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JP2020092494A - Actuator - Google Patents

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JP2020092494A
JP2020092494A JP2018227069A JP2018227069A JP2020092494A JP 2020092494 A JP2020092494 A JP 2020092494A JP 2018227069 A JP2018227069 A JP 2018227069A JP 2018227069 A JP2018227069 A JP 2018227069A JP 2020092494 A JP2020092494 A JP 2020092494A
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corner portion
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宏光 武井
Hiromitsu Takei
宏光 武井
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Nidec Sankyo Corp
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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  • Power Engineering (AREA)
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  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

To provide an actuator which can suppress the occurrence of a chatter sound from a substrate.SOLUTION: In an actuator substrate 2, a first support 21, having a first corner part 160 of a first case member 16 overlapped with a second corner part 600 of a holder 60 in a first direction Z, includes: a first non-contact area 211 in which the first corner part 160 and the second corner part 600 are mutually apart in the first direction Z; and a first contact area 212 in which the first corner part 160 contacts to the second corner part 600 in the first direction Z. This causes a limited contact area between the first corner part 160 and the second corner part 600. Therefore, by the first contact area 212, the first corner part 160 and the second corner part 600 can be made to mutually contact in a stable state. The first contact area 212 is provided in a manner to surround the first non-contact area 211, and a first adhesive is provided in the first non-contact area 211. Therefore, if a vibration is transmitted to the first support 21, a chatter sound is hard to occur.SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、可動体を振動させるアクチュエータに関するものである。 The present invention relates to an actuator that vibrates a movable body.

情報を振動によって報知するデバイスとして、支持体と、可動体と、支持体および可動体に接続された接続体と、可動体を支持体に対して相対移動させる磁気駆動回路とを有するアクチュエータが提案されており、磁気駆動回路は、例えば、第1方向で対向するコイルおよび磁石によって、可動体を第1方向と交差する第2方向に駆動する(特許文献1参照)。特許文献1に記載のアクチュエータにおいて、支持体では、第1ケース部材、ホルダ、および第2ケース部材が第1方向に重ねて配置されている。 An actuator having a support, a movable body, a support and a connecting body connected to the movable body, and a magnetic drive circuit for moving the movable body relative to the support is proposed as a device for reporting information by vibration. The magnetic drive circuit drives the movable body in a second direction that intersects the first direction by, for example, a coil and a magnet that face each other in the first direction (see Patent Document 1). In the actuator described in Patent Document 1, in the support, the first case member, the holder, and the second case member are arranged so as to overlap in the first direction.

特開2017−135948号公報JP, 2017-135948, A

特許文献1に記載のアクチュエータでは、第1ケース部材、ホルダ、および第2ケース部材の角部同士が互いに重なって支持部を構成している。しかしながら、第1ケース部材、ホルダ、および第2ケース部材を製造する際の寸法公差等の影響で第1ケース部材、ホルダ、および第2ケース部材の角部に隙間が発生すると、可動体が駆動された際の振動で角部同士が衝突し、びびり音が発生するという問題点がある。 In the actuator described in Patent Document 1, the corner portions of the first case member, the holder, and the second case member overlap with each other to form a support portion. However, if a gap occurs at the corners of the first case member, the holder, and the second case member due to dimensional tolerances when manufacturing the first case member, the holder, and the second case member, the movable body is driven. There is a problem that the corners collide with each other due to the vibration at the time of being struck and a chatter noise is generated.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、支持体からのびびり音の発生を抑制することのできるアクチュエータを提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an actuator that can suppress the generation of chattering noise from a support.

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、前記支持体に対して前記可動体を相対移動させる磁気駆動回路と、を備え、前記支持体は、前記磁気駆動回路のコイルおよび磁石のうちの一方を保持するホルダと、前記ホルダに第1方向の一方側で重なる第1ケース部材と、を備え、前記第1ケース部材の角付近である第1角部と前記ホルダの角付近である第2角部とは前記第1方向で重なって第1支持部を構成し、前記第1支持部には、前記第1角部と前記第2角部とが前記第1方向で離間する第1非接触領域と、前記第1非接触領域に隣接する位置で前記第1角部と前記第2角部とが前記第1方向で接する第1接触領域と、が設けられていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, an actuator according to the present invention has a support, a movable body, and at least one of elasticity and viscoelasticity, and a connection body connected to the movable body and the support, and the support. A magnetic drive circuit that moves the movable body relative to the body, the support body includes a holder that holds one of a coil and a magnet of the magnetic drive circuit, and one of the holder in the first direction. A first case member that overlaps on the side, and a first corner portion near the corner of the first case member and a second corner portion near the corner of the holder overlap in the first direction to provide first support. A first non-contact region where the first corner and the second corner are separated from each other in the first direction, and a position adjacent to the first non-contact region in the first support part. And a first contact region in which the first corner and the second corner are in contact with each other in the first direction.

本発明において、第1ケース部材の第1角部とホルダの第2角部とが第1方向で重なる第1支持部には、第1角部と第2角部とが第1方向で離間する第1非接触領域と、第1角部と第2角部とが第1方向で接する第1接触領域とが設けられているため、第1角部と第2角部とが接触する領域が限定されている。従って、第1角部と第2角部とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体を駆動した際の振動等が第1支持部に伝わっても、第1支持部からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, in the first support portion where the first corner portion of the first case member and the second corner portion of the holder overlap in the first direction, the first corner portion and the second corner portion are separated from each other in the first direction. Since the first non-contact area and the first contact area where the first corner and the second corner contact in the first direction are provided, the area where the first corner and the second corner contact each other Are limited. Therefore, the first corner and the second corner can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the first support portion, chatter noise is unlikely to be generated from the first support portion.

本発明において、前記第1接触領域は、前記第1非接触領域の周りを囲むように設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1角部と第2角部とを安定した状態で接触させることができるので、可動体を駆動した際の振動等が第1支持部に
伝わっても、第1支持部からびびり音が発生しにくい。
In the present invention, it is possible to adopt a mode in which the first contact region is provided so as to surround the first non-contact region. According to this aspect, the first corner portion and the second corner portion can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the first support portion, the first support portion Chatter is less likely to be generated from the part.

本発明において、前記第1非接触領域には接着剤が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1角部と第2角部とが安定した状態で支持し合うことになるので、可動体を駆動した際の振動等が第1支持部に伝わっても、第1支持部からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, a mode in which an adhesive is provided in the first non-contact area can be adopted. According to this aspect, since the first corner portion and the second corner portion support each other in a stable state, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the first support portion, Chatter is less likely to be generated from the support part.

本発明において、前記支持体の端面では、前記第1角部の外縁部と前記第2角部の外縁部とが第1隙間を介して対向している態様を採用することができる。かかる態様によれば、可動体を駆動した際の振動等が第1支持部に伝わっても、支持体の端面からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, it is possible to employ a mode in which the outer edge portion of the first corner portion and the outer edge portion of the second corner portion face each other with a first gap on the end surface of the support. According to this aspect, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the first support portion, chatter noise is unlikely to be generated from the end surface of the support body.

本発明において、前記第1角部の外縁部、および前記第2角部の外縁部の一方は、前記第1隙間をL字状に屈曲させる第1屈曲部を有している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1隙間からの異物の侵入を抑制することができる。 In the present invention, one of the outer edge portion of the first corner portion and the outer edge portion of the second corner portion has a first bent portion that bends the first gap into an L shape. be able to. According to this aspect, it is possible to suppress the entry of foreign matter from the first gap.

本発明において、前記支持体は、前記ホルダに前記第1方向の他方側で重なる第2ケース部材を備え、前記第2角部と前記第2ケース部材の角付近である第3角部とは前記第1方向で重なって第2支持部を構成しており、前記第2支持部には、前記第2角部と前記第3角部とが前記第1方向で離間する第2非接触領域と、前記第2非接触領域に隣接する位置で前記第2角部と前記第3角部とが前記第1方向で接する第2接触領域と、が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第2ケース部材の第3角部とホルダの第2角部とが第1方向で重なる第2支持部には、第2角部と第3角部とが第1方向で離間する第2非接触領域と、第2角部と第3角部とが第1方向で接する第2接触領域とが設けられているため、第2角部と第3角部とが接触する領域が限定されている。従って、第2角部と第3角部とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体を駆動した際の振動等が第2支持部に伝わっても、第2支持部からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, the support includes a second case member that overlaps the holder on the other side in the first direction, and the second corner portion and the third corner portion near the corner of the second case member are different from each other. A second non-contact region in which the second corner portion and the third corner portion are separated from each other in the first direction by forming a second support portion by overlapping in the first direction. And a second contact region in which the second corner portion and the third corner portion are in contact with each other in the first direction at a position adjacent to the second non-contact region can be employed. .. According to this aspect, in the second support portion where the third corner portion of the second case member and the second corner portion of the holder overlap in the first direction, the second corner portion and the third corner portion have the first direction. Since the second non-contact area spaced apart by and the second contact area where the second corner portion and the third corner portion contact in the first direction are provided, the second corner portion and the third corner portion are in contact with each other. The area to do is limited. Therefore, the second corner and the third corner can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the second support portion, chatter noise is unlikely to be generated from the second support portion.

本発明において、前記第2接触領域は、前記第2非接触領域の周りを囲むように設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第2角部と第3角部とを安定した状態で接触させることができるので、可動体を駆動した際の振動等が第2支持部に伝わっても、第2支持部からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, it is possible to adopt a mode in which the second contact region is provided so as to surround the second non-contact region. According to this aspect, the second corner portion and the third corner portion can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the second support portion, the second support portion Chatter is less likely to be generated from the part.

本発明において、前記第2非接触領域に接着剤が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第2角部と第3角部とを安定した状態で接触させることができるので、可動体を駆動した際の振動等が第2支持部に伝わっても、第2支持部からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, an aspect in which an adhesive is provided in the second non-contact area can be adopted. According to this aspect, the second corner portion and the third corner portion can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the second support portion, the second support portion Chatter is less likely to be generated from the part.

本発明において、前記支持体の端面では、前記第2角部の外縁部と前記第3角部の外縁部とが第2隙間を介して対向している態様を採用することができる。かかる態様によれば、可動体を駆動した際の振動等が第2支持部に伝わっても、支持体の端面からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, it is possible to employ a mode in which the outer edge portion of the second corner portion and the outer edge portion of the third corner portion face each other with a second gap on the end surface of the support. According to this aspect, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the second support portion, chatter noise is unlikely to be generated from the end surface of the support body.

本発明において、前記第2角部の外縁部、および前記第3角部の外縁部の一方は、前記第2隙間をL字状に屈曲させる第2屈曲部を有している態様を採用することができる。かかる態様によれば、第2隙間からの異物の侵入を抑制することができる。 In the present invention, one of the outer edge portion of the second corner portion and the outer edge portion of the third corner portion has a second bent portion that bends the second gap into an L shape. be able to. According to this aspect, it is possible to suppress the entry of foreign matter from the second gap.

本発明において、前記第1ケース部材の前記第1角部から延在する壁部と、前記ホルダの前記第2角部から延在する壁部とは、前記支持体の端面で少なくとも一部が非接触状態
にある態様を採用することができる。かかる態様によれば、第1ケース部材の壁部とホルダの壁部との間からびびり音が発生しにくい。
In the present invention, at least a part of the wall portion extending from the first corner portion of the first case member and the wall portion extending from the second corner portion of the holder are at least part of the end surface of the support body. A non-contact state can be adopted. According to this aspect, chatter is unlikely to occur between the wall of the first case member and the wall of the holder.

本発明において、前記コイルと前記磁石とは前記第1方向で対向し、前記磁気駆動回路は、前記支持体に対して前記可動体を前記第1方向に対して交差する第2方向に相対移動させる態様を採用することができる。 In the present invention, the coil and the magnet face each other in the first direction, and the magnetic drive circuit relatively moves the movable body with respect to the support body in a second direction intersecting the first direction. It is possible to adopt a mode in which it is set.

本発明において、本発明において、第1ケース部材の第1角部とホルダの第2角部とが第1方向で重なる第1支持部には、第1角部と第2角部とが第1方向で離間する第1非接触領域と、第1角部と第2角部とが第1方向で接する第1接触領域とが設けられているため、第1角部と第2角部とが接触する領域が限定されている。従って、第1角部と第2角部とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体を駆動した際の振動等が第1支持部に伝わっても、第1支持部からびびり音が発生しにくい。 In the present invention, in the present invention, the first support portion where the first corner portion of the first case member and the second corner portion of the holder overlap in the first direction has the first corner portion and the second corner portion. Since the first non-contact area separated in one direction and the first contact area where the first corner and the second corner contact in the first direction are provided, the first corner and the second corner are formed. The contact area is limited. Therefore, the first corner and the second corner can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body is driven is transmitted to the first support portion, chatter noise is unlikely to be generated from the first support portion.

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図。The perspective view of the actuator concerning the embodiment of the present invention. 図1に示すアクチュエータのXZ断面図。The XZ sectional view of the actuator shown in FIG. 図1に示すアクチュエータを分解して第1方向の一方側からみたときの分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator shown in FIG. 1 when disassembled and viewed from one side in a first direction. 図1に示すアクチュエータを分解して第1方向の他方側からみたときの分解斜視図。FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator shown in FIG. 1 when disassembled and viewed from the other side in the first direction. 図2に示す磁気駆動回路の分解斜視図。FIG. 3 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit shown in FIG. 2. 図5に示すホルダおよびコイル等の説明図。Explanatory drawing of a holder, a coil, etc. which are shown in FIG. 図6に示すホルダ等の説明図。Explanatory drawing of the holder etc. which are shown in FIG. 図2に示す可動体の説明図。Explanatory drawing of the movable body shown in FIG. 図3に示す第1角部および第2角部を第1方向の他方側からみた斜視図。The perspective view which looked at the 1st corner and the 2nd corner shown in Drawing 3 from the other side of the 1st direction. 図4に示す第2角部および第3角部を第1方向の一方側からみた斜視図。The perspective view which looked at the 2nd corner and the 3rd corner shown in Drawing 4 from one side of the 1st direction. 図9に示す第1角部を通る位置で支持体を切断したときのXZ断面図。FIG. 10 is an XZ sectional view when the support body is cut at a position that passes through the first corner shown in FIG. 9. 図9に示す第1角部を通る位置で支持体を切断したときのYZ断面図。FIG. 10 is a YZ sectional view when the support body is cut at a position passing through the first corner shown in FIG. 9. 図9に示す第1角部の間で支持体を切断したときのXZ断面図。FIG. 10 is an XZ cross-sectional view when the support is cut between the first corners shown in FIG. 9. 図9に示す第1角部の間で支持体を切断したときのYZ断面図。FIG. 10 is a YZ cross-sectional view when the support is cut between the first corners shown in FIG. 9. 図9および図10に示す貫通穴を通る位置で支持体を切断したときのYZ断面図。FIG. 11 is a YZ sectional view when the support body is cut at a position passing through the through hole shown in FIGS. 9 and 10. 図9および図10に示す貫通穴を通る位置で支持体を切断したときのXZ断面図。FIG. 11 is an XZ sectional view when the support body is cut at a position passing through the through hole shown in FIGS. 9 and 10. 図5等に示す配線基板とホルダの第3壁部との間の隙間を示す断面図。Sectional drawing which shows the clearance gap between the wiring board shown in FIG. 5, etc. and the 3rd wall part of a holder.

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する3つの方向を各々、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yとして説明する。また、第1方向Z、第2方向Xおよび第3方向Yは、互いに直交する方向である。また、第2方向Xの一方側にX1を付し、第2方向Xの他方側にX2を付し、第3方向Yの一方側にY1を付し、第3方向Yの他方側にY2を付し、第1方向Zの一方側にZ1を付し、第1方向Zの他方側にZ2を付して説明する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the three directions that intersect each other will be described as a first direction Z, a second direction X, and a third direction Y, respectively. Further, the first direction Z, the second direction X, and the third direction Y are directions orthogonal to each other. Further, X1 is attached to one side of the second direction X, X2 is attached to the other side of the second direction X, Y1 is attached to one side of the third direction Y, and Y2 is attached to the other side of the third direction Y. , Z1 is attached to one side of the first direction Z, and Z2 is attached to the other side of the first direction Z.

また、以下に説明するアクチュエータ1の磁気駆動回路6では、コイル7が支持体2(一方側部材)の側に設けられ、磁石8が可動体3(他方側部材)の側に設けられた態様、および磁石8が支持体2(他方側部材)の側に設けられ、コイル7が可動体3(一方側部材)の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル7が支持体
2の側に設けられ、磁石8が可動体3の側に設けられた態様を中心に説明する。
In the magnetic drive circuit 6 of the actuator 1 described below, the coil 7 is provided on the support 2 (one side member) side, and the magnet 8 is provided on the movable body 3 (other side member) side. , And the magnet 8 are provided on the side of the support body 2 (member on the other side), and the coil 7 is provided on the side of the movable body 3 (member on the one side). In the following description, the coil 7 is provided on the support body 2 side and the magnet 8 is provided on the movable body 3 side.

(全体構成)
図1は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ1の斜視図である。図2は、図1に示すアクチュエータ1のXZ断面図である。図3は、図1に示すアクチュエータ1を分解して第1方向Zの一方側Z1からみたときの分解斜視図である。図4は、図1に示すアクチュエータ1を分解して第1方向Zの他方側Z2からみたときの分解斜視図である。
(overall structure)
FIG. 1 is a perspective view of an actuator 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an XZ sectional view of the actuator 1 shown in FIG. FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator 1 shown in FIG. 1 when disassembled and viewed from one side Z1 of the first direction Z. FIG. 4 is an exploded perspective view when the actuator 1 shown in FIG. 1 is disassembled and viewed from the other side Z2 in the first direction Z.

図1および図2に示すように、本形態のアクチュエータ1は、全体として、第2方向Xの寸法が第3方向Yの寸法より大きい直方体形状を有している。また、図2に示すように、アクチュエータ1は、支持体2と、支持体2に移動可能に支持された可動体3と、可動体3を支持体2に対して相対移動させる磁気駆動回路6とを有しており、磁気駆動回路6は、可動体3を第2方向Xに振動させる。 As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator 1 of the present embodiment has a rectangular parallelepiped shape in which the dimension in the second direction X is larger than the dimension in the third direction Y as a whole. In addition, as shown in FIG. 2, the actuator 1 includes a support body 2, a movable body 3 movably supported by the support body 2, and a magnetic drive circuit 6 for relatively moving the movable body 3 with respect to the support body 2. The magnetic drive circuit 6 vibrates the movable body 3 in the second direction X.

図1、図2および図3に示すように、支持体2は、ホルダ60と、ホルダ60に第1方向Zの一方側Z1で重なる第1ケース部材16と、ホルダ60に第1方向Zの他方側Z2で重なる第2ケース部材17とを有しており、第1ケース部材16と第2ケース部材17との間に可動体3および磁気駆動回路6が配置される。第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17は各々、四角形の平面形状を有している。第1ケース部材16の角付近である第1角部160、ホルダ60の角付近である第2角部600、および第2ケース部材17の角付近である第3角部170は第1方向Zで重なっている。本形態において、第1ケース部材16、ホルダ60、および第2ケース部材17は各々、樹脂製である。なお、角付近とは、角および角に隣接する領域を含む意味である。 As shown in FIGS. 1, 2 and 3, the support 2 includes a holder 60, a first case member 16 overlapping the holder 60 on one side Z1 in the first direction Z, and a holder 60 in the first direction Z. The second case member 17 overlaps on the other side Z2, and the movable body 3 and the magnetic drive circuit 6 are arranged between the first case member 16 and the second case member 17. The first case member 16, the holder 60 and the second case member 17 each have a quadrangular planar shape. The first corner 160 near the corner of the first case member 16, the second corner 600 near the corner of the holder 60, and the third corner 170 near the corner of the second case member 17 are in the first direction Z. It overlaps with. In the present embodiment, each of the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17 is made of resin. Note that the vicinity of a corner means a corner and a region adjacent to the corner.

図3および図4に示すように、第1ケース部材16は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部161と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部162と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部163と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部164とによって囲まれた底板部165を有している。第1方向Zからみたとき、第1壁部161および第2壁部162の幅(第2方向Xの寸法)は、第3壁部163および第4壁部164の幅(第3方向Yの寸法)より広い。 As shown in FIGS. 3 and 4, the first case member 16 includes a first wall portion 161 located on one side X1 of the second direction X and a second wall portion located on the other side X2 of the second direction X. 162, a third wall portion 163 located on one side Y1 in the third direction Y, and a fourth wall portion 164 located on the other side Y2 in the third direction Y, and has a bottom plate portion 165. .. When viewed from the first direction Z, the widths (dimensions in the second direction X) of the first wall portion 161 and the second wall portion 162 are the widths of the third wall portion 163 and the fourth wall portion 164 (in the third direction Y). Dimension) wider.

第1ケース部材16の4つの角付近の各々には、第1方向Zの他方側Z2に向けて開口した位置決め用の穴16cが形成されている。また、第1ケース部材16の一方の対角位置には、ネジ18を止めるための有底の穴16eが形成され、他方の対角位置には貫通穴16fが形成されている。 Positioning holes 16c opened toward the other side Z2 in the first direction Z are formed near each of the four corners of the first case member 16. Further, a bottomed hole 16e for fixing the screw 18 is formed at one diagonal position of the first case member 16, and a through hole 16f is formed at the other diagonal position.

底板部165の第1方向Zの他方側Z2の面には、第2方向Xで並ぶ2つの凹部166、167が形成されている。凹部166の第2方向Xの一方側X1の角、および凹部167の第2方向Xの他方側X2の角には貫通穴16aが形成されている。凹部166、167の第3方向Yの両端部には貫通穴16bが形成されている。 On the surface of the bottom plate portion 165 on the other side Z2 in the first direction Z, two recesses 166 and 167 arranged in the second direction X are formed. Through holes 16a are formed at the corners of the recess 166 on one side X1 in the second direction X and the corners of the recess 167 on the other side X2 in the second direction X. Through holes 16b are formed at both ends of the recesses 166 and 167 in the third direction Y.

第3壁部163の外面では、第3方向Yの他方側Y2に凹んだ凹部168が第2方向Xに沿って延在している。第3壁部163では、第1方向Zの他方側Z2に突出した複数の凸板部163aが第2方向Xに沿って所定の間隔に形成されている。第1壁部161および第2壁部162には、第1方向Zの他方側Z2に突出した円柱状の凸部161h、162hが形成されている。また、第1壁部161および第2壁部162には、外縁部から第1方向Zの他方側Z2に突出した凸板部161a、162aが第3方向Yの中央に形成されている。 On the outer surface of the third wall portion 163, a concave portion 168 recessed on the other side Y2 in the third direction Y extends along the second direction X. In the third wall portion 163, a plurality of convex plate portions 163a protruding toward the other side Z2 in the first direction Z are formed along the second direction X at predetermined intervals. The first wall portion 161 and the second wall portion 162 are formed with columnar protrusions 161h and 162h protruding toward the other side Z2 in the first direction Z. Further, on the first wall portion 161 and the second wall portion 162, convex plate portions 161a and 162a protruding from the outer edge portion to the other side Z2 in the first direction Z are formed in the center in the third direction Y.

第2ケース部材17は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部171と、第2方
向Xの他方側X2に位置する第2壁部172と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部173と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部174とによって囲まれた底板部175を有している。第1方向Zからみたとき、第1壁部171および第2壁部172の幅(第2方向Xの寸法)は、第3壁部173および第4壁部174の幅(第3方向Yの寸法)より広い。
The second case member 17 includes a first wall portion 171 located on one side X1 of the second direction X, a second wall portion 172 located on the other side X2 of the second direction X, and one side of the third direction Y. The bottom plate part 175 is surrounded by the third wall part 173 located in Y1 and the fourth wall part 174 located on the other side Y2 in the third direction Y. When viewed from the first direction Z, the widths (dimensions in the second direction X) of the first wall portion 171 and the second wall portion 172 are the widths of the third wall portion 173 and the fourth wall portion 174 (in the third direction Y). Dimension) wider.

第2ケース部材16の4つの角付近の各々には、第1方向Zの一方側Z1に向けて開口した位置決め用の凹部17dが形成されている。また、第2ケース部材17の一方の対角位置には、ネジ18を止めるための貫通穴17eが形成され、他方の対角位置には貫通穴17fが形成されている。 Positioning recesses 17d that are open toward the one side Z1 in the first direction Z are formed near each of the four corners of the second case member 16. A through hole 17e for fixing the screw 18 is formed at one diagonal position of the second case member 17, and a through hole 17f is formed at the other diagonal position.

底板部175の第1方向Zの一方側Z1の面には、第2方向Xで並ぶ2つの凹部176、177が形成されている。また、凹部176、177の縁には、切り欠き17bが形成されている。 On the surface of the bottom plate portion 175 on the one side Z1 in the first direction Z, two recesses 176 and 177 arranged in the second direction X are formed. Further, notches 17b are formed at the edges of the recesses 176 and 177.

第3壁部173の外面では、第3方向Yの他方側Y2に凹んだ凹部178が第2方向Xに沿って延在している。第1壁部171および第2壁部172には、第1ケース部材16の凸部161h、162hが嵌る穴171h、172hが形成されている。第1壁部171には、第1方向Zの一方側Z1に突出した凸板部171aが第3方向Yの中央に形成されている。 On the outer surface of the third wall portion 173, a recess 178 recessed on the other side Y2 in the third direction Y extends along the second direction X. The first wall portion 171 and the second wall portion 172 are formed with holes 171h and 172h into which the convex portions 161h and 162h of the first case member 16 fit. On the first wall portion 171, a convex plate portion 171a protruding in one side Z1 of the first direction Z is formed at the center in the third direction Y.

(磁気駆動回路6の構成)
図5は、図2に示す磁気駆動回路6の分解斜視図である。図2および図5に示すように、磁気駆動回路6は、コイル7と、コイル7に対して第1方向Zで対向する磁石8とを有している。コイル7は、第2方向Xで並列するように配置された第1コイル71および第2コイル72からなり、コイル7は、支持体2のうち、ホルダ60に保持されている。
(Structure of magnetic drive circuit 6)
FIG. 5 is an exploded perspective view of the magnetic drive circuit 6 shown in FIG. As shown in FIGS. 2 and 5, the magnetic drive circuit 6 includes a coil 7 and a magnet 8 that faces the coil 7 in the first direction Z. The coil 7 includes a first coil 71 and a second coil 72 that are arranged in parallel in the second direction X, and the coil 7 is held by the holder 60 of the support body 2.

(コイル7およびホルダ60の構成)
図6は、図5に示すホルダ60およびコイル7等の説明図である。図7は、図6に示すホルダ60等の説明図である。図6および図7に示すように、コイル7は、第3方向Yに長辺701(有効部分)が延在する長円形状の空芯コイルであり、第3方向Yの一方側Y1にコイル線の端部705が引き出されている。
(Configuration of coil 7 and holder 60)
FIG. 6 is an explanatory view of the holder 60, the coil 7 and the like shown in FIG. FIG. 7 is an explanatory diagram of the holder 60 and the like shown in FIG. As shown in FIGS. 6 and 7, the coil 7 is an elliptical air-core coil in which the long side 701 (effective portion) extends in the third direction Y, and the coil 7 is provided on one side Y1 of the third direction Y. The end 705 of the line is pulled out.

ホルダ60は、第2方向Xの一方側X1に位置する第1壁部61と、第2方向Xの他方側X2に位置する第2壁部62と、第3方向Yの一方側Y1に位置する第3壁部63と、第3方向Yの他方側Y2に位置する第4壁部64とによって囲まれた底板部65を有している。第1方向Zからみたとき、第1壁部61および第2壁部62の幅(第2方向Xの寸法)は、第3壁部63および第4壁部64の幅(第3方向Yの寸法)より広い。 The holder 60 is located on one side Y1 of the second direction X, the first wall portion 61 located on the other side X2 of the second direction X, and the one side Y1 of the third direction Y. The bottom plate portion 65 is surrounded by the third wall portion 63 and the fourth wall portion 64 located on the other side Y2 in the third direction Y. When viewed in the first direction Z, the widths of the first wall portion 61 and the second wall portion 62 (dimensions in the second direction X) are the widths of the third wall portion 63 and the fourth wall portion 64 (in the third direction Y). Dimension) wider.

ホルダ60の一方の対角位置には、ネジ18を通すための貫通穴60eが形成され、他方の対角位置には貫通穴60fが形成されている。第3壁部63および第4壁部64の第2方向Xの両端には、第1方向Zの一方側Z1に突出した位置決め用の凸部60cと、第1方向Zの他方側Z2に突出した位置決め用の凸部60dとが形成されている。 A through hole 60e for passing the screw 18 is formed in one diagonal position of the holder 60, and a through hole 60f is formed in the other diagonal position. At both ends of the third wall portion 63 and the fourth wall portion 64 in the second direction X, positioning projections 60c protruding in one side Z1 of the first direction Z and protruding in the other side Z2 of the first direction Z. The positioning convex portion 60d is formed.

底板部65には、2つのコイル保持穴651、652が第2方向Xで並列するように形成されており、コイル保持穴651、652の各々に第1コイル71および第2コイル72が配置されている。コイル保持穴651、652は貫通穴であり、第3方向Yの両端部には、第1方向Zの他方側Z2でコイル保持穴651、652の一部に重なるように張り出した受け部641、642が形成されている。従って、第1コイル71および第2コイル72を第1方向Zの一方側Z1からコイル保持穴651、652に装着すると、コイル
7の短辺702(無効部分)が受け部641、642によって第1方向Zの他方側Z1で支持された状態となる。この状態で、ホルダ60には第1方向Zの一方側Z1からプレート26が重ねられ、プレート26は、接着剤によって第1コイル71および第2コイル72と固定されるとともに、ホルダ60に固定される。プレート26は、例えば、アルミニウムやステンレス等の非磁性の金属板である。
Two coil holding holes 651 and 652 are formed in the bottom plate portion 65 so as to be juxtaposed in the second direction X, and the first coil 71 and the second coil 72 are arranged in each of the coil holding holes 651 and 652. ing. The coil holding holes 651 and 652 are through holes, and the receiving portions 641 projecting at both ends in the third direction Y so as to overlap a part of the coil holding holes 651 and 652 on the other side Z2 in the first direction Z, 642 is formed. Therefore, when the first coil 71 and the second coil 72 are mounted in the coil holding holes 651 and 652 from the one side Z1 of the first direction Z, the short side 702 (ineffective portion) of the coil 7 is moved to the first by the receiving portions 641 and 642. It is supported by the other side Z1 in the direction Z. In this state, the plate 26 is superposed on the holder 60 from the one side Z1 in the first direction Z, and the plate 26 is fixed to the first coil 71 and the second coil 72 by an adhesive and also fixed to the holder 60. It The plate 26 is, for example, a non-magnetic metal plate such as aluminum or stainless steel.

ホルダ60には、コイル保持穴651と第1壁部61との間に第1開口部601が形成され、コイル保持穴652と第2壁部62との間に第2開口部602が形成されている。第1開口部601、および第2開口部602はホルダ60の底板部65を第1方向Zで貫通している。第1開口部601、および第2開口部602の内周面には切り欠き603が形成されている。 The holder 60 has a first opening 601 formed between the coil holding hole 651 and the first wall portion 61, and a second opening 602 formed between the coil holding hole 652 and the second wall portion 62. ing. The first opening 601 and the second opening 602 penetrate the bottom plate portion 65 of the holder 60 in the first direction Z. Notches 603 are formed on the inner peripheral surfaces of the first opening 601 and the second opening 602.

第1壁部61において、第2角部600の間には、第1方向Zの一方側Z1に凹部611(図2および図4参照)が形成され、第1方向Zの他方側Z2に凹部612が形成されている。第2壁部62において、第2角部600の間には、第1方向Zの一方側Z1に凹部621(図2および図4参照)が形成され、第1方向Zの他方側Z2に凹部622が形成されている。従って、4つの第2角部600は、第1方向Zの両側に向けて突出した構造になっている。 In the first wall portion 61, a recess 611 (see FIGS. 2 and 4) is formed between the second corners 600 on one side Z1 in the first direction Z, and a recess is formed on the other side Z2 in the first direction Z. 612 is formed. In the second wall portion 62, a recess 621 (see FIGS. 2 and 4) is formed between the second corners 600 on one side Z1 in the first direction Z, and a recess is formed on the other side Z2 in the first direction Z. 622 is formed. Therefore, the four second corners 600 have a structure protruding toward both sides in the first direction Z.

第3壁部63の外面では、第3方向Yの他方側Y2に凹んだ凹部630が第2方向Xに沿って延在しており、凹部630の底部には、第1方向Zの一方側Z1に開口した切り欠き状の引き出し部68が第2方向Xに沿って複数、形成されている。また、凹部630のうち、引き出し部68によって挟まれた部分は、凹部630の底部からさらに第3方向Yの他方側に凹んだ凹部630aになっている。 On the outer surface of the third wall 63, a recess 630 recessed in the other side Y2 in the third direction Y extends along the second direction X, and the bottom of the recess 630 has one side in the first direction Z. A plurality of cutout-shaped lead-out portions 68 having openings Z1 are formed along the second direction X. In addition, the portion of the recess 630 sandwiched by the lead-out portions 68 is a recess 630a that is further recessed from the bottom of the recess 630 to the other side in the third direction Y.

凹部630の底部には、凹部630aに対して第2方向Xでずれた位置で第3方向Yの一方側Y1に突出した係合凸部69が第2方向Xに沿って複数、形成されている。本形態において、係合凸部69は3か所に形成されている。 A plurality of engaging protrusions 69 protruding in one side Y1 of the third direction Y at positions displaced from the recess 630a in the second direction X are formed on the bottom of the recess 630a along the second direction X. There is. In this embodiment, the engaging protrusions 69 are formed at three places.

(コイル7の端部の処理)
本形態では、ホルダ60の第3壁部63の外面に配線基板15が固定される。配線基板15には、引き出し部68と重なる部分に切り欠き158が形成されている。また、配線基板15には、係合凸部69と重なる部分に複数の係合穴159が形成されている。本形態では、係合凸部69の数に対応して、複数の係合穴159として3つの係合穴159が形成されており、3つの係合穴159のうち、中央の係合穴159は、切り欠き158と繋がった切り欠き状に形成されている。
(Treatment of the end of the coil 7)
In this embodiment, the wiring board 15 is fixed to the outer surface of the third wall portion 63 of the holder 60. A notch 158 is formed in the wiring board 15 at a portion overlapping the lead portion 68. Further, the wiring board 15 has a plurality of engagement holes 159 formed in a portion overlapping the engagement protrusion 69. In the present embodiment, three engaging holes 159 are formed as the plurality of engaging holes 159 in correspondence with the number of engaging convex portions 69, and among the three engaging holes 159, the central engaging hole 159. Are formed in a notch shape connected to the notch 158.

配線基板15は、係合凸部69と係合穴159とが係合した状態で、ホルダ60の第3壁部63の外面に接着剤により固定されている。配線基板15には、第1コイル71の端部705、および第2コイル72の端部705が電気的に接続されるランド151と、外部からの配線部材(図示せず)が電気的に接続されるランド152とが形成されており、第1コイル71の端部および第2コイル72の端部705は、引き出し部68を介してランド151まで引き回された後、ハンダによりランド151に電気的に接続される。なお、ランド151とランド152とは配線パターン(図示せず)を介して繋がっている。 The wiring board 15 is fixed to the outer surface of the third wall portion 63 of the holder 60 with an adhesive in a state where the engagement protrusion 69 and the engagement hole 159 are engaged with each other. On the wiring board 15, a land 151 to which the end 705 of the first coil 71 and the end 705 of the second coil 72 are electrically connected, and a wiring member (not shown) from the outside are electrically connected. The end portion 705 of the first coil 71 and the end portion 705 of the second coil 72 are drawn to the land 151 via the lead-out portion 68, and then electrically connected to the land 151 by soldering. Connected to each other. The land 151 and the land 152 are connected via a wiring pattern (not shown).

本形態では、ランド151が3つ形成されており、第1コイル71の巻き終わりの端部705、および第2コイル72の巻き始めの端部705は、中央のランド151に電気的に接続される。従って、第1コイル71と第2コイル72とは直列に電気的に接続される。なお、第1コイル71と第2コイル72とは、並列に電気的に接続してもよい。 In this embodiment, three lands 151 are formed, and the winding end end 705 of the first coil 71 and the winding start end 705 of the second coil 72 are electrically connected to the central land 151. It Therefore, the first coil 71 and the second coil 72 are electrically connected in series. The first coil 71 and the second coil 72 may be electrically connected in parallel.

(支持体2の構成)
本形態では、第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17を第1方向Zに重ねた状態で、第2ケース部材17の貫通穴17e、ホルダ60の貫通穴60e、および第1ケース部材16の穴16eにタッピングネジからなるネジ18を止め、第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17を第1方向Zで締結する。ネジ18を止めた際、ネジ18の頭は、第2ケース部材17から第1方向Zの他方側Z2に突出しない。
(Structure of support 2)
In the present embodiment, with the first case member 16, the holder 60 and the second case member 17 stacked in the first direction Z, the through hole 17e of the second case member 17, the through hole 60e of the holder 60, and the first case A screw 18 made of a tapping screw is fixed to the hole 16e of the member 16 and the first case member 16, the holder 60 and the second case member 17 are fastened in the first direction Z. When the screw 18 is stopped, the head of the screw 18 does not project from the second case member 17 to the other side Z2 in the first direction Z.

また、後述するように、第1ケース部材16の第1角部160とホルダ60の第2角部600との間に第1接着剤が設けられ、ホルダ60の第2角部600と第2ケース部材17の第3角部170との間に第2接着剤が設けられる。 Further, as described later, the first adhesive is provided between the first corner portion 160 of the first case member 16 and the second corner portion 600 of the holder 60, and the second corner portion 600 of the holder 60 and the second corner portion The second adhesive is provided between the case member 17 and the third corner 170.

このようにして、第1ケース部材16、ホルダ60、および第2ケース部材17によって支持体2が形成される。その際、第1ケース部材16の凸部161h、162hは各々、ホルダ60の穴61h、62hを貫通して第2ケース部材17の穴171h、172hに嵌る。また、第1ケース部材16の穴16cにホルダ60の凸部60cが嵌り、第2ケース部材17の凹部17dにホルダ60の凸部60dが嵌る。従って、第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17は互いに位置決めされた状態で連結される。また、第1ケース部材16の凸板部163aがホルダ60の凹部630aに重なる。 In this way, the support body 2 is formed by the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17. At this time, the convex portions 161h and 162h of the first case member 16 penetrate the holes 61h and 62h of the holder 60 and fit into the holes 171h and 172h of the second case member 17, respectively. Further, the convex portion 60c of the holder 60 fits into the hole 16c of the first case member 16, and the convex portion 60d of the holder 60 fits into the concave portion 17d of the second case member 17. Therefore, the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17 are connected to each other while being positioned with respect to each other. Further, the convex plate portion 163a of the first case member 16 overlaps the concave portion 630a of the holder 60.

なお、第2ケース部材17の貫通穴17f、ホルダ60の貫通穴60f、および第2ケース部材17の貫通穴17fは、アクチュエータ1を各種機器に搭載する際、機器のフレームに対して止めるネジ(図示せず)が止められる。 The through hole 17f of the second case member 17, the through hole 60f of the holder 60, and the through hole 17f of the second case member 17 are screws (not shown) for fixing to the frame of the device when the actuator 1 is mounted on various devices. (Not shown) is stopped.

(可動体3の構成)
図8は、図2に示す可動体3の説明図である。図5および図8に示すように、図2等に示す可動体3は、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1で対向する平板部860を備えた第1ヨーク86と、コイル7に対して第1方向Zの他方側Z2で対向する平板部870を備えた第2ヨーク87と、磁石8とを有している。磁石8は、第1ヨーク86の平板部860のコイル7と対向する面、および第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面の少なくとも一方に保持されてコイル7に第1方向Zで対向している。
(Structure of the movable body 3)
FIG. 8 is an explanatory diagram of the movable body 3 shown in FIG. As shown in FIGS. 5 and 8, the movable body 3 shown in FIG. 2 and the like includes a first yoke 86 including a flat plate portion 860 facing the coil 7 on the one side Z1 in the first direction Z, and the coil 7. On the other hand, the magnet 8 is provided with the second yoke 87 having the flat plate portion 870 facing the other side Z2 in the first direction Z. The magnet 8 is held on at least one of the surface of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 facing the coil 7 and the surface of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 facing the coil 7, and is held by the coil 7 in the first direction Z. Are facing each other.

本形態において、可動体3は、磁石8として、第1ヨーク86の平板部860のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された第1磁石81と、第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面のうち、第1方向Zに対して交差する方向で第1磁石81と隣り合う第2磁石82とを備えている。本形態において、第1磁石81と第2磁石82は第2方向Xで隣り合っている。従って、第1磁石81は、第1コイル71の長辺701に第1方向Zの一方側Z1で対向し、第2磁石82は、第2コイル72の長辺701に第1方向Zの一方側Z1で対向している。 In the present embodiment, the movable body 3 includes, as the magnet 8, the first magnet 81 fixed to the surface of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 facing the coil 7 by a method such as adhesion, and the flat plate portion of the second yoke 87. The second magnet 82 adjacent to the first magnet 81 in the direction intersecting the first direction Z is provided on the surface of the 870 facing the coil 7. In the present embodiment, the first magnet 81 and the second magnet 82 are adjacent to each other in the second direction X. Therefore, the first magnet 81 faces the long side 701 of the first coil 71 on one side Z1 in the first direction Z, and the second magnet 82 faces the long side 701 of the second coil 72 in the first direction Z one side. Opposed on the side Z1.

また、可動体3は、磁石8として、第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面に接着等の方法で固定された第1磁石83と、第2ヨーク87の平板部870のコイル7と対向する面のうち、第1方向Zに対して交差する方向で第1磁石83と隣り合う第2磁石84とを備えている。本形態において、第1磁石83と第2磁石84は、第2方向Xで隣り合っている。従って、第1磁石83は、第1コイル71の長辺701に第1方向Zの他方側Z2で対向し、第2磁石84は、第2コイル72の長辺701に第1方向Zの他方側Z2で対向している。 The movable body 3 includes, as the magnets 8, the first magnet 83 fixed to the surface of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 facing the coil 7 by a method such as bonding, and the flat plate portion 870 of the second yoke 87. The second magnet 84, which is adjacent to the first magnet 83 in the direction intersecting the first direction Z, of the surface facing the coil 7 is provided. In the present embodiment, the first magnet 83 and the second magnet 84 are adjacent to each other in the second direction X. Therefore, the first magnet 83 faces the long side 701 of the first coil 71 on the other side Z2 in the first direction Z, and the second magnet 84 contacts the long side 701 of the second coil 72 on the other side in the first direction Z. Opposed on the side Z2.

本形態において、第1磁石81、83、および第2磁石82、84は各々、厚さ方向(第1方向Z)および幅方向(X方向)で分極着磁されている。第1磁石81と第2磁石8
2とは、隣り合う方向(第2方向X)で同一方向に着磁され、第1磁石83と第2磁石84とは、隣り合う方向(第2方向X)で同一方向に着磁されている。従って、第1磁石81の第2磁石82側の磁極と第2磁石82の第1磁石81側の磁極とが異なっており、第1磁石83の第2磁石84側の磁極と第2磁石84の第1磁石83側の磁極とが異なっている。
In this embodiment, the first magnets 81 and 83 and the second magnets 82 and 84 are polarized and magnetized in the thickness direction (first direction Z) and the width direction (X direction), respectively. First magnet 81 and second magnet 8
2 is magnetized in the same direction in the adjacent direction (second direction X), and the first magnet 83 and the second magnet 84 are magnetized in the same direction in the adjacent direction (second direction X). There is. Therefore, the magnetic poles of the first magnet 81 on the second magnet 82 side and the magnetic poles of the second magnet 82 on the first magnet 81 side are different, and the magnetic poles of the first magnet 83 on the second magnet 84 side and the second magnet 84. Is different from the magnetic pole on the first magnet 83 side.

また、第1磁石81と第1磁石83とは、隣り合う方向(第2方向X)で逆方向に着磁され、第2磁石82と第2磁石84とは、隣り合う方向(第2方向X)で逆方向に着磁されている。従って、第1磁石81と第1磁石83とでは、第1コイル71に対向する面の磁極が異なっており、第2磁石82と第2磁石84とでは、第2コイル72に対向する面の磁極が異なっている。 Further, the first magnet 81 and the first magnet 83 are magnetized in opposite directions in the adjacent direction (second direction X), and the second magnet 82 and the second magnet 84 are adjacent to each other (second direction). X) is magnetized in the opposite direction. Therefore, the first magnet 81 and the first magnet 83 have different magnetic poles on the surface facing the first coil 71, and the second magnet 82 and the second magnet 84 have different magnetic poles on the surface facing the second coil 72. The magnetic poles are different.

第1ヨーク86は、平板部860の第2方向の一方側X1の端部から第1方向Zの他方側Z2に延在して第2ヨーク87と連結された第1連結板部861と、平板部860の第2方向の他方側X2の端部から第1方向Zの他方側Z2に延在して第2ヨーク87と連結された第2連結板部862とを備えている。第1連結板部861および第2連結板部862は平板部860より第3方向Yの寸法が小さく、第1連結板部861および第2連結板部862の両側には切り欠き869が形成されている。図3および図4に示すように、第1連結板部861は、コイル7に対して第2方向Xの一方側X1でホルダ60の第1開口部601を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて延在し、第2連結板部862は、コイル7に対して第2方向Xの他方側Z2でホルダ60の第2開口部602を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて延在している。 The first yoke 86 extends from an end portion of the flat plate portion 860 on one side X1 in the second direction to the other side Z2 in the first direction Z, and is connected to the second yoke 87. The flat plate portion 860 includes a second connecting plate portion 862 that extends from the other end X2 in the second direction to the other side Z2 in the first direction Z and is connected to the second yoke 87. The first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 have smaller dimensions in the third direction Y than the flat plate portion 860, and the notches 869 are formed on both sides of the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862. ing. As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the first connecting plate portion 861 passes through the first opening 601 of the holder 60 on one side X1 in the second direction X with respect to the coil 7 and the other side in the first direction Z. The second connecting plate portion 862 extends toward Z2, passes through the second opening 602 of the holder 60 on the other side Z2 in the second direction X with respect to the coil 7, and moves to the other side Z2 in the first direction Z. It is extending toward.

本形態では、第1連結板部861および第2連結板部862は、溶接により第2ヨーク87の端部と連結されている。より具体的には、第1連結板部861の第1方向Zの他方側Z2の端部861aは、第2ヨーク87の平板部870の第1側面871に重なって第1連結板部861と第2ヨーク87の第1側面871とが溶接されている。同様に、第2連結板部862の第1方向Zの他方側Z2の端部862aは、第2ヨーク87の平板部870の第2側面872に重なって第2連結板部862と第2ヨーク87の第2側面872とが溶接されている。 In this embodiment, the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 are connected to the end portion of the second yoke 87 by welding. More specifically, the end portion 861a of the other side Z2 of the first connecting plate portion 861 in the first direction Z overlaps with the first side surface 871 of the flat plate portion 870 of the second yoke 87 and the first connecting plate portion 861. The first side surface 871 of the second yoke 87 is welded. Similarly, the end portion 862a of the second connecting plate portion 862 on the other side Z2 in the first direction Z overlaps with the second side surface 872 of the flat plate portion 870 of the second yoke 87, and the second connecting plate portion 862 and the second yoke. The second side surface 872 of 87 is welded.

第1連結板部861の端部861a、および第1側面871のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成され、第2連結板部862の端部862a、および第2側面872のうちの一方には、他方に形成された凹部に嵌って溶接された凸部が形成されている。本形態では、平板部870に形成された凸部873が第1連結板部861の端部861aに形成された凹部863に嵌って溶接され、平板部870に形成された凸部874が第2連結板部862の端部862aに形成された凹部864に嵌って溶接されている。 On one of the end portion 861a of the first connecting plate portion 861 and the first side surface 871, a convex portion that is fitted and welded to a concave portion formed on the other is formed, and an end portion of the second connecting plate portion 862. One of the 862a and the second side surface 872 is provided with a convex portion that is fitted into and welded to the concave portion formed in the other. In the present embodiment, the convex portion 873 formed on the flat plate portion 870 is fitted and welded to the concave portion 863 formed on the end portion 861a of the first connecting plate portion 861, and the convex portion 874 formed on the flat plate portion 870 is the second. It is fitted and welded to a recess 864 formed in the end portion 862a of the connecting plate portion 862.

本形態では、第1ヨーク86の平板部860、および第2ヨーク87の平板部870の第3方向Yの端部には、磁石8を搭載する際に第1ヨーク86および第2ヨーク87の位置決めを行うための切り欠き860a、870aが形成されている。 In this embodiment, the flat plate portion 860 of the first yoke 86 and the flat plate portion 870 of the second yoke 87 have ends of the first yoke 86 and the second yoke 87 at the ends in the third direction Y when the magnet 8 is mounted. Notches 860a and 870a for positioning are formed.

このように構成した可動体3において、第1ヨーク86および磁石8の少なくとも一方には、磁石8の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第1ヨーク86には、平板部860の4つの角のうち、S極が位置する側の角が切り欠かれたマーク86sが付され、他の角は角張っている。また、第2ヨーク87および磁石8の少なくとも一方にも、磁石8の着磁方向を示すマークが付されている。例えば、第2ヨーク87には、平板部870の4つの角のうち、N極が位置する側の角が切り欠かれたマーク87sが付され、他の角は角張っている。なお、磁石8に対して、マークを付す場合には、印刷等を利用すれ
ばよい。
In the movable body 3 thus configured, at least one of the first yoke 86 and the magnet 8 is provided with a mark indicating the magnetizing direction of the magnet 8. For example, of the four corners of the flat plate portion 860, the first yoke 86 is provided with a mark 86s in which the corner on the side where the S pole is located is cut out, and the other corners are angular. At least one of the second yoke 87 and the magnet 8 is also marked with a magnetizing direction of the magnet 8. For example, of the four corners of the flat plate portion 870, the second yoke 87 is provided with a mark 87s in which the corner on the side where the N pole is located is cut out, and the other corners are angular. In addition, when attaching a mark to the magnet 8, printing or the like may be used.

(位置決め凸部865、875の構成)
第1ヨーク86は、第1ヨーク86の一部が、磁石8が固定された一方面から突出して第1磁石81および第2磁石82の第1ヨーク86の平板部860の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部865を有している。本形態において、位置決め凸部865は、第1磁石81の第2磁石82側の位置を規定する第1凸部865aと、第2磁石82の第1磁石81側の位置を規定する第2凸部865bとを含んでいる。本形態において、第1凸部865aと第2凸部865bとは、第1磁石81と第2磁石82との間に設けられた共通の凸部865cからなる。凸部865c(第1凸部865aおよび第2凸部865b)は、第3方向Yで離間する2箇所に設けられている。
(Configuration of positioning protrusions 865 and 875)
In the first yoke 86, a part of the first yoke 86 projects from one surface on which the magnet 8 is fixed, and the first magnet 81 and the second magnet 82 are positioned in the in-plane direction of the flat plate portion 860 of the first yoke 86. It has a positioning convex portion 865 for performing. In the present embodiment, the positioning protrusion 865 includes the first protrusion 865a that defines the position of the first magnet 81 on the second magnet 82 side and the second protrusion 865a that defines the position of the second magnet 82 on the first magnet 81 side. Section 865b. In the present embodiment, the first convex portion 865a and the second convex portion 865b are the common convex portion 865c provided between the first magnet 81 and the second magnet 82. The convex portion 865c (the first convex portion 865a and the second convex portion 865b) is provided at two locations separated in the third direction Y.

位置決め凸部865は、さらに、第1磁石81と第2磁石82とが隣り合う第2方向Xと交差する第3方向Yにおける第1磁石81の位置決め、および第2磁石82の位置決めを行う第3凸部865d、865eを含んでいる。本形態において、第3凸部865dは、第1磁石81のY方向の両側2箇所に設けられ、第3凸部865eは、第2磁石82のY方向の両側2箇所に設けられている。 The positioning protrusion 865 further positions the first magnet 81 and the second magnet 82 in the third direction Y intersecting the second direction X in which the first magnet 81 and the second magnet 82 are adjacent to each other. The three convex portions 865d and 865e are included. In the present embodiment, the third protrusions 865d are provided at two locations on both sides of the first magnet 81 in the Y direction, and the third protrusions 865e are provided at two locations on both sides of the second magnet 82 in the Y direction.

位置決め凸部865は、第1ヨーク86の平板部860の一部を、磁石8とは反対側の他方面側から磁石8が位置する一方面側に突出させた凸部である。従って、図4に示すように、第1ヨーク86の平板部860の磁石8とは反対側の他方面には、位置決め凸部865を成した際の凹状の痕865xが残っている。 The positioning projection 865 is a projection in which a part of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 is projected from the other surface side opposite to the magnet 8 to the one surface side where the magnet 8 is located. Therefore, as shown in FIG. 4, on the other surface of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 opposite to the magnet 8, a concave mark 865x when the positioning convex portion 865 is formed remains.

ここで、第1ヨーク86では、第1磁石81に対して第2磁石82と反対側、および第2磁石82に対して第1磁石81と反対側には、位置決め凸部865が設けられていない。また、位置決め凸部865の平板部860からの突出寸法は、磁石8の厚さ(第1磁石81の厚さ、および第2磁石82の厚さ)より低い。このため、磁石8を第1ヨーク86の平板部860に搭載する際、カートリッジ等の内部に積層された複数の磁石8のうち、最も下方に位置する磁石8をスライドさせて、第1磁石81等として配置する際、位置決め凸部865とカートリッジとが干渉しにくい等、位置決め凸部865が邪魔にならない。 Here, in the first yoke 86, positioning protrusions 865 are provided on the opposite side of the first magnet 81 from the second magnet 82 and on the opposite side of the second magnet 82 from the first magnet 81. Absent. Further, the protruding size of the positioning protrusion 865 from the flat plate portion 860 is smaller than the thickness of the magnet 8 (thickness of the first magnet 81 and second magnet 82 ). Therefore, when the magnet 8 is mounted on the flat plate portion 860 of the first yoke 86, the magnet 8 located at the lowermost position among the plurality of magnets 8 stacked inside the cartridge or the like is slid to move the first magnet 81. The positioning protrusions 865 do not interfere with the positioning protrusions 865 and the cartridge because they do not easily interfere with each other.

図示を省略するが、第2ヨーク87も、第1ヨーク86と同様、第2ヨーク87の一部が、磁石8が固定された一方面から突出して第1磁石83および第2磁石84の第2ヨーク87の平板部870の面内方向における位置決めを行う位置決め凸部を有している。従って、図8に示すように、第2ヨーク87の平板部870の磁石8とは反対側の他方面には、位置決め凸部875を形成した際の凹状の痕875xが残っている。 Although not shown, in the second yoke 87, like the first yoke 86, a part of the second yoke 87 protrudes from the one surface to which the magnet 8 is fixed, and the first magnet 83 and the second magnet 84 are separated from each other. The second yoke 87 has a positioning protrusion that positions the flat plate portion 870 in the in-plane direction. Therefore, as shown in FIG. 8, on the other surface of the second yoke 87 on the side opposite to the magnet 8 of the flat plate portion 870, a concave mark 875x when the positioning convex portion 875 is formed remains.

なお、位置決め凸部865は、第1ヨーク86および第2ヨーク87の一部を折り曲げた凸部であってもよい。 The positioning protrusion 865 may be a protrusion formed by bending a part of the first yoke 86 and the second yoke 87.

(ストッパの構成)
図2に示すように、本形態では、可動体3に用いた第1ヨーク86の第1連結板部861に対して第2方向Xの一方側X1には、第1ケース部材16の第1壁部161、ホルダ60の第1壁部61、および第2ケース部材17の第1壁部171の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第1連結板部861は、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動した際に可動体3の第2方向Xの一方側X1への可動範囲を規制する第1ストッパを構成している。
(Structure of stopper)
As shown in FIG. 2, in this embodiment, the first connecting member 861 of the first yoke 86 used for the movable body 3 is provided on the first side X1 of the first case member 16 on the one side X1 in the second direction X. The inner surfaces of the wall portion 161, the first wall portion 61 of the holder 60, and the first wall portion 171 of the second case member 17 are opposed to each other in a state of forming a continuous plane. Therefore, the first connecting plate portion 861 serves as a first stopper that restricts the movable range of the movable body 3 in the one side X1 of the second direction X when the movable body 3 moves in the one side X1 of the second direction X. I am configuring.

同様に、第2連結板部862に対して第2方向Xの他方側X2には、第1ケース部材1
6の第2壁部162、ホルダ60の第2壁部62、および第2ケース部材17の第2壁部172の内面が、連続した平面を構成した状態で対向している。従って、第2連結板部862は、可動体3が第2方向Xの他方側X2に移動した際に可動体3の第2方向Xの他方側X2への可動範囲を規制する第2ストッパを構成している。
Similarly, on the other side X2 in the second direction X with respect to the second connecting plate portion 862, the first case member 1
The inner surfaces of the second wall portion 162 of No. 6, the second wall portion 62 of the holder 60, and the second wall portion 172 of the second case member 17 face each other in the state of forming a continuous plane. Therefore, the second connecting plate portion 862 has a second stopper that restricts the movable range of the movable body 3 to the other side X2 in the second direction X when the movable body 3 moves to the other side X2 in the second direction X. I am configuring.

(基本動作)
本形態のアクチュエータ1において、コイル7に交流を印加すると、可動体3は、第2方向Xに振動するため、アクチュエータ1における重心が第2方向Xに変動する。このため、利用者は、第2方向Xの振動を体感することができる。その際、コイル7に印加する交流波形を調整して、可動体3が第2方向Xの一方側X1に移動する加速度と、可動体3が第2方向の他方側X2に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第2方向Xにおいて方向性を有する振動を体感することができる。
(basic action)
In the actuator 1 of the present embodiment, when an alternating current is applied to the coil 7, the movable body 3 vibrates in the second direction X, so that the center of gravity of the actuator 1 changes in the second direction X. Therefore, the user can feel the vibration in the second direction X. At that time, by adjusting the AC waveform applied to the coil 7, the acceleration of the movable body 3 moving to the one side X1 in the second direction X and the acceleration of the movable body 3 moving to the other side X2 in the second direction. If they are different, the user can experience the directional vibration in the second direction X.

(接続体90および粘弾性部材9の構成)
図2、図4および図5に示すように、支持体2および可動体3に対して接続する接続体90が設けられている。接続体90は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。本形態において、接続体90は、支持体2と可動体3とが第1方向Zで対向する個所に設けられた粘弾性部材9であり、第1方向Z、第2方向X、および第3方向Y方向に弾性的に変形可能である。粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性部材9として、各種ゲル状部材を用いることができる。粘弾性部材9として、天然ゴム、ジエン系ゴム(例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム)、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等)、非ジエン系ゴム(例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等)、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。
(Structures of the connection body 90 and the viscoelastic member 9)
As shown in FIG. 2, FIG. 4 and FIG. 5, a connecting body 90 for connecting to the support body 2 and the movable body 3 is provided. The connection body 90 includes at least one of elasticity and viscoelasticity. In the present embodiment, the connecting body 90 is the viscoelastic member 9 provided at a position where the support body 2 and the movable body 3 face each other in the first direction Z, and the first direction Z, the second direction X, and the third direction. It is elastically deformable in the direction Y. Viscoelasticity is a property that combines both viscosity and elasticity, and is a property remarkably found in polymer substances such as gel-like members, plastics, and rubber. Therefore, various gel-like members can be used as the viscoelastic member 9. As the viscoelastic member 9, natural rubber, diene rubber (for example, styrene/butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber), chloroprene rubber, acrylonitrile/butadiene rubber, etc., non-diene rubber (for example, butyl rubber, ethylene/propylene rubber) , Ethylene/propylene/diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluororubber, etc.), thermoplastic elastomers, and various rubber materials and modified materials thereof.

本形態において、接続体90として粘弾性部材9のみが支持体2および可動体3の双方に接続されている。本形態においては、粘弾性部材9として、可動体3の第1ヨーク86と支持体2の第1ケース部材16とが第1方向Zで対向する個所に第1粘弾性部材91が配置され、可動体3の第2ヨーク87と支持体2の第2ケース部材17とが第1方向Zで対向する個所に第2粘弾性部材92が配置されている。より具体的には、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の平板部860と第1ケース部材16の凹部166、167の底部との間の各々に設けられ、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の平板部870と第2ケース部材17の凹部176、177の底部との間の各々に設けられている。 In the present embodiment, only the viscoelastic member 9 as the connecting body 90 is connected to both the support body 2 and the movable body 3. In the present embodiment, as the viscoelastic member 9, the first viscoelastic member 91 is arranged at a position where the first yoke 86 of the movable body 3 and the first case member 16 of the support body 2 face each other in the first direction Z, The second viscoelastic member 92 is arranged at a position where the second yoke 87 of the movable body 3 and the second case member 17 of the support body 2 face each other in the first direction Z. More specifically, the first viscoelastic member 91 is provided between each of the flat plate portion 860 of the first yoke 86 and the bottom portions of the concave portions 166 and 167 of the first case member 16, and the second viscoelastic member 92. Are provided between the flat plate portion 870 of the second yoke 87 and the bottom portions of the recesses 176 and 177 of the second case member 17, respectively.

ここで、第1粘弾性部材91は、第1ヨーク86の平板部860と第1ケース部材16の凹部166、167の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置され、第2粘弾性部材92は、第2ヨーク87の平板部870と第2ケース部材17の凹部176、177の底部との間で第1方向Zに圧縮された状態で配置されている。第1粘弾性部材91は、支持体2と接する面(第1ケース部材16の凹部166、167の底部)に接着され、可動体3と接する面(第1ヨーク86)と接着されている。第2粘弾性部材92は、支持体2と接する面(第2ケース部材17の凹部176、177の底部)に接着され、可動体3と接する面(第2ヨーク87)と接着されている。 Here, the first viscoelastic member 91 is arranged in a state of being compressed in the first direction Z between the flat plate portion 860 of the first yoke 86 and the bottom portions of the concave portions 166 and 167 of the first case member 16. The two viscoelastic member 92 is arranged between the flat plate portion 870 of the second yoke 87 and the bottom portions of the recesses 176 and 177 of the second case member 17 in a compressed state in the first direction Z. The first viscoelastic member 91 is bonded to the surface in contact with the support body 2 (bottoms of the recesses 166 and 167 of the first case member 16) and to the surface in contact with the movable body 3 (first yoke 86). The second viscoelastic member 92 is adhered to the surface in contact with the support 2 (bottoms of the recesses 176 and 177 of the second case member 17) and to the surface in contact with the movable body 3 (second yoke 87).

本形態において、粘弾性部材9(第1粘弾性部材91および第2粘弾性部材92)は、針入度が10度から110度であるシリコーン系ゲルである。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。粘弾性部材9は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、粘弾性部材9は、その厚さ方向(軸方向)に押圧されて圧縮変形する際は、線
形の成分(バネ係数)よりも非線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向(軸方向)に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、粘弾性部材9が厚さ方向(軸方向)と交差する方向(せん断方向)に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分(バネ係数)よりも線形の成分(バネ係数)が大きい変形特性を持つ。従って、粘弾性部材9では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、粘弾性部材9のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもった振動を実現することができる。
In this embodiment, the viscoelastic member 9 (the first viscoelastic member 91 and the second viscoelastic member 92) is a silicone gel having a penetration of 10 to 110 degrees. The penetration degree is defined by JIS-K-2207 or JIS-K-2220, and the smaller the value, the harder it is. The viscoelastic member 9 has a linear or non-linear expansion/contraction characteristic depending on the expansion/contraction direction. For example, when the viscoelastic member 9 is pressed in the thickness direction (axial direction) and is compressed and deformed, the viscoelastic member 9 has expansion and contraction characteristics in which the nonlinear component (spring coefficient) is larger than the linear component (spring coefficient). On the other hand, when it is stretched by being pulled in the thickness direction (axial direction), it has expansion/contraction characteristics in which the linear component (spring coefficient) is larger than the nonlinear component (spring coefficient). On the other hand, when the viscoelastic member 9 is deformed in the direction (shear direction) intersecting the thickness direction (axial direction) as in the present embodiment, the deformation is in a direction in which the viscoelastic member 9 is pulled and stretched regardless of the movement. Therefore, it has a deformation characteristic in which the linear component (spring coefficient) is larger than the nonlinear component (spring coefficient). Therefore, in the viscoelastic member 9, the spring force depending on the movement direction is constant. Therefore, as in the present embodiment, by using the spring element of the viscoelastic member 9 in the shearing direction, the reproducibility of the vibration acceleration with respect to the input signal can be improved, so that the vibration with a subtle nuance is realized. be able to.

本形態では、第1ケース部材16の凹部166、167のうち、第1粘弾性部材91が接続される接続領域166a、167aには複数の凹部が形成される場合がある。また、第2ケース部材17の凹部176、177のうち、第2粘弾性部材92が接続される接続領域176a、177aには複数の凹部が形成される場合がある。 In the present embodiment, among the recesses 166 and 167 of the first case member 16, a plurality of recesses may be formed in the connection regions 166a and 167a to which the first viscoelastic member 91 is connected. Further, among the recesses 176, 177 of the second case member 17, a plurality of recesses may be formed in the connection regions 176a, 177a to which the second viscoelastic member 92 is connected.

かかる態様によれば、接続体90は、第1方向Zに圧縮された状態にあるため、接続体90は、一部が複数の凹部の内側に位置する。このため、複数の凹部の縁は、接続体90が第1方向Zと交差する方向に移動することを抑制する。従って、接続体90を支持体2と可動体3との間に配置する際、複数の凹部の縁は、接続体90が第1方向Zと交差する方向に移動することを効果的に抑制する。また、可動体3が第2方向Xに駆動される際、複数の凹部の縁は、接続体90が第2方向Xに移動することを効果的に抑制する。それ故、支持体2と可動体3との間に配置した接続体90の位置ずれを抑制することができる。また、接続体90は、接続領域166a、167a、176a、177aに接着剤を介して固定され、接着剤の一部は、複数の凹部の内側に位置する。このため、接続体901の接着強度が高い。 According to this aspect, since the connecting body 90 is compressed in the first direction Z, a part of the connecting body 90 is located inside the plurality of recesses. Therefore, the edges of the plurality of recesses prevent the connecting body 90 from moving in the direction intersecting the first direction Z. Therefore, when the connection body 90 is arranged between the support body 2 and the movable body 3, the edges of the plurality of recesses effectively suppress the movement of the connection body 90 in the direction intersecting the first direction Z. .. Further, when the movable body 3 is driven in the second direction X, the edges of the plurality of recesses effectively prevent the connecting body 90 from moving in the second direction X. Therefore, it is possible to suppress the positional displacement of the connection body 90 arranged between the support body 2 and the movable body 3. Further, the connection body 90 is fixed to the connection regions 166a, 167a, 176a, 177a via an adhesive, and a part of the adhesive is located inside the plurality of recesses. Therefore, the adhesive strength of the connection body 901 is high.

(第1ケース部材16、ホルダ60および第2ケース部材17の支持構造)
図9は、図3に示す第1角部160および第2角部600を第1方向Zの他方側Z2からみた斜視図である。図10は、図4に示す第2角部600および第3角部170を第1方向Zの一方側Z1からみた斜視図である。図11は、図9に示す第1角部160を通る位置で支持体2を切断したときのXZ断面図である。図12は、図9に示す第1角部160を通る位置で支持体2を切断したときのYZ断面図である。図13は、図9に示す第1角部160の間で支持体2を切断したときのXZ断面図である。図14は、図9に示す第1角部160の間で支持体2を切断したときのYZ断面図である。
(Support structure for the first case member 16, the holder 60, and the second case member 17)
FIG. 9 is a perspective view of the first corner portion 160 and the second corner portion 600 shown in FIG. 3 as seen from the other side Z2 in the first direction Z. FIG. 10 is a perspective view of the second corner portion 600 and the third corner portion 170 shown in FIG. 4 viewed from the one side Z1 in the first direction Z. FIG. 11 is an XZ sectional view when the support body 2 is cut at a position passing through the first corner portion 160 shown in FIG. FIG. 12 is a YZ sectional view when the support body 2 is cut at a position passing through the first corner portion 160 shown in FIG. FIG. 13 is an XZ sectional view when the support body 2 is cut between the first corner portions 160 shown in FIG. FIG. 14 is a YZ cross-sectional view when the support body 2 is cut between the first corner portions 160 shown in FIG.

図9〜図12に示すように、支持体2を形成した際、支持体2の4つの角の各々において、第1ケース部材16の第1角部160とホルダ60の第2角部600とは第1方向Zで重なって第1支持部21を構成する。また、支持体2の4つの角の各々において、ホルダ60の第2角部600と第2ケース部材17の第3角部170とは第1方向Zで重なって第2支持部22を構成する。 As shown in FIGS. 9 to 12, when the support 2 is formed, the first corner 160 of the first case member 16 and the second corner 600 of the holder 60 are formed at each of the four corners of the support 2. Overlap with each other in the first direction Z to form the first support portion 21. Further, at each of the four corners of the support body 2, the second corner portion 600 of the holder 60 and the third corner portion 170 of the second case member 17 overlap with each other in the first direction Z to form the second support portion 22. ..

本形態では、第1支持部21には、第1角部160と第2角部600とが第1方向Zで離間する第1非接触領域211と、第1非接触領域211に隣接する位置で第1角部160と第2角部600とが第1方向Zで接する第1接触領域212とが設けられている。本形態では、第2角部600の第1方向Zの一方側Z1の面は平面である一方、第1角部160の第1方向Zの他方側Z2の面は、図9にグレーで示す第1領域16sと、第1領域16sより第1方向Zの一方側Z1に凹んだ第2領域16tとを有している。従って、第1角部160と第2角部600とが第1方向Zで重なった際、第2領域16tは、第1角部160と第2角部600とが第1方向Zで離間する第1非接触領域211を構成し、第1領域16sは、第1角部160と第2角部600とが第1方向Zで接する第1接触領域
212を構成する。ここで、第1接触領域212は、第1非接触領域211の周りを囲むように設けられている。また、第1非接触領域211には、第1角部160と第2角部600とを接着する第1接着剤H1(図11および図12参照)が設けられている。
In the present embodiment, the first support portion 21 has a first non-contact area 211 where the first corner 160 and the second corner 600 are separated from each other in the first direction Z, and a position adjacent to the first non-contact area 211. Thus, a first contact region 212 where the first corner portion 160 and the second corner portion 600 are in contact with each other in the first direction Z is provided. In the present embodiment, the surface of the second corner portion 600 on the one side Z1 in the first direction Z is a flat surface, while the surface of the first corner portion 160 on the other side Z2 in the first direction Z is shown in gray in FIG. The first region 16s and the second region 16t that is recessed from the first region 16s on the one side Z1 in the first direction Z are included. Therefore, when the first corner 160 and the second corner 600 overlap each other in the first direction Z, in the second region 16t, the first corner 160 and the second corner 600 are separated from each other in the first direction Z. The first non-contact area 211 is formed, and the first area 16s forms the first contact area 212 where the first corner 160 and the second corner 600 are in contact with each other in the first direction Z. Here, the first contact region 212 is provided so as to surround the first non-contact region 211. The first non-contact area 211 is provided with a first adhesive H1 (see FIGS. 11 and 12) that bonds the first corner 160 and the second corner 600.

本形態において、ホルダ60のうち、第1非接触領域211に相当する位置に、第1接着剤H1を充填するための貫通穴67が形成されており、貫通穴67の詳細な構成等は、図15および図16を参照して後述する。 In the present embodiment, the through hole 67 for filling the first adhesive H1 is formed in the holder 60 at a position corresponding to the first non-contact area 211, and the detailed configuration of the through hole 67 is as follows. This will be described later with reference to FIGS. 15 and 16.

第2支持部22には、第2角部600と第3角部170とが第1方向Zで離間する第2非接触領域221と、第2非接触領域221に隣接する位置で第2角部600と第3角部170とが第1方向Zで接する第2接触領域222とが設けられている。本形態では、第3角部170の第1方向Zの一方側Z1の面は平面である一方、第2角部600の第1方向Zの他方側Z2の面は、図9にグレーで示す第3領域60sと、第3領域60sより第1方向Zの一方側Z1に凹んだ第4領域60tとを有している。従って、第2角部600と第3角部170とが第1方向Zで重なった際、第4領域60tは、第2角部600と第3角部170とが第1方向Zで離間する第2非接触領域221を構成し、第3領域60sは、第2角部600と第3角部170とが第1方向Zで接する第2接触領域222を構成する。ここで、第2接触領域222は、第2非接触領域221の周りを囲むように設けられている。また、第2非接触領域221には、第2角部600と第3角部170とを接着する第2接着剤H2(図11および図12参照)が設けられている。 The second support portion 22 has a second non-contact area 221 in which the second corner portion 600 and the third corner portion 170 are separated from each other in the first direction Z, and a second corner at a position adjacent to the second non-contact area 221. A second contact region 222 is provided in which the part 600 and the third corner part 170 are in contact with each other in the first direction Z. In the present embodiment, the surface of the third corner portion 170 on the one side Z1 in the first direction Z is a flat surface, while the surface of the second corner portion 600 on the other side Z2 in the first direction Z is shown in gray in FIG. The third region 60s and the fourth region 60t recessed from the third region 60s to the one side Z1 in the first direction Z are included. Therefore, when the second corner portion 600 and the third corner portion 170 overlap in the first direction Z, in the fourth region 60t, the second corner portion 600 and the third corner portion 170 are separated from each other in the first direction Z. The second non-contact region 221 is formed, and the third region 60s forms a second contact region 222 where the second corner portion 600 and the third corner portion 170 are in contact with each other in the first direction Z. Here, the second contact region 222 is provided so as to surround the second non-contact region 221. Further, the second non-contact area 221 is provided with a second adhesive H2 (see FIGS. 11 and 12) that bonds the second corner portion 600 and the third corner portion 170.

図11および図12に示すように、支持体2の端面では、第1角部160の外縁部16rと第2角部600の外縁部60rとが第1隙間24を介して対向している。本形態では、第1角部160の外縁部16r、および第2角部600の外縁部60rの一方は、第1隙間24をL字状に屈曲させる第1屈曲部を有している。本形態では、第1角部160の外縁部16rが第2角部600の外縁部60rに沿って第1方向Zの他方側Z2にL字状に屈曲した第1屈曲部16uを有しており、第1屈曲部16uによって、第1隙間24は、L字状に屈曲している。なお、第2角部600の外縁部60rに第1屈曲部を設けて、第1隙間24をL字状に屈曲させてもよい。 As shown in FIGS. 11 and 12, on the end surface of the support body 2, the outer edge portion 16r of the first corner portion 160 and the outer edge portion 60r of the second corner portion 600 are opposed to each other via the first gap 24. In the present embodiment, one of the outer edge portion 16r of the first corner portion 160 and the outer edge portion 60r of the second corner portion 600 has a first bent portion that bends the first gap 24 into an L shape. In the present embodiment, the outer edge portion 16r of the first corner portion 160 has the first bent portion 16u that is bent in the L shape on the other side Z2 in the first direction Z along the outer edge portion 60r of the second corner portion 600. The first bent portion 16u bends the first gap 24 in an L shape. In addition, you may provide a 1st bending part in the outer edge part 60r of the 2nd corner|angular part 600, and may bend the 1st clearance gap 24 in L shape.

また、支持体2の端面では、第2角部600の外縁部60pと第3角部170の外縁部17pとが第2隙間25を介して対向している。本形態では、第2角部600の外縁部60p、および第3角部170の外縁部17pの一方は、第2隙間25をL字状に屈曲させる第2屈曲部を有している。本形態では、第3角部170の外縁部17pが第2角部600の外縁部60pに沿って第1方向Zの一方側Z1にL字状に屈曲した第2屈曲部17uを有しており、第2屈曲部17uによって、第2隙間25は、L字状に屈曲している。なお、第2角部600の外縁部60pに第2屈曲部を設けて、第2隙間25をL字状に屈曲させてもよい。 Further, on the end surface of the support body 2, the outer edge portion 60p of the second corner portion 600 and the outer edge portion 17p of the third corner portion 170 are opposed to each other via the second gap 25. In this embodiment, one of the outer edge portion 60p of the second corner portion 600 and the outer edge portion 17p of the third corner portion 170 has a second bent portion that bends the second gap 25 into an L shape. In the present embodiment, the outer edge portion 17p of the third corner portion 170 has the second bent portion 17u that is bent in the L shape in the one side Z1 of the first direction Z along the outer edge portion 60p of the second corner portion 600. The second gap 25 is bent into an L shape by the second bent portion 17u. A second bent portion may be provided on the outer edge portion 60p of the second corner portion 600 to bend the second gap 25 into an L shape.

本形態において、第1ケース部材16の第1角部160から延在する壁部と、ホルダ60の第2角部600から延在する壁部とは、支持体2の端面で少なくとも一部が非接触状態にある。また、第2ケース部材17の第3角部170から延在する壁部と、ホルダ60の第2角部600から延在する壁部とは、支持体2の端面で少なくとも一部が非接触状態にある。すなわち、支持体2において、第1角部160、第2角部600、および第3角部170以外の部分でも、例えば、図13に示すように、支持体2の端面では、第1ケース部材16の第1壁部161とホルダ60の第1壁部61との間等には、L字状に屈曲した隙間28が形成され、第2ケース部材17の第1壁部171とホルダ60の第1壁部61との間等には、L字状に屈曲した隙間29が形成されている。 In the present embodiment, at least a part of the wall portion extending from the first corner portion 160 of the first case member 16 and the wall portion extending from the second corner portion 600 of the holder 60 is an end surface of the support body 2. Not in contact. Further, at least a part of the wall portion extending from the third corner portion 170 of the second case member 17 and the wall portion extending from the second corner portion 600 of the holder 60 are not in contact with each other on the end surface of the support body 2. Is in a state. That is, in the support body 2, even at portions other than the first corner portion 160, the second corner portion 600, and the third corner portion 170, for example, as shown in FIG. Between the first wall portion 161 of 16 and the first wall portion 61 of the holder 60, a gap 28 that is bent in an L-shape is formed, and the first wall portion 171 of the second case member 17 and the holder 60 are formed. An L-shaped bent gap 29 is formed between the first wall portion 61 and the like.

また、図14に示すように、支持体2の端面では、第1ケース部材16の第3壁部16
3とホルダ60の第3壁部63との間には、L字状に屈曲した隙間28が形成され、第2ケース部材17の第3壁部173とホルダ60の第3壁部63との間等には、L字状に屈曲した隙間29が形成されている。また、第1ケース部材16の第4壁部164とホルダ60の第4壁部64との間には隙間28が形成され、第2ケース部材17の第4壁部174とホルダ60の第4壁部64との間等には、L字状に屈曲した隙間29が形成されている。
Further, as shown in FIG. 14, on the end surface of the support body 2, the third wall portion 16 of the first case member 16 is provided.
3 and the third wall portion 63 of the holder 60, an L-shaped curved gap 28 is formed, and the third wall portion 173 of the second case member 17 and the third wall portion 63 of the holder 60 are formed. A gap 29 bent in an L shape is formed in the space or the like. Further, a gap 28 is formed between the fourth wall portion 164 of the first case member 16 and the fourth wall portion 64 of the holder 60, and the fourth wall portion 174 of the second case member 17 and the fourth wall portion 174 of the holder 60 are formed. An L-shaped bent gap 29 is formed between the wall portion 64 and the like.

(接着剤の充填用の貫通穴の構成)
図15は、図9および図10に示す貫通穴67を通る位置で支持体2を切断したときのYZ断面図である。図16は、図9および図10に示す貫通穴67を通る位置で支持体2を切断したときのXZ断面図である。
(Structure of through holes for filling adhesive)
FIG. 15 is a YZ sectional view when the support body 2 is cut at a position passing through the through hole 67 shown in FIGS. 9 and 10. FIG. 16 is an XZ sectional view when the support 2 is cut at a position passing through the through hole 67 shown in FIGS. 9 and 10.

図9および図10に示すように、ホルダ60の第2角部600には、第2角部600を第1方向Zで貫通して第1接着剤H1が設けられている第1非接触領域211で開口する貫通穴67が設けられている。図15および図16に示すように、貫通穴67は、第2角部600の第1方向Zの一方側Z1の第1開口部671の開口サイズS1が第2角部600の第1方向Zの他方側Z2の第2開口部672の開口サイズS2より大きい。 As shown in FIGS. 9 and 10, in the second corner portion 600 of the holder 60, the first non-contact area in which the first adhesive H1 is provided by penetrating the second corner portion 600 in the first direction Z. A through hole 67 that opens at 211 is provided. As shown in FIGS. 15 and 16, in the through hole 67, the opening size S1 of the first opening 671 on one side Z1 of the second corner 600 in the first direction Z is the first direction Z of the second corner 600. Is larger than the opening size S2 of the second opening 672 on the other side Z2.

貫通穴67は、第2角部600の第1方向Zの一方側L1で開口する第1穴676と、第1穴676に第1方向Zの他方側Z2で連通して第2角部600の第1方向Zの他方側Z2で開口する第2穴677とを有している。ここで、第2穴677の内周面は、第1方向Zの一方側Z1に向けて内径を緩やかに小さくする傾斜面になっている。第1穴676の内周面は、周方向の少なくとも一部が第1方向Zの他方側Z2から第1方向Zの一方側Z1に向けて内径を大きくする円錐面状の傾斜面678になっている。 The through hole 67 communicates with the first hole 676 that is open on one side L1 of the first direction Z of the second corner portion 600 and the second corner portion 600 by communicating with the first hole 676 on the other side Z2 of the first direction Z. And a second hole 677 opened on the other side Z2 in the first direction Z. Here, the inner peripheral surface of the second hole 677 is an inclined surface that gradually reduces the inner diameter toward the one side Z1 in the first direction Z. At least a part of the inner peripheral surface of the first hole 676 in the circumferential direction is a conical inclined surface 678 whose inner diameter increases from the other side Z2 of the first direction Z toward the one side Z1 of the first direction Z. ing.

本形態では、第1穴676の内周面の一部が円錐面状の傾斜面678になっており、周方向の他の一部は、平面部679aになっている。また、第2穴677も、内周面の一部が、平面部679aと連続する平面部679bになっている。従って、貫通穴67の内周面は、周方向の一部が第1方向Zの他方側Z2の開口縁から第1方向Zの一方側Z1の開口縁まで延在する平面部679になっている。かかる貫通穴67では、平面部679が第1方向Zの一方側Z1の開口縁に形成する直線部分679c(図10参照)の長さが、平面部679の第1方向Zの他方側Z2の開口縁に形成する直線部分679d(図9参照)の長さより長い。なお、貫通穴67の内周面のうち、平面部679以外の部分において、第1穴676と第2穴677との間では、第1穴676の内周面が第2穴677の内周面より径方向の外側に位置する。 In the present embodiment, a part of the inner peripheral surface of the first hole 676 is a conical inclined surface 678, and the other part in the circumferential direction is a flat surface portion 679a. Further, the second hole 677 also has a flat surface portion 679b, which is continuous with the flat surface portion 679a at a part of the inner peripheral surface thereof. Therefore, the inner peripheral surface of the through hole 67 is a flat surface portion 679, a part of which extends in the circumferential direction from the opening edge on the other side Z2 in the first direction Z to the opening edge on the one side Z1 in the first direction Z. There is. In the through hole 67, the length of the straight line portion 679c (see FIG. 10) formed by the flat surface portion 679 at the opening edge on the one side Z1 of the first direction Z is equal to the length of the straight surface portion 679 on the other side Z2 of the first direction Z in the first direction Z. It is longer than the length of the straight line portion 679d (see FIG. 9) formed at the opening edge. In the portion of the inner peripheral surface of the through hole 67 other than the flat portion 679, the inner peripheral surface of the first hole 676 is the inner peripheral surface of the second hole 677 between the first hole 676 and the second hole 677. Located radially outside the plane.

(アクチュエータ1の製造方法)
図17は、図5等に示す配線基板15とホルダ60の第3壁部63との間の隙間を示す断面図である。
(Method of manufacturing actuator 1)
FIG. 17 is a cross-sectional view showing a gap between the wiring board 15 shown in FIG. 5 and the like and the third wall portion 63 of the holder 60.

本形態では、第1ケース部材16の貫通穴16bから差し込んだ支持ピン(図示せず)によって第1ヨーク86を支持しながら、第1ケース部材16、第1ヨーク86、ホルダ60、および第2ヨーク87を第1方向Zに重ねるとき、貫通穴16aから差し込んだ位置決めピンを基準に第1ケース部材16の貫通穴16a、第1ヨーク86の切り欠き869、ホルダ60の切り欠き603、および第2ヨーク87の切り欠き879を重ねる。従って、第1ケース部材16、第1ヨーク86、ホルダ60、および第2ヨーク87を適正に重ねることができる。 In this embodiment, the first case member 16, the first yoke 86, the holder 60, and the second case 86 are supported while the first yoke 86 is supported by the support pins (not shown) inserted from the through holes 16b of the first case member 16. When the yoke 87 is stacked in the first direction Z, the through hole 16a of the first case member 16, the cutout 869 of the first yoke 86, the cutout 603 of the holder 60, and the 2 The notch 879 of the yoke 87 is overlapped. Therefore, the first case member 16, the first yoke 86, the holder 60, and the second yoke 87 can be properly stacked.

その際、第1ヨーク86の第1連結板部861をホルダ60の第1開口部601を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて突出させ、第2連結板部862をホルダ60の第2開
口部602を通って第1方向Zの他方側Z2に向けて突出させる。従って、第1ヨーク86の第1連結板部861および第2連結板部862を各々、第2ヨーク87と連結することができる。
At that time, the first connecting plate portion 861 of the first yoke 86 is projected toward the other side Z2 in the first direction Z through the first opening 601 of the holder 60, and the second connecting plate portion 862 of the holder 60 is attached. It is projected toward the other side Z2 in the first direction Z through the second opening 602. Therefore, each of the first connecting plate portion 861 and the second connecting plate portion 862 of the first yoke 86 can be connected to the second yoke 87.

また、第1ケース部材16および第1ヨーク86の一方に第1粘弾性部材91を予め、接着剤によって接続しておき、第1ケース部材16と第1ヨーク86とを重ねる際、第1ケース部材16および第1ヨーク86の他方に第1粘弾性部材91を接着剤によって接続する。また、第2ケース部材17および第2ヨーク87の一方に第2粘弾性部材92を予め、接着剤によって接続しておき、第2ケース部材17と第2ヨーク87とを重ねる際、第2ケース部材17および第2ヨーク87の他方に第2粘弾性部材92を接着剤によって接続する。その際、貫通穴16bから差し込んだ支持ピンを第2ケース部材17の切り欠き17bに当接させて第2ケース部材17を支持する。 In addition, the first viscoelastic member 91 is previously connected to one of the first case member 16 and the first yoke 86 by an adhesive agent, and when the first case member 16 and the first yoke 86 are overlapped with each other, the first case The first viscoelastic member 91 is connected to the other of the member 16 and the first yoke 86 with an adhesive. Further, the second viscoelastic member 92 is previously connected to one of the second case member 17 and the second yoke 87 by an adhesive agent, and when the second case member 17 and the second yoke 87 are stacked, the second case The second viscoelastic member 92 is connected to the other of the member 17 and the second yoke 87 with an adhesive. At that time, the support pin inserted from the through hole 16b is brought into contact with the notch 17b of the second case member 17 to support the second case member 17.

このようにして、アクチュエータ1を製造する際、本形態では、第1ケース部材16にホルダ60を重ねた状態で、貫通穴67から第1接着剤H1を滴下し、貫通穴67を伝って第1接着剤H1を第1ケース部材16とホルダ60との間の第1非接触領域211に充填する。その後、ホルダ60を第2ケース部材17を重ねる際、ホルダ60において第2非接触領域221を構成する第4領域60tに第2接着剤H2を塗布する。本形態においては、図示を省略するが、第1非接触領域211には、第2接着剤H2を充填する際に第1非接触領域211から空気を抜くための切り欠きや凹部が形成されている。 In this manner, when manufacturing the actuator 1, in the present embodiment, the first adhesive H1 is dropped from the through hole 67 in a state where the holder 60 is placed on the first case member 16, and the first adhesive H1 is passed through the through hole 67 to reach the first adhesive H1. The first adhesive H1 is filled in the first non-contact area 211 between the first case member 16 and the holder 60. After that, when the holder 60 is overlaid on the second case member 17, the second adhesive H2 is applied to the fourth region 60t forming the second non-contact region 221 in the holder 60. In the present embodiment, although not shown, the first non-contact area 211 is formed with a notch or a recess for removing air from the first non-contact area 211 when filling the second adhesive H2. There is.

ここで、図17に示すように、図5等に示す配線基板15とホルダ60の第3壁部63との間には、一方方向(第1方向Zの一方側Z1)から他方方向(第1方向Zの他方側Z2)に間隔が広がった隙間Gが設けられている。従って、第1方向Zの他方側Z2では隙間Gの開口幅が広いので、配線基板15と第3壁部63との間に第3接着剤(図示せず)を充填することができる。 Here, as shown in FIG. 17, between the wiring board 15 shown in FIG. 5 and the like and the third wall portion 63 of the holder 60 from one direction (first side Z, one side Z1) to the other direction (first side Z1). A gap G having a wider gap is provided on the other side Z2) in the one direction Z. Therefore, since the opening width of the gap G is wide on the other side Z2 in the first direction Z, the third adhesive (not shown) can be filled between the wiring board 15 and the third wall portion 63.

このようにして、所定位置に接着剤を設けた後、加熱し、全ての未硬化の接着剤を同時に硬化させる。 In this way, after the adhesive is provided at the predetermined position, it is heated to cure all the uncured adhesives at the same time.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態のアクチュエータ1において、第1ケース部材16の第1角部160とホルダ60の第2角部600とが第1方向Zで重なる第1支持部21には、第1角部160と第2角部600とが第1方向Zで離間する第1非接触領域211と、第1角部160と第2角部600とが第1方向Zで接する第1接触領域212とが設けられているため、第1角部160と第2角部600とが接触する領域が限定されている。従って、第1角部160と第2角部600とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体3を駆動した際の振動等が第1支持部21に伝わっても、第1支持部21からびびり音が発生しにくい。
(Main effects of this embodiment)
As described above, in the actuator 1 of the present embodiment, the first support portion 21 where the first corner portion 160 of the first case member 16 and the second corner portion 600 of the holder 60 overlap in the first direction Z has A first non-contact area 211 in which the first corner 160 and the second corner 600 are separated from each other in the first direction Z, and a first contact area in which the first corner 160 and the second corner 600 are in contact with each other in the first direction Z. Since 212 is provided, the area where the first corner portion 160 and the second corner portion 600 contact each other is limited. Therefore, the first corner portion 160 and the second corner portion 600 can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body 3 is driven is transmitted to the first support portion 21, the chatter noise is unlikely to be generated from the first support portion 21.

また、第2ケース部材17の第3角部170とホルダ60の第2角部600とが第1方向Zで重なる第2支持部22には、第2角部600と第3角部170とが第1方向Zで離間する第2非接触領域221と、第2角部600と第3角部170とが第1方向Zで接する第2接触領域222とが設けられているため、第2角部600と第3角部170とが接触する領域が限定されている。従って、第2角部600と第3角部170とを安定した状態で接触させることができる。それ故、可動体3を駆動した際の振動等が第2支持部22に伝わっても、第2支持部22からびびり音が発生しにくい。 In addition, in the second support portion 22 where the third corner portion 170 of the second case member 17 and the second corner portion 600 of the holder 60 overlap in the first direction Z, the second corner portion 600 and the third corner portion 170 are provided. The second non-contact area 221 separated from each other in the first direction Z and the second contact area 222 where the second corner portion 600 and the third corner portion 170 contact each other in the first direction Z are provided. The area where the corner portion 600 and the third corner portion 170 contact each other is limited. Therefore, the second corner portion 600 and the third corner portion 170 can be brought into contact with each other in a stable state. Therefore, even if vibration or the like when the movable body 3 is driven is transmitted to the second support portion 22, the chatter noise is unlikely to be generated from the second support portion 22.

また、第1接触領域212は、第1非接触領域211の周りを囲むように設けられ、第2接触領域222は、第2非接触領域221の周りを囲むように設けられている。さらに
、第1非接触領域211には第1接着剤H1が設けられ、第2非接触領域221には第2接着剤H2が設けられている。従って、第1角部160と第2角部600とが安定した状態で支持し合い、第2角部600と第3角部170とが安定した状態で支持し合う。従って、びびり音の発生を効果的に抑制することができる。
Further, the first contact region 212 is provided so as to surround the first non-contact region 211, and the second contact region 222 is provided so as to surround the second non-contact region 221. Further, the first non-contact area 211 is provided with the first adhesive H1 and the second non-contact area 221 is provided with the second adhesive H2. Therefore, the first corner 160 and the second corner 600 support each other in a stable state, and the second corner 600 and the third corner 170 support each other in a stable state. Therefore, the generation of chatter noise can be effectively suppressed.

また、支持体2の端面では、第1角部160の外縁部16rと第2角部600の外縁部60rとが第1隙間24を介して対向し、第2角部600の外縁部60pと第3角部170の外縁部17pとが第2隙間25を介して対向している。このため、支持体の端面からびびり音が発生しにくい。また、第1隙間24および第2隙間25が屈曲しているため、外部から異物の侵入を抑制することができる。 In addition, on the end surface of the support body 2, the outer edge portion 16r of the first corner portion 160 and the outer edge portion 60r of the second corner portion 600 face each other via the first gap 24, and the outer edge portion 60p of the second corner portion 600. The outer edge portion 17p of the third corner portion 170 faces the second gap 25. Therefore, chattering noise is less likely to be generated from the end surface of the support. Further, since the first gap 24 and the second gap 25 are bent, it is possible to prevent foreign matter from entering from the outside.

また、ホルダ60には、貫通穴67が設けられているため、第1ケース部材16、およびホルダ60を第1接着剤H1を介して重ねる工程において、第1ケース部材16の上にホルダ60を重ねた状態で貫通穴67から第1接着剤H1を滴下すると、第1接着剤H1は、貫通穴67を伝って第1ケース部材16とホルダ60との間に流出する。従って、第1ケース部材16あるいはホルダ60に第1接着剤H1を塗布した後、第1ケース部材16とホルダ60とを重ねる場合より、第1ケース部材16とホルダ60との間に第1接着剤H1を効率よく設けることができる。 Since the holder 60 is provided with the through hole 67, the holder 60 is placed on the first case member 16 in the step of stacking the first case member 16 and the holder 60 via the first adhesive H1. When the first adhesive H1 is dropped from the through hole 67 in the stacked state, the first adhesive H1 flows out through the through hole 67 between the first case member 16 and the holder 60. Therefore, the first adhesive is applied between the first case member 16 and the holder 60 more than when the first case member 16 and the holder 60 are stacked after the first adhesive H1 is applied to the first case member 16 or the holder 60. The agent H1 can be efficiently provided.

また、貫通穴67は、第1方向Zの一方側Z1での開口サイズが他方側Z2での開口サイズより大きいので、第1接着剤H1は、貫通穴67から第1ケース部材16とホルダ60との間にスムーズに流出する。 Further, since the opening size of the through hole 67 on the one side Z1 in the first direction Z is larger than the opening size on the other side Z2, the first adhesive H1 is applied from the through hole 67 to the first case member 16 and the holder 60. Spills smoothly between and.

また、貫通穴67を構成する第1穴676の内周面は、周方向の少なくとも一部が第1方向Zの他方側Z2から一方側Z1に向けて内径を大きくする傾斜面678になっている。従って、貫通穴67の第1方向Zの他方側Z2での開口サイズを確保しつつ、貫通穴67の第1方向Zの一方側Z1での開口サイズを大きくするのに都合がよい。 Further, at least a part of the inner peripheral surface of the first hole 676 forming the through hole 67 is a slanted surface 678 whose inner diameter increases from the other side Z2 in the first direction Z toward the one side Z1. There is. Therefore, it is convenient to increase the opening size of the through hole 67 on the one side Z1 of the first direction Z while ensuring the opening size on the other side Z2 of the first direction Z.

また、貫通穴67の内周面は、周方向の一部が平面部679になっているため、第1方向Zの他方側Z2から貫通穴67に第1接着剤H1を滴下する際、第1接着剤H1を平面部679に滴下すれば、第1接着剤H1を平面部679を伝って第1角部160と第2角部600との間にスムーズに流出させることができる。また、平面部679が第1方向Zの一方側Z1の開口縁に形成する直線部分679c(図10参照)の長さが、平面部679の第1方向Zの他方側Z2の開口縁に形成する直線部分679d(図9参照)の長さより長いため、第1接着剤H1を傾斜面678を避けて平面部679に滴下しやすい。従って、第1接着剤H1を平面部679を伝って第1角部160と第2角部600との間にスムーズに流出させることができる。 In addition, since the inner peripheral surface of the through hole 67 has a flat surface portion 679 in the circumferential direction, when the first adhesive H1 is dropped onto the through hole 67 from the other side Z2 in the first direction Z, When the first adhesive H1 is dropped onto the flat surface portion 679, the first adhesive H1 can be smoothly flown along the flat surface portion 679 and between the first corner portion 160 and the second corner portion 600. The length of the straight line portion 679c (see FIG. 10) formed by the flat surface portion 679 at the opening edge on the one side Z1 of the first direction Z is formed at the opening edge on the other side Z2 of the flat surface portion 679 in the first direction Z. Since it is longer than the length of the straight line portion 679d (see FIG. 9), it is easy to drop the first adhesive H1 on the flat surface portion 679 while avoiding the inclined surface 678. Therefore, the first adhesive H1 can be smoothly discharged along the flat surface portion 679 between the first corner portion 160 and the second corner portion 600.

[他の実施形態]
上記実施形態では、第1角部160に設けた高低差を利用して第1非接触領域211および第1接触領域212を構成したが、第2角部600に設けた高低差を利用して第1非接触領域211と第1接触領域212とを構成してもよい。また、第2角部600に設けた高低差を利用して第2非接触領域221および第2接触領域222を構成したが、第3角部170に設けた高低差を利用して第2非接触領域221と第2接触領域222とを構成してもよい。
[Other Embodiments]
In the above-described embodiment, the height difference provided in the first corner portion 160 is used to configure the first non-contact area 211 and the first contact area 212, but the height difference provided in the second corner portion 600 is used. The first non-contact area 211 and the first contact area 212 may be configured. In addition, although the second non-contact area 221 and the second contact area 222 are configured by using the height difference provided in the second corner portion 600, the second non-contact area 221 and the second contact area 222 are formed by using the height difference provided in the third corner portion 170. The contact area 221 and the second contact area 222 may be configured.

上記実施形態では、2つの磁石8(第1磁石81および第2磁石82)を有していたが、例えば、コイル7に対して第1方向Zの一方側Z1のみに磁石8が配置され、第1方向Zの他方側Z2に第2ヨーク87のみが存在する態様の場合に本発明を適用してもよい。 Although the two magnets 8 (the first magnet 81 and the second magnet 82) are included in the above-described embodiment, for example, the magnet 8 is arranged only on one side Z1 of the first direction Z with respect to the coil 7. The present invention may be applied to the case where only the second yoke 87 is present on the other side Z2 in the first direction Z.

上記実施形態では、粘弾性部材9としてシリコーン系ゲル等のゲル状部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。また、上記実施形態では、接続体90として粘弾性部材9を用いたが、バネ等の弾性部材を用いてもよい。 Although a gel-like member such as a silicone gel is used as the viscoelastic member 9 in the above embodiment, rubber or the like may be used as the viscoelastic member. Further, in the above embodiment, the viscoelastic member 9 is used as the connecting body 90, but an elastic member such as a spring may be used.

上記実施形態では、コイルおよびホルダが支持体2に設けられ、磁石およびヨークが可動体3に設けられていたが、コイルおよびホルダが可動体3に設けられ、磁石およびヨークが支持体2に設けられている場合に本発明を適用してもよい。上記実施形態では、可動体3を第2方向Xのみに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用したが、可動体3を第2方向Xおよび第3方向Yに駆動するアクチュエータ1に本発明を適用してもよい。 In the above embodiment, the coil and the holder are provided on the support body 2 and the magnet and the yoke are provided on the movable body 3. However, the coil and the holder are provided on the movable body 3, and the magnet and the yoke are provided on the support body 2. The present invention may be applied to such cases. In the above embodiment, the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 only in the second direction X, but the present invention is applied to the actuator 1 that drives the movable body 3 in the second direction X and the third direction Y. You may.

1…アクチュエータ、2…支持体、3…可動体、6…磁気駆動回路、7…コイル、8…磁石、9…粘弾性部材、15…配線基板、16…第1ケース部材、16s…第1領域、16t…第2領域、16u…第1屈曲部、17…第2ケース部材、17u…第2屈曲部、18…ネジ、21…第1支持部、22…第2支持部、24…第1隙間、25…第2隙間、60…ホルダ、60p、60r…外縁部、60s…第3領域、60t…第4領域、61、161、171…第1壁部、62、162、172…第2壁部、63、163、173…第3壁部、64、164、174…第4壁部、65、165、175…底板部、67…貫通穴、71…第1コイル、72…第2コイル、81、83…第1磁石、82、84…第2磁石、86…第1ヨーク、87…第2ヨーク、90…接続体、91…第1粘弾性部材、92…第2粘弾性部材、160…第1角部、170…第3角部、211…第1非接触領域、212…第1接触領域、221…第2非接触領域、222…第2接触領域、600…第2角部、676…第1穴、677…第2穴、678…傾斜面、679、679a、679b…平面部、679c、679d…直線部分、H1…第1接着剤、H2…第2接着剤、X…第2方向、Y…第3方向、Z…第1方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Actuator, 2... Support body, 3... Movable body, 6... Magnetic drive circuit, 7... Coil, 8... Magnet, 9... Viscoelastic member, 15... Wiring board, 16... 1st case member, 16s... 1st Region, 16t... Second region, 16u... First bent part, 17... Second case member, 17u... Second bent part, 18... Screw, 21... First support part, 22... Second support part, 24... 1 gap, 25... 2nd gap, 60... Holder, 60p, 60r... Outer edge part, 60s... 3rd area|region, 60t... 4th area|region, 61, 161, 171... 1st wall part, 62, 162, 172... 2 wall part, 63, 163, 173... 3rd wall part, 64, 164, 174... 4th wall part, 65, 165, 175... bottom plate part, 67... through hole, 71... 1st coil, 72... 2nd Coil, 81, 83... First magnet, 82, 84... Second magnet, 86... First yoke, 87... Second yoke, 90... Connection body, 91... First viscoelastic member, 92... Second viscoelastic member , 160... First corner, 170... Third corner, 211... First non-contact area, 212... First contact area, 221... Second non-contact area, 222... Second contact area, 600... Second corner Part, 676... First hole, 677... Second hole, 678... Inclined surface, 679, 679a, 679b... Plane part, 679c, 679d... Straight part, H1... First adhesive, H2... Second adhesive, X ...Second direction, Y...third direction, Z...first direction

Claims (12)

支持体と、
可動体と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を有し、前記可動体および前記支持体に接続する接続体と、
前記支持体に対して前記可動体を相対移動させる磁気駆動回路と、
を備え、
前記支持体は、前記磁気駆動回路のコイルおよび磁石のうちの一方を保持するホルダと、前記ホルダに第1方向の一方側で重なる第1ケース部材と、を備え、
前記第1ケース部材の角付近である第1角部と前記ホルダの角付近である第2角部とは前記第1方向で重なって第1支持部を構成し、
前記第1支持部には、前記第1角部と前記第2角部とが前記第1方向で離間する第1非接触領域と、前記第1非接触領域に隣接する位置で前記第1角部と前記第2角部とが前記第1方向で接する第1接触領域と、が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
A support,
A movable body,
A connector having at least one of elasticity and viscoelasticity, which is connected to the movable body and the support,
A magnetic drive circuit that moves the movable body relative to the support body;
Equipped with
The support includes a holder that holds one of a coil and a magnet of the magnetic drive circuit, and a first case member that overlaps the holder on one side in a first direction,
A first corner portion near the corner of the first case member and a second corner portion near the corner of the holder overlap in the first direction to form a first support portion,
The first support portion has a first non-contact area in which the first corner portion and the second corner portion are separated from each other in the first direction, and the first corner at a position adjacent to the first non-contact area. And a first contact region where the second corner portion is in contact with the second corner in the first direction.
請求項1に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1接触領域は、前記第1非接触領域の周りを囲むように設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1,
The first contact region is provided so as to surround the first non-contact region.
請求項1または2に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1非接触領域には接着剤が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 1 or 2,
An actuator, wherein an adhesive is provided in the first non-contact area.
請求項1から3までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記支持体の端面では、前記第1角部の外縁部と前記第2角部の外縁部とが第1隙間を介して対向していることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 3,
An actuator, wherein an outer edge portion of the first corner portion and an outer edge portion of the second corner portion face each other with a first gap on an end surface of the support body.
請求項4に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1角部の外縁部、および前記第2角部の外縁部の一方は、前記第1隙間をL字状に屈曲させる第1屈曲部を有していることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 4,
An actuator, wherein one of the outer edge portion of the first corner portion and one of the outer edge portion of the second corner portion has a first bent portion that bends the first gap into an L shape.
請求項1から5までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記支持体は、前記ホルダに前記第1方向の他方側で重なる第2ケース部材を備え、
前記第2角部と前記第2ケース部材の角付近である第3角部とは前記第1方向で重なって第2支持部を構成しており、
前記第2支持部には、前記第2角部と前記第3角部とが前記第1方向で離間する第2非接触領域と、前記第2非接触領域に隣接する位置で前記第2角部と前記第3角部とが前記第1方向で接する第2接触領域と、が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 5,
The support includes a second case member that overlaps the holder on the other side in the first direction,
The second corner portion and the third corner portion near the corner of the second case member overlap in the first direction to form a second support portion,
The second support portion has a second non-contact area in which the second corner portion and the third corner portion are separated from each other in the first direction, and the second corner at a position adjacent to the second non-contact area. And a second contact region where the third corner portion is in contact with the third corner portion in the first direction.
請求項6に記載のアクチュエータにおいて、
前記第2接触領域は、前記第2非接触領域の周りを囲むように設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 6,
The actuator is characterized in that the second contact region is provided so as to surround the second non-contact region.
請求項6または7に記載のアクチュエータにおいて、
前記第2非接触領域に接着剤が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 6 or 7,
An actuator, wherein an adhesive is provided in the second non-contact area.
請求項6から8までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記支持体の端面では、前記第2角部の外縁部と前記第3角部の外縁部とが第2隙間を介して対向していることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 6 to 8,
An actuator, wherein an outer edge portion of the second corner portion and an outer edge portion of the third corner portion face each other with a second gap on an end surface of the support body.
請求項9に記載のアクチュエータにおいて、
前記第2角部の外縁部、および前記第3角部の外縁部の一方は、前記第2隙間をL字状に屈曲させる第2屈曲部を有していることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to claim 9,
One of the outer edge portion of the second corner portion and the outer edge portion of the third corner portion has a second bent portion that bends the second gap into an L shape.
請求項1から10までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記第1ケース部材の前記第1角部から延在する壁部と、前記ホルダの前記第2角部から延在する壁部とは、前記支持体の端面で少なくとも一部が非接触状態にあることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 10,
At least a part of the wall portion extending from the first corner portion of the first case member and the wall portion extending from the second corner portion of the holder are in a non-contact state on the end surface of the support body. An actuator characterized by being.
請求項1から11までの何れか一項に記載のアクチュエータにおいて、
前記コイルと前記磁石とは前記第1方向で対向し、
前記磁気駆動回路は、前記支持体に対して前記可動体を前記第1方向に対して交差する第2方向に相対移動させることを特徴とするアクチュエータ。
The actuator according to any one of claims 1 to 11,
The coil and the magnet face each other in the first direction,
The magnetic drive circuit moves the movable body relative to the support body in a second direction intersecting with the first direction.
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