2つの位置決め用の孔11aの位置関係に対応した位置関係となるように設けられている。
The
この2つの凸部は、レンズ13に対する位置合わせの基準となる部位である。この2つの凸部を基体2の延出部2aに形成された2つの位置決め用の孔11aにそれぞれ嵌合させることにより、その位置決め用の孔11aを基準として位置合わせされて搭載部に搭載された撮像素子6と、この2つの凸部に対して一定の位置関係にあるレンズ13とを、撮像素子6の撮像面の面方向に関して位置合わせすることができる。
These two convex portions are portions serving as a reference for alignment with the
さらに、この2つの凸部を基体2の延出部2aに形成された2つの位置決め用の孔11aにそれぞれ嵌合させることによって、フランジ部分12bの下面と基体2の上面とが面接触することにより、本体部分12aの軸線方向に関して位置合わせすることができる。すなわち、フランジ部分12bの下面に対して一定の位置関係にあるレンズ13と基体2の上面に搭載された撮像素子6とを、撮像素子6の撮像面に垂直な光軸方向に関して位置合わせすることができる。
Furthermore, the lower surface of the
フランジ部分12bには、2つの凸部以外に、3つのねじ孔12cが形成されており、各ねじ孔12cは、その2つの凸部を、基体2の延出部2aに形成された2つの位置決め用の孔11aにそれぞれ嵌合させたときに、各延出部2aに形成された固定用の孔11bにそれぞれつながるように配設されている。筐体12は、このねじ孔12cに、基体2の延出部2aに形成された固定用の孔11bに対して下方側から挿入された固定ねじ14をねじ止めすることによって、基体2の延出部2aに固定される。これにより、レンズ13が撮像素子6に対して、撮像素子6の撮像面の面方向および撮像面に垂直な光軸方向に関して高精度に位置合わせされた状態で保持される。
In addition to the two convex portions, three
本実施形態の撮像素子収納用パッケージ1によれば、撮像素子6が搭載される基体2を介して、撮像素子6と光学系の部材との位置合わせを行なうことができる。このため、撮像素子6と光学系の部材とを、撮像素子6の撮像面に沿う面方向に関して高精度に位置合わせすることができるだけではなく、撮像面に垂直な光軸方向に関しても高精度に位置合
わせすることができる。
According to the image pickup
また、本実施形態の撮像装置10によれば、撮像素子6と光学系の部材とが高精度に位置合わせされた撮像装置10を実現することができる。
Further, according to the
本実施形態では、基体2の延出部2aに、位置決め用の孔11aとして基体2を貫通する貫通孔が形成されているが、他の実施形態では、位置決め用の孔11aとして、例えば基体2の短辺側で開口する切欠きが形成されてもよい。また、さらに他の実施形態では、基体2の延出部2aに、位置決め用の孔11aに代えて基体2の上面から窪んだ凹所が形成されてもよい。
In the present embodiment, a through-hole penetrating the
なお、基体2および枠体3がともにセラミック材料からなる場合には、黒色セラミックスを使用するのが好ましい。また、基体2および枠体3がともに金属材料からなる場合には、サンドブラスト等によって表面を荒らしたり、黒染め等の加工をしたりすることによって、光沢度を低下させるのが好ましい。これにより、撮像装置10において、不要な迷光が撮像素子6に入射することを防止することができる。
When both the
また、接合層4を構成する接合材および接着剤9は、常温(20℃)でのヤング率が3GPaを超えると、基体2、枠体3および蓋体8の熱膨張係数の違いによって、撮像素子収納用パッケージ1に反りが発生し易くなり、撮像素子6に応力が加わったり部分的に焦点からずれ易くなったりする。したがって、接合層4を構成する接合材および接着剤9は、熱膨張係数の差による応力を緩和できるように、常温でのヤング率を3GPa以下とすることが好ましい。
Further, when the Young's modulus at normal temperature (20 ° C.) exceeds 3 GPa, the bonding material and the adhesive 9 constituting the
さらに、接合層4を構成する接合材は、150℃でのヤング率が100MPaを超えると、撮像素子6を基体2の搭載部に搭載する場合の熱によって接合層4にクラックが発生し易くなる。したがって、接合層4を構成する接合材は、150℃でのヤング率を100MPa以下とすることが好ましい。
Furthermore, if the Young's modulus at 150 ° C. of the bonding material constituting the
(第2の実施形態)
図4を参照して、本発明の第2の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1Aおよび撮像装置10Aについて説明する。図4は、本発明の第2の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1Aを備える撮像装置10Aを示す上面図である。なお、図4では、蓋体8および接着剤9の図示を省略して撮像装置10Aを図示している。
(Second Embodiment)
With reference to FIG. 4, an image
本実施形態に係る撮像素子収納用パッケージ1Aにおいて、上記した第1の実施形態に係る撮像素子収納用パッケージ1と異なる点は、延出部2aにおいて、位置決め用の孔11aと枠体3との間に、基体2を厚み方向に貫通する開口部16が形成されている点である。
The imaging
この撮像装置10Aは、撮像素子収納用パッケージ1Aと、撮像素子収納用パッケージ1Aの搭載部に搭載された撮像素子6と、撮像素子6とリード端子5とを電気的に接続するボンディングワイヤ7と、枠体3の上面に接合された、搭載部に搭載された撮像素子6を封止する蓋体8と、枠体3の上面と蓋体8の下面とを接合する接着剤9とを含んでいる。
This
開口部16は、基体2の長辺の延びる方向に対して、枠体3の短辺側の側面から、位置決め用の孔11aおよび固定用の孔11bよりも枠体3寄りの位置にわたって、基体2の短辺に平行に延びるように形成されている。これにより、延出部2aにおいて、位置決め用の孔11aおよび固定用の孔11bが形成されている部分である基体2の長辺間にわた
って基体2の短辺に平行に延びる部分は、その長手方向の両端部を介して、基体2における枠体3の下方に配置される部分に連なっている。
The
近年、撮像装置においては、データ伝送量が増大することに伴って、撮像素子6からの発熱量が増大しているが、本実施形態の撮像素子収納用パッケージ1Aによれば、延出部2aに上記のような開口部16が形成されているので、位置決め用の孔11aおよび固定用の孔11bが形成されている部分に伝わる熱を開口部16によって低減することができる。これにより、撮像素子6で発生した熱による、位置決め用の孔11aおよび固定用の孔11bが形成されている部分の変形を抑制することができ、撮像装置10Aにおいて、撮像素子6と光学系の部材とが高精度に位置合わせされた状態を維持することができる。
In recent years, in an imaging apparatus, the amount of heat generated from the
(第3の実施形態)
図5を参照して、本発明の第3の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1Bおよび撮像装置10Bについて説明する。図5は、本発明の第3の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1Bを備える撮像装置10Bを示す上面図である。なお、図5では、蓋体8および接着剤9の図示を省略して、撮像装置10Bを図示している。
(Third embodiment)
With reference to FIG. 5, an image
本実施形態に係る撮像素子収納用パッケージ1Bにおいて、上記した第2の実施形態に係る撮像素子収納用パッケージ1Aと異なる点は、複数のリード端子5の一部が、枠体3の内側から枠体3の外側へ向かって接合層4を貫通して延び、枠体3の外側に位置する一端が開口部16に臨むように設けられている点である。言い換えれば、複数のリード端子5は、その長さ方向の一部が開口部16内に位置しているもの(5a)を含んでいる。
The image pickup
この撮像装置10Bは、撮像素子収納用パッケージ1Bと、撮像素子収納用パッケージ1Bの搭載部に搭載された撮像素子6と、撮像素子6とリード端子5とを電気的に接続するボンディングワイヤ7と、枠体3の上面に接合された、搭載部に搭載された撮像素子6を封止する蓋体8と、枠体3の上面と蓋体8の下面とを接合する接着剤9とを含んでいる。
The image pickup apparatus 10B includes an image pickup
一端が開口部16に臨むように設けられている複数のリード端子5(5a)は、それぞれ枠体3の内側から枠体3の一方の短辺側の側面よりも外側へ向かって基体2の長辺に平行に延び、一端が一方の延出部2aに形成された開口部16に臨むように設けられる一群のリード端子5(5a)と、それぞれ枠体3の内側から枠体3の他方の短辺側の側面よりも外側へ向かって基体2の長辺に平行に延び、一端が他方の延出部2aに形成された開口部16に臨むように設けられる一群のリード端子5(5a)とからなっている。
The plurality of lead terminals 5 (5a) provided so that one end faces the
本実施形態の撮像素子収納用パッケージ1Bによれば、延出部2aに形成された開口部16をリード端子5(5a)を導出するための開口部として利用することで、矩形状の搭載部の各辺に対応して、複数のリード端子5,5aを設けることが可能となり、多ピン化された撮像素子6にも対応することができる。
According to the image pickup
また、位置決め用の孔11aが、基体2の長辺の延びる方向に対して、リード端子5(5a)よりも外側に存在しているので、換言すれば、位置決め用の孔11aと搭載部との間隔が広いので、撮像素子6を搭載部に搭載する際の位置精度を向上させることができる。さらに、例えば第2の実施形態に比べて、電気特性的に好ましい。すなわち、その長さ方向の一部が開口部16内に位置するリード端子5(5a)に対しては、開口部16を有する延出部2aがグランド(接地導体)として働くため、リード端子5(5a)のインピーダンスの調整が容易になるため、電気特性的に好ましい。
In addition, since the
(第4の実施形態)
図6を参照して、本発明の第4の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1Cおよび撮像装置10Cについて説明する。図6は、本発明の第4の実施形態における撮像素子収納用パッケージ1Cを備える撮像装置10Cを示す上面図である。なお、図6では、蓋体8および接着剤9の図示を省略して、撮像装置10Cを図示している。
(Fourth embodiment)
With reference to FIG. 6, an image
本実施形態に係る撮像素子収納用パッケージ1Cにおいても、平面視において、基体2の形状が矩形状である。また、本実施形態に係る撮像素子収納用パッケージ1Cにおいて上記した第3の実施形態に係る撮像素子収納用パッケージ1Bと異なる点は、平面視において、矩形状である基体2の各辺において基体2が延出部2aを有している点である。また、複数のリード端子5の全部が、基体2の4つの辺のそれぞれの辺において一端が開口部16に臨むリード端子5(5a)とされている点である。
Also in the image
すなわち、平面視において基体2が矩形状であるとともに各辺において延出部2aを有しており、リード端子5は、基体2の各辺において、その長さ方向の一部が開口部16内に位置して設けられている。図6に示す例では、全てのリード端子5が上記形態のリード端子5(5a)である。このような場合にも、矩形状の基体2の各辺に対応して、複数のリード端子5(5a)を設けることが可能となり、多ピン化された撮像素子6にも対応することができる。また、リード端子5(5a)に対して開口部16を有する延出部2aがグランド(接地導体)として働くため、複数のリード端子5(5a)(つまり、より多数のリード端子5)のインピーダンスの調整が容易になるため、電気特性的に好ましい。
That is, the
また、図6に示す例では、全てのリード端子5(5a)が、基体2の延出部によって保護された形態にもなっているため、例えば搬送または撮像素子6の封止作業等の取扱い中に、誤ってリード端子5(5a)が曲がったり傷付いたりする可能性が効果的に低減されている。そのため、リード端子5の外部接続時の信頼性および作業性等を向上させる上でも有利な撮像素子収納用パッケージ1Cおよび撮像装置10Cを提供することができる。
Further, in the example shown in FIG. 6, all the lead terminals 5 (5 a) are also protected by the extending portion of the
平面視において、矩形状である基体2の各辺において基体2が延出部2aを有しているときには、図6に示す例のように、各辺の延出部2aについて、互いに隣り合うもの同士がつながっているものであってもよい。言い換えれば、延出部2aは、平面視で基体2の全周にわたるものでもよい。
When the
矩形状の基体2の各辺の延出部(各辺の個々の延出部としては符号なし)が、互いに隣り合うもの同士がつながって1つの延出部2aになっている場合には、延出部2aとしての剛性が高められる。そのため、延出部2aの変形が効果的に抑制される。これによって、例えば、延出部2aにおける位置決め用の孔11aの位置精度が向上し、筐体12に対する基体2の搭載部に搭載された撮像素子6の位置精度が向上する。
In the case where the extending portions of each side of the rectangular base body 2 (the individual extending portions of each side are not labeled) are adjacent to each other to form one extending
なお、撮像装置10を外部の電子回路基板(図示せず)に実装する場合は、リード端子5(5a)を電子回路基板の端子に半田付け等で電気的に接続すればよい。このときに、リード端子5(5a)の先端の高さを基体2の下面とほぼ同じ高さにしてもよい。このようにした場合には、基体2の下面も外部の電子回路基板に接続して、撮像装置10の熱放散性を向上させることも容易である。
When the
また、開口部16に臨むリード端子5(5a)の周囲および基体2と外部の電気回路基板との隙間を、誘電率を調整した樹脂材料(図示せず)で充填してもよい。このような充填を行なうと、開口部16の周囲の基体2がダムの役割を果たして、一定の高さで樹脂を充填できるので、リード端子5(5a)のインピーダンスを適切な値に容易に調整することもできる。また、熱放散性も向上する。
Further, the periphery of the lead terminal 5 (5a) facing the
樹脂材料の誘電率は、例えば、使用する樹脂の種類、樹脂とは比誘電率が異なるフィラー粒子の添加または樹脂材料の空隙率等によって、適宜調整することができる。この樹脂材料としては、例えばエポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられる。 The dielectric constant of the resin material can be appropriately adjusted depending on, for example, the type of resin used, the addition of filler particles having a relative dielectric constant different from that of the resin, the porosity of the resin material, and the like. Examples of the resin material include an epoxy resin, a urethane resin, and a silicone resin.
リード端子5(5a)の先端の高さを基体2の下面とほぼ同じ高さにするには、例えば図1(b)に示す例のように、リード端子5(5a)の外側の端部分が下方向に曲がった(折れた)形状にすればよい。リード端子5(5a)の外側の端部分は、例えば機械的な曲げ加工で所定の形状に曲げることができる。
In order to make the height of the tip of the lead terminal 5 (5a) substantially the same as the lower surface of the
なお、本発明は以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内であれば種々の変更は可能である。例えば、基体2の延出部2aについて、さらに補強用のリブ(図示せず)を付加したり、またはエンボス加工(図示せず)等の追加加工を施したりしてもよい。この場合には、延出部2aにおける基体2の剛性を高めて、位置決め用の孔11aの位置精度の向上に有利な形態とすることができる。このような追加加工は、例えば図6に示す形態における延出部2のコーナー部のような、面積が比較的広い部位に施すようにすれば、剛性の向上の効果、および加工の作業性の点で有利である。
In addition, this invention is not limited to the above embodiment, A various change is possible if it is in the range of the summary of this invention. For example, a reinforcing rib (not shown) may be further added to the extending
1、1A、1B、1C 撮像素子収納用パッケージ
2 基体
2a 延出部
3 枠体
4 接合層
5、5a リード端子
6 撮像素子
7 ボンディングワイヤ
8 蓋体
9 接着剤
10、10A、10B、10C 撮像装置
11a 位置決め用の孔
11b 固定用の孔
12 筐体
12a 本体部分
12b フランジ部分
12c ねじ孔
13 レンズ
14 固定ねじ
15 リードフレームの一部
16 開口部
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記搭載部を取り囲むように前記基体の上面側に配置された枠体と、
前記基体の上面と該上面に対向する前記枠体の下面とを接合する接合層と、
前記枠体の内側から前記基体の外側へ向かって前記接合層を貫通して延びる複数のリード端子とを含む撮像素子収納用パッケージであって、
前記基体は、前記枠体よりも外側へ延出する延出部を有し、該延出部に、厚み方向に貫通する孔または前記上面から窪んだ凹所が形成されていることを特徴とする撮像素子収納用パッケージ。 A base body having an image sensor mounting portion on the upper surface;
A frame disposed on the upper surface side of the base so as to surround the mounting portion;
A bonding layer for bonding the upper surface of the base body and the lower surface of the frame opposite to the upper surface;
An image sensor housing package including a plurality of lead terminals extending through the bonding layer from the inside of the frame toward the outside of the base body,
The base has an extending part extending outward from the frame, and a hole penetrating in the thickness direction or a recess recessed from the upper surface is formed in the extending part. A package for storing an image sensor.
前記リード端子は、前記基体の各辺において前記一端が前記開口部に臨むように設けられていることを特徴とする請求項3に記載の撮像素子収納用パッケージ。 The base body is rectangular in a plan view, and the base body has the extension part and the opening part on each side;
4. The image sensor housing package according to claim 3, wherein the lead terminal is provided so that the one end faces the opening on each side of the base.
該撮像素子収納用パッケージの前記搭載部に搭載された撮像素子と、
前記枠体の上面に接合された、前記撮像素子を封止する蓋体とを含むことを特徴とする撮像装置。 The image sensor housing package according to any one of claims 1 to 8,
An image sensor mounted on the mounting portion of the image sensor storage package;
An image pickup apparatus comprising: a lid member that is bonded to an upper surface of the frame body and seals the image pickup element.
前記延出部に固定された、前記レンズを支持する筐体とをさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の撮像装置。
A lens disposed above the lid;
The imaging apparatus according to claim 9, further comprising a housing that is fixed to the extension portion and supports the lens.
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-
2015
- 2015-09-26 JP JP2015189050A patent/JP6567934B2/en active Active
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| WO2021002075A1 (en) * | 2019-07-01 | 2021-01-07 | 富士フイルム株式会社 | Imaging element unit and imaging device |
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