JP2023127381A - 真空ポンプの制御装置、及び、制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】動作モードが動作制限モードに誤って移行することを防止する。【解決手段】制御装置６は、制御部６２を備える。制御部６２は、真空ポンプ１で発生した複数種類の異常のそれぞれの発生回数を計数し、複数種類の異常の発生回数がそれぞれ所定の閾値を超えた場合、重大アラームを発生させる。【選択図】図３

Description

本発明は、真空ポンプの制御装置、及び、真空ポンプの制御方法に関する。

真空ポンプには、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気するものがある。特許文献１に記載の真空ポンプでは、ロータシャフトの軸変位を検出し、検出した回数を積算し、積算回数が所定回数を超えた場合、あるいは積算回数が所定時間内で所定回数を超えた場合に警報を発することが記載されている。

特開２００４－１５０３４０号公報

特許文献１に記載の真空ポンプによると、ロータシャフトの軸変位を検出した積算回数のみに基づいて警報を発しており、他の種類の異常については考慮されていない。このため、例えば、ロータシャフトの軸変位を検出した積算回数が所定回数を超えた一方で、他の種類の異常の発生回数は少ない場合に、真空ポンプが故障する可能性が低いにもかかわらず、警報を発してしまう。つまり、従来のポンプでは、本来は警報を発生する必要がない場合にも、警報が発生してしまう恐れがある。特に限定されないが、例えば、警報と同時に真空ポンプを停止させる構成においては、真空ポンプが故障する可能性が低いにもかかわらず、真空ポンプを停止させてしまうことになり、真空ポンプで排気される対象の装置の動作に支障をきたす恐れがある。また、このような真空ポンプが半導体製造装置に適用される場合においては、真空ポンプの不要な停止は製造ラインの停止といった大きな問題につながる。

本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、１種類の異常だけの発生回数によって誤って重大アラームを発生させてしまうことを防止することである。

本発明の一態様に係る制御装置は、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプの制御装置である。制御装置は、制御部を備える。制御部は、真空ポンプで発生した複数種類の異常のそれぞれの発生回数を計数し、複数種類の異常の発生回数がそれぞれ所定の閾値を超えた場合、重大アラームを発生させる。

上記の制御装置では、真空ポンプで発生する複数種類の真空ポンプのそれぞれの異常の発生回数が所定の閾値を超えたときに、重大アラームを発生させる。つまり、重大アラームを発生させるか否かが、複数種類の異常のそれぞれの発生回数により決定されている。これにより、１種類の異常だけの発生回数が多く他の異常の発生回数が少なく真空ポンプが故障する可能性が低い場合に、誤って重大アラームを発生させることを防止できる。なお、重大アラームの発生とは、必ずしもユーザへの報知（表示や発音等）を要するものではなく、記憶部に記憶しておくのみであってもよい。

真空ポンプの構成を示す図である。 制御装置の構成を示す図である。 真空ポンプの動作を示すフローチャートである。 真空ポンプ１の起動動作を示すフローチャートである。

＜真空ポンプの全体構成＞
図１を用いて、真空ポンプ１を説明する。図１は、真空ポンプ１の構成を示す図である。真空ポンプ１は、ハウジング２と、ベース３と、ロータ４と、ステータ５と、制御装置６と、を含む。

ハウジング２は、第１端部１１と、第２端部１２と、第１内部空間ＳＰ１とを含む。第１端部１１には吸気口１３が設けられている。第１端部１１は、排気対象（図示せず）に取り付けられる。第１内部空間ＳＰ１は、吸気口１３に連通している。第２端部１２は、ロータ４の軸線Ａ１の延長方向において、第１端部１１の反対に位置している。第２端部１２は、ベース３に接続される。ベース３は、ベース端部１４を含む。ベース端部１４は、ハウジング２の第２端部１２に接続される。

ロータ４は、シャフト２１に接続されている。シャフト２１は、軸線Ａ１の延長方向に延びている。シャフト２１は、ベース３に回転可能に収納されている。ロータ４は、複数段のロータ翼２２と、ロータ円筒部２３と、を含む。複数段のロータ翼２２は、それぞれシャフト２１に接続されている。複数のロータ翼２２は、軸線Ａ１の延長方向に互いに間隔をおいて配置されている。図示を省略するが、複数段のロータ翼２２は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のロータ翼２２の１つのみに符号が付されており、他のロータ翼２２の符号は省略されている。ロータ円筒部２３は、複数段のロータ翼２２の下方に配置されている。ロータ円筒部２３は、軸線Ａ１の延長方向に延びている。

ステータ５は、複数段のステータ翼３１と、ステータ円筒部３２と、を含む。複数段のステータ翼３１は、ハウジング２の内面に接続されている。複数段のステータ翼３１は、軸線Ａ１の延長方向において、互いに間隔をおいて配置されている。複数段のステータ翼３１は、それぞれ複数段のロータ翼２２の間に配置されている。図示を省略するが、複数段のステータ翼３１は、それぞれシャフト２１を中心として放射状に延びている。なお、図面においては、複数段のステータ翼３１の２つのみに符号が付されており、他のステータ翼３１の符号は省略されている。ステータ円筒部３２は、ベース３に熱的に接触した状態で固定されている。ステータ円筒部３２は、ロータ円筒部２３の径方向において、わずかな隙間を空けてロータ円筒部２３と向かい合って配置されている。ステータ円筒部３２の内周面には、らせん状溝が設けられている。

図１に示すように、ロータ円筒部２３とステータ円筒部３２の排気下流側の端部のさらに下流側には、第２内部空間ＳＰ２が形成されている。第２内部空間ＳＰ２には、取付対象から排気されたガスが排気される。第２内部空間ＳＰ２は、排気口１６に連通している。排気口１６は、ベース３に設けられる。排気口１６には、他の真空ポンプ（図示せず）が接続される。

制御装置６は、ベース３の下部に設けられた筐体３３の内部に収納され、真空ポンプ１を制御する。また、制御装置６は、後述する変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の浮上位置、電流値測定装置にて測定されたモータ４２に供給される電流値、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数が正常値の範囲にない場合に、真空ポンプ１にて異常が発生したことを通知するアラーム又はウォーニングを発生させる。制御装置６は、ＣＰＵ、ＲＯＭなどの記憶装置、各種インタフェース等を備えるコンピュータシステムである。

制御装置６には、操作装置７が接続されている。操作装置７は、真空ポンプ１の制御に関する各種情報を入力するための装置である。また、操作装置７は、真空ポンプ１に関する各種情報を表示するためのディスプレイを備えていてもよい。操作装置７は、例えば、入力装置と、ディスプレイと、を備える操作盤である。入力装置は、例えば、キーボード、ボタンなどを備える装置、及び／又は、タッチパネルなどのユーザの操作により各種情報を入力できる装置である。その他、操作装置７は、パーソナルコンピュータ、タブレット端末、携帯端末などの端末であってもよい。

真空ポンプ１は、複数の軸受４１Ａ～４１Ｅと、モータ４２と、回転数センサ４３を含む。複数の軸受４１Ａ～４１Ｅは、ベース３のシャフト２１を収納した位置に取り付けられている。複数の軸受４１Ａ～４１Ｅは、ロータ４を回転可能に支持する。軸受４１Ａ、４１Ｅは、例えば、ボールベアリングである。一方、他の軸受４１Ｂ～４１Ｄは、磁気軸受である。磁気軸受である軸受４１Ｂ～４１Ｄは、それぞれ、軸受電磁石と変位センサ４４Ａ～４４Ｃ（図２）とを備えおり、変位センサ４４Ａ～４４Ｃによりシャフト２１の浮上位置等が検出される。

モータ４２は、ロータ４を回転駆動する。モータ４２は、モータロータ４２Ａとモータステータ４２Ｂとを含む。モータロータ４２Ａは、シャフト２１に取り付けられている。モータステータ４２Ｂは、ベース３に取り付けられている。モータステータ４２Ｂは、モータロータ４２Ａと向かい合って配置されている。モータ４２には、モータ４２に供給される電流値を測定するモータ電流測定装置４５（図２）が接続されている。回転数センサ４３は、シャフト２１（すなわち、ロータ４）の回転数を測定する。

ベース３の外壁には、ベース３の温度を制御するためのヒータ５１および不図示の冷却水配管が設けられている。ベース３の温度は温度センサ５２によって検出される。温度センサ５２によって検出された温度に基づいて、ヒータ５１によるベース３の加熱と冷却水配管を流れる冷却水による冷却とのバランスにより、ベース３の温度が制御される。また、ヒータ５１には、ヒータ５１に供給される電流を測定するヒータ電流測定装置５３（図２）が接続されている。

真空ポンプ１では、複数段のロータ翼２２と複数段のステータ翼３１とは、ターボ分子ポンプ部を構成する。また、ロータ円筒部２３とステータ円筒部３２とは、ネジ溝ポンプ部を構成する。真空ポンプ１では、モータ４２によってロータ４が回転することで、吸気口１３から第１内部空間ＳＰ１へガスが流入する。第１内部空間ＳＰ１のガスは、ターボ分子ポンプ部とネジ溝ポンプ部を通過して、第２内部空間ＳＰ２に排気される。第２内部空間ＳＰ２のガスは、排気口１６から排気される。この結果、吸気口１３に取り付けられた取付対象の内部が、高真空状態となる。

＜制御装置の構成＞
図２を用いて、制御装置６の構成を説明する。図２は、制御装置６の構成を示す図である。制御装置６は、記憶部６１と、制御部６２と、を有する。記憶部６１は、制御装置６を構成する記憶装置に設けられた記憶領域の一部又は全部である。記憶部６１は、真空ポンプ１に関する各種パラメータ、真空ポンプ１を制御するためのプログラム等を記憶する。具体的には、記憶部６１は、異常発生条件ＣＯＮと、重大アラーム条件ＲＣＯと、重大アラーム発生履歴ＡＨと、解除パスワードＰＷを記憶している。異常発生条件ＣＯＮは、真空ポンプ１に異常が発生したと決定するための条件を定める。

具体的には、異常発生条件ＣＯＮは、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数が所定の回転数以下となったときに、ロータ４の回転数の異常が発生していることを定める。この回転数の異常は、真空ポンプ１の負荷に関する異常であり、真空ポンプ１が過負荷状態であることを示している。「過負荷状態」とは、ロータ４を決められた回転数まで回転するために必要なモータ４２のトルクが通常よりも過大となっている状態を意味する。真空ポンプ１が過負荷状態であることは、例えば、真空ポンプ１の内部に生成物が多く堆積している状態であることを示している。この状態が長期間継続すると、堆積した生成物が真空ポンプ１のロータ翼２２に接触してロータ翼２２を破損する故障が発生する可能性がある。

異常発生条件ＣＯＮは、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置が所定の変動幅以上で変動しているとき、又は、シャフト２１の位置が軸線Ａ１から所定の範囲でずれているときに、シャフト２１（ロータ４）の位置に異常が発生していることを定める。シャフト２１の位置の異常は、真空ポンプ１の振動に関する異常であり、真空ポンプ１が振動している状態であることを意味する。真空ポンプ１に振動が生じている場合、例えば、真空ポンプ１のロータ翼２２が他の部品（例えば、ステータ翼３１）などに接触する可能性がある。この結果、真空ポンプ１に振動が生じていると、ロータ翼２２（及びステータ翼３１）が破損する可能性がある。また、真空ポンプ１に振動が生じていることは、例えば、真空ポンプ１のロータ４に生成物が多く堆積している状態であることを示している可能性がある。これは。生成物の堆積によりロータ４のバランスが崩れることに起因する。

異常発生条件ＣＯＮは、モータ電流測定装置４５にて測定されたモータ４２の電流値が所定の値以上となったときに、モータ４２の電流値に異常が発生していることを定める。このモータ４２の電流の異常は、モータ４２が過大なトルクを発生した状態で動作していることを示している。すなわち、モータ４２の電流の異常は、真空ポンプ１の負荷に関する異常であり、真空ポンプ１が過負荷状態であることを示している。真空ポンプ１が過負荷状態であることは、例えば、真空ポンプ１の内部に生成物が多く堆積している状態であることを示している。

異常発生条件ＣＯＮは、温度センサ５２にて測定されたベース３の温度が所定の温度以下であり、及び／又は、ヒータ電流測定装置５３にて測定されたヒータ５１の電流値が所定の値以下であるときに、真空ポンプ１の温度に関する異常が発生していることを定める。真空ポンプ１の温度に関する異常は、真空ポンプ１の温度調節が適切にできていない状態を示している。真空ポンプ１の温度調節が適切にできていないと、真空ポンプ１の内部に生成物が堆積し、この生成物がロータ翼２２に接触してロータ翼２２が破損する可能性がある。温度に関する異常は、例えば、ヒータ５１の断線、温度センサ５２の故障などに起因することが多い。また、真空ポンプ１の温度が所定の値以上となったときには、サーマルスイッチ（図示せず）により、ヒータ５１への電力供給を停止する。

異常発生カウンタＣＮＴは、上記の異常の発生回数を表す情報である。具体的には、異常発生カウンタＣＮＴは、上記の複数種類の異常（負荷に関する異常、温度に関する異常、振動に関する異常）のそれぞれの発生回数を表す。

重大アラーム条件ＲＣＯは、真空ポンプ１の動作モードを動作制限モードに移行させるためのアラーム（重大アラームと呼ぶ）を発生させる条件を定める。動作制限モードは、重大アラームが発生して真空ポンプが１停止した後に真空ポンプ１を再起動させたときに、真空ポンプの動作を通常時よりも制限する動作モードをいう。重大アラーム条件ＲＣＯは、上記の複数種類の異常のそれぞれが何回発生した時に重大アラームを発生させるかを記憶する。具体的には、重大アラーム条件ＲＣＯは、例えば、振動に関する異常が第１閾値以上発生し、かつ、負荷に関する異常が第２閾値以上発生し、かつ、温度に関する異常が第３閾値以上発生したときに、重大アラームを発生させることを定める。

ユーザは、操作装置７を用いて、重大アラーム条件ＲＣＯに含まれる上記の第１閾値～第３閾値を任意に変更可能である。また、ユーザは、操作装置７を用いて、複数種類（３種類）の異常（負荷に関する異常、温度に関する異常、振動に関する異常）の中から、重大アラーム条件ＲＣＯに含める２種類以上の異常を任意に選択できる。これにより、重大アラームの発生条件を、真空ポンプ１を使用する環境に応じて最適になるよう設定できる。

重大アラーム発生履歴ＡＨは、重大アラームが発生しているか否かを示す情報である。重大アラーム発生履歴ＡＨは、例えば、重大アラームが発生している場合に「１」との値、重大アラームが発生していない場合に「０」となるフラグ情報とできる。解除パスワードＰＷは、発生した重大アラームを解除するためのパスワードである。

制御部６２は、制御装置６を構成するＣＰＵと各種インタフェースにより構成されるハードウェア部分であり、真空ポンプ１の制御を実行する。制御部６２は、真空ポンプ１の制御に関する機能を、記憶部６１に記憶されたプログラムを実行することにより実現する。また、一部の機能は、制御部６２に含まれるハードウェアにより実現されてもよい。

＜真空ポンプの動作＞
以下、図３を用いて、真空ポンプ１の動作を説明する。図３は、真空ポンプ１の動作を示すフローチャートである。図３に示す真空ポンプ１の動作は、真空ポンプ１の起動前に重大アラームが発生しておらず、真空ポンプ１の動作モードが動作制限モードとなっていない場合の動作である。この動作は、真空ポンプ１の制御装置６で実行される。

真空ポンプ１が起動され動作が開始されると、制御部６２が、真空ポンプ１の動作中に、回転数センサ４３にて測定されたロータ４の回転数、変位センサ４４Ａ～４４Ｃにて測定されたシャフト２１の位置、モータ電流測定装置４５にて測定されたモータ４２の電流値、温度センサ５２にて測定されたベース３の温度、及び、ヒータ電流測定装置５３にて測定されたヒータ５１の電流値、をそれぞれ取得する（ステップＳ１）。

次に、制御部６２が、ステップＳ１で取得したロータ４の回転数、シャフト２１の位置、モータ４２の電流値、ベース３の温度、及びヒータ５１の電流値と、異常発生条件ＣＯＮに示された異常発生の条件に該当するか否かを判断する。例えば、制御部６２は、これらの測定値と、異常発生条件ＣＯＮに示された各閾値とを比較する（ステップＳ２）。

上記比較の結果、上記のいずれかのセンサの測定値が、異常発生条件ＣＯＮに示された異常発生の条件に該当する場合、例えば、いずれかのセンサの測定値が閾値を超えている場合（ステップＳ２で「Ｙｅｓ」）、制御部６２は、異常発生の条件と合致する測定値を示している項目（ロータ４の回転数、シャフト２１の振動、モータ４２の電流値、ベース３の温度、ヒータ５１の電流値）に対応する種類の異常（真空ポンプ１の振動に関する異常、ロータ４の回転数に関する異常、真空ポンプ１の温度に関する異常）が発生したと判断する（ステップＳ３）。なお、異常が発生したと判断したときに、制御部６２は、例えば、音を発する、操作装置７のディスプレイに異常が発生した旨の表示をするなどして、異常の発生を通知してもよい。

一方、上記比較の結果、上記のいずれかのセンサの測定値が、異常発生条件ＣＯＮに示された異常発生の条件に該当しない場合（ステップＳ２で「Ｎｏ」）、真空ポンプ１の動作は、ステップＳ１に戻る。すなわち、制御部６２は、真空ポンプ１に異常が発生していないと判断し、真空ポンプ１の動作を継続する。

ステップＳ３で異常が発生したと判断した場合、制御部６２は、異常発生カウンタＣＮＴにおいて、ステップＳ３で発生したと判断した種類の異常の発生回数を１だけ増加させる（ステップＳ４）。

その後、制御部６２は、異常発生カウンタＣＮＴと重大アラーム条件ＲＣＯとを比較し、異常発生カウンタＣＮＴに示された複数種類の異常のそれぞれの発生回数が、重大アラーム条件ＲＣＯに示された重大アラームの発生条件に該当しているか否かを判断する（ステップＳ５）。具体的には、例えば、異常発生カウンタＣＮＴにおいて、振動に関する異常の発生回数が第１閾値以上であり、かつ、負荷に関する異常の発生回数が第２閾値以上であり、かつ、温度に関する異常の発生回数が第３閾値以上であるときに、制御部６２は、複数種類の異常のそれぞれの発生回数が、重大アラーム条件ＲＣＯに示された重大アラームの発生条件に該当していると判断する。

複数種類の異常のそれぞれの発生回数が重大アラームの発生条件に該当している場合（ステップＳ５で「Ｙｅｓ」）、制御部６２は、重大アラームが発生していると判断する（ステップＳ６）。なお、ステップＳ６で重大アラームが発生したと判断したときに、制御部６２は、例えば、音を発する、操作装置７のディスプレイに重大アラームが発生した旨の表示をするなどして、重大アラームの発生を通知してもよい。

重大アラームが発生したと判断したとき、制御部６２は、重大アラームが発生したことを記憶部６１に記録する（ステップＳ７）。具体的には、制御部６２は、記憶部６１に記憶された重大アラーム発生履歴ＡＨに、重大アラームが発生した旨を記録する。より具体的には、制御部６２は、例えば、重大アラーム発生履歴ＡＨに「１」との値を記録して、重大アラーム発生フラグが「ＯＮ」となったことを記録する。

その後、制御部６２は、保護動作として真空ポンプ１を停止させる（ステップＳ８）。なお、重大アラーム発生履歴ＡＨに記録されている情報は、真空ポンプ１が停止して真空ポンプ１（制御装置６）の電源がＯＦＦされてもリセットされない。すなわち、重大アラーム発生履歴ＡＨは、記憶部６１のうち、制御装置６の電力供給が絶たれても情報を保持できる記憶領域（例えば、ＨＤＤ、ＳＳＤ、ＥＥＰＲＯＭなどの不揮発メモリの記憶領域）に記憶されている。

上記のステップＳ１～Ｓ８を実行することにより、制御部６２は、１種類の異常の発生回数だけでなく、複数種類の異常の発生回数のそれぞれが所定の閾値を超えたときに初めて重大アラームが発生したと判断できる。この結果、例えば、１種類の異常だけの発生回数が多く他の異常の発生回数が少ないために、真空ポンプ１が故障する可能性が低い場合に、誤って重大アラームが発生することを防止できる。

また、複数種類の異常の発生回数のそれぞれが所定の閾値を超えたときに重大アラームを発生させることで、ユーザに対して、真空ポンプ１の修理及び／又は交換を促すことができる。例えば、真空ポンプ１の振動に関する異常、ロータ４の回転数に関する異常、真空ポンプ１の温度に関する異常は、それぞれ、生成物の堆積との関係性が有るので、重大アラームが発生する場合には、生成物の堆積が過剰であることが推測でき、生成物を除去するオーバーホールを行うことが促される。

＜真空ポンプの起動動作＞
次に、図４を用いて、真空ポンプ１の起動動作を説明する。図４は、真空ポンプ１の起動動作を示すフローチャートである。真空ポンプ１の電源がＯＮされ、真空ポンプ１が起動を開始すると、制御部６２が、記憶部６１に記憶されている重大アラーム発生履歴ＡＨに、今回の起動前に重大アラームが発生したことが示されているか否かを判断する（ステップＳ１１）。具体的には、例えば、制御部６２は、重大アラーム発生履歴ＡＨの値が「１」となっており、重大アラーム発生フラグが「ＯＮ」となっているか否かを判断する。

重大アラーム発生履歴ＡＨが重大アラームの発生を示していない場合（ステップＳ１１で「Ｎｏ」）、制御部６２は、真空ポンプ１を通常の動作モードにて動作させる（ステップＳ１２）。すなわち、制御部６２は、上記にて説明したステップＳ１～Ｓ８を実行する。

一方、重大アラーム発生履歴ＡＨが重大アラームの発生を示している場合（ステップＳ１１で「Ｙｅｓ」）、制御部６２は、真空ポンプ１の動作モードが動作制限モードであると判断し、真空ポンプ１を動作制限モードで動作させる。

具体的には、制御部６２は、まず、起動してから所定の時間だけ真空ポンプ１を動作させる（ステップＳ１３）。例えば、真空ポンプ１により真空引きをする排気対象が半導体製造プロセスに用いられるチャンバである場合には、制御部６２は、例えば、起動してから半導体製造プロセスが所定回数実行できる時間、真空ポンプ１を動作させる。制御部６２は、例えば、起動してから２時間だけ真空ポンプ１を動作させる。

真空ポンプ１を起動してから所定の時間だけ動作させた後、制御部６２は、真空ポンプ１を停止させる（ステップＳ１４）。

このように、真空ポンプ１の起動時に上記のステップＳ１１～Ｓ１４を実行することにより、制御部６２は、真空ポンプ１の起動前に重大アラームが発生していた場合に、真空ポンプ１の動作モードを制限する動作制限モードに移行させて、真空ポンプ１が通常動作して故障に至ることを防止できる。また、動作制限モードにおいて、所定の時間だけ真空ポンプ１を動作させることで、真空ポンプ１の動作状態をチェックしつつ、真空ポンプ１を所定の時間だけ使用できる。

＜重大アラームの解除方法＞
以下、重大アラームが発生したときに真空ポンプ１の修理／交換等を行った後に、重大アラームを解除する方法を説明する。重大アラームは、操作装置７を用いてユーザが専用のパスワードを入力することで解除できる。

具体的には、操作装置７を用いてパスワードが入力されたときに、制御部６２が、入力されたパスワードと記憶部６１に記憶された解除パスワードＰＷとを比較する。この比較の結果、入力されたパスワードと解除パスワードＰＷとが一致していたときに、制御部６２は、重大アラーム発生履歴ＡＨに重大アラームが発生していないことを記録する。具体的には、例えば、重大アラーム発生履歴ＡＨの値を「１」から「０」に変更し、重大アラーム発生フラグを「ＯＦＦ」とする。

このように、重大アラームの解除を専用のパスワードを用いて許可することにより、重大アラームが自由に解除されることを防止できる。この結果、真空ポンプ１が故障する可能性が高いときに、不用意に真空ポンプ１が動作することを防止できる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

動作制限モードにおいて、真空ポンプ１の動作をどのように制限するかは、所定の時間だけ真空ポンプ１を動作可能とすることに限られず、真空ポンプ１の使用環境等に応じて適宜設定できる。

上記の実施形態に係る真空ポンプ１において、ターボ分子ポンプ部は省略されてもよい。すなわち、真空ポンプ１は、ネジ溝ポンプであってもよい。

上述した複数の例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

（第１態様）制御装置は、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプの制御装置である。制御装置は、制御部を備える。制御部は、真空ポンプで発生した複数種類の異常のそれぞれの発生回数を計数し、複数種類の異常の発生回数がそれぞれ所定の閾値を超えた場合、重大アラームを発生させる。

第１態様に係る制御装置では、真空ポンプで発生する複数種類の真空ポンプのそれぞれの異常の発生回数が所定の閾値を超えたときに、重大アラームを発生させる。つまり、重大アラームを発生させるか否かが、複数種類の異常のそれぞれの発生回数により決定されている。これにより、１種類の異常だけの発生回数が多く他の種類の異常の発生回数が少なく真空ポンプが故障する可能性が低い場合に、誤って重大ラームが発生されることを防止できる。なお、重大アラームの発生とは、必ずしもユーザへの報知（表示や発音等）を要するものではなく、記憶部に記憶しておくのみであってもよい。

（第２態様）第１態様に係る制御装置において、制御部は、複数種類の異常の発生回数がそれぞれ所定の閾値を超えた場合、真空ポンプの動作モードを、真空ポンプを停止後に再起動させたときに真空ポンプの動作を通常時よりも制限する動作制限モードに移行させる。

第２態様に係る制御装置では、真空ポンプで発生する複数種類の異常のそれぞれの発生回数が所定の閾値を超えたときに、真空ポンプの動作モードが動作制限モードに移行される。つまり、動作制限モードへ移行するか否かが、複数種類の異常のそれぞれの発生回数により決定されている。これにより、１種類の異常だけの発生回数が多く他の異常の発生回数が少なく真空ポンプが故障する可能性が低い場合に、誤って動作モードが動作制限モードに移行することを防止できる。

（第３態様）第２態様に係る制御装置において、制御部は、真空ポンプの動作モードが動作制限モードである場合、真空ポンプを、起動してから所定の時間だけ動作させた後に停止させてもよい。第２態様に係る制御装置では、真空ポンプの動作状態をチェックしつつ、真空ポンプを所定の時間だけ使用できる。

（第４態様）第２態様又は第３態様に係る制御装置において、制御装置は、記憶部をさらに備えてもよい。この場合、制御部は、重大アラームを発生させたときに、重大アラームが発生したことを示す重大アラーム発生履歴を記憶部に記憶し、真空ポンプを再起動したときに、重大アラーム発生履歴が重大アラームの発生を示している場合に、真空ポンプの動作モードが動作制限モードであると判断してもよい。第４態様に係る制御装置では、重大アラームが発生したときにそのことを記憶部に記憶することで、真空ポンプの再起動前に重大アラームが発生していたことを把握可能とし、再起動時に動作制限モードとして真空ポンプを動作させることができる。

（第５態様）第２態様～第４態様のいずれかに係る制御装置において、制御部は、専用のパスワードが入力されたときに、動作制限モードを解除してもよい。第５態様に係る制御装置では、重大アラームが自由に解除されることを防止して、真空ポンプが故障する可能性が高いときに不用意に真空ポンプ１が動作することを防止できる。

（第６態様）第１態様～第５態様のいずれかに係る制御装置において、所定の閾値は、変更可能であってもよい。第６態様に係る制御装置では、重大アラームの発生条件（動作制限モードへの移行条件）を、真空ポンプを使用する環境に応じて最適になるよう設定できる。

（第７態様）第１態様～第６態様のいずれかに係る制御装置において、複数種類の異常は、真空ポンプの振動に関する異常、ロータの回転数に関する異常、真空ポンプの温度に関する異常から選択される少なくとも２つの異常であってもよい。第７態様に係る制御装置では、真空ポンプの故障につながる複数種類の異常の発生回数に基づいて、動作制限モードへの移行（重大アラームの発生）を適切に実行できる。例えば、真空ポンプの振動に関する異常、ロータの回転数に関する異常、真空ポンプの温度に関する異常は、それぞれ、生成物の堆積との関係性が有るので、重大アラームが発生する場合には、生成物の堆積が過剰であることが推測でき、生成物を除去するオーバーホールを行うことが促される。

（第８態様）第８態様に係る制御方法は、ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプの制御方法である。制御方法は、真空ポンプで発生した複数種類の異常のそれぞれの発生回数を計数するステップと、複数種類の異常のそれぞれの発生回数が所定の閾値を超えた場合、重大アラームを発生させるステップと、を備える。

第８態様に係る制御方法では、真空ポンプで発生する複数種類の真空ポンプのそれぞれの異常の発生回数が所定の閾値を超えたときに、重大アラームを発生させる。つまり、重大アラームを発生させるか否かが、複数種類の異常の発生回数により決定されている。これにより、１種類の異常だけの発生回数が多く他の異常の発生回数が少ないために、真空ポンプが故障する可能性が低い場合に、誤って重大アラームを発生させることを防止できる。

上記では、種々の実施形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。また、各実施形態および変形例は、それぞれ単独で適用しても良いし、組み合わせて用いても良い。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。

１ ：真空ポンプ
２ ：ハウジング
３ ：ベース
４ ：ロータ
５ ：ステータ
６ ：制御装置
７ ：操作装置
１１ ：第１端部
１２ ：第２端部
１３ ：吸気口
１４ ：ベース端部
１６ ：排気口
２１ ：シャフト
２２ ：ロータ翼
２３ ：ロータ円筒部
３１ ：ステータ翼
３２ ：ステータ円筒部
３３ ：筐体
４１Ａ～４１Ｅ ：軸受
４２ ：モータ
４２Ａ ：モータロータ
４２Ｂ ：モータステータ
４３ ：回転数センサ
４４Ａ～４４Ｃ ：変位センサ
４５ ：モータ電流測定装置
５１ ：ヒータ
５２ ：温度センサ
５３ ：ヒータ電流測定装置
６１ ：記憶部
６２ ：制御部
ＡＨ ：重大アラーム発生履歴
ＣＮＴ ：異常発生カウンタ
ＣＯＮ ：異常発生条件
ＰＷ ：解除パスワード
ＲＣＯ ：重大アラーム条件
ＳＰ１ ：第１内部空間
ＳＰ２ ：第２内部空間

Claims (8)

1. ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプの制御装置であって、
   制御部を備え、
   前記制御部は、
   前記真空ポンプで発生した複数種類の異常のそれぞれの発生回数を計数し、
   複数種類の異常の発生回数がそれぞれ所定の閾値を超えた場合、重大アラームを発生させる、
   制御装置。
2. 前記制御部は、複数種類の異常の発生回数がそれぞれ所定の閾値を超えた場合、前記真空ポンプの動作モードを、前記真空ポンプを停止後に再起動させたときに前記真空ポンプの動作を通常時よりも制限する動作制限モードに移行させる、
   請求項１に記載の制御装置。
3. 前記制御部は、前記真空ポンプの動作モードが前記動作制限モードである場合、前記真空ポンプを、起動してから所定の時間だけ動作させた後に停止させる、請求項２に記載の制御装置。
4. 記憶部をさらに備え、
   前記制御部は、
   前記重大アラームを発生させたときに、前記重大アラームが発生したことを示す重大アラーム発生履歴を前記記憶部に記憶し、
   前記真空ポンプを再起動したときに、前記重大アラーム発生履歴が前記重大アラームの発生を示している場合に、前記真空ポンプの動作モードが前記動作制限モードであると判断する、
   請求項２または３に記載の制御装置。
5. 前記制御部は、専用のパスワードが入力されたときに、前記動作制限モードを解除する、請求項２～４のいずれかに記載の制御装置。
6. 前記所定の閾値は変更可能である、請求項１～５のいずれかに記載の制御装置。
7. 前記複数種類の異常は、真空ポンプの振動に関する異常、前記ロータの回転数に関する異常、真空ポンプの温度に関する異常から選択される少なくとも２つの異常である、請求項１～６のいずれかに記載の制御装置。
8. ロータをモータにより回転駆動してガスを排気する真空ポンプの制御方法であって、
   前記真空ポンプで発生した複数種類の異常のそれぞれの発生回数を計数するステップと、
   複数種類の異常の発生回数がそれぞれ所定の閾値を超えた場合、重大アラームを発生させるステップと、
   を備える、制御方法。

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