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JP2017053630A - X-ray ct apparatus, and ct scanning method - Google Patents

X-ray ct apparatus, and ct scanning method Download PDF

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JP2017053630A JP2015175447A JP2015175447A JP2017053630A JP 2017053630 A JP2017053630 A JP 2017053630A JP 2015175447 A JP2015175447 A JP 2015175447A JP 2015175447 A JP2015175447 A JP 2015175447A JP 2017053630 A JP2017053630 A JP 2017053630A
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昌司 西川
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達郎 長谷部
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray CT apparatus and a CT scanning method that can reduce the processing time taken to test multiple specimens consecutively and have other advantages.SOLUTION: An X-ray CT apparatus 10 is equipped with an X-ray tube 11 arranged in a radiation source chamber 12, a detector 21 arranged in a detecting chamber 22 having openable doors 24a and 24b, and a shutter 44 that partitions the radiation source chamber 12 and the detecting chamber 22 from each other and transmits and intercepts X-rays radiated from the X-ray tube 11. The shutter 44 and the openable doors 24a and 24b are so configured as to operate in an interlocked way. When bringing a work W into a prescribed testing position in the detecting chamber 22 and bringing out the work W from the prescribed testing position, the shutter 44 is closed to intercept X-rays and the radiating operation of the X-ray tube 11 is continued.SELECTED DRAWING: Figure 7

Description

本発明は、ダイキャスト鋳造品等の被検物の内部構造を非破壊検査するX線CT装置、および複数の被検物を連続して検査を行うことに好適なCT検査方法に関する。   The present invention relates to an X-ray CT apparatus for nondestructive inspection of an internal structure of a test object such as a die-cast product and a CT inspection method suitable for continuously inspecting a plurality of test objects.

従来、X線CT装置は、X線源と、それに対向配置される検出器とを備え、被検物(ワーク)を360°回転方向からスキャンしたX線透過像に基づいて当該被検物の三次元断層像を再構築演算する検査装置である。例えば医療用のCT装置は、被検体の周りを一定の半径でX線源と検出器とが回転するガントリー型が一般的である。一方、産業用では、ガントリー型ではなく、X線源を固定し、被検物を回転させて透過像をスキャンするX線CT装置が一般的である。この種のX線CT装置では、X線源と検出器との距離を可変にすることができ、これにより撮像倍率を調整可能とすることができる(例えば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, an X-ray CT apparatus includes an X-ray source and a detector disposed opposite thereto, and based on an X-ray transmission image obtained by scanning an object (work) from a 360 ° rotation direction, This is an inspection device that reconstructs 3D tomographic images. For example, a medical CT apparatus is generally a gantry type in which an X-ray source and a detector rotate around a subject with a constant radius. On the other hand, for industrial use, an X-ray CT apparatus that scans a transmission image by fixing an X-ray source and rotating an object to be tested is generally used instead of a gantry type. In this type of X-ray CT apparatus, the distance between the X-ray source and the detector can be made variable, whereby the imaging magnification can be adjusted (see, for example, Patent Document 1).

特開2006−105787号公報JP 2006-105787 A

ところで、X線CT装置は、検査作業員の被ばくを防ぐため、X線遮蔽壁で覆われた室内に設けられている。被検物は、X線源と検出器との間の所定位置にセッティングされ、X線遮蔽壁の扉を完全に閉じた状態で検査が行われる。しかし、CT装置のX線源として用いられるX線管は、電源をオンしてから出力が安定するまでの間、多少の立ち上がり時間を要する。そのため、扉を閉じてから実際に撮像を開始するまでの時間に無駄を生じていた。   By the way, the X-ray CT apparatus is provided in a room covered with an X-ray shielding wall in order to prevent the inspection worker from being exposed. The test object is set at a predetermined position between the X-ray source and the detector, and the test is performed with the door of the X-ray shielding wall being completely closed. However, an X-ray tube used as an X-ray source of a CT apparatus requires some rise time from when the power is turned on until the output is stabilized. For this reason, there has been a waste of time from when the door is closed until when imaging is actually started.

そこで、本発明は、複数の被検物を連続して検査を行う場合の工程時間の短縮を図ることができる等のX線CT装置およびCT検査方法を提供することを目的としている。   Therefore, an object of the present invention is to provide an X-ray CT apparatus and a CT inspection method that can shorten the process time when continuously inspecting a plurality of test objects.

上記課題を解決するため、本発明は、X線源と、該X線源に対向配置され被検物のX線透過像を撮像する検出器と、を備えるX線CT装置であって、前記X線源がX線遮蔽壁で閉塞された線源室に配置され、前記検出器がX線を遮蔽可能な開閉扉を有するX線遮蔽壁で閉塞された検査室に配置され、前記線源室と前記検査室とが前記X線源から放射されるX線を透過および遮断するシャッタを介して仕切られているX線CT装置である。   In order to solve the above problems, the present invention is an X-ray CT apparatus comprising: an X-ray source; and a detector that is disposed opposite to the X-ray source and captures an X-ray transmission image of a test object, An X-ray source is disposed in a source chamber closed with an X-ray shielding wall, and the detector is disposed in an examination room closed with an X-ray shielding wall having an open / close door capable of shielding X-rays. An X-ray CT apparatus in which a chamber and the examination room are partitioned through a shutter that transmits and blocks X-rays emitted from the X-ray source.

上記構成において、前記シャッタおよび前記開閉扉は、一方が閉じなければ他方が開放しないインターロック動作するように構成されることが好ましい。   In the above configuration, it is preferable that the shutter and the opening / closing door are configured to perform an interlock operation in which one of the shutter and the opening / closing door does not open unless the other is closed.

また、X線CT装置は、開放している前記開閉扉を通して、前記検査室内の所定の検査位置に被検物を搬入する搬入装置を更に備えるものでもよい。   In addition, the X-ray CT apparatus may further include a loading device that loads the test object to a predetermined inspection position in the inspection chamber through the openable door.

また、X線CT装置は、開放している前記開閉扉を通して、前記所定の検査位置にある被検物を前記検査室外に搬出する搬出装置を更に備えるものでもよい。   The X-ray CT apparatus may further include a carry-out device that carries the test object at the predetermined examination position out of the examination room through the opened door.

また、X線CT装置は、前記搬入装置が前記検査室内の所定の検査位置に被検物を搬入中、前記X線源によるX線放射動作が継続しているように構成されることが好ましい。   Further, the X-ray CT apparatus is preferably configured such that the X-ray emission operation by the X-ray source is continued while the carry-in apparatus carries the test object to a predetermined examination position in the examination room. .

また、X線CT装置は、前記搬出装置が前記検査室内の所定の検査位置から被検物を搬出中、前記X線源によるX線放射動作が継続しているように構成されることが好ましい。   Further, the X-ray CT apparatus is preferably configured such that the X-ray emission operation by the X-ray source is continued while the unloading apparatus unloads the test object from a predetermined inspection position in the inspection room. .

また、前記開閉扉は、前記X線源からのX線の放射方向に対し直交する方向において対向するように前記検査室のX線遮蔽壁の両側2箇所に設けられていることが好ましい。   The open / close doors are preferably provided at two locations on both sides of the X-ray shielding wall of the examination room so as to face each other in a direction orthogonal to the X-ray radiation direction from the X-ray source.

また、X線CT装置は、前記検査室の一の側の第一の開閉扉を通して、被検物を前記検査室内の所定の検査位置に搬入する搬入装置を備え、前記検査室の他の側の第二の開閉扉を通して、前記検査室内の所定の検査位置にある被検物を搬出する搬出装置を備えているものでもよい。   The X-ray CT apparatus further includes a carry-in device for carrying an object into a predetermined inspection position in the inspection room through a first opening / closing door on one side of the inspection room, and the other side of the inspection room. There may be provided an unloading device for unloading the object at a predetermined inspection position in the inspection chamber through the second opening / closing door.

また、本発明は、X線遮蔽壁で閉塞された線源室に配置されたX線源と、X線遮蔽壁で閉塞された検査室に配置される検出器と、前記線源室と前記検査室とを仕切り、前記X線源から放射されるX線を透過および遮断するシャッタと、前記検査室の一の側の第一の開閉扉を通して、被検物を前記検査室内の所定の検査位置に搬入する搬入装置と、前記検査室の他の側の第二の開閉扉を通して、前記所定の検査位置にある被検物を前記検査室外に搬出する搬出装置と、これらを動作制御して被検物の断層像を再構築演算する制御手段と、を備えるX線CT装置において行われるCT検査方法であって、被検物が前記所定の検査位置に搬入された後、前記制御手段は、前記シャッタを開放し、X線放射動作中の前記X線源から放射されるX線で、前記検出器により当該被検物のX線透過像をスキャンする第一ステップと、前記スキャンが終了すると、前記制御手段は、前記シャッタを閉じ、X線放射動作中の前記X線源から放射されるX線を遮断する第二ステップと、前記制御手段は、前記第二の開閉扉を開放し、前記搬出装置を作動して、検査済みの前記被検物を前記検査室外に搬出し、その直後に前記第二の開閉扉を閉じる第三ステップと、前記制御手段は、前記第一の開閉扉を開放し、前記搬入装置を作動して、新しい被検物を前記所定の検査位置に搬入し、その直後に前記第一の開閉扉を閉じる第四ステップと、前記制御手段は、前記第一および第二の開閉扉が完全に閉じた状態で前記シャッタを開放し、当該新しい被検物に対し前記X線透過像をスキャンする前記第一ステップからのステップ群を繰り返し実行する、CT検査方法である。   The present invention also provides an X-ray source disposed in a source chamber closed with an X-ray shielding wall, a detector disposed in an examination room closed with an X-ray shielding wall, the source chamber, A predetermined inspection in the inspection room is performed through a shutter that partitions the inspection room, transmits and blocks X-rays emitted from the X-ray source, and a first open / close door on one side of the inspection room. A carry-in device for carrying in the position, a carry-out device for carrying out the object at the predetermined inspection position outside the inspection room through a second opening / closing door on the other side of the inspection room, and controlling the operation thereof. A CT inspection method performed in an X-ray CT apparatus comprising: a control means for reconstructing and calculating a tomogram of a test object; after the test object is carried into the predetermined inspection position, the control means , X-rays emitted from the X-ray source during X-ray emission operation by opening the shutter, A first step of scanning an X-ray transmission image of the test object by the detector, and when the scanning is completed, the control means closes the shutter and is emitted from the X-ray source during the X-ray emission operation. A second step of blocking X-rays, and the control means opens the second door and operates the carry-out device to carry out the inspected object out of the examination room, Immediately after the third step of closing the second opening / closing door, the control means opens the first opening / closing door, operates the loading device, and loads a new object into the predetermined inspection position. And immediately after that, the fourth step of closing the first opening / closing door, and the control means opens the shutter with the first and second opening / closing doors completely closed, and the new test object. Scanning the X-ray transmission image with respect to the first step. Repeatedly performing the steps set from a CT examination method.

本発明によれば、線源室と検査室とを仕切るシャッタを閉じることで、X線放射動作中のX線源から放射されるX線を検査室に漏れないように遮断することができる。これにより、被検物の検査室への搬入および/または検査室からの搬出中に、X線源の動作を継続させることができ、したがって、検査工程中、X線源の出力の立ち上がり時間等の無駄時間をなくすことができる。   According to the present invention, the X-ray emitted from the X-ray source during the X-ray emission operation can be blocked so as not to leak into the examination room by closing the shutter that partitions the radiation source room and the examination room. Thereby, the operation of the X-ray source can be continued while the test object is carried into and / or out of the examination room. Therefore, the rise time of the output of the X-ray source during the examination process, etc. The wasted time can be eliminated.

X線CT装置の概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure of a X-ray CT apparatus. 回転テーブルの回転角位置の基準を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the reference | standard of the rotation angle position of a turntable. 第一実施形態によるCT撮像動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating CT imaging operation by 1st embodiment. 第二実施形態によるCT撮像動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating CT imaging operation by 2nd embodiment. 第三実施形態によるCT撮像動作を説明するための図である。It is a figure for demonstrating CT imaging operation by 3rd embodiment. 線源室および検査室の構成を例示する斜視図である。It is a perspective view which illustrates the composition of a source room and an examination room. CT撮像工程フローの説明するための図である。It is a figure for demonstrating CT imaging process flow.

図1は、本発明の一実施形態による、X線CT装置10の概略構成を示す側面図である。X線CT装置10は、X線源であるX線管11が線源室12に配置され、X線管11に対向してX線検出器21が検査室22に配置されている。線源室12および検査室22は、X線管11が放射するX線による作業員等の被ばくを防止するために、鉛等のX線遮蔽壁13、23によって全体が遮蔽されている。また、線源室12および検査室22は、同じくX線遮蔽壁43により仕切られる。X線遮蔽壁43には、X線管11が放射するX線を透過および遮断する、開閉式のシャッタ44が設けられている。シャッタ44は、後述するように例えば互いに反対の向きに移動する2枚のシャッタ片により構成することができる。   FIG. 1 is a side view showing a schematic configuration of an X-ray CT apparatus 10 according to an embodiment of the present invention. In the X-ray CT apparatus 10, an X-ray tube 11, which is an X-ray source, is disposed in the radiation source chamber 12, and an X-ray detector 21 is disposed in the examination chamber 22 so as to face the X-ray tube 11. The source room 12 and the examination room 22 are entirely shielded by X-ray shielding walls 13 and 23 made of lead or the like in order to prevent exposure of workers and the like by X-rays radiated from the X-ray tube 11. Further, the source room 12 and the examination room 22 are similarly partitioned by an X-ray shielding wall 43. The X-ray shielding wall 43 is provided with an openable / closable shutter 44 that transmits and blocks X-rays emitted from the X-ray tube 11. As will be described later, the shutter 44 can be constituted by two shutter pieces that move in opposite directions, for example.

X線管11は、X線検出器21に向けて水平にコーンビーム状のX線を放射することにより、被検物(以下、「ワーク」という。)WのX線透過像が撮像される。なお、本明細書で「X線放射方向」とは、X線管11がX線検出器21に向けてコーンビーム状に放射されるX線の水平中心軸方向をいうものとする。   The X-ray tube 11 radiates cone beam-shaped X-rays horizontally toward the X-ray detector 21, thereby capturing an X-ray transmission image of the test object (hereinafter referred to as “work”) W. . In the present specification, the “X-ray emission direction” refers to the horizontal central axis direction of X-rays emitted from the X-ray tube 11 toward the X-ray detector 21 in a cone beam shape.

検査室22内において、ワークWは、X線管11とX線検出器21との間に配設される回転テーブル31上の所定の検査位置にセッティングされる。回転テーブル31は、X線放射方向に対して直交する垂直軸周りに回転可能に設けられる。すなわち、ワークWを設置した回転テーブル31が一定の速度で回転することにより、X線放射方向に対してワークWを相対回転させることができる。これにより、ワークWの各方面における複数枚のX線透過像データのスキャンが可能とされている。   In the inspection room 22, the workpiece W is set at a predetermined inspection position on a rotary table 31 disposed between the X-ray tube 11 and the X-ray detector 21. The turntable 31 is provided to be rotatable around a vertical axis orthogonal to the X-ray radiation direction. That is, when the rotary table 31 on which the workpiece W is installed rotates at a constant speed, the workpiece W can be rotated relative to the X-ray radiation direction. Thereby, it is possible to scan a plurality of X-ray transmission image data in each direction of the work W.

外部に設けられる制御装置(図示せず)は、X線管11、X線検出器21および回転テーブル31等を動作制御するとともに、ワークWの各方面からスキャンしたX線透過像データに基づいて、ワークWの三次元断層像を再構築演算する。   A control device (not shown) provided outside controls the operation of the X-ray tube 11, the X-ray detector 21, the rotary table 31, and the like, and based on X-ray transmission image data scanned from each direction of the workpiece W. The 3D tomographic image of the workpiece W is reconstructed and calculated.

また、本実施形態では、回転テーブル31の水平面上でワークWをスライド移動させるスライド手段を備えている。スライド手段としては、ワークWを搭載可能な例えば直動ステージ32を採用することができる。直動ステージ32は、例えば、回転テーブル31の回転中心軸を通る径方向と、直動ステージ32の移動方向とが一致するように、回転テーブル31上に設けることができる。後述するように、例えばワークWが長尺状である場合に、特に内部構造欠陥の存在がクリティカルとなる特定部位にオフセットして撮像を行うこともできる。   Moreover, in this embodiment, the slide means which slide-moves the workpiece | work W on the horizontal surface of the rotary table 31 is provided. As the slide means, for example, a linear motion stage 32 on which the workpiece W can be mounted can be employed. The linear motion stage 32 can be provided on the rotary table 31 such that the radial direction passing through the rotation center axis of the rotary table 31 and the moving direction of the linear motion stage 32 coincide with each other. As will be described later, for example, when the workpiece W is long, it is possible to perform imaging by offsetting to a specific part where the presence of an internal structural defect becomes critical.

ところで、この種の産業用のX線CT装置では、ワークの形状に拘わらず、様々な形状や寸法のワークを検査できることが要請される。従来は、例えば、長尺状のダイキャスト鋳造品の内部欠陥の有無を検査する際に、X線の透過量が比較的多い厚み方向の透過像データと、X線の透過量が比較的少ない長手方向の透過像データとを共に用いて三次元の断層像を再構築していた。しかし、X線の透過情報量が比較的少ない長手方向の透過像データは、再構築される三次元断層像の分解能にあまり寄与しないことが発明者らにより見出された。発明者らは、そこから着想を得て、360°よりも狭い回転角範囲内でワークWをスキャンし、そのX線透過像に基づいて、非破壊検査の実用に耐え得る十分な分解能を有するワーク断層像が得られるCT撮像方法およびCT装置等の発明に想到したのである。   By the way, this type of industrial X-ray CT apparatus is required to be able to inspect workpieces having various shapes and dimensions regardless of the shape of the workpiece. Conventionally, for example, when inspecting for the presence of internal defects in a long die cast product, transmission image data in the thickness direction with a relatively large amount of X-ray transmission and relatively small amount of X-ray transmission A three-dimensional tomographic image was reconstructed using the longitudinal transmission image data together. However, the inventors have found that transmission image data in the longitudinal direction with a relatively small amount of X-ray transmission information does not contribute much to the resolution of the reconstructed three-dimensional tomogram. The inventors have an idea from there, scan the workpiece W within a rotation angle range narrower than 360 °, and have sufficient resolution to withstand the practical use of nondestructive inspection based on the X-ray transmission image. The inventors have come up with the invention of a CT imaging method and a CT apparatus that can obtain a work tomographic image.

(CT撮像方法の説明)
X線CT装置10は、例えば自動車用エンジンケース部品を微細加工する前のダイキャスト鋳造品等の内部欠陥検査に用いられる。本実施形態のX線CT装置10は、様々な形状のワークの検査に対応できるが、ここでは対象となるワークWの形状を、長尺状の円柱として説明を一般化する。なお、図2〜5においては、ワークWの表面側と裏面側を区別するために、裏面側に凹凸のマークを付している。
(Description of CT imaging method)
The X-ray CT apparatus 10 is used, for example, for inspecting internal defects of a die-cast cast product or the like before finely processing a car engine case part. The X-ray CT apparatus 10 of the present embodiment can cope with inspection of workpieces having various shapes, but here, the description will be generalized assuming that the shape of the target workpiece W is an elongated cylinder. 2 to 5, in order to distinguish the front side and the back side of the workpiece W, concave and convex marks are given to the back side.

長尺状のワークWは、回転テーブル31の回転中心軸を通る径方向と、当該ワークWの長手方向とが一致するように、回転テーブル31上に倒されてセッティングされる。ここで、図2に示すように、X線放射方向Aに対しワークWの厚み方向(ワークが円柱の場合には直径方向)が直交するときの回転テーブル31の回転角位置を0°(基準)に設定する。   The long workpiece W is set on the rotary table 31 so that the radial direction passing through the rotation center axis of the rotary table 31 and the longitudinal direction of the workpiece W coincide with each other. Here, as shown in FIG. 2, the rotational angle position of the rotary table 31 when the thickness direction of the workpiece W (diameter direction when the workpiece is a cylinder) is orthogonal to the X-ray radiation direction A is 0 ° (reference ).

第一の実施形態では、図3に示すように、制御装置は、所定の回転角A(A>−90°)〜B(B<90°)の範囲でスキャンした透過像データに基づいて、ワークWの断層像を再構築演算する。この場合、所定の回転角の範囲は−60°〜+60°以上であることが好ましい。図3右側にスキャン回転角が−60°〜+60°のときの断層像が例示される。図3の断層像でも内部欠陥構造を判別できる程度の分解能が得られているが、スキャン回転角の範囲が更に−60°〜+60°以上であれば、少なくとも図3よりも高い分解能の断層像を得ることができる。   In the first embodiment, as shown in FIG. 3, the control device is based on transmission image data scanned in a range of a predetermined rotation angle A (A> −90 °) to B (B <90 °). A tomographic image of the workpiece W is reconstructed. In this case, the range of the predetermined rotation angle is preferably −60 ° to + 60 ° or more. The right side of FIG. 3 illustrates a tomographic image when the scan rotation angle is −60 ° to + 60 °. The tomogram of FIG. 3 has a resolution that can determine the internal defect structure. However, if the scan rotation angle range is −60 ° to + 60 ° or more, the tomogram having at least a resolution higher than that of FIG. Can be obtained.

第二の実施形態では、まず、制御装置は、回転テーブル31を初期位置の−30°から+30°の回転角位置まで回転させながらワークWの表面側をスキャンする(図4(I))。回転テーブル31の回転角位置が+30°に至ると、制御装置は、回転テーブル31を120°回転させて、150°から210°の回転角位置まで回転させながらワークWの裏面側をスキャンする(図4(II))。このように、ワークWの両面を所定の回転角範囲でスキャンした透過像データに基づいてワークWの断層像を再構築演算することで、図4(III)に示すような、内部欠陥構造をより明確に判別できる分解能を短時間で得ることができる。   In the second embodiment, first, the control device scans the surface side of the workpiece W while rotating the rotary table 31 from the initial position of −30 ° to the rotation angle position of + 30 ° (FIG. 4I). When the rotation angle position of the turntable 31 reaches + 30 °, the control device rotates the turntable 31 by 120 ° and scans the back side of the workpiece W while rotating the rotation table 31 from the rotation angle position of 150 ° to 210 ° ( FIG. 4 (II)). Thus, by reconstructing the tomographic image of the workpiece W based on the transmission image data obtained by scanning both surfaces of the workpiece W in a predetermined rotation angle range, the internal defect structure as shown in FIG. A resolution that can be more clearly discriminated can be obtained in a short time.

特に長尺状ワークWの特定部位を撮像するために、第三の実施形態のX線CT装置10は、回転テーブル31上のワークWを当該回転テーブル31の回転半径方向に移動させるスライド手段である直動ステージ32を備えている。   In particular, in order to image a specific part of the long workpiece W, the X-ray CT apparatus 10 of the third embodiment is a slide unit that moves the workpiece W on the rotary table 31 in the rotational radius direction of the rotary table 31. A linear motion stage 32 is provided.

図5に示される第三の実施形態では、まず、長尺状ワークWが、回転テーブル31上で、当該ワークWの長手方向が−30°の方向を向く初期位置にセッティングされる。また、この初期位置では、ワークWの特定部位を集中して撮像するために、ワークWが、その長手方向における中心が回転テーブル31の回転軸中心から当該長手方向第1側に所定距離オフセットして直動ステージ32上に保持されている。   In the third embodiment shown in FIG. 5, first, the long workpiece W is set on the rotary table 31 at an initial position in which the longitudinal direction of the workpiece W faces the direction of −30 °. At this initial position, the center of the workpiece W in the longitudinal direction is offset by a predetermined distance from the center of the rotation axis of the turntable 31 toward the first side in the longitudinal direction in order to concentrate and image a specific part of the workpiece W. And is held on the linear motion stage 32.

制御装置は、回転テーブル31を初期位置である−30°から+30°の回転角位置まで回転させながらワークWの特定部位の表面側をスキャンする(図5(I))。回転テーブル31の回転角位置が+30°に至ると、制御装置は、直動ステージ32を駆動して、ワークWを長手方向第1側とは反対の第2側に中心を移動させる(図5(II))。これにより、長尺状ワークWの先端が他と干渉する回転軌跡が小さくなる。   The control device scans the surface side of the specific part of the workpiece W while rotating the rotary table 31 from the initial position from −30 ° to the rotation angle position of + 30 ° (FIG. 5 (I)). When the rotation angle position of the rotary table 31 reaches + 30 °, the control device drives the linear motion stage 32 to move the center of the workpiece W to the second side opposite to the first side in the longitudinal direction (FIG. 5). (II)). Thereby, the rotation locus | trajectory in which the front-end | tip of the elongate workpiece | work W interferes with others becomes small.

この状態で、制御装置は、回転テーブル31を120°回転させる(図5(III))。回転テーブル31の回転角位置が+150°に至ると、制御装置は、直動ステージ32を駆動して、ワークWを長手方向第1側に所定距離移動させる(図5(IV))。つまり、ワークWは、その長手方向における中心が回転テーブル31の回転軸中心から第1側に再びオフセットされる。制御装置は、回転テーブル31を150°から210°の回転角位置まで回転させながらワークWの特定部位の裏面側をスキャンする(図5(V))。   In this state, the control device rotates the turntable 31 by 120 ° (FIG. 5 (III)). When the rotational angle position of the rotary table 31 reaches + 150 °, the control device drives the linear motion stage 32 to move the workpiece W to the first side in the longitudinal direction by a predetermined distance (FIG. 5 (IV)). In other words, the center of the workpiece W in the longitudinal direction is offset again from the rotation axis center of the rotary table 31 to the first side. The control device scans the back side of the specific part of the workpiece W while rotating the rotary table 31 from the rotation angle position of 150 ° to 210 ° (FIG. 5 (V)).

このように、長尺状ワークWをオフセットし、所定の回転角範囲でスキャンした透過像データに基づいてワークWの断層像を再構築演算することができる。これにより、ワークWの特定部位の内部欠陥構造を判別できる程度の十分な分解能を有する三次元断層像を短時間で得ることができる。   Thus, the tomographic image of the workpiece W can be reconstructed based on the transmission image data obtained by offsetting the long workpiece W and scanning it within a predetermined rotation angle range. As a result, a three-dimensional tomographic image having sufficient resolution that can determine the internal defect structure of a specific part of the workpiece W can be obtained in a short time.

以上説明したCT撮像方法によれば、360°よりも狭い例えば120°の回転角範囲内でワークをスキャンするようにしたので、透過像の撮像時間を従来よりも短縮することができる。また、スキャン角度を狭くした少ない情報量の透過像データを用いることにより、断層像を再構築演算するまでの時間やコンピュータの処理負荷を低減することができる。また、X線の被ばく量が制限されるワークにおいては、その被ばく量も抑制することができる。   According to the CT imaging method described above, since the workpiece is scanned within a rotation angle range of, for example, 120 °, which is narrower than 360 °, the transmission time for transmitting images can be shortened compared to the conventional method. Further, by using transmission image data with a small amount of information with a narrow scan angle, it is possible to reduce the time required to reconstruct a tomogram and the processing load on the computer. Moreover, in the workpiece | work in which the exposure amount of a X-ray is restrict | limited, the exposure amount can also be suppressed.

また、本実施形態のオフセットスキャン法により、長尺状のワークの特定部位を集中して撮像できる。これとともに、直動ステージ32によってワークの中心を回転テーブルの中心に移動させることで、ワークを回転するときの干渉範囲を小さくすることができる。これにより検査室をコンパクトに設計でき、鉛等を用いるX線遮蔽壁の材料費の節約や装置全体の設備コストの低減にもつながる。   Further, the specific part of the long workpiece can be concentrated and imaged by the offset scanning method of the present embodiment. At the same time, by moving the center of the workpiece to the center of the rotary table by the linear motion stage 32, the interference range when the workpiece is rotated can be reduced. As a result, the examination room can be designed in a compact manner, leading to savings in material costs for the X-ray shielding wall using lead or the like and reduction in equipment costs for the entire apparatus.

(CT撮像工程フローの説明)
次に、1台のX線CT装置で複数のワークを連続的に検査する場合の時間効率の向上を図ることを目的としたCT撮像工程フローについて説明する。
(Explanation of CT imaging process flow)
Next, a CT imaging process flow for the purpose of improving time efficiency when a plurality of workpieces are continuously inspected with one X-ray CT apparatus will be described.

上述した実施形態と同様に、例えば図6に示すように、X線管11は、X線遮蔽壁13で閉塞された線源室12に配置されている。また、X線検出器21および回転テーブル31は、X線遮蔽壁23で閉塞された検査室22に配置されている。線源室12および検査室22を内部で仕切るX線遮蔽壁43には、X線を透過および遮断する開閉式のシャッタ44が設けられている。シャッタ44は、互いに反対に左右に開閉する2枚のシャッタ片44a、44bで構成される。   Similar to the above-described embodiment, for example, as shown in FIG. 6, the X-ray tube 11 is arranged in the radiation source chamber 12 closed by the X-ray shielding wall 13. Further, the X-ray detector 21 and the rotary table 31 are disposed in the examination room 22 that is blocked by the X-ray shielding wall 23. The X-ray shielding wall 43 that partitions the radiation source chamber 12 and the examination chamber 22 is provided with an openable / closable shutter 44 that transmits and blocks X-rays. The shutter 44 includes two shutter pieces 44a and 44b that open and close to the left and right opposite to each other.

検査室22のX線遮蔽壁23には、ワークWを、回転テーブル31の所定の検査位置に搬入および/または検査位置から搬出させる開閉扉24a、24bが設けられている。図7に示すように、X線放射方向に対し直交する方向において、検査室22のX線遮蔽壁の両側2箇所に開閉扉24a、24bがそれぞれ対向して設けられることが好ましい。シャッタ44a、44bおよび開閉扉24aは、一方が閉じなければ他方が開放しないようにインターロック動作する関係にある。同様に、シャッタ44a、44bおよび開閉扉24bもインターロック動作する関係にある。   The X-ray shielding wall 23 of the inspection chamber 22 is provided with opening / closing doors 24 a and 24 b that allow the work W to be carried into and / or out of the predetermined inspection position of the rotary table 31. As shown in FIG. 7, in the direction orthogonal to the X-ray emission direction, it is preferable that opening / closing doors 24a and 24b are respectively provided at two positions on both sides of the X-ray shielding wall of the examination room 22 to face each other. The shutters 44a and 44b and the open / close door 24a are in an interlocking operation so that the other does not open unless one is closed. Similarly, the shutters 44a and 44b and the open / close door 24b are also in an interlocking operation.

X線CT装置10は、一方の壁面側で開放している開閉扉24aを通して、検査室22内の検査位置にワークを搬入するワーク搬入装置25を備えている。また、X線CT装置10は、他方の壁面側で開放している開閉扉24bを通して、検査位置にあるワークを検査室22外に搬出するワーク搬出装置26を備えている。   The X-ray CT apparatus 10 includes a workpiece loading device 25 that loads a workpiece to an inspection position in the inspection chamber 22 through an open / close door 24a that is open on one wall surface side. Further, the X-ray CT apparatus 10 includes a work unloading device 26 that unloads the work at the inspection position out of the inspection chamber 22 through the open / close door 24b opened on the other wall surface side.

かかるX線CT装置10による具体的なワーク搬出入動作の一例を図7に従って説明する。   An example of a specific work carry-in / out operation by the X-ray CT apparatus 10 will be described with reference to FIG.

まず、ワークWが所定の検査位置にセッティングされた後、制御装置は、シャッタ44a、44bを開放する。これにより、X線放射動作中のX線管11(図6参照)からのX線でワークWの透過像が撮像される(図7(I))。   First, after the workpiece W is set at a predetermined inspection position, the control device opens the shutters 44a and 44b. As a result, a transmission image of the workpiece W is captured by X-rays from the X-ray tube 11 (see FIG. 6) during the X-ray emission operation (FIG. 7 (I)).

撮像が終了すると、制御装置は、シャッタ44a、44bを閉じX線を遮断する。このときX線管11(図6参照)のX線放射動作(電源オン状態)は継続しているが、線源室12は密閉されるため、X線が外部に漏れることもないし、シャッタ44a、44bが閉じることにより、検査室22にもX線が漏れることはない。   When the imaging is completed, the control device closes the shutters 44a and 44b and blocks X-rays. At this time, the X-ray emission operation (power-on state) of the X-ray tube 11 (see FIG. 6) continues, but since the source chamber 12 is sealed, the X-rays do not leak to the outside and the shutter 44a. , 44b is closed, and no X-rays leak into the examination room 22.

そして制御装置は、インターロックを解除して開閉扉24a、24bを開放し、ワーク搬出装置26を作動して、検査位置から検査済みのワークWを、開閉扉24bを通して外部に搬出する(図7(II))。その直後に、制御装置は、開閉扉24bを閉じ、新しいワークWを開閉扉24aを通して所定の検査位置に搬入する(図7(III))。   Then, the control device releases the interlock, opens the open / close doors 24a and 24b, operates the work carry-out device 26, and carries the inspected work W from the inspection position to the outside through the open / close door 24b (FIG. 7). (II)). Immediately thereafter, the control device closes the open / close door 24b, and carries a new workpiece W through the open / close door 24a to a predetermined inspection position (FIG. 7 (III)).

制御装置は、ワークW搬入後に開閉扉24aを閉じる。2箇所の開閉扉24a、24bが完全に閉じた状態でインターロックが解除され、制御装置は、シャッタ44a、44bが開放する。上述したように、X線管11の電源オン状態は継続しており、X線放射線動作が安定しているため、シャッタ44a、44bが開放すると直ちに新しいワークWの撮像が開始されることとなる(図7(IV))。   The control device closes the open / close door 24a after the work W is carried in. The interlock is released with the two open / close doors 24a and 24b completely closed, and the shutters 44a and 44b of the control device are opened. As described above, since the power-on state of the X-ray tube 11 continues and the X-ray radiation operation is stable, imaging of a new workpiece W is started immediately after the shutters 44a and 44b are opened. (FIG. 7 (IV)).

このようなCT撮像工程によれば、ワークを検査位置に搬入および検査位置から搬出する工程においても、X線管11によるX線の放射動作が継続している。そのため、従来、X線放射出力が安定するまでに要していた、いわゆる立ち上がり時間をなくすことができる。また、ワーク搬入装置25およびワーク搬出装置26を対向配置させ互いに連携動作させることで、ワークの搬出入時間を短縮することができる。更に撮像のためのスキャン角度を360°よりも狭くすることで撮像時間も短縮することができる。これらの各工程の時間短縮を積み上げることで、ワーク1個あたり検査時間を従来よりも大幅に短くし、検査工程の時間効率を向上させることができる。   According to such a CT imaging process, the X-ray emission operation by the X-ray tube 11 is continued even in the process of bringing the workpiece into and out of the inspection position. Therefore, it is possible to eliminate the so-called rise time that was conventionally required until the X-ray radiation output is stabilized. Moreover, the work loading / unloading time can be shortened by arranging the workpiece loading / unloading device 25 and the workpiece loading / unloading device 26 so as to face each other. Further, the imaging time can be shortened by making the scan angle for imaging narrower than 360 °. By accumulating the time reduction of each of these processes, the inspection time per work can be significantly shortened compared to the conventional method, and the time efficiency of the inspection process can be improved.

10 X線CT装置
11 X線管
12 線源室
13 X線遮蔽壁
21 X線検出器
22 検査室
23 X線遮蔽壁
24a、24b 開閉扉
25 ワーク搬入装置
26 ワーク搬出装置
31 回転テーブル
32 直動ステージ
43 X線遮蔽壁
44 シャッタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 X-ray CT apparatus 11 X-ray tube 12 Source room 13 X-ray shielding wall 21 X-ray detector 22 Inspection room 23 X-ray shielding walls 24a and 24b Open / close door 25 Work carry-in apparatus 26 Work carry-out apparatus 31 Rotary table 32 Direct motion Stage 43 X-ray shielding wall 44 Shutter

Claims (9)

X線源と、該X線源に対向配置され被検物のX線透過像を撮像する検出器と、を備えるX線CT装置であって、
前記X線源がX線遮蔽壁で閉塞された線源室に配置され、
前記検出器がX線を遮蔽可能な開閉扉を有するX線遮蔽壁で閉塞された検査室に配置され、
前記線源室と前記検査室とが前記X線源から放射されるX線を透過および遮断するシャッタを介して仕切られているX線CT装置。
An X-ray CT apparatus comprising: an X-ray source; and a detector that is disposed opposite to the X-ray source and captures an X-ray transmission image of a test object,
The X-ray source is disposed in a source chamber closed by an X-ray shielding wall;
The detector is disposed in an examination room closed by an X-ray shielding wall having an opening / closing door capable of shielding X-rays;
An X-ray CT apparatus in which the source room and the examination room are partitioned through a shutter that transmits and blocks X-rays emitted from the X-ray source.
前記シャッタおよび前記開閉扉は、一方が閉じなければ他方が開放しないインターロック動作するように構成される、請求項1に記載のX線CT装置。   The X-ray CT apparatus according to claim 1, wherein the shutter and the opening / closing door are configured to perform an interlock operation in which one of the shutter and the opening / closing door does not open unless the other is closed. 開放している前記開閉扉を通して、前記検査室内の所定の検査位置に被検物を搬入する搬入装置を更に備える、請求項1または2に記載のX線CT装置。   The X-ray CT apparatus according to claim 1, further comprising a carry-in device for carrying a test object into a predetermined inspection position in the inspection chamber through the openable door. 開放している前記開閉扉を通して、前記所定の検査位置にある被検物を前記検査室外に搬出する搬出装置を更に備える、請求項1〜3の何れか1項に記載のX線CT装置。   The X-ray CT apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising a carry-out device that carries the test object at the predetermined inspection position out of the inspection room through the openable door. 前記搬入装置が前記検査室内の所定の検査位置に被検物を搬入中、前記X線源によるX線放射動作が継続しているように構成される、請求項3に記載のX線CT装置。   The X-ray CT apparatus according to claim 3, wherein the X-ray emission operation by the X-ray source is continued while the carry-in apparatus carries a test object to a predetermined examination position in the examination room. . 前記搬出装置が前記検査室内の所定の検査位置から被検物を搬出中、前記X線源によるX線放射動作が継続しているように構成される、請求項4に記載のX線CT装置。   The X-ray CT apparatus according to claim 4, wherein the X-ray emission operation by the X-ray source is continued while the unloading apparatus unloads a test object from a predetermined inspection position in the inspection room. . 前記開閉扉は、前記X線源からのX線の放射方向に対し直交する方向において対向するように前記検査室のX線遮蔽壁の両側2箇所に設けられている、請求項1または2に記載のX線CT装置。   The opening / closing door is provided at two locations on both sides of the X-ray shielding wall of the examination room so as to face each other in a direction orthogonal to the X-ray radiation direction from the X-ray source. The X-ray CT apparatus described. 前記検査室の一の側の第一の開閉扉を通して、被検物を前記検査室内の所定の検査位置に搬入する搬入装置を備え、前記検査室の他の側の第二の開閉扉を通して、前記検査室内の所定の検査位置にある被検物を搬出する搬出装置を備えている、請求項7に記載のX線CT装置。   Through a first opening / closing door on one side of the inspection room, a loading device for carrying an object to a predetermined inspection position in the inspection room, through a second opening / closing door on the other side of the inspection room, The X-ray CT apparatus according to claim 7, further comprising an unloading device that unloads an object at a predetermined inspection position in the inspection room. X線遮蔽壁で閉塞された線源室に配置されたX線源と、X線遮蔽壁で閉塞された検査室に配置される検出器と、前記線源室と前記検査室とを仕切り、前記X線源から放射されるX線を透過および遮断するシャッタと、前記検査室の一の側の第一の開閉扉を通して、被検物を前記検査室内の所定の検査位置に搬入する搬入装置と、前記検査室の他の側の第二の開閉扉を通して、前記所定の検査位置にある被検物を前記検査室外に搬出する搬出装置と、これらを動作制御して被検物の断層像を再構築演算する制御手段と、を備えるX線CT装置において行われるCT検査方法であって、
被検物が前記所定の検査位置に搬入された後、前記制御手段は、前記シャッタを開放し、X線放射動作中の前記X線源から放射されるX線で、前記検出器により当該被検物のX線透過像をスキャンする第一ステップと、
前記スキャンが終了すると、前記制御手段は、前記シャッタを閉じ、X線放射動作中の前記X線源から放射されるX線を遮断する第二ステップと、
前記制御手段は、前記第二の開閉扉を開放し、前記搬出装置を作動して、検査済みの前記被検物を前記検査室外に搬出し、その直後に前記第二の開閉扉を閉じる第三ステップと、
前記制御手段は、前記第一の開閉扉を開放し、前記搬入装置を作動して、新しい被検物を前記所定の検査位置に搬入し、その直後に前記第一の開閉扉を閉じる第四ステップと、
前記制御手段は、前記第一および第二の開閉扉が完全に閉じた状態で前記シャッタを開放し、当該新しい被検物に対し前記X線透過像をスキャンする前記第一ステップからのステップ群を繰り返し実行する、CT検査方法。
An X-ray source disposed in a source chamber blocked by an X-ray shielding wall, a detector disposed in an examination room blocked by an X-ray shielding wall, and the source chamber and the examination chamber are partitioned; A carry-in device for carrying an object into a predetermined inspection position in the inspection room through a shutter that transmits and blocks X-rays emitted from the X-ray source and a first opening / closing door on one side of the inspection room. An unloading device for unloading the object at the predetermined inspection position to the outside of the inspection room through the second opening / closing door on the other side of the inspection room, and a tomographic image of the inspection object by controlling these operations A CT inspection method performed in an X-ray CT apparatus comprising:
After the test object is carried into the predetermined inspection position, the control means opens the shutter and emits the X-ray emitted from the X-ray source during the X-ray emission operation by the detector. A first step of scanning an X-ray transmission image of the specimen;
When the scanning is finished, the control means closes the shutter and shuts off the X-rays emitted from the X-ray source during the X-ray emission operation;
The control means opens the second door, operates the carry-out device, carries out the inspected object to the outside of the inspection chamber, and immediately closes the second door. Three steps,
The control means opens the first open / close door, operates the carry-in device to carry a new object into the predetermined inspection position, and immediately after that closes the first open / close door. Steps,
The control means opens the shutter in a state where the first and second doors are completely closed, and scans the X-ray transmission image for the new test object. The CT inspection method is repeatedly executed.
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