JP2021117067A - Thermometer calibration device - Google Patents
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Abstract
【課題】 被校正温度計を校正するための収容空間内の温度コントロールを比較的簡単に行うことができる校正装置を提供する。【解決手段】 本発明の温度計の校正装置1は、基準温度計61及び被校正温度計62と冷媒を収容する収容空間Aを有する容器体2と、前記容器体2の外側に配置され且つ前記容器体2との間に第1空間Bを形成する第1壁3と、前記第1壁3の外側に配置され且つ前記第1壁3との間に第2空間Cを形成する第2壁4と、を有し、前記第1空間Bにガスが充填され、前記第2空間Cに液化ガスが充填されている。【選択図】 図2PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a calibration device capable of relatively easily controlling a temperature in an accommodation space for calibrating a thermometer to be calibrated. SOLUTION: A thermometer calibration device 1 of the present invention is arranged outside a container body 2 having a reference thermometer 61, a thermometer 62 to be calibrated, a storage space A for accommodating a refrigerant, and the container body 2. A second wall 3 that forms a first space B with the container body 2 and a second space C that is arranged outside the first wall 3 and forms a second space C between the first wall 3 and the first wall 3. The first space B is filled with gas, and the second space C is filled with liquefied gas. [Selection diagram] Fig. 2
Description
本発明は、温度計を校正するために使用される装置に関する。 The present invention relates to an apparatus used to calibrate a thermometer.
低温度での温度計の校正は、特許文献1に記載されているように、次のような方法で行なわれている。国際温度目盛(現在の温度標準である国際温度目盛は1990年に定められた1990年国際温度目盛である。)の条件をみたす白金抵抗温度計を0℃以下の低温度領域で国際温度目盛が定める方法で校正する場合には、国際温度目盛の温度定点(以下では単に「定点」と記載する場合もある。)である、水の三重点(0.01℃)、水銀の三重点(−38.8344℃)、アルゴンの三重点(−189.3442℃)などを実現し、それらの実現温度で温度計の抵抗値、すなわち校正値を求める。そして、これら温度定点間の任意温度については、これら温度定点での校正値から国際温度目盛が定める方法で補間することにより校正することができる。 Calibration of the thermometer at a low temperature is performed by the following method as described in Patent Document 1. A platinum resistance thermometer that meets the conditions of the international temperature scale (the current temperature standard, the international temperature scale is the 1990 international temperature scale set in 1990), has an international temperature scale in the low temperature range of 0 ° C or less. When calibrating by the specified method, the temperature fixed point of the international temperature scale (hereinafter, it may be simply referred to as "fixed point"), the triple point of water (0.01 ° C) and the triple point of mercury (-). 38.8344 ° C.), triple points of argon (-189.3442 ° C.), etc. are realized, and the resistance value of the thermometer, that is, the calibration value is obtained at those realized temperatures. Then, the arbitrary temperature between these fixed temperature points can be calibrated by interpolating from the calibration values at these fixed temperature points by a method determined by the international temperature scale.
特許文献1には、アルゴンの三重点温度での校正サービスを効率的に行うために、断熱容器内の空間に、基準温度計及び被校正温度計を収納する収納部を備えた比較校正ブロックを保持し、この比較校正ブロックが浸漬するように冷却用の液体窒素及び液体酸素の混合液体を供給しつつこの混合液体を撹拌する撹拌器を設けた低温度校正装置が開示されている。 Patent Document 1 provides a comparative calibration block provided with a storage unit for accommodating a reference thermometer and a thermometer to be calibrated in a space inside a heat insulating container in order to efficiently perform a calibration service at a triple point temperature of argon. A low temperature calibration device is disclosed that is provided with a stirrer that holds and stirs the mixed liquid while supplying a mixed liquid of liquid nitrogen and liquid oxygen for cooling so that the comparative calibration block is immersed.
しかしながら、特許文献1の校正装置は、温度計が収容された容器内に液体窒素及び液体酸素の混合液体を入れて容器内を冷やすため、容器内の温度が急激に低下し易く、容器内をアルゴンの三重点にするための温度調整及び三重点温度の維持が難しい。
さらに、温度計(基準温度計及び被校正温度計)が液体窒素及び液体酸素の混合液体によって直接的に冷やされるので、温度計が急激な温度変化に曝される。例えば、白金抵抗温度計のようなセンサー部を有する温度計は、センサー部が急激な温度変化に曝されると誤差が生じ易くなる(温度計の品質が低下するおそれがある)。
また、近年、様々な分野で液化水素が利用されており、液化水素(沸点:約−253℃)の温度を正確に測ることができる温度計が必要とされる。この点、特許文献1の校正装置では、混合液体の混合比を調節しても、窒素の沸点(約−195.8℃)の近くまでしか冷やすことができず、より低い温度で被校正温度計を校正できるようにすることも求められる。
However, in the calibration device of Patent Document 1, since a mixed liquid of liquid nitrogen and liquid oxygen is put in a container in which a thermometer is housed to cool the inside of the container, the temperature inside the container tends to drop sharply, and the inside of the container is squeezed. It is difficult to adjust the temperature to make the triple point of argon and maintain the triple point temperature.
Further, since the thermometers (reference thermometer and calibrated thermometer) are directly cooled by the mixed liquid of liquid nitrogen and liquid oxygen, the thermometer is exposed to a sudden temperature change. For example, a thermometer having a sensor unit such as a platinum resistance thermometer tends to cause an error when the sensor unit is exposed to a sudden temperature change (the quality of the thermometer may deteriorate).
Further, in recent years, liquefied hydrogen has been used in various fields, and a thermometer capable of accurately measuring the temperature of liquefied hydrogen (boiling point: about -253 ° C) is required. In this regard, in the calibration device of Patent Document 1, even if the mixing ratio of the mixed liquid is adjusted, it can be cooled only near the boiling point of nitrogen (about -195.8 ° C.), and the temperature to be calibrated is lower. It is also required to be able to calibrate the meter.
本発明の第1の目的は、被校正温度計を校正するための収容空間内の温度コントロールを比較的簡単に行うことができる温度計の校正装置を提供することである。
本発明の第2の目的は、より低い温度で校正できる温度計の校正装置を提供することである。
A first object of the present invention is to provide a thermometer calibration device capable of relatively easily controlling the temperature in the accommodation space for calibrating the thermometer to be calibrated.
A second object of the present invention is to provide a thermometer calibration device capable of calibrating at a lower temperature.
本発明の温度計の校正装置は、基準温度計及び被校正温度計と冷媒を収容する収容空間を有する容器体と、前記容器体の外側に配置され且つ前記容器体との間に第1空間を形成する第1壁と、前記第1壁の外側に配置され且つ前記第1壁との間に第2空間を形成する第2壁と、を有し、前記第1空間にガスが充填され、前記第2空間に液化ガスが充填されている。 The calibrator device for the thermometer of the present invention has a first space between a container body having a storage space for accommodating a reference thermometer, a thermometer to be calibrated, and a refrigerant, and a first space arranged outside the container body and between the container body. It has a first wall forming the above and a second wall arranged outside the first wall and forming a second space between the first wall, and the first space is filled with gas. , The second space is filled with liquefied gas.
本発明の好ましい校正装置は、前記第2空間に充填されている液化ガスが、液体水素を含む。
本発明の好ましい校正装置は、前記第1空間に充填されているガスが、気体水素を含む。
本発明の好ましい校正装置は、前記収容空間に収容された冷媒が、窒素を含む。
本発明の好ましい校正装置は、前記収容空間に収容された冷媒が、窒素を含み、前記第1空間に充填されているガスが、気体水素を含み、前記第2空間に充填されている液化ガスが、液体水素を含み、前記収容空間の窒素が、三重点温度に冷やされている。
In the preferred calibration device of the present invention, the liquefied gas filled in the second space contains liquid hydrogen.
In the preferred calibration device of the present invention, the gas filled in the first space contains gaseous hydrogen.
In the preferred calibration device of the present invention, the refrigerant contained in the accommodation space contains nitrogen.
In a preferred calibration device of the present invention, the refrigerant contained in the accommodation space contains nitrogen, and the gas filled in the first space contains gaseous hydrogen, and the liquefied gas filled in the second space. However, it contains liquid hydrogen and the nitrogen in the containment space is cooled to the triple point temperature.
本発明の校正装置は、第2空間に充填された液化ガスと収容空間に充填された冷媒の間に、第1空間に充填されたガスが介在しているので、冷媒が急激に冷やされることを防止できる。急激な温度変化を防止できるので、収容空間内の温度を簡単にコントロールできる。
また、本発明の好ましい校正装置は、窒素の三重点温度で被校正温度計を校正することもできる。
In the calibration device of the present invention, since the gas filled in the first space is interposed between the liquefied gas filled in the second space and the refrigerant filled in the accommodation space, the refrigerant is rapidly cooled. Can be prevented. Since sudden temperature changes can be prevented, the temperature inside the accommodation space can be easily controlled.
The preferred calibration device of the present invention can also calibrate the thermometer to be calibrated at the triple point temperature of nitrogen.
本明細書において、単に「ガス」と記載している場合には、常温常圧において気相の状態となる物質の気体を意味し、「液化ガス」は、そのガスが液体の状態(液相)にあること意味する。気体水素などのように「気体+物質名(元素名又は化合物名)」は、気体の状態(気相)の物質を意味し、液体水素などのように「液体+物質名(元素名又は化合物名)」は、液体の状態(気相)の物質を意味する。また、単に「物質名」のみを記載している場合には、気体、液体及び固体の区別がなく、それら三相から選ばれる少なくとも1つの状態にある任意の物質を意味する。 In the present specification, when simply described as "gas", it means a gas of a substance that is in a gas phase at normal temperature and pressure, and "liquefied gas" means that the gas is in a liquid state (liquid phase). ) Means that it is. "Gas + substance name (element name or compound name)" such as gaseous hydrogen means a substance in a gaseous state (gas phase), and "liquid + substance name (element name or compound name)" such as liquid hydrogen. "Name)" means a substance in a liquid state (gas phase). Further, when only the "substance name" is described, it means any substance in at least one state selected from those three phases without distinguishing between gas, liquid and solid.
[温度計の校正装置]
図1及び図2において、本発明の温度計の校正装置1は、基準温度計61及び被校正温度計62と冷媒(冷媒は図示せず)を収容する収容空間Aを有する容器体2と、前記容器体2の外側に配置され且つ前記容器体2との間に第1空間Bを形成する第1壁3と、前記第1壁3の外側に配置され且つ前記第1壁3との間に第2空間Cを形成する第2壁4と、を有する。必要に応じて、前記第2壁4の外側に配置され且つ前記第2壁4との間に第3空間Dを形成する第3壁5を、さらに有する。
容器体2の収容空間Aには、基準温度計61及び被校正温度計62を冷やす冷媒が充填される。また、第2空間Cには、前記冷媒を冷やすための冷却剤である液化ガス(液化ガスは図示せず)が充填される。第1空間Bには、前記液化ガスと冷媒の間に介在する、ガス(ガスは図示せず)が充填される。
前記収容空間Aの冷媒が、第2空間Cの冷却剤である液化ガスによって冷やされ(換言すると、液化ガスによって冷媒の熱が奪われ)、その冷媒によって基準温度計61が所定の低温に達したときに、被校正温度計62を校正する。
[Thermometer calibration device]
In FIGS. 1 and 2, the calibrator 1 of the thermometer of the present invention includes a
The accommodation space A of the
The refrigerant in the accommodation space A is cooled by the liquefied gas that is the coolant in the second space C (in other words, the heat of the refrigerant is taken away by the liquefied gas), and the
<収容空間及び容器体>
容器体2は、上面開口型の凹体21と、前記凹体21の開口部を気密状に塞ぐ蓋材22と、を有し、蓋材22は、凹体21に着脱可能に取り付けられている。凹体21に蓋材22が取り付けられている容器体2は、その内部に収容空間Aを有する。収容空間Aには、冷媒が充填されている(冷媒の詳細は後述する)。蓋材22が凹体21に気密的に取り付けられていることにより、収容空間Aの冷媒は漏れないようになっている。
図示例では、容器体2は、円筒状に形成されており、例えば、蓋材22は、凹体21の上方部にネジ作用によって気密的に取り付けられている。この場合、蓋材22を凹体21に対して回すことにより、蓋材22を取り外して収容空間Aを開放できる。一方、蓋材22を凹体21に螺合することにより、凹体21の収容空間Aが蓋材22によって密封される。蓋材22と凹体21を気密状にするために、図示しないパッキンが設けられていてもよい。
<Accommodation space and container>
The
In the illustrated example, the
強度の観点では、凹体21及び蓋材22からなる容器体2は、耐圧性を有することが好ましい。
伝熱性の観点では、凹体21は、熱伝導に優れた材料によって形成され、特に、少なくとも低温において熱伝導に優れた材料によって形成されることが好ましい。低温において熱伝導に優れた材料としては、例えば、銅、アルミニウム、銀、金などが挙げられる。凹体21が熱伝導に優れた材料によって形成されていることにより、液化ガスによって収容空間A内の冷媒が効果的に冷される。
ここで、本発明において、低温は、0℃以下をいい、好ましくは−30℃以下をいう。
他方、蓋材22は、熱伝導し難い材料によって形成され、特に、少なくとも低温において熱伝導し難い材料によって形成されることが好ましい。低温において熱が伝わり難い材料としては、例えば、アクリル樹脂やエポキシ樹脂などの合成樹脂、セラミック、断熱材を含む材料(例えば、発泡樹脂が積層又は内部に充填されている金属板)、ガラス繊維などが挙げられる。蓋材22が熱の伝わり難い材料によって形成されていることにより、蓋材22を通じた収容空間A内への熱流入を効果的に防止できる。
From the viewpoint of strength, it is preferable that the
From the viewpoint of heat transfer, the
Here, in the present invention, the low temperature means 0 ° C. or lower, preferably −30 ° C. or lower.
On the other hand, the
容器体2には、収容空間A内に冷媒を入れる入口と、収容空間A内のガスなどを抜く出口と、が設けられている。例えば、前記入口及び出口には、それぞれ弁体2a,2bが設けられる。以下、入口に設けられる弁体を「注入弁2a」といい、出口に設けられる弁体を「注出弁2b」という。図示例では、注入弁2a及び注出弁2bは、蓋材22に設けられている。
The
また、蓋材22には、基準温度計61及び被校正温度計62を容器体2の収容空間Aに挿入するための開口部2cが形成されている。開口部2cは、少なくとも2つ形成されている。少なくとも1つの開口部2cは、基準温度計61を挿入するためのものであり、少なくとも1つの開口部2cは、被校正温度計62を挿入するためのものである。図示例では、4つの開口部2cが設けられている。この場合、1つの開口部2cに基準温度計61を挿入し、残る3つの開口部2cに被校正温度計62を挿入することにより、同時に、3つの被校正温度計62を校正できる。なお、3つ以上の開口部2cを有する場合において、例えば、(a)2つの開口部2cに基準温度計61に挿入し、2つの開口部2cに被校正温度計62を挿入する、(b)1つの開口部2cに基準温度計61を挿入し、1つの開口部2cに被校正温度計62を挿入し、残る開口部2cを閉栓してブランクとする、などのように様々な組み合わせで使用できる。
この開口部2cには、温度計(基準温度計61及び被校正温度計62)を宙づり保持するためのコネクター7が取り付けられている。このコネクター7は、貫通孔7aを有する。この貫通孔7aに温度計を挿入することにより、開口部2cから冷媒が漏れ出ることなく、温度計がコネクター7によって蓋材22に保持される。
Further, the
A
また、収容空間Aには、比較校正ブロック8が収容されている。この比較校正ブロック8は、特許文献1(特開2007−248277号)の比較校正ブロックと同様なものである。
比較校正ブロック8は、基準温度計61及び被校正温度計62を収納する収納部81を有する。収納部81は、上方が開口された筒状に形成されており、その開口から温度計(基準温度計61及び被校正温度計62)を収納部81内に挿入できる。
比較校正ブロック8は、温度の均一化を図るために、銅やアルミニウムなど低温で高熱伝導率の材料により形成されている。
収納部81の直径は、温度計のセンサー部を容易に出し入れできるように、温度計との間に隙間を生じる程度に設計される。温度計の太さにもよるが、収納部81の直径は、例えば、8〜15mm程度である。収納部81の深さ(上下方向長さ)も特に限定されないが、校正の信頼性を確保するために、例えば、センサー部の全長の2倍以上である。
Further, the comparative calibration block 8 is accommodated in the accommodation space A. This comparative calibration block 8 is similar to the comparative calibration block of Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2007-248277).
The comparative calibration block 8 has a
The comparative calibration block 8 is formed of a material having a high thermal conductivity at a low temperature such as copper or aluminum in order to make the temperature uniform.
The diameter of the
比較校正ブロック8は、収容空間Aの中央部に配置されていることが好ましい。このため、比較校正ブロック8は、例えば、固定具82を用いて蓋材22に吊下げられている。固定具82は、固定具82を通じた収容空間A内の冷媒への熱流入を防止するために、低温において熱が伝わり難い材料で形成される。例えば、固定具82は、ステンレススチール、ナイロンなどの熱伝導率の小さい材料で形成される。
具体的には、固定具82は、ネジが形成された棒状部材からなる。固定具82の下方部は、比較校正ブロック8に固着され、固定具82の上方部は、蓋材22に貫通され且つ蓋材22から突出されている。この突出された固定具82の上方部にナット部材83を取り付けることにより、比較校正ブロック8は、固定具82を介して蓋材22に吊り下げ支持されている。
The comparative calibration block 8 is preferably arranged in the central portion of the accommodation space A. Therefore, the comparative calibration block 8 is suspended from the
Specifically, the
<第1空間及び第1壁>
第1壁3は、前記容器体2の外側に配置され且つ前記容器体2との間に第1空間Bを形成する。第1空間Bには、ガスが充填されている。第1空間Bに充填されるガスについては、後述する。
第1壁3は、容器体2の凹体21を取り囲む第1凹状壁31と、第1凹状壁31の開口部を気密状に塞ぐ第1蓋壁32と、を有する。
第1蓋壁32、第1凹状壁31及び容器体2の凹体21によって囲われた内部に、第1空間Bが形成されている。
第1蓋壁32は、第1凹状壁31に着脱可能に取り付けられ、好ましくは、第1凹状壁31に気密的に取り付けられる。第1蓋壁32が第1凹状壁31に気密的に取り付けられていることにより、第1空間Bに封入されるガスが漏れないようになっている。
図示例では、第1凹状壁31は、有底円筒状に形成されており、例えば、第1蓋壁32は、第1凹状壁31の上方部にネジ作用によって気密的に取り付けられている。なお、第1蓋壁32の内縁は、容器体2の凹状壁の上方部外側に固着(例えば、溶接、接着剤を用いた接着などの手段で固着)されている。かかる第1蓋壁32を介して、容器体2と第1凹状壁31は、その間に第1空間Bを有しつつ一体化されている。第1蓋壁32を第1凹状壁31に対して回すことにより、第1蓋壁32を容器体2と共に取り外すことができる。第1蓋壁32と第1凹状壁31を気密状にするため、図示しないパッキンが設けられていてもよい。
なお、第1蓋壁32は、着脱可能でなく、第1凹状壁31に固着されていてもよい。
<1st space and 1st wall>
The
The
The first space B is formed inside the
The
In the illustrated example, the first
The
強度の観点では、第1凹状壁31及び第1蓋壁32からなる第1壁3は、容器体2と同様な理由から、耐圧性を有することが好ましい。
伝熱性の観点では、第1凹状壁31は、容器体2の凹体21と同様な理由から、熱伝導に優れた材料によって形成され、特に、少なくとも低温において熱伝導に優れた材料によって形成されることが好ましい。第1凹状壁31が熱伝導に優れた材料によって形成されていることにより、液化ガスによって収容空間A内の冷媒が効果的に冷される。
第1蓋壁32は、容器体2の蓋材22と同様な理由から、熱伝導し難い材料によって形成され、特に、少なくとも低温において熱伝導し難い材料によって形成されることが好ましい。
From the viewpoint of strength, the
From the viewpoint of heat transfer, the first
The
第1壁3には、第1空間B内にガスを入れる入口(例えば、注入弁3a)と、第1空間B内のガスなどを抜く出口(例えば、注出弁3b)と、が設けられている。図示例では、注入弁3a及び注出弁3bは、第1蓋壁32に設けられている。
The
<第2空間及び第2壁>
第2壁4は、前記第1壁3の外側に配置され且つ前記第1壁3との間に第2空間Cを形成する。第2空間Cには、液化ガスが充填されている。第2空間Cに充填される液化ガスについては、後述する。
第2壁4は、第1凹状壁31を取り囲む第2凹状壁41と、第2凹状壁41の開口部を気密状に塞ぐ第2蓋壁42と、を有する。
第2蓋壁42、第2凹状壁41及び第1凹状壁31によって囲われた内部に、第2空間Cが形成されている。
第2蓋壁42は、第2凹状壁41に着脱可能に取り付けられ、好ましくは、第2凹状壁41に気密的に取り付けられる。第2蓋壁42が第2凹状壁41に気密的に取り付けられていることにより、第2空間C内に生じるガスなどが漏れないようになっている。
図示例では、第2凹状壁41は、有底円筒状に形成されており、例えば、第2蓋壁42は、第2凹状壁41の上方部にネジ作用によって気密的に取り付けられている。なお、第2蓋壁42の内縁は、第1凹状壁31の上方部外側に固着されている。かかる第2蓋壁42を介して、第1凹状壁31と第2凹状壁41は、その間に第2空間Cを有しつつ一体化されている。第2蓋壁42を第2凹状壁41に対して回すことにより、第2蓋壁42を第1壁3と共に取り外すことができる。第2蓋壁42と第2凹状壁41を気密状にするため、図示しないパッキンが設けられていてもよい。
なお、第2蓋壁42は、着脱可能でなく、第2凹状壁41に固着されていてもよい。
<Second space and second wall>
The
The
A second space C is formed inside the
The
In the illustrated example, the second
The
強度の観点では、第2凹状壁41及び第2蓋壁42からなる第2壁4は、容器体2と同様な理由から、耐圧性を有することが好ましい。
伝熱性の観点では、第2凹状壁41は、熱伝導し難い材料によって形成される。第2凹状壁41を通じた第2空間C内の液体ガスへの熱流入を効果的に防止するためである。ただし、後述するように、第2凹状壁41を覆うように、その外側に断熱層が設けられる場合には、第2凹状壁41は、熱伝導し難い材料によって形成されていてもよく、或いは、熱伝導に優れた材料によって形成されていてもよい。
第2蓋壁42は、上記と同様な理由から、熱伝導し難い材料によって形成され、特に、少なくとも低温において熱伝導し難い材料によって形成されることが好ましい。
From the viewpoint of strength, the
From the viewpoint of heat transfer, the second
For the same reason as described above, the
第2壁4には、第2空間C内にガスを入れる入口(例えば、注入弁4a)と、第2空間C内のガスなどを抜く出口(例えば、注出弁4b)と、が設けられている。図示例では、注入弁4a及び注出弁4bは、第2蓋壁42に設けられている。
The
<第3空間及び第3壁>
第3壁5は、前記第2壁4の外側に配置され且つ前記第2壁4との間に第3空間Dを形成する。第3壁5の第3空間Dは、外部からの熱が第2空間Cに流入し難くするための、断熱層として機能する。従って、上述のように、第2壁4が熱伝導し難い材料によって形成され且つ第2空間Cに対する外部からの熱流入を防止される場合(第2空間C内の液化ガスに熱が加わり難い場合)、第3壁5を省略することもできる。
第3壁5は、第2凹状壁41を取り囲む第3凹状壁51と、第3凹状壁51の開口部を気密状に塞ぐ第3蓋壁52と、を有する。
第3蓋壁52、第3凹状壁51及び第2凹状壁41によって囲われた内部に、第3空間Dが形成されている。
第3蓋壁52は、第3凹状壁51に着脱可能に取り付けられ、好ましくは、第3凹状壁51に気密的に取り付けられる。
図示例では、第3凹状壁51は、有底円筒状に形成されており、例えば、第3蓋壁52は、第3凹状壁51の上方部にネジ作用によって気密的に取り付けられている。なお、第3蓋壁52の内縁は、第2凹状壁41の上方部外側に固着されている。かかる第3蓋壁52を介して、第2凹状壁41と第3凹状壁51は、その間に第3空間Dを有しつつ一体化されている。第3蓋壁52を第3凹状壁51に対して回すことにより、第3蓋壁52を第2壁4と共に取り外すことができる。第3蓋壁52と第3凹状壁51を気密状にするため、図示しないパッキンが設けられていてもよい。
なお、第3蓋壁52は、着脱可能でなく、第3凹状壁51に固着されていてもよい。
<Third space and third wall>
The
The
A third space D is formed inside the
The
In the illustrated example, the third
The
強度の観点では、第3凹状壁51及び第3蓋壁52からなる第3壁5は、容器体2と同様な理由から、耐圧性を有することが好ましい。
伝熱性の観点では、第3凹状壁51及び第3蓋壁52は、熱伝導に優れた材料によって形成されていてもよく、熱伝導し難い材料によって形成されていてもよい。
第3壁5には、第3空間D内のガスなどを抜く出口(例えば、注出弁5b)が設けられている。図示例では、注出弁5bは、第3蓋壁52に設けられている。
第3空間D内は、真空状態とされる。第3空間Dが真空状態とされていることにより、それよりも内側の空間(第2空間Cなど)に、外部から熱が流入することを防止できる。
From the viewpoint of strength, it is preferable that the
From the viewpoint of heat transfer, the third
The
The inside of the third space D is in a vacuum state. Since the third space D is in a vacuum state, it is possible to prevent heat from flowing into a space inside the third space D (such as the second space C) from the outside.
[校正装置の使用]
本発明は、上記校正装置1を用いて、被校正温度計を校正する。特に、本発明の校正装置1によれば、低温域において被校正温度計を校正できる。
本発明の温度計の校正方法は、基準温度計及び被校正温度計を収容空間に収容する工程、収容空間に冷媒を充填する工程、第1空間にガスを充填する工程、第2空間に液化ガスを充填する工程、基準温度計が所定の温度に達したときの被校正温度計の温度を計測し、被校正温度計を校正する工程、を有する。
前記基準温度計及び被校正温度計を収容空間に収容する工程、収容空間に冷媒を充填する工程、第1空間にガスを充填する工程及び第2空間に液化ガスを充填する工程の順序は、特に限定されず、いずれを先に行なってもよく、或いは、同時進行的に行なってもよい。
以下、具体的に説明する。
[Use of calibration device]
The present invention calibrates the thermometer to be calibrated using the calibration device 1. In particular, according to the calibration device 1 of the present invention, the thermometer to be calibrated can be calibrated in a low temperature range.
The thermometer calibration method of the present invention includes a step of accommodating the reference thermometer and the thermometer to be calibrated in the accommodation space, a step of filling the accommodation space with a refrigerant, a step of filling the first space with gas, and a step of liquefying the second space. It has a step of filling gas and a step of measuring the temperature of the thermometer to be calibrated when the reference thermometer reaches a predetermined temperature and calibrating the thermometer to be calibrated.
The order of the steps of accommodating the reference thermometer and the thermometer to be calibrated in the accommodating space, filling the accommodating space with the refrigerant, filling the first space with gas, and filling the second space with liquefied gas is as follows. The present invention is not particularly limited, and either of them may be performed first, or may be performed simultaneously.
Hereinafter, a specific description will be given.
<基準温度計及び被校正温度計の準備工程>
基準温度計61は、例えば、独立行政法人産業技術総合研究所が提供する温度計(白金抵抗温度計など)又はその温度計によって校正された温度計を用いることができる。
被校正温度計62は、校正対象となる温度計である。
上記蓋材22を凹体21から取り外し、コネクター7に基準温度計61及び被校正温度計62をそれぞれ挿入し、基準温度計61及び被校正温度計62の少なくともセンサー部を比較校正ブロック8の収納部81に挿入する。この蓋材22を凹体21に取り付けることにより、収容空間Aに基準温度計61及び被校正温度計62を収容できる。
<Preparation process for reference thermometer and thermometer to be calibrated>
As the
The
The
<収容空間への冷媒充填工程>
温度計を収容し且つ密封した収容空間A内に、冷媒を充填する。
冷媒は、特に限定されず、収容空間A内を低温環境下にできるものが用いられる。冷媒としては、例えば、水素(H)、窒素(N)、酸素(O)、フッ素(F)、ネオン(Ne)、塩素(Cl)、アルゴン(Ar)、臭素(Br)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)、水銀(Hg)、ラドン(Rn)、二酸化炭素(CO2)などが挙げられる。冷媒は、所定の三重点温度(その物質固有の三重点温度)にコントロールし易いことから、1種単独であることが好ましい。もっとも、反応しないことを条件として2種以上を選択して収容空間A内に充填してもよい。
冷媒は、液体(液相の状態)で充填してもよく、気体(気相の状態)で充填してもよい。液体の冷媒を充填する場合には、上述の温度計を収容空間A内に収容するときに、収容空間A内に液体の冷媒を入れることが好ましい。気体の冷媒を充填する場合には、温度計を収容空間A内に収容して蓋材22を閉じた後、注入弁2aから収容空間Aに充填される。充填時には、注出弁2bから収容空間A内に存在する空気(ガス)を抜きながら前記気体の冷媒を注入することにより、収容空間A内が昇圧することを防止できる。
なお、液体の冷媒を充填して蓋材22を閉じた後、必要に応じて、注出弁2bから収容空間A内に存在する空気(ガス)を抜きながら、注入弁2aから気体の冷媒を注入してもよい。図2の白抜き矢印は、冷媒などの流入及び流出方向を示す。
<Refrigerant filling process in the accommodation space>
The refrigerant is filled in the accommodation space A that accommodates and seals the thermometer.
The refrigerant is not particularly limited, and a refrigerant that can bring the inside of the accommodation space A into a low temperature environment is used. Examples of the refrigerant include hydrogen (H), nitrogen (N), oxygen (O), fluorine (F), neon (Ne), chlorine (Cl), argon (Ar), bromine (Br), and krypton (Kr). , Xenon (Xe), mercury (Hg), radon (Rn), carbon dioxide (CO 2 ) and the like. Since it is easy to control the predetermined triple point temperature (triple point temperature peculiar to the substance), the refrigerant is preferably one kind alone. However, two or more kinds may be selected and filled in the accommodation space A on condition that they do not react.
The refrigerant may be filled with a liquid (liquid phase state) or a gas (gas phase state). When filling with a liquid refrigerant, it is preferable to put the liquid refrigerant in the accommodation space A when the above-mentioned thermometer is accommodated in the accommodation space A. When filling with a gaseous refrigerant, the thermometer is accommodated in the accommodating space A, the
After filling the liquid refrigerant and closing the
<第1空間へのガス充填工程>
第1空間Bに充填するガスは、特に限定されず、気体水素、気体窒素、気体酸素、気体フッ素、気体ネオン、気体塩素、気体アルゴン、気体臭素、気体クリプトン、気体キセノン、気体二酸化炭素などが挙げられる。第1空間Bに充填するガスは、管理が容易であることから、1種単独であることが好ましい。もっとも、反応しないことを条件として2種以上のガスを選択して第1空間B内に充填してもよい。
また、管理が容易であることから、第1空間Bに充填するガスは、第2空間Cに充填する液化ガスと同じ物質であることが好ましい。
前記ガスは、注入弁3aから第1空間Bに充填される。充填時には、注出弁3bから第1空間B内に存在する空気(ガス)を抜きながら前記ガスを注入することにより、第1空間B内が昇圧することを防止できる。
<Gas filling process in the first space>
The gas filled in the first space B is not particularly limited, and gas hydrogen, gas nitrogen, gas oxygen, gas fluorine, gas neon, gas chlorine, gas argon, gas bromine, gas krypton, gas xenone, gas carbon dioxide and the like are used. Can be mentioned. The gas to be filled in the first space B is preferably one type alone because it is easy to manage. However, two or more kinds of gases may be selected and filled in the first space B on condition that they do not react.
Further, since it is easy to manage, the gas filled in the first space B is preferably the same substance as the liquefied gas filled in the second space C.
The gas is filled into the first space B from the
<第2空間への液化ガス充填工程>
第2空間Cに充填する液化ガスは、特に限定されないが、冷媒を冷やすために、沸点が比較的低い物質が好ましい。前記液化ガスとしては、例えば、液体水素、液体ヘリウム、液体窒素、液体アルゴンなどが挙げられる。
前記液化ガスは、注入弁4aから第2空間Cに充填される。充填時には、注出弁4bから第2空間C内に存在する空気(ガス)を抜きながら前記液化ガスを注入することにより、第2空間C内が昇圧することを防止できる。
<Liquefied gas filling process in the second space>
The liquefied gas filled in the second space C is not particularly limited, but a substance having a relatively low boiling point is preferable in order to cool the refrigerant. Examples of the liquefied gas include liquid hydrogen, liquid helium, liquid nitrogen, liquid argon and the like.
The liquefied gas is filled into the second space C from the
<第3空間の真空工程>
校正装置1に第3壁5が設けられている場合には、第3空間D内を真空状態にする。
例えば、注出弁5bから第3空間D内に存在する空気(ガス)を真空ポンプで引き抜くことにより、第3空間D内を真空状態にできる。
<Vacuum process in the third space>
When the calibration device 1 is provided with the
For example, by drawing out the air (gas) existing in the third space D from the
<被校正温度計の校正工程>
第2空間Cに液化ガスを充填すると、収容空間A内の熱が、第1空間Bのガスを介して第2空間Cに流入する。つまり、収容空間A内の熱が第1空間B内のガスを介して液化ガスに奪われ、収容空間A内の冷媒が冷やされる。冷媒の温度が下がり、それに伴って基準温度計61が所定の温度定点に達したときに、被校正温度計62の温度を確認し、基準温度計61との差がある場合には、被校正温度計62を校正する。
<Calibration process of thermometer to be calibrated>
When the second space C is filled with liquefied gas, the heat in the accommodation space A flows into the second space C via the gas in the first space B. That is, the heat in the accommodation space A is taken by the liquefied gas via the gas in the first space B, and the refrigerant in the accommodation space A is cooled. When the temperature of the refrigerant drops and the
本発明によれば、第2空間Cに充填された液化ガスと収容空間Aに充填された冷媒の間に、第1空間Bに充填されたガスが介在しているので、冷媒が急激に冷やされることを防止できる。
急激な温度低下を生じる場合には、温度計のセンサー部に狂いが生じる蓋然性がある上、収容空間A内を所定の温度定点(例えば、窒素の三重点温度など)にコントロールすることも難しい。この点、本発明では、液化ガスと冷媒の間に介在する第1空間Bのガスが、緩衝剤的な作用をするので、収容空間A内が急激に温度低下することがなく、その低下度合いが緩やかとなり、収容空間A内の温度を簡単にコントロールできる。
また、液化ガスによって収容空間Aを冷やすので、校正中(装置の運転中)、収容空間Aの内圧が高まることはなく、収容空間A内をほぼ大気圧以下とすることができる。このように収容空間Aの内圧が高まらないので、本発明の校正装置1は、高圧ガス保安上の制限を受けることもない。
According to the present invention, since the gas filled in the first space B is interposed between the liquefied gas filled in the second space C and the refrigerant filled in the accommodation space A, the refrigerant is rapidly cooled. Can be prevented.
When a sudden temperature drop occurs, there is a possibility that the sensor portion of the thermometer will be out of order, and it is also difficult to control the inside of the accommodation space A to a predetermined temperature fixed point (for example, the triple point temperature of nitrogen). In this respect, in the present invention, since the gas in the first space B interposed between the liquefied gas and the refrigerant acts as a buffer, the temperature in the accommodation space A does not drop sharply, and the degree of the drop does not occur. The temperature in the accommodation space A can be easily controlled.
Further, since the accommodation space A is cooled by the liquefied gas, the internal pressure of the accommodation space A does not increase during calibration (during operation of the device), and the inside of the accommodation space A can be kept below atmospheric pressure. Since the internal pressure of the accommodation space A does not increase in this way, the calibration device 1 of the present invention is not limited in terms of high pressure gas safety.
校正中(装置の運転中)、時間の経過と共に、第1空間B内のガスも液体ガスの温度に近づいていくが(この場合、第1空間B内のガスの一部は液化する)、第1空間Bに新たにガスを注入することにより、第1空間B内の温度を容易にコントロールできる。例えば、収容空間Aの温度が比較的速く低下する場合には、第1空間B内に注入するガスを多くすると、それに応じて第1空間Bの温度が上がるため、収容空間A内の温度の低下度合いを遅くすることができる。他方、収容空間Aの温度が余り低下しない場合には、第1空間B内にガスを注入しない又はガスの注入量を少なくすると、第1空間Bの温度が下がる又は上がり難くなるため、収容空間A内の温度の低下度合いを速めることができる。なお、ガスを追加注入する際には、第1空間B内に存在するガスを引き抜きながら行なうことにより、第1空間Bの内圧が高まることを防止できる。
また、時間の経過に伴い、第2空間C内の液化ガスの一部が気化していくが、装置の運転中、第2空間C内の前記気化したガス(液化ガスが気体化したもの)を注出弁4bから引き抜くことにより、第2空間Cの内圧が高まることを防止できる。なお、装置の運転中、必要に応じて、第2空間C内に液化ガスを追加してもよい。第1空間Bに充填するガス及び第2空間Cに充填する液化ガスとして同じ物質を用いた場合には、第2空間Cから引き抜いたガス(液化ガスが気体化したもの)を、第1空間Bに注入するガスとして再利用することができる。
本発明によれば、第1空間B及び第2空間Cの内圧が非常に高くならないように運転することも可能であるので、高圧ガス保安上の制限外の校正装置1を提供することも可能となる。
During calibration (during operation of the device), the gas in the first space B also approaches the temperature of the liquid gas with the passage of time (in this case, a part of the gas in the first space B is liquefied). By newly injecting a gas into the first space B, the temperature in the first space B can be easily controlled. For example, when the temperature of the accommodation space A drops relatively quickly, if the amount of gas injected into the first space B is increased, the temperature of the first space B rises accordingly, so that the temperature in the accommodation space A rises. The degree of decrease can be slowed down. On the other hand, when the temperature of the accommodation space A does not decrease so much, if the gas is not injected into the first space B or the amount of gas injected is reduced, the temperature of the first space B will decrease or will not easily increase. The degree of decrease in temperature in A can be accelerated. When the gas is additionally injected, it is possible to prevent the internal pressure of the first space B from increasing by drawing out the gas existing in the first space B.
Further, with the passage of time, a part of the liquefied gas in the second space C is vaporized, but the vaporized gas in the second space C (the liquefied gas is vaporized) during the operation of the apparatus. Can be prevented from increasing the internal pressure of the second space C by pulling out the gas from the
According to the present invention, it is possible to operate the first space B and the second space C so that the internal pressure does not become very high, so that it is possible to provide the calibration device 1 which is not limited in terms of high pressure gas safety. It becomes.
[ガス及び液化ガスの組み合わせ例]
以下、第1空間Bに充填するガス、第2空間Cに充填する液化ガスのいくつかの組み合わせを例示する。
(1)第1例
第1空間Bに充填するガス:気体水素。
第2空間Cに充填する液化ガス:液体水素。
液体水素の沸点は、約−253℃である。第1空間Bに充填された気体水素がほとんど液化するまで冷えると、理論上、収容空間Aを約−253℃まで冷やすことができる。
収容空間Aに充填する冷媒は、特に限定されず、上述のように、水素、窒素、酸素、フッ素、ネオン、塩素、アルゴン、臭素、クリプトン、キセノン、水銀、ラドン、二酸化炭素などを用いることが可能である。三重点を定点として校正する場合には、三重点温度が液体水素の沸点よりも高い冷媒が用いられる。
[Example of combination of gas and liquefied gas]
Hereinafter, some combinations of the gas to be filled in the first space B and the liquefied gas to be filled in the second space C will be illustrated.
(1) First Example Gas filled in the first space B: gaseous hydrogen.
Liquefied gas filled in the second space C: liquid hydrogen.
The boiling point of liquid hydrogen is about -253 ° C. When the gaseous hydrogen filled in the first space B is cooled until it is almost liquefied, theoretically, the accommodation space A can be cooled to about -253 ° C.
The refrigerant to be filled in the accommodation space A is not particularly limited, and as described above, hydrogen, nitrogen, oxygen, fluorine, neon, chlorine, argon, bromine, krypton, xenon, mercury, radon, carbon dioxide and the like may be used. It is possible. When calibrating with the triple point as a fixed point, a refrigerant whose triple point temperature is higher than the boiling point of liquid hydrogen is used.
次に、冷媒として用いることができるいくつかの物質の三重点温度を列記している(三重点温度は、小数第2位までを記載している)。
水素の三重点温度:−259.31℃。
ネオンの三重点温度:−248.58℃。
酸素の三重点温度:−218.79℃。
窒素の三重点温度:−209.97℃。
アルゴンの三重点温度:−189.34℃。
クリプトンの三重点温度:−157.39℃。
キセノンの三重点温度:−111.80℃。
二酸化炭素の三重点温度:−56.60℃。
第1空間Bに気体水素を充填し且つ第2空間Cに液体水素を充填する本例にあっては、三重点温度が液体水素の沸点よりも高い冷媒を用いると、その冷媒の三重点温度で校正できる。これらの冷媒の中でも、比較的低い三重点温度で且つ取り扱い性が簡便であることから、窒素、アルゴンなどの不活性ガスを用いることが好ましく、さらに、経済的であることから窒素を用いることがより好ましい。収容空間に窒素を含む冷媒を入れることにより、収容空間を窒素の三重点温度に冷やすこともできる。
窒素の三重点温度は−209.97℃であるので、より低い温度で被校正温度計を校正することができる。
Next, the triple point temperatures of some substances that can be used as refrigerants are listed (the triple point temperatures are listed up to the second decimal place).
Triple point temperature of hydrogen: 259.31 ° C.
Neon triple point temperature: -248.58 ° C.
Triple point temperature of oxygen: -218.79 ° C.
Triple point temperature of nitrogen: -209.97 ° C.
Triple point temperature of argon: 189.34 ° C.
Triple point temperature of krypton: 157.39 ° C.
Triple point temperature of xenon: -111.80 ° C.
Triple point temperature of carbon dioxide: -56.60 ° C.
In this example in which the first space B is filled with gaseous hydrogen and the second space C is filled with liquid hydrogen, if a refrigerant having a triple point temperature higher than the boiling point of the liquid hydrogen is used, the triple point temperature of the refrigerant is used. Can be calibrated with. Among these refrigerants, it is preferable to use an inert gas such as nitrogen or argon because it has a relatively low triple point temperature and is easy to handle, and it is economical to use nitrogen. More preferred. By putting a refrigerant containing nitrogen into the accommodation space, the accommodation space can be cooled to the triple point temperature of nitrogen.
Since the triple point temperature of nitrogen is −209.97 ° C., the thermometer to be calibrated can be calibrated at a lower temperature.
(2)第2例
第1空間Bに充填するガス:気体ヘリウム。
第2空間Cに充填する液化ガス:液体ヘリウム。
液体ヘリウムの沸点は、約−269℃である。本例の場合、理論上、収容空間Aを約−269℃まで冷やすことができる。
本例にあっても、収容空間Aに充填する冷媒は、特に限定されないが、液体ヘリウムを用いると、水素の三重点温度を実現することも可能となる。つまり、収容空間Aに水素を充填することにより、水素の三重点温度にて被校正温度計を校正することもできる。このような温度で校正された温度計は、液化水素の温度を正確に測定できる。
(2) Second Example Gas filled in the first space B: gaseous helium.
Liquefied gas filled in the second space C: liquid helium.
The boiling point of liquid helium is about -269 ° C. In the case of this example, the accommodation space A can theoretically be cooled to about -269 ° C.
Also in this example, the refrigerant to be filled in the accommodation space A is not particularly limited, but if liquid helium is used, it is possible to realize the triple point temperature of hydrogen. That is, by filling the accommodation space A with hydrogen, the thermometer to be calibrated can be calibrated at the triple point temperature of hydrogen. A thermometer calibrated at such a temperature can accurately measure the temperature of liquefied hydrogen.
(3)第3例
第1空間Bに充填するガス:気体窒素。
第2空間Cに充填する液化ガス:液体窒素。
液体窒素の沸点は、約−196℃である。本例の場合、理論上、収容空間Aを約−196℃まで冷やすことができる。
本例にあっても、収容空間Aに充填する冷媒は、特に限定されないが、三重点温度が液体窒素の沸点よりも高い冷媒を用いることが好ましい。
(3) Third Example Gas filled in the first space B: gaseous nitrogen.
Liquefied gas filled in the second space C: liquid nitrogen.
The boiling point of liquid nitrogen is about -196 ° C. In the case of this example, theoretically, the accommodation space A can be cooled to about -196 ° C.
Also in this example, the refrigerant to be filled in the accommodation space A is not particularly limited, but it is preferable to use a refrigerant having a triple point temperature higher than the boiling point of liquid nitrogen.
(4)第4例
第1空間Bに充填するガス:気体アルゴン。
第2空間Cに充填する液化ガス:液体アルゴン。
液体アルゴンの沸点は、約−186℃である。本例の場合、理論上、収容空間Aを約−186℃まで冷やすことができる。
本例にあっても、収容空間Aに充填する冷媒は、特に限定されないが、三重点温度が液体アルゴンの沸点よりも高い冷媒を用いることが好ましい。
(4) Example 4 Gas filled in the first space B: gaseous argon.
Liquefied gas filled in the second space C: liquid argon.
The boiling point of liquid argon is about -186 ° C. In the case of this example, the accommodation space A can theoretically be cooled to about -186 ° C.
Also in this example, the refrigerant to be filled in the accommodation space A is not particularly limited, but it is preferable to use a refrigerant having a triple point temperature higher than the boiling point of liquid argon.
1 温度計の校正装置
2 容器体
3 第1壁
4 第2壁
61 基準温度計
62 被校正温度計
A 収容空間
B 第1空間
C 第2空間
1
Claims (5)
前記容器体の外側に配置され且つ前記容器体との間に第1空間を形成する第1壁と、
前記第1壁の外側に配置され且つ前記第1壁との間に第2空間を形成する第2壁と、を有し、
前記第1空間にガスが充填され、前記第2空間に液化ガスが充填されている、温度計の校正装置。 A container body having a storage space for accommodating a reference thermometer, a thermometer to be calibrated, and a refrigerant,
A first wall arranged outside the container body and forming a first space between the container body and the first wall.
It has a second wall that is arranged outside the first wall and forms a second space with the first wall.
A thermometer calibration device in which the first space is filled with gas and the second space is filled with liquefied gas.
前記収容空間の窒素が、窒素の三重点温度に冷やされている、請求項1に記載の温度計の校正装置。 The refrigerant contained in the accommodation space contains nitrogen, the gas filled in the first space contains gaseous hydrogen, and the liquefied gas filled in the second space contains liquid hydrogen.
The thermometer calibration device according to claim 1, wherein the nitrogen in the accommodation space is cooled to the triple point temperature of nitrogen.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020009695A JP2021117067A (en) | 2020-01-24 | 2020-01-24 | Thermometer calibration device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020009695A JP2021117067A (en) | 2020-01-24 | 2020-01-24 | Thermometer calibration device |
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| Publication Number | Publication Date |
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| Country | Link |
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-
2020
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