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JP2019066419A - Gas concentration measurement system - Google Patents

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JP2019066419A
JP2019066419A JP2017194390A JP2017194390A JP2019066419A JP 2019066419 A JP2019066419 A JP 2019066419A JP 2017194390 A JP2017194390 A JP 2017194390A JP 2017194390 A JP2017194390 A JP 2017194390A JP 2019066419 A JP2019066419 A JP 2019066419A
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秉徹 高
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Hitoshi Yamamoto
山本  仁
理 山中
Satoru Yamanaka
理 山中
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Toho Titanium Co Ltd
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Abstract

【解決課題】レーザー光の光軸が、排気管の管軸に垂直な方向に対して傾いているガス濃度測定システムであり、外気温の変化によりガス濃度測定システムが設置される排気管が管軸方向に伸縮しても、発光器の出射レーザー光の光軸と、受光器の受光素子の受光軸とがずれないガス濃度測定システムを提供すること。【解決手段】レーザー式ガス濃度測定装置と、第一フレームと、第二フレームと、レーザー光通過用第一側管と、レーザー光通過用第二側管と、を有し、該レーザー光の光軸が、該排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、該発光器が該第一フレームに設置され、該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が該第二フレームに設定されており、該発光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第一側管の他端側に繋がっており、該受光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第二側管の他端側に繋がっていること、を特徴とするガス濃度測定システム。【選択図】図1PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas concentration measuring system in which an optical axis of laser light is tilted in a direction perpendicular to a pipe axis of an exhaust pipe, and an exhaust pipe in which a gas concentration measuring system is installed due to a change in outside temperature is a pipe. Provided is a gas concentration measuring system in which the optical axis of the emitted laser light of the light emitter and the light receiving axis of the light receiving element of the light receiver do not deviate even if the light is expanded or contracted in the axial direction. A laser gas concentration measuring device, a first frame, a second frame, a first side tube for passing laser light, and a second side tube for passing laser light are provided, and the laser light is used. The light emitter is installed in the first frame and the receiver of the laser gas concentration measuring device is set in the second frame so that the optical axis is tilted in a direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe. The light emitter is connected to the other end side of the first side tube for passing laser light via a cylindrical flexible coupling portion, and the light receiver is connected to the other end side of the laser light passing first side tube via a cylindrical flexible coupling portion. The gas concentration measuring system is characterized in that it is connected to the other end side of the second side tube for passing laser light. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、種々の製造設備や処理設備から排出される排気ガスの排気管に設置され、該排気管内を流れる排気ガス中の測定対象ガス、例えば、塩化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、硫化水素、酸素等の濃度を、レーザー式ガス濃度測定装置を用いて測定するガス濃度測定システムであり、測定対象ガス濃度が低い排気ガス中の測定対象ガス濃度を測定するためのガス濃度測定システムに関する。   The present invention is installed in an exhaust pipe of exhaust gas discharged from various manufacturing facilities and processing facilities, and the gas to be measured in the exhaust gas flowing in the exhaust pipe, for example, hydrogen chloride, carbon monoxide, carbon dioxide, sulfide A gas concentration measurement system for measuring the concentration of hydrogen, oxygen, etc. using a laser type gas concentration measurement apparatus, and relates to a gas concentration measurement system for measuring the concentration of a measurement target gas in exhaust gas having a low concentration of measurement target gas .

四塩化チタンは、酸化チタンを含む鉱石を塩素ガスで塩素化することにより製造される。そして、この四塩化チタンの製造では、微量ながらも、塩化水素が複成するため、四塩化チタンの製造設備の排気ガス中には、微量の塩化水素ガスが含まれている。   Titanium tetrachloride is produced by chlorinating ore containing titanium oxide with chlorine gas. And, in the production of titanium tetrachloride, although the amount is small, hydrogen chloride is compounded, so the exhaust gas of the titanium tetrachloride production facility contains a trace amount of hydrogen chloride gas.

塩化水素ガスは、有害ガスであるため、四塩化チタンの製造設備から環境へ排出される排出ガスに対しては、排出規制がされており、その規制値は年々低くなってきている。例えば、神奈川県では、県条例により、排気ガス中の塩化水素ガス濃度は、5ppm以下に規制されている。そのため、排気ガス中の塩化水素ガス濃度を連続的に測定することが必要となる。   Since hydrogen chloride gas is a harmful gas, emission restrictions are imposed on the exhaust gas emitted from the titanium tetrachloride manufacturing facility to the environment, and the restriction value is becoming lower year by year. For example, in Kanagawa Prefecture, the concentration of hydrogen chloride gas in exhaust gas is regulated to 5 ppm or less by the prefectural regulations. Therefore, it is necessary to continuously measure the hydrogen chloride gas concentration in the exhaust gas.

排気ガス中の塩化水素ガス濃度を測定する方法としては、従来より、ゴミ焼却設備において、ゴミ焼却設備からの排出ガス中の塩化水素ガス濃度を、レーザー式ガス濃度測定装置を用いて測定する方法が知られている。   As a method of measuring the concentration of hydrogen chloride gas in exhaust gas, conventionally, the method of measuring the concentration of hydrogen chloride gas in the exhaust gas from the waste incineration facility using a laser type gas concentration measuring device in the waste incineration facility It has been known.

このレーザー式ガス濃度測定装置とは、例えば、特許文献1に開示されているように、ガスの分子又は原子に、それぞれ固有の光吸収スペクトルがあることを利用して、測定対象ガスの光吸収スペクトルと同じ発光波長帯を有するレーザー光を出射するレーザー光源から、レーザー光を、測定対象ガスを含む測定対象空間に照射し、レーザー光が測定対象空間を透過するときの、測定対象ガスによるレーザー光の吸収量を測定し、そのレーザー光の吸収量から測定対象ガス濃度を演算して求める装置である。   For example, as disclosed in Patent Document 1, this laser type gas concentration measuring apparatus utilizes the fact that each gas molecule or atom has its own light absorption spectrum, and the light absorption of the gas to be measured. A laser light source emits a laser light having the same emission wavelength band as the spectrum, and the laser light is irradiated to the measurement target space including the measurement target gas, and the laser light from the measurement target gas when the laser light passes through the measurement target space It is an apparatus which measures the absorption amount of light and calculates and calculates | requires measurement object gas concentration from the absorption amount of the laser beam.

図11には、ゴミ焼却設備からの排気ガスを排出するための煙道に設置される排気ガス中の測定対象ガス濃度を測定するためのレーザー式のガス濃度測定システムを示す。図11中、ガス濃度測定システム40では、煙道52に形成されるレーザー光透過用孔48、49に、発光器設置用フランジ部材44と受光器設置用フランジ部材54が嵌め込まれて設置され、発光器設置用フランジ部材44に、発光器41の取付フランジ部46が取り付けられることにより、発光器41が煙道52設置され、また、受光器設置用フランジ部材54に、受光器51の取付フランジ部56が取り付けられることにより、受光器51が煙道52に設置されている。このとき、発光器41と受光器51とは、発光器41から出射されるレーザー光の光軸47が、受光器51の受光素子の受光軸と一致するように設置される。発光器41及び受光器51は、図示しない制御部に電気的に繋がっている。制御部は、受光素子からの受光信号に基づいて、測定対象ガスによる光吸収スペクトルの吸収量を求め、各種演算処理により、測定対象ガス濃度を演算する演算手段を有する。   FIG. 11 shows a laser type gas concentration measurement system for measuring the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas installed in the flue for discharging the exhaust gas from the refuse incineration facility. In FIG. 11, in the gas concentration measurement system 40, the flange member 44 for light emitter installation and the flange member 54 for light receiver installation are fitted and installed in the holes 48 and 49 for laser light transmission formed in the flue 52, The mounting flange portion 46 of the light emitter 41 is attached to the light emitter mounting flange member 44, whereby the light emitter 41 is installed in the flue 52, and the mounting flange of the light receiver 51 is mounted on the light receiver mounting flange member 54. The light receiver 51 is installed in the flue 52 by attaching the portion 56. At this time, the light emitter 41 and the light receiver 51 are installed such that the optical axis 47 of the laser light emitted from the light emitter 41 coincides with the light receiving axis of the light receiving element of the light receiver 51. The light emitter 41 and the light receiver 51 are electrically connected to a control unit (not shown). The control unit has operation means for obtaining the amount of absorption of the light absorption spectrum by the gas to be measured based on the light reception signal from the light receiving element, and calculating the gas concentration to be measured by various arithmetic processing.

そして、ガス濃度測定システム40では、発光器41のレーザー光源からレーザー光が、煙道52内の排気ガス53に向けて出射され、出射されたレーザー光は、煙道52内の排気ガス53を透過し、煙道52内の排気ガス53を透過したレーザー光は、受光器51の受光素子にて受光される。受光素子からの受光信号に基づいて、測定対象ガスによる光吸収スペクトルの吸収量が求められ、その吸収量から測定対象ガス濃度が演算される。   Then, in the gas concentration measurement system 40, laser light is emitted from the laser light source of the light emitter 41 toward the exhaust gas 53 in the flue 52, and the emitted laser light exhausts the exhaust gas 53 in the flue 52. The laser beam that has passed through and passed through the exhaust gas 53 in the flue 52 is received by the light receiving element of the light receiver 51. The amount of absorption of the light absorption spectrum by the gas to be measured is determined based on the light reception signal from the light receiving element, and the concentration of the gas to be measured is calculated from the amount of absorption.

このようにして、ガス濃度測定システム40を用いて、煙道52を通って排出される排出ガス53中の測定対象ガス濃度が、連続的に測定される。   In this way, the gas concentration measurement system 40 is used to continuously measure the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas 53 discharged through the flue 52.

特開2001−159605号公報JP 2001-159605 A

ゴミ焼却設備から排出される排出ガス中の塩化水素ガス濃度は、40ppm程度である。この程度の濃度であれば、レーザー式ガス濃度測定装置を用いて精度良く測定するために、レーザー光が測定対象空間を透過するときの透過距離(以下、レーザー光による測定距離とも記載する。)が、500mm程度であれば十分であるため、図11に示すガス濃度測定システム40のように、レーザー光の光軸47が、煙道52の管軸方向に対して垂直であっても、十分なレーザー光による測定距離を確保することができる。   The concentration of hydrogen chloride gas in the exhaust gas discharged from the waste incineration facility is about 40 ppm. If it is a density | concentration of this grade, in order to measure accurately using a laser type gas concentration measuring apparatus, the permeation | transmission distance when a laser beam permeate | transmits measurement object space (Hereafter, it describes as the measurement distance by a laser beam.) However, as long as it is about 500 mm, even if the optical axis 47 of the laser light is perpendicular to the axial direction of the flue 52, as in the gas concentration measurement system 40 shown in FIG. The measurement distance of the laser beam can be secured.

それに対して、四塩化チタンの製造設備からの排出ガスの排出規制のように、測定対象ガス濃度が非常に低い場合、精度良く測定するためには、ゴミ焼却設備から排出される排出ガス中の塩化水素ガス濃度を測定する場合に比べ、レーザー光による測定距離を長くする必要が生じる。例えば、5ppm程度の塩化水素ガス濃度の測定には、1m以上のレーザー光による測定距離を確保する必要がある。   On the other hand, if the concentration of the gas to be measured is very low, as in the case of exhaust gas emission regulations from titanium tetrachloride manufacturing facilities, in order to measure accurately, it is necessary to As compared with the case of measuring the hydrogen chloride gas concentration, it is necessary to increase the measurement distance by the laser beam. For example, in order to measure a hydrogen chloride gas concentration of about 5 ppm, it is necessary to secure a measurement distance by a laser beam of 1 m or more.

ところが、一般に、四塩化チタンの製造設備では、排気管の管径が1mに満たないものが多いため、レーザー式ガス濃度測定装置のレーザー光の光軸が、排気管の管軸方向に対して垂直になるように、発光器と受光器とを設置したのでは、十分なレーザー光による測定距離を確保することはできない。   However, in general, in many manufacturing facilities of titanium tetrachloride, since the pipe diameter of the exhaust pipe is less than 1 m, the optical axis of the laser beam of the laser type gas concentration measuring apparatus is in the direction of the pipe axis of the exhaust pipe. If the light emitter and the light receiver are placed vertically, it is not possible to secure a sufficient measurement distance by laser light.

そこで、本発明者らは、十分なレーザー光による測定距離を確保するために、図12に示すように、レーザー光の光軸67が、排気管30の管軸に垂直な方向に対して傾くように、発光器61及び受光器71を設置することを試みた。   Therefore, in order to secure a sufficient measurement distance by the laser beam, the present inventors tilt the optical axis 67 of the laser beam with respect to the direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe 30, as shown in FIG. As such, it was attempted to install the light emitter 61 and the light receiver 71.

図12に示すガス濃度測定システム60では、排気管30に、排気管30の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、発光器から排気管までレーザー光を通過させるためのレーザー光通過用第一側管63が付設され、レーザー光通過用第一側管63の他端側に、発光器設置用フランジ部材64が嵌め込まれ、その発光器設置用フランジ部材64に、発光器61の取付フランジ部66が取り付けられて、発光器61が設置されており、また、排気管30に、排気管30の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、排気管から受光器までレーザー光を通過させるためのレーザー光通過用第二側管73が付設され、レーザー光通過用第二側管73の他端側に、受光器設置用フランジ部材74が嵌め込まれ、その受光器設置用フランジ部材74に、受光器71の取付フランジ部76が取り付けられて、受光器71が設置されている。   In the gas concentration measurement system 60 shown in FIG. 12, a laser for causing laser light to pass from the light emitter to the exhaust pipe such that the pipe axis is inclined to the exhaust pipe 30 with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe 30 A light transmitting first side tube 63 is attached, and a light emitting device mounting flange member 64 is fitted to the other end of the laser light transmitting first light side tube 63, and the light emitting device mounting flange member 64 A mounting flange portion 61 of 61 is attached, and the light emitter 61 is installed, and from the exhaust pipe, the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe 30, A laser beam passing second side tube 73 for passing the laser beam to the light receiver is attached, and the other end of the laser beam passing second side tube 73 is fitted with the light receiver installation flange member 74, Receiver installation flange member 7 , The mounting flange portion 76 of the light receiver 71 is attached, the light receiver 71 is installed.

ここで、塩化水素ガスを含有する排気管の材質には、一般に、塩化ビニルが用いられている。塩化ビニルは、鉄等の金属材料に比べ、熱により膨張及び収縮し易い材質である。   Here, vinyl chloride is generally used as the material of the exhaust pipe containing hydrogen chloride gas. Vinyl chloride is a material that is more easily expanded and contracted by heat than a metal material such as iron.

そのため、図13に示すように、日中気温が高くなると、排気管30は、排気管の管軸方向32に伸びる。そして、排気管30の管軸方向32の伸びにより、第一側管63と第二側管73との管軸方向32の距離が設置時に比べ長くなってしまう。このことにより、発光器61の出射レーザー光の光軸67と、受光器71の受光素子の受光軸とがずれてしまい、正常な測定ができなくなってしまうという問題が発生した。   Therefore, as shown in FIG. 13, when the daytime temperature rises, the exhaust pipe 30 extends in the axial direction 32 of the exhaust pipe. Then, the extension of the exhaust pipe 30 in the pipe axial direction 32 makes the distance between the first side pipe 63 and the second side pipe 73 in the pipe axial direction 32 longer than that at the time of installation. As a result, the optical axis 67 of the outgoing laser light of the light emitter 61 and the light receiving axis of the light receiving element of the light receiving device 71 are deviated, which causes a problem that normal measurement can not be performed.

また、気温が低くなると、排気管30は、排気管の管軸方向32に縮む。そして、排気管30の管軸方向32の収縮により、レーザー光通過用第一側管63とレーザー光通過用第二側管73との管軸方向32の距離が設置時に比べ短くなってしまう。このことにより、発光器61の出射レーザー光の光軸67と、受光器71の受光素子の受光軸とがずれてしまう。   Also, when the air temperature becomes low, the exhaust pipe 30 contracts in the axial direction 32 of the exhaust pipe. Then, due to the contraction of the exhaust pipe 30 in the pipe axial direction 32, the distance between the laser light transmitting first side pipe 63 and the laser light transmitting second side pipe 73 in the pipe axial direction 32 becomes shorter than at the time of installation. As a result, the optical axis 67 of the outgoing laser light of the light emitter 61 and the light receiving axis of the light receiving element of the light receiving device 71 are shifted.

従って、本発明の目的は、レーザー光の光軸が、排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、発光器及び受光器が設置されるガス濃度測定システムであり、外気温の変化によりガス濃度測定システムが設置される排気管が管軸方向に伸縮しても、発光器の出射レーザー光の光軸と、受光器の受光素子の受光軸とがずれ難いガス濃度測定システムを提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is a gas concentration measurement system in which a light emitter and a light receiver are installed such that the optical axis of the laser light is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe. Even if the exhaust pipe in which the gas concentration measurement system is installed changes due to change, the gas concentration measurement system in which the optical axis of the emitted laser light from the light emitter and the light receiving axis of the light receiving element of the light receiver do not easily shift It is to provide.

本発明を解決するために、本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、第一フレームに発光器を固定し、第二フレームに受光器を固定して、発光器及び受光器の位置が動かないように固定し、且つ、排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、排気管に付設されるレーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管に、伸縮及び曲げ変形が可能な円筒状のフレキシブル結合部を介して、発光器及び受光器を繋げることにより、外気温の変化により排気管が管軸方向に伸縮しても、発光器の出射レーザー光の光軸と、受光器の受光素子の受光軸とがずれ難くできることを見出し、本発明を完成させるに至った。   In order to solve the present invention, as a result of intensive studies, the inventors fixed the light emitter to the first frame, fixed the light receiver to the second frame, and determined the positions of the light emitter and the light receiver. The first side tube for passing laser light and the second side for passing laser light which are attached to the exhaust pipe so as to be fixed so as not to move and to tilt the pipe axis with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe. By connecting a light emitter and a light receiver to a pipe via a cylindrical flexible joint capable of expansion and contraction and bending deformation, even if the exhaust pipe expands and contracts in the axial direction of the pipe due to a change in the outside air temperature, It has been found that the optical axis of the outgoing laser light and the light receiving axis of the light receiving element of the light receiver can be hardly deviated, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明(1)は、測定対象ガスを含む排気ガスが流れる排気管内に、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光を透過させ、該レーザー光が該排気管内の該排気ガスを透過するときの測定対象ガスによる該レーザー光の吸収量を求め、該レーザー光の吸収量より、該排気ガス中の該測定対象ガスの濃度を求めるレーザー式ガス濃度測定装置と、
該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が設置され、該発光器の位置を固定するための第一フレームと、
該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が設置され、該受光器の位置を固定するための第二フレームと、
内側を該発光器から該排気管まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第一側管と、
内側を該排気管から該受光器まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第二側管と、
を有し、
該レーザー光の光軸が、該排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が該第一フレームに設置され、該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が該第二フレームに設定されており、
該発光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第一側管の他端側に繋がっており、該受光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第二側管の他端側に繋がっていること、
を特徴とするガス濃度測定システムを提供するものである。
That is, according to the present invention (1), the laser light containing the light absorption spectrum of the gas to be measured is transmitted through the exhaust pipe in which the exhaust gas containing the gas to be measured flows, and the laser light transmits the exhaust gas inside the exhaust pipe. A laser type gas concentration measuring device for determining the amount of absorption of the laser light by the gas to be measured at the time of measurement and determining the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas from the amount of absorption of the laser light;
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a first frame for fixing the position of the light emitter,
A light receiver of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a second frame for fixing the position of the light receiver;
A laser through which the laser light passes from the light emitter to the exhaust pipe from the light source, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A first side tube for light passage,
A laser through which the laser beam passes from the exhaust pipe to the light receiver on the inside, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A second side pipe for light passage,
Have
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed in the first frame so that the optical axis of the laser light is inclined with respect to a direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe, and the laser type gas concentration measurement The receiver of the device is set to the second frame,
The light emitter is connected to the other end of the first side tube for passing laser light through a cylindrical flexible joint, and the light receiver is connected to the laser through a cylindrical flexible joint. Being connected to the other end of the second side pipe for light passage,
The present invention provides a gas concentration measurement system characterized by

また、本発明(2)は、前記測定対象ガスが、塩化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、硫化水素又は酸素であることを特徴とする(1)のガス濃度測定システムを提供するものである。   Further, the present invention (2) provides the gas concentration measurement system according to (1), wherein the gas to be measured is hydrogen chloride, carbon monoxide, carbon dioxide, hydrogen sulfide or oxygen. .

また、本発明(3)は、前記測定対象ガスが塩化水素であり、且つ、前記排気ガス中の塩化水素濃度が10ppm以下であることを特徴とする(1)のガス濃度測定システムを提供するものである。   Further, the present invention (3) provides the gas concentration measurement system according to (1), wherein the gas to be measured is hydrogen chloride, and the concentration of hydrogen chloride in the exhaust gas is 10 ppm or less. It is a thing.

また、本発明(4)は、前記排気管の材質がポリエチレン、ポリプロピレン、炭素鋼又はステンレス鋼であることを特徴とする(1)〜(3)いずれかのガス濃度測定システムを提供するものである。   Further, the present invention (4) provides the gas concentration measurement system according to any one of (1) to (3) characterized in that the material of the exhaust pipe is polyethylene, polypropylene, carbon steel or stainless steel. is there.

また、本発明(5)は、前記第一フレームと前記第二フレームとが、連結部で繋がっていることを特徴とする(1)〜(4)いずれかのガス濃度測定システムを提供するものである。   Further, the present invention (5) provides the gas concentration measurement system according to any one of (1) to (4), characterized in that the first frame and the second frame are connected at a connecting portion. It is.

本発明によれば、レーザー光の光軸が、排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、発光器及び受光器が設置されるガス濃度測定システムであり、外気温の変化によりガス濃度測定システムが設置される排気管が管軸方向に伸縮しても、発光器の出射レーザー光の光軸と、受光器の受光素子の受光軸とがずれ難いガス濃度測定システムを提供することができる。   According to the present invention, it is a gas concentration measurement system in which a light emitter and a light receiver are installed such that the optical axis of the laser light is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe. Provided is a gas concentration measurement system in which the optical axis of the emitted laser light of the light emitter and the light receiving axis of the light receiving element of the light receiver do not easily shift even if the exhaust pipe in which the gas concentration measuring system is installed extends and contracts in the tube axis direction. be able to.

本発明のガス濃度測定システムの形態例を示す模式的な斜視図である。It is a typical perspective view showing an example of a gas concentration measuring system of the present invention. 図1に示すガス濃度測定システム10aを上から見た図である。It is the figure which looked at the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1 from the top. 図1に示すガス濃度測定システム10aを横から見た図であり、図2のA方向から見た図である。It is the figure which looked at the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1 from the side, and is the figure seen from A direction of FIG. 図1に示すガス濃度測定システム10aを横から見た図であり、図2のB方向から見た図である。It is the figure which looked at the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1 from the side, and is the figure seen from B direction of FIG. 図1に示すガス濃度測定システム10aを上から見た図であり、排気管30が管軸方向に伸びたときの様子を示す図である。It is the figure which looked at the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1 from the upper direction, and is a figure which shows a mode when the exhaust pipe 30 is extended in the pipe axial direction. 図1に示すガス濃度測定システム10aを上から見た図であり、排気管30が管軸方向に収縮したときの様子を示す図である。It is the figure which looked at gas concentration measurement system 10a shown in Drawing 1 from the top, and is a figure showing signs that exhaust pipe 30 contracted in the direction of a pipe axis. 図2中の受光器11近傍を拡大した図であり、排気管30が伸びる前後を重ね合わせた図である。It is the figure which expanded the light receiver 11 vicinity in FIG. 2, and is the figure which piled up the back and front to which the exhaust pipe 30 is extended. 本発明のガス濃度測定システムの形態例を示す模式的である。It is a schematic diagram showing an embodiment of the gas concentration measurement system of the present invention. 本発明のガス濃度測定システムの形態例を示す模式的である。It is a schematic diagram showing an embodiment of the gas concentration measurement system of the present invention. 本発明のガス濃度測定システムの形態例を示す模式的である。It is a schematic diagram showing an embodiment of the gas concentration measurement system of the present invention. ゴミ焼却設備からの排気ガス中の測定対象ガス濃度を測定するためのガス濃度測定システムである。This is a gas concentration measurement system for measuring the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas from the refuse incineration facility. 排気管の管軸に垂直な方向に対して、レーザー光の光軸が傾くように、発光器及び受光器を設置するガス濃度測定システムの比較例である。It is a comparative example of the gas concentration measurement system which installs a light emitter and a light receiver so that an optic axis of a laser beam may incline to a direction perpendicular to a tube axis of an exhaust pipe. 図12中のガス濃度測定システムにおいて、外気温の変化により排気管が管軸方向に伸びたときの様子を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing how the exhaust pipe extends in the axial direction of the pipe due to a change in the outside air temperature in the gas concentration measurement system in FIG. 12. 実施例1の結果を示すグラフである。5 is a graph showing the results of Example 1; 比較例1の結果を示すグラフである。It is a graph which shows the result of comparative example 1.

本発明のガス濃度測定システムは、測定対象ガスを含む排気ガスが流れる排気管内に、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光を透過させ、該レーザー光が該排気管内の該排気ガスを透過するときの測定対象ガスによる該レーザー光の吸収量を求め、該レーザー光の吸収量より、該排気ガス中の該測定対象ガスの濃度を求めるレーザー式ガス濃度測定装置と、
該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が設置され、該発光器の位置を固定するための第一フレームと、
該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が設置され、該受光器の位置を固定するための第二フレームと、
内側を該発光器から該排気管まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第一側管と、
内側を該排気管から該受光器まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第二側管と、
を有し、
該レーザー光の光軸が、該排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が該第一フレームに設置され、該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が該第二フレームに設定されており、
該発光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第一側管の他端側に繋がっており、該受光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第二側管の他端側に繋がっていること、
を特徴とするガス濃度測定システムである。
In the gas concentration measurement system according to the present invention, the laser light containing the light absorption spectrum of the gas to be measured is transmitted through the exhaust pipe in which the exhaust gas containing the gas to be measured flows, and the laser light transmits the exhaust gas in the exhaust pipe. A laser type gas concentration measuring device for determining the amount of absorption of the laser light by the gas to be measured at the time of measurement and determining the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas from the amount of absorption of the laser light;
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a first frame for fixing the position of the light emitter,
A light receiver of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a second frame for fixing the position of the light receiver;
A laser through which the laser light passes from the light emitter to the exhaust pipe from the light source, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A first side tube for light passage,
A laser through which the laser beam passes from the exhaust pipe to the light receiver on the inside, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A second side pipe for light passage,
Have
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed in the first frame so that the optical axis of the laser light is inclined with respect to a direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe, and the laser type gas concentration measurement The receiver of the device is set to the second frame,
The light emitter is connected to the other end of the first side tube for passing laser light through a cylindrical flexible joint, and the light receiver is connected to the laser through a cylindrical flexible joint. Being connected to the other end of the second side pipe for light passage,
A gas concentration measurement system characterized by

本発明のガス濃度測定システムについて、図1〜図7を参照して説明する。図1は、本発明のガス濃度測定システムの形態例を示す模式的な斜視図であり、図1(B)では、ガス濃度測定システム10aを実線で、排気管30を点線で示す。図2は、図1に示すガス濃度測定システム10aを上から見た図である。図3は、図1に示すガス濃度測定システム10aを横から見た図であり、図2のA方向から見た図である。図4は、図1に示すガス濃度測定システム10aを横から見た図であり、図2のB方向から見た図である。図5は、図1に示すガス濃度測定システム10aを上から見た図であり、排気管30が管軸方向に伸びたときの様子を示す図である。図6は、図1に示すガス濃度測定システム10aを上から見た図であり、排気管30が管軸方向に収縮したときの様子を示す図である。図7は、図2中の受光器11近傍を拡大した図であり、排気管30が伸びる前後を重ね合わせた図である。   The gas concentration measurement system of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7. FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of the gas concentration measurement system of the present invention, and in FIG. 1 (B), a gas concentration measurement system 10a is shown by a solid line and an exhaust pipe 30 is shown by a dotted line. FIG. 2 is a top view of the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 3 is a view of the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1 as viewed from the side, as viewed from the direction A of FIG. FIG. 4 is a view of the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1 as viewed from the side, as viewed in the direction B in FIG. FIG. 5 is a top view of the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1, and shows a state in which the exhaust pipe 30 extends in the axial direction of the pipe. FIG. 6 is a top view of the gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1, and shows a state in which the exhaust pipe 30 is contracted in the axial direction of the pipe. FIG. 7 is an enlarged view of the vicinity of the light receiver 11 in FIG. 2 and is a view in which an exhaust pipe 30 extends and is overlapped.

ガス濃度測定システム10aは、レーザー式ガス濃度測定装置を有する。つまり、ガス濃度測定システム10aは、レーザー式ガス濃度測定装置を用いるガス濃度の測定システムである。ガス濃度測定システム10aに用いられるレーザー式ガス濃度測定装置は、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光を出射するレーザー光源を備える発光器1と、排気管30内の排気ガス31を透過したレーザー光を受光する受光素子を備える受光器11と、発光器1及び受光器11に電気的に繋がる、図示しない制御部と、からなる。制御部は、ガス濃度を演算する演算部を備える。   The gas concentration measurement system 10a has a laser gas concentration measurement device. That is, the gas concentration measurement system 10a is a measurement system of gas concentration using a laser type gas concentration measurement device. The laser type gas concentration measuring apparatus used for the gas concentration measuring system 10a transmits the exhaust gas 31 in the exhaust pipe 30 and the light emitter 1 including the laser light source for emitting the laser light including the light absorption spectrum of the gas to be measured. It comprises a light receiver 11 having a light receiving element for receiving laser light, and a control unit (not shown) electrically connected to the light emitter 1 and the light receiver 11. The control unit includes an operation unit that calculates the gas concentration.

ガス濃度測定システム10aは、発光器1が設置され、発光器1の位置を固定するための第一フレーム2と、受光器11が設置され、受光器11の位置を固定するための第二フレーム12と、を有する。第一フレーム2は、コ字状(矩形の三辺をなす形状)の外側フレーム部21と、発光器1の下側を固定する発光器下側固定フレーム部22と、発光器1の上側を固定する発光器上側固定フレーム部23と、発光器1の左側を固定する発光器左側固定フレーム部24と、発光器1の右側を固定する発光器右側固定フレーム部25と、からなる。第二フレーム12は、コ字状の外側フレーム部と、受光器2の下側を固定する受光器下側固定フレーム部と、受光器2の上側を固定する受光器上側固定フレーム部と、受光器2の左側を固定する受光器左側固定フレーム部と、受光器2の右側を固定する受光器右側固定フレーム部と、からなる。そして、発光器1及び受光器11は、外気温が変化しても位置がずれない又はずれ難い第一フレーム2及び第二フレーム12に設置されているので、外気温が変化しても、あるいは、外気温の変化により排気管30が管軸方向32に伸縮しても、発光器1及び受光器11の位置が固定される。ガス濃度測定システム10aでは、第一フレーム2の外側フレーム部の上側の一端と第二フレーム12の外側フレーム部の上側の一端とが、連結部9a1で連結されており、第一フレーム2の外側フレーム部の上側の他端と第二フレーム12の外側フレーム部の上側の他端とが、連結部9a2で連結されている。   In the gas concentration measurement system 10a, the light emitter 1 is installed, the first frame 2 for fixing the position of the light emitter 1 and the light receiver 11 are provided, and the second frame for fixing the position of the light receiver 11 And 12). The first frame 2 includes an outer frame portion 21 having a U-shape (a shape forming three sides of a rectangle), a light emitter lower fixed frame portion 22 for fixing the lower side of the light emitter 1, and the upper side of the light emitter 1. It comprises a light emitter upper fixed frame portion 23 to be fixed, a light emitter left fixed frame portion 24 to fix the left side of the light emitter 1, and a light emitter right fixed frame portion 25 to fix the right side of the light emitter 1. The second frame 12 includes a U-shaped outer frame portion, a light receiver lower fixed frame portion fixing the lower side of the light receiver 2, a light receiver upper fixed frame portion fixing the upper side of the light receiver 2, It comprises a light receiver left fixed frame portion for fixing the left side of the device 2 and a light receiver right fixed frame portion for fixing the right side of the light receiver 2. And since the light emitter 1 and the light receiver 11 are installed in the first frame 2 and the second frame 12 whose position does not shift or hardly shift even if the outside temperature changes, even if the outside temperature changes, or Even if the exhaust pipe 30 expands and contracts in the pipe axial direction 32 due to a change in the outside air temperature, the positions of the light emitter 1 and the light receiver 11 are fixed. In the gas concentration measurement system 10 a, the upper end of the outer frame portion of the first frame 2 and the upper end of the outer frame portion of the second frame 12 are connected by the connecting portion 9 a 1. The other upper end of the frame portion and the other upper end of the outer frame portion of the second frame 12 are connected by a connecting portion 9a2.

ガス濃度測定システム10aは、排気管30の管軸に垂直な方向33に対して管軸が傾くように、一端が排気管30に繋がるレーザー光通過用第一側管3と、排気管30の管軸に垂直な方向33に対して管軸が傾くように、一端が排気管30に繋がるレーザー光通過用第二側管13と、を有する。レーザー光通過用第一側管3は、内側を発光器1から排気管30までレーザー光を通過させるための通過経路を形成する部材であり、また、レーザー光通過用第二側管13は、内側を排気管30から受光器11までレーザー光を通過させるための通過経路を形成させる部材である。   In the gas concentration measurement system 10 a, the laser beam passing first side pipe 3 whose one end is connected to the exhaust pipe 30 and the exhaust pipe 30 so that the pipe axis is inclined to the direction 33 perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe 30. The laser light transmitting second side pipe 13 has one end connected to the exhaust pipe 30 so that the pipe axis is inclined with respect to the direction 33 perpendicular to the pipe axis. The first side tube 3 for laser beam passage is a member forming a passage path for passing the laser beam from the light emitter 1 to the exhaust tube 30 on the inside, and the second side tube 13 for laser beam passage is The inner side is a member for forming a passage path for passing the laser beam from the exhaust pipe 30 to the light receiver 11.

ガス濃度測定システム10aでは、レーザー光の光軸7が、排気管30の管軸29に垂直な方向33に対して傾くように、発光器1が第一フレーム2に設置され、受光器11が第二フレーム12に設定されている。つまり、発光器1の出射レーザー光の光軸と受光器12の受光軸とがずれないように、発光器1が第一フレーム2に設置され、受光器11が第二フレーム12に設定されている。ガス濃度測定システム10aでは、レーザー光を、排気管30の管軸に垂直な方向33に対して傾いた方向に、排気管30内を透過させることができるので、レーザー光が排気ガスを透過する距離(レーザー光による測定距離)を長くすることができる。   In the gas concentration measurement system 10a, the light emitter 1 is installed on the first frame 2 so that the optical axis 7 of the laser light is inclined with respect to the direction 33 perpendicular to the tube axis 29 of the exhaust pipe 30, and the light receiver 11 is The second frame 12 is set. That is, the light emitter 1 is installed on the first frame 2 and the light receiver 11 is set on the second frame 12 so that the optical axis of the outgoing laser light of the light emitter 1 and the light receiving axis of the light receiver 12 do not shift. There is. In the gas concentration measurement system 10a, the laser light can pass through the inside of the exhaust pipe 30 in a direction inclined with respect to the direction 33 perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe 30, so the laser light transmits the exhaust gas. The distance (measurement distance by laser light) can be increased.

ガス濃度測定システム10aでは、レーザー光通過用第一側管3の他端には、発光器設置用フランジ部材4が嵌め込まれており、発光器設置用フランジ部材4と発光器1の取付フランジ部6とが、円筒状のフレキシブル結合部5で連結されている。このことにより、発光器1は、円筒状のフレキシブル結合部5を介して、レーザー光通過用第一側管3の他端側に繋がっている。また、ガス濃度測定システム10aでは、レーザー光通過用第二側管13の他端には、受光器設置用フランジ部材14が嵌め込まれており、受光器設置用フランジ部材14と受光器11の取付フランジ部16とが、円筒状のフレキシブル結合部15で連結されている。このことにより、受光器11は、円筒状のフレキシブル結合部15を介して、レーザー光通過用第二側管13の他端側に繋がっている。   In the gas concentration measurement system 10 a, the light emitter installation flange member 4 is fitted to the other end of the laser light passing first side tube 3, and the light emitter installation flange member 4 and the mounting flange portion of the light emitter 1 6 are connected by a cylindrical flexible joint 5. As a result, the light emitter 1 is connected to the other end side of the first side tube 3 for laser beam passage via the cylindrical flexible joint 5. Further, in the gas concentration measurement system 10a, the light receiver installation flange member 14 is fitted to the other end of the laser light passing second side pipe 13, and the light receiver installation flange member 14 and the light receiver 11 are attached The flange portion 16 is connected by a cylindrical flexible connecting portion 15. As a result, the light receiver 11 is connected to the other end side of the laser light passing second side pipe 13 via the cylindrical flexible coupling portion 15.

そして、発光器1のレーザー光源から連続して、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光を、測定対象ガスを含む排気ガス31が流れる排気管30内に向けて出射させ、レーザー光を、排気管30内の排気ガス31を透過させ、排気ガス31を透過したレーザー光を、受光器11の受光素子で受光して、排気ガス31を透過するときの測定対象ガスによるレーザー光の吸収量を求め、レーザー光の吸収量より、排気ガス31中の測定対象ガスの濃度を演算して求めることにより、ガス濃度測定システム10aで、連続的に排気ガス30中の測定対象ガス濃度を測定する。   Then, continuously from the laser light source of the light emitter 1, the laser light including the light absorption spectrum of the gas to be measured is emitted toward the inside of the exhaust pipe 30 through which the exhaust gas 31 containing the gas to be measured flows, and the laser light is The amount of laser light absorbed by the gas to be measured when the exhaust gas 31 in the exhaust pipe 30 is transmitted and the laser light transmitted through the exhaust gas 31 is received by the light receiving element of the light receiver 11 and transmitted through the exhaust gas 31 The concentration of the gas to be measured in the exhaust gas 30 is continuously measured by the gas concentration measurement system 10a by calculating the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas 31 from the amount of absorption of laser light. .

図5に示すように、ガス濃度測定システム10aで、連続して、排気ガス30中の測定対象ガス濃度を測定している間に、外気温が高くなり、排気管30が管軸方向32に伸びても、発光器1及び受光器11は、第一フレーム2及び第二フレーム12により、位置が固定されているため、発光器1及び受光器11の位置はずれない。そのため、排気管30が管軸方向32に伸びても、発光器1の出射レーザー光の光軸7と、受光器11の受光軸とがずれることはない。   As shown in FIG. 5, while the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas 30 is continuously measured by the gas concentration measuring system 10a, the outside air temperature becomes high, and the exhaust pipe 30 extends in the axial direction 32 of the pipe. Even when extended, the light emitter 1 and the light receiver 11 are fixed in position by the first frame 2 and the second frame 12, so the positions of the light emitter 1 and the light receiver 11 do not shift. Therefore, even if the exhaust pipe 30 extends in the tube axial direction 32, the optical axis 7 of the outgoing laser light of the light emitter 1 and the light receiving axis of the light receiver 11 do not shift.

このとき、排気管30の管軸方向32の伸びにより、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13の位置が、排気管30の管軸方向32に移動しても、フレキシブル結合部5、15が、変形するので、発光器1及び受光器11が、第一フレーム2及び第二フレーム12に位置が固定されていても、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13に、大きな力が加わることはない。そのため、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13が破損することが防がれる。図7(A)には、レーザー光通過用第二側管13の位置が、移動する前の様子を実線で、移動した後の様子を二点鎖線で示す。   At this time, the extension of the exhaust pipe 30 in the axial direction 32 moves the positions of the first side pipe 3 for passing laser light and the second side pipe 13 for passing laser light in the axial direction 32 of the exhaust pipe 30. Also, since the flexible joint portions 5 and 15 are deformed, the first side tube 3 for laser beam passage is obtained even if the light emitter 1 and the light receiver 11 are fixed in position to the first frame 2 and the second frame 12. Also, no large force is applied to the second side tube 13 for passing laser light. Therefore, damage to the first side tube 3 for laser beam passage and the second side tube 13 for laser beam passage can be prevented. In FIG. 7A, a state before the position of the second light transmitting side tube 13 moves is indicated by a solid line, and a state after the position of the second side pipe 13 after the movement is indicated by a two-dot chain line.

また、図6に示すように、ガス濃度測定システム10aで、連続して、排気ガス30中の測定対象ガス濃度を測定している間に、外気温が低くなり、排気管30が管軸方向32に収縮しても、発光器1及び受光器11は、第一フレーム2及び第二フレーム12により、位置が固定されているため、発光器1及び受光器11の位置はずれない。そのため、排気管30が管軸方向32に収縮しても、発光器1の出射レーザー光の光軸7と、受光器11の受光軸とがずれることはない。   Further, as shown in FIG. 6, while the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas 30 is continuously measured by the gas concentration measurement system 10a, the outside air temperature is lowered, and the exhaust pipe 30 is in the pipe axial direction Even if the light emitting device 1 and the light receiving device 11 are contracted to 32, the positions of the light emitting device 1 and the light receiving device 11 do not shift because the light emitting device 1 and the light receiving device 11 are fixed in position by the first frame 2 and the second frame 12. Therefore, even if the exhaust pipe 30 contracts in the tube axial direction 32, the optical axis 7 of the emitted laser light of the light emitter 1 and the light receiving axis of the light receiver 11 do not deviate.

このとき、排気管30の管軸方向32の収縮により、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13の位置が、排気管30の管軸方向32に移動しても、フレキシブル結合部5、15が、変形するので、発光器1及び受光器11が、第一フレーム2及び第二フレーム12に位置が固定されていても、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13に、大きな力が加わることはない。そのため、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13が破損することが防がれる。図7(B)には、レーザー光通過用第二側管13の位置が、移動する前の様子を実線で、移動した後の様子を二点鎖線で示す。   At this time, the contraction of the exhaust pipe 30 in the axial direction 32 moves the positions of the laser light passing first side pipe 3 and the laser light passing second side pipe 13 in the axial direction 32 of the exhaust pipe 30. Also, since the flexible joint portions 5 and 15 are deformed, the first side tube 3 for laser beam passage is obtained even if the light emitter 1 and the light receiver 11 are fixed in position to the first frame 2 and the second frame 12. Also, no large force is applied to the second side tube 13 for passing laser light. Therefore, damage to the first side tube 3 for laser beam passage and the second side tube 13 for laser beam passage can be prevented. In FIG. 7 (B), the position before the position of the 2nd side pipe | tube 13 for a laser beam passes moves with a solid line, and shows a mode after moving with a dashed-two dotted line.

もし、発光器1及び受光器11が、第一フレーム2及び第二フレーム12等の固定手段で、位置が固定されている場合に、発光器1及び受光器11が、フレキシブル結合部5、15を介さずに、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13に繋がっていたとすると、排気管30の管軸方向32の伸長又は収縮により、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13の位置が、排気管30の管軸方向32に移動したときには、発光器1及び受光器11が、第一フレーム2及び第二フレーム12に位置が固定されているために、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13に大きな力がかかってしまう。そのため、レーザー光通過用第一側管3及びレーザー光通過用第二側管13が破損するおそれがあるので、発光器1及び受光器11の位置を固定することができない。また、レーザー光通過用第一側管3又はレーザー光通過用第二側管13が繋がっている発光器1又は受光器11にも力が加わり、その結果、光軸がずれるおそれがある。   If the light emitting device 1 and the light receiving device 11 are fixed by the fixing means such as the first frame 2 and the second frame 12, the light emitting device 1 and the light receiving device 11 may be flexible joints 5 and 15. If it is connected to the first side tube 3 for laser beam passage and the second side tube 13 for laser beam passage without interposition, the expansion or contraction of the exhaust tube 30 in the tube axial direction 32 When the positions of the side tube 3 and the second side tube 13 for passing laser light move in the tube axial direction 32 of the exhaust tube 30, the light emitter 1 and the light receiver 11 are positioned at the first frame 2 and the second frame 12. As a result, a large force is applied to the first side tube 3 for laser beam passage and the second side tube 13 for laser beam passage. Therefore, since there is a possibility that the first side tube 3 for laser beam passage and the second side tube 13 for laser beam passage may be broken, the positions of the light emitter 1 and the light receiver 11 can not be fixed. In addition, a force is also applied to the light emitting device 1 or the light receiving device 11 to which the laser light passing first side tube 3 or the laser light passing second side tube 13 is connected, and as a result, the optical axis may be displaced.

本発明のガス濃度測定システムは、測定対象ガスを含む排気ガスが流れる排気管内に、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光を透過させ、該レーザー光が該排気管内の該排気ガスを透過するときの測定対象ガスによる該レーザー光の吸収量を求め、該レーザー光の吸収量より、該排気ガス中の該測定対象ガスの濃度を求めるレーザー式ガス濃度測定装置と、
該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が設置され、該発光器の位置を固定するための第一フレームと、
該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が設置され、該受光器の位置を固定するための第二フレームと、
内側を該発光器から該排気管まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第一側管と、
内側を該排気管から該受光器まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第二側管と、
を有し、
該レーザー光の光軸が、該排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が該第一フレームに設置され、該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が該第二フレームに設定されており、
該発光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第一側管の他端側に繋がっており、該受光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第二側管の他端側に繋がっていること、
を特徴とするガス濃度測定システムである。
In the gas concentration measurement system according to the present invention, the laser light containing the light absorption spectrum of the gas to be measured is transmitted through the exhaust pipe in which the exhaust gas containing the gas to be measured flows, and the laser light transmits the exhaust gas in the exhaust pipe. A laser type gas concentration measuring device for determining the amount of absorption of the laser light by the gas to be measured at the time of measurement and determining the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas from the amount of absorption of the laser light;
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a first frame for fixing the position of the light emitter,
A light receiver of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a second frame for fixing the position of the light receiver;
A laser through which the laser light passes from the light emitter to the exhaust pipe from the light source, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A first side tube for light passage,
A laser through which the laser beam passes from the exhaust pipe to the light receiver on the inside, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A second side pipe for light passage,
Have
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed in the first frame so that the optical axis of the laser light is inclined with respect to a direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe, and the laser type gas concentration measurement The receiver of the device is set to the second frame,
The light emitter is connected to the other end of the first side tube for passing laser light through a cylindrical flexible joint, and the light receiver is connected to the laser through a cylindrical flexible joint. Being connected to the other end of the second side pipe for light passage,
A gas concentration measurement system characterized by

本発明のガス濃度測定システムは、レーザー式ガス濃度測定装置を有する。つまり、本発明のガス濃度測定システムは、レーザー式ガス濃度測定装置を用いるガス濃度の測定システムである。本発明のガス濃度測定システムに用いられるレーザー式ガス濃度測定装置は、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光を出射するレーザー光源を備える発光器と、排気管内の排気ガスを透過したレーザー光を受光する受光素子を備える受光器と、発光器及び受光器に電気的に繋がる、制御部と、を有する。制御部は、ガス濃度を演算する演算部を有する。   The gas concentration measurement system of the present invention has a laser gas concentration measurement device. That is, the gas concentration measurement system of the present invention is a gas concentration measurement system using a laser gas concentration measurement apparatus. The laser type gas concentration measuring apparatus used in the gas concentration measuring system of the present invention comprises a light emitter provided with a laser light source for emitting a laser beam including a light absorption spectrum of a gas to be measured, and a laser beam transmitted through exhaust gas in an exhaust pipe. And a control unit electrically connected to the light emitter and the light receiver. The control unit has a calculation unit that calculates the gas concentration.

本発明のガスガス濃度測定システムに係るレーザー式ガス濃度測定装置は、ガスの分子又は原子が、固有の光吸収スペクトルを有することを利用して、測定対象ガスの光吸収スペクトルと同じ発光波長帯を有するレーザー光を出射するレーザー光源から、連続的にレーザー光を、測定対象ガスを含有する測定対象空間に照射し、レーザー光が測定対象空間を透過するときの、測定対象ガスによるレーザー光の吸収量を測定し、そのレーザー光の吸収量から測定対象ガス濃度を演算して求める装置である。   The laser type gas concentration measuring apparatus according to the gas gas concentration measuring system of the present invention utilizes the fact that the molecules or atoms of the gas have a unique light absorption spectrum, and emits the same emission wavelength band as the light absorption spectrum of the gas to be measured. The laser light is emitted continuously from the laser light source for emitting the laser light to the measurement target space containing the measurement target gas, and the laser light is absorbed by the measurement target gas when the laser light passes through the measurement target space The amount is measured, and the concentration of the gas to be measured is calculated from the amount of absorption of the laser light.

そして、本発明のガス濃度測定システムに係るレーザー式ガス濃度測定装置としては、測定対象ガスの光吸収スペクトルと同じ発光波長帯を有するレーザー光を出射するレーザー光源から、連続的にレーザー光を、測定対象ガスを含有する測定対象空間に照射し、レーザー光が測定対象空間を透過するときの、測定対象ガスによるレーザー光の吸収量を測定し、そのレーザー光の吸収量から測定対象ガス濃度を演算して求めることができる装置であれば、特に制限されない。レーザー式ガス濃度測定装置としては、例えば、特開2001−159605号公報、特開2014−102152号公報、特開2017−122702号公報に記載されているレーザー式ガス濃度測定装置が挙げられる。また、レーザー式ガス濃度測定装置としては、直接挿入型レーザー方式ガス分析計ZSS(富士電機株式会社製)、レーザガス分析計TDL8000(横河電機株式会社製)、Laser Gass(NEO MONITORS社製)等が挙げられる。   And as a laser type gas concentration measuring device concerning a gas concentration measuring system of the present invention, a laser beam is continuously emitted from a laser light source which emits a laser beam having the same emission wavelength band as the light absorption spectrum of the gas to be measured. The measurement target space containing the measurement target gas is irradiated, and the absorption amount of the laser light by the measurement target gas when the laser light passes through the measurement target space is measured, and the measurement target gas concentration is determined from the absorption amount of the laser light. The device is not particularly limited as long as it can be obtained by calculation. As a laser type gas concentration measuring apparatus, the laser type gas concentration measuring apparatus described in Unexamined-Japanese-Patent 2001-159605, 2014-102152, 2017-122702 is mentioned, for example. Further, as a laser type gas concentration measuring apparatus, a direct insertion type laser type gas analyzer ZSS (manufactured by Fuji Electric Co., Ltd.), a laser gas analyzer TDL 8000 (manufactured by Yokogawa Electric Co., Ltd.), Laser Gas (manufactured by NEO MONITORS), etc. Can be mentioned.

本発明のガス濃度測定システムが設置される排気管は、種々の製造設備又は処理設備の排気ガスを排出するため排気管であり、そのような設備としては、例えば、四塩化チタンの製造設備、ゴミ焼却設備、産業廃棄物処理設備等が挙げられる。排気管の材質としては、特に制限されず、例えば、四塩化チタンの製造設備の場合、排気管の材質は塩化ビニルであり、ゴミ焼却設備の場合、排気管の材質はステンレス鋼であり、産業廃棄物処理設備の場合、排気管の材質はステンレス鋼である。本発明のガス濃度測定システムは、排気管が外気温の変化による伸縮が大きい材質の場合に、特に優れた効果を発揮する。本発明のガス濃度測定システムは、例えば、排気管の材質が、塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、炭素鋼、ステンレス鋼の場合に、特に優れた効果を発揮する。   The exhaust pipe in which the gas concentration measurement system of the present invention is installed is an exhaust pipe for discharging exhaust gas of various manufacturing facilities or processing facilities, and such facilities include, for example, a manufacturing facility of titanium tetrachloride, Waste incinerators and industrial waste disposal facilities are listed. The material of the exhaust pipe is not particularly limited. For example, in the case of a manufacturing facility of titanium tetrachloride, the material of the exhaust pipe is vinyl chloride, and in the case of a refuse incineration plant, the material of the exhaust pipe is stainless steel In the case of a waste disposal facility, the material of the exhaust pipe is stainless steel. The gas concentration measurement system of the present invention exhibits a particularly excellent effect when the exhaust pipe is made of a material having a large expansion and contraction due to a change in the outside air temperature. The gas concentration measurement system of the present invention exhibits particularly excellent effects when, for example, the material of the exhaust pipe is vinyl chloride, polyethylene, polypropylene, carbon steel, or stainless steel.

上記設備から排気ガス中には、塩化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、硫化水素、酸素等が含まれている。つまり、本発明のガス濃度測定システムに係る測定対象ガスは、塩化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、硫化水素、酸素等である。本発明のガス濃度測定システムは、測定対象ガスに応じて、レーザー式ガス濃度測定装置の発光器から出射するレーザー光の発光波長帯を、測定対象ガスが有する固有の光吸収スペクトルに合わせて設定すれば、排気ガスに含まれる測定対象ガスの種類に応じた濃度測定が可能である。   The exhaust gas from the above equipment contains hydrogen chloride, carbon monoxide, carbon dioxide, hydrogen sulfide, oxygen and the like. That is, the gas to be measured according to the gas concentration measurement system of the present invention is hydrogen chloride, carbon monoxide, carbon dioxide, hydrogen sulfide, oxygen or the like. The gas concentration measurement system of the present invention sets the emission wavelength band of the laser beam emitted from the light emitter of the laser type gas concentration measurement device according to the specific light absorption spectrum of the gas to be measured according to the gas to be measured. If it does, concentration measurement according to the kind of measurement object gas contained in exhaust gas is possible.

そして、本発明のガス濃度測定システムは、排気ガス中の測定対象ガス濃度が低いために、排気管の管軸に対して垂直方向に、レーザー式ガス濃度測定装置の光軸を設定したのでは、十分なレーザー光による測定距離を確保できないために、レーザー式ガス濃度測定装置の光軸を、排気管の管軸に垂直な方向に対して傾いて設置する必要がある場合、すなわち、排気ガス中の測定対象ガス濃度が、低い場合に特に優れた効果を発揮する。本発明のガス濃度測定システムは、例えば、測定対象ガスが塩化水素であり、塩化水素ガス濃度が10ppm以下の排気ガス中の塩化水素濃度の測定、測定対象ガスが硫化水素であり、硫化水素ガス濃度が3ppm以下の排気ガス中の硫化水素濃度の測定、測定対象ガスが一酸化炭素であり、一酸化炭素ガス濃度が2%以下の排気ガス中の一酸化炭素濃度の測定等に、特に優れた効果を発揮する。   In the gas concentration measurement system of the present invention, the optical axis of the laser type gas concentration measurement apparatus is set in the direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe because the concentration of the measurement target gas in the exhaust gas is low. When it is necessary to install the optical axis of the laser type gas concentration measuring device at an angle with respect to the direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe, that is, exhaust gas It exhibits particularly excellent effects when the concentration of the gas to be measured is low. In the gas concentration measurement system of the present invention, for example, the measurement target gas is hydrogen chloride, and the measurement of the hydrogen chloride concentration in the exhaust gas having a hydrogen chloride gas concentration of 10 ppm or less; the measurement target gas is hydrogen sulfide; Particularly excellent for measuring hydrogen sulfide concentration in exhaust gas with a concentration of 3 ppm or less, and measuring carbon monoxide concentration in exhaust gas with carbon monoxide gas concentration of 2% or less. Exert a positive effect.

本発明のガス濃度測定システムは、レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が設置され、発光器の位置を固定するための第一フレームと、レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が設置され、受光器の位置を固定するための第二フレームと、を有する。第一フレーム及び第二フレームは、外気温の変化に関わらず、レーザー式ガス濃度測定装置の光軸がずれないように、レーザー式ガス濃度測定装置の発光器及び受光器の位置を固定するための部材である。そのため、第一フレーム及び第二フレームの材質又は構造は、外気温の変化による変形度合が少なく且つレーザー式ガス濃度測定装置の発光器及び受光器の位置を固定でき、レーザー式ガス濃度測定装置の光軸がずれないか又は光軸がずれたとしても有効なガス濃度測定ができる程度に留まるような材質、構造、形状等が、適宜選択される。   In the gas concentration measurement system of the present invention, the light emitter of the laser type gas concentration measurement device is installed, the first frame for fixing the position of the light emitter, and the light receiver of the laser type gas concentration measurement device are installed. And a second frame for fixing the position of the container. The first frame and the second frame fix the positions of the light emitter and the light receiver of the laser type gas concentration measuring device so that the optical axis of the laser type gas concentration measuring device does not shift regardless of the change of the outside air temperature. It is a member of Therefore, the material or structure of the first frame and the second frame has a low degree of deformation due to changes in the outside air temperature, and can fix the positions of the light emitter and the light receiver of the laser gas concentration measuring device. A material, a structure, a shape, and the like are selected as appropriate such that effective gas concentration measurement can be performed even if the optical axis does not shift or the optical axis shifts.

図1に示す形態例では、第一フレーム2及び第二フレーム12の位置をずれ難くするために、第一フレーム2の上部の一端と第二フレーム12の上部の一端が連結部9a1で繋がっており、且つ、第一フレーム2の上部の他端と第二フレーム12の上部の他端が連結部9a2で繋がっている。第一フレーム及び第二フレームの位置ずれを防ぐための形態例としては、これに限定されるものではなく、例えば、図1に示す形態例のように、第一フレームの上部の一端と第二フレームの上部の一端、及び第一フレームの上部の他端と第二フレームの上部の他端が、2つの連結部で繋がっている形態や、図8に示す形態例のように、第一フレームの上部の中央近傍と第二フレームの上部の中央近傍とが、1つの連結部で繋がっている形態例や、図9に示す形態例のように、第一フレームの上部の一端と第二フレームの上部の一端、及び第一フレームの上部の他端と第二フレームの上部の他端が、2つの連結部で繋がっており、且つ、第一フレームの下部の一端と第二フレームの下部の一端、及び第一フレームの下部の他端と第二フレームの下部の他端が、2つの連結部で繋がっている形態例が挙げられる。図8は、本発明のガス濃度測定システムの形態例を示す模式図であり、上から見た図である。図8中、ガス濃度測定システム10bでは、第一フレーム2の上部の中央近傍と第二フレーム12の上部の中央近傍とが、1つの連結部9bで繋がっている。図9は、本発明のガス濃度測定システムの形態例を示す模式図であり、図9(A)は、発光器及びレーザー光通過用第一側管を横から見た図であり、図9(B)は、発光器を光軸方向に見た図である。図9中、ガス濃度測定システム10cでは、第一フレーム2の上部の一端と第二フレーム12の上部の一端、及び第一フレーム2の上部の他端と第二フレーム12の上部の他端が、2つの連結部9c1で繋がっており、且つ、第一フレーム2の下部の一端と第二フレーム12の下部の一端、及び第一フレーム2の下部の他端と第二フレーム12の下部の他端が、2つの連結部9c2で繋がっている。   In the embodiment shown in FIG. 1, one end of the upper part of the first frame 2 and one end of the upper part of the second frame 12 are connected by the connecting part 9a1 in order to make it difficult to shift the positions of the first frame 2 and the second frame 12. The other end of the upper portion of the first frame 2 and the other end of the upper portion of the second frame 12 are connected by the connecting portion 9a2. The form example for preventing positional deviation of the first frame and the second frame is not limited to this. For example, as in the form example shown in FIG. 1, one end of the upper portion of the first frame and the second As in the embodiment shown in FIG. 8, one end of the upper part of the frame and the other end of the upper part of the first frame and the other end of the upper part of the second frame are connected by two connecting parts. As in the embodiment in which the vicinity of the upper center of the upper frame and the vicinity of the upper center of the second frame are connected by one connecting portion, or the embodiment shown in FIG. One end of the upper part of the first frame, and the other end of the upper part of the first frame and the other end of the upper part of the second frame are connected by two connection parts, and one end of the lower part of the first frame and the lower part of the second frame One end, and the other end of the lower part of the first frame and the second frame The other end of the section is, embodiments are connected by two connecting portions thereof. FIG. 8 is a schematic view showing an embodiment of the gas concentration measurement system of the present invention, as viewed from above. In FIG. 8, in the gas concentration measurement system 10b, the vicinity of the center of the upper portion of the first frame 2 and the vicinity of the center of the upper portion of the second frame 12 are connected by one connecting portion 9b. FIG. 9 is a schematic view showing an embodiment of the gas concentration measurement system of the present invention, and FIG. 9 (A) is a view of a light emitter and a first side tube for passing laser light as viewed from the side. (B) is the figure which looked at the light-emitting device in the optical axis direction. In FIG. 9, in the gas concentration measurement system 10c, one end of the upper portion of the first frame 2 and one end of the upper portion of the second frame 12 and the other end of the upper portion of the first frame 2 and the other end of the upper portion of the second frame 12 And one end of the lower part of the first frame 2 and one end of the lower part of the second frame 12, and the other end of the lower part of the first frame 2 and the lower part of the second frame 12 The end is connected by two connection parts 9c2.

また、本発明のガス濃度測定システムでは、第一フレーム及び第二フレームが、基礎又は土台に設置されることにより、第一フレーム及び第二フレームの位置をずれ難くできるのであれば、図10に示す形態例のように、第一フレーム2と第二フレーム12とが、連結部で繋がってなくてもよい。   Further, in the gas concentration measurement system of the present invention, if the first frame and the second frame are installed on the base or the base, it is possible to make it difficult to shift the positions of the first frame and the second frame, as shown in FIG. As in the embodiment shown, the first frame 2 and the second frame 12 may not be connected at the connecting portion.

本発明のガス濃度測定システムは、排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が排気管に繋がるレーザー光通過用第一側管と、排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が排気管に繋がるレーザー光通過用第二側管と、を有する。レーザー光通過用第一側管は、内側を発光器から排気管までレーザー光を通過させるための通過経路を形成する部材であり、また、レーザー光通過用第二側管は、内側を排気管から受光器までレーザー光を通過させるための通過経路を形成する部材である。レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の内径は、排気管が外気温の変化により伸縮して、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が移動しても、レーザー光の光軸が管内に収まる径が、適宜選択される。また、排気管が外気温の変化により伸縮しても、レーザー光の光軸が管内に収まるのであれば、レーザー光通過用第一側管の管軸とレーザー光通過用第二側管の管軸とが、多少ずれていてもよい。   In the gas concentration measurement system according to the present invention, the first side pipe for laser light passage, one end of which is connected to the exhaust pipe, and the pipe axis of the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe. And a second side pipe for passing laser light, one end of which is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the vertical direction. The first side pipe for passing laser light is a member that forms a passage path for passing the laser light from the light emitter to the exhaust pipe on the inside, and the second side pipe for passing laser light has an exhaust pipe on the inside Are members forming a passage for passing laser light from the sensor to the light receiver. The inside diameter of the first side tube for passing laser light and the second side tube for passing laser light is expanded and contracted by the change of the outside air temperature, so that the first side tube for passing laser light and the second side tube for passing laser light The diameter at which the optical axis of the laser beam is contained in the tube is appropriately selected even if the position of the lens moves. Also, even if the exhaust pipe expands and contracts due to changes in the outside air temperature, the pipe axis of the first side pipe for passing laser light and the pipe of the second side pipe for passing laser light if the optical axis of the laser light falls within the pipe. The axis may be slightly offset.

本発明のガス濃度測定システムでは、レーザー光の光軸が、排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、発光器が第一フレームに設置され、受光器が第二フレームに設定されている。本発明のガス濃度測定システムでは、レーザー光が、排気管の管軸に垂直な方向に対して傾いた向きで、排気管内を透過することができるので、レーザー光が排気ガスを透過する距離(レーザー光による測定距離)を長くすることができる。排気管の管軸に垂直な方向に対するレーザー光の光軸の傾き角は、排気管の内径、排気ガス中の測定対象ガス濃度により、十分なレーザー光による測定距離を確保できる範囲で、適宜選択されるが、好ましくは20〜80°、特に好ましくは30〜60°である。   In the gas concentration measurement system of the present invention, the light emitter is set in the first frame and the light receiver is set in the second frame so that the optical axis of the laser light is inclined with respect to the direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe. It is done. In the gas concentration measurement system of the present invention, the laser light can pass through the exhaust pipe in a direction inclined with respect to the direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe, so the distance through which the laser light passes through the exhaust gas ( Measurement distance by laser light can be extended. The inclination angle of the optical axis of the laser beam with respect to the direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe is appropriately selected within a range where a sufficient measurement distance by the laser light can be secured by the inner diameter of the exhaust pipe and the concentration of the measurement object gas in the exhaust gas. However, it is preferably 20 to 80 °, particularly preferably 30 to 60 °.

本発明のガス濃度測定システムでは、発光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、レーザー光通過用第一側管の他端側に繋がっており、且つ、受光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、レーザー光通過用第二側管の他端側に繋がっている。フレキシブル結合部の形状は、円筒状である。フレキシブル結合部の内側は、レーザー光通過用第一側管又はレーザー光通過用第二側管に続く、レーザー光の通過経路の一部となるため、フレキシブル結合部は、円筒状の形状を有する。フレキシブル結合部の内径は、排気管が外気温の変化により伸縮して、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が移動しても、レーザー光の光軸がフレキシブル結合部の内側に収まる径が、適宜選択される。   In the gas concentration measurement system of the present invention, the light emitter is connected to the other end side of the first side tube for passing laser light through the cylindrical flexible joint, and the light receiver is the cylindrical flexible It is connected to the other end side of the second side pipe for passing laser light through the coupling portion. The shape of the flexible joint is cylindrical. The flexible joint has a cylindrical shape because the inside of the flexible joint becomes a part of the laser light passage path following the first side tube for passing laser light or the second side tube for passing laser light. . Even if the exhaust pipe expands and contracts due to changes in the outside air temperature and the positions of the first side pipe for passing laser light and the second side pipe for passing laser light move, the optical axis of the laser beam is The diameter which fits inside the flexible joint is appropriately selected.

フレキシブル結合部は、外気温が変化して、排気管が管軸方向に伸縮し、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が変化して、発光器とレーザー光通過用第一側管との位置関係及び受光器とレーザー光通過用第二側管との位置関係がずれたときに、伸縮又は曲げ変形することにより、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置の変化を起因として、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管、レーザー光通過用第一側管又はレーザー光通過用第二側管と排気管との繋ぎ目、発光器又は受光器に加わる力を吸収できるものであれば、特に制限されず、材質、壁部構造等は、適宜選択される。フレキシブル結合部の材質としては、例えば、天然ゴム、合成ゴム、塩化ビニル、布、ステンレス鋼が挙げられる。フレキシブル結合部の壁部構造としては、例えば、蛇腹構造、球型構造等が挙げられる。   In the flexible joint, the outside air temperature changes, the exhaust pipe expands and contracts in the pipe axis direction, and the positions of the first side pipe for passing laser light and the second side pipe for passing laser light change. When the positional relationship with the first side tube for light passage and the positional relationship between the light receiver and the second side tube for laser beam passage are shifted, the first side tube for laser beam passage and the first side tube for laser beam passage Due to the change in the position of the second side tube for laser beam passage, the first side tube for laser beam passage and the second side tube for laser beam passage, the first side tube for laser beam passage or the second side for laser beam passage It is not particularly limited as long as it can absorb the force applied to the joint between the pipe and the exhaust pipe, the light emitter or the light receiver, and the material, the wall structure, and the like are appropriately selected. Examples of the material of the flexible joint include, for example, natural rubber, synthetic rubber, vinyl chloride, cloth, and stainless steel. Examples of the wall structure of the flexible joint include a bellows structure, a spherical structure, and the like.

本発明のガス濃度測定システムでは、レーザー式ガス濃度測定装置の発光器のレーザー光源から連続して、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光が、測定対象ガスを含む排気ガスが流れる排気管内に向けて出射され、出射されたレーザー光は、排気管内の排気ガスを透過し、排気ガスを透過したレーザー光を、受光器の受光素子が受光して、レーザー光が排気ガスを透過するときの測定対象ガスによるレーザー光の吸収量を求め、レーザー光の吸収量より、排気ガス中の測定対象ガスの濃度を演算して求めることにより、連続的に排気ガス中の測定対象ガス濃度が測定される。   In the gas concentration measurement system of the present invention, an exhaust pipe in which an exhaust gas containing the gas to be measured flows continuously from the laser light source of the light emitter of the laser type gas concentration measuring device and the laser light including the light absorption spectrum of the gas to be measured When the laser beam emitted toward and emitted through the exhaust pipe passes through the exhaust gas and the laser beam transmitted through the exhaust gas is received by the light receiving element of the light receiver and the laser beam passes through the exhaust gas The concentration of the gas to be measured in the exhaust gas is continuously measured by calculating the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas from the amount of absorption of the laser beam by calculating the concentration of the laser light by the gas to be measured. Be done.

そして、本発明のガス濃度測定システムでは、発光器及び受光器は、第一フレーム及び第二フレームにより、位置が固定されているため、連続して、排気ガス中の測定対象ガス濃度を測定している間に、外気温の変化により排気管が管軸方向に伸縮して、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が、排気管の管軸方向に移動しても、発光器及び受光器の位置はずれないか又はずれたとしても有効なガス濃度測定ができる程度に留まる。そのため、本発明のガス濃度測定システムでは、連続して、排気ガス中の測定対象ガス濃度を測定している間に、外気温の変化により排気管の管軸方向に伸縮して、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が、排気管の管軸方向に移動しても、発光器の発光軸と、受光器の受光軸とが、ずれないか又は殆どずれないため、排気管の管軸方向の伸縮に関わらず、連続して、精度高く測定対象ガス濃度の測定を行うことができる。   And in the gas concentration measurement system of the present invention, since the light emitter and the light receiver are fixed in position by the first frame and the second frame, the measurement object gas concentration in the exhaust gas is continuously measured. During this time, the exhaust pipe expands and contracts in the pipe axis direction due to changes in the outside air temperature, and the positions of the first side pipe for passing laser light and the second side pipe for passing laser light move in the pipe axis direction of the exhaust pipe Even if the positions of the light emitter and the light receiver do not shift, or even if they shift, the gas concentration can be measured effectively. Therefore, in the gas concentration measuring system of the present invention, while measuring the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas continuously, it is expanded and contracted in the axial direction of the exhaust pipe due to the change of the outside air temperature to pass the laser light Even if the positions of the first side tube and the second side tube for passing laser light move in the direction of the tube axis of the exhaust tube, the light emitting axis of the light emitter and the light receiving axis of the light receiver do not deviate Since there is no shift, measurement of the gas concentration to be measured can be continuously performed with high accuracy regardless of expansion and contraction in the axial direction of the exhaust pipe.

また、本発明のガス濃度測定システムでは、外気温の変化により排気管の管軸方向に伸縮して、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が、排気管の管軸方向に移動しても、フレキシブル結合部が変形するので、発光器及び受光器が、第一フレーム及び第二フレームに位置が固定されていても、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管に、大きな力が加わることはない。そのため、本発明のガス濃度測定システムでは、外気温の変化により排気管が管軸方向に伸縮して、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が、排気管の管軸方向に移動しても、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管が破損することが防がれる。また、本発明のガス濃度測定システムでは、外気温の変化により排気管が管軸方向に伸縮して、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管の位置が、排気管の管軸方向に移動しても、フレキシブル結合部が変形するので、発光器及び受光器が、第一フレーム及び第二フレームに位置が固定されていても、レーザー光通過用第一側管及びレーザー光通過用第二側管に、大きな力が加わることはないため、レーザー光通過用第一側管又はレーザー光通過用第二側管が繋がっている発光器又は受光器に力が加わることにより、光軸がずれることも防がれる。   Further, in the gas concentration measurement system of the present invention, the positions of the first side pipe for passing laser light and the second side pipe for passing laser light are expanded and contracted in the axial direction of the exhaust pipe due to changes in the outside air temperature. Since the flexible joint deforms even if it moves in the direction of the tube axis, the light emitter and the light receiver have the first side tube for passing laser light, even if the positions are fixed to the first frame and the second frame. A large force is not applied to the second side tube for passing laser light. Therefore, in the gas concentration measurement system of the present invention, the exhaust pipe expands and contracts in the pipe axis direction due to the change of the outside air temperature, and the positions of the first side pipe for passing laser light and the second side pipe for passing laser light Even in the direction of the tube axis, breakage of the first side tube for passing laser light and the second side tube for passing laser light can be prevented. Further, in the gas concentration measurement system of the present invention, the exhaust pipe expands and contracts in the pipe axis direction due to the change of the outside air temperature, and the positions of the first side pipe for passing laser light and the second side pipe for passing laser light Since the flexible joint deforms even if it moves in the direction of the tube axis, the light emitter and the light receiver have the first side tube for passing laser light, even if the positions are fixed to the first frame and the second frame. Since a large force is not applied to the second side pipe for passing laser light, a force is applied to the light emitter or the receiver to which the first side pipe for passing laser light or the second side pipe for passing laser light is connected. By this, it is also possible to prevent the optical axis from shifting.

また、本発明のガス濃度測定システムでは、レーザー光通過用第一側管の管軸とレーザー光通過用第二側管の管軸が多少ずれていたとしても、フレキシブル結合部があるので、発光器の出射レーザー光の光軸と受光器の受光軸とがずれないように、発光器及び受光器を第一フレーム及び第二フレームに固定することができる。そのため、本発明のガス濃度測定システムによれば、簡便に、ガス濃度測定システムを構築することができる。   Further, in the gas concentration measurement system of the present invention, even if the tube axis of the first side tube for laser beam passage and the tube axis of the second side tube for laser beam passage are somewhat deviated, the light emission is possible because there is a flexible joint. The light emitter and the light receiver can be fixed to the first frame and the second frame so that the optical axis of the outgoing laser light of the device and the light receiving axis of the light receiver do not shift. Therefore, according to the gas concentration measurement system of the present invention, the gas concentration measurement system can be simply constructed.

以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。   Hereinafter, the present invention will be more specifically described by way of examples, but this is merely an example and does not limit the present invention.

(実施例1)
塩化水素ガス濃度が10ppm程度の排気ガスが排出される四塩化チタンの製造設備の塩化ビニル製排気管(内径:500mm)に、図1に示すガス濃度測定システム10aを設置し、24時間、連続で塩素ガス濃度を測定した。そのときの排気管の伸縮による発光器の出射レーザー光の光軸に対する受光器の受光量の変動量を測定した。その結果を図14に示す。また、塩化水素ガス濃度の測定結果も併記する。
・レーザー式ガス濃度測定装置:富士電機株式会社製、直接挿入型レーザー方式ガス分析計ZSS
・レーザー通過用第一側管及びレーザー通過用第二側管:材質は塩化ビニル、内径50mm
・フレキシブル結合部:材質は合成ゴム、壁部構造は蛇腹構造、内径80mm
Example 1
The gas concentration measurement system 10a shown in FIG. 1 was installed in the vinyl chloride exhaust pipe (inner diameter: 500 mm) of the titanium tetrachloride production facility from which exhaust gas with a hydrogen chloride gas concentration of about 10 ppm is discharged. The chlorine gas concentration was measured by The fluctuation amount of the light reception amount of the light receiver with respect to the optical axis of the emission laser light of the light emitter due to the expansion and contraction of the exhaust pipe at that time was measured. The results are shown in FIG. In addition, the measurement results of hydrogen chloride gas concentration are also described.
・ Laser gas concentration measuring device: made by Fuji Electric Co., Ltd., direct insertion laser gas analyzer ZSS
・ Laser passage first side pipe and laser passage second side pipe: Material is vinyl chloride, inner diameter 50 mm
· Flexible joint: Material is synthetic rubber, wall structure is bellows structure, inner diameter 80 mm

(比較例1)
塩化水素ガス濃度が10ppm程度の排気ガスが排出される四塩化チタンの製造設備の塩化ビニル製排気管(内径:500mm)に、図12に示すガス濃度測定システム60を設置し、24時間、連続で塩素ガス濃度を測定した。そのときの排気管の伸縮による発光器の出射レーザー光の光軸に対する受光器の受光量の変動量を測定した。その結果を図15に示す。また、塩化水素ガス濃度の測定結果も併記する。
・レーザー式ガス濃度測定装置:富士電機株式会社製、直接挿入型レーザー方式ガス分析計ZSS
・レーザー通過用第一側管及びレーザー通過用第二側管:材質は塩化ビニル、内径50mm
(Comparative example 1)
The gas concentration measurement system 60 shown in FIG. 12 was installed in the vinyl chloride exhaust pipe (inner diameter: 500 mm) of the titanium tetrachloride production facility from which exhaust gas with a hydrogen chloride gas concentration of about 10 ppm is discharged. The chlorine gas concentration was measured by The fluctuation amount of the light reception amount of the light receiver with respect to the optical axis of the emission laser light of the light emitter due to the expansion and contraction of the exhaust pipe at that time was measured. The results are shown in FIG. In addition, the measurement results of hydrogen chloride gas concentration are also described.
・ Laser gas concentration measuring device: made by Fuji Electric Co., Ltd., direct insertion laser gas analyzer ZSS
・ Laser passage first side pipe and laser passage second side pipe: Material is vinyl chloride, inner diameter 50 mm

1 発光器
2 第一フレーム
3 レーザー光通過用第一側管
4 発光器設置用フランジ部材
5、15 フレキシブル結合部
6 発光器の取付フランジ部
7 レーザー光の光軸、発光器の出射レーザー光の光軸
9a1、9a2、9b、9c1、9c2 連結部
10a、10b、10c、10d ガス濃度測定システム
11 受光器
12 第二フレーム
13 レーザー光通過用第二側管
14 受光器設置用フランジ部材
16 受光器の取付フランジ部
21 外側フレーム部
22 発光器下側固定フレーム部
23 発光器上側固定フレーム部
24 発光器左側固定フレーム部
25 発光器右側固定フレーム部
29 排気管の管軸
30 排気管
31 排気ガス
32 排気管の管軸方向
33 排気管の管軸に垂直な方向
121 外側フレーム部
122 受光器下側固定フレーム部
124 受光器左側固定フレーム部
125 受光器右側固定フレーム部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light emitter 2 First frame 3 First side tube 4 for laser beam passage 4 Flange member for light emitter installation 5, 15 Flexible joint portion 6 Mounting flange portion 7 of light emitter Optical axis of laser light, of emitted laser light of light emitter Optical axis 9a1, 9a2, 9b, 9c1, 9c2 Connection part 10a, 10b, 10c, 10d Gas concentration measurement system 11 Photodetector 12 Second frame 13 Second side tube 14 for laser light passage 14 Flange member for light receiver installation 16 Photodetector Mounting flange 21 outer frame 22 emitter lower fixed frame 23 emitter upper fixed frame 24 emitter left fixed frame 25 emitter right fixed frame 29 exhaust pipe tube axis 30 exhaust pipe 31 exhaust gas 32 Tube axial direction 33 of the exhaust pipe Direction 121 perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe Outer frame portion 122 Photoreceiver lower fixed frame portion 124 Left fixed frame portions 125 photoreceiver right fixing frame portion

Claims (5)

測定対象ガスを含む排気ガスが流れる排気管内に、測定対象ガスの光吸収スペクトルを含むレーザー光を透過させ、該レーザー光が該排気管内の該排気ガスを透過するときの測定対象ガスによる該レーザー光の吸収量を求め、該レーザー光の吸収量より、該排気ガス中の該測定対象ガスの濃度を求めるレーザー式ガス濃度測定装置と、
該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が設置され、該発光器の位置を固定するための第一フレームと、
該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が設置され、該受光器の位置を固定するための第二フレームと、
内側を該発光器から該排気管まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第一側管と、
内側を該排気管から該受光器まで該レーザー光が通過する管であり、該排気管の管軸に垂直な方向に対して管軸が傾くように、一端が該排気管に繋がっているレーザー光通過用第二側管と、
を有し、
該レーザー光の光軸が、該排気管の管軸に垂直な方向に対して傾くように、該レーザー式ガス濃度測定装置の発光器が該第一フレームに設置され、該レーザー式ガス濃度測定装置の受光器が該第二フレームに設定されており、
該発光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第一側管の他端側に繋がっており、該受光器が、円筒状のフレキシブル結合部を介して、該レーザー光通過用第二側管の他端側に繋がっていること、
を特徴とするガス濃度測定システム。
The laser by the gas to be measured when the laser light including the light absorption spectrum of the gas to be measured is transmitted through the exhaust pipe in which the exhaust gas containing the gas to be measured flows, and the laser light transmits the exhaust gas in the exhaust pipe A laser type gas concentration measuring device for determining the amount of absorption of light and determining the concentration of the gas to be measured in the exhaust gas from the amount of absorption of the laser light;
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a first frame for fixing the position of the light emitter,
A light receiver of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed, and a second frame for fixing the position of the light receiver;
A laser through which the laser light passes from the light emitter to the exhaust pipe from the light source, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A first side tube for light passage,
A laser through which the laser beam passes from the exhaust pipe to the light receiver on the inside, and a laser whose one end is connected to the exhaust pipe so that the pipe axis is inclined with respect to the direction perpendicular to the pipe axis of the exhaust pipe A second side pipe for light passage,
Have
A light emitter of the laser type gas concentration measuring apparatus is installed in the first frame so that the optical axis of the laser light is inclined with respect to a direction perpendicular to the tube axis of the exhaust pipe, and the laser type gas concentration measurement The receiver of the device is set to the second frame,
The light emitter is connected to the other end of the first side tube for passing laser light through a cylindrical flexible joint, and the light receiver is connected to the laser through a cylindrical flexible joint. Being connected to the other end of the second side pipe for light passage,
Gas concentration measurement system characterized by
前記測定対象ガスが、塩化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、硫化水素又は酸素であることを特徴とする請求項1記載のガス濃度測定システム。   The gas concentration measurement system according to claim 1, wherein the gas to be measured is hydrogen chloride, carbon monoxide, carbon dioxide, hydrogen sulfide or oxygen. 前記測定対象ガスが塩化水素であり、且つ、前記排気ガス中の塩化水素濃度が10ppm以下であることを特徴とする請求項1記載のガス濃度測定システム。   The gas concentration measurement system according to claim 1, wherein the gas to be measured is hydrogen chloride, and the concentration of hydrogen chloride in the exhaust gas is 10 ppm or less. 前記排気管の材質がポリエチレン、ポリプロピレン、炭素鋼又はステンレス鋼であることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載のガス濃度測定システム。   The gas concentration measurement system according to any one of claims 1 to 3, wherein a material of the exhaust pipe is polyethylene, polypropylene, carbon steel or stainless steel. 前記第一フレームと前記第二フレームとが、連結部で繋がっていることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載のガス濃度測定システム。

The gas concentration measurement system according to any one of claims 1 to 4, wherein the first frame and the second frame are connected at a connection portion.

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